JP2020198030A - Image inspection system, parameter adjustment method of image inspection system, set value adjustment system for specific algorithm, and parameter adjustment method for specific algorithm - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、検査対象となる物品を撮像した画像を用いて物品の検査を行う画像検査システム、及び画像検査システムのパラメータ調整方法、特定アルゴリズム用の設定値調整システム、特定アルゴリズム用のパラメータ調整方法に関する。 The present invention is an image inspection system that inspects an article using an image of an article to be inspected, a parameter adjustment method for the image inspection system, a set value adjustment system for a specific algorithm, and a parameter adjustment method for a specific algorithm. Regarding.
従来、かかる画像検査システムとして、例えば、特許文献１に開示されているような、検査対象画像の中から特異部（欠陥部分）の候補となる候補領域を特定する手段（特定手段と称する）と、候補として特定した候補領域が特異部に該当するか否かを判定する手段（判定手段と称する）とを備える画像処理装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。 Conventionally, as such an image inspection system, for example, as disclosed in Patent Document 1, a means (referred to as a specific means) for identifying a candidate region as a candidate for a singular portion (defect portion) from an image to be inspected. , An image processing apparatus including a means (referred to as a determination means) for determining whether or not a candidate region specified as a candidate corresponds to a singular portion is known (see, for example, Patent Document 1).
ところで、上記従来の画像処理装置では、物品の検査を行う前に、特定手段により検査対象画像内の特異部の候補を特定するためのパラメータを調整する作業が必要となる。かかる作業では、画像処理装置の使用者が、検査対象画像の中から特定したい特異部が写っている画像を特定手段に入力する作業、特定手段が特定した候補領域を確認する作業、候補領域の確認結果に基づいてパラメータを調整する作業、を繰り返し行う必要があるため、画像処理装置の使用準備に手間がかかることが問題となっている。 By the way, in the conventional image processing apparatus, it is necessary to adjust a parameter for identifying a candidate for a singular portion in an image to be inspected by a specific means before inspecting an article. In such work, the user of the image processing device inputs an image showing a singular part to be specified from the inspection target image into the specific means, confirms the candidate area specified by the specific means, and the candidate area. Since it is necessary to repeatedly adjust the parameters based on the confirmation result, there is a problem that it takes time and effort to prepare for using the image processing device.
そこで、本発明は、かかる実情に鑑み、検査用の画像から特定対象を特定する処理の調整作業を簡略化できる画像検査システム、及び画像検査システムのパラメータ調整方法、特定アルゴリズム用の設定値調整システム、特定アルゴリズム用のパラメータ調整方法を提供することを課題とする。 Therefore, in view of such circumstances, the present invention provides an image inspection system that can simplify the adjustment work of the process of identifying a specific target from an image for inspection, a parameter adjustment method of the image inspection system, and a set value adjustment system for a specific algorithm. , It is an object of the present invention to provide a parameter adjustment method for a specific algorithm.
本発明の画像検査システムは、
検査用の画像から特定対象が写る領域を特定するように構成された画像検査システムにおいて、
前記検査用の画像に基づいて、前記特定対象の候補そのものが写る領域である基準領域と、前記候補そのものが写る領域が膨張して前記基準領域の周囲に広がった膨張領域とを含む候補領域を特定した候補特定画像を作成する特定処理を実行するように構成され、且つ該特定処理における前記候補領域の特定時に使用するパラメータを設定可能な特定手段と、
前記パラメータの調整に関する調整処理を実行する調整手段であって、前記特定対象が写る特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域である判定エリアを導出する調整手段と、
前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を示す適合情報を導出する適合度導出手段と、を備え、
前記適合度導出手段は、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて、前記適合情報を導出するように構成され、
前記調整手段は、前記適合情報に基づいて前記調整処理を実行するように構成される。
The image inspection system of the present invention
In an image inspection system configured to identify an area in which a specific object appears from an inspection image,
Based on the image for inspection, a candidate region including a reference region in which the candidate of the specific target itself is captured and an expansion region in which the region in which the candidate itself is captured expands and spreads around the reference region is provided. A specific means that is configured to execute a specific process for creating a specified candidate specific image and can set parameters to be used when specifying the candidate area in the specific process.
An adjustment means for executing an adjustment process related to the adjustment of the parameters, and an adjustment means for deriving a determination area which is larger than the specific target and is a region surrounding the specific target based on a specific source image in which the specific target is captured. When,
A goodness-of-fit derivation means for deriving goodness-of-fit information indicating the goodness of fit between the candidate area and the determination area is provided.
The goodness-of-fit derivation means determines that the area included in the determination area among the candidate areas is an area appropriately specified as the area corresponding to the specific target, and is among the candidate areas. The area outside the determination area is determined to be the area erroneously specified as the specific target, and the area determined to be properly specified and the area determined to be erroneously specified. It is configured to derive the goodness-of-fit information based on
The adjusting means is configured to execute the adjusting process based on the conformity information.
上記構成の画像検査システムによれば、調整手段による前記パラメータの調整処理を行う際、特定元画像を検査用の画像として特定手段の特定処理にかけると、特定手段で特定した候補領域には、特定対象の候補そのものが写る基準領域に加えて、該候補そのものが写る領域が膨張して基準領域の周囲に広がった膨張領域が含まれるため、候補領域は、特定対象を基準にすると膨張領域の分だけ誤って（過剰に）特定されたことになる。 According to the image inspection system having the above configuration, when the parameter adjustment process is performed by the adjusting means, when the specific source image is subjected to the specific processing of the specific means as an image for inspection, the candidate area specified by the specific means is displayed. In addition to the reference region in which the candidate of the specific target is captured, the region in which the candidate itself is captured expands and includes an expansion region that extends around the reference region. Therefore, the candidate region is an expansion region based on the specific target. It means that it was identified incorrectly (excessively) by the amount.
このように、候補領域が特定対象そのものに対応する領域（すなわち、基準領域）の外側にまで広がっていると、適合度導出手段が導出した適合情報が示す適合度が低迷し、調整処理が実行されても特定処理の実行結果が適正でないとされる場合があるが、上記構成の画像検査システムでは、特定対象よりも大きく且つ特定対象を取り囲む領域である判定エリアを導出したうえで、候補領域のうちの判定エリア内に含まれる領域を特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域、候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って特定対象として特定された領域と判断するため、基準領域の外側に広がる膨張領域の少なくとも一部も特定対象に該当する領域として適正に特定されたものであると判定される。 In this way, if the candidate area extends to the outside of the area corresponding to the specific object itself (that is, the reference area), the goodness of fit indicated by the goodness-of-fit information derived by the goodness-of-fit derivation means is sluggish, and the adjustment process is executed. Even if this is done, the execution result of the specific process may not be appropriate. However, in the image inspection system having the above configuration, the candidate area is derived after deriving a determination area that is larger than the specific target and surrounds the specific target. The area included in the judgment area of the above is properly specified as the area corresponding to the specific target, and the area outside the judgment area of the candidate areas is erroneously determined as the area specified as the specific target. Therefore, it is determined that at least a part of the expansion region extending outside the reference region is properly specified as a region corresponding to the specific target.
従って、特定処理に伴って検査用の画像としての特定元画像における特定対象の候補そのものが写る領域が膨張する場合であっても、調整手段を実行することによりパラメータを調整（改善）することができる。 Therefore, even if the area in which the candidate for the specific target itself appears in the specific original image as the image for inspection expands due to the specific processing, the parameters can be adjusted (improved) by executing the adjustment means. it can.
本発明の画像検査システムのパラメータ調整方法は、
検査用の画像から特定対象が写る領域を特定する画像検査システムのパラメータ調整方法において、
前記検査用の画像に基づいて、前記特定対象の候補そのものが写る領域である基準領域と、前記候補そのものが写る領域が膨張して前記基準領域の周囲に広がった膨張領域とを含む候補領域を特定した候補特定画像を作成する特定処理を実行する前に、該特定処理における前記候補領域の特定時に使用するパラメータを設定し、
前記特定処理を実行した後に、前記特定対象が写る特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域である判定エリアが導出されている状態で、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を示す適合情報を導出し、
該適合情報に基づいて前記パラメータの調整に関する調整処理を実行する。
The parameter adjustment method of the image inspection system of the present invention is
In the parameter adjustment method of the image inspection system that identifies the area where the specific target appears from the inspection image,
Based on the image for inspection, a candidate region including a reference region in which the candidate of the specific target itself is captured and an expansion region in which the region in which the candidate itself is captured expands and spreads around the reference region is provided. Before executing the specific process for creating the specified candidate specific image, the parameters used when specifying the candidate area in the specific process are set.
Of the candidate regions, after the specific processing is executed, a determination area that is larger than the specific target and is a region surrounding the specific target is derived based on the specific source image in which the specific target is captured. The area included in the determination area is determined to be an area appropriately specified as the area corresponding to the specific target, and the area outside the determination area among the candidate areas is erroneously specified. The candidate area and the determination area are based on the size of the area determined to be the target area and the area determined to be properly specified, and the area determined to be erroneously specified. Derivation of conformity information indicating the degree of conformity of
The adjustment process related to the adjustment of the parameter is executed based on the conformity information.
本発明の特定アルゴリズム用のパラメータ調整システムは、
検査用の画像から特定対象が写る領域を特定するように構成され、前記検査用の画像に基づいて、前記特定対象の候補そのものが写る領域である基準領域と、前記候補そのものが写る領域が膨張して前記基準領域の周囲に広がった膨張領域とを含む候補領域を特定した候補特定画像を作成する特定処理を実行するように構成され、且つ該特定処理における前記候補領域の特定時に使用するパラメータを設定可能な特定手段を備える特定アルゴリズム用のパラメータ調整システムであって、
前記パラメータの調整に関する調整処理を実行する調整手段であって、前記特定対象が写る特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域を判定エリアとして導出する調整手段と、
前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を示す適合情報を導出する適合度導出手段と、を備え、
前記適合度導出手段は、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて、前記適合情報を導出するように構成され、
前記調整手段は、前記適合情報に基づいて前記調整処理を実行するように構成される。
The parameter adjustment system for the specific algorithm of the present invention is
The area in which the specific target is captured is specified from the inspection image, and the reference region in which the candidate for the specific target is captured and the region in which the candidate itself is captured expands based on the inspection image. A parameter used when specifying the candidate area in the specific process, which is configured to execute a specific process for creating a candidate specific image that specifies a candidate area including an expansion area spread around the reference area. A parameter adjustment system for a specific algorithm with specific means that can be set.
An adjustment means that executes an adjustment process related to the adjustment of the parameters, and is an adjustment means that derives a region larger than the specific target and surrounding the specific target as a determination area based on the specific source image in which the specific target is captured. ,
A goodness-of-fit derivation means for deriving goodness-of-fit information indicating the goodness of fit between the candidate area and the determination area is provided.
The goodness-of-fit derivation means determines that the area included in the determination area among the candidate areas is an area appropriately specified as the area corresponding to the specific target, and is among the candidate areas. The area outside the determination area is determined to be the area erroneously specified as the specific target, and the area determined to be properly specified and the area determined to be erroneously specified. It is configured to derive the goodness-of-fit information based on
The adjusting means is configured to execute the adjusting process based on the conformity information.
本発明の特定アルゴリズム用のパラメータ調整方法は、
検査用の画像から特定対象が写る領域を特定する特定処理により、検査用の画像に基づいて、前記特定対象の候補そのものが写る領域である基準領域と、前記候補そのものが写る領域が膨張して前記基準領域の周囲に広がった膨張領域とを含む候補領域を特定した候補特定画像を作成する特定処理を実行する特定アルゴリズム用のパラメータ調整方法であって、
前記特定処理を実行した後に、前記特定対象が写る特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域である判定エリアが導出されている状態で、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて、前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を示す適合情報を導出し、
該適合情報に基づいてパラメータの調整に関する調整処理を実行する。
The parameter adjustment method for the specific algorithm of the present invention is
By the specific process of specifying the area where the specific target is captured from the inspection image, the reference region, which is the region where the candidate for the specific target itself is captured, and the region where the candidate itself is captured are expanded based on the inspection image. It is a parameter adjustment method for a specific algorithm that executes a specific process for creating a candidate specific image that specifies a candidate area including an expansion area spread around the reference area.
Of the candidate regions, after the specific processing is executed, a determination area that is larger than the specific target and is a region surrounding the specific target is derived based on the specific source image in which the specific target is captured. The area included in the determination area is determined to be an area appropriately specified as the area corresponding to the specific target, and the area outside the determination area among the candidate areas is erroneously specified. The candidate area and the determination area are based on the size of the area determined to be the target area and determined to be properly specified and the area determined to be erroneously specified. Derivation of conformity information indicating the degree of conformity with
The adjustment process related to the parameter adjustment is executed based on the conformity information.
以上のように、本発明の画像検査システム、及び画像検査システムのパラメータ調整方法、特定アルゴリズム用の設定値調整システム、特定アルゴリズム用のパラメータ調整方法によれば、検査用の画像から特定対象を特定する処理の調整作業を簡略化できる、という優れた効果を奏し得る。 As described above, according to the image inspection system of the present invention, the parameter adjustment method of the image inspection system, the setting value adjustment system for the specific algorithm, and the parameter adjustment method for the specific algorithm, the specific target is specified from the image for inspection. It can have an excellent effect that the adjustment work of the processing to be performed can be simplified.
以下、本発明の一実施形態に係る画像検査システムについて添付図面を参照しつつ説明を行う。 Hereinafter, the image inspection system according to the embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
本発明の画像検査システムは、検査対象となる物品が写る検査用の画像から特定対象（例えば、欠陥等）が写る領域を特定（検出）するように構成されたシステムである。 The image inspection system of the present invention is a system configured to identify (detect) a region in which a specific target (for example, a defect or the like) is captured from an inspection image in which an article to be inspected is captured.
なお、検査用の画像とは、例えば、欠陥の有無によって良品であるか不良品であるかを判定する検査の対象となる物品が写っている画像のことであり、この場合、特定対象とは、検査の対象となる物品から発見する必要がある欠陥等のことである。 The image for inspection is, for example, an image showing an article to be inspected to determine whether it is a non-defective product or a defective product depending on the presence or absence of defects. In this case, the specific target is an image. , Defects that need to be found in the article to be inspected.
図１に示すように、画像検査システム１は、検査用の画像に基づいて、特定対象の候補が写る候補領域を特定（検出）した候補特定画像を作成する特定処理を実行するように構成され、且つ該特定処理における前記候補領域の特定時に使用するパラメータであって、設定（変更）可能なパラメータを有する特定手段２と、前記候補領域内の前記候補の特定結果の正確さを示す情報を導出する適合度導出手段３と、適合度導出手段３が導出した適合情報に基づいて候補領域が特定対象に該当するものであるか判定する特定結果判定手段４と、前記適合情報に基づいて前記パラメータの調整に関する調整処理を実行する調整手段５と、を備えている。 As shown in FIG. 1, the image inspection system 1 is configured to execute a specific process of creating a candidate specific image in which a candidate area in which a candidate of a specific target appears is specified (detected) based on an image for inspection. In addition, the identification means 2 which is a parameter used at the time of specifying the candidate area in the specific process and has a parameter that can be set (changed), and information indicating the accuracy of the specific result of the candidate in the candidate area are provided. The goodness-of-fit derivation means 3 to be derived, the specific result determination means 4 for determining whether the candidate region corresponds to the specific target based on the goodness-of-fit derivation means 3 derived, and the above-mentioned conformity information. An adjustment means 5 for executing an adjustment process related to parameter adjustment is provided.
本実施形態に係る画像検査システム１では、物品の検査として、特定手段２による特定処理を実行する前に、前記パラメータの調整、より具体的には、特定処理によって候補領域を適正に特定するための調整を行う必要があり、この調整を調整手段５によって自動的に行うことができるようになっている。 In the image inspection system 1 according to the present embodiment, as an inspection of an article, in order to properly identify a candidate region by adjusting the parameters, more specifically, by the identification process, before executing the identification process by the identification means 2. It is necessary to adjust the above, and this adjustment can be automatically performed by the adjusting means 5.
特定手段２は、特定処理において、検査用の画像全体の中から特定対象の候補が写る領域を徐々に絞る（特定対象の候補が写る領域に徐々に焦点を合わせる）ことで候補領域を特定するように構成されており、この候補領域は、特定対象の候補そのものが写る領域である基準領域と、前記候補そのものが写る領域が膨張して基準領域の周囲に広がった膨張領域とを含んだ状態で特定される。 In the specific process 2, the specific means 2 specifies a candidate area by gradually narrowing down the area in which the candidate of the specific target appears from the entire image for inspection (gradually focusing on the area in which the candidate of the specific target appears). This candidate area includes a reference area in which the candidate of the specific target itself is captured and an expanded region in which the region in which the candidate itself is captured expands and spreads around the reference region. Specified by.
本実施形態に係る特定手段２は、検査用の画像を入力する画像入力部２０と、前記パラメータを入力するパラメータ入力部２１と、画像入力部２０により入力された検査用の画像と、パラメータ入力部２１により入力されたパラメータとに基づいて、検査用の画像から候補領域を特定した候補特定画像を作成する（すなわち、特定処理を実行する）候補特定手段２２と、を備えている。 The specific means 2 according to the present embodiment includes an image input unit 20 for inputting an image for inspection, a parameter input unit 21 for inputting the parameters, an image for inspection input by the image input unit 20, and parameter input. A candidate identification means 22 for creating a candidate identification image in which a candidate area is specified from an inspection image (that is, executing a identification process) based on the parameters input by the unit 21 is provided.
画像入力部２０には、検査用の画像の他に、パラメータの調整用の画像（以下、特定元画像と称する）も入力可能である。特定元画像は、検査用の画像（検査対象となる物品）から発見したい特定対象が写っている画像である。 In addition to the inspection image, the image input unit 20 can also input an image for adjusting parameters (hereinafter, referred to as a specific source image). The specific original image is an image showing a specific object to be found from an image for inspection (article to be inspected).
なお、画像入力部２０は、例えば、撮像装置で撮像した画像が直接入力されるように構成されていてもよいし、記憶装置に記憶されている画像を読み出すように構成されていてもよい。また、画像入力部２０には、撮像画像で撮像した画像の他、人手で作成した画像等も入力可能である。 The image input unit 20 may be configured to directly input an image captured by the imaging device, or may be configured to read out an image stored in the storage device, for example. Further, in addition to the image captured by the captured image, an image created by hand can be input to the image input unit 20.
候補特定手段２２は、上述の特定処理を実行するように構成されている。本実施形態に係る候補特定手段２２は、画像入力部２０に入力された検査用の画像Ｐ１を所定範囲の領域（以下、区画領域と称する）Ｌごとに区画する区画処理（図２（ａ）参照）と、区画処理で区画した領域内全体に対して、該領域に含まれる各画素の輝度値の平均値を設定することによって、平均化画像Ｐ２を作成する平均化処理（図２（ｂ）参照）と、平均化画像Ｐ２の画素のうちの一つを基準画素Ｌ１としたうえで、該基準画素Ｌ１の輝度と周囲の隣接画素Ｌ２（本実施形態では上下左右の４画素）の輝度とを比較し、各隣接画素Ｌ２の輝度のうち基準画素Ｌ１の輝度よりも所定値以上の大きさであり且つ最も大きい値の輝度を基準画素Ｌ１に設定する処理（図２（ｃ）参照）を、平均化画像Ｐ２内の各画素ごとに実行して複数の置換画像-を作成する輝度差置換処理と、区画処理を実行する位置をずらす（すなわち、位相を変更する）位相変更処理と、を繰り返して実行するように構成されており、さらに、この一連の処理を繰り返すことにより作成された複数の置換画像を合成した位相別合成画像を作成する位相別合成処理を実行するように構成されている。 The candidate identification means 22 is configured to execute the above-mentioned identification process. The candidate identifying means 22 according to the present embodiment is a partition process for partitioning the inspection image P1 input to the image input unit 20 for each region (hereinafter, referred to as a partition area) L in a predetermined range (FIG. 2A). (See) and the averaging process for creating the averaged image P2 by setting the average value of the brightness values of each pixel included in the area with respect to the entire area partitioned by the partition process (FIG. 2 (b). ), And after using one of the pixels of the averaged image P2 as the reference pixel L1, the brightness of the reference pixel L1 and the brightness of the surrounding adjacent pixels L2 (4 pixels on the top, bottom, left, and right in this embodiment). The process of setting the brightness of the reference pixel L1 to be larger than the brightness of the reference pixel L1 and having the largest value among the brightness of each adjacent pixel L2 (see FIG. 2C). Is executed for each pixel in the averaged image P2 to create a plurality of replacement images-a brightness difference replacement process, a phase change process of shifting the position where the partition process is executed (that is, changing the phase), and a phase change process. Is configured to be executed repeatedly, and further, it is configured to execute a phase-based composition process for creating a phase-by-phase composite image in which a plurality of replacement images created by repeating this series of processes are combined. ing.
なお、図２（ｃ）の場合は、各隣接画素Ｌ２の輝度が基準画素Ｌ１の周囲の輝度よりも低いため、基準画素Ｌ１の輝度の置き換えは行われない。また、基準画素Ｌ１の上下左右の４画素を隣接画素Ｌ２としたが、基準画素Ｌ１の斜め上方の画素や、斜め下方の画素を隣接画素Ｌ２に設定してもよい。 In the case of FIG. 2C, since the brightness of each adjacent pixel L2 is lower than the brightness around the reference pixel L1, the brightness of the reference pixel L1 is not replaced. Further, although the four pixels on the top, bottom, left, and right of the reference pixel L1 are set as adjacent pixels L2, the pixels diagonally above the reference pixel L1 and the pixels diagonally below may be set as the adjacent pixels L2.
また、一つの区画サイズで、区画処理、平均化処理、輝度差置換処理、位相変更処理、位相別合成処理が完了すると、区画サイズを変更して再び区画処理、平均化処理、輝度差置換処理、位相変更処理、位相別合成処理を実行するように構成されている。 Further, when the partition processing, the averaging process, the luminance difference replacement process, the phase change process, and the phase-based composition process are completed with one partition size, the partition size is changed and the partition process, the averaging process, and the luminance difference replacement process are performed again. , Phase change processing, and phase-by-phase composition processing are executed.
さらに、本実施形態に係る候補特定手段２２は、図２（ｄ）に示すように、かかる処理を実行することにより作成された複数の位相別合成画像を合成（統合）した統合画像Ｐ３を作成する統合処理を実行するように構成されている。この統合画像Ｐ３は、候補特定画像として用いられる画像であり、検査用の画像Ｐ１よりも解像度が低下している。 Further, as shown in FIG. 2D, the candidate identifying means 22 according to the present embodiment creates an integrated image P3 by synthesizing (integrating) a plurality of phase-based composite images created by executing such processing. It is configured to perform integrated processing. This integrated image P3 is an image used as a candidate identification image, and its resolution is lower than that of the inspection image P1.
このようにすると、特定対象の候補そのものが写る領域（基準領域）Ｃ１には高い輝度（特徴量）が付与され、基準領域Ｃ１の周囲には該基準領域Ｃ１から離れるにつれて輝度が下がる領域（膨張領域）Ｃ２が形成される結果、候補領域Ｃは、膨張領域Ｃ２の広さの分だけ基準領域Ｃ１が膨張したような状態で特定される。なお、図２（ｄ）に示す膨張領域Ｃ２には、基準領域Ｃ１の周囲に広がり且つ基準領域Ｃ１よりも輝度が低い第一の膨張領域Ｃ２０と、該第一の膨張領域Ｃ２０の外側に広がり且つ該第一の膨張領域Ｃ２０よりも輝度が低い第二の膨張領域Ｃ２１とが含まれている。すなわち、膨張領域Ｃ２の輝度には勾配が付いているが、特定手段２に設定するパラメータによっては、膨張領域Ｃ２全体の輝度が一定となる（すなわち、輝度に勾配が付かない）場合もある。 In this way, a high brightness (feature amount) is given to the region (reference region) C1 in which the candidate of the specific target is captured, and the region (expansion) around the reference region C1 whose brightness decreases as the distance from the reference region C1 increases. As a result of the formation of the region C2, the candidate region C is specified in a state in which the reference region C1 is expanded by the width of the expansion region C2. The expansion region C2 shown in FIG. 2D includes a first expansion region C20 that extends around the reference region C1 and has a lower brightness than the reference region C1 and extends outside the first expansion region C20. Moreover, the second expansion region C21 whose brightness is lower than that of the first expansion region C20 is included. That is, although the brightness of the expansion region C2 has a gradient, the brightness of the entire expansion region C2 may be constant (that is, the brightness does not have a gradient) depending on the parameters set in the specific means 2.
候補特定手段２２は、区画領域Ｌのサイズと、位相変更処理における位相の変更量とを、特定処理の実行時に利用するパラメータとして入力可能に構成されており、この２つのパラメータに応じて、候補特定画像に写る候補領域Ｃのサイズ（膨張領域Ｃ２の広さ）が決まる。 The candidate specifying means 22 is configured so that the size of the partition area L and the amount of phase change in the phase change process can be input as parameters to be used when executing the specific process, and the candidates are candidates according to these two parameters. The size of the candidate region C (the size of the expansion region C2) to be captured in the specific image is determined.
適合度導出手段３は、候補領域Ｃと前記特定結果の正確さの判断基準とする判定エリアとの適合度を示す適合情報を導出するように構成されており、前記特定結果の正確さを示す情報、すなわち、候補領域Ｃの候補が特定対象として正しく特定されたものであるか否かを判定する基準となる情報として適合情報を得られるようになっている。 The goodness-of-fit derivation means 3 is configured to derive goodness-of-fit information indicating the goodness of fit between the candidate region C and the determination area used as a criterion for determining the accuracy of the specific result, and indicates the accuracy of the specific result. Goodness information can be obtained as information, that is, information as a reference for determining whether or not the candidate in the candidate area C is correctly specified as a specific target.
適合度導出手段３は、判定エリアが入力されるエリア情報入力手段３０と、候補領域Ｃと判定エリアとに基づいて適合情報を判定する適合判定手段３１と、を有する。 The goodness-of-fit degree deriving means 3 includes an area information input means 30 into which a determination area is input, and a conformity determination means 31 for determining conformity information based on the candidate area C and the determination area.
本実施形態のエリア情報入力手段３０は、特定手段２のパラメータの調整作業を行う場合においては、後述するエリア導出手段５０によって導出された判定エリアが入力されるように構成されているが、エリア情報入力手段３０には、エリア導出手段５０から直接判定エリアが入力されてもよいし、エリア導出手段５０から記憶手段等を介して間接的に判定エリアが入力されてもよい。 The area information input means 30 of the present embodiment is configured so that the determination area derived by the area derivation means 50, which will be described later, is input when the parameter adjustment work of the specific means 2 is performed. The information input means 30 may directly input the determination area from the area derivation means 50, or may indirectly input the determination area from the area derivation means 50 via the storage means or the like.
適合判定手段３１は、候補領域Ｃ（基準領域Ｃ１及び膨張領域Ｃ２）に含まれている各画素について、判定エリア内に含まれるか判定エリア外に位置するかが判断され、候補領域Ｃの画素が判定エリア内に含まれている場合は、特定対象に該当する領域として適正に特定されていると判断し、候補領域Ｃの画素が判定エリア外に位置する場合は、特定対象として誤って特定されている（すなわち、過剰に特定されている）と判断するように構成されている。 The conformity determination means 31 determines whether each pixel included in the candidate region C (reference region C1 and expansion region C2) is included in the determination area or is located outside the determination area, and the pixels in the candidate region C are determined. Is included in the judgment area, it is judged that the area corresponds to the specific target, and if the pixel of the candidate area C is located outside the judgment area, it is erroneously specified as the specific target. It is configured to determine that it has been (ie, over-specified).
そして、判定エリア内に含まれている候補領域Ｃの広さ（候補領域Ｃの画素数）と、判定エリア外の候補領域Ｃの広さ（候補領域Ｃの画素数）とに基づいて、適合情報が導出される。なお、適合情報が数値で表される場合、適合判定手段３１は、判定エリアの内外のそれぞれの領域に位置している候補領域Ｃの画素数に応じて適合情報の数値を増減させるように構成されていればよい。例えば、判定エリア内に含まれている候補領域Ｃの画素数（すなわち、適正に特定されていると判断された画素の数）に応じて適合情報の数値を加算し、判定エリア外の候補領域Ｃの画素数（すなわち、誤って特定されていると特定された画素の数）に応じて適合情報の数値を減算するように構成されていればよい。また、判定エリア内に含まれている候補領域Ｃの画素数に応じて適合情報の数値を乗算したり、判定エリア外の候補領域Ｃの画素数に応じて適合情報の数値を除算するように構成されていてもよい。 Then, conformity is made based on the size of the candidate area C included in the determination area (the number of pixels of the candidate area C) and the size of the candidate area C outside the determination area (the number of pixels of the candidate area C). Information is derived. When the conformity information is represented by a numerical value, the conformity determination means 31 is configured to increase or decrease the numerical value of the conformity information according to the number of pixels of the candidate area C located in each area inside and outside the determination area. It suffices if it is done. For example, the numerical value of the conformity information is added according to the number of pixels of the candidate area C included in the determination area (that is, the number of pixels determined to be properly specified), and the candidate area outside the determination area is added. It may be configured to subtract the numerical value of the conformity information according to the number of pixels of C (that is, the number of pixels identified as being erroneously specified). Further, the numerical value of the conformity information is multiplied according to the number of pixels of the candidate area C included in the determination area, or the numerical value of the conformity information is divided according to the number of pixels of the candidate area C outside the determination area. It may be configured.
特定結果判定手段４は、検査用の画像Ｐ１（検査対象となる物品）の検査結果として、候補領域Ｃが特定領域に該当するものであるかを判定するように構成されている。 The specific result determination means 4 is configured to determine whether the candidate region C corresponds to the specific region as an inspection result of the image P1 (article to be inspected) for inspection.
特定結果判定手段４は、物品（検査用の画像）の検査時において、例えば、候補領域Ｃが特定領域に該当するものであるかを判定するための判定基準情報が設定されており、適合情報が判定基準情報により示される条件を満たしていれば候補領域Ｃが特定対象に該当すると判定し、判適合情報が定基準情報により示される条件を満たしていなければ候補領域Ｃが特定対象に該当しないと判定するように構成されていればよい。 In the specific result determination means 4, at the time of inspection of an article (image for inspection), for example, determination standard information for determining whether the candidate region C corresponds to the specific region is set, and conformity information. Is determined to correspond to the specific target if the condition indicated by the judgment standard information is satisfied, and the candidate area C does not correspond to the specific target if the judgment conformance information does not satisfy the condition indicated by the standard information. It may be configured so as to determine.
調整手段５は、特定元画像（いわゆる、教師画像）に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域を判定エリアとして導出するエリア導出手段５０と、特定手段２にパラメータを設定するパラメータ設定手段５１と、特定手段２の特定処理に使用したパラメータを最適化する最適化手段５２と、適合度導出手段３が導出した適合情報に基づいて最適化手段５２を実行するか否かを判定する実行判定手段５３とを有する。 The adjusting means 5 sets parameters for the area derivation means 50 and the specific means 2 for deriving an area larger than the specific target and surrounding the specific target as a determination area based on the specific source image (so-called teacher image). Whether or not to execute the parameter setting means 51, the optimization means 52 for optimizing the parameters used for the specific processing of the specific means 2, and the optimization means 52 based on the goodness information derived by the goodness of fit derivation means 3. It has an execution determination means 53 for determining.
エリア導出手段５０は、図３に示すように、特定対象Ｔの外縁よりもさらに外側で特定対象Ｔを取り囲む領域を、適合判定手段３１で使用する判定エリアＡとして導出するように構成されている。 As shown in FIG. 3, the area derivation means 50 is configured to derive a region surrounding the specific target T further outside the outer edge of the specific target T as a determination area A used by the conformity determination means 31. ..
本実施形態では、特定対象Ｔを取り囲む四角形状の第一の枠Ｆ１を設定し、この第一の枠Ｆ１に対して所定距離外側に離れた位置で該枠Ｆ１を取り囲む第二の枠Ｆ２を設定し、この第二の枠Ｆ２内の領域を判定エリアＡとしている。なお、第一の枠Ｆ１と第二の枠Ｆ２との距離は、例えば、候補特定手段２２に入力（設定）する区画領域Ｌのサイズに応じて設定することができ、候補特定手段２２に入力（設定）する区画領域Ｌの最大サイズから１ピクセル分に相当する距離を減算した値を前記距離として設定してもよい。 In the present embodiment, a quadrangular first frame F1 surrounding the specific target T is set, and a second frame F2 surrounding the frame F1 is set at a position separated from the first frame F1 by a predetermined distance. The area in the second frame F2 is set as the determination area A. The distance between the first frame F1 and the second frame F2 can be set according to the size of the partition area L to be input (set) in the candidate specifying means 22, and is input to the candidate specifying means 22. The distance may be set by subtracting the distance corresponding to one pixel from the maximum size of the partition area L (set).
パラメータ設定手段５１は、特定手段２のパラメータの調整を行う前に複数のパラメータの候補（以下、候補パラメータと称する）を導出する候補パラメータ導出処理と、各候補パラメータ候補を特定手段２に設定したうえで特定処理を実行する実行処理と、該実行処理で実行した特定処理により作成された候補特定画像の候補領域Ｃについて適合度導出手段３によって導出された適合情報を候補パラメータに関連付ける関連付け処理と、を行うように構成されている。 The parameter setting means 51 sets a candidate parameter derivation process for deriving a plurality of parameter candidates (hereinafter referred to as candidate parameters) before adjusting the parameters of the specific means 2, and sets each candidate parameter candidate in the specific means 2. An execution process for executing the specific process above, and an association process for associating the conformity information derived by the conformity derivation means 3 with respect to the candidate region C of the candidate specific image created by the specific process executed in the execution process with the candidate parameters. , Is configured to do.
最適化手段５２には、所謂、遺伝的アルゴリズムが用いられている。また、最適化手段５２は、各候補パラメータのうち、適合情報が最も良いものを選択する選択処理と、遺伝的アルゴリズムによって該選択処理で選択した候補パラメータから新たな候補パラメータを複数導出する候補作成処理と、候補作成処理で導出した各候補パラメータを順番に特定手段２に設定して特定処理を実行する再設定処理とを実行するように構成されており、実行判定手段５３が最適化手段５２を実行すると判定している間は、選択処理、候補作成処理、再設定処理を繰り返し実行するように構成されている。 A so-called genetic algorithm is used in the optimization means 52. Further, the optimization means 52 performs a selection process of selecting the one with the best matching information from each candidate parameter, and creates a candidate for deriving a plurality of new candidate parameters from the candidate parameters selected in the selection process by a genetic algorithm. It is configured to execute the process and the resetting process in which each candidate parameter derived in the candidate creation process is sequentially set in the specific means 2 and the specific process is executed, and the execution determination means 53 is the optimization means 52. Is configured to repeatedly execute the selection process, the candidate creation process, and the reset process while it is determined to execute.
実行判定手段５３は、最適化手段５２を実行するか否かを判定するための判定基準情報を有しており、判定基準情報が示す条件を適合度導出手段３が導出した適合情報が満たしていなければ最適化手段５２を実行すると判定し、判定基準情報が示す条件を適合度導出手段３が導出した適合情報が満たしていれば最適化手段５２を実行しないと判定したうえで、判定基準情報が示す条件を満たす適合情報を導出できた候補パラメータを最適なパラメータとして出力するように構成されている。なお、調整手段５は、最適なパラメータと判定した候補パラメータを適合情報と関連付けた状態で出力するように構成されており、さらに、最適なパラメータと判定した候補パラメータを出力した後は動作を終了するように構成されている。 The execution determination means 53 has determination standard information for determining whether or not to execute the optimization means 52, and the conformity information derived by the conformity derivation means 3 satisfies the conditions indicated by the determination standard information. If not, it is determined that the optimization means 52 is executed, and if the conformity information derived by the conformity derivation means 3 satisfies the conditions indicated by the determination criterion information, it is determined that the optimization means 52 is not executed, and then the determination criterion information. It is configured to output the candidate parameters for which the conformity information satisfying the conditions indicated by is derived as the optimum parameters. The adjusting means 5 is configured to output a candidate parameter determined to be the optimum parameter in a state of being associated with the conformity information, and further, after outputting the candidate parameter determined to be the optimum parameter, the operation is terminated. It is configured to do.
本実施形態に係る画像検査システム１の構成は以上の通りである。続いて、本実施形態に係る画像検査システム１の動作を説明する。 The configuration of the image inspection system 1 according to the present embodiment is as described above. Subsequently, the operation of the image inspection system 1 according to the present embodiment will be described.
画像検査システム１を使用する場合は、パラメータの調整、検査用の画像検査を順番に行う。 When the image inspection system 1 is used, the parameters are adjusted and the image inspection for inspection is performed in order.
パラメータの調整作業を行う場合、画像検査システム１は、判定エリアＡの設定処理（Ｓ１）、候補パラメータの設定処理（Ｓ２）、候補パラメータによる特定処理（Ｓ３）、判定エリアＡを用いた適合度判定処理（Ｓ４）、を順番に実行し、適合度判定処理で導出された適合情報に基づいて、パラメータの最適化処理、すなわち、新たな候補パラメータを導出する処理、新たな候補パラメータによる特定処理、適合度判定処理、を順番に繰り返し実行する。 When performing parameter adjustment work, the image inspection system 1 sets the determination area A (S1), the candidate parameter setting process (S2), the identification process using the candidate parameters (S3), and the goodness of fit using the determination area A. The determination process (S4) is executed in order, and the parameter optimization process, that is, the process of deriving a new candidate parameter, and the identification process using the new candidate parameter, are performed based on the goodness-of-fit determination process derived. , The conformity determination process, are repeatedly executed in order.
候補パラメータの設定処理は、候補特定画像を作成する特定処理を実行する前に実行され、複数の候補パラメータを導出する。なお、パラメータの調整作業を行う際の候補パラメータの初期値は、自動的に設定されていてもよいし、手動で設定されていてもよい。また、候補パラメータの初期値は、ランダムに決められた値であってもよいし、既存のパラメータに基づいて決められた値であってもよい。 The candidate parameter setting process is executed before executing the specific process for creating the candidate specific image, and a plurality of candidate parameters are derived. The initial value of the candidate parameter when the parameter adjustment work is performed may be set automatically or may be set manually. Further, the initial value of the candidate parameter may be a randomly determined value or a value determined based on an existing parameter.
候補パラメータによる特定処理は、各候補パラメータについて実行され、また、各候補パラメータでの特定処理の実行結果として出力される候補特定画像（すなわち、統合画像Ｐ３として出力される候補特定画像）のそれぞれについて適合度判定処理が実行される。 The specific processing by the candidate parameters is executed for each candidate parameter, and for each of the candidate specific images output as the execution result of the specific processing for each candidate parameter (that is, the candidate specific image output as the integrated image P3). The goodness-of-fit determination process is executed.
そして、候補パラメータの中に、判定基準情報の条件を満たす適合情報が存在する場合（Ｓ５でＹｅｓ）は、かかる適合情報が関連付けられている候補パラメータを最適なパラメータとし（Ｓ６）、判定基準情報の条件を満たす適合情報が存在しない場合（Ｓ５でＮｏ）は、パラメータの最適化処理（Ｓ７）、新たな候補パラメータによる特定処理（Ｓ７からＳ３の処理）、適合度判定処理（Ｓ４）を順番に繰り返し実行する。 Then, when the conformity information satisfying the condition of the determination criterion information exists among the candidate parameters (Yes in S5), the candidate parameter to which the conformity information is associated is set as the optimum parameter (S6), and the determination criterion information. If there is no conformity information satisfying the above conditions (No in S5), the parameter optimization process (S7), the identification process using new candidate parameters (processes S7 to S3), and the conformity determination process (S4) are performed in this order. Repeatedly.
以上のように、本実施形態に係る画像検査システム１、及び画像検査システム１のパラメータ設定方法によれば、調整手段５による前記パラメータの調整処理を行う際に特定元画像を検査用の画像Ｐ１として特定手段２の特定処理にかけると、特定手段２で特定した候補領域Ｃには、特定対象Ｔの候補そのものが写る基準領域Ｃ１に加えて、該候補そのものが写る領域が膨張して基準領域Ｃ１の周囲に広がった膨張領域Ｃ２が含まれるため、候補領域Ｃは、特定対象Ｔを基準にすると膨張領域Ｃ２の分だけ誤って（過剰に）特定されたことになる。 As described above, according to the image inspection system 1 and the parameter setting method of the image inspection system 1 according to the present embodiment, when the adjustment means 5 performs the parameter adjustment processing, the specific source image is the image P1 for inspection. When the specific means 2 is subjected to the specific processing, in addition to the reference area C1 in which the candidate of the specific target T is captured, the region in which the candidate itself is captured expands to the reference region C in the candidate region C specified by the specific means 2. Since the expansion region C2 extending around C1 is included, the candidate region C is erroneously (excessively) specified by the amount of the expansion region C2 with reference to the specific target T.
そのため、特定対象Ｔが写る領域と同じ広さ（形状）の領域が判定エリアＡとして設定されていると仮定した場合、候補領域Ｃが特定対象Ｔそのものに対応する領域（すなわち、基準領域Ｃ１）の外側にまで広がっていると、適合度導出手段３が導出した適合情報が示す適合度が低迷し、調整処理が実行されても特定処理の実行結果が適正でないとされることがあるが、上記構成の画像検査システム１では、特定対象Ｔよりも大きく且つ特定対象Ｔを取り囲む領域である判定エリアＡを導出したうえで、候補領域Ｃのうちの判定エリアＡ内に含まれる領域を特定対象Ｔに該当する領域として適正に特定されている領域、候補領域Ｃのうちの前記判定エリアＡ外の領域を、誤って特定対象Ｔとして特定された領域と判断するため、基準領域Ｃ１の外側に広がる膨張領域Ｃ２の少なくとも一部も特定対象Ｔに該当する領域として適正に特定されたものであると判定される。 Therefore, assuming that an area having the same size (shape) as the area in which the specific target T is captured is set as the determination area A, the candidate area C corresponds to the specific target T itself (that is, the reference area C1). If it extends to the outside of, the goodness of fit indicated by the goodness-of-fit information derived by the goodness-of-fit derivation means 3 may be sluggish, and even if the adjustment process is executed, the execution result of the specific process may not be appropriate. In the image inspection system 1 having the above configuration, after deriving the determination area A which is larger than the specific target T and surrounds the specific target T, the area included in the determination area A of the candidate areas C is specified as the specific target. The area outside the determination area A of the candidate areas C, which is properly specified as the area corresponding to T, is outside the reference area C1 in order to erroneously determine that the area is specified as the specific target T. It is determined that at least a part of the expanding expansion region C2 is also properly specified as a region corresponding to the specific target T.
従って、特定処理に伴って検査用の画像Ｐ１としての特定元画像における特定対象Ｔの候補そのものが写る領域が膨張する場合であっても、調整手段５を実行することによりパラメータを調整（改善）することができる。 Therefore, even when the area in which the candidate of the specific target T itself in the specific original image as the image P1 for inspection is captured expands due to the specific processing, the parameter is adjusted (improved) by executing the adjustment means 5. can do.
なお、本発明の画像検査システム１、及び画像検査システム１のパラメータ調整方法は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を加え得ることは勿論である。 The parameter adjustment method of the image inspection system 1 and the image inspection system 1 of the present invention is not limited to the above embodiment, and various changes can be made without departing from the gist of the present invention. Of course.
上記実施形態では、特定手段２のパラメータを調整するための調整手段５が検査装置に組み込まれていたが、この構成に限定されない。例えば、調整手段５は、検査装置とは別のパラメータ調整システムとして独立して構成し、この調整システムが特定アルゴリズム用のパラメータ調整方法を実行するように構成されていてもよい。 In the above embodiment, the adjusting means 5 for adjusting the parameters of the specific means 2 is incorporated in the inspection device, but the present invention is not limited to this configuration. For example, the adjusting means 5 may be configured independently as a parameter adjusting system separate from the inspection device, and the adjusting system may be configured to execute a parameter adjusting method for a specific algorithm.
１…画像検査システム、２…特定手段、３…適合度導出手段、４…特定結果判定手段、５…調整手段、２０…画像入力部、２１…パラメータ入力部、２２…候補特定手段、３０…エリア情報入力手段、３１…適合判定手段、５０…エリア導出手段、５１…パラメータ設定手段、５２…最適化手段、５３…実行判定手段、Ａ…判定エリア、Ｃ…候補領域、Ｃ１…基準領域、Ｃ２…膨張領域、Ｆ１…第一の枠、Ｆ１…枠、Ｆ２…第二の枠、Ｌ…区画領域、Ｐ１…画像、Ｔ…特定対象 1 ... Image inspection system, 2 ... Specific means, 3 ... Conformity derivation means, 4 ... Specific result determination means, 5 ... Adjustment means, 20 ... Image input unit, 21 ... Parameter input unit, 22 ... Candidate identification means, 30 ... Area information input means, 31 ... Conformity determination means, 50 ... Area derivation means, 51 ... Parameter setting means, 52 ... Optimization means, 53 ... Execution determination means, A ... Judgment area, C ... Candidate area, C1 ... Reference area, C2 ... expansion area, F1 ... first frame, F1 ... frame, F2 ... second frame, L ... section area, P1 ... image, T ... specific target
Claims (4)
前記検査用の画像に基づいて、前記特定対象の候補そのものが写る領域である基準領域と、前記候補そのものが写る領域が膨張して前記基準領域の周囲に広がった膨張領域とを含む候補領域を特定した候補特定画像を作成する特定処理を実行するように構成され、且つ該特定処理における前記候補領域の特定時に使用するパラメータを設定可能な特定手段と、
前記パラメータの調整に関する調整処理を実行する調整手段であって、前記特定対象が写る特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域である判定エリアを導出する調整手段と、
前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を示す適合情報を導出する適合度導出手段と、を備え、
前記適合度導出手段は、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて、前記適合情報を導出するように構成され、
前記調整手段は、前記適合情報に基づいて前記調整処理を実行するように構成される、
画像検査システム。 In an image inspection system configured to identify an area in which a specific object appears from an inspection image,
Based on the image for inspection, a candidate region including a reference region in which the candidate of the specific target itself is captured and an expansion region in which the region in which the candidate itself is captured expands and spreads around the reference region is provided. A specific means that is configured to execute a specific process for creating a specified candidate specific image and can set parameters to be used when specifying the candidate area in the specific process.
An adjustment means for executing an adjustment process related to the adjustment of the parameters, and an adjustment means for deriving a determination area which is larger than the specific target and is a region surrounding the specific target based on a specific source image in which the specific target is captured. When,
A goodness-of-fit derivation means for deriving goodness-of-fit information indicating the goodness of fit between the candidate area and the determination area is provided.
The goodness-of-fit derivation means determines that the area included in the determination area among the candidate areas is an area appropriately specified as the area corresponding to the specific target, and is among the candidate areas. The area outside the determination area is determined to be the area erroneously specified as the specific target, and the area determined to be properly specified and the area determined to be erroneously specified. It is configured to derive the goodness-of-fit information based on
The adjusting means is configured to perform the adjusting process based on the conformance information.
Image inspection system.
前記検査用の画像に基づいて、前記特定対象の候補そのものが写る領域である基準領域と、前記候補そのものが写る領域が膨張して前記基準領域の周囲に広がった膨張領域とを含む候補領域を特定した候補特定画像を作成する特定処理を実行する前に、該特定処理における前記候補領域の特定時に使用するパラメータを設定し、
前記特定処理を実行した後に、前記特定対象が写る特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域である判定エリアが導出されている状態で、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を示す適合情報を導出し、
該適合情報に基づいて前記パラメータの調整に関する調整処理を実行する、
画像検査システムのパラメータ調整方法。 In the parameter adjustment method of the image inspection system that identifies the area where the specific target appears from the inspection image,
Based on the image for inspection, a candidate region including a reference region in which the candidate of the specific target itself is captured and an expansion region in which the region in which the candidate itself is captured expands and spreads around the reference region is provided. Before executing the specific process for creating the specified candidate specific image, the parameters used when specifying the candidate area in the specific process are set.
Of the candidate regions, after the specific processing is executed, a determination area that is larger than the specific target and is a region surrounding the specific target is derived based on the specific source image in which the specific target is captured. The area included in the determination area is determined to be an area appropriately specified as the area corresponding to the specific target, and the area outside the determination area among the candidate areas is erroneously specified. The candidate area and the determination area are based on the size of the area determined to be the target area and the area determined to be properly specified, and the area determined to be erroneously specified. Derivation of conformity information indicating the degree of conformity of
The adjustment process related to the adjustment of the parameter is executed based on the conformity information.
How to adjust the parameters of the image inspection system.
前記パラメータの調整に関する調整処理を実行する調整手段であって、前記特定対象が写る特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域を判定エリアとして導出する調整手段と、
前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を示す適合情報を導出する適合度導出手段と、を備え、
前記適合度導出手段は、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて、前記適合情報を導出するように構成され、
前記調整手段は、前記適合情報に基づいて前記調整処理を実行するように構成される、
特定アルゴリズム用のパラメータ調整システム。 The area in which the specific target is captured is specified from the inspection image, and the reference region in which the candidate for the specific target is captured and the region in which the candidate itself is captured expands based on the inspection image. A parameter used when specifying the candidate area in the specific process, which is configured to execute a specific process for creating a candidate specific image that specifies a candidate area including an expansion area spread around the reference area. A parameter adjustment system for a specific algorithm with specific means that can be set.
An adjustment means that executes an adjustment process related to the adjustment of the parameters, and is an adjustment means that derives a region larger than the specific target and surrounding the specific target as a determination area based on the specific source image in which the specific target is captured. ,
A goodness-of-fit derivation means for deriving goodness-of-fit information indicating the goodness of fit between the candidate area and the determination area is provided.
The goodness-of-fit derivation means determines that the region included in the determination area among the candidate regions is an region appropriately specified as the region corresponding to the specific target, and is among the candidate regions. The area outside the determination area is determined to be the area erroneously specified as the specific target, and the area determined to be properly specified and the area determined to be erroneously specified. It is configured to derive the goodness-of-fit information based on
The adjusting means is configured to perform the adjusting process based on the conformance information.
Parameter adjustment system for specific algorithms.
前記特定処理を実行した後に、前記特定対象が写る特定元画像に基づいて、前記特定対象よりも大きく且つ前記特定対象を取り囲む領域である判定エリアが導出されている状態で、前記候補領域のうちの前記判定エリア内に含まれる領域を、前記特定対象に該当する領域として適正に特定されている領域であると判断し、前記候補領域のうちの前記判定エリア外の領域を、誤って前記特定対象として特定された領域であると判断し、適正に特定されていると判断された領域の広さと、誤って特定されたと判断された領域の広さとに基づいて、前記候補領域と前記判定エリアとの適合度を示す適合情報を導出し、
該適合情報に基づいてパラメータの調整に関する調整処理を実行する、
特定アルゴリズム用のパラメータ調整方法。 By the specific process of specifying the area where the specific target is captured from the inspection image, the reference region, which is the region where the candidate for the specific target itself is captured, and the region where the candidate itself is captured are expanded based on the inspection image. It is a parameter adjustment method for a specific algorithm that executes a specific process for creating a candidate specific image that specifies a candidate area including an expansion area spread around the reference area.
Of the candidate regions, after the specific processing is executed, a determination area that is larger than the specific target and is a region surrounding the specific target is derived based on the specific source image in which the specific target is captured. The area included in the determination area is determined to be an area appropriately specified as the area corresponding to the specific target, and the area outside the determination area among the candidate areas is erroneously specified. The candidate area and the determination area are based on the size of the area determined to be the target area and determined to be properly specified and the area determined to be erroneously specified. Derivation of conformity information indicating the degree of conformity with
An adjustment process related to parameter adjustment is executed based on the conformity information.
Parameter adjustment method for a specific algorithm.
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| JP2009210309A (en) * | 2008-03-03 | 2009-09-17 | Hitachi High-Technologies Corp | Defect inspection device, and parameter adjusting method used for defect inspection device |
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| JP2009210309A (en) * | 2008-03-03 | 2009-09-17 | Hitachi High-Technologies Corp | Defect inspection device, and parameter adjusting method used for defect inspection device |
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