JP2021025896A - Encoder system, motor system, and robot - Google Patents

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宏明 永田
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Abstract

To easily specify a faulty place in a power supply line in a system for supplying a supply voltage from a common power supply circuit to a plurality of encoders.SOLUTION: An encoder system includes: an encoder power supply circuit 12 for generating a supply voltage; an individual power supply line 54 that is provided for each encoder 52 for supplying a supply voltage and allows its one end to be connected to the encoder; a switch 22 that is provided in the other end side of its individual power supply line 54 for each individual power supply line 54 and switches connection and disconnection to the encoder power supply circuit 12; and a voltage detection circuit 23 provided in a side of the encoder 52 rather than the switch 22 in the other end side of its individual power supply line for each individual power supply line 54.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、モータで駆動されるロボットなどにおいて位置の検出に用いられるエンコーダを含むエンコーダシステムと、エンコーダシステムを含むモータシステム及びロボットと、に関する。 The present invention relates to an encoder system including an encoder used for position detection in a robot driven by a motor and the like, and a motor system and a robot including the encoder system.

マニピュレータとコントローラとから構成されるロボットは、マニピュレータにおける軸ごとに設けられたモータによって駆動され、各軸のモータは、その軸の位置に基づいてコントローラによって制御される。各軸の位置の検出のためにはエンコーダが使用される。エンコーダが正常に動作しなければ、そのエンコーダが設けられているマニピュレータを正常に動作させることはできない。エンコーダは、マニピュレータの軸ごとにその軸のモータの回転軸に接続されてそのモータの回転位置を検出する。エンコーダは、その内部に電子回路などを含んでおり、電源電圧が供給されて軸位置などを示す信号をロボットの制御装置などに出力する。そのためエンコーダには、電源供給用の配線である電源配線と信号を伝達するための信号配線とが接続される。マニピュレータには通常、複数の軸が設けられて複数のエンコーダが設けられことになるが、複数のエンコーダに対しては共通の配線から分岐する形態で電源電圧を供給することが一般的である。なお、マニピュレータに設けられるエンコーダとしては一般に絶対値エンコーダが用いられる。絶対値エンコーダは、外部からの電源電圧の供給が停止したときにはバックアップモードに移行するなどしてデータを保持するとともに、その間の回転位置の変化などの記憶などの最小限の動作を行える必要がある。 A robot composed of a manipulator and a controller is driven by a motor provided for each axis in the manipulator, and the motor of each axis is controlled by the controller based on the position of the axis. An encoder is used to detect the position of each axis. If the encoder does not operate normally, the manipulator provided with the encoder cannot operate normally. The encoder is connected to the rotation axis of the motor of each axis of the manipulator and detects the rotation position of the motor. The encoder includes an electronic circuit or the like inside, and a power supply voltage is supplied to output a signal indicating an axis position or the like to a robot control device or the like. Therefore, the power supply wiring, which is the wiring for supplying power, and the signal wiring for transmitting signals are connected to the encoder. Normally, a manipulator is provided with a plurality of axes and a plurality of encoders are provided, but it is common to supply a power supply voltage to the plurality of encoders in a form of branching from a common wiring. An absolute value encoder is generally used as the encoder provided in the manipulator. The absolute value encoder needs to be able to hold data by shifting to backup mode when the supply of power supply voltage from the outside is stopped, and to perform minimum operations such as storing changes in the rotation position during that time. ..

液晶表示パネルの製造に用いるガラス基板を搬送するロボットなど、近年のロボットの中にはマニピュレータ部分が大きく、軸における移動距離も長いロボットがある。マニピュレータが動作するとともにエンコーダの３次元空間内で位置も変化するすなわちエンコーダもに移動するから、マニピュレータ内に設けられてエンコーダに接続する配線用のケーブルも移動して曲げられたりねじられたりする。配線が曲げられたりねじられたりすることを配線の変形と呼ぶ。配線の変形の結果、ケーブル内の配線において短絡や地絡が起こる可能性が生じる。エンコーダに接続する配線のうち信号配線において障害が発生した場合、そもそも信号配線は軸ごとに設けられて位置データを送信するものであるので、障害が発生してもその障害も軸ごとに通信異常として検出されることになって、不具合のあった軸を容易に特定することができる。これに対し、電源配線に障害が生じた場合には、共通配線より、全てのエンコーダの電源が同時に異常となり、どの軸の電源配線に障害が発生したかを電源異常が発生した軸の情報に基づいて特定することが困難になる。このため、マニピュレータ内の設けられている電源配線の全てを目視によって調査する必要が生じ、大型のマニピュレータの場合には障害箇所の特定に多大な時間を要するようになる。このような障害箇所の特定に多大な時間を要するという課題は、ロボットに固有なものではなく、複数のエンコーダを有するエンコーダシステム、複数のモータを備えてモータごとにエンコーダが設けられているモータシステムにおいても共通のものである。 Some robots in recent years, such as a robot that conveys a glass substrate used for manufacturing a liquid crystal display panel, have a large manipulator portion and a long moving distance on an axis. As the manipulator operates, its position changes in the three-dimensional space of the encoder, that is, it moves to the encoder, so that the wiring cable provided in the manipulator and connected to the encoder also moves and is bent or twisted. Bending or twisting of wiring is called deformation of wiring. Deformation of the wiring can result in short circuits and ground faults in the wiring within the cable. If a failure occurs in the signal wiring of the wiring connected to the encoder, the signal wiring is provided for each axis to transmit position data, so even if a failure occurs, the failure will also be a communication error for each axis. It will be detected as, and the defective axis can be easily identified. On the other hand, when a failure occurs in the power supply wiring, the power supply of all encoders becomes abnormal at the same time from the common wiring, and the information of the axis in which the power supply error occurred indicates which axis power supply wiring has failed. It becomes difficult to identify based on. For this reason, it becomes necessary to visually inspect all of the power supply wiring provided in the manipulator, and in the case of a large manipulator, it takes a lot of time to identify the faulty part. The problem that it takes a lot of time to identify such an obstacle is not unique to a robot, but an encoder system having a plurality of encoders and a motor system having a plurality of motors and each motor is provided with an encoder. It is also common in.

エンコーダに関連する障害の原因を特定するための技術の一例として特許文献１は、エンコーダやモータの状態に関する状態情報に基づいて異常を検出する異常検出部と、異常が検出された場合に状態情報に基づいて異常の発生原因を解析する原因解析部と、原因解析部による解析結果を不揮発性メモリに格納する不揮発性メモリ制御部とを備えるエンコーダを開示している。コントローラ側からのエンコーダへの電力供給が不足することに対応する技術として特許文献２は、エンコーダごとに補助電源を設けるとともに、コントローラ側からの供給される電源電圧の値が閾値以下であるときには補助電源からの電力をエンコーダに供給する電源電圧検出回路を設けることを開示している。しかしながら特許文献１，２に開示された技術は、エンコーダに接続する電源配線における障害箇所の特定を行うためには使用することができない。エンコーダに関連するものではないが電源電圧の低下を検出して障害箇所を特定する技術として、特許文献３は、共通電源から複数の外部機器に対して電源電圧が供給する場合に、共通電源から外部機器ごとに分岐する電源線の各々に対して接続／切放し回路を設け、共通電源の電圧低下が検出されたときに、電源線ごとに順番にその電源線を共通電源から切放すことによって、どの外部機器に対する電源線において障害が生じたかを検出することを開示している。 As an example of a technique for identifying the cause of a failure related to an encoder, Patent Document 1 describes an abnormality detection unit that detects an abnormality based on state information related to the state of an encoder or a motor, and state information when an abnormality is detected. An encoder including a cause analysis unit that analyzes the cause of an abnormality based on the above and a non-volatile memory control unit that stores the analysis result by the cause analysis unit in a non-volatile memory is disclosed. As a technique for dealing with insufficient power supply from the controller side to the encoder, Patent Document 2 provides an auxiliary power supply for each encoder and assists when the value of the power supply voltage supplied from the controller side is equal to or less than the threshold value. It discloses that a power supply voltage detection circuit for supplying power from a power source to an encoder is provided. However, the techniques disclosed in Patent Documents 1 and 2 cannot be used to identify a faulty part in the power supply wiring connected to the encoder. As a technique that is not related to the encoder but detects a drop in the power supply voltage and identifies the faulty part, Patent Document 3 describes that when the power supply voltage is supplied from the common power supply to a plurality of external devices, the common power supply A connection / disconnection circuit is provided for each of the power supply lines that branch off for each external device, and when a voltage drop in the common power supply is detected, the power supply line is disconnected from the common power supply in order for each power supply line. It discloses that it detects which external device the power line has failed.

特開２０１５−９０３０７号公報JP-A-2015-90307 特開平８−２５１８１７号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 8-251817 特開平１０−２０３７４０号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-203740

特許文献３に開示された技術は、障害が完全な地絡や短絡であればどの外部機器に対する電源線において障害が生じたかを検出することができるが、エンコーダの電源配線における障害の検出に適用した場合には、電源配線における障害と信号配線における障害の切り分けを行ったり障害に至る前の予兆を発見したりするのには不十分である。 The technique disclosed in Patent Document 3 can detect which external device the power line has failed if the failure is a complete ground fault or short circuit, but is applied to the detection of the failure in the power wiring of the encoder. If this is the case, it is insufficient to isolate the failure in the power supply wiring and the failure in the signal wiring or to find a sign before the failure.

本発明の目的は、エンコーダに対する電源配線における障害箇所を容易に特定することができるエンコーダシステムと、そのようなエンコーダシステムを備えるモータシステム及びロボットとを提供することにある。 An object of the present invention is to provide an encoder system capable of easily identifying a faulty part in power supply wiring to an encoder, and a motor system and a robot provided with such an encoder system.

本発明のエンコーダシステムは、複数のエンコーダと、電源電圧を発生するエンコーダ電源回路と、電源電圧を供給するためにエンコーダごとに設けられて一端がそのエンコーダに接続する個別電源配線と、個別電源配線ごとにその個別電源配線の他端側に設けられてエンコーダ電源回路への接続と切放しとを切り替えるスイッチと、個別電源配線ごとにその個別電源配線の他端側においてスイッチよりもエンコーダ側に設けられた第１の電圧検出回路と、を有する。 The encoder system of the present invention includes a plurality of encoders, an encoder power supply circuit that generates a power supply voltage, individual power supply wiring provided for each encoder to supply the power supply voltage, and one end connected to the encoder, and individual power supply wiring. A switch is provided on the other end side of the individual power supply wiring to switch between connection and disconnection to the encoder power supply circuit, and each individual power supply wiring is provided on the other end side of the individual power supply wiring on the encoder side of the switch. It also has a first voltage detection circuit.

本発明のエンコーダシステムでは、スイッチによって個別電源配線を１本ずつ独立してエンコーダ電源回路に接続したり切放したりすることができ、かつ個別電源配線ごとに電圧を測定することができるので、個別電源配線における地絡や短絡などの障害が起きたときにどの個別電源配線における障害なのかを速やかに判定でき、また信号配線などでの障害から切り分けて判定することができ、不具合箇所の特定を短時間で行うことができるようになる。 In the encoder system of the present invention, individual power supply wiring can be independently connected to or disconnected from the encoder power supply circuit by a switch, and the voltage can be measured for each individual power supply wiring. When a failure such as a ground fault or short circuit occurs in the wiring, it is possible to quickly determine which individual power supply wiring is the failure, and it is also possible to isolate and determine from the failure in the signal wiring, etc., and identify the defective part in a short time. You will be able to do it in time.

本発明のエンコーダシステムでは、第１の電圧検出回路が電圧値を出力するようにするとともに、エンコーダがその供給された電源電圧を検出して電圧値として出力する第２の電圧検出回路を備えるようにすることが好ましい。この構成によれば、第１の電圧検出回路で検出された電圧値と第２の電圧検出回路で検出された電圧値の差から、個別電源配線における電圧降下や配線インピーダンスを算出でき、個別電源配線における異常や異常前の兆候を発見することが容易になる。電圧降下の検出によってバックアップモードに移行する機能をエンコーダが備えている場合には、異常時のバックアップモードへの移行を容易に行うことができる。 The encoder system of the present invention includes a second voltage detection circuit in which the first voltage detection circuit outputs a voltage value and the encoder detects the supplied power supply voltage and outputs the voltage value. Is preferable. According to this configuration, the voltage drop and wiring impedance in the individual power supply wiring can be calculated from the difference between the voltage value detected by the first voltage detection circuit and the voltage value detected by the second voltage detection circuit, and the individual power supply can be calculated. It becomes easier to detect abnormalities in wiring and signs before abnormalities. If the encoder has a function to shift to the backup mode by detecting a voltage drop, the shift to the backup mode at the time of abnormality can be easily performed.

エンコーダに第２の電圧検出回路を設ける場合には、さらに、第１の電圧検出回路で検出した電圧値と第２の電圧検出回路で検出した電圧値との差を演算する演算手段を設けてもよい。演算手段において差を演算することにより、電圧降下や配線インピーダンスを自動的に算出できて、異常や異常前の兆候の発見がより容易になる。演算手段は、差に応じた電源制御信号をエンコーダ電源回路に出力してもよい。電源制御信号をエンコーダ電源回路に送信することにより、電圧降下や配線インピーダンスに変化があってもエンコーダに供給される電源電圧を適正値に維持することが可能になる。 When a second voltage detection circuit is provided in the encoder, a calculation means for calculating the difference between the voltage value detected by the first voltage detection circuit and the voltage value detected by the second voltage detection circuit is further provided. May be good. By calculating the difference in the calculation means, the voltage drop and the wiring impedance can be automatically calculated, and it becomes easier to find an abnormality or a sign before the abnormality. The calculation means may output a power supply control signal corresponding to the difference to the encoder power supply circuit. By transmitting the power supply control signal to the encoder power supply circuit, it is possible to maintain the power supply voltage supplied to the encoder at an appropriate value even if the voltage drop or the wiring impedance changes.

本発明では、個別電源配線の長さに応じて複数のエンコーダを複数の系統に分類し、系統ごとにエンコーダ電源回路を設けるようにしてもよい。個別電源配線の長さが異なれば電圧降下量も異なるので、個別電源配線の長さに基づいて複数の系統に分類し、系統ごとにエンコーダ電源回路を設けることにより、電圧降下量を見越してエンコーダ電源回路の出力電圧を設定できて各エンコーダに実際に供給される電源電圧の値を適正値により近づけることが可能になる。 In the present invention, a plurality of encoders may be classified into a plurality of systems according to the length of the individual power supply wiring, and an encoder power supply circuit may be provided for each system. Since the voltage drop amount differs depending on the length of the individual power supply wiring, it is classified into multiple systems based on the length of the individual power supply wiring, and an encoder power supply circuit is provided for each system to anticipate the voltage drop amount. The output voltage of the power supply circuit can be set, and the value of the power supply voltage actually supplied to each encoder can be brought closer to an appropriate value.

本発明のモータシステムは、複数のモータを備えるモータシステムであって、本発明のエンコーダシステムを備え、モータごとにエンコーダシステムのエンコーダが設けられている。本発明のモータシステムによれば、本発明のエンコーダシステムを備えることによって、エンコーダごとに設けられる個別電源配線における地絡や短絡などの障害が起きたときにどの個別電源配線における障害なのかを速やかに判定でき、不具合箇所の特定を短時間で行うことができる。 The motor system of the present invention is a motor system including a plurality of motors, includes the encoder system of the present invention, and is provided with an encoder of the encoder system for each motor. According to the motor system of the present invention, by providing the encoder system of the present invention, when a failure such as a ground fault or a short circuit occurs in the individual power supply wiring provided for each encoder, it is possible to quickly determine which individual power supply wiring is the failure. It is possible to identify the defective part in a short time.

本発明のロボットは、複数のモータを備えるマニピュレータとマニピュレータを制御するコントローラとを有するロボットであって、本発明のエンコーダシステムを備え、モータごとにエンコーダシステムのエンコーダが設けられている。本発明のロボットによれば、エンコーダごとに設けられる個別電源配線における地絡や短絡などの障害が起きたときにどの個別電源配線における障害なのかを速やかに判定でき、不具合箇所の特定を短時間で行うことができる。 The robot of the present invention is a robot having a manipulator including a plurality of motors and a controller for controlling the manipulators, and includes the encoder system of the present invention, and an encoder of the encoder system is provided for each motor. According to the robot of the present invention, when a failure such as a ground fault or a short circuit occurs in the individual power supply wiring provided for each encoder, it is possible to quickly determine which individual power supply wiring is the failure, and the defective part can be identified in a short time. Can be done with.

特に本発明のロボットでは、個別電源配線ごとの第１の電圧検出回路とエンコーダとの間の区間に、マニピュレータの移動に伴ってその個別電源配線が変形する区間が含まれるようにすることが好ましい。一般にロボットではマニピュレータの移動に伴って配線の一部が変形するが、そのような変形する区間において配線での短絡や地絡、断線などの障害が発生しやすい。そこで個別電源配線において、マニピュレータの移動によって伴った変形する区間が、他端側に設けられているスイッチ及び第１の電圧検出回路と一端側のエンコーダとの間の区間に含まれるようにすることにより、発生頻度が高いと予想される不具合について、その不具合の発生個所の特定を短時間で行うことができ、ロボットのダウンタイムの大幅な削減が可能になる。 In particular, in the robot of the present invention, it is preferable that the section between the first voltage detection circuit and the encoder for each individual power supply wiring includes a section in which the individual power supply wiring is deformed as the manipulator moves. .. Generally, in a robot, a part of the wiring is deformed as the manipulator moves, but in such a deformed section, a short circuit, a ground fault, or a disconnection in the wiring is likely to occur. Therefore, in the individual power supply wiring, the section that is deformed due to the movement of the manipulator should be included in the section between the switch and the first voltage detection circuit provided on the other end side and the encoder on the one end side. As a result, it is possible to identify the location of a defect that is expected to occur frequently in a short time, and it is possible to significantly reduce the downtime of the robot.

本発明のロボットにおいて、スイッチ及び第１の電圧検出回路は、コントローラに配置することができる。コントローラに配置することによって、マニピュレータ側の改造を行わないで従来のロボットに対して本発明を適用することが可能になる。あるいは本発明のロボットにおいて、スイッチ及び第１の電圧検出回路は、マニピュレータに配置することができる。マニピュレータに配置すれば、コントローラとマニピュレータとの間においてエンコーダに関する電源配線を１本だけ用意すればよいので、配線の引き回しなどを簡単に行うことができるようになる。 In the robot of the present invention, the switch and the first voltage detection circuit can be arranged in the controller. By arranging it on the controller, the present invention can be applied to a conventional robot without modifying the manipulator side. Alternatively, in the robot of the present invention, the switch and the first voltage detection circuit can be arranged in the manipulator. If it is arranged in the manipulator, only one power supply wiring related to the encoder needs to be prepared between the controller and the manipulator, so that the wiring can be easily routed.

本発明によれば、複数のエンコーダに対して共通の電源回路から電源電圧を供給する場合において、電源配線における障害箇所を容易に特定することができるようになる。 According to the present invention, when a power supply voltage is supplied to a plurality of encoders from a common power supply circuit, it becomes possible to easily identify a faulty part in the power supply wiring.

本発明の実施の一形態のロボットを示すブロック図である。It is a block diagram which shows the robot of one Embodiment of this invention. エンコーダに電力を供給する従来の形態を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the conventional form which supplies electric power to an encoder. 別の実施形態のロボットを示すブロック図である。It is a block diagram which shows the robot of another embodiment. さらに別の実施形態のロボットを示すブロック図である。It is a block diagram which shows the robot of still another embodiment.

次に、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の一形態のロボットを示している。このロボットは、コントローラ１０とマニピュレータ５０とからなるものであり、マニピュレータ５０は複数の軸を備えている。マニピュレータ５０では、軸ごとに、モータ５１とその軸のモータ５１に機械的に接続するエンコーダ５２とが設けられている。図示したものでは軸の数が４であるとしてモータ５１とエンコーダ５２との組が４組描かれているが、マニピュレータ５０における軸の数は５以上であってもよい。 Next, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a robot according to an embodiment of the present invention. This robot includes a controller 10 and a manipulator 50, and the manipulator 50 includes a plurality of axes. The manipulator 50 is provided with a motor 51 and an encoder 52 mechanically connected to the motor 51 of the shaft for each shaft. In the illustrated one, four sets of the motor 51 and the encoder 52 are drawn assuming that the number of axes is 4, but the number of axes in the manipulator 50 may be 5 or more.

コントローラ１０は、マニピュレータ５０内の各軸のモータ５１を駆動するドライバ回路１１と、各軸のエンコーダ５２に供給される電源電圧を生成するエンコーダ電源回路１２と、各軸のエンコーダ５２からモータ位置などを示す信号を受信するエンコーダ受信回路１３と、マイクロプロセッサなどによって構成されてロボット全体の制御を行うために必要な演算などを実行する制御部１４とを備えている。図では、説明のため、制御部１４に関係する配線は破線で示されている。各軸のモータ５１は、モータ５１ごとに設けられているモータ配線５３によってドライバ回路１１に接続し、ドライバ回路１１によって軸ごとに独立して駆動される。各軸のエンコーダ５１に電源電圧を供給するために、少なくともマニピュレータ５０内ではエンコーダ５１ごとに個別電源配線５４が設けられている。個別電源配線５４は、コントローラ１０内にも延びている。一方、エンコーダ電源回路１２からは共通電源配線２１を介して電源電圧が出力される。コントローラ１０内において、共通電源配線２１に対して軸ごとの個別電源配線５４が軸ごとのスイッチ２２を介して接続している。そしてコントローラ１０には、個別電源配線５４ごとに、その対応する個別電源配線５４に接続して電圧を検出する電圧検出回路２３が設けられている。個別電源配線５４において電圧検出回路２３が設けられる位置は、スイッチ２２に近接しているがスイッチ２２よりもエンコーダ２３側となっている。したがって個別電源配線５４は、一端がエンコーダ５２に接続するとともに、他端側にスイッチ２２及び電圧検出回路２３が設けられていることになる。このロボットでは、各軸のエンコーダ５２に対する電源電圧は、エンコーダ５２に共通に設けられている共通電源配線２１から、エンコーダ５２ごとに設けられているスイッチ２２及び個別電源配線５４を介して供給されることになる。スイッチ２２は、エンコーダ電源回路１２に対する接続及び切放しをエンコーダ５２ごとに実現する。 The controller 10 includes a driver circuit 11 that drives a motor 51 of each axis in the manipulator 50, an encoder power circuit 12 that generates a power supply voltage supplied to an encoder 52 of each axis, a motor position from the encoder 52 of each axis, and the like. It is provided with an encoder receiving circuit 13 for receiving a signal indicating the above, and a control unit 14 which is configured by a microprocessor or the like and executes calculations necessary for controlling the entire robot. In the figure, for the sake of explanation, the wiring related to the control unit 14 is shown by a broken line. The motor 51 of each shaft is connected to the driver circuit 11 by a motor wiring 53 provided for each motor 51, and is driven independently for each shaft by the driver circuit 11. In order to supply the power supply voltage to the encoder 51 of each axis, an individual power supply wiring 54 is provided for each encoder 51 at least in the manipulator 50. The individual power supply wiring 54 also extends into the controller 10. On the other hand, the power supply voltage is output from the encoder power supply circuit 12 via the common power supply wiring 21. In the controller 10, individual power supply wirings 54 for each shaft are connected to the common power supply wiring 21 via a switch 22 for each shaft. The controller 10 is provided with a voltage detection circuit 23 for each individual power supply wiring 54, which is connected to the corresponding individual power supply wiring 54 to detect the voltage. The position where the voltage detection circuit 23 is provided in the individual power supply wiring 54 is close to the switch 22, but is closer to the encoder 23 than the switch 22. Therefore, one end of the individual power supply wiring 54 is connected to the encoder 52, and the switch 22 and the voltage detection circuit 23 are provided on the other end side. In this robot, the power supply voltage for the encoder 52 of each axis is supplied from the common power supply wiring 21 commonly provided in the encoder 52 via the switch 22 and the individual power supply wiring 54 provided for each encoder 52. It will be. The switch 22 realizes connection and disconnection to the encoder power supply circuit 12 for each encoder 52.

各軸のエンコーダ５２からの信号は、エンコーダ５２ごとに設けられた信号配線５５を介してエンコーダ受信回路１３に入力する。コントローラ１０には、各信号配線５５における信号電圧などを検出することにより信号配線５５の断線を検出する断線検出回路１５も設けられている。制御部１４は、例えば外部から入力する位置指令と各エンコーダ５２から入力する位置データとに基づいて、マニピュレータ５０の位置が位置指令によって指定された位置となるようにドライバ回路１１を介して各軸のモータ５１を駆動する制御を実行するが、さらに、各スイッチ２２のオン（導通）／オフ（遮断）やエンコーダ電源回路１２を制御し、断線検出回路１５からの入力や各電圧検出回路２３での検出値に基づいて障害の発生の有無や障害箇所の特定を行う。制御部１４からの制御を可能とするために、スイッチ２２は、例えば、メカニカルリレーや半導体スイッチによって構成される。 The signal from the encoder 52 of each axis is input to the encoder receiving circuit 13 via the signal wiring 55 provided for each encoder 52. The controller 10 is also provided with a disconnection detection circuit 15 that detects a disconnection of the signal wiring 55 by detecting a signal voltage or the like in each signal wiring 55. The control unit 14 uses the driver circuit 11 via the driver circuit 11 so that the position of the manipulator 50 becomes the position specified by the position command based on, for example, the position command input from the outside and the position data input from each encoder 52. The control for driving the motor 51 of the above is executed, and further, the on (conduction) / off (disconnection) of each switch 22 and the encoder power supply circuit 12 are controlled, and the input from the disconnection detection circuit 15 and each voltage detection circuit 23 are used. Based on the detected value of, the presence or absence of a failure and the location of the failure are identified. In order to enable control from the control unit 14, the switch 22 is composed of, for example, a mechanical relay or a semiconductor switch.

本実施形態のロボットは、例えば、液晶表示パネルの製造に用いるガラス基板など搬送するためのロボットであり、大型のマニピュレータ５０を備えるとともに、マニピュレータ５０の移動距離も長いものである。そのため、マニピュレータ５０内におけるモータ配線５３、個別電源配線５４及び信号配線５５の長さも例えば数十ｍにも及ぶ。マニピュレータ５０が動作して移動することによって、モータ配線５３、個別電源配線５４及び信号配線５５もマニピュレータ５０とともに移動し、その結果、曲げられたりねじられたりしてすなわち変形して種々のストレスを受けることになる。このようなストレスは配線における地絡や短絡、断線の原因ともなり得るものである。 The robot of the present embodiment is, for example, a robot for transporting a glass substrate or the like used for manufacturing a liquid crystal display panel, and is provided with a large manipulator 50 and has a long moving distance of the manipulator 50. Therefore, the lengths of the motor wiring 53, the individual power supply wiring 54, and the signal wiring 55 in the manipulator 50 are, for example, several tens of meters. As the manipulator 50 operates and moves, the motor wiring 53, the individual power supply wiring 54, and the signal wiring 55 also move together with the manipulator 50, and as a result, they are bent or twisted, that is, deformed and subjected to various stresses. It will be. Such stress can also cause ground faults, short circuits, and disconnections in wiring.

従来のロボットでは、図２に示すように、エンコーダ電源回路１２からの共通電源配線２１がコントローラ１０からマニピュレータ５０まで延びるとともに、共通電源配線２１の末端に対して各エンコーダ５２からの個別電源配線５４が直接接続していた。その結果、いずれかの軸の個別電源配線５４において地絡などの障害が発生すると、エンコーダ電源回路１２の出力が過電流によって遮断するか出力電圧が低下し、すべてのエンコーダ５２に対する電源供給が停止する。電源電圧における異常を検出する機能を各エンコーダ５２が備えている場合であっても、エンコーダ５２からの信号によっては、どのエンコーダ５２に接続する個別電源配線５４において障害が発生したかを特定することができない。障害箇所の特定のためには、マニピュレータ５０内の個別電源配線５４の全てを目視によって点検せざるを得なくなる。液晶表示パネル用のガラス基板を搬送するロボットの場合、マニピュレータ５０が大型化するとともに、マニピュレータ５０自体がクリーンルームや減圧環境下に配置されるので、マニピュレータ５０内の個別電源配線５４の全てを点検してロボットを障害から復旧させることに多大な時間を要する。 In the conventional robot, as shown in FIG. 2, the common power supply wiring 21 from the encoder power supply circuit 12 extends from the controller 10 to the manipulator 50, and the individual power supply wiring 54 from each encoder 52 is connected to the end of the common power supply wiring 21. Was directly connected. As a result, if a failure such as a ground fault occurs in the individual power supply wiring 54 of any of the axes, the output of the encoder power supply circuit 12 is cut off due to an overcurrent or the output voltage drops, and the power supply to all the encoders 52 is stopped. To do. Even if each encoder 52 has a function of detecting an abnormality in the power supply voltage, it is possible to identify which encoder 52 the individual power supply wiring 54 connected to has a failure depending on the signal from the encoder 52. I can't. In order to identify the faulty part, all the individual power supply wirings 54 in the manipulator 50 must be visually inspected. In the case of a robot that conveys a glass substrate for a liquid crystal display panel, the manipulator 50 becomes large and the manipulator 50 itself is arranged in a clean room or a reduced pressure environment. Therefore, inspect all the individual power supply wirings 54 in the manipulator 50. It takes a lot of time to recover the robot from the failure.

これに対し図１に示した本実施形態のロボットでは、それぞれのエンコーダ５２に接続する個別電源配線５４において、エンコーダ電源回路１２に接続する共通電源配線２１に接続する位置からわずかにエンコーダ５２よりの位置にスイッチ２２を設けている。このスイッチ２２は、個別電源配線５４ごとすなわちエンコーダ５２ごとに制御部１４によって個別にオン／オフ制御することが可能である。そこでコントローラ１０の電源が投入された直後などの時点において、エンコーダ５２ごとのスイッチ２２を個別にオンとし次いでオフとすることを各エンコーダ５２に対して順番に実行する。このとき、オンとされたスイッチ２２に対応するエンコーダ５３からの信号をエンコーダ受信回路１３において正しく受信することができれば、そのエンコーダ５３に対応する個別電源配線５４及び信号配線５５はいずれも正常である、と判断することができる。これに対し、オンとされたスイッチ２２に対応するエンコーダ５３からの信号を正しくは受信できない場合には、そのエンコーダ５３に対応する個別電源配線５４及び信号配線５５の少なくとも一方に地絡などの障害があると判定することができる。このとき、対応する個別電源配線５４に接続されている電圧検出回路２３において正しく電源電圧が検出できていれば、対応するエンコーダ５２からの信号配線５５に障害が生じたと判断することができる。反対に、１つのスイッチ２２だけがオンとされ、かつそのスイッチに隣接して設けられている電圧検出回路２３において電源電圧を検出できなければ、そのスイッチ２２に接続する個別電源配線５４における地絡または短絡が発生したと判断することができる。 On the other hand, in the robot of the present embodiment shown in FIG. 1, the individual power supply wiring 54 connected to each encoder 52 is slightly closer to the encoder 52 than the position connected to the common power supply wiring 21 connected to the encoder power supply circuit 12. A switch 22 is provided at the position. The switch 22 can be individually turned on / off by the control unit 14 for each individual power supply wiring 54, that is, for each encoder 52. Therefore, immediately after the power of the controller 10 is turned on, the switches 22 for each encoder 52 are individually turned on and then turned off for each encoder 52 in order. At this time, if the signal from the encoder 53 corresponding to the turned-on switch 22 can be correctly received in the encoder receiving circuit 13, the individual power supply wiring 54 and the signal wiring 55 corresponding to the encoder 53 are both normal. , Can be judged. On the other hand, when the signal from the encoder 53 corresponding to the turned-on switch 22 cannot be correctly received, an obstacle such as a ground fault occurs in at least one of the individual power supply wiring 54 and the signal wiring 55 corresponding to the encoder 53. It can be determined that there is. At this time, if the voltage detection circuit 23 connected to the corresponding individual power supply wiring 54 can correctly detect the power supply voltage, it can be determined that the signal wiring 55 from the corresponding encoder 52 has failed. On the contrary, if only one switch 22 is turned on and the power supply voltage cannot be detected by the voltage detection circuit 23 provided adjacent to the switch, a ground fault in the individual power supply wiring 54 connected to the switch 22. Alternatively, it can be determined that a short circuit has occurred.

本実施形態では、制御部１５が１つずつスイッチ２２を順番にオンとすることによって、どのエンコーダ５２に接続する配線に障害が発生しているか、その障害が発生している配線が個別電源配線５４か信号配線５５であるかを容易に特定できるようになり、配線を目視等によって点検しなければならないとしても点検箇所を限定することができて、障害箇所の特定や障害からの復旧に要する時間を大幅に短縮することが可能になる。 In the present embodiment, the control unit 15 turns on the switches 22 one by one in order to determine which encoder 52 the wiring connected to has a failure, and the wiring in which the failure has occurred is an individual power supply wiring. It becomes possible to easily identify whether it is 54 or the signal wiring 55, and even if the wiring must be visually inspected, the inspection points can be limited, which is necessary for identifying the failure location and recovering from the failure. It is possible to save a lot of time.

本実施形態において電圧検出回路２３は、入力電圧が正常であるかそうでないかを判別するだけの電圧コンパレータ回路から構成されていてもよい。しかしながら電圧検出回路２３は、良否を示す二値信号を出力するものであるよりも、測定された電圧を電圧値として出力するものであることが好ましい。ここでいう電圧値は、アナログ値であってもよいし、アナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換機能などによって多値データとして表されたデジタル値であってもよい。電圧検出回路２３がアナログ値または多値データである電圧値を検出する回路であり、エンコーダ５２にもその供給される電源電圧を検出する回路が設けられているとすれば、電圧検出回路２３で検出された電圧値とエンコーダ５２において検出された電圧値とから、個別電源配線５４における電圧降下量を求めることができる。大型のマニピュレータ５０であれば個別電源配線５４も長く、個別電源配線５４によって供給される電源電圧での電圧降下を無視することはできない。エンコーダ５２における消費電流は既知であって大きくは変動はしないから、個別電源配線５４での電圧降下量とエンコーダ５２の消費電流とから個別電源配線５４の配線インピーダンスを算出することが可能となり、保守や設計マージンの確認が容易に行るようになる。電圧降下量や配線インピーダンスの変化を追跡することによって、配線における異常の発生や異常前の兆候の発見を容易に行えるようになる。エンコーダ５２で実際に測定された電源電圧を制御部１５にフィードバックし、制御部１５がエンコーダ電源回路１２を制御することによって、個別電源配線５４での電圧降下量によらずにエンコーダ５２に実際に供給される電源電圧値を適正値とすることができる。例えば制御部１５は、電圧検出回路２３で検出された電圧値とエンコーダ５２において検出された電圧値との差を求め、この差に応じた電圧制御信号をエンコーダ電源回路１２に出力する。 In the present embodiment, the voltage detection circuit 23 may be composed of a voltage comparator circuit that only determines whether the input voltage is normal or not. However, it is preferable that the voltage detection circuit 23 outputs the measured voltage as a voltage value rather than outputting a binary signal indicating good or bad. The voltage value referred to here may be an analog value, or may be a digital value represented as multi-valued data by an analog / digital (A / D) conversion function or the like. If the voltage detection circuit 23 is a circuit that detects a voltage value that is analog value or multi-value data, and the encoder 52 is also provided with a circuit that detects the supplied power supply voltage, the voltage detection circuit 23 From the detected voltage value and the voltage value detected by the encoder 52, the amount of voltage drop in the individual power supply wiring 54 can be obtained. If it is a large manipulator 50, the individual power supply wiring 54 is also long, and the voltage drop at the power supply voltage supplied by the individual power supply wiring 54 cannot be ignored. Since the current consumption of the encoder 52 is known and does not fluctuate significantly, it is possible to calculate the wiring impedance of the individual power supply wiring 54 from the voltage drop amount of the individual power supply wiring 54 and the current consumption of the encoder 52 for maintenance. And design margins can be easily confirmed. By tracking changes in the amount of voltage drop and wiring impedance, it becomes possible to easily detect the occurrence of an abnormality in the wiring and the signs before the abnormality. The power supply voltage actually measured by the encoder 52 is fed back to the control unit 15, and the control unit 15 controls the encoder power supply circuit 12, so that the encoder 52 actually operates regardless of the voltage drop amount in the individual power supply wiring 54. The supplied power supply voltage value can be set as an appropriate value. For example, the control unit 15 obtains a difference between the voltage value detected by the voltage detection circuit 23 and the voltage value detected by the encoder 52, and outputs a voltage control signal corresponding to this difference to the encoder power supply circuit 12.

大型のマニピュレータ５０の場合、モータ５１やエンコーダ５２がマニピュレータ５０のどの軸のものであるかによって、モータ配線５３、個別電源配線５４及び信号配線５５の長さが大きく異なることがある。個別電源配線５４の長さが異なれば個別電源配線５４における電圧降下量も異なることとなり、エンコーダ５２に実際に供給される電源電圧も異なることとなる。個別電源配線５４での電圧降下量が異なる場合、同一のエンコーダ電源回路１２から複数のエンコーダ５２に対して電源電圧を供給した場合にエンコーダ５２ごとに実際に供給される電源電圧が異なり、上述したように電源電圧の測定値をフィードバックしてエンコーダ電源回路１２を制御したとしても、すべてのエンコーダ５２において実際の電源電圧を適正値にするような制御を行うことは難しい。その一方でエンコーダ５２の数だけエンコーダ電源回路１２を用意し、エンコーダ５２に対してエンコーダ電源回路１２から１対１で電源電圧を供給することは、コントローラ１０を必要以上に大規模なものとする。 In the case of a large manipulator 50, the lengths of the motor wiring 53, the individual power supply wiring 54, and the signal wiring 55 may differ greatly depending on which axis of the manipulator 50 the motor 51 and the encoder 52 belong to. If the length of the individual power supply wiring 54 is different, the amount of voltage drop in the individual power supply wiring 54 will be different, and the power supply voltage actually supplied to the encoder 52 will also be different. When the amount of voltage drop in the individual power supply wiring 54 is different, the power supply voltage actually supplied is different for each encoder 52 when the power supply voltage is supplied to the plurality of encoders 52 from the same encoder power supply circuit 12, and is described above. Even if the encoder power supply circuit 12 is controlled by feeding back the measured value of the power supply voltage as described above, it is difficult to control all the encoders 52 so as to make the actual power supply voltage an appropriate value. On the other hand, preparing the encoder power supply circuits 12 for the number of encoders 52 and supplying the power supply voltage to the encoder 52 from the encoder power supply circuit 12 on a one-to-one basis makes the controller 10 larger than necessary. ..

図３に示す本発明の別の実施形態のロボットは、図１に示すロボットと同様のものであるが、個別電源配線５４の長さによってエンコーダ５２に実際に供給される電源電圧がばらつくことを軽減するために、個別電源配線５４の長さに応じて複数のエンコーダ５２をいくつかの系統に分類し、系統ごとにエンコーダ電源回路１２，１６を設けるようにしたものである。図示したものでは２つのエンコーダ電源回路１２，１６が設けられおり、４個のエンコーダ５２のうち、個別電源配線５４の長さが相対的に短い２つのエンコーダ５２に対してはエンコーダ電源回路１２から電源電圧を供給し、個別電源配線５４の長さが相対的に長い２つのエンコーダ５２にはエンコーダ電源回路１６から電源電圧を供給している。エンコーダ電源回路１２，１６は、それぞれ、制御部１５からの制御によって出力電圧を調整できるものであるが、基本的にはこれらの出力電圧は、個別電源配線５４における電圧降下量を加味したものとなっている。これにより、個別電源配線５４の長さの違いによらずに各エンコーダ５２をより適正値に近い電源電圧で駆動することが可能になる。エンコーダ電源回路１２，１６ごとに共通電源配線２１が設けられること、各共通電源配線２１から複数の個別電源配線５４が分岐すること、個別電源配線５４ごとにスイッチ２２と電圧検出回路２３が設けられることは、図１に示したものと同様である。 The robot of another embodiment of the present invention shown in FIG. 3 is similar to the robot shown in FIG. 1, but the power supply voltage actually supplied to the encoder 52 varies depending on the length of the individual power supply wiring 54. In order to reduce the number, the plurality of encoders 52 are classified into several systems according to the length of the individual power supply wiring 54, and the encoder power supply circuits 12 and 16 are provided for each system. In the illustrated one, two encoder power supply circuits 12 and 16 are provided, and among the four encoders 52, the encoder power supply circuit 12 starts with respect to the two encoders 52 in which the length of the individual power supply wiring 54 is relatively short. The power supply voltage is supplied, and the power supply voltage is supplied from the encoder power supply circuit 16 to the two encoders 52 having relatively long individual power supply wirings 54. The output voltage of each of the encoder power supply circuits 12 and 16 can be adjusted by the control from the control unit 15, but basically, these output voltages take into account the amount of voltage drop in the individual power supply wiring 54. It has become. This makes it possible to drive each encoder 52 with a power supply voltage closer to an appropriate value regardless of the difference in the length of the individual power supply wiring 54. A common power supply wiring 21 is provided for each of the encoder power supply circuits 12 and 16, a plurality of individual power supply wirings 54 are branched from each common power supply wiring 21, and a switch 22 and a voltage detection circuit 23 are provided for each individual power supply wiring 54. This is the same as that shown in FIG.

図３に示すロボットでは、それぞれのエンコーダ５２に実際に供給された電源電圧に基づいてエンコーダ電源回路１２，１６の出力電圧のフィードバック制御を独立して行うことができる。電圧降下量の違いにもかかわらず、４個のエンコーダ５２においてそれぞれのエンコーダ５２に実際に供給される電圧のばらつきは小さくなり、これらのエンコーダ５２に実際に供給される電源電圧を適正値により近づけることが可能になる。 In the robot shown in FIG. 3, feedback control of the output voltages of the encoder power supply circuits 12 and 16 can be independently performed based on the power supply voltage actually supplied to each encoder 52. Despite the difference in the amount of voltage drop, the variation in the voltage actually supplied to each encoder 52 in the four encoders 52 becomes small, and the power supply voltage actually supplied to these encoders 52 is brought closer to the appropriate value. Will be possible.

図１に示したロボットではスイッチ２２及び電圧検出回路２３をコントローラ１０内に設けているが、スイッチ２２及び電圧検出回路２３をマニピュレータ５０内に設けることも可能である。図４に示すさらに別の実施形態のロボットは、図１に示すロボットにおいて、共通電源配線２１をマニピュレータ５０まで引き延ばすとともに、共通電源配線２１からの個別電源配線５４への分岐点とスイッチ２２及び電圧検出回路２３とをマニピューレタ５０内に設け、さらに、スイッチ２２を制御し電圧検出回路２３から検出結果を受け取る制御部６０を設けたものである。制御部６０は、コントローラ１０内に設けられている制御部１５と協働してロボットの制御を行う。配線における障害は、その配線が変形する箇所において特に発生しやすいと考えられるから、障害をより確実に検出できるようにするために、スイッチ２２及び電圧検出回路２３は、個別電源配線５４においてマニピュレータ５０の移動に伴って移動する部分よりもコントローラ１０の近い側に設けることが好ましい。具体的には、マニピュレータ５０内においてコントローラ１０と接続が行われる箇所の近傍において、共通電源配線２１から個別電源配線５４を分岐させるともにスイッチ２２及び電圧検出回路２３を設けることが好ましい。 In the robot shown in FIG. 1, the switch 22 and the voltage detection circuit 23 are provided in the controller 10, but the switch 22 and the voltage detection circuit 23 can also be provided in the manipulator 50. In the robot shown in FIG. 1, the robot of still another embodiment shown in FIG. 4 extends the common power supply wiring 21 to the manipulator 50, and at the same time, the branch point from the common power supply wiring 21 to the individual power supply wiring 54, the switch 22, and the voltage. The detection circuit 23 is provided in the manifold 50, and a control unit 60 for controlling the switch 22 and receiving the detection result from the voltage detection circuit 23 is provided. The control unit 60 controls the robot in cooperation with the control unit 15 provided in the controller 10. Since it is considered that a failure in the wiring is particularly likely to occur in a place where the wiring is deformed, in order to detect the failure more reliably, the switch 22 and the voltage detection circuit 23 are provided with a manipulator 50 in the individual power supply wiring 54. It is preferable to provide the controller 10 closer to the portion that moves with the movement of the controller 10. Specifically, it is preferable that the individual power supply wiring 54 is branched from the common power supply wiring 21 and the switch 22 and the voltage detection circuit 23 are provided in the vicinity of the location where the controller 10 is connected in the manipulator 50.

以上、本発明に基づくロボットを説明したが、本発明が適用されるものはロボットに限定されるものではない。本発明は、複数のエンコーダを有するエンコーダシステムであればどのようなものにも適用することができる。また、複数のモータを有するモータシステムであってモータごとにエンコーダが設けられるモータシステムに対しても本発明を適用することができる。 Although the robot based on the present invention has been described above, the robot to which the present invention is applied is not limited to the robot. The present invention can be applied to any encoder system having a plurality of encoders. The present invention can also be applied to a motor system having a plurality of motors in which an encoder is provided for each motor.

１０ コントローラ
１１ ドライバ回路
１２，１６ エンコーダ電源回路
１３ エンコーダ受信回路
１４，６０ 制御部
１５ 断線検出回路
２１ 共通電源配線
２２ スイッチ
２３ 電圧検出回路
５０ マニピュレレータ
５１ モータ
５２ エンコーダ
５３ モータ配線
５４ 個別電源配線
５５ 信号配線
10 Controller 11 Driver circuit 12, 16 Encoder power supply circuit 13 Encoder receiving circuit 14, 60 Control unit 15 Disconnection detection circuit 21 Common power supply wiring 22 Switch 23 Voltage detection circuit 50 Manipulator 51 Motor 52 Encoder 53 Motor wiring 54 Individual power supply wiring 55 Signal wiring

Claims (10)

複数のエンコーダと、
電源電圧を発生するエンコーダ電源回路と、
前記電源電圧を供給するために前記エンコーダごとに設けられて一端が当該エンコーダに接続する個別電源配線と、
前記個別電源配線ごとに当該個別電源配線の他端側に設けられて前記エンコーダ電源回路への接続と切放しとを切り替えるスイッチと、
前記個別電源配線ごとに当該個別電源配線の前記他端側において前記スイッチよりもエンコーダ側に設けられた第１の電圧検出回路と、
を有する、エンコーダシステム。 With multiple encoders
Encoder power circuit that generates power supply voltage and
Individual power supply wiring provided for each encoder to supply the power supply voltage and one end connected to the encoder.
A switch provided on the other end side of the individual power supply wiring for each individual power supply wiring to switch between connection and disconnection to the encoder power supply circuit.
For each individual power supply wiring, a first voltage detection circuit provided on the encoder side of the switch on the other end side of the individual power supply wiring and
Has an encoder system. 前記第１の電圧検出回路は電圧値を出力し、
前記エンコーダは、供給された電源電圧を検出して電圧値として出力する第２の電圧検出回路を備える、請求項１に記載のエンコーダシステム。 The first voltage detection circuit outputs a voltage value and outputs a voltage value.
The encoder system according to claim 1, wherein the encoder includes a second voltage detection circuit that detects a supplied power supply voltage and outputs it as a voltage value. 前記第１の電圧検出回路で検出した電圧値と前記第２の電圧検出回路で検出した電圧値との差を演算する演算手段を有する、請求項２に記載のエンコーダシステム。 The encoder system according to claim 2, further comprising a calculation means for calculating the difference between the voltage value detected by the first voltage detection circuit and the voltage value detected by the second voltage detection circuit. 前記演算手段は、前記差に応じた電源制御信号を前記エンコーダ電源回路に出力する、請求項３に記載のエンコーダシステム。 The encoder system according to claim 3, wherein the calculation means outputs a power supply control signal corresponding to the difference to the encoder power supply circuit. 前記個別電源配線の長さに応じて前記複数のエンコーダが複数の系統に分類され、系統ごとに前記エンコーダ電源回路が設けられている、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のエンコーダシステム。 The encoder system according to any one of claims 1 to 4, wherein the plurality of encoders are classified into a plurality of systems according to the length of the individual power supply wiring, and the encoder power supply circuit is provided for each system. .. 複数のモータを備えるモータシステムであって、
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のエンコーダシステムを備え、前記モータごとに前記エンコーダシステムの前記エンコーダが設けられている、モータシステム。 A motor system with multiple motors
A motor system comprising the encoder system according to any one of claims 1 to 5, wherein the encoder of the encoder system is provided for each motor. 複数のモータを備えるマニピュレータと前記マニピュレータを制御するコントローラとを有するロボットであって、
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のエンコーダシステムを備え、前記モータごとに前記エンコーダシステムの前記エンコーダが設けられているロボット。 A robot having a manipulator having a plurality of motors and a controller for controlling the manipulator.
A robot comprising the encoder system according to any one of claims 1 to 5, wherein the encoder of the encoder system is provided for each motor. 前記個別電源配線ごとの前記第１の電圧検出回路と前記エンコーダとの間の区間に、前記マニピュレータの移動に伴って当該個別電源配線が変形する区間が含まれる、請求項７に記載のロボット。 The robot according to claim 7, wherein the section between the first voltage detection circuit and the encoder for each individual power supply wiring includes a section in which the individual power supply wiring is deformed with the movement of the manipulator. 前記スイッチ及び前記第１の電圧検出回路が前記コントローラに配置される、請求項７または８に記載のロボット。 The robot according to claim 7 or 8, wherein the switch and the first voltage detection circuit are arranged in the controller. 前記スイッチ及び前記第１の電圧検出回路が前記マニピュレータに配置される、請求項７または８に記載のロボット。
The robot according to claim 7 or 8, wherein the switch and the first voltage detection circuit are arranged in the manipulator.
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