JP2021021566A - Differential pressure leak test device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、高圧気体が注入されたワークの空洞部内とマスタ容器内との圧力差を計測することに基づいて、ワークの気密性の検査を行う差圧式リークテスト装置に関する。 The present invention relates to a differential pressure type leak test device that inspects the airtightness of a work based on measuring the pressure difference between the inside of the cavity of the work into which high-pressure gas is injected and the inside of the master container.
例えば、成形品やダイカスト品などの気密性が要求される自動車部品等においては、差圧式リークテスト装置により、部品(ワーク)の気密性の検査を行うことが知られている(例えば特許文献1参照)。この差圧式リークテスト装置においては、ワークの開口部を閉塞装置により閉塞すると共に、ワークの空洞部をダイアフラム式の差圧計の第1の接続口に接続する。一方、気密性を有するマスタ容器を、前記差圧計の第2接続口に接続する。そして、ワークの空洞部内及びマスタ容器内の双方に所定圧力に調整された高圧空気を供給し、その後、差圧計による差圧の計測に基づいて、ワークにおける漏れの有無を検査するようになっている。この場合、複数個のワークに対して、順次繰返して検査が行われる。 For example, it is known that the airtightness of parts (workpieces) is inspected by a differential pressure type leak test device for automobile parts such as molded products and die-cast products that require airtightness (for example, Patent Document 1). reference). In this differential pressure type leak test device, the opening of the work is closed by the closing device, and the cavity of the work is connected to the first connection port of the diaphragm type differential pressure gauge. On the other hand, the airtight master container is connected to the second connection port of the differential pressure gauge. Then, high-pressure air adjusted to a predetermined pressure is supplied to both the inside of the cavity of the work and the inside of the master container, and then, based on the measurement of the differential pressure by the differential pressure gauge, the presence or absence of leakage in the work is inspected. There is. In this case, a plurality of workpieces are sequentially and repeatedly inspected.
ところで、上記した差圧式リークテスト装置にあっては、マスタ容器に対して高圧空気が急激に供給されると、いわゆる断熱圧縮によって内部の空気の温度が上昇し、その熱がマスタ容器に伝わってマスタ容器自体の温度が変動する事情がある。よって、連続して検査を行う場合、差圧の計測値が計測回数ごとに傾向をもって変化してしまう問題がある。そのため、マスタ容器の温度が安定した状態で、連続した検査を行うことが要求される。例えば10Pa以下の差圧を高精度で計測する場合には、計測時のマスタ容器内の空気の温度変化を、10−3℃以下に抑えることが望ましい。 By the way, in the above-mentioned differential pressure type leak test device, when high pressure air is suddenly supplied to the master container, the temperature of the air inside rises due to so-called adiabatic compression, and the heat is transferred to the master container. There are circumstances in which the temperature of the master container itself fluctuates. Therefore, when the inspection is performed continuously, there is a problem that the measured value of the differential pressure changes with a tendency for each number of measurements. Therefore, continuous inspection is required while the temperature of the master container is stable. For example, when measuring a differential pressure of 10 Pa or less with high accuracy, it is desirable to suppress the temperature change of the air in the master container at the time of measurement to 10 -3 ° C or less.
そこで、上記特許文献1では、マスタ容器及びワークに冷却風を当てることにより、マスタ容器及びワークの温度を、雰囲気温度になじませることが提案されている。ところが、冷却風を当てることによってマスタ容器の温度変化が比較的大きくなってしまう。その結果、要求される精度での差圧の計測が行われなくなる虞がある。或いは、検査に要する時間が長くなってしまう不具合がある。
Therefore, in
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができる差圧式リークテスト装置を提供するにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to make the temperature of the master container stable when the inspection is repeatedly executed, and to keep the temperature change during differential pressure measurement small. To provide a differential pressure leak test device capable of
上記目的を達成するために、本発明の第1の差圧式リークテスト装置(1)は、空洞部を有するワーク(W)及び気密性を有するマスタ容器(3)の双方を、密閉状態として内部に高圧気体を注入し、前記ワーク空洞部内と前記マスタ容器内との圧力差を計測することに基づいて、該ワークの気密性の検査を行うものであって、前記マスタ容器内には、内部の容積を確保した状態で、該マスタ容器の内壁に熱的に接続されて内部表面積を増大させる熱伝導部材(8、11、13、15)が設けられていると共に、検査を開始するにあたって、前記マスタ容器内に対する高圧気体の注入、排気を一定時間間隔で行う暖機運転を実行する制御装置(4)を備えている。 In order to achieve the above object, the first differential pressure type leak test device (1) of the present invention contains both the work (W) having a cavity and the master container (3) having an airtightness in a sealed state. A high-pressure gas is injected into the work, and the airtightness of the work is inspected based on measuring the pressure difference between the inside of the work cavity and the inside of the master container. Heat conductive members (8, 11, 13, 15) that are thermally connected to the inner wall of the master container to increase the internal surface area are provided in a state where the volume of the master container is secured, and when starting the inspection, It is provided with a control device (4) for executing a warm-up operation in which high-pressure gas is injected and exhausted into the master container at regular time intervals.
これによれば、マスタ容器内に設けられる熱伝導部材は、該マスタ容器の内壁に熱的に接続されていると共に、大きな表面積を有したものとなっている。検査を開始するにあたって、制御装置により、マスタ容器内に対する高圧気体の注入、排気を一定時間間隔で行う暖機運転が実行される。この暖機運転においては、マスタ容器内に高圧気体が供給されると、いわゆる断熱圧縮によって、気体の温度が上昇するが、その熱が大きな面積を有する熱伝導部材を介してマスタ容器に伝達され、マスタ容器の温度が速やかに上昇するようになる。 According to this, the heat conductive member provided in the master container is thermally connected to the inner wall of the master container and has a large surface area. At the start of the inspection, the control device executes a warm-up operation in which high-pressure gas is injected and exhausted into the master container at regular time intervals. In this warm-up operation, when a high-pressure gas is supplied into the master container, the temperature of the gas rises due to so-called adiabatic compression, but the heat is transferred to the master container via a heat conductive member having a large area. , The temperature of the master container will rise rapidly.
この暖機運転によって、速やかにマスタ容器の温度を安定させた状態とし、マスタ容器の温度変化の少ない状態で、差圧の計測を繰返し行うことができる。外部から冷却風を当てる場合のような、マスタ容器の温度変化に伴う計測誤差が生ずることもない。この結果、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができ、ひいては、高精度の検査を行うことが可能となるという優れた効果を得ることができる。 By this warm-up operation, the temperature of the master container can be quickly stabilized, and the differential pressure can be repeatedly measured while the temperature change of the master container is small. There is no measurement error due to the temperature change of the master container as in the case of applying cooling air from the outside. As a result, the temperature of the master container can be kept stable when the inspection is repeatedly executed, the temperature change at the time of differential pressure measurement can be suppressed to a small value, and the inspection can be performed with high accuracy. It is possible to obtain an excellent effect of becoming.
また、本発明の第2の差圧式リークテスト装置(21)は、空洞部を有するワーク(W)及び気密性を有するマスタ容器(23)の双方を、密閉状態として内部に高圧気体を注入し、前記ワーク空洞部内と前記マスタ容器内との圧力差を計測することに基づいて、該ワークの気密性の検査を行うものであって、複数個の前記マスタ容器を並列状態に備えると共に、検査すべきワークの切替えに伴い前記マスタ容器を順に切替えながら使用する切替装置(28)を備えている。 Further, in the second differential pressure type leak test device (21) of the present invention, both the work (W) having a cavity and the master container (23) having an airtightness are sealed and high-pressure gas is injected into the inside. , The airtightness of the work is inspected based on the measurement of the pressure difference between the inside of the work cavity and the inside of the master container, and a plurality of the master containers are provided in a parallel state and inspected. It is provided with a switching device (28) that is used while switching the master container in order as the work to be switched is switched.
これによれば、複数個のワークに対して、連続して順次検査が行われる場合に、切替装置により、使用するマスタ容器を順に切替えながら検査を行うことができる。従って、夫々のマスタ容器において、使用から次の使用までに十分な冷却のための時間を置くことができ、マスタ容器を、常に常温つまり比較的低い温度にして高圧気体の注入を開始することができる。この結果、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができ、ひいては、高精度の検査を行うことが可能となるという優れた効果を得ることができる。 According to this, when a plurality of workpieces are continuously inspected in sequence, the inspection can be performed while sequentially switching the master container to be used by the switching device. Therefore, in each master container, sufficient cooling time can be provided from one use to the next, and the master container can always be kept at room temperature, that is, at a relatively low temperature, and injection of high-pressure gas can be started. it can. As a result, the temperature of the master container can be kept stable when the inspection is repeatedly executed, the temperature change at the time of differential pressure measurement can be suppressed to a small value, and the inspection can be performed with high accuracy. It is possible to obtain an excellent effect of becoming.
以下、本発明を具体化したいくつかの実施形態について、図面を参照しながら説明する。尚、複数の実施形態間で、同一部分については同一符号を付して、新たな図示や繰返しの説明を省略することとする。 Hereinafter, some embodiments embodying the present invention will be described with reference to the drawings. It should be noted that the same parts will be designated by the same reference numerals among the plurality of embodiments, and new illustrations and repetitive explanations will be omitted.
(1)第1の実施形態
図1及び図2を参照して、第1の実施形態について述べる。図1は、本実施形態に係る差圧式リークテスト装置1の全体構成を概略的に示している。ここで、差圧式リークテスト装置1は、リークテスタ本体2と、気密性を有するマスタ容器3と、コンピュータを含んで構成され全体を制御する制御装置4とを備えている。前記マスタ容器3は、マスタ接続管5を介して前記リークテスタ本体2に接続されている。本実施形態におけるマスタ容器3の詳細については後述する。
(1) First Embodiment The first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 schematically shows the overall configuration of the differential pressure type
また、リークテスタ本体2には、ワーク接続管6を介してワークWが接続されるようになっている。詳しく図示はしないが、気密性の検査対象となるワークWは、例えば自動車のエンジン関連の部品からなり、気密性を要するものとされている。このとき、検査時においては、ワークWは、開口部に閉塞部材が装着されて密閉状態とされ、その閉塞部材に前記ワーク接続管6の先端部が接続されている。
Further, the work W is connected to the leak tester
これも詳しく図示はしないが、前記リークテスタ本体2は、コンプレッサや圧力調整弁等からなる高圧気体供給部、例えばダイアフラム式の差圧計、電磁的に駆動する第1、第2の切替弁等を備えている。そのうち第1の切替弁は、前記ワーク接続管6の途中に設けられ、該ワーク接続管6を前記高圧気体供給部に接続する第1の位置、該ワーク接続管6を前記差圧計の第1接続口に接続する第2の位置、ワーク接続管6を大気に開放する第3の位置の間で切替え可能に構成されている。前記第2の切替弁は、前記マスタ接続管5の途中に設けられ、同様に、該マスタ接続管5を前記高圧気体供給部に接続する第1の位置、該マスタ接続管5を前記差圧計の第2接続口に接続する第2の位置、マスタ接続管5を大気に開放する第3の位置の間で切替え可能に構成されている。
Although not shown in detail, the leak tester
前記制御装置4は、前記リークテスタ本体2の各機構を制御して検査を実行する。具体的には、まず、第1及び第2の切替弁を共に第1の位置に駆動して、高圧気体供給部により所定の高圧に調整された高圧気体としての高圧空気をワークW内及びマスタ容器3内に供給する。ワークW内及びマスタ容器3内に所定量の高圧空気を注入したら、第1及び第2の切替弁を共に第2の位置に切替えて、ワークW内の圧力及びマスタ容器3内の圧力を、夫々差圧計の第1接続口及び第2接続口に導入する。これにて、ワークWとマスタ容器3内の圧力差が差圧計により計測され、その計測信号が制御装置4に入力される。ワークWの気密性の検査が終了すると、第1及び第2の切替弁を共に第3の位置に切替えて、ワークW内及びマスタ容器3内を大気に開放する。
The
このとき、制御装置4は、上記したリークテスタ本体2による検査工程を、複数のワークWに対して一定時間毎に順次繰返して実行する。本実施形態では、制御装置4は、検査を開始するにあたって、マスタ容器3内に対する高圧気体としての高圧空気の注入、排気を一定時間間隔で行う暖機運転を実行する。そして、暖機運転の実行によって、マスタ容器3が一定温度に上昇した安定した状態で、ワークWに対する検査即ち差圧の計測を開始するようになっている。
At this time, the
さて、前記マスタ容器3について、図2も参照して詳述する。マスタ容器3は、例えばアルミやSUS等の金属からなり、上面が開口した円筒容器状をなす本体部3aと、この本体部3aの上面開口部を開閉可能に塞ぐ円板状の蓋部3bとを備える。このとき、マスタ容器3の内部の容積は、前記ワーク3の空洞部内の容積とほぼ同等或いはそれ以上とされている。
Now, the
また、図示はしないが、本体部3aと蓋部3bとの間には、蓋部3bを本体部3aに対し閉塞状態にロックするための図示しないロック機構が設けられている。このとき、図2に示すように、本体部3aは、上端部にフランジ部を有しており、このフランジ部上面と前記蓋部3bとの間に、Oリングからなるパッキン7が配置され、蓋部3bの閉塞時の気密性が確保される。前記マスタ接続管5の先端は、前記蓋体3bに接続されている。
Further, although not shown, a lock mechanism (not shown) for locking the
そして、マスタ容器3の本体部3a内には、内部の容積を確保した状態で、該マスタ容器3の内壁に熱的に接続されて内部表面積を増大させる熱伝導部材8が収容される。本実施形態では、熱伝導部材8は、金属例えばアルミの薄板からなるコルゲートフィン9を多層に配置したものから構成されている。この場合、コルゲートフィン9は、金属例えばアルミの薄板をコルゲート状即ち波形に成形したものを、円形状、及び、曲率半径の異なる円弧状に形成される。そして、それらコルゲートフィン9を全体として円形状をなすように円形に敷き詰めるように配置したものを、多層に積み重ねるようにして、熱伝導部材8全体が構成される。
Then, in the
次に、上記構成の作用・効果について述べる。本実施形態の差圧式リークテスト装置1においては、ワークWに対する気密性の検査を行うにあたっては、図1に示すように、まず、マスタ接続管5にマスタ容器3を接続した状態で、ワーク接続管6にワークWを接続する。検査を開始するにあたっては、制御装置4は、マスタ容器3に対する暖機運転を実行する。この暖機運転は、マスタ容器3内に対する高圧空気の注入、排気を一定時間間隔で行うことによりなされる。
Next, the action / effect of the above configuration will be described. In the differential pressure type
この暖機運転においては、マスタ容器3内に高圧空気が供給されると、いわゆる断熱圧縮によって、空気の温度が上昇するが、その熱が大きな面積を有する熱伝導部材8を介してマスタ容器3の内壁に伝達され、マスタ容器3の温度が上昇するようになる。本実施形態では、前記マスタ容器3内に設けられたコルゲートフィン9からなる熱伝導部材8は、熱伝導性の良い金属例えばアルミの薄板からなり、該マスタ容器3の内壁に熱的に接続されていると共に、大きな表面積を有したものとなっている。そのため、マスタ容器3の温度は速やかに上昇するようになり、高圧空気の注入、排気が一定時間間隔で行われることにより、短時間でマスタ容器3は安定した温度となる。
In this warm-up operation, when high-pressure air is supplied into the
そして、暖機運転の実行によって、マスタ容器3が一定温度に上昇した安定した状態で、ワークWに対する検査即ち差圧の計測が開始される。検査が開始されると、上記したように、第1及び第2の切替弁の第1の位置で、ワークW内及びマスタ容器3内に所定圧の高圧空気が注入される。ワークW内及びマスタ容器3内に高圧空気が注入された状態で、第1及び第2の切替弁が第2の位置に切替えられ、ワークW内及びマスタ容器3内が差圧計に接続されてそれら圧力差が差圧計により計測される。この差圧の計測はマスタ容器3の温度が一定温度で安定した状態で実行される。
Then, by executing the warm-up operation, the inspection of the work W, that is, the measurement of the differential pressure is started in a stable state in which the
ワークWの気密性の検査が終了すると、第1及び第2の切替弁が第3の位置に切替えられて、ワークW内及びマスタ容器3内が大気に開放される。検査が終了したワークWはワーク接続管6から取外され、次のワークWがワーク接続管6に接続され、上記検査の工程が繰返される。複数個のワークWに対して、連続して検査を繰返す場合に、マスタ容器3の温度が安定した状態で次の検査を行うことができる。尚、熱伝導部材8を設けることにより、マスタ容器3の容積を無用に減少させるものでもなく、検査に必要な容積を維持することができる。また、外部から冷却風を当てる場合のような、マスタ容器3の温度変化に伴う計測誤差が生ずることもない。
When the inspection of the airtightness of the work W is completed, the first and second switching valves are switched to the third position, and the inside of the work W and the inside of the
従って、本実施形態によれば、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器3の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができ、ひいては、高精度の検査を行うことが可能となるという優れた効果を得ることができる。ちなみに、本実施形態では、差圧の計測時のマスタ容器3内の空気の温度変化を、10−3℃以下に抑えることができ、例えば10Pa以下の差圧を高精度で計測することが可能となった。
Therefore, according to the present embodiment, the temperature of the
また、特に本実施形態では、熱伝導部材8を、コルゲートフィン9を多層に配置したものから構成するようにした。コルゲートフィン9を採用することによって、熱伝導部材8の表面積を十分に大きくすることができ、マスタ容器3に対する熱伝導性を良好とすることができ、より効果的となる。コルゲートフィン9の材料として、アルミニウムを採用したことにより、熱伝導性に優れ、軽量で加工性が良い等の利点も得ることができる。
Further, in particular, in the present embodiment, the heat
(2)第2〜第4の実施形態
図3は、第2の実施形態を示している。この第2の実施形態が、上記第1の実施形態と異なる点は、マスタ容器3内に収容される熱伝導部材11の構成にある。即ち、マスタ容器3は、やはり本体部3a、蓋部3b、パッキン7等から構成されるのであるが、この第2の実施形態では、例えばステンレススチールウールからなる多量の金属細線12を、ある程度の隙間をもって固めるようにして、円柱状にまとめたものから構成されている。この熱伝導部材11も、マスタ容器3内部の容積を確保した状態で、該マスタ容器3の内壁に熱的に接続されて内部表面積を増大させるように設けられる。
(2) Second to Fourth Embodiments FIG. 3 shows a second embodiment. The difference between this second embodiment and the first embodiment is the configuration of the heat
このような第2の実施形態によれば、上記第1の実施形態と同様に、マスタ容器3内に熱伝導部材11を設けると共に、検査を開始するにあたって暖機運転を実行する。これにより、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器3の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができ、ひいては、高精度の検査を行うことが可能となるという優れた効果を得ることができる。そして、熱伝導部材11を、金属細線12を固めるようにまとめたものから構成したことにより、熱伝導部材11としての役割を果たしながら、形状や大きさ、密度等を自由に調整することができ、マスタ容器3の様々な形状や目的とする熱伝導性に対応することができる。
According to such a second embodiment, similarly to the first embodiment, the heat
図4は、第3の実施形態を示している。この第3の実施形態では、マスタ容器3内に収容される熱伝導部材13の構成が、上記第1、第2の実施形態と異なっている。即ち、マスタ容器3は、やはり本体部3a、蓋部3b、パッキン7等から構成されている。前記熱伝導部材13は、例えば厚み寸法が0.5mm程度の薄い円板状をなすアルミニウム製の金属薄板14を、多層に配置したものから構成されている。この場合、図示はしないが、上下の金属薄板14間には、スペーサ等が設けられ、空隙を存しており、また、各金属薄板14は、それら空隙を上下方向に連通させる開口を有している。この熱伝導部材13も、マスタ容器3内部の容積を確保した状態で、該マスタ容器3の内壁に熱的に接続されて内部表面積を増大させるように設けられる。
FIG. 4 shows a third embodiment. In the third embodiment, the configuration of the heat
このような第3の実施形態によれば、やはり、マスタ容器3内に熱伝導部材13を設けると共に、検査を開始するにあたって暖機運転を実行する。これにより、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器3の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができ、ひいては、高精度の検査を行うことが可能となるという優れた効果を得ることができる。そして、熱伝導部材13として、金属薄板14を採用したことによって、比較的簡単で安価な構成で済ませながら、金属薄板14の枚数や配置を変えることにより、熱伝導部材13の熱伝導性能を容易に変更することが可能になる。
According to the third embodiment as described above, the heat
図5は、第4の実施形態を示している。この第4の実施形態では、マスタ容器3内に収容される熱伝導部材15は、金属多孔質部材16から構成されている。この金属多孔質部材16は、例えばステンレス、チタン、ニッケル、銅などの金属から、多数の気孔を有した円柱状に形成されている。この熱伝導部材15も、マスタ容器3内部の容積を確保した状態で、該マスタ容器3の内壁に熱的に接続されて内部表面積を増大させるように設けられる。
FIG. 5 shows a fourth embodiment. In this fourth embodiment, the heat
このような第4の実施形態によれば、やはり、マスタ容器3内に熱伝導部材15を設けると共に、検査を開始するにあたって暖機運転を実行する。これにより、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器3の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができ、ひいては、高精度の検査を行うことが可能となるという優れた効果を得ることができる。そして、熱伝導部材15として、金属多孔質部材16を採用することによって、熱伝導部材15の比表面積を極めて大きくすることができると共に、マスタ容器3の内壁との接触面積を大きくとることが可能となる。従って、マスタ容器3の短時間での温度安定化を可能とする効果に優れたものとなる。
According to the fourth embodiment as described above, the heat
(3)第5の実施形態
次に、図6を参照して、第5の実施形態について述べる。図6は、第5の実施形態に係る差圧式リークテスト装置21の全体構成を概略的に示している。この差圧式リークテスト装置21は、リークテスタ本体22と、気密性を有する複数個(N個)のマスタ容器23と、コンピュータを含んで構成され全体を制御する制御装置24とを備えている。リークテスタ本体22には、ワーク接続管26を介してワークWが接続される。
(3) Fifth Embodiment Next, the fifth embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 6 schematically shows the overall configuration of the differential pressure type
詳しく図示はしないが、前記各マスタ容器23は、上面が開口した円筒容器状をなす本体部23aと、この本体部23aの上面開口部を開閉可能に塞ぐ円板状の蓋部23bと、図示しないパッキンを備える。このマスタ容器23の内部は、前記ワークWの空洞部内の容積とほぼ同等或いはそれ以上の容積とされている。複数のマスタ容器23は、マスタ接続管25を介して前記リークテスタ本体22に接続されている。前記マスタ接続管25は、複数(N個)に分岐しており、それら各分岐管25aの先端部が、各マスタ容器23の蓋体23bに接続されている。これにより、複数個のマスタ容器23は並列状態に設けられている。
Although not shown in detail, each of the
このとき、マスタ接続管25の各分岐管25a部分には、夫々電磁開閉式の開閉弁27が設けられている。これら開閉弁27は、前記制御装置24により制御されるようになっている。制御装置24は、複数の開閉弁27のうち、使用するマスタ容器23に対応する1個の開閉弁27のみを開放させ、残りの開閉弁27は閉塞させるように制御を行う。即ち、複数個のワークWに対し順次検査を繰返して実行するに際し、検査すべきワークWの切替えに伴い前記マスタ容器23を順に切替えながら使用するようになっている。従って、制御装置24及び各開閉弁27等から切替装置28が構成されている。
At this time, each
次に、上記構成の差圧式リークテスト装置21の動作について述べる。尚、図6に示すように、複数のマスタ容器23を区別する必要がある場合には、符号「23」の後に、(A)、(B)、(C)、…(N)を付すようにしており、それに対応した開閉弁27を区別する場合にも、符号「27」の後に、(A)、(B)、(C)、…(N)を付している。ワークWに対する気密性の検査を行うにあたっては、1番目のワークWをワーク接続管26に接続する。検査が開始されると、1番目の開閉弁27(A)のみが開放され、マスタ容器23(A)内及びワークW内に所定量の高圧空気が注入される。残り開閉弁27は閉塞状態であり、残りのマスタ容器23内に高圧空気が供給されることはない。
Next, the operation of the differential pressure type
このとき、マスタ容器23(A)に対する高圧空気の供給によってマスタ容器23(A)内の空気温度が低温(常温)状態から上昇するが、マスタ容器23内の空気温度が比較的低い温度で安定した状態で、ワークW内及びマスタ容器23(A)内が差圧計に接続されてそれら圧力差が差圧計により計測される。ワークWの気密性の検査が終了すると、ワークW内及びマスタ容器23(A)内が大気に開放される。検査が終了したワークWはワーク接続管6から取外され、次のワークWがワーク接続管26に接続される。
At this time, the air temperature in the master container 23 (A) rises from the low temperature (normal temperature) state due to the supply of high-pressure air to the master container 23 (A), but the air temperature in the
次のワークWに対する検査は、2番目の開閉弁27(B)のみが開放され、マスタ容器23(B)を使用して行われる。また、2番目の検査が終了すると、次のワークWに対する検査は、3番目の開閉弁27(C)のみが開放され、マスタ容器23(C)を使用して行われる。このように、切替装置28によって、使用するマスタ容器23を順に切替えながら検査が行われる。このようにマスタ容器23を順に切替えながら使用することにより、夫々のマスタ容器23において、使用から次の使用までに十分な時間を置くことができ、常に使用するマスタ容器23が常温まで冷却された状態で検査を行うことができる。
The inspection for the next work W is performed using the master container 23 (B) with only the second on-off valve 27 (B) open. When the second inspection is completed, the inspection for the next work W is performed using the master container 23 (C) with only the third on-off valve 27 (C) opened. In this way, the switching
これによれば、複数のワークWに対して順次検査を行う際に、検査から次の検査までの時間間隔を短くしても、常に、マスタ容器23を比較的低い一定温度で安定した状態で差圧の計測を行うことができる。この結果、第5の実施形態によれば、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器23の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができ、ひいては、高精度の検査を行うことが可能となるという優れた効果を得ることができる。
According to this, when sequentially inspecting a plurality of work Ws, the
尚、上記した各実施形態に限定されるものではなく、例えばマスタ容器や熱伝導部材の材質や形状などについても、様々な変更が可能である。ワークWについても、車両用部品に限らず、気密性の検査を行うもの全般に適用することができる。本開示は、実施例に準拠して記述されたが、本開示は当該実施例や構造に限定されるものではないと理解される。本開示は、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、様々な組み合わせや形態、さらには、それらに一要素のみ、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本開示の範疇や思想範囲に入るものである。 It should be noted that the present invention is not limited to each of the above-described embodiments, and various changes can be made to, for example, the material and shape of the master container and the heat conductive member. The work W is not limited to vehicle parts, but can be applied to all parts that are inspected for airtightness. Although the present disclosure has been described in accordance with the examples, it is understood that the present disclosure is not limited to the examples and structures. The present disclosure also includes various modifications and modifications within an equal range. In addition, various combinations and forms, as well as other combinations and forms that include only one element, more, or less, are also within the scope of the present disclosure.
図面中、1、21は差圧式リークテスト装置、2、22はリークテスタ本体、3、23はマスタ容器、4、24は制御装置、8、11、13、15は熱伝導部材、9はコルゲートフィン、12は金属細線、14は金属薄板、16は金属多孔質部材、25はマスタ接続管、27は開閉弁、28は切替装置、Wはワークを示す。 In the drawings, 1, 21 are differential pressure type leak test devices, 2, 22 are leak tester bodies, 3, 23 are master containers, 4, 24 are control devices, 8, 11, 13, 15 are heat conductive members, and 9 are corrugated fins. , 12 is a thin metal wire, 14 is a thin metal plate, 16 is a porous metal member, 25 is a master connecting pipe, 27 is an on-off valve, 28 is a switching device, and W is a work.
Claims (6)
前記マスタ容器内には、内部の容積を確保した状態で、該マスタ容器の内壁に熱的に接続されて内部表面積を増大させる熱伝導部材(8、11、13、15)が設けられていると共に、
検査を開始するにあたって、前記マスタ容器内に対する高圧気体の注入、排気を一定時間間隔で行う暖機運転を実行する制御装置(4)を備える差圧式リークテスト装置。 Both the work (W) having a cavity and the master container (3) having an airtightness are sealed, high-pressure gas is injected into the inside, and the pressure difference between the inside of the work cavity and the inside of the master container is measured. A differential pressure type leak test device (1) that inspects the airtightness of the work based on the above.
Inside the master container, heat conductive members (8, 11, 13, 15) are provided, which are thermally connected to the inner wall of the master container to increase the internal surface area while securing the internal volume. With
A differential pressure type leak test device including a control device (4) that executes a warm-up operation in which high-pressure gas is injected and exhausted into the master container at regular time intervals when starting an inspection.
複数個の前記マスタ容器を並列状態に備えると共に、検査すべきワークの切替えに伴い前記マスタ容器を順に切替えながら使用する切替装置(28)を備える差圧式リークテスト装置。 Both the work (W) having a cavity and the master container (23) having an airtightness are sealed, high-pressure gas is injected into the inside, and the pressure difference between the inside of the work cavity and the inside of the master container is measured. A differential pressure type leak test device (21) that inspects the airtightness of the work based on the above.
A differential pressure type leak test device including a switching device (28) in which a plurality of the master containers are provided in a parallel state and the master containers are switched in order as the workpiece to be inspected is switched.
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