JP2020107737A - P-type organic semiconductor, composition, photoelectric conversion film, photoelectric conversion element and image sensor element - Google Patents

P-type organic semiconductor, composition, photoelectric conversion film, photoelectric conversion element and image sensor element Download PDF

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Abstract

To provide a p-type organic semiconductor, a photoelectric conversion film, a photoelectric conversion element and an image sensor element which are superior in heat resistance and enable detection of near infrared light.SOLUTION: A p-type organic semiconductor comprises a derivative of tin naphthalocyanine having R1 and R2 bound to a Sn atom as an axial substituent group, where R1 and R2 independently represent a substituted or unsubstituted alkyl group with 1-30 carbon atoms. The p-type organic semiconductor is superior in heat resistance because of having R1 and R2. Therefore, even if a photoelectric conversion film including the p-type organic semiconductor is formed by a resistive heating vapor deposition method, the thermal degradation of the p-type organic semiconductor can be suppressed and thus, the conversion efficiency of a photoelectric conversion element is increased.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、p型有機半導体、組成物、光電変換膜、光電変換素子および撮像素子に関する。 The present invention relates to a p-type organic semiconductor, a composition, a photoelectric conversion film, a photoelectric conversion element and an image sensor.

有機半導体は、分子構造を変化させることで容易に特性を変化させることができるため、バリエーションが豊富である。このため、有機半導体は、無機半導体では実現することができない機能を実現することができると考えられており、盛んに研究されている。 Since organic semiconductors can easily change their characteristics by changing their molecular structures, they have a wide variety of variations. Therefore, it is considered that the organic semiconductor can realize a function that cannot be realized by the inorganic semiconductor, and thus it is actively researched.

近年、可視光による画像と、近赤外光による画像を同時に得ることが可能な撮像素子の開発が進められている。このような撮像素子は、一対の電極の間に、近赤外光を検出することが可能な半導体を含む光電変換膜が形成されている光電変換素子(受光素子)を有する。 In recent years, development of an image sensor capable of simultaneously obtaining an image by visible light and an image by near infrared light has been advanced. Such an image sensor has a photoelectric conversion element (light receiving element) in which a photoelectric conversion film including a semiconductor capable of detecting near infrared light is formed between a pair of electrodes.

ここで、無機半導体の場合は、近赤外光のみを吸収するように設計することが困難である。 Here, in the case of an inorganic semiconductor, it is difficult to design so as to absorb only near infrared light.

一方、有機半導体の場合は、近赤外光のみを吸収するように設計することができるため、近赤外光を検出することが可能な光電変換膜には、有機半導体が用いられている。 On the other hand, in the case of an organic semiconductor, since it can be designed to absorb only near infrared light, an organic semiconductor is used for the photoelectric conversion film capable of detecting near infrared light.

例えば、特許文献1では、近赤外光を検出することが可能な光電変換膜に含まれるp型有機半導体として、スズナフタロシアニンの誘導体が用いられている。 For example, in Patent Document 1, a tin naphthalocyanine derivative is used as a p-type organic semiconductor included in a photoelectric conversion film capable of detecting near infrared light.

特開2016−225456号公報JP, 2016-225456, A

ここで、特許文献1のp型有機半導体を含む光電変換膜は、抵抗加熱蒸着法により成膜することができるが、p型有機半導体が熱劣化し、その結果、光電変換素子の変換効率が低下するという問題がある。 Here, the photoelectric conversion film containing the p-type organic semiconductor of Patent Document 1 can be formed by the resistance heating vapor deposition method, but the p-type organic semiconductor is thermally deteriorated, and as a result, the conversion efficiency of the photoelectric conversion element is increased. There is a problem of decrease.

本発明の一態様は、熱耐性に優れ、近赤外光を検出することが可能なp型有機半導体を提供することを目的とする。 An object of one embodiment of the present invention is to provide a p-type organic semiconductor that has excellent heat resistance and can detect near infrared light.

本発明の一態様は、p型有機半導体において、一般式(1) One embodiment of the present invention is a p-type organic semiconductor, which has the general formula (1):

Figure 2020107737

[式中、R、Rは、それぞれ独立に、置換もしくは無置換の炭素数1〜30のアルキル基であり、R〜R26は、それぞれ独立に、水素原子、重水素原子、置換もしくは無置換のアルキル基、置換もしくは無置換のアリール基、置換もしくは無置換のアルコキシ基、置換もしくは無置換のアルキルチオ基、置換もしくは無置換のアリールオキシ基、置換もしくは無置換のアリールチオ基、置換もしくは無置換の複素環基で置換されたオキシ基、置換もしくは無置換の複素環基で置換されたチオ基、または、置換もしくは無置換のアミノ基である。]
で表される。
Figure 2020107737

[In formula, R< 1 >, R< 2 > is a substituted or unsubstituted C1-C30 alkyl group each independently, R< 3 >-R< 26 > is a hydrogen atom, a deuterium atom, a substituted each independently. Or an unsubstituted alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, a substituted or unsubstituted alkoxy group, a substituted or unsubstituted alkylthio group, a substituted or unsubstituted aryloxy group, a substituted or unsubstituted arylthio group, substituted or An oxy group substituted with an unsubstituted heterocyclic group, a thio group substituted with a substituted or unsubstituted heterocyclic group, or a substituted or unsubstituted amino group. ]
It is represented by.

本発明の一態様によれば、熱耐性に優れ、近赤外光を検出することが可能なp型有機半導体を提供することができる。 According to one embodiment of the present invention, it is possible to provide a p-type organic semiconductor that has excellent heat resistance and is capable of detecting near infrared light.

本実施形態の光電変換素子の一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the photoelectric conversion element of this embodiment. 本実施形態の光電変換素子の他の例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the other example of the photoelectric conversion element of this embodiment. 本実施形態の撮像素子の第一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the 1st example of the image sensor of this embodiment. 本実施形態の撮像素子の第二例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the 2nd example of the image sensor of this embodiment. 本実施形態の撮像素子の第三例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the 3rd example of the image sensor of this embodiment. 本実施形態の撮像素子の第三例を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the 3rd example of the image sensor of this embodiment. 本実施形態の撮像素子の第四例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the 4th example of the image sensor of this embodiment. 本実施形態の撮像素子の第五例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the 5th example of the image sensor of this embodiment. 本実施形態の撮像素子の第五例を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the 5th example of the image sensor of this embodiment.

次に、本発明を実施するための形態を説明する。 Next, a mode for carrying out the present invention will be described.

以下、図面において、複数の層および領域を明確に表現するために、厚さを拡大して示した。また、図面において、本実施形態を明確に説明するために、説明上、不必要な部分を省略した。さらに、明細書全体にわたって、同一または類似の構成要素については、同一の符号を用いた。 Hereinafter, in the drawings, in order to clearly express a plurality of layers and regions, the thickness is enlarged and shown. In addition, in the drawings, unnecessary portions are omitted for the sake of clear explanation of the present embodiment. Further, throughout the specification, the same reference numerals are used for the same or similar components.

なお、層、膜、領域、板などのある部分が他の部分の「上」にあるとする場合、ある部分が他の部分の「直上」にある場合と、ある部分と他の部分との間に、さらに他の部分が存在する場合を含む。逆に、ある部分が他の部分の「直上」にあるとする場合、ある部分と他の部分との間に、さらに他の部分が存在しないことを意味する。 In addition, when a certain part such as a layer, a film, a region, or a plate is “above” another part, a certain part is “directly above” the other part, or a certain part and another part are Including the case where another portion is present between them. On the contrary, when a certain portion is “directly above” the other portion, it means that there is no other portion between the certain portion and the other portion.

[p型有機半導体]
本実施形態のp型有機半導体は、一般式(1)
[P-type organic semiconductor]
The p-type organic semiconductor of the present embodiment has the general formula (1)

Figure 2020107737

[式中、R、Rは、それぞれ独立に、置換もしくは無置換の炭素数1〜30のアルキル基であり、R〜R26は、それぞれ独立に、水素原子、重水素原子、置換もしくは無置換のアルキル基、置換もしくは無置換のアリール基、置換もしくは無置換のアルコキシ基、置換もしくは無置換のアルキルチオ基、置換もしくは無置換のアリールオキシ基、置換もしくは無置換のアリールチオ基、置換もしくは無置換の複素環基で置換されたオキシ基、置換もしくは無置換の複素環基で置換されたチオ基、または、置換もしくは無置換のアミノ基である。]
で表される。
Figure 2020107737

[In formula, R< 1 >, R< 2 > is a substituted or unsubstituted C1-C30 alkyl group each independently, R< 3 >-R< 26 > is a hydrogen atom, a deuterium atom, a substituted each independently. Or an unsubstituted alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, a substituted or unsubstituted alkoxy group, a substituted or unsubstituted alkylthio group, a substituted or unsubstituted aryloxy group, a substituted or unsubstituted arylthio group, substituted or An oxy group substituted with an unsubstituted heterocyclic group, a thio group substituted with a substituted or unsubstituted heterocyclic group, or a substituted or unsubstituted amino group. ]
It is represented by.

本実施形態のp型有機半導体は、スズナフタロシアニンの誘導体であるため、近赤外光を検出することができる。 Since the p-type organic semiconductor of the present embodiment is a tin naphthalocyanine derivative, it can detect near infrared light.

また、本実施形態のp型有機半導体は、スズナフタロシアニンの誘導体の軸置換基として、RおよびRを有するため、熱耐性に優れる。このため、抵抗加熱蒸着法により、本実施形態のp型有機半導体を含む光電変換膜を形成しても、本実施形態のp型有機半導体の熱劣化を抑制することができ、その結果、後述する光電変換素子の変換効率が向上する。 Further, the p-type organic semiconductor of the present embodiment has R 1 and R 2 as the axial substituents of the tin naphthalocyanine derivative, and therefore has excellent heat resistance. Therefore, even if the photoelectric conversion film containing the p-type organic semiconductor of the present embodiment is formed by the resistance heating vapor deposition method, the thermal deterioration of the p-type organic semiconductor of the present embodiment can be suppressed, and as a result, it will be described later. The conversion efficiency of the photoelectric conversion element is improved.

〜R26におけるアルキル基は、直鎖状、分岐状または環状のアルキル基である。 The alkyl group in R 3 to R 26 is a linear, branched or cyclic alkyl group.

直鎖状のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、オクチル基、デシル基、ペンタデシル基などが挙げられる。 Examples of the linear alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, an octyl group, a decyl group, and a pentadecyl group.

分岐状のアルキル基としては、例えば、t−ブチル基などが挙げられる。 Examples of the branched alkyl group include t-butyl group and the like.

環状のアルキル基としては、例えば、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基などが挙げられる。 Examples of the cyclic alkyl group include a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group and a cycloheptyl group.

直鎖状または分岐状のアルキル基の炭素数は、1〜20であることが好ましく、1〜10であることがより好ましい。 The linear or branched alkyl group preferably has 1 to 20 carbon atoms, and more preferably 1 to 10 carbon atoms.

環状のアルキル基の炭素数は、3〜20であることが好ましく、3〜12であることがより好ましい。 The cyclic alkyl group preferably has 3 to 20 carbon atoms, and more preferably has 3 to 12 carbon atoms.

〜R26におけるアリール基は、単環式、非縮合多環式または縮合多環式のアリール基である。 The aryl group for R 3 to R 26 is a monocyclic, non-fused polycyclic or fused polycyclic aryl group.

単環式のアリール基としては、例えば、フェニル基などが挙げられる。 Examples of the monocyclic aryl group include a phenyl group and the like.

非縮合多環式のアリール基としては、例えば、ビフェニル基、ターフェニル基、クアテルフェニル基、キンクフェニル基、セキシフェニル基、フルオランテニル基、トリフェニレニル基などが挙げられる。 Examples of the non-fused polycyclic aryl group include a biphenyl group, a terphenyl group, a quaterphenyl group, a kink phenyl group, a sexiphenyl group, a fluoranthenyl group and a triphenylenyl group.

縮合多環式のアリール基としては、例えば、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基、フルオレニル基、インデニル基、ピレニル基、アセトナフテニル基、ビスフェニルフルオレニル基、9−(9−フルオレニル)フルオレニル基などが挙げられる。 Examples of the condensed polycyclic aryl group include a naphthyl group, anthryl group, phenanthryl group, fluorenyl group, indenyl group, pyrenyl group, acetonaphthenyl group, bisphenylfluorenyl group, 9-(9-fluorenyl)fluorenyl group and the like. Are listed.

単環式、非縮合多環式または縮合多環式のアリール基の環形成炭素数は、6〜50であることが好ましく、6〜40であることがより好ましい。 The ring-forming carbon number of the monocyclic, non-fused polycyclic or fused polycyclic aryl group is preferably 6 to 50, and more preferably 6 to 40.

〜R26のアルコキシ基、アルキルチオ基におけるアルキル基は、上述したアルキル基と同様である。 The alkoxy group of R 3 to R 26 and the alkyl group in the alkylthio group are the same as the above-mentioned alkyl groups.

〜R26のアリールオキシ基、アリールチオ基におけるアリール基は、上述したアリール基と同様である。 The aryloxy group of R 3 to R 26 and the aryl group in the arylthio group are the same as the above aryl groups.

〜R26の複素環基で置換されたオキシ基、置換もしくは無置換の複素環基で置換されたチオ基における複素環基は、単環式または多環式の複素環基である。 The heterocyclic group in the oxy group substituted by the heterocyclic group of R 3 to R 26 and the thio group substituted by the substituted or unsubstituted heterocyclic group is a monocyclic or polycyclic heterocyclic group.

単環式の複素環基としては、例えば、ピロリル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、オキサゾリル基、イソオキサゾリル基、オキサジアゾリル基、チアゾリル基、フラニル基、ピラニル基、チエニル基、ピリジル基、ピラジル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、トリアジニル基、キノリル基、イソキノリル基などが挙げられる。 Examples of the monocyclic heterocyclic group include a pyrrolyl group, an imidazolyl group, a pyrazolyl group, an oxazolyl group, an isoxazolyl group, an oxadiazolyl group, a thiazolyl group, a furanyl group, a pyranyl group, a thienyl group, a pyridyl group, a pyrazyl group, and a pyrimidinyl group. , Pyridazinyl group, triazinyl group, quinolyl group, isoquinolyl group and the like.

多環式の複素環基としては、例えば、ベンゾ(ピリジル)フラニル基、ベンゾフラニル基、ベンゾチエニル基、インドリル基、カルバゾリル基、カルボリニル基、フェナントリジニル基、アクリジニル基、ペリミジニル基、フェナントロリニル基、ベンゾオキサゾリル基、ベンゾチアゾリル基、キノキサリル基、ベンゾイミダゾリル基、ピラゾリル基、ジベンゾフラニル基、ジベンゾチエニル基などが挙げられる。 Examples of the polycyclic heterocyclic group include a benzo(pyridyl)furanyl group, benzofuranyl group, benzothienyl group, indolyl group, carbazolyl group, carborinyl group, phenanthridinyl group, acridinyl group, perimidinyl group, phenanthrolyl group. Examples thereof include a nyl group, a benzoxazolyl group, a benzothiazolyl group, a quinoxalyl group, a benzimidazolyl group, a pyrazolyl group, a dibenzofuranyl group and a dibenzothienyl group.

単環式または多環式の複素環基の環形成炭素数は、5〜50であることが好ましく、5〜30であることがより好ましい。 The ring-forming carbon number of the monocyclic or polycyclic heterocyclic group is preferably 5 to 50, and more preferably 5 to 30.

これらの中でも、R〜R26は、それぞれ独立に、水素原子または重水素原子であることが好ましい。これにより、p型有機半導体の熱耐性をさらに向上させることができる。 Among these, R 3 to R 26 are preferably each independently a hydrogen atom or a deuterium atom. Thereby, the heat resistance of the p-type organic semiconductor can be further improved.

〜R26における置換基としては、例えば、シアノ基、シリル基、炭素数1〜10のモノアルキルシリル基、ジアルキルシリル基もしくはトリアルキルシリル基、炭素数1〜10の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基、炭素数1〜10の直鎖状もしくは分岐状のアルコキシ基、環形成炭素数6〜15のアリール基、環形成炭素数6〜15のアリールオキシ基、環形成炭素数6〜15のアリールカルボニル基、環形成炭素数3〜32のヘテロシクリル基、炭素数1〜10のモノアルキルアミノ基もしくはジアルキルアミノ基、環形成炭素数6〜15のモノアリールアミノ基もしくはジアリールアミノ基などが挙げられる。 Examples of the substituent in R 1 to R 26 include a cyano group, a silyl group, a monoalkylsilyl group having 1 to 10 carbon atoms, a dialkylsilyl group or a trialkylsilyl group, a straight chain having 1 to 10 carbon atoms, and a branched group. Or cyclic alkyl group, linear or branched alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, aryl group having 6 to 15 ring carbon atoms, aryloxy group having 6 to 15 ring carbon atoms, ring carbon number 6-15 arylcarbonyl group, heterocyclyl group having 3 to 32 ring carbon atoms, monoalkylamino group or dialkylamino group having 1 to 10 carbon atoms, monoarylamino group or diarylamino group having 6 to 15 ring carbon atoms And so on.

なお、一般式(1)において、R〜R26がハロゲン原子(例えば、F、Cl)等の電子吸引性基であると、n型有機半導体となる(例えば、特開2009−218369号公報参照)。 In the general formula (1), when R 3 to R 26 are electron withdrawing groups such as halogen atoms (for example, F and Cl), an n-type organic semiconductor is obtained (for example, JP 2009-218369 A). reference).

本実施形態のp型有機半導体は、一般式(2) The p-type organic semiconductor of the present embodiment has the general formula (2):

Figure 2020107737

[式中、n、nは、それぞれ独立に、0〜10の整数であり、Y〜Yは、それぞれ独立に、直鎖アルキル基であり、R27〜R30は、それぞれ独立に、水素原子または重水素原子である。]
で表されることが好ましい。これにより、p型有機半導体の熱耐性をさらに向上させることができる。
Figure 2020107737

[In the formula, n 1 and n 2 are each independently an integer of 0 to 10, Y 1 to Y 6 are each independently a linear alkyl group, and R 27 to R 30 are each independently. And a hydrogen atom or a deuterium atom. ]
It is preferable that Thereby, the heat resistance of the p-type organic semiconductor can be further improved.

[組成物]
本実施形態の組成物は、本実施形態のp型有機半導体と、n型有機半導体を含む。本実施形態の組成物を用いると、光電変換膜を形成することができる。
[Composition]
The composition of the present embodiment contains the p-type organic semiconductor of the present embodiment and an n-type organic semiconductor. A photoelectric conversion film can be formed by using the composition of the present embodiment.

n型有機半導体は、本実施形態のp型有機半導体とpn接合を形成することが可能であれば、特に限定されないが、例えば、サブフタロシアニン、フラーレンおよびその誘導体、チオフェンおよびその誘導体などが挙げられ、二種以上を併用してもよい。これらの中でも、光電変換膜の変換効率の点で、フラーレンおよび/またはフラーレンの誘導体が好ましい。 The n-type organic semiconductor is not particularly limited as long as it can form a pn junction with the p-type organic semiconductor of the present embodiment, and examples thereof include subphthalocyanine, fullerene and derivatives thereof, and thiophene and derivatives thereof. , Two or more kinds may be used in combination. Among these, fullerene and/or a fullerene derivative is preferable in terms of conversion efficiency of the photoelectric conversion film.

フラーレンとしては、例えば、C50、C60、C70、C76、C78、C80、C82、C84、C90、C96、C240、C540などが挙げられる。 Examples of fullerenes include C50, C60, C70, C76, C78, C80, C82, C84, C90, C96, C240, C540 and the like.

フラーレンの誘導体は、フラーレンが置換基により置換されている。 In the derivative of fullerene, the fullerene is substituted with a substituent.

置換基としては、例えば、前述したアルキル基、アリール基、複素環基などが挙げられる。 Examples of the substituent include the above-mentioned alkyl group, aryl group, and heterocyclic group.

[光電変換素子]
図1に、本実施形態の光電変換素子の一例を示す。
[Photoelectric conversion element]
FIG. 1 shows an example of the photoelectric conversion element of this embodiment.

光電変換素子100は、対向する第一の電極10と、第二の電極20との間に、(有機)光電変換膜30が形成されている。 In the photoelectric conversion element 100, the (organic) photoelectric conversion film 30 is formed between the first electrode 10 and the second electrode 20 which face each other.

第一の電極10および第二の電極20の少なくとも一方は、近赤外光を透過することが可能な透光電極である。 At least one of the first electrode 10 and the second electrode 20 is a translucent electrode capable of transmitting near infrared light.

透光電極を構成する材料としては、例えば、インジウムスズ酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、AZO、FTO、SnO、TiO、ZnOなどの導電性材料が挙げられる。 Examples of the material forming the translucent electrode include conductive materials such as indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), AZO, FTO, SnO 2 , TiO 2 , and ZnO 2 .

透光電極は、単一の層で形成されていてもよいし、複数の層が積層されていてもよい。 The translucent electrode may be formed of a single layer or a plurality of layers may be laminated.

第一の電極10または第二の電極20が近赤外光を透過しない不透光電極である場合、不透光電極を構成する材料としては、例えば、アルミニウム(Al)、銅、金、銀などの金属、不純物がドープされることにより導電性が付与されたポリシリコンなどの導電性材料が挙げられる。 When the first electrode 10 or the second electrode 20 is an opaque electrode that does not transmit near-infrared light, examples of the material forming the opaque electrode include aluminum (Al), copper, gold, and silver. And a conductive material such as polysilicon to which conductivity is imparted by being doped with impurities.

第一の電極10および第二の電極20を形成する際には、使用する材料に応じて、種々の方法を適用することができる。 When forming the first electrode 10 and the second electrode 20, various methods can be applied depending on the material used.

例えば、ITO電極を形成する場合、電子ビーム法、スパッタリング法、抵抗加熱蒸着法、化学反応法(ゾル−ゲル法など)、酸化インジウムスズの分散液を塗布する方法などの方法を適用することができる。 For example, when forming an ITO electrode, a method such as an electron beam method, a sputtering method, a resistance heating vapor deposition method, a chemical reaction method (a sol-gel method or the like), a method of applying a dispersion liquid of indium tin oxide, or the like may be applied. it can.

また、第一の電極10および第二の電極20を形成する際に、UV−オゾン処理、プラズマ処理などを施してもよい。 In addition, when forming the first electrode 10 and the second electrode 20, UV-ozone treatment, plasma treatment, or the like may be performed.

ここで、第一の電極10は、光電変換膜30で発生した電荷のうち、正孔を捕集する電極である。また、第二の電極20は、光電変換膜30で発生した電荷のうち、電子を捕集する電極である。 Here, the first electrode 10 is an electrode that collects holes among the charges generated in the photoelectric conversion film 30. The second electrode 20 is an electrode that collects electrons in the charges generated in the photoelectric conversion film 30.

第一の電極10と、第二の電極20間に、バイアス電圧を印加することで、光電変換膜30で発生した電荷のうち、正孔を第一の電極10に移動させ、電子を第二の電極20に移動させることができる。 By applying a bias voltage between the first electrode 10 and the second electrode 20, holes of the charges generated in the photoelectric conversion film 30 are moved to the first electrode 10 and electrons are transferred to the second electrode. Can be moved to the electrode 20 of FIG.

ここで、光電変換素子100を後述する撮像素子に適用する場合、第一の電極10に移動した正孔の量に応じた電圧信号に変換して読み出す。これにより、近赤外光を電圧信号に変換して取り出すことができる。 Here, when the photoelectric conversion element 100 is applied to an image sensor described later, the photoelectric conversion element 100 is converted into a voltage signal according to the amount of holes moved to the first electrode 10 and read. Thereby, the near infrared light can be converted into a voltage signal and extracted.

なお、第一の電極10で電子を捕集し、第二の電極20で正孔を捕集するように、バイアス電圧を印加してもよい。 A bias voltage may be applied so that the first electrode 10 collects electrons and the second electrode 20 collects holes.

光電変換膜30は、本実施形態のp型有機半導体と、n型有機半導体を含み、本実施形態のp型有機半導体と、n型有機半導体がpn接合を形成する膜である。光電変換膜30は、近赤外光を受光すると、励起子が生成する。励起子は、正孔および電子に分離された後、正孔が第一の電極10に移動し、電子が第二の電極20に移動する、その結果、光電変換素子100に電流が流れる。 The photoelectric conversion film 30 is a film containing the p-type organic semiconductor of the present embodiment and the n-type organic semiconductor, and the p-type organic semiconductor of the present embodiment and the n-type organic semiconductor form a pn junction. When the photoelectric conversion film 30 receives near infrared light, excitons are generated. After the excitons are separated into holes and electrons, the holes move to the first electrode 10 and the electrons move to the second electrode 20. As a result, a current flows through the photoelectric conversion element 100.

n型有機半導体は、本実施形態の組成物に含まれるn型有機半導体と同様である。 The n-type organic semiconductor is the same as the n-type organic semiconductor contained in the composition of the present embodiment.

光電変換膜30は、単一の層で形成されていてもよいし、複数の層が積層されていてもよい。 The photoelectric conversion film 30 may be formed of a single layer or a plurality of layers may be laminated.

単一の層で形成されている光電変換膜30としては、真性半導体層が挙げられる。 Examples of the photoelectric conversion film 30 formed of a single layer include an intrinsic semiconductor layer.

複数の層が積層されている光電変換膜30の積層構造としては、例えば、p型半導体層/真性半導体層、真性半導体層/n型半導体層、p型半導体層/真性半導体層/n型半導体層、p型半導体層/n型半導体層などが挙げられる。 As the laminated structure of the photoelectric conversion film 30 in which a plurality of layers are laminated, for example, p-type semiconductor layer/intrinsic semiconductor layer, intrinsic semiconductor layer/n-type semiconductor layer, p-type semiconductor layer/intrinsic semiconductor layer/n-type semiconductor Layer, p-type semiconductor layer/n-type semiconductor layer, and the like.

真性半導体層は、本実施形態のp型有機半導体と、n型有機半導体を含む。 The intrinsic semiconductor layer includes the p-type organic semiconductor of the present embodiment and the n-type organic semiconductor.

真性半導体層における本実施形態のp型有機半導体に対するn型有機半導体の体積比は、0.01〜100であることが好ましく、0.02〜95であることがより好ましい。これにより、光電変換膜30の変換効率をさらに向上させることができる。 The volume ratio of the n-type organic semiconductor to the p-type organic semiconductor of the present embodiment in the intrinsic semiconductor layer is preferably 0.01 to 100, more preferably 0.02 to 95. Thereby, the conversion efficiency of the photoelectric conversion film 30 can be further improved.

p型半導体層は、本実施形態のp型有機半導体を含む。 The p-type semiconductor layer includes the p-type organic semiconductor of this embodiment.

n型半導体層は、n型有機半導体を含む。 The n-type semiconductor layer contains an n-type organic semiconductor.

光電変換膜30の厚さは、1nm〜800nmであることが好ましく、5nm〜500nmであることがより好ましい。これにより、光電変換膜30の変換効率をさらに向上させることができる。 The thickness of the photoelectric conversion film 30 is preferably 1 nm to 800 nm, more preferably 5 nm to 500 nm. Thereby, the conversion efficiency of the photoelectric conversion film 30 can be further improved.

光電変換膜30は、乾式成膜法により成膜することが好ましく、抵抗加熱蒸着法により成膜することがさらに好ましいが、湿式成膜法により成膜してもよい。 The photoelectric conversion film 30 is preferably formed by a dry film formation method, more preferably by a resistance heating vapor deposition method, but may be formed by a wet film formation method.

乾式成膜法としては、例えば、真空蒸着法などが挙げられる。 Examples of the dry film forming method include a vacuum vapor deposition method.

真空蒸着法の具体例としては、電子ビーム法、スパッタリング法、抵抗加熱蒸着法などが挙げられる。 Specific examples of the vacuum vapor deposition method include an electron beam method, a sputtering method, and a resistance heating vapor deposition method.

湿式成膜法としては、例えば、溶液塗布法などが挙げられる。 Examples of the wet film forming method include a solution coating method.

溶液塗布法の具体例としては、キャスティング法、スピンコート法、ディップコート法、ブレードコート法、ワイヤーバーコート法、スプレーコート法、インクジェット印刷法、スクリーン印刷法、オフセット印刷法、凸版印刷法などが挙げられる。 Specific examples of the solution coating method include a casting method, a spin coating method, a dip coating method, a blade coating method, a wire bar coating method, a spray coating method, an inkjet printing method, a screen printing method, an offset printing method and a relief printing method. Can be mentioned.

光電変換膜30のパターニングが必要な場合のパターニング方法の具体例としては、レジスト・エッチング法、レーザー除去法などが挙げられる。 Specific examples of the patterning method when the photoelectric conversion film 30 needs to be patterned include a resist etching method and a laser removal method.

図2に、本実施形態の光電変換素子の他の例を示す。 FIG. 2 shows another example of the photoelectric conversion element of this embodiment.

光電変換素子200は、第一の電極10と光電変換膜30との間、および、第二の電極20と光電変換膜30との間に、それぞれ電子ブロッキング層40および正孔ブロッキング層45が形成されている以外は、光電変換素子100と同一である。 In the photoelectric conversion element 200, the electron blocking layer 40 and the hole blocking layer 45 are formed between the first electrode 10 and the photoelectric conversion film 30, and between the second electrode 20 and the photoelectric conversion film 30, respectively. The photoelectric conversion device 100 is the same as the photoelectric conversion device 100 except that it is provided.

電子ブロッキング層40は、第一の電極10から光電変換膜30に電子が注入されるのを抑制すると共に、光電変換膜30で発生した電子が第一の電極10に移動するのを阻害する。 The electron blocking layer 40 suppresses the injection of electrons from the first electrode 10 into the photoelectric conversion film 30, and also prevents the electrons generated in the photoelectric conversion film 30 from moving to the first electrode 10.

正孔ブロッキング層45は、第二の電極20から光電変換膜30に正孔が注入されるのを抑制すると共に、光電変換膜30で発生した正孔が第二の電極20に移動するのを阻害する。 The hole blocking layer 45 suppresses the injection of holes from the second electrode 20 into the photoelectric conversion film 30, and also prevents the holes generated in the photoelectric conversion film 30 from moving to the second electrode 20. Inhibit.

電子ブロッキング層40を構成する材料としては、例えば、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン):ポリ(スチレンスルホネート)(PEDOT:PSS)、ポリアリールアミン、ポリ(N−ビニルカルバゾール)、ポリアニリン、ポリピロール、N,N,N',N'−テトラキス(4−メトキシフェニル)ベンジジン(TPD)、4,4'−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニル−アミノ]ビフェニル(α−NPD)、m−MTDATA、4,4',4"−トリス(N−カルバゾリル)トリフェニルアミン(TCTA)などが挙げられ、二種以上を併用してもよい。 Examples of the material forming the electron blocking layer 40 include poly(3,4-ethylenedioxythiophene):poly(styrenesulfonate) (PEDOT:PSS), polyarylamine, poly(N-vinylcarbazole), polyaniline, Polypyrrole, N,N,N′,N′-tetrakis(4-methoxyphenyl)benzidine (TPD), 4,4′-bis[N-(1-naphthyl)-N-phenyl-amino]biphenyl (α-NPD ), m-MTDATA, 4,4′,4″-tris(N-carbazolyl)triphenylamine (TCTA) and the like, and two or more kinds may be used in combination.

正孔ブロッキング層45を構成する材料としては、例えば、ナフタレン−1,4,5,8−テトラカルボン酸二無水物(NTCDA)、バトクプロイン(BCP)、LiF、Alq3、Gaq3、Inq3、Znq2、Zn(BTZ)2、BeBq2などが挙げられ、二種以上を併用してもよい。 Examples of the material forming the hole blocking layer 45 include naphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride (NTCDA), batocproine (BCP), LiF, Alq3, Gaq3, Inq3, Znq2, Zn. (BTZ)2, BeBq2, etc. may be mentioned, and two or more kinds may be used in combination.

なお、電子ブロッキング層40または正孔ブロッキング層45を省略してもよい。 The electron blocking layer 40 or the hole blocking layer 45 may be omitted.

また、第一の電極10で電子を捕集し、第二の電極20で正孔を捕集するように、バイアス電圧を印加してもよい。この場合には、電子ブロッキング層40および正孔ブロッキング層45の代わりに、それぞれ正孔ブロッキング層40および電子ブロッキング層45を形成すればよい。 A bias voltage may be applied so that the first electrode 10 collects electrons and the second electrode 20 collects holes. In this case, the hole blocking layer 40 and the electron blocking layer 45 may be formed instead of the electron blocking layer 40 and the hole blocking layer 45, respectively.

本実施形態の光電変換素子は、撮像素子、太陽電池、光検出器、光センサ、フォトダイオードなどに適用することができる。 The photoelectric conversion element of this embodiment can be applied to an image sensor, a solar cell, a photodetector, a photosensor, a photodiode, and the like.

[撮像素子]
図3に、本実施形態の撮像素子の一例を示す。
[Image sensor]
FIG. 3 shows an example of the image sensor of this embodiment.

撮像素子300は、半導体基板310と、絶縁層80と、光電変換素子100を備える。 The image sensor 300 includes a semiconductor substrate 310, an insulating layer 80, and the photoelectric conversion element 100.

半導体基板310は、シリコン基板であり、伝送トランジスタと、電荷保存場所55が集積されている。ここで、伝送トランジスタと、電荷保存場所55は、画素毎に集積されており、電荷保存場所55は、光電変換素子100に電気的に接続されており、電荷保存場所55の情報は、伝送トランジスタにより転送される。 The semiconductor substrate 310 is a silicon substrate, on which the transfer transistor and the charge storage location 55 are integrated. Here, the transfer transistor and the charge storage location 55 are integrated for each pixel, the charge storage location 55 is electrically connected to the photoelectric conversion element 100, and the information of the charge storage location 55 is the transmission transistor. Transferred by.

半導体基板310上には、金属配線と、パッドが設けられている。 Metal wiring and pads are provided on the semiconductor substrate 310.

金属配線およびパッドを構成する材料としては、信号の遅延を減らすことが可能であれば、特に限定されないが、例えば、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、銀(g)、これらの合金)などの比抵抗が低い金属が挙げられる。 The material forming the metal wiring and the pad is not particularly limited as long as it can reduce the signal delay, and examples thereof include aluminum (Al), copper (Cu), silver (g), and alloys thereof). A metal having a low specific resistance can be used.

金属配線と、パッドが形成されている半導体基板310上には、絶縁層80が形成されている。 An insulating layer 80 is formed on the semiconductor substrate 310 on which the metal wiring and the pads are formed.

絶縁層80を構成する材料としては、酸化ケイ素、窒化ケイ素などの無機絶縁物質、SiC、SiCOH、SiCO、SiOFなどの比誘電率が低い材料(Low−k材料)などが挙げられる。 Examples of the material forming the insulating layer 80 include inorganic insulating materials such as silicon oxide and silicon nitride, and materials having a low relative dielectric constant (Low-k materials) such as SiC, SiCOH, SiCO, and SiOF.

絶縁層80には、パッドを露出させるコンタクト孔と、各画素の電荷保存場所55を露出させる貫通口85が形成されている。 The insulating layer 80 has a contact hole for exposing the pad and a through hole 85 for exposing the charge storage area 55 of each pixel.

絶縁層80上には、光電変換素子100が形成されている。 The photoelectric conversion element 100 is formed on the insulating layer 80.

光電変換素子100は、前述したように、第一の電極10と、光電変換膜30と、第二の電極20を備えるが、第二の電極20は、近赤外光を透過することが可能な透光電極である。このため、第二の電極20の側から、近赤外光を含む光が入射すると、光電変換膜30で近赤外光が吸収されて光電変換される。 The photoelectric conversion element 100 includes the first electrode 10, the photoelectric conversion film 30, and the second electrode 20 as described above, but the second electrode 20 can transmit near infrared light. Transparent electrode. Therefore, when light including near-infrared light enters from the second electrode 20 side, the near-infrared light is absorbed by the photoelectric conversion film 30 and photoelectrically converted.

なお、光電変換素子100の上部に、近赤外光のみが透過するバンドパスフィルタを設けてもよい。 A bandpass filter that transmits only near-infrared light may be provided above the photoelectric conversion element 100.

図4に、本実施形態の撮像素子の第二例を示す。 FIG. 4 shows a second example of the image sensor of this embodiment.

撮像素子400は、光電変換素子100の代わりに、光電変換素子200を適用した以外は、撮像素子300と同一の構成である。 The image sensor 400 has the same configuration as the image sensor 300 except that the photoelectric conversion element 200 is applied instead of the photoelectric conversion element 100.

図5および図6に、本実施形態の撮像素子の第三例を示す。 5 and 6 show a third example of the image sensor of this embodiment.

撮像素子500は、半導体基板310と、下部絶縁層60と、カラーフィルタ層70と、上部絶縁層80と、光電変換素子100を備える。 The image sensor 500 includes a semiconductor substrate 310, a lower insulating layer 60, a color filter layer 70, an upper insulating layer 80, and a photoelectric conversion element 100.

半導体基板310は、シリコン基板であり、感光素子(50G、50B、50R)と、伝送トランジスタと、電荷保存場所55が集積されている。ここで、感光素子(50G、50R、50B)は、シリコンフォトダイオードである。また、感光素子(50G、50B、50R)と、伝送トランジスタと、電荷保存場所55は、画素毎に集積されており、感光素子(50G、50B、50R)は、それぞれ緑色画素、青色画素および赤色画素に含まれており、電荷保存場所55は、近赤外画素に含まれている。 The semiconductor substrate 310 is a silicon substrate on which the photosensitive elements (50G, 50B, 50R), the transfer transistor, and the charge storage location 55 are integrated. Here, the photosensitive elements (50G, 50R, 50B) are silicon photodiodes. Further, the photosensitive elements (50G, 50B, 50R), the transfer transistor, and the charge storage location 55 are integrated for each pixel, and the photosensitive elements (50G, 50B, 50R) are green pixel, blue pixel, and red pixel, respectively. Included in the pixel and the charge storage location 55 is included in the near infrared pixel.

感光素子(50G、50B、50R)は、それぞれ緑色光、青色光および赤色光を感知し、感知された情報は、伝送トランジスタにより転送される。また、電荷保存場所55は、光電変換素子100に電気的に接続されており、電荷保存場所55の情報は、伝送トランジスタにより転送される。 The photosensitive elements (50G, 50B, 50R) sense green light, blue light and red light, respectively, and the sensed information is transferred by the transmission transistor. The charge storage location 55 is electrically connected to the photoelectric conversion element 100, and the information in the charge storage location 55 is transferred by the transfer transistor.

半導体基板310上には、金属配線と、パッドが設けられているが、金属配線と、パッドは、感光素子(50G、50B、50R)の下部に設けられていてもよい。 Although the metal wiring and the pad are provided on the semiconductor substrate 310, the metal wiring and the pad may be provided below the photosensitive element (50G, 50B, 50R).

金属配線と、パッドが形成されている半導体基板310上には、下部絶縁層60が形成されている。 The lower insulating layer 60 is formed on the semiconductor substrate 310 on which the metal wiring and the pads are formed.

下部絶縁層60を構成する材料としては、絶縁層80を構成する材料と同様の材料を用いることができる。 As the material forming the lower insulating layer 60, the same material as the material forming the insulating layer 80 can be used.

下部絶縁層60上には、カラーフィルタ層70が形成されている。 A color filter layer 70 is formed on the lower insulating layer 60.

カラーフィルタ層70は、青色画素に形成されている青色フィルタ70Bと、緑色画素に形成されている緑色フィルタ70Gと、赤色画素に形成されている赤色フィルタ70Rを備える。 The color filter layer 70 includes a blue filter 70B formed in a blue pixel, a green filter 70G formed in a green pixel, and a red filter 70R formed in a red pixel.

カラーフィルタ層70上には、カラーフィルタ層70による段差を除去して平坦化するために、上部絶縁層80が形成されている。 An upper insulating layer 80 is formed on the color filter layer 70 in order to remove a step due to the color filter layer 70 and flatten it.

上部絶縁層80および下部絶縁層60には、パッドを露出させるコンタクト孔と、電荷保存場所55を露出させる貫通口85が形成されている。 The upper insulating layer 80 and the lower insulating layer 60 are formed with a contact hole exposing a pad and a through hole 85 exposing a charge storage location 55.

上部絶縁層80上には、光電変換素子100が形成されている。 The photoelectric conversion element 100 is formed on the upper insulating layer 80.

光電変換素子100は、前述したように、第一の電極10と、光電変換膜30と、第二の電極20を備える。ここで、第一の電極10は、近赤外光および可視光を透過することが可能な透光電極である。また、第二の電極20は、可視光を透過することが可能な透光電極である。このため、第二の電極20の側から、近赤外光および可視光を含む光が入射すると、光電変換膜30で近赤外光が吸収されて光電変換される。一方、光電変換膜30で吸収されなかった光は、第一の電極10およびカラーフィルタ層70を透過した後、感光素子(50G、50B、50R)で感知される。 The photoelectric conversion element 100 includes the first electrode 10, the photoelectric conversion film 30, and the second electrode 20 as described above. Here, the first electrode 10 is a translucent electrode capable of transmitting near infrared light and visible light. The second electrode 20 is a translucent electrode capable of transmitting visible light. Therefore, when light including near infrared light and visible light enters from the second electrode 20 side, the near infrared light is absorbed by the photoelectric conversion film 30 and photoelectrically converted. On the other hand, the light that is not absorbed by the photoelectric conversion film 30 passes through the first electrode 10 and the color filter layer 70, and is then sensed by the photosensitive element (50G, 50B, 50R).

なお、光電変換素子100の上部に、可視光および近赤外光のみを透過するバンドパスフィルタを設けてもよい。 Note that a bandpass filter that transmits only visible light and near infrared light may be provided above the photoelectric conversion element 100.

図7に、本実施形態の撮像素子の第四例を示す。 FIG. 7 shows a fourth example of the image sensor of this embodiment.

撮像素子600は、光電変換素子100の代わりに、光電変換素子200を適用した以外は、撮像素子500と同一の構成である。 The image sensor 600 has the same configuration as the image sensor 500 except that the photoelectric conversion element 200 is applied instead of the photoelectric conversion element 100.

図8および図9に、本実施形態の撮像素子の第五例を示す。 8 and 9 show a fifth example of the image sensor according to this embodiment.

撮像素子700は、撮像素子500と同様に、半導体基板310と、絶縁層80と、光電変換素子100を備え、半導体基板310に、感光素子(50G、50B、50R)と、伝送トランジスタと、電荷保存場所55が集積されている。 The image sensor 700 includes a semiconductor substrate 310, an insulating layer 80, and a photoelectric conversion element 100, similarly to the image sensor 500. The semiconductor substrate 310 includes a photosensitive element (50G, 50B, 50R), a transmission transistor, and a charge. The storage locations 55 are collected.

しかしながら、撮像素子700は、撮像素子500とは異なり、感光素子50B、50Gおよび50Rが積層されており、カラーフィルタ層70が省略されている。 However, the image sensor 700 is different from the image sensor 500 in that the photosensitive elements 50B, 50G and 50R are laminated and the color filter layer 70 is omitted.

感光素子50B、50Gおよび50Rは、電荷保存場所に電気的に接続されており、電荷保存場所の情報は、伝送トランジスタにより転送される。 The photosensitive elements 50B, 50G, and 50R are electrically connected to the charge storage location, and the information of the charge storage location is transferred by the transfer transistor.

感光素子50B、50Gおよび50Rは、積層深さに応じて、それぞれ青色光、緑色光および赤色光を選択的に吸収することができる。 The photosensitive elements 50B, 50G, and 50R can selectively absorb blue light, green light, and red light, respectively, depending on the stacking depth.

撮像素子700は、光電変換素子100と、感光素子50B、50Gおよび50Rが積層されていることから、小型化することができる。 The image pickup element 700 can be miniaturized because the photoelectric conversion element 100 and the photosensitive elements 50B, 50G, and 50R are laminated.

なお、感光素子(50G、50B、50R)の代わりに、緑色光、青色光および赤色光を選択的に吸収することが可能な有機光電変換素子を用いてもよい。これにより、撮像素子の感度が向上し、クロストークを低減させることができる。 Note that an organic photoelectric conversion element capable of selectively absorbing green light, blue light, and red light may be used instead of the photosensitive elements (50G, 50B, 50R). As a result, the sensitivity of the image sensor is improved and crosstalk can be reduced.

この場合、光電変換素子100と、緑色光、青色光および赤色光を選択的に吸収することが可能な有機光電変換素子を積層する順序は、特に限定されない。 In this case, the order of stacking the photoelectric conversion element 100 and the organic photoelectric conversion element capable of selectively absorbing green light, blue light, and red light is not particularly limited.

また、光電変換素子100の代わりに、光電変換素子200を適用してもよい。 Further, the photoelectric conversion element 200 may be applied instead of the photoelectric conversion element 100.

本実施形態の撮像素子は、モバイル電話、デジタルカメラなどの種々の電子装置に適用することができる。 The image sensor of this embodiment can be applied to various electronic devices such as mobile phones and digital cameras.

以下に、本発明の実施例を説明する。ただし、本発明の技術的範囲は、以下の実施例のみに限定されるものではない。 Examples of the present invention will be described below. However, the technical scope of the present invention is not limited to the following examples.

[実施例1]
1,3−Diiminobenz[f]isoindoline(2.0g)(東京化成製)、Di−t−butyltin dichloride(1.5g)(Aldrich製)を、1−Chloronaphthalene中、還流下で2時間撹拌した後、反応混合液を室温に戻した。次に、沈殿物を濾過した後、クロロホルム、ピリジン及びメタノールで洗浄し、p型有機半導体としての、化合物1(1.5g)を得た。
[Example 1]
After stirring 1,3-Diiminobenz[f]isoindolinine (2.0 g) (manufactured by Tokyo Kasei) and Di-t-butyltin dichloride (1.5 g) (manufactured by Aldrich) under reflux in 1-Chloronaphthalene for 2 hours. The reaction mixture was returned to room temperature. Next, the precipitate was filtered and then washed with chloroform, pyridine and methanol to obtain Compound 1 (1.5 g) as a p-type organic semiconductor.

Figure 2020107737

[比較例1]
p型有機半導体として、スズナフタロシアニン(Aldrich製)を用いた。
Figure 2020107737

[Comparative Example 1]
Tin naphthalocyanine (manufactured by Aldrich) was used as the p-type organic semiconductor.

[p型有機半導体の熱耐性]
TG−DTAを用いて、重量減少が2%および5%となる温度を測定することにより、p型有機半導体の熱耐性を評価した。
[Heat resistance of p-type organic semiconductor]
The heat resistance of the p-type organic semiconductor was evaluated by measuring the temperature at which the weight loss was 2% and 5% using TG-DTA.

表1に、p型有機半導体の熱耐性の評価結果を示す。 Table 1 shows the evaluation results of the heat resistance of the p-type organic semiconductor.

Figure 2020107737
表1から、実施例1のp型有機半導体は、熱耐性に高いことがわかる。
Figure 2020107737
From Table 1, it can be seen that the p-type organic semiconductor of Example 1 has high heat resistance.

これに対して、比較例1のp型有機半導体は、スズナフタロシアニンの軸置換基が導入されていないため、熱耐性が低い。 On the other hand, the p-type organic semiconductor of Comparative Example 1 has low heat resistance because the axial substituent of tin naphthalocyanine is not introduced.

[実施例2]
ITO(膜厚150nm)付きガラス基板上に、加熱蒸着法により、膜厚が20nmとなるように化学式
[Example 2]
Chemical formula was applied on a glass substrate with ITO (film thickness: 150 nm) to a film thickness of 20 nm by a heating vapor deposition method.

Figure 2020107737

で表される化合物Aを成膜して、電子ブロッキング層を形成した。次に、抵抗加熱蒸着法により、実施例1のp型有機半導体と、n型有機半導体としての、フラーレンC60を、体積比が1:1、膜厚が150nmとなるように成膜して、光電変換膜を形成した。さらに、高周波マグネトロンスパッタ法により、膜厚が10nmとなるようにITO膜を成膜して、光電変換素子を得た。
Figure 2020107737

A compound A represented by the following formula was formed into a film to form an electron blocking layer. Next, a p-type organic semiconductor of Example 1 and a fullerene C60 as an n-type organic semiconductor were formed by a resistance heating vapor deposition method so that the volume ratio was 1:1 and the film thickness was 150 nm. A photoelectric conversion film was formed. Further, an ITO film was formed to have a film thickness of 10 nm by a high frequency magnetron sputtering method to obtain a photoelectric conversion element.

なお、上記真空プロセスにおける真空度は、いずれも4×10−4Pa以下とした。 The degree of vacuum in the above vacuum process was set to 4×10 −4 Pa or less.

[比較例2]
実施例1のp型有機半導体の代わりに、比較例1のp型有機半導体を用いた以外は、実施例2と同様にして、光電変換素子を得た。
[Comparative example 2]
A photoelectric conversion element was obtained in the same manner as in Example 2 except that the p-type organic semiconductor of Comparative Example 1 was used instead of the p-type organic semiconductor of Example 1.

[光電変換素子のIPCE]
光電変換素子を、大気に曝すことなく、水分、酸素の濃度を、それぞれ1ppm以下に保ったグローブボックスに搬送した後、UV硬化樹脂を用いて、吸湿剤を貼ったガラス製の封止缶で封止した。
[IPCE of photoelectric conversion element]
After transferring the photoelectric conversion element to a glove box in which the concentration of water and oxygen is kept at 1 ppm or less without exposing it to the atmosphere, UV-curing resin is used, and a glass sealing can is applied with a hygroscopic agent. Sealed.

IPCE測定システム(マックサイエンス製)を用いて、光電変換素子の下部電極に負のバイアスを3V印加した状態で、波長810nmおよび940nmにおける変換効率の最大値における外部量子効率(IPCE)を測定した。 Using an IPCE measurement system (manufactured by Mac Science), the external quantum efficiency (IPCE) at the maximum conversion efficiency at wavelengths of 810 nm and 940 nm was measured with a negative bias of 3 V applied to the lower electrode of the photoelectric conversion element.

表2に、光電変換素子のIPCEの評価結果を示す。 Table 2 shows the evaluation results of IPCE of the photoelectric conversion element.

Figure 2020107737
表2から、実施例2の光電変換素子は、波長810nmおよび940nmのいずれにおいても、IPCEが高いことがわかる。
Figure 2020107737
From Table 2, it can be seen that the photoelectric conversion element of Example 2 has a high IPCE at both wavelengths of 810 nm and 940 nm.

これに対して、比較例2の光電変換素子は、比較例1のp型有機半導体を含むため、IPCEが低い。これは、抵抗加熱蒸着法により、光電変換膜を形成する際に、比較例1のp型有機半導体が熱劣化したためであると考えられる。 On the other hand, the photoelectric conversion element of Comparative Example 2 contains the p-type organic semiconductor of Comparative Example 1, and thus has a low IPCE. It is considered that this is because the p-type organic semiconductor of Comparative Example 1 was thermally deteriorated when the photoelectric conversion film was formed by the resistance heating vapor deposition method.

10 第一の電極
20 第二の電極
30 光電変換膜
100、200 光電変換素子
300、400、500、600、700 撮像素子
10 1st electrode 20 2nd electrode 30 Photoelectric conversion film 100,200 Photoelectric conversion element 300,400,500,600,700 Imaging element

Claims (9)

一般式(1)
Figure 2020107737

[式中、R、Rは、それぞれ独立に、置換もしくは無置換の炭素数1〜30のアルキル基であり、R〜R26は、それぞれ独立に、水素原子、重水素原子、置換もしくは無置換のアルキル基、置換もしくは無置換のアリール基、置換もしくは無置換のアルコキシ基、置換もしくは無置換のアルキルチオ基、置換もしくは無置換のアリールオキシ基、置換もしくは無置換のアリールチオ基、置換もしくは無置換の複素環基で置換されたオキシ基、置換もしくは無置換の複素環基で置換されたチオ基、または、置換もしくは無置換のアミノ基である。]
で表される、p型有機半導体。
General formula (1)
Figure 2020107737

[In formula, R< 1 >, R< 2 > is a substituted or unsubstituted C1-C30 alkyl group each independently, R< 3 >-R< 26 > is a hydrogen atom, a deuterium atom, a substituted each independently. Or an unsubstituted alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, a substituted or unsubstituted alkoxy group, a substituted or unsubstituted alkylthio group, a substituted or unsubstituted aryloxy group, a substituted or unsubstituted arylthio group, substituted or An oxy group substituted with an unsubstituted heterocyclic group, a thio group substituted with a substituted or unsubstituted heterocyclic group, or a substituted or unsubstituted amino group. ]
A p-type organic semiconductor represented by.
一般式(2)
Figure 2020107737

[式中、n、nは、それぞれ独立に、0〜10の整数であり、Y〜Yは、それぞれ独立に、直鎖アルキル基であり、R27〜R30は、それぞれ独立に、水素原子または重水素原子である。]
で表される、請求項1に記載のp型有機半導体。
General formula (2)
Figure 2020107737

[Wherein, n 1 and n 2 are each independently an integer of 0 to 10, Y 1 to Y 6 are each independently a linear alkyl group, and R 27 to R 30 are each independently. And a hydrogen atom or a deuterium atom. ]
The p-type organic semiconductor according to claim 1, represented by:
前記R〜R26は、それぞれ独立に、水素原子または重水素原子である、請求項1または2に記載のp型有機半導体。 The p-type organic semiconductor according to claim 1, wherein R 3 to R 26 are each independently a hydrogen atom or a deuterium atom. 請求項1〜3のいずれか一項に記載のp型有機半導体と、
n型有機半導体を含む、組成物。
The p-type organic semiconductor according to any one of claims 1 to 3,
A composition comprising an n-type organic semiconductor.
前記n型有機半導体は、フラーレンおよび/またはフラーレンの誘導体である、請求項4に記載の組成物。 The composition according to claim 4, wherein the n-type organic semiconductor is a fullerene and/or a derivative of a fullerene. 請求項1〜3のいずれか一項に記載のp型有機半導体と、
n型有機半導体を含む、光電変換膜。
The p-type organic semiconductor according to any one of claims 1 to 3,
A photoelectric conversion film containing an n-type organic semiconductor.
真空蒸着法により成膜されている、請求項6に記載の光電変換膜。 The photoelectric conversion film according to claim 6, which is formed by a vacuum vapor deposition method. 請求項6または7に記載の光電変換膜を有する、光電変換素子。 A photoelectric conversion element comprising the photoelectric conversion film according to claim 6. 請求項8に記載の光電変換素子を有する、撮像素子。 An image pickup device comprising the photoelectric conversion device according to claim 8.
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