JP2020044801A

JP2020044801A - Liquid injection device and liquid injection head

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Publication number: JP2020044801A
Application number: JP2018177072A
Authority: JP
Inventors: 繁樹鈴木; Shigeki Suzuki; 大脇　寛成; Hironari Owaki; 寛成大脇; 北村　健一; Kenichi Kitamura; 健一北村; 大久保　勝弘; Katsuhiro Okubo; 勝弘大久保; 和也田島; Kazuya Tajima
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2018-09-21
Filing date: 2018-09-21
Publication date: 2020-03-26

Abstract

To provide a liquid injection device suppressing damage of a constitution member of a liquid injection head at the time of sealing of a nozzle formation surface by a cap and improving handling, and the liquid injection head.SOLUTION: A liquid injection device comprises: a nozzle substrate (30) formed with nozzles (40) injecting liquid; a liquid injection head (10) having a case (40) for holding a liquid chamber formation substrate (29) on which 10 liquid chambers (33) storing the liquid supplied to the nozzles are formed, a nozzle substrate and a liquid chamber formation substrate; and a cap (14) being brought into contact with a nozzle formation surface formed with the nozzles of the liquid injection head and sealing a plurality of nozzles corresponding to the 10 liquid chambers. The liquid chamber formation substrate is provided between the case and the nozzle substrate, is formed with a recessed part (33a) opening at a case side and having a bottom part (36) at a nozzle substrate side, and the liquid chambers are defined by the recessed part.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドに関し、特に、複数のノズル列及びこれに対応する複数の共通液室を備えた液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドに関する。 The present invention relates to a liquid ejecting apparatus including a liquid ejecting head such as an ink jet recording head, and a liquid ejecting head, and more particularly, to a liquid ejecting apparatus including a plurality of nozzle arrays and a plurality of common liquid chambers corresponding thereto. And a liquid ejecting head.

液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を液滴として噴射（吐出）する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは色材を含む液体を噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）などの各色材を含む液体を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは電極材料を含む液体を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物を含む液体を噴射する。 The liquid ejecting apparatus includes a liquid ejecting head, and ejects (discharges) various liquids from the liquid ejecting head as droplets. As this liquid ejecting apparatus, for example, there is an image recording apparatus such as an ink jet printer or an ink jet plotter. Recently, however, various types of liquid ejecting apparatuses can be manufactured by utilizing a feature that a very small amount of liquid can be accurately landed at a predetermined position. It is also applied to equipment. For example, a display manufacturing apparatus for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display, an electrode forming apparatus for forming an electrode such as an organic EL (Electro Luminescence) display or an FED (surface emitting display), and a chip for manufacturing a biochip (biochemical element). It is applied to manufacturing equipment. A recording head for an image recording apparatus ejects a liquid containing a coloring material, and a coloring material ejecting head for a display manufacturing apparatus ejects a liquid containing each coloring material such as R (Red), G (Green), and B (Blue). Inject. Further, the electrode material ejecting head for the electrode forming apparatus ejects a liquid containing an electrode material, and the biological organic matter ejecting head for a chip manufacturing apparatus ejects a liquid containing a biological organic substance.

上記の液体噴射ヘッドとしては、ノズルが複数開設された基板（以下、ノズル基板と言う）、複数のノズルに個別に連通する圧力室（若しくは圧力発生室又はキャビティとも呼ばれる）や各圧力室に共通な共通液室（若しくは共通液室又はマニホールドとも呼ばれる）等の流路が形成された基板（以下、流路基板と言う）、圧力室内の液体に圧力振動を生じさせる圧電素子等の圧力発生手段（若しくは駆動素子又はアクチュエーターとも呼ばれる）を備えたものがある。特許文献１には、複数のノズルが列設されてなるノズル列が８列だけノズル基板に形成され、流路基板には各ノズル列に対応して共通液室も８つ設けられた液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置が開示されている。この特許文献１の構成では、ノズル列の数に応じた種類のインク等の液体を記録ヘッドから噴射させることができるので、種々の用途に対応することができる。また、例えば特許文献２に開示されているように、より多くの種類に対応できるようにノズル列が合計１０列設けられた液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置も提案されている。この特許文献２では、例えば、２列のノズル列が形成されたノズル形成面やそれに対応する流路が形成された流路基板等のヘッド構成部材を備えた単位ヘッドと呼ばれる小型のヘッドを５つ設けることで液体噴射ヘッド全体として合計１０列のノズル列を備えた構成となっている。この構成では、特許文献１の構成と比較して、単位ヘッドを複数並べる分、単位ヘッド間で隙間生じたりするため、液体噴射ヘッドが大型し、また、コストも増加する。このため、複数のノズル列を備える構成において液体噴射ヘッドや液体噴射装置の大型化を抑制する観点では、特許文献１のように、単一のノズル基板にノズル列が形成され、これに対応して単一の流路基板に流路等が形成される構成を採用することが好ましい。 The liquid ejecting head includes a substrate having a plurality of nozzles (hereinafter, referred to as a nozzle substrate), a pressure chamber (also referred to as a pressure generating chamber or a cavity) individually communicating with the plurality of nozzles, and a common pressure chamber. (Hereinafter, referred to as a flow path substrate) in which a flow path such as a common liquid chamber (or also referred to as a common liquid chamber or a manifold) is formed, and a pressure generating means such as a piezoelectric element that generates pressure vibration in the liquid in the pressure chamber (Also referred to as a driving element or an actuator). Patent Literature 1 discloses a liquid ejecting apparatus in which eight nozzle rows each including a plurality of nozzles are formed on a nozzle substrate, and eight common liquid chambers are provided on a flow path substrate in correspondence with each nozzle row. A liquid ejecting apparatus including a head is disclosed. In the configuration of Patent Document 1, liquids such as inks of a type corresponding to the number of nozzle rows can be ejected from the recording head, so that the configuration can be applied to various uses. Further, as disclosed in Patent Document 2, for example, a liquid ejecting apparatus including a liquid ejecting head provided with a total of 10 nozzle rows so as to correspond to more types has been proposed. In this Patent Document 2, for example, a small head called a unit head including a head forming member such as a nozzle forming surface on which two nozzle rows are formed and a flow path substrate on which a corresponding flow path is formed is used. By providing one nozzle, the liquid ejecting head as a whole is provided with a total of 10 nozzle rows. In this configuration, as compared with the configuration of Patent Document 1, a gap is formed between the unit heads by the number of unit heads arranged, so that the liquid ejecting head becomes large and the cost increases. For this reason, from the viewpoint of suppressing an increase in the size of the liquid ejecting head and the liquid ejecting apparatus in a configuration including a plurality of nozzle arrays, a nozzle array is formed on a single nozzle substrate as in Patent Document 1, It is preferable to adopt a configuration in which a flow path and the like are formed on a single flow path substrate.

特開２０１６−０１０８６２号公報JP-A-2006-010862 特開２０１１−０２５４８３号公報JP 2011-025483 A

上記のような液体噴射装置では、液体噴射ヘッドのノズルから液体の溶媒が蒸発することを防いだり、ノズルに負圧を与えて当該ノズルから増粘した液体や気泡を強制的に排出する吸引動作（例えば、初期充填動作やメンテナンス動作）を行ったりするため、液体噴射ヘッドのノズルが形成されたノズル形成面を封止（換言すると、キャッピング）するキャップが設けられている。キャップはノズル形成面側が開口したトレイ状の部材であり、キャップの側壁の頂部を液体噴射ヘッドのノズル形成面に当接させることでノズル形成面を封止空部内に密閉する。このようなキャップを、上記特許文献２の構成のように単位ヘッド毎に対応させて複数設ける構成では、その分、キャップの配置スペースを要するため、液体噴射ヘッドが大型化し、また、構造も複雑化してしまい、液体噴射ヘッドを液体噴射装置に搭載した際の取り扱いが困難となる場合があった。 In the liquid ejecting apparatus as described above, a suction operation for preventing a solvent of the liquid from evaporating from a nozzle of the liquid ejecting head or forcing a negative pressure to the nozzle to forcibly discharge the thickened liquid or bubbles from the nozzle. In order to perform, for example, an initial filling operation or a maintenance operation, a cap for sealing (in other words, capping) the nozzle forming surface on which the nozzle of the liquid ejecting head is formed is provided. The cap is a tray-shaped member having an opening on the nozzle forming surface side, and the top of the side wall of the cap is brought into contact with the nozzle forming surface of the liquid ejecting head to seal the nozzle forming surface in the sealing cavity. In a configuration in which a plurality of such caps are provided corresponding to each unit head as in the configuration of Patent Document 2, a space for arranging the caps is required accordingly, so that the liquid ejecting head becomes large and the structure is complicated. In some cases, handling when the liquid ejecting head is mounted on the liquid ejecting apparatus becomes difficult.

本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、液体を噴射するノズルが形成されたノズル基板、前記ノズルに供給する液体を貯留する液室が１０個形成された液室形成基板、及び、前記ノズル基板及び前記液室形成基板を保持するケースを有する液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドの前記ノズルが形成されたノズル形成面に当接して前記１０個の液室に対応する複数の前記ノズルを封止するキャップと、
を備え、
前記液室形成基板は、
前記ケースと前記ノズル基板との間に設けられ、
前記ケース側が開口し、前記ノズル基板側に底部を有する凹部が形成され、
前記凹部により前記液室が画成されたことを特徴とする。 A liquid ejecting head according to the present invention has been proposed to achieve the above object, and includes a nozzle substrate on which a nozzle for ejecting a liquid is formed, and ten liquid chambers for storing a liquid to be supplied to the nozzle. Liquid chamber forming substrate, and a liquid ejecting head having a case for holding the nozzle substrate and the liquid chamber forming substrate,
A cap for sealing the plurality of nozzles corresponding to the ten liquid chambers by contacting a nozzle forming surface of the liquid ejecting head where the nozzles are formed;
With
The liquid chamber forming substrate,
Provided between the case and the nozzle substrate,
The case side is open, a concave portion having a bottom on the nozzle substrate side is formed,
The liquid chamber is defined by the recess.

本発明によれば、液体噴射装置において液体噴射ヘッドの取り扱い性が向上する。 According to the present invention, the handleability of the liquid ejecting head in the liquid ejecting apparatus is improved.

また、上記構成において、前記液室形成基板及び前記ノズル基板は、それぞれシリコン基板から形成された構成を採用することが望ましい。 In the above configuration, it is preferable that the liquid chamber forming substrate and the nozzle substrate each adopt a configuration formed of a silicon substrate.

この構成によれば、ノズルや液室等の流路を精度よく形成することができる。 According to this configuration, it is possible to accurately form a flow path such as a nozzle or a liquid chamber.

また、上記構成において、前記液室形成基板の厚さ方向において、前記底部は、前記液室形成基板の厚さの半分未満である構成を採用することが望ましい。 In the above configuration, it is preferable to adopt a configuration in which the bottom is less than half the thickness of the liquid chamber forming substrate in the thickness direction of the liquid chamber forming substrate.

この構成によれば、液室の必要な容積を確保することができる。 According to this configuration, a necessary volume of the liquid chamber can be secured.

さらに、上記構成において、前記キャップは、吸液材と、当該吸液材を前記キャップ内に保持する保持部材と、を備え、
前記液室形成基板の厚さ方向からの平面視において、前記保持部材が前記液室と重なる構成を採用することが望ましい。 Furthermore, in the above configuration, the cap includes a liquid absorbing material, and a holding member that holds the liquid absorbing material in the cap,
It is preferable to adopt a configuration in which the holding member overlaps the liquid chamber in a plan view from the thickness direction of the liquid chamber forming substrate.

この構成によれば、キャップ内に吸液材を偏りなく保持することができる。 According to this configuration, the liquid absorbing material can be held in the cap without bias.

また、上記構成において、前記キャップと接続され、当該キャップ内を吸引可能な吸引手段を備える構成を採用することが望ましい。 Further, in the above configuration, it is preferable to adopt a configuration including a suction unit connected to the cap and capable of suctioning the inside of the cap.

この構成によれば、ノズルからキャップ内に液体を吸引・排出することができる。 According to this configuration, the liquid can be sucked and discharged from the nozzle into the cap.

また、上記構成において、前記液室形成基板と前記ノズル基板との間に、接着剤を保持する窪み部が複数形成され、
前記液室形成基板の厚さ方向からの平面視において、前記液室が形成された領域における前記窪み部の形成密度は、前記液室が形成された領域から外れた領域における前記窪み部の形成密度よりも低い構成を採用することが望ましい。 Further, in the above configuration, between the liquid chamber forming substrate and the nozzle substrate, a plurality of recesses for holding an adhesive are formed,
In a plan view from the thickness direction of the liquid chamber forming substrate, the formation density of the depression in the region where the liquid chamber is formed is the formation density of the depression in a region outside the region where the liquid chamber is formed. It is desirable to adopt a configuration lower than the density.

この構成によれば、ノズル基板と液室形成基板の剥離を抑制しつつ、液室に対応する部分の強度を高めることができる。 According to this configuration, it is possible to increase the strength of the portion corresponding to the liquid chamber while suppressing the separation of the nozzle substrate and the liquid chamber forming substrate.

さらに、上記構成において、前記液室形成基板の厚さ方向からの平面視において、前記保持部材は、前記窪み部と重なる構成を採用することが望ましい。 Further, in the above configuration, it is preferable to adopt a configuration in which the holding member overlaps the recess when viewed in a plan view from the thickness direction of the liquid chamber forming substrate.

この構成によれば、キャップ内に吸液材をより偏りなく保持することができる。 According to this configuration, the liquid absorbing material can be held more evenly in the cap.

また、本発明に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルが形成されたノズル基板と、
前記ノズルに供給する液体を貯留する液室が１０個形成された液室形成基板と
前記ノズル基板及び前記液室形成基板を保持するケースと、
を備え、
前記液室形成基板は、
前記ケースと前記ノズル基板との間に設けられ、
前記ケース側が開口し、前記ノズル基板側に底部を有する凹部が形成され、
前記凹部により前記液室が画成されたことを特徴とする。 Further, the liquid ejecting head according to the present invention, a nozzle substrate formed with a nozzle for ejecting liquid,
A liquid chamber forming substrate in which ten liquid chambers for storing liquid to be supplied to the nozzle are formed, a case holding the nozzle substrate and the liquid chamber forming substrate,
With
The liquid chamber forming substrate,
Provided between the case and the nozzle substrate,
The case side is open, a concave portion having a bottom on the nozzle substrate side is formed,
The liquid chamber is defined by the recess.

上記構成において、前記液室形成基板及び前記ノズル基板は、それぞれシリコン基板から形成された構成を採用することが望ましい。 In the above configuration, it is preferable that the liquid chamber forming substrate and the nozzle substrate each adopt a configuration formed from a silicon substrate.

さらに、上記構成において、前記液室形成基板と前記ノズル基板との間に、接着剤を保持する窪み部が複数形成され、
前記液室形成基板の厚さ方向からの平面視において、前記液室が形成された領域における前記窪み部の形成密度は、前記液室が形成された領域から外れた領域における前記窪み部の形成密度よりも低い構成を採用することが望ましい。 Further, in the above configuration, between the liquid chamber forming substrate and the nozzle substrate, a plurality of recesses for holding an adhesive are formed,
In a plan view from the thickness direction of the liquid chamber forming substrate, the formation density of the depression in the region where the liquid chamber is formed is such that the formation of the depression in a region outside the region where the liquid chamber is formed. It is desirable to adopt a configuration lower than the density.

液体噴射装置の一形態の構成を説明する模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a configuration of one embodiment of a liquid ejecting apparatus. 液体噴射ヘッドの一形態の構成を説明する斜視図である。FIG. 3 is a perspective view illustrating a configuration of one embodiment of a liquid jet head. 液体噴射ヘッドの一形態の構成を説明する断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a configuration of one embodiment of a liquid ejecting head. 流路基板の構成を説明する平面図である。FIG. 3 is a plan view illustrating a configuration of a flow path substrate. キャップの一形態の構成を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the composition of one form of a cap. キャッピング状態を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining a capping state.

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）１０を搭載したインクジェット式記録装置（以下、プリンター）１を例に挙げて行う。 Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the embodiments described below, various limitations are provided as preferred specific examples of the present invention. However, the scope of the present invention is not limited thereto unless otherwise specified in the following description. However, the present invention is not limited to this embodiment. In the following description, as an example of the liquid ejecting apparatus of the present invention, an ink jet recording apparatus (hereinafter, printer) 1 equipped with an ink jet recording head (hereinafter, recording head) 10, which is a kind of liquid ejecting head, will be described. Do it.

図１は、プリンター１の一形態の構成を例示した面図である。本実施形態におけるプリンター１は、フレーム２と、このフレーム２内に配設されたプラテン３とを備えており、このプラテン３上に記録用紙、布帛、あるいは、樹脂シート等の媒体が搬送される。また、フレーム２内には、プラテン３と平行にガイドロッド５が設けられており、このガイドロッド５には、記録ヘッド１０を搭載したキャリッジ６が摺動可能に支持されている。即ち、このキャリッジ６は、ガイドロッド５に沿って媒体の搬送方向に交差する主走査方向に往復移動するように構成されている。そして、プリンター１は、プラテン３上の媒体に対してキャリッジ６を主走査方向に相対移動させながら記録ヘッド１０のノズル４０（図３等参照）からインク（本発明における液体の一種）をインク滴として噴射させて、媒体上に当該インク滴を着弾させることにより文字や画像等の着弾パターンを形成（換言すると記録又は印刷）する。以下においては、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向のうち、記録ヘッド１０の移動方向（換言すると、主走査方向）をＸ方向とし、当該主走査方向と直交した媒体の搬送方向（換言すると、副走査方向）をＹ方向とし、ＸＹ平面に直交する方向をＺ方向とする。 FIG. 1 is a plan view illustrating the configuration of one embodiment of the printer 1. The printer 1 according to the present embodiment includes a frame 2 and a platen 3 disposed in the frame 2, and a medium such as a recording paper, a cloth, or a resin sheet is conveyed on the platen 3. . A guide rod 5 is provided in the frame 2 in parallel with the platen 3, and a carriage 6 on which a recording head 10 is mounted is slidably supported by the guide rod 5. That is, the carriage 6 is configured to reciprocate along the guide rod 5 in the main scanning direction crossing the medium transport direction. Then, the printer 1 moves the carriage 6 in the main scanning direction relative to the medium on the platen 3 to eject ink (a kind of liquid in the present invention) from the nozzles 40 (see FIG. 3 and the like) of the recording head 10. To form a landing pattern such as a character or an image (in other words, recording or printing) by landing the ink droplet on the medium. Hereinafter, of the X direction, the Y direction, and the Z direction, which are orthogonal to each other, the moving direction of the recording head 10 (in other words, the main scanning direction) is defined as the X direction, and the medium transport direction (the main scanning direction) is orthogonal to the main scanning direction. In other words, the sub-scanning direction) is the Y direction, and the direction orthogonal to the XY plane is the Z direction.

キャリッジ６には、インクを貯留したインクカートリッジ８が着脱可能に複数装着されている。インクとしては、例えば、水系の染料インクもしくは顔料インクや、これらの水系のインクよりも耐候性が高められた有機溶剤系インクや、紫外線の照射による硬化する光硬化型インク等、周知の種々の組成のものを用いることができる。本実施形態における記録ヘッド１０は、後述するように合計１０列のノズル列４１を備えているため、各ノズル列４１にそれぞれ異なる種類のインクを対応させることができ、より多くの種類のインクを使用することが可能となる。このため、記録ヘッド１０を搭載したプリンター１によれば、より多様な用途に対応でき、取り扱い性が向上する。なお、本実施形態においては、インクカートリッジ８がキャリッジ６に搭載される構成を例示したが、これには限られず、インクを貯留したカートリッジやタンク等の貯留部材がプリンター１の本体側に配置され、供給チューブを介して記録ヘッド１０に供給される構成を採用することも可能である。 A plurality of ink cartridges 8 storing ink are detachably mounted on the carriage 6. Examples of the ink include various known inks such as aqueous dye inks or pigment inks, organic solvent inks having improved weather resistance than these aqueous inks, and photocurable inks that cure by irradiation with ultraviolet light. A composition can be used. Since the recording head 10 according to the present embodiment includes a total of ten nozzle rows 41 as described later, different types of ink can be made to correspond to the respective nozzle rows 41, and more types of ink can be used. It can be used. For this reason, according to the printer 1 equipped with the recording head 10, it is possible to cope with more various uses and the handling is improved. In the present embodiment, the configuration in which the ink cartridge 8 is mounted on the carriage 6 has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and a storage member such as a cartridge or a tank storing ink is disposed on the main body side of the printer 1. It is also possible to adopt a configuration in which the recording head 10 is supplied to the recording head 10 via a supply tube.

フレーム２内におけるプラテン３から外れた領域には、記録ヘッド１０のノズル４０の開口が形成された面であるノズル形成面を払拭するワイピング機構１１が配設されている。このワイピング機構１１は、ワイパー１２を有している。このワイパー１２としては、例えばゴムやエラストマー等の弾性・可撓性を有する部材により構成される。このワイピング機構１１は、ワイピング動作においてワイパー１２の先端部が記録ヘッド１０のノズル形成面に接触可能な位置に当該ワイパー１２を配置する。そして、ワイパー１２の先端部がノズル形成面に接触した状態で両者を相対移動させることにより当該ワイパー１２によってノズル形成面が払拭される。なお、ノズル形成面を払拭する機構としては、例えば、不織布等のシート状のワイパーにより払拭する構成のもの等、周知の種々の構成のものを採用することができる。 A wiping mechanism 11 for wiping a nozzle forming surface, which is a surface on which the opening of the nozzle 40 of the recording head 10 is formed, is provided in a region outside the platen 3 in the frame 2. The wiping mechanism 11 has a wiper 12. The wiper 12 is formed of a member having elasticity and flexibility, such as rubber and elastomer. The wiping mechanism 11 arranges the wiper 12 at a position where the tip of the wiper 12 can contact the nozzle forming surface of the recording head 10 in the wiping operation. The nozzle forming surface is wiped by the wiper 12 by moving the wiper 12 relative to each other while the tip of the wiper 12 is in contact with the nozzle forming surface. As a mechanism for wiping the nozzle formation surface, various well-known structures such as a structure for wiping with a sheet-like wiper such as a nonwoven fabric can be adopted.

フレーム２内におけるキャリッジ６の待機位置であるホームポジションには、上記ワイピング機構１１に隣接してキャッピング機構１３が配設されている。キャッピング機構１３は、記録ヘッド１０のノズル形成面に当接し得るトレイ状のキャップ１４（換言すると、封止部材）を有する。このキャッピング機構１３では、キャップ１４内の空間が封止空部４７（図６参照）として機能し、この封止空部４７内に記録ヘッド１０のノズル４０を臨ませた状態でノズル形成面に密着可能に構成されている。また、このキャップ１４には、図示しない廃液チューブを介してポンプ１５（本発明における吸引手段の一種）が接続されており、このポンプ１５の駆動によって廃液チューブを介してキャップ１４の封止空部内を負圧化することができる。そして、プリンター１にインクカートリッジ８が装着された際に当該インクカートリッジ８内のインクを記録ヘッド１０内の流路に充填する初期充填動作や、記録ヘッド１０のノズル４０や流路の詰まりを解消するためのクリーニング動作においては、ノズル形成面への密着状態で封止空部４７がポンプ１５の駆動により負圧化されてノズル４０から記録ヘッド１０内のインクや気泡が吸引されてキャップ１４の封止空部内に排出される。なお、キャップ１４の詳細については後述する。 A capping mechanism 13 is provided adjacent to the wiping mechanism 11 at a home position, which is a standby position of the carriage 6 in the frame 2. The capping mechanism 13 has a tray-shaped cap 14 (in other words, a sealing member) that can contact the nozzle forming surface of the recording head 10. In the capping mechanism 13, the space inside the cap 14 functions as a sealing space 47 (see FIG. 6), and the nozzle 40 of the recording head 10 faces the nozzle forming surface with the nozzle 40 facing the sealing space 47. It is configured to be able to adhere. Further, a pump 15 (a kind of suction means in the present invention) is connected to the cap 14 via a waste liquid tube (not shown). Can be reduced to a negative pressure. Then, when the ink cartridge 8 is mounted on the printer 1, the initial filling operation of filling the ink in the ink cartridge 8 into the flow path in the recording head 10 and the clogging of the nozzle 40 and the flow path of the recording head 10 are eliminated. In the cleaning operation for cleaning, the sealing space 47 is negatively pressured by the drive of the pump 15 in a state of being in close contact with the nozzle forming surface, and the ink and bubbles in the recording head 10 are sucked from the nozzle 40 and the cap 14 is closed. It is discharged into the sealing cavity. The details of the cap 14 will be described later.

図２は、記録ヘッド１０をノズル形成面側から見た斜視図である。本実施形態における記録ヘッド１０は、ホルダー１８を備えている。このホルダー１８は、キャリッジ６に取り付けるためのフランジ部１９と、フランジ部１９から下方へ突出する直方体状のケース部２０とを備えている。そして、ケース部２０の下面、即ち、記録動作における媒体側の面には、後述する流路ユニット２４が接合されている。また、ケース部２０の内部には、キャリッジ６に装着されたインクカートリッジ８からのインクを流路ユニット２４側に供給する流路や、後述する圧電素子２８を駆動する駆動信号等を扱う回路基板等が設けられている。そして、本実施形態における記録ヘッド１０には、複数のノズル４０がＹ方向に列設されてなるノズル列４１が合計１０列設けられている。即ち、ノズル形成面には、合計１０列のノズル列４１ａ〜４１ｊがＸ方向に並設されている。 FIG. 2 is a perspective view of the recording head 10 as viewed from the nozzle forming surface side. The recording head 10 according to the present embodiment includes a holder 18. The holder 18 includes a flange 19 for attaching to the carriage 6 and a rectangular parallelepiped case 20 protruding downward from the flange 19. A channel unit 24, which will be described later, is joined to the lower surface of the case 20, that is, the surface on the medium side in the recording operation. Further, inside the case portion 20, a flow path for supplying ink from the ink cartridge 8 mounted on the carriage 6 to the flow path unit 24 side, a circuit board for handling a drive signal for driving a piezoelectric element 28 described later, and the like. Etc. are provided. The print head 10 according to the present embodiment is provided with a total of ten nozzle rows 41 in which a plurality of nozzles 40 are arranged in the Y direction. That is, a total of ten nozzle rows 41a to 41j are arranged in the X direction on the nozzle forming surface.

また、記録ヘッド１０の下面、即ち、後述するノズル基板３０には、カバー部材２２が取り付けられている。このカバー部材２２は、例えばステンレス鋼等の金属製の板材より作成されており、ノズル基板３０における各ノズル列４１ａ〜４１ｊが形成された領域（以下、適宜、ノズル形成領域と言う）を開口部２１から露出させた状態で、ノズル基板３０の周縁部を覆っている。そして、ノズル基板３０のノズル形成領域とこれを囲むカバー部材２２とからなる記録ヘッド１０の下面全体が、キャッピング機構１３のキャップ１４によるキャッピングの対象となるノズル形成面となっている。 A cover member 22 is attached to a lower surface of the recording head 10, that is, a nozzle substrate 30 described later. The cover member 22 is made of, for example, a metal plate material such as stainless steel, and has an opening in a region where the nozzle rows 41 a to 41 j are formed on the nozzle substrate 30 (hereinafter, appropriately referred to as a nozzle forming region). In a state where the nozzle substrate 30 is exposed, the peripheral portion of the nozzle substrate 30 is covered. The entire lower surface of the recording head 10 including the nozzle forming region of the nozzle substrate 30 and the cover member 22 surrounding the nozzle forming region is a nozzle forming surface to be capped by the cap 14 of the capping mechanism 13.

図３は、記録ヘッド１０の構成の一例を説明する断面図である。なお、図３においては１つのノズル列４１に対応する構成が示されているが、他のノズル列４１に対応する構成も同様、又は、同図に示す構成とは左右対称の構成となっている。本実施形態における記録ヘッド１０は、ケース部２０と、流路ユニット２４と、振動子ユニット２５と、を備えている。ケース部２０は、高さ方向であるＺ方向に沿って収容空部２７が形成された合成樹脂製のブロック状部材であり、振動子ユニット２５や流路ユニット２４を保持する部材である。このケース部２０の下面には流路ユニット２４が接合されている。また、収容空部２７内には、後述する各圧電素子２８の先端をケース部２０の下面側の開口に臨ませた状態で振動子ユニット２５が収容されている。さらに、ケース部２０において収容空部２７のＸ方向における外側に外れた位置には、インクカートリッジ８側からのインクを流路ユニット２４側へ供給するインク供給路２６がＺ方向に沿って形成されている。 FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an example of the configuration of the recording head 10. Although the configuration corresponding to one nozzle row 41 is shown in FIG. 3, the configuration corresponding to the other nozzle rows 41 is the same, or the configuration shown in FIG. I have. The recording head 10 according to the present embodiment includes a case section 20, a flow path unit 24, and a transducer unit 25. The case portion 20 is a block-shaped member made of a synthetic resin in which an accommodation space 27 is formed along the Z direction that is the height direction, and is a member that holds the vibrator unit 25 and the flow path unit 24. A channel unit 24 is joined to the lower surface of the case 20. Further, the transducer unit 25 is accommodated in the accommodation space 27 in a state where the tip of each piezoelectric element 28 described later faces the opening on the lower surface side of the case 20. Further, an ink supply path 26 for supplying ink from the ink cartridge 8 to the flow path unit 24 is formed along the Z direction at a position outside the storage space 27 in the X direction in the case section 20. ing.

流路ユニット２４は、Ｚ方向における下側（換言すると、記録動作時のプラテン３側）からノズル基板３０と流路基板２９と振動板３１とを順に積層して備えている。ノズル基板３０は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル４０がＹ方向に沿って複数並設されてノズル列４１が形成された板状部材である。本実施形態におけるノズル基板３０には、図２に示されるように、ノズル列４１がＸ方向に合計１０列並設されている。ノズル４０の噴射側（換言すると、記録動作時のプラテン３側）の開口径は、例えば２０μｍとなっている。また、ノズル４０の軸方向（Ｚ方向）における寸法は、例えば４０μｍ以上、８０μｍ以下の範囲に設定されている。本実施形態におけるノズル基板３０は、後述する流路基板２９と同様にシリコン基板によって作製されている。ノズル基板３０の厚さは、ノズル４０の軸方向の寸法に応じて定められている。 The flow channel unit 24 includes a nozzle substrate 30, a flow channel substrate 29, and a vibration plate 31 laminated in this order from the lower side in the Z direction (in other words, from the platen 3 side during the recording operation). The nozzle substrate 30 is a plate-like member in which a plurality of nozzles 40 are arranged in parallel in the Y direction at a pitch corresponding to the dot formation density, and a nozzle row 41 is formed. As shown in FIG. 2, a total of ten nozzle rows 41 are arranged in the X direction in the nozzle substrate 30 in the present embodiment. The opening diameter of the ejection side of the nozzle 40 (in other words, the platen 3 side during the recording operation) is, for example, 20 μm. The dimension of the nozzle 40 in the axial direction (Z direction) is set, for example, in a range from 40 μm to 80 μm. The nozzle substrate 30 in the present embodiment is made of a silicon substrate, similarly to the flow path substrate 29 described later. The thickness of the nozzle substrate 30 is determined according to the axial dimension of the nozzle 40.

本実施形態における流路基板２９（本発明における液室形成基板に対応）は、シリコン基板から作成された板状の部材である。この流路基板２９には、インク供給路２６からのインクが流入する共通液室３３となる凹部３３ａ、インクを噴射させるために必要な圧力を発生させる圧力室３４となる溝部、これらの共通液室３３と圧力室３４を個別に連通させる個別連通路３５となる溝部、及び、圧力室３４とノズル４０とを連通させるノズル連通路３８となる貫通口等が、例えば、異方性エッチングにより形成されている。これにより、流路を構成する各部の微細な形状が高い精度で形成されている。そして、本実施形態における流路基板２９には、上記ノズル基板３０に形成された合計１０列のノズル列４１ａ〜４１ｊに対応させて、１０列分に対応する共通液室３３やこれと連通する圧力室３４等の流路が流路基板２９に形成されている。このように、流路基板２９及びノズル基板３０に関し、シリコン基板に対して異方性エッチングによってノズル４０や共通液室３３等の流路等の形状が形成されていることにより、寸法公差が小さくて済むため、微細な形状を高密度に形成することができる。その結果、流路基板２９の小型化が可能となり、延いては記録ヘッド１０の小型化に寄与する。また、流路基板２９とノズル基板３０とがシリコン基板で作製されていることにより、両者の線膨張率を揃えることができる。これにより、温度変化による流路基板２９及びノズル基板３０の歪みや剥離を抑制することが可能となる。 The flow path substrate 29 in the present embodiment (corresponding to the liquid chamber forming substrate in the present invention) is a plate-like member made of a silicon substrate. In the flow path substrate 29, a concave portion 33a serving as a common liquid chamber 33 into which ink from the ink supply path 26 flows, a groove serving as a pressure chamber 34 for generating a pressure necessary for ejecting ink, and a common liquid A groove serving as an individual communication path 35 for individually communicating the chamber 33 and the pressure chamber 34, a through hole serving as a nozzle communication path 38 for communicating the pressure chamber 34 with the nozzle 40, and the like are formed by, for example, anisotropic etching. Have been. Thereby, the fine shape of each part constituting the flow path is formed with high accuracy. In the flow path substrate 29 in the present embodiment, the common liquid chambers 33 corresponding to the ten nozzle rows 41a to 41j formed in the nozzle substrate 30 and the common liquid chambers 33 corresponding to the ten nozzle rows are communicated with the nozzle rows 41a to 41j. A flow path such as the pressure chamber 34 is formed in the flow path substrate 29. As described above, with respect to the flow path substrate 29 and the nozzle substrate 30, the dimensions of the flow path such as the nozzle 40 and the common liquid chamber 33 are formed by anisotropic etching with respect to the silicon substrate. Therefore, fine shapes can be formed at a high density. As a result, the size of the flow path substrate 29 can be reduced, which contributes to the size reduction of the recording head 10. Further, since the flow path substrate 29 and the nozzle substrate 30 are made of a silicon substrate, the linear expansion coefficients of the two can be made uniform. This makes it possible to suppress distortion and peeling of the flow path substrate 29 and the nozzle substrate 30 due to a temperature change.

圧力室３４は、ノズル列方向であるＹ方向に交差するＸ方向に長尺な流路であり、同一のノズル列４１を構成する複数のノズル４０に対応する数だけＹ方向に複数並設されている。個別連通路３５は、各圧力室３４に対応して複数形成され、当該圧力室３４と共通液室３３とを個別に連通させる流路である。この個別連通路３５の流路断面積は、圧力室３４の流路断面積よりも小さく設定され、当該個別連通路３５を通過するインクに対して流路抵抗を付与する。ノズル連通路３８は、流路基板２９を貫通した状態で各圧力室３４に対応して複数形成されており、圧力室３４における個別連通路３５側とはＸ方向において反対側の端部に連通している。また、ノズル連通路３８は、流路基板２９の下面において、ノズル基板３０に形成されたノズル４０と連通する。 The pressure chambers 34 are long flow paths in the X direction that intersect with the Y direction, which is the nozzle row direction, and are arranged in the Y direction by a number corresponding to the plurality of nozzles 40 that form the same nozzle row 41. ing. A plurality of individual communication passages 35 are formed corresponding to the respective pressure chambers 34 and are flow paths that individually communicate the pressure chambers 34 and the common liquid chamber 33. The flow path cross-sectional area of the individual communication path 35 is set smaller than the flow path cross-sectional area of the pressure chamber 34, and imparts flow path resistance to ink passing through the individual communication path 35. A plurality of nozzle communication passages 38 are formed corresponding to the respective pressure chambers 34 so as to penetrate the flow path substrate 29, and communicate with the end of the pressure chamber 34 on the side opposite to the individual communication passage 35 in the X direction. doing. The nozzle communication passage 38 communicates with a nozzle 40 formed on the nozzle substrate 30 on the lower surface of the flow path substrate 29.

共通液室３３（本発明における液室に相当）は、ノズル列設方向であるＹ方向に沿って延在し、複数の圧力室３４に連通する液室である。換言すると、共通液室３３は、複数のノズル４０に対するインクの供給に共用される液室である。この共通液室３３は、流路基板２９に形成された凹部３３ａの上部開口が、当該流路基板２９の上面、即ち、ケース部２０側の面に接合された振動板３１により塞がれることで画成される。流路基板２９において共通液室３３を区画するための凹部３３ａは、流路基板２９の上面側、即ち、ケース部２０側から下面、即ち、ノズル基板３０側に向けて流路基板２９の厚さ方向（即ち、Ｚ方向）の途中まで形成されている。このため、ノズル基板３０と共通液室３３との間には、底部３６が設けられている。即ち、凹部３３ａは、ケース部２０側が開口し、ノズル基板３０側に底部３６を有する。本実施形態における底部３６の厚さは、流路基板２９の厚さに対して、例えば、３６％以上、５０％未満に設定されている。つまり、底部３６の厚さは、流路基板２９の厚さの半分未満となっている。これにより、共通液室３３に対応する部分におけるノズル基板３０及び流路基板２９の強度を確保しつつ、共通液室３３として必要な容積を確保することができる。 The common liquid chamber 33 (corresponding to the liquid chamber in the present invention) is a liquid chamber that extends along the Y direction, which is the direction in which the nozzles are arranged, and communicates with the plurality of pressure chambers 34. In other words, the common liquid chamber 33 is a liquid chamber shared for supplying ink to the plurality of nozzles 40. In the common liquid chamber 33, the upper opening of the concave portion 33 a formed in the flow path substrate 29 is closed by the diaphragm 31 joined to the upper surface of the flow path substrate 29, that is, the surface on the case section 20 side. Is defined by The concave portion 33a for dividing the common liquid chamber 33 in the flow path substrate 29 has a thickness of the flow path substrate 29 from the upper surface side of the flow path substrate 29, that is, from the case portion 20 side to the lower surface, that is, the nozzle substrate 30 side. It is formed halfway in the vertical direction (that is, the Z direction). Therefore, a bottom 36 is provided between the nozzle substrate 30 and the common liquid chamber 33. That is, the concave portion 33a has an opening on the case portion 20 side and a bottom portion 36 on the nozzle substrate 30 side. In the present embodiment, the thickness of the bottom portion 36 is set to, for example, 36% or more and less than 50% with respect to the thickness of the flow path substrate 29. That is, the thickness of the bottom portion 36 is less than half the thickness of the flow path substrate 29. Thus, the volume required for the common liquid chamber 33 can be ensured while the strength of the nozzle substrate 30 and the flow path substrate 29 in the portion corresponding to the common liquid chamber 33 is ensured.

そして、流路基板２９の上面、即ち、ケース部２０側の面に振動板３１が接合されると共に、流路基板２９の下面にノズル基板３０が接合されることにより、共通液室３３から個別連通路３５、圧力室３４、ノズル連通路３８、及びノズル４０に至るまでの流路が画成される。 The diaphragm 31 is joined to the upper surface of the flow path substrate 29, that is, the surface on the case portion 20 side, and the nozzle substrate 30 is joined to the lower surface of the flow path substrate 29, so that the common liquid chamber 33 is separated from the common liquid chamber 33. A flow path leading to the communication path 35, the pressure chamber 34, the nozzle communication path 38, and the nozzle 40 is defined.

上記振動板３１は、比較的剛性の高い支持板３１ａに、可撓性を有する可撓膜３１ｂを積層した二重構造である。本実施形態では、金属板の一種であるステンレス板により支持板３１ａが作成され、この支持板３１ａの表面に樹脂フィルムが可撓膜３１ｂとして接合されて振動板３１が構成されている。この振動板３１において、圧力室３４の上部開口に対応する位置には、当該圧力室３４の容積を変化させる駆動面としてダイヤフラム部３２が設けられている。また、この振動板３１には、共通液室３３の一部を封止するコンプライアンス部３９が設けられている。 The vibration plate 31 has a double structure in which a flexible film 31b having flexibility is laminated on a support plate 31a having relatively high rigidity. In the present embodiment, the support plate 31a is made of a stainless steel plate, which is a kind of metal plate, and a resin film is joined to the surface of the support plate 31a as a flexible film 31b to form the vibration plate 31. In the diaphragm 31, at a position corresponding to the upper opening of the pressure chamber 34, a diaphragm 32 is provided as a drive surface for changing the volume of the pressure chamber 34. Further, the diaphragm 31 is provided with a compliance section 39 for sealing a part of the common liquid chamber 33.

上記のダイヤフラム部３２は、エッチング加工等によって支持板３１ａを部分的に除去することで作製される。即ち、このダイヤフラム部３２は、圧電素子２８の先端面が接続される部分が、支持板３１ａの他の部分から独立した島状に残された状態でその周囲の支持板３１ａがエッチング処理によって除去されている。このため、島状の部分（以下、島部）の周囲は可撓膜３１ｂによって囲まれている。この島部と周囲の可撓膜３１ｂが、ダイヤフラム部３２として機能する。そして、駆動信号によって圧電素子２８が駆動されることでダイヤフラム部３２における島部がＺ方向に変位し、これにより、圧力室３４の容積が変動する。コンプライアンス部３９は、共通液室３３の開口面に対向する領域の支持板３１ａが、ダイヤフラム部３２と同様にエッチング加工等によって除去されることにより作製され、共通液室３３に貯留されたインクの圧力変動を吸収するダンパーとして機能する。 The above-mentioned diaphragm part 32 is produced by partially removing the support plate 31a by etching or the like. That is, the diaphragm portion 32 is formed by removing the surrounding support plate 31a by etching while the portion to which the tip end surface of the piezoelectric element 28 is connected is left in an island shape independent of other portions of the support plate 31a. Have been. For this reason, the periphery of the island-shaped portion (hereinafter, island portion) is surrounded by the flexible film 31b. The island portion and the surrounding flexible film 31b function as the diaphragm portion 32. When the piezoelectric element 28 is driven by the drive signal, the island portion of the diaphragm portion 32 is displaced in the Z direction, whereby the volume of the pressure chamber 34 changes. The compliance section 39 is formed by removing the support plate 31 a in a region opposed to the opening surface of the common liquid chamber 33 by etching or the like in the same manner as the diaphragm section 32, and forms the ink stored in the common liquid chamber 33. Functions as a damper that absorbs pressure fluctuations.

上記の振動子ユニット２５は、櫛歯状に形成された複数の圧電素子２８からなる振動子群と、この振動子群の基端部分が接合される固定板３７等により構成されている。この振動子群を構成する各圧電素子２８は、例えば、５０μｍ乃至１００μｍ程度の幅に切り分けられている。また、各圧電素子２８は、自由端部が固定板３７の縁よりも外側に位置しており、片持ち梁の状態で固定板３７に接合されている。そして、圧電素子２８の自由端部を素子長手方向に伸縮させると、振動板３１のダイヤフラム部３２が圧力室３４側に押されたり、圧力室３４から離隔する側に引っ張られたりする。これにより、圧力室３４の容積が変動し、圧力室３４内のインク圧力が変化する。このインク圧力を利用してノズル４０からインクをインク滴として噴射させることができる。 The vibrator unit 25 includes a vibrator group including a plurality of piezoelectric elements 28 formed in a comb shape, a fixed plate 37 to which a base end portion of the vibrator group is joined, and the like. Each of the piezoelectric elements 28 constituting the vibrator group is cut into a width of, for example, about 50 μm to 100 μm. Each piezoelectric element 28 has a free end located outside the edge of the fixed plate 37, and is joined to the fixed plate 37 in a cantilever state. When the free end of the piezoelectric element 28 is expanded and contracted in the element longitudinal direction, the diaphragm 32 of the diaphragm 31 is pushed toward the pressure chamber 34 or pulled toward the side separated from the pressure chamber 34. Accordingly, the volume of the pressure chamber 34 changes, and the ink pressure in the pressure chamber 34 changes. By utilizing this ink pressure, ink can be ejected from the nozzle 40 as ink droplets.

図４は、流路基板２９の下面、即ち、ノズル基板３０との接合面の構成を説明する平面図である。上記流路基板２９とノズル基板３０とは接着剤によって互いに接合されている。これらの流路基板２９とノズル基板３０との間、即ち、各基板の接合面には、微小な窪みからなるディンプル４３（本発明における窪み部に相当）が、それぞれ複数形成されている。ディンプル４３は、流路基板２９とノズル基板３０とを接合するための接着剤が導入される窪みである。本実施形態において、ディンプル４３は、流路基板２９のノズル基板３０側の接合面と、ノズル基板３０の流路基板２９側の接合面とのそれぞれに形成されている。そして、流路基板２９の接合面におけるディンプル４３の形成位置と、ノズル基板３０の接合面におけるディンプル４３の形成位置とは対応しており、流路基板２９とノズル基板３０とが接着剤を介在させた状態で接合されると、両者のディンプル４３が互いに連通して接着剤を収容する空間を画成する。なお、ディンプル４３は、流路基板２９の接合面又はノズル基板３０の接合面のうち、少なくとも何れか一方に形成されていればよい。以下においては、流路基板２９におけるディンプル４３に着目して説明する。 FIG. 4 is a plan view illustrating the configuration of the lower surface of the flow path substrate 29, that is, the structure of the bonding surface with the nozzle substrate 30. The flow path substrate 29 and the nozzle substrate 30 are joined to each other by an adhesive. A plurality of dimples 43 (corresponding to depressions in the present invention) each having a minute depression are formed between the flow path substrate 29 and the nozzle substrate 30, that is, on the bonding surface of each substrate. The dimple 43 is a depression into which an adhesive for joining the flow path substrate 29 and the nozzle substrate 30 is introduced. In the present embodiment, the dimples 43 are formed on the joining surface of the flow path substrate 29 on the nozzle substrate 30 side and on the joining surface of the nozzle substrate 30 on the flow path substrate 29 side, respectively. The formation position of the dimple 43 on the joint surface of the flow path substrate 29 and the formation position of the dimple 43 on the joint surface of the nozzle substrate 30 correspond to each other, and the adhesive is interposed between the flow path substrate 29 and the nozzle substrate 30. When the two dimples 43 are joined to each other in a state in which they are joined to each other, the two dimples 43 communicate with each other to define a space for containing the adhesive. The dimple 43 may be formed on at least one of the joining surface of the flow path substrate 29 and the joining surface of the nozzle substrate 30. The following description focuses on the dimples 43 in the flow path substrate 29.

ディンプル４３は、共通液室３３の凹部３３ａと同様に異方性エッチングにより、上記接合面から流路基板２９の厚さ方向（即ち、Ｚ方向）の途中まで形成されており、圧力室３４や共通液室３３等のインク流路から独立した空間である。このディンプル４３の深さ（即ち、Ｚ方向における寸法）は、圧力室３４や共通液室３３の深さと比較して十分に浅くなっている。このように、流路基板２９とノズル基板３０との接合面にディンプル４３が設けられていることにより、当該ディンプル４３に流入する接着剤のアンカー効果により両基板をより強固に接合することができる。また、余剰な接着剤が流路側にはみ出すことが抑制される。本実施形態においては、共通液室３３に対応する部分にもディンプル４３が設けられているので、流路基板２９とノズル基板３０との接合強度を高めることができ、剥離等を抑制することができる。 The dimple 43 is formed from the joint surface to the middle of the flow path substrate 29 in the thickness direction (that is, the Z direction) by anisotropic etching similarly to the concave portion 33 a of the common liquid chamber 33. This is a space independent of the ink flow path such as the common liquid chamber 33. The depth of the dimple 43 (that is, the dimension in the Z direction) is sufficiently smaller than the depth of the pressure chamber 34 and the common liquid chamber 33. As described above, since the dimple 43 is provided on the joint surface between the flow path substrate 29 and the nozzle substrate 30, the two substrates can be more firmly joined by the anchor effect of the adhesive flowing into the dimple 43. . Further, the excess adhesive is prevented from protruding to the flow channel side. In the present embodiment, since the dimples 43 are provided also in the portion corresponding to the common liquid chamber 33, the bonding strength between the flow path substrate 29 and the nozzle substrate 30 can be increased, and the separation and the like can be suppressed. it can.

ここで、図４に示されるように、ディンプル４３は、流路基板２９の接合面の全体に分布しているが、共通液室３３に対応する部分とそれ以外の部分（即ち、共通液室３３が形成された領域から外れた領域）とでは、ディンプル４３の形成密度が異なっている。具体的には、共通液室３３に対応する部分のディンプル４３の形成密度は、それ以外の部分におけるディンプル４３の形成密度よりも低くなっている。即ち、ディンプル４３が設けられている部分では、その分だけ流路基板２９の厚さが薄くなるので、ディンプル４３が設けられていない部分と比較して強度が多少低下することになるが、共通液室３３に対応する部分のディンプル４３の形成密度が他の部分と比較して低くなっているので、共通液室３３に対応する部分におけるノズル基板３０及び流路基板２９の強度を高めることができる。なお、ノズル基板３０におけるディンプル４３の形成密度も同様となっている。 Here, as shown in FIG. 4, the dimples 43 are distributed over the entire joint surface of the flow path substrate 29, and the portions corresponding to the common liquid chamber 33 and the other parts (that is, the common liquid chamber 33). (The region outside the region where 33 is formed) has a different formation density of the dimple 43. Specifically, the formation density of the dimples 43 in the portion corresponding to the common liquid chamber 33 is lower than the formation density of the dimples 43 in other portions. That is, in the portion where the dimple 43 is provided, the thickness of the flow path substrate 29 is reduced by that much, so that the strength is slightly reduced as compared with the portion where the dimple 43 is not provided. Since the formation density of the dimples 43 in the portion corresponding to the liquid chamber 33 is lower than in the other portions, the strength of the nozzle substrate 30 and the flow path substrate 29 in the portion corresponding to the common liquid chamber 33 can be increased. it can. The formation density of the dimples 43 on the nozzle substrate 30 is the same.

図５は、キャッピング機構１３が備えるキャップ１４の構成の一例を説明する斜視図である。また、図６は、キャップ１４により記録ヘッド１０のノズル形成面が封止（換言すると、キャッピング）された状態（以下、キャッピング状態と称する）を説明する断面図である。キャップ１４は、記録ヘッド１０のノズル形成面、より詳しくは、ノズル形成面の一部であるカバー部材２２に当接することにより、ノズル形成面においてノズル４０が形成された領域を密封する部材である。本実施形態におけるキャップ１４は、底板４５と、この底板４５の四方の周縁からそれぞれＺ方向に起立した側壁部４６とを有し、上面側（即ち、ノズル形成面側）が開口したトレイ状の基部４８を備えている。また、側壁部４６の頂部には、エラストマー等の弾性材からなる当接部４９が設けられている。このキャップ１４において、キャッピング状態で底板４５と側壁部４６とノズル形成面とで囲まれた空間が封止空部４７となる。そして、このキャップ１４の内部、即ち、底板４５と側壁部４６とで囲まれた空間には、ノズル４０から排出されたインクを吸収する吸液材４４が敷設されている。吸液材４４は、スポンジ等の多孔質部材から構成されている。さらに、キャップ１４の内部には、吸液材４４をキャップ１４内に保持するための保持部材５０が設けられている。なお、本実施形態においては、キャッピング時にキャップ１４の当接部４９がノズル形成面のカバー部材２２に当接する構成を示したが、これには限られず、当接部４９がノズル基板３０に当接する構成であっても良い。 FIG. 5 is a perspective view illustrating an example of the configuration of the cap 14 provided in the capping mechanism 13. FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a state in which the nozzle forming surface of the recording head 10 is sealed (in other words, capped) by the cap 14 (hereinafter, referred to as a capping state). The cap 14 is a member that abuts a nozzle forming surface of the recording head 10, more specifically, a cover member 22 that is a part of the nozzle forming surface, thereby sealing a region where the nozzle 40 is formed on the nozzle forming surface. . The cap 14 in the present embodiment has a bottom plate 45 and side wall portions 46 rising from the four peripheral edges of the bottom plate 45 in the Z direction, and has a tray-like shape having an open upper surface side (that is, a nozzle forming surface side). A base 48 is provided. A contact portion 49 made of an elastic material such as an elastomer is provided at the top of the side wall portion 46. In the cap 14, a space surrounded by the bottom plate 45, the side wall 46, and the nozzle forming surface in the capping state becomes a sealing space 47. A liquid absorbing material 44 that absorbs the ink discharged from the nozzles 40 is laid inside the cap 14, that is, in a space surrounded by the bottom plate 45 and the side wall 46. The liquid absorbing member 44 is formed of a porous member such as a sponge. Further, a holding member 50 for holding the liquid absorbing material 44 in the cap 14 is provided inside the cap 14. In the present embodiment, the configuration is described in which the contact portion 49 of the cap 14 contacts the cover member 22 on the nozzle forming surface during capping. However, the present invention is not limited to this, and the contact portion 49 contacts the nozzle substrate 30. The configuration may be in contact with each other.

基部４８は、比較的硬質の合成樹脂、本実施形態においては、変成ポリフェニレンエーテル（即ち、変性ＰＰＥ）から作製されている。基部４８の底板４５には、ノズル４０から封止空部４７内に排出されたインクを排出する図示しない排出口が形成されている。この排出口には図示しない排液チューブが接続され、キャッピング状態で上記ポンプ１５が駆動されると、排液チューブを介してキャップ内の封止空部４７が負圧化され、これによりノズル４０から記録ヘッド１０内のインクが吸引・排出される。 The base 48 is made of a relatively hard synthetic resin, in this embodiment, modified polyphenylene ether (that is, modified PPE). The bottom plate 45 of the base 48 has a discharge port (not shown) for discharging the ink discharged from the nozzle 40 into the sealing space 47. A drain tube (not shown) is connected to this outlet, and when the pump 15 is driven in a capping state, the sealing space 47 in the cap is made negative pressure through the drain tube, thereby causing the nozzle 40 From the recording head 10 is sucked and discharged.

側壁部４６の上端面（頂部）に設けられた当接部４９は、断面視で先端側（キャッピング状態におけるノズル形成面側）に向かって細くなっている。本実施形態における当接部４９は、撥液性および弾性を有する樹脂、具体的には、シリコーン樹脂により作製されている。シリコーン樹脂は、撥液性および弾性を有する他、耐熱性や化学的安定性を有し、長期にわたって性能が維持されるので、当接部４９として好適である。 The contact portion 49 provided on the upper end surface (top portion) of the side wall portion 46 becomes thinner toward the front end side (the nozzle forming surface side in the capping state) in a sectional view. The contact portion 49 in the present embodiment is made of a resin having liquid repellency and elasticity, specifically, a silicone resin. Since the silicone resin has liquid repellency and elasticity, heat resistance and chemical stability, and its performance is maintained for a long period of time, it is suitable as the contact portion 49.

保持部材５０は、キャップ１４内において吸液材４４の上面を覆う状態で配置されており、ノズル形成面と吸液材４４との距離を一定に維持する。本実施形態における保持部材５０は、例えば、薄手の金属製の板材から作製されている。この保持部材５０は、Ｚ方向からの平面視で吸液材４４の外形に倣った形状の枠材５１と、枠材５１の内側において格子状に組み合わされた複数の線材５２とを有し、これらの枠材５１及び線材５２によりメッシュ状に形成されている。図６に示されるように、保持部材５０は、キャッピング状態におけるノズル形成面と吸液材４４の上面（即ち、ノズル形成面と対向する側の面）との間に配置されている。そして、保持部材５０は、キャップ１４の開口面、即ち、当接部４９の頂部で規定される面よりも底板４５側に位置している。また、保持部材５０の複数の線材５２は、Ｘ方向及びＹ方向においてそれぞれ均等な間隔で配置されている。即ち、保持部材５０は、吸液材４４の上面に対して偏りなく均等に分布している。そして、本実施形態においては、Ｚ方向からの平面視において共通液室３３と重なる位置にも保持部材５０（より詳しくは、線材５２）が配置されている。さらに、流路基板２９とノズル基板３０との間のディンプル４３に平面視で重なる位置にも保持部材５０が配置されている。このように、保持部材５０が偏りなく配置されていることにより、吸液材４４をより均等に保持することができる。 The holding member 50 is disposed in the cap 14 so as to cover the upper surface of the liquid absorbing material 44, and maintains a constant distance between the nozzle forming surface and the liquid absorbing material 44. The holding member 50 in the present embodiment is made of, for example, a thin metal plate. The holding member 50 has a frame member 51 having a shape following the outer shape of the liquid absorbing member 44 in a plan view from the Z direction, and a plurality of wire members 52 combined in a grid inside the frame member 51, The frame 51 and the wire 52 form a mesh. As shown in FIG. 6, the holding member 50 is disposed between the nozzle forming surface in the capping state and the upper surface of the liquid absorbing material 44 (that is, the surface facing the nozzle forming surface). The holding member 50 is located closer to the bottom plate 45 than the opening surface of the cap 14, that is, the surface defined by the top of the contact portion 49. Further, the plurality of wires 52 of the holding member 50 are arranged at equal intervals in the X direction and the Y direction. That is, the holding members 50 are evenly distributed on the upper surface of the liquid absorbing material 44 without bias. In the present embodiment, the holding member 50 (more specifically, the wire 52) is also arranged at a position overlapping the common liquid chamber 33 in a plan view from the Z direction. Further, the holding member 50 is also arranged at a position overlapping the dimple 43 between the flow path substrate 29 and the nozzle substrate 30 in a plan view. Thus, the liquid absorbing material 44 can be held more uniformly by arranging the holding members 50 without bias.

上記構成のキャップ１４を有するキャッピング機構１３では、キャッピングの際、ホームポジションに位置する記録ヘッド１０に向けてキャップ１４が上昇してノズル形成面に当接部４９が弾性により密着し、これにより画成される封止空部４７内に各ノズル列４１のノズル４０が密封される。本実施形態におけるプリンター１では、記録ヘッド１０のノズル形成面に形成された１０列のノズル列４１ａ〜４１ｊが、１つのキャップ１４により一括してキャッピングされる。このキャッピング状態でポンプ１５を作動させると、封止空部４７内が減圧されるので、ノズル４０を通じて記録ヘッド１０内のインクが吸引されて、ヘッド外部に排出される。このような吸引動作は、インクカートリッジ８がプリンター１に新たに装着された際にこのインクカートリッジ８内のインクを記録ヘッド１０に充填する初期充填や、記録ヘッド１０の流路内の増粘インクや気泡を除去するためのクリーニング動作理等において行われる。 In the capping mechanism 13 having the cap 14 having the above configuration, at the time of capping, the cap 14 ascends toward the recording head 10 located at the home position, and the abutting portion 49 elastically adheres to the nozzle forming surface. The nozzles 40 of each nozzle row 41 are sealed in the sealing space 47 formed. In the printer 1 according to the present embodiment, ten nozzle rows 41 a to 41 j formed on the nozzle formation surface of the recording head 10 are collectively capped by one cap 14. When the pump 15 is operated in the capping state, the pressure in the sealing space 47 is reduced, so that the ink in the recording head 10 is sucked through the nozzle 40 and discharged to the outside of the head. Such a suction operation is performed when the ink cartridge 8 is newly installed in the printer 1, when the recording head 10 is initially filled with the ink in the ink cartridge 8, or when the ink in the flow path of the recording head 10 is thickened. And cleaning operation for removing bubbles.

本発明に係るプリンター１では、流路基板２９において共通液室３３を区画している凹部３３ａがノズル基板３０側に底部３６を有するので、共通液室３３に対応する部分におけるノズル基板３０及び流路基板２９の強度が向上する。これにより、プリンター１において記録ヘッド１０の取り扱い性が向上する。例えば、キャップ１４内の保持部材５０の一部、具体的には、枠材５１や線材５２が、Ｚ方向からの平面視において共通液室３３に重なっても良いので、記録ヘッド１０とノズル形成面とキャップ１４との相対位置のばらつきをある程度許容することができる。換言すると、キャッピング時のノズル形成面とキャップ１４との相対位置を高い精度でガイドしなくても良い。また、保持部材５０の枠材５１や線材５２が、Ｚ方向からの平面視においてディンプル４３に重なっても良い。このように、保持部材５０の枠材５１や線材５２の配置位置が、記録ヘッド１０の共通液室３３やディンプル４３の位置との関係で制限されないので、キャップ１４内に吸液材４４をより偏りなく保持することができる。勿論、枠材５１や線材５２が、吸液材４４の上面に対して偏りなく均等に配置されていれば、Ｚ方向からの平面視において共通液室３３やディンプル４３と重なっていなくても良い。 In the printer 1 according to the present invention, since the concave portion 33 a defining the common liquid chamber 33 in the flow path substrate 29 has the bottom 36 on the nozzle substrate 30 side, the nozzle substrate 30 and the flow The strength of the road board 29 is improved. Thereby, the handleability of the recording head 10 in the printer 1 is improved. For example, a part of the holding member 50 in the cap 14, specifically, the frame member 51 and the wire member 52 may overlap the common liquid chamber 33 in a plan view from the Z direction. Variations in the relative position between the surface and the cap 14 can be tolerated to some extent. In other words, the relative position between the nozzle forming surface and the cap 14 during capping need not be guided with high accuracy. Further, the frame member 51 and the wire rod 52 of the holding member 50 may overlap the dimple 43 in a plan view from the Z direction. As described above, the positions of the frame members 51 and the wires 52 of the holding member 50 are not limited by the relationship with the positions of the common liquid chamber 33 and the dimples 43 of the recording head 10. It can be held without bias. Of course, as long as the frame member 51 and the wire rod 52 are evenly arranged on the upper surface of the liquid absorbing member 44 without bias, the common liquid chamber 33 and the dimple 43 do not have to overlap in a plan view from the Z direction. .

また、ノズル形成面に形成された１０列のノズル列４１ａ〜４１ｊを一括してキャッピングするキャップ１４を採用することができる。つまり、記録ヘッド１０に対して複数のキャップ１４を設ける必要が無い。そして、このように１０列ものノズル列４１ａ〜４１ｊを一括してキャッピングする構成のキャップ１４は、その分、大型化し、それ自体に反りや歪みが生じやすいが、ノズル形成面をキャッピングした際に保持部材５０がノズル形成面に万一接触したとしても、ノズル基板３０や流路基板２９の破損を抑制することができる。同様に、１０列ものノズル列４１ａ〜４１ｊに対応して強力な吸引動作がキャッピング状態で行われた際に、キャップ１４内の保持部材５０がノズル形成面に万一接触したとしても、ノズル基板３０や流路基板２９の破損を抑制することが可能となる。 Further, the cap 14 for collectively capping the ten nozzle rows 41a to 41j formed on the nozzle formation surface can be employed. That is, there is no need to provide a plurality of caps 14 for the recording head 10. The cap 14 configured to collectively cap as many as 10 nozzle rows 41a to 41j as described above is enlarged accordingly, and warpage and distortion are liable to occur. However, when the nozzle formation surface is capped, Even if the holding member 50 comes into contact with the nozzle forming surface, the damage of the nozzle substrate 30 and the flow path substrate 29 can be suppressed. Similarly, even when the holding member 50 in the cap 14 comes into contact with the nozzle forming surface when a strong suction operation is performed in the capping state corresponding to as many as 10 nozzle rows 41a to 41j, the nozzle substrate It is possible to suppress the breakage of 30 and the flow path substrate 29.

さらに、凹部３３ａがノズル基板３０側に底部３６を有するので、キャップ１４からの荷重を流路基板２９におけるより広い範囲で受けることができる。これにより、キャッピング時にノズル形成面に対するキャップ１４の押圧力を高めることができ、ノズル形成面の各ノズル４０をより確実に密封することができる。その結果、吸引動作時における吸引効率を高めることができる。また、凹部３３ａがノズル基板３０側に底部３６を有するので、その分、ノズル基板３０と流路基板２９との接着面積を広くすることができる。このため、流路基板２９とノズル基板３０との接着強度を高めることができ、両基板の剥離を抑制することが可能となる。 Further, since the concave portion 33a has the bottom portion 36 on the nozzle substrate 30 side, the load from the cap 14 can be received in a wider range in the flow path substrate 29. This makes it possible to increase the pressing force of the cap 14 against the nozzle forming surface at the time of capping, and to more reliably seal the nozzles 40 on the nozzle forming surface. As a result, the suction efficiency during the suction operation can be increased. Further, since the concave portion 33a has the bottom portion 36 on the nozzle substrate 30 side, the bonding area between the nozzle substrate 30 and the flow path substrate 29 can be increased accordingly. For this reason, the adhesive strength between the flow path substrate 29 and the nozzle substrate 30 can be increased, and the separation of both substrates can be suppressed.

また、本実施形態においては、単一（換言すると、一枚）のノズル基板３０に合計１０列のノズル列４１ａ〜４１ｊが形成され、また、単一の流路基板２９に１０列のノズル列４１に対応する共通液室３３等の流路が形成されているので、複数の単位ヘッドを並べて記録ヘッド全体として合計１０列のノズル列を備えた構成と比較して、記録ヘッド１０の構造の単純化、及び、省スペース化が可能となる。その結果、記録ヘッド１０の小型化が可能となる。 In the present embodiment, a total of ten nozzle rows 41 a to 41 j are formed on a single (in other words, one) nozzle substrate 30, and ten nozzle rows 41 are formed on a single flow path substrate 29. Since a flow path such as the common liquid chamber 33 corresponding to 41 is formed, a plurality of unit heads are arranged side by side, and compared with a configuration having a total of 10 nozzle rows as a whole print head, the structure of the print head 10 is reduced. Simplification and space saving can be achieved. As a result, the size of the recording head 10 can be reduced.

この他、本発明は、複数のノズル列、特に１０列以上のノズル列が単一のノズル基板に形成され、これに対応する液室等の流路が単一の流路基板（即ち、液室形成基板）に形成された液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を複数備える液体噴射ヘッド、及び、これを備える液体噴射装置にも本発明を適用することができる。 In addition, according to the present invention, a plurality of nozzle rows, in particular, 10 or more nozzle rows are formed on a single nozzle substrate, and the corresponding flow path such as a liquid chamber is formed on a single flow path substrate (that is, a liquid flow path). The present invention can also be applied to a liquid ejecting apparatus including a liquid ejecting head formed on a chamber forming substrate). For example, a color material ejecting head used for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display, an electrode material ejecting head used for forming an electrode such as an organic EL (Electro Luminescence) display, an FED (surface emitting display), a biochip (biochemical element) The present invention can also be applied to a liquid ejecting head having a plurality of biological organic matter ejecting heads and the like used in the production of (1) and a liquid ejecting apparatus having the same.

１…プリンター，２…フレーム，３…プラテン，５…ガイドロッド，６…キャリッジ，８…インクカートリッジ，１０…記録ヘッド，１１…ワイピング機構，１２…ワイパー，１３…キャッピング機構，１４…キャップ，１５…ポンプ，１７…ヘッドユニット，１８…ホルダー，１９…フランジ部，２０…ケース部，２１…開口部，２２…カバー部材，２４…流路ユニット，２５…振動子ユニット，２６…インク供給路，２７…収容空部，２８…圧電素子，２９…流路基板，３０…ノズル基板，３１…振動板，３２…ダイヤフラム部，３３…共通液室，３３ａ…凹部，３４…圧力室，３５…個別連通路，３６…底部，３７…固定板，３８…ノズル連通路，３９…コンプライアンス部，４０…ノズル，４１…ノズル列，４３…ディンプル，４４…吸液材，４５…底部，４６…側壁部，４７…封止空部，４８…基部，４９…当接部，５０…保持部材，５１…枠材，５２…線材 REFERENCE SIGNS LIST 1 printer, 2 frame, 3 platen, 5 guide rod, 6 carriage, 8 ink cartridge, 10 recording head, 11 wiping mechanism, 12 wiper, 13 capping mechanism, 14 cap, 15 ... Pump, 17 ... Head unit, 18 ... Holder, 19 ... Flange part, 20 ... Case part, 21 ... Opening part, 22 ... Cover member, 24 ... Flow path unit, 25 ... Vibrator unit, 26 ... Ink supply path, 27 accommodation cavity, 28 piezoelectric element, 29 flow path substrate, 30 nozzle substrate, 31 diaphragm, 32 diaphragm section, 33 common liquid chamber, 33a recess, 34 pressure chamber, 35 individual Communication passage, 36 bottom, 37 fixed plate, 38 nozzle communication passage, 39 compliance part, 40 nozzle, 41 nozzle row, 43 dimple, 44 Liquid absorbing material, 45 ... bottom, 46 ... side wall, 47 ... Futomesora unit, 48 ... base, 49 ... abutting portion, 50 ... holding member, 51 ... frame member, 52 ... wire

Claims

A nozzle substrate on which a nozzle for ejecting liquid is formed, a liquid chamber forming substrate on which ten liquid chambers for storing liquid to be supplied to the nozzle are formed, and a case for holding the nozzle substrate and the liquid chamber forming substrate. A liquid jet head having
A cap that seals the plurality of nozzles corresponding to the ten liquid chambers by contacting a nozzle forming surface of the liquid ejecting head where the nozzles are formed;
With
The liquid chamber forming substrate,
Provided between the case and the nozzle substrate,
The case side is open, a concave portion having a bottom on the nozzle substrate side is formed,
The liquid ejecting apparatus, wherein the liquid chamber is defined by the recess.

The liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the liquid chamber forming substrate and the nozzle substrate are each formed from a silicon substrate.

3. The liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the bottom of the liquid chamber forming substrate is less than half the thickness of the liquid chamber forming substrate in the thickness direction. 4.

The cap includes a liquid absorbing material and a holding member that holds the liquid absorbing material in the cap,
The liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the holding member overlaps the liquid chamber in a plan view from a thickness direction of the liquid chamber forming substrate.

The liquid ejecting apparatus according to claim 4, further comprising a suction unit connected to the cap and capable of suctioning the inside of the cap.

Between the liquid chamber forming substrate and the nozzle substrate, a plurality of recesses for holding an adhesive are formed,
In a plan view from the thickness direction of the liquid chamber forming substrate, the formation density of the depression in the region where the liquid chamber is formed is such that the formation of the depression in a region outside the region where the liquid chamber is formed. The liquid ejecting apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the liquid ejecting apparatus is lower than the density.

The liquid ejecting apparatus according to claim 6, wherein the holding member overlaps the recess when viewed in a plan view from the thickness direction of the liquid chamber forming substrate.

A nozzle substrate on which a nozzle for ejecting liquid is formed,
A liquid chamber forming substrate in which ten liquid chambers for storing liquid to be supplied to the nozzle are formed, a case holding the nozzle substrate and the liquid chamber forming substrate,
With
The liquid chamber forming substrate,
Provided between the case and the nozzle substrate,
The case side is open, a concave portion having a bottom on the nozzle substrate side is formed,
The liquid jet head, wherein the liquid chamber is defined by the concave portion.

9. The liquid jet head according to claim 8, wherein the liquid chamber forming substrate and the nozzle substrate are each formed from a silicon substrate.

The liquid ejecting head according to claim 8, wherein the bottom in the thickness direction of the liquid chamber forming substrate is less than half the thickness of the liquid chamber forming substrate.

Between the liquid chamber forming substrate and the nozzle substrate, a plurality of recesses for holding an adhesive are formed,
In a plan view from the thickness direction of the liquid chamber forming substrate, the formation density of the depression in the region where the liquid chamber is formed is such that the formation of the depression in a region outside the region where the liquid chamber is formed. The liquid jet head according to any one of claims 8 to 10, wherein the liquid jet head is lower than the density.