JP2020065429A

JP2020065429A - Actuator

Info

Publication number: JP2020065429A
Application number: JP2018197746A
Authority: JP
Inventors: 克也福島; Katsuya Fukushima; 正志石井; Masashi Ishii; 弘樹丹羽; Hiroki Niwa; 鈴木　明; Akira Suzuki; 明鈴木; 和人大賀; Kazuto Oga; 翔悟和久田; Shogo Wakuta; 聡史原; Satoshi Hara; 林　茂樹; Shigeki Hayashi; 茂樹林; 智史水野; Tomohito Mizuno
Original assignee: THK Co Ltd
Current assignee: THK Co Ltd
Priority date: 2018-10-19
Filing date: 2018-10-19
Publication date: 2020-04-23

Abstract

To prevent the accuracy of a workpiece suction detection by a suction detection sensor from decreasing in an actuator that sucks the workpiece onto the tip of a shaft.SOLUTION: In a housing 2 of an actuator 1, an air passage communicating with a hollow portion formed in a tip portion 10A of a shaft 10, and an adsorption detection sensor provided in the air passage and detecting that a workpiece W is attached to the tip portion of the shaft are installed. Further, in the housing, a shield plate 80 that shields the magnetic field generated from a direct drive motor is provided between the direct drive motor and the adsorption detection sensor.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、ピックアンドプレイスを行うアクチュエータに関する。 The present invention relates to an actuator that performs pick and place.

従来、シャフトによってワークをピックアップするとともに、ピックアップしたワークを所定の位置に該シャフトによってプレイスする、といった一連の動作（ピックアンドプレイス）を行うアクチュエータが知られている（例えば、特許文献１参照）。このようなピックアンドプレイスを行うアクチュエータにおいては、中空のシャフトの先端部をワークに押し付けた状態で該シャフトの内部を負圧にすることで、該シャフトの先端部にワークを吸い付けて、ワークをピックアップする。 BACKGROUND ART Conventionally, there is known an actuator that performs a series of operations (pick and place) in which a work is picked up by a shaft and the picked up work is placed at a predetermined position by the shaft (see, for example, Patent Document 1). In such an actuator that performs pick-and-place, a negative pressure is applied to the inside of the hollow shaft while pressing the end of the shaft against the work, so that the work is sucked to the end of the shaft, To pick up.

特許第５１１３５３４号公報Japanese Patent No. 5113534

上記のように、ピックアンドプレイスを行うアクチュエータにおいては、シャフトの先端部に該ワークを吸い付けるために、該先端部に負圧を発生させる必要がある。そこで、シャフトの先端部に負圧を発生させるための構成として、アクチュエータにおいて、シャフトの先端部の内部に形成された中空部と連通する空気通路を設けることが考えられる。このような空気通路を設けることで、該空気通路を介して、シャフトの中空部から空気を吸引し、それによって、該シャフトの先端部に負圧を発生させることが可能となる。 As described above, in an actuator that performs pick-and-place, it is necessary to generate a negative pressure at the tip of the shaft in order to suck the work. Therefore, as a configuration for generating a negative pressure at the tip portion of the shaft, it is conceivable to provide an air passage in the actuator that communicates with a hollow portion formed inside the tip portion of the shaft. By providing such an air passage, it is possible to suck air from the hollow portion of the shaft through the air passage, thereby generating a negative pressure at the tip portion of the shaft.

ここで、アクチュエータによってピックアンドプレイスを適切に実行するためには、ワークのピックアップの際に、シャフトの先端部に該ワークを確実に吸い付けるとともに、該シャフトの先端部への該ワークの吸着を検知する必要がある。そのため、アクチュエータにおいて、上記のような空気通路を設けた場合、シャフトの先端部にワークが吸い付いたことを検知するための吸着検知センサを該空気通路に設けることも考えられる。この場合、吸着検知センサによって、空気通路における空気の流量または圧力を検出することで、シャフトの先端部へのワークの吸着を検知することができる。 Here, in order to properly perform the pick and place by the actuator, at the time of picking up the work, the work is surely sucked to the tip of the shaft, and the work is attracted to the tip of the shaft. Need to detect. Therefore, in the case where the above-mentioned air passage is provided in the actuator, it is conceivable to provide an adsorption detection sensor in the air passage for detecting that the workpiece is attached to the tip of the shaft. In this case, the suction detection sensor can detect the suction of the work on the tip portion of the shaft by detecting the flow rate or pressure of the air in the air passage.

ただし、アクチュエータは、シャフトをその軸方向に移動させるための直動モータを備えている。そのため、上記のように、アクチュエータにおいて、吸着検知センサが設けられた場合、該吸着検知センサが、直動モータから発生する磁界の影響を受ける可能性がある。そして、吸着検知センサが、直動モータから発生する磁界の影響を受けると、該吸着検知センサによるワークの吸着検知の精度が低下する虞がある。また、吸着検知センサに対する、直動モータから発生する磁界の影響を抑制するために、アクチュエータにおいて、吸着検知センサと直動モータとの間の距離を大きくすると、該アクチュエータの大型化を招くことになる。 However, the actuator includes a direct drive motor for moving the shaft in the axial direction. Therefore, when the suction detection sensor is provided in the actuator as described above, the suction detection sensor may be affected by the magnetic field generated from the linear motion motor. When the suction detection sensor is affected by the magnetic field generated by the direct drive motor, the suction detection accuracy of the workpiece by the suction detection sensor may be reduced. Further, in order to suppress the influence of the magnetic field generated from the linear motion motor on the adsorption detection sensor, if the distance between the adsorption detection sensor and the linear motion motor is increased in the actuator, the actuator may become large. Become.

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであって、シャフトの先端部にワークを吸着させるアクチュエータにおいて、吸着検知センサによるワークの吸着検知の精度が低下することを抑制することが可能な技術を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the problems as described above, and in an actuator that adsorbs a work on the tip portion of the shaft, it is possible to suppress deterioration of the accuracy of the adsorption detection of the work by the adsorption detection sensor. The aim is to provide possible technology.

本発明に係るアクチュエータは、
少なくともその先端部側に、その内部が中空となることで形成される中空部を有するシャフトが、その先端部が突出した状態でハウジング内に収容されており、該シャフトの先端部に負圧を発生させることで該先端部にワークを吸い付けて該ワークをピックアップするアクチュエータであって、
前記シャフトをその軸方向に移動させる直動モータと、
前記シャフトの前記中空部と連通しており、該中空部から空気を吸引するときに空気の通路となる空気通路と、
前記空気通路に設けられ、前記シャフトの先端部にワークが吸い付いたことを検知するための吸着検知センサと、
前記ハウジング内において、前記直動モータと前記吸着検知センサとの間に設けられ、前記直動モータから発生する磁界を遮蔽する遮蔽板と、
を備える。 The actuator according to the present invention is
A shaft having a hollow portion formed by making the inside hollow at least on the tip end side is housed in the housing with the tip end protruding, and a negative pressure is applied to the tip end portion of the shaft. An actuator for attracting a work to the tip by generating the work and picking up the work,
A linear motor that moves the shaft in its axial direction,
An air passage that communicates with the hollow portion of the shaft and serves as a passage for air when sucking air from the hollow portion;
An adsorption detection sensor provided in the air passage for detecting that a work piece is adsorbed to the tip of the shaft,
In the housing, a shield plate that is provided between the direct drive motor and the suction detection sensor and shields a magnetic field generated from the direct drive motor,
Equipped with.

本発明によれば、シャフトの先端部にワークを吸着させるアクチュエータにおいて、吸着検知センサによるワークの吸着検知の精度が低下することを抑制することができる。 According to the present invention, in the actuator for adsorbing a work on the tip portion of the shaft, it is possible to prevent the accuracy of the adsorption detection of the work by the adsorption detection sensor from decreasing.

実施形態に係るアクチュエータの外観図である。It is an external view of the actuator which concerns on embodiment. 実施形態に係るアクチュエータの内部構造を示した概略構成図である。It is a schematic structure figure showing an internal structure of an actuator concerning an embodiment. 実施形態に係るシャフトハウジングとシャフトの先端部との概略構成を示した断面図である。It is a sectional view showing a schematic structure of a shaft housing and a tip part of a shaft concerning an embodiment. 実施形態に係るアクチュエータを複数積層した状態を示す第１の図である。It is a 1st figure which shows the state which laminated the actuator which concerns on embodiment. 実施形態に係るアクチュエータを複数積層した状態を示す第２の図である。It is a 2nd figure which shows the state which laminated the actuator which concerns on embodiment. 実施形態の変形例１に係るアクチュエータの内部構造を示した概略構成図である。It is a schematic block diagram which showed the internal structure of the actuator which concerns on the modification 1 of embodiment. 実施形態の変形例２に係るアクチュエータの内部構造を示した概略構成図である。It is a schematic block diagram which showed the internal structure of the actuator which concerns on the modification 2 of embodiment.

本発明に係るアクチュエータにおいては、シャフトが、その先端部が突出した状態でハウジング内に収容されている。また、シャフトの少なくとも先端部側には、その内部が中空となることで中空部が形成されている。そのため、シャフトの中空部から空気が吸引されると、該シャフトの先端部に負圧が発生する。 In the actuator according to the present invention, the shaft is housed in the housing with the tip portion thereof protruding. A hollow portion is formed on at least the tip end side of the shaft by making the inside hollow. Therefore, when air is sucked from the hollow portion of the shaft, negative pressure is generated at the tip portion of the shaft.

また、ハウジング内には、直動モータ、空気通路、および吸着検知センサが設けられている。直動モータは、シャフトによってワークをピックアップまたはプレイスする際に、該シャフトを軸方向に移動させるモータである。空気通路は、シャフトの中空部に連通しており、該中空部から空気を吸引するときに空気の通路となる。つまり、アクチュエータにおいては、ワークをピックアップする際に、空気通路を介して、シャフトの中空部から空気が吸引される。 In addition, a linear motor, an air passage, and an adsorption detection sensor are provided in the housing. The linear motor is a motor that moves the shaft in the axial direction when picking up or placing a work by the shaft. The air passage communicates with the hollow portion of the shaft and serves as an air passage when sucking air from the hollow portion. That is, in the actuator, when picking up a workpiece, air is sucked from the hollow portion of the shaft via the air passage.

また、吸着検知センサは、ハウジング内の空気通路に設けられている。この吸着検知センサは、空気通路における空気の圧力または流量の変化を検出することで、シャフトの先端部にワークが吸い付いたことを検知することができる。 The adsorption detection sensor is provided in the air passage inside the housing. This adsorption detection sensor can detect that the workpiece is attached to the tip of the shaft by detecting a change in the pressure or flow rate of air in the air passage.

さらに、本発明においては、ハウジング内における直動モータと吸着検知センサとの間に遮蔽板が設けられている。この遮蔽板は、直動モータから発生する磁界を遮蔽する機能を有する。 Further, in the present invention, the shield plate is provided between the linear motion motor and the suction detection sensor in the housing. The shield plate has a function of shielding the magnetic field generated from the direct drive motor.

ハウジング内において、このような遮蔽板が設けられることで、直動モータから発生する磁界が吸着検知センサに達することを抑制することができる。そのため、直動モータから発生する磁界が吸着検知センサに影響を与えることを抑制することができる。したがって、吸着検知センサによるワークの吸着検知の精度が低下することを抑制することが可能となる。 By providing such a shielding plate in the housing, it is possible to prevent the magnetic field generated from the direct drive motor from reaching the adsorption detection sensor. Therefore, it is possible to prevent the magnetic field generated from the linear motor from affecting the adsorption detection sensor. Therefore, it is possible to prevent the accuracy of the suction detection of the workpiece by the suction detection sensor from decreasing.

また、直動モータから発生する磁界が遮蔽板によって遮蔽されるために、直動モータと吸着検知センサとの間の距離を小さくしても、該吸着検知センサが該磁界の影響を受けることを抑制することができる。そのため、アクチュエータをより小型化することが可能となる。 Further, since the magnetic field generated from the direct drive motor is shielded by the shield plate, even if the distance between the direct drive motor and the suction detection sensor is reduced, the suction detection sensor is not affected by the magnetic field. Can be suppressed. Therefore, the actuator can be made smaller.

以下、本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。本実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置等は、特に記載がない限りは発明の技術的範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。 Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The dimensions, materials, shapes, relative arrangements, and the like of the components described in this embodiment are not intended to limit the technical scope of the invention to these unless otherwise specified.

＜実施形態＞
図１は、本実施形態に係るアクチュエータ１の外観図である。アクチュエータ１は外形が略直方体のハウジング２を有しており、ハウジング２には、蓋２００が取り付けられている。図２は、本実施形態に係るアクチュエータ１の内部構造を示した概略構成図である。ハウジング２の内部に、シャフト１０の一部を収容している。このシャフト１０の先端部１０Ａ側は、中空となるよう形成されている。シャフト１０及びハウジング２の材料には、例えば金属（例えばアルミニウム）を用いることができるが、樹脂等を用いることもできる。なお、以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置について説明する。ハウジング２の最も大きな面の長辺方向であってシャフト１０の中心軸１００の方向をＺ軸方向とし、ハウジング２の最も大きな面の短辺方向をＸ軸方向とし、ハウジング２の最も大きな面と直交する方向をＹ軸方向とする。Ｚ軸方向は鉛直方向でもある。なお、以下では、図２におけるＺ軸方向の上側をアクチュエータ１の上側とし、図２におけるＺ軸方向の下側をアクチュエータ１の下側とする。また、図２におけるＸ軸方向の右側をアクチュエータ１の右側とし、図２におけるＸ軸方向の左側をアクチュエータ１の左側とする。また、図２におけるＹ軸方向の手前側をアクチュエータ１の手前側とし、図２におけるＹ軸方向の奥側をアクチュエータ１の奥側とする。ハウジング２は、Ｚ軸方向の寸法がＸ軸方向の寸法よりも長く、Ｘ軸方向の寸法がＹ軸方向の寸法よりも長い。ハウジング２は、Ｙ軸方向と直交する一つの面（図２における手前側の面）に相当する箇所が開口しており、この開口を蓋２００によって閉塞している。蓋２００は、例えばネジによってハウジング２に固定される。 <Embodiment>
FIG. 1 is an external view of an actuator 1 according to this embodiment. The actuator 1 has a housing 2 having a substantially rectangular parallelepiped outer shape, and a lid 200 is attached to the housing 2. FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing the internal structure of the actuator 1 according to the present embodiment. A part of the shaft 10 is housed inside the housing 2. The tip 10A side of the shaft 10 is formed to be hollow. As the material of the shaft 10 and the housing 2, for example, metal (for example, aluminum) can be used, but resin or the like can also be used. In the following description, an XYZ rectangular coordinate system is set, and the position of each member will be described with reference to this XYZ rectangular coordinate system. The direction of the central axis 100 of the shaft 10 is the Z-axis direction, which is the long side direction of the largest surface of the housing 2, and the short side direction of the largest surface of the housing 2 is the X-axis direction. The direction orthogonal to each other is the Y-axis direction. The Z-axis direction is also the vertical direction. In the following, the upper side in the Z-axis direction in FIG. 2 is the upper side of the actuator 1, and the lower side in the Z-axis direction in FIG. 2 is the lower side of the actuator 1. The right side in the X-axis direction in FIG. 2 is the right side of the actuator 1, and the left side in the X-axis direction in FIG. 2 is the left side of the actuator 1. The front side in the Y-axis direction in FIG. 2 is the front side of the actuator 1, and the back side in the Y-axis direction in FIG. 2 is the back side of the actuator 1. The housing 2 has a dimension in the Z-axis direction longer than that in the X-axis direction, and a dimension in the X-axis direction longer than that in the Y-axis direction. The housing 2 has an opening at a portion corresponding to one surface (front surface in FIG. 2) orthogonal to the Y-axis direction, and the opening is closed by a lid 200. The lid 200 is fixed to the housing 2 with screws, for example.

ハウジング２内には、シャフト１０をその中心軸１００回りに回転させる回転モータ２０と、シャフト１０をその中心軸１００に沿った方向（すなわち、Ｚ軸方向）にハウジング２に対して相対的に直動させる直動モータ３０と、エア制御機構６０とが収容されている。また、ハウジング２のＺ軸方向の下端面２０２には、シャフト１０が挿通されたシャフトハウジング５０が取り付けられている。ハウジング２には、下端面２０２からハウジング２の内部に向かって凹むように凹部２０２Ｂが形成されており、この凹部２０２Ｂにシャフトハウジング５０の一部が挿入される。この凹部２０２ＢのＺ軸方向の上端部には、Ｚ軸方向に貫通孔２Ａが形成されており、この貫通孔２Ａ及びシャフトハウジング５０をシャフト１０が挿通される。シャフト１０のＺ軸方向の下側の先端部１０Ａは、シャフトハウジング５０から外部へ突出している。シャフト１０は、ハウジング２のＸ軸方向の中心且つＹ軸方向の中心に設けられている。つまり、ハウジング２における、Ｘ軸方向の中心およびＹ軸方向の中心を通ってＺ軸方向に延びる中心軸と、シャフト１０の中心軸１００とが重なるように、シャフト１０が設けられている。シャフト１０は、直動モータ３０によってＺ軸方向に直動すると共に、回転モータ２０によって中心軸１００の回りを回
転する。 Inside the housing 2, a rotary motor 20 for rotating the shaft 10 around its central axis 100, and a shaft 10 relative to the housing 2 in a direction along the central axis 100 (ie, Z-axis direction). A linear motor 30 for moving and an air control mechanism 60 are housed. A shaft housing 50 having the shaft 10 inserted therein is attached to a lower end surface 202 of the housing 2 in the Z-axis direction. A recess 202B is formed in the housing 2 so as to be recessed from the lower end surface 202 toward the inside of the housing 2, and a part of the shaft housing 50 is inserted into the recess 202B. A through hole 2A is formed in the Z axis direction at the upper end of the recess 202B in the Z axis direction, and the shaft 10 is inserted through the through hole 2A and the shaft housing 50. The tip 10A on the lower side in the Z-axis direction of the shaft 10 projects outward from the shaft housing 50. The shaft 10 is provided at the center of the housing 2 in the X-axis direction and the center of the Y-axis direction. That is, the shaft 10 is provided so that the center axis 100 of the shaft 10 and the center axis of the housing 2 extending in the Z axis direction passing through the center in the X axis direction and the center in the Y axis direction overlap with each other. The shaft 10 is linearly moved in the Z-axis direction by the linear motion motor 30 and is rotated about the central axis 100 by the rotary motor 20.

シャフト１０の先端部１０Ａと逆側の端部（Ｚ軸方向の上側の端部）である基端部１０Ｂ側は、ハウジング２内に収容されており、回転モータ２０の出力軸２１に接続されている。この回転モータ２０は、シャフト１０を回転可能に支持している。回転モータ２０の出力軸２１の中心軸は、シャフト１０の中心軸１００と一致する。回転モータ２０は、出力軸２１の他に、固定子２２と、固定子２２の内部で回転する回転子２３と、出力軸２１の回転角度を検出するロータリエンコーダ２４とを有する。回転子２３が固定子２２に対して回転することにより、出力軸２１及びシャフト１０も固定子２２に対して連動して回転する。 A base end portion 10B side that is an end portion (upper end portion in the Z-axis direction) opposite to the tip end portion 10A of the shaft 10 is housed in the housing 2 and connected to the output shaft 21 of the rotary motor 20. ing. The rotary motor 20 rotatably supports the shaft 10. The central axis of the output shaft 21 of the rotary motor 20 coincides with the central axis 100 of the shaft 10. In addition to the output shaft 21, the rotary motor 20 has a stator 22, a rotor 23 that rotates inside the stator 22, and a rotary encoder 24 that detects the rotation angle of the output shaft 21. When the rotor 23 rotates with respect to the stator 22, the output shaft 21 and the shaft 10 also rotate in conjunction with the stator 22.

直動モータ３０は、ハウジング２に固定された固定子３１、固定子３１に対して相対的にＺ軸方向に移動する可動子３２を有する。直動モータ３０は、例えばリニアモータである。固定子３１には複数のコイル３１Ａが設けられ、可動子３２には複数の永久磁石３２Ａが設けられている。コイル３１Ａは、Ｚ軸方向に所定ピッチで配置され、且つ、Ｕ，Ｖ，Ｗ相の３つのコイル３１Ａを一組として複数設けられている。本実施形態では、これらＵ，Ｖ，Ｗ相のコイル３１Ａに三相電機子電流を流すことによって直動的に移動する移動磁界を発生させ、固定子３１に対して可動子３２を直動的に移動させる。直動モータ３０には固定子３１に対する可動子３２の相対位置を検出するリニアエンコーダ３８が設けられている。なお、上記構成に代えて、固定子３１に永久磁石を設け、可動子３２に複数のコイルを設けることもできる。 The linear motor 30 includes a stator 31 fixed to the housing 2 and a mover 32 that moves in the Z-axis direction relative to the stator 31. The linear motor 30 is, for example, a linear motor. The stator 31 is provided with a plurality of coils 31A, and the mover 32 is provided with a plurality of permanent magnets 32A. The coils 31A are arranged at a predetermined pitch in the Z-axis direction, and a plurality of U, V, and W-phase coils 31A are provided as a set. In the present embodiment, a three-phase armature current is passed through the U-, V-, and W-phase coils 31A to generate a moving magnetic field that moves linearly, and the mover 32 moves linearly with respect to the stator 31. Move to. The linear motor 30 is provided with a linear encoder 38 that detects the relative position of the mover 32 with respect to the stator 31. Instead of the above configuration, the stator 31 may be provided with a permanent magnet and the mover 32 may be provided with a plurality of coils.

直動モータ３０の可動子３２と回転モータ２０の固定子２２とは、直動テーブル３３を介して連結されている。直動テーブル３３は、直動モータ３０の可動子３２の移動に伴って移動可能である。直動テーブル３３の移動は、直動案内装置３４によってＺ軸方向に案内されている。直動案内装置３４は、ハウジング２に固定されたレール３４Ａと、レール３４Ａに組み付けられたスライダブロック３４Ｂとを有する。レール３４Ａは、Ｚ軸方向に延びており、スライダブロック３４Ｂは、レール３４Ａに沿ってＺ軸方向に移動可能に構成されている。 The mover 32 of the direct drive motor 30 and the stator 22 of the rotary motor 20 are connected via a direct drive table 33. The translation table 33 is movable along with the movement of the mover 32 of the translation motor 30. The movement of the linear motion table 33 is guided in the Z-axis direction by the linear motion guide device 34. The linear motion guide device 34 has a rail 34A fixed to the housing 2 and a slider block 34B assembled to the rail 34A. The rail 34A extends in the Z-axis direction, and the slider block 34B is configured to be movable in the Z-axis direction along the rail 34A.

直動テーブル３３は、スライダブロック３４Ｂに固定されており、スライダブロック３４Ｂと共にＺ軸方向に移動可能である。直動テーブル３３は、直動モータ３０の可動子３２と２つの連結アーム３５を介して連結されている。２つの連結アーム３５は、可動子３２のＺ軸方向の両端部と、直動テーブル３３のＺ軸方向の両端部とを連結している。また、直動テーブル３３は、両端部よりも中央側において、２つの連結アーム３６を介して回転モータ２０の固定子２２と連結されている。なお、Ｚ軸方向上側の連結アーム３６を第一アーム３６Ａといい、Ｚ軸方向下側の連結アーム３６を第二アーム３６Ｂという。また、第一アーム３６Ａと第二アーム３６Ｂとを区別しない場合には、単に連結アーム３６という。直動テーブル３３と回転モータ２０の固定子２２とが、該連結アーム３６を介して回転モータ２０の固定子２２と連結されているために、直動テーブル３３の移動に伴って回転モータ２０の固定子２２も移動する。また、連結アーム３６は、断面が四角である。各連結アーム３６におけるＺ軸方向の上側を向く面には、ひずみゲージ３７が固定されている。なお、第一アーム３６Ａに固定されるひずみゲージ３７を第一ひずみゲージ３７Ａといい、第二アーム３６Ｂに固定されるひずみゲージ３７を第二ひずみゲージ３７Ｂという。第一ひずみゲージ３７Ａと第二ひずみゲージ３７Ｂとを区別しない場合には、単にひずみゲージ３７という。なお、本実施形態の２つのひずみゲージ３７は、連結アーム３６のＺ軸方向の上側を向く面に夫々設けられているが、これに代えて、連結アーム３６のＺ軸方向の下側を向く面に夫々設けられていてもよい。 The linear motion table 33 is fixed to the slider block 34B and is movable in the Z-axis direction together with the slider block 34B. The linear motion table 33 is connected to the mover 32 of the linear motion motor 30 via two connecting arms 35. The two connecting arms 35 connect both ends of the mover 32 in the Z-axis direction and both ends of the translation table 33 in the Z-axis direction. Further, the translation table 33 is connected to the stator 22 of the rotary motor 20 via two connecting arms 36 on the center side of both ends. The connecting arm 36 on the upper side in the Z-axis direction is called a first arm 36A, and the connecting arm 36 on the lower side in the Z-axis direction is called a second arm 36B. Further, when the first arm 36A and the second arm 36B are not distinguished from each other, they are simply referred to as a connecting arm 36. Since the linear motion table 33 and the stator 22 of the rotary motor 20 are connected to the stator 22 of the rotary motor 20 via the connecting arm 36, the rotary motor 20 moves as the linear motion table 33 moves. The stator 22 also moves. The connecting arm 36 has a rectangular cross section. A strain gauge 37 is fixed to the surface of each connecting arm 36 facing upward in the Z-axis direction. The strain gauge 37 fixed to the first arm 36A is called a first strain gauge 37A, and the strain gauge 37 fixed to the second arm 36B is called a second strain gauge 37B. When the first strain gauge 37A and the second strain gauge 37B are not distinguished, they are simply referred to as strain gauges 37. Note that the two strain gauges 37 of the present embodiment are respectively provided on the surfaces of the connecting arms 36 facing upward in the Z-axis direction, but instead of this, they face downwards in the Z-axis direction of the connecting arms 36. Each may be provided on the surface.

また、二つの連結アーム３５には、直動モータ３０から発生する磁界を遮蔽する遮蔽板
８０が接続されている。遮蔽板８０は、直動モータ３０の固定子３１と平行に延びており、その一端が一方の連結アーム３５に接続され、且つ、その他端が他方の連結アーム３５に接続されている。このように、遮蔽板８０が連結アーム３５に接続されているために、直動モータ３０における可動子３２の移動に伴って該遮蔽板８０も移動する。そして、直動モータ３０における固定子３１に対する可動子３２の移動の際に発生する磁界が遮蔽板８０によって遮蔽される。なお、遮蔽板８０の材質は、磁界を遮蔽可能な材質であれば、特に限定されるものではない。 Further, a shield plate 80 that shields the magnetic field generated from the linear motion motor 30 is connected to the two connecting arms 35. The shield plate 80 extends in parallel with the stator 31 of the linear motor 30, one end of which is connected to the one connecting arm 35, and the other end of which is connected to the other connecting arm 35. As described above, since the shield plate 80 is connected to the connecting arm 35, the shield plate 80 also moves as the mover 32 of the linear motor 30 moves. The shield plate 80 shields the magnetic field generated when the mover 32 moves relative to the stator 31 in the linear motor 30. The material of the shielding plate 80 is not particularly limited as long as it can shield the magnetic field.

エア制御機構６０は、シャフト１０の先端部１０Ａに正圧や負圧を発生させるための機構である。すなわち、エア制御機構６０は、ワークＷのピックアップ時において、シャフト１０内の空気を吸引することで、該シャフト１０の先端部１０Ａに負圧を発生させる。これによってワークＷがシャフト１０の先端部１０Ａに吸い付けられる。また、シャフト１０内に空気を送り込むことで、該シャフト１０の先端部１０Ａに正圧を発生させる。これによりシャフト１０の先端部１０ＡからワークＷを容易に脱離させる。 The air control mechanism 60 is a mechanism for generating a positive pressure or a negative pressure at the tip portion 10A of the shaft 10. That is, the air control mechanism 60 sucks the air in the shaft 10 at the time of picking up the work W to generate a negative pressure in the tip portion 10A of the shaft 10. As a result, the work W is sucked onto the tip portion 10A of the shaft 10. Further, by sending air into the shaft 10, a positive pressure is generated at the tip portion 10A of the shaft 10. Thereby, the work W is easily detached from the tip portion 10A of the shaft 10.

また、シャフト１０は、ハウジング２におけるＸ軸方向の中央に配置されている。そして、エア制御機構６０は、ハウジング２内において、シャフト１０を挟んで直動モータ３０とは反対側の位置に配置されている。つまり、図２において、シャフト１０を挟んで、向かって左側に直動モータ３０の固定子３１および可動子３２が配置されており、向かって右側にエア制御機構６０が配置されている。そして、ハウジング２において、直動モータ３０、シャフト１０、およびエア制御機構６０が並ぶ方向の中央に、シャフト１０が配置されている。 The shaft 10 is arranged in the center of the housing 2 in the X-axis direction. The air control mechanism 60 is arranged in the housing 2 at a position opposite to the direct drive motor 30 with the shaft 10 interposed therebetween. That is, in FIG. 2, the stator 31 and the mover 32 of the linear motion motor 30 are arranged on the left side with the shaft 10 interposed therebetween, and the air control mechanism 60 is arranged on the right side. Then, in the housing 2, the shaft 10 is arranged at the center of the direction in which the linear motor 30, the shaft 10 and the air control mechanism 60 are arranged.

エア制御機構６０は、正圧の空気が流通する正圧通路６１Ａ（一点鎖線参照。）と、負圧の空気が流通する負圧通路６１Ｂ（二点鎖線参照。）と、正圧の空気及び負圧の空気で共用される共用通路６１Ｃ（破線参照。）とを有する。正圧通路６１Ａの一端は、ハウジング２のＺ軸方向の上端面２０１に設けられた正圧用コネクタ６２Ａに接続され、正圧通路６１Ａの他端は正圧用の電磁弁（以下、正圧電磁弁６３Ａという。）に接続されている。正圧電磁弁６３Ａは、後述するコントローラ７によって開閉される。なお、正圧通路６１Ａの一端側の部分はチューブ６１０によって構成され、他端側の部分はブロック６００に開けられた穴により構成されている。正圧用コネクタ６２Ａは、ハウジング２のＺ軸方向の上端面２０１を貫通しており、正圧用コネクタ６２Ａにはエアを吐出するポンプ等に繋がるチューブが外部から接続される。 The air control mechanism 60 includes a positive pressure passage 61A (see one-dot chain line) through which positive pressure air flows, a negative pressure passage 61B (see two-dot chain line) through which negative pressure air flows, positive pressure air and And a common passage 61C (see the broken line) shared by negative pressure air. One end of the positive pressure passage 61A is connected to a positive pressure connector 62A provided on the upper end surface 201 of the housing 2 in the Z-axis direction, and the other end of the positive pressure passage 61A is a positive pressure solenoid valve (hereinafter, positive pressure solenoid valve). 63A). The positive pressure solenoid valve 63A is opened and closed by the controller 7 described later. The part of the positive pressure passage 61A on one end side is formed by the tube 610, and the part on the other end side is formed by a hole formed in the block 600. The positive pressure connector 62A penetrates through the upper end surface 201 of the housing 2 in the Z-axis direction, and a tube connected to a pump or the like for discharging air is externally connected to the positive pressure connector 62A.

負圧通路６１Ｂの一端は、ハウジング２のＺ軸方向の上端面２０１に設けられた負圧用コネクタ６２Ｂに接続され、負圧通路６１Ｂの他端は負圧用の電磁弁（以下、負圧電磁弁６３Ｂという。）に接続されている。負圧電磁弁６３Ｂは、後述するコントローラ７によって開閉される。なお、負圧通路６１Ｂの一端側の部分はチューブ６２０によって構成され、他端側の部分はブロック６００に開けられた穴により構成されている。負圧用コネクタ６２Ｂは、ハウジング２のＺ軸方向の上端面２０１を貫通しており、負圧用コネクタ６２Ｂにはエアを吸引するポンプ等に繋がるチューブが外部から接続される。 One end of the negative pressure passage 61B is connected to a negative pressure connector 62B provided on the upper end surface 201 of the housing 2 in the Z-axis direction, and the other end of the negative pressure passage 61B is a negative pressure solenoid valve (hereinafter, negative pressure solenoid valve). 63B)). The negative pressure solenoid valve 63B is opened and closed by the controller 7 described later. The portion of the negative pressure passage 61B on one end side is formed by the tube 620, and the portion on the other end side is formed by a hole formed in the block 600. The negative pressure connector 62B penetrates through the upper end surface 201 of the housing 2 in the Z-axis direction, and a tube connected to a pump or the like for sucking air is externally connected to the negative pressure connector 62B.

共用通路６１Ｃはブロック６００に開けられた穴により構成されている。共用通路６１Ｃの一端は、２つに分岐して正圧電磁弁６３Ａ及び負圧電磁弁６３Ｂに接続されており、共用通路６１Ｃの他端は、ハウジング２に形成されている貫通孔であるエア流通路２０２Ａに接続されている。エア流通路２０２Ａは、シャフトハウジング５０に通じている。負圧電磁弁６３Ｂを開き且つ正圧電磁弁６３Ａを閉じることにより、負圧通路６１Ｂと共用通路６１Ｃとが連通されるため、共用通路６１Ｃ内に負圧が発生する。そうすると、エア流通路２０２Ａを介してシャフトハウジング５０内から空気が吸引される。一方、正圧電磁弁６３Ａを開き且つ負圧電磁弁６３Ｂを閉じることにより、正圧通路６１Ａと共用通路
６１Ｃとが連通されるため、共用通路６１Ｃ内に正圧が発生する。そうすると、エア流通路２０２Ａを介してシャフトハウジング５０内に空気が供給される。共用通路６１Ｃには、共用通路６１Ｃ内の空気の圧力を検出する圧力センサ６４及び共用通路６１Ｃ内の空気の流量を検出する流量センサ６５が設けられている。 The common passage 61C is formed by a hole formed in the block 600. One end of the common passage 61C is branched into two and is connected to the positive pressure solenoid valve 63A and the negative pressure solenoid valve 63B, and the other end of the common passage 61C is an air through hole formed in the housing 2. It is connected to the flow passage 202A. The air flow passage 202A communicates with the shaft housing 50. By opening the negative pressure solenoid valve 63B and closing the positive pressure solenoid valve 63A, the negative pressure passage 61B and the common passage 61C communicate with each other, so that negative pressure is generated in the common passage 61C. Then, air is sucked from the inside of the shaft housing 50 through the air flow passage 202A. On the other hand, by opening the positive pressure solenoid valve 63A and closing the negative pressure solenoid valve 63B, the positive pressure passage 61A communicates with the common passage 61C, so that positive pressure is generated in the common passage 61C. Then, air is supplied into the shaft housing 50 through the air flow passage 202A. The common passage 61C is provided with a pressure sensor 64 that detects the pressure of air in the common passage 61C and a flow rate sensor 65 that detects the flow rate of air in the common passage 61C.

なお、図２に示したアクチュエータ１では、正圧通路６１Ａ及び負圧通路６１Ｂの一部がチューブで構成され、他部がブロック６００に開けられた穴により構成されているが、これに限らず、全ての通路をチューブで構成することもできるし、全ての通路をブロック６００に開けられた穴により構成することもできる。共用通路６１Ｃについても同様で、全てチューブで構成することもできるし、チューブを併用して構成することもできる。なお、チューブ６１０及びチューブ６２０の材料は、樹脂等の柔軟性を有する材料であってもよく、金属等の柔軟性を有さない材料であってもよい。また、正圧通路６１Ａを用いてシャフトハウジング５０に正圧を供給する代わりに、大気圧を供給してもよい。 In the actuator 1 shown in FIG. 2, a part of the positive pressure passage 61A and the negative pressure passage 61B is formed of a tube, and the other portion is formed of a hole formed in the block 600, but the present invention is not limited to this. , All the passages can be formed by tubes, or all the passages can be formed by holes formed in the block 600. The same applies to the common passage 61C, and it is possible to use all tubes or to use tubes together. The material of the tubes 610 and 620 may be a flexible material such as a resin or a non-flexible material such as a metal. Further, instead of supplying positive pressure to the shaft housing 50 using the positive pressure passage 61A, atmospheric pressure may be supplied.

また、ハウジング２のＺ軸方向の上端面２０１には、回転モータ２０を冷却するための空気の入口となるコネクタ（以下、入口コネクタ９１Ａという。）およびハウジング２からの空気の出口となるコネクタ（以下、出口コネクタ９１Ｂという。）が設けられている。入口コネクタ９１Ａ及び出口コネクタ９１Ｂは、夫々空気が流通可能なようにハウジング２の上端面２０１を貫通している。入口コネクタ９１Ａにはエアを吐出するポンプ等に繋がるチューブがハウジング２の外部から接続され、出口コネクタ９１Ｂにはハウジング２から流出するエアを排出するチューブがハウジング２の外部から接続される。ハウジング２の内部には、回転モータ２０を冷却するための空気が流通する金属製のパイプ（以下、冷却パイプ９２という。）が設けられており、この冷却パイプ９２の一端は、入口コネクタ９１Ａに接続されている。冷却パイプ９２は、入口コネクタ９１ＡからＺ軸方向にハウジング２の下端面２０２付近まで延び、該下端面２０２付近において湾曲して他端側が回転モータ２０に向くように形成されている。このように、Ｚ軸方向の下側からハウジング２内に空気を供給することにより、効率的な冷却が可能となる。また、冷却パイプ９２は、直動モータ３０のコイル３１Ａから熱を奪うように、該固定子３１の内部を貫通している。固定子３１に設けられているコイル３１Ａからより多くの熱を奪うように、冷却パイプ９２の周りにコイル３１Ａが配置されている。 Further, on the upper end surface 201 of the housing 2 in the Z-axis direction, a connector that serves as an air inlet for cooling the rotary motor 20 (hereinafter referred to as an inlet connector 91A) and a connector that serves as an air outlet from the housing 2 ( Hereinafter, the outlet connector 91B) is provided. The inlet connector 91A and the outlet connector 91B respectively penetrate the upper end surface 201 of the housing 2 so that air can flow therethrough. A tube connected to a pump or the like for discharging air is connected to the inlet connector 91A from the outside of the housing 2, and a tube for discharging the air flowing out of the housing 2 is connected to the outlet connector 91B from the outside of the housing 2. Inside the housing 2, a metal pipe (hereinafter referred to as a cooling pipe 92) through which air for cooling the rotary motor 20 flows is provided, and one end of the cooling pipe 92 is connected to the inlet connector 91A. It is connected. The cooling pipe 92 extends from the inlet connector 91A in the Z-axis direction to the vicinity of the lower end surface 202 of the housing 2, is curved near the lower end surface 202, and is formed so that the other end side faces the rotary motor 20. In this way, by supplying air into the housing 2 from the lower side in the Z-axis direction, efficient cooling becomes possible. Further, the cooling pipe 92 penetrates the inside of the stator 31 so as to remove heat from the coil 31A of the linear motor 30. The coil 31A is arranged around the cooling pipe 92 so as to remove more heat from the coil 31A provided on the stator 31.

ハウジング２のＺ軸方向の上端面２０１には、電力を供給する電線や信号線を含んだコネクタ４１が接続されている。また、ハウジング２には、コントローラ７が設けられている。コネクタ４１からハウジング２内に引き込まれる電線や信号線は、コントローラ７に接続されている。コントローラ７には、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＥＰＲＯＭ（Erasable Programmable ROM）が備わり、これらはバスにより相互に接続される。ＥＰＲＯＭには、各種プログラム、各種テーブル等が格納される。ＥＰＲＯＭに格納されたプログラムをＣＰＵがＲＡＭの作業領域にロードして実行し、このプログラムの実行を通じて、回転モータ２０、直動モータ３０、正圧電磁弁６３Ａ、負圧電磁弁６３Ｂ等が制御される。これにより、所定の目的に合致した機能をＣＰＵが実現する。また、圧力センサ６４、流量センサ６５、ひずみゲージ３７、ロータリエンコーダ２４、リニアエンコーダ３８の出力信号がコントローラ７に入力される。 A connector 41 including an electric wire for supplying electric power and a signal line is connected to an upper end surface 201 of the housing 2 in the Z-axis direction. Further, the housing 2 is provided with a controller 7. The electric wires and signal lines drawn from the connector 41 into the housing 2 are connected to the controller 7. The controller 7 includes a CPU (Central Processing Unit), a RAM (Random Access Memory), a ROM (Read Only Memory), and an EPROM (Erasable Programmable ROM), which are interconnected by a bus. Various programs and various tables are stored in the EPROM. The CPU loads the program stored in the EPROM into the work area of the RAM and executes it. Through the execution of this program, the rotary motor 20, the direct drive motor 30, the positive pressure solenoid valve 63A, the negative pressure solenoid valve 63B, etc. are controlled. It As a result, the CPU realizes the function that matches the predetermined purpose. Further, the output signals of the pressure sensor 64, the flow rate sensor 65, the strain gauge 37, the rotary encoder 24, and the linear encoder 38 are input to the controller 7.

図３は、シャフトハウジング５０とシャフト１０の先端部１０Ａとの概略構成を示した断面図である。シャフトハウジング５０は、ハウジング本体５１と、２つのリング５２と、フィルタ５３と、フィルタ止め５４とを有する。ハウジング本体５１には、シャフト１０が挿通される貫通孔５１Ａが形成されている。貫通孔５１Ａは、Ｚ軸方向にハウジング本体５１を貫通しており、該貫通孔５１ＡのＺ軸方向の上端は、ハウジング２に形成された貫通孔２Ａに通じている。貫通孔５１Ａの直径はシャフト１０の外径よりも大きい。そ
のため、貫通孔５１Ａの内面とシャフト１０の外面とには隙間が設けられている。貫通孔５１Ａの両端部には、孔の直径が拡大された拡径部５１Ｂが設けられている。２つの拡径部５１Ｂには、夫々リング５２が嵌め込まれている。リング５２は筒状に形成されており、リング５２の内径はシャフト１０の外径よりも若干大きい。そのため、リング５２の内面とシャフト１０の外面との間にも隙間が形成される。したがって、シャフト１０がリング５２の内部をＺ軸方向に移動可能であり、且つ、シャフト１０がリング５２の内部を中心軸１００回りに回転可能である。ただし、拡径部５１Ｂを除く貫通孔５１Ａの内面とシャフト１０の外面との間に形成される隙間よりも、リング５２の内面とシャフト１０の外面との間に形成される隙間の方が小さい。なお、Ｚ軸方向上側のリング５２を第一リング５２Ａといい、Ｚ軸方向下側のリング５２を第二リング５２Ｂとする。第一リング５２Ａと第二リング５２Ｂとを区別しない場合には、単にリング５２という。リング５２の材料には、例えば金属または樹脂を用いることができる。 FIG. 3 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of the shaft housing 50 and the tip portion 10A of the shaft 10. The shaft housing 50 has a housing body 51, two rings 52, a filter 53, and a filter stop 54. The housing body 51 is formed with a through hole 51A through which the shaft 10 is inserted. The through hole 51A penetrates the housing main body 51 in the Z axis direction, and the upper end of the through hole 51A in the Z axis direction communicates with the through hole 2A formed in the housing 2. The diameter of the through hole 51A is larger than the outer diameter of the shaft 10. Therefore, a gap is provided between the inner surface of the through hole 51A and the outer surface of the shaft 10. At both ends of the through hole 51A, enlarged diameter portions 51B having an enlarged diameter are provided. Rings 52 are fitted in the two expanded diameter portions 51B, respectively. The ring 52 is formed in a tubular shape, and the inner diameter of the ring 52 is slightly larger than the outer diameter of the shaft 10. Therefore, a gap is also formed between the inner surface of the ring 52 and the outer surface of the shaft 10. Therefore, the shaft 10 can move inside the ring 52 in the Z-axis direction, and the shaft 10 can rotate inside the ring 52 around the central axis 100. However, the gap formed between the inner surface of the ring 52 and the outer surface of the shaft 10 is smaller than the gap formed between the inner surface of the through hole 51A and the outer surface of the shaft 10 excluding the enlarged diameter portion 51B. . The ring 52 on the Z axis direction upper side is referred to as a first ring 52A, and the ring 52 on the Z axis direction lower side is referred to as a second ring 52B. When the first ring 52A and the second ring 52B are not distinguished, they are simply referred to as the ring 52. The material of the ring 52 can be, for example, metal or resin.

ハウジング本体５１のＺ軸方向の中央部には、Ｘ軸方向の左右両方向に張り出した張出部５１１が形成されている。張出部５１１には、ハウジング２の下端面２０２と平行な面であって、シャフトハウジング５０をハウジング２の下端面２０２へ取り付けるときに、該下端面２０２と接する面である取付面５１１Ａが形成されている。取付面５１１Ａは、中心軸１００と直交する面である。また、ハウジング２にシャフトハウジング５０を取り付けたときに、シャフトハウジング５０の一部であって取付面５１１ＡよりもＺ軸方向の上側の部分５１２は、ハウジング２に形成された凹部２０２Ｂに嵌るように形成されている。 An overhanging portion 511 is formed at the center of the housing body 51 in the Z-axis direction so as to extend in both left and right directions in the X-axis direction. A mounting surface 511A, which is a surface parallel to the lower end surface 202 of the housing 2 and which is in contact with the lower end surface 202 when the shaft housing 50 is mounted on the lower end surface 202 of the housing 2, is formed on the overhang portion 511. Has been done. The mounting surface 511A is a surface orthogonal to the central axis 100. Further, when the shaft housing 50 is attached to the housing 2, a portion 512 of the shaft housing 50 which is above the attachment surface 511A in the Z-axis direction fits into the recess 202B formed in the housing 2. Has been formed.

上記のとおり、貫通孔５１Ａの内面とシャフト１０の外面とには隙間が設けられている。その結果、ハウジング本体５１の内部には、貫通孔５１Ａの内面と、シャフト１０の外面と、第一リング５２Ａの下端面と、第二リング５２Ｂの上端面とによって囲まれた空間である内部空間５００が形成されている。また、シャフトハウジング５０には、ハウジング２の下端面２０２に形成されるエア流通路２０２Ａの開口部と、内部空間５００とを連通して空気の通路となる制御通路５０１が形成されている。制御通路５０１は、Ｘ軸方向に延びる第一通路５０１Ａ、Ｚ軸方向に延びる第二通路５０１Ｂ、第一通路５０１Ａ及び第二通路５０１Ｂが接続される空間であってフィルタ５３が配置される空間であるフィルタ部５０１Ｃを有する。第一通路５０１Ａの一端は内部空間５００に接続され、他端はフィルタ部５０１Ｃに接続されている。第二通路５０１Ｂの一端は、取付面５１１Ａに開口しており、エア流通路２０２Ａの開口部に接続されるように位置が合わされている。 As described above, a gap is provided between the inner surface of the through hole 51A and the outer surface of the shaft 10. As a result, inside the housing body 51, an inner space that is a space surrounded by the inner surface of the through hole 51A, the outer surface of the shaft 10, the lower end surface of the first ring 52A, and the upper end surface of the second ring 52B. 500 is formed. Further, the shaft housing 50 is formed with a control passage 501 which communicates the opening of the air flow passage 202A formed in the lower end surface 202 of the housing 2 with the internal space 500 and serves as an air passage. The control passage 501 is a space in which the first passage 501A extending in the X-axis direction, the second passage 501B extending in the Z-axis direction, the first passage 501A, and the second passage 501B are connected, and the filter 53 is arranged. It has a certain filter unit 501C. One end of the first passage 501A is connected to the internal space 500, and the other end is connected to the filter portion 501C. One end of the second passage 501B opens to the attachment surface 511A and is positioned so as to be connected to the opening of the air flow passage 202A.

また、第二通路５０１Ｂの他端はフィルタ部５０１Ｃに接続される。フィルタ部５０１Ｃには、円筒状に形成されたフィルタ５３が設けられている。フィルタ部５０１Ｃは、第一通路５０１Ａと中心軸が一致するようにＸ軸方向に延びた円柱形状の空間となるように形成されている。フィルタ部５０１Ｃの内径とフィルタ５３の外径とは略等しい。フィルタ５３は、Ｘ軸方向にフィルタ部５０１Ｃへ挿入される。フィルタ部５０１Ｃにフィルタ５３が挿入された後に、フィルタ止め５４によってフィルタ５３の挿入口となったフィルタ部５０１Ｃの端部が閉塞される。第二通路５０１Ｂの他端は、フィルタ５３の外周面側からフィルタ部５０１Ｃに接続されている。また、第一通路５０１Ａの他端はフィルタ５３の中心側と通じている。そのため、第一通路５０１Ａと第二通路５０１Ｂとの間を流通する空気は、フィルタ５３を通過する。したがって、例えば、先端部１０Ａに負圧を発生させたときに、内部空間５００に空気と一緒に異物を吸い込んだとしても、この異物はフィルタ５３によって捕集される。第二通路５０１Ｂの一端には、シール剤を保持するように溝５０１Ｄが形成されている。 The other end of the second passage 501B is connected to the filter portion 501C. The filter portion 501C is provided with a filter 53 formed in a cylindrical shape. The filter portion 501C is formed to have a cylindrical space extending in the X-axis direction so that the central axis of the filter portion 501C coincides with that of the first passage 501A. The inner diameter of the filter portion 501C and the outer diameter of the filter 53 are substantially equal. The filter 53 is inserted into the filter unit 501C in the X-axis direction. After the filter 53 is inserted into the filter portion 501C, the filter stopper 54 closes the end portion of the filter portion 501C that is the insertion port of the filter 53. The other end of the second passage 501B is connected to the filter portion 501C from the outer peripheral surface side of the filter 53. Further, the other end of the first passage 501A communicates with the center side of the filter 53. Therefore, the air flowing between the first passage 501A and the second passage 501B passes through the filter 53. Therefore, for example, even if foreign matter is sucked into the internal space 500 together with air when a negative pressure is generated in the tip portion 10A, this foreign matter is collected by the filter 53. A groove 501D is formed at one end of the second passage 501B so as to hold the sealant.

張出部５１１のＸ軸方向の両端部付近には、該シャフトハウジング５０をハウジング２にボルトを用いて固定するときに、該ボルトを挿通させるボルト孔５１Ｇが２つ形成され
ている。ボルト孔５１Ｇは、Ｚ軸方向に張出部５１１を貫通して取付面５１１Ａに開口している。 Two bolt holes 51G through which the bolt is inserted when the shaft housing 50 is fixed to the housing 2 with a bolt are formed near both ends of the overhang portion 511 in the X-axis direction. The bolt hole 51G penetrates the projecting portion 511 in the Z-axis direction and opens on the mounting surface 511A.

シャフト１０の先端部１０Ａ側には、シャフト１０が中空となるように中空部１１が形成されている。中空部１１の一端は、先端部１０Ａで開口している。また、中空部１１の他端には、内部空間５００と中空部１１とをＸ軸方向に連通する連通孔１２が形成されている。直動モータ３０によってシャフト１０がＺ軸方向に移動したときのストロークの全範囲において、内部空間５００と中空部１１とが連通するように連通孔１２が形成されている。したがって、シャフト１０の先端部１０Ａと、エア制御機構６０とは、中空部１１、連通孔１２、内部空間５００、制御通路５０１、エア流通路２０２Ａを介して連通している。なお、連通孔１２は、Ｘ軸方向に加えてＹ軸方向にも形成されていてもよい。 A hollow portion 11 is formed on the tip 10A side of the shaft 10 so that the shaft 10 is hollow. One end of the hollow portion 11 is open at the tip portion 10A. A communication hole 12 that communicates the internal space 500 with the hollow portion 11 in the X-axis direction is formed at the other end of the hollow portion 11. The communication hole 12 is formed so that the internal space 500 and the hollow portion 11 communicate with each other in the entire stroke range when the shaft 10 is moved in the Z-axis direction by the linear motor 30. Therefore, the tip portion 10A of the shaft 10 and the air control mechanism 60 communicate with each other through the hollow portion 11, the communication hole 12, the internal space 500, the control passage 501, and the air flow passage 202A. The communication hole 12 may be formed in the Y-axis direction in addition to the X-axis direction.

このような構成によれば、直動モータ３０を駆動してシャフト１０をＺ軸方向に移動させたときに、シャフト１０がＺ軸方向のどの位置にあっても、連通孔１２は常に内部空間５００と中空部１１とを連通する。また、回転モータ２０を駆動してシャフト１０を中心軸１００回りに回転させたときに、シャフト１０の回転角度が中心軸１００回りのどの角度であっても、連通孔１２は常に内部空間５００と中空部１１とを連通する。したがって、シャフト１０がどのような状態であっても、中空部１１と内部空間５００との連通状態が維持されるため、中空部１１は常にエア制御機構６０に通じていることになる。そのため、シャフト１０の位置にかかわらず、エア制御機構６０において正圧電磁弁６３Ａを閉じ、負圧電磁弁６３Ｂを開くと、エア流通路２０２Ａ、制御通路５０１、内部空間５００、および連通孔１２を介して、中空部１１内の空気が吸引されることになる。その結果、中空部１１に負圧を発生させることができる。すなわち、シャフト１０の先端部１０Ａに負圧を発生させることができるので、シャフト１０の先端部１０ＡにワークＷを吸い付けることができる。なお、上述したように、リング５２の内面とシャフト１０の外面との間にも隙間が形成されている。しかしながら、この隙間は、内部空間５００を形成する隙間（すなわち、貫通孔５１Ａの内面とシャフト１０の外面との間に形成される隙間）よりも小さい。そのため、エア制御機構６０において正圧電磁弁６３Ａを閉じ、負圧電磁弁６３Ｂを開くことで、内部空間５００内から空気が吸引されても、リング５２の内面とシャフト１０の外面との間の隙間を流通する空気の流量を抑制することができる。これにより、ワークＷをピックアップできるような負圧をシャフト１０の先端部１０Ａに発生させることができる。一方、シャフト１０の位置にかかわらず、エア制御機構６０において正圧電磁弁６３Ａを開き、負圧電磁弁６３Ｂを閉じると、中空部１１に正圧を発生させることができる。すなわち、シャフト１０の先端部１０Ａに正圧を発生させることができるので、シャフト１０の先端部１０ＡからワークＷを速やかに脱離させることができる。 With such a configuration, when the linear motor 30 is driven to move the shaft 10 in the Z-axis direction, the communication hole 12 always has the internal space regardless of the position of the shaft 10 in the Z-axis direction. 500 and the hollow portion 11 are communicated with each other. Further, when the rotation motor 20 is driven to rotate the shaft 10 about the central axis 100, the communication hole 12 is always connected to the internal space 500 regardless of the rotation angle of the shaft 10 about the central axis 100. It communicates with the hollow portion 11. Therefore, regardless of the state of the shaft 10, the communication between the hollow portion 11 and the internal space 500 is maintained, so that the hollow portion 11 is always in communication with the air control mechanism 60. Therefore, regardless of the position of the shaft 10, when the positive pressure solenoid valve 63A is closed and the negative pressure solenoid valve 63B is opened in the air control mechanism 60, the air flow passage 202A, the control passage 501, the internal space 500, and the communication hole 12 are closed. Through this, the air in the hollow portion 11 is sucked. As a result, negative pressure can be generated in the hollow portion 11. That is, since a negative pressure can be generated at the tip portion 10A of the shaft 10, the work W can be sucked to the tip portion 10A of the shaft 10. In addition, as described above, a gap is also formed between the inner surface of the ring 52 and the outer surface of the shaft 10. However, this gap is smaller than the gap forming the internal space 500 (that is, the gap formed between the inner surface of the through hole 51A and the outer surface of the shaft 10). Therefore, by closing the positive pressure solenoid valve 63A and opening the negative pressure solenoid valve 63B in the air control mechanism 60, even if air is sucked from the inside space 500, the air pressure between the inner surface of the ring 52 and the outer surface of the shaft 10 is reduced. The flow rate of air flowing through the gap can be suppressed. As a result, a negative pressure capable of picking up the work W can be generated at the tip portion 10A of the shaft 10. On the other hand, regardless of the position of the shaft 10, when the positive pressure solenoid valve 63A is opened and the negative pressure solenoid valve 63B is closed in the air control mechanism 60, positive pressure can be generated in the hollow portion 11. That is, since positive pressure can be generated at the tip portion 10A of the shaft 10, the work W can be quickly released from the tip portion 10A of the shaft 10.

（ピックアンドプレイス動作）
アクチュエータ１を用いたワークＷのピックアンドプレイスについて説明する。ピックアンドプレイスは、コントローラ７が所定のプログラムを実行することにより行われる。ワークＷのピックアップ時において、シャフト１０がワークＷに接触するまでは、正圧電磁弁６３Ａ及び負圧電磁弁６３Ｂは共に閉じた状態とする。この場合、シャフト１０の先端部１０Ａの圧力は大気圧となる。そして、直動モータ３０によりシャフト１０をＺ軸方向下側に移動させる。シャフト１０がワークＷに接触すると、直動モータ３０を停止させる。直動モータ３０を停止後に負圧電磁弁６３Ｂを開くことにより、シャフト１０の先端部１０Ａに負圧を発生させ、ワークＷをシャフト１０の先端部１０Ａに吸い付ける。 (Pick and place operation)
The pick and place of the work W using the actuator 1 will be described. Pick and place is performed by the controller 7 executing a predetermined program. When the work W is picked up, the positive pressure solenoid valve 63A and the negative pressure solenoid valve 63B are both closed until the shaft 10 contacts the work W. In this case, the pressure of the tip portion 10A of the shaft 10 becomes atmospheric pressure. Then, the linear motor 30 moves the shaft 10 downward in the Z-axis direction. When the shaft 10 contacts the work W, the linear motor 30 is stopped. By opening the negative pressure solenoid valve 63B after stopping the direct drive motor 30, a negative pressure is generated at the tip 10A of the shaft 10 and the work W is sucked to the tip 10A of the shaft 10.

ここで、ワークＷがシャフト１０の先端部１０Ａに吸い付くと、共用通路６１Ｃ内の空気の圧力および流量が変化する。そのため、圧力センサ６４および／または流量センサ６５によって、ワークＷがシャフト１０の先端部１０Ａに吸い付いたことを検知することができる。そして、圧力センサ６４および／または流量センサ６５によって、ワークＷがシ
ャフト１０の先端部１０Ａに吸い付いたことが検知された後、直動モータ３０によりシャフト１０をＺ軸方向上側に移動させる。このときに、必要に応じて、回転モータ２０によりシャフト１０を回転させる。このようにして、ワークＷをピックアップすることができる。なお、回転モータ２０によるシャフト１０の回転は、ワークＷのピックアップの完了後（すなわち、直動モータ３０によるシャフト１０をＺ軸方向上側への移動完了後）に実行してもよい。 Here, when the work W sticks to the tip portion 10A of the shaft 10, the pressure and flow rate of the air in the common passage 61C change. Therefore, the pressure sensor 64 and / or the flow rate sensor 65 can detect that the workpiece W is attached to the tip portion 10A of the shaft 10. Then, after the pressure sensor 64 and / or the flow rate sensor 65 detect that the work W is attached to the tip portion 10A of the shaft 10, the linear motor 30 moves the shaft 10 upward in the Z-axis direction. At this time, the shaft 10 is rotated by the rotary motor 20 as needed. In this way, the work W can be picked up. The rotation of the shaft 10 by the rotary motor 20 may be executed after the pickup of the work W is completed (that is, after the shaft 10 is moved upward by the linear motion motor 30 in the Z-axis direction).

次に、ワークＷのプレイス時には、ワークＷが先端部１０Ａに吸い付いている状態のシャフト１０を直動モータ３０によりＺ軸方向の下側に移動させる。ワークＷが接地すると、直動モータ３０を停止させることで、シャフト１０の移動を停止させる。さらに、負圧電磁弁６３Ｂを閉じ且つ正圧電磁弁６３Ａを開くことにより、シャフト１０の先端部１０Ａに正圧を発生させる。その後、直動モータ３０によりシャフト１０をＺ軸方向の上側に移動させることにより、シャフト１０の先端部１０ＡがワークＷから離れる。 Next, when the work W is placed, the shaft 10 in which the work W is attached to the tip portion 10A is moved downward by the linear motion motor 30 in the Z-axis direction. When the work W contacts the ground, the linear motor 30 is stopped to stop the movement of the shaft 10. Further, by closing the negative pressure solenoid valve 63B and opening the positive pressure solenoid valve 63A, positive pressure is generated at the tip portion 10A of the shaft 10. After that, the shaft 10 is moved upward in the Z-axis direction by the linear motor 30, so that the tip portion 10A of the shaft 10 is separated from the work W.

ここで、ワークＷのピックアップ時において、シャフト１０の先端部１０ＡがワークＷに接触したことをひずみゲージ３７を用いて検出する。以下では、この方法について説明する。なお、ワークＷのプレイス時においてワークＷが接地したことも同様にして検出することができる。シャフト１０の先端部１０ＡがワークＷに接触して先端部１０ＡがワークＷを押すと、シャフト１０とワークＷとの間に荷重が発生する。すなわち、シャフト１０がワークＷに力を加えたときの反作用によって、シャフト１０がワークＷから力を受ける。このシャフト１０がワークＷから受ける力は、連結アーム３６に対してひずみを発生させる方向に作用する。すなわち、このときに連結アーム３６にひずみが生じる。このひずみは、ひずみゲージ３７によって検出される。そして、ひずみゲージ３７が検出するひずみは、シャフト１０がワークＷから受ける力と相関関係にある。このため、ひずみゲージ３７の検出値に基づいて、ワークＷからシャフト１０が受ける力、すなわち、シャフト１０とワークＷとの間に発生した荷重を検出することができる。ひずみゲージの検出値と荷重との関係は予め実験またはシミュレーション等により求めることができる。 Here, when the work W is picked up, it is detected using the strain gauge 37 that the tip portion 10A of the shaft 10 is in contact with the work W. This method will be described below. Note that the grounding of the work W at the time of placing the work W can be similarly detected. When the tip 10A of the shaft 10 contacts the work W and the tip 10A pushes the work W, a load is generated between the shaft 10 and the work W. That is, the shaft 10 receives a force from the work W due to a reaction when the shaft 10 applies a force to the work W. The force that the shaft 10 receives from the work W acts in a direction that causes strain on the connecting arm 36. That is, at this time, the connecting arm 36 is distorted. This strain is detected by the strain gauge 37. The strain detected by the strain gauge 37 has a correlation with the force that the shaft 10 receives from the work W. Therefore, based on the detection value of the strain gauge 37, the force received by the shaft 10 from the work W, that is, the load generated between the shaft 10 and the work W can be detected. The relationship between the detected value of the strain gauge and the load can be obtained in advance by experiments or simulations.

このように、ひずみゲージ３７の検出値に基づいてシャフト１０とワークＷとの間に発生した荷重を検出することができるため、例えば、荷重が発生した時点でシャフト１０の先端部１０ＡがワークＷに接触したと判断してもよいし、誤差等の影響を考慮して、検出された荷重が所定荷重以上の場合に、シャフト１０の先端部１０ＡがワークＷに接触したと判断してもよい。なお、所定荷重は、シャフト１０がワークＷに接触したと判定される閾値である。また、所定荷重をワークＷの破損を抑制しつつワークＷをより確実にピックアップすることが可能な荷重として設定してもよい。また、所定荷重は、ワークＷの種類に応じて変更することもできる。 As described above, the load generated between the shaft 10 and the work W can be detected based on the detection value of the strain gauge 37. Therefore, for example, when the load is generated, the tip portion 10A of the shaft 10 causes the work W to move. May be determined to have come into contact with the workpiece W, or in consideration of an error or the like, it may be determined that the tip end portion 10A of the shaft 10 has come into contact with the work W when the detected load is equal to or larger than a predetermined load. . The predetermined load is a threshold value for determining that the shaft 10 has come into contact with the work W. Further, the predetermined load may be set as a load that can more reliably pick up the work W while suppressing damage to the work W. Further, the predetermined load can be changed according to the type of the work W.

なお、本実施形態においては、負圧通路６１Ｂ、共用通路６１Ｃ、およびエア流通路２０２Ａを含んで、本発明に係る「空気通路」が形成される。また、本実施形態においては、圧力センサ６４および流量センサ６５が、本発明に係る「吸着検知センサ」に相当する。なお、圧力センサ６４および流量センサ６５のいずれによっても、ワークＷがシャフト１０の先端部１０Ａに吸い付いたことを検知することができる。そのため、必ずしも、圧力センサ６４および流量センサ６５の両方を設ける必要はなく、何れか一方のみが設けられた構成を採用することもできる。また、本実施形態においては、遮蔽板８０が、本発明に係る「遮蔽板」に相当する。 In the present embodiment, the “air passage” according to the present invention is formed by including the negative pressure passage 61B, the common passage 61C, and the air flow passage 202A. Further, in the present embodiment, the pressure sensor 64 and the flow rate sensor 65 correspond to the “adsorption detection sensor” according to the present invention. It should be noted that both of the pressure sensor 64 and the flow rate sensor 65 can detect that the work W is attached to the tip portion 10A of the shaft 10. Therefore, it is not always necessary to provide both the pressure sensor 64 and the flow rate sensor 65, and a configuration in which only one of them is provided can be adopted. In addition, in the present embodiment, the shielding plate 80 corresponds to the “shielding plate” according to the present invention.

（本実施形態に係る構成の効果）
上記のとおり、直動モータ３０においては、固定子３１に対する可動子３２の移動に際して磁界が発生する。ここで、本実施形態に係るアクチュエータ１のハウジング２内には、圧力センサ６４および流量センサ６５が設けられている。そして、シャフト１０によっ
てワークＷをピックアップする際には、シャフト１０の先端部１０ＡへのワークＷの吸着を圧力センサ６４および／または流量センサ６５によって検知する。 (Effect of the configuration according to the present embodiment)
As described above, in the linear motor 30, a magnetic field is generated when the mover 32 moves with respect to the stator 31. Here, a pressure sensor 64 and a flow rate sensor 65 are provided in the housing 2 of the actuator 1 according to the present embodiment. When the work W is picked up by the shaft 10, the pressure sensor 64 and / or the flow rate sensor 65 detect the adsorption of the work W on the tip portion 10A of the shaft 10.

ただし、このときに、仮に、直動モータ３０から発生する磁界が圧力センサ６４および／または流量センサ６５に達してしまうと、該磁界がこれらのセンサの検出値に影響を与える可能性がある。そして、その結果として、シャフト１０の先端部１０ＡへのワークＷの吸着検知の精度が低下する虞がある。 However, at this time, if the magnetic field generated from the direct drive motor 30 reaches the pressure sensor 64 and / or the flow rate sensor 65, the magnetic field may affect the detection values of these sensors. Then, as a result, there is a possibility that the accuracy of detecting the suction of the workpiece W onto the tip portion 10A of the shaft 10 may be reduced.

これに対し、本実施形態に係るアクチュエータ１においては、ハウジング２内に、直動モータ３０から発生する磁界を遮蔽する遮蔽板８０が設けられている。この遮蔽板８０は、直動モータ３０の可動子と直動テーブル３３とを連結する連結アーム３５に接続されており、ハウジング２内において、直動モータ３０とシャフト１０との間に位置している。また、ハウジング２内において、圧力センサ６４および流量センサ６５は、シャフト１０を挟んで直動モータ３０とは反対側に配置されている。したがって、ハウジング２内において、遮蔽板８０は、直動モータ３０と、圧力センサ６４および流量センサ６５との間に配置されていることになる。 On the other hand, in the actuator 1 according to the present embodiment, the housing 2 is provided with the shielding plate 80 that shields the magnetic field generated from the linear motion motor 30. The shield plate 80 is connected to a connecting arm 35 that connects the mover of the linear motion motor 30 and the linear motion table 33, and is located in the housing 2 between the linear motion motor 30 and the shaft 10. There is. Further, in the housing 2, the pressure sensor 64 and the flow rate sensor 65 are arranged on the opposite side of the linear motion motor 30 with the shaft 10 interposed therebetween. Therefore, in the housing 2, the shielding plate 80 is arranged between the linear motor 30 and the pressure sensor 64 and the flow rate sensor 65.

そのため、本実施形態に係るアクチュエータ１においては、直動モータ３０から発生する磁界が圧力センサ６４および流量センサ６５に達することが遮蔽板８０によって抑制される。これにより、直動モータ３０から発生する磁界が圧力センサ６４および／または流量センサ６５に影響を与えることを抑制することができる。したがって、圧力センサ６４および／または流量センサ６５による、シャフト１０の先端部１０ＡへのワークＷの吸着検知の精度が低下することを抑制することが可能となる。 Therefore, in the actuator 1 according to the present embodiment, the shield plate 80 suppresses the magnetic field generated from the linear motion motor 30 from reaching the pressure sensor 64 and the flow rate sensor 65. As a result, it is possible to suppress the influence of the magnetic field generated from the direct drive motor 30 on the pressure sensor 64 and / or the flow rate sensor 65. Therefore, it is possible to prevent the accuracy of the suction detection of the workpiece W on the tip portion 10A of the shaft 10 by the pressure sensor 64 and / or the flow rate sensor 65 from decreasing.

また、直動モータ３０から発生する磁界が遮蔽板８０によって遮蔽されるために、直動モータ３０と、圧力センサ６４および流量センサ６５との間の距離を小さくしても、これらのセンサが磁界の影響を受けることを抑制することができる。そのため、アクチュエータ１をより小型化することが可能となる。 Further, since the magnetic field generated from the direct drive motor 30 is shielded by the shield plate 80, even if the distance between the direct drive motor 30 and the pressure sensor 64 and the flow rate sensor 65 is reduced, these sensors generate magnetic fields. Can be suppressed from being affected. Therefore, the actuator 1 can be further downsized.

さらに、本実施形態では、遮蔽板８０が、連結アーム３５に接続されており、直動モータ３０とひずみゲージ３７との間に位置している。したがって、遮蔽板８０によって、直動モータ３０から発生する磁界がひずみゲージ３７に達することも抑制することができる。そのため、直動モータ３０から発生する磁界がひずみゲージ３７に影響を与えることも抑制することができる。これにより、ひずみゲージ３７の検出値に基づく、シャフト１０とワークＷとの間に発生した荷重の検出精度の低下も抑制することができる。 Further, in the present embodiment, the shielding plate 80 is connected to the connecting arm 35 and is located between the linear motion motor 30 and the strain gauge 37. Therefore, the shield plate 80 can also prevent the magnetic field generated from the linear motion motor 30 from reaching the strain gauge 37. Therefore, it is possible to suppress the influence of the magnetic field generated from the direct drive motor 30 on the strain gauge 37. As a result, it is possible to suppress a decrease in the detection accuracy of the load generated between the shaft 10 and the work W based on the detection value of the strain gauge 37.

（その他の効果）
また、本実施形態に係るアクチュエータ１を複数積層した状態で設置する場合がある。
図４は、４つのアクチュエータ１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄをＹ軸方向に積層した状態を示す図である。ここで、上記のように、アクチュエータ１では、シャフト１０が、ハウジング２におけるＸ軸方向の中央に配置されている。そのため、図４に示すように本実施形態に係るアクチュエータ１をＹ軸方向に複数積層した状態で設置する場合、隣り合うアクチュエータ１の表裏が互い違いとなるように設置することができる。つまり、隣り合うアクチュエータ１の表裏が互い違いとなるように複数のアクチュエータ１を積層しても、各アクチュエータ１におけるＸ軸方向におけるシャフト１０の位置は、ハウジング２の中央であって、同一の位置となる。 (Other effects)
In addition, the actuator 1 according to the present embodiment may be installed in a state of being laminated.
FIG. 4 is a diagram showing a state in which four actuators 1a, 1b, 1c, and 1d are stacked in the Y-axis direction. Here, as described above, in the actuator 1, the shaft 10 is arranged in the center of the housing 2 in the X-axis direction. Therefore, when a plurality of actuators 1 according to the present embodiment are installed in a stacked state in the Y-axis direction as shown in FIG. 4, it is possible to install the actuators 1 adjacent to each other so that the front and back surfaces of the actuators 1 are staggered. In other words, even if a plurality of actuators 1 are stacked such that the front and back of adjacent actuators 1 are staggered, the position of the shaft 10 in each actuator 1 in the X-axis direction is the same position at the center of the housing 2. Become.

図５は、図４において隣り合って設置されている二つのアクチュエータ１ａ、１ｂの表裏を互い違いにして積層させたときの、該二つのアクチュエータ１ａ、１ｂにおける直動モータ３０ａ、３０ｂの相対位置、および、該二つのアクチュエータ１ａ、１ｂにおける
遮蔽板８０ａ、８０ｂの相対位置を示す図である。図５に示すように、二つのアクチュエータ１ａ、１ｂの表裏を互い違いにして積層させた場合であっても、それぞれのシャフト１０ａ、１０ｂおよび回転モータ２０ａ、２０ｂのＸ軸方向における位置は重なり合っている。そして、このように二つのアクチュエータ１ａ、１ｂの表裏を互い違いにして積層させた場合、それぞれのシャフト１０ａ、１０ｂを中心として、それぞれの直動モータ３０ａ、３０ｂのＹ軸方向の位置が互い違いとなる。つまり、アクチュエータ１ａでは、図５において、シャフト１０ａに対して、向かって左側に直動モータ３０ａが位置するのに対し、アクチュエータ１ｂでは、図５において、シャフト１０ｂに対して、向かって右側に直動モータ３０ａが位置することになる。 FIG. 5 shows the relative positions of the linear motion motors 30a and 30b in the two actuators 1a and 1b when the two actuators 1a and 1b arranged adjacent to each other in FIG. It is a figure which shows the relative position of the shielding plates 80a and 80b in these two actuators 1a and 1b. As shown in FIG. 5, even when the front and back sides of the two actuators 1a and 1b are stacked alternately, the positions of the shafts 10a and 10b and the rotary motors 20a and 20b in the X-axis direction are overlapped. . When the front and back surfaces of the two actuators 1a and 1b are alternately stacked in this way, the positions of the respective linear motion motors 30a and 30b in the Y-axis direction are staggered about the respective shafts 10a and 10b. . That is, in the actuator 1a, the linear motor 30a is located on the left side of the shaft 10a in FIG. 5, whereas the actuator 1b is located on the right side of the shaft 10b in FIG. The dynamic motor 30a is positioned.

このとき、隣り合う二つのアクチュエータにおいて、仮に、一方の直動モータから発生する磁界が他方の直動モータに達してしまうと、他方の直動モータの挙動に対して影響を与えてしまう虞がある。しかしながら、本実施形態に係るアクチュエータ１によれば、図５に示すように、複数のアクチュエータ１を、それぞれの直動モータ３０の位置が互い違いとなるように積層した場合、隣り合う二つのアクチュエータ１における互いの直動モータ３０ａ、３０ｂの間に、それぞれの遮蔽板８０ａ、８０ｂが位置することになる。そのため、一方の直動モータから発生する磁界が他方の直動モータに達してしまうことが、これらの遮蔽板によって抑制される。そのため、隣り合う二つのアクチュエータ１において、一方の直動モータから発生する磁界が他方の直動モータの挙動に対して影響を与えることを抑制することができる。 At this time, in two adjacent actuators, if the magnetic field generated from one linear motion motor reaches the other linear motion motor, the behavior of the other linear motion motor may be affected. is there. However, according to the actuator 1 according to the present embodiment, as shown in FIG. 5, when a plurality of actuators 1 are stacked so that the positions of the linear motion motors 30 are staggered, two adjacent actuators 1 The respective shielding plates 80a and 80b are located between the linear motion motors 30a and 30b in FIG. Therefore, the shield plates prevent the magnetic field generated from one linear motion motor from reaching the other linear motion motor. Therefore, in the two adjacent actuators 1, it is possible to prevent the magnetic field generated from one linear motion motor from affecting the behavior of the other linear motion motor.

（変形例１）
上述の実施形態においては、図２に示すように、アクチュエータ１のハウジング２内において、直動モータ３０の可動子３２と直動テーブル３３とを連通する二つの連結アーム３５に遮蔽板８０が接続されている構成とした。ただし、アクチュエータのハウジング内における遮蔽板の設置位置はこれに限定されるものではない。 (Modification 1)
In the above-described embodiment, as shown in FIG. 2, in the housing 2 of the actuator 1, the shield plate 80 is connected to the two connecting arms 35 that connect the mover 32 of the linear motion motor 30 and the linear motion table 33. It has been configured. However, the installation position of the shielding plate in the housing of the actuator is not limited to this.

図６は、本変形例に係るアクチュエータのハウジング内における遮蔽板の設置位置について説明するための図である。図６に示すように、本変形例では、ハウジング２内において、シャフト１０および回転モータ２０と、圧力センサ６４および流量センサ６５との間に、遮蔽板８１が設けられている。この遮蔽板８１は、シャフト１０の中心軸と平行に延びている。 FIG. 6 is a diagram for explaining the installation position of the shield plate in the housing of the actuator according to this modification. As shown in FIG. 6, in the present modification, a shielding plate 81 is provided in the housing 2 between the shaft 10 and the rotary motor 20, and the pressure sensor 64 and the flow rate sensor 65. The shield plate 81 extends parallel to the central axis of the shaft 10.

遮蔽板８１をこのような位置に配置した場合であっても、該遮蔽板８１は、ハウジング２内において、直動モータ３０と、圧力センサ６４および流量センサ６５との間に位置することになる。そのため、本変形例に係る構成においても、直動モータ３０から発生する磁界が圧力センサ６４および流量センサ６５に達することを遮蔽板８１によって抑制することができる。したがって、直動モータ３０から発生する磁界が圧力センサ６４および／または流量センサ６５に影響を与えることを抑制することができる。 Even when the shield plate 81 is arranged in such a position, the shield plate 81 is located in the housing 2 between the linear motor 30 and the pressure sensor 64 and the flow rate sensor 65. . Therefore, also in the configuration according to this modification, the shield plate 81 can prevent the magnetic field generated from the linear motion motor 30 from reaching the pressure sensor 64 and the flow rate sensor 65. Therefore, it is possible to suppress the influence of the magnetic field generated from the direct drive motor 30 on the pressure sensor 64 and / or the flow rate sensor 65.

（変形例２）
図７は、本変形例に係るアクチュエータのハウジング内における遮蔽板の設置位置について説明するための図である。本変形例においても、図２に示した構成と同様、アクチュエータ１のハウジング２内において、直動モータ３０の可動子３２と直動テーブル３３とを連通する二つの連結アーム３５に遮蔽板８０が接続されている。そして、本変形例では、これに加えて、ハウジング２内において、遮蔽板８０との間に直動モータ３０を挟み込むように遮蔽板８２が設けられている。この遮蔽板８２は、ハウジング２に固定されており、直動モータ３０の固定子３１と平行に延びている。そして、この遮蔽板８２も、遮蔽板８０と同様に、直動モータ３０から発生する磁界を遮蔽する機能を有する。 (Modification 2)
FIG. 7 is a diagram for explaining the installation position of the shielding plate in the housing of the actuator according to this modification. In this modified example as well, similar to the configuration shown in FIG. 2, in the housing 2 of the actuator 1, the shield plate 80 is provided on the two connecting arms 35 that connect the mover 32 of the direct acting motor 30 and the direct acting table 33. It is connected. In addition, in the present modification, in addition to this, a shielding plate 82 is provided in the housing 2 so as to sandwich the linear motor 30 with the shielding plate 80. The shield plate 82 is fixed to the housing 2 and extends parallel to the stator 31 of the linear motion motor 30. The shielding plate 82 also has a function of shielding the magnetic field generated from the linear motion motor 30, similarly to the shielding plate 80.

このように直動モータ３０を二つの遮蔽板８０、８２で挟み込むことで、これらの遮蔽板をヨークとして機能させることが可能となる。そのため、直動モータ３０において、固定子３１と可動子３２との間で発生する磁力をより有効に活用することが可能となる。したがって、本変形例に係る構成によれば、二つの遮蔽板８０、８２によって、直動モータ３０から発生する磁界が圧力センサ６４および流量センサ６５に影響を与えることを抑制することができるとともに、直動モータ３０の性能を向上させることができる。 By sandwiching the direct drive motor 30 between the two shield plates 80 and 82 in this manner, these shield plates can be made to function as a yoke. Therefore, in the linear drive motor 30, it is possible to more effectively utilize the magnetic force generated between the stator 31 and the mover 32. Therefore, according to the configuration of the present modification, it is possible to suppress the influence of the magnetic field generated from the linear motion motor 30 on the pressure sensor 64 and the flow rate sensor 65 by the two shield plates 80 and 82, and The performance of the linear motor 30 can be improved.

１・・・アクチュエータ、２・・・ハウジング、１０・・・シャフト、１０Ａ・・・先端部、１１・・・中空部、２０・・・回転モータ、２２・・・固定子、２３・・・回転子、３０・・・直動モータ、３１・・・固定子、３２・・・可動子、３６・・・連結アーム、３７・・・ひずみゲージ、５０・・・シャフトハウジング、６０・・・エア制御機構、８０，８１，８２・・・遮蔽板、５００・・・内部空間、５０１・・・制御通路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Actuator, 2 ... Housing, 10 ... Shaft, 10A ... Tip part, 11 ... Hollow part, 20 ... Rotation motor, 22 ... Stator, 23 ... Rotor, 30 ... Linear motor, 31 ... Stator, 32 ... Mover, 36 ... Connection arm, 37 ... Strain gauge, 50 ... Shaft housing, 60 ... Air control mechanism, 80, 81, 82 ... Shielding plate, 500 ... Internal space, 501 ... Control passage

Claims

A shaft having a hollow portion formed by making the inside hollow at least on the tip end side is housed in the housing with the tip end protruding, and a negative pressure is applied to the tip end portion of the shaft. An actuator for attracting a work to the tip by generating the work and picking up the work,
A linear motor that moves the shaft in its axial direction,
An air passage that communicates with the hollow portion of the shaft and serves as a passage for air when sucking air from the hollow portion;
An adsorption detection sensor provided in the air passage for detecting that a work piece is adsorbed to the tip of the shaft,
In the housing, a shield plate that is provided between the direct drive motor and the suction detection sensor and shields a magnetic field generated from the direct drive motor,
An actuator comprising.

The linear motor has a stator fixed to the housing, and a mover connected to the shaft via a connecting member, and the mover is attached to the shaft with respect to the shaft. To move the shaft in the axial direction by moving the shaft in the axial direction of
The shield plate is connected to the connecting member, and extends parallel to the stator of the linear motor.
The actuator according to claim 1.

The shielding plate as a first shielding plate,
A magnetic field generated in the housing so that the linear motor is sandwiched between the first shield plate and the housing, and extends parallel to the stator of the linear motor. The actuator according to claim 2, further comprising a second shielding plate that shields the.