JP2021055783A - Valve device and fluid supply unit - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 127
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 125
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 7
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 10
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 7
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 6
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 4
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
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- Valve Housings (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
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Abstract
Description
本発明は、バルブ装置及び流体供給ユニットに関する。 The present invention relates to a valve device and a fluid supply unit.
特許文献1には、流路が形成される流路ブロックと、流路を開閉する弁体と、弁体押さえを介して弁体を押下するアクチュエータと、流路ブロックとアクチュエータとを連結するボンネットと、を備えるバルブ装置が開示されている。 Patent Document 1 describes a flow path block in which a flow path is formed, a valve body that opens and closes the flow path, an actuator that presses the valve body via a valve body retainer, and a bonnet that connects the flow path block and the actuator. A valve device comprising the above is disclosed.
しかしながら、特許文献1に記載のバルブ装置が設けられる流体供給ユニットでは、流体供給ユニットの不具合等によって下流側において他の流体(ガス)の混入による当該バルブ装置の閉止圧力を超え、流体が流路を逆流するおそれがある。 However, in the fluid supply unit provided with the valve device described in Patent Document 1, the closing pressure of the valve device is exceeded due to the mixing of other fluid (gas) on the downstream side due to a malfunction of the fluid supply unit or the like, and the fluid flows through the flow path. There is a risk of backflow.
そこで、安全対策として別途逆止弁を設けることが一般的に考えられるが、単体の逆止弁を設けるためには、ベースブロックを増設するスペースを確保しなければならず流体供給ユニットの大型化につながってしまう。また、バルブ装置に逆止弁を設けるためには、流路ブロックを追加する必要があり、流路ブロック追加のスペースの別途確保が必要となり、バルブ装置の構造の複雑化となり、バルブ装置を大型化してしまうという問題点があった。 Therefore, it is generally considered to provide a separate check valve as a safety measure, but in order to provide a single check valve, it is necessary to secure a space for adding a base block and increase the size of the fluid supply unit. Will lead to. Further, in order to provide a check valve in the valve device, it is necessary to add a flow path block, and it is necessary to separately secure a space for adding the flow path block, which complicates the structure of the valve device and makes the valve device large. There was a problem that it would become.
本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、構造の複雑化及び大型化を抑制するとともに安全機能を確保することができるバルブ装置及び流体供給ユニットを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a valve device and a fluid supply unit capable of suppressing complicated structure and increasing size and ensuring a safety function. To do.
本発明のある態様によれば、流体流入流路と、流体流出流路と、前記流体流入流路と前記流体流出流路とを連通する連通路と、が形成される単一の流路ブロックと、前記連通路を開閉する弁体と、前記弁体を押さえる弁体押さえと、前記弁体押さえを介して前記弁体を押下するアクチュエータと、前記連通路に内蔵され、前記流体流入流路から前記流体流出流路へ流れる流体のみを許容する逆止弁と、を備える、バルブ装置が提供される。 According to an aspect of the present invention, a single flow path block in which a fluid inflow flow path, a fluid outflow flow path, and a communication path communicating the fluid inflow flow path and the fluid outflow flow path are formed. A valve body that opens and closes the communication passage, a valve body retainer that presses the valve body, an actuator that presses the valve body via the valve body retainer, and a fluid inflow flow path that is built in the communication passage. Provided is a valve device comprising a check valve that allows only fluid flowing from the fluid to the fluid outflow flow path.
本発明の態様によれば、構造の複雑化及び大型化を抑制するとともに安全機能を確保することができる。 According to the aspect of the present invention, it is possible to suppress the complexity and size of the structure and secure the safety function.
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態(以下、本実施形態と称する。)について説明する。本明細書においては、全体を通じて、同一の要素には同一の符号を付する。 Hereinafter, embodiments of the present invention (hereinafter, referred to as the present embodiment) will be described with reference to the accompanying drawings. Throughout the specification, the same elements are designated by the same reference numerals.
まず、図1を参照しながら本実施形態に係る流体供給ユニット100について説明する。
First, the
図1は、流体供給ユニット100を示す斜視図である。図1において、流体供給ユニット100の長手方向及び幅方向をそれぞれX軸に沿う方向及びY軸に沿う方向とする。以下、説明の便宜上、流体供給ユニット100の長手方向及び幅方向を単に長手方向及び幅方向と称する。
FIG. 1 is a perspective view showing a
図1に示すように、流体供給ユニット100は、半導体製造装置(CVD装置、スパッタリング装置、エッチング装置等)におけるプロセスガス及びパージガスの供給手段に用いられる。
As shown in FIG. 1, the
流体供給ユニット100には、幅方向に沿って配列され長手方向に延在する金属製のベースプレートBSが設けられる。なお、G1は上流側、G2は下流側の方向を示している。ベースプレートBSには、複数のベースブロック992を介して各種流体機器991Aから991Eが設置される。複数の流路ブロック992によって、上流側G1から下流側G2に向かって流体が流通する図示しない流路がそれぞれ形成される。
The
ここで、「流体機器」とは、流体供給ユニット100に使用される機器であって、流体流路を画定する流路ブロックを備え、この流路ブロックの表面で開口する少なくとも二つの流路口を有する機器である。具体的には、流体機器には、開閉弁(2方弁)991A、レギュレータ991B、プレッシャーゲージ991C、開閉弁(3方弁)991D、マスフローコントローラ991E等が含まれるが、これらに限定されるものではない。なお、導入管は、上記した図示しない流路の上流側の流路口に接続されている。
Here, the "fluid device" is a device used for the
第1実施形態に係るバルブ装置1(図2から図5参照)及び第2実施形態に係るバルブ装置1A(図6から図8参照)は、開閉弁991Aに適用可能である。なお、バルブ装置1及びバルブ装置1Aを、最上流側に設けられる開閉弁991Aに適用することが最も好ましい。
The valve device 1 according to the first embodiment (see FIGS. 2 to 5) and the
(第1実施形態)
まず、図2を参照しながら第1実施形態に係るバルブ装置1について詳細に説明する。なお、説明の便宜上、図面の上下方向をバルブ装置1の上下方向として説明する。
(First Embodiment)
First, the valve device 1 according to the first embodiment will be described in detail with reference to FIG. For convenience of explanation, the vertical direction of the drawing will be described as the vertical direction of the valve device 1.
図2は、バルブ装置1(ダイヤフラム3及び逆止弁用弁体72がいずれも閉状態となる)を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a valve device 1 (both the
図2に示すように、バルブ装置1は、単一の流路ブロック2、弁体としてのダイヤフラム3、弁体押さえとしてのダイヤフラム押さえ4、駆動部としてのアクチュエータ5、スペーサ6及び逆止弁7を備える。バルブ装置1は、駆動流体としての駆動エアをアクチュエータ5に導入することによってダイヤフラム3を開放するノーマル・クローズのエアオペレートバルブである。
As shown in FIG. 2, the valve device 1 includes a single
単一の流路ブロック2は、流路23が形成される流路ブロック本体21と、流路ブロック本体21の一端面から上方(図2の上端側)に突出する筒状(具体的には、円筒状)の周壁22と、を備える。流路23は、流体流入流路231、流体流出流路232及び連通路233を有する。周壁22の内壁面には、アクチュエータ5の後述する延伸部514に螺合する雌ねじ221が形成される。
The single
流体流入流路231は、一端(上端)が連通路233の中間部分の外周に連通するとともに、流路口としての他端(下端)が流路ブロック本体21の他端面(下端面)で開口する。流体流出流路232は、一方の流路口としての一端(上端)が流路ブロック本体21の一端面(上端面)で開口するとともに、他方の流路口としての他端(下端)が流路ブロック本体21の他端面(下端面)で開口する。
One end (upper end) of the fluid
なお、本実施形態では、流体流入流路231の他端及び流体流出流路232の他端は、いずれも流路ブロック本体21の他端面で開口しているが、これに限定されるものではなく、例えば、いずれも流路ブロック本体21の側面で開口してもよいし、いずれか一方が流路ブロック本体21の他端面で開口するとともに、いずれか他方が流路ブロック本体21の側面で開口してもよい。
In the present embodiment, the other end of the fluid
連通路233は、流体流入流路231と流体流出流路232とを連通する流路である。連通路233は、一方の流路口としての一端(図2の上端)が流路ブロック本体21の一端面(図2の上端面)で開口するとともに、他方の流路口としての他端(図2の下端)が流路ブロック本体21の他端面(図2の下端面)で開口する。すなわち、連通路233は、直線上(図2の上下方向)に延在して流路ブロック本体21を貫通する貫通孔から構成される。
The
連通路233の一端(図2の上端)と流出流路232の一端(図2の上端)とは、周壁22によって取り囲まれた収容部24を介して連通する。連通路233の一端の周縁には、環状(具体的には、円環状)の弁座25が設けられる。また、連通路233の一端は、ダイヤフラム3に対向する。なお、バルブ装置1の特徴部分としての連通路233の詳細については後述する。
One end of the communication passage 233 (upper end of FIG. 2) and one end of the outflow passage 232 (upper end of FIG. 2) communicate with each other via a
ダイヤフラム3は、弁座25から離間又は弁座25に押圧されて連通路233を開閉するための弁体である。ダイヤフラム3は、流路23側とアクチュエータ5側とを隔てる隔膜部材である。また、ダイヤフラム3は、自然状態においてアクチュエータ5側(図2の上側)に向かって隆起する円弧状に形成され、例えば、ニッケル合金薄板等からなる。通常、ダイヤフラム3は、ダイヤフラム押さえ4によって弁座25に押さえ付けられる。
The
ダイヤフラム押さえ4は、ダイヤフラム3を弁座25に押さえるための押さえ部材である。ダイヤフラム押さえ4は、流路ブロック2の周壁22及びアクチュエータ5の延伸部514に収容される。また、ダイヤフラム押さえ4は、ダイヤフラム3と当接可能な大径部41と、大径部41からアクチュエータ5側(図2の上側)に突出するとともに延伸部514に挿入される小径部42と、を有する。なお、大径部41と小径部42とは、同軸に形成される。
The
アクチュエータ5は、流路ブロック2の周壁22及び延伸部514に収容されたダイヤフラム押さえ4を介してダイヤフラム3を弁座25に押圧又は弁座25から離間させることによって、連通路233と流体流出流路232とを遮断又は連通させる。アクチュエータ5は、流路ブロック2の上方に設けられるケース51と、ケース51に上下方向に沿って摺動可能に収容されるピストン52と、ピストン52を流路ブロック2側に押し付けるコイルばね53と、ピストン52と連動して軸方向(図2の上下方向)に移動するステム54と、を有する。
The
ケース51は、ピストン52及びコイルばね53を収容するための枠部材である。ケース51は、上ケースとしての有底筒状(具体的には、有底円筒状)の第1ケース511と、ねじ螺合によって第1ケース511に連結される下ケースとしての第2ケース512と、を有する。第1ケース511と第2ケース512との連結によって形成される収容空間511fには、ピストン52が摺動可能に収容される。ピストン52の上方には、コイルばね53が収容される。
The
第1ケース511は、円筒状の周壁511aと、周壁511aの一端(上端)に設けられる頂壁511bと、を有する。周壁511aの他端(下端)の内周面には、第2ケース512に螺合する雌ねじ511cが形成される。頂壁511bの中央には、ステム54の軸方向(上下方向)に貫通するステム案内孔511dが形成される。また、頂壁511bの中央には、頂壁511bの下端面から流路ブロック2側(下側)に突出する円筒部511eが設けられる。駆動エアは、ステム案内孔511dを介して駆動エア供給制御部(図示しない)からアクチュエータ5に導入される。
The
周壁511aの内側には、コイルばね53を収容する収容空間511fが形成される。コイルばね53は、その一端(上端)が頂壁511bと当接するとともにその他端(下端)がピストン52と当接するように圧縮状態で収容空間511fに収容される。
An
頂壁511bには、ステム案内孔511dと干渉しないように上下方向に貫通するエア抜き用の貫通孔511gが形成される。貫通孔511gは、収容空間511fとバルブ装置1の外部とを連通する。
The
第2ケース512は、円筒状の周壁512aと、周壁512aの一端(下端)に設けられる円板状の底壁512bと、底壁512bから流路ブロック2側(下側)に延伸する円筒状の延伸部514と、を有する。周壁512aの外周面には、雌ねじ511cに螺合する雄ねじ512cが形成される。底壁512bには、ステム54が挿通する貫通孔512dが形成される。
The
延伸部514は、底壁512bから流路ブロック2側(下側)に延伸する中空六角形状の大径延伸部514aと、大径延伸部514aから流路ブロック2側(図2の下側)に延伸する円筒状の小径延伸部514bと、を有する。なお、大径延伸部514aと小径延伸部514bとは、同軸に形成される。大径延伸部514aの内接円の内側には、ステム54及びダイヤフラム押さえ4の両方が挿入される。一方、小径延伸部514bの内側には、ダイヤフラム押さえ4が挿通される。
The stretched
小径延伸部514bの外周面には、流路ブロック2の周壁22に螺合する雄ねじ515が設けられる。そして、周壁22の雌ねじ221と小径延伸部514bの雄ねじ515との螺合によって、アクチュエータ5が流路ブロック2に取り付けられる。小径延伸部514bには、雄ねじ515と干渉しないように径方向に貫通するエア抜きの貫通孔516が形成される。貫通孔516は、延伸部514の内側とバルブ装置の外部とを連通する。
On the outer peripheral surface of the small-
ピストン52と第2ケース512の底壁512bとの間には、エア導入室55が形成される。ピストン52の頂壁511bに対向する面には、コイルばね53の他端(下端)を保持するばね受け部521が形成される。
An
ステム54は、外周側にピストン52が設けられるステム大径部541と、ステム大径部541の一端(上端)から突出するステム第1小径部542と、ステム大径部541の他端(下端)から突出するステム第2小径部543と、を有する。なお、本実施形態では、ステム54は、ピストン52と一体形成されているが、これに限定されるものではなく、例えばピストン52と連結して形成されてもよい。
The
ステム第1小径部542は、第1ケース511の円筒部511eの内側に挿入される。ステム第2小径部543は、底壁512bの貫通孔512d及び延伸部514の大径延伸部514aの内側に挿入される。
The stem first
ステム54には、エア導入室55に駆動エアを導入するための軸方向流路544及び径方向流路545が形成される。軸方向流路544は、ステム案内孔511dに連通する。径方向流路545は、軸方向流路544の先端(下端)から形成され、軸方向流路544とエア導入室55とを連通する。
The
円筒部511eとステム第1小径部542との間には、シール材11が介装される。ピストン52と第2ケース512との間には、シール材12が介装される。ステム2小径部543と大径延伸部514aの内側との間には、シール材13が介装される。
A sealing
延伸部514の小径延伸部514bの先端(下端)とダイヤフラム3の外周縁との間には、円環状のスペーサ6が設けられる。ダイヤフラム3の外周縁は、スペーサ6と流路ブロック2の収容部24の底面との間で保持され、小径延伸部514bを周壁22の雌ねじ221にねじ込むことによって固定される。スペーサ6の内側には、ダイヤフラム3と接触するダイヤフラム押さえ4の大径部41が挿入される。
An
逆止弁7は、流体流入流路231から流体流出流路232へ流れる流体のみを許容する逆止弁である。また、本実施形態では、流体は、プロセスガス又はパージガス等の気体から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば液体から構成されてもよい。なお、バルブ装置1の特徴部分としての逆止弁7の詳細については後述する。
The
次に、図3を参照しながらバルブ装置1の特徴部分としての連通路233及び逆止弁7について詳細に説明する。
Next, the
図3は、図2における要部Aを示す拡大断面図である。 FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing a main part A in FIG.
図3に示すように、単一の流路ブロック2における連通路233には、流体流入流路231から流体流出流路232へ流れる流体のみを許容する逆止弁7が内蔵される。これにより、流体流出流路232から流体流入流路231への流体の逆流を阻止することができるので、バルブ装置1の安全機能を確保することができる。また、逆止弁7を設けるための流路ブロックを別途追加する必要がなく、バルブ装置1の大型化及び構造の複雑化を抑制することができる。
As shown in FIG. 3, the
連通路233は、その中間部分の外周が流体流入流路231の一端(図3の上端)に連通する。すなわち、図3を正面としたとき側面視において、連通路233は、その一部が上下方向に沿って流体流入流路231と重なるように形成される。これにより、流体流入流路と連通路とが上下方向に沿って重ならないように連通する流路ブロックに比べ、流路ブロック2の上下方向における小型化を図ることができる。この結果、バルブ装置1の大型化をより抑制することができる。また、流体流入流路231の一端は、連通路233の他端(図3の下端)に連通することなく、連通路233の中間部分の外周に連通するので、連通路233の他端から逆止弁7を取り付けることができる。
The outer periphery of the intermediate portion of the
逆止弁7は、弁座25が設けられていない(すなわち、ダイヤフラム3に対向しない)連通路233の他端(図3の下端)から取り付けられる。これにより、アクチュエータ5を流路ブロック2に取り付けた後にも、流路ブロック2の流路ブロック本体21に対し逆止弁7の着脱を容易に行うことができるので、弁座が設けられる(すなわち、ダイヤフラム3に対向する)連通路の一端から逆止弁を取り付けるバルブ装置に比べ、バルブ装置1を容易に製造することができる。
The
図3に示すように、連通路233は、小径路233a、中径路233b及び大径路233cを有する。小径路233a、中径路233b及び大径路233cは、連通路233の一端(図3の上側)から連通路233の他端(図3の下側)に向かって順に形成される。なお、小径路233a、中径路233b及び大径路233cは、同軸に形成される。
As shown in FIG. 3, the
小径路233aは、中径路233bと流体流出流路232とを弁室を介して連通するための流路である。小径路233aの一端(図3の上端)の周縁には、弁座25が設けられる。小径路233aの他端(図3の下端)は、中径路233bの一端(図3の上端)に連通する。
The small-
中径路233bは、小径路233aと大径路233cとを連通するための流路である。中径路233bの一端(上端)には、逆止弁7の後述するコイルばね73の一端を保持するばね受け部としての縮径部234が形成される。小径路233aと縮径部234との境界には、両者を接続する突当部としての段差235が形成される。中径路233bの他端(下端)は、大径路233cの一端(上端)に連通する。
The medium-
大径路233cは、流体流入流路231と中径路233bとを連通するための流路である。また、図3を正面としたとき側面視において、大径路233cは、上下方向に沿って流体流入流路231と重なるように形成される。大径路233cの一端(上端)には、逆止弁7の後述する逆止弁用弁座71を位置決めする位置決め部としての段差236が形成される。すなわち、中径路233bと大径路233cとの境界には、段差236が形成される。
The large-
大径路233cの他端(下端)の周壁には、逆止弁7の後述するプラグ74に螺合する雌ねじ237が形成される。大径路233cの一端と大径路233cの他端との間に位置する大径路233cの中間部分には、流体流入流路231の一端(上端)に連通する連通部238が形成される。すなわち、連通部238は、段差236と雌ねじ237との間に形成される。連通部238は、その径が大径路233cの径よりも大きくなるように形成される。
A
上述のように、逆止弁7は、流体流入流路231から流体流出流路232への流体の流れのみを許容するためのバルブである。図3に示すように、逆止弁7は、逆止弁用弁座71、逆止弁用弁体72、付勢部材としてのコイルばね73、位置決め部材としてのプラグ74、プレート75及びシール材76を有する。
As described above, the
逆止弁用弁座71は、連通路233に位置決めされる弁座である。逆止弁用弁座71は、連通路233の大径路233cに収容される。逆止弁用弁座71は、樹脂製の弁体接触部711及び金属製の弁体非接触部712を有する。
The check
弁体接触部711は、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)等のフッ素系樹脂から構成される。弁体接触部711は、逆止弁用弁体72と接触可能に設けられる。すなわち、逆止弁用弁座71のうち逆止弁用弁体72と接触可能な部分(弁体接触部711)を樹脂製とする。これにより、シール性の向上及び逆止弁7が開状態から閉状態に切り替わる際に、逆止弁用弁体72と弁体接触部711との接触による両者の摩耗を低減することができる。この結果、逆止弁7の使用寿命を延長することができる。
The valve
弁体接触部711は、軸方向が上下方向となるように設けられる環状(具体的には、円環状)の弁体接触部本体711aと、弁体接触部本体711aの外縁に設けられる環状(具体的には、円環状)のリブ711bと、を有する。リブ711bは、その先端(上端)が段差236と当接するように設けられる。そして、リブ711bと段差236との当接によって、弁体接触部711が連通路233の大径路233cに位置決めされる。
The valve
弁体非接触部712は、弁体接触部711を保持するための保持部である。また、弁体非接触部712は、逆止弁用弁体72と接触しないように弁体接触部711よりも連通路233の上流側に設けられる。このように、逆止弁用弁座71のうち逆止弁用弁体72と接触しない部分(弁体非接触部712)を金属製とすることによって、逆止弁用弁座71全体の強度を高めることができるので、逆止弁用弁座71の強度低下による逆止弁7の性能低下を抑制することができる。
The valve body
弁体非接触部712は、軸方向が上下方向となるように設けられる有底筒状(具体的には、有底円筒状)の本体部712aと、本体部712aの一端(上端)の外周側に設けられる環状(具体的には円環状)のフランジ712bと、本体部712aの他端(下端)の外周側に設けられる環状(具体的には円環状)のフランジ712cと、本体部712aの他端から下方に突出する柱状(具体的には、円柱状)のシール材取付部712dと、を有する。なお、本体部712a、フランジ712b、フランジ712c及びシール材取付部712dは、同軸に形成される。
The valve body
本体部712aは、その一端(上端)が開口するとともに、その他端(下端)が蓋材によって封止される。本体部712aの周壁には、径方向に貫通する複数(ここでは、四つ)の連通孔712eが形成される。連通孔712eは、フランジ712bとフランジ712cとの間に位置するとともに、大径路233cの連通部238に対応する。すなわち、連通部238は、フランジ712bとフランジ712cとの間に位置する。これにより、流体流入流路231からの流体は、連通部238及び連通孔712eを通じて本体部712a内に入り込む。
One end (upper end) of the
シール材取付部712dと連通路233の大径路233cとの間には、密封用の環状(具体的には、円環状)のシール材76が介装される。すなわち、シール材76は、逆止弁用弁座71と連通路233との間に介装される。このように、シール材76の介装によって、流体が連通路233からバルブ装置1の外部に漏れることが防止される。なお、シール材76は、例えば金属製のシール材料から形成される。フランジ712cは、シール材76の上方への移動を規制するための移動規制部である。
An annular (specifically, annular) sealing
また、本実施形態では、弁体接触部711及び弁体非接触部712は、それぞれ樹脂材料及び金属材料から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、いずれも樹脂材料又は金属材料から構成されてもよい。この場合、弁体接触部711及び弁体非接触部712は、一体形成される。
Further, in the present embodiment, the valve
逆止弁用弁体72は、逆止弁用弁座71を離間又は押圧することによって、連通路233の大径路233cを開閉するための金属製の弁体である。逆止弁用弁体72は、上下方向に沿って延在するように設けられる。また、逆止弁用弁体72は、逆止弁用弁座71よりも連通路233の下流側に位置するように連通路233の中径路233bに収容される。なお、逆止弁用弁体72は、金属材料から構成されることが好ましい。
The check
逆止弁用弁体72は、上方から下方に(すなわち、連通路233の下流側から連通路233の上流側に)順に設けられる筒状(具体的には、円筒状)の弁体大径部721、筒状(具体的には、円筒状)の弁体小径部722及び柱状(具体的には、円柱状)の突出部723を有する。なお、弁体大径部721、弁体小径部722及び突出部723は、同軸に一体形成される。
The check
弁体大径部721は、コイルばね73の端部(他端/下端)を保持する部材である。弁体大径部721は、その外径が連通路233の中径路233bの径とほぼ同じとなるように形成される。弁体大径部721の一端(上端)の開口には、コイルばね73が挿通される。弁体大径部721の他端(下端)の内周側には、コイルばね73の他端(下端)と当接する環状(具体的には、円環状)のリブ721aが設けられる。
The valve body
弁体小径部722は、有底筒状(具体的には、有底円筒状)に形成される。具体的には、弁体小径部722は、その一端(上端)が開口するとともにその他端(下端)が蓋材によって封止される。弁体小径部722の一端は、弁体大径部721のリブ721aに接続される。弁体小径部722の他端は、コイルばね73の付勢力によって、逆止弁用弁座71の環状(具体的には、円環状)の弁体接触部本体711aの内縁を押圧する。
The valve body
弁体小径部722は、その外径が連通路233の中径路233bの径よりも小さくなるように形成される。そして、弁体小径部722と中径路233bを構成する周壁との間には、流体が流れる環状流路239が形成される。弁体小径部722の周壁には、径方向に貫通する複数(ここでは、四つ)の連通孔722aが形成される。連通孔722aは、環状流路239と弁体小径部722の内部とを連通する。
The valve body
突出部723は、その外径が逆止弁用弁座71の弁体接触部本体711aの内径よりも小さくなるように形成される。これにより、弁体接触部本体711aの内縁が弁体小径部722の他端によって押圧されると、突出部723は、弁体接触部本体711aの内側に入り込む。
The protruding
コイルばね73は、逆止弁用弁体72を逆止弁用弁座71に押圧させるように付勢するばねである。コイルばね73は、上下方向に沿って延在するように連通路233の中径路233bに設けられる。具体的には、コイルばね73は、その一端(上端)が中径路233bの縮径部234によって保持されるとともに、その他端(下端)が逆止弁用弁体72の弁体大径部721によって保持されるように圧縮状態で中径路233bに設けられる。
The
コイルばね73の一端(上端)は、小径路233aと縮径部234とを接続する段差235と当接する。一方、コイルばね73の他端(下端)は、弁体大径部721のリブ721aと当接する。すなわち、コイルばね73は、圧縮状態で段差235とリブ721aとの間に設けられる。
One end (upper end) of the
プラグ74は、逆止弁用弁座71を連通路233に位置決めするための位置決め部材である。このように、逆止弁用弁座71をプラグ74によって連通路233に位置決めすることによって、他の流路ブロックを別途設けることなく、逆止弁7を単一の流路ブロック2の連通路233に内蔵させることができる。このため、バルブ装置1の大型化及び構造の複雑化を抑制することができる。プラグ74は、連通路233の大径路233cに収容される。
The
また、プラグ74は、上下方向に沿って延在するように設けられる略柱状(具体的には、略円柱状)のねじ本体741と、ねじ本体741の外周に設けられ大径路233cの雌ねじ237に螺合する雄プラグ742と、ねじ本体741の端面(下面)に形成され回転工具(図示しない)に係合する係合溝743と、を有する。
Further, the
そして、回転工具が係合溝743に係合した状態において、プラグ74の雄プラグ742を大径路233cの雌ねじ237に締め付けることによって、逆止弁用弁座71のリブ711bの先端が大径路233cの段差236に突き当たるまで、逆止弁用弁座71を連通路233の他端側(図3の下端側)から連通路233の一端側(図3の上端側)に移動させる。
Then, in a state where the rotary tool is engaged with the
また、本実施形態では、位置決め部材は、プラグ74から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、連通路233の大径路233cに圧入される圧入部材から構成されてもよい。
Further, in the present embodiment, the positioning member is composed of the
プレート75は、シール材76の下方への移動を規制するための板状(具体的には、円板状)の移動規制部材である。また、プレート75は、連通路233の大径路233cに収容される。プレート75は、逆止弁用弁座71(具体的には、弁体非接触部712)とプラグ74との間に介装される。これにより、逆止弁用弁座71とプラグ74との間にプレート75を介装しない逆止弁7に比べ、プラグ74の締め付けによる逆止弁用弁座71(具体的には、弁体非接触部712)の共回りを抑制することができる。なお、シール材76は、弁体非接触部712とプレート75との間に挟まれる。
The
また、本実施形態では、逆止弁用弁座71とプラグ74との間には、プレート75が介装されているが、これに限定されるものではなく、例えば、プレート75が介装されなくてもよい。この場合、プラグ74の先端(上端)は、シール材76の下方への移動を規制するように形成される。すなわち、シール材76は、弁体非接触部712とプラグ74との間に挟まれる。
Further, in the present embodiment, a
次に、図2から図5を参照しながらバルブ装置1の動作について説明する。 Next, the operation of the valve device 1 will be described with reference to FIGS. 2 to 5.
図4は、ダイヤフラム3及び逆止弁用弁体72がそれぞれ閉状態及び開状態となるバルブ装置1を示す断面図である。図5は、ダイヤフラム3及び逆止弁用弁体72がいずれも開状態となるバルブ装置を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a valve device 1 in which the
図2及び図3に示すように、駆動エア供給制御部が駆動エアをステム案内孔511dを介してバルブ装置1のアクチュエータ5に供給していない場合、ピストン52は、コイルばね53の付勢力によってステム54と共に下方に位置する。これにより、ダイヤフラム3は、ダイヤフラム押さえ4を介して弁座25に押圧される。すなわち、ダイヤフラム3は、コイルばね53の付勢力によって連通路233の小径路233aを閉塞する。換言すれば、バルブ装置1が閉状態となる。
As shown in FIGS. 2 and 3, when the drive air supply control unit does not supply drive air to the
このとき、気化されたプロセスガス等の流体は、まだ流体流入流路231に供給されていない。このため、逆止弁用弁体72は、コイルばね73の付勢力のみによって逆止弁用弁座71に押圧される。すなわち、逆止弁用弁体72は、コイルばね73の付勢力のみによって連通路233の大径路233c(具体的には、逆止弁用弁座71の開口)を閉塞する。換言すれば、逆止弁7が閉状態となる。
At this time, the vaporized process gas or other fluid has not yet been supplied to the fluid
次に、プロセスガス等の流体が流体流入流路231に供給されると、逆止弁用弁体72は、流体流入流路231に供給される流体の圧力によって、コイルばね73の付勢力に抗して逆止弁用弁座71から離間する(図3及び図4参照)。すなわち、逆止弁用弁体72は、流体流入流路231に供給される流体の圧力によって連通路233の大径路233c(具体的には、逆止弁用弁座71の開口)を開放する。換言すれば、逆止弁7が開状態となる。そして、流体流入流路231に供給される流体は、逆止弁7を経由して、連通路233の小径路233aに流れる。
Next, when a fluid such as a process gas is supplied to the fluid
しかしながら、このとき、駆動エア供給制御部が未だ駆動エアをバルブ装置1のアクチュエータ5に供給していない。このため、バルブ装置1が閉状態のままとなる(図3及び図4参照)。したがって、プロセスガス等の流体は、流体流入流路231から連通路233まで供給されるものの、流体流出流路232に供給されない。
However, at this time, the drive air supply control unit has not yet supplied the drive air to the
次に、逆止弁7が開状態のままで、駆動エア供給制御部が駆動エアをステム案内孔511dを介してアクチュエータ5に供給すると、駆動エアは、軸方向流路544及び径方向流路545を経由してエア導入室55に導入される。
Next, when the drive air supply control unit supplies the drive air to the
これにより、エア導入室55の容積が増大するように、ピストン52は、コイルばね53の付勢力に抗してステム54と一体に上方に移動する。そして、図3及び図5に示すように、ダイヤフラム3は、自身の復元力によってダイヤフラム押さえ4と共に上昇することで弁座25から離間する。すなわち、ダイヤフラム3は、ピストン52及びステム54の上昇によって連通路233の小径路233aを開放する。換言すれば、バルブ装置1が開状態となる。このため、連通路233に供給されたプロセスガス等の流体は、弁座25とダイヤフラム3との間に形成される弁室を経由して流体流出流路232に供給される。
As a result, the
一方、駆動エア供給制御部がアクチュエータ5への駆動エアの供給を停止すると、ピストン52は、コイルばね53の付勢力によってステム54と一体に下方に移動する。そして、ダイヤフラム3は、ステム54の下方移動によってダイヤフラム押さえ4を介して弁座25に押圧される。すなわち、ダイヤフラム3は、ピストン52、ステム54及びダイヤフラム押さえ4の移動によって再び連通路233の小径路233aを閉塞する。換言すれば、バルブ装置1が閉状態に戻る。このため、プロセスガス等の流体は、流体流入流路231から流体流出流路232に供給されなくなる。
On the other hand, when the drive air supply control unit stops supplying the drive air to the
エア導入室55の容積は、ピストン52及びステム54の移動によって減少する。このとき、エア導入室55のエアは、径方向流路545、軸方向流路544及びステム案内孔511dを経由して駆動エア供給制御部に導出される。
The volume of the
このように、駆動エア供給制御部は、アクチュエータ5への駆動エアの供給を制御することによって、弁座25に対するダイヤフラム3の開閉を切り替えることができる。したがって、このようなバルブ装置1によれば、流体流入流路231から流体流出流路232への流体供給の制御が可能となる。なお、本実施形態では、バルブ装置1は、常時閉(ノーマル・クローズ)のバルブ装置からなっているが、これに限定されるものではなく、例えば、常時開(ノーマル・オープン)のバルブ装置からなってもよい。
In this way, the drive air supply control unit can switch the opening and closing of the
次に、本実施形態による作用効果について説明する。 Next, the action and effect of this embodiment will be described.
本実施形態に係るバルブ装置1は、流体流入流路231と、流体流出流路232と、流体流入流路231と流体流出流路232とを連通する連通路233と、が形成される単一の流路ブロック2と、連通路233を開閉するダイヤフラム3と、ダイヤフラム3を押さえるダイヤフラム押さえ4と、ダイヤフラム押さえ4を介してダイヤフラム3を押下するアクチュエータ5と、連通路233に内蔵され、流体流入流路231から流体流出流路232へ流れる流体のみを許容する逆止弁7と、を備える。
The valve device 1 according to the present embodiment is a single valve device 1 in which a fluid
この構成によれば、流体流入流路231から流体流出流路232へ流れる流体のみを許容する逆止弁7を、単一の流路ブロック2における連通路233に内蔵することで、流体流出流路232から流体流入流路231への流体の逆流を阻止することができるので、バルブ装置1の安全機能を確保することができる。また、逆止弁7を設けるための流路ブロックを別途追加する必要がなく、バルブ装置1の大型化及び構造の複雑化を抑制することができる。
According to this configuration, a
また、本実施形態では、連通路233は、流路ブロック2を貫通する貫通孔であって、その一端がダイヤフラム3に対向し、流体流入流路231は、貫通孔の外周に連通し、逆止弁7は、連通路233の他端から取り付けられる。
Further, in the present embodiment, the
この構成によれば、流体流入流路231を連通路233の外周に連通させることで、流体流入流路と連通路とが上下方向に沿って重ならないように連通する流路ブロックに比べ、流路ブロック2の上下方向における小型化を図ることができる。この結果、バルブ装置1の大型化をより抑制することができる。また、流体流入流路231の一端は、連通路233の他端に連通することなく、連通路233の中間部分の外周に連通するので、連通路233の他端から逆止弁7を取り付けることができる。
According to this configuration, by communicating the fluid
さらに、逆止弁7は、ダイヤフラム3に対向しない連通路233の他端から取り付けられるので、アクチュエータ5を流路ブロック2に取り付けた後にも、流路ブロック2に対し逆止弁7の着脱を容易に行うことができるので、ダイヤフラム3に対向する連通路の一端から逆止弁を取り付けるバルブ装置に比べ、バルブ装置1を容易に製造することができる。
Further, since the
また、本実施形態では、逆止弁7は、連通路233に位置決めされた逆止弁用弁座71と、逆止弁用弁座71から離間又は逆止弁用弁座71に押圧されることにより、連通路233を開閉する逆止弁用弁体72と、逆止弁用弁体72を逆止弁用弁座71に押圧させるように付勢するコイルばね73と、逆止弁用弁座71を連通路233に位置決めするプラグ74と、を有する。
Further, in the present embodiment, the
この構成によれば、逆止弁用弁座71をプラグ74によって連通路233に位置決めすることで、他の流路ブロックを別途設けることなく、逆止弁7を単一の流路ブロック2の連通路233に内蔵させることができる。このため、バルブ装置1の大型化及び構造の複雑化を抑制することができる。
According to this configuration, the
また、本実施形態では、逆止弁7は、逆止弁用弁座71とプラグ74との間に介装されるプレート75をさらに有する。
Further, in the present embodiment, the
この構成によれば、逆止弁用弁座71とプラグ74との間にプレート75を介装しない逆止弁7に比べ、プラグ74の締め付けによる逆止弁用弁座71の共回りを抑制することができる。
According to this configuration, as compared with the
また、本実施形態では、逆止弁用弁座71は、逆止弁用弁体72と接触可能に設けられる樹脂製の弁体接触部711と、逆止弁用弁体72と接触することなく、弁体接触部711を保持する金属製の弁体非接触部712と、を有する。
Further, in the present embodiment, the check
この構成によれば、弁体接触部711を樹脂製とすることで、逆止弁7が開状態から閉状態に切り替わる際に、逆止弁用弁体72と弁体接触部711との接触による両者の摩耗を低減することができる。この結果、逆止弁7の使用寿命を延長することができる。また、弁体非接触部712を金属製とすることで、逆止弁用弁座71全体の強度を高めることができるので、逆止弁用弁座71の強度低下による逆止弁7の性能低下を抑制することができる。
According to this configuration, by making the valve
また、本実施形態では、逆止弁7は、逆止弁用弁座71と連通路233との間に介装されるシール材76をさらに有する。
Further, in the present embodiment, the
この構成によれば、流体が連通路233からバルブ装置1の外部に漏れることを防止することができる。
According to this configuration, it is possible to prevent the fluid from leaking from the
以上、本実施形態について説明したが、上述した実施形態は、本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上述した実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。 Although the present embodiment has been described above, the above-described embodiment shows only a part of the application examples of the present invention, and the purpose is to limit the technical scope of the present invention to the specific configuration of the above-described embodiment. is not it.
(第2実施形態)
次に、図6から図8を参照しながら第2実施形態に係るバルブ装置1Aについて説明する。なお、本実施形態では、第1実施形態と同様の点については説明を省略し、主に第1実施形態と相違する点について説明する。
(Second Embodiment)
Next, the
図6は、第2実施形態に係るバルブ装置1Aを示す断面図である。図7は、図6における要部Bを示す拡大断面図である。図8は、フィルタ大径部771を示す底面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing the
図6に示すように、バルブ装置1Aは、単一の流路ブロック2A、ダイヤフラム3、ダイヤフラム押さえ4、アクチュエータ5、スペーサ6及び逆止弁7Aを備える。
As shown in FIG. 6, the
本実施形態に係るバルブ装置1Aのダイヤフラム3、ダイヤフラム押さえ4、アクチュエータ5及びスペーサ6は、第1実施形態に係るバルブ装置1のダイヤフラム3、ダイヤフラム押さえ4、アクチュエータ5及びスペーサ6と同様であるため、これらの説明を省略する。
Since the
本実施形態に係る流路ブロック2Aは、連通路233A(図7参照)を除き、第1実施形態に係る流路ブロック2と同様であるため、連通路233Aを除く流路ブロック2Aの説明を省略する。
Since the
本実施形態に係る連通路233Aは、中径路233Bを除き、第1実施形態に係る連通路233と同様であるため、中径路233Bを除く連通路233Aの説明を省略する。
Since the
第1実施形態に係る中径路233bは、ばね受け部としての縮径部234を有するのに対し、本実施形態に係る中径路233Bは、縮径部234を有していない点で相違する。すなわち、中径路233Bは、その一端(上端)からその他端(下端)に亘って同一の径に形成される。また、中径路233Bの一端(上端)の周壁には、後述する雄ねじ773に螺合する雌ねじ240が形成される。
The medium-
一方、第1実施形態に係る逆止弁7は、逆止弁用弁座71、逆止弁用弁体72、コイルばね73、プラグ74、プレート75及びシール材76を有するのに対し、本実施形態に係る逆止弁7Aは、図7に示すように、逆止弁用弁体72、コイルばね73、プラグ74、プレート75及びシール材76に加え、フィルタ77を有する点で相違する。
On the other hand, the
図7に示すように、フィルタ77は、プロセスガス等の流体に混在される異物(具体的には、パーティクル)を濾過するためのフィルタである。フィルタ77は、コイルばね73よりも連通路233Aの下流側に位置するように設けられる。すなわち、フィルタ77は、連通路233Aの最下流側に位置するように設けられる。また、製作容易性の観点から、フィルタ77は、焼結金属から構成されることが好ましい。
As shown in FIG. 7, the filter 77 is a filter for filtering foreign substances (specifically, particles) mixed in a fluid such as a process gas. The filter 77 is provided so as to be located on the downstream side of the
フィルタ77は、連通路233Aにおける中径路233Bの一端(上端)に収容される螺合部としての筒状(具体的には、円筒状)のフィルタ大径部771と、フィルタ大径部771よりも下流側に位置するように小径路233aに収容されるヘッド部としての有底筒状(具体的には、有底円筒状)のフィルタ小径部772と、を有する。なお、フィルタ大径部771とフィルタ小径部772とは、同軸に一体形成される。さらに、フィルタ大径部771の内径とフィルタ小径部772の内径とは、同一である。
The filter 77 is composed of a tubular (specifically, cylindrical) filter
フィルタ大径部771の外周には、中径路233Bの雌ねじ240に螺合する雄ねじ773が形成される。これにより、フィルタ77全体を大きくせず、連通路233Aにフィルタ77を容易に取り付けることができる。そして、雄ねじ773を雌ねじ240に締め付けることによって、フィルタ大径部771の一端面(上端面)を、小径路233aと中径路233Bとの境界に形成される突当部としての段差235に突き当てる。これにより、連通路233Aに対しフィルタ77の位置決めを確実にすることができる。
A
フィルタ大径部771の他端面(下端面)には、ばね受け部としての突起部774が設けられる。突起部774の外側には、コイルばね73の一端が保持される。すなわち、コイルばね73は、その一端が突起部774によって保持されるとともにその他端が逆止弁用弁体72の弁体大径部721によって保持されるように、圧縮状態で弁体大径部721とフィルタ大径部771との間に収容される。
A
図8に示すように、突起部774には、回転工具(図示しない)に係合する略十字型の溝775が形成される。そして、突起部774は、溝775によって、同一円周上に所定の間隔を空けて形成される四つの略扇状の突起774aに分割される。これにより、回転工具が溝775に係合した状態において、連通路233Aにフィルタ77を容易に締め付けることができる。
As shown in FIG. 8, the
また、本実施形態では、ばね受け部は、突起部774から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、フィルタ大径部771の他端面(下端面)に形成される円形状の溝から構成されもよい。この場合、コイルばね73の一端は、この溝に嵌合するように保持される。
Further, in the present embodiment, the spring receiving portion is composed of the
フィルタ小径部772は、濾過材として機能する。フィルタ小径部772は、その一端(上端)が蓋材によって封止されるとともにその他端(下端)が開口する。また、フィルタ小径部772の周壁は、その他端からその一端に向かうにつれ縮径されるように形成される。そして、フィルタ小径部772の周壁と連通路233Aの小径路233aを構成する周壁との間には、小さい隙間しか形成されない。このため、この隙間における大きな抵抗によって、流体がほとんどフィルタ小径部772の周壁を通過することができない。よって、フィルタ小径部772の蓋材は、主に濾過材として機能する。フィルタ小径部772の他端は、フィルタ大径部771に接続される。なお、フィルタ小径部772は、ダイヤフラム3と接触しないように設けられる。
The
また、本実施形態では、フィルタ77は、フィルタ大径部771及びフィルタ小径部772を有しているが、これに限定されるものではなく、例えば、フィルタ小径部772を有することなく、フィルタ大径部771のみを有してもよい。この場合、フィルタ大径部771は、有底筒状(具体的には、有底円筒状)をなし、その蓋材が濾過材として機能する。
Further, in the present embodiment, the filter 77 has a filter
また、本実施形態では、フィルタ大径部771とフィルタ小径部772とは、一体形成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、別体形成されてもよい。この場合、フィルタ小径部772のみが焼結金属から構成されれば足りる。
Further, in the present embodiment, the filter
次に、本実施形態による作用効果について説明する。 Next, the action and effect of this embodiment will be described.
本実施形態では、逆止弁7Aは、突起部774が設けられるとともに連通路233Aに配置されるフィルタ77をさらに有し、コイルばね73は、その一端が突起部774によって保持されるとともにその他端が逆止弁用弁体72によって保持され、逆止弁用弁体72とフィルタ77との間に収容される。
In the present embodiment, the
この構成によれば、流体に混在される異物(具体的には、パーティクル)をフィルタ77よって濾過することができる。また、コイルばね73は、圧縮状態で逆止弁用弁体72とフィルタ77との間に収容されるので、第1実施形態に記載の縮径部234を廃止することができる。この結果、連通路233Aを容易に加工することができる。また、可動する逆止弁用弁体72やコイルばね73から異物が発生した場合にも、外やフラム3と弁座25に異物が挟まり流体が僅かに流体流出流路232に流れてしまうことを防止することができる。
According to this configuration, foreign substances (specifically, particles) mixed in the fluid can be filtered by the filter 77. Further, since the
また、本実施形態では、フィルタ77は、連通路233Aに螺合するフィルタ大径部771を有し、連通路233Aには、フィルタ大径部771が突き当たることによってフィルタ77を位置決めする段差235が設けられる。
Further, in the present embodiment, the filter 77 has a filter
この構成によれば、フィルタ77は、フィルタ大径部771と連通路233Aとの螺合によって、連通路233Aに取り付けられるので、フィルタ77全体を大きくせず、連通路233Aにフィルタを容易に取り付けることができる。また、フィルタ大径部771を段差235に突き当てることによって、連通路233Aに対しフィルタ77を位置決めすることができる。
According to this configuration, the filter 77 is attached to the
(フィルタの第1変形例)
次に、図9を参照しながらフィルタ77の第1変形例(フィルタ77A)について説明する。なお、本変形例では、第2実施形態と同様の点については説明を省略し、主に第2実施形態と相違する点について説明する。
(First modification of the filter)
Next, a first modification (filter 77A) of the filter 77 will be described with reference to FIG. In this modification, the same points as those in the second embodiment will be omitted, and the points different from those in the second embodiment will be mainly described.
図9は、フィルタ77Aを示す断面図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view showing the
上述した第2実施形態では、ヘッド部は、フィルタ小径部772から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、図9に示す円錐部772Aから構成されてもよい。この場合、円錐部772Aは、断面視にてテーパ部を有する。これによれば、円錐部772Aのテーパ部と連通路233Aの小径路233aを構成する周壁との間に形成される隙間が大きいため、上述した第2実施形態に比べ、濾過材として機能する部分の面積を大きくすることができるので、濾過効率を向上させることができる。
In the second embodiment described above, the head portion is composed of the filter
また、本実施形態では、円錐部772Aの先端は、鋭角となっているが、これに限定されるものではなく、例えば、丸みを帯びてもよい。
Further, in the present embodiment, the tip of the
(フィルタの第2変形例)
次に、図10を参照しながらフィルタ77の第2変形例(フィルタ77B)について説明する。なお、本変形例では、第2実施形態と同様の点については説明を省略し、主に第2実施形態と相違する点について説明する。
(Second modification of the filter)
Next, a second modification of the filter 77 (filter 77B) will be described with reference to FIG. In this modification, the same points as those in the second embodiment will be omitted, and the points different from those in the second embodiment will be mainly described.
図10は、フィルタ77Bを示す断面図である。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing the
上述した第2実施形態では、ヘッド部は、フィルタ小径部772から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば、図10に示す半円球部772Bから構成されてもよい。この場合、半円球部772Bは、断面視にて放物線状部を有する。これによれば、半円球部772Bの放物線状部と連通路233Aの小径路233aを構成する周壁との間に形成される隙間が大きいため、上述した第1変形例と同様に上述した第2実施形態に比べ、濾過材として機能する部分の面積を大きくすることができるので、濾過効率を向上させることができる。
In the second embodiment described above, the head portion is composed of the filter
1 バルブ装置
1A バルブ装置
2 流路ブロック
2A 流路ブロック
3 ダイヤフラム(弁体)
4 ダイヤフラム押さえ(弁体押さえ)
5 アクチュエータ
7 逆止弁
7A 逆止弁
71 逆止弁用弁座
72 逆止弁用弁体
73 コイルばね(付勢部材)
74 プラグ(位置決め部材)
75 プレート
76 シール材
77 フィルタ
231 流体流入流路
232 流体流出流路
233 連通路
233A 連通路
711 弁体接触部
712 弁体非接触部
774 突起部(ばね受け部)
1
4 Diaphragm retainer (valve retainer)
5
74 plug (positioning member)
75
Claims (10)
前記連通路を開閉する弁体と、
前記弁体を押さえる弁体押さえと、
前記弁体押さえを介して前記弁体を押下するアクチュエータと、
前記連通路に内蔵され、前記流体流入流路から前記流体流出流路へ流れる流体のみを許容する逆止弁と、を備える、バルブ装置。 A single flow path block in which a fluid inflow flow path, a fluid outflow flow path, and a communication path communicating the fluid inflow flow path and the fluid outflow flow path are formed.
A valve body that opens and closes the passageway
The valve body retainer that presses the valve body and
An actuator that pushes the valve body via the valve body retainer, and an actuator that pushes the valve body.
A valve device including a check valve built in the communication passage and allowing only fluid flowing from the fluid inflow flow path to the fluid outflow flow path.
前記流体流入流路は、前記貫通孔の外周に連通し、
前記逆止弁は、前記連通路の他端から取り付けられる、請求項1に記載のバルブ装置。 The communication passage is a through hole penetrating the flow path block, and one end thereof faces the valve body.
The fluid inflow flow path communicates with the outer periphery of the through hole and communicates with the outer circumference of the through hole.
The valve device according to claim 1, wherein the check valve is attached from the other end of the communication passage.
前記連通路に位置決めされた逆止弁用弁座と、
前記逆止弁用弁座から離間又は前記逆止弁用弁座に押圧されることによって前記連通路を開閉する逆止弁用弁体と、
前記逆止弁用弁体を前記逆止弁用弁座に押圧させるように付勢する付勢部材と、
前記逆止弁用弁座を前記連通路に位置決めする位置決め部材と、を有する、請求項1又は2に記載のバルブ装置。 The check valve is
A check valve valve seat positioned in the communication passage and
A check valve valve body that opens and closes the communication passage by being separated from the check valve valve seat or pressed by the check valve valve seat.
An urging member that urges the check valve valve body to press against the check valve seat, and
The valve device according to claim 1 or 2, further comprising a positioning member for positioning the check valve valve seat in the communication passage.
前記位置決め部材は、前記連通路に螺合するプラグから構成される、請求項3に記載のバルブ装置。 The check valve further includes a plate interposed between the check valve seat and the positioning member.
The valve device according to claim 3, wherein the positioning member is composed of a plug screwed into the communication passage.
前記逆止弁用弁体と接触可能に設けられる樹脂製の弁体接触部と、
前記逆止弁用弁体と接触することなく、前記弁体接触部を保持する金属製の弁体非接触部と、を有する、請求項3又は4に記載のバルブ装置。 The check valve seat is
A resin valve body contact portion provided so as to be in contact with the check valve valve body,
The valve device according to claim 3 or 4, further comprising a metal valve body non-contact portion that holds the valve body contact portion without contacting the check valve valve body.
前記逆止弁は、ばね受け部が設けられるとともに前記連通路に配置されるフィルタをさらに有し、
前記コイルばねは、その一端が前記ばね受け部によって保持されるとともにその他端が前記逆止弁用弁体によって保持され、前記逆止弁用弁体と前記フィルタとの間に収容される、請求項3から6のいずれか1項に記載のバルブ装置。 The urging member is composed of a coil spring.
The check valve is provided with a spring receiving portion and further has a filter arranged in the communication passage.
A claim that one end of the coil spring is held by the spring receiving portion and the other end is held by the check valve valve body and is accommodated between the check valve valve body and the filter. Item 6. The valve device according to any one of Items 3 to 6.
前記連通路には、前記螺合部が突き当たることによって前記フィルタを位置決めする突当部が設けられる、請求項7に記載のバルブ装置。 The filter has a threaded portion that is screwed into the communication path.
The valve device according to claim 7, wherein the communication passage is provided with an abutting portion for positioning the filter by abutting the screwed portion.
前記ヘッド部は、断面視にてテーパ部又は放物線状部を有する、請求項8に記載のバルブ装置。 The filter further has a head portion located on the downstream side of the screwed portion.
The valve device according to claim 8, wherein the head portion has a tapered portion or a parabolic portion in a cross-sectional view.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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- 2019-09-30 JP JP2019180767A patent/JP2021055783A/en active Pending
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A977 | Report on retrieval |
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