JP2020036092A - Imaging element and control method of the same, program, and storage medium - Google Patents

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Abstract

To provide an imaging element having a high production yield and capable of suppressing cost.SOLUTION: The imaging element includes a plurality of pixels each having a light reception unit for receiving light and a counting unit for counting the number of photons incident on the light reception unit, at least some of the plurality of pixels are connected so as to form counting units included in each of the at least some of the pixels.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、撮像素子及びその制御方法に関する。   The present invention relates to an image sensor and a control method thereof.

近年、特許文献1に記載されているように、画素毎に1bit型のAD変換器とカウンタが設けられた固体撮像素子が提案されている。特許文献1に記載された固体撮像素子では、受光画素毎にAD変換が行われ、その後、走査回路によって全画素の出力データが順次出力される。そのため、従来の列毎にAD変換を行う固体撮像素子に比較して、走査線数と読み出し速度のトレードオフを解消することが可能である。   In recent years, as described in Patent Document 1, a solid-state imaging device in which a 1-bit AD converter and a counter are provided for each pixel has been proposed. In the solid-state imaging device described in Patent Document 1, AD conversion is performed for each light-receiving pixel, and thereafter, output data of all pixels is sequentially output by the scanning circuit. Therefore, it is possible to eliminate the trade-off between the number of scanning lines and the reading speed, as compared with the conventional solid-state imaging device that performs AD conversion for each column.

この方式においては、受光素子に一定の電荷が蓄積されるたびにリセットされるため、光電変換素子が飽和することがない。そして、検出可能な光量は、蓄積容量の電圧が基準電圧と一致したときに出力されるパルスを数えるカウンタの上限により定まる。   In this method, the photoelectric conversion element is reset every time a certain amount of charge is accumulated in the light receiving element, so that the photoelectric conversion element is not saturated. The amount of light that can be detected is determined by the upper limit of a counter that counts pulses output when the voltage of the storage capacitor matches the reference voltage.

特開2015−173432号公報JP 2015-173432 A

しかしながら、特許文献1で提案されている技術においては、半導体パターンの微細化により配線部のショートが発生する可能性がある。このような場合、撮像素子の製造歩留まりが低下し、撮像素子のコストが高くなるという課題があった。   However, in the technique proposed in Patent Literature 1, there is a possibility that a short circuit occurs in a wiring portion due to miniaturization of a semiconductor pattern. In such a case, there has been a problem that the manufacturing yield of the imaging device is reduced and the cost of the imaging device is increased.

本発明は上述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、製造歩留まりが高く、コストを抑えることが可能な撮像素子を提供することである。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide an imaging device having a high manufacturing yield and capable of suppressing costs.

本発明に係わる撮像素子は、光を受光する受光部と、該受光部に入射した光子の数を計数する計数手段と、をそれぞれ有する複数の画素を備え、前記複数の画素の少なくとも一部の画素について、該少なくとも一部の画素のそれぞれが有する前記計数手段同士を接続したことを特徴とする。   An image sensor according to the present invention includes a light receiving unit that receives light, and a counting unit that counts the number of photons that have entered the light receiving unit, and includes a plurality of pixels each having a pixel, and at least a part of the plurality of pixels. The pixel is characterized in that the counting means of each of the at least some of the pixels are connected to each other.

本発明によれば、製造歩留まりが高く、コストを抑えることが可能な撮像素子を提供することが可能となる。   According to the present invention, it is possible to provide an imaging device having a high production yield and capable of suppressing costs.

第1の実施形態における撮像素子の構成を示す図。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of an image sensor according to the first embodiment. 本発明の第1の実施形態の撮像素子における単位画素の構成を示す図。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a unit pixel in the image sensor according to the first embodiment of the present invention. 第1の実施形態における単位画素が有するカウンタの構成を示す図。FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of a counter included in a unit pixel according to the first embodiment. 第1の実施形態における単位画素の駆動を示すタイミングチャート。4 is a timing chart illustrating driving of a unit pixel according to the first embodiment. 撮像素子の積層構造を示す図。FIG. 3 is a diagram illustrating a stacked structure of an imaging element. 第2の実施形態における撮像素子の構成を示す図。FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of an image sensor according to a second embodiment. 第2の実施形態における単位画素の駆動を示すタイミングチャート。9 is a timing chart illustrating driving of a unit pixel according to the second embodiment. 第3の実施形態における撮像素子の構成を示す図。FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration of an image sensor according to a third embodiment. 第3の実施形態における単位画素の駆動を示すタイミングチャート。13 is a timing chart illustrating driving of a unit pixel according to the third embodiment.

以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は単なる例示であり、本発明は以下の実施形態の構成に限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiment described below is merely an example, and the present invention is not limited to the configuration of the following embodiment.

<第1の実施形態>
図1は、本発明の第1の実施形態における撮像素子300の構成を示す図である。撮像素子300は、単位画素100が2次元状に多数配置されているが、説明を分かりやすくするために、図1では3個×3個の単位画素100が配列されているものとして説明する。
<First embodiment>
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of an image sensor 300 according to the first embodiment of the present invention. The image sensor 300 has a large number of unit pixels 100 arranged two-dimensionally. However, for simplicity of description, FIG. 1 illustrates an example in which 3 × 3 unit pixels 100 are arranged.

図2は、撮像素子300における単位画素100の構成を示す図である。単位画素100は、アバランシェフォトダイオード(以下、APD)101と、クエンチ抵抗102と、波形整形回路103と、計数部としてのカウンタ104とを備えて構成されている。以下、単位画素100の各々の構成要素について説明する。   FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of the unit pixel 100 in the imaging element 300. The unit pixel 100 includes an avalanche photodiode (hereinafter, APD) 101, a quench resistor 102, a waveform shaping circuit 103, and a counter 104 as a counting unit. Hereinafter, each component of the unit pixel 100 will be described.

APD101は、クエンチ抵抗102を介して逆バイアス電圧VAPDと接続されており、光子が入射するとアバランシェ増倍による電荷を発生させる。APD101で発生した電荷はクエンチ抵抗102を介して排出される。波形整形回路103は、光子の入射に応じた電荷の生成と排出による電位の変化に対して、増幅とエッジ検出を行うことにより、電圧パルスを生成する。   The APD 101 is connected to a reverse bias voltage VAPD via a quench resistor 102, and generates a charge by avalanche multiplication when a photon enters. The charge generated by the APD 101 is discharged via the quench resistor 102. The waveform shaping circuit 103 generates a voltage pulse by performing amplification and edge detection with respect to a change in potential due to generation and discharge of charges according to the incidence of photons.

このようにAPD101(受光部)と、クエンチ抵抗102と、波形整形回路103とは、光子の入射の有無を電圧パルスに変換することにより、1bit型AD変換器として機能する。   As described above, the APD 101 (light receiving unit), the quench resistor 102, and the waveform shaping circuit 103 function as a 1-bit AD converter by converting the presence or absence of photons into a voltage pulse.

カウンタ104は、波形整形回路103により生成された電圧パルスの数を計数するカウンタであって、計数結果を出力することにより露光期間中の画素値を多ビットで出力する。カウンタ104は、単位画素100に入力される制御信号LOAD_ENとデータ信号LOAD_DATAとに基づいて、後述するフリップフロップ400にデータを設定する。   The counter 104 is a counter for counting the number of voltage pulses generated by the waveform shaping circuit 103, and outputs a multi-bit pixel value during an exposure period by outputting a count result. The counter 104 sets data in a flip-flop 400 described later based on the control signal LOAD_EN and the data signal LOAD_DATA input to the unit pixel 100.

図3は、カウンタ104の具体的な構成を示す図である。カウンタ104は、データを保持するフリップフロップ400と、計数を行う加算部401と、カウンタ選択部402とを備える。   FIG. 3 is a diagram illustrating a specific configuration of the counter 104. The counter 104 includes a flip-flop 400 that holds data, an adder 401 that performs counting, and a counter selector 402.

カウンタ選択部402は、制御信号LOAD_ENに基づいてカウンタの値をデータ信号LOAD_DATAに設定するか、加算部401の出力に設定するかを決定する。   The counter selection unit 402 determines whether to set the value of the counter to the data signal LOAD_DATA or the output of the addition unit 401 based on the control signal LOAD_EN.

フリップフロップ400は、非同期リセット信号によって、クロックに非同期で初期値0に初期化される。なお、本実施形態ではクロック信号及び非同期リセット信号は、撮像素子の撮像部全体で共通の信号である。   The flip-flop 400 is initialized to an initial value 0 asynchronously with a clock by an asynchronous reset signal. In the present embodiment, the clock signal and the asynchronous reset signal are signals common to the entire imaging unit of the imaging device.

図1に示すような3個×3個の単位画素の配列において、一番左上の単位画素100(最初の画素)のデータ信号LOAD_DATAに初期値データ304が入力される。そして、以降の単位画素100のデータ信号LOAD_DATAには、各単位画素100のカウンタの出力が接続されている。すなわち、各単位画素100のカウンタ同士(計数手段同士)が接続されている。   In the arrangement of 3 × 3 unit pixels as shown in FIG. 1, initial value data 304 is input to the data signal LOAD_DATA of the upper leftmost unit pixel 100 (first pixel). The output of the counter of each unit pixel 100 is connected to the subsequent data signal LOAD_DATA of the unit pixel 100. That is, the counters (counters) of the unit pixels 100 are connected.

各単位画素100の出力は、図1の左から右に向かって1行目をCNT00、CNT01、CNT02、2行目をCNT10、CNT11、CNT12、3行目をCNT20、CNT21、CNT22とする。全ての単位画素100の制御信号LOAD_ENは読み出し制御回路303の出力によって制御され、シフトレジスタのように動作する(シフトレジスタ動作)。なお、本実施形態では初期値データ304の値として0を設定する。   The output of each unit pixel 100 is CNT00, CNT01, CNT02 in the first row, CNT10, CNT11, CNT12 in the second row, and CNT20, CNT21, CNT22 in the third row from left to right in FIG. The control signals LOAD_EN of all the unit pixels 100 are controlled by the output of the read control circuit 303 and operate like a shift register (shift register operation). In the present embodiment, 0 is set as the value of the initial value data 304.

タイミングジェネレータ(以下、TG)306は、不図示のカウンタに基づいて、撮像期間や転送期間などのタイミングを生成し、読み出し制御回路303に通知する。読み出し制御回路303は、TG306によって通知されたタイミングに基づいて、制御信号LOAD_ENを発行する。   A timing generator (hereinafter, TG) 306 generates timing such as an imaging period and a transfer period based on a counter (not shown), and notifies the read control circuit 303 of the timing. The read control circuit 303 issues a control signal LOAD_EN based on the timing notified by the TG 306.

制御信号LOAD_ENは、初期化期間及び読み出し期間に発行され、単位画素100が3個×3個配列されている場合には、同期して動作するクロック9サイクル分発行される。このサイクル数は、初期値データ304の値が出力CNT22に伝搬するまでの期間である。   The control signal LOAD_EN is issued during the initialization period and the readout period, and when the unit pixels 100 are arranged in a 3 × 3 array, the control signal LOAD_EN is issued for nine clocks that operate synchronously. The number of cycles is a period until the value of the initial value data 304 propagates to the output CNT 22.

次に、図4は、撮像素子300の動作を示すタイミングチャートである。図4は、1つの単位画素100における撮像駆動を示しており、この駆動を複数の単位画素100において並列して行うことにより、光学像をデジタル信号に変換する。   Next, FIG. 4 is a timing chart showing the operation of the image sensor 300. FIG. 4 shows imaging driving in one unit pixel 100. By performing this driving in a plurality of unit pixels 100 in parallel, an optical image is converted into a digital signal.

図4において、APD00は、CNT00を出力する単位画素100におけるAPD101及びクエンチ抵抗102により生成される波形であり、PLS00は、同じ単位画素100における波形整形回路103の出力である。また、RESET_VALUEは初期値データ、READ_DATAは制御信号LOAD_ENがHの期間有効となる撮像素子300からの出力データである。   In FIG. 4, APD00 is a waveform generated by the APD 101 and the quench resistor 102 in the unit pixel 100 that outputs CNT00, and PLS00 is an output of the waveform shaping circuit 103 in the same unit pixel 100. RESET_VALUE is initial value data, and READ_DATA is output data from the image sensor 300 that is valid while the control signal LOAD_EN is H.

続いて単位画素100の駆動について説明する。   Subsequently, driving of the unit pixel 100 will be described.

時刻t200において、単位画素100のフリップフロップ400の値の初期化を開始し、制御信号LOAD_ENがHになる。このとき、出力CNT00〜CNT22の値はX(不定)である。また、不図示の遮光手段によってAPD101に光が入射しないように制御される。   At time t200, initialization of the value of the flip-flop 400 of the unit pixel 100 starts, and the control signal LOAD_EN becomes H. At this time, the values of the outputs CNT00 to CNT22 are X (undefined). Further, the light is controlled so as not to enter the APD 101 by a light shielding unit (not shown).

時刻t201において、初期値データRESET_VALUEの値が不図示のクロックに同期して出力CNT00にロードされる。以降、時刻t202までの間、初期値データRESET_VALUEの値が出力CNT00から出力CNT22へと伝搬するまで、制御信号LOAD_ENはHになる(リセット制御)。   At time t201, the value of the initial value data RESET_VALUE is loaded to the output CNT00 in synchronization with a clock (not shown). Thereafter, until time t202, the control signal LOAD_EN becomes H (reset control) until the value of the initial value data RESET_VALUE propagates from the output CNT00 to the output CNT22.

時刻t202において、制御信号LOAD_ENがLになり、さらに出力CNT22が0となって初期化が完了する。   At time t202, the control signal LOAD_EN becomes L, the output CNT22 becomes 0, and the initialization is completed.

時刻t203において、不図示の遮光手段による単位画素100の遮光を終了する。そして、APD101に光が入射され、波形整形回路103の出力PLS00が立ち上がることで、略同一のタイミングで出力CNT00は初期値に対して1を加算した値に変化する。   At time t203, the light shielding of the unit pixel 100 by the light shielding unit (not shown) ends. Then, when light is incident on the APD 101 and the output PLS00 of the waveform shaping circuit 103 rises, the output CNT00 changes to a value obtained by adding 1 to the initial value at substantially the same timing.

出力CNT00の値は、時刻t204までの撮像期間の間、APD101に光子が1個入射するごとに1ずつ増加する。出力CNT01からCNT22においても対応する画素のAPD101の変化によって同様の処理が行われる。   The value of the output CNT00 increases by one each time one photon enters the APD 101 during the imaging period until time t204. Similar processing is performed in the outputs CNT01 to CNT22 according to the change in the APD 101 of the corresponding pixel.

時刻t204において、出力CNT00〜CNT22の値が計数結果C00〜C22となって撮像期間が終了し、不図示の遮光手段がAPD101への光の入射を遮断する。略同一のタイミングで制御信号LOAD_ENがHとなって、読み出し期間が開始され、出力CNT22の計数結果C22が出力データREAD_DATAとして撮像素子300から出力される。   At time t204, the values of the outputs CNT00 to CNT22 become the count results C00 to C22, and the imaging period ends, and the light-shielding means (not shown) blocks light from entering the APD 101. At substantially the same timing, the control signal LOAD_EN becomes H, the reading period starts, and the counting result C22 of the output CNT22 is output from the image sensor 300 as output data READ_DATA.

時刻t205は、時刻t204に対して不図示のクロックで1サイクル経過したタイミングであり、初期値データRESET_VALUEの値が出力CNT00に伝搬される。また、出力CNT00の値は出力CNT01へ伝搬され、出力CNT01〜CNT21の値も同様に出力CNT02〜CNT22まで同様に伝搬される。このタイミングでは、出力CNT22に伝搬した計数結果C21が出力データREAD_DATAとして撮像素子300から出力される。   Time t205 is a timing when one cycle has elapsed with a clock (not shown) from time t204, and the value of the initial value data RESET_VALUE is propagated to the output CNT00. The value of the output CNT00 is propagated to the output CNT01, and the values of the outputs CNT01 to CNT21 are similarly propagated to the outputs CNT02 to CNT22. At this timing, the counting result C21 transmitted to the output CNT22 is output from the image sensor 300 as output data READ_DATA.

このように、出力CNT22の計数結果C22が初めに出力データとして出力され、次に計数結果C21、次に計数結果C20という順番で、計数結果が出力データREAD_DATAとして撮像素子300から出力される。つまり、シフトレジスタのように順番に画素値が出力されることとなる。   As described above, the count result C22 of the output CNT22 is output first as output data, then the count result is output from the image sensor 300 as output data READ_DATA in the order of the count result C21 and then the count result C20. That is, pixel values are sequentially output as in a shift register.

時刻t206において、出力CNT00の計数結果C00が出力CNT22に伝搬し、出力データREAD_DATAとして出力される。   At time t206, the count result C00 of the output CNT00 propagates to the output CNT22 and is output as output data READ_DATA.

時刻t207において、制御信号LOAD_ENがLになり、初期値データRESET_VALUEがCNT22に伝搬し、出力CNT00〜CNT22を出力する単位画素100の初期化が完了する。時刻t208以降は、時刻t203から時刻t208までの期間と同様に撮像期間と読み出し期間を繰り返す。   At time t207, the control signal LOAD_EN becomes L, the initial value data RESET_VALUE propagates to the CNT 22, and the initialization of the unit pixel 100 outputting the outputs CNT00 to CNT22 is completed. After time t208, the imaging period and the readout period are repeated as in the period from time t203 to time t208.

なお、本実施形態では制御信号LOAD_ENがHの期間、出力データREAD_DATAが有効となるが、本発明はそれに限定されるものではない。例えば、制御信号LOAD_ENとは別に出力データREAD_DATAの有効を示す信号を個別に設けてもよい。このようにすることで、後述の初期化処理中の出力データREAD_DATAを無効データとして取り扱うことが可能となる。また、波形整形回路103の出力に基づいて出力CNT00〜22は計数動作を行うが、計数期間を制御する制御信号を個別に設けてもよい。   In the present embodiment, the output data READ_DATA is valid while the control signal LOAD_EN is H, but the present invention is not limited to this. For example, a signal indicating the validity of the output data READ_DATA may be provided separately from the control signal LOAD_EN. By doing so, it is possible to handle output data READ_DATA during initialization processing described later as invalid data. Although the outputs CNT00 to CNT22 perform a counting operation based on the output of the waveform shaping circuit 103, a control signal for controlling the counting period may be individually provided.

なお、本発明は撮像素子100の物理的な構成について限定するものではない。例えば、アナログ信号を扱う回路部と、デジタル信号を扱う回路部を別の基板で形成し、積層構造を取ってもよい。   Note that the present invention does not limit the physical configuration of the image sensor 100. For example, a circuit portion for handling an analog signal and a circuit portion for handling a digital signal may be formed on different substrates and have a stacked structure.

図5を用いて、積層構造の具体的な構成について説明する。図5(a)は、アナログ信号を扱う回路部とデジタル信号を扱う回路部に単位画素100の機能を分けて示した図である。また、図5(b)は、撮像素子300の積層構成を説明する図である。   The specific configuration of the stacked structure will be described with reference to FIG. FIG. 5A is a diagram illustrating the function of the unit pixel 100 divided into a circuit section that handles analog signals and a circuit section that handles digital signals. FIG. 5B is a diagram illustrating a stacked configuration of the image sensor 300.

図5(a)のアナログ信号処理部700は、APD102と波形整形回路103を有する。カウンタ104は、デジタル信号化されたパルスを計数するデジタル回路部である。   The analog signal processing unit 700 in FIG. 5A includes the APD 102 and the waveform shaping circuit 103. The counter 104 is a digital circuit unit that counts digital signal pulses.

図5(b)に示すように、上部基板702にはアナログ信号処理部700が2次元状に配列されている。また、下部基板703には、同様にカウンタ104が2次元状に配列されるとともに、読み出し制御回路303及びTG306などのデジタル回路が配置されている。   As shown in FIG. 5B, the analog signal processing units 700 are two-dimensionally arranged on the upper substrate 702. Similarly, on the lower substrate 703, the counters 104 are similarly arranged two-dimensionally, and digital circuits such as the read control circuit 303 and the TG 306 are arranged.

一般的にアナログ信号はデジタル信号に比べてノイズに弱いため、このようにデジタル信号に変換した上で下部基板703に伝送することによってノイズに対する堅牢性を保つことが可能となる。   Generally, an analog signal is more susceptible to noise than a digital signal. Thus, by converting the analog signal into a digital signal and transmitting the digital signal to the lower substrate 703, robustness against noise can be maintained.

また、カウンタ104のように出力ビット数が増えるほど回路規模が増大する部分を下部基板703に配置することにより、集積率を上げることが可能となる。このような場合においても、配線や制御線を削減したほうが、故障率が低下することは言うまでもない。   In addition, by arranging, on the lower substrate 703, a portion where the circuit scale increases as the number of output bits increases, such as the counter 104, the integration rate can be increased. Even in such a case, it goes without saying that reducing the number of wirings and control lines lowers the failure rate.

以上説明したように、本実施形態によれば、各画素が1bit型AD変換器とカウンタとを有する撮像素子において、撮像素子から読み出しを行うための配線及び制御線を簡略化することが可能となり、撮像素子の製造コストを抑えることが可能となる。   As described above, according to the present embodiment, in the image sensor in which each pixel has a 1-bit AD converter and a counter, it is possible to simplify wiring and control lines for reading from the image sensor. In addition, it is possible to reduce the manufacturing cost of the imaging device.

<第2の実施形態>
第1の実施形態では、各単位画素の記憶素子であるフリップフロップ間をシフトレジスタのように配置し、カウンタ同士を接続することにより、配線及び制御線を簡略化する構成について説明した。しかしながら、全ての単位画素のカウンタ同士を接続する構成にしなければ効果がないわけではない。第2の実施形態では、一部の単位画素間のカウンタ同士を接続する構成とした場合の撮像素子の構造について説明する。
<Second embodiment>
In the first embodiment, the configuration in which the flip-flops, which are the storage elements of each unit pixel, are arranged like a shift register and the counters are connected to simplify the wiring and control lines has been described. However, the effect is not necessarily limited unless the counters of all the unit pixels are connected to each other. In the second embodiment, a description will be given of a structure of an image sensor in a case where counters between some unit pixels are connected to each other.

図6は、第2の実施形態における撮像素子600の構成を示す図である。本実施形態の撮像素子600では、各行ごとに単位画素100の制御信号LOAD_EN0、LOAD_EN1、LOAD_EN2が供給される。また、伝送用の読み出しスイッチ605が各行ごとに設けられるとともに、ORゲート素子601が加えられている。さらに、第1の実施形態の読み出し制御回路303の代わりに、垂直選択回路603を備える。   FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of an image sensor 600 according to the second embodiment. In the image sensor 600 of the present embodiment, the control signals LOAD_EN0, LOAD_EN1, and LOAD_EN2 of the unit pixel 100 are supplied for each row. Further, a transmission read switch 605 is provided for each row, and an OR gate element 601 is added. Further, a vertical selection circuit 603 is provided instead of the read control circuit 303 of the first embodiment.

垂直選択回路603は、蓄積を完了した1行目の単位画素100のカウンタ104の出力を読み出すタイミングにおいて、制御信号LOAD_EN0をHにする。同様に2行目の単位画素100のカウンタ104の出力を読み出すタイミングにおいて、制御信号LOAD_EN1をHにし、3行目においては、制御信号LOAD_EN2をHにする。   The vertical selection circuit 603 sets the control signal LOAD_EN0 to H at the timing of reading the output of the counter 104 of the unit pixel 100 in the first row for which accumulation has been completed. Similarly, at the timing of reading the output of the counter 104 of the unit pixel 100 in the second row, the control signal LOAD_EN1 is set to H, and in the third row, the control signal LOAD_EN2 is set to H.

制御信号LOAD_EN0がHになることにより、1行目の読み出しスイッチ605が導通する。同様に、制御信号LOAD_EN1がHになることにより、2行目の読み出しスイッチ605が導通し、制御信号LOAD_EN2がHになることにより、3行目の読み出しスイッチ605が導通する。そして、ORゲート素子601の出力が撮像素子600の出力となる。なお、ORゲート素子はオープンドレインによるワイヤードORで構成してもよい。   When the control signal LOAD_EN0 becomes H, the read switch 605 in the first row is turned on. Similarly, when the control signal LOAD_EN1 becomes H, the read switch 605 in the second row becomes conductive, and when the control signal LOAD_EN2 becomes H, the read switch 605 in the third row becomes conductive. Then, the output of the OR gate element 601 becomes the output of the image sensor 600. Note that the OR gate element may be configured by a wired OR with an open drain.

図7は、第2の実施形態における撮像素子600の動作を示すタイミングチャートである。   FIG. 7 is a timing chart illustrating the operation of the image sensor 600 according to the second embodiment.

時刻t500において、単位画素100のフリップフロップ400の値の初期化を開始し、制御信号LOAD_EN0、LOAD_EN1、LOAD_EN2がHとなる。このとき、出力CNT00〜CNT22の値はX(不定)である。また、不図示の遮光手段によってAPD101に光が入射しないように制御される。   At time t500, initialization of the value of the flip-flop 400 of the unit pixel 100 starts, and the control signals LOAD_EN0, LOAD_EN1, and LOAD_EN2 become H. At this time, the values of the outputs CNT00 to CNT22 are X (undefined). Further, the light is controlled so as not to enter the APD 101 by a light shielding unit (not shown).

時刻t501において、初期値データRESET_VALUEの値が不図示のクロックに同期して出力CNT00、CNT10、CNT20にロードされる。以降、時刻t502までの間、初期値データRESET_VALUEの値がCNT02、CNT12、CNT22の各々に伝搬するまで、制御信号LOAD_EN0、LOAD_EN1、LOAD_EN2はHになる。   At time t501, the value of the initial value data RESET_VALUE is loaded to the outputs CNT00, CNT10, and CNT20 in synchronization with a clock (not shown). Thereafter, until the time t502, the control signals LOAD_EN0, LOAD_EN1, and LOAD_EN2 become H until the value of the initial value data RESET_VALUE propagates to each of CNT02, CNT12, and CNT22.

時刻t502において、制御信号LOAD_EN0、LOAD_EN1、LOAD_EN2がLになり、さらに出力CNT02、CNT12、CNT22が0となって初期化が完了する。   At time t502, the control signals LOAD_EN0, LOAD_EN1, and LOAD_EN2 become L, and the outputs CNT02, CNT12, and CNT22 become 0, and the initialization is completed.

時刻t503において、不図示の遮光手段による遮光が終了する。そして、APD101に光が入射され、波形整形回路103の出力PLS00が立ち上がることで、略同一のタイミングで出力CNT00は初期値に対して1を加算した値に変化する。   At time t503, the light shielding by the light shielding means (not shown) ends. Then, when light is incident on the APD 101 and the output PLS00 of the waveform shaping circuit 103 rises, the output CNT00 changes to a value obtained by adding 1 to the initial value at substantially the same timing.

出力CNT00の値は、時刻t504までの撮像期間の間、APD101に光子が1個入射するごとに1ずつ増加する。出力CNT01からCNT22においても対応する画素のAPD101の変化によって同様の処理が行われる。   The value of the output CNT00 increases by one each time one photon enters the APD 101 during the imaging period until time t504. Similar processing is performed in the outputs CNT01 to CNT22 according to the change in the APD 101 of the corresponding pixel.

時刻t504において、出力CNT00〜CNT22の値が計数結果C00〜C22となって撮像期間が終了し、不図示の遮光手段がAPD101への光の入射を遮断する。略同一のタイミングで制御信号LOAD_EN0がHになり、読み出し期間が開始され、出力CNT02の計数結果C02がORゲート素子601を介して出力データREAD_DATAとして出力される。   At time t504, the values of the outputs CNT00 to CNT22 become the count results C00 to C22 and the imaging period ends, and the light-shielding means (not shown) cuts off the incidence of light on the APD 101. At substantially the same timing, the control signal LOAD_EN0 becomes H, the reading period starts, and the count result C02 of the output CNT02 is output as output data READ_DATA via the OR gate element 601.

時刻t505は、時刻t504に対して不図示のクロックで1サイクル経過したタイミングであり、初期値データRESET_VALUEの値が出力CNT00に伝搬される。また、出力CNT00の値はCNT01へ伝搬され、出力CNT01の値はCNT02に伝搬される。このタイミングでは出力CNT02に伝搬した計数結果C01が出力データREAD_DATAとして出力される。   Time t505 is a timing at which one cycle has elapsed with a clock (not shown) with respect to time t504, and the value of the initial value data RESET_VALUE is propagated to the output CNT00. The value of the output CNT00 is propagated to CNT01, and the value of the output CNT01 is propagated to CNT02. At this timing, the count result C01 propagated to the output CNT02 is output as output data READ_DATA.

時刻t506において、制御信号LOAD_EN0はLとなり1行目の読み出し制御が完了する。また、初期値データRESET_VALUEの値が出力CNT02に伝搬され、初期化が完了する。略同一のタイミングでLOAD_EN1がHになり、2行目の読み出しが開始され、出力CNT12の計数結果C12がORゲート素子601を介して出力データREAD_DATAとして出力される。   At time t506, the control signal LOAD_EN0 becomes L, and the read control of the first row is completed. Further, the value of the initial value data RESET_VALUE is transmitted to the output CNT02, and the initialization is completed. At substantially the same timing, LOAD_EN1 becomes H, reading of the second row is started, and the count result C12 of the output CNT12 is output as output data READ_DATA via the OR gate element 601.

時刻t507は、時刻t506に対して不図示のクロックで1サイクル経過したタイミングであり、初期値データRESET_VALUEの値が出力CNT10に伝搬される。また、出力CNT10の値はCNT11へ伝搬され、出力CNT11の値はCNT12に伝搬される。このタイミングでは出力CNT12に伝搬した計数結果C11が出力データREAD_DATAとして出力される。   Time t507 is a timing at which one cycle has elapsed with a clock (not shown) with respect to time t506, and the value of the initial value data RESET_VALUE is propagated to the output CNT10. The value of the output CNT10 is propagated to the CNT11, and the value of the output CNT11 is propagated to the CNT12. At this timing, the count result C11 propagated to the output CNT12 is output as output data READ_DATA.

時刻t508において、時刻t506と同様に2行目の読み出し及び初期化の制御が完了する。また、時刻t506と同様にLOAD_EN2がHになって、3行目の読み出しが開始され、出力CNT22の計数結果C22がORゲート素子601を介して出力データREAD_DATAとして出力される。   At time t508, similarly to time t506, the control of reading and initialization of the second row is completed. Further, LOAD_EN2 becomes H similarly to the time t506, reading of the third row is started, and the count result C22 of the output CNT22 is output as output data READ_DATA via the OR gate element 601.

時刻t509において、LOAD_EN2がLになり、初期値データRESET_VALUEがCNT22に伝搬して全行の読み出しが完了するとともに、全行の初期化も完了する。   At time t509, LOAD_EN2 becomes L, the initial value data RESET_VALUE propagates to the CNT 22, reading of all rows is completed, and initialization of all rows is completed.

時刻t510以降は、時刻t503から時刻t510までの期間と同様に撮像期間と読み出し期間を繰り返す。   After time t510, the imaging period and the readout period are repeated as in the period from time t503 to time t510.

以上のように処理を行うことにより、一部の単位画素間でカウンタ同士を接続するように構成した場合においても、撮像素子から読み出しを行うための配線及び制御線を簡略化することが可能となり、撮像素子の製造コストを抑えることが可能となる。   By performing the processing as described above, even when the counters are connected between some of the unit pixels, it is possible to simplify wiring and control lines for reading from the image sensor. In addition, it is possible to reduce the manufacturing cost of the imaging device.

なお、本実施形態では奇数行と偶数行の行単位で複数の単位画素のカウンタ同士を接続する構成を取ったが、これに限定されるものではなく、例えば奇数列と偶数列のように列方向に複数の単位画素のカウンタ同士を接続する構成を取ってもよい。   In this embodiment, the counters of the plurality of unit pixels are connected to each other in units of odd-numbered rows and even-numbered rows. However, the present invention is not limited to this. For example, columns such as odd columns and even columns are used. A configuration may be adopted in which counters of a plurality of unit pixels are connected in the direction.

また、公知の技術であるマイクロレンズの下に射出瞳を2分割した副画素を配置するような技術においても適用することが可能である。例えば分割された左側の画素の計数結果を右側の画素の計数結果に伝搬するように構成してもよい。このように処理を行うことにより、読み出しスイッチを制御する制御線を削減することが可能となる。   Further, the present invention can be applied to a known technique of arranging sub-pixels obtained by dividing an exit pupil into two parts under a microlens. For example, the configuration may be such that the counting result of the divided left pixel is transmitted to the counting result of the right pixel. By performing such processing, it is possible to reduce the number of control lines for controlling the read switch.

また、CCDセンサのフィールド読み出しのように画素を一定間隔で間引いて読むようなモードを備える場合において、間引き読みの単位で複数の単位画素のカウンタ同士を接続するように構成してもよい。つまり、本発明は複数の単位画素のカウンタ同士を接続する構成を取る単位について何ら限定をあたえるものではない。   Further, in a case where a mode in which pixels are read out at regular intervals, such as a field readout of a CCD sensor, is provided, a counter of a plurality of unit pixels may be connected in units of thinning out reading. That is, the present invention does not impose any limitation on a unit having a configuration for connecting counters of a plurality of unit pixels.

また、第1の実施形態では3行目、2行目、1行目の順番で画素値を出力したのに対して、本実施形態では1行目、2行目、3行目の順番で画素値を出力した。本発明はこのような出力順序に限定されるものではなく、接続関係及び制御信号LOAD_ENの出力順番を異ならせることで任意の順番で出力を行うことが可能となる。また、制御信号LOAD_ENを複数持ち、制御手順で出力順序を決定してもよい。   In the first embodiment, the pixel values are output in the order of the third, second, and first rows, whereas in the present embodiment, the pixel values are output in the order of the first, second, and third rows. The pixel value was output. The present invention is not limited to such an output order, and the output can be performed in an arbitrary order by changing the connection relation and the output order of the control signal LOAD_EN. Further, a plurality of control signals LOAD_EN may be provided, and the output order may be determined by a control procedure.

<第3の実施形態>
第1及び第2の実施形態では、初期値データRESET_VALUEを一律な固定値の0とし、計数を開始する前にロードする方法について説明した。しかしながら、初期値は固定値とする必要はない。例えばあらかじめ各画素単位に初期値を個別に設定することにより、画素値のOBクランプ補正や画素ごとのリミッタ処理に活用することが可能となる。
<Third embodiment>
In the first and second embodiments, a method has been described in which the initial value data RESET_VALUE is set to a uniform fixed value of 0 and is loaded before counting is started. However, the initial value does not need to be a fixed value. For example, by setting an initial value individually for each pixel in advance, it becomes possible to utilize the OB clamp correction of the pixel value and the limiter processing for each pixel.

OBクランプ補正やリミッタ処理を撮像素子の中で行う場合には、補正値を保持するためのフリップフロップを個別に持つ必要があるが、本実施形態のようにカウンタの初期値に補正値を設定することにより、補正値保持用のフリップフロップが不要となる。第3の実施形態では、各画素別に単位画素100のフリップフロップ400に初期値を設定する方法について説明する。   When performing the OB clamp correction and the limiter processing in the image sensor, it is necessary to individually have a flip-flop for holding the correction value. However, as in the present embodiment, the correction value is set to the initial value of the counter. This eliminates the need for a flip-flop for holding the correction value. In the third embodiment, a method of setting an initial value in the flip-flop 400 of the unit pixel 100 for each pixel will be described.

図8は、第3の実施形態における撮像素子900の構成を示す図である。撮像素子900では、第1の実施形態で説明した撮像素子300に対して、初期化信号生成部901が加えられている。   FIG. 8 is a diagram illustrating a configuration of an image sensor 900 according to the third embodiment. In the image sensor 900, an initialization signal generator 901 is added to the image sensor 300 described in the first embodiment.

初期化信号生成部901は、内部に初期値のパターンを生成するパターン生成回路やSRAMに代表される記憶素子を有し、各画素単位の初期値を出力する回路である。初期化信号生成部901は、読み出し制御回路303から出力される制御信号LOAD_ENに応じて、単位画素100の初期値を切り替えながら出力する。   The initialization signal generation unit 901 includes a pattern generation circuit for generating a pattern of an initial value and a storage element typified by an SRAM, and outputs an initial value for each pixel. The initialization signal generation unit 901 switches and outputs the initial value of the unit pixel 100 according to the control signal LOAD_EN output from the read control circuit 303.

具体的な動作について図9を用いて説明する。図9は撮像素子900の動作を示すタイミングチャートである。   A specific operation will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a timing chart showing the operation of the image sensor 900.

時刻t800において、単位画素100のフリップフロップ400の値の初期化を開始し、制御信号LOAD_ENがHになる。このとき、出力CNT00〜CNT22の値はX(不定)である。また、不図示の遮光手段によってAPD101に光が入射しないように制御される。また、初期化信号生成部901は、出力CNT22用の補正値202を初期値データRESET_VALUEとして出力する。   At time t800, the initialization of the value of the flip-flop 400 of the unit pixel 100 starts, and the control signal LOAD_EN becomes H. At this time, the values of the outputs CNT00 to CNT22 are X (undefined). Further, the light is controlled so as not to enter the APD 101 by a light shielding unit (not shown). Further, the initialization signal generation unit 901 outputs the correction value 202 for the output CNT 22 as initial value data RESET_VALUE.

時刻t801において、初期値データRESET_VALUEの値が不図示のクロックに同期して出力CNT00にロードされると同時に、初期化信号生成部901は出力CNT21を補正するための補正値201を初期値データRESET_VALUEとして出力する。   At time t801, the value of the initial value data RESET_VALUE is loaded into the output CNT00 in synchronization with a clock (not shown), and at the same time, the initialization signal generation unit 901 sets the correction value 201 for correcting the output CNT21 to the initial value data RESET_VALUE. Output as

時刻t802において、出力CNT00の値が不図示のクロックに同期してCNT01にロードされると同時に、初期値データRESET_VALUEの値が出力CNT00にロードされる。また、初期化信号生成部901はCNT20を補正するための補正値200を初期値データRESET_VALUEとして出力する。   At time t802, the value of the output CNT00 is loaded on the CNT01 in synchronization with a clock (not shown), and at the same time, the value of the initial value data RESET_VALUE is loaded on the output CNT00. Further, the initialization signal generation unit 901 outputs a correction value 200 for correcting the CNT 20 as initial value data RESET_VALUE.

以降、時刻t803までの期間、初期化信号生成部901は、順次各単位画素100のカウンタ104の初期値を生成し、シフトレジスタ構成によって各カウンタ104のフリップフロップ400にロードする。   Thereafter, during a period until time t803, the initialization signal generation unit 901 sequentially generates an initial value of the counter 104 of each unit pixel 100 and loads the initial value into the flip-flop 400 of each counter 104 by a shift register configuration.

時刻t803において、制御信号LOAD_ENがLになり、さらに出力CNT22に補正値202がロードされると初期化が完了する。このとき、出力CNT00〜CNT22には補正値000〜202がロードされている。   At time t803, when the control signal LOAD_EN becomes L and the correction value 202 is loaded to the output CNT22, the initialization is completed. At this time, the correction values 000 to 202 are loaded on the outputs CNT00 to CNT22.

時刻t804において、不図示の遮光手段による遮光を終了する。そして、APD101に光が入射され、波形整形回路103の出力PLS00が立ち上がることで、略同一のタイミングで出力CNT00は初期値に対して1を加算した値に変化する。
出力CNT00の値は、時刻t805までの撮像期間の間、APD101に光子が1個入射するごとに1ずつ増加する。出力CNT01からCNT22においても対応する画素のAPD101の変化によって同様の処理が行われる。
At time t804, the light shielding by the light shielding means (not shown) ends. Then, when light is incident on the APD 101 and the output PLS00 of the waveform shaping circuit 103 rises, the output CNT00 changes to a value obtained by adding 1 to the initial value at substantially the same timing.
The value of the output CNT00 increases by one each time one photon enters the APD 101 during the imaging period until time t805. The same processing is performed in the outputs CNT01 to CNT22 by changing the APD 101 of the corresponding pixel.

時刻t805において、出力CNT00〜CNT22の値が計数結果C00〜C22となって撮像期間が終了し、不図示の遮光手段がAPD101への光の入射を遮断する。略同一のタイミングで制御信号LOAD_ENがHとなって、読み出し期間が開始され、出力CNT22の計数結果C22が出力データREAD_DATAとして撮像素子900から出力される。   At time t805, the values of the outputs CNT00 to CNT22 become the count results C00 to C22, and the imaging period ends, and the light-shielding means (not shown) blocks light from entering the APD 101. At substantially the same timing, the control signal LOAD_EN becomes H, the reading period is started, and the counting result C22 of the output CNT22 is output from the imaging device 900 as output data READ_DATA.

このとき、計数結果C00からC22は、初期化信号生成部901により生成された初期値に対して波形生成部103の出力PLSを計数した結果を加算した値である。つまり、初期値にOBクランプを行うためのオフセット値の反転信号を設定することで、撮像素子900の出力に対するOBクランプ補正を行う回路を設ける必要がなくなる。   At this time, the count results C00 to C22 are values obtained by adding the result of counting the output PLS of the waveform generation unit 103 to the initial value generated by the initialization signal generation unit 901. That is, by setting the inverted value of the offset value for performing the OB clamp to the initial value, it is not necessary to provide a circuit for performing the OB clamp correction on the output of the image sensor 900.

時刻t806は、時刻t805に対して不図示のクロックで1サイクル経過したタイミングであり、初期値データRESET_VALUEの値が出力CNT00に伝搬される。この初期値データRESET_VALUEの値は、時刻t801の説明と同様に初期化信号生成部901の出力に基づいて生成される。   Time t806 is a timing at which one cycle has elapsed with a clock (not shown) from time t805, and the value of the initial value data RESET_VALUE is propagated to the output CNT00. The value of the initial value data RESET_VALUE is generated based on the output of the initialization signal generation unit 901 as in the description of the time t801.

また、出力CNT00の値はCNT01へ伝搬され、出力CNT01〜CNT21の値も同様に出力CNT02〜CNT22まで同様に伝搬される。このタイミングでは、出力CNT22に伝搬した計数結果C21が出力データREAD_DATAとして撮像素子900から出力される。   The value of the output CNT00 is propagated to CNT01, and the values of the outputs CNT01 to CNT21 are similarly propagated to the outputs CNT02 to CNT22. At this timing, the counting result C21 propagated to the output CNT22 is output from the image sensor 900 as output data READ_DATA.

以降、時刻t807、t808、t809では、時刻t206、t207、t208と同様の処理が行われる。   Thereafter, at times t807, t808, and t809, the same processing as at times t206, t207, and t208 is performed.

以上説明したように、カウンタが有するフリップフロップの初期値を任意に設定することにより、補正値を保持するためのフリップフロップを個別に持つ必要がなくなり、回路規模を削減することが可能となる。   As described above, by arbitrarily setting the initial value of the flip-flop included in the counter, it is not necessary to separately provide a flip-flop for holding the correction value, and the circuit scale can be reduced.

なお、本実施形態ではOBクランプ補正について説明したが、他の用途に用いてもよい。例えば水平像高別にリミッタ値を変更したい場合に、各画素の出力にリミッタを設けるためには、リミッタの閾値設定用フリップフロップ、比較用のコンパレータ及び出力制御用セレクタが必要となる。   Although the OB clamp correction has been described in the present embodiment, it may be used for other purposes. For example, when it is desired to change the limiter value for each horizontal image height, in order to provide a limiter for the output of each pixel, a threshold setting flip-flop of the limiter, a comparator for comparison, and a selector for output control are required.

一方、初期値に閾値の符号反転信号を予め設定することにより、計数結果が0以上となった際に0を出力するように構成すればよい。一般的に可変リミッタに比べ、0と比較するリミッタは回路規模を小さく構成することが可能である。このような場合は、出力結果に対してフリップフロップに設定した像高別の初期値を加算することにより本来の計数結果を復元することが可能となる。   On the other hand, by setting the sign inversion signal of the threshold value in advance as the initial value, it may be configured to output 0 when the counting result becomes 0 or more. Generally, compared to the variable limiter, the limiter to be compared with 0 can be configured to have a smaller circuit scale. In such a case, the original count result can be restored by adding the initial value for each image height set in the flip-flop to the output result.

(その他の実施形態)
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
(Other embodiments)
The present invention supplies a program for realizing one or more functions of the above-described embodiments to a system or an apparatus via a network or a storage medium, and one or more processors in a computer of the system or the apparatus read and execute the program. This processing can be realized. Further, it can also be realized by a circuit (for example, an ASIC) that realizes one or more functions.

100:単位画素、101:アバランシェフォトダイオード(APD)、102:クエンチ抵抗、103:波形整形回路、104:カウンタ、300:撮像素子 100: unit pixel, 101: avalanche photodiode (APD), 102: quench resistor, 103: waveform shaping circuit, 104: counter, 300: image sensor

Claims (13)

光を受光する受光部と、該受光部に入射した光子の数を計数する計数手段と、をそれぞれ有する複数の画素を備え、
前記複数の画素の少なくとも一部の画素について、該少なくとも一部の画素のそれぞれが有する前記計数手段同士を接続したことを特徴とする撮像素子。
A light receiving unit that receives light, and a counting unit that counts the number of photons incident on the light receiving unit, including a plurality of pixels each having,
An image sensor, wherein the counting means of each of the at least some pixels is connected to at least some of the plurality of pixels.
前記計数手段は、前記受光部が光子の入射に伴って発生する電荷に基づいてパルスを発生する発生手段と、該発生手段が発生したパルスを計数するカウンタとを有することを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。   The said counting means has the generation means which the said light-receiving part generates a pulse based on the electric charge which generate | occur | produces with the incidence of a photon, and the counter which counts the pulse which the said generation means generated, The characterized by the above-mentioned. 2. The imaging device according to 1. 前記計数手段は、前記画素からの信号の読み出し制御、もしくは前記画素のリセット制御において、シフトレジスタ動作を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の撮像素子。   The imaging device according to claim 1, wherein the counting unit performs a shift register operation in control of reading a signal from the pixel or reset control of the pixel. 前記画素の信号の初期値を生成する初期化信号生成手段をさらに有し、該初期化信号生成手段は、複数の計数手段のうちの最初の計数手段に接続されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の撮像素子。   The apparatus further comprises initialization signal generation means for generating an initial value of the pixel signal, wherein the initialization signal generation means is connected to a first counting means of the plurality of counting means. Item 4. The image sensor according to any one of Items 1 to 3. 前記初期化信号生成手段は、一律の固定値を出力することを特徴とする請求項4に記載の撮像素子。   The imaging device according to claim 4, wherein the initialization signal generation unit outputs a uniform fixed value. 前記初期化信号生成手段は、画素ごとに個別の値を出力することを特徴とする請求項4に記載の撮像素子。   The imaging device according to claim 4, wherein the initialization signal generation unit outputs an individual value for each pixel. 前記撮像素子の偶数行の画素に対応する計数手段同士が接続され、奇数行の画素に対応する計数手段同士が接続されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の撮像素子。   The counting means corresponding to the pixels in the even-numbered rows of the imaging device are connected to each other, and the counting means corresponding to the pixels in the odd-numbered rows are connected to each other. Imaging device. 前記撮像素子の偶数列の画素に対応する計数手段同士が接続され、奇数列の画素に対応する計数手段同士が接続されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の撮像素子。   The counting means corresponding to the pixels in the even-numbered columns of the imaging device are connected to each other, and the counting means corresponding to the pixels in the odd-numbered columns are connected to each other. Imaging device. 前記受光部は、1つのマイクロレンズの下に射出瞳を分割する少なくとも2つの副画素を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の撮像素子。   The imaging device according to claim 1, wherein the light receiving unit has at least two sub-pixels that divide an exit pupil below one microlens. 前記複数の画素のうちの間引いて読み出される画素に対応したそれぞれの計数手段同士が接続されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の撮像素子。   The imaging device according to claim 1, wherein each of the counting units corresponding to the pixels read out by thinning out of the plurality of pixels is connected to each other. 光を受光する受光部と、該受光部に入射した光子の数を計数する計数手段と、をそれぞれ有する複数の画素を備える撮像素子を制御する方法であって、
前記複数の画素の少なくとも一部の画素のそれぞれが有する前記計数手段を用いて、前記画素の信号を、複数の前記計数手段の間で転送することを特徴とする撮像素子の制御方法。
A light receiving unit that receives light, and a counting unit that counts the number of photons incident on the light receiving unit, a method of controlling an imaging device including a plurality of pixels each having:
A method for controlling an image sensor, wherein a signal of the pixel is transferred between the plurality of counting units by using the counting unit included in at least a part of the plurality of pixels.
請求項11に記載の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。   A program for causing a computer to execute the control method according to claim 11. 請求項11に記載の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記憶したコンピュータが読み取り可能な記憶媒体。   A computer-readable storage medium storing a program for causing a computer to execute the control method according to claim 11.
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