JP2020183512A - 導電性組成物、導電体及び積層体 - Google Patents

Abstract

【課題】ろ過工程におけるフィルター通過性（ろ過性）に優れる導電性組成物の提供。【解決手段】酸性基を有する導電性物質（Ａ）と、式（Ｉ）で表される塩基性化合物（Ｂ）とを含む導電性組成物。式（Ｉ）中、Ｒ４１、Ｒ４２は、各々独立に、水素原子、又は炭素数１〜８のアルキル基であり、Ｘは分子量１５〜５０００の親水性官能基である。【選択図】なし

Description

本発明は導電性組成物、並びにこれを用いた導電体及び積層体に関する。

荷電粒子線を用いた光リソグラフィーのパターン形成技術は、基材の帯電（チャージア
ップ）によって荷電粒子線の軌道が曲げられ、所望のパターンが得られにくい。そのため
、導電性ポリマーを含む導電性組成物をレジスト層の表面に塗布して塗膜を形成し、帯電
防止機能を付与する技術が知られている。

一般に、導電性組成物は、導電性向上や塗布性向上を目的に塩基を加えて適切なｐＨ制
御を行っている。
例えば特許文献１には、酸性基を有する導電性ポリマーと、塩基性化合物として第４級
アンモニウム塩を含む導電性組成物が記載されている。実施例及び比較例には、水酸化テ
トラブチルアンモニウム（ＴＢＡＨ）などの窒素原子に炭素数３以上のアルキル基が結合
した第４級アンモニウム塩の方が、水酸化テトラエチルアンモニウム（ＴＥＡＨ）等の窒
素原子に結合したアルキル基の炭素数が２以下である第４級アンモニウム塩に比べて、塗
布性に優れることが示されている。

特開２０１７−１７１９４０号公報

酸性基を有する導電性ポリマーは、分子鎖に含まれるアミンと酸が相互作用することに
より凝集し、導電性組成物に異物を生じる可能性がある。導電性組成物に異物が含まれて
いると、電子線による描画後にラインの断線等の問題が生じやすい。そのため、導電性組
成物は、レジスト層上に塗布する前にろ過される。
発明者等の知見によれば、特許文献１の実施例に記載されているような、酸性基を有す
る導電性ポリマーと、窒素原子に炭素数３以上のアルキル基が結合した第４級アンモニウ
ム塩とを含む導電性組成物は、ろ過工程におけるフィルター通過性が劣り、生産性に課題
がある。
本発明は、ろ過工程におけるフィルター通過性（ろ過性）を向上できる導電性組成物、
並びにこれを用いた導電体及び積層体を提供する。

本発明は以下の態様を有する。
［１］ 酸性基を有する導電性物質（Ａ）と、下記式（Ｉ）で表される塩基性化合物（
Ｂ）とを含む導電性組成物。

（式（Ｉ）中、Ｒ_４１、Ｒ_４２は、各々独立に、水素原子、又は炭素数１〜８の直鎖状若
しくは分岐鎖状のアルキル基であり、Ｘは分子量１５〜５０００の親水性官能基である。
）
［２］ 前記導電性物質（Ａ）が、下記式（１）で表される繰り返し単位を有する導電
性ポリマー（ａ）である、［１］の導電性組成物。

（式（１）中、Ｒ_１〜Ｒ_４は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜２４の直鎖状若しくは
分岐鎖状のアルキル基、炭素数１〜２４の直鎖状若しくは分岐鎖状のアルコキシ基、酸性
基、ヒドロキシ基、ニトロ基、又はハロゲン原子を表し、Ｒ_１〜Ｒ_４のうちの少なくとも
１つは酸性基又はその塩であり、前記酸性基は、スルホン酸基又はカルボキシ基である。
）
［３］ 前記親水性官能基が、水酸基、ニトリル基、イミノ基、アミド基、カルボニル
基、スルホニル基、テトラヒドロフルフリル基、ポリオキシアルキレン構造、ピロリドン
構造、モルホリン構造、ジオキサン構造、及びハロゲン原子からなる群から選ばれる１種
以上を含む１価基である、［１］又は［２］の導電性組成物。
［４］ 前記Ｒ_４１、Ｒ_４２が、各々独立に、水素原子、メチル基、エチル基、プロピ
ル基、又はブチル基である、［１］〜［３］のいずれかの導電性組成物。
［５］ 基材と、前記基材の少なくとも１つの面上に、［１］〜［４］のいずれかの導
電性組成物を塗布することにより形成された塗膜とを含む、導電体。
［６］ 基材と、前記基材の少なくとも１つの面上に形成されたレジスト層と、前記レ
ジスト層上に、［１］〜［４］のいずれかの導電性組成物を塗布することにより形成され
た塗膜とを含む、積層体。

本発明によれば、ろ過工程におけるフィルター通過性を向上できる導電性組成物、並び
にこれを用いた導電体及び積層体が得られる。

以下、本発明を詳細に説明する。以下の実施の形態は、本発明を説明するための単なる
例示であって、本発明をこの実施の形態にのみ限定することは意図されない。本発明は、
その趣旨を逸脱しない限り、様々な態様で実施することが可能である。

本明細書における下記の用語の意味は以下の通りである。
「導電性」とは、１×１０^１１Ω／□以下の表面抵抗値を有することである。表面抵抗
値は、一定の電流を流した場合の電極間の電位差より求められる。
「導電体」とは、前記導電性を有する部分を含む製品を意味する。
「溶解性」とは、単なる水、塩基及び塩基性塩の少なくとも一方を含む水、酸を含む水
、及び水と水溶性有機溶媒との混合物から選ばれる少なくとも１種の溶媒に対して、溶媒
１０ｇ（液温２５℃）に０．１ｇ以上均一に溶解することを意味する。「均一に溶解」と
は、試料が溶液中に分散し、沈殿しない状態であって、溶液のどの部分においても濃度が
同じであることを意味する。
「水溶性」とは、上記溶解性に関して、水に対する溶解性を有することを意味する。
「質量平均分子量」とは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）によって
測定される質量平均分子量（ポリスチレンスルホン酸ナトリウム換算）である。質量平均
分子量を「Ｍｗ」と記載することもある。

＜導電性組成物＞
本実施形態の導電性組成物は、酸性基を有する導電性物質（Ａ）と塩基性化合物（Ｂ）
とを含む。さらに溶剤（Ｃ）を含むことが好ましい。

［導電性物質（Ａ）］
導電性物質（Ａ）としては、酸性基を有する導電性ポリマー（ａ）、酸性基を有するイ
オン性液体、酸性基を有するイオン系ポリマー等が挙げられる。これらは単独で、又は組
み合わせて使用できる。
導電性物質（Ａ）の酸性基は、スルホン酸基、及びカルボキシ基からなる群より選択さ
れる１種以上が好ましい。
導電性や溶解性の点で、導電性物質（Ａ）が導電性ポリマー（ａ）であることが好まし
い。

［導電性ポリマー（ａ）］
導電性ポリマー（ａ）は公知のものを使用できる。例えば、導電性に優れる観点から、
ポリピロール類、ポリチオフェン類、ポリアニリン類が好ましい。
具体的には、特開昭６１−１９７６３３号公報、特開昭６３−３９９１６号公報、特開
平１−３０１７１４号公報、特開平５−５０４１５３号公報、特開平５−５０３９５３号
公報、特開平４−３２８４８号公報、特開平４−３２８１８１号公報、特開平６−１４５
３８６号公報、特開平６−５６９８７号公報、特開平５−２２６２３８号公報、特開平５
−１７８９８９号公報、特開平６−２９３８２８号公報、特開平７−１１８５２４号公報
、特開平６−３２８４５号公報、特開平６−８７９４９号公報、特開平６−２５６５１６
号公報、特開平７−４１７５６号公報、特開平７−４８４３６号公報、特開平４−２６８
３３１号公報に示された導電性ポリマー等が、溶解性の観点から好ましい。

導電性ポリマー（ａ）として、具体的には、結合手のα位若しくはβ位が、スルホン酸
基、及びカルボキシ基からなる群から選択される少なくとも１つの基で置換された、フェ
ニレンビニレン、ビニレン、チエニレン、ピロリレン、フェニレン、イミノフェニレン、
イソチアナフテン、フリレン、及びカルバゾリレンからなる群より選択される少なくとも
１つの基を、導電性ポリマーの繰り返し単位として含む、π共役系導電性ポリマーが挙げ
られる。
また、前記π共役系導電性ポリマーが、イミノフェニレン、及びガルバゾリレンからな
る群より選択される少なくとも１つの基を繰り返し単位として含む場合は、前記繰り返し
単位の窒素原子上に、スルホン酸基、及びカルボキシ基からなる群より選択される少なく
とも１つの基を有する導電性ポリマー、又は前記繰り返し単位の窒素原子上に、スルホン
酸基、及びカルボキシ基からなる群より選択される少なくとも１つの基で置換されたアル
キル基、若しくはエーテル結合を含むアルキル基を有する導電性ポリマーが挙げられる。
この中でも、導電性や溶解性の観点から、結合手のβ位がスルホン酸基、及びカルボキ
シ基からなる群より選択される少なくとも１つの基で置換されたチエニレン、ピロリレン
、イミノフェニレン、フェニレンビニレン、カルバゾリレン、及びイソチアナフテンから
なる群から選択される少なくとも１つの基を、導電性ポリマーの繰り返し単位として含む
導電性ポリマーが好ましい。

本実施形態に係る導電性ポリマー（ａ）は、導電性や溶解性の観点から、下記式（１）
で表される繰り返し単位を有することが好ましい。

式（１）中、Ｒ_１〜Ｒ_４は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜２４の直鎖状若しくは
分岐鎖状のアルキル基、炭素数１〜２４の直鎖状若しくは分岐鎖状のアルコキシ基、酸性
基、ヒドロキシ基、ニトロ基、又はハロゲン原子（即ち、−Ｆ、−Ｃｌ、−Ｂｒ又はＩ）
を表し；かつＲ_１〜Ｒ_４のうちの少なくとも一つは酸性基又はその塩であり；前記酸性基
は、スルホン酸基又はカルボキシ基である。
ここで、スルホン酸基、及びカルボキシ基は、それぞれ酸の状態（即ち、−ＳＯ_３Ｈ、
及び−ＣＯＯＨ）で含まれていてもよく、イオンの状態（即ち、−ＳＯ_３ ⁻、及び−ＣＯ
Ｏ⁻）で含まれていてもよい。
また、「塩」とは、アルカリ金属塩、アルカリ土類金属塩、アンモニウム塩及び置換ア
ンモニウム塩からなる群より選択される少なくとも一つの塩を示す。
前記式（１）で表される繰り返し単位としては、製造が容易な点で、Ｒ_１〜Ｒ_４のうち
、いずれか１つの基が炭素数１〜４の直鎖状又は分岐鎖状のアルコキシ基であり、その他
のいずれか一つの基がスルホン酸基であり、さらにその残りの基が水素原子である繰り返
し単位が好ましい。
また、導電性ポリマー（ａ）は、導電性や溶解性の観点から、下記式（４）〜（６）で
表される繰り返し単位からなる群より選択される少なくとも１つの繰り返し単位を含むこ
とが好ましい。

前記式（４）〜（６）において、Ｘは硫黄原子、又は−ＮＨ−を表す。
Ｒ_５〜Ｒ_１５は各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、−ＳＯ_３Ｈ、−Ｒ_１６ＳＯ_３Ｈ
、−ＯＣＨ_３、−ＣＨ_３、−Ｃ_２Ｈ_５、−Ｆ、−Ｃｌ、−Ｂｒ、−Ｉ、−Ｎ（Ｒ_１７）_２
、−ＮＨＣＯＲ_１７、−ＯＨ，−Ｏ−、−ＳＲ_１７、−ＯＲ_１７、−ＯＣＯＲ_１７、−Ｎ
Ｏ_２、−ＣＯＯＨ、−Ｒ_１６ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ_１７、−ＣＯＲ_１７、−ＣＨＯ、又は
−ＣＮを表す。
ここで、Ｒ_１６は炭素数１〜２４のアルキレン基、炭素数１〜２４のアリーレン基、又
は炭素数１〜２４のアラルキレン基を表す。
Ｒ_１７は炭素数１〜２４のアルキル基、炭素数１〜２４のアリール基、又は炭素数１〜
２４のアラルキル基を表す。
但し、式（４）のＲ_５〜Ｒ_６、式（５）のＲ_７〜Ｒ_１０、及び式（６）のＲ_１１〜Ｒ_１
５のそれぞれにおいて、少なくとも一つの基は、−ＳＯ_３Ｈ、−Ｒ_１６ＳＯ_３Ｈ、−ＣＯ
ＯＨ、−Ｒ_１６ＣＯＯＨ、又はこれらのアルカリ金属塩、アンモニウム塩、及び置換アン
モニウム塩からなる群より選択される基である。

導電性ポリマー（ａ）において、ポリマー中の芳香環の総数（総モル数）に対するスル
ホン酸基、及びカルボキシ基の含有量は５０モル％以上であることが好ましく、７０モル
％以上がより好ましく、９０モル％以上が更に好ましく、１００モル％が最も好ましい。
前記含有量が５０モル％以上の導電性ポリマーであれば、溶解性が非常に良好となるため
好ましい。
前記含有量は、導電性ポリマー（ａ）製造時の、モノマーの仕込み比から算出した値の
ことを指す。

また、導電性ポリマー（ａ）において、繰り返し単位の芳香環上のスルホン酸基、又は
カルボキシ基以外の置換基は、モノマーへの反応性付与の観点から電子供与性基が好まし
く、具体的には、炭素数１〜２４のアルキル基、炭素数１〜２４のアルコキシ基、ハロゲ
ン基（−Ｆ、−Ｃｌ、−Ｂｒ又はＩ）等が好ましく、このうち、電子供与性の観点から、
炭素数１〜２４のアルコキシ基であることが最も好ましい。

本実施形態に係る導電性ポリマー（ａ）において、上述した繰り返し単位の組み合わせ
の中でも、溶解性の観点から、下記式（７）の構造式を有するポリマーであることが好ま
しく、前記式（７）の構造式を有するポリマーの中でも、ポリ（２−スルホ−５−メトキ
シ−１，４−イミノフェニレン）が特に好ましい。

式（７）中、Ｒ_１８〜Ｒ_３３は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜４の直鎖状又は分
岐鎖状のアルキル基、炭素数１〜４の直鎖状又は分岐鎖状のアルコキシ基、酸性基、水酸
基、ニトロ基、ハロゲン（即ち、−Ｆ、−Ｃｌ、−Ｂｒ又はＩ）を表し、但し、Ｒ_１８〜
Ｒ_３３のうち少なくとも一つの基は酸性基である。また、ｎは重合度を示す。本実施形態
において、ｎは５〜２５００の整数であることが好ましい。Ｒ_１８〜Ｒ_３３の酸性基は、
前記酸性基と同様である。

本実施形態に係る導電性ポリマー（ａ）に含有される酸性基は、導電性向上の観点から
少なくともその一部が遊離酸型であることが望ましい。
また、導電性ポリマー（ａ）の質量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロ
マトグラフィ（以下、「ＧＰＣ」という）のポリスチレンスルホン酸ナトリウム換算で、
導電性、溶解性及び成膜性の観点から、２０００〜１００万であることが好ましく、３０
００〜８０万であることがより好ましく、５０００〜５０万であることがさらに好ましく
、１万〜１０万であることが特に好ましい。
導電性ポリマー（ａ）の質量平均分子量が２０００未満の場合、溶解性には優れるもの
の、導電性、及び塗布性が不足する場合がある。
一方、質量平均分子量が１００万より大きい場合、導電性には優れるものの、溶解性が
不十分な場合がある。
ここで、「塗布性」とは、ハジキ等が無い均一な膜となる性質のことを意味し、ガラス
上へのスピンコート等の方法で評価することができる。

導電性ポリマー（ａ）の製造方法としては、公知の方法を用いることができ、本発明の
効果を有する限り特に限定はされない。
具体的には、前述の繰り返し単位を有する重合性単量体を化学酸化法、電解酸化法等の
各種合成法により重合する方法等が挙げられる。このような方法としては、例えば本発明
者らが提案した特開平７−１９６７９１号公報、特開平７−３２４１３２号公報に記載の
合成法等を適用することができる。

本実施形態の導電性組成物において、導電性ポリマー（ａ）の含有量は、導電性組成物
の総質量（１００質量％）に対して、０．０１〜５０質量％であることが好ましく、０．
０５〜２０質量％であることがより好ましい。

導電性ポリマー（ａ）として用いるπ共役系導電性ポリマーのより具体的な例として、
ポリチオフェン類としては、ポリチオフェン、ポリ（３−メチルチオフェン）、ポリ（３
−エチルチオフェン）、ポリ（３−プロピルチオフェン）、ポリ（３−ブチルチオフェン
）、ポリ（３−ヘキシルチオフェン）、ポリ（３−ヘプチルチオフェン）、ポリ（３−オ
クチルチオフェン）、ポリ（３−デシルチオフェン）、ポリ（３−ドデシルチオフェン）
、ポリ（３−オクタデシルチオフェン）、ポリ（３−ブロモチオフェン）、ポリ（３−ク
ロロチオフェン）、ポリ（３−ヨードチオフェン）、ポリ（３−シアノチオフェン）、ポ
リ（３−フェニルチオフェン）、ポリ（３，４−ジメチルチオフェン）、ポリ（３，４−
ジブチルチオフェン）、ポリ（３−ヒドロキシチオフェン）、ポリ（３−メトキシチオフ
ェン）、ポリ（３−エトキシチオフェン）、ポリ（３−ブトキシチオフェン）、ポリ（３
−ヘキシルオキシチオフェン）、ポリ（３−ヘプチルオキシチオフェン）、ポリ（３−オ
クチルオキシチオフェン）、ポリ（３−デシルオキシチオフェン）、ポリ（３−ドデシル
オキシチオフェン）、ポリ（３−オクタデシルオキシチオフェン）、ポリ（３，４−ジヒ
ドロキシチオフェン）、ポリ（３，４−ジメトキシチオフェン）、ポリ（３，４−ジエト
キシチオフェン）、ポリ（３，４−ジプロポキシチオフェン）、ポリ（３，４−ジブトキ
シチオフェン）、ポリ（３，４−ジヘキシルオキシチオフェン）、ポリ（３，４−ジヘプ
チルオキシチオフェン）、ポリ（３，４−ジオクチルオキシチオフェン）、ポリ（３，４
−ジデシルオキシチオフェン）、ポリ（３，４−ジドデシルオキシチオフェン）、ポリ（
３，４−エチレンジオキシチオフェン）、ポリ（３，４−プロピレンジオキシチオフェン
）、ポリ（３，４−ブテンジオキシチオフェン）、ポリ（３−メチル−４−メトキシチオ
フェン）、ポリ（３−メチル−４−エトキシチオフェン）、ポリ（３−カルボキシチオフ
ェン）、ポリ（３−メチル−４−カルボキシチオフェン）、ポリ（３−メチル−４−カル
ボキシエチルチオフェン）、及びポリ（３−メチル−４−カルボキシブチルチオフェン）
が挙げられる。

ポリピロール類としては、ポリピロール、ポリ（Ｎ−メチルピロール）、ポリ（３−メ
チルピロール）、ポリ（３−エチルピロール）、ポリ（３−ｎ−プロピルピロール）、ポ
リ（３−ブチルピロール）、ポリ（３−オクチルピロール）、ポリ（３−デシルピロール
）、ポリ（３−ドデシルピロール）、ポリ（３，４−ジメチルピロール）、ポリ（３，４
−ジブチルピロール）、ポリ（３−カルボキシピロール）、ポリ（３−メチル−４−カル
ボキシピロール）、ポリ（３−メチル−４−カルボキシエチルピロール）、ポリ（３−メ
チル−４−カルボキシブチルピロール）、ポリ（３−ヒドロキシピロール）、ポリ（３−
メトキシピロール）、ポリ（３−エトキシピロール）、ポリ（３−ブトキシピロール）、
ポリ（３−ヘキシルオキシピロール）、ポリ（３−メチル−４−ヘキシルオキシピロール
）、及びポリ（３−メチル−４−ヘキシルオキシピロール）が挙げられる。

ポリアニリン類としては、ポリアニリン、ポリ（２−メチルアニリン）、ポリ（３−イ
ソブチルアニリン）、ポリ（２−アニリンスルホン酸）、ポリ（３−アニリンスルホン酸
）、ポリ（２−アミノアニソール−４−スルホン酸）が挙げられる。

［イオン性液体］
導電性物質（Ａ）として用いるイオン性液体としては、常温で液体のイミダゾリウム塩
、ピリジニウム塩、アンモニウム塩及びホスホニウム塩等の有機化合物塩等であって、常
温で液体のイオン性液体が好ましく用いられる。
イミダゾリウム塩であるイオン性液体としては、例えば、１，３−ジメチルイミダゾリ
ウム・メチルスルファート、１−エチル−３−メチルイミダゾリウム・ビス（ペンタフル
オロエチルスルホニル）イミド、１−エチル−３−メチルイミダゾリウム・ビス（トリフ
ルオロエチルスルホニル）イミド、１−エチル−３−メチルイミダゾリウム・ブロミド、
１−エチル−３−メチルイミダゾリウムクロライド、１−エチル−３−メチルイミダゾリ
ウムナイトレイト、１−エチル−３−メチルイミダゾリウムヘキサフルオロフォスフェイ
ト、１−エチル−３−メチルイミダゾリウム・クロリド、１−エチル−３−メチルイミダ
ゾリウム・ニトラート、１−エチル−３−メチルイミダゾリウム・ヘキサフルオロホスフ
ァート、１−エチル−３−メチルイミダゾリウム・テトラフルオロボラート、１−エチル
−３−メチルイミダゾリウム・トシラート、１−エチル−３−メチルイミダゾリウム・ト
リフルオロメタンスルホナート、１−ｎ−ブチル−３−メチルイミダゾリウム・トリフル
オロメタンスルホナート、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウム・ビス（トリフルオロ
メチルスルホニル）イミド、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウム・ブロミド、１−ブ
チル−３−メチルイミダゾリウム・クロリド、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウム・
ヘキサフルオロホスファート、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウム・２−（２−メト
キシエトキシ）エチルスルファート、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウム・メチルス
ルファート、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウム・テトラフルオロボラート、１−ヘ
キシル−３−メチルイミダゾリウム・クロリド、１−ヘキシル−３−メチルイミダゾリウ
ム・ヘキサフルオロホスファート、１−ヘキシル−３−メチルイミダゾリウム・テトラフ
ルオロボラート、１−メチル−３−オクチルイミダゾリウム・クロリド、１−メチル−３
−オクチルイミダゾリウム・テトラフルオロボラート、１，２−ジメチル−３−プロピル
オクチルイミダゾリウム・トリス（トリフルオロメチルスルフォニル）メチド、１−ブチ
ル−２，３−ジメチルイミダゾリウム・クロリド、１−ブチル−２，３−ジメチルイミダ
ゾリウム・ヘキサフルオロホスファート、１−ブチル−２，３−ジメチルイミダゾリウム
・テトラフルオロボラート、１−メチル−３−（３，３，４，４，５，５，６，６，７，
７，８，８，８−トリデカフルオロオクチル）イミダゾリウム・ヘキサフルオロホスファ
ート、及び１−ブチル−３−（３，３，４，４，５，５，６，６，７，７，８，８，８−
トリデカフルオロオクチル）イミダゾリウム・ヘキサフルオロホスファート等が挙げられ
る。

ピリジニウム塩であるイオン性液体としては、例えば、３−メチル−１−プロピルピリ
ジニウム・ビス（トリフルオロメチルスルホニル）イミド、１−ブチル−３−メチルピリ
ジニウム・ビス（トリフルオロメチルスルホニル）イミド、１−プロピル−３−メチルピ
リジニウム・トリフルオロメタンスルホナート、１−ブチル−３−メチルピリジニウム・
トリフルオロメタンスルホナート、１−ブチル−４−メチルピリジニウム・ブロミド、１
−ブチル−４−メチルピリジニウム・クロリド、１−ブチル−４−メチルピリジニウム・
ヘキサフルオロホスファート及び１−ブチル−４−メチルピリジニウム・テトラフルオロ
ボラート等が挙げられる。

アンモニウム塩であるイオン性液体としては、例えば、テトラブチルアンモニウム・ヘ
プタデカフルオロオクタンスルホナート、テトラブチルアンモニウム・ノナフルオロブタ
ンスルホナート、テトラペンチルアンモニウム・メタンスルホナート、テトラペンチルア
ンモニウム・チオシアナート、及びメチル−トリ−ｎ−ブチルアンモニウム・メチルスル
ファート等が挙げられる。

ホスホニウム塩であるイオン性液体としては、例えば、テトラブチルホスホニウム・メ
タンスルホナート、テトラブチルホスホニウムニウム・ｐ−トルエンスルホナート、トリ
ヘキシルテトラデシルホスホニウム・ビス（トリフルオロエチルスルホニル）イミド、ト
リヘキシルテトラデシルホスホニウム・ビス（２，４，４−トリメチルペンチル）ホスフ
ィナート、トリヘキシルテトラデシルホスホニウム・ブロミド、トリヘキシルテトラデシ
ルホスホニウム・クロリド、トリヘキシルテトラデシルホスホニウム・デカノアート、ト
リヘキシルテトラデシルホスホニウム・ヘキサフルオロホスフィナート、トリエチルテト
ラデシルホスホニウム・テトラフルオロボラート及びトリブチルメチルホスホニウム・ト
シラート等が挙げられる。

［イオン性ポリマー］
導電性物質（Ａ）として用いるイオン性ポリマー（以下、イオン性高分子化合物という
こともある）としては、特公昭４９−２３８２８号、同４９−２３８２７号、同４７−２
８９３７号にみられるようなアニオン性高分子化合物：特公昭５５−７３４号、特開昭５
０−５４６７２号、特公昭５９−１４７３５号、同５７−１８１７５号、同５７−１８１
７６号、同５７−５６０５９号等にみられるような、主鎖中に解離基をもつアイオネン型
ポリマー：特公昭５３−１３２２３号、同５７−１５３７６号、特開昭５３−４５２３１
号、同５５−１４５７８３号、同５５−６５９５０号、同５５−６７７４６号、同５７−
１１３４２号、同５７−１９７３５号、特公昭５８−５６８５８号にみられるような、側
鎖中にカチオン性解離基をもつカチオン性ペンダント型ポリマー：等を挙げることができ
る。

＜塩基性化合物（Ｂ）＞
塩基性化合物（Ｂ）は、下記式（Ｉ）で表される化合物である。
式（Ｉ）において、Ｒ_４１、Ｒ_４２は、各々独立に、水素原子、又は炭素数１〜８の直
鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基である。ろ過工程でのフィルター通過性の点で、Ｒ_４
１、Ｒ_４２が、各々独立に、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、又はブチル基
であることが好ましい。前記プロピル基はｎ−プロピル基が好ましい。前記ブチル基はｎ
−ブチル基が好ましい。
式（Ｉ）において、Ｘは分子量１５〜５０００の親水性官能基である。親水性官能基と
しては、水酸基、ニトリル基、イミノ基、アミド基、カルボニル基、スルホニル基、テト
ラヒドロフルフリル基、ポリオキシアルキレン構造、ピロリドン構造、モルホリン構造、
ジオキサン構造、及びハロゲン原子からなる群から選ばれる１種以上を含む１価基が好ま
しい。
この中でも、導電性物質（Ａ）や高分子化合物（Ｄ）と親和性が高く、平滑でレジスト
等の積層物への影響が少ない点から、Ｘは水酸基、ニトリル基、テトラヒドロフルフリル
基、ポリオキシアルキレン基、ピロリドン基、モルホリン基、ジオキサン構造を有する官
能基であることが好ましい。
Ｘの分子量は塗膜の表面平滑性の点で１５〜４０００が好ましく、２６〜４０００がよ
り好ましく、２６〜３０００がさらに好ましい。
なお、Ｘが重合鎖を含む場合、Ｘの分子量は、塩基性化合物（Ｂ）の質量平均分子量（
Ｍｗ）から、Ｒ_４１及びＲ_４２の式量とＮの原子量の合計を差し引いた値とする。

導電性組成物のｐＨを調整する塩基性化合物として、式（Ｉ）で表される化合物を用い
ることにより、ろ過性が向上する。その理由としては、式（Ｉ）で表される化合物は、立
体障害が少ないため、窒素原子の孤立電子対が導電性物質（Ａ）中の酸性基へ効率良く作
用することで、導電性物質（Ａ）が塊状になり難いためと考えられる。
また、塩基性化合物（Ｂ）は親水性官能基（Ｘ）を有するため、基材に塗布されたレジ
スト等の積層物への影響が少ない。

塩基性化合物（Ｂ）として、具体的には以下の化合物が好ましい。
１−アミノメタノール、２−アミノメタノール、１−メチルアミノメタノール、2−メ
チルアミノメタノール、１−ジメチルアミノメタノール、２−ジメチルアミノメタノール
、１−エチルアミノメタノール、2−エチルアミノメタノール、１−ジエチルアミノメタ
ノール、２−ジエチルアミノメタノール、１−プロピルアミノメタノール、2−プロピル
アミノメタノール、１−ジプロピルアミノメタノール、２−ジプロピルアミノメタノール
、１−ブチルアミノメタノール、2−ブチルアミノメタノール、１−ジブチルアミノメタ
ノール、２−ジブチルアミノメタノール、１−ペンチルアミノメタノール、2−ペンチル
アミノメタノール、１−ジペンチルアミノメタノール、２−ジペンチルアミノメタノール
、１−ヘキシルアミノメタノール、2−ヘキシルアミノメタノール、１−ジヘキシルアミ
ノメタノール、２−ジヘキシルアミノメタノール、１−エチルメチルアミノメタノール、
１−メチルプロピルアミノメタノール、１−メチルブチルアミノメタノール、１−メチル
ペンチルアミノメタノール、１−メチルヘキシルアミノメタノール、１−エチルプロピル
アミノメタノール、１−エチルブチルアミノメタノール、１−エチルペンチルアミノメタ
ノール、１−エチルヘキシルアミノメタノール、１−プロピルブチルアミノメタノール、
１−プロピルペンチルアミノメタノール、１−プロピルヘキシルアミノメタノール、１−
ブチルペンチルアミノメタノール、１−ブチルヘキシルアミノメタノール、１−ペンチル
ヘキシルアミノメタノール、１−アミノエタノール、２−アミノエタノール、１−メチル
アミノエタノール、2−メチルアミノエタノール、１−ジメチルアミノエタノール、２−
ジメチルアミノエタノール、１−エチルアミノエタノール、2−エチルアミノエタノール
、１−ジエチルアミノエタノール、２−ジエチルアミノエタノール、１−プロピルアミノ
エタノール、2−プロピルアミノエタノール、１−ジプロピルアミノエタノール、２−ジ
プロピルアミノエタノール、１−ブチルアミノエタノール、2−ブチルアミノエタノール
、１−ジブチルアミノエタノール、２−ジブチルアミノエタノール、１−ペンチルアミノ
エタノール、2−ペンチルアミノエタノール、１−ジペンチルアミノエタノール、２−ジ
ペンチルアミノエタノール、１−ヘキシルアミノエタノール、2−ヘキシルアミノエタノ
ール、１−ジヘキシルアミノエタノール、２−ジヘキシルアミノエタノール、１−エチル
メチルアミノエタノール、１−メチルプロピルアミノエタノール、１−メチルブチルアミ
ノエタノール、１−メチルペンチルアミノエタノール、１−メチルヘキシルアミノエタノ
ール、１−エチルプロピルアミノエタノール、１−エチルブチルアミノエタノール、１−
エチルペンチルアミノエタノール、１−エチルヘキシルアミノエタノール、１−プロピル
ブチルアミノエタノール、１−プロピルペンチルアミノエタノール、１−プロピルヘキシ
ルアミノエタノール、１−ブチルペンチルアミノエタノール、１−ブチルヘキシルアミノ
エタノール、１−ペンチルヘキシルアミノエタノール、１−アミノプロパノール、２−ア
ミノプロパノール、１−メチルアミノプロパノール、2−メチルアミノプロパノール、１
−ジメチルアミノプロパノール、２−ジメチルアミノプロパノール、１−エチルアミノプ
ロパノール、2−エチルアミノプロパノール、１−ジエチルアミノプロパノール、２−ジ
エチルアミノプロパノール、１−プロピルアミノプロパノール、2−プロピルアミノプロ
パノール、１−ジプロピルアミノプロパノール、２−ジプロピルアミノプロパノール、１
−ブチルアミノプロパノール、2−ブチルアミノプロパノール、１−ジブチルアミノプロ
パノール、２−ジブチルアミノプロパノール、１−ペンチルアミノプロパノール、2−ペ
ンチルアミノプロパノール、１−ジペンチルアミノプロパノール、２−ジペンチルアミノ
プロパノール、１−ヘキシルアミノプロパノール、2−ヘキシルアミノプロパノール、１
−ジヘキシルアミノプロパノール、２−ジヘキシルアミノプロパノール、１−エチルメチ
ルアミノプロパノール、１−メチルプロピルアミノプロパノール、１−メチルブチルアミ
ノプロパノール、１−メチルペンチルアミノプロパノール、１−メチルヘキシルアミノプ
ロパノール、１−エチルプロピルアミノプロパノール、１−エチルブチルアミノプロパノ
ール、１−エチルペンチルアミノプロパノール、１−エチルヘキシルアミノプロパノール
、１−プロピルブチルアミノプロパノール、１−プロピルペンチルアミノプロパノール、
１−プロピルヘキシルアミノプロパノール、１−ブチルペンチルアミノプロパノール、１
−ブチルヘキシルアミノプロパノール、１−ペンチルヘキシルアミノプロパノール、１−
アミノブタノール、２−アミノブタノール、１−メチルアミノブタノール、2−メチルア
ミノブタノール、１−ジメチルアミノブタノール、２−ジメチルアミノブタノール、１−
エチルアミノブタノール、2−エチルアミノブタノール、１−ジエチルアミノブタノール
、２−ジエチルアミノブタノール、１−プロピルアミノブタノール、2−プロピルアミノ
ブタノール、１−ジプロピルアミノブタノール、２−ジプロピルアミノブタノール、１−
ブチルアミノブタノール、2−ブチルアミノブタノール、１−ジブチルアミノブタノール
、２−ジブチルアミノブタノール、１−ペンチルアミノブタノール、2−ペンチルアミノ
ブタノール、１−ジペンチルアミノブタノール、２−ジペンチルアミノブタノール、１−
ヘキシルアミノブタノール、2−ヘキシルアミノブタノール、１−ジヘキシルアミノブタ
ノール、２−ジヘキシルアミノブタノール、１−エチルメチルアミノブタノール、１−メ
チルプロピルアミノブタノール、１−メチルブチルアミノブタノール、１−メチルペンチ
ルアミノブタノール、１−メチルヘキシルアミノブタノール、１−エチルプロピルアミノ
ブタノール、１−エチルブチルアミノブタノール、１−エチルペンチルアミノブタノール
、１−エチルヘキシルアミノブタノール、１−プロピルブチルアミノブタノール、１−プ
ロピルペンチルアミノブタノール、１−プロピルヘキシルアミノブタノール、１−ブチル
ペンチルアミノブタノール、１−ブチルヘキシルアミノブタノール、１−ペンチルヘキシ
ルアミノブタノール、１−アミノペンタノール、２−アミノペンタノール、１−メチルア
ミノペンタノール、2−メチルアミノペンタノール、１−ジメチルアミノペンタノール、
２−ジメチルアミノペンタノール、１−エチルアミノペンタノール、2−エチルアミノペ
ンタノール、１−ジエチルアミノペンタノール、２−ジエチルアミノペンタノール、１−
プロピルアミノペンタノール、2−プロピルアミノペンタノール、１−ジプロピルアミノ
ペンタノール、２−ジプロピルアミノペンタノール、１−ブチルアミノペンタノール、2
−ブチルアミノペンタノール、１−ジブチルアミノペンタノール、２−ジブチルアミノペ
ンタノール、１−ペンチルアミノペンタノール、2−ペンチルアミノペンタノール、１−
ジペンチルアミノペンタノール、２−ジペンチルアミノペンタノール、１−ヘキシルアミ
ノペンタノール、2−ヘキシルアミノペンタノール、１−ジヘキシルアミノペンタノール
、２−ジヘキシルアミノペンタノール、１−エチルメチルアミノペンタノール、１−メチ
ルプロピルアミノペンタノール、１−メチルブチルアミノペンタノール、１−メチルペン
チルアミノペンタノール、１−メチルヘキシルアミノペンタノール、１−エチルプロピル
アミノペンタノール、１−エチルブチルアミノペンタノール、１−エチルペンチルアミノ
ペンタノール、１−エチルヘキシルアミノペンタノール、１−プロピルブチルアミノペン
タノール、１−プロピルペンチルアミノペンタノール、１−プロピルヘキシルアミノペン
タノール、１−ブチルペンチルアミノペンタノール、１−ブチルヘキシルアミノペンタノ
ール、１−ペンチルヘキシルアミノペンタノール、１−アミノヘキサノール、２−アミノ
ヘキサノール、１−メチルアミノヘキサノール、2−メチルアミノヘキサノール、１−ジ
メチルアミノヘキサノール、２−ジメチルアミノヘキサノール、１−エチルアミノヘキサ
ノール、2−エチルアミノヘキサノール、１−ジエチルアミノヘキサノール、２−ジエチ
ルアミノヘキサノール、１−プロピルアミノヘキサノール、2−プロピルアミノヘキサノ
ール、１−ジプロピルアミノヘキサノール、２−ジプロピルアミノヘキサノール、１−ブ
チルアミノヘキサノール、2−ブチルアミノヘキサノール、１−ジブチルアミノヘキサノ
ール、２−ジブチルアミノヘキサノール、１−ペンチルアミノヘキサノール、2−ペンチ
ルアミノヘキサノール、１−ジペンチルアミノヘキサノール、２−ジペンチルアミノヘキ
サノール、１−ヘキシルアミノヘキサノール、2−ヘキシルアミノヘキサノール、１−ジ
ヘキシルアミノヘキサノール、２−ジヘキシルアミノヘキサノール、１−エチルメチルア
ミノヘキサノール、１−メチルプロピルアミノヘキサノール、１−メチルブチルアミノヘ
キサノール、１−メチルペンチルアミノヘキサノール、１−メチルヘキシルアミノヘキサ
ノール、１−エチルプロピルアミノヘキサノール、１−エチルブチルアミノヘキサノール
、１−エチルペンチルアミノヘキサノール、１−エチルヘキシルアミノヘキサノール、１
−プロピルブチルアミノヘキサノール、１−プロピルペンチルアミノヘキサノール、１−
プロピルヘキシルアミノヘキサノール、１−ブチルペンチルアミノヘキサノール、１−ブ
チルヘキシルアミノヘキサノール、１−ペンチルヘキシルアミノヘキサノール、ポリエチ
レングリコールアミン、ポリエチレングリコールアミノメチル、ポリエチレングリコール
アミノジメチル、ポリエチレングリコールアミノエチル、ポリエチレングリコールアミノ
ジエチル、ポリエチレングリコールアミノプロピル、ポリエチレングリコールアミノジプ
ロピル、ポリエチレングリコールアミノブチル、ポリエチレングリコールアミノジブチル
、ポリエチレングリコールメチルエーテルアミン、ポリエチレングリコールメチルエーテ
ルアミノメチル、ポリエチレングリコールメチルエーテルアミノジメチル、ポリエチレン
グリコールメチルエーテルアミノエチル、ポリエチレングリコールメチルエーテルアミノ
ジエチル、ポリエチレングリコールメチルエーテルアミノプロピル、ポリエチレングリコ
ールメチルエーテルアミノジプロピル、ポリエチレングリコールメチルエーテルアミノブ
チル、ポリエチレングリコールメチルエーテルアミノジブチル、ポリエチレングリコール
エチルエーテルアミン、ポリエチレングリコールエチルエーテルアミノメチル、ポリエチ
レングリコールエチルエーテルアミノジメチル、ポリエチレングリコールエチルエーテル
アミノエチル、ポリエチレングリコールエチルエーテルアミノジエチル、ポリエチレング
リコールエチルエーテルアミノプロピル、ポリエチレングリコールエチルエーテルアミノ
ジプロピル、ポリエチレングリコールエチルエーテルアミノブチル、ポリエチレングリコ
ールエチルエーテルアミノジブチル、ポリエチレングリコールプロピルエーテルアミン、
ポリエチレングリコールプロピルエーテルアミノメチル、ポリエチレングリコールプロピ
ルエーテルアミノジメチル、ポリエチレングリコールプロピルエーテルアミノエチル、ポ
リエチレングリコールプロピルエーテルアミノジエチル、ポリエチレングリコールプロピ
ルエーテルアミノプロピル、ポリエチレングリコールプロピルエーテルアミノジプロピル
、ポリエチレングリコールプロピルエーテルアミノブチル、ポリエチレングリコールプロ
ピルエーテルアミノジブチル、ポリエチレングリコールブチルエーテルアミン、ポリエチ
レングリコールブチルエーテルアミノメチル、ポリエチレングリコールブチルエーテルア
ミノジメチル、ポリエチレングリコールブチルエーテルアミノエチル、ポリエチレングリ
コールブチルエーテルアミノジエチル、ポリエチレングリコールブチルエーテルアミノプ
ロピル、ポリエチレングリコールブチルエーテルアミノジプロピル、ポリエチレングリコ
ールブチルエーテルアミノブチル、ポリエチレングリコールブチルエーテルアミノジブチ
ル、アミノプロピルピロリドン、メチルア

ミノプロピルピロリドン、ジメチルアミノプロピルピロリドン、エチルアミノプロピルピ
ロリドン、ジエチルアミノプロピルピロリドン、プロピルアミノプロピルピロリドン、ジ
プロピルアミノプロピルピロリドン、ブチルアミノプロピルピロリドン、ジブチルアミノ
プロピルピロリドン、テトラヒドロフルフリルアミン、テトラヒドロフルフリルアミノメ
チル、テトラヒドロフルフリルアミノジメチル、テトラヒドロフルフリルアミノエチル、
テトラヒドロフルフリルアミノジエチル、テトラヒドロフルフリルアミノプロピル、テト
ラヒドロフルフリルアミノジプロピル、テトラヒドロフルフリルアミノブチル、テトラヒ
ドロフルフリルアミノジブチル、アミノエチルモルフォリン、メチルアミノモルフォリン
、ジメチルアミノモルフォリン、エチルアミノモルフォリン、ジエチルアミノモルフォリ
ン、プロピルアミノモルフォリン、ジプロピルアミノモルフォリン、ブチルアミノモルフ
ォリン、ジブチルアミノモルフォリン。
塩基性化合物（Ｂ）は１種を単独で用いてもよく、２種以上を任意の割合で混合して用
いてもよい。

導電性組成物中の塩基性化合物（Ｂ）の含有量は、中和度が５〜９５モル％となる量が
好ましく、より好ましくは１０〜９０モル％であり、さらに好ましくは２０〜８０モル％
である。
前記中和度とは、導電性組成物中に存在する、導電性物質（Ａ）の酸性基のモル数（１
００モル％）に対する、塩基性化合物（Ｂ）のモル数の比率を意味する。
塩基性化合物（Ｂ）の含有量が上記範囲内であれば、導電性組成物中で酸性基と効率よ
く相互作用する。
また、塩基性化合物（Ｂ）の含有量が上記範囲の下限値以上であると、導電性組成物を
用いて帯電防止膜を形成した際に、耐溶剤性を十分に向上できる。上限値以下であると、
帯電防止膜としての性能（導電性など）を良好に保持できる。

［溶剤（Ｃ）］
溶剤（Ｃ）としては、導電性物質（Ａ）、及び界面活性剤（Ｂ）を溶解できる溶剤であ
れば、本発明の効果を有する限り特に限定はされない。例えば、水；又は水と水溶性有機
溶媒との混合系が好ましく用いられる。
水溶性有機溶媒としては、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、プロピ
ルアルコール、ブタノール等のアルコール類、アセトン、エチルイソブチルケトン等のケ
トン類、エチレングリコール、エチレングリコールメチルエーテル等のエチレングリコー
ル類、プロピレングリコール、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコ
ールエチルエーテル、プロピレングリコールブチルエーテル、プロピレングリコールプロ
ピルエーテル等のプロピレングリコール類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミ
ド等のアミド類、Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ−エチルピロリドン等のピロリドン類等が挙
げられる。
溶剤（Ｃ）として、水と水溶性有機溶媒との混合系を用いる場合、水／水溶性有機溶媒
（質量比）＝１／１００〜１００／１が好ましく、２／１００〜１００／２がより好まし
い。
溶剤（Ｃ）の使用量は、導電性物質（Ａ）１質量部に対して２〜１００００質量部が好
ましく、５０〜１００００質量部がより好ましい。

［高分子化合物（Ｄ）］
本実施形態の導電性組成物において、塗膜強度や表面平滑性を向上させる目的で、高分
子化合物（Ｄ）を含有させることができる。高分子化合物（Ｅ）は界面活性剤（Ｂ）を含
まない。
具体的には、ポリビニールホルマール、ポリビニールブチラール等のポリビニルアルコ
ール誘導体類；ポリアクリルアミド、ポリ（Ｎ−ｔ−ブチルアクリルアミド）、ポリアク
リルアミドメチルプロパンスルホン酸等のポリアクリルアミド類；ポリビニルピロリドン
類；ポリアクリル酸類；水溶性アルキド樹脂；水溶性メラミン樹脂；水溶性尿素樹脂；水
溶性フェノール樹脂；水溶性エポキシ樹脂；水溶性ポリブタジエン樹脂；水溶性アクリル
樹脂；水溶性ウレタン樹脂；水溶性アクリルスチレン共重合体樹脂；水溶性酢酸ビニルア
クリル共重合体樹脂；水溶性ポリエステル樹脂；水溶性スチレンマレイン酸共重合樹脂；
水溶性フッ素樹脂；及びこれらの共重合体が挙げられる。

更に、本実施形態の導電性組成物は、必要に応じて顔料、消泡剤、紫外線吸収剤、酸化
防止剤、耐熱性向上剤、レベリング剤、たれ防止剤、艶消し剤、防腐剤等の各種添加剤を
含んでもよい。

［導電体、及び積層体］
本発明の一実施形態である導電体は、基材と、前記基材の少なくとも１つの面に前記導
電性組成物を塗布することにより形成された塗膜と、を含む。
また、本明細書において、前記導電体のうち、特に、基材と；前記基材の少なくとも１
つの面上に形成されたレジスト層と；前記レジスト層上に、前記導電性組成物を塗布する
ことにより形成された塗膜と；を含む場合を、積層体ということもある。

導電性組成物の基材への塗布方法としては、本発明の効果を有する限り特に限定はされ
ないが、スピンコート法、スプレーコート法、ディップコート法、ロールコート法、グラ
ビアコート法、リバースコート法、ロールブラッシュ法、エアーナイフコート法、カーテ
ンコート法等の手法が挙げられる。
基材としては、本発明の効果を有する限り特に限定されないが、ＰＥＴ、ＰＢＴ等のポ
リエステル樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレンに代表されるポリオレフィン樹脂、塩化
ビニル、ナイロン、ポリスチレン、ポリカーボネート、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、ポリ
スルホン、ポリイミド、ポリウレタン、フェノール樹脂、シリコン樹脂、合成紙等の各種
高分子化合物の成型品、及びフィルム；紙、鉄、ガラス、石英ガラス、シリコン等の各種
ウエハ、アルミニウム、銅、亜鉛、ニッケル、ステンレス鋼等を材料とする基材；及びこ
れらの基材表面に各種塗料や感光性樹脂、レジスト等がコーティングされている基材等を
例示することができる。

前記基材に導電性組成物を塗布する工程は、これら基材の製造工程、例えば一軸延伸法
、二軸延伸法、成形加工、又はエンボス加工等の工程前、又は工程中に行ってもよく、こ
れら処理工程が完了した基材に対して行うこともできる。
また、本実施形態の導電性組成物は、塗布性が良好であるので、各種塗料や、感光性材
料をコーティングした上記基材の上に、さらに導電性組成物を重ね塗りして塗膜を形成す
ることも可能である。

本実施形態の導電体は、前記導電性組成物を、前記基材の少なくとも一つの面上に塗布
、乾燥して塗膜を形成した後、常温（２０℃〜３０℃）で１分間〜６０分間放置する、あ
るいは加熱処理を行うことによって製造することができる。
加熱処理を行う場合の加熱温度としては、導電性の観点から、４０℃〜２５０℃の温度
範囲であることが好ましく、６０℃〜２００℃の温度範囲であることがより好ましい。ま
た、処理時間は、安定性の観点から１時間以内であることが好ましく、３０分以内である
ことがより好ましい。

本実施形態の導電性組成物は、導電体形成後、加熱することで、不溶性、又は剥離可能
な可溶性の塗膜（すなわち、導電性ポリマー膜）を有する導電体を形成することが可能で
ある。
これにより、永久帯電防止膜、及びプロセス上の一時的帯電防止膜の両面での適用が可
能となるという利点を有する。
すなわち、本実施形態の導電体の製造方法の１つの側面は、前記導電性組成物を、前記
基材の少なくとも一つの面上に塗布すること；
前記塗布した導電性組成物を乾燥して塗膜を形成すること；および
前記塗膜を常温（２５℃〜３０℃）で１分間〜６０分間放置する、あるいは加熱処理を
行うこと、を含み、
前記加熱処理における加熱温度は、４０℃〜２５０℃であり、前記加熱処理時間は１時
間以内である、製造方法である。

本実施形態の積層体の製造方法は、化学増幅型レジスト層を少なくとも一つの面上に有
する基材における前記化学増幅型レジスト層上に、前記導電性組成物を塗布すること；
前記塗布した導電性組成物を乾燥して塗膜を形成すること；および前記塗膜を常温（２
５℃〜３０℃）で１分間〜６０分間放置する、あるいは加熱処理を行うこと、を含み、
前記加熱処理における加熱温度は、４０℃〜２５０℃であり、
前記加熱処理時間は、１時間以内である、製造方法である。

レジスト層としては、ポジ型又はネガ型の化学増幅型レジストからなる層が挙げられる
。
ポジ型の化学増幅型レジストとしては、電子線に感度を有するものであれば特に限定さ
れず、公知のものを使用できる。典型的には、電子線の照射により酸を発生する酸発生剤
と、酸分解性基を有する構成単位を含む重合体とを含有するものが用いられる。
ネガ型の化学増幅型レジストとしては、電子線に感度を有するものであれば特に限定さ
れず、公知のものを使用できる。典型的には、電子線の照射により酸を発生する酸発生剤
と、現像液に可溶性の重合体と、架橋剤とを含有するものが用いられる。

レジスト層は、公知の方法により形成できる。例えば基材の片面上にポジ型又はネガ型
の化学増幅型レジストの有機溶剤溶液を塗布し、必要に応じて加熱（プリベーク）を行う
ことにより、ポジ型又はネガ型のレジスト層を形成する。

本実施形態の積層体の１つの側面は、少なくとも基材の１つの面上に、化学増幅型レジ
スト層と、前記化学増幅レジスト層上に、本実施形態の導電性組成物から形成される層と
を含む、マスクブランクスである。
本実施形態のマスクブランクスを用いてレジストパターンを形成する方法は、電子線描
画におけるチャージアップを防止できる。

本実施形態の導電性組成物、及びこれを用いた導電体の具体的用途としては、各種帯電
防止剤、電子線リソグラフィー時の帯電防止剤、コンデンサー、電池、ＥＭＩシールド、
化学センサー、表示素子、非線形材料、防食剤、接着剤、繊維、帯電防止塗料、防食塗料
、電着塗料、メッキプライマー、電気防食、包装材料、磁気カード、磁気テープ、磁気デ
ィスク、写真フィルム、印刷材料、離形フィルム、ヒートシールテープ・フィルム、ＩＣ
トレイ、ＩＣキャリアテープ、カバーテープ、電池等が挙げられる。
このうち、本実施形態の導電性組成物によれば、基材への影響が少ない塗膜が得られる
ため、帯電防止剤として好適に用いることができる。

以下、本発明を実施例により更に詳しく説明するが、以下の実施例は本発明の範囲を限
定するものではない。

＜ろ過性の評価方法＞
加圧ろ過装置を用い、０．０２ＭＰａの一定圧力下で、１０ｇの導電性組成物をフィル
ターに通液した。フィルターは、超高分子量ポリエチレンフィルター（製品名：ＰＣＭフ
ィルター、Ｅｎｔｅｇｒｉｓ社製、品番ＣＷＭＸ０４７００、直径４７ｍｍ、除粒子径２
０ｎｍ）を使用した。通液開始から５分後のろ過量（通液量）を測定し、ろ過流速（単位
：ｇ／分）を算出した。ろ過流速の値が大きい方がろ過工程におけるフィルター通過性（
ろ過性）に優れる。

各実施例及び比較例で使用した各成分は次の通りである。
＜導電性物質（Ａ）＞
ａ−１；ポリメトキシアニリンスルホン酸。下記製造例１で製造した導電性ポリマー（
ａ−１）、Ｍｗ１万。
＜塩基性化合物（Ｂ）＞
ｂ−１；ポリエチレングリコールメチルエーテルアミン（東京化成工業（株）製、Ｍｗ
５００）、式（Ｉ）において、Ｒ_４１、Ｒ_４２がいずれも水素原子、Ｘが−Ｏ（Ｃ_２Ｈ_４
Ｏ）ａ−ＣＨ_３である化合物。
ｂ−２；ジェファーミン１０００（製品名、巴工業（株）製、Ｍｗ１０００）、式（Ｉ
）において、Ｒ_４１、Ｒ_４２がいずれも水素原子、Ｘが−（Ｃ_２Ｈ_４Ｏ）ａ−（ＣＨ（Ｃ
Ｈ_３）ＣＨ_２Ｏ）ｂ−ＣＨ_３であり、ａ：ｂのモル比が９：１である化合物。
ｂ−３；アミノプロピルピロリドン （東京化成工業（株）製、分子量（式量）１２４
）。
ｂ−４；モノメチルアミノエタノール（東京化成工業（株）製、分子量（式量）７５）
。
ｂ−５；Ｎ−アセチルエチレンジアミン（東京化成工業（株）製、分子量（式量）１０
２）。
ｂ−６；テトラヒドロフルフリルアミン（東京化成工業（株）製、分子量（式量）１０
１）。
ｂ−７；４−（２−アミノエチル）モルフォリン（東京化成工業（株）製、分子量（式
量）１３０）。
ｂ−８；３−アミノプロピオニトリル（東京化成工業（株）製、分子量（式量）７０）
。
ｂ−９；２−ジエチルアミノエタノール（東京化成工業（株）製、分子量（式量）１１
７）。
ｂ−１０；２−（ジイソプロピルアミノ）エタノール（東京化成工業（株）製、分子量
（式量）１４５）。
ｂ−１１；２−ジメチルアミノエタノール（東京化成工業（株）製、分子量（式量）８
９）。
ｂ−１２；２−アミノエタノール（東京化成工業（株）製、分子量（式量）６１）。
ｂ−１３；２−（イソプロピルアミノ）エタノール（東京化成工業（株）製、分子量（
式量）１０３）。
ｂ−１４（比較例）；水酸化テトラブチルアンモニウム（東京化成工業（株）製、分子
量（式量）２５９）。
＜溶剤（Ｃ）＞
ｃ−１；超純水。
ｃ−２；イソプロピルアルコール。
＜高分子化合物（Ｄ）＞
ｄ−１：下記製造例２で製造した水溶性ポリマー（ｄ−１）。末端疎水基として炭素数
１２のアルキルチオ基を有するポリビニルピロリドン誘導体、Ｍｗ４４００。

（製造例１：導電性ポリマー（ａ−１）の製造）
３−アミノアニソール−４−スルホン酸１ｍｏｌを、４ｍｏｌ／Ｌのピリジンのアセト
ニトリル水溶液（水／アセトニトリル＝３：７）３００ｍＬに０℃で溶解し、モノマー溶
液を得た。別途、ペルオキソ二硫酸アンモニウム１ｍｏｌを、アセトニトリル水溶液（水
／アセトニトリル＝３：７）１Ｌに溶解し、酸化剤溶液を得た。ついで、前記酸化剤溶液
を５℃に冷却しながら、前記モノマー溶液を滴下した。滴下終了後、更に２５℃で１２時
間撹拌して、導電性ポリマーを含む反応混合物を得た。その後、前記反応混合物から導電
性ポリマーを遠心濾過器にて濾別した。得られた導電性ポリマーをメタノールにて洗浄し
た後、乾燥させ、粉末状の導電性ポリマー（ａ−１）１８５ｇを得た。得られた導電性ポ
リマー（ａ−１）のＭｗは１万であった。

（製造例２：水溶性ポリマー（ｄ−１）の製造）
ビニルモノマーとしてＮ−ビニルピロリドン５５ｇ、重合開始剤としてアゾビスイソブ
チロニトリル１ｇ、及び末端疎水性基導入のための連鎖移動剤としてｎ−ドデシルメルカ
プタン０．１６ｇを、溶剤であるイソプロピルアルコール１００ｍｌに撹拌溶解して反応
溶液を得た。その後、予め８０℃に加熱しておいたイソプロピルアルコール中に、前記反
応溶液を１ｍｌ／ｍｉｎの滴下速度で滴下し、滴下重合を行った。滴下重合は、イソプロ
ピルアルコールの温度を８０℃に保ちながら行った。滴下終了後、８０℃で更に２時間熟
成した後、放冷した。その後、減圧濃縮を行い、得られた反応物を少量のアセトンに再溶
解した。この反応物のアセトン溶液を、過剰のｎ−ヘキサンに滴下することで得られた白
色沈殿を濾別し、ｎ−ヘキサンで洗浄した後乾燥させ、４５ｇの水溶性ポリマー（ｄ−１
）を得た。

（実施例１〜１３、比較例１）
表１に示す配合で、導電性物質（Ａ）と、塩基性化合物（Ｂ）と、溶剤（Ｃ）と、高分
子化合物（Ｄ）とを混合して導電性組成物を調製した。塩基性化合物（Ｂ）の使用量は中
和度が５０モル％となるように調整した。
導電性組成物の総質量に対する、導電性物質（Ａ）、塩基性化合物（Ｂ）、溶剤（Ｃ）
の含有量を表に示す。
得られた導電性組成物について、上記の方法でろ過性について評価した。結果を表に示
す。

導電性ポリマー（ａ−１）と、前記式（Ｉ）で表される塩基性化合物（Ｂ）を用いた実
施例１〜１３は、塩基性化合物として４級アミンを用いた比較例１に比べてろ過性が向上
した。

Claims (6)

1. 酸性基を有する導電性物質（Ａ）と、下記式（Ｉ）で表される塩基性化合物（Ｂ）とを
   含む導電性組成物。
   

   

   （式（Ｉ）中、Ｒ_４１、Ｒ_４２は、各々独立に、水素原子、又は炭素数１〜８の直鎖状若
   しくは分岐鎖状のアルキル基であり、Ｘは分子量１５〜５０００の親水性官能基である。
   ）
2. 前記導電性物質（Ａ）が、下記式（１）で表される繰り返し単位を有する導電性ポリマ
   ー（ａ）である、請求項１に記載の導電性組成物。
   

   

   （式（１）中、Ｒ_１〜Ｒ_４は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜２４の直鎖状若しくは
   分岐鎖状のアルキル基、炭素数１〜２４の直鎖状若しくは分岐鎖状のアルコキシ基、酸性
   基、ヒドロキシ基、ニトロ基、又はハロゲン原子を表し、Ｒ_１〜Ｒ_４のうちの少なくとも
   １つは酸性基又はその塩であり、前記酸性基は、スルホン酸基又はカルボキシ基である。
   ）
3. 前記親水性官能基が、水酸基、ニトリル基、イミノ基、アミド基、カルボニル基、スル
   ホニル基、テトラヒドロフルフリル基、ポリオキシアルキレン構造、ピロリドン構造、モ
   ルホリン構造、ジオキサン構造、及びハロゲン原子からなる群から選ばれる１種以上を含
   む１価基である、請求項１又は２に記載の導電性組成物。
4. 前記Ｒ_４１、Ｒ_４２が、各々独立に、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、又
   はブチル基である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の導電性組成物。
5. 基材と、前記基材の少なくとも１つの面上に、請求項１〜４のいずれか一項に記載の導
   電性組成物を塗布することにより形成された塗膜とを含む、導電体。
6. 基材と、前記基材の少なくとも１つの面上に形成されたレジスト層と、前記レジスト層
   上に、請求項１〜４のいずれか一項に記載の導電性組成物を塗布することにより形成され
   た塗膜とを含む、積層体。