JP2021071661A - Photosensitive composition, colored pattern, and method for producing the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、白色フィラーを含有する感光性組成物に関する。さらに、本発明は感光性組成物を用いた着色パターンおよびその製造方法に関する。 The present invention relates to a photosensitive composition containing a white filler. Furthermore, the present invention relates to a coloring pattern using a photosensitive composition and a method for producing the same.
発光ダイオード(LED)には、発光方向を調整する目的や輝度を高める目的のために、白色の反射材が用いられている。これら白色の反射材には熱硬化性のエポキシ樹脂やシリコーン樹脂が使用されているが、発光ダイオードの小型化の進展に伴う形状の微細化や生産性向上のためには、光硬化性樹脂による反射材の作成が、より効率的である。 A white reflective material is used for the light emitting diode (LED) for the purpose of adjusting the light emitting direction and increasing the brightness. Thermosetting epoxy resin and silicone resin are used for these white reflectors, but in order to reduce the shape and improve productivity with the progress of miniaturization of light emitting diodes, photocurable resin is used. The production of reflectors is more efficient.
一方、表示パネルにおいては、表示素子用の基板上に、樹脂による微細なパターンを形成し、各種用途に適用している。例えば、発光ダイオード素子からの発光色及び色変換された光の発光方向を調整する目的や、発光色の混色を防ぐために、表示素子画素間の隔壁に用いられている。また、このような隔壁としての利用は、有機EL素子や、ミニLED素子や、マイクロLED素子等、発光部の微細化に伴い、近年特に求められる技術になってきている。 On the other hand, in the display panel, a fine pattern made of resin is formed on a substrate for a display element, and is applied to various applications. For example, it is used as a partition wall between display element pixels for the purpose of adjusting the emission color from the light emitting diode element and the emission direction of the color-converted light, and for preventing color mixing of the emission color. Further, such use as a partition wall has become a technique particularly required in recent years with the miniaturization of light emitting portions such as organic EL elements, mini LED elements, and micro LED elements.
更に、これら電子デバイスにおいては、発光素子の高出力化や小型化の進展に伴い、より高い耐熱性が求められるようになってきている。 Further, in these electronic devices, higher heat resistance is required with the progress of high output and miniaturization of light emitting elements.
従来の着色感光性樹脂組成物は、特許文献1に記載されるように、耐熱黄変性の改善が試みられているが、未だ十分ではなかった。また、白色フィラーを含む感光性樹脂組成物では、バインダーポリマーの構造変化に伴って、白色フィラーの分散性やアルカリ現像性が低下する影響や、白色フィラーによる光散乱の影響により、パターニング性が悪化する場合がある。特に、高反射率を有する白色パターンを形成する場合や厚膜のパターンを形成する場合に、パターニング性の悪化が顕著であり、特許文献2においては、膜厚15μmに対してパターン幅は150μmとアスペクト比(膜厚/パターン幅)は0.1であり、特許文献3おいては、膜厚20μmに対してパターン幅は100μmとアスペクト比は0.2であり、膜厚に対して横幅の狭いパターン、つまり、アスペクト比の大きいパターンを形成することは困難であった。 As described in Patent Document 1, conventional colored photosensitive resin compositions have been attempted to improve heat-resistant yellowing, but have not yet been sufficient. Further, in the photosensitive resin composition containing the white filler, the patterning property is deteriorated due to the influence of the decrease in the dispersibility and alkali developability of the white filler and the influence of light scattering by the white filler due to the structural change of the binder polymer. May be done. In particular, when forming a white pattern having high reflectance or forming a thick film pattern, the deterioration of patterning property is remarkable, and in Patent Document 2, the pattern width is 150 μm for a film thickness of 15 μm. The aspect ratio (film thickness / pattern width) is 0.1, and in Patent Document 3, the pattern width is 100 μm and the aspect ratio is 0.2 with respect to the film thickness of 20 μm. It was difficult to form a narrow pattern, that is, a pattern having a large aspect ratio.
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、光の高反射性を有し、かつ耐熱黄変性およびパターニング性に優れた反射膜またはアスペクト比の大きい白色パターンを形成可能な感光性組成物を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to form a reflective film having high light reflectivity and excellent heat-resistant yellowing and patterning property or a white pattern having a large aspect ratio. The purpose is to provide a photosensitive composition.
本発明は、バインダーとして、所定の官能基を導入した環状ポリシロキサン化合物を用いた組成物が、高い耐熱性を有し、かつ着色剤の分散性等の諸特性に優れるとの知見に基づきなされたものである。 The present invention has been made based on the finding that a composition using a cyclic polysiloxane compound having a predetermined functional group introduced as a binder has high heat resistance and is excellent in various properties such as dispersibility of a colorant. It is a thing.
本発明の感光性組成物は、ポリシロキサン化合物(A)、光酸発生剤(B)、白色フィラー(C)を含有する。組成物の固形分全量に対する白色フィラー(C)の含有量は5重量%以上である。ポリシロキサン化合物(A)は、環状ポリシロキサン構造およびカチオン重合性官能基を含有する。組成物の固形分全量に対するポリシロキサン化合物(A)の含有量は、20〜95重量%が好ましい。 The photosensitive composition of the present invention contains a polysiloxane compound (A), a photoacid generator (B), and a white filler (C). The content of the white filler (C) with respect to the total solid content of the composition is 5% by weight or more. The polysiloxane compound (A) contains a cyclic polysiloxane structure and a cationically polymerizable functional group. The content of the polysiloxane compound (A) with respect to the total solid content of the composition is preferably 20 to 95% by weight.
ポリシロキサン化合物(A)におけるカチオン重合性官能基としては、エポキシ基、オキセタニル基、アルコキシシリル基およびビニルエーテル基等が挙げられる。ポリシロキサン化合物(A)は、カチオン重合性官能基として、脂環式エポキシ基、オキセタニル基のいずれかを有するものが好ましい。ポリシロキサン化合物(A)は、カチオン重合性官能基としての脂環式エポキシ基またはオキセタニル基に加えてグリシジル基を含むことが更に好ましい。 Examples of the cationically polymerizable functional group in the polysiloxane compound (A) include an epoxy group, an oxetanyl group, an alkoxysilyl group and a vinyl ether group. The polysiloxane compound (A) preferably has either an alicyclic epoxy group or an oxetanyl group as a cationically polymerizable functional group. The polysiloxane compound (A) more preferably contains a glycidyl group in addition to an alicyclic epoxy group or an oxetanyl group as a cationically polymerizable functional group.
ポリシロキサン化合物(A)は、さらにアルカリ可溶性官能基を有することが好ましい。アルカリ可溶性基としては、フェノール性水酸基、カルボキシル基、および下記のX1またはX2で表されるイソシアヌル酸誘導体構造が挙げられる。 The polysiloxane compound (A) preferably further has an alkali-soluble functional group. Examples of the alkali-soluble group include a phenolic hydroxyl group, a carboxyl group, and an isocyanuric acid derivative structure represented by X1 or X2 below.
感光性組成物は、さらに反応性希釈剤(D)を含んでいてもよい。反応性希釈剤は、1分子中に2個以上のカチオン重合性官能基を有する。中でも、カチオン重合性官能基として脂環式エポキシ基またはオキセタニル基を含む反応性希釈剤が好ましい。組成物の固形分全量に対する反応性希釈剤(D)の含有量は、1〜75重量%が好ましい。 The photosensitive composition may further contain the reactive diluent (D). The reactive diluent has two or more cationically polymerizable functional groups in one molecule. Of these, a reactive diluent containing an alicyclic epoxy group or an oxetanyl group as a cationically polymerizable functional group is preferable. The content of the reactive diluent (D) with respect to the total solid content of the composition is preferably 1 to 75% by weight.
感光性組成物は、さらに溶剤を含んでいても良い。 The photosensitive composition may further contain a solvent.
本発明は上記の感光性組成物の硬化物からなる白色パターンおよびその製造方法でもある。 The present invention is also a white pattern composed of a cured product of the above-mentioned photosensitive composition and a method for producing the same.
本発明の感光性組成物は、光反射性を有し、耐熱性およびパターニング性に優れるため、白色反射材や表示素子の画素間の隔壁等の光反射パターン形成材料として好適に使用できる。 Since the photosensitive composition of the present invention has light reflectivity and is excellent in heat resistance and patterning property, it can be suitably used as a light reflection pattern forming material such as a white reflective material and a partition wall between pixels of a display element.
本発明の実施の形態について、以下に詳細に説明する。本明細書において、数値範囲を表す「A〜B」は、「A以上B以下」を意味する。本明細書に例示の成分や官能基等は、特記しない限り、単独で用いてもよく2種以上を併用(併存)してもよい。 Embodiments of the present invention will be described in detail below. In the present specification, "A to B" representing a numerical range means "A or more and B or less". Unless otherwise specified, the components and functional groups exemplified in the present specification may be used alone or in combination (coexistence) of two or more.
〔感光性組成物〕
本発明の感光性組成物は、固形分として、(A)カチオン重合性官能基を有する環状ポリシロキサン化合物、(B)光酸発生剤、および(C)着色剤を含有する。なお、固形分とは組成物中の不揮発成分であり、固形分全量とは、組成物の構成成分から溶剤を除外した全量を意味する。
[Photosensitive composition]
The photosensitive composition of the present invention contains (A) a cyclic polysiloxane compound having a cationically polymerizable functional group, (B) a photoacid generator, and (C) a colorant as solid contents. The solid content is a non-volatile component in the composition, and the total solid content means the total amount excluding the solvent from the constituent components of the composition.
<(A)ポリシロキサン化合物>
感光性組成物は、樹脂バインダー成分としてカチオン重合性官能基を有する環状ポリシロキサン化合物を含有する。以下では、カチオン重合性官能基を有する環状ポリシロキサン化合物を、「化合物(A)」と称する場合がある。化合物(A)は、環状ポリシロキサン構造およびカチオン重合性官能基を有する。
<(A) Polysiloxane compound>
The photosensitive composition contains a cyclic polysiloxane compound having a cationically polymerizable functional group as a resin binder component. Hereinafter, the cyclic polysiloxane compound having a cationically polymerizable functional group may be referred to as "Compound (A)". Compound (A) has a cyclic polysiloxane structure and a cationically polymerizable functional group.
本明細書において、「環状ポリシロキサン構造」とは、環の構成要素にシロキサン単位(Si−O−Si)を有する環状分子構造骨格を意味する。環状ポリシロキサン構造を含有する化合物は、線状のポリシロキサン構造のみを含有する化合物と比較して、製膜性および得られる硬化物の耐熱性に優れる傾向がある。化合物(A)は、環状ポリシロキサン構造を主鎖に含有していてもよく側鎖に含有していてもよい。化合物(A)が主鎖に環状ポリシロキサン構造を含有する場合は、硬化物が耐熱性に優れる傾向がある。環状ポリシロキサン構造は、単環構造でもよく、多環構造でもよい。多環構造は多面体構造でもよい。環を構成するシロキサン単位のうち、T単位(XSiO3/2)またはQ単位(SiO4/2)の含有率が高いほど、得られる硬化物は硬度が高く、耐熱性に優れる傾向がある。M単位(X3SiO1/2)またはD単位(X2SiO2/2)の含有率が高いほど、得られる硬化物はより柔軟で低応力となる傾向がある。 As used herein, the term "cyclic polysiloxane structure" means a cyclic molecular structure skeleton having a siloxane unit (Si—O—Si) as a component of the ring. A compound containing a cyclic polysiloxane structure tends to be superior in film-forming property and heat resistance of the obtained cured product as compared with a compound containing only a linear polysiloxane structure. Compound (A) may contain a cyclic polysiloxane structure in the main chain or in the side chain. When the compound (A) contains a cyclic polysiloxane structure in the main chain, the cured product tends to have excellent heat resistance. The cyclic polysiloxane structure may be a monocyclic structure or a polycyclic structure. The polycyclic structure may be a polyhedral structure. Among the siloxane units constituting the ring, the higher the content of T units (XSiO 3/2 ) or Q units (SiO 4/2 ), the higher the hardness of the obtained cured product and the more excellent the heat resistance tends to be. The higher the content of M units (X 3 SiO 1/2 ) or D units (X 2 SiO 2/2 ), the more flexible and less stressed the resulting cured product tends to be.
本明細書において、「カチオン重合性官能基」とは、活性エネルギー線が照射された場合に、光酸発生剤から生成した酸性活性物質によって重合および架橋する官能基を意味する。活性エネルギー線としては、可視光、紫外線、赤外線、X線、α線、β線、およびγ線等が挙げられる。カチオン重合性官能基としては、エポキシ基、ビニルエーテル基、オキセタニル基、およびアルコキシシリル基が挙げられる。安定性の観点から、化合物(A)は、カチオン重合性官能基としてエポキシ基を有することが好ましい。エポキシ基の中でも、安定性の観点から、脂環式エポキシ基またはグリシジル基が好ましい。また、光カチオン重合性の観点から、脂環式エポキシ基またはオキセタニル基が好ましい。 As used herein, the term "cationically polymerizable functional group" means a functional group that polymerizes and crosslinks with an acidic active substance generated from a photoacid generator when irradiated with active energy rays. Examples of active energy rays include visible light, ultraviolet rays, infrared rays, X-rays, α-rays, β-rays, and γ-rays. Examples of the cationically polymerizable functional group include an epoxy group, a vinyl ether group, an oxetanyl group, and an alkoxysilyl group. From the viewpoint of stability, compound (A) preferably has an epoxy group as a cationically polymerizable functional group. Among the epoxy groups, an alicyclic epoxy group or a glycidyl group is preferable from the viewpoint of stability. Further, from the viewpoint of photocationic polymerizable, an alicyclic epoxy group or an oxetanyl group is preferable.
化合物(A)は、1分子中に複数のカチオン重合性官能基を有していてもよい。化合物(A)が1分子中に複数のカチオン重合性官能基を有する場合に、架橋密度の高い硬化物が得られ、耐熱性が向上する傾向がある。複数のカチオン重合性官能基は同一でもよく、2種以上の異なる官能基でもよい。 Compound (A) may have a plurality of cationically polymerizable functional groups in one molecule. When the compound (A) has a plurality of cationically polymerizable functional groups in one molecule, a cured product having a high crosslink density is obtained, and the heat resistance tends to be improved. The plurality of cationically polymerizable functional groups may be the same, or two or more different functional groups may be used.
化合物(A)は、1分子中に、脂環式エポキシ基、グリシジル基、オキセタニル基の内少なくとも2つを同時に含んでいてもよい。1分子中に脂環式エポキシ基とグリシジル基とを有する場合は、主に脂環式エポキシ基がカチオン重合に関与し、グリシジル基は着色剤の分散性向上に寄与する。1分子中にオキセタニル基とグリシジル基とを有する場合は、主にオキセタニル基がカチオン重合に関与し、グリシジル基は着色剤の分散性向上に寄与する。1分子中に脂環式エポキシ基とオキセタニル基とを有する場合は、主に脂環式エポキシ基がカチオン重合の開始反応に関与し、オキセタニル基はカチオン重合の成長反応に寄与する。 Compound (A) may simultaneously contain at least two of an alicyclic epoxy group, a glycidyl group, and an oxetanyl group in one molecule. When one molecule has an alicyclic epoxy group and a glycidyl group, the alicyclic epoxy group is mainly involved in cationic polymerization, and the glycidyl group contributes to the improvement of dispersibility of the colorant. When one molecule has an oxetanyl group and a glycidyl group, the oxetanyl group is mainly involved in cationic polymerization, and the glycidyl group contributes to the improvement of dispersibility of the colorant. When one molecule has an alicyclic epoxy group and an oxetanyl group, the alicyclic epoxy group is mainly involved in the initiation reaction of cationic polymerization, and the oxetanyl group contributes to the growth reaction of cationic polymerization.
化合物(A)は、カチオン重合性官能基に加えて、アルカリ可溶性官能基を有していてもよい。本明細書において、アルカリ可溶性官能基とは、化合物にアルカリ可溶性を付与する官能基を意味する。化合物(A)は、カチオン重合性官能基に加えてアルカリ可溶性官能基を同一分子内に有することにより、アルカリ水溶液への可能性を示す。これにより、化合物(A)を含有する感光性組成物は、アルカリ現像によるパターニングが可能な着色パターン形成用材料(着色ネガ型感光性組成物)として適用され得る。 Compound (A) may have an alkali-soluble functional group in addition to the cationically polymerizable functional group. As used herein, the alkali-soluble functional group means a functional group that imparts alkali solubility to a compound. Compound (A) shows the possibility of being an alkaline aqueous solution by having an alkali-soluble functional group in the same molecule in addition to the cationically polymerizable functional group. As a result, the photosensitive composition containing the compound (A) can be applied as a colored pattern forming material (colored negative type photosensitive composition) that can be patterned by alkaline development.
アルカリ可溶性官能基としては、下記X1またはX2で表されるイソシアヌル酸誘導体構造、フェノール性水酸基およびカルボキシル基等が挙げられる。得られる硬化物の耐熱性等の観点から、化合物(A)は、アルカリ可溶性官能基として、上記式X1またはX2で表される構造を有することが好ましい。X1またはX2に示される構造は、カルボキシル基を有さないアルカリ可溶性基であるため、、耐熱黄変性に特に優れるという特徴がある。また、X1またはX2に示される構造は、極性の高いイソシアヌレート構造を有するため、白色フィラーを良好に分散するという特徴がある。 Examples of the alkali-soluble functional group include an isocyanuric acid derivative structure represented by X1 or X2 below, a phenolic hydroxyl group, a carboxyl group and the like. From the viewpoint of heat resistance of the obtained cured product, the compound (A) preferably has a structure represented by the above formula X1 or X2 as an alkali-soluble functional group. Since the structure shown in X1 or X2 is an alkali-soluble group having no carboxyl group, it is particularly excellent in heat-resistant yellowing. Further, since the structure shown in X1 or X2 has a highly polar isocyanurate structure, it is characterized in that the white filler is well dispersed.
カチオン重合性官能基をポリシロキサン系化合物中へ導入する方法は特に限定されない。化学的に安定なケイ素−炭素結合(Si−C結合)によってカチオン重合性官能基をポリシロキサン系化合物中へ導入できることから、ヒドロシリル化反応を用いる方法が好ましい。換言すれば、化合物(A)は、ヒドロシリル化反応により有機変性され、ケイ素−炭素結合を介してカチオン重合性官能基が導入された環状ポリシロキサン化合物であることが好ましい。アルカリ可溶性官能基も、ヒドロシリル化反応により、ケイ素−炭素結合を介して環状ポリシロキサン系化合物に導入されていることが好ましい。 The method for introducing the cationically polymerizable functional group into the polysiloxane compound is not particularly limited. A method using a hydrosilylation reaction is preferable because a cationically polymerizable functional group can be introduced into a polysiloxane-based compound by a chemically stable silicon-carbon bond (Si—C bond). In other words, compound (A) is preferably a cyclic polysiloxane compound that has been organically modified by a hydrosilylation reaction and has a cationically polymerizable functional group introduced via a silicon-carbon bond. The alkali-soluble functional group is also preferably introduced into the cyclic polysiloxane compound via a silicon-carbon bond by a hydrosilylation reaction.
カチオン重合性官能基およびアルカリ可溶性官能基が導入された環状ポリシロキサン化合物は、例えば、下記の化合物を出発物質とするヒドロシリル化反応により得られる。
(α)1分子中に、SiH基(ヒドロシリル基)との反応性を有する炭素−炭素二重結合と、アルカリ可溶性官能基と、を有する化合物;
(β)1分子中に少なくとも2個のSiH基を有する環状ポリシロキサン化合物;および
(γ)1分子中に、SiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合と、カチオン重合性官能基と、を有する化合物。
The cyclic polysiloxane compound into which the cationically polymerizable functional group and the alkali-soluble functional group have been introduced can be obtained, for example, by a hydrosilylation reaction using the following compound as a starting material.
(Α) A compound having a carbon-carbon double bond reactive with a SiH group (hydrosilyl group) and an alkali-soluble functional group in one molecule;
A cyclic polysiloxane compound having at least two SiH groups in one molecule of (β); and a carbon-carbon double bond reactive with a SiH group in one molecule of (γ) and a cationically polymerizable functional group. And a compound having.
(化合物(α))
化合物(α)は、1分子中に、SiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合と、アルカリ可溶性官能基とを有する有機化合物であれば特に限定されない。化合物(α)を用いることにより、化合物(A)にアルカリ可溶性官能基が導入される。
(Compound (α))
The compound (α) is not particularly limited as long as it is an organic compound having a carbon-carbon double bond reactive with a SiH group and an alkali-soluble functional group in one molecule. By using the compound (α), an alkali-soluble functional group is introduced into the compound (A).
SiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を含む基(以下、単に「アルケニル基」と称することがある)としては、ビニル基、アリル基、メタリル基、アクリル基、メタクリル基、2−ヒドロキシ−3−(アリルオキシ)プロピル基、2−アリルフェニル基、3−アリルフェニル基、4−アリルフェニル基、2−(アリルオキシ)フェニル基、3−(アリルオキシ)フェニル基、4−(アリルオキシ)フェニル基、2−(アリルオキシ)エチル基、2,2−ビス(アリルオキシメチル)ブチル基、3−アリルオキシ−2,2−ビス(アリルオキシメチル)プロピル基およびビニルエーテル基等が挙げられる。SiH基との反応性の観点から、化合物(α)は、アルケニル基としてビニル基またはアリル基を含むことが好ましい。 Examples of the group containing a carbon-carbon double bond reactive with the SiH group (hereinafter, may be simply referred to as “alkenyl group”) include a vinyl group, an allyl group, a metalyl group, an acrylic group, a methacryl group, and 2 -Hydroxy-3- (allyloxy) propyl group, 2-allylphenyl group, 3-allylphenyl group, 4-allylphenyl group, 2- (allyloxy) phenyl group, 3- (allyloxy) phenyl group, 4- (allyloxy) Examples thereof include a phenyl group, a 2- (allyloxy) ethyl group, a 2,2-bis (allyloxymethyl) butyl group, a 3-allyloxy-2,2-bis (allyloxymethyl) propyl group and a vinyl ether group. From the viewpoint of reactivity with the SiH group, the compound (α) preferably contains a vinyl group or an allyl group as the alkenyl group.
化合物(α)は、1分子中に2個以上のアルケニル基を有していてもよい。化合物(α)が1分子中に複数のアルケニル基を含む場合は、ヒドロシリル化反応により複数の化合物(β)を架橋できるため、得られる硬化物の架橋密度が高く、耐熱性が向上する傾向がある。 Compound (α) may have two or more alkenyl groups in one molecule. When the compound (α) contains a plurality of alkenyl groups in one molecule, the plurality of compounds (β) can be crosslinked by a hydrosilylation reaction, so that the crosslinked density of the obtained cured product is high and the heat resistance tends to be improved. is there.
入手性の観点から、化合物(α)は、ジアリルイソシアヌル酸、モノアリルイソシアヌル酸、ビニルフェノール、アリルフェノール、下記一般式(IIa)もしくは(IIb)で表される化合物、ブテン酸、ペンテン酸、ヘキセン酸、へプテン酸またはウンデシレン酸が好ましい。一般式(IIa)および(IIb)におけるRは、−O−、−CH2−、−C(CH3)2−、−C(CF3)2−、および−SO2−からなる群から選択される2価の基である。 From the viewpoint of availability, the compound (α) is diallyl isocyanuric acid, monoallyl isocyanuric acid, vinylphenol, allylphenol, a compound represented by the following general formula (IIa) or (IIb), butenoic acid, pentene acid, heptene. Acids, heptene acids or undecylene acids are preferred. R in the general formulas (IIa) and (IIb) is selected from the group consisting of -O-, -CH 2- , -C (CH 3 ) 2- , -C (CF 3 ) 2- , and -SO 2-. It is a divalent group to be made.
これらの中でも、硬化物の耐熱性の観点から、化合物(α)は、ジアリルイソシアヌル酸、モノアリルイソシアヌル酸、ジアリルビスフェノールA、ジアリルビスフェノールS、ビニルフェノールまたはアリルフェノールであることが好ましい。さらに硬化物の電気特性等の観点から、化合物(α)は、ジアリルイソシアヌル酸またはモノアリルイソシアヌル酸であることが特に好ましい。化合物(α)としてジアリルイソシアヌル酸を用いることにより、化合物(A)に前述の構造X1が導入される。構造X2は、構造X1に比べて酸性度が高い(pKaが小さい)。そのため、モノアリルイソシアヌル酸を用いた場合に、アルカリ現像性が向上する傾向がある。 Among these, from the viewpoint of heat resistance of the cured product, the compound (α) is preferably diallyl isocyanuric acid, monoallyl isocyanuric acid, diallyl bisphenol A, diallyl bisphenol S, vinylphenol or allylphenol. Further, from the viewpoint of electrical properties of the cured product and the like, the compound (α) is particularly preferably diallyl isocyanuric acid or monoallyl isocyanuric acid. By using diallyl isocyanuric acid as the compound (α), the above-mentioned structure X1 is introduced into the compound (A). The structure X2 has a higher acidity (smaller pKa) than the structure X1. Therefore, when monoallyl isocyanuric acid is used, the alkali developability tends to be improved.
化合物(α)としてモノアリルイソシアヌル酸を用いる場合は、化合物(A)の分子量および架橋密度を高めるために、1分子中に2以上のアルケニル基を有する化合物(例えば、後述の化合物(δ))を併用することが好ましい。化合物(α)として、ジアリルイソシアヌル酸とモノアリルイソシアヌル酸とを併用してもよい。 When monoallyl isocyanuric acid is used as the compound (α), a compound having two or more alkenyl groups in one molecule (for example, the compound (δ) described later) in order to increase the molecular weight and the cross-linking density of the compound (A). It is preferable to use in combination. As compound (α), diallyl isocyanuric acid and monoallyl isocyanuric acid may be used in combination.
(化合物(β))
化合物(β)は、1分子中に少なくとも2個のSiH基を有する環状ポリシロキサン化合物であり、例えば、国際公開第96/15194号に記載の化合物で、1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するもの等が使用できる。化合物(β)は、好ましくは1分子中に3個以上のSiH基を含む。耐熱性および耐光性の観点から、Si原子上に存在する基は、水素原子およびメチル基のいずれかであることが好ましい。
(Compound (β))
Compound (β) is a cyclic polysiloxane compound having at least two SiH groups in one molecule. For example, the compound described in International Publication No. 96/15194, which has at least two SiH groups in one molecule. Can be used. Compound (β) preferably contains 3 or more SiH groups in one molecule. From the viewpoint of heat resistance and light resistance, the group existing on the Si atom is preferably either a hydrogen atom or a methyl group.
化合物(β)は、例えば下記一般式(III)で表される環状ポリシロキサンである。 The compound (β) is, for example, a cyclic polysiloxane represented by the following general formula (III).
式中のR4、R5およびR6は、それぞれ独立に炭素数1〜20の有機基を表す。mは2〜10の整数、nは0〜10の整数を表す。mは3以上が好ましい。m+nは3〜12が好ましい。 R 4 , R 5 and R 6 in the formula independently represent organic groups having 1 to 20 carbon atoms. m represents an integer of 2 to 10 and n represents an integer of 0 to 10. The m is preferably 3 or more. m + n is preferably 3 to 12.
R4、R5およびR6としては、C、HおよびOからなる群から選択される元素により構成される有機基が好ましい。R4、R5およびR6の例として、アルキル基、ヒドロキシアルキル基、アルコキシアルキルキル基、オキシアルキル基、アリール基等が挙げられる。中でも、メチル基、エチル基、プロピル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基等の鎖状アルキル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基等の環状アルキル基、またはフェニル基が好ましい。化合物(β)の入手性の観点から、R4、R5およびR6は、メチル基、プロピル基、ヘキシル基またはフェニル基であることが好ましい。R4およびR5は、炭素数1〜6の鎖状アルキル基であることがより好ましく、メチル基が特に好ましい。 As R 4 , R 5 and R 6 , an organic group composed of an element selected from the group consisting of C, H and O is preferable. Examples of R 4 , R 5 and R 6 include alkyl groups, hydroxyalkyl groups, alkoxyalkylkyl groups, oxyalkyl groups, aryl groups and the like. Of these, a chain alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a hexyl group, an octyl group, a decyl group and a dodecyl group, a cyclic alkyl group such as a cyclohexyl group and a norbornyl group, or a phenyl group is preferable. From the viewpoint of availability of the compound (β), R 4 , R 5 and R 6 are preferably a methyl group, a propyl group, a hexyl group or a phenyl group. R 4 and R 5 are more preferably chain alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms, and particularly preferably a methyl group.
一般式(III)で表される環状ポリシロキサン化合物としては、1,3,5,7−テトラハイドロジェン−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,3,5−トリハイドロジェン−1,3,5,7,7−ペンタメチルシクロテトラシロキサン、1,3−ジハイドロジェン−1,3,5,5,7,7−ヘキサメチルシクロテトラシロキサン、1−ハイドロジェン−1,3,3,5,5,7,7−ヘプタメチルシクロテトラシロキサン、1−プロピル−3,5,7−トリハイドロジェン−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,5−ジハイドロジェン−3,7−ジヘキシル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,3,5−トリハイドロジェン−1,3,5−トリメチルシクロシロキサン、1,3,5,7,9−ペンタハイドロジェン−1,3,5,7,9−ペンタメチルシクロシロキサンおよび1,3,5,7,9,11−ヘキサハイドロジェン−1,3,5,7,9,11−ヘキサメチルシクロシロキサン等が例示される。中でも、入手容易性およびSiH基の反応性の観点から、1,3,5,7−テトラハイドロジェン−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン(一般式(III)において、m=4、n=0であり、R4がメチル基である化合物)が好ましい。 Examples of the cyclic polysiloxane compound represented by the general formula (III) include 1,3,5,7-tetrahydrogen-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane and 1,3,5-trihydro. Gen-1,3,5,7,7-pentamethylcyclotetrasiloxane, 1,3-dihydrogen-1,3,5,5,7,7-hexamethylcyclotetrasiloxane, 1-hydrogen-1 , 3,3,5,5,7,7-Heptamethylcyclotetrasiloxane, 1-propyl-3,5,7-trihydrogen-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane, 1,5 -Dihydrogen-3,7-dihexyl-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane, 1,3,5-trihydrogen-1,3,5-trimethylcyclosiloxane, 1,3,5 , 7,9-Pentahydrogen-1,3,5,7,9-Pentamethylcyclosiloxane and 1,3,5,7,9,11-Hexahydrogen-1,3,5,7,9, Examples include 11-hexamethylcyclosiloxane. Above all, from the viewpoint of availability and reactivity of SiH group, 1,3,5,7-tetrahydrogen-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane (in the general formula (III), m = 4. A compound in which n = 0 and R 4 is a methyl group) is preferable.
化合物(β)は、多環の環状ポリシロキサンでもよい。多環は多面体構造でもよい。多面体骨格を有するポリシロキサンは、多面体骨格を構成するSi原子の数が6〜24であるものが好ましく、6〜10であるものがより好ましい。多面体骨格を有するポリシロキサンの具体例としては、下記一般式(IV)で示されるシルセスキオキサン(Si原子数=8)が挙げられる。 The compound (β) may be a polycyclic cyclic polysiloxane. The polycycle may have a polyhedral structure. The polysiloxane having a polyhedral skeleton preferably has 6 to 24 Si atoms constituting the polyhedral skeleton, and more preferably 6 to 10 Si atoms. Specific examples of the polysiloxane having a polyhedral skeleton include silsesquioxane (Si atom number = 8) represented by the following general formula (IV).
上記式中、R10〜R17は、それぞれ独立に、水素原子、鎖状アルキル基(メチル基、エチル基、プロピル基およびブチル基等)、シクロアルキル基(シクロヘキシル基等)、アリール基(フェニル基およびトリル基等)、これらの基の炭素原子に結合した水素原子の一部または全部をハロゲン原子またはシアノ基等で置換した基(クロロメチル基、トリフルオロプロピル基およびシアノエチル基等)、アルケニル基(ビニル基、アリル基、ブテニル基およびヘキセニル基等)、(メタ)アクリロイル基、エポキシ基、およびメルカプト基またはアミノ基を含有する有機基等から選択され1価の基である。上記炭化水素基の炭素数は、好ましくは1〜20、より好ましくは1〜10である。多面体骨格を有する環状ポリシロキサンは、ヒドロシリル化反応の反応性基であるヒドロシリル基を2個以上有する。したがって、R10〜R17のうち少なくとも2つは水素原子である。 In the above formula, R 10 to R 17 are independently hydrogen atom, chain alkyl group (methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, etc.), cycloalkyl group (cyclohexyl group, etc.), aryl group (phenyl). Groups and trill groups, etc.), groups in which some or all of the hydrogen atoms bonded to the carbon atoms of these groups are replaced with halogen atoms or cyano groups (chloromethyl group, trifluoropropyl group, cyanoethyl group, etc.), alkenyl It is a monovalent group selected from a group (vinyl group, allyl group, butenyl group, hexenyl group, etc.), a (meth) acryloyl group, an epoxy group, and an organic group containing a mercapto group or an amino group. The hydrocarbon group preferably has 1 to 20 carbon atoms, and more preferably 1 to 10 carbon atoms. The cyclic polysiloxane having a polyhedral skeleton has two or more hydrosilyl groups which are reactive groups of the hydrosilylation reaction. Therefore, at least two of R 10 to R 17 are hydrogen atoms.
環状ポリシロキサンは、多面体骨格を有するシリル化ケイ酸でもよい。多面体骨格を有するシリル化ケイ酸の具体例としては、下記一般式(V)で示される化合物(Si原子数=8)が挙げられる。 The cyclic polysiloxane may be silylated silicic acid having a polyhedral skeleton. Specific examples of silylated silicic acid having a polyhedral skeleton include a compound represented by the following general formula (V) (Si atom number = 8).
上記式中、R18〜R41は、前述の一般式(IV)におけるR10〜R17の具体例と同様であり、R18〜R41のうち少なくとも2つは水素原子である。 In the above formula, R 18 to R 41 are the same as the specific examples of R 10 to R 17 in the above general formula (IV), and at least two of R 18 to R 41 are hydrogen atoms.
多面体骨格を有するシリル化ケイ酸においては、多面体骨格を構成するSi原子とSiH基(ヒドロシリル化反応の反応性基)とが、シロキサン結合を介して結合しているため、硬化物に柔軟性を付与できる。 In silylated silicic acid having a polyhedron skeleton, the Si atom constituting the polyhedron skeleton and the SiH group (reactive group of the hydrosilylation reaction) are bonded via a siloxane bond, so that the cured product has flexibility. Can be granted.
環状ポリシロキサンは、公知の合成方法により得られる。例えば、一般式(III)で表される環状ポリシロキサンは、国際公開第96/15194号等に記載の方法により合成できる。シルセスキオキサン等の多面体骨格を有するポリシロキサンおよび多面体骨格を有するシリル化ケイ酸は、例えば、特開2004−359933号公報、特開2004−143449号公報、特開2006−269402号公報等に記載の方法により合成できる。化合物(β)として、市販の環状ポリシロキサン化合物を用いてもよい。 Cyclic polysiloxane is obtained by a known synthetic method. For example, the cyclic polysiloxane represented by the general formula (III) can be synthesized by the method described in International Publication No. 96/15194 or the like. Polysiloxane having a polyhedral skeleton such as silsesquioxane and silylated silicic acid having a polyhedral skeleton are described in, for example, JP-A-2004-359933, JP-A-2004-143449, JP-A-2006-269402 and the like. It can be synthesized by the method described. As the compound (β), a commercially available cyclic polysiloxane compound may be used.
(化合物(γ))
化合物(γ)は、1分子中にアルケニル基とカチオン重合性官能基とを有する化合物であれば特に限定されない。化合物(γ)を用いることにより、化合物(A)にカチオン重合性官能基が導入される。したがって、化合物(γ)におけるカチオン重合性官能基は、前述の化合物(A)が有するカチオン重合性官能基と同一であり、好ましい態様も同様である。化合物(γ)におけるアルケニル基は、前述の化合物(α)におけるアルケニル基と同様のものが好ましい。
(Compound (γ))
The compound (γ) is not particularly limited as long as it is a compound having an alkenyl group and a cationically polymerizable functional group in one molecule. By using compound (γ), a cationically polymerizable functional group is introduced into compound (A). Therefore, the cationically polymerizable functional group in the compound (γ) is the same as the cationically polymerizable functional group contained in the above-mentioned compound (A), and the preferred embodiment is also the same. The alkenyl group in the compound (γ) is preferably the same as the alkenyl group in the compound (α) described above.
カチオン重合性官能基としてエポキシ基を有する化合物(γ)の具体例としては、ビニルシクロヘキセンオキシド、アリルグリシジルエーテル、ジアリルモノグリシジルイソシアヌレートおよびモノアリルジグリシジルイソシアヌレート等が挙げられる。光カチオン重合における反応性の観点から、脂環式エポキシ基を有する化合物が好ましく、ビニルシクロヘキセンオキシドが特に好ましい。 Specific examples of the compound (γ) having an epoxy group as a cationically polymerizable functional group include vinylcyclohexene oxide, allyl glycidyl ether, diallyl monoglycidyl isocyanurate, monoallyl diglycidyl isocyanurate and the like. From the viewpoint of reactivity in photocationic polymerization, a compound having an alicyclic epoxy group is preferable, and vinylcyclohexene oxide is particularly preferable.
化合物(γ)のカチオン重合性官能基は、ビニルエーテル基、オキセタン基、およびアルコキシシリル基等でもよい。カチオン重合性官能基としてアルコキシシリル基を有する化合物(γ)の具体例としては、トリメトキシビニルシラン、トリエトキシビニルシラン、メチルジエトキシビニルシラン、メチルジメトキシビニルシランおよびフェニルジメトキシビニルシラン等のアルコキシシラン類等が挙げられる。カチオン重合性官能基としてビニルエーテル基を有する化合物(γ)としては、プロペニルエテニルエーテル等が挙げられる。カチオン重合性官能基としてオキセタン基を有する化合物(γ)としては、3-アリルオキシメチル-3-エチルオキセタン、2−ビニルオキセタン、3−アリルオキシオキセタンおよび(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルアクリレート等が挙げられる。 The cationically polymerizable functional group of the compound (γ) may be a vinyl ether group, an oxetane group, an alkoxysilyl group or the like. Specific examples of the compound (γ) having an alkoxysilyl group as a cationically polymerizable functional group include alkoxysilanes such as trimethoxyvinylsilane, triethoxyvinylsilane, methyldiethoxyvinylsilane, methyldimethoxyvinylsilane and phenyldimethoxyvinylsilane. .. Examples of the compound (γ) having a vinyl ether group as a cationically polymerizable functional group include propenylethenyl ether and the like. Compounds (γ) having an oxetane group as a cationically polymerizable functional group include 3-allyloxymethyl-3-ethyloxetane, 2-vinyloxetane, 3-allyloxyoxetane and (3-ethyloxetane-3-yl) methyl. Examples include acrylate.
(他の出発物質)
ヒドロシリル化反応による化合物(A)の合成においては、上記の化合物(α)(β)(γ)に加えて、他の出発物質を用いてもよい。例えば、出発物質として、化合物(δ):1分子中に2個以上のアルケニル基を有する化合物(ただし、化合物(α)および化合物(γ)を除く)を用いてもよい。1分子中に複数のアルケニル基を含む化合物(δ)を出発物質として用いれば、ヒドロシリル化反応により複数の化合物(β)が架橋されるため、化合物(A)の分子量が高められ、製膜性および硬化膜の耐熱性が向上する傾向がある。
(Other starting materials)
In the synthesis of the compound (A) by the hydrosilylation reaction, other starting materials may be used in addition to the above compounds (α) (β) (γ). For example, as a starting material, compound (δ): a compound having two or more alkenyl groups in one molecule (excluding compound (α) and compound (γ)) may be used. When a compound (δ) containing a plurality of alkenyl groups in one molecule is used as a starting material, the plurality of compounds (β) are crosslinked by the hydrosilylation reaction, so that the molecular weight of the compound (A) is increased and the film-forming property is formed. And the heat resistance of the cured film tends to improve.
化合物(δ)は、有機重合体系化合物および有機単量体系化合物のいずれでもよい。有機重合体系化合物としては、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリアリレート系、ポリカーボネート系、飽和炭化水素系、不飽和炭化水素系、ポリアクリル酸エステル系、ポリアミド系、フェノール−ホルムアルデヒド系(フェノール樹脂系)またはポリイミド系の化合物が挙げられる。有機単量体系化合物としては、例えば、フェノール系、ビスフェノール系、ベンゼンまたはナフタレン等の芳香族炭化水素系;直鎖系および脂環系等の脂肪族炭化水素系;複素環系の化合物が挙げられる。 The compound (δ) may be either an organic polymerization system compound or an organic monomer system compound. Examples of organic polymerization system compounds include polyether type, polyester type, polyarylate type, polycarbonate type, saturated hydrocarbon type, unsaturated hydrocarbon type, polyacrylic acid ester type, polyamide type, and phenol-formaldehyde type (phenol resin type). Alternatively, a polyimide-based compound can be mentioned. Examples of the organic monomer-based compound include aromatic hydrocarbon-based compounds such as phenol-based, bisphenol-based, benzene and naphthalene; aliphatic hydrocarbon-based compounds such as linear and alicyclic-based compounds; and heterocyclic compounds. ..
化合物(δ)の具体例としては、ジアリルフタレート、トリアリルトリメリテート、ジエチレングリコールビスアリルカーボネート、トリメチロールプロパンジアリルエーテル、トリメチロールプロパントリアリルエーテル、ペンタエリスリトールトリアリルエーテル、ペンタエリスリトールテトラアリルエーテル、1,1,2,2−テトラアリロキシエタン、ジアリリデンペンタエリスリット、トリアリルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレート、ジアリルモノベンジルイソシアヌレート、ジアリルイモノメチルソシアヌレート、1,2,4−トリビニルシクロヘキサン、1,4−ブタンジオールジビニルエーテル、ノナンジオールジビニルエーテル、1,4−シクロへキサンジメタノールジビニルエーテル、トリエチレングリコールジビニルエーテル、トリメチロールプロパントリビニルエーテル、ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、ビスフェノールSのジアリルエーテル、ジビニルベンゼン、ジビニルビフェニル、1,3−ジイソプロペニルベンゼン、1,4−ジイソプロペニルベンゼン、1,3−ビス(アリルオキシ)アダマンタン、1,3−ビス(ビニルオキシ)アダマンタン、1,3,5−トリス(アリルオキシ)アダマンタン、1,3,5−トリス(ビニルオキシ)アダマンタン、ジシクロペンタジエン、ビニルシクロへキセン、1,5−ヘキサジエン、1,9−デカジエン、ジアリルエーテル、ビスフェノールAジアリルエーテル、2,5−ジアリルフェノールアリルエーテル、およびそれらのオリゴマー、1,2−ポリブタジエン(1,2比率10〜100%のもの、好ましくは1,2比率50〜100%のもの)、ノボラックフェノールのアリルエーテル、アリル化ポリフェニレンオキサイド、その他、従来公知のエポキシ樹脂のグリシジル基の全部をアリル基に置き換えたもの等が挙げられる。 Specific examples of the compound (δ) include diallyl phthalate, triallyl trimellitate, diethylene glycol bisallyl carbonate, trimethylolpropan diallyl ether, trimethylol propanetriallyl ether, pentaerythritol triallyl ether, pentaerythritol tetraallyl ether, 1 , 1,2,2-tetraallyloxyetane, diallylidene pentaerythlit, triallyl cyanurate, triallyl isocyanurate, diallyl monobenzyl isocyanurate, diallyl imonomethylsocyanurate, 1,2,4-trivinylcyclohexane , 1,4-Butanediol divinyl ether, nonanediol divinyl ether, 1,4-cyclohexanedimethanol divinyl ether, triethylene glycol divinyl ether, trimethylpropantrivinyl ether, pentaerythritol tetravinyl ether, bisphenol S diallyl ether, Divinylbenzene, divinylbiphenyl, 1,3-diisopropenylbenzene, 1,4-diisopropenylbenzene, 1,3-bis (allyloxy) adamantan, 1,3-bis (vinyloxy) adamantan, 1,3,5- Tris (allyloxy) adamantan, 1,3,5-tris (vinyloxy) adamantan, dicyclopentadiene, vinylcyclohexene, 1,5-hexadiene, 1,9-decadien, diallyl ether, bisphenol A diallyl ether, 2,5- Diallylphenol Allyl ethers and their oligomers, 1,2-polybutadiene (1,2 ratio 10-100%, preferably 1,2 ratio 50-100%), novolak phenol allyl ethers, allylated polyphenylene Examples thereof include oxides and those in which all the glycidyl groups of conventionally known epoxy resins are replaced with allyl groups.
耐熱性および耐光性の観点から、化合物(δ)は、下記一般式(VI)で表される化合物であることが好ましい。 From the viewpoint of heat resistance and light resistance, the compound (δ) is preferably a compound represented by the following general formula (VI).
式中のR1およびR2はアルケニル基であり、同一でも異なっていてもよい。R3は、炭素数1〜50の1価の有機基を表す。 R 1 and R 2 in the formula are alkenyl groups and may be the same or different. R 3 represents a monovalent organic group having 1 to 50 carbon atoms.
R1およびR2は、前述の化合物(α)におけるアルケニル基と同様のものが好ましく、中でもビニル基およびアリル基が好ましく、アリル基が特に好ましい。硬化物の耐熱性を高める観点から、R3の炭素数は1〜20が好ましく、1〜10がより好ましい。R3の具体例は、前述の一般式(IV)におけるR10〜R17具体例と同様である。R3は、SiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を含んでいてもよい。化合物(δ)の好ましい例としては、トリアリルイソシアヌレートおよびジアリルモノメチルイソシアヌレートが挙げられる。 R 1 and R 2 are preferably the same as the alkenyl group in the above-mentioned compound (α), and among them, a vinyl group and an allyl group are preferable, and an allyl group is particularly preferable. From the viewpoint of increasing the heat resistance of the cured product, the carbon number of R 3 is preferably 1 to 20, and more preferably 1 to 10. Specific examples of R 3 are the same as the specific examples of R 10 to R 17 in the above-mentioned general formula (IV). R 3 may contain a carbon-carbon double bond that is reactive with the SiH group. Preferred examples of compound (δ) include triallyl isocyanurate and diallyl monomethylisocyanurate.
一般式(VI)におけるR3は、グリシジル基等の反応性基でもよい。エポキシ基の1種であるグリシジル基はカチオン重合性を有するため、一般式(VI)においてR3がグリシジル基である化合物は、前述の化合物(γ)に分類される。一方、化合物(γ)として、グリシジル基よりもカチオン重合性の高い官能基を含む化合物(例えば、ビニルシクロヘキセンオキシド等の脂環式エポキシ基を含有する化合物)を用いる場合、主に脂環式エポキシ基がカチオン重合に関与するため、グリシジル基のカチオン重合への寄与が小さい。したがって、一般式(VI)においてR3がグリシジル基である化合物は、化合物(δ)に分類することもできる。このような化合物(δ)の具体例としては、ジアリルモノグリシジルイソシアヌレートが挙げられる。 R 3 in the general formula (VI) may be a reactive group such as a glycidyl group. Since a glycidyl group, which is one of the epoxy groups, has cationically polymerizable property , a compound in which R 3 is a glycidyl group in the general formula (VI) is classified into the above-mentioned compound (γ). On the other hand, when a compound containing a functional group having a higher cationically polymerizable than a glycidyl group (for example, a compound containing an alicyclic epoxy group such as vinylcyclohexene oxide) is used as the compound (γ), the alicyclic epoxy is mainly used. Since the group is involved in cationic polymerization, the contribution of the glycidyl group to cationic polymerization is small. Therefore, the compound in which R 3 is a glycidyl group in the general formula (VI) can also be classified into the compound (δ). Specific examples of such a compound (δ) include diallyl monoglycidyl isocyanurate.
ヒドロシリル化反応による化合物(A)の合成における出発物質として、化合物(ε):1分子中に、ヒドロシリル化反応に関与する官能基を1個のみ有する化合物(ただし、化合物(α)および化合物(γ)を除く)を用いてもよい。ヒドロシリル化反応に関与する官能基とは、SiH基、またはアルケニル基である。ヒドロシリル化反応に関与する官能基を1つのみ含む化合物を用いることにより、化合物(A)の末端に特定の官能基を導入できる。 As a starting material in the synthesis of compound (A) by the hydrosilylation reaction, compound (ε): a compound having only one functional group involved in the hydrosilylation reaction in one molecule (however, compound (α) and compound (γ) ) May be used. The functional group involved in the hydrosilylation reaction is a SiH group or an alkenyl group. By using a compound containing only one functional group involved in the hydrosilylation reaction, a specific functional group can be introduced at the end of the compound (A).
例えば、化合物(ε)として1つのSiH基を有するシロキサン化合物を用いることにより、化合物(A)の末端にシロキサン構造部位を導入できる。1つのSiH基を有するシロキサン化合物の具体例としては、前述の一般式(III)においてm=1である環状ポリシロキサン化合物、前述の一般式(IV)においてR10〜R17のうち1つが水素原子である多面体ポリシロキサン化合物、前述の一般式(V)においてR18〜R41のうち1つが水素原子であるシリル化ケイ酸化合物等が挙げられる。1つのSiH基を有するシロキサン化合物は、鎖状シロキサン化合物でもよい。 For example, by using a siloxane compound having one SiH group as the compound (ε), a siloxane structural site can be introduced at the end of the compound (A). Specific examples of the siloxane compound having one SiH group include a cyclic polysiloxane compound having m = 1 in the above-mentioned general formula (III), and one of R 10 to R 17 in the above-mentioned general formula (IV) being hydrogen. Examples thereof include a polyhedron polysiloxane compound which is an atom, a silylated silicic acid compound in which one of R 18 to R 41 in the above general formula (V) is a hydrogen atom, and the like. The siloxane compound having one SiH group may be a chain siloxane compound.
化合物(ε)として、1つのアルケニル基を含む基を1つ有する化合物を用いることにより、化合物(A)の末端に所望の官能基を導入できる。 By using a compound having one group containing one alkenyl group as the compound (ε), a desired functional group can be introduced into the terminal of the compound (A).
上記の他に、2個以上のSiH基を有する鎖状ポリシロキサン等のヒドロシリル化反応に関与する化合物を、出発物質に含めてもよい。 In addition to the above, compounds involved in the hydrosilylation reaction, such as chain polysiloxane having two or more SiH groups, may be included in the starting material.
上記の例では、アルケニル基とアルカリ可溶性官能基とを有する化合物(α)、およびアルケニル基とカチオン重合性官能基とを有する化合物を用いることにより、複数のSiH基を有する環状ポリシロキサン化合物(β)にアルカリ可溶性基とカチオン重合性官能基が導入される。化合物(α)に代えてアルカリ可溶性官能基とSiH基と含む化合物を用いてもよく、化合物(γ)に代えてカチオン重合性官能基とSiH基とを含む化合物を用いてもよい。この場合、アルケニル基を有する環状ポリシロキサン化合物を用いることにより、環状ポリシロキサン化合物に、カチオン重合性官能基および/またはアルカリ可溶性官能基を導入できる。環状ポリシロキサン化合物として、複数のアルケニル基を有する化合物を用いてもよい。 In the above example, by using a compound (α) having an alkenyl group and an alkali-soluble functional group and a compound having an alkenyl group and a cationically polymerizable functional group, a cyclic polysiloxane compound having a plurality of SiH groups (β). ) Introduces an alkali-soluble group and a cationically polymerizable functional group. A compound containing an alkali-soluble functional group and a SiH group may be used instead of the compound (α), and a compound containing a cationically polymerizable functional group and a SiH group may be used instead of the compound (γ). In this case, by using a cyclic polysiloxane compound having an alkenyl group, a cationically polymerizable functional group and / or an alkali-soluble functional group can be introduced into the cyclic polysiloxane compound. As the cyclic polysiloxane compound, a compound having a plurality of alkenyl groups may be used.
アルケニル基を含有する環状シロキサン化合物としては、1,3,5,7−テトラビニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1−プロピル−3,5,7−トリビニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,5−ジビニル−3,7−ジヘキシル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,3,5−トリビニル−1,3,5−トリメチルシクロシロキサン、1,3,5,7,9−ペンタビニル−1,3,5,7,9−ペンタメチルシクロシロキサンおよび1,3,5,7,9,11−ヘキサビニル−1,3,5,7,9,11−ヘキサメチルシクロシロキサン等が挙げられる。アルケニル基を有する環状ポリシロキサン化合物は、耐熱性および耐光性の観点から、Si原子上に存在する有機基が、ビニル基またはメチル基であることが好ましい。 Examples of the cyclic siloxane compound containing an alkenyl group include 1,3,5,7-tetravinyl-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane, 1-propyl-3,5,7-trivinyl-1, 3,5,7-Tetramethylcyclotetrasiloxane, 1,5-divinyl-3,7-dihexyl-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane, 1,3,5-trivinyl-1,3, 5-trimethylcyclosiloxane, 1,3,5,7,9-pentavinyl-1,3,5,7,9-pentamethylcyclosiloxane and 1,3,5,7,9,11-hexavinyl-1,3 , 5, 7, 9, 11-hexamethylcyclosiloxane and the like. In the cyclic polysiloxane compound having an alkenyl group, the organic group existing on the Si atom is preferably a vinyl group or a methyl group from the viewpoint of heat resistance and light resistance.
(ヒドロシリル化反応)
ヒドロシリル化反応の順序および方法は特に限定されない。例えば、国際公開第2009/075233号に記載の方法に準じたヒドロシリル化反応により、化合物(A)が得られる。合成工程を簡便とする観点からは、全ての出発物質を1ポットに仕込んでヒドロシリル化反応を行い、最後に未反応の化合物を除去する方法が好ましい。一方、低分子量体の生成を抑制する観点からは、環状ポリシロキサン化合物へのアルカリ可溶性官能基の導入とカチオン重合性官能基の導入とを段階的に実施することが好ましい。例えば、複数のアルケニル基を含む化合物(例えば化合物(α)および/または化合物(δ))と複数のSiH基を含む化合物(例えば化合物(β))とを、一方を過剰量としてヒドロシリル化反応を行い、未反応の化合物を除去後に、1分子中にヒドロシリル化反応に関与する官能基を1個のみ有する化合物(例えば化合物(γ)および/または化合物(ε)添加してヒドロシリル化反応を行う方法が好ましい。
(Hydrosilylation reaction)
The order and method of the hydrosilylation reaction are not particularly limited. For example, compound (A) is obtained by a hydrosilylation reaction according to the method described in International Publication No. 2009/075233. From the viewpoint of simplifying the synthesis step, it is preferable to charge all the starting materials in one pot, carry out a hydrosilylation reaction, and finally remove the unreacted compound. On the other hand, from the viewpoint of suppressing the formation of low molecular weight compounds, it is preferable to carry out the introduction of the alkali-soluble functional group and the cationically polymerizable functional group into the cyclic polysiloxane compound in a stepwise manner. For example, a hydrosilylation reaction is carried out using a compound containing a plurality of alkenyl groups (for example, compound (α) and / or compound (δ)) and a compound containing a plurality of SiH groups (for example, compound (β)) in excess of one of them. After removing the unreacted compound, a compound having only one functional group involved in the hydrosilylation reaction (for example, compound (γ) and / or compound (ε)) is added to carry out the hydrosilylation reaction. Is preferable.
ヒドロシリル化反応における各化合物の割合は特に限定されないが、出発物質のアルケニル基の総量AとSiH基の総量をBとが、1≦B/A≦30を満たすことが好ましく、1≦B/A≦10を満たすことがより好ましい。B/Aが1以上であれば、未反応のアルケニル基が残存し難く、B/Aが30以下であれば、未反応のSiH基が残存しにくいため、硬化膜の特性を向上できる。 The ratio of each compound in the hydrosilylation reaction is not particularly limited, but it is preferable that the total amount of alkenyl groups A and the total amount of SiH groups of the starting material B satisfies 1 ≦ B / A ≦ 30 and 1 ≦ B / A. It is more preferable to satisfy ≦ 10. If the B / A is 1 or more, unreacted alkenyl groups are unlikely to remain, and if the B / A is 30 or less, unreacted SiH groups are unlikely to remain, so that the characteristics of the cured film can be improved.
ヒドロシリル化反応には、塩化白金酸、白金−オレフィン錯体、白金−ビニルシロキサン錯体等のヒドロシリル化触媒を用いてもよい。ヒドロシリル化触媒と助触媒とを併用してもよい。ヒドロシリル化触媒の添加量は特に限定されないが、出発物質に含まれるアルケニル基の総量(モル数)に対して、好ましくは10-8〜10-1倍、より好ましくは10-6〜10-2倍である。 A hydrosilylation catalyst such as chloroplatinic acid, a platinum-olefin complex, or a platinum-vinylsiloxane complex may be used for the hydrosilylation reaction. A hydrosilylation catalyst and a co-catalyst may be used in combination. The amount of the hydrosilylation catalyst added is not particularly limited, but is preferably 10-8 to 10-1 times, more preferably 10-6 to 10-2, based on the total amount (number of moles) of alkenyl groups contained in the starting material. It is double.
ヒドロシリル化の反応温度は適宜に設定すればよく、好ましくは30〜200℃、より好ましくは50〜150℃である。ヒドロシリル化反応における気相部の酸素体積濃度は3%以下が好ましい。酸素添加によるヒドロシリル化反応促進の観点からは、気相部には、0.1〜3体積%程度の酸素が含まれていてもよい。 The reaction temperature for hydrosilylation may be appropriately set, preferably 30 to 200 ° C, more preferably 50 to 150 ° C. The oxygen volume concentration in the gas phase portion in the hydrosilylation reaction is preferably 3% or less. From the viewpoint of promoting the hydrosilylation reaction by adding oxygen, the gas phase portion may contain about 0.1 to 3% by volume of oxygen.
ヒドロシリル化反応には、溶媒を使用してもよい。溶媒としては、ベンゼン、トルエン、ヘキサンおよびヘプタン等の炭化水素系溶媒;テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、1,3−ジオキソランおよびジエチルエーテル等のエーテル系溶媒;アセトンおよびメチルエチルケトン等のケトン系溶媒;クロロホルム、塩化メチレンおよび1,2−ジクロロエタン等のハロゲン系溶媒等が挙げられる。反応後の留去が容易であることから、トルエン、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、1,3−ジオキソランまたはクロロホルムが好ましい。ヒドロシリル化反応においては、必要に応じて、ゲル化抑制剤を用いてもよい。 A solvent may be used for the hydrosilylation reaction. As the solvent, hydrocarbon solvents such as benzene, toluene, hexane and heptane; ether solvents such as tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, 1,3-dioxolane and diethyl ether; ketone solvents such as acetone and methyl ethyl ketone; chloroform. , Halogen-based solvents such as methylene chloride and 1,2-dichloroethane and the like. Toluene, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, 1,3-dioxolane or chloroform is preferable because it is easy to distill off after the reaction. In the hydrosilylation reaction, a gelation inhibitor may be used if necessary.
(化合物(A)の好ましい態様)
化合物(A)は、好ましくはカチオン重合性官能基として脂環式エポキシ基またはオキセタニル基を有する。化合物(A)は、カチオン重合性官能基としての脂環式エポキシ基またはオキセタニル基に加えて、グリシジル基を有することが更に好ましい。化合物(A)がグリシジル基を有する場合に、化合物(A)への白色フィラーの分散性が向上し、未硬化の塗膜がアルカリ現像液に均一に溶解しやすくなる。脂環式エポキシ基は、1分子中にビニル基と脂環式エポキシ基とを有する化合物(γ)を出発物質として化合物(A)に導入されることが好ましい。オキセタニル基は、1分子中にビニル基とオキセタニル基とを有する化合物(γ)を出発物質として化合物(A)に導入されることが好ましい。グリシジル基は、一般式(VI)で表されるイソシアヌル酸誘導体(R3がグリシジル基であるもの)を出発物質として化合物(A)に導入されることが好ましい。
(Preferable embodiment of compound (A))
Compound (A) preferably has an alicyclic epoxy group or an oxetanyl group as a cationically polymerizable functional group. Compound (A) more preferably has a glycidyl group in addition to an alicyclic epoxy group or an oxetanyl group as a cationically polymerizable functional group. When the compound (A) has a glycidyl group, the dispersibility of the white filler in the compound (A) is improved, and the uncured coating film is easily dissolved uniformly in the alkaline developer. The alicyclic epoxy group is preferably introduced into the compound (A) using a compound (γ) having a vinyl group and an alicyclic epoxy group in one molecule as a starting material. The oxetanyl group is preferably introduced into the compound (A) using a compound (γ) having a vinyl group and an oxetanyl group in one molecule as a starting material. The glycidyl group is preferably introduced into the compound (A) using an isocyanuric acid derivative represented by the general formula (VI) (one in which R 3 is a glycidyl group) as a starting material.
化合物(A)はアルカリ可溶性基を有していることが好ましい。アルカリ可溶性基の中でも、前述の構造X1または構造X2が好ましい。前述のように、構造X1およびX2は、それぞれ、ジアリルイソシアヌル酸およびモノアリルイソシアヌル酸を出発物質(化合物(α))として化合物(A)に導入できる。 Compound (A) preferably has an alkali-soluble group. Among the alkali-soluble groups, the above-mentioned structure X1 or structure X2 is preferable. As described above, the structures X1 and X2 can be introduced into the compound (A) using diallyl isocyanuric acid and monoallyl isocyanuric acid as starting materials (compound (α)), respectively.
環状ポリシロキサンの環状構造は、2以上のSiH基を有する環状ポリシロキサンを出発物質(化合物(β))として化合物(A)に導入されることが好ましい。中でも、化合物(β)として1,3,5,7−テトラハイドロジェン−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサンを用いることが好ましい。 The cyclic structure of the cyclic polysiloxane is preferably introduced into the compound (A) using a cyclic polysiloxane having two or more SiH groups as a starting material (compound (β)). Above all, it is preferable to use 1,3,5,7-tetrahydrogen-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane as the compound (β).
<(B)光酸発生剤>
感光性組成物は、光酸発生剤(カチオン重合開始剤)を含有する。光酸発生剤は、活性エネルギー線の照射により、酸性活性物質が生成する化合物である。光酸発生剤から生成した酸により、カチオン重合性官能基が反応し、樹脂組成物が光硬化する。
<(B) Photoacid generator>
The photosensitive composition contains a photoacid generator (cationic polymerization initiator). A photoacid generator is a compound in which an acidic active substance is produced by irradiation with active energy rays. The acid generated from the photoacid generator reacts with the cationically polymerizable functional group, and the resin composition is photocured.
光酸発生剤としては、スルホネートエステル類、カルボン酸エステル類、オニウム塩類等の公知の光酸発生剤を適用可能であり、オニウム塩類が特に好ましい。 As the photoacid generator, known photoacid generators such as sulfonate esters, carboxylic acid esters, and onium salts can be applied, and onium salts are particularly preferable.
オニウム塩としては、テトラフルオロボレート(BF4 -)、ヘキサフルオロホスフェート(PF6 -)、ヘキサフルオロアンチモネート(SbF6 -)、ヘキサフルオロアルセネート(AsF6 -)、ヘキサクロルアンチモネート(SbCl6 -)、テトラフェニルボレート、テトラキス(トリフルオロメチルフェニル)ボレート、テトラキス(ペンタフルオロメチルフェニル)ボレート、フルオロアルキルフルオロホスフェート、過塩素酸イオン(ClO4 -)、トリフルオロメタンスルホン酸イオン(CF3SO3 -)、フルオロスルホン酸イオン(FSO3 -)、トルエンスルホン酸イオン、トリニトロベンゼンスルホン酸アニオンおよびトリニトロトルエンスルホン酸アニオン等のアニオンを有するスルホニウム塩およびヨードニウム塩が挙げられる。光酸発生剤は、ヨードニウム塩であることが好ましく、芳香族系ヨードニウム塩が特に好ましい。 The onium salt, tetrafluoroborate (BF 4 -), hexafluorophosphate (PF 6 -), hexafluoroantimonate (SbF 6 -), hexafluoroarsenate (AsF 6 -), hexa-chloro antimonate (SbCl 6 -), tetraphenylborate, tetrakis (trifluoromethylphenyl) borate, tetrakis (pentafluorophenyl methylphenyl) borate, fluoroalkyl fluorophosphate, perchlorate ion (ClO 4 -), trifluoromethanesulfonate ion (CF 3 SO 3 -), fluorosulfonic acid ion (FSO 3 -), toluenesulfonic acid ion, sulfonium salts and iodonium salts having an anion such as trinitrobenzene sulfonate anion and trinitrotoluene sulfonate anion. The photoacid generator is preferably an iodonium salt, and an aromatic iodonium salt is particularly preferable.
光酸発生剤における陰イオンを酸強度が強いものから順に並べるとSbF6 -、B(C6F5)4 -、PF6 -、CF3SO3 -、HSO4 -となる。光酸発生剤の陰イオンの酸強度が強いものほど、残膜率が高くなる傾向にある。光酸発生剤から発生する酸のpKaは、好ましくは3未満、さらに好ましくは1未満である。 SbF 6 Arranging anions in the photoacid generator from those acid strength is strong in the order -, B (C 6 F 5 ) 4 -, PF 6 -, CF 3 SO 3 -, HSO 4 - and becomes. The stronger the acid strength of the anion of the photoacid generator, the higher the residual film ratio tends to be. The pKa of the acid generated from the photoacid generator is preferably less than 3, more preferably less than 1.
感光性組成物における光酸発生剤の含有量は、特に制限はない。硬化速度および硬化物の物性バランスの観点から、光酸発生材の含有量は、化合物(A)100重量部に対して0.1〜20重量部が好ましく、0.5〜10重量部がさらに好ましい。 The content of the photoacid generator in the photosensitive composition is not particularly limited. From the viewpoint of the curing rate and the balance of physical properties of the cured product, the content of the photoacid generator is preferably 0.1 to 20 parts by weight, more preferably 0.5 to 10 parts by weight, based on 100 parts by weight of the compound (A). preferable.
<(C)白色フィラー>
本発明の感光性組成物は白色フィラーを含有する。白色フィラーを含有することにより、着色硬化膜が得られる。白色フィラーとしては、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛、酸化セリウム、硫酸バリウム、鉛白、硫化亜鉛、チタン酸カリウム、チタン酸亜鉛、酸化アンチモン、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、ダイヤモンド粉末等が挙げられる。可視光域及び近赤外域において高反射率を得たい場合には、酸化チタンまたは酸化ジルコニウムまたは酸化アルミニウムが好ましい。紫外域において高反射率を得たい場合には、酸化ジルコニウムが好ましい。光反射に加えて放熱性を付与したい場合には、窒化アルミニウムまたは酸化アルミニウムが好ましい。
<(C) White filler>
The photosensitive composition of the present invention contains a white filler. By containing the white filler, a colored cured film can be obtained. White fillers include titanium oxide, zirconium oxide, zinc oxide, cerium oxide, barium sulfate, lead white, zinc sulfide, potassium titanate, zinc titanate, antimony oxide, silicon oxide, aluminum oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, Examples thereof include boron nitride, aluminum nitride, and diamond powder. Titanium oxide, zirconium oxide, or aluminum oxide is preferable when high reflectance is desired in the visible light region and the near infrared region. Zirconium oxide is preferable when high reflectance is desired in the ultraviolet region. Aluminum nitride or aluminum oxide is preferable when it is desired to impart heat dissipation in addition to light reflection.
白色フィラーの平均粒子径の下限は、30nmが好ましく、50nmが好ましく、100nmがより好ましい。近赤外域の光を効率的に反射したい場合には、平均粒子径の下限は600nm以上である事が好ましい。一方、白色フィラーの平均粒子径の上限は、5000nmが好ましく、3000nmがより好ましく、2000nmがさらに好ましい。白色フィラーの平均粒子径が上記範囲であることで、良好な分散性及び光散乱性等を発揮でき、その結果、パターニング性及び光反射性を高めることができる。 The lower limit of the average particle size of the white filler is preferably 30 nm, preferably 50 nm, and more preferably 100 nm. When it is desired to efficiently reflect light in the near infrared region, the lower limit of the average particle size is preferably 600 nm or more. On the other hand, the upper limit of the average particle size of the white filler is preferably 5000 nm, more preferably 3000 nm, and even more preferably 2000 nm. When the average particle size of the white filler is in the above range, good dispersibility, light scattering, and the like can be exhibited, and as a result, patterning property and light reflectivity can be improved.
反射膜を得るために、感光性組成物における全固形分中の白色フィラーの含有割合は5重量%以上であることが好ましい。本発明においては、感光性組成物のバインダー樹脂成分として上記の化合物(A)を用いることにより、白色フィラーの含有量を高めた場合でも、十分な分散性を有する。そのため、本発明の感光性組成物は、塗膜形成性およびアルカリ現像によるパターニング性に優れている。 In order to obtain a reflective film, the content ratio of the white filler in the total solid content of the photosensitive composition is preferably 5% by weight or more. In the present invention, by using the above compound (A) as the binder resin component of the photosensitive composition, even when the content of the white filler is increased, it has sufficient dispersibility. Therefore, the photosensitive composition of the present invention is excellent in coating film forming property and patterning property by alkaline development.
白色フィラーの含有割合は、白色フィラーの種類、反射膜の反射率やパターニング性等に応じて調整すればよい。白色フィラーの含有量は、感光性組成物の固形分全量に対して、7〜90重量%が好ましく、10〜85重量%がより好ましく、12〜80重量%がさらに好ましい。白色フィラーの含有量が小さいと、光反射性が不充分になる場合がある。白色フィラーの含有量が過度に大きいと、着色剤の分散性が低下し、塗膜の形成性やアルカリ現像によるパターニング性が低下する場合がある。白色フィラーの分散性と光反射性とを両立し、かつ硬化膜の耐熱性を高める観点から、感光性組成物における白色フィラーの含有量は、化合物(A)100重量部に対して、8〜500重量部が好ましく、10〜400重量部がより好ましく、13〜300重量部がさらに好ましい。 The content ratio of the white filler may be adjusted according to the type of the white filler, the reflectance of the reflective film, the patterning property, and the like. The content of the white filler is preferably 7 to 90% by weight, more preferably 10 to 85% by weight, still more preferably 12 to 80% by weight, based on the total solid content of the photosensitive composition. If the content of the white filler is small, the light reflectivity may be insufficient. If the content of the white filler is excessively large, the dispersibility of the colorant may be lowered, and the formability of the coating film and the patterning property by alkaline development may be lowered. From the viewpoint of achieving both dispersibility and light reflectivity of the white filler and enhancing the heat resistance of the cured film, the content of the white filler in the photosensitive composition is 8 to 8 to 100 parts by weight of the compound (A). 500 parts by weight is preferable, 10 to 400 parts by weight is more preferable, and 13 to 300 parts by weight is further preferable.
<(D)反応性希釈剤>
本発明の感光性組成物は、反応性希釈剤を含んでいてもよい。組成物に反応性希釈剤を配合することにより、得られる硬化膜の硬化収縮の低減や、硬化膜の機械的強度の制御が可能である。また、反応性希釈剤を配合することにより、光カチオン重合の反応点(架橋点)が増加するため、露光時の硬化速度が高められ、露光時間を短縮できる。特に、着色膜や着色パターンの形成に用いられる感光性組成物は、白色フィラー(C)の含有量が大きいため、透明な膜を形成するための感光性組成物に比べて、架橋点密度が小さくなる傾向がある。そのため、反応性希釈剤の配合による光硬化速度の向上効果が顕著である。
<(D) Reactive diluent>
The photosensitive composition of the present invention may contain a reactive diluent. By adding a reactive diluent to the composition, it is possible to reduce the curing shrinkage of the obtained cured film and control the mechanical strength of the cured film. Further, by blending the reactive diluent, the reaction points (crosslink points) of the photocationic polymerization are increased, so that the curing speed at the time of exposure can be increased and the exposure time can be shortened. In particular, the photosensitive composition used for forming a colored film or a colored pattern has a large content of the white filler (C), and therefore has a higher crosslink point density than the photosensitive composition for forming a transparent film. It tends to be smaller. Therefore, the effect of improving the photocuring rate by blending the reactive diluent is remarkable.
光カチオン重合の反応性希釈剤としては、1分子中に2個以上のカチオン重合性官能基を有する化合物が用いられる。反応性希釈剤(D)のカチオン重合性官能基の例としては、前述の化合物(A)が有するカチオン重合性官能基として例示したものが挙げられる。反応性希釈剤(D)のカチオン重合性官能基は、化合物(A)のカチオン重合性官能基と同一でもよく、異なっていてもよい。カチオン重合反応性が高いことから、反応性希釈剤(D)は、カチオン重合性官能基として脂環式エポキシ基またはオキセタニル基を有することが好ましい。特に好ましい形態では、化合物(A)がカチオン重合性官能基として脂環式エポキシ基またはオキセタニル基を含有し、かつ反応性希釈剤(D)が1分子中に2個以上の脂環式エポキシ基またはオキセタニル基を有する。 As the reactive diluent for photocationic polymerization, a compound having two or more cationically polymerizable functional groups in one molecule is used. Examples of the cationically polymerizable functional group of the reactive diluent (D) include those exemplified as the cationically polymerizable functional group of the above-mentioned compound (A). The cationically polymerizable functional group of the reactive diluent (D) may be the same as or different from the cationically polymerizable functional group of the compound (A). Since the reactive diluent (D) has high cationic polymerization reactivity, it is preferable that the reactive diluent (D) has an alicyclic epoxy group or an oxetanyl group as the cationically polymerizable functional group. In a particularly preferred form, compound (A) contains an alicyclic epoxy group or oxetanyl group as a cationically polymerizable functional group, and the reactive diluent (D) contains two or more alicyclic epoxy groups in one molecule. Or it has an oxetanyl group.
1分子中に2個以上の脂環式エポキシ基を有する化合物としては、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3’,4’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート(ダイセル製「セロキサイド2021P」)、ε−カプロラクトン変性3’,4’−エポキシシクロヘキシルメチル3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート(ダイセル製「セロキサイド2081」)、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、下記式S1のエポキシ変性鎖状シロキサン化合物(信越化学製「X−40−2669」)、および下記式S2のエポキシ変性環状シロキサン化合物(信越化学製「KR−470」)等が挙げられる。 Examples of the compound having two or more alicyclic epoxy groups in one molecule include 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3', 4'-epoxycyclohexanecarboxylate (Dycel's "Ceroxide 2021P") and ε-caprolactone modification. 3', 4'-epoxycyclohexylmethyl 3,4-epoxycyclohexanecarboxylate (Dycel's "Ceroxide 2081"), bis (3,4-epoxycyclohexylmethyl) adipate, epoxy-modified chain siloxane compound of the following formula S1 (Shinetsu) Chemical "X-40-2669"), an epoxy-modified cyclic siloxane compound of the following formula S2 ("KR-470" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and the like can be mentioned.
1分子中に2個以上のオキセタニル基を有する化合物としては、キシリレンビスオキセタン(東亞合成製「OXT−121」)、3−エチル−3{[(3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ]メチル}オキセタン(東亞合成製「OXT−221」)、下記式S3のオキセタニル変性鎖状シロキサン化合物、及び下記式S4のオキセタニル変性鎖状シロキサン化合物等が挙げられる。 Examples of the compound having two or more oxetane groups in one molecule include xylylene bisoxetane (“OXT-121” manufactured by Toa Synthetic), 3-ethyl-3 {[(3-ethyloxetane-3-yl) methoxy]. Examples thereof include methyl} oxetane (“OXT-221” manufactured by Toa Synthetic Co., Ltd.), an oxetanyl-modified chain siloxane compound of the following formula S3, and an oxetanyl-modified chain siloxane compound of the following formula S4.
中でも、反応性希釈剤として、1分子中に3個以上の脂環式エポキシ基またはオキセタニル基を有する化合物を配合した場合に、硬化速度の向上効果が顕著となる傾向がある。また、上記の式S2及びS4の化合物のように環状ポリシロキサン骨格を有する反応性希釈剤は、組成物中の含有量を増加させた場合でも、化合物(A)の高耐熱性および低誘電性を維持できるため好ましい。 Above all, when a compound having three or more alicyclic epoxy groups or oxetanyl groups in one molecule is blended as the reactive diluent, the effect of improving the curing rate tends to be remarkable. Further, the reactive diluent having a cyclic polysiloxane skeleton like the compounds of the above formulas S2 and S4 has high heat resistance and low dielectric property of the compound (A) even when the content in the composition is increased. It is preferable because it can maintain.
感光性組成物における反応性希釈剤の含有量は、特に制限はないが、感光性組成物の硬化速度向上と硬化物の物性バランスとを両立する観点から、感光性組成物の固形分全量に対して、1〜75重量%が好ましく、3〜60重量%がより好ましく、5〜50重量%がさらに好ましい。反応希釈剤の含有量は、化合物(A)100重量部に対して、10〜150重量部が好ましく、15〜100重量部がより好ましく、20〜70重量部がさらに好ましい。 The content of the reactive diluent in the photosensitive composition is not particularly limited, but from the viewpoint of achieving both an improvement in the curing rate of the photosensitive composition and a physical balance of the cured product, the total solid content of the photosensitive composition is used. On the other hand, 1 to 75% by weight is preferable, 3 to 60% by weight is more preferable, and 5 to 50% by weight is further preferable. The content of the reaction diluent is preferably 10 to 150 parts by weight, more preferably 15 to 100 parts by weight, still more preferably 20 to 70 parts by weight, based on 100 parts by weight of the compound (A).
<(E)増感剤>
本発明の感光性組成物は、増感剤を含んでいてもよい。増感剤を用いることにより、パターニング時の露光感度が向上する。増感剤としては、アントラセン系増感剤が好ましい。アントラセン系化合物の具体例としては、アントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジメチルアントラセン、9,10−ジブトキシアントラセン(DBA)、9,10−ジプロポキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、1,4−ジメトキシアントラセン、9−メチルアントラセン、2−エチルアントラセン、2−tert−ブチルアントラセン、2,6−ジ−tert−ブチルアントラセン、9,10−ジフェニル−2,6−ジ−tert−ブチルアントラセン等が挙げられる。中でも、感光性組成物との相溶性の観点から、9,10−ジブトキシアントラセン、9,10−ジプロポキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン等が好ましい。
<(E) Sensitizer>
The photosensitive composition of the present invention may contain a sensitizer. By using a sensitizer, the exposure sensitivity during patterning is improved. As the sensitizer, an anthracene-based sensitizer is preferable. Specific examples of anthracene compounds include anthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-dimethylanthracene, 9,10-dibutoxyanthracene (DBA), 9,10-dipropoxyanthracene, 9, 10-Diethoxyanthracene, 1,4-dimethoxyanthracene, 9-methylanthracene, 2-ethylanthracene, 2-tert-butyl anthracene, 2,6-di-tert-butyl anthracene, 9,10-diphenyl-2,6 -Di-tert-butyl anthracene and the like can be mentioned. Of these, 9,10-dibutoxyanthracene, 9,10-dipropoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene and the like are preferable from the viewpoint of compatibility with the photosensitive composition.
感光性組成物における増感剤の含有量は、特に制限はないが、硬化性および硬化物の物性バランスの観点から、化合物(A)100重量部に対して0.01〜20重量部が好ましく、0.1〜15重量部がさらに好ましい。増感剤の量が少ないと、感度向上効果が十分に得られない場合がある。増感剤の量が多いと、薄膜から発生するアウトガスの増加や耐光性の低下を生じる場合がある。 The content of the sensitizer in the photosensitive composition is not particularly limited, but is preferably 0.01 to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the compound (A) from the viewpoint of curability and physical property balance of the cured product. , 0.1 to 15 parts by weight is more preferable. If the amount of the sensitizer is small, the effect of improving the sensitivity may not be sufficiently obtained. If the amount of the sensitizer is large, the outgas generated from the thin film may increase and the light resistance may decrease.
<溶剤>
上記の成分(A)〜(C)、ならびに必要に応じて成分(D)および(E)を、溶剤中に溶解または分散させることにより、感光性組成物が得られる。感光性組成物は、各成分を製膜直前に混合調製してもよく、全成分を予め混合調製した一液の状態で貯蔵しておいてもよい。
<Solvent>
A photosensitive composition is obtained by dissolving or dispersing the above components (A) to (C) and, if necessary, the components (D) and (E) in a solvent. The photosensitive composition may be prepared by mixing each component immediately before film formation, or may be stored in a one-component state in which all the components are mixed and prepared in advance.
溶剤は化合物(A)を溶解可能であればよく、具体的には、ベンゼン、トルエン、ヘキサンおよびヘプタン等の炭化水素系溶媒;テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、1,3−ジオキソランおよびジエチルエーテル等のエーテル系溶媒;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンおよびシクロヘキサノン等のケトン系溶媒;プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート(PGMEA)、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテルおよびエチレングリコールジエチルエーテル等のグリコール系溶剤;クロロホルム、塩化メチレンおよび1,2−ジクロロエタン等のハロゲン系溶剤等が挙げられる。製膜安定性の観点から、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテートおよびジエチレングリコールジメチルエーテルが好ましい。 The solvent may be any solvent as long as it can dissolve the compound (A), and specifically, a hydrocarbon solvent such as benzene, toluene, hexane and heptane; tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, 1,3-dioxolane, diethyl ether and the like. Ether solvents; ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; glycols such as propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate (PGMEA), diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether and ethylene glycol diethyl ether. Solvents: Halogen solvents such as chloroform, methylene chloride and 1,2-dichloroethane can be mentioned. From the viewpoint of film formation stability, propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and diethylene glycol dimethyl ether are preferable.
溶剤の使用量は適宜設定され得る。感光性組成物の固形分1gに対する溶剤の好ましい使用量は0.1〜10mLである。溶剤の使用量が少ないと、低粘度化等の溶媒を用いることの効果が得られにくい場合がある。溶剤の使用量が多いと、製膜均一性が悪化する場合がある。 The amount of solvent used can be set as appropriate. The preferable amount of the solvent used per 1 g of the solid content of the photosensitive composition is 0.1 to 10 mL. If the amount of the solvent used is small, it may be difficult to obtain the effect of using the solvent such as lowering the viscosity. If the amount of the solvent used is large, the film forming uniformity may deteriorate.
<その他の成分>
本発明の感光性組成物は、上記(A)〜(E)以外の樹脂成分や添加剤等を含有していてもよい。
<Other ingredients>
The photosensitive composition of the present invention may contain resin components, additives and the like other than the above (A) to (E).
(高分子分散剤)
組成物中での無機フィラーの分散性を向上させるために、高分子分散剤を用いてもよい。高分子分散剤は、無機フィラーへの親和性の点から、酸性官能基または塩基性官能基を有する化合物が好ましい。酸性官能基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基が挙げられ、カルボキシル基が好ましい。高分子分散剤の酸価としては10〜100mgKOH/gが好ましい。塩基性官能基としては、アミノ基、ピペリジル基、ピリジル基、イミダゾール基、グアニジン基、アミジノ基等が挙げられ、アミノ基が好ましい。高分子分散剤としては、ウレタン系、ポリイミド系、アルキッド系、エポキシ系、不飽和ポリエステル系、メラミン系、フェノール系、アクリル系、塩化ビニル系、塩化ビニル酢酸ビニル系共重合体系、ポリアミド系、ポリカーボネート系等の化合物が挙げられる。中でも特にアクリル系、ポリエステル系の化合物が好ましい。高分子分散剤の使用量は、無機フィラー100重量部に対して5〜80重量部が好ましく、10〜65重量部が特に好ましい。
(Polymer dispersant)
A polymer dispersant may be used to improve the dispersibility of the inorganic filler in the composition. The polymer dispersant is preferably a compound having an acidic functional group or a basic functional group from the viewpoint of affinity for the inorganic filler. Examples of the acidic functional group include a carboxyl group, a sulfo group and a phosphoric acid group, and a carboxyl group is preferable. The acid value of the polymer dispersant is preferably 10 to 100 mgKOH / g. Examples of the basic functional group include an amino group, a piperidyl group, a pyridyl group, an imidazole group, a guanidine group, an amidino group and the like, and an amino group is preferable. Polymer dispersants include urethane, polyimide, alkyd, epoxy, unsaturated polyester, melamine, phenol, acrylic, vinyl chloride, vinyl chloride, vinyl acetate copolymer, polyamide, and polycarbonate. Examples include compounds such as systems. Of these, acrylic and polyester compounds are particularly preferable. The amount of the polymer dispersant used is preferably 5 to 80 parts by weight, particularly preferably 10 to 65 parts by weight, based on 100 parts by weight of the inorganic filler.
(熱可塑性樹脂)
感光性組成物の特性を改質する等の目的で、感光性組成物に種々の熱可塑性樹脂を添加することも可能である。熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂シクロオレフィン系樹脂、オレフィン−マレイミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、天然ゴムおよびEPDM等のゴム状樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂は、エポキシ基、アミノ基、ラジカル重合性不飽和基、カルボキシル基、イソシアネート基、ヒドロキシル基およびアルコキシシリル基等の架橋性基を有していてもよい。
(Thermoplastic resin)
It is also possible to add various thermoplastic resins to the photosensitive composition for the purpose of modifying the properties of the photosensitive composition. Examples of the thermoplastic resin include acrylic resin, polycarbonate resin cycloolefin resin, olefin-maleimide resin, polyester resin, polyether sulfone resin, polyarylate resin, polyvinyl acetal resin, polyethylene resin, polypropylene resin, and polystyrene. Examples thereof include resin, polyamide resin, silicone resin, fluororesin, natural rubber and rubber-like resin such as EPDM. The thermoplastic resin may have a crosslinkable group such as an epoxy group, an amino group, a radically polymerizable unsaturated group, a carboxyl group, an isocyanate group, a hydroxyl group and an alkoxysilyl group.
(充填材)
感光性組成物は必要に応じて充填材を含んでいてもよい。充填材としては、銀粉、ガラス繊維、炭素繊維、マイカ、カーボンブラック、グラファイト、クレー、タルク等が挙げられる。
(Filler)
The photosensitive composition may contain a filler, if necessary. Examples of the filler include silver powder, glass fiber, carbon fiber, mica, carbon black, graphite, clay, talc and the like.
(酸捕捉剤)
感光性組成物は必要に応じて酸捕捉剤を含んでも良い。酸捕捉剤は、酸発生剤から発生した酸を補足することで、感光性組成物により形成される膜の露光部から未露光部に向けての酸の拡散を抑制することで、膜の露光部と未露光部の現像液に対する溶解性の差を大きくする。
(Acid scavenger)
The photosensitive composition may contain an acid scavenger, if necessary. The acid trapping agent captures the acid generated from the acid generator to suppress the diffusion of the acid from the exposed portion to the unexposed portion of the film formed by the photosensitive composition, thereby exposing the film. Increase the difference in solubility of the unexposed area and the unexposed area in the developer.
酸捕捉剤としては、アミノ基含有化合物、アミド基含有化合物、ウレア化合物、含窒素複素環化合物等の含窒素化合物などが挙げられる。 Examples of the acid trapping agent include nitrogen-containing compounds such as amino group-containing compounds, amide group-containing compounds, urea compounds, and nitrogen-containing heterocyclic compounds.
(添加剤)
感光性組成物は、上記の他に、接着性改良剤、カップリング剤(シランカップリング剤等)、劣化防止剤、ラジカル禁止剤、離型剤、難燃剤、難燃助剤、界面活性剤、消泡剤、乳化剤、レベリング剤、はじき防止剤、イオントラップ剤(アンチモン−ビスマス等)、チクソ性付与剤、粘着性付与剤、保存安定改良剤、オゾン劣化防止剤、光安定剤、増粘剤、可塑剤、反応性希釈剤、酸化防止剤、熱安定化剤、導電性付与剤、帯電防止剤、放射線遮断剤、核剤、リン系過酸化物分解剤、滑剤、顔料、金属不活性化剤、熱伝導性付与剤および物性調整剤等を、本発明の目的および効果を損なわない範囲において含有していてもよい。
(Additive)
In addition to the above, the photosensitive composition includes an adhesive improver, a coupling agent (silane coupling agent, etc.), a deterioration inhibitor, a radical inhibitor, a mold release agent, a flame retardant, a flame retardant aid, and a surfactant. , Antifoaming agent, Emulsifier, Leveling agent, Repellent inhibitor, Ion trapping agent (Antimon-bismus, etc.), Tixogenic agent, Adhesive agent, Storage stability improver, Ozone deterioration inhibitor, Light stabilizer, Thickening agent Agents, plasticizers, reactive diluents, antioxidants, heat stabilizers, conductivity-imparting agents, antistatic agents, radiation blockers, nucleating agents, phosphorus-based peroxide decomposing agents, lubricants, pigments, metal inerts An agent, a heat conductivity imparting agent, a physical property adjusting agent and the like may be contained within a range that does not impair the object and effect of the present invention.
〔製膜および白色反射パターンの形成〕
上記感光性組成物は、カチオン重合性官能基を有する化合物(A)、および光酸発生剤を含有するため、塗布、プリベイク(溶剤の乾燥除去)および露光により白色硬化膜を形成できる。硬化膜は、光反射性および耐熱性に優れる。化合物(A)がアルカリ可溶性官能基を有する場合、上記感光性組成物はネガ型感光性組成物として適用可能である。ネガ型感光性組成物は、塗布、プリベイク、露光、アルカリ現像工程によってパターニングが可能であり、その後ポストベイクすることにより、白色パターンを形成できる。
[Film formation and formation of white reflection pattern]
Since the photosensitive composition contains the compound (A) having a cationically polymerizable functional group and a photoacid generator, a white cured film can be formed by coating, prebaking (dry removal of solvent) and exposure. The cured film has excellent light reflectivity and heat resistance. When the compound (A) has an alkali-soluble functional group, the photosensitive composition can be applied as a negative photosensitive composition. The negative photosensitive composition can be patterned by coating, prebaking, exposure, and alkaline development steps, and then post-baked to form a white pattern.
感光性組成物を各種基材上に塗布する方法は、均一に塗布が可能である方法であれば特に限定されず、スピンコーティング、スリットコーティング、スクリーニング印刷、スプレーコーティング等の一般的なコーティング法を使用できる。露光前に、溶剤乾燥の目的での加熱(プリベイク)を行ってもよい。加熱温度は適宜設定され得るが、好ましくは60〜200℃、より好ましくは80〜150℃である。さらに、露光前に真空脱揮を行ってもよい。真空脱揮は加熱と同時に行われてもよい。 The method of applying the photosensitive composition onto various substrates is not particularly limited as long as it can be applied uniformly, and general coating methods such as spin coating, slit coating, screening printing, and spray coating can be used. Can be used. Prior to exposure, heating (pre-baking) may be performed for the purpose of solvent drying. The heating temperature can be set as appropriate, but is preferably 60 to 200 ° C, more preferably 80 to 150 ° C. Further, vacuum devolatile may be performed before exposure. Vacuum volatilization may be performed at the same time as heating.
露光の光源は、感光性組成物に含まれる光酸発生剤および増感剤の吸収波長に応じて選択すればよい。通常は、200〜450nmの範囲の波長を含む光源(例えば、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、ハイパワーメタルハライドランプ、キセノンランプ、カーボンアークランプまたは発光ダイオード等)が用いられる。 The light source for exposure may be selected according to the absorption wavelength of the photoacid generator and the sensitizer contained in the photosensitive composition. Usually, a light source having a wavelength in the range of 200 to 450 nm (for example, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a high-power metal halide lamp, a xenon lamp, a carbon arc lamp, a light emitting diode, etc.) is used.
露光量は特に制限されないが、好ましくは10〜50000mJ/cm2、より好ましくは50〜30000mJ/cm2である。露光量が過度に少ないと硬化が不十分となりパターン形成性が低下する場合があり、露光量が過度に多いとタクトタイムの増大による製造コスト増加を招く場合がある。光反応を促進させる目的で、露光後、現像する前に熱を加えて、ポストエクスポージャーベイク(PEB)を行ってもよい。本発明の感光性組成物は光感度に優れるため、PEBを行わなくてもパターンの形成が可能であり、プロセス性に優れる。 The amount of exposure is not particularly limited, but is preferably 10 to 50,000 mJ / cm 2 , and more preferably 50,000 to 30,000 mJ / cm 2 . If the exposure amount is excessively small, curing may be insufficient and the pattern forming property may be lowered, and if the exposure amount is excessively large, the manufacturing cost may increase due to an increase in tact time. Post-exposure baking (PEB) may be performed by applying heat after exposure and before development for the purpose of accelerating the photoreaction. Since the photosensitive composition of the present invention has excellent photosensitivity, a pattern can be formed without performing PEB, and the processability is excellent.
露光後の塗膜の現像方法は特に限定されない。例えば、浸漬法またはスプレー法等により塗膜にアルカリ溶液を接触させ、未露光部を溶解および除去することにより所望のパターンを形成できる。アルカリ現像液は、一般に使用されるものを特に限定なく使用できる。アルカリ現像液の具体例としては、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)水溶液およびコリン水溶液等の有機アルカリ水溶液、水酸化カリウム水溶液、水酸化ナトリウム水溶液、炭酸カリウム水溶液、炭酸ナトリウム水溶液および炭酸リチウム水溶液等の無機アルカリ水溶液等が挙げられる。露光部と未露光部とのコントラストを高める観点から、アルカリ濃度は25重量%以下が好ましく、10重量%以下がより好ましく、5重量%以下がさらに好ましい。溶解速度の調整等を目的として、現像液はアルコールおよび界面活性剤等を含有していてもよい。 The method for developing the coating film after exposure is not particularly limited. For example, a desired pattern can be formed by bringing an alkaline solution into contact with the coating film by a dipping method, a spray method, or the like to dissolve and remove the unexposed portion. As the alkaline developer, generally used ones can be used without particular limitation. Specific examples of the alkaline developing solution include organic alkaline aqueous solutions such as tetramethylammonium hydroxide (TMAH) aqueous solution and choline aqueous solution, potassium hydroxide aqueous solution, sodium hydroxide aqueous solution, potassium carbonate aqueous solution, sodium carbonate aqueous solution and lithium carbonate aqueous solution. An inorganic alkaline aqueous solution and the like can be mentioned. From the viewpoint of increasing the contrast between the exposed portion and the unexposed portion, the alkali concentration is preferably 25% by weight or less, more preferably 10% by weight or less, still more preferably 5% by weight or less. The developer may contain alcohol, a surfactant and the like for the purpose of adjusting the dissolution rate and the like.
アルカリ現像後のポストベイク条件は適宜に設定され得る。ポストベイク温度は、好ましくは100〜400℃、より好ましくは120〜350℃である。 Post-baking conditions after alkaline development can be set as appropriate. The post-bake temperature is preferably 100-400 ° C, more preferably 120-350 ° C.
本発明の感光性組成物により形成される薄膜は、光反射性を有し、耐熱性に優れる。光反射性としては、薄膜の全光線反射率を指標とすることができる。薄膜の膜厚が2μmの場合の550nmにおける全光線反射率は50%以上が好ましく、60%以上がより好ましく、70%以上がさらに好ましい。上述のように、本発明の感光性組成物は、樹脂成分への無機フィラーの分散性に優れるため、上記の光遮蔽性を有するように多量の無機フィラーを含む場合でも、製膜性およびパターニング性に優れる。そのため、パターン精度が高く光反射性の高い着色パターンの形成が可能である。このような白色パターンは、表示素子の白色反射レジストや隔壁等に適用可能である。 The thin film formed by the photosensitive composition of the present invention has light reflectivity and is excellent in heat resistance. As the light reflectance, the total light reflectance of the thin film can be used as an index. When the film thickness of the thin film is 2 μm, the total light reflectance at 550 nm is preferably 50% or more, more preferably 60% or more, still more preferably 70% or more. As described above, since the photosensitive composition of the present invention is excellent in the dispersibility of the inorganic filler in the resin component, the film-forming property and the patterning property are formed even when a large amount of the inorganic filler is contained so as to have the above-mentioned light shielding property. Excellent in sex. Therefore, it is possible to form a colored pattern having high pattern accuracy and high light reflection. Such a white pattern can be applied to a white reflective resist, a partition wall, or the like of a display element.
表示素子の白色反射レジストや隔壁等の用途においては、電気信頼性向上の観点から、パターン材料が低誘電率であることが求められる場合がある。本発明の感光性組成物は、バインダー成分として環状シロキサン系化合物を用いているため、低誘電率化が可能である。このような用途に適用する硬化物の比誘電率は、4.0以下が好ましく、3.8以下がより好ましく、3.5以下がさらに好ましい。 In applications such as white reflective resists and partition walls of display elements, the pattern material may be required to have a low dielectric constant from the viewpoint of improving electrical reliability. Since the photosensitive composition of the present invention uses a cyclic siloxane compound as a binder component, it is possible to reduce the dielectric constant. The relative permittivity of the cured product applied to such applications is preferably 4.0 or less, more preferably 3.8 or less, and even more preferably 3.5 or less.
以下、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on Examples, but the present invention is not limited to the following Examples.
(合成例1)
500mL四つ口フラスコに、トルエン113gおよび1,3,5,7−テトラハイドロジェン−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン(以下「TMCTS」)57gを入れて気相部を窒素置換した後、内温105℃とし、ジアリルモノメチルイソシアヌレート18g、ジアリルイソシアヌル酸26g、ジオキサン170gおよび白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3重量%含有)0.1gの混合液を滴下した。
(Synthesis Example 1)
In a 500 mL four-necked flask, 113 g of toluene and 57 g of 1,3,5,7-tetrahydrogen-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane (hereinafter referred to as "TMCTS") are placed and the gas phase part is nitrogen. After the substitution, the internal temperature was set to 105 ° C., and a mixed solution of 18 g of diallyl monomethylisocyanurate, 26 g of diallyl isocyanuric acid, 170 g of dioxane and 0.1 g of a xylene solution of a platinum vinylsiloxane complex (containing 3% by weight as platinum) was added dropwise.
1H−NMRによってアリル基が消失したことを確認した後、トルエン40gおよびビニルシクロヘキセンオキシド40gの混合液を滴下した。1H−NMRによってビニル基が消失したことを確認し、冷却により反応を終了した。トルエンを減圧留去し、ポリシロキサン系化合物1(ポリマー)を得た。1H−NMR測定により、ポリシロキサン系化合物1は、2.4mmol/gの脂環式エポキシ基を有することが示された。 1 After confirming that the allyl group had disappeared by 1 H-NMR, a mixed solution of 40 g of toluene and 40 g of vinylcyclohexene oxide was added dropwise. 1 It was confirmed by 1 H-NMR that the vinyl group had disappeared, and the reaction was terminated by cooling. Toluene was distilled off under reduced pressure to obtain a polysiloxane compound 1 (polymer). 1 1 H-NMR measurement showed that the polysiloxane compound 1 had an alicyclic epoxy group of 2.4 mmol / g.
(合成例2)
500mL四つ口フラスコに、トルエン113gおよびTMCTS57gを入れて気相部を窒素置換した後、内温105℃とし、ジアリルモノグリシジルイソシアヌレート22g、モノアリルイソシアヌル酸26g、ジオキサン170gおよび白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3重量%含有)0.1gの混合液を滴下した。アリル基の消失を確認後、トルエン40gおよびビニルシクロヘキセンオキシド40gの混合液を滴下し、その後は上記実施例1と同様にしてポリシロキサン系化合物2(2.3mmol/gのエポキシ基を有する環状ポリシロキサン系ポリマー)を得た。
(Synthesis Example 2)
In a 500 mL four-necked flask, 113 g of toluene and 57 g of TMCTS were placed to replace the gas phase with nitrogen, and then the internal temperature was set to 105 ° C. A mixed solution of 0.1 g of a xylene solution (containing 3% by weight as platinum) was added dropwise. After confirming the disappearance of the allyl group, a mixed solution of 40 g of toluene and 40 g of vinylcyclohexene oxide was added dropwise, and then the polysiloxane compound 2 (cyclic poly having an epoxy group of 2.3 mmol / g) was obtained in the same manner as in Example 1 above. Siloxane-based polymer) was obtained.
(合成例3)
500mL四つ口フラスコに、トルエン66gおよび1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン33gを入れて気相部を窒素置換した後、内温105℃とし、多面体構造ポリシロキサンであるテトラ(トリメチルシロキシ)テトラ(ビニルジメチルシロキシ)オクタシルセスキオキサン25g、ジアリルイソシアヌル酸15g、ジオキサン100gおよび白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3重量%含有)0.05gの混合液を滴下した。アリル基の消失を確認後、トルエン23gおよびビニルシクロヘキセンオキシド23gの混合液を滴下し、その後は上記実施例1と同様にしてポリシロキサン系化合物3(2.0mmol/gのエポキシ基を有する環状ポリシロキサン系ポリマー)を得た。
(Synthesis Example 3)
66 g of toluene and 33 g of 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane were placed in a 500 mL four-necked flask to replace the gas phase with nitrogen, and then the internal temperature was set to 105 ° C., and tetra (trimethyl), which is a polyhedron-structured polysiloxane. A mixed solution of 25 g of tetra (vinyldimethylsiloxy) octasilsesquioxane, 15 g of diallyl isocyanuric acid, 100 g of dioxane and 0.05 g of a xylene solution (containing 3% by weight as platinum) of a platinum vinylsiloxane complex was added dropwise. After confirming the disappearance of the allyl group, a mixed solution of 23 g of toluene and 23 g of vinylcyclohexene oxide was added dropwise, and then the polysiloxane compound 3 (cyclic poly having a 2.0 mmol / g epoxy group) was obtained in the same manner as in Example 1 above. Siloxane-based polymer) was obtained.
(合成例4)
500mL四つ口フラスコに、トルエン30gおよび1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン15gを入れて気相部を窒素置換した後、内温105℃とし、3-アリルオキシメチル-3-エチルオキセタン40g、ジオキサン160gおよび白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3重量%含有)0.05gの混合液を滴下した。アリル基の消失を確認後、冷却により反応を終了した。トルエンを減圧留去し、化合物4を得た。
(Synthesis Example 4)
30 g of toluene and 15 g of 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane were placed in a 500 mL four-necked flask to replace the gas phase with nitrogen, and then the internal temperature was set to 105 ° C., 3-allyloxymethyl-3-ethyl. A mixed solution of 40 g of oxetane, 160 g of dioxane and 0.05 g of a xylene solution of a platinum vinylsiloxane complex (containing 3% by weight as platinum) was added dropwise. After confirming the disappearance of the allyl group, the reaction was terminated by cooling. Toluene was distilled off under reduced pressure to obtain compound 4.
[実施例1〜10、比較例1〜2]
(感光性組成物の調製)
成分(A):カチオン重合性官能基を有するアルカリ可溶性樹脂として、上記の合成例で得られた化合物1〜3を用いた。溶剤(PGMEA)中に、上記の成分(A)、成分(B):光酸発生剤(サンアプロ製「CPI−210S」)、成分(C):白色フィラーとして、酸化チタン(平均粒径1.0μm、テイカ株式会社製「JR−1000」)または酸化ジルコニウム(平均粒径0.14μm、共立マテリアル株式会社製「KZ−0Y−LSF」)、成分(D):反応性希釈剤として、脂環式エポキシ化合物(ダイセル製「セロキサイド2021P」)、脂環式エポキシ変性環状ポリシロキサン(信越化学工業製「KR−470」)、オキセタン化合物(東亞合成製「OXT−121」)、化合物4、成分(E):増感剤としてジプロポキシアントラセン(DPA;川崎化成工業製)、および溶剤(PGMEA)を、表1に記載の割合(重量部)で調合して、感光性組成物を調製した。
[Examples 1 to 10, Comparative Examples 1 to 2]
(Preparation of photosensitive composition)
Component (A): Compounds 1 to 3 obtained in the above synthetic examples were used as the alkali-soluble resin having a cationically polymerizable functional group. In the solvent (PGMEA), the above-mentioned component (A), component (B): photoacid generator (“CPI-210S” manufactured by San-Apro), component (C): titanium oxide (average particle size 1. 0 μm, Teika Co., Ltd. “JR-1000”) or zirconium oxide (average particle size 0.14 μm, Kyoritsu Material Co., Ltd. “KZ-0Y-LSF”), component (D): alicyclic as a reactive diluent Formula epoxy compound (“Celoxide 2021P” manufactured by Daicel), alicyclic epoxy-modified cyclic polysiloxane (“KR-470” manufactured by Shin-Etsu Chemical Industry Co., Ltd.), oxetane compound (“OXT-121” manufactured by Toa Synthetic), compound 4, component ( E): Dipropoxyanthracene (DPA; manufactured by Kawasaki Kasei Kogyo Co., Ltd.) as a sensitizer and a solvent (PGMEA) were blended at the ratios (parts by weight) shown in Table 1 to prepare a photosensitive composition.
[評価]
(製膜)
50×50mmの無アルカリガラス基板上に、実施例1〜6、比較例1〜3、および参考例1、2の組成物を、ポストベイク後の膜厚が10〜100μmとなるようスピンコートにより塗布し、ホットプレートにて100℃で10分プリベイクした。
[Evaluation]
(Film formation)
The compositions of Examples 1 to 6, Comparative Examples 1 to 3 and Reference Examples 1 and 2 are applied on a 50 × 50 mm non-alkali glass substrate by spin coating so that the film thickness after post-baking is 10 to 100 μm. Then, it was prebaked on a hot plate at 100 ° C. for 10 minutes.
(パターン形成性)
上記で得られた薄膜に、マスクアライナー(MA−1300、大日本科研製)を用いてフォトマスク(ライン:スペース=1:5、及びライン:スペース=1:1)越しに露光した後、23℃のアルカリ現像液(TMAH1.19%水溶液、多摩化学工業製)に2分〜20分浸漬し、現像処理を行った。さらにオーブンにて150℃で60分ポストベイクを行って硬化膜を形成した。それぞれの硬化膜について、ラインアンドスペース部をレーザー顕微鏡(オリンパス製OLS4000)にて観察して、断面プロファイルを測定した。パターンの剥がれ等が生じなかった最小のパターン幅で膜厚を割った値を、パターン可能最大アスペクト比とした。この値が大きいほど、膜厚に対してより細かいパターンを形成できることを示す。
(Pattern formation)
After exposing the thin film obtained above through a photomask (line: space = 1: 5 and line: space = 1: 1) using a mask aligner (MA-1300, manufactured by Dainippon Kaken), 23 It was immersed in an alkaline developer (TMAH 1.19% aqueous solution, manufactured by Tama Chemical Industry Co., Ltd.) at ° C. for 2 to 20 minutes for development treatment. Further, post-baking was performed at 150 ° C. for 60 minutes in an oven to form a cured film. For each cured film, the line-and-space portion was observed with a laser microscope (OLS4000 manufactured by Olympus), and the cross-sectional profile was measured. The value obtained by dividing the film thickness by the minimum pattern width at which pattern peeling did not occur was defined as the maximum possible aspect ratio for the pattern. The larger this value is, the finer the pattern can be formed with respect to the film thickness.
(光反射性)
ポストベイク後の膜厚10〜100μmとなるようスピンコートまたはアプリケーターにより塗布し、ホットプレートにて100℃で10分プリベイクし、露光を行った後に、150℃で60分ポストベイクを行って硬化膜を形成した。紫外可視近赤外分光スペクトル装置(ジャスコエンジニアリング製:V−770)に、積分球ユニットを取り付け、光反射率の測定を行った。440nm〜800nmの範囲における反射率の平均値を、平均反射率とした。
(Light reflectivity)
It is applied by spin coating or an applicator so that the film thickness after post-baking is 10 to 100 μm, prebaked at 100 ° C. for 10 minutes on a hot plate, exposed, and then post-baked at 150 ° C. for 60 minutes to form a cured film. did. An integrating sphere unit was attached to an ultraviolet-visible-near-infrared spectroscopic spectrum device (manufactured by Jasco Engineering: V-770), and the light reflectance was measured. The average value of the reflectance in the range of 440 nm to 800 nm was defined as the average reflectance.
(耐熱黄変性)
一般的に、同じ組成の感光性組成物であったとしても、膜の厚みが厚いほど黄変しやすい傾向が見られる。そのため、耐熱黄変性に関しては、ポストベイク後の膜厚が全て同じ膜厚10μmとなるようスピンコートにより塗布し、ホットプレートにて100℃で10分プリベイクし、1000mJ/cm2の露光を行った後に、150℃で60分ポストベイクを行って硬化膜を形成し、光反射率の測定を行った。
(Heat-resistant yellowing)
In general, even if the photosensitive compositions have the same composition, the thicker the film, the more likely it is to turn yellow. Therefore, regarding heat-resistant yellowing, it is applied by spin coating so that the film thickness after post-baking is the same film thickness of 10 μm, prebaked at 100 ° C. for 10 minutes on a hot plate, exposed at 1000 mJ / cm2, and then exposed. A cured film was formed by post-baking at 150 ° C. for 60 minutes, and the light reflectance was measured.
光反射性を測定した硬化膜を、150℃のオーブンで150時間加熱し、加熱前後の平均反射率の変化に基づいて、耐熱黄変性を評価した。
◎:平均反射率の減少が2%未満のもの
○:平均反射率の減少が4%未満のもの
×:平均反射率の減少が4%以上のもの
実施例、比較例および参考例の感光性組成物の組成、ならびに評価結果を、表1に示す。
The cured film whose light reflectance was measured was heated in an oven at 150 ° C. for 150 hours, and heat-resistant yellowing was evaluated based on the change in average reflectance before and after heating.
⊚: Average reflectance decrease of less than 2% ○: Average reflectance decrease of less than 4% ×: Average reflectance decrease of 4% or more Photosensitivity of Examples, Comparative Examples and Reference Examples The composition of the composition and the evaluation results are shown in Table 1.
実施例1〜9の組成物は、いずれも製膜性に優れ、かつ得られた硬化膜が、優れた耐熱性および光反射性を有していた。特に、実施例1〜5及び9〜10に関しては、アスペクト比1.0(膜厚10μm、幅10μm)での微細なパターン形成が可能であった。実施例7に関しては、アスペクト比1.33(膜厚40μm、幅30μm)での微細なパターン形成が可能であった。実施例8に関しては、アスペクト比1.0(膜厚100μm、幅100μm)での微細なパターン形成が可能であった。成分(A)の代替としてアクリル系樹脂を用いた比較例1の組成物は、製膜性および反射率に優れていたが、耐熱黄変性が不十分であった。成分(A)の代替としてエポキシ系樹脂を用いた比較例1の組成物は、製膜性および反射率に優れていたが、耐熱黄変性が不十分であった。 The compositions of Examples 1 to 9 were all excellent in film forming property, and the obtained cured film had excellent heat resistance and light reflection property. In particular, with respect to Examples 1 to 5 and 9 to 10, it was possible to form a fine pattern with an aspect ratio of 1.0 (thickness 10 μm, width 10 μm). In Example 7, it was possible to form a fine pattern with an aspect ratio of 1.33 (thickness 40 μm, width 30 μm). In Example 8, it was possible to form a fine pattern with an aspect ratio of 1.0 (thickness 100 μm, width 100 μm). The composition of Comparative Example 1 in which an acrylic resin was used as a substitute for the component (A) was excellent in film forming property and reflectance, but was insufficient in heat-resistant yellowing. The composition of Comparative Example 1 in which an epoxy resin was used as a substitute for the component (A) was excellent in film forming property and reflectance, but was insufficient in heat-resistant yellowing.
白色フィラーとして、酸化チタンを用いた実施例1〜6及び8〜10、ならびに酸化ジルコニウムを用いた実施例7は、いずれも製膜性、現像性、光反射性、および耐熱黄変性に優れていた。これらの結果から、本発明の組成物は、着色剤の種類に依存せずに、各種特性に優れる白色パターンを形成できることが分かる。 Examples 1 to 6 and 8 to 10 using titanium oxide as the white filler and Example 7 using zirconium oxide are all excellent in film forming property, developability, light reflectivity, and heat-resistant yellowing. It was. From these results, it can be seen that the composition of the present invention can form a white pattern excellent in various properties regardless of the type of colorant.
実施例2〜5及び10は、実施例1と同様に、製膜性、現像性、遮光性に優れており、かつ耐熱黄変性に関しても実施例1と比較して更に向上している。 Examples 2 to 5 and 10 are excellent in film-forming property, developability, and light-shielding property as in Example 1, and are further improved in heat-resistant yellowing as compared with Example 1.
成分(A)として化合物2を用いた実施例9においては、実施例1と比較した場合に、白色フィラーの添加量は同量でありながら、より高い平均反射率を示した。これは、ポリシロキサン化合物へのグリシジル基の導入が、白色フィラーの分散性を向上したためであると考えられる。 In Example 9 in which Compound 2 was used as the component (A), the amount of the white filler added was the same as in Example 1, but the average reflectance was higher. It is considered that this is because the introduction of the glycidyl group into the polysiloxane compound improved the dispersibility of the white filler.
Claims (17)
前記ポリシロキサン化合物は、環状ポリシロキサン構造およびカチオン重合性官能基を含有し、
前記白色フィラーの含有量が、固形分全量の5重量%以上である、感光性組成物。 Contains polysiloxane compound, photoacid generator, white filler,
The polysiloxane compound contains a cyclic polysiloxane structure and a cationically polymerizable functional group.
A photosensitive composition in which the content of the white filler is 5% by weight or more of the total solid content.
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