JP2020203247A - Actuator and tactile device - Google Patents

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亮 森
Akira Mori
亮 森
北原 裕士
Yuji Kitahara
裕士 北原
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Nidec Sankyo Corp
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Abstract

To provide an actuator which makes drive sound less likely to occur even if a thickness of a flat plate part of a cover member is reduced, and to provide a tactile device.SOLUTION: In an actuator 1, a movable body 6 is disposed between a first flat plate part 310 of a first cover member 31 and a second flat plate part 320 of a second cover member 32 and the movable body 6 is vibrated to output information. The first flat plate part 310 is provided with a first projection part 316 which extends so as to partition the first flat plate part 310 into multiple areas. Between the movable body 6 and the first flat plate part 310, first viscoelastic members 91 are disposed at the areas partitioned by the first projection part 316. In the first flat plate part 310, a groove 317 is formed at the opposite side of the first projection part 316. In the groove 317, a filling member 16 formed by a rigid member or an elastic member may be disposed. The second flat plate part 320 of the second cover member 32 has a similar structure to the first flat plate part 310.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、可動体を振動させるアクチュエータ、および触覚デバイスに関するものである。 The present invention relates to an actuator that vibrates a movable body and a tactile device.

情報を振動によって報知するデバイスとして、第1カバー部材の第1平板部と第2カバー部材の第2平板部との間に、可動体および磁気駆動回路が設けられたアクチュエータが提案されており、かかるアクチュエータにおいて、可動体と第1カバー部材の第1平板部との間、および可動体と第2カバー部材の第2平板部との間には、粘弾性を備えた接続部材が配置されている(特許文献1参照)。従って、磁気駆動回路のコイルに正弦波信号等の駆動信号を供給すると、可動体が振動する。 As a device for transmitting information by vibration, an actuator in which a movable body and a magnetic drive circuit are provided between a first flat plate portion of the first cover member and a second flat plate portion of the second cover member has been proposed. In such an actuator, a connecting member having viscoelasticity is arranged between the movable body and the first flat plate portion of the first cover member, and between the movable body and the second flat plate portion of the second cover member. (See Patent Document 1). Therefore, when a drive signal such as a sine wave signal is supplied to the coil of the magnetic drive circuit, the movable body vibrates.

特開2019−13094号公報JP-A-2019-13094

特許文献1に記載のアクチュエータにおいて、例えば、第1カバー部材の第1平板部を薄板化してアクチュエータの薄型化等を図った場合に、駆動信号として電圧変化が急峻なパルス信号をコイルに供給すると、可動体が振動した際に第1平板部の振動が原因で駆動音が発生するという問題点がある。 In the actuator described in Patent Document 1, for example, when the first flat plate portion of the first cover member is made thinner to make the actuator thinner, a pulse signal with a steep voltage change is supplied to the coil as a drive signal. There is a problem that a driving sound is generated due to the vibration of the first flat plate portion when the movable body vibrates.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、カバー部材の平板部を薄板化しても駆動音が発生しにくいアクチュエータ、および触覚デバイスを提供することにある。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide an actuator and a tactile device in which a driving sound is unlikely to be generated even if the flat plate portion of the cover member is made thin.

上記課題を解決するために、本発明のアクチュエータは、第1平板部を備えた第1カバー部材、および前記第1平板部と第1方向で対向する第2平板部を備えた第2カバー部材を備えた支持体と、前記第1平板部と前記第2平板部との間に配置された可動体と、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体および前記支持体の双方に接続された接続部材と、前記可動体を前記支持体に対して前記第1方向と交差する第2方向に振動させる磁気駆動回路と、を有し、前記第1平板部には、前記第1平板部を複数の領域に区画するように延在する第1突条部が設けられていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the actuator of the present invention has a first cover member provided with a first flat plate portion and a second cover member provided with a second flat plate portion facing the first flat plate portion in the first direction. A support provided with, a movable body arranged between the first flat plate portion and the second flat plate portion, and at least one of elastic and viscoelastic, connected to both the movable body and the support. The connecting member is provided with a magnetic drive circuit that vibrates the movable body in a second direction intersecting the first direction with respect to the support, and the first flat plate portion includes the first flat plate portion. It is characterized in that a first ridge portion extending so as to divide the portion into a plurality of areas is provided.

かかるアクチュエータは、触覚デバイス等として用いることができる。すなわち、本発明の触覚デバイスは、第1平板部を備えた第1カバー部材、および前記第1平板部と第1方向で対向する第2平板部を備えた第2カバー部材を備えた支持体と、前記第1平板部と前記第2平板部との間に配置された可動体と、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体および前記支持体の双方に接続された接続部材と、出力すべき情報に応じて、前記可動体を前記支持体に対して前記第1方向と交差する第2方向に振動させる磁気駆動回路と、を有し、前記第1平板部には、前記第1平板部を複数の領域に区画するように延在する第1突条部が設けられていることを特徴とする。 Such an actuator can be used as a tactile device or the like. That is, the tactile device of the present invention is a support having a first cover member having a first flat plate portion and a second cover member having a second flat plate portion facing the first flat plate portion in the first direction. A movable body arranged between the first flat plate portion and the second flat plate portion, and a connecting member having at least one of elasticity and viscoelasticity and connected to both the movable body and the support. The first flat plate portion includes a magnetic drive circuit that vibrates the movable body with respect to the support in a second direction intersecting the first direction according to information to be output. It is characterized in that a first ridge portion extending so as to partition the first flat plate portion into a plurality of areas is provided.

本発明では、第1カバー部材の第1平板部の薄板化を図った場合でも、第1平板部には、第1平板部を複数の領域に区画するように延在する第1突条部が設けられているため、第1平板部が振動しにくい。従って、電圧変化が急峻な駆動信号を磁気駆動回路に供給し
て可動体を振動させたときでも、第1平板部の振動が原因で駆動音が発生するという事態が発生しにくい。
In the present invention, even when the first flat plate portion of the first cover member is thinned, the first flat plate portion extends from the first flat plate portion so as to partition the first flat plate portion into a plurality of regions. Is provided, so that the first flat plate portion does not easily vibrate. Therefore, even when a drive signal with a steep voltage change is supplied to the magnetic drive circuit to vibrate the movable body, it is unlikely that a drive sound is generated due to the vibration of the first flat plate portion.

本発明において、前記第1突条部は、前記第2平板部が位置する側に向けて突出している態様を採用することができる。かかる態様によれば、第1突条部が第2平板部と反対側に向けて突出している場合よりアクチュエータの第1方向における寸法を短くすることができる。 In the present invention, the first ridge portion can adopt a mode in which the second flat plate portion projects toward the side where the second flat plate portion is located. According to this aspect, the dimension of the actuator in the first direction can be shortened as compared with the case where the first ridge portion protrudes toward the side opposite to the second flat plate portion.

本発明において、前記接続部材は、前記第1平板部のうち、前記第1突条部によって区画された領域と前記可動体との間に配置された第1粘弾性部材を含む態様を採用することができる。かかる態様によれば、第1粘弾性部材を第1平板部のうち、第1突条部を避けた平板部分に接続することができるので、第1粘弾性部材の粘弾性特性が変動しにくい。 In the present invention, the connecting member adopts an embodiment of the first flat plate portion including a first viscoelastic member arranged between a region partitioned by the first ridge portion and the movable body. be able to. According to this aspect, since the first viscoelastic member can be connected to the flat plate portion of the first flat plate portion avoiding the first ridge portion, the viscoelastic property of the first viscoelastic member is unlikely to fluctuate. ..

本発明において、前記第1突条部は、前記第1平板部の端部まで到達している態様を採用することができる。かかる態様によれば、第1平板部を適正に区画できるので、第1平板部の振動を効果的に抑制することができる。 In the present invention, the mode in which the first ridge portion reaches the end portion of the first flat plate portion can be adopted. According to this aspect, since the first flat plate portion can be appropriately partitioned, the vibration of the first flat plate portion can be effectively suppressed.

本発明において、前記第1平板部は、相対向する一対の長辺部、および前記一対の長辺部の間で相対向する一対の短辺部を備えた長方形であり、前記第1突条部は、少なくも、前記一対の長辺部が延在する方向の中央部分で前記一対の短辺部に沿う方向に延在している態様を採用することができる。かかる態様によれば、第1平板部を長辺方向で分割することができるので、第1平板部の振動を効果的に抑制することができる。 In the present invention, the first flat plate portion is a rectangle having a pair of long side portions facing each other and a pair of short side portions facing each other between the pair of long side portions, and the first protrusion. As the portion, at least the central portion in the direction in which the pair of long side portions extend can be adopted so as to extend in the direction along the pair of short side portions. According to such an aspect, since the first flat plate portion can be divided in the long side direction, the vibration of the first flat plate portion can be effectively suppressed.

本発明において、前記第1平板部は、前記第1突条部の反対側が溝になっている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第1カバー部材をプレス加工によって製作する際、第1突条部を同時に形成することができる。 In the present invention, the first flat plate portion can adopt a mode in which the opposite side of the first ridge portion is a groove. According to this aspect, when the first cover member is manufactured by press working, the first ridge portion can be formed at the same time.

本発明において、前記溝の内部には、充填部材が設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、充填部材によって、第1平板部の振動特性を適正化することができる。例えば、前記充填部材は、剛性部材である態様を採用することができる。かかる態様によれば、溝に配置した剛性部材によって、第1平板部の剛性を高めるとともに、第1平板部の質量を増大させた場合と同様な効果を得ることができ、第1平板部の振動を効果的に抑制することができる。また、前記充填部材は、弾性部材である態様を採用することができる。かかる態様によれば、溝に配置した弾性部材によって、第1平板部の振動を吸収することにより、第1平板部の振動を効果的に抑制することができる。 In the present invention, an embodiment in which a filling member is provided inside the groove can be adopted. According to such an aspect, the vibration characteristic of the first flat plate portion can be optimized by the filling member. For example, the filling member may adopt an aspect of being a rigid member. According to this aspect, the rigidity member arranged in the groove can increase the rigidity of the first flat plate portion and obtain the same effect as when the mass of the first flat plate portion is increased, and the first flat plate portion can be obtained. Vibration can be effectively suppressed. Further, the filling member may adopt an aspect of being an elastic member. According to such an aspect, the vibration of the first flat plate portion can be effectively suppressed by absorbing the vibration of the first flat plate portion by the elastic member arranged in the groove.

本発明において、前記第1平板部は、鉄系金属からなる態様を採用することができる。かかる態様によれば、第1平板部の振動を抑制しやすい。 In the present invention, the first flat plate portion may adopt an aspect made of an iron-based metal. According to this aspect, it is easy to suppress the vibration of the first flat plate portion.

本発明において、前記第2平板部には、前記第2平板部を複数の領域に区画するように延在する第2突条部が設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第2カバー部材の第2平板部の薄板化を図った場合でも、第2平板部は振動しにくい。従って、第2平板部の振動が原因で駆動音が発生するという事態が発生しにくい。 In the present invention, it is possible to adopt an embodiment in which the second flat plate portion is provided with a second ridge portion extending so as to partition the second flat plate portion into a plurality of regions. According to this aspect, even when the second flat plate portion of the second cover member is made thin, the second flat plate portion is unlikely to vibrate. Therefore, it is unlikely that a driving sound is generated due to the vibration of the second flat plate portion.

本発明において、前記第2突条部は、前記第1平板部が位置する側に向けて突出している態様を採用することができる。かかる態様によれば、第2突条部が第1平板部と反対側に向けて突出している場合よりアクチュエータの第1方向における寸法を短くすることができる。 In the present invention, the second ridge portion can adopt a mode in which the first flat plate portion projects toward the side where the first flat plate portion is located. According to this aspect, the dimension of the actuator in the first direction can be shortened as compared with the case where the second ridge portion protrudes toward the side opposite to the first flat plate portion.

本発明において、前記接続部材は、前記第2平板部のうち、前記第2突条部によって区
画された領域と前記可動体との間に配置された第2粘弾性部材を含む態様を採用することができる。かかる態様によれば、第2粘弾性部材を第2平板部のうち、第2突条部を避けた平板部分に接続することができるので、第2粘弾性部材の粘弾性特性が変動しにくい。
In the present invention, the connecting member adopts an aspect including a second viscoelastic member arranged between the region partitioned by the second ridge portion and the movable body in the second flat plate portion. be able to. According to this aspect, since the second viscoelastic member can be connected to the flat plate portion of the second flat plate portion avoiding the second ridge portion, the viscoelastic property of the second viscoelastic member is unlikely to fluctuate. ..

本発明では、第1カバー部材の第1平板部の薄板化を図った場合でも、第1平板部には、第1平板部を複数の領域に区画するように延在する第1突条部が設けられているため、第1平板部が振動しにくい。従って、電圧変化が急峻な駆動信号を磁気駆動回路に供給して可動体を振動させたときでも、第1平板部の振動が原因で駆動音が発生するという事態が発生しにくい。 In the present invention, even when the first flat plate portion of the first cover member is thinned, the first flat plate portion extends from the first flat plate portion so as to partition the first flat plate portion into a plurality of regions. Is provided, so that the first flat plate portion does not easily vibrate. Therefore, even when a drive signal with a steep voltage change is supplied to the magnetic drive circuit to vibrate the movable body, it is unlikely that a drive sound is generated due to the vibration of the first flat plate portion.

本発明を適用したアクチュエータを第2カバー部材の側からみた斜視図。The perspective view of the actuator to which this invention was applied seen from the side of the 2nd cover member. 図1に示す状態から充填部材を外した状態の斜視図。FIG. 3 is a perspective view showing a state in which the filling member is removed from the state shown in FIG. 図1に示すアクチュエータを第1カバー部材の側からみた斜視図。A perspective view of the actuator shown in FIG. 1 as viewed from the side of the first cover member. 図1に示すアクチュエータのYZ断面図。FIG. 5 is a YZ cross-sectional view of the actuator shown in FIG. 図1に示すアクチュエータのXZ断面図。XZ sectional view of the actuator shown in FIG. 図1に示すアクチュエータ1の分解斜視図。An exploded perspective view of the actuator 1 shown in FIG. 図6に示す磁気駆動回路の分解斜視図。An exploded perspective view of the magnetic drive circuit shown in FIG. 図7に示すコイルホルダ等の斜視図。The perspective view of the coil holder and the like shown in FIG. 図8に示すコイルホルダからコイルを外した状態の斜視図。FIG. 5 is a perspective view showing a state in which the coil is removed from the coil holder shown in FIG. 本発明の実施形態の変形例に係るアクチュエータの説明図。Explanatory drawing of the actuator which concerns on the modification of embodiment of this invention.

以下に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の説明において、第1カバー部材31の第1平板部310と第2カバー部材32の第2平板部320とが対向している側を第1方向Zとし、第1方向Zと交差する可動体6の振動方向を第2方向Xとし、第1方向Zおよび第2方向Xと交差する方向を第3方向Yとして説明する。また、第2方向Xの一方側にX1を付し、第2方向Xの他方側にX2を付し、第1方向Zの一方側にZ1を付し、第1方向Zの他方側にZ2を付し、第3方向Yの一方側にY1を付し、第3方向Yの他方側にY2を付して説明する。また、以下の説明では、コイル5が支持体2に保持され、永久磁石(第1永久磁石91および第2永久磁石92)が可動体6に保持されている場合を中心に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the side where the first flat plate portion 310 of the first cover member 31 and the second flat plate portion 320 of the second cover member 32 face each other is defined as the first direction Z, and is movable so as to intersect the first direction Z. The vibration direction of the body 6 will be referred to as the second direction X, and the direction intersecting the first direction Z and the second direction X will be described as the third direction Y. Further, X1 is attached to one side of the second direction X, X2 is attached to the other side of the second direction X, Z1 is attached to one side of the first direction Z, and Z2 is attached to the other side of the first direction Z. , Y1 is attached to one side of the third direction Y, and Y2 is attached to the other side of the third direction Y. Further, in the following description, the case where the coil 5 is held by the support 2 and the permanent magnets (the first permanent magnet 91 and the second permanent magnet 92) are held by the movable body 6 will be mainly described.

(全体構成)
図1は、本発明を適用したアクチュエータ1を第2カバー部材32の側からみた斜視図である。図2は、図1に示す状態から充填部材16、17を外した状態の斜視図である。図3は、図1に示すアクチュエータ1を第1カバー部材31の側からみた斜視図である。図4は、図1に示すアクチュエータ1のYZ断面図である。図5は、図1に示すアクチュエータ1のXZ断面図である。図6は、図1に示すアクチュエータ1の分解斜視図である。なお、図3、図4、図5および図6では、充填部材16、17の図示を省略してある。
(overall structure)
FIG. 1 is a perspective view of the actuator 1 to which the present invention is applied as viewed from the side of the second cover member 32. FIG. 2 is a perspective view showing a state in which the filling members 16 and 17 are removed from the state shown in FIG. FIG. 3 is a perspective view of the actuator 1 shown in FIG. 1 as viewed from the side of the first cover member 31. FIG. 4 is a YZ cross-sectional view of the actuator 1 shown in FIG. FIG. 5 is an XZ cross-sectional view of the actuator 1 shown in FIG. FIG. 6 is an exploded perspective view of the actuator 1 shown in FIG. Note that in FIGS. 3, 4, 5, and 6, the filling members 16 and 17 are not shown.

図1、図2、および図3に示すように、アクチュエータ1は、第3方向Yに長手方向を向けた直方体形状を有しており、触覚デバイス等の情報伝達装置として用いることができる。アクチュエータ1を触覚デバイスとして用いた場合、アクチュエータ1を手にした利用者に対して第2方向Xの振動によって情報を報知する。従って、アクチュエータ1は、ゲーム機の操作部材等として利用することができ、振動等によって新たな感覚を実感することができる。但し、アクチュエータ1の用途は、触覚デバイス等の情報伝達装置に限定されるものではない。図4、図5および図6に示すように、本形態のアクチュエータ1は、アクチュエータ1の外形を規定する角形のカバー3等を含む支持体2と、カバー3の内
部で支持体2に対して第2方向Xに移動可能に支持された可動体6とを有しており、可動体6が第2方向Xに振動することによって情報を出力する。
As shown in FIGS. 1, 2, and 3, the actuator 1 has a rectangular parallelepiped shape in which the longitudinal direction is directed to the third direction Y, and can be used as an information transmission device such as a tactile device. When the actuator 1 is used as a tactile device, information is notified to the user holding the actuator 1 by vibration in the second direction X. Therefore, the actuator 1 can be used as an operating member of a game machine or the like, and a new sensation can be felt by vibration or the like. However, the application of the actuator 1 is not limited to an information transmission device such as a tactile device. As shown in FIGS. 4, 5 and 6, the actuator 1 of the present embodiment has a support 2 including a square cover 3 and the like that define the outer shape of the actuator 1, and a support 2 inside the cover 3. It has a movable body 6 movably supported in the second direction X, and outputs information by vibrating the movable body 6 in the second direction X.

支持体2は、カバー3、コイルホルダ4、第1プレート47、第2プレート48.コイル5、および給電基板10を有しており、可動体6は、永久磁石(第1永久磁石71および第2永久磁石72)、およびヨーク(第1ヨーク81および第2ヨーク82)を有しており、コイル5および永久磁石(第1永久磁石71および第2永久磁石72)によって磁気駆動回路1aが構成されている。また、可動体6は、可動体6と支持体2との間に設けられた接続部材9を介して支持体2に支持されている。接続部材9は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えており、可動体6は、接続部材9を介して支持体2に相対移動可能に支持されている。 The support 2 includes a cover 3, a coil holder 4, a first plate 47, and a second plate 48. It has a coil 5 and a power feeding board 10, and the movable body 6 has a permanent magnet (first permanent magnet 71 and a second permanent magnet 72) and a yoke (first yoke 81 and second yoke 82). The magnetic drive circuit 1a is composed of a coil 5 and permanent magnets (first permanent magnet 71 and second permanent magnet 72). Further, the movable body 6 is supported by the support body 2 via a connecting member 9 provided between the movable body 6 and the support body 2. The connecting member 9 has at least one of elasticity and viscoelasticity, and the movable body 6 is supported by the connecting member 9 so as to be relatively movable relative to the support body 2.

(可動体6の構成)
図7は、図6に示す磁気駆動回路1aの分解斜視図である。図4、および図5に示すように、可動体6は、コイル5に対して第1方向Zの一方側Z1に配置された磁性板からなる第1ヨーク81と、コイル5に対して第1方向Zの一方側Z1で対向するように第1ヨーク81の第1方向Zの他方側Z2の面に保持された第1永久磁石71とを有している。また、可動体6は、コイル5に対して第1方向Zの他方側Z2に配置された磁性板からなる第2ヨーク82と、コイル5に第1方向Zの他方側Z2で対向するように第2ヨーク82の第1方向Zの一方側Z1の面に保持された第2永久磁石72とを有している。
(Structure of movable body 6)
FIG. 7 is an exploded perspective view of the magnetic drive circuit 1a shown in FIG. As shown in FIGS. 4 and 5, the movable body 6 has a first yoke 81 made of a magnetic plate arranged on one side Z1 of the first direction Z with respect to the coil 5, and a first yoke 81 with respect to the coil 5. It has a first permanent magnet 71 held on the surface of the other side Z2 of the first direction Z of the first yoke 81 so as to face each other on one side Z1 of the direction Z. Further, the movable body 6 faces the coil 5 with the second yoke 82 made of a magnetic plate arranged on the other side Z2 of the first direction Z on the other side Z2 of the first direction Z. It has a second permanent magnet 72 held on the surface of one side Z1 of the first direction Z of the second yoke 82.

図4、図5、および図7に示すように、第1ヨーク81は、第1永久磁石71が第1方向Zの他方側Z2の面に固定された平板部811と、平板部811の第3方向Yの両側の端部から第1方向Zの他方側Z2に折れ曲がった一対の連結部812とを有している。第2ヨーク82は、第2永久磁石72が第1方向Zの一方側Z1の面に固定された平板部821を有しており、平板部821の第3方向Yの両端部が第1ヨーク81の一対の連結部812の第1方向Zの他方側Z2の端部に溶接等の方法で連結される(図6参照)。 As shown in FIGS. 4, 5, and 7, the first yoke 81 includes a flat plate portion 811 in which the first permanent magnet 71 is fixed to the surface of the other side Z2 in the first direction Z, and a flat plate portion 811. It has a pair of connecting portions 812 that are bent from both end portions in the three directions Y to the other side Z2 in the first direction Z. The second yoke 82 has a flat plate portion 821 in which the second permanent magnet 72 is fixed to the surface of one side Z1 of the first direction Z, and both ends of the flat plate portion 821 in the third direction Y are first yokes. The pair of connecting portions 812 of 81 are connected to the ends of Z2 on the other side of the first direction Z by a method such as welding (see FIG. 6).

第1永久磁石71は、非磁性のスペーサ710を介して第2方向Xに配列された2つの板状の磁石片711、712からなる。磁石片711、712は各々、第1方向Zで異なる極に着磁されている。また、磁石片711、712は各々、第1方向Zにおける着磁が反対になっている。従って、磁石片711は、第1方向Zの他方側Z2にN極を向けている一方、磁石片712は、第1方向Zの他方側Z2にS極を向けている。 The first permanent magnet 71 is composed of two plate-shaped magnet pieces 711 and 712 arranged in the second direction X via a non-magnetic spacer 710. The magnet pieces 711 and 712 are magnetized to different poles in the first direction Z, respectively. Further, the magnet pieces 711 and 712 are magnetized in opposite directions in the first direction Z, respectively. Therefore, the magnet piece 711 has the north pole directed to the other side Z2 of the first direction Z, while the magnet piece 712 has the south pole directed to the other side Z2 of the first direction Z.

第2永久磁石72は、第1永久磁石71と同様、非磁性のスペーサ720を介して第2方向Xに配列された2つの板状の磁石片721、722からなる。磁石片721、722は各々、第1方向Zで異なる極に着磁されている。また、磁石片721、722は各々、第1方向Zにおける着磁が反対になっている。従って、磁石片721は、第1方向Zの一方側Z1にS極を向けている一方、磁石片722は、第1方向Zの一方側Z1にN極を向けている。それ故、第1永久磁石71と第2永久磁石72とは、コイル5を介して第1方向Zで対向する部分が異なる極に着磁されている。 Like the first permanent magnet 71, the second permanent magnet 72 is composed of two plate-shaped magnet pieces 721 and 722 arranged in the second direction X via a non-magnetic spacer 720. The magnet pieces 721 and 722 are magnetized to different poles in the first direction Z, respectively. Further, the magnet pieces 721 and 722 are magnetized in opposite directions in the first direction Z, respectively. Therefore, the magnet piece 721 has the S pole directed to one side Z1 of the first direction Z, while the magnet piece 722 has the north pole directed to one side Z1 of the first direction Z. Therefore, the first permanent magnet 71 and the second permanent magnet 72 are magnetized at different poles at portions facing each other in the first direction Z via the coil 5.

(支持体2の構成)
図8は、図7に示すコイルホルダ4等の斜視図である。図9は、図8に示すコイルホルダ4からコイル5を外した状態の斜視図である。図4、図5および図6に示すように、支持体2において、カバー3は、第1方向Zの一方側Z1に位置する第1カバー部材31と、第1方向Zの他方側Z2で第1カバー部材31と重なる第2カバー部材32とを有している。第1カバー部材31、および第2カバー部材32はSUS304等のステンレス鋼や、ステンレス鋼より鉄の含有量が多い鉄系金属からなる。本形態おいて、第1カバー部材31、および第2カバー部材32は、ステンレス鋼より鉄の含有量が多い鉄系金属から
なる。
(Structure of support 2)
FIG. 8 is a perspective view of the coil holder 4 and the like shown in FIG. FIG. 9 is a perspective view showing a state in which the coil 5 is removed from the coil holder 4 shown in FIG. As shown in FIGS. 4, 5 and 6, in the support 2, the cover 3 has a first cover member 31 located on one side Z1 of the first direction Z and a second cover 3 on the other side Z2 of the first direction Z. It has a second cover member 32 that overlaps with one cover member 31. The first cover member 31 and the second cover member 32 are made of stainless steel such as SUS304 or an iron-based metal having a higher iron content than stainless steel. In this embodiment, the first cover member 31 and the second cover member 32 are made of an iron-based metal having a higher iron content than stainless steel.

第1カバー部材31は、第1ヨーク81の平板部811に第1方向Zの一方側Z1で対向する長方形の第1平板部310と、第1平板部310の相対向する一対の長辺部の各々から第1方向Zの他方側Z2に向けて折れ曲がった一対の側板部311、312と、第1平板部310の相対向する一対の短辺部の各々から第1方向Zの他方側Z2に向けて折れ曲がった一対の側板部313、314とを有している。 The first cover member 31 is a rectangular first flat plate portion 310 facing the flat plate portion 811 of the first yoke 81 on one side Z1 of the first direction Z, and a pair of long side portions facing each other of the first flat plate portion 310. From each of the pair of side plate portions 311 and 312 bent toward the other side Z2 of the first direction Z and the pair of opposite short side portions of the first flat plate portion 310, the other side Z2 of the first direction Z It has a pair of side plate portions 313 and 314 that are bent toward.

第2カバー部材32は、第2ヨーク82の平板部821に第1方向Zの他方側Z2で対向する長方形の第2平板部320と、第2平板部320の相対向する一対の長辺部の各々から第1方向Zの一方側Z1に向けて折れ曲がった一対の側板部321、322と、第1平板部310の相対向する一対の短辺部の各々から第1方向Zの一方側Z1に向けて折れ曲がった一対の側板部323、324とを有している。 The second cover member 32 is a rectangular second flat plate portion 320 facing the flat plate portion 821 of the second yoke 82 on the other side Z2 of the first direction Z, and a pair of long side portions facing each other of the second flat plate portion 320. One side Z1 of the first direction Z from each of the pair of side plate portions 321 and 322 bent toward the one side Z1 of the first direction Z and the pair of opposite short side portions of the first flat plate portion 310. It has a pair of side plate portions 323 and 324 that are bent toward.

側板部323には穴323aが形成されている一方、側板部313には穴323aに嵌る板部313aが外側に向けて切り起こされている。側板部324には穴324aが形成されている一方、側板部314には穴324aに嵌る板部314aが外側に向けて切り起こされている。従って、第1カバー部材31と第2カバー部材32とを第1方向Zで重ねると、側板部323、324が各々、側板部313、314に第3方向Yの外側から重なり、板部313aが穴323aに嵌り、板部314aが穴324aに嵌る。この状態で、第1カバー部材31と第2カバー部材32とは接着等の方法で固定され、カバー3が構成される。 A hole 323a is formed in the side plate portion 323, while a plate portion 313a that fits in the hole 323a is cut out in the side plate portion 313 toward the outside. A hole 324a is formed in the side plate portion 324, while a plate portion 314a that fits in the hole 324a is cut out in the side plate portion 314 toward the outside. Therefore, when the first cover member 31 and the second cover member 32 are overlapped in the first direction Z, the side plate portions 323 and 324 overlap the side plate portions 313 and 314 from the outside in the third direction Y, respectively, and the plate portion 313a becomes It fits into the hole 323a, and the plate portion 314a fits into the hole 324a. In this state, the first cover member 31 and the second cover member 32 are fixed by a method such as adhesion to form the cover 3.

側板部311、312には切り欠き311a、312aが形成され、側板部321、322には切り欠き321a、322aが形成されている。従って、第1カバー部材31と第2カバー部材32とが結合された際、側板部311、321との間には開口部が形成され、開口部からは、後述するコイルホルダ4の一部が突出した状態となる。また、第1カバー部材31と第2カバー部材32とが結合された際、側板部312、322との間には開口部が形成され、開口部からは、後述するコイルホルダ4の一部が突出した状態となる。 Notches 311a and 312a are formed in the side plate portions 311 and 312, and notches 321a and 322a are formed in the side plate portions 321 and 322. Therefore, when the first cover member 31 and the second cover member 32 are combined, an opening is formed between the side plate portions 311 and 321 and a part of the coil holder 4 described later is formed from the opening. It will be in a protruding state. Further, when the first cover member 31 and the second cover member 32 are combined, an opening is formed between the side plate portions 312 and 222, and a part of the coil holder 4 described later is formed from the opening. It will be in a protruding state.

図4、および図5に示すように、支持体2において、カバー3の内側には、コイル5を保持した樹脂製のコイルホルダ4が配置されている。コイルホルダ4は、図7に示すように、第1方向Zにおいて、第1永久磁石71と第2永久磁石72との間に配置される。また、コイルホルダ4は、第3方向Yにおいて、第1ヨーク81の一対の連結部812の間に配置される。 As shown in FIGS. 4 and 5, in the support 2, a resin coil holder 4 holding the coil 5 is arranged inside the cover 3. As shown in FIG. 7, the coil holder 4 is arranged between the first permanent magnet 71 and the second permanent magnet 72 in the first direction Z. Further, the coil holder 4 is arranged between the pair of connecting portions 812 of the first yoke 81 in the third direction Y.

図8および図9に示すように、コイル5は、長円状に巻回された環状の平面形状を有する空芯コイルであり、第2方向Xで並列して第3方向Yに延在する2つの長辺部51と、2つの長辺部51の第3方向Yの両端を繋ぐ円弧状の2つの短辺部52とを備えている。このように構成したコイル5に対して、長辺部51には、第1方向Zの一方側Z1で第1永久磁石71が対向し、第1方向Zの他方側Z2で第2永久磁石72が対向している。 As shown in FIGS. 8 and 9, the coil 5 is an air-core coil having an annular planar shape wound in an oval shape, and extends in parallel in the second direction X in the third direction Y. It includes two long side portions 51 and two arc-shaped short side portions 52 connecting both ends of the two long side portions 51 in the third direction Y. With respect to the coil 5 configured in this way, the first permanent magnet 71 faces the long side portion 51 on one side Z1 of the first direction Z, and the second permanent magnet 72 on the other side Z2 of the first direction Z. Are facing each other.

コイルホルダ4は、コイル5が内側に配置される長円状の貫通穴からなるコイル配置穴410が第1方向Zで貫通する長方形の板部41と、板部41の第2方向Xの一方側X1の端部(長辺部)で第1方向Zの両側に突出した第1側板部42と、板部41の第2方向Xの他方側X2の端部(長辺部)で第1方向Zの両側に突出した第2側板部43とを有している。第1側板部42、および第2側板部43は各々、第1カバー部材31の側板部311、312に接着等の方法で固定されている。 The coil holder 4 is one of a rectangular plate portion 41 through which a coil arrangement hole 410 formed of an oval through hole in which the coil 5 is arranged is arranged in the first direction Z in the first direction Z and a second direction X of the plate portion 41. The first side plate portion 42 protruding from both sides of the first direction Z at the end portion (long side portion) of the side X1 and the first end portion (long side portion) of the other side X2 of the plate portion 41 in the second direction X. It has a second side plate portion 43 protruding on both sides in the direction Z. The first side plate portion 42 and the second side plate portion 43 are respectively fixed to the side plate portions 311 and 312 of the first cover member 31 by a method such as adhesion.

本形態において、板部41の4つの角の各々には、第1側板部42および第2側板部43の各々に沿って板部41から第1方向Zの両側に突出した柱状の突出部44が設けられている。 In the present embodiment, each of the four corners of the plate portion 41 has a columnar protrusion 44 protruding from the plate portion 41 on both sides in the first direction Z along each of the first side plate portion 42 and the second side plate portion 43. Is provided.

第1側板部42には、第2方向Xの一方側X1に突出して段部421を構成する突出部420が形成されており、給電基板10は、段部421に当接した状態で第1側板部42に接着等の方法で固定されている。第1側板部42の第1方向Zの他方側Z2の端部には、コイル5から引き出されたコイル線を給電基板10のランド11に向けて通すスリット425が形成されている。なお、突出部420は、側板部311、321の切り欠き311a、321aから第2方向Xの一方側X1に向けて露出した状態となる。従って、給電基板10も、第2方向Xの一方側X1に向けて露出した状態となる。 The first side plate portion 42 is formed with a protruding portion 420 projecting to one side X1 of the second direction X to form a step portion 421, and the power feeding board 10 is in contact with the step portion 421. It is fixed to the side plate portion 42 by a method such as adhesion. A slit 425 is formed at the end of the other side Z2 of the first side plate portion 42 in the first direction Z to pass the coil wire drawn from the coil 5 toward the land 11 of the power feeding board 10. The protruding portion 420 is exposed from the notches 311a and 321a of the side plate portions 311 and 321 toward one side X1 of the second direction X. Therefore, the power feeding board 10 is also exposed toward one side X1 of the second direction X.

図3に示すように、第2側板部43には、第2方向Xの他方側X2に突出した突出部430が第3方向Yにおいて離間する2箇所に形成されており、突出部430は、側板部312、322の切り欠き312a、322aから第2方向Xの他方側X2に向けて露出した状態となる。従って、第1カバー部材31と第2カバー部材32は、コイルホルダ4の突出部420、430を挟んだ状態となって、第1方向Zで位置決めされる。 As shown in FIG. 3, the second side plate portion 43 is formed with protrusions 430 protruding from the other side X2 of the second direction X at two positions separated in the third direction Y, and the protrusions 430 are formed at two positions. It is in a state of being exposed from the notches 312a and 322a of the side plate portions 312 and 322 toward the other side X2 in the second direction X. Therefore, the first cover member 31 and the second cover member 32 are positioned in the first direction Z with the protruding portions 420 and 430 of the coil holder 4 sandwiched therein.

図7および図8に示すように、支持体2は、コイル配置穴410および板部41に第1方向Zの一方側Z1から重なる第1プレート47を有しており、少なくともコイル5の空芯部に充填された接着剤(図示せず)によって、コイル5は、第1プレート47および板部41に固定されている。従って、コイル5は、第1プレート47を介して第1永久磁石71と第1方向Zで対向している。また、第1プレート47は、接着剤によって板部41に固定される。 As shown in FIGS. 7 and 8, the support 2 has a first plate 47 that overlaps the coil arrangement hole 410 and the plate portion 41 from one side Z1 of the first direction Z, and at least the air core of the coil 5 is formed. The coil 5 is fixed to the first plate 47 and the plate portion 41 by an adhesive (not shown) filled in the portion. Therefore, the coil 5 faces the first permanent magnet 71 via the first plate 47 in the first direction Z. Further, the first plate 47 is fixed to the plate portion 41 by an adhesive.

支持体2は、コイル配置穴410および板部41に第1方向Zの他方側Z2から重なる第2プレート48を有しており、少なくともコイル5の空芯部に充填された接着剤によって、コイル5は、第2プレート48に固定されている。従って、コイル5は、第2プレート48を介して第2永久磁石72と第1方向Zで対向している。また、第2プレート48は、接着剤によって板部41に固定されている。 The support 2 has a second plate 48 that overlaps the coil arrangement hole 410 and the plate portion 41 from the other side Z2 in the first direction Z, and the coil is formed by at least the adhesive filled in the air core portion of the coil 5. 5 is fixed to the second plate 48. Therefore, the coil 5 faces the second permanent magnet 72 via the second plate 48 in the first direction Z. Further, the second plate 48 is fixed to the plate portion 41 by an adhesive.

第1プレート47および第2プレート48は、板部41と略同一サイズの略長方形の金属板からなる。本形態において、第1プレート47および第2プレート48は、非磁性のステンレンス板からなる。 The first plate 47 and the second plate 48 are made of a substantially rectangular metal plate having substantially the same size as the plate portion 41. In this embodiment, the first plate 47 and the second plate 48 are made of a non-magnetic stainless steel plate.

第1プレート47は、4つの角部の各々に、第2方向Xの両側から第1方向Zの一方側Z1に斜めに突出した爪状の係合部472を有しており、第1プレート47を板部41に第1方向Zの一方側Z1から重ねた際、係合部472は、突出部44と第1側板部42に弾性をもって当接し、第1プレート47はコイルホルダ4に仮固定される。また、第2プレート48は、4つの角部の各々に、第2方向Xの両側から第1方向Zの一方側Z1に斜めに突出した爪状の係合部472を有しており、第1プレート47を板部41に第1方向Zの一方側Z1から重ねた際、係合部472は、突出部44と第1側板部42に弾性をもって当接し、第2プレート48は、コイルホルダ4に仮固定される。 The first plate 47 has a claw-shaped engaging portion 472 that projects diagonally from both sides of the second direction X to one side Z1 of the first direction Z at each of the four corner portions, and is a first plate. When the 47 is overlapped with the plate portion 41 from one side Z1 of the first direction Z, the engaging portion 472 elastically contacts the protruding portion 44 and the first side plate portion 42, and the first plate 47 temporarily touches the coil holder 4. It is fixed. Further, the second plate 48 has a claw-shaped engaging portion 472 that obliquely protrudes from both sides of the second direction X to one side Z1 of the first direction Z at each of the four corner portions. When 1 plate 47 is superposed on the plate portion 41 from one side Z1 of the first direction Z, the engaging portion 472 elastically contacts the protruding portion 44 and the first side plate portion 42, and the second plate 48 is a coil holder. Temporarily fixed to 4.

第1プレート47は、第3方向Yの両端で第1方向Zの他方側Z2に折れ曲がった屈曲部473と、第2方向Xの両端で第1方向Zの一方側Z1に折れ曲がった屈曲部474とを有している。第2プレート48は、第3方向Yの両端で第1方向Zの一方側Z1に折れ曲がった屈曲部483と、第2方向Xの両端で第1方向Zの他方側Z2に折れ曲がった屈曲部484とを有している。従って、第1プレート47および第2プレート48は、屈曲部473、474、483、484によって折れ曲がりに対する強度が高められている。 The first plate 47 has a bent portion 473 bent to the other side Z2 of the first direction Z at both ends of the third direction Y, and a bent portion 474 bent to one side Z1 of the first direction Z at both ends of the second direction X. And have. The second plate 48 has a bent portion 483 bent to one side Z1 of the first direction Z at both ends of the third direction Y and a bent portion 484 bent to the other side Z2 of the first direction Z at both ends of the second direction X. And have. Therefore, the bending portions 473, 474, 483, and 484 of the first plate 47 and the second plate 48 increase the strength against bending.

このように、本形態のアクチュエータ1は、コイルホルダ4の板部41のコイル配置穴410の内側にコイル5が配置されているとともに、コイル配置穴410および板部41に第1方向Zの一方側Z1から重なるように第1プレート47がコイルホルダ4に固定されている。このため、コイル5の空芯部に接着剤を充填すると、接着剤は、コイル5とコイルホルダ4との間、コイル5と第1プレート47との間、および第1プレート47とコイルホルダ4との間に流れ込む。従って、接着剤を硬化させると、コイル5、第1プレート47、およびコイルホルダ4が接着剤層によって固定される。このため、コイル5の外周面とコイル配置穴410の内周面との隙間に接着剤を流し込む場合と違って、コイルホルダ4のコイル配置穴410に配置したコイル5をコイルホルダ4と適正に接着することができる。また、第1永久磁石71とコイル5との間に第1プレート47が介在する。このため、可動体6が第1方向Zの一方側Z1に移動した場合でも、第1永久磁石71とコイル5とが直接、接触することがないので、コイル5が損傷しにくい。 As described above, in the actuator 1 of the present embodiment, the coil 5 is arranged inside the coil arrangement hole 410 of the plate portion 41 of the coil holder 4, and one of the first directions Z is arranged in the coil arrangement hole 410 and the plate portion 41. The first plate 47 is fixed to the coil holder 4 so as to overlap from the side Z1. Therefore, when the air core portion of the coil 5 is filled with an adhesive, the adhesive is applied between the coil 5 and the coil holder 4, between the coil 5 and the first plate 47, and between the first plate 47 and the coil holder 4. It flows in between. Therefore, when the adhesive is cured, the coil 5, the first plate 47, and the coil holder 4 are fixed by the adhesive layer. Therefore, unlike the case where the adhesive is poured into the gap between the outer peripheral surface of the coil 5 and the inner peripheral surface of the coil arrangement hole 410, the coil 5 arranged in the coil arrangement hole 410 of the coil holder 4 is properly aligned with the coil holder 4. Can be glued. Further, the first plate 47 is interposed between the first permanent magnet 71 and the coil 5. Therefore, even when the movable body 6 moves to one side Z1 of the first direction Z, the first permanent magnet 71 and the coil 5 do not come into direct contact with each other, so that the coil 5 is less likely to be damaged.

また、コイル5の空芯部に接着剤を充填した後、第2プレート48を重ねると、接着剤は、コイル5とコイルホルダ4との間、コイル5と第1プレート47との間、および第1プレート47とコイルホルダ4との間にスムーズに流れ込むとともに、コイル5と第2プレート48との間、および第2プレート48とコイルホルダ4との間に流れ込む。従って、接着剤を硬化させると、コイル5、第1プレート47、第2プレート48、およびコイルホルダ4が接着剤層によって固定される。この状態では、第2永久磁石72とコイル5との間に第2プレート48が介在する。このため、可動体6が第1方向Zの他方側Z2に移動した場合でも、第2永久磁石72とコイル5とが直接、接触することがないので、コイル5が損傷しにくい。 Further, when the second plate 48 is overlapped after filling the air core portion of the coil 5 with an adhesive, the adhesive is applied between the coil 5 and the coil holder 4, between the coil 5 and the first plate 47, and between the coil 5 and the first plate 47. It flows smoothly between the first plate 47 and the coil holder 4, and also flows between the coil 5 and the second plate 48, and between the second plate 48 and the coil holder 4. Therefore, when the adhesive is cured, the coil 5, the first plate 47, the second plate 48, and the coil holder 4 are fixed by the adhesive layer. In this state, the second plate 48 is interposed between the second permanent magnet 72 and the coil 5. Therefore, even when the movable body 6 moves to the other side Z2 in the first direction Z, the second permanent magnet 72 and the coil 5 do not come into direct contact with each other, so that the coil 5 is less likely to be damaged.

また、第1プレート47および第2プレート48は、非磁性材料からなるため、第1永久磁石71からの磁束、および第2永久磁石72の磁束が、第1プレート47および第2プレート48の影響を受けずにコイル5と鎖交することになる。また、第1プレート47および第2プレート48は、金属板からなるため、コイル5で発生した熱を第1プレート47および第2プレート48を介して効率よく逃がすことができる。また、第1プレート47および第2プレート48は、ステンレンス板からなるため、第1プレート47および第2プレート48は、板厚が薄い場合でも、十分な強度を有する。 Further, since the first plate 47 and the second plate 48 are made of a non-magnetic material, the magnetic flux from the first permanent magnet 71 and the magnetic flux of the second permanent magnet 72 are affected by the first plate 47 and the second plate 48. It will be chained with the coil 5 without receiving. Further, since the first plate 47 and the second plate 48 are made of metal plates, the heat generated by the coil 5 can be efficiently dissipated through the first plate 47 and the second plate 48. Further, since the first plate 47 and the second plate 48 are made of stainless steel plates, the first plate 47 and the second plate 48 have sufficient strength even when the plate thickness is thin.

また、第1プレート47および第2プレート48は各々、係合部472、482によってコイルホルダ4に仮固定される。従って、接着剤が硬化するまで、第1プレート47および第2プレート48を治具で支持する必要がない。 Further, the first plate 47 and the second plate 48 are temporarily fixed to the coil holder 4 by the engaging portions 472 and 482, respectively. Therefore, it is not necessary to support the first plate 47 and the second plate 48 with a jig until the adhesive is cured.

(接続部材9の構成)
図4、図5、および図6に示すように、可動体6は、可動体6と支持体2との間において可動体6および支持体2の双方に接続された接続部材9によって支持体2に支持されている。本形態において、接続部材9は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えている。このため、可動体6は、第2方向Xおよび第3方向Yに移動可能に支持体2に支持されている。本形態において、接続部材9は、粘弾性を有する部材からなる。従って、板状バネ等を用いずに、可動体6を第2方向Xに移動可能に支持することができ、可動体6が共振することを抑制することができる。
(Structure of connecting member 9)
As shown in FIGS. 4, 5, and 6, the movable body 6 is supported by a connecting member 9 connected to both the movable body 6 and the support 2 between the movable body 6 and the support 2. Is supported by. In this embodiment, the connecting member 9 has at least one of elasticity and viscoelasticity. Therefore, the movable body 6 is movably supported by the support 2 in the second direction X and the third direction Y. In this embodiment, the connecting member 9 is made of a member having viscoelasticity. Therefore, the movable body 6 can be movably supported in the second direction X without using a plate-shaped spring or the like, and the resonating of the movable body 6 can be suppressed.

本形態において、接続部材9は、第1ヨーク81と第1平板部310とが第1方向Zで対向する部分に配置された第1粘弾性部材91と、第2ヨーク82と第2平板部320とが第1方向Zで対向する部分に配置された第2粘弾性部材92とを含んでいる。本形態において、接続部材9は、第1粘弾性部材91と第2粘弾性部材92とからなる。第1粘弾性部材91、および第2粘弾性部材92は各々、第3方向Yで離間する2箇所に配置され
ている。
In the present embodiment, the connecting member 9 includes a first viscoelastic member 91 in which the first yoke 81 and the first flat plate portion 310 face each other in the first direction Z, and the second yoke 82 and the second flat plate portion. It includes a second viscoelastic member 92 arranged at a portion facing the 320 in the first direction Z. In the present embodiment, the connecting member 9 is composed of a first viscoelastic member 91 and a second viscoelastic member 92. The first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 are respectively arranged at two positions separated in the third direction Y.

本形態において、第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、シリコーンゲル等からなるゲル状部材である。本形態において、第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、針入度が90度から110度のシリコーンゲルからなる。針入度とは、JIS−K−2207やJIS−K−2220で規定されているように、25℃で9.38gの総荷重をかけた1/4コーンの針が5秒間に入り込む深さを1/10mm単位で表わした値であり、この値が小さいほど硬いことを意味する。なお、第1粘弾性部材91と第1ヨーク81との接続、第1粘弾性部材91と第1平板部310との接続、第2粘弾性部材92と第2ヨーク82との接続、第2粘弾性部材92と第2平板部320との接続は、接着剤、粘着剤、あるいはシリコーンゲルの粘着性を利用して行われる。 In this embodiment, the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 are gel-like members made of silicone gel or the like. In the present embodiment, the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 are made of a silicone gel having a needle insertion degree of 90 degrees to 110 degrees. The degree of needle insertion is the depth at which a 1/4 cone needle with a total load of 9.38 g at 25 ° C. enters for 5 seconds, as defined by JIS-K-2207 and JIS-K-2220. Is a value expressed in units of 1/10 mm, and the smaller this value is, the harder it is. The connection between the first viscoelastic member 91 and the first yoke 81, the connection between the first viscoelastic member 91 and the first flat plate portion 310, the connection between the second viscoelastic member 92 and the second yoke 82, and the second The connection between the viscoelastic member 92 and the second flat plate portion 320 is performed by utilizing the adhesiveness of an adhesive, an adhesive, or a silicone gel.

(基本動作)
本形態のアクチュエータ1において、出力すべき情報に対応する駆動信号を外部(上位の機器)から給電基板10を介してコイル5に給電すると、コイル5、第1永久磁石71および第2永久磁石72を備えた磁気駆動回路1aによって、可動体6が第2方向Xに往復移動する。従って、アクチュエータ1を手に持っていた利用者は、アクチュエータ1からの振動によって情報を得ることができる。その際、コイル5に印加される信号波形については、伝達すべき情報によって、周波数を変化させる。また、コイル5に印加される信号波形については極性を反転させるが、その際、駆動信号の極性が負の期間と正の期間とにおいて電圧の変化に対して緩急の差を設ける。その結果、可動体6が第2方向Xの一方側X1に移動する際の加速度と可動体6が第2方向Xの他方側X2に移動する際の加速度との間に差が発生する。従って、利用者に対して、アクチュエータ1は、触覚デバイスとして、第2方向Xの一方側X1あるいは他方側X2に移動するような感覚を感じさせることができる。
(basic action)
In the actuator 1 of this embodiment, when a drive signal corresponding to the information to be output is supplied to the coil 5 from the outside (upper device) via the power supply board 10, the coil 5, the first permanent magnet 71 and the second permanent magnet 72 are supplied. The movable body 6 reciprocates in the second direction X by the magnetic drive circuit 1a provided with the above. Therefore, the user holding the actuator 1 in his / her hand can obtain information by the vibration from the actuator 1. At that time, the frequency of the signal waveform applied to the coil 5 is changed according to the information to be transmitted. Further, the polarity of the signal waveform applied to the coil 5 is inverted, and at that time, a difference in speed is provided with respect to the change in voltage between the period when the polarity of the drive signal is negative and the period when the polarity is positive. As a result, there is a difference between the acceleration when the movable body 6 moves to one side X1 of the second direction X and the acceleration when the movable body 6 moves to the other side X2 of the second direction X. Therefore, the actuator 1 can make the user feel as if moving to one side X1 or the other side X2 of the second direction X as a tactile device.

ここで、第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、支持体2と可動体6との間において第2方向X(振動方向)に対して交差する第1方向Zで対向する位置に設けられている。このため、可動体6が第2方向Xに振動した際、そのせん断方向に変形して共振を防止する。従って、可動体6が第2方向Xに振動しても、第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92の弾性率の変化が小さいので、可動体6の共振を効果的に抑制することができる。 Here, the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 are positioned so as to face each other in the first direction Z intersecting the second direction X (vibration direction) between the support 2 and the movable body 6. It is provided in. Therefore, when the movable body 6 vibrates in the second direction X, it is deformed in the shearing direction to prevent resonance. Therefore, even if the movable body 6 vibrates in the second direction X, the change in the elastic modulus of the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 is small, so that the resonance of the movable body 6 can be effectively suppressed. Can be done.

すなわち、接続部材9(第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92)は、粘弾性部材(板状のゲル状部材)であって、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、その厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分(バネ係数)よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向(軸方向)に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。また、第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい変形特性を持つ。本形態において、可動体6が第2方向Xに振動した際、第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、せん断方向に変形する。従って、第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92では、可動体6が第2方向Xに振動した際、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。 That is, the connecting member 9 (first viscoelastic member 91 and second viscoelastic member 92) is a viscoelastic member (plate-shaped gel-like member) and has linear or non-linear stretching characteristics depending on the stretching direction thereof. .. For example, when the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 are pressed in the thickness direction (axial direction) and compressed and deformed, the expansion and contraction in which the non-linear component is larger than the linear component (spring constant). On the other hand, when it is pulled and stretched in the thickness direction (axial direction), it has a viscoelastic characteristic in which the linear component (spring constant) is larger than the non-linear component (spring constant). Further, when the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 are deformed in a direction (shearing direction) intersecting the thickness direction (axial direction), the direction in which the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 are pulled and stretched regardless of which direction they move. Since it is a deformation of, the linear component (spring coefficient) has a larger deformation characteristic than the non-linear component (spring coefficient). In this embodiment, when the movable body 6 vibrates in the second direction X, the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 are deformed in the shearing direction. Therefore, in the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92, when the movable body 6 vibrates in the second direction X, the spring force in the direction of movement becomes constant. Therefore, by using the spring elements in the shear direction of the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92, the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved, and the vibration is realized with a delicate nuance. can do.

本形態において、第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、第1方向Zの両面
が各々、可動体6および支持体2に接着等の方法で接続されている。従って、第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、可動体6の移動に確実に追従するので、可動体6の共振を効果的に防止することができる。また、第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、支持体2と可動体6との間で第1方向Zに圧縮された状態にある。従って、第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92は、可動体6の移動に確実に追従するので、可動体6の共振を効果的に防止することができる。
In the present embodiment, both sides of the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 in the first direction Z are connected to the movable body 6 and the support 2 by a method such as adhesion. Therefore, since the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 surely follow the movement of the movable body 6, the resonance of the movable body 6 can be effectively prevented. Further, the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 are in a state of being compressed in the first direction Z between the support 2 and the movable body 6. Therefore, since the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92 surely follow the movement of the movable body 6, the resonance of the movable body 6 can be effectively prevented.

また、本形態では、外部からの衝撃によって、可動体6が第2方向Xおよび第3方向Yに移動した際の可動範囲を規定する度当たり部が設けられている。より具体的には、外部からの衝撃によって、可動体6が第2方向Xに移動した際、第1ヨーク81および第2ヨーク82がコイルホルダ4の第1側板部42、またはコイルホルダ4の第2側板部43に当接することにより、可動体6の第2方向Xにおける可動範囲が規定されている。また、外部からの衝撃によって、可動体6が第3方向Yに移動した際、第1ヨーク81の連結部812がコイルホルダ4の板部41に第1プレート47および第2プレート48の屈曲部473、483を介して当接することによって、可動体6の第3方向Yにおける可動範囲が規定されている。 Further, in the present embodiment, a hit portion is provided that defines a movable range when the movable body 6 moves in the second direction X and the third direction Y due to an impact from the outside. More specifically, when the movable body 6 moves in the second direction X due to an external impact, the first yoke 81 and the second yoke 82 are attached to the first side plate portion 42 of the coil holder 4 or the coil holder 4. By abutting on the second side plate portion 43, the movable range of the movable body 6 in the second direction X is defined. Further, when the movable body 6 moves in the third direction Y due to an external impact, the connecting portion 812 of the first yoke 81 is attached to the plate portion 41 of the coil holder 4, and the bent portions of the first plate 47 and the second plate 48. The movable range of the movable body 6 in the third direction Y is defined by abutting through 473 and 483.

(第1カバー部材31および第2カバー部材32の詳細構成)
図6に示すように、本形態のアクチュエータ1において、第1カバー部材31の第1平板部310には、第1平板部310を複数の領域に区画するように延在するリブ状の第1突条部316が設けられている。本形態において、第1突条部316は、第1平板部310の端部まで到達している。
(Detailed configuration of the first cover member 31 and the second cover member 32)
As shown in FIG. 6, in the actuator 1 of the present embodiment, the first flat plate portion 310 of the first cover member 31 has a rib-shaped first plate portion 310 extending so as to partition the first flat plate portion 310 into a plurality of regions. A ridge portion 316 is provided. In this embodiment, the first ridge portion 316 reaches the end portion of the first flat plate portion 310.

本形態において、第1平板部310は、相対向する一対の長辺部、および一対の長辺部の間で相対向する一対の短辺部を備えた長方形であり、第1突条部316は、一対の長辺部が延在する方向の中央部分で一対の短辺部に沿う方向に延在している。このため、第1突条部316は、第1平板部310を長辺部が延在する方向で2等分割しており、2つの第1粘弾性部材91は各々、第1平板部310のうち、第1突条部316によって区画された2つの領域と可動体6との間に配置されている。 In the present embodiment, the first flat plate portion 310 is a rectangle having a pair of long side portions facing each other and a pair of short side portions facing each other between the pair of long side portions, and the first ridge portion 316. Is a central portion in the direction in which the pair of long side portions extends, and extends in the direction along the pair of short side portions. Therefore, the first ridge portion 316 divides the first flat plate portion 310 into two equal parts in the direction in which the long side portion extends, and the two first viscoelastic members 91 are each of the first flat plate portion 310. Of these, it is arranged between the two areas partitioned by the first ridge portion 316 and the movable body 6.

かかる構成によれば、第1カバー部材31の第1平板部310の薄板化を図った場合でも、第1平板部310は、第1突条部316によって複数の領域に分割されているため、第1平板部310の剛性を高めることができ、振動しにくい。従って、第1カバー部材31の第1平板部310を薄板化してアクチュエータ1の薄型化等を図った場合において、コイル5に供給される駆動信号が、電圧変化が急峻なパルス信号等であっても、第1平板部310の振動が原因で駆動音が発生するという事態が発生しにくい。特に本形態では、第1突条部316は、長方形の第1平板部310を長辺方向で2等分割しているため、第1平板部310が振動しにくい。また、第1カバー部材31は、第1平板部310を含む全体が鉄系金属からなるため、第1平板部310の振動を抑制しやすい。それ故、第1平板部310の振動が原因で駆動音が発生するという事態が発生しにくい。 According to this configuration, even when the first flat plate portion 310 of the first cover member 31 is thinned, the first flat plate portion 310 is divided into a plurality of regions by the first ridge portion 316. The rigidity of the first flat plate portion 310 can be increased, and vibration is less likely to occur. Therefore, when the first flat plate portion 310 of the first cover member 31 is thinned to reduce the thickness of the actuator 1, the drive signal supplied to the coil 5 is a pulse signal or the like whose voltage change is steep. However, it is unlikely that a driving sound is generated due to the vibration of the first flat plate portion 310. In particular, in the present embodiment, the first ridge portion 316 divides the rectangular first flat plate portion 310 into two equal parts in the long side direction, so that the first flat plate portion 310 is less likely to vibrate. Further, since the first cover member 31 is entirely made of iron-based metal including the first flat plate portion 310, it is easy to suppress the vibration of the first flat plate portion 310. Therefore, it is unlikely that a driving sound is generated due to the vibration of the first flat plate portion 310.

本形態において、第1平板部310は、第1突条部316の反対側が溝317になっている。より具体的には、第1カバー部材31の製作するにあたっては、金属板に対する絞り加工等のプレス加工を行うが、本形態では、第1カバー部材31を製作するためのプレス加工の際、第1突条部316を同時に形成する。従って、第1平板部310には、第1突条部316の反対側に溝317が形成される。 In the present embodiment, the first flat plate portion 310 has a groove 317 on the opposite side of the first ridge portion 316. More specifically, in the production of the first cover member 31, press processing such as drawing processing is performed on the metal plate, but in this embodiment, in the press processing for producing the first cover member 31, the first cover member 31 is produced. 1 The ridge portion 316 is formed at the same time. Therefore, the first flat plate portion 310 is formed with a groove 317 on the opposite side of the first ridge portion 316.

本形態において、第1突条部316は、第2平板部320が位置する側(内側)に向けて突出している。このため、第1平板部310の第2平板部320が位置する側と反対側の面(外面)には、第1突条部316と重なるように延在する溝317が形成されている
。従って、第1突条部316が外側に向けて突出している場合よりアクチュエータ1の第1方向Zにおける寸法を短くすることができる。
In the present embodiment, the first ridge portion 316 projects toward the side (inside) where the second flat plate portion 320 is located. Therefore, a groove 317 extending so as to overlap the first ridge portion 316 is formed on the surface (outer surface) of the first flat plate portion 310 on the side opposite to the side on which the second flat plate portion 320 is located. Therefore, the dimension of the actuator 1 in the first direction Z can be shortened as compared with the case where the first ridge portion 316 protrudes outward.

また、2つの第1粘弾性部材91は各々、第1平板部310のうち、第1突条部316を避けた平板部分に接続されているため、第1突条部316に起因する変形が発生していない。それ故、第1粘弾性部材91の粘弾性特性が変動しにくい。 Further, since each of the two first viscoelastic members 91 is connected to the flat plate portion of the first flat plate portion 310 avoiding the first ridge portion 316, the deformation caused by the first ridge portion 316 is caused. It has not occurred. Therefore, the viscoelastic property of the first viscoelastic member 91 is unlikely to fluctuate.

さらに、本形態では、図1および図2に示すように、溝317の内部には充填部材16が設けられており、充填部材16は、溝317の全域において溝317の内面に接している。このため、充填部材16を利用して、第1平板部310の振動特性を適正化することができる。それ故、第1平板部310の振動が原因で駆動音が発生するという事態が発生しにくい。 Further, in the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, a filling member 16 is provided inside the groove 317, and the filling member 16 is in contact with the inner surface of the groove 317 over the entire area of the groove 317. Therefore, the filling member 16 can be used to optimize the vibration characteristics of the first flat plate portion 310. Therefore, it is unlikely that a driving sound is generated due to the vibration of the first flat plate portion 310.

例えば、充填部材16として、鉄や銅等の金属からなる剛性部材や、金属が分散された剛性の樹脂部材からなる剛性部材を溝317に配置した場合、第1平板部310の剛性を高めることができるとともに、第1平板部310の質量を増大させた場合と同様な効果を得ることができ、第1平板部310の振動を効果的に抑制することができる。それ故、第1平板部310の振動が原因で駆動音が発生するという事態が発生しにくい。 For example, when a rigid member made of a metal such as iron or copper or a rigid member made of a rigid resin member in which the metal is dispersed is arranged in the groove 317 as the filling member 16, the rigidity of the first flat plate portion 310 is increased. At the same time, the same effect as when the mass of the first flat plate portion 310 is increased can be obtained, and the vibration of the first flat plate portion 310 can be effectively suppressed. Therefore, it is unlikely that a driving sound is generated due to the vibration of the first flat plate portion 310.

また、充填部材16として弾性樹脂やゲル状部材等の弾性部材を溝317に配置した場合、溝に配置した弾性部材によって、第1平板部310の振動を吸収することにより、第1平板部310の振動を効果的に抑制することができる。それ故、第1平板部310の振動が原因で駆動音が発生するという事態が発生しにくい。 Further, when an elastic member such as an elastic resin or a gel-like member is arranged in the groove 317 as the filling member 16, the elastic member arranged in the groove absorbs the vibration of the first flat plate portion 310, whereby the first flat plate portion 310 Vibration can be effectively suppressed. Therefore, it is unlikely that a driving sound is generated due to the vibration of the first flat plate portion 310.

本形態のアクチュエータ1において、第2カバー部材32の第2平板部320は、第1平板部310と同様な構成になっている。より具体的には、第2平板部320には、第2平板部320を複数の領域に区画するように延在するリブ状の第2突条部326が設けられており、第2突条部326は、第2平板部320の端部まで到達している。また、第2突条部326は、第2平板部320を長辺部が延在する方向で2等分割しており、2つの第2粘弾性部材92は各々、第2平板部320のうち、第2突条部326によって区画された2つの領域と可動体6との間に配置されている。 In the actuator 1 of the present embodiment, the second flat plate portion 320 of the second cover member 32 has the same configuration as the first flat plate portion 310. More specifically, the second flat plate portion 320 is provided with a rib-shaped second ridge portion 326 extending so as to partition the second flat plate portion 320 into a plurality of regions, and the second ridge portion 326 is provided. The portion 326 reaches the end of the second flat plate portion 320. Further, the second ridge portion 326 divides the second flat plate portion 320 into two equal parts in the direction in which the long side portion extends, and the two second viscoelastic members 92 are each of the second flat plate portion 320. , It is arranged between the two regions partitioned by the second ridge 326 and the movable body 6.

本形態において、第2カバー部材32を製作するためのプレス加工の際、第2突条部326を同時に形成する。従って、第2平板部320には、第2突条部326の反対側に溝327が形成される。本形態において、第2突条部326は、第1平板部310が位置する側(内側)に向けて突出している。このため、第2平板部320の第1平板部310が位置する側と反対側の面(外面)には、第2突条部326と重なるように延在する溝327が形成されている。 In the present embodiment, the second ridge portion 326 is formed at the same time during the press working to manufacture the second cover member 32. Therefore, the second flat plate portion 320 is formed with a groove 327 on the opposite side of the second ridge portion 326. In the present embodiment, the second ridge portion 326 protrudes toward the side (inside) where the first flat plate portion 310 is located. Therefore, a groove 327 extending so as to overlap the second ridge portion 326 is formed on the surface (outer surface) of the second flat plate portion 320 on the side opposite to the side where the first flat plate portion 310 is located.

従って、第2平板部320においても、第1平板部310と同様、コイル5に供給される駆動信号が、電圧変化が急峻なパルス信号等であっても、第2平板部320の振動が原因で駆動音が発生するという事態が発生しにくい等の効果を奏する。 Therefore, also in the second flat plate portion 320, as in the case of the first flat plate portion 310, even if the drive signal supplied to the coil 5 is a pulse signal having a steep voltage change, the vibration of the second flat plate portion 320 is the cause. It has the effect of making it difficult for the driving sound to be generated.

さらに、本形態では、図1および図2に示すように、溝327の内部には充填部材17が設けられており、充填部材17は、溝327の全域において溝327の内面に接している。このため、充填部材17を利用して、第2平板部320の振動特性を適正化することができる。例えば、充填部材17として、金属や、金属が分散された剛性の樹脂部材を溝327に配置した場合、第2平板部320の剛性を高めることができる等の利点がある。これに対して、充填部材17として弾性部材を溝327に配置した場合、溝に配置した弾性部材によって、第2平板部320の振動を吸収することにより、第2平板部320の振
動を効果的に抑制することができる。
Further, in the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, a filling member 17 is provided inside the groove 327, and the filling member 17 is in contact with the inner surface of the groove 327 in the entire area of the groove 327. Therefore, the filling member 17 can be used to optimize the vibration characteristics of the second flat plate portion 320. For example, when a metal or a rigid resin member in which the metal is dispersed is arranged in the groove 327 as the filling member 17, there is an advantage that the rigidity of the second flat plate portion 320 can be increased. On the other hand, when the elastic member is arranged in the groove 327 as the filling member 17, the vibration of the second flat plate portion 320 is effectively absorbed by the elastic member arranged in the groove. Can be suppressed.

(変形例)
図10は、本発明の実施形態の変形例に係るアクチュエータの説明図であり、第1平板部310の構成を模式的に示してある。上記実施形態では、第1突条部316が、第1平板部310を長辺部が延在する方向で2等分割していたが、図10に示すように、第1突条部316を第2方向Xおよび第3方向Yに延在させて、第1突条部316が、第1平板部310を4分割している態様であってもよい。この場合も、第1粘弾性部材91を第1突条部316によって分割された4つの領域の各々に配置すれば、第1突条部316と重ならない領域に第1粘弾性部材91を配置することができる。
(Modification example)
FIG. 10 is an explanatory view of an actuator according to a modified example of the embodiment of the present invention, and schematically shows the configuration of the first flat plate portion 310. In the above embodiment, the first ridge portion 316 divides the first flat plate portion 310 into two equal parts in the direction in which the long side portion extends, but as shown in FIG. 10, the first ridge portion 316 is divided into two equal parts. A mode in which the first ridge portion 316 divides the first flat plate portion 310 into four may be extended so as to extend in the second direction X and the third direction Y. In this case as well, if the first viscoelastic member 91 is arranged in each of the four regions divided by the first ridge portion 316, the first viscoelastic member 91 is arranged in a region that does not overlap with the first ridge portion 316. can do.

なお、図10に符号をかっこ内に示すように、第2突条部326を第2方向Xおよび第3方向Yに延在させて、第2突条部326が、第2平板部320を4分割している態様としてもよく、この場合も、第2粘弾性部材92を第2突条部326によって分割された4つの領域の各々に配置すれば、第2突条部326と重ならない領域に第2粘弾性部材92を配置することができる。 In addition, as shown in parentheses in FIG. 10, the second ridge portion 326 extends in the second direction X and the third direction Y, and the second ridge portion 326 extends the second flat plate portion 320. It may be divided into four, and in this case as well, if the second viscoelastic member 92 is arranged in each of the four regions divided by the second ridge portion 326, it does not overlap with the second ridge portion 326. The second viscoelastic member 92 can be arranged in the region.

(他の実施の形態)
上記実施の形態では、溝317、327の双方に充填部材16、17を設けたが、溝317、327の一方のみに充填部材を設けた態様や、溝317、327のいずれにも充填部材を設けない態様であってもよい。上記実施の形態では、第1突条部316、および第2突条部326が各々、内側に向けて突出していたが、第1突条部316、および第2突条部326の一方あるいは双方が外側に向けて突出している態様であってもよい。上記実施の形態では、第1突条部316、および第2突条部326の双方において、反対側が溝317、327になっていたが、第1突条部316、および第2突条部326の一方あるいは双方に対して反対側が溝になっていない態様であってもよい。上記実施の形態では、第1突条部316、および第2突条部326の双方が設けられていたが、第1平板部310のみに第1突条部316が設けられ、第2平板部320に第2突条部326が設けられていない態様であってもよい。
(Other embodiments)
In the above embodiment, the filling members 16 and 17 are provided in both of the grooves 317 and 327, but the filling member is provided in only one of the grooves 317 and 327, and the filling member is provided in any of the grooves 317 and 327. It may not be provided. In the above embodiment, the first ridge 316 and the second ridge 326 project inward, respectively, but one or both of the first ridge 316 and the second ridge 326. May be in a mode in which is protruding outward. In the above embodiment, in both the first ridge portion 316 and the second ridge portion 326, the opposite side is the groove 317 and 327, but the first ridge portion 316 and the second ridge portion 326 are formed. It may be a mode in which the opposite side to one or both is not a groove. In the above embodiment, both the first ridge portion 316 and the second ridge portion 326 are provided, but only the first flat plate portion 310 is provided with the first ridge portion 316 and the second flat plate portion. The 320 may not be provided with the second ridge portion 326.

上記実施の形態では、コイル5に対する第1方向Zの両側に永久磁石(第1永久磁石71および第2永久磁石72)を設けたが、コイル5に対する第1方向Zの一方のみに永久磁石を設けたアクチュエータに本発明を適用してもよい。上記実施の形態では、コイル5を支持体2に設け、永久磁石(第1永久磁石71および第2永久磁石72)およびヨーク(第1ヨーク81および第2ヨーク82)を可動体6に設けた。但し、コイル5を可動体6に設け、永久磁石(第1永久磁石71および第2永久磁石72)およびヨーク(第1ヨーク81および第2ヨーク82)を支持体2に設けたアクチュエータに本発明を適用してもよい。 In the above embodiment, permanent magnets (first permanent magnet 71 and second permanent magnet 72) are provided on both sides of the first direction Z with respect to the coil 5, but permanent magnets are provided only on one of the first directions Z with respect to the coil 5. The present invention may be applied to the provided actuator. In the above embodiment, the coil 5 is provided on the support 2, and the permanent magnets (first permanent magnet 71 and second permanent magnet 72) and yokes (first yoke 81 and second yoke 82) are provided on the movable body 6. .. However, the present invention is applied to an actuator in which the coil 5 is provided on the movable body 6 and the permanent magnets (first permanent magnet 71 and second permanent magnet 72) and yokes (first yoke 81 and second yoke 82) are provided on the support 2. May be applied.

上記実施の形態では、接続部材9としてゲル状部材(粘弾性部材)を用いたが、ゴムやバネ等を用いてもよい。ここで、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性を備えた接続部材9として、天然ゴム、ジエン系ゴム(例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム)、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等)、非ジエン系ゴム(例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等)、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。 In the above embodiment, a gel-like member (viscoelastic member) is used as the connecting member 9, but rubber, a spring, or the like may be used. Here, viscoelasticity is a property that combines both viscosity and elasticity, and is a property that is prominently found in polymer substances such as gel-like members, plastics, and rubber. Therefore, as the connecting member 9 having viscoelasticity, natural rubber, diene rubber (for example, styrene / butadiene rubber, isoprene rubber, butadiene rubber), chloroprene rubber, acrylonitrile / butadiene rubber, etc.), non-diene rubber (for example, Various rubber materials such as butyl rubber, ethylene / propylene rubber, ethylene / propylene / diene rubber, urethane rubber, silicone rubber, fluororubber, etc.), thermoplastic elastomers, and modified materials thereof may be used.

1…アクチュエータ、1a…磁気駆動回路、2…支持体、3…カバー、4…コイルホルダ
、5…コイル、6…可動体、9…接続部材、16、17…充填部材、31…第1カバー部材、32…第2カバー部材、47…第1プレート、48…第2プレート、71…第1永久磁石、72…第2永久磁石、81…第1ヨーク、82…第2ヨーク、91…第1粘弾性部材、92…第2粘弾性部材、310…第1平板部、316…第1突条部、317、327…溝、320…第2平板部、326…第2突条部、X…第2方向、Y…第3方向、Z…第1方向
1 ... Actuator, 1a ... Magnetic drive circuit, 2 ... Support, 3 ... Cover, 4 ... Coil holder, 5 ... Coil, 6 ... Movable body, 9 ... Connecting member, 16, 17 ... Filling member, 31 ... First cover Member, 32 ... 2nd cover member, 47 ... 1st plate, 48 ... 2nd plate, 71 ... 1st permanent magnet, 72 ... 2nd permanent magnet, 81 ... 1st yoke, 82 ... 2nd yoke, 91 ... 1st 1 viscoelastic member, 92 ... second viscoelastic member, 310 ... first flat plate portion, 316 ... first ridge portion, 317, 327 ... groove, 320 ... second flat plate portion, 326 ... second ridge portion, X ... 2nd direction, Y ... 3rd direction, Z ... 1st direction

Claims (14)

第1平板部を備えた第1カバー部材、および前記第1平板部と第1方向で対向する第2平板部を備えた第2カバー部材を備えた支持体と、
前記第1平板部と前記第2平板部との間に配置された可動体と、
弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体および前記支持体の双方に接続された接続部材と、
前記可動体を前記支持体に対して前記第1方向と交差する第2方向に振動させる磁気駆動回路と、
を有し、
前記第1平板部には、前記第1平板部を複数の領域に区画するように延在する第1突条部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
A first cover member having a first flat plate portion, and a support having a second cover member having a second flat plate portion facing the first flat plate portion in the first direction.
A movable body arranged between the first flat plate portion and the second flat plate portion,
A connecting member having at least one of elasticity and viscoelasticity and connected to both the movable body and the support.
A magnetic drive circuit that vibrates the movable body in a second direction intersecting the first direction with respect to the support.
Have,
An actuator characterized in that the first flat plate portion is provided with a first ridge portion extending so as to partition the first flat plate portion into a plurality of regions.
請求項1に記載のアクチュエータにおいて、
前記第1突条部は、前記第2平板部が位置する側に向けて突出していることを特徴とするアクチュエータ。
In the actuator according to claim 1,
The actuator characterized in that the first ridge portion protrudes toward the side where the second flat plate portion is located.
請求項2に記載のアクチュエータにおいて、
前記接続部材は、前記第1平板部のうち、前記第1突条部によって区画された領域と前記可動体との間に配置された第1粘弾性部材を含むことを特徴とするアクチュエータ。
In the actuator according to claim 2,
The actuator is characterized in that the connecting member includes a first viscoelastic member arranged between a region partitioned by the first ridge portion and the movable body in the first flat plate portion.
請求項1から3までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記第1突条部は、前記第1平板部の端部まで到達していることを特徴とするアクチュエータ。
In the actuator according to any one of claims 1 to 3,
The actuator characterized in that the first ridge portion reaches the end portion of the first flat plate portion.
請求項1から4までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記第1平板部は、相対向する一対の長辺部、および前記一対の長辺部の間で相対向する一対の短辺部を備えた長方形であり、
前記第1突条部は、少なくも、前記一対の長辺部が延在する方向の中央部分で前記一対の短辺部に沿う方向に延在していることを特徴とするアクチュエータ。
In the actuator according to any one of claims 1 to 4.
The first flat plate portion is a rectangle having a pair of long side portions facing each other and a pair of short side portions facing each other between the pair of long side portions.
The actuator is characterized in that the first ridge portion extends in a direction along the pair of short side portions at least at a central portion in a direction in which the pair of long side portions extends.
請求項1から5までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記第1平板部は、前記第1突条部の反対側が溝になっていることを特徴とするアクチュエータ。
In the actuator according to any one of claims 1 to 5.
The first flat plate portion is an actuator characterized in that the opposite side of the first ridge portion is a groove.
請求項6に記載のアクチュエータにおいて、
前記溝の内部には、充填部材が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
In the actuator according to claim 6,
An actuator characterized in that a filling member is provided inside the groove.
請求項7に記載のアクチュエータにおいて、
前記充填部材は、剛性部材であることを特徴とするアクチュエータ。
In the actuator according to claim 7.
The filling member is an actuator characterized by being a rigid member.
請求項7に記載のアクチュエータにおいて、
前記充填部材は、弾性部材であることを特徴とするアクチュエータ。
In the actuator according to claim 7.
The filling member is an actuator characterized by being an elastic member.
請求項1から9までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記第1平板部は、鉄系金属からなることを特徴とするアクチュエータ。
In the actuator according to any one of claims 1 to 9.
The first flat plate portion is an actuator made of an iron-based metal.
請求項1から10までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記第2平板部には、前記第2平板部を複数の領域に区画するように延在する第2突条部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
In the actuator according to any one of claims 1 to 10.
An actuator characterized in that the second flat plate portion is provided with a second ridge portion extending so as to partition the second flat plate portion into a plurality of regions.
請求項11に記載のアクチュエータにおいて、
前記第2突条部は、前記第1平板部が位置する側に向けて突出していることを特徴とするアクチュエータ。
In the actuator according to claim 11,
The actuator characterized in that the second ridge portion protrudes toward the side where the first flat plate portion is located.
請求項11または12に記載のアクチュエータにおいて、
前記接続部材は、前記第2平板部のうち、前記第2突条部によって区画された領域と前記可動体との間に配置された第2粘弾性部材を含むことを特徴とするアクチュエータ。
In the actuator according to claim 11 or 12.
The actuator is characterized in that the connecting member includes a second viscoelastic member of the second flat plate portion arranged between a region partitioned by the second ridge portion and the movable body.
第1平板部を備えた第1カバー部材、および前記第1平板部と第1方向で対向する第2平板部を備えた第2カバー部材を備えた支持体と、
前記第1平板部と前記第2平板部との間に配置された可動体と、
弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体および前記支持体の双方に接続された接続部材と、
出力すべき情報に応じて、前記可動体を前記支持体に対して前記第1方向と交差する第2方向に振動させる磁気駆動回路と、
を有し、
前記第1平板部には、前記第1平板部を複数の領域に区画するように延在する第1突条部が設けられていることを特徴とする触覚デバイス。
A first cover member having a first flat plate portion, and a support having a second cover member having a second flat plate portion facing the first flat plate portion in the first direction.
A movable body arranged between the first flat plate portion and the second flat plate portion,
A connecting member having at least one of elasticity and viscoelasticity and connected to both the movable body and the support.
A magnetic drive circuit that vibrates the movable body with respect to the support in a second direction intersecting the first direction according to information to be output.
Have,
A tactile device characterized in that the first flat plate portion is provided with a first ridge portion extending so as to partition the first flat plate portion into a plurality of regions.
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