JP2021021566A - Differential pressure leak test device - Google Patents

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Naoya Kumagai
直也 熊谷
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Abstract

To keep the temperature of a master container stable under repeated inspections and also to reduce the temperature change during differential pressure measurement.SOLUTION: A differential pressure leak test device (1) injects high-pressure gas into the inside of both a work (W) having a cavity and a master container (3) having airtightness in a sealed state, and inspects the airtightness of the work based on measuring the pressure difference between the inside of the work cavity and the inside of the master container. In the master container, provided are: a heat conductive member (8) that is thermally connected to the inner wall of the master container to increase the internal surface area while securing the internal volume; and a control device (4) that executes, at the start of an inspection, a warm-up operation in which high-pressure gas is injected into and exhausted from the master container at regular time intervals.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、高圧気体が注入されたワークの空洞部内とマスタ容器内との圧力差を計測することに基づいて、ワークの気密性の検査を行う差圧式リークテスト装置に関する。 The present invention relates to a differential pressure type leak test device that inspects the airtightness of a work based on measuring the pressure difference between the inside of the cavity of the work into which high-pressure gas is injected and the inside of the master container.

例えば、成形品やダイカスト品などの気密性が要求される自動車部品等においては、差圧式リークテスト装置により、部品(ワーク)の気密性の検査を行うことが知られている(例えば特許文献1参照)。この差圧式リークテスト装置においては、ワークの開口部を閉塞装置により閉塞すると共に、ワークの空洞部をダイアフラム式の差圧計の第1の接続口に接続する。一方、気密性を有するマスタ容器を、前記差圧計の第2接続口に接続する。そして、ワークの空洞部内及びマスタ容器内の双方に所定圧力に調整された高圧空気を供給し、その後、差圧計による差圧の計測に基づいて、ワークにおける漏れの有無を検査するようになっている。この場合、複数個のワークに対して、順次繰返して検査が行われる。 For example, it is known that the airtightness of parts (workpieces) is inspected by a differential pressure type leak test device for automobile parts such as molded products and die-cast products that require airtightness (for example, Patent Document 1). reference). In this differential pressure type leak test device, the opening of the work is closed by the closing device, and the cavity of the work is connected to the first connection port of the diaphragm type differential pressure gauge. On the other hand, the airtight master container is connected to the second connection port of the differential pressure gauge. Then, high-pressure air adjusted to a predetermined pressure is supplied to both the inside of the cavity of the work and the inside of the master container, and then, based on the measurement of the differential pressure by the differential pressure gauge, the presence or absence of leakage in the work is inspected. There is. In this case, a plurality of workpieces are sequentially and repeatedly inspected.

特開2015−158522号公報JP 2015-158522

ところで、上記した差圧式リークテスト装置にあっては、マスタ容器に対して高圧空気が急激に供給されると、いわゆる断熱圧縮によって内部の空気の温度が上昇し、その熱がマスタ容器に伝わってマスタ容器自体の温度が変動する事情がある。よって、連続して検査を行う場合、差圧の計測値が計測回数ごとに傾向をもって変化してしまう問題がある。そのため、マスタ容器の温度が安定した状態で、連続した検査を行うことが要求される。例えば10Pa以下の差圧を高精度で計測する場合には、計測時のマスタ容器内の空気の温度変化を、10−3℃以下に抑えることが望ましい。 By the way, in the above-mentioned differential pressure type leak test device, when high pressure air is suddenly supplied to the master container, the temperature of the air inside rises due to so-called adiabatic compression, and the heat is transferred to the master container. There are circumstances in which the temperature of the master container itself fluctuates. Therefore, when the inspection is performed continuously, there is a problem that the measured value of the differential pressure changes with a tendency for each number of measurements. Therefore, continuous inspection is required while the temperature of the master container is stable. For example, when measuring a differential pressure of 10 Pa or less with high accuracy, it is desirable to suppress the temperature change of the air in the master container at the time of measurement to 10 -3 ° C or less.

そこで、上記特許文献1では、マスタ容器及びワークに冷却風を当てることにより、マスタ容器及びワークの温度を、雰囲気温度になじませることが提案されている。ところが、冷却風を当てることによってマスタ容器の温度変化が比較的大きくなってしまう。その結果、要求される精度での差圧の計測が行われなくなる虞がある。或いは、検査に要する時間が長くなってしまう不具合がある。 Therefore, in Patent Document 1, it is proposed that the temperature of the master container and the work is adjusted to the ambient temperature by applying cooling air to the master container and the work. However, the temperature change of the master container becomes relatively large when the cooling air is applied. As a result, the differential pressure may not be measured with the required accuracy. Alternatively, there is a problem that the time required for the inspection becomes long.

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができる差圧式リークテスト装置を提供するにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to make the temperature of the master container stable when the inspection is repeatedly executed, and to keep the temperature change during differential pressure measurement small. To provide a differential pressure leak test device capable of

上記目的を達成するために、本発明の第1の差圧式リークテスト装置(1)は、空洞部を有するワーク(W)及び気密性を有するマスタ容器(3)の双方を、密閉状態として内部に高圧気体を注入し、前記ワーク空洞部内と前記マスタ容器内との圧力差を計測することに基づいて、該ワークの気密性の検査を行うものであって、前記マスタ容器内には、内部の容積を確保した状態で、該マスタ容器の内壁に熱的に接続されて内部表面積を増大させる熱伝導部材(8、11、13、15)が設けられていると共に、検査を開始するにあたって、前記マスタ容器内に対する高圧気体の注入、排気を一定時間間隔で行う暖機運転を実行する制御装置(4)を備えている。 In order to achieve the above object, the first differential pressure type leak test device (1) of the present invention contains both the work (W) having a cavity and the master container (3) having an airtightness in a sealed state. A high-pressure gas is injected into the work, and the airtightness of the work is inspected based on measuring the pressure difference between the inside of the work cavity and the inside of the master container. Heat conductive members (8, 11, 13, 15) that are thermally connected to the inner wall of the master container to increase the internal surface area are provided in a state where the volume of the master container is secured, and when starting the inspection, It is provided with a control device (4) for executing a warm-up operation in which high-pressure gas is injected and exhausted into the master container at regular time intervals.

これによれば、マスタ容器内に設けられる熱伝導部材は、該マスタ容器の内壁に熱的に接続されていると共に、大きな表面積を有したものとなっている。検査を開始するにあたって、制御装置により、マスタ容器内に対する高圧気体の注入、排気を一定時間間隔で行う暖機運転が実行される。この暖機運転においては、マスタ容器内に高圧気体が供給されると、いわゆる断熱圧縮によって、気体の温度が上昇するが、その熱が大きな面積を有する熱伝導部材を介してマスタ容器に伝達され、マスタ容器の温度が速やかに上昇するようになる。 According to this, the heat conductive member provided in the master container is thermally connected to the inner wall of the master container and has a large surface area. At the start of the inspection, the control device executes a warm-up operation in which high-pressure gas is injected and exhausted into the master container at regular time intervals. In this warm-up operation, when a high-pressure gas is supplied into the master container, the temperature of the gas rises due to so-called adiabatic compression, but the heat is transferred to the master container via a heat conductive member having a large area. , The temperature of the master container will rise rapidly.

この暖機運転によって、速やかにマスタ容器の温度を安定させた状態とし、マスタ容器の温度変化の少ない状態で、差圧の計測を繰返し行うことができる。外部から冷却風を当てる場合のような、マスタ容器の温度変化に伴う計測誤差が生ずることもない。この結果、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができ、ひいては、高精度の検査を行うことが可能となるという優れた効果を得ることができる。 By this warm-up operation, the temperature of the master container can be quickly stabilized, and the differential pressure can be repeatedly measured while the temperature change of the master container is small. There is no measurement error due to the temperature change of the master container as in the case of applying cooling air from the outside. As a result, the temperature of the master container can be kept stable when the inspection is repeatedly executed, the temperature change at the time of differential pressure measurement can be suppressed to a small value, and the inspection can be performed with high accuracy. It is possible to obtain an excellent effect of becoming.

また、本発明の第2の差圧式リークテスト装置(21)は、空洞部を有するワーク(W)及び気密性を有するマスタ容器(23)の双方を、密閉状態として内部に高圧気体を注入し、前記ワーク空洞部内と前記マスタ容器内との圧力差を計測することに基づいて、該ワークの気密性の検査を行うものであって、複数個の前記マスタ容器を並列状態に備えると共に、検査すべきワークの切替えに伴い前記マスタ容器を順に切替えながら使用する切替装置(28)を備えている。 Further, in the second differential pressure type leak test device (21) of the present invention, both the work (W) having a cavity and the master container (23) having an airtightness are sealed and high-pressure gas is injected into the inside. , The airtightness of the work is inspected based on the measurement of the pressure difference between the inside of the work cavity and the inside of the master container, and a plurality of the master containers are provided in a parallel state and inspected. It is provided with a switching device (28) that is used while switching the master container in order as the work to be switched is switched.

これによれば、複数個のワークに対して、連続して順次検査が行われる場合に、切替装置により、使用するマスタ容器を順に切替えながら検査を行うことができる。従って、夫々のマスタ容器において、使用から次の使用までに十分な冷却のための時間を置くことができ、マスタ容器を、常に常温つまり比較的低い温度にして高圧気体の注入を開始することができる。この結果、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができ、ひいては、高精度の検査を行うことが可能となるという優れた効果を得ることができる。 According to this, when a plurality of workpieces are continuously inspected in sequence, the inspection can be performed while sequentially switching the master container to be used by the switching device. Therefore, in each master container, sufficient cooling time can be provided from one use to the next, and the master container can always be kept at room temperature, that is, at a relatively low temperature, and injection of high-pressure gas can be started. it can. As a result, the temperature of the master container can be kept stable when the inspection is repeatedly executed, the temperature change at the time of differential pressure measurement can be suppressed to a small value, and the inspection can be performed with high accuracy. It is possible to obtain an excellent effect of becoming.

第1の実施形態を示すもので、差圧式リークテスト装置の構成を概略的に示す図The figure which shows the 1st Embodiment and shows roughly the structure of the differential pressure type leak test apparatus. マスタ容器の分解斜視図An exploded perspective view of the master container 第2の実施形態を示すマスタ容器の分解斜視図An exploded perspective view of the master container showing the second embodiment. 第3の実施形態を示すマスタ容器の分解斜視図An exploded perspective view of a master container showing a third embodiment. 第4の実施形態を示すマスタ容器の分解斜視図An exploded perspective view of a master container showing a fourth embodiment. 第5の実施形態を示すもので、差圧式リークテスト装置の構成を概略的に示す図The figure which shows the 5th Embodiment schematicly showing the structure of the differential pressure type leak test apparatus.

以下、本発明を具体化したいくつかの実施形態について、図面を参照しながら説明する。尚、複数の実施形態間で、同一部分については同一符号を付して、新たな図示や繰返しの説明を省略することとする。 Hereinafter, some embodiments embodying the present invention will be described with reference to the drawings. It should be noted that the same parts will be designated by the same reference numerals among the plurality of embodiments, and new illustrations and repetitive explanations will be omitted.

(1)第1の実施形態
図1及び図2を参照して、第1の実施形態について述べる。図1は、本実施形態に係る差圧式リークテスト装置1の全体構成を概略的に示している。ここで、差圧式リークテスト装置1は、リークテスタ本体2と、気密性を有するマスタ容器3と、コンピュータを含んで構成され全体を制御する制御装置4とを備えている。前記マスタ容器3は、マスタ接続管5を介して前記リークテスタ本体2に接続されている。本実施形態におけるマスタ容器3の詳細については後述する。
(1) First Embodiment The first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 schematically shows the overall configuration of the differential pressure type leak test device 1 according to the present embodiment. Here, the differential pressure type leak test device 1 includes a leak tester main body 2, an airtight master container 3, and a control device 4 including a computer and controlling the whole. The master container 3 is connected to the leak tester main body 2 via a master connecting pipe 5. Details of the master container 3 in this embodiment will be described later.

また、リークテスタ本体2には、ワーク接続管6を介してワークWが接続されるようになっている。詳しく図示はしないが、気密性の検査対象となるワークWは、例えば自動車のエンジン関連の部品からなり、気密性を要するものとされている。このとき、検査時においては、ワークWは、開口部に閉塞部材が装着されて密閉状態とされ、その閉塞部材に前記ワーク接続管6の先端部が接続されている。 Further, the work W is connected to the leak tester main body 2 via the work connecting pipe 6. Although not shown in detail, the work W to be inspected for airtightness is made of, for example, automobile engine-related parts, and is required to be airtight. At this time, at the time of inspection, the work W is sealed by attaching a closing member to the opening, and the tip of the work connecting pipe 6 is connected to the closing member.

これも詳しく図示はしないが、前記リークテスタ本体2は、コンプレッサや圧力調整弁等からなる高圧気体供給部、例えばダイアフラム式の差圧計、電磁的に駆動する第1、第2の切替弁等を備えている。そのうち第1の切替弁は、前記ワーク接続管6の途中に設けられ、該ワーク接続管6を前記高圧気体供給部に接続する第1の位置、該ワーク接続管6を前記差圧計の第1接続口に接続する第2の位置、ワーク接続管6を大気に開放する第3の位置の間で切替え可能に構成されている。前記第2の切替弁は、前記マスタ接続管5の途中に設けられ、同様に、該マスタ接続管5を前記高圧気体供給部に接続する第1の位置、該マスタ接続管5を前記差圧計の第2接続口に接続する第2の位置、マスタ接続管5を大気に開放する第3の位置の間で切替え可能に構成されている。 Although not shown in detail, the leak tester main body 2 includes a high-pressure gas supply unit including a compressor, a pressure regulating valve, etc., for example, a diaphragm type differential pressure gauge, an electromagnetically driven first and second switching valve, and the like. ing. Among them, the first switching valve is provided in the middle of the work connecting pipe 6, and the work connecting pipe 6 is connected to the high-pressure gas supply unit at the first position, and the work connecting pipe 6 is connected to the first differential pressure gauge. It is configured to be switchable between a second position for connecting to the connection port and a third position for opening the work connecting pipe 6 to the atmosphere. The second switching valve is provided in the middle of the master connecting pipe 5, and similarly, the master connecting pipe 5 is connected to the high pressure gas supply unit at a first position, and the master connecting pipe 5 is connected to the differential pressure gauge. It is configured to be switchable between a second position for connecting to the second connection port of the above and a third position for opening the master connection pipe 5 to the atmosphere.

前記制御装置4は、前記リークテスタ本体2の各機構を制御して検査を実行する。具体的には、まず、第1及び第2の切替弁を共に第1の位置に駆動して、高圧気体供給部により所定の高圧に調整された高圧気体としての高圧空気をワークW内及びマスタ容器3内に供給する。ワークW内及びマスタ容器3内に所定量の高圧空気を注入したら、第1及び第2の切替弁を共に第2の位置に切替えて、ワークW内の圧力及びマスタ容器3内の圧力を、夫々差圧計の第1接続口及び第2接続口に導入する。これにて、ワークWとマスタ容器3内の圧力差が差圧計により計測され、その計測信号が制御装置4に入力される。ワークWの気密性の検査が終了すると、第1及び第2の切替弁を共に第3の位置に切替えて、ワークW内及びマスタ容器3内を大気に開放する。 The control device 4 controls each mechanism of the leak tester main body 2 to execute the inspection. Specifically, first, both the first and second switching valves are driven to the first position, and high-pressure air as a high-pressure gas adjusted to a predetermined high pressure by the high-pressure gas supply unit is sent into the work W and the master. It is supplied into the container 3. After injecting a predetermined amount of high-pressure air into the work W and the master container 3, both the first and second switching valves are switched to the second positions to reduce the pressure in the work W and the pressure in the master container 3. It is introduced into the first connection port and the second connection port of the differential pressure gauge, respectively. As a result, the pressure difference between the work W and the master container 3 is measured by the differential pressure gauge, and the measurement signal is input to the control device 4. When the inspection of the airtightness of the work W is completed, both the first and second switching valves are switched to the third position to open the inside of the work W and the inside of the master container 3 to the atmosphere.

このとき、制御装置4は、上記したリークテスタ本体2による検査工程を、複数のワークWに対して一定時間毎に順次繰返して実行する。本実施形態では、制御装置4は、検査を開始するにあたって、マスタ容器3内に対する高圧気体としての高圧空気の注入、排気を一定時間間隔で行う暖機運転を実行する。そして、暖機運転の実行によって、マスタ容器3が一定温度に上昇した安定した状態で、ワークWに対する検査即ち差圧の計測を開始するようになっている。 At this time, the control device 4 sequentially repeats the inspection process by the leak tester main body 2 described above for a plurality of work Ws at regular intervals. In the present embodiment, when the inspection is started, the control device 4 executes a warm-up operation in which high-pressure air as a high-pressure gas is injected into the master container 3 and exhaust is performed at regular time intervals. Then, by executing the warm-up operation, the inspection of the work W, that is, the measurement of the differential pressure is started in a stable state in which the master container 3 has risen to a constant temperature.

さて、前記マスタ容器3について、図2も参照して詳述する。マスタ容器3は、例えばアルミやSUS等の金属からなり、上面が開口した円筒容器状をなす本体部3aと、この本体部3aの上面開口部を開閉可能に塞ぐ円板状の蓋部3bとを備える。このとき、マスタ容器3の内部の容積は、前記ワーク3の空洞部内の容積とほぼ同等或いはそれ以上とされている。 Now, the master container 3 will be described in detail with reference to FIG. The master container 3 is made of a metal such as aluminum or SUS, and has a main body portion 3a having an open upper surface in the shape of a cylindrical container, and a disk-shaped lid portion 3b for opening and closing the upper surface opening of the main body portion 3a. To be equipped. At this time, the volume inside the master container 3 is set to be substantially equal to or larger than the volume inside the cavity of the work 3.

また、図示はしないが、本体部3aと蓋部3bとの間には、蓋部3bを本体部3aに対し閉塞状態にロックするための図示しないロック機構が設けられている。このとき、図2に示すように、本体部3aは、上端部にフランジ部を有しており、このフランジ部上面と前記蓋部3bとの間に、Oリングからなるパッキン7が配置され、蓋部3bの閉塞時の気密性が確保される。前記マスタ接続管5の先端は、前記蓋体3bに接続されている。 Further, although not shown, a lock mechanism (not shown) for locking the lid portion 3b to the main body portion 3a in a closed state is provided between the main body portion 3a and the lid portion 3b. At this time, as shown in FIG. 2, the main body portion 3a has a flange portion at the upper end portion, and a packing 7 made of an O-ring is arranged between the upper surface of the flange portion and the lid portion 3b. Airtightness when the lid portion 3b is closed is ensured. The tip of the master connecting pipe 5 is connected to the lid 3b.

そして、マスタ容器3の本体部3a内には、内部の容積を確保した状態で、該マスタ容器3の内壁に熱的に接続されて内部表面積を増大させる熱伝導部材8が収容される。本実施形態では、熱伝導部材8は、金属例えばアルミの薄板からなるコルゲートフィン9を多層に配置したものから構成されている。この場合、コルゲートフィン9は、金属例えばアルミの薄板をコルゲート状即ち波形に成形したものを、円形状、及び、曲率半径の異なる円弧状に形成される。そして、それらコルゲートフィン9を全体として円形状をなすように円形に敷き詰めるように配置したものを、多層に積み重ねるようにして、熱伝導部材8全体が構成される。 Then, in the main body 3a of the master container 3, a heat conductive member 8 which is thermally connected to the inner wall of the master container 3 to increase the internal surface area is housed in a state where the internal volume is secured. In the present embodiment, the heat conductive member 8 is composed of corrugated fins 9 made of a thin plate of metal, for example, aluminum, arranged in multiple layers. In this case, the corrugated fin 9 is formed by forming a thin plate of metal, for example aluminum, into a corrugated shape, that is, a corrugated shape, into a circular shape and an arc shape having a different radius of curvature. Then, the corrugated fins 9 are arranged so as to be spread in a circular shape so as to form a circular shape as a whole, and are stacked in multiple layers to form the entire heat conductive member 8.

次に、上記構成の作用・効果について述べる。本実施形態の差圧式リークテスト装置1においては、ワークWに対する気密性の検査を行うにあたっては、図1に示すように、まず、マスタ接続管5にマスタ容器3を接続した状態で、ワーク接続管6にワークWを接続する。検査を開始するにあたっては、制御装置4は、マスタ容器3に対する暖機運転を実行する。この暖機運転は、マスタ容器3内に対する高圧空気の注入、排気を一定時間間隔で行うことによりなされる。 Next, the action / effect of the above configuration will be described. In the differential pressure type leak test device 1 of the present embodiment, when inspecting the airtightness of the work W, first, as shown in FIG. 1, the work is connected with the master container 3 connected to the master connection pipe 5. The work W is connected to the pipe 6. At the start of the inspection, the control device 4 executes a warm-up operation on the master container 3. This warm-up operation is performed by injecting and exhausting high-pressure air into the master container 3 at regular time intervals.

この暖機運転においては、マスタ容器3内に高圧空気が供給されると、いわゆる断熱圧縮によって、空気の温度が上昇するが、その熱が大きな面積を有する熱伝導部材8を介してマスタ容器3の内壁に伝達され、マスタ容器3の温度が上昇するようになる。本実施形態では、前記マスタ容器3内に設けられたコルゲートフィン9からなる熱伝導部材8は、熱伝導性の良い金属例えばアルミの薄板からなり、該マスタ容器3の内壁に熱的に接続されていると共に、大きな表面積を有したものとなっている。そのため、マスタ容器3の温度は速やかに上昇するようになり、高圧空気の注入、排気が一定時間間隔で行われることにより、短時間でマスタ容器3は安定した温度となる。 In this warm-up operation, when high-pressure air is supplied into the master container 3, the temperature of the air rises due to so-called adiabatic compression, and the heat of the air rises through the heat conductive member 8 having a large area. It is transmitted to the inner wall of the master container 3 and the temperature of the master container 3 rises. In the present embodiment, the heat conductive member 8 made of corrugated fins 9 provided in the master container 3 is made of a thin plate of metal having good thermal conductivity, for example, aluminum, and is thermally connected to the inner wall of the master container 3. At the same time, it has a large surface area. Therefore, the temperature of the master container 3 rises rapidly, and the injection and exhaust of high-pressure air are performed at regular time intervals, so that the temperature of the master container 3 becomes stable in a short time.

そして、暖機運転の実行によって、マスタ容器3が一定温度に上昇した安定した状態で、ワークWに対する検査即ち差圧の計測が開始される。検査が開始されると、上記したように、第1及び第2の切替弁の第1の位置で、ワークW内及びマスタ容器3内に所定圧の高圧空気が注入される。ワークW内及びマスタ容器3内に高圧空気が注入された状態で、第1及び第2の切替弁が第2の位置に切替えられ、ワークW内及びマスタ容器3内が差圧計に接続されてそれら圧力差が差圧計により計測される。この差圧の計測はマスタ容器3の温度が一定温度で安定した状態で実行される。 Then, by executing the warm-up operation, the inspection of the work W, that is, the measurement of the differential pressure is started in a stable state in which the master container 3 has risen to a constant temperature. When the inspection is started, as described above, high-pressure air of a predetermined pressure is injected into the work W and the master container 3 at the first position of the first and second switching valves. With high pressure air injected into the work W and the master container 3, the first and second switching valves are switched to the second position, and the inside of the work W and the master container 3 are connected to the differential pressure gauge. The pressure difference is measured by a differential pressure gauge. This differential pressure measurement is performed in a state where the temperature of the master container 3 is stable at a constant temperature.

ワークWの気密性の検査が終了すると、第1及び第2の切替弁が第3の位置に切替えられて、ワークW内及びマスタ容器3内が大気に開放される。検査が終了したワークWはワーク接続管6から取外され、次のワークWがワーク接続管6に接続され、上記検査の工程が繰返される。複数個のワークWに対して、連続して検査を繰返す場合に、マスタ容器3の温度が安定した状態で次の検査を行うことができる。尚、熱伝導部材8を設けることにより、マスタ容器3の容積を無用に減少させるものでもなく、検査に必要な容積を維持することができる。また、外部から冷却風を当てる場合のような、マスタ容器3の温度変化に伴う計測誤差が生ずることもない。 When the inspection of the airtightness of the work W is completed, the first and second switching valves are switched to the third position, and the inside of the work W and the inside of the master container 3 are opened to the atmosphere. The work W for which the inspection has been completed is removed from the work connecting pipe 6, the next work W is connected to the work connecting pipe 6, and the above inspection process is repeated. When the inspection is repeated continuously for a plurality of work Ws, the next inspection can be performed in a state where the temperature of the master container 3 is stable. By providing the heat conductive member 8, the volume of the master container 3 is not unnecessarily reduced, and the volume required for inspection can be maintained. In addition, a measurement error due to a temperature change of the master container 3 does not occur as in the case of applying cooling air from the outside.

従って、本実施形態によれば、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器3の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができ、ひいては、高精度の検査を行うことが可能となるという優れた効果を得ることができる。ちなみに、本実施形態では、差圧の計測時のマスタ容器3内の空気の温度変化を、10−3℃以下に抑えることができ、例えば10Pa以下の差圧を高精度で計測することが可能となった。 Therefore, according to the present embodiment, the temperature of the master container 3 can be kept stable when the inspection is repeatedly executed, and the temperature change at the time of differential pressure measurement can be suppressed to a small value, and thus high accuracy. It is possible to obtain an excellent effect that the inspection of the above can be performed. By the way, in the present embodiment, the temperature change of the air in the master container 3 at the time of measuring the differential pressure can be suppressed to 10 -3 ° C or less, and for example, the differential pressure of 10 Pa or less can be measured with high accuracy. It became.

また、特に本実施形態では、熱伝導部材8を、コルゲートフィン9を多層に配置したものから構成するようにした。コルゲートフィン9を採用することによって、熱伝導部材8の表面積を十分に大きくすることができ、マスタ容器3に対する熱伝導性を良好とすることができ、より効果的となる。コルゲートフィン9の材料として、アルミニウムを採用したことにより、熱伝導性に優れ、軽量で加工性が良い等の利点も得ることができる。 Further, in particular, in the present embodiment, the heat conductive member 8 is composed of corrugated fins 9 arranged in multiple layers. By adopting the corrugated fin 9, the surface area of the heat conductive member 8 can be sufficiently increased, and the heat conductivity to the master container 3 can be improved, which is more effective. By adopting aluminum as the material of the corrugated fin 9, it is possible to obtain advantages such as excellent thermal conductivity, light weight, and good workability.

(2)第2〜第4の実施形態
図3は、第2の実施形態を示している。この第2の実施形態が、上記第1の実施形態と異なる点は、マスタ容器3内に収容される熱伝導部材11の構成にある。即ち、マスタ容器3は、やはり本体部3a、蓋部3b、パッキン7等から構成されるのであるが、この第2の実施形態では、例えばステンレススチールウールからなる多量の金属細線12を、ある程度の隙間をもって固めるようにして、円柱状にまとめたものから構成されている。この熱伝導部材11も、マスタ容器3内部の容積を確保した状態で、該マスタ容器3の内壁に熱的に接続されて内部表面積を増大させるように設けられる。
(2) Second to Fourth Embodiments FIG. 3 shows a second embodiment. The difference between this second embodiment and the first embodiment is the configuration of the heat conductive member 11 housed in the master container 3. That is, the master container 3 is also composed of the main body portion 3a, the lid portion 3b, the packing 7, and the like, but in this second embodiment, for example, a large amount of metal fine wire 12 made of stainless steel wool is formed to some extent. It is composed of a columnar structure that is hardened with a gap. The heat conductive member 11 is also provided so as to increase the internal surface area by being thermally connected to the inner wall of the master container 3 while securing the volume inside the master container 3.

このような第2の実施形態によれば、上記第1の実施形態と同様に、マスタ容器3内に熱伝導部材11を設けると共に、検査を開始するにあたって暖機運転を実行する。これにより、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器3の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができ、ひいては、高精度の検査を行うことが可能となるという優れた効果を得ることができる。そして、熱伝導部材11を、金属細線12を固めるようにまとめたものから構成したことにより、熱伝導部材11としての役割を果たしながら、形状や大きさ、密度等を自由に調整することができ、マスタ容器3の様々な形状や目的とする熱伝導性に対応することができる。 According to such a second embodiment, similarly to the first embodiment, the heat conductive member 11 is provided in the master container 3, and a warm-up operation is executed at the start of the inspection. As a result, the temperature of the master container 3 can be kept stable when the inspection is repeatedly executed, and the temperature change at the time of differential pressure measurement can be suppressed to a small value, which in turn enables high-precision inspection. It is possible to obtain an excellent effect of being possible. By forming the heat conductive member 11 so as to solidify the thin metal wire 12, the shape, size, density, etc. can be freely adjusted while playing the role of the heat conductive member 11. , It is possible to correspond to various shapes of the master container 3 and the desired thermal conductivity.

図4は、第3の実施形態を示している。この第3の実施形態では、マスタ容器3内に収容される熱伝導部材13の構成が、上記第1、第2の実施形態と異なっている。即ち、マスタ容器3は、やはり本体部3a、蓋部3b、パッキン7等から構成されている。前記熱伝導部材13は、例えば厚み寸法が0.5mm程度の薄い円板状をなすアルミニウム製の金属薄板14を、多層に配置したものから構成されている。この場合、図示はしないが、上下の金属薄板14間には、スペーサ等が設けられ、空隙を存しており、また、各金属薄板14は、それら空隙を上下方向に連通させる開口を有している。この熱伝導部材13も、マスタ容器3内部の容積を確保した状態で、該マスタ容器3の内壁に熱的に接続されて内部表面積を増大させるように設けられる。 FIG. 4 shows a third embodiment. In the third embodiment, the configuration of the heat conductive member 13 housed in the master container 3 is different from that of the first and second embodiments. That is, the master container 3 is also composed of a main body portion 3a, a lid portion 3b, a packing 7, and the like. The heat conductive member 13 is composed of, for example, a thin disk-shaped aluminum metal thin plate 14 having a thickness dimension of about 0.5 mm arranged in multiple layers. In this case, although not shown, spacers and the like are provided between the upper and lower metal thin plates 14 to provide gaps, and each metal thin plate 14 has an opening for communicating the gaps in the vertical direction. ing. The heat conductive member 13 is also provided so as to increase the internal surface area by being thermally connected to the inner wall of the master container 3 while securing the volume inside the master container 3.

このような第3の実施形態によれば、やはり、マスタ容器3内に熱伝導部材13を設けると共に、検査を開始するにあたって暖機運転を実行する。これにより、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器3の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができ、ひいては、高精度の検査を行うことが可能となるという優れた効果を得ることができる。そして、熱伝導部材13として、金属薄板14を採用したことによって、比較的簡単で安価な構成で済ませながら、金属薄板14の枚数や配置を変えることにより、熱伝導部材13の熱伝導性能を容易に変更することが可能になる。 According to the third embodiment as described above, the heat conductive member 13 is also provided in the master container 3, and the warm-up operation is executed when the inspection is started. As a result, the temperature of the master container 3 can be kept stable when the inspection is repeatedly executed, and the temperature change at the time of differential pressure measurement can be suppressed to a small value, which in turn enables high-precision inspection. It is possible to obtain an excellent effect of being possible. By adopting the metal thin plate 14 as the heat conductive member 13, the heat conduction performance of the heat conductive member 13 can be easily improved by changing the number and arrangement of the metal thin plates 14 while requiring a relatively simple and inexpensive configuration. It will be possible to change to.

図5は、第4の実施形態を示している。この第4の実施形態では、マスタ容器3内に収容される熱伝導部材15は、金属多孔質部材16から構成されている。この金属多孔質部材16は、例えばステンレス、チタン、ニッケル、銅などの金属から、多数の気孔を有した円柱状に形成されている。この熱伝導部材15も、マスタ容器3内部の容積を確保した状態で、該マスタ容器3の内壁に熱的に接続されて内部表面積を増大させるように設けられる。 FIG. 5 shows a fourth embodiment. In this fourth embodiment, the heat conductive member 15 housed in the master container 3 is composed of the metal porous member 16. The metal porous member 16 is formed of a metal such as stainless steel, titanium, nickel, and copper in a columnar shape having a large number of pores. The heat conductive member 15 is also provided so as to increase the internal surface area by being thermally connected to the inner wall of the master container 3 while securing the volume inside the master container 3.

このような第4の実施形態によれば、やはり、マスタ容器3内に熱伝導部材15を設けると共に、検査を開始するにあたって暖機運転を実行する。これにより、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器3の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができ、ひいては、高精度の検査を行うことが可能となるという優れた効果を得ることができる。そして、熱伝導部材15として、金属多孔質部材16を採用することによって、熱伝導部材15の比表面積を極めて大きくすることができると共に、マスタ容器3の内壁との接触面積を大きくとることが可能となる。従って、マスタ容器3の短時間での温度安定化を可能とする効果に優れたものとなる。 According to the fourth embodiment as described above, the heat conductive member 15 is also provided in the master container 3, and the warm-up operation is executed when the inspection is started. As a result, the temperature of the master container 3 can be kept stable when the inspection is repeatedly executed, and the temperature change at the time of differential pressure measurement can be suppressed to a small value, which in turn enables high-precision inspection. It is possible to obtain an excellent effect of being possible. By adopting the metal porous member 16 as the heat conductive member 15, the specific surface area of the heat conductive member 15 can be made extremely large, and the contact area with the inner wall of the master container 3 can be made large. It becomes. Therefore, the effect of enabling the temperature stabilization of the master container 3 in a short time is excellent.

(3)第5の実施形態
次に、図6を参照して、第5の実施形態について述べる。図6は、第5の実施形態に係る差圧式リークテスト装置21の全体構成を概略的に示している。この差圧式リークテスト装置21は、リークテスタ本体22と、気密性を有する複数個(N個)のマスタ容器23と、コンピュータを含んで構成され全体を制御する制御装置24とを備えている。リークテスタ本体22には、ワーク接続管26を介してワークWが接続される。
(3) Fifth Embodiment Next, the fifth embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 6 schematically shows the overall configuration of the differential pressure type leak test device 21 according to the fifth embodiment. The differential pressure type leak test device 21 includes a leak tester main body 22, a plurality of (N) master containers 23 having airtightness, and a control device 24 which is configured to include a computer and controls the whole. The work W is connected to the leak tester main body 22 via the work connecting pipe 26.

詳しく図示はしないが、前記各マスタ容器23は、上面が開口した円筒容器状をなす本体部23aと、この本体部23aの上面開口部を開閉可能に塞ぐ円板状の蓋部23bと、図示しないパッキンを備える。このマスタ容器23の内部は、前記ワークWの空洞部内の容積とほぼ同等或いはそれ以上の容積とされている。複数のマスタ容器23は、マスタ接続管25を介して前記リークテスタ本体22に接続されている。前記マスタ接続管25は、複数(N個)に分岐しており、それら各分岐管25aの先端部が、各マスタ容器23の蓋体23bに接続されている。これにより、複数個のマスタ容器23は並列状態に設けられている。 Although not shown in detail, each of the master containers 23 has a main body portion 23a having a cylindrical container shape with an open upper surface, and a disk-shaped lid portion 23b for opening and closing the upper surface opening of the main body portion 23a. Not equipped with packing. The inside of the master container 23 has a volume substantially equal to or larger than the volume inside the cavity of the work W. The plurality of master containers 23 are connected to the leak tester main body 22 via the master connecting pipe 25. The master connecting pipe 25 is branched into a plurality of (N pieces), and the tip of each of the branch pipes 25a is connected to the lid 23b of each master container 23. As a result, the plurality of master containers 23 are provided in parallel.

このとき、マスタ接続管25の各分岐管25a部分には、夫々電磁開閉式の開閉弁27が設けられている。これら開閉弁27は、前記制御装置24により制御されるようになっている。制御装置24は、複数の開閉弁27のうち、使用するマスタ容器23に対応する1個の開閉弁27のみを開放させ、残りの開閉弁27は閉塞させるように制御を行う。即ち、複数個のワークWに対し順次検査を繰返して実行するに際し、検査すべきワークWの切替えに伴い前記マスタ容器23を順に切替えながら使用するようになっている。従って、制御装置24及び各開閉弁27等から切替装置28が構成されている。 At this time, each branch pipe 25a portion of the master connecting pipe 25 is provided with an electromagnetic opening / closing type on-off valve 27. These on-off valves 27 are controlled by the control device 24. The control device 24 controls so that only one on-off valve 27 corresponding to the master container 23 to be used is opened out of the plurality of on-off valves 27, and the remaining on-off valve 27 is closed. That is, when the inspection is repeatedly executed for a plurality of work W, the master container 23 is used while being sequentially switched according to the switching of the work W to be inspected. Therefore, the switching device 28 is composed of the control device 24, each on-off valve 27, and the like.

次に、上記構成の差圧式リークテスト装置21の動作について述べる。尚、図6に示すように、複数のマスタ容器23を区別する必要がある場合には、符号「23」の後に、(A)、(B)、(C)、…(N)を付すようにしており、それに対応した開閉弁27を区別する場合にも、符号「27」の後に、(A)、(B)、(C)、…(N)を付している。ワークWに対する気密性の検査を行うにあたっては、1番目のワークWをワーク接続管26に接続する。検査が開始されると、1番目の開閉弁27(A)のみが開放され、マスタ容器23(A)内及びワークW内に所定量の高圧空気が注入される。残り開閉弁27は閉塞状態であり、残りのマスタ容器23内に高圧空気が供給されることはない。 Next, the operation of the differential pressure type leak test device 21 having the above configuration will be described. As shown in FIG. 6, when it is necessary to distinguish between a plurality of master containers 23, (A), (B), (C), ... (N) should be added after the reference numeral "23". In order to distinguish the on-off valve 27 corresponding to the above, (A), (B), (C), ... (N) are added after the reference numeral "27". When inspecting the airtightness of the work W, the first work W is connected to the work connecting pipe 26. When the inspection is started, only the first on-off valve 27 (A) is opened, and a predetermined amount of high-pressure air is injected into the master container 23 (A) and the work W. The remaining on-off valve 27 is in a closed state, and high-pressure air is not supplied into the remaining master container 23.

このとき、マスタ容器23(A)に対する高圧空気の供給によってマスタ容器23(A)内の空気温度が低温(常温)状態から上昇するが、マスタ容器23内の空気温度が比較的低い温度で安定した状態で、ワークW内及びマスタ容器23(A)内が差圧計に接続されてそれら圧力差が差圧計により計測される。ワークWの気密性の検査が終了すると、ワークW内及びマスタ容器23(A)内が大気に開放される。検査が終了したワークWはワーク接続管6から取外され、次のワークWがワーク接続管26に接続される。 At this time, the air temperature in the master container 23 (A) rises from the low temperature (normal temperature) state due to the supply of high-pressure air to the master container 23 (A), but the air temperature in the master container 23 is stable at a relatively low temperature. In this state, the inside of the work W and the inside of the master container 23 (A) are connected to the differential pressure gauge, and the pressure difference between them is measured by the differential pressure gauge. When the airtightness inspection of the work W is completed, the inside of the work W and the inside of the master container 23 (A) are opened to the atmosphere. The work W for which the inspection has been completed is removed from the work connecting pipe 6, and the next work W is connected to the work connecting pipe 26.

次のワークWに対する検査は、2番目の開閉弁27(B)のみが開放され、マスタ容器23(B)を使用して行われる。また、2番目の検査が終了すると、次のワークWに対する検査は、3番目の開閉弁27(C)のみが開放され、マスタ容器23(C)を使用して行われる。このように、切替装置28によって、使用するマスタ容器23を順に切替えながら検査が行われる。このようにマスタ容器23を順に切替えながら使用することにより、夫々のマスタ容器23において、使用から次の使用までに十分な時間を置くことができ、常に使用するマスタ容器23が常温まで冷却された状態で検査を行うことができる。 The inspection for the next work W is performed using the master container 23 (B) with only the second on-off valve 27 (B) open. When the second inspection is completed, the inspection for the next work W is performed using the master container 23 (C) with only the third on-off valve 27 (C) opened. In this way, the switching device 28 performs the inspection while switching the master container 23 to be used in order. By using the master container 23 while switching in order in this way, a sufficient time can be allowed from one use to the next use in each master container 23, and the master container 23 that is always used is cooled to room temperature. The inspection can be performed in the state.

これによれば、複数のワークWに対して順次検査を行う際に、検査から次の検査までの時間間隔を短くしても、常に、マスタ容器23を比較的低い一定温度で安定した状態で差圧の計測を行うことができる。この結果、第5の実施形態によれば、検査を繰返し実行する場合におけるマスタ容器23の温度を安定した状態とすることができると共に、差圧計測時の温度変化も小さく抑えることができ、ひいては、高精度の検査を行うことが可能となるという優れた効果を得ることができる。 According to this, when sequentially inspecting a plurality of work Ws, the master container 23 is always kept stable at a relatively low constant temperature even if the time interval from the inspection to the next inspection is shortened. The differential pressure can be measured. As a result, according to the fifth embodiment, the temperature of the master container 23 can be kept stable when the inspection is repeatedly executed, and the temperature change at the time of differential pressure measurement can be suppressed to a small value, which in turn can be suppressed. , It is possible to obtain an excellent effect that high-precision inspection can be performed.

尚、上記した各実施形態に限定されるものではなく、例えばマスタ容器や熱伝導部材の材質や形状などについても、様々な変更が可能である。ワークWについても、車両用部品に限らず、気密性の検査を行うもの全般に適用することができる。本開示は、実施例に準拠して記述されたが、本開示は当該実施例や構造に限定されるものではないと理解される。本開示は、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、様々な組み合わせや形態、さらには、それらに一要素のみ、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本開示の範疇や思想範囲に入るものである。 It should be noted that the present invention is not limited to each of the above-described embodiments, and various changes can be made to, for example, the material and shape of the master container and the heat conductive member. The work W is not limited to vehicle parts, but can be applied to all parts that are inspected for airtightness. Although the present disclosure has been described in accordance with the examples, it is understood that the present disclosure is not limited to the examples and structures. The present disclosure also includes various modifications and modifications within an equal range. In addition, various combinations and forms, as well as other combinations and forms that include only one element, more, or less, are also within the scope of the present disclosure.

図面中、1、21は差圧式リークテスト装置、2、22はリークテスタ本体、3、23はマスタ容器、4、24は制御装置、8、11、13、15は熱伝導部材、9はコルゲートフィン、12は金属細線、14は金属薄板、16は金属多孔質部材、25はマスタ接続管、27は開閉弁、28は切替装置、Wはワークを示す。 In the drawings, 1, 21 are differential pressure type leak test devices, 2, 22 are leak tester bodies, 3, 23 are master containers, 4, 24 are control devices, 8, 11, 13, 15 are heat conductive members, and 9 are corrugated fins. , 12 is a thin metal wire, 14 is a thin metal plate, 16 is a porous metal member, 25 is a master connecting pipe, 27 is an on-off valve, 28 is a switching device, and W is a work.

Claims (6)

空洞部を有するワーク(W)及び気密性を有するマスタ容器(3)の双方を、密閉状態として内部に高圧気体を注入し、前記ワーク空洞部内と前記マスタ容器内との圧力差を計測することに基づいて、該ワークの気密性の検査を行う差圧式リークテスト装置(1)であって、
前記マスタ容器内には、内部の容積を確保した状態で、該マスタ容器の内壁に熱的に接続されて内部表面積を増大させる熱伝導部材(8、11、13、15)が設けられていると共に、
検査を開始するにあたって、前記マスタ容器内に対する高圧気体の注入、排気を一定時間間隔で行う暖機運転を実行する制御装置(4)を備える差圧式リークテスト装置。
Both the work (W) having a cavity and the master container (3) having an airtightness are sealed, high-pressure gas is injected into the inside, and the pressure difference between the inside of the work cavity and the inside of the master container is measured. A differential pressure type leak test device (1) that inspects the airtightness of the work based on the above.
Inside the master container, heat conductive members (8, 11, 13, 15) are provided, which are thermally connected to the inner wall of the master container to increase the internal surface area while securing the internal volume. With
A differential pressure type leak test device including a control device (4) that executes a warm-up operation in which high-pressure gas is injected and exhausted into the master container at regular time intervals when starting an inspection.
前記熱伝導部材(8)は、コルゲートフィン(9)を多層に配置したものから構成されている請求項1記載の差圧式リークテスト装置。 The differential pressure type leak test device according to claim 1, wherein the heat conductive member (8) is composed of corrugated fins (9) arranged in multiple layers. 前記熱伝導部材(11)は、金属細線(12)を固めるようにまとめたものから構成されている請求項1記載の差圧式リークテスト装置。 The differential pressure type leak test device according to claim 1, wherein the heat conductive member (11) is composed of a metal wire (12) assembled so as to be solidified. 前記熱伝導部材(13)は、金属薄板(14)を空隙を存して多層に配置したものから構成されている請求項1記載の差圧式リークテスト装置。 The differential pressure type leak test device according to claim 1, wherein the heat conductive member (13) is composed of a thin metal plate (14) arranged in multiple layers with voids. 前記熱伝導部材(15)は、金属多孔質部材(16)から構成されている請求項1記載の差圧式リークテスト装置。 The differential pressure type leak test device according to claim 1, wherein the heat conductive member (15) is composed of a metal porous member (16). 空洞部を有するワーク(W)及び気密性を有するマスタ容器(23)の双方を、密閉状態として内部に高圧気体を注入し、前記ワーク空洞部内と前記マスタ容器内との圧力差を計測することに基づいて、該ワークの気密性の検査を行う差圧式リークテスト装置(21)であって、
複数個の前記マスタ容器を並列状態に備えると共に、検査すべきワークの切替えに伴い前記マスタ容器を順に切替えながら使用する切替装置(28)を備える差圧式リークテスト装置。
Both the work (W) having a cavity and the master container (23) having an airtightness are sealed, high-pressure gas is injected into the inside, and the pressure difference between the inside of the work cavity and the inside of the master container is measured. A differential pressure type leak test device (21) that inspects the airtightness of the work based on the above.
A differential pressure type leak test device including a switching device (28) in which a plurality of the master containers are provided in a parallel state and the master containers are switched in order as the workpiece to be inspected is switched.
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