JP2020105475A - Curable composition for ultraviolet light emitting device, component for ultraviolet light emitting device, and ultraviolet light emitting device - Google Patents

Curable composition for ultraviolet light emitting device, component for ultraviolet light emitting device, and ultraviolet light emitting device Download PDF

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Abstract

To provide a curable composition for an ultraviolet light emitting device which can achieve high output and high reliability; a cured product; a component for an ultraviolet light emitting device; and an ultraviolet light emitting device.SOLUTION: The curable composition for the ultraviolet light emitting device comprises cyclic silanol (A1) represented by the following formula (1), and a dehydration condensate (A2), where in the formula (1), R is each independently a fluorine atom, an aryl group, a vinyl group, an allyl group, a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms substituted with fluorine, or an unsubstituted linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms; and n is an integer of 2 to 10.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、紫外線発光措置用硬化性組成物、紫外線発光措置用部品、及び紫外線発光装置に関する。 The present invention relates to a curable composition for ultraviolet light emission measures, a component for ultraviolet light emission measures, and an ultraviolet light emission device.

紫外領域の光を放出することができる発光素子は、水銀ランプに代わる低消費電力で長寿命の紫外光源として注目を集め,検査測定、紫外線硬化、殺菌、など様々な応用がなされている。この発光素子を有する発光装置には,高出力かつ長期にわたる高信頼性が強く望まれている。 BACKGROUND ART A light emitting device capable of emitting light in the ultraviolet region has been attracting attention as an ultraviolet light source with low power consumption and long life, which is an alternative to a mercury lamp, and has been applied in various applications such as inspection measurement, ultraviolet curing and sterilization. A light emitting device having this light emitting element is strongly desired to have high output and long-term reliability.

ここで、高出力化のために広く用いられている方法の一つが、紫外線透過性材料で構成される半球レンズを用いる手法である。この方法は、発光素子の光取出し面側に紫外線透過性材料を配置し、該光取り出し面から放出される光を、半球レンズを介して外部へ取出す方法である。一般に、半球レンズ内部からレンズ外部(空気)への光の取出しは、レンズ−空気界面への入射角を小さくできるため、全反射を抑制することができ、多くの光を外部に取出すことができる。この方法では発光素子−空気界面での全反射を低減するために、必要に応じて発光素子チップと半球レンズの空隙に屈折率緩和物質を充填する。この方法によれば、先に述べた発光素子−空気界面での全反射が減少し、より多くの光が半球レンズに入射する。よって、半球レンズとこの屈折率緩和物質とを組み合わせる(半球レンズ構造とする場合もある)ことにより、より一層、発光素子からの光を効率よく取り出すことが可能となる。 Here, one of the widely used methods for increasing the output is a method using a hemispherical lens made of an ultraviolet-transparent material. In this method, an ultraviolet-transparent material is arranged on the light extraction surface side of the light emitting element, and the light emitted from the light extraction surface is extracted to the outside through a hemispherical lens. Generally, in the extraction of light from the inside of the hemispherical lens to the outside of the lens (air), the angle of incidence on the lens-air interface can be made small, so that total reflection can be suppressed and a large amount of light can be extracted to the outside. .. In this method, in order to reduce the total reflection at the light-emitting element-air interface, a refractive index relaxing substance is filled in the space between the light-emitting element chip and the hemispherical lens, if necessary. According to this method, the total reflection at the light emitting element-air interface described above is reduced, and more light is incident on the hemispherical lens. Therefore, by combining the hemispherical lens and this refractive index relaxing substance (there may be a hemispherical lens structure in some cases), it becomes possible to more efficiently extract the light from the light emitting element.

上記の屈折率緩和物質としては、例えば、透光性フッ素樹脂(特許文献1参照)やシリコーン樹脂が知られている(特許文献2参照)。 As the refractive index relaxing substance, for example, a transparent fluororesin (see Patent Document 1) and a silicone resin are known (see Patent Document 2).

特開2016−111085号公報JP, 2016-111085, A 特表2017−521872号公報Japanese Patent Publication No. 2017-521872

しかしながら,レンズを搭載した紫外線発光装置において、特に,発光ピーク波長が210nm以上300nm未満の範囲にある紫外線発光装置において、満足できる出力と信頼性を有するものが存在していないのが現状である。以下、発光ピーク波長が210nm以上300nm未満の範囲にある発光素子を単に「深紫外発光素子」ともいう。 However, at present, there is no ultraviolet light emitting device having a lens, particularly, an ultraviolet light emitting device having an emission peak wavelength in the range of 210 nm or more and less than 300 nm, which has satisfactory output and reliability. Hereinafter, a light emitting device having an emission peak wavelength in the range of 210 nm or more and less than 300 nm is also simply referred to as "deep ultraviolet light emitting device".

例えば、特許文献1記載の発光装置では屈折率緩和物質の接着性が足りず,350mAの電流値にて100時間を超えて点灯した場合、光出力が低下する。さらに、特許文献2に記載の発光装置では屈折率緩和物質が経時的に劣化するため,100時間での出力の低下が観測されている。 For example, in the light emitting device described in Patent Document 1, the adhesiveness of the refractive index relaxation material is insufficient, and when the light is turned on at a current value of 350 mA for more than 100 hours, the light output is reduced. Furthermore, in the light-emitting device described in Patent Document 2, the refractive index relaxation substance deteriorates with time, so that a decrease in output after 100 hours has been observed.

したがって、本発明の目的は、高い出力と高い信頼性を実現できる紫外線発光装置用硬化性組成物、硬化物、紫外線発光装置用部品、及び紫外線発光装置を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide a curable composition for an ultraviolet light emitting device, a cured product, a component for an ultraviolet light emitting device, and an ultraviolet light emitting device, which can realize high output and high reliability.

本発明者等は、上記問題を解決すべく、鋭意検討を行った。その結果、特定の構造を有するケイ素系化合物及びその脱水縮合物を含む硬化性組成物を紫外線発光装置の形成材料として用いることによる上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。上記硬化性組成物は、屈折率緩和物資としての機能を有し、かつ紫外線透過性材料の底面と深紫外発光素子の光取出し面とをそれぞれ接合できる。 The present inventors diligently studied to solve the above problems. As a result, they have found that the above problems can be solved by using a curable composition containing a silicon compound having a specific structure and a dehydration condensation product thereof as a material for forming an ultraviolet light emitting device, and have completed the present invention. The curable composition has a function as a material for relaxing the refractive index, and can bond the bottom surface of the ultraviolet transparent material and the light extraction surface of the deep ultraviolet light emitting device, respectively.

すなわち、本発明は、以下のとおりである。
[1]
下記式(1)で表される環状シラノール(A1)及びその脱水縮合物(A2)を含む、紫外線発光装置用硬化性組成物。
That is, the present invention is as follows.
[1]
A curable composition for an ultraviolet light emitting device, which comprises a cyclic silanol (A1) represented by the following formula (1) and a dehydration condensation product (A2) thereof.

(式(1)中、Rは、各々独立して、フッ素原子、アリール基、ビニル基、アリル基、フッ素で置換された直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基、又は非置換の直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基であり、nは2〜10の整数である。)
[2]
前記式(1)で表される環状シラノール(A1)及びその脱水縮合物(A2)が、下記式(10)で表される環状シラノール(A10)、及びその脱水縮合物(A20)である上記[1]記載の紫外線発光装置用硬化性組成物。
(In the formula (1), each R is independently a fluorine atom, an aryl group, a vinyl group, an allyl group, a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms substituted with fluorine, or a non- It is a substituted linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and n is an integer of 2 to 10.)
[2]
The cyclic silanol (A1) represented by the formula (1) and its dehydrated condensate (A2) are the cyclic silanol (A10) represented by the following formula (10) and its dehydrated condensate (A20). The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to [1].

(式(10)中、Rは、前記式(1)中のRと同義である。) (In the formula (10), R has the same meaning as R in the formula (1).)

[3]
前記環状シラノール(A10)が、下記式(2)〜(5)で表される環状シラノール(B1)〜(B4)であり、前記環状シラノール(B1)〜(B4)の総量に対する前記環状シラノール(B2)の割合(モル%)をbとしたとき、0<b≦20を満たす、上記[2]記載の紫外線発光装置用硬化性組成物。
[3]
The cyclic silanol (A10) is a cyclic silanol (B1) to (B4) represented by the following formulas (2) to (5), and the cyclic silanol (B1) to (B4) relative to the total amount of the cyclic silanol (B1) to (B4). The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to the above [2], wherein 0<b≦20 is satisfied, where b2 is the proportion (mol %) of B2).

(式(2)〜(5)中、Rは、前記式(1)中のRと同義である。)
[4]
前記環状シラノール(B1)〜(B4)の総量に対する前記環状シラノール(B1)の割合(モル%)をaとしたとき、0<a≦60を満たす、上記[3]記載の紫外線発光装置用硬化性組成物。
[5]
3μmの厚さを有する硬化物の形態においてヘイズが5%以下である、上記[1]〜[4]のいずれか記載の紫外線発光装置用硬化性組成物。
[6]
ゲルパーミエーションクロマトグラフィーの測定により得られるクロマトグラムのピークにおいて、前記脱水縮合物(A2)の面積が、前記環状シラノール(A1)及び前記脱水縮合物(A2)の総面積に対して、0%超過50%以下である、上記[1]〜[5]のいずれかに記載の紫外線発光装置用硬化性組成物。
[7]
遷移金属の含有量が、1質量ppm未満である、上記[1]〜[6]のいずれかに記載の紫外線発光装置用硬化性組成物。
[8]
溶媒を含む、上記[1]〜[7]のいずれかに記載の紫外線発光装置用硬化性組成物。
[9]
1nm以上100nm以下の平均粒子径を有するシリカ粒子を含む上記[1]〜[8]のいずれかに記載の紫外線発光装置用硬化組成物。
[10]
下記一般式(6)で表される両末端シラノール変性シロキサンを含む上記[1]〜[9]のいずれかに記載の紫外線発光装置用硬化組成物。
(In the formulas (2) to (5), R has the same meaning as R in the formula (1).)
[4]
When the ratio (mol%) of the cyclic silanol (B1) to the total amount of the cyclic silanols (B1) to (B4) is set to a, 0<a≦60 is satisfied, the curing for the ultraviolet light emitting device according to the above [3]. Sex composition.
[5]
The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to any one of the above [1] to [4], which has a haze of 5% or less in the form of a cured product having a thickness of 3 μm.
[6]
In the peak of the chromatogram obtained by the measurement of gel permeation chromatography, the area of the dehydrated condensate (A2) is 0% with respect to the total area of the cyclic silanol (A1) and the dehydrated condensate (A2). The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to any one of the above [1] to [5], which is 50% or less in excess.
[7]
The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to any one of the above [1] to [6], wherein the content of the transition metal is less than 1 mass ppm.
[8]
The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to any one of the above [1] to [7], which contains a solvent.
[9]
The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to any one of the above [1] to [8], which contains silica particles having an average particle diameter of 1 nm or more and 100 nm or less.
[10]
The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to any one of the above [1] to [9], which comprises a silanol-modified siloxane with both terminals represented by the following general formula (6).

(一般式(6)中、R’は、各々独立して、フッ素、アリール基、ビニル基、アリル基、フッ素で置換された直鎖状若しくは分枝状の炭素数1〜4のアルキル基、又は、非置換の直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基であり、mは0〜1000の整数である。)
[11]
Na及びVの総合計含有量が60質量ppm未満である上記[1]〜[10]のいずれかに記載の紫外線発光装置用硬化組成物。
[12]
210nm以上300nm未満の深紫外光を発光する深紫外線発光装置用である上記[1]〜[11]のいずれかに記載の発光装置用硬化性組成物。
[13]
上記[1]〜[12]のいずれかに記載の紫外線発光装置用硬化組成物の硬化物。
[14]
紫外線発光素子と、前記紫外線発光素子の光取り出し面に配置した屈折率緩和物質層とを有する紫外線発光装置用部品であって、前記屈折率緩和物質層が、上記[13]記載の硬化物を含む紫外線発光装置用部品。
[15]
前記紫外線発光素子の光取り出し面が、窒化アルミニウム単結晶により形成されている上記[14]記載の紫外線発光装置用部品。
[16]
前記紫外線発光素子が、210nm以上300nm未満の深紫外光を発光する深紫外光発光素子である上記[14]又は[15]記載の紫外線発光装置用部品。
[17]
紫外線透過性部材と、前記紫外線透過性部材の入射面に配置した屈折率緩和層とを有する発光装置用部品であって、前記屈折率緩和物質層が、上記[13]記載の硬化物を含む紫外線発光装置用部品。
[18]
前記紫外線透過性部材がレンズ又は板状部材である上記[17]記載の紫外線発光装置用部品。
[19]
前記レンズが半球レンズである上記[18]記載の紫外線発光装置用部品。
[20]
前記紫外線透過性部材の形成材料が屈折率緩和物質、石英又はサファイアである上記[17]〜[19]のいずれかに記載の紫外線発光装置用部品。
[21]
前記紫外線透過性部材が、210nm以上300nm未満の深紫外線を透過可能な深紫外線透過性部材である上記[17]〜[20]のいずれかに記載の紫外線発光装置用部品。
[22]
紫外線透過性部材と、紫外線発光素子と、前記紫外線透過性部材の入射面及び前記紫外線発光素子の光取り出し面の間に配置された屈折率緩和物質層とを有し、前記屈折率緩和物質層が、上記[13]記載の硬化物を含む紫外線発光装置。
[23]
環境温度25℃、電流値350mAの条件において、100時間点灯した後の光出力比が0.9以上である上記[22]記載の紫外線発光装置。
[24]
前記紫外線透過性部材が、210nm以上300nm未満の深紫外線を透過可能な深紫外線透過性部材であり、前記紫外線発光素子が、210nm以上300nm未満の深紫外光を発光する深紫外光発光素子である上記[22]又は[23]記載の紫外線発光装置。
(In the general formula (6), R′ is each independently fluorine, an aryl group, a vinyl group, an allyl group, a linear or branched C 1 -C 4 alkyl group substituted with fluorine, Alternatively, it is an unsubstituted linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and m is an integer of 0 to 1000.)
[11]
The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to any one of the above [1] to [10], wherein the total content of Na and V is less than 60 mass ppm.
[12]
The curable composition for a light emitting device according to any one of the above [1] to [11], which is for a deep ultraviolet light emitting device that emits deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm.
[13]
A cured product of the curable composition for an ultraviolet light emitting device according to any one of [1] to [12] above.
[14]
What is claimed is: 1. A component for an ultraviolet light emitting device, comprising an ultraviolet light emitting element and a refractive index relaxation material layer arranged on the light extraction surface of the ultraviolet light emitting element, wherein the refractive index relaxation material layer is the cured product of [13] above. Ultraviolet light emitting device components including.
[15]
The component for an ultraviolet light emitting device according to the above [14], wherein the light extraction surface of the ultraviolet light emitting element is formed of an aluminum nitride single crystal.
[16]
The component for an ultraviolet light emitting device according to the above [14] or [15], wherein the ultraviolet light emitting device is a deep ultraviolet light emitting device that emits deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm.
[17]
A component for a light emitting device having an ultraviolet-transmissive member and a refractive index relaxation layer arranged on an incident surface of the ultraviolet transparent member, wherein the refractive index relaxation material layer contains the cured product according to the above [13]. Ultraviolet light emitting device parts.
[18]
The component for an ultraviolet light emitting device according to the above [17], wherein the ultraviolet transparent member is a lens or a plate-shaped member.
[19]
The component for an ultraviolet light emitting device according to the above [18], wherein the lens is a hemispherical lens.
[20]
The component for an ultraviolet light emitting device according to any one of the above [17] to [19], wherein the material for forming the ultraviolet transparent member is a refractive index relaxing substance, quartz or sapphire.
[21]
The component for an ultraviolet light emitting device according to any one of the above [17] to [20], wherein the ultraviolet light transmissive member is a deep ultraviolet light transmissive member capable of transmitting deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm.
[22]
An ultraviolet light transmitting member, an ultraviolet light emitting element, and a refractive index relaxing substance layer disposed between an incident surface of the ultraviolet transparent member and a light extraction surface of the ultraviolet light emitting device, and the refractive index relaxing substance layer. Is an ultraviolet light emitting device containing the cured product according to [13].
[23]
The ultraviolet light emitting device according to the above [22], wherein the light output ratio after lighting for 100 hours is 0.9 or more under the conditions of an ambient temperature of 25° C. and a current value of 350 mA.
[24]
The ultraviolet light transmissive member is a deep ultraviolet light transmissive member capable of transmitting deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm, and the ultraviolet light emitting device is a deep ultraviolet light emitting device that emits deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm. The ultraviolet light emitting device according to the above [22] or [23].

本発明によれば、高い出力と高い信頼性を実現できる紫外線発光装置用硬化性組成物、硬化物、紫外線発光装置用部品、及び紫外線発光装置を提供できる。 According to the present invention, it is possible to provide a curable composition for an ultraviolet light emitting device, a cured product, an ultraviolet light emitting device component, and an ultraviolet light emitting device, which can realize high output and high reliability.

本発明の紫外線発光装置の一例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows an example of the ultraviolet light-emitting device of this invention. 本発明におけるレンズ形状の代表的なものを示す図である。It is a figure which shows the typical thing of the lens shape in this invention. 本発明における紫外線発光素子の一例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows an example of the ultraviolet light emitting element in this invention. 実施例18Aで用いられたレンズを示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the lens used in Example 18A. 実施例19Aで用いられたレンズを示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the lens used in Example 19A. 実施例20Aで用いられたレンズを示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the lens used in Example 20A. 実施例10にて得られたシラノール組成物の立体異性体割合を算出する際に用いたH-NMRスペクトルを示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a 1 H-NMR spectrum used when calculating a stereoisomer ratio of a silanol composition obtained in Example 10. 実施例16にて得られたシラノール組成物の立体異性体割合を算出する際に用いたH-NMRスペクトルを示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a 1 H-NMR spectrum used when calculating a stereoisomer ratio of the silanol composition obtained in Example 16.

以下、本発明を実施するための形態(以下、「本実施形態」ともいう。)について詳細に説明する。なお、本発明は、本実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。 Hereinafter, modes for carrying out the present invention (hereinafter, also referred to as “the present embodiment”) will be described in detail. It should be noted that the present invention is not limited to this embodiment, and various modifications can be carried out within the scope of the gist thereof.

(紫外線発光装置用硬化性組成物)
本実施形態の紫外線発光装置用硬化性組成物(以下、単に「硬化性組成物」又は「シラノール組成物」ともいう。)は、下記式(1)で表される環状シラノール(A1)及びその脱水縮合物(A2)を含む。硬化性組成物は、下記式(1)で表される環状シラノール(A1)及びその脱水縮合物(A2)を含むことにより、紫外線発光装置の形成材料に用いた際に高い出力と信頼性を実現できる。このため、本実施形態の硬化性組成物は、210nm以上300nm未満の深紫外光を発光する深紫外線発光装置用であることが好ましい。
(Curable composition for ultraviolet light emitting device)
The curable composition for an ultraviolet light emitting device of the present embodiment (hereinafter, also simply referred to as “curable composition” or “silanol composition”) is a cyclic silanol (A1) represented by the following formula (1) and its composition. The dehydration condensate (A2) is included. The curable composition contains a cyclic silanol (A1) represented by the following formula (1) and its dehydrated condensate (A2), so that the curable composition has high output and reliability when used as a material for forming an ultraviolet light emitting device. realizable. Therefore, the curable composition of the present embodiment is preferably for a deep ultraviolet light emitting device that emits deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm.

式(1)中、Rは、各々独立して、フッ素原子、アリール基、ビニル基、アリル基、フッ素で置換された直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基、又は非置換の直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基である。nは2〜10の整数である。 In formula (1), each R is independently a fluorine atom, an aryl group, a vinyl group, an allyl group, a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms substituted with fluorine, or an unsubstituted group. Is a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. n is an integer of 2 to 10.

式(1)中、Rは、各々独立して、フッ素で置換された直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基、又は非置換の直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基であることが好ましく、非置換の直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基であることがより好ましく、メチル基であることが更に好ましい。これにより、硬化性組成物は、一層高い出力と一層高い信頼性を発現できる傾向にある。 In formula (1), each R is independently a fluorine-substituted linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or an unsubstituted linear or branched carbon atom having 1 to 4 carbon atoms. It is preferably a C4 alkyl group, more preferably an unsubstituted linear or branched C1-4 alkyl group, and even more preferably a methyl group. Thereby, the curable composition tends to exhibit higher output and higher reliability.

式(1)中、nは、2〜5であることが好ましく、2〜4であることがより好ましい。3であることが特に好ましい。これにより、主鎖骨格の柔軟性と剛直性のバランスが取れるため、紫外線照射による耐久性が発現する傾向にある。 In the formula (1), n is preferably 2 to 5, and more preferably 2 to 4. 3 is particularly preferable. As a result, the flexibility and rigidity of the main chain skeleton are balanced, so that durability tends to be exhibited by ultraviolet irradiation.

式(1)で表される環状シラノール(A1)及びその脱水縮合物(A2)は、式(10)で表される環状シラノール(A10)、及びその脱水縮合物(A20)であることが好ましい。これにより、主鎖骨格の柔軟性と剛直性のバランスが取れるため、紫外線照射による耐久性が発現する傾向にある。 The cyclic silanol (A1) represented by the formula (1) and its dehydrated condensate (A2) are preferably the cyclic silanol (A10) represented by the formula (10) and its dehydrated condensate (A20). .. As a result, the flexibility and rigidity of the main chain skeleton are balanced, so that durability tends to be exhibited by ultraviolet irradiation.

また、本実施形態のシラノール組成物は、3μmの厚みにおいて、ヘイズが5%以下であることが好ましい。これにより、光学的な透明性が向上する傾向にある。 Further, the silanol composition of the present embodiment preferably has a haze of 5% or less at a thickness of 3 μm. This tends to improve the optical transparency.

式(10)中、Rは、前記式(1)中のRと同義である。 In the formula (10), R has the same meaning as R in the formula (1).

本実施形態のシラノール組成物は、3μmの厚みにおいて、ヘイズが5%以下であることが好ましい。シラノール組成物のヘイズが5%以下であることにより、硬化物としたときの透明性が高くなり、接着力に優れる傾向にある。シラノール組成物におけるヘイズを5%以下とする方法としては、例えば、式(1)で表される環状シラノール(A1)における異性体の割合を調整して結晶性の高い異性体の割合を低下させる方法や、組成物に含まれる金属量を抑える方法等が挙げられる。シラノール組成物のヘイズは、より好ましくは2%以下であり、さらに好ましくは1%以下である。シラノール組成物のヘイズは、具体的には、実施例に記載の方法によって測定することができる。 The silanol composition of the present embodiment preferably has a haze of 5% or less at a thickness of 3 μm. When the haze of the silanol composition is 5% or less, the transparency of the cured product tends to be high and the adhesive strength tends to be excellent. As a method for reducing the haze in the silanol composition to 5% or less, for example, the proportion of isomers in the cyclic silanol (A1) represented by the formula (1) is adjusted to reduce the proportion of isomers having high crystallinity. Examples include a method and a method of suppressing the amount of metal contained in the composition. The haze of the silanol composition is more preferably 2% or less, further preferably 1% or less. The haze of the silanol composition can be specifically measured by the method described in Examples.

本実施形態のシラノール組成物は、式(1)で表される環状シラノールの脱水縮合物を含む。式(1)で表される環状シラノールの脱水縮合物とは、式(1)で表される環状シラノールが有するシラノール基の少なくとも一つが、少なくとも一つの式(1)で表される別の環状シラノール分子における少なくとも一つのシラノール基と脱水縮合し、シロキサン結合を生成する反応により得られる化合物である。式(1)で表される環状シラノールの脱水縮合物は、例えば、模式的に以下の式(20)で表すことができる。 The silanol composition of the present embodiment contains a dehydrated condensate of cyclic silanol represented by the formula (1). The dehydrated condensate of the cyclic silanol represented by the formula (1) means that at least one of the silanol groups contained in the cyclic silanol represented by the formula (1) is another cyclic group represented by the formula (1). It is a compound obtained by a reaction of forming a siloxane bond by dehydration condensation with at least one silanol group in a silanol molecule. The dehydrated condensate of cyclic silanol represented by the formula (1) can be schematically represented by the following formula (20).

式(20)中、4つのRは、前記式(1)中のRと同義である。であり、mは、2以上の整数である。環状シラノールにおける脱水縮合するシラノール基は、いずれのシラノール基であってもよい。このとき、式(20)で表される脱水縮合物においては、2分子以上の環状シラノール構造間で2以上のシロキサン結合が形成されていてもよい。 In formula (20), four Rs have the same meanings as R in formula (1). And m is an integer of 2 or more. The silanol group that undergoes dehydration condensation in the cyclic silanol may be any silanol group. At this time, in the dehydration condensation product represented by the formula (20), two or more siloxane bonds may be formed between two or more molecules of the cyclic silanol structure.

式(10)で表される環状シラノールの脱水縮合物としては、具体的には、以下の化合物が挙げられる。ただし、式(10)で表される環状シラノールの脱水縮合物は以下の化合物に限定されるものではない。
なお、以下の化合物における、環状シラノール骨格に対するヒドロキシ基(−OH)及びR基の配向は制限されない。また、以下の化合物におけるRは、各々独立して式(10)におけるR1〜R4のいずれかである。さらに、以下の化合物におけるRの好ましい基としては、R1〜R4基と同様の好ましい基を挙げることができる。
Specific examples of the dehydrated condensate of the cyclic silanol represented by the formula (10) include the following compounds. However, the dehydrated condensate of cyclic silanol represented by the formula (10) is not limited to the following compounds.
The orientations of the hydroxy group (—OH) and the R group with respect to the cyclic silanol skeleton in the following compounds are not limited. Moreover, R in the following compounds is each independently one of R 1 to R 4 in the formula (10). Furthermore, as the preferable groups of R in the following compounds, the same preferable groups as the R 1 to R 4 groups can be mentioned.

式(10)で表される環状シラノールの脱水縮合物は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーの測定によって算出した分子量が、好ましくは500〜1,000,000であり、より好ましくは500〜100,000であり、さらに好ましくは500〜10,000である。 The dehydrated condensate of the cyclic silanol represented by the formula (10) has a molecular weight calculated by gel permeation chromatography of preferably 500 to 1,000,000, more preferably 500 to 100,000. Yes, and more preferably 500-10,000.

本実施形態のシラノール組成物は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーの測定において、前記脱水縮合物(A2)の面積が、前記環状シラノール(A1)及び前記脱水縮合物(A2)の総面積に対して、0%超過50%以下であることが好ましい。ゲルパーミエーションクロマトグラフィーの測定により求められる各化合物の面積は、シラノール組成物中の各化合物の含有量を表す。A2の面積が0%超過50%以下であることにより、シラノール組成物を製造する際に、粘度が高くなり過ぎず、有機溶媒や水を含むシラノール組成物から有機溶媒や水を除去しやすくなる傾向にある。A2の面積は、より好ましくは0%超過40%以下であり、さらに好ましくは0%超過25%以下である。A2の面積、すなわちA2の含有量は、例えば、シラノール組成物の製造において、ヒドロシラン化合物を酸化させ環状シラノールを得るとき、酸化反応後の精製により制御することができる。ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによるA1及びA2の面積、すなわち、A1及びA2の含有量の測定は、具体的には実施例に記載の方法によって行うことができる。 In the silanol composition of the present embodiment, in the measurement of gel permeation chromatography, the area of the dehydrated condensate (A2) is relative to the total area of the cyclic silanol (A1) and the dehydrated condensate (A2), It is preferably more than 0% and 50% or less. The area of each compound obtained by the measurement of gel permeation chromatography represents the content of each compound in the silanol composition. When the area of A2 is more than 0% and 50% or less, the viscosity does not become too high when the silanol composition is produced, and the organic solvent and water are easily removed from the silanol composition containing the organic solvent and water. There is a tendency. The area of A2 is more preferably more than 0% and 40% or less, still more preferably more than 0% and 25% or less. The area of A2, that is, the content of A2 can be controlled, for example, by purification after the oxidation reaction when a hydrosilane compound is oxidized to obtain a cyclic silanol in the production of a silanol composition. The area of A1 and A2, that is, the content of A1 and A2 by gel permeation chromatography can be specifically measured by the method described in Examples.

本実施形態のシラノール組成物は、例えば、水又はアルコールの存在下で、ヒドロシラン化合物を酸化させること等によって調製することができる。ヒドロシラン化合物は、水素を含有する四置換テトラシクロシロキサンであればいずれも使用することができ、市販品を使用することができる。ヒドロシラン化合物は、好ましくは、以下の式(8)で表される四置換テトラシクロシロキサンである。 The silanol composition of this embodiment can be prepared by, for example, oxidizing a hydrosilane compound in the presence of water or alcohol. As the hydrosilane compound, any tetra-substituted tetracyclosiloxane containing hydrogen can be used, and a commercially available product can be used. The hydrosilane compound is preferably a tetra-substituted tetracyclosiloxane represented by the following formula (8).

式(8)中、Rは、各々独立して、フッ素、アリール基、ビニル基、アリル基、フッ素で置換された直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基、又は、非置換の直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキルである。 In the formula (8), each R is independently a fluorine, an aryl group, a vinyl group, an allyl group, a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms substituted with fluorine, or an unsubstituted group. Is a straight-chain or branched alkyl having 1 to 4 carbon atoms.

環状ヒドロシラン化合物としては、具体的には、テトラメチルテトラシクロシロキサン等が挙げられる。一般的に、前記環状ヒドロシラン化合物は、ヒドロキシ又はアルコキシ官能基を有しないが、このような官能基は、酸化反応前に一定量含まれていてもよい。 Specific examples of the cyclic hydrosilane compound include tetramethyltetracyclosiloxane and the like. Generally, the cyclic hydrosilane compound does not have a hydroxy or alkoxy functional group, but such functional group may be included in a certain amount before the oxidation reaction.

ヒドロシラン化合物を酸化する方法としては、例えば、触媒及び/又は酸化剤を使用する方法等が挙げられる。触媒としては、例えば、Pd、Pt及びRh等の金属触媒を使用することができる。これらの金属触媒は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。また、これらの金属触媒は、炭素等の担体に担持されていてもよい。
酸化剤としては、例えば、ペルオキシド類等を使用することができる。ペルオキシド類としては、いずれも使用することができ、例えば、ジメチルジオキシランのようなオキシラン類等が挙げられる。
ヒドロシラン化合物を酸化する方法としては、反応性、及び反応後の触媒除去が容易であるとの観点から、Pd/炭素を用いることが好ましい。
Examples of the method of oxidizing the hydrosilane compound include a method of using a catalyst and/or an oxidizing agent. As the catalyst, for example, a metal catalyst such as Pd, Pt and Rh can be used. These metal catalysts may be used alone or in combination of two or more. Further, these metal catalysts may be supported on a carrier such as carbon.
As the oxidant, for example, peroxides and the like can be used. Any of the peroxides can be used, and examples thereof include oxiranes such as dimethyldioxirane.
As a method of oxidizing the hydrosilane compound, it is preferable to use Pd/carbon from the viewpoint of reactivity and easy removal of the catalyst after the reaction.

水又はアルコールの存在下で、ヒドロシラン化合物を酸化させることによって調製される環状シラノールは、環状構造であるために、原料のSiH基の水素原子のシス、トランスに由来する、種々の異性体を含む。
前記式(8)で表される環状ヒドロシラン化合物は、クロロシランの加水分解や、ポリメチルシロキサンの平衡化重合反応により得られるが、シス、トランスに由来する異性体の割合を制御することは困難であるため、環状ヒドロシラン化合物中には様々なシス、トランスに由来した異性体が混在する。本実施形態における環状ヒドロシラン化合物のシス及びトランスとは、それぞれ、隣接する2つのヒドロキシ基又は隣接する2つのR基が環状シロキサン骨格に対し同じ配向であること(シス)、隣接する2つのヒドロキシ基又は隣接する2つのR基が環状シロキサン骨格に対し異なる配向であること(トランス)を指す。
Cyclic silanol prepared by oxidizing a hydrosilane compound in the presence of water or alcohol has various isomers derived from cis and trans of the hydrogen atom of the starting SiH group because of its cyclic structure. ..
The cyclic hydrosilane compound represented by the above formula (8) is obtained by hydrolysis of chlorosilane or equilibrium polymerization reaction of polymethylsiloxane, but it is difficult to control the ratio of cis and trans isomers. Therefore, various cis and trans isomers are mixed in the cyclic hydrosilane compound. The cis and trans of the cyclic hydrosilane compound in the present embodiment mean that two adjacent hydroxy groups or two adjacent R groups have the same orientation with respect to the cyclic siloxane skeleton (cis), and two adjacent hydroxy groups. Alternatively, two adjacent R groups have different orientations with respect to the cyclic siloxane skeleton (trans).

上述の酸化反応により製造した環状シラノールに含まれる異性体としては、以下の式(2)で表されるall-cis型の環状シラノール(B1)が挙げられる。all-cis型の環状シラノール(B1)は、式(2)によって示されるように、すべてのヒドロキシ基及びR1〜R4基が、それぞれ環状シロキサン骨格に対し同じ向きで配置する。 Examples of the isomers contained in the cyclic silanol produced by the above-mentioned oxidation reaction include all-cis type cyclic silanol (B1) represented by the following formula (2). In the all-cis type cyclic silanol (B1), all the hydroxy groups and the R 1 to R 4 groups are respectively arranged in the same direction with respect to the cyclic siloxane skeleton, as shown by the formula (2).

式(2)中、Rは、各々独立して、フッ素、アリール基、ビニル基、アリル基、フッ素で置換された直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル、又は、非置換の直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキルである。 In the formula (2), each R is independently fluorine, an aryl group, a vinyl group, an allyl group, a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms substituted with fluorine, or an unsubstituted group. It is a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.

式(2)で表されるall-cis型の環状シラノール(B1)によって、環状ヒドロシラン化合物から酸化反応により合成した環状シラノールが白濁する傾向にある。この現象は、all-cis型の環状シラノール(B1)が結晶性を有するためであると考えられ、特に、保存中や、−30℃にて冷凍保管した場合に顕著である。結晶性が高い環状シラノールを除去することにより、シラノール組成物中で該シラノールが結晶化して析出することを防ぎ、透明性の高いシラノール組成物が得られ、透明性の高い硬化物も得ることができる。また、結晶性の高い環状シラノールを除去することにより、シラノール組成物の接着力が向上する。 With the all-cis type cyclic silanol (B1) represented by the formula (2), the cyclic silanol synthesized from the cyclic hydrosilane compound by the oxidation reaction tends to become cloudy. This phenomenon is considered to be due to the crystallinity of the all-cis type cyclic silanol (B1), and is particularly remarkable during storage or when frozen at −30° C. By removing the highly crystalline cyclic silanol, it is possible to prevent the silanol from crystallizing and precipitating in the silanol composition, a highly transparent silanol composition is obtained, and a highly transparent cured product can also be obtained. it can. Further, by removing the cyclic silanol having high crystallinity, the adhesive force of the silanol composition is improved.

透明性の高いシラノール組成物を得る観点から、環状シラノール(B1)の割合を少なく抑えることが好ましい。
環状シラノール(B1)の割合を抑える方法としては、例えば、再結晶操作と結晶の除去とを組み合わせる方法等が挙げられる。
より具体的には、環状シラノールの合成で得られた生成物の良溶媒溶液に、貧溶媒を添加することにより、環状シラノール(B1)が結晶として析出する。析出した環状シラノール(B1)を除去し、可溶部の溶液を濃縮することにより、シラノール組成物中の環状シラノール(B1)の割合を抑え、透明性の高いシラノール組成物を得ることができる。
From the viewpoint of obtaining a highly transparent silanol composition, it is preferable to keep the ratio of the cyclic silanol (B1) small.
Examples of the method for suppressing the proportion of the cyclic silanol (B1) include a method in which a recrystallization operation and a crystal removal are combined.
More specifically, by adding a poor solvent to a good solvent solution of the product obtained by the synthesis of cyclic silanol, cyclic silanol (B1) is precipitated as crystals. By removing the precipitated cyclic silanol (B1) and concentrating the solution in the soluble portion, the ratio of the cyclic silanol (B1) in the silanol composition can be suppressed and a highly transparent silanol composition can be obtained.

再結晶操作を行う際、透明性の高いシラノール組成物を得る観点から、冷却温度は10℃未満が好ましい。また、環状シラノールの収量向上の観点から、貧溶媒の量(体積)は、良溶媒の等量以上、20倍以下が好ましい。 When performing the recrystallization operation, the cooling temperature is preferably less than 10° C. from the viewpoint of obtaining a highly transparent silanol composition. From the viewpoint of improving the yield of cyclic silanol, the amount (volume) of the poor solvent is preferably equal to or more than 20 times the equivalent amount of the good solvent.

良溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、アセトン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、グリセリン、エチレングリコール、メチルエチルケトン等が挙げられる。これらの良溶媒は一種単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
貧溶媒としては、例えば、トルエン、クロロホルム、ヘキサン、ジクロロメタン、キシレン等が挙げられる。これらの貧溶媒は一種単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
Examples of the good solvent include tetrahydrofuran, diethyl ether, acetone, methanol, ethanol, isopropanol, dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, glycerin, ethylene glycol, methyl ethyl ketone, and the like. These good solvents may be used alone or in combination of two or more.
Examples of the poor solvent include toluene, chloroform, hexane, dichloromethane, xylene and the like. These poor solvents may be used alone or in combination of two or more.

環状シラノール(B1)の割合は、合成により得られた環状シラノールを1H−NMR測定することより算出することができる。具体的には、1H−NMR測定において、環状シラノール(B1)が有するR1〜R4基に含まれる水素は、環状シラノールの他の異性体が有するR1〜R4基中の水素に対して、最も高磁場側にて観測される。したがって、これらの水素の積分値から環状シラノール(B1)の割合を算出する。 Ratio of cyclic silanol (B1) is a cyclic silanol obtained by synthesis can be calculated from measuring 1 H-NMR. Specifically, in the 1 H-NMR measurement, hydrogen contained in R 1 to R 4 radicals having cyclic silanol (B1) is a hydrogen R 1 to R 4 radicals having other isomers of cyclic silanol On the other hand, it is observed at the highest magnetic field side. Therefore, the ratio of cyclic silanol (B1) is calculated from the integrated value of these hydrogens.

ヒドロシラン化合物の酸化を行う際金属触媒を用いた場合、上述した再結晶操作により、不溶物残渣中に金属触媒中に含まれる遷移金属が残るため、結晶を除去する操作によって、ろ液中の遷移金属の割合を低減することができる。したがって、式(2)で表される環状シラノールを除くための操作によって、金属触媒が残留することに由来するシラノールの着色を低減することも可能となる。シラノール組成物の光透過性を高くする観点から、遷移金属の割合は、シラノール組成物の全重量に対し、1質量ppm未満であることが好ましい。遷移金属の割合は、具体的には、実施例に記載の方法によって測定することができる。遷移金属としては、例えば、パラジウムが挙げられる。 When a metal catalyst is used for the oxidation of the hydrosilane compound, the recrystallization operation described above causes the transition metal contained in the metal catalyst to remain in the insoluble residue. The proportion of metal can be reduced. Therefore, by the operation for removing the cyclic silanol represented by the formula (2), it is possible to reduce the coloring of the silanol due to the residual metal catalyst. From the viewpoint of increasing the light transmittance of the silanol composition, the proportion of the transition metal is preferably less than 1 mass ppm with respect to the total weight of the silanol composition. The proportion of transition metal can be specifically measured by the method described in Examples. Examples of the transition metal include palladium.

また、ヒドロシラン化合物として式(8)で表される四置換テトラシクロシロキサンを原料に用いて酸化させた場合、得られるテトラヒドロキシ四置換テトラシクロシロキサンは、下記式(2)〜(5)で表される環状シラノール(B1)〜(B4)が混在してよく、好ましくは環状シラノール(B1)〜(B4)からなる。 Further, when a tetrasubstituted tetracyclosiloxane represented by the formula (8) is used as a hydrosilane compound as a raw material and is oxidized, the obtained tetrahydroxytetrasubstituted tetracyclosiloxane is represented by the following formulas (2) to (5). The cyclic silanols (B1) to (B4) may be mixed and are preferably composed of the cyclic silanols (B1) to (B4).

式(2)〜(5)中、Rは、各々独立して、フッ素、アリール基、ビニル基、アリル基、フッ素で置換された直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基、又は、非置換の直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基である。 In formulas (2) to (5), each R independently represents fluorine, an aryl group, a vinyl group, an allyl group, a fluorine-substituted linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, Alternatively, it is an unsubstituted linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.

本実施形態における環状シラノール(A10)は、下記式(2)〜(5)で表される環状シラノール(B1)〜(B4)を含有し、前記環状シラノール(B1)〜(B4)の総量に対する前記環状シラノール(B2)の割合(モル%)をbとしたとき、0<b≦20を満たすことが好ましい。これにより、環状シラノールの結晶化が抑制されることにより光学的な透明性が向上する傾向にある。 The cyclic silanol (A10) in the present embodiment contains the cyclic silanols (B1) to (B4) represented by the following formulas (2) to (5), and is based on the total amount of the cyclic silanols (B1) to (B4). When the ratio (mol %) of the cyclic silanol (B2) is b, 0<b≦20 is preferably satisfied. This tends to improve the optical transparency by suppressing the crystallization of the cyclic silanol.

割合bを0<b≦20とする方法としては、上述したように、例えば、再結晶操作と結晶の除去とを組み合わせる方法等が挙げられる。ヒドロシラン化合物としてテトラメチルテトラシクロシロキサンを原料に用いて酸化させた場合、得られるテトラヒドロキシテトラメチルテトラシクロシロキサンの1H−NMRを測定した場合、4種類の異性体の6種類のピークが観測される(ここで、trans-trans-cisについては、3種類のピークが観測される。)。R1〜R4基中の水素は、高磁場側から、all-cis(環状シラノール(B1))、trans-trans-cis(環状シラノール(B3))、trans-trans-cis(環状シラノール(B3))、cis-trans-cis(環状シラノール(B2))、all-trans(環状シラノール(B4))、trans-trans-cis(環状シラノール(B3))型の順に観測されるため、かかる水素の積分値から、前記環状シラノール(B1)〜(B4)のそれぞれの割合を算出する。 As a method of setting the ratio b to 0<b≦20, as described above, for example, a method of combining a recrystallization operation and removal of crystals can be mentioned. When tetramethyltetracyclosiloxane is used as a raw material for the hydrosilane compound and is oxidized, when 1 H-NMR of the resulting tetrahydroxytetramethyltetracyclosiloxane is measured, 6 types of peaks of 4 types of isomers are observed. (Here, three kinds of peaks are observed for trans-trans-cis.) Hydrogen in the R 1 to R 4 groups is all-cis (cyclic silanol (B1)), trans-trans-cis (cyclic silanol (B3)), trans-trans-cis (cyclic silanol (B3) from the high magnetic field side. )), cis-trans-cis (cyclic silanol (B2)), all-trans (cyclic silanol (B4)), trans-trans-cis (cyclic silanol (B3)) type are observed in this order, so From the integrated value, the respective proportions of the cyclic silanols (B1) to (B4) are calculated.

式(3)で表される環状シラノール(B2)もまた結晶性を有するため、反応溶液に良溶媒を用いた場合、貧溶媒を添加することにより結晶として析出する。環状シラノール(B2)により、合成した環状シラノール(A1)が白濁する傾向にある。この現象は、cis-trans-cis型の環状シラノール(B2)が結晶性を有するためであると考えられ、特に、保存中や、−30℃にて冷凍保管した場合に顕著である。 Since the cyclic silanol (B2) represented by the formula (3) also has crystallinity, when a good solvent is used in the reaction solution, it is precipitated as a crystal by adding a poor solvent. Due to the cyclic silanol (B2), the synthesized cyclic silanol (A1) tends to become cloudy. This phenomenon is considered to be because the cis-trans-cis type cyclic silanol (B2) has crystallinity, and is particularly remarkable during storage or when frozen at -30°C.

透明性の高いシラノール組成物を得る観点から、環状シラノール(B2)の割合は、式(1)で表される環状シラノールに対して、好ましくは0%〜50%であり、より好ましくは0%〜40%であり、さらに好ましくは0〜35%であり、よりさらに好ましくは0%以上35%未満である。 From the viewpoint of obtaining a highly transparent silanol composition, the ratio of the cyclic silanol (B2) is preferably 0% to 50%, more preferably 0%, with respect to the cyclic silanol represented by the formula (1). It is -40%, more preferably 0-35%, and even more preferably 0% or more and less than 35%.

環状シラノール(B1)〜(B4)の総量に対する前記環状シラノール(B1)の割合(モル%)をaとしたとき、0<a≦60を満たすことが好ましい。これにより、環状シラノールの結晶化が抑制されることにより光学的な透明性が向上する傾向にある。 When the ratio (mol %) of the cyclic silanol (B1) to the total amount of the cyclic silanols (B1) to (B4) is a, it is preferable that 0<a≦60 is satisfied. This tends to improve the optical transparency by suppressing the crystallization of the cyclic silanol.

割合bを0<a≦60とする方法としては、例えば、(B1)を公知の方法により合成し、混合する方法が挙げられる。 Examples of the method of setting the ratio b to 0<a≦60 include a method of synthesizing (B1) by a known method and mixing them.

本実施形態のシラノール組成物は、上述したように、水又はアルコールの存在下で、ヒドロシラン化合物を酸化させることによって環状シラノールを調製し、当該環状シラノールの合成で得られた生成物の良溶媒溶液に貧溶媒を添加することによる再結晶、ろ過を経て、ろ過により得られる可溶部の溶液を濃縮することにより、好適に製造される。本実施形態のシラノール組成物の製造において、可溶部の溶液の濃縮は任意で行えばよく、可溶部の溶液そのものをシラノール組成物として使用してもよい。また、可溶部の溶液の濃縮では当該溶液に含まれるすべての溶媒を除去する必要はないため、本実施形態のシラノール組成物は、可溶部の溶液に含まれる溶媒の一部を留去して得られる粗濃縮物であってもよい。またさらに、本実施形態のシラノール組成物は、可溶部の溶液を濃縮した後に、溶媒で再希釈したものであってもよい。 As described above, the silanol composition of the present embodiment is a good solvent solution of a product obtained by preparing a cyclic silanol by oxidizing a hydrosilane compound in the presence of water or an alcohol and synthesizing the cyclic silanol. It is preferably produced by subjecting the solution of the soluble portion obtained by filtration to recrystallization and filtration by adding a poor solvent to the solution and concentrating the solution. In the production of the silanol composition of this embodiment, the solution of the soluble part may be optionally concentrated, and the solution of the soluble part itself may be used as the silanol composition. Moreover, since it is not necessary to remove all the solvent contained in the solution in the concentration of the solution in the soluble part, the silanol composition of the present embodiment distills off part of the solvent contained in the solution in the soluble part. It may be a crude concentrate obtained by. Furthermore, the silanol composition of the present embodiment may be obtained by concentrating the solution of the soluble part and then re-diluting it with a solvent.

以上のように、本実施形態の好ましい態様の一つは、溶媒を含むシラノール組成物である。溶媒を含むシラノール組成物における溶媒の量は、特に制限されないが、シラノール組成物全量に対し、好ましくは95質量%以下であり、より好ましくは90質量%以下であり、さらに好ましくは85質量%以下である。溶媒の量の下限値は特に限定されないが、通常1質量%以上である。 As described above, one of the preferable aspects of the present embodiment is a silanol composition containing a solvent. The amount of the solvent in the silanol composition containing the solvent is not particularly limited, but is preferably 95% by mass or less, more preferably 90% by mass or less, and further preferably 85% by mass or less based on the total amount of the silanol composition. Is. The lower limit of the amount of solvent is not particularly limited, but is usually 1% by mass or more.

溶媒を含むシラノール組成物における溶媒としては、反応に使用した水及び/又はアルコール、再結晶時に使用した良溶媒及び貧溶媒等が挙げられる。溶媒としては、以下に限定されるものではないが、具体的には、水、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、アセトン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、グリセリン、エチレングリコール、メチルエチルケトン、トルエン、クロロホルム、ヘキサン、ジクロロメタン、キシレン等が挙げられる。これらの溶媒は、一種単独であってもよく、二種以上の組み合わせであってもよい。 Examples of the solvent in the silanol composition containing the solvent include water and/or alcohol used in the reaction, a good solvent and a poor solvent used in recrystallization, and the like. The solvent is not limited to the following, specifically, water, tetrahydrofuran, diethyl ether, acetone, methanol, ethanol, isopropanol, dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, glycerin, ethylene glycol, methyl ethyl ketone, toluene, chloroform. , Hexane, dichloromethane, xylene and the like. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

本実施形態のシラノール組成物は、平均粒径1nm以上100nm以下のシリカ粒子をさらに含むことが好ましい。シリカ粒子の平均粒径が1nm以上であることにより、耐摩耗性に優れる傾向にある。また、シリカ粒子の粒径が100nm以下であることにより、透明分散性に優れる傾向にある。シリカ粒子の平均粒径は、好ましくは1nm以上50nm以下であり、より好ましくは2nm以上30nm以下であり、さらに好ましくは5nm以上20nm以下である。シリカ粒子の平均粒径は、動的光散乱測定により測定することができる。 The silanol composition of the present embodiment preferably further contains silica particles having an average particle size of 1 nm or more and 100 nm or less. When the average particle diameter of the silica particles is 1 nm or more, the abrasion resistance tends to be excellent. Further, when the particle size of the silica particles is 100 nm or less, the transparent dispersibility tends to be excellent. The average particle size of the silica particles is preferably 1 nm or more and 50 nm or less, more preferably 2 nm or more and 30 nm or less, and further preferably 5 nm or more and 20 nm or less. The average particle size of silica particles can be measured by dynamic light scattering measurement.

平均粒径1nm以上100nm以下のシリカ粒子としては、本実施形態のシラノール組成物の透明性を維持できれば、その形態は特に制限されない。シリカ粒子としては、通常の水性分散液の形態や、有機溶媒に分散させた形態で用いることができるが、シラノール組成物中に均一かつ安定に分散させる観点から、有機溶媒に分散させたコロイダルシリカを用いることが好ましい。 The silica particles having an average particle size of 1 nm or more and 100 nm or less are not particularly limited in form as long as the transparency of the silanol composition of the present embodiment can be maintained. The silica particles can be used in the form of an ordinary aqueous dispersion or in the form of being dispersed in an organic solvent, but from the viewpoint of uniformly and stably dispersing in a silanol composition, colloidal silica dispersed in an organic solvent. Is preferably used.

シリカ粒子を分散させる有機溶媒としては、以下に限定されるものではないが、例えば、メタノール、イソプロピルアルコール、n−ブタノール、エチレングリコール、キシレン/ブタノール、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等が挙げられる。
これらの中でも、シラノール組成物中にシリカ粒子を均一に分散させる観点から、シラノール組成物を溶解することができる有機溶媒を選択することが好ましい。
The organic solvent in which the silica particles are dispersed is not limited to the following. For example, methanol, isopropyl alcohol, n-butanol, ethylene glycol, xylene/butanol, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, dimethylformamide, dimethylacetamide, methyl ethyl ketone. , Methyl isobutyl ketone, and the like.
Among these, it is preferable to select an organic solvent capable of dissolving the silanol composition, from the viewpoint of uniformly dispersing the silica particles in the silanol composition.

有機溶媒に分散させた形態のコロイダルシリカとしては、以下に限定されるものではないが、例えば、メタノールシリカゾルMA−ST、イソプロピルアルコールシリカゾルIPA−ST、n−ブタノールシリカゾルNBA−ST、エチレングリコールシリカゾルEG−ST、キシレン/ブタノールシリカゾルXBA−ST、エチルセロソルブシリカゾルETC−ST、ブチルセロソルブシリカゾルBTC−ST、ジメチルホルムアミドシリカゾルDBF−ST、ジメチルアセトアミドシリカゾルDMAC−ST、メチルエチルケトンシリカゾルMEK−ST、メチルイソブチルケトンシリカゾルMIBK−ST(以上、商品名、日産化学社製)等の市販品を用いることができる。 The colloidal silica dispersed in an organic solvent is not limited to the following, and examples thereof include methanol silica sol MA-ST, isopropyl alcohol silica sol IPA-ST, n-butanol silica sol NBA-ST, ethylene glycol silica sol EG. -ST, xylene/butanol silica sol XBA-ST, ethyl cellosolve silica sol ETC-ST, butyl cellosolve silica sol BTC-ST, dimethylformamide silica sol DBF-ST, dimethylacetamide silica sol DMAC-ST, methyl ethyl ketone silica sol MEK-ST, methyl isobutyl ketone silica sol MIBK-. Commercially available products such as ST (above, trade name, manufactured by Nissan Kagaku Co., Ltd.) can be used.

本実施形態のシラノール組成物が平均粒径1nm以上100nm以下のシリカ粒子をさらに含む場合、上述したように、水又はアルコールの存在下で、ヒドロシラン化合物を酸化することによって環状シラノールを調製し、当該環状シラノールの合成で得られた生成物の良溶媒溶液に貧溶媒を添加することによる再結晶、ろ過を経て、ろ過により得られる可溶部の溶液を濃縮し、さらに、平均粒径1nm以上100nm以下のシリカ粒子又はシリカ粒子分散液を添加することにより、好適に製造される。 When the silanol composition of the present embodiment further contains silica particles having an average particle size of 1 nm or more and 100 nm or less, a cyclic silanol is prepared by oxidizing a hydrosilane compound in the presence of water or alcohol, as described above, After recrystallization by adding a poor solvent to a good solvent solution of the product obtained by the synthesis of cyclic silanol, and filtering, the solution of the soluble portion obtained by filtration is concentrated, and further, the average particle diameter is 1 nm or more and 100 nm. It is preferably produced by adding the following silica particles or a silica particle dispersion liquid.

本実施形態のシラノール組成物中の前記シリカ粒子の含有量は、シラノール組成物中の固形分の全量に対し、好ましくは10〜80質量%であり、より好ましくは20〜70質量%であり、さらに好ましくは30〜60質量%である。
前記シリカ粒子の含有量が10質量%以上であることにより、得られる硬化物の耐摩耗性が優れる傾向にある。また、前記シリカ粒子の含有量が80質量%以下であることにより、得られる硬化物の透明性が優れる傾向にある。
ここで、シラノール組成物中の固形分の全量は、好ましくは環状シラノール(A1)と前記シリカ粒子との合計量である。
The content of the silica particles in the silanol composition of the present embodiment is preferably 10 to 80% by mass, more preferably 20 to 70% by mass, based on the total amount of solids in the silanol composition. More preferably, it is 30 to 60 mass %.
When the content of the silica particles is 10% by mass or more, the resulting cured product tends to have excellent wear resistance. Further, when the content of the silica particles is 80% by mass or less, the obtained cured product tends to have excellent transparency.
Here, the total amount of solids in the silanol composition is preferably the total amount of the cyclic silanol (A1) and the silica particles.

本実施形態のシラノール組成物は、下記式(6)で表される両末端シラノール変性シロキサンをさらに含むことが好ましい。これにより、応力緩和性が発現することで耐クラック性が向上する傾向にある。 The silanol composition of the present embodiment preferably further contains a silanol-modified siloxane modified at both ends represented by the following formula (6). As a result, the stress relaxation property is exhibited, and the crack resistance tends to be improved.

式(6)中、R’は、各々独立して、フッ素、アリール基、ビニル基、アリル基、フッ素で置換された直鎖状若しくは分枝状の炭素数1〜4のアルキル基、又は、非置換の直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基であり、mは0〜1000の整数である。 In formula (6), R′ is each independently fluorine, an aryl group, a vinyl group, an allyl group, a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms substituted with fluorine, or It is an unsubstituted linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and m is an integer of 0 to 1000.

式(6)中、R'は、熱分解を抑制する観点から、好ましくは非置換の直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基であり、より好ましくは非置換の炭素数1〜2のアルキル基であり、さらに好ましくは非置換のメチル基である。 In the formula (6), R′ is preferably an unsubstituted linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably an unsubstituted C 1 carbon atom from the viewpoint of suppressing thermal decomposition. To 2 alkyl groups, more preferably unsubstituted methyl groups.

前記式(6)で表される両末端シラノール変性シロキサンの分子量は、環状シラノール(A1)との相溶性の観点から、好ましくは10000以下であり、より好ましくは5000以下であり、さらに好ましくは3500以下である。
また、前記式(6)で表される両末端シラノール変性シロキサンの分子量は、揮発を抑制する観点から、好ましくは200以上であり、より好ましくは300以上であり、さらに好ましくは400以上である。前記式(6)で表される両末端シラノール変性シロキサンの分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)により測定することができる。
From the viewpoint of compatibility with the cyclic silanol (A1), the molecular weight of the silanol-modified siloxane modified at both ends represented by the formula (6) is preferably 10000 or less, more preferably 5000 or less, and further preferably 3500. It is as follows.
Further, the molecular weight of the silanol-modified siloxane modified at both ends represented by the above formula (6) is preferably 200 or more, more preferably 300 or more, and further preferably 400 or more from the viewpoint of suppressing volatilization. The molecular weight of the silanol-modified siloxane modified at both ends represented by the above formula (6) can be measured by gel permeation chromatography (GPC).

両末端シラノール変性シロキサンとしては、以下に限定されるものではないが、例えば、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサンジオール−1,3−ジオール、1,1,3,3,5,5−ヘキサメチルジシロキサン−1,5−ジオール、1,1,3,3,5,5,7,7−オクタメチルテトラシロキサン−1,7−ジオール、1,1,3,3,5,5,7,7,9,9−デカメチルペンタシロキサン−1,9−ジオール、両末端ジオール変性ポリメチルジメチルジシロキサン等が挙げられる。
両末端シラノール変性シロキサンは、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
The both-end silanol-modified siloxane is not limited to the following, but for example, 1,1,3,3-tetramethyldisiloxanediol-1,3-diol, 1,1,3,3,5, 5-hexamethyldisiloxane-1,5-diol, 1,1,3,3,5,5,7,7-octamethyltetrasiloxane-1,7-diol, 1,1,3,3,5, Examples include 5,7,7,9,9-decamethylpentasiloxane-1,9-diol, diol-modified polymethyldimethyldisiloxane modified at both ends.
The silanol-modified siloxane having both terminals may be used alone or in combination of two or more.

両末端シラノール変性シロキサンとしては、市販品を用いてもよい。市販品としては、以下に限定されるものではないが、例えば、X21−5841、KF9701(以上信越化学製)、及びDMS−S12、DMS−S14、DMS−S15、DMS−S21、DMS−S27、DMS−S31、DMS−S32、DMS−S33、DMS−S35、DMS−S42、DMS−S45、DMS−S51(以上Gelest製)等が挙げられる。 A commercially available product may be used as the silanol-modified siloxane having both terminals. Examples of commercially available products include, but are not limited to, X21-5841, KF9701 (all manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), and DMS-S12, DMS-S14, DMS-S15, DMS-S21, DMS-S27, DMS-S31, DMS-S32, DMS-S33, DMS-S35, DMS-S42, DMS-S45, DMS-S51 (above made by Gelest) etc. are mentioned.

本実施形態のシラノール組成物中の前記両末端シラノール変性シロキサンの含有量は、シラノール組成物量に対し、好ましくは1〜80質量%であり、より好ましくは10〜60質量%であり、さらに好ましくは15〜50質量%である。前記両末端シラノール変性シロキサンの含有量の含有量が1質量%以上であることにより、得られる硬化物の耐クラック性が優れる傾向にある。また、前記両末端シラノール変性シロキサンの含有量の含有量が80質量%以下であることにより、得られる硬化物の透明性が優れる傾向にある。 The content of the silanol-modified siloxane having both terminals at the end in the silanol composition of the present embodiment is preferably 1 to 80% by mass, more preferably 10 to 60% by mass, and still more preferably the amount of silanol composition. It is 15 to 50% by mass. When the content of the silanol-modified siloxane modified at both ends is 1% by mass or more, the resulting cured product tends to have excellent crack resistance. Further, when the content of the silanol-modified siloxane modified at both ends is 80% by mass or less, the obtained cured product tends to have excellent transparency.

本実施形態のシラノール組成物は、ナトリウム(Na)及びバナジウム(V)の合計含有割合が60ppm未満であることが好ましい。Na及びVの合計の含有割合が60ppm未満であることにより、保存安定性が向上する傾向にある。シラノール組成物中のNa原子及びV原子の合計の含有割合は、好ましくは20ppm以下であり、より好ましくは12ppm以下であり、さらに好ましくは2ppm以下であり、さらにより好ましくは1ppm以下である。また、本実施形態のシラノール組成物中のNa、Vのそれぞれの含有割合は、保存安定性の観点から、30ppm未満であることが好ましく、10ppm以下であることがより好ましく、6ppm以下であることがさらに好ましく、1ppm以下であることがさらにより好ましい。 The silanol composition of the present embodiment preferably has a total content of sodium (Na) and vanadium (V) of less than 60 ppm. When the total content ratio of Na and V is less than 60 ppm, storage stability tends to be improved. The total content of Na atoms and V atoms in the silanol composition is preferably 20 ppm or less, more preferably 12 ppm or less, even more preferably 2 ppm or less, still more preferably 1 ppm or less. From the viewpoint of storage stability, the content ratio of each of Na and V in the silanol composition of the present embodiment is preferably less than 30 ppm, more preferably 10 ppm or less, and 6 ppm or less. Is more preferable and 1 ppm or less is even more preferable.

本実施形態のシラノール組成物中のNa及びVの合計の含有割合を60ppm未満に制御する方法としては、以下に限定されるものではないが、例えば、本実施形態のシラノール組成物を製造する際のろ過の工程において、粉末セルロースを濾過助剤として用いること等が挙げられる。粉末セルロースの市販品としては、以下に限定されるものではないが、例えば、KCフロック W50GK(日本製紙製)、KCフロック W100−GK(日本製紙製)、セルロース粉末38μm(400mesh)通過(和光純薬製)等が挙げられる。シラノール組成物中のNa、Vの含有割合を60ppm未満にする方法としては、上述した方法の他にも、Na及びVを含有しない濾過助剤を用いる方法等が挙げられる。 The method of controlling the total content ratio of Na and V in the silanol composition of the present embodiment to less than 60 ppm is not limited to the following, but for example, when the silanol composition of the present embodiment is produced. In the filtration step of, the use of powdered cellulose as a filter aid and the like can be mentioned. Commercially available products of powdered cellulose are not limited to the following, but for example, KC Flock W50GK (manufactured by Nippon Paper Industries), KC Flock W100-GK (manufactured by Nippon Paper Industries), cellulose powder 38 μm (400 mesh) passage (Wako Pure). Medicinal product) and the like. Examples of the method for reducing the content ratio of Na and V in the silanol composition to less than 60 ppm include a method using a filter aid containing neither Na nor V, in addition to the method described above.

シラノール組成物中のNa、Vの含有割合は、後述する実施例に記載された方法にしたがって測定することができる。 The content ratios of Na and V in the silanol composition can be measured according to the method described in Examples described later.

(硬化物)
本実施形態の硬化物は、本実施形態のシラノール組成物を含む。本実施形態の硬化物は、硬化させること、すなわち、本実施形態のシラノール組成物に含まれるシラノール基(−Si−OH)の脱水縮合反応により、シロキサン結合(−Si−O−Si−)を形成させることにより得られ、テトラヒドロフラン、トルエン等の溶媒に不溶なものである。
本実施形態の一つは、本実施形態のシラノール組成物を硬化させる方法である。
(Cured product)
The cured product of this embodiment includes the silanol composition of this embodiment. The cured product of the present embodiment is cured, that is, by the dehydration condensation reaction of the silanol group (-Si-OH) contained in the silanol composition of the present embodiment, a siloxane bond (-Si-O-Si-) is formed. It is obtained by forming and is insoluble in solvents such as tetrahydrofuran and toluene.
One of the present embodiments is a method of curing the silanol composition of the present embodiment.

環状シラノールは、触媒非存在下で重合してもよく、触媒を添加して重合してもよい。環状シラノールの重合に使用される触媒は、環状シラノールの加水分解及び縮合反応を促進させる作用をする。触媒としては、酸触媒又はアルカリ触媒を使用することができる。 The cyclic silanol may be polymerized in the absence of a catalyst, or may be polymerized by adding a catalyst. The catalyst used for the polymerization of cyclic silanol functions to accelerate the hydrolysis and condensation reaction of cyclic silanol. An acid catalyst or an alkali catalyst can be used as the catalyst.

酸触媒としては、特に制限はないが、例えば、塩酸、硝酸、硫酸、リン酸、フッ酸、ホルム酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ヘキサン酸、モノクロロ酢酸、ジクロロ酢酸、トリクロロ酢酸、トリフルオロ酢酸、シュウ酸、マロン酸、スルホン酸、フタル酸、フマル酸、クエン酸、マレイン酸、オレイン酸、メチルマロン酸、アジピン酸、p−アミノ安息香酸、及びp−トルエンスルホン酸等が好適に挙げられる。アルカリ触媒としては、特に制限はないが、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、アンモニア水及び有機アミン等が好適に挙げられる。また、無機塩基が使用される場合には、金属イオンを含まない絶縁膜を形成するための組成物が使用される。酸触媒及びアルカリ触媒は、それぞれ、一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。 The acid catalyst is not particularly limited, for example, hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, hydrofluoric acid, formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, hexanoic acid, monochloroacetic acid, dichloroacetic acid, trichloroacetic acid, Suitable are trifluoroacetic acid, oxalic acid, malonic acid, sulfonic acid, phthalic acid, fumaric acid, citric acid, maleic acid, oleic acid, methylmalonic acid, adipic acid, p-aminobenzoic acid, and p-toluenesulfonic acid. Are listed in. The alkali catalyst is not particularly limited, but preferred examples thereof include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium hydrogen carbonate, sodium carbonate, ammonium carbonate, ammonium hydrogen carbonate, aqueous ammonia, and organic amines. Moreover, when an inorganic base is used, a composition for forming an insulating film containing no metal ions is used. Each of the acid catalyst and the alkali catalyst may be used alone, or two or more kinds may be used in combination.

触媒の添加量は、反応条件によって調節することができ、環状シラノールの水酸基1モルに対して、好ましくは0.000001〜2モルである。添加量が環状シラノールの水酸基1モルに対して2モルを超える場合には、低濃度でも反応速度が非常に速いため分子量の調節が難しく、ゲルが発生しやすい傾向にある。 The amount of the catalyst added can be adjusted depending on the reaction conditions, and is preferably 0.000001 to 2 mol per 1 mol of the hydroxyl group of the cyclic silanol. When the amount added is more than 2 moles per 1 mole of the hydroxyl group of the cyclic silanol, the reaction rate is very fast even at a low concentration, so that it is difficult to control the molecular weight and gelation tends to occur.

硬化物を得る際に、シラノール組成物を酸触媒及びアルカリ触媒を利用することにより、段階的に加水分解及び縮合反応することができる。具体的には、シラノール組成物を酸で加水分解及び縮合反応を行った後、塩基で再び反応させたり、あるいは、塩基で先に加水分解及び縮合反応を行って、再び酸で反応させたりして、硬化物を得ることができる。また、酸触媒とアルカリ触媒とで各々反応させた後、縮合物を混合してシラノール組成物として使用することもできる。 When obtaining a cured product, the silanol composition can be subjected to a stepwise hydrolysis and condensation reaction by utilizing an acid catalyst and an alkali catalyst. Specifically, the silanol composition is hydrolyzed and condensed with an acid, and then reacted with a base again, or the hydrolysis and condensation reaction is first performed with a base and then reacted with an acid again. Thus, a cured product can be obtained. Alternatively, the silanol composition can be used by mixing the condensate after reacting with an acid catalyst and an alkali catalyst.

本実施形態のシラノール組成物を硬化させるとき、加熱してもよい。硬化物を硬化させるときの温度は、特に制限はないが、好ましくは60〜250℃であり、より好ましくは80〜200℃である。本実施形態のシラノール組成物を硬化させる方法では、10分〜48時間熱硬化させることが好ましい。 When curing the silanol composition of this embodiment, you may heat. The temperature for curing the cured product is not particularly limited, but is preferably 60 to 250°C, more preferably 80 to 200°C. In the method of curing the silanol composition of the present embodiment, it is preferable to perform heat curing for 10 minutes to 48 hours.

[紫外線発光装置]
本実施形態の紫外線発光装置は、紫外線透過性部材と、紫外線発光素子と、前記紫外線透過性部材の入射面及び前記紫外線発光素子の光取り出し面の間に配置された屈折率緩和物質層とを有する。図1は、本実施形態の紫外線発光装置の一例を示す模式断面図である。図1に示す紫外線発光装置100は、紫外線透過性部材2と、紫外線発光素子1と、紫外線透過性部材2の入射面110b及び紫外線発光素子1の光取り出し面110aの間に配置された屈折率緩和物質層3とを有し、紫外線発光素子1は、実装基板9に実装されていてもよい。
[Ultraviolet light emitting device]
The ultraviolet light emitting device of the present embodiment includes an ultraviolet transparent member, an ultraviolet light emitting element, and a refractive index relaxation material layer disposed between the incident surface of the ultraviolet transparent member and the light extraction surface of the ultraviolet light emitting element. Have. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of the ultraviolet light emitting device of this embodiment. The ultraviolet light emitting device 100 shown in FIG. 1 is provided with an ultraviolet light transmitting member 2, an ultraviolet light emitting element 1, and a refractive index disposed between an incident surface 110b of the ultraviolet light transmitting member 2 and a light extraction surface 110a of the ultraviolet light emitting element 1. The ultraviolet light emitting element 1 having the relaxing substance layer 3 may be mounted on the mounting substrate 9.

(紫外線透過性部材)
紫外線透過性部材2は、例えば、紫外線発光素子1から放出される紫外線を透過し、かつ紫外線が照射されることによって劣化しない形成材料から構成されている。形成材料は、屈折率緩和物質、石英、又はサファイアであることが好ましい。屈折率緩和物質としては、例えば、本実施形態の硬化物を含む。屈折率緩和物質は、本発明の作用効果を阻害しない範囲内においてその他の物質を含んでもよい。このような形成材料を用いると、屈折率緩和物質層と紫外線透過性部材間の屈折率差が発生せず、光の反射が発生しないため、光取り出し効率向上の観点で好ましい。
(UV transparent member)
The ultraviolet light transmissive member 2 is made of, for example, a forming material that transmits the ultraviolet light emitted from the ultraviolet light emitting element 1 and is not deteriorated by being irradiated with the ultraviolet light. The forming material is preferably a refractive index relaxing substance, quartz, or sapphire. Examples of the refractive index relaxing substance include the cured product of the present embodiment. The refractive index relaxing substance may contain other substances as long as the effects of the present invention are not impaired. The use of such a forming material is preferable from the viewpoint of improving the light extraction efficiency because there is no difference in the refractive index between the refractive index relaxation substance layer and the ultraviolet-transparent member and no light reflection occurs.

紫外線透過性部材は、210nm以上300nm未満の深紫外線を透過可能な深紫外線透過性部材であることが好ましい。これにより210nm以上300nm未満の深紫外線の吸収が抑制されるため、光取り出し効率向上の観点で好ましい。 The ultraviolet ray transmissive member is preferably a deep ultraviolet ray transmissive member capable of transmitting deep ultraviolet rays of 210 nm or more and less than 300 nm. This suppresses absorption of deep ultraviolet rays of 210 nm or more and less than 300 nm, which is preferable from the viewpoint of improving the light extraction efficiency.

紫外線透過性部材は、レンズ又は板状部材であることが好ましい。これにより紫外線透過性部材と空気界面での反射が低減されるため、光取り出し効率向上の観点で好ましい。 The ultraviolet transparent member is preferably a lens or a plate member. This reduces reflection at the interface between the ultraviolet-transparent member and the air, which is preferable from the viewpoint of improving the light extraction efficiency.

またレンズ形状は、凸型(半球型)に限定されず、紫外線発光素子1の光取出し面110aと接合されるための平面である底面を有しさえすれよい。レンズ形状の代表的なものを図2に示す。紫外線発光素子の光取り出し面と屈折率緩和層を介して接合していれば形状は問わないが、光取り出し効率向上の観点で凸球形状が好ましく,半球形状がさらに好ましい。この時チップの側壁を覆うドーム型であってもよい。これらの中でもレンズは、半球レンズであることが好ましい。半球レンズの場合、レンズ内を通過する光はレンズー空気界面において入射角度が90度に近くなり、界面での反射が抑制されるため、光取り出し効率が向上する傾向にある。 Further, the lens shape is not limited to a convex shape (hemispherical shape), and may have a bottom surface that is a flat surface to be joined to the light extraction surface 110a of the ultraviolet light emitting element 1. A typical lens shape is shown in FIG. The shape is not limited as long as it is bonded to the light extraction surface of the ultraviolet light emitting element via the refractive index relaxation layer, but a convex spherical shape is preferable and a hemispherical shape is more preferable from the viewpoint of improving the light extraction efficiency. At this time, a dome shape that covers the side wall of the chip may be used. Among these, the lens is preferably a hemispherical lens. In the case of a hemispherical lens, the incident angle of light passing through the lens is close to 90 degrees at the lens-air interface, and the reflection at the interface is suppressed, so that the light extraction efficiency tends to be improved.

また、紫外線透過性部材は、光取り出し効率向上の観点で紫外線発光素子のサイズ(チップサイズ)に対して2倍以上のサイズを有することが好ましい。紫外線発光素子の光取り出し面と屈折率緩和層を介して接合していれば紫外線発光素子と紫外線透過性部材(例えば、レンズ)の接合場所は問わないが、光取り出し効率向上の観点で光取り出し面の中央と紫外線透過性部材(例えば、レンズ)の中央が近接していることが好ましい。 Further, it is preferable that the ultraviolet-transmissive member has a size that is at least twice as large as the size (chip size) of the ultraviolet light-emitting element from the viewpoint of improving the light extraction efficiency. As long as it is bonded to the light extraction surface of the ultraviolet light emitting element through the refractive index relaxation layer, the position where the ultraviolet light emitting element and the ultraviolet transparent member (for example, lens) are bonded does not matter, but the light extraction is performed from the viewpoint of improving the light extraction efficiency. It is preferable that the center of the surface and the center of the ultraviolet-transmissive member (for example, lens) are close to each other.

(紫外線発光素子)
紫外線発光素子は、210nm以上300nm未満の深紫外光を発光する深紫外光発光素子であることが好ましい。これにより、レンズ内での深紫外光吸収が抑制されるため、光取り出し効率が向上する傾向にある。
(Ultraviolet light emitting element)
The ultraviolet light emitting element is preferably a deep ultraviolet light emitting element that emits deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm. As a result, absorption of deep ultraviolet light in the lens is suppressed, and the light extraction efficiency tends to be improved.

紫外線発光素子の構造は、特に制限されるものではない。具体的な項としては、組成式AlXGaYN(但し、X、Yは、X+Y=1を満足する有理数である)で表される単結晶層が複数積層された多層膜(積層構造)を有する構造が挙げられる。紫外線発光素子は、上記多層膜部分を有するものであれば、特に制限されるものではないが、以下の構成からなることが好ましい。具体的には、基板、基板上に成長された前記多層膜、さらに多層膜上に形成された電極からなることが好ましい。つまり、基板上に、多層膜を成長させ、その後、多層膜上に電極を形成することにより、紫外線発光素子を製造できる。 The structure of the ultraviolet light emitting element is not particularly limited. As a specific term, a multilayer film (laminated structure) in which a plurality of single crystal layers represented by the composition formula Al X Ga Y N (where X and Y are rational numbers satisfying X+Y=1) are laminated. And a structure having The ultraviolet light emitting element is not particularly limited as long as it has the above-mentioned multilayer film portion, but preferably has the following configuration. Specifically, it preferably comprises a substrate, the above-mentioned multilayer film grown on the substrate, and an electrode formed on the multilayer film. That is, the ultraviolet light emitting device can be manufactured by growing the multilayer film on the substrate and then forming the electrodes on the multilayer film.

図3は、紫外線発光素子の一例を示す模式断面図である。図3に示す紫外線発光素子1は、図1に示す紫外線発光素子1と同一である。紫外線発光素子1は、図3に示すように、基板111と、基板111上に形成された多層膜(N型半導体層8、発光層7、電子ブロック層6及びP型半導体層5)と、多層膜上に形成された電極(正極4a及び負極4b)と、を備える。 FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of the ultraviolet light emitting element. The ultraviolet light emitting element 1 shown in FIG. 3 is the same as the ultraviolet light emitting element 1 shown in FIG. As shown in FIG. 3, the ultraviolet light emitting element 1 includes a substrate 111, a multilayer film (N-type semiconductor layer 8, light emitting layer 7, electron block layer 6 and P-type semiconductor layer 5) formed on the substrate 111, An electrode (a positive electrode 4a and a negative electrode 4b) formed on the multilayer film.

(基板)
紫外線発光素子チップ1を製造する際、基板は、その上に多層膜を成長させるために使用される。紫外線発光素子は、基板上に多層膜を有する構造となり、フリップチップ接続を採用する際には、多層膜が存在しない反対側の面が光取出し面となる。
(substrate)
When manufacturing the ultraviolet light emitting device chip 1, the substrate is used to grow a multilayer film thereon. The ultraviolet light emitting element has a structure having a multilayer film on the substrate, and when the flip-chip connection is adopted, the surface on the opposite side where the multilayer film does not exist becomes the light extraction surface.

そのため、基板は、その表面に、組成式AlXGaYN(但し、X、Yは、X+Y=1を満足する有理数である)で表される単結晶層がエピタキシャル成長できるものであることが好ましい。具体的には、市販のサファイア、窒化アルミニウム(AlN)等であることが好ましい。その中でも、高品質の多層膜を形成することを考慮すると、基板は、窒化アルミニウム(AlN)単結晶により形成されていることが好ましい。 Therefore, the substrate is preferably one on which a single crystal layer represented by the composition formula Al x Ga Y N (where X and Y are rational numbers satisfying X+Y=1) can be epitaxially grown. .. Specifically, it is preferable to use commercially available sapphire, aluminum nitride (AlN), or the like. Among them, in consideration of forming a high quality multilayer film, the substrate is preferably formed of aluminum nitride (AlN) single crystal.

紫外線発光素子の光取出し面は、窒化アルミニウム単結晶により形成されていることが好ましい。これにより、結晶内での光の散乱、反射が抑制されるため、光取り出し効率が向上する傾向にある。 The light extraction surface of the ultraviolet light emitting element is preferably formed of an aluminum nitride single crystal. This suppresses the scattering and reflection of light in the crystal, which tends to improve the light extraction efficiency.

基板は、紫外光の透過性が低い場合は、研磨等により薄膜化してもよい。 When the substrate has low ultraviolet light transmittance, it may be thinned by polishing or the like.

また、基板の光取出し面には、光取出し効率を上昇させるため、後加工によって凹凸形状の微細な周期構造を付与してもよい。裏面の粗面の最大粗さRzが、10nm以上100μm以下であることが好ましく、10nm以上10μm以下であることがより好ましい。この加工は、特に制限されるものではなく、例えばウェット・ドライエッチングやサンドブラストによる粗面化、ナノインプリントなどの公知の方法を採用することができる。 Further, in order to increase the light extraction efficiency, a fine periodic structure having an uneven shape may be provided on the light extraction surface of the substrate by post-processing. The maximum roughness Rz of the rough surface on the back surface is preferably 10 nm or more and 100 μm or less, and more preferably 10 nm or more and 10 μm or less. This processing is not particularly limited, and known methods such as wet/dry etching, surface roughening by sandblasting, and nanoimprint can be adopted.

(多層膜)
多層膜は、組成式AlXGaYN(但し、X、Yは、X+Y=1を満足する有理数である)で表される単結晶層を複数有し、前記基板上で成長することができる。次の各層に限定されるわけではないが、多層膜は、n型半導体層(n型層)、発光層、電子ブロック層、およびp型半導体層(p型層)がこの順で積層された積層構造を有することが好ましい。これら各層は単結晶層である。以下で説明する各層は、公知の方法で製造することができ、MOCVD法により製造することが好ましい。
(Multilayer film)
The multilayer film has a plurality of single crystal layers represented by the composition formula Al X Ga Y N (where X and Y are rational numbers satisfying X+Y=1), and can be grown on the substrate. .. Although not limited to the following layers, the multilayer film includes an n-type semiconductor layer (n-type layer), a light emitting layer, an electron block layer, and a p-type semiconductor layer (p-type layer) stacked in this order. It preferably has a laminated structure. Each of these layers is a single crystal layer. Each layer described below can be manufactured by a known method, and is preferably manufactured by the MOCVD method.

n型AlXGaYN(但し、X、Yは、X+Y=1を満足する有理数である)層は、n型不純物を含むことが好ましい。不純物としては特に限定されるものではないが、Si、Ge、Snなどが挙げられ、好ましくはSi、Geである。なお、基板とこのn型AlXGaYN層との間には、AlN、またはn型AlXGaYN層を形成するIII族窒化物と同組成のバッファ層を有していてもよい。 The n-type Al X Ga Y N (provided that X and Y are rational numbers satisfying X+Y=1) layer preferably contains an n-type impurity. The impurities are not particularly limited, but include Si, Ge, Sn and the like, and preferably Si and Ge. A buffer layer having the same composition as AlN or the group III nitride forming the n-type Al X Ga Y N layer may be provided between the substrate and the n-type Al X Ga Y N layer. ..

発光層は、量子井戸構造を有している。つまり、組成式AlXGaYN(但し、X、Yは、X+Y=1を満足する有理数である)で表される井戸層と障壁層から構成される。 The light emitting layer has a quantum well structure. That is, it is composed of a well layer and a barrier layer represented by the composition formula Al X Ga Y N (where X and Y are rational numbers satisfying X+Y=1).

障壁層は、井戸層よりもバンドギャップエネルギーが大きくなることが好ましい。発光層は、単一量子井戸構造であっても、多重量子井戸構造であってもよい。 The barrier layer preferably has a bandgap energy larger than that of the well layer. The light emitting layer may have a single quantum well structure or a multiple quantum well structure.

電子ブロック層は、任意の層であるが、この電子ブロック層を設けることにより、n型層から供給される電子の、発光層から下記に詳述するp型層へのオーバーフローを抑制し、注入効率を高める効果を発揮する。電子ブロック層は、組成式AlXGaYN(但し、X、Yは、X+Y=1を満足する有理数である)で表される単結晶層である。また、電子ブロック層は、障壁層、および下記に詳述するp型クラッド層よりもバンドギャップエネルギーが大きくなることが好ましい。また、この電子ブロック層中には、下記のp型AlXGaYN層で説明する不純物が含まれてもよい。 The electron blocking layer is an arbitrary layer, but by providing this electron blocking layer, the electrons supplied from the n-type layer are prevented from overflowing from the light-emitting layer to the p-type layer described in detail below, and are injected. It has the effect of increasing efficiency. The electron block layer is a single crystal layer represented by the composition formula Al X Ga Y N (where X and Y are rational numbers satisfying X+Y=1). Further, the electron block layer preferably has a band gap energy larger than those of the barrier layer and the p-type clad layer described in detail below. Further, the electron blocking layer may contain impurities described in the following p-type Al x Ga y N layer.

p型AlXGaYN層は、特に制限されるものではないが、複数層であることが好ましい。具体的には、p型クラッド層、p型コンタクト層から構成されることが好ましい。なお、p型コンタクト層上にp型電極(正電極)が形成される。 The p-type Al X Ga Y N layer is not particularly limited, but is preferably a plurality of layers. Specifically, it is preferably composed of a p-type clad layer and a p-type contact layer. A p-type electrode (positive electrode) is formed on the p-type contact layer.

p型クラッド層は、組成式AlXGaYN(但し、X、Yは、X+Y=1を満足する有理数である)で表される単結晶層である。p型クラッド層の不純物としては、Mgが好適に挙げられる。 The p-type cladding layer is a single crystal layer represented by the composition formula Al X Ga Y N (where X and Y are rational numbers satisfying X+Y=1). Mg is preferable as the impurity of the p-type cladding layer.

p型コンタクト層は、組成式AlXGaYN(但し、X、Yは、X+Y=1を満足する有理数である)で表される単結晶層である。p型コンタクト層の不純物としては、p型クラッド層と同様Mgが好適に挙げられる。p型コンタクト層の組成は、コンタクト特性の観点から、上記組成の中でも、GaNとすることが望ましい。ただし、GaNは波長365nmに吸収端を持つため、GaN層の膜厚が厚過ぎると、深紫外領域の光を透過しなくなる。一方、GaN層の膜厚が薄過ぎると十分に電流が拡がらず、紫外発光素子チップの電気特性が悪化するおそれがある。そのため、p型コンタクト層がGaNからなる場合であっても、膜厚は、1nm以上50nm以下であることが好ましく、5nm以上30nm以下であることがより好ましい。 The p-type contact layer is a single crystal layer represented by the composition formula Al X Ga Y N (where X and Y are rational numbers that satisfy X+Y=1). As the impurity of the p-type contact layer, Mg is preferable as in the p-type clad layer. From the viewpoint of contact characteristics, the composition of the p-type contact layer is preferably GaN among the above compositions. However, since GaN has an absorption edge at a wavelength of 365 nm, if the GaN layer is too thick, it will not transmit light in the deep ultraviolet region. On the other hand, if the GaN layer is too thin, the current does not spread sufficiently, and the electrical characteristics of the ultraviolet light emitting element chip may deteriorate. Therefore, even when the p-type contact layer is made of GaN, the film thickness is preferably 1 nm or more and 50 nm or less, and more preferably 5 nm or more and 30 nm or less.

〔電極〕
負電極は、n型AlXGaYN層の露出面に形成される。前記n型AlXGaYN層の露出面は、エッチングにより形成できる。エッチングの手法としては、反応性イオンエッチング、誘導結合プラズマエッチング等のドライエッチングが挙げられる。前記n型AlXGaYN層の露出面を形成後、エッチングのダメージを除去するため、酸またはアルカリの溶液で表面処理を施すことが好ましい。その後、前記n型AlXGaYN層の露出面にオーミック性を有する負電極を形成する。
〔electrode〕
The negative electrode is formed on the exposed surface of the n-type Al X Ga Y N layer. The exposed surface of the n-type Al X Ga Y N layer can be formed by etching. Examples of the etching method include dry etching such as reactive ion etching and inductively coupled plasma etching. After forming the exposed surface of the n-type Al X Ga Y N layer, it is preferable to perform surface treatment with an acid or alkali solution in order to remove etching damage. Then, a negative electrode having an ohmic property is formed on the exposed surface of the n-type Al X Ga Y N layer.

電極のパターンニングは、公知の方法を採用できる。例えば、リフトオフ法を用いて実施できる。リフトオフ法で負電極金属を堆積する手法は、真空蒸着、スパッタリング、化学気相成長法等が挙げられるが、電極金属中の不純物を排除するため真空蒸着が好ましい。負電極に用いられる材料は、特に制限されるものではなく、例えば、Ti、Al、Rh、Cr、In、Ni、及びPt、Au等である。中でも、Ti、Al、Rh、Cr、Ni、Auを使用することが好ましい。これら負電極は、これらの金属の合金または酸化物を含む層を有する単層、又は多層構造であってもよく、オーミック性および反射率の観点から好ましい組み合わせは、Ti/Al/Ni/Auである。負電極金属を堆積後、n型層とのコンタクト性向上のため、300℃〜1100℃の温度で5秒〜3分間熱処理を施すことが好ましい。熱処理の温度、時間については、負電極の金属種、膜厚に応じて適宜最適な条件で実施すればよい。 A known method can be adopted for patterning the electrodes. For example, the lift-off method can be used. Examples of the method of depositing the negative electrode metal by the lift-off method include vacuum vapor deposition, sputtering, chemical vapor deposition method, etc., but vacuum vapor deposition is preferable in order to eliminate impurities in the electrode metal. The material used for the negative electrode is not particularly limited and is, for example, Ti, Al, Rh, Cr, In, Ni, Pt, Au, or the like. Above all, it is preferable to use Ti, Al, Rh, Cr, Ni, and Au. These negative electrodes may be a single layer having a layer containing an alloy or oxide of these metals, or a multilayer structure, and a preferable combination from the viewpoint of ohmic property and reflectance is Ti/Al/Ni/Au. is there. After depositing the negative electrode metal, it is preferable to perform heat treatment at a temperature of 300° C. to 1100° C. for 5 seconds to 3 minutes in order to improve the contact property with the n-type layer. Regarding the temperature and time of the heat treatment, the heat treatment may be performed under optimal conditions depending on the metal species and film thickness of the negative electrode.

正電極は、p型コンタクト層上に形成される。正電極のパターニングは、負電極のパターニング同様、リフトオフ法を用いることが好ましい。正電極に用いられる金属材料は、特に制限されるものではなく、例えば、Ni、Cr、Au、Mg、Zn、Rh及びPd等である。また、正電極は、これらの金属の合金または酸化物を含む層を有する単層、又は多層構造であってもよい、好ましい組み合わせは、Ni/Auである。 The positive electrode is formed on the p-type contact layer. For patterning the positive electrode, it is preferable to use the lift-off method as in the patterning of the negative electrode. The metal material used for the positive electrode is not particularly limited, and examples thereof include Ni, Cr, Au, Mg, Zn, Rh, and Pd. Further, the positive electrode may have a single layer having a layer containing an alloy or oxide of these metals, or a multilayer structure. A preferable combination is Ni/Au.

正電極の金属を堆積する方法は、負電極の形成と同様、真空蒸着、スパッタリング、化学気相成長法等が挙げられるが、電極金属中の不純物を排除するため真空蒸着が好ましい。正電極金属を堆積後、p型コンタクト層とのコンタクト性向上のため、200℃〜800℃の温度で30秒〜3分間熱処理を施すことが好ましい。熱処理の温度、時間については、正電極の金属種、膜厚に応じて適宜好適な条件で実施すればよい。 The method of depositing the metal of the positive electrode may be vacuum vapor deposition, sputtering, chemical vapor deposition, or the like, as in the formation of the negative electrode, but vacuum vapor deposition is preferable in order to eliminate impurities in the electrode metal. After depositing the positive electrode metal, it is preferable to perform heat treatment at a temperature of 200° C. to 800° C. for 30 seconds to 3 minutes in order to improve the contact property with the p-type contact layer. Regarding the temperature and time of the heat treatment, the heat treatment may be carried out under suitable conditions depending on the metal species of the positive electrode and the film thickness.

以上のような層を有する紫外線発光素子は、基板上に各層、電極を形成した後、スクライビング、ダイシング、レーザー溶断等の分離方法で分離して、1つの素子(チップ)とすることができる。本発明においては、切断前のウェハの状態のものを使用することもできるし、チップにしたものを使用することもできる。 The ultraviolet light emitting device having the layers as described above can be made into one device (chip) by forming each layer and the electrode on the substrate and then separating by a separating method such as scribing, dicing, laser fusing and the like. In the present invention, a wafer in a state before cutting may be used, or a chip may be used.

前記紫外線透過性部材が、210nm以上300nm未満の深紫外線を透過可能な深紫外線透過性部材であり、前記紫外線発光素子が、210nm以上300nm未満の深紫外光を発光する深紫外光発光素子であることが好ましい。 The ultraviolet light transmissive member is a deep ultraviolet light transmissive member capable of transmitting deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm, and the ultraviolet light emitting device is a deep ultraviolet light emitting device that emits deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm. It is preferable.

(屈折率緩和物質層)
屈折率緩和物質層は、本実施形態の硬化物を含む。屈折率緩和物質層は、本発明の作用効果を阻害しない範囲内においてその他の物質を含んでもよい。
(Refractive index relaxation material layer)
The refractive index relaxation material layer contains the cured product of the present embodiment. The refractive index relaxing substance layer may contain other substances within a range that does not impair the effects of the present invention.

屈折率緩和物質層の厚みは、特に限定されず、10nm〜1mmであってもよく、好ましくは10nm〜100μm、より好ましくは10nm〜20μm、さらに好ましくは10nm〜10μmである。屈折率緩和物質層の厚みが薄すぎるとレンズと接着し難くなる傾向にあり、厚すぎると深紫外光に伴う材料のシリカ化や架橋に伴う内部応力の増加によりクラックや剥離が入り易くなることで発光素子の光取り出し効率が低下してしまう傾向にある。 The thickness of the refractive index relaxing substance layer is not particularly limited, and may be 10 nm to 1 mm, preferably 10 nm to 100 μm, more preferably 10 nm to 20 μm, and further preferably 10 nm to 10 μm. If the thickness of the refractive index relaxation substance layer is too thin, it tends to be difficult to adhere to the lens, and if it is too thick, cracks and peeling are likely to occur due to an increase in internal stress due to silicification and crosslinking of the material associated with deep ultraviolet light. Therefore, the light extraction efficiency of the light emitting element tends to decrease.

(実装基板)
実装基板は、市販の発光素子パッケージに用いられるものを使用することができ、放熱性の観点から窒化アルミニウム焼結体や、アルミナ、金属製のものであることが好ましい。
(Mounting board)
As the mounting substrate, one used in a commercially available light emitting device package can be used, and from the viewpoint of heat dissipation, an aluminum nitride sintered body, alumina, or a metal substrate is preferable.

実装基板上に紫外線発光素子をフリップチップマウントし、実装基板表面に設けられた端子と紫外線発光素子に設けられた端子とを超音波により電気的に接続する。超音波を用いて電気的に接合する方法としてはGGI(Gold to Gold Interconnection)法を用いることができる。この接続方法は、特に制限されるものではなく、公知の方法を採用することができる。 The ultraviolet light emitting element is flip-chip mounted on the mounting board, and the terminals provided on the surface of the mounting board and the terminals provided on the ultraviolet light emitting element are electrically connected by ultrasonic waves. A GGI (Gold to Gold Interconnection) method can be used as a method for electrically connecting using ultrasonic waves. This connection method is not particularly limited, and a known method can be adopted.

(発光装置の製造方法)
以下では、本実施形態の発光装置の製造方法について説明する。まず、硬化性組成物を紫外線発光素子の光取出し面に塗布し、その上に、上記紫外線透過部材を配置し、1200gの荷重をかける。加重を止めた後、60℃で加熱(1段目の加熱)し、次いで100℃で加熱(2段目の加熱)する。1段目の加熱は溶媒の揮発を穏やかに進行させ、樹脂中に空孔等が生成するのを防ぐためであり、2段目の加熱は溶媒を完全に蒸発させるとともに、樹脂を硬化して屈折率緩和物質の強度および緻密性を高めるためのものである。
(Method of manufacturing light emitting device)
Below, the manufacturing method of the light-emitting device of this embodiment is demonstrated. First, the curable composition is applied to the light extraction surface of the ultraviolet light emitting device, the ultraviolet light transmitting member is placed thereon, and a load of 1200 g is applied. After stopping the loading, heating is performed at 60° C. (first heating), and then at 100° C. (second heating). The first heating is to gently evaporate the solvent and prevent the formation of pores in the resin, and the second heating completely evaporates the solvent and hardens the resin. The purpose is to increase the strength and denseness of the refractive index relaxation material.

樹脂との密着性を高める観点で1段目、2段目加熱時に加重を合わせてかけてもよい。 From the viewpoint of enhancing the adhesiveness with the resin, weighting may be applied during heating in the first and second steps.

また樹脂中の空孔発生を防止する観点で、硬化性組成物を紫外線発光素子の光取出し面に塗布し、一段目加熱を行い溶媒を揮発させた後に紫外線透過材料を配置し、加重をかけたのちに2段目の加熱を行い、紫外線発光素子の光取出し面と紫外線透過材料を接合してもよい。2段目加熱時に加重を合わせてかけてもよい。 Further, from the viewpoint of preventing voids in the resin, the curable composition is applied to the light extraction surface of the ultraviolet light emitting element, the first step of heating is performed to volatilize the solvent, and then the ultraviolet light transmissive material is arranged and weighted. After that, the second stage heating may be performed to bond the light extraction surface of the ultraviolet light emitting element and the ultraviolet light transmitting material. The weight may be applied during the second heating.

環境温度25℃、電流値350mAの条件において、100時間点灯した後の光出力比が0.9以上であることが好ましく、0.93以上であることがより好ましく、0.95以上であることが更に好ましい。 Under an environment temperature of 25° C. and a current value of 350 mA, the light output ratio after 100 hours of lighting is preferably 0.9 or more, more preferably 0.93 or more, and more preferably 0.95 or more. Is more preferable.

前記紫外線透過性部材が、210nm以上300nm未満の深紫外線を透過可能な深紫外線透過性部材であり、前記紫外線発光素子が、210nm以上300nm未満の深紫外光を発光する深紫外光発光素子である The ultraviolet light transmissive member is a deep ultraviolet light transmissive member capable of transmitting deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm, and the ultraviolet light emitting device is a deep ultraviolet light emitting device that emits deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm.

本発明には、本実施形態の紫外線発光装置に用いられる部品も含まれる。すなわち、本発明には、紫外線発光素子と、前記紫外線発光素子の光取り出し面に配置した屈折率緩和物質層とを有する紫外線発光装置用部品、及び紫外線透過性部材と、前記紫外線透過性部材の入射面に配置した屈折率緩和層とを有する発光装置用部品も含まれる。 The present invention also includes components used in the ultraviolet light emitting device of this embodiment. That is, in the present invention, a component for an ultraviolet light emitting device having an ultraviolet light emitting element, and a refractive index relaxation material layer arranged on the light extraction surface of the ultraviolet light emitting element, an ultraviolet transparent member, and the ultraviolet transparent member A light emitting device component having a refractive index relaxation layer disposed on the incident surface is also included.

本発明を実施例及び比較例を用いてさらに具体的に説明するが、本発明はこれら実施例等により何ら限定されるものではない。
本発明及び以下の実施例、比較例により得られる硬化性組成物(シラノール組成物)の、物性の測定方法、特性の評価方法は以下のとおりである。
The present invention will be described more specifically with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to these Examples and the like.
The method for measuring the physical properties and the method for evaluating the properties of the curable compositions (silanol compositions) obtained by the present invention and the following Examples and Comparative Examples are as follows.

(塗布溶液の重量パーセント濃度の算出)
日本電子株式会社製ECZ400S、プローブはTFHプローブを用いて、以下のようにしてNMR測定を行った。
例えば、テトラヒドロキシテトラメチルテトラシクロシロキサン及びその重合体のイソプロパノール溶液の場合は、テトラヒドロキシテトラメチルテトラシクロシロキサン及びその重合体のイソプロパノール溶液0.1gに重アセトン1gを添加したサンプルを用いて、1H−NMRを測定した。なお、重溶媒の基準ピークを2.05ppmとし、積算回数は64回で測定を行った。
テトラヒドロキシテトラメチルテトラシクロシロキサン及びその重合体の重量パーセント濃度は近似的に以下式にて算出できる。
テトラヒドロキシテトラメチルテトラシクロシロキサン及びその重合体の重量パーセント濃度=(−0.1−0.3ppmの領域のSiに結合するメチル基のピーク積分比/12×304.51)/{(−0.1−0.3ppmの領域のSiに結合するメチル基のピーク積分比/12×304.51)+(3.7−4.1ppmの領域のイソプロパノールの炭素に結合する水素のピーク積分値/1×60.1)}
なお、前記式中、304.51はテトラヒドロキシテトラメチルテトラシクロシロキサンの分子量、60.1はイソプロパノールの分子量を意味する。
(Calculation of weight percent concentration of coating solution)
Using an ECZ400S manufactured by JEOL Ltd. and a TFH probe as a probe, NMR measurement was performed as follows.
For example, in the case of an isopropanol solution of tetrahydroxytetramethyltetracyclosiloxane and its polymer, 1 g of heavy acetone was added to 0.1 g of an isopropanol solution of tetrahydroxytetramethyltetracyclosiloxane and its polymer, and 1 1 H-NMR was measured. The reference peak of the heavy solvent was set to 2.05 ppm, and the number of times of integration was 64.
The weight percent concentration of tetrahydroxytetramethyltetracyclosiloxane and its polymer can be approximately calculated by the following formula.
Weight percentage concentration of tetrahydroxytetramethyltetracyclosiloxane and its polymer=(peak integration ratio of methyl groups bonded to Si in the region of −0.1 to 0.3 ppm/12×304.51)/{(−0 .1 to 0.3 ppm peak integration ratio of methyl group bonded to Si/12×304.51)+(3.7 to 4.1 ppm peak integration value of hydrogen bonded to carbon of isopropanol/ 1×60.1)}
In the above formula, 304.51 means the molecular weight of tetrahydroxytetramethyltetracyclosiloxane, and 60.1 means the molecular weight of isopropanol.

(ヘイズの測定)
ヘイズは濁度計NDH5000W(日本電色工業製)を用い、JISK7136に基づき測定を行った。以下に具体的操作を示す。
シラノール組成物のヘイズは素ガラス基板5cm×5cm×0.7mm厚(テクノプリント社製)にシラノール組成物42wt%イソプロパノール溶液をバーコーターNo.40(アズワン製)にて塗布後、60℃1時間にて減圧下で乾燥し、ヘイズを測定した。なお、ヘイズ測定のブランクは素ガラス基板5cm×5cm×0.7mm厚(テクノプリント社製)のみを用いた。
実施例10、16、比較例1に関しては24時間後のヘイズも測定した。
硬化物のヘイズはシラノール組成物のヘイズ測定で作製したサンプルを常圧にて100℃2時間加熱することにより得られたサンプルを用いて測定した。
(Measurement of haze)
The haze was measured using a turbidimeter NDH5000W (manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.) based on JISK7136. The specific operation is shown below.
The haze of the silanol composition was bar coater No. 4 with a 42 wt% isopropanol solution of the silanol composition on a glass substrate 5 cm×5 cm×0.7 mm thick (manufactured by Technoprint Corporation). After coating with 40 (manufactured by AS ONE), it was dried under reduced pressure at 60° C. for 1 hour, and haze was measured. As the blank for haze measurement, only a blank glass substrate having a thickness of 5 cm×5 cm×0.7 mm (manufactured by Technoprint Co., Ltd.) was used.
Regarding Examples 10 and 16 and Comparative Example 1, the haze after 24 hours was also measured.
The haze of the cured product was measured using a sample obtained by heating the sample prepared by the haze measurement of the silanol composition at 100° C. for 2 hours at normal pressure.

(膜厚の測定)
膜厚はヘイズの測定用に作製したサンプルを表面形状測定機計(製造所名:(株)小坂研究所型式:ET4000AK31製)にて測定し、膜厚を算出した。
(Measurement of film thickness)
The film thickness was measured using a surface shape measuring instrument (manufacturing name: Kosaka Laboratory Ltd., model: ET4000AK31) of the sample prepared for haze measurement, and the film thickness was calculated.

(接着力の確認)
シラノール組成物のヘイズ測定で作製したサンプルの上に、T−3000−FC3マニュアルダイボンダー(TRESKY製)を用いて直径2ミリの半球石英レンズを荷重400g3秒で乗せた。その後、常圧下、100℃2時間加熱した後に、得られた半球レンズが載ったガラスを横から押し、接着の有無を確認した。
(Confirmation of adhesive strength)
A hemispherical quartz lens having a diameter of 2 mm was placed on the sample prepared by the haze measurement of the silanol composition with a load of 400 g for 3 seconds using a T-3000-FC3 manual die bonder (manufactured by TRESKY). Then, after heating at 100° C. for 2 hours under normal pressure, the glass on which the obtained hemispherical lens was mounted was pushed from the side and the presence or absence of adhesion was confirmed.

(環状シラノール(A1)及び脱水縮合物(A2)のGPCによる面積%の測定)
シラノール組成物0.03gに対して、1.5mLの割合でテトラヒドロフランに溶解した溶液を測定試料とした。
この測定試料を用いて、東ソー社製HLC−8220GPCで測定した。
カラムは東ソー社製のTSKガードカラムSuperH−H、TSKgel SuperHM−H、TSKgel SuperHM−H、TSKgel SuperH2000、TSKgel SuperH1000を直列に連結して使用し、テトラヒドロフランを移動相として0.35ml/分の速度で分析した。
検出器はRIディテクターを使用し、American Polymer Standards Corporation製ポリメタクリル酸メチル標準試料(分子量:2100000、322000、87800、20850、2000、670000、130000、46300、11800、860)、及び1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン(分子量240.5、東京化成製)を標準物質として、数平均分子量及び重量平均分子量を求め、p=0及び、p≧1のピークを特定し、環状シラノール(A1)及び脱水縮合物(A2)それぞれのピークの面積比を算出した。
(Measurement of area% by GPC of cyclic silanol (A1) and dehydration condensate (A2))
A solution prepared by dissolving 1.5 mL of tetrahydrofuran in 0.03 g of the silanol composition was used as a measurement sample.
This measurement sample was used for measurement with Tosoh Corp. HLC-8220GPC.
As the column, TSK guard columns SuperH-H, TSKgel SuperHM-H, TSKgel SuperHM-H, TSKgel SuperH2000, and TSKgel SuperH1000, manufactured by Tosoh Corporation, were used in series, and tetrahydrofuran was used as a mobile phase at a rate of 0.35 ml/min. analyzed.
An RI detector was used as a detector, and polymethylmethacrylate standard samples (molecular weight: 2100000, 322000, 87800, 20850, 2000, 670000, 130000, 46300, 11800, 860) manufactured by American Polymer Standards Corporation, and 1, 3, 5 , 7-Tetramethylcyclotetrasiloxane (molecular weight 240.5, manufactured by Tokyo Kasei) was used as a standard substance to determine the number average molecular weight and the weight average molecular weight, and the peaks of p=0 and p≧1 were identified, and the cyclic silanol ( The area ratios of the peaks of A1) and the dehydrated condensate (A2) were calculated.

(Na、Vの含有量、及び、遷移金属(Pd)の含有量)
ヒドロシロキサン酸化反応物にフッ硝酸を加えて密閉加圧酸分解後、試料をテフロン(登録商標)ビーカーに移し、加熱乾固させた。その後、試料に王水を加え、完全溶解した溶解液を20mLに定容し、ICP質量分析装置(Themo Fisher Scientifi社製 iCAP Qc)による試料中の金属割合の定量分析を行った。
(Contents of Na and V, and content of transition metal (Pd))
Fluorine nitric acid was added to the hydrosiloxane oxidation reaction product, and the sample was transferred to a Teflon (registered trademark) beaker and subjected to heat-drying after being sealed and acid-decomposed. Then, aqua regia was added to the sample, and the completely dissolved solution was adjusted to a constant volume of 20 mL, and quantitative analysis of the metal ratio in the sample was carried out by an ICP mass spectrometer (iCAP Qc manufactured by Thermo Fisher Scientific).

1H−NMR測定を用いた環状シラノールの立体異性体割合の算出)
日本電子株式会社製ECZ400S、プローブはTFHプローブを用いて、以下のようにしてNMR測定を行った。
得られたシラノール組成物に生成物0.1g、及び重アセトン1gを添加し、1H−NMRを測定した。なお、重溶媒の基準ピークを2.05ppmとし、積算回数は64回で測定を行った。
ヒドロシラン化合物としてテトラメチルテトラシクロシロキサンを原料に用いて酸化させた場合、得られるテトラヒドロキシテトラメチルテトラシクロシロキサンの1H−NMRでは、0.04−0.95ppmの領域に4種類の異性体に由来する6種類のSiに結合するメチル基のピークが観測された。
メチル基の水素は、高磁場側から、all-cis型(0.057ppm)、trans-trans-cis型(0.064ppm)、trans-trans-cis型(0.067ppm)、cis-trans-cis型(0.074ppm)、all-trans型(0.080ppm)、trans-trans-cis型(0.087ppm)の順に観測された。Delta5.2.1(日本電子製)を用いて前記6つのピークに関してローレンツ変換による波形分離を行い、これらの水素のピーク強度から、環状シラノールのそれぞれの立体異性体割合を算出した。
(Calculation of stereoisomer ratio of cyclic silanol using 1 H-NMR measurement)
Using an ECZ400S manufactured by JEOL Ltd. and a TFH probe as a probe, NMR measurement was performed as follows.
0.1 g of the product and 1 g of heavy acetone were added to the obtained silanol composition, and 1 H-NMR was measured. The reference peak of the heavy solvent was set to 2.05 ppm, and the number of times of integration was 64.
When tetramethyltetracyclosiloxane is used as a hydrosilane compound as a raw material and is oxidized, 1 H-NMR of the resulting tetrahydroxytetramethyltetracyclosiloxane shows four isomers in the 0.04-0.95 ppm region. Six types of peaks of methyl groups bonded to Si were observed.
From the high magnetic field side, hydrogen of the methyl group is all-cis type (0.057ppm), trans-trans-cis type (0.064ppm), trans-trans-cis type (0.067ppm), cis-trans-cis. Type (0.074 ppm), all-trans type (0.080 ppm), trans-trans-cis type (0.087 ppm) were observed in this order. Waveform separation by Lorentz transformation was performed on the above six peaks using Delta 5.2.1 (manufactured by JEOL Ltd.), and the stereoisomeric ratio of each cyclic silanol was calculated from the peak intensities of these hydrogens.

(各立体異性体の調製)
・all-cis体(環状シラノール(B1))
Inorganic Chemistry Vol.49, No.2,2010の合成例に従って合成した。
・cis-trans-cis体(環状シラノール(B2))
実施例1にて得られた再結晶物を用いた。
・all-trans体(環状シラノール(B4))
実施例1にて作製したシラノール10wt%のテトラヒドロフラン及びジクロロメタン混合溶液をさらに濃縮し、シラノール20wt%となるまで濃縮した溶液を用いて、液体クロマトグラフィーを用いて立体異性体の分取を行った。
<液体クロマトグラフィーの条件>
装置 GLサイエンス製液体クロマトグラフィー
ポンプ :PU715
カラムオーブン :CO705
フラクションコレクラー :FC204YMC−PackSIL-06 φ30mm×250mm
溶離液 :Cyclohexane/EtoAc =60/40
流速 :40mL/min
注入量 :5mL
温度 :40℃
検出 :得られたフラクションをELSD測定にて評価し、検出した。
得られたall-trans体の溶離液を静置することでall-trans体の結晶が得られたため、濾別により回収した。
・trans-trans-cis体(環状シラノール(B3))
all-trans体と同様の方法にて得られた溶離液を濃縮後イソプロパノールに置換することで得た。
(Preparation of each stereoisomer)
・All-cis form (cyclic silanol (B1))
It was synthesized according to the synthesis example of Inorganic Chemistry Vol.49, No.2, 2010.
・Cis-trans-cis form (cyclic silanol (B2))
The recrystallized product obtained in Example 1 was used.
・All-trans form (cyclic silanol (B4))
The mixed solution of tetrahydrofuran and dichloromethane containing 10 wt% of silanol prepared in Example 1 was further concentrated, and the solution concentrated to 20 wt% of silanol was used to fractionate the stereoisomers using liquid chromatography.
<Conditions for liquid chromatography>
Equipment GL Science Liquid Chromatography Pump: PU715
Column oven: CO705
Fraction Collective: FC204YMC-PackSIL-06 φ30mm×250mm
Eluent: Cyclohexane/EtoAc =60/40
Flow rate: 40 mL/min
Injection volume: 5mL
Temperature: 40℃
Detection: The obtained fractions were evaluated and detected by ELSD measurement.
Crystals of the all-trans form were obtained by allowing the obtained eluate of the all-trans form to stand, and the crystals were collected by filtration.
・Trans-trans-cis form (cyclic silanol (B3))
The eluate obtained by the same method as for the all-trans form was concentrated and then replaced with isopropanol.

[実施例1]
(シラノール組成物の調製)
反応容器に、蒸溜水28g、テトラヒドロフラン(THF、和光純薬製)960mL、Pd/C(10%パラジウム−炭素、エヌ・イー ケムキャット社製)3.7gを入れて混合した後、反応容器の温度を5℃に維持した。
前記反応容器に1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン81g(東京化成製、D4Hとも記載する)を徐々に加え、2時間撹拌後、1H−NMRにてSiH基が消失するまでPd/C(10%パラジウム/炭素)1.8gずつ3回に分け、計17時間反応を行った。SiH基の消失は、反応液を、日本電子製NMR(ECZ400S)を用いて反応液1wt%濃度の重アセトン溶液で1H−NMRを測定し4〜5ppmのSiH基の消失を確認した。
反応液に硫酸マグネシウム75gを添加し、5℃で30分撹拌後、セライトNo.545(和光純薬製)450gを、テトラヒドロフランを用いて漏斗へ充填した。続いて、反応液を、当該セライトを通過させ、テトラヒドロフラン1.5Lによってセライトを洗浄し、1,3,5,7−テトラヒドロキシ−1,3,5,7−テトラメチルテトラシクロシロキサン(以下、D4OHとも記載する)含有THF溶液2057gを得た。この溶液をエバポレーターで水浴15℃にて残量587g(649mL)となるまで濃縮し、テトラヒドロフラン4.4Lとジクロロメタン217mLとの混合溶媒中へ投じた。混合液を5℃で4時間静置後、析出した不溶物を減圧濾過し、結晶固体を22g回収した。可溶部のろ液6169gを減圧下で濃縮し、D4OH濃縮物(すなわち、ヒドロシロキサン酸化反応物)89gを得た。
さらに、D4OH濃縮物:両末端シラノール変性シロキサン:テトラヒドロフランが、質量比で、8:2:90となるように、D4OH濃縮物に両末端シラノール変性シロキサン(信越化学製X21−5841、分子量1000)及びテトラヒドロフランを添加し、テトラヒドロフランをエバポレーターで留去後、シラノール組成物を得た。
得られたシラノール組成物を用いて、前記(ヘイズの測定)の方法にしたがってヘイズを測定した。また、all-trans型及びcis-trans-cis型の環状シラノールの割合を1H−NMRにより算出した。
さらに、上述のようにして、遷移金属Pdの含有量を算出した。
[Example 1]
(Preparation of silanol composition)
In a reaction vessel, distilled water 28 g, tetrahydrofuran (THF, Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) 960 mL, Pd/C (10% palladium-carbon, NE Chemcat Ltd.) 3.7 g were put and mixed, and then the temperature of the reaction vessel Was maintained at 5°C.
Wherein the reaction vessel 1,3,5,7 81g slowly added (Tokyo Kasei, also described as D4H), until after stirring for 2 hours, the SiH group at 1 H-NMR disappeared 1.8 g of Pd/C (10% palladium/carbon) was divided into 3 times, and the reaction was performed for a total of 17 hours. Regarding the disappearance of the SiH group, 1 H-NMR of the reaction solution was measured with a heavy acetone solution having a concentration of 1 wt% of the reaction solution using NMR (ECZ400S) manufactured by JEOL Ltd., and the disappearance of 4 to 5 ppm of the SiH group was confirmed.
75 g of magnesium sulfate was added to the reaction solution, and the mixture was stirred at 5° C. for 30 minutes, and then Celite No. 450 g of 545 (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was charged into the funnel using tetrahydrofuran. Subsequently, the reaction solution is passed through the celite, and the celite is washed with 1.5 L of tetrahydrofuran, and 1,3,5,7-tetrahydroxy-1,3,5,7-tetramethyltetracyclosiloxane (hereinafter, 2057 g of a THF solution containing (also referred to as D4OH) was obtained. This solution was concentrated with an evaporator in a water bath at 15° C. until the remaining amount was 587 g (649 mL), and the solution was poured into a mixed solvent of 4.4 L of tetrahydrofuran and 217 mL of dichloromethane. The mixture was allowed to stand at 5° C. for 4 hours, then the precipitated insoluble material was filtered under reduced pressure to recover 22 g of a crystalline solid. 6169 g of the filtrate in the soluble portion was concentrated under reduced pressure to obtain 89 g of a D4OH concentrate (that is, a hydrosiloxane oxidation reaction product).
Further, the D4OH concentrate: both-end silanol-modified siloxane:tetrahydrofuran: siloxane:tetrahydrofuran in a mass ratio of 8:2:90, the both-end silanol-modified siloxane (X21-5841, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., molecular weight 1000) and Tetrahydrofuran was added, and the tetrahydrofuran was distilled off with an evaporator to obtain a silanol composition.
Using the obtained silanol composition, haze was measured according to the method described above (measurement of haze). Further, the ratio of all-trans type and cis-trans-cis type cyclic silanol was calculated by 1 H-NMR.
Further, the content of the transition metal Pd was calculated as described above.

(シラノール組成物の硬化の確認、接着力の確認、及び硬化物の光透過率の測定)
前記(シラノール組成物の作製)で得られたシラノール組成物を、石英ガラス上にバーコーターNo.2を用いて3μm厚となるように塗布し、石英ガラスを載せ、80℃6時間、180℃6時間の温度プログラムで硬化させた。
硬化後に片方のガラス板のみを持ち上げ、ガラスが接着していることを確認後、得られた硬化物のヘイズを測定した。
(Confirmation of curing of silanol composition, confirmation of adhesive strength, and measurement of light transmittance of cured product)
The silanol composition obtained in the above (Preparation of silanol composition) was applied onto a quartz glass using a bar coater No. 2 was applied to a thickness of 3 μm, quartz glass was placed thereon, and cured by a temperature program of 80° C. for 6 hours and 180° C. for 6 hours.
After curing, only one glass plate was lifted, and after confirming that the glass was adhered, the haze of the obtained cured product was measured.

(硬化後急冷時の耐クラック性確認)
前記硬化物を180℃のオーブンから25℃の室温に取出し、急冷を行い、クラックの発生をマイクロスコープにて観察した。
(Check crack resistance after quenching after hardening)
The cured product was taken out from an oven at 180° C. to room temperature at 25° C., rapidly cooled, and cracks were observed with a microscope.

[実施例2]
D4OH濃縮物:両末端シラノール変性シロキサン:テトラヒドロフランが、質量比で、6:4:90となるようにしたこと以外は、実施例1と同様にしてシラノール組成物を得て、同様に実験を行った。
[Example 2]
A silanol composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that the mass ratio of the D4OH concentrate: silanol-modified siloxane modified at both ends: tetrahydrofuran was 6:4:90, and the same experiment was conducted. It was

[実施例3]
両末端シラノール変性シロキサン(信越化学製X21−5841、分子量1000)を、両末端シラノール変性シロキサン(信越化学製KF−9701、分子量3000)に替えたこと以外は、実施例1と同様にしてシラノール組成物を得て、同様に実験を行った。
[Example 3]
A silanol composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that the both-end silanol-modified siloxane (Shin-Etsu Chemical X21-5841, molecular weight 1000) was replaced with the both-end silanol-modified siloxane (Shin-Etsu Chemical KF-9701, molecular weight 3000). The thing was obtained and the experiment was conducted similarly.

[実施例4]
両末端シラノール変性シロキサン(信越化学製X21−5841、分子量1000)を、両末端シラノール変性シロキサン(信越化学製KF−9701、分子量3000)に替え、且つ、D4OH濃縮物:両末端シラノール変性シロキサン:テトラヒドロフランが、質量比で、6:4:90となるようにしたこと以外は、実施例1と同様にしてシラノール組成物を得て、同様に実験を行った。
[Example 4]
Both terminal silanol-modified siloxane (Shin-Etsu Chemical X21-5841, molecular weight 1000) was replaced with both-terminal silanol-modified siloxane (Shin-Etsu Chemical KF-9701, molecular weight 3000), and D4OH concentrate: both terminal silanol-modified siloxane: tetrahydrofuran However, a silanol composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that the mass ratio was set to 6:4:90, and the same experiment was performed.

[実施例5]
両末端シラノール変性シロキサン(信越化学製X21−5841、分子量1000)を、両末端シラノール変性シロキサン(Gelest製DMS−S15、分子量2000〜3500)に替えたこと以外は、実施例1と同様にしてシラノール組成物を得て、同様に実験を行った。
[Example 5]
Silanol was modified in the same manner as in Example 1 except that the silanol-modified siloxane with both terminals (X21-5841, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., molecular weight 1000) was replaced with the silanol-modified siloxane with both terminals (DMS-S15, Gelest, molecular weight 2000-3500). The composition was obtained and the same experiment was conducted.

[実施例6]
両末端シラノール変性シロキサン(信越化学製X21−5841、分子量1000)を、両末端シラノール変性シロキサン(Gelest製DMS−S15、分子量2000〜3500)に替え、且つ、D4OH濃縮物:両末端シラノール変性シロキサン:テトラヒドロフランが、質量比で、6:4:90となるようにしたこと以外は、実施例1と同様にしてシラノール組成物を得て、同様に実験を行った。
[Example 6]
Both-end silanol-modified siloxane (Shin-Etsu Chemical X21-5841, molecular weight 1000) was replaced with both-end silanol-modified siloxane (Gelest DMS-S15, molecular weight 2000-3500), and D4OH concentrate: Both-end silanol-modified siloxane: A silanol composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that the mass ratio of tetrahydrofuran was 6:4:90, and the same experiment was conducted.

[実施例7]
(シラノール組成物の作製)
反応容器に、蒸溜水28g、テトラヒドロフラン(THF、和光純薬製)960mL、Pd/C(10%パラジウム−炭素、エヌ・イー ケムキャット社製)3.7gを入れて混合した後、反応容器の温度を5℃に維持した。
前記反応容器に、1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン81g(東京化成製、D4Hとも記載する。)を徐々に加え、2時間撹拌後、1H−NMRにてSiH基が消失するまで前記Pd/C(10%パラジウム−炭素)を1.8gずつ3回に分けて添加し、合計17時間反応を行った。
反応液を、日本電子製NMR(ECZ400S)を用いて反応液1質量%濃度の重アセトン溶液で1H−NMRを測定し、4〜5ppmのSiH基の消失を確認した。
反応液に硫酸マグネシウム75gを添加し、5℃で30分撹拌後、セライトNo.545(和光純薬製)450gを、テトラヒドロフランを用いて漏斗へ充填した。続いて、反応液を、当該セライトを通過させ、テトラヒドロフラン1.5Lによってセライトを洗浄し、1,3,5,7−テトラヒドロキシ−1,3,5,7−テトラメチルテトラシクロシロキサン(以下、D4OHとも記載する。)含有THF溶液2057gを得た。
この溶液をエバポレーターで水浴15℃にて残量587g(649mL)となるまで濃縮し、テトラヒドロフラン4.4Lとジクロロメタン217mLとの混合溶媒中へ投じた。混合液を5℃で4時間静置後、析出した不溶物を減圧濾過し、結晶固体を22g回収した。可溶部のろ液6169gを減圧下で濃縮し、D4OH濃縮物(すなわち、ヒドロシロキサン酸化反応物)89gを得た。
さらに、D4OH濃縮物:シリカを、質量比が50:50となるように、D4OH濃縮物にシリカ粒子(MEKST−40、日産化学社製、粒径40nm)を添加し、さらに固形分濃度16質量%となるようにイソプロパノールを加えることによりシラノール組成物(イソプロパノール溶液)を得た。
得られたシラノール組成物を用いて前記(ヘイズの測定)の方法にしたがってヘイズを測定し、GPCの微分分子量分布曲線におけるピーク面積の測定を行った。また、all-cis型及びcis-trans-cis型の環状シラノールの割合を1H−NMRにより算出した。
また、上述のようにして、遷移金属Pdの含有量を算出した。
[Example 7]
(Preparation of silanol composition)
In a reaction vessel, distilled water 28 g, tetrahydrofuran (THF, Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) 960 mL, Pd/C (10% palladium-carbon, NE Chemcat Ltd.) 3.7 g were put and mixed, and then the temperature of the reaction vessel Was maintained at 5°C.
81 g of 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane (manufactured by Tokyo Kasei, also referred to as D4H) was gradually added to the reaction vessel, and after stirring for 2 hours, SiH group disappeared by 1 H-NMR. Until then, 1.8 g of the above Pd/C (10% palladium-carbon) was added in 3 batches, and the reaction was carried out for a total of 17 hours.
The reaction solution was subjected to 1 H-NMR measurement with a heavy acetone solution having a concentration of 1% by mass of the reaction solution using NMR (ECZ400S) manufactured by JEOL Ltd., and the disappearance of 4 to 5 ppm of SiH group was confirmed.
75 g of magnesium sulfate was added to the reaction solution, and the mixture was stirred at 5° C. for 30 minutes, and then Celite No. 450 g of 545 (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was charged into the funnel using tetrahydrofuran. Subsequently, the reaction solution is passed through the celite, and the celite is washed with 1.5 L of tetrahydrofuran, and 1,3,5,7-tetrahydroxy-1,3,5,7-tetramethyltetracyclosiloxane (hereinafter, Also referred to as D4OH) 2057 g of a THF solution containing was obtained.
This solution was concentrated with an evaporator in a water bath at 15° C. until the remaining amount was 587 g (649 mL), and the solution was poured into a mixed solvent of 4.4 L of tetrahydrofuran and 217 mL of dichloromethane. The mixture was allowed to stand at 5° C. for 4 hours, then the precipitated insoluble material was filtered under reduced pressure to recover 22 g of a crystalline solid. 6169 g of the filtrate in the soluble portion was concentrated under reduced pressure to obtain 89 g of a D4OH concentrate (that is, a hydrosiloxane oxidation reaction product).
Furthermore, silica particles (MEKST-40, manufactured by Nissan Chemical Industries, particle size 40 nm) were added to the D4OH concentrate so that the mass ratio was 50:50, and the solid content concentration was 16 mass. A silanol composition (isopropanol solution) was obtained by adding isopropanol so that the ratio became 100%.
Using the obtained silanol composition, haze was measured according to the method described above (measurement of haze), and the peak area in the differential molecular weight distribution curve of GPC was measured. The ratio of all-cis type and cis-trans-cis type cyclic silanols was calculated by 1 H-NMR.
Further, the content of the transition metal Pd was calculated as described above.

(シラノール組成物の硬化の確認、接着力の確認、及び硬化物の光透過率の測定)
前記(シラノール組成物の作製)で得られたシラノール組成物8.3gを、石英ガラス上にバーコーターNo.2を用いて3μm厚となるように塗布し、石英ガラスを載せ80℃6時間、180℃6時間の温度プログラムで硬化させた。
硬化後に片方のガラス板のみを持ち上げ、ガラスが接着していることを確認後、得られた硬化物のヘイズを測定した。
(Confirmation of curing of silanol composition, confirmation of adhesive strength, and measurement of light transmittance of cured product)
8.3 g of the silanol composition obtained in the above (Preparation of silanol composition) was placed on a quartz glass using a bar coater No. It was applied to a thickness of 3 μm using No. 2 and quartz glass was placed thereon and cured by a temperature program of 80° C. for 6 hours and 180° C. for 6 hours.
After curing, only one glass plate was lifted, and after confirming that the glass was adhered, the haze of the obtained cured product was measured.

(硬化物の耐摩耗性評価)
10cm角、厚さ1ミリのポリカーボネート板(タキロン1600)にプライマーSHP470FT2050(モメンティブ製)をバーコーターNo.16(アズワン製)で塗布後、30℃30分、120℃30分オーブンで硬化し、2μmのプライマーを塗布したポリカーボネート板を得た。
前記ポリカーボネート板に、前記(シラノール組成物の作製)で得られたシラノール組成物を、バーコーターNo.16で前記プライマーを塗布したポリカーボネート板に塗布した後、100℃で2時間、次いで120℃で2時間、オーブンにて硬化することにより硬化板を得た。
得られた硬化板を、摩耗輪にCALIBRASE CS−10F(TABER INDUSTRIES製)を取り付けた101 TABER TYPE ABRASION TESTER(Yasuda製)を用いて、回転速度60rpmにて500回のテーバー摩耗試験を行った。
なお、すべての測定用サンプルは、テーバー摩耗試験を行う前に、摩耗輪をST−11 REFACEING STONE(TABER INDUSTRIES製)を用いて回転速度60rpmにて25回研磨を行った。
テーバー摩耗試験後の測定用サンプルを、HAZE METER NDH 5000SP(NIPPON DENSHOKU製)を用いて、Hazeの測定を行い、テーバー摩耗試験前後のHazeの増加分(ΔHaze(%))を算出した。
(Evaluation of wear resistance of cured products)
A bar coater No. 10 was prepared by applying a primer SHP470FT2050 (manufactured by Momentive) to a polycarbonate plate (Taquilon 1600) of 10 cm square and 1 mm thick. After being coated with 16 (manufactured by As One), it was cured in an oven at 30° C. for 30 minutes and 120° C. for 30 minutes to obtain a polycarbonate plate coated with a 2 μm primer.
On the polycarbonate plate, the silanol composition obtained in the above (Preparation of silanol composition) was applied with a bar coater No. After being applied to the polycarbonate plate coated with the primer in 16, the cured plate was obtained by curing in an oven at 100° C. for 2 hours and then at 120° C. for 2 hours.
The obtained cured plate was subjected to a Taber abrasion test for 500 times at a rotation speed of 60 rpm using a 101 TABER TYPE ABRASION TESTER (manufactured by Yasuda) in which CALIBRASE CS-10F (manufactured by TABER INDUSTRIES) was attached to a wear wheel.
In addition, before performing a Taber abrasion test, all the measurement samples used the abrasion wheel ST-11 REFACEING STONE (made by TABER INDUSTRIES), and performed 25 times polishing at the rotation speed of 60 rpm.
The Haze of the measurement sample after the Taber abrasion test was measured using HASE METER NDH 5000SP (manufactured by NIPPON DENSHOKU), and the increase in Haze before and after the Taber abrasion test (ΔHaze (%)) was calculated.

[実施例8]
D4OH濃縮物:シリカの質量比が75:25となるように(シリカ添加割合が25wt%である)シリカ粒子を添加したこと以外は、実施例7と同様の実験を行った。
[Example 8]
An experiment similar to that of Example 7 was performed, except that silica particles were added so that the mass ratio of D4OH concentrate:silica was 75:25 (silica addition ratio was 25 wt %).

[実施例9]
(シラノール組成物の作製)
反応容器に、蒸溜水28g、テトラヒドロフラン(THF、和光純薬製)960mL、Pd/C(10%パラジウム/炭素、エヌ・イー ケムキャット社製)3.7gを入れて混合した後、反応容器の温度を5℃に維持した。
前記反応容器に、1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン81g(東京化成製、D4Hとも記載する。)を徐々に加え、2時間撹拌後、1H−NMRにてSiH基が消失するまで前記Pd/C(10%パラジウム/炭素)を1.8gずつ3回に分けて添加し、合計17時間反応を行った。
反応液を、日本電子製NMR(ECZ400S)を用いて反応液1質量%濃度の重アセトン溶液で1H−NMRを測定し、4〜5ppmのSiH基の消失を確認した。
反応液に硫酸マグネシウム75gを添加し、5℃で30分撹拌後、濾過助剤として、粉末セルロースKCフロックW50GK(日本製紙製)450gを、テトラヒドロフランを用いて漏斗へ充填した。続いて、反応液を、当該粉末セルロースを通過させ、テトラヒドロフラン1.5Lによって粉末セルロースを洗浄し、1,3,5,7−テトラヒドロキシ−1,3,5,7−テトラメチルテトラシクロシロキサン(以下、D4OHとも記載する。)含有THF溶液2057gを得た。
この溶液をエバポレーターで水浴15℃にて残量587g(649mL)となるまで濃縮し、テトラヒドロフラン4.4Lとジクロロメタン217mLとの混合溶媒中へ投じた。混合液を5℃で4時間静置後、析出した不溶物を減圧濾過し、結晶固体を22g回収した。可溶部のろ液6169gを減圧下で濃縮し、ヒドロシロキサン酸化反応物であるシラノール組成物(89g)を得た。
得られたシラノール組成物を用いて前記(ヘイズの測定)の方法にしたがってヘイズを測定し、GPCの微分分子量分布曲線におけるピーク面積の測定を行った。
また、all-trans型及びcis-trans-cis型の環状シラノールの割合を1H−NMRにより算出した。Na、Vの含有量、及び遷移金属(Pd)の含有量の測定を上記のようにして行った。
[Example 9]
(Preparation of silanol composition)
After adding 28 g of distilled water, 960 mL of tetrahydrofuran (THF, Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), 3.7 g of Pd/C (10% palladium/carbon, manufactured by NE Chemcat) to the reaction vessel and mixing, temperature of the reaction vessel Was maintained at 5°C.
81 g of 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane (manufactured by Tokyo Kasei, also referred to as D4H) was gradually added to the reaction vessel, and after stirring for 2 hours, SiH group disappeared by 1 H-NMR. Until then, 1.8 g of Pd/C (10% palladium/carbon) was added in 3 batches, and the reaction was carried out for a total of 17 hours.
The reaction solution was subjected to 1 H-NMR measurement with a heavy acetone solution having a concentration of 1% by mass of the reaction solution using NMR (ECZ400S) manufactured by JEOL Ltd., and the disappearance of 4 to 5 ppm of SiH group was confirmed.
After adding 75 g of magnesium sulfate to the reaction solution and stirring the mixture at 5° C. for 30 minutes, 450 g of powdered cellulose KC Flock W50GK (manufactured by Nippon Paper Industries) as a filter aid was charged into the funnel using tetrahydrofuran. Subsequently, the powdery cellulose is passed through the reaction liquid, and the powdery cellulose is washed with 1.5 L of tetrahydrofuran to obtain 1,3,5,7-tetrahydroxy-1,3,5,7-tetramethyltetracyclosiloxane ( Hereinafter, also referred to as D4OH.) 2057 g of a THF solution containing was obtained.
This solution was concentrated with an evaporator in a water bath at 15° C. until the remaining amount was 587 g (649 mL), and the solution was poured into a mixed solvent of 4.4 L of tetrahydrofuran and 217 mL of dichloromethane. The mixture was allowed to stand at 5° C. for 4 hours, then the precipitated insoluble material was filtered under reduced pressure to recover 22 g of a crystalline solid. 6169 g of the filtrate in the soluble portion was concentrated under reduced pressure to obtain a silanol composition (89 g) which was a hydrosiloxane oxidation reaction product.
Using the obtained silanol composition, haze was measured according to the method described above (measurement of haze), and the peak area in the differential molecular weight distribution curve of GPC was measured.
Further, the ratio of all-trans type and cis-trans-cis type cyclic silanol was calculated by 1 H-NMR. The Na and V contents and the transition metal (Pd) contents were measured as described above.

(シラノール組成物の硬化確認、及び接着力の確認、硬化物の光透過率の測定)
前記(シラノール組成物の調製)で得られたシラノール組成物8.3gを、石英ガラス上にバーコーターNo.2を用いて3μm厚となるように塗布し、これにさらに石英ガラスをのせ、80℃6時間、180℃6時間の温度プログラムで硬化させた。硬化後に片方のガラス板のみを持ち上げ、石英ガラスが接着していることを確認した。
その後、得られた硬化物の400〜800nmにおける光透過率を測定した。
(Confirmation of curing of silanol composition, confirmation of adhesive strength, measurement of light transmittance of cured product)
8.3 g of the silanol composition obtained in the above (Preparation of silanol composition) was placed on a quartz glass using a bar coater No. 2 was applied to a thickness of 3 μm, quartz glass was further placed thereon, and cured by a temperature program of 80° C. for 6 hours and 180° C. for 6 hours. After curing, only one glass plate was lifted and it was confirmed that the quartz glass was bonded.
Then, the light transmittance in 400-800 nm of the obtained cured product was measured.

(シラノール組成物の保存安定性試験)
得られたシラノール組成物を、25℃の室温下で1ヶ月放置した。
シラノール組成物をスパチュラで触り固まっているかを確認し、固化の有無によって保存安定性を評価した。
表中、〇は固化しなかったことを指し、×は固化したことを指す。
(Storage stability test of silanol composition)
The obtained silanol composition was left at room temperature of 25° C. for 1 month.
It was confirmed whether the silanol composition was solidified by touching with a spatula, and the storage stability was evaluated by the presence or absence of solidification.
In the table, ◯ indicates that it did not solidify, and x indicates that it solidified.

[実施例10]
(シラノール組成物の調製)
反応容器に、蒸溜水28g、テトラヒドロフラン(和光純薬製)960mL、Pd/C(10%パラジウム/炭素、エヌ・イー ケムキャット社製)3.7gを入れて混合した後、反応容器の温度を5℃に維持した。
前記反応容器に1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン81g(東京化成製、D4Hとも記載する)を徐々に加え、2時間撹拌後、1H−NMRにてSiH基が消失するまでPd/C(10%パラジウム/炭素)1.8gずつ3回に分け、計17時間反応を行った。SiH基の消失は、反応液を、日本電子製NMR(ECZ400S)を用いて反応液1wt%濃度の重アセトン溶液で1H−NMRを測定し、4〜5ppmに存在するSiH基の消失を確認した。
反応液に硫酸マグネシウム75gを添加し、5℃で30分撹拌した。セライトNo.545(和光純薬製)450gを、テトラヒドロフランを用いて漏斗へ充填した。続いて、反応液を、当該セライトを通過させ、テトラヒドロフラン1.5Lによってセライトを洗浄し、1,3,5,7−テトラヒドロキシ−1,3,5,7−テトラメチルテトラシクロシロキサン(以下、D4OHとも記載する)含有THF溶液2057gを得た。この溶液をエバポレーターで水浴15℃にて残量587g(649mL)となるまで濃縮し、テトラヒドロフラン4.4Lとジクロロメタン217mLとの混合溶媒中へ投じた。混合液を5℃で4時間静置後、析出した不溶物を減圧濾過し、結晶固体を22g回収した。可溶部のろ液6169gを減圧下で濃縮し、シラノール組成物10wt%のテトラヒドロフラン及びジクロロメタン混合溶液となるまで濃縮した。シラノール組成物10wt%のテトラヒドロフラン及びジクロロメタン混合溶液10gを1gまで減圧下で濃縮後、再度100gのイソプロパノールを添加した。さらに、再度減圧下で濃縮を行い、所定の濃度のシラノール組成物(イソプロパノール溶液)を作製した。
得られたシラノール組成物を用いてヘイズ等の物性を評価した。また、環状シラノールの立体異性体割合を1H-NMRにより算出した。図1に1H-NMRスペクトルを示す。
[Example 10]
(Preparation of silanol composition)
After adding 28 g of distilled water, 960 mL of tetrahydrofuran (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), 3.7 g of Pd/C (10% palladium/carbon, manufactured by NE Chemcat) to the reaction vessel and mixing, the temperature of the reaction vessel was adjusted to 5 Maintained at 0°
Wherein the reaction vessel 1,3,5,7 81g slowly added (Tokyo Kasei, also described as D4H), until after stirring for 2 hours, the SiH group at 1 H-NMR disappeared 1.8 g of Pd/C (10% palladium/carbon) was divided into 3 times, and the reaction was performed for a total of 17 hours. The disappearance of the SiH group was confirmed by measuring 1 H-NMR of the reaction solution with a heavy acetone solution having a concentration of 1 wt% of the reaction solution using NMR (ECZ400S) manufactured by JEOL Ltd., and confirming the disappearance of the SiH group existing in 4 to 5 ppm. did.
75 g of magnesium sulfate was added to the reaction solution, and the mixture was stirred at 5°C for 30 minutes. Celite No. 450 g of 545 (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was charged into the funnel using tetrahydrofuran. Subsequently, the reaction solution is passed through the celite, and the celite is washed with 1.5 L of tetrahydrofuran, and 1,3,5,7-tetrahydroxy-1,3,5,7-tetramethyltetracyclosiloxane (hereinafter, 2057 g of a THF solution containing (also referred to as D4OH) was obtained. This solution was concentrated with an evaporator in a water bath at 15° C. until the remaining amount was 587 g (649 mL), and the solution was poured into a mixed solvent of 4.4 L of tetrahydrofuran and 217 mL of dichloromethane. The mixture was allowed to stand at 5° C. for 4 hours, then the precipitated insoluble material was filtered under reduced pressure to recover 22 g of a crystalline solid. 6169 g of the filtrate in the soluble portion was concentrated under reduced pressure, and concentrated to a mixed solution of 10 wt% silanol composition in tetrahydrofuran and dichloromethane. 10 g of a mixed solution of 10 wt% silanol composition in tetrahydrofuran and dichloromethane was concentrated under reduced pressure to 1 g, and then 100 g of isopropanol was added again. Further, the mixture was concentrated again under reduced pressure to prepare a silanol composition (isopropanol solution) having a predetermined concentration.
Physical properties such as haze were evaluated using the obtained silanol composition. Moreover, the stereoisomeric ratio of cyclic silanol was calculated by 1 H-NMR. FIG. 1 shows the 1 H-NMR spectrum.

[実施例11]
実施例10にて作製したシラノール組成物(イソプロパノール溶液)に、前記(各立体異性体の調製)にて調製したall-trans体(環状シラノール(B4))を加え、all-trans体比率を43%としたこと以外は、実施例10と同様の実験を行った。
[Example 11]
To the silanol composition (isopropanol solution) prepared in Example 10, the all-trans form (cyclic silanol (B4)) prepared in (Preparation of each stereoisomer) was added, and the all-trans form ratio was 43. The same experiment as in Example 10 was performed except that the percentage was changed to %.

[実施例12]
実施例10にて作製したシラノール組成物(イソプロパノール溶液)に、前記(各立体異性体の調製)にて調製したall-trans体(環状シラノール(B4))を加え、all-trans体比率を56%としたこと以外は、実施例10と同様の実験を行った。
[Example 12]
The all-trans form (cyclic silanol (B4)) prepared in the above (preparation of each stereoisomer) was added to the silanol composition (isopropanol solution) prepared in Example 10 to give an all-trans form ratio of 56. The same experiment as in Example 10 was performed except that the percentage was changed to %.

[実施例13]
実施例10にて作製したシラノール組成物(イソプロパノール溶液)に、前記(各立体異性体の調製)にて調製したall-cis体(環状シラノール(B1))を加え、all-cis体体比率を31%としたこと以外は、実施例10と同様の実験を行った。
[Example 13]
The all-cis form (cyclic silanol (B1)) prepared in the above (preparation of each stereoisomer) was added to the silanol composition (isopropanol solution) prepared in Example 10 to adjust the ratio of all-cis form. The same experiment as in Example 10 was performed except that the amount was 31%.

[実施例14]
実施例10にて作製したシラノール組成物(イソプロパノール溶液)に、前記(各立体異性体の調製)にて調製したall-cis体(環状シラノール(B1))を加え、all-cis体比率を41%としたこと以外は、実施例10と同様の実験を行った。
[Example 14]
To the silanol composition (isopropanol solution) prepared in Example 10, the all-cis form (cyclic silanol (B1)) prepared in (Preparation of each stereoisomer) was added, and the all-cis form ratio was 41. The same experiment as in Example 10 was performed except that the percentage was changed to %.

[実施例15]
実施例10にて作製したシラノール組成物(イソプロパノール溶液)に、前記(各立体異性体の調製)にて調製したtrans-trans-cis体(環状シラノール(B3))を加え、trans-trans-cis体比率を66%としたこと以外は、実施例10と同様の実験を行った。
[Example 15]
The trans-trans-cis form (cyclic silanol (B3)) prepared in the above (preparation of stereoisomers) was added to the silanol composition (isopropanol solution) prepared in Example 10 to give trans-trans-cis. The same experiment as in Example 10 was conducted except that the body ratio was set to 66%.

[実施例16]
実施例10の再結晶温度を−40℃としたこと以外は、実施例10と同様の実験を行った。図2に1H−NMRスペクトルを示す。
[Example 16]
An experiment similar to that of Example 10 was performed, except that the recrystallization temperature of Example 10 was set to −40° C. FIG. 2 shows the 1 H-NMR spectrum.

[実施例1A〜16A]
<紫外発光装置の製造>
各実施例及び比較例では、図2に示す構造を有する紫外線発光装置を作製した。紫外線発光素子チップ1の基板111はAlN基板であり、発光素子チップ1の光取り出し面110aは、1辺が0.9mmである正方形で、発光出力が40mW以上である。基板111の裏面である発光素子チップ1の光取り出し面110aに、屈折率緩和物質層3の形成材料として、硬化性組成物を塗布することにより硬化性組成物含有層を形成した。その上に、上記紫外線透過部材を配置し、1200gの荷重をかける。加重を止めた後、60℃で加熱(1段目の加熱)し、次いで100℃で加熱(2段目の加熱)した。これにより、発光素子チップ1と、半球レンズ2との間に屈折率緩和物質層3が形成され、紫外線発光装置が得られた。
[Examples 1A to 16A]
<Manufacture of ultraviolet light emitting device>
In each of the examples and comparative examples, an ultraviolet light emitting device having the structure shown in FIG. 2 was manufactured. The substrate 111 of the ultraviolet light emitting element chip 1 is an AlN substrate, and the light extraction surface 110a of the light emitting element chip 1 is a square with one side of 0.9 mm and the light emission output is 40 mW or more. A curable composition-containing layer was formed by applying a curable composition as a material for forming the refractive index relaxation material layer 3 to the light extraction surface 110a of the light emitting element chip 1 which is the back surface of the substrate 111. The ultraviolet ray transmitting member is placed thereon, and a load of 1200 g is applied. After the loading was stopped, heating was performed at 60° C. (first heating), and then 100° C. (second heating). As a result, the refractive index relaxation material layer 3 was formed between the light emitting element chip 1 and the hemispherical lens 2, and the ultraviolet light emitting device was obtained.

[実施例17A]
紫外発光装置の製造にあたり、2mmの直径、及び半球状の形状を有し、石英から構成されたレンズ2に代えて、3mmの直径、及び半球状の形状を有し、石英から構成されたレンズを用いた以外は、実施例16Aと同様にして紫外線発光装置を得た。
[Example 17A]
A lens made of quartz having a diameter of 3 mm and a hemispherical shape and having a diameter of 3 mm and a hemispherical shape in place of the lens 2 made of quartz in manufacturing the ultraviolet light emitting device. An ultraviolet light emitting device was obtained in the same manner as in Example 16A except that was used.

[実施例18A]
紫外発光装置の製造にあたり、2mmの直径、及び半球状の形状を有し、石英から構成されたレンズ2に代えて、図4に示すように、2mmの直径、及び平凸状の形状を有し、石英から構成されたレンズ2Aを用いた以外は、実施例16Aと同様にして紫外線発光装置を得た。
[Example 18A]
In manufacturing the ultraviolet light emitting device, it has a diameter of 2 mm and a hemispherical shape, and instead of the lens 2 made of quartz, as shown in FIG. 4, it has a diameter of 2 mm and a plano-convex shape. Then, an ultraviolet light emitting device was obtained in the same manner as in Example 16A except that the lens 2A made of quartz was used.

[実施例19A]
紫外発光装置の製造にあたり、2mmの直径、及び半球状の形状を有し、石英から構成されたレンズ2に代えて、図5に示すように、2mmの直径、及び角板状の形状を有し、石英から構成されたレンズ2Bを用いた以外は、実施例16Aと同様にして紫外線発光装置を得た。
[Example 19A]
In manufacturing the ultraviolet light emitting device, the lens 2 having a diameter of 2 mm and a hemispherical shape and having a diameter of 2 mm and a rectangular plate shape as shown in FIG. Then, an ultraviolet light emitting device was obtained in the same manner as in Example 16A except that the lens 2B made of quartz was used.

[実施例20A]
紫外発光装置の製造にあたり、2mmの直径、及び半球状の形状を有し、石英から構成されたレンズ2に代えて、図6に示すように、2mmの直径、及びドーム状の形状を有し、石英から構成されたレンズ2Cを用いた以外は、実施例16Aと同様にして紫外線発光装置を得た。
[Example 20A]
In manufacturing the ultraviolet light emitting device, it has a diameter of 2 mm and a hemispherical shape, and instead of the lens 2 made of quartz, as shown in FIG. 6, it has a diameter of 2 mm and a dome shape. An ultraviolet light emitting device was obtained in the same manner as in Example 16A except that the lens 2C made of quartz was used.

[比較例1]
屈折率緩和物質層の形成材料として、硬化性組成物を用いることに代えて、モノメチルシロキサンを用いた以外は、実施例1Aと同様にして紫外線発光装置を得た。
ここで、モノメチルシロキサンとしては、メチルトリメトキシシランの重合物を用いた。
[Comparative Example 1]
An ultraviolet light emitting device was obtained in the same manner as in Example 1A except that monomethyl siloxane was used as the material for forming the refractive index relaxation material layer, instead of using the curable composition.
Here, as the monomethylsiloxane, a polymer of methyltrimethoxysilane was used.

[比較例2]
屈折率緩和物質層の形成材料として、硬化性組成物を用いることに代えて、ダウコーニング株式会社製品の「JCR6122(ジメチルシリコーン)」を用いた以外は、実施例1Aと同様にして紫外線発光装置を得た。
[Comparative example 2]
An ultraviolet light emitting device was manufactured in the same manner as in Example 1A, except that "JCR6122 (dimethyl silicone)" manufactured by Dow Corning Co., Ltd. was used as the material for forming the refractive index relaxation material layer instead of the curable composition. Got

[比較例3]
屈折率緩和物質層の形成材料として、硬化性組成物を用いることに代えて、山村硝子株式会社製品の「HE59N(ジメチルシリコーン)」を用いた以外は、実施例1Aと同様にして紫外線発光装置を得た。
[Comparative Example 3]
An ultraviolet light emitting device was produced in the same manner as in Example 1A, except that "HE59N (dimethyl silicone)" manufactured by Yamamura Glass Co., Ltd. was used as the material for forming the refractive index relaxation material layer, instead of using the curable composition. Got

[比較例4]
屈折率緩和物質層の形成材料として、硬化性組成物を用いることに代えて、「サイトップCF3(フッ素材料)」を用いた以外は、実施例1Aと同様にして、紫外線発光装置を得た。
[Comparative Example 4]
An ultraviolet light emitting device was obtained in the same manner as in Example 1A, except that "CYTOP CF3 (fluorine material)" was used as the material for forming the refractive index relaxation material layer, instead of using the curable composition. ..

[比較例5]
屈折率緩和物質層の形成材料として、硬化性組成物を用いることに代えて、「サイトップCOOH(フッ素材料)」を用いた以外は、実施例1Aと同様にして、紫外線発光装置を得た。
[Comparative Example 5]
An ultraviolet light emitting device was obtained in the same manner as in Example 1A, except that "Cytop COOH (fluorine material)" was used as the material for forming the refractive index relaxation material layer, instead of using the curable composition. ..

〔紫外発光素子パッケージの光出力の評価方法及び結果〕
得られた深紫外発光装置に、定電流電源を用いて通電した。各電流値における光出力の値を、積分球ユニットを用いて測定し、石英レンズ及び屈折率緩和物質を有さない構造の発光素子(以下、リファレンスと呼ぶ)の光出力と比較し、その比(光出力比とする)を算出した。結果は、2.0倍となり、屈折率緩和物質層は光取り出し効率の向上に有効であることが示された。また、この光出力比は電流値500mAまでの範囲で一定であった。
[Evaluation method and result of light output of ultraviolet light emitting device package]
The obtained deep ultraviolet light emitting device was energized using a constant current power supply. The light output value at each current value was measured using an integrating sphere unit, and compared with the light output of a light emitting element (hereinafter referred to as a reference) having a structure that does not have a quartz lens and a refractive index relaxation material, and the ratio thereof. (As the light output ratio) was calculated. The result was 2.0 times, showing that the refractive index relaxation material layer is effective for improving the light extraction efficiency. The light output ratio was constant in the range of the current value up to 500 mA.

〔紫外発光素子駆動時における耐久性の評価方法及び結果〕
発光素子寿命評価装置を用いて、環境温度25℃、電流値350mAにおいて、連続駆動させ、一定時間毎に光出力を測定した。合わせて、リファレンスにも同じ電流を注入し、同様に100時間駆動させ測定を行った。評価用サンプルの相対光出力(各測定時点における測定値を試験開始時における光出力で除した値)と、リファレンスの相対光出力の変化を比較して、駆動中の屈折率緩和物質の劣化による光出力の減少を評価した。
[Durability Evaluation Method and Results when Driving Ultraviolet Light Emitting Element]
Using a light emitting device life evaluation device, continuous driving was performed at an environmental temperature of 25° C. and a current value of 350 mA, and the light output was measured at regular intervals. At the same time, the same current was injected into the reference, and the reference was similarly driven for 100 hours for measurement. Relative light output of the sample for evaluation (measured value at each measurement point divided by the light output at the start of the test) and the change in relative light output of the reference are compared, and due to deterioration of the refractive index relaxation material during driving. The reduction in light output was evaluated.

実施例及び比較例で得られたシラノール組成物及び硬化物の物性及び評価結果を表1〜表5に示す。 Tables 1 to 5 show the physical properties and evaluation results of the silanol compositions and cured products obtained in Examples and Comparative Examples.

Claims (24)

下記式(1)で表される環状シラノール(A1)及びその脱水縮合物(A2)を含む、紫外線発光装置用硬化性組成物。
(式(1)中、Rは、各々独立して、フッ素原子、アリール基、ビニル基、アリル基、フッ素で置換された直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基、又は非置換の直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基であり、nは2〜10の整数である。)
A curable composition for an ultraviolet light emitting device, which comprises a cyclic silanol (A1) represented by the following formula (1) and a dehydration condensation product (A2) thereof.
(In the formula (1), each R is independently a fluorine atom, an aryl group, a vinyl group, an allyl group, a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms substituted with fluorine, or a non- It is a substituted linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and n is an integer of 2 to 10.)
前記式(1)で表される環状シラノール(A1)及びその脱水縮合物(A2)が、下記式(10)で表される環状シラノール(A10)、及びその脱水縮合物(A20)である請求項1記載の紫外線発光装置用硬化性組成物。
(式(10)中、Rは、前記式(1)中のRと同義である。)
The cyclic silanol (A1) represented by the formula (1) and its dehydrated condensate (A2) are the cyclic silanol (A10) represented by the following formula (10) and its dehydrated condensate (A20). Item 1. A curable composition for an ultraviolet light emitting device according to Item 1.
(In the formula (10), R has the same meaning as R in the formula (1).)
前記環状シラノール(A10)が、下記式(2)〜(5)で表される環状シラノール(B1)〜(B4)であり、前記環状シラノール(B1)〜(B4)の総量に対する前記環状シラノール(B2)の割合(モル%)をbとしたとき、0<b≦20を満たす、請求項2記載の紫外線発光装置用硬化性組成物。
(式(2)〜(5)中、Rは、前記式(1)中のRと同義である。)
The cyclic silanol (A10) is a cyclic silanol (B1) to (B4) represented by the following formulas (2) to (5), and the cyclic silanol (B1) to (B4) relative to the total amount of the cyclic silanol (B1) to (B4). The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to claim 2, wherein 0<b≦20 is satisfied when the ratio (mol %) of B2) is b.
(In the formulas (2) to (5), R has the same meaning as R in the formula (1).)
前記環状シラノール(B1)〜(B4)の総量に対する前記環状シラノール(B1)の割合(モル%)をaとしたとき、0<a≦60を満たす、請求項3記載の紫外線発光装置用硬化性組成物。 The curability for an ultraviolet light emitting device according to claim 3, wherein 0<a≦60 is satisfied, where a is a ratio (mol %) of the cyclic silanol (B1) to the total amount of the cyclic silanols (B1) to (B4). Composition. 3μmの厚さを有する硬化物の形態においてヘイズが5%以下である、請求項1〜4のいずれか1項記載の紫外線発光装置用硬化性組成物。 The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to claim 1, which has a haze of 5% or less in the form of a cured product having a thickness of 3 μm. ゲルパーミエーションクロマトグラフィーの測定により得られるクロマトグラムのピークにおいて、前記脱水縮合物(A2)の面積が、前記環状シラノール(A1)及び前記脱水縮合物(A2)の総面積に対して、0%超過50%以下である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の紫外線発光装置用硬化性組成物。 In the peak of the chromatogram obtained by the measurement of gel permeation chromatography, the area of the dehydrated condensate (A2) is 0% with respect to the total area of the cyclic silanol (A1) and the dehydrated condensate (A2). The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to any one of claims 1 to 5, which is in excess of 50%. 遷移金属の含有量が、1質量ppm未満である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の紫外線発光装置用硬化性組成物。 The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to claim 1, wherein the content of the transition metal is less than 1 mass ppm. 溶媒を含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の紫外線発光装置用硬化性組成物。 The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to claim 1, which comprises a solvent. 1nm以上100nm以下の平均粒子径を有するシリカ粒子を含む、請求項1〜8のいずれか1項に記載の紫外線発光装置用硬化組成物。 The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to claim 1, further comprising silica particles having an average particle size of 1 nm or more and 100 nm or less. 下記一般式(6)で表される両末端シラノール変性シロキサンを含む、請求項1〜9のいずれか1項に記載の紫外線発光装置用硬化組成物。
(一般式(6)中、R’は、各々独立して、フッ素、アリール基、ビニル基、アリル基、フッ素で置換された直鎖状若しくは分枝状の炭素数1〜4のアルキル基、又は、非置換の直鎖状若しくは分岐状の炭素数1〜4のアルキル基であり、mは0〜1000の整数である。)
The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to claim 1, which comprises a silanol-modified siloxane having both terminals at the end represented by the following general formula (6).
(In the general formula (6), R′ is each independently fluorine, an aryl group, a vinyl group, an allyl group, a linear or branched C 1 -C 4 alkyl group substituted with fluorine, Alternatively, it is an unsubstituted linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and m is an integer of 0 to 1000.)
Na及びVの総合計含有量が60質量ppm未満である、請求項1〜10のいずれか一項に記載の紫外線発光装置用硬化組成物。 The curable composition for an ultraviolet light emitting device according to any one of claims 1 to 10, wherein the total content of Na and V is less than 60 mass ppm. 210nm以上300nm未満の深紫外光を発光する深紫外線発光装置用である、請求項1〜11のいずれか1項に記載の発光装置用硬化性組成物。 The curable composition for a light emitting device according to claim 1, which is for a deep ultraviolet light emitting device that emits deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm. 請求項1〜12のいずれか1項に記載の紫外線発光装置用硬化組成物の硬化物。 A cured product of the curable composition for an ultraviolet light emitting device according to claim 1. 紫外線発光素子と、前記紫外線発光素子の光取り出し面に配置した屈折率緩和物質層とを有する紫外線発光装置用部品であって、前記屈折率緩和物質層が、請求項13記載の硬化物を含む紫外線発光装置用部品。 An ultraviolet light emitting device component comprising an ultraviolet light emitting element and a refractive index relaxation material layer disposed on a light extraction surface of the ultraviolet light emitting element, wherein the refractive index relaxation material layer contains the cured product according to claim 13. Ultraviolet light emitting device parts. 前記紫外線発光素子の光取り出し面が、窒化アルミニウム単結晶により形成されている請求項14記載の紫外線発光装置用部品。 15. The ultraviolet light emitting device component according to claim 14, wherein the light extraction surface of the ultraviolet light emitting element is formed of an aluminum nitride single crystal. 前記紫外線発光素子が、210nm以上300nm未満の深紫外光を発光する深紫外光発光素子である、請求項14又は15記載の紫外線発光装置用部品。 The component for an ultraviolet light emitting device according to claim 14 or 15, wherein the ultraviolet light emitting element is a deep ultraviolet light emitting element that emits deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm. 紫外線透過性部材と、前記紫外線透過性部材の入射面に配置した屈折率緩和層とを有する発光装置用部品であって、前記屈折率緩和物質層が、請求項13記載の硬化物を含む紫外線発光装置用部品。 A component for a light emitting device, which comprises an ultraviolet-transmissive member and a refractive index relaxation layer disposed on an incident surface of the ultraviolet transparent member, wherein the refractive index relaxation material layer contains the cured product of claim 13. Parts for light emitting devices. 前記紫外線透過性部材がレンズ又は板状部材である、請求項17記載の紫外線発光装置用部品。 The ultraviolet light emitting device component according to claim 17, wherein the ultraviolet light transmissive member is a lens or a plate-shaped member. 前記レンズが半球レンズである、請求項18記載の紫外線発光装置用部品。 19. The component for an ultraviolet light emitting device according to claim 18, wherein the lens is a hemispherical lens. 前記紫外線透過性部材の形成材料が屈折率緩和物質、石英又はサファイアである、請求項17〜19のいずれか一項に記載の紫外線発光装置用部品。 20. The component for an ultraviolet light emitting device according to claim 17, wherein the material for forming the ultraviolet transparent member is a refractive index relaxing substance, quartz, or sapphire. 前記紫外線透過性部材が、210nm以上300nm未満の深紫外線を透過可能な深紫外線透過性部材である、請求項17〜20のいずれか1項に記載の紫外線発光装置用部品。 The component for an ultraviolet light emitting device according to any one of claims 17 to 20, wherein the ultraviolet light transmissive member is a deep ultraviolet light transmissive member capable of transmitting deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm. 紫外線透過性部材と、紫外線発光素子と、前記紫外線透過性部材の入射面及び前記紫外線発光素子の光取り出し面の間に配置された屈折率緩和物質層とを有し、前記屈折率緩和物質層が、請求項13記載の硬化物を含む紫外線発光装置。 An ultraviolet light transmitting member, an ultraviolet light emitting element, and a refractive index relaxing substance layer disposed between an incident surface of the ultraviolet transparent member and a light extraction surface of the ultraviolet light emitting device, and the refractive index relaxing substance layer. Is an ultraviolet light emitting device containing the cured product according to claim 13. 環境温度25℃、電流値350mAの条件において、100時間点灯した後の光出力比が0.9以上である、請求項22記載の紫外線発光装置。 23. The ultraviolet light emitting device according to claim 22, wherein a light output ratio after lighting for 100 hours is 0.9 or more under conditions of an ambient temperature of 25° C. and a current value of 350 mA. 前記紫外線透過性部材が、210nm以上300nm未満の深紫外線を透過可能な深紫外線透過性部材であり、前記紫外線発光素子が、210nm以上300nm未満の深紫外光を発光する深紫外光発光素子である、請求項22又は23記載の紫外線発光装置。 The ultraviolet light transmissive member is a deep ultraviolet light transmissive member capable of transmitting deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm, and the ultraviolet light emitting device is a deep ultraviolet light emitting device that emits deep ultraviolet light of 210 nm or more and less than 300 nm. The ultraviolet light emitting device according to claim 22 or 23.
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