JP2020113767A - 半導体試料の欠陥を分類する方法およびそのシステム - Google Patents
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Abstract
Description
101 検査試験ツール
102 レビュー試験ツール
103 分類器
104 プロセッサおよびメモリ回路
105 入力インタフェース
106 出力インタフェース
107 ストレージシステム
108 GUI
109 データリポジトリ
110 設計サーバ
117 新タイプ識別エンジン
118 属性部分集合識別エンジン
119 密度関数取得エンジン
120 しきい値取得エンジン
121 密度関数適用エンジン
122 レビューデータ
123 検査命令関連データ
124 レビュー命令関連データ
125 トレーニングエンジン
126 分類エンジン
128 検査データ
200 欠陥
201 部分空間
202 部分空間
204 欠陥
208 欠陥
209 部分空間
212 欠陥
213 部分空間
Claims (9)
- 試料の欠陥を複数のクラスに分類することができるシステムであって、
複数のクラスに分類された第1の複数の第1の欠陥および第2の複数の潜在的な第2の欠陥を受け取ることであって、各第1の欠陥および各潜在的な第2の欠陥が複数の属性の各属性に対するそれぞれの値に関連付けられ、前記第1の複数が第1の属性空間によって特徴付けられ、前記第2の複数の欠陥が第2の属性空間によって特徴付けられる、受け取ることと、
前記第1の複数および第2の複数を処理して前記複数の属性から属性の部分集合を選択することであって、
各属性について、
前記第1の複数から欠陥の属性値の第1の分布を決定すること、
前記第2の複数から欠陥の属性値の第2の分布を決定すること、および
前記第1の分布と前記第2の分布の差を決定すること、
を含む、選択することと、
前記属性の部分集合を前記第1の分布と前記第2の分布の差が最も高い属性として選択することと、
前記第1の複数からの欠陥に対する前記属性の部分集合に割り当てられた値に基づいて第1の密度推定関数を取得し、前記第2の複数の欠陥に対する前記属性の部分集合に割り当てられた値に基づいて第2の密度推定関数を決定することと、
前記第1の密度推定関数に関連付けられた第1のしきい値、および前記第1の密度推定関数と前記第2の密度推定関数の組合せに関連付けられた第2のしきい値を取得することと、
前記第2の複数の各欠陥に前記第1の密度推定関数を適用して第1のスコアを取得することと、
前記第2の複数の各欠陥に前記第2の密度推定関数を適用して第2のスコアを取得することと、
前記第1のスコアと前記第2のスコアを組み合わせたスコアを決定することと、
前記第1のスコアが前記第1のしきい値よりも低い場合、または前記組み合わせたスコアが前記第2のしきい値を超える場合、前記第2の複数からの欠陥を潜在的に新しいタイプの欠陥として示すことと、
を行うように構成された処理およびメモリ回路(PMC)を備える、
システム。 - 前記第1のスコアが前記第1のしきい値よりも低い場合、前記潜在的な欠陥が外れ値として示される、請求項1に記載のシステム。
- 前記第2のスコアが前記の第2のしきい値を超える場合、前記潜在的な欠陥がエクスカーションとして示される、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の密度推定関数と前記第2の密度推定関数の前記組合せが、前記第1の密度推定関数の欠陥の第1のスコアと前記第2の密度推定関数の前記欠陥の第2のスコアとの比である、請求項1に記載のシステム。
- メモリに動作可能に接続されたプロセッサを使用して、複数の欠陥を分類する方法であって、
複数のクラスに分類された第1の複数の第1の欠陥および第2の複数の潜在的な第2の欠陥を受け取るステップであって、各第1の欠陥および各潜在的な第2の欠陥が、複数の属性の各属性に対するそれぞれの値に関連付けられ、前記第1の複数が第1の属性空間によって特徴付けられ、前記第2の複数の欠陥が第2の属性空間によって特徴付けられる、ステップと、
前記プロセッサによって前記第1の複数および第2の複数を処理して前記複数の属性から属性の部分集合を選択するステップであって、
各属性について、
前記プロセッサによって前記第1の複数から欠陥の属性値の第1の分布を決定すること、
前記プロセッサによって前記第2の複数から欠陥の属性値の第2の分布を決定すること、および
前記プロセッサによって前記第1の分布と前記第2の分布の差を決定すること、
を含む、選択するステップと、
前記プロセッサによって前記属性の部分集合を前記第1の分布と前記第2の分布の差が最も高い属性として選択するステップと、
前記プロセッサによって前記第1の複数からの欠陥に対する前記属性の部分集合に割り当てられた値に基づいて第1の密度推定関数を取得し、前記第2の複数の欠陥に対する前記属性の部分集合に割り当てられた値に基づいて第2の密度推定関数を決定するステップと、
前記プロセッサによって前記第1の密度推定関数に関連付けられた第1のしきい値、および前記第1の密度推定関数と前記第2の密度推定関数の組合せに関連付けられた第2のしきい値を取得するステップと、
前記プロセッサによって前記第2の複数の各欠陥に前記第1の密度推定関数を適用して第1のスコアを取得するステップと、
前記プロセッサによって前記第2の複数の各欠陥に前記第2の密度推定関数を適用して第2のスコアを取得するステップと、
前記プロセッサによって前記第1のスコアと前記第2のスコアを組み合わせたスコアを決定するステップと、
前記第1のスコアが前記第1のしきい値よりも低い場合、または前記組み合わせたスコアが前記第2のしきい値を超える場合、前記第2の複数からの欠陥を潜在的に新しいタイプの欠陥として示すステップと、
を含む方法。 - 前記第1のスコアが前記第1のしきい値よりも低い場合、前記潜在的な欠陥が外れ値として示される、請求項5に記載の方法。
- 前記第2のスコアが前記の第2のしきい値を超える場合、前記潜在的な欠陥がエクスカーションとして示される、請求項5に記載の方法。
- 前記第1の密度推定関数と前記第2の密度推定関数の前記組合せが、前記第1の密度推定関数の欠陥の第1のスコアと前記第2の密度推定関数の前記欠陥の第2のスコアとの比である、請求項5に記載の方法。
- コンピュータによって実行されると、前記コンピュータに、試料の欠陥を複数のクラスに自動分類する方法を実行させる命令を含む非一時的コンピュータ可読媒体であって、前記方法が、
プロセッサによって複数のクラスに分類された第1の複数の第1の欠陥および第2の複数の潜在的な第2の欠陥を受け取るステップであり、各第1の欠陥および各潜在的な第2の欠陥が、複数の属性の各属性に対するそれぞれの値に関連付けられ、前記第1の複数が第1の属性空間によって特徴付けられ、前記第2の複数の欠陥が第2の属性空間によって特徴付けられる、ステップと、
前記プロセッサによって前記第1の複数および第2の複数を処理して前記複数の属性から属性の部分集合を選択するステップであって、
各属性について、
前記プロセッサによって前記第1の複数から欠陥の属性値の第1の分布を決定すること、
前記プロセッサによって前記第2の複数から欠陥の属性値の第2の分布を決定すること、および
前記プロセッサによって前記第1の分布と前記第2の分布の差を決定すること、
を含む、選択するステップと、
前記プロセッサによって前記属性の部分集合を前記第1の分布と前記第2の分布の差が最も高い属性として選択するステップと、
前記プロセッサによって前記第1の複数からの欠陥に対する前記属性の部分集合に割り当てられた値に基づいて第1の密度推定関数を取得し、前記第2の複数の欠陥に対する前記属性の部分集合に割り当てられた値に基づいて第2の密度推定関数を決定するステップと、
前記プロセッサによって前記第1の密度推定関数に関連付けられた第1のしきい値、および前記第1の密度推定関数と前記第2の密度推定関数の組合せに関連付けられた第2のしきい値を取得するステップと、
前記プロセッサによって前記第2の複数の各欠陥に前記第1の密度推定関数を適用して第1のスコアを取得するステップと、
前記プロセッサによって前記第2の複数の各欠陥に前記第2の密度推定関数を適用して第2のスコアを取得するステップと、
前記プロセッサによって前記第1のスコアと前記第2のスコアを組み合わせたスコアを決定するステップと、
前記第1のスコアが前記第1のしきい値よりも低い場合、または前記組み合わせたスコアが前記第2のしきい値を超える場合、前記第2の複数からの欠陥を潜在的に新しいタイプの欠陥として示すステップと、
を含む、非一時的コンピュータ可読媒体。
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