JP2020016599A - Physical quantity sensor, electronic apparatus, and movable body - Google Patents

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翔太 木暮
Shota Kogure
翔太 木暮
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Abstract

To provide a physical quantity sensor with high accuracy that reduces an influence of external stress.SOLUTION: An acceleration sensor 100 comprises, when two directions orthogonal to each other are an X-axis direction and a Y-axis direction, a rectangular substrate 2 that has long sides 2n and short sides 2s parallel to the X-axis direction, and an element part 1 that detects physical quantity. The element part 1 includes a first stationary electrode part 11, a first stationary electrode part support part 12, a first movable part 15 displaceable in the X-axis direction, a first movable electrode part 17, a first movable part support part 16, a second stationary electrode part 21, a second stationary electrode part support part 22, a second movable part 25 displaceable in the Y-axis direction, a second movable electrode part 27, and a second movable part support part 26. A first stationary part 41 of the first movable part support part 16, a second stationary part 42 of the first stationary electrode part support part 12, a third stationary part 43 of the second movable part support part 26, and a fourth stationary part 44 of the second stationary electrode part support part 22, which are individually fixed to the substrate 2, are arranged along the X-axis direction.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、物理量センサー、電子機器、および移動体に関する。   The present invention relates to a physical quantity sensor, an electronic device, and a moving object.

近年、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を用いて製造された物理量センサーが開発されている。このような物理量センサーとして、例えば特許文献１には、長方形の基板に、櫛歯状をなして対向配置されている可動電極および固定電極を備える２つの物理量検出素子を、可動電極の変位方向が互いに直交するように、長辺方向に沿って並べて配置し、可動電極に物理量が加わることにより、可動電極と固定電極との間隔が変わり、これらの二つの電極間の静電容量に基づいて、異なる２軸の物理量を検出する物理量センサーが記載されている。   BACKGROUND ART In recent years, physical quantity sensors manufactured using MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technology have been developed. As such a physical quantity sensor, for example, Patent Literature 1 discloses two physical quantity detection elements each including a movable electrode and a fixed electrode that are arranged in a comb-like shape and opposed to each other on a rectangular substrate. To be orthogonal to each other, they are arranged side by side along the long side direction, and by adding a physical quantity to the movable electrode, the distance between the movable electrode and the fixed electrode changes, and based on the capacitance between these two electrodes, A physical quantity sensor that detects physical quantities of two different axes is described.

特開２０１６−５７１３６号公報JP-A-2006-57136

しかしながら、特許文献１に記載された物理量センサーは、長方形の基板に同一構造の２つの物理量検出素子が長辺方向に沿って配置されている。そのため、物理量センサーを実装した際の基板への応力や温度変化に伴う基板の反りなどの外部応力の影響は、基板の長辺方向と短辺方向とで異なるので、基板に固定する固定部を介して、２つの物理量検出素子に加わる外部応力の影響に違いが生じる。従って、２つの物理量検出素子の外部応力の影響による誤差に違いが生じ、物理量センサーに加わる異なる２軸の物理量において、それぞれの検出精度がばらついてしまうという課題があった。   However, in the physical quantity sensor described in Patent Literature 1, two physical quantity detection elements having the same structure are arranged along a long side direction on a rectangular substrate. Therefore, the effects of external stresses such as stress on the board when mounting the physical quantity sensor and warping of the board due to temperature changes differ between the long side direction and the short side direction of the board. This causes a difference in the influence of the external stress applied to the two physical quantity detection elements. Therefore, there is a problem in that an error occurs due to the influence of the external stress of the two physical quantity detection elements, and the detection accuracy varies in different two-axis physical quantities applied to the physical quantity sensor.

本願の物理量センサーは、互に直交する２つの方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向としたとき、長辺と前記Ｘ軸方向と平行な短辺とを有する矩形の基板と、前記基板に設けられ、物理量を検出する素子部と、を有し、前記素子部は、第１固定電極部と、前記基板に対して平行な前記Ｘ軸方向に変位可能な第１可動部と、前記第１可動部に設けられている第１可動電極部と、前記第１可動部を支持している第１可動部支持部と、前記第１固定電極部を支持している第１固定電極部支持部と、第２固定電極部と、前記基板に対して前記Ｙ軸方向に変位可能な第２可動部と、前記第２可動部に設けられている第２可動電極部と、前記第２可動部を支持している第２可動部支持部と、前記第２固定電極部を支持している第２固定電極部支持部と、を有し、前記第１可動部支持部を前記基板に固定している第１固定部と前記第１固定電極部支持部を前記基板に固定している第２固定部とは、前記Ｘ軸方向に沿って配置され、前記第２可動部支持部を前記基板に固定している第３固定部と前記第２固定電極部支持部を前記基板に固定している第４固定部とは、前記Ｘ軸方向に沿って配置されていることを特徴とする。   The physical quantity sensor according to the present application is provided on a rectangular substrate having a long side and a short side parallel to the X-axis direction, when two directions orthogonal to each other are defined as an X-axis direction and a Y-axis direction. An element unit for detecting a physical quantity, wherein the element unit includes a first fixed electrode unit, a first movable unit displaceable in the X-axis direction parallel to the substrate, and the first movable unit. A first movable electrode section provided in the section, a first movable section support section supporting the first movable section, and a first fixed electrode section support section supporting the first fixed electrode section; A second fixed electrode portion, a second movable portion displaceable in the Y-axis direction with respect to the substrate, a second movable electrode portion provided on the second movable portion, and the second movable portion. A second movable electrode supporting portion that supports the second fixed electrode portion, and a second fixed electrode portion supporting portion that supports the second fixed electrode portion. (1) A first fixed portion fixing the movable portion support portion to the substrate and a second fixed portion fixing the first fixed electrode portion support portion to the substrate are arranged along the X-axis direction. A third fixed portion fixing the second movable portion support portion to the substrate and a fourth fixed portion fixing the second fixed electrode portion support portion to the substrate along the X-axis direction. It is characterized by being arranged.

上述の物理量センサーにおいて、前記第１固定電極部は、第１幹部と、前記第１幹部から前記Ｙ軸方向に延出している複数の第１固定電極指と、を有し、前記第２固定電極部は、第２幹部と、前記第２幹部から前記Ｘ軸方向に延出している複数の第２固定電極指と、を有し、前記第１可動電極部は、前記第１固定電極指と前記Ｘ軸方向に対向する複数の第１可動電極指を有し、前記第２可動電極部は、前記第２固定電極指と前記Ｙ軸方向に対向する複数の第２可動電極指を有していることが好ましい。   In the above-described physical quantity sensor, the first fixed electrode unit includes a first stem and a plurality of first fixed electrode fingers extending in the Y-axis direction from the first stem, and The electrode unit includes a second stem and a plurality of second fixed electrode fingers extending in the X-axis direction from the second stem, and the first movable electrode unit includes the first fixed electrode finger. And a plurality of first movable electrode fingers facing in the X-axis direction, and the second movable electrode unit has a plurality of second movable electrode fingers facing the second fixed electrode finger in the Y-axis direction. Is preferred.

上述の物理量センサーにおいて、前記第１幹部の長さは、前記第２幹部の長さと等しいことが好ましい。   In the above-described physical quantity sensor, it is preferable that the length of the first trunk is equal to the length of the second trunk.

上述の物理量センサーにおいて、前記第２幹部の長さは、前記第１幹部の長さより長く、前記第１可動電極指の長さは、前記第２可動電極指の長さより長いことが好ましい。   In the physical quantity sensor described above, it is preferable that the length of the second stem is longer than the length of the first stem, and the length of the first movable electrode finger is longer than the length of the second movable electrode finger.

上述の物理量センサーにおいて、前記素子部は、前記物理量に応じて支持軸まわりに変位可能であり、開口部が設けられている第３可動部と、前記第３可動部に設けられている第３可動電極部と、前記基板に固定され、前記開口部に位置している支持部と、前記基板の前記第３可動電極部に対向する位置に設けられている第３固定電極部と、を有し、前記第３固定電極部は、長辺と短辺とを有する矩形であり、前記第３固定電極部の前記長辺は、前記Ｙ軸方向と平行であることが好ましい。   In the above-described physical quantity sensor, the element section is displaceable around a support shaft according to the physical quantity, and a third movable section provided with an opening, and a third movable section provided in the third movable section. A movable electrode portion, a support portion fixed to the substrate and located at the opening, and a third fixed electrode portion provided at a position of the substrate facing the third movable electrode portion. Preferably, the third fixed electrode section is a rectangle having a long side and a short side, and the long side of the third fixed electrode section is parallel to the Y-axis direction.

上述の物理量センサーにおいて、前記第１可動部、前記第２可動部、および前記第３可動部は、前記Ｙ軸方向に沿って配置されていることが好ましい。   In the above-described physical quantity sensor, it is preferable that the first movable section, the second movable section, and the third movable section are arranged along the Y-axis direction.

本願の電子機器は、上記に記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする。   According to another aspect of the invention, there is provided an electronic apparatus including: the physical quantity sensor described above; and a control unit that performs control based on a detection signal output from the physical quantity sensor.

本願の移動体は、上記に記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする。   A moving object according to the present application includes the physical quantity sensor described above, and a control unit that performs control based on a detection signal output from the physical quantity sensor.

第１実施形態に係る物理量センサーの概略構造を示す平面図。FIG. 2 is a plan view showing a schematic structure of the physical quantity sensor according to the first embodiment. 図１中のＡ−Ａ線における断面図。Sectional drawing in the AA line in FIG. 第２実施形態に係る物理量センサーの概略構造を示す平面図。FIG. 6 is a plan view showing a schematic structure of a physical quantity sensor according to a second embodiment. 第３実施形態に係る物理量センサーの概略構造を示す平面図。The top view showing the schematic structure of the physical quantity sensor concerning a 3rd embodiment. 図４中のＢ−Ｂ線における断面図。Sectional drawing in the BB line | wire in FIG. 第４実施形態に係る物理量センサーの概略構造を示す平面図。The top view showing the schematic structure of the physical quantity sensor concerning a 4th embodiment. 図６中のＣ−Ｃ線における断面図。Sectional drawing in CC line | wire in FIG. 電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を模式的に示す斜視図。FIG. 13 is a perspective view schematically showing a configuration of a mobile personal computer which is an example of an electronic apparatus. 電子機器の一例であるスマートフォン（携帯電話機）の構成を模式的に示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view schematically illustrating a configuration of a smartphone (mobile phone) as an example of an electronic apparatus. 電子機器の一例であるディジタルスチールカメラの構成を示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view illustrating a configuration of a digital still camera which is an example of an electronic apparatus. 移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of an automobile as an example of a moving object.

以下、本発明の物理量センサー、電子機器、および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。なお、以下で説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、本実施形態で説明される構成の全てが、本発明の必須構成要件であるとは限らない。   Hereinafter, a physical quantity sensor, an electronic device, and a moving object of the present invention will be described in detail based on embodiments shown in the accompanying drawings. The present embodiment described below does not unduly limit the content of the present invention described in the claims. Also, not all of the configurations described in the present embodiment are necessarily essential components of the invention.

［物理量センサー］
＜第１実施形態＞
先ず、第１実施形態に係る物理量センサーについて、物理量としての加速度を測定する加速度センサー１００を一例として挙げ、図１および図２を参照して説明する。
図１は、第１実施形態に係る物理量センサーの概略構造を示す平面図である。図２は、図１中のＡ−Ａ線における断面図である。なお、図１において、加速度センサー１００の内部の構成を説明する便宜上、蓋体３を取り外した状態を図示している。また、図１および図２において、基板２の上面２ｆに設けられている配線や端子部２ｗに設けられている端子は、省略している。 [Physical quantity sensor]
<First embodiment>
First, the physical quantity sensor according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2 by taking an acceleration sensor 100 that measures acceleration as a physical quantity as an example.
FIG. 1 is a plan view showing a schematic structure of the physical quantity sensor according to the first embodiment. FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG. FIG. 1 illustrates a state in which the lid 3 is removed for convenience of describing the internal configuration of the acceleration sensor 100. 1 and 2, the wiring provided on the upper surface 2f of the substrate 2 and the terminals provided on the terminal portion 2w are omitted.

また、説明の便宜上、各図には互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」とも言う。また、Ｚ軸方向は、鉛直方向に沿い、ＸＹ平面は、水平面に沿っている。また、各軸方向の矢印先端側を「プラス（＋）側」、基端側を「マイナス（−）側」とも言う。また、Ｚ軸方向プラス側を「上」、Ｚ軸方向マイナス側を「下」とも言う。なお、本実形態において、前記「平行」とは、完全に平行であることの他、製造上生じ得る誤差等を加味して、（例えば、５°以内程度）ずれている場合も含まれる意味である。なお、前記「直交」とは、完全に直交であることの他、製造上生じ得る誤差等を加味して、（例えば、５°以内程度）ずれている場合も含まれる意味である。   Further, for convenience of description, each drawing shows an X axis, a Y axis, and a Z axis as three axes orthogonal to each other. A direction parallel to the X axis is also referred to as an “X axis direction”, a direction parallel to the Y axis is referred to as a “Y axis direction”, and a direction parallel to the Z axis is referred to as a “Z axis direction”. Further, the Z-axis direction is along the vertical direction, and the XY plane is along the horizontal plane. Further, the leading end side of the arrow in each axial direction is also referred to as “plus (+) side” and the base end side is referred to as “minus (−) side”. The plus side in the Z-axis direction is also referred to as “up”, and the minus side in the Z-axis direction is also referred to as “down”. In the present embodiment, the term “parallel” means that, in addition to being completely parallel, there is a case where the position is shifted (for example, within about 5 °) in consideration of an error or the like that may occur in manufacturing. It is. In addition, the term “orthogonal” means that, in addition to being completely orthogonal, a case where there is a deviation (for example, within about 5 °) in consideration of an error or the like that may occur in manufacturing.

図１および図２に示す加速度センサー１００は、素子部１にＸ軸方向の加速度を測定する第１機能素子１０１およびＹ軸方向の加速度を測定する第２機能素子１０２を有するため、２軸の加速度を測定することができる。このような加速度センサー１００は、基板２と、蓋体３と、基板２と蓋体３とで構成された内部空間Ｓに収容された素子部１と、を有する。以下、これらについて順に説明する。   The acceleration sensor 100 shown in FIG. 1 and FIG. 2 has a first functional element 101 for measuring acceleration in the X-axis direction and a second functional element 102 for measuring acceleration in the Y-axis direction in the element section 1, so that the two-axis Acceleration can be measured. Such an acceleration sensor 100 includes a substrate 2, a lid 3, and an element unit 1 housed in an internal space S formed by the substrate 2 and the lid 3. Hereinafter, these will be described in order.

≪基板≫
基板２は、長辺２ｎと短辺２ｓとを有する矩形であり、長辺２ｎに沿って、素子部１である２つの機能素子１０１，１０２が配置されている。基板２の短辺２ｓは、素子部１の第１可動部１５が基板２に対して変位可能なＸ軸方向に沿っており、基板２の長辺２ｎは、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に沿っている。
基板２には、上面２ｆ側に開口する２つの凹部１０，２０が形成されている。凹部１０は、第１機能素子１０１が可動するための逃げ部として機能し、凹部２０は、第２機能素子１０２が可動するための逃げ部として機能する。
また、基板２には、上面２ｆの蓋体３と重ならない領域である端子部２ｗに複数の端子（図示せず）が形成されており、外部機器との電気的な接続が可能となっている。なお、端子部２ｗに形成された端子は、基板２の上面２ｆに形成された配線（図示せず）によって、素子部１の機能素子１０１，１０２とそれぞれ電気的に接続されている。このような基板２は、例えば、ガラス基板で構成され、エッチング等によってその外形が形成されている。ただし、基板２としては、ガラス基板に限定されず、例えば、シリコン基板等を用いてもよい。 ≪Substrate≫
The substrate 2 is a rectangle having a long side 2n and a short side 2s, and two functional elements 101 and 102 as the element section 1 are arranged along the long side 2n. The short side 2s of the substrate 2 is along the X-axis direction in which the first movable portion 15 of the element unit 1 can be displaced with respect to the substrate 2, and the long side 2n of the substrate 2 is a Y-axis orthogonal to the X-axis direction. Along the direction.
The substrate 2 is formed with two concave portions 10 and 20 that are open on the upper surface 2f side. The recess 10 functions as a relief for the first functional element 101 to move, and the recess 20 functions as a relief for the second functional element 102 to move.
In the substrate 2, a plurality of terminals (not shown) are formed in a terminal portion 2w which is a region of the upper surface 2f which does not overlap with the lid 3, so that electrical connection with an external device becomes possible. I have. The terminals formed on the terminal portion 2w are electrically connected to the functional elements 101 and 102 of the element portion 1 by wires (not shown) formed on the upper surface 2f of the substrate 2. Such a substrate 2 is formed of, for example, a glass substrate, and its outer shape is formed by etching or the like. However, the substrate 2 is not limited to a glass substrate, and for example, a silicon substrate or the like may be used.

≪素子部≫
素子部１は、２つの機能素子１０１，１０２を有して、基板２の上面２ｆに配置されている。
第１機能素子１０１は、第１固定電極部１１と、第１固定電極部１１を支持し、基板２に固定されている第１固定電極部支持部１２と、Ｘ軸方向に変位可能な第１可動部１５と、第１可動部１５に設けられている第１可動電極部１７と、第１可動電極部１７を支持し、基板２に固定されている第１可動部支持部１６と、を有している。 ≪Element part≫
The element section 1 has two functional elements 101 and 102 and is arranged on the upper surface 2f of the substrate 2.
The first functional element 101 includes a first fixed electrode unit 11, a first fixed electrode unit support unit 12 that supports the first fixed electrode unit 11 and is fixed to the substrate 2, and a first fixed electrode unit 11 that is displaceable in the X-axis direction. A first movable portion 15, a first movable electrode portion 17 provided on the first movable portion 15, a first movable portion support portion 16 supporting the first movable electrode portion 17 and fixed to the substrate 2, have.

第１固定電極部１１は、Ｘ軸方向を長辺とする矩形の第１幹部１３と、第１幹部１３から第１可動部１５側に延出する複数の第１固定電極指１４と、を備えて構成されている。なお、本実施形態では、第１可動部１５を挟み、Ｘ軸の両側に２つの第１固定電極部１１が配置されている。   The first fixed electrode unit 11 includes a first stem 13 having a rectangular shape having a long side in the X-axis direction, and a plurality of first fixed electrode fingers 14 extending from the first stem 13 toward the first movable unit 15. It is provided with. In the present embodiment, two first fixed electrode units 11 are arranged on both sides of the X axis with the first movable unit 15 interposed therebetween.

第１固定電極部支持部１２は、第１固定電極部１１の第１幹部１３と連結し、第１幹部１３が連結された側とは反対側の端部に設けられた第２固定部４２で、基板２に固定されている。また、第１可動部１５の＋Ｙ軸方向に配置された第１固定電極部１１を支持する第１固定電極部支持部１２の第２固定部４２と、第１可動部１５の−Ｙ軸方向に配置された第１固定電極部１１を支持する第１固定電極部支持部１２の第２固定部４２とは、Ｘ軸方向に沿って配置されている。   The first fixed electrode portion support portion 12 is connected to the first stem portion 13 of the first fixed electrode portion 11, and the second fixed portion 42 provided at the end opposite to the side to which the first stem portion 13 is connected. And is fixed to the substrate 2. Further, the second fixed portion 42 of the first fixed electrode portion support portion 12 that supports the first fixed electrode portion 11 disposed in the + Y axis direction of the first movable portion 15 and the −Y axis direction of the first movable portion 15 And the second fixed portion 42 of the first fixed electrode portion support portion 12 that supports the first fixed electrode portion 11 arranged in the X-axis direction.

第１可動部１５は、Ｘ軸方向を長辺とする矩形の第１可動電極部１７と、第１可動電極部１７から第１固定電極部１１側に延出し、第１固定電極指１４に対して間隔を隔てて噛み合う櫛歯状をなすように並んで配置されている複数の第１可動電極指１８と、を備えて構成されている。なお、本実施形態では、第１可動電極部１７は、２つの第１固定電極部１１が第１可動部１５を挟み配置されているので、＋Ｙ軸方向に延出する第１可動電極指１８と−Ｙ軸方向に延出する第１固定電極指１４とが間隔を隔てて対向して配置されており、−Ｙ軸方向に延出する第１可動電極指１８と＋Ｙ軸方向に延出する第１固定電極指１４とが間隔を隔てて対向して配置されている。   The first movable portion 15 has a rectangular first movable electrode portion 17 having a long side in the X-axis direction, and extends from the first movable electrode portion 17 toward the first fixed electrode portion 11, and is provided on the first fixed electrode finger 14. And a plurality of first movable electrode fingers 18 arranged side by side so as to form a comb-like shape that meshes with an interval. In the present embodiment, the first movable electrode portion 17 has the first movable electrode finger 18 extending in the + Y-axis direction because the two first fixed electrode portions 11 are disposed so as to sandwich the first movable portion 15. And a first fixed electrode finger 14 extending in the −Y-axis direction are arranged facing each other with a space therebetween, and a first movable electrode finger 18 extending in the −Y-axis direction and extending in the + Y-axis direction. The first fixed electrode finger 14 is disposed to face with an interval.

また、第１可動部１５は、第１可動部１５の＋Ｘ軸方向の端部で、第１可動部１５をＸ軸方向に変位可能とする弾性部５１と連結し、弾性部５１の第１可動部１５と反対側で、第１可動部支持部１６に連結している。そのため、第１可動部１５は、弾性部５１を介して第１可動部支持部１６と一体化している。   Further, the first movable portion 15 is connected to an elastic portion 51 that allows the first movable portion 15 to be displaceable in the X-axis direction at an end of the first movable portion 15 in the + X-axis direction. On the side opposite to the movable section 15, it is connected to a first movable section support section 16. Therefore, the first movable section 15 is integrated with the first movable section support section 16 via the elastic section 51.

第１可動部支持部１６は、弾性部５１が連結された側とは反対側の端部に設けられた第１固定部４１で、基板２に固定されている。また、第１固定部４１は、Ｘ軸方向に沿って配置され、２つの第２固定部４２と並んで配置されている。   The first movable portion support portion 16 is fixed to the substrate 2 by a first fixed portion 41 provided at an end opposite to the side to which the elastic portion 51 is connected. Further, the first fixing portions 41 are arranged along the X-axis direction, and are arranged alongside the two second fixing portions 42.

第２機能素子１０２は、第２固定電極部２１と、第２固定電極部２１を支持し、基板２に固定されている第２固定電極部支持部２２と、Ｙ軸方向に変位可能な第２可動部２５と、第２可動部２５に設けられている第２可動電極部２７と、第２可動電極部２７を支持し、基板２に固定されている第２可動部支持部２６と、を有している。   The second functional element 102 supports the second fixed electrode unit 21, the second fixed electrode unit support unit 22 that supports the second fixed electrode unit 21 and is fixed to the substrate 2, and the second fixed electrode unit 21 that is displaceable in the Y-axis direction. 2 movable part 25, a second movable electrode part 27 provided in the second movable part 25, a second movable part support part 26 supporting the second movable electrode part 27 and fixed to the substrate 2, have.

第２固定電極部２１は、Ｙ軸方向を長辺とする矩形の第２幹部２３と、第２幹部２３から第２可動部２５側に延出する複数の第２固定電極指２４と、を備えて構成されている。なお、本実施形態では、第２可動部２５を挟み、Ｙ軸の両側に２つの第２固定電極部２１が配置されている。   The second fixed electrode section 21 includes a rectangular second stem 23 having a long side in the Y-axis direction, and a plurality of second fixed electrode fingers 24 extending from the second stem 23 to the second movable section 25. It is provided with. In the present embodiment, two second fixed electrode portions 21 are arranged on both sides of the Y axis with the second movable portion 25 interposed therebetween.

なお、第２幹部２３のＹ軸方向の長さＬ２は、第１機能素子１０１の第１幹部１３のＸ軸方向の長さＬ１と等しい。第１幹部１３のＸ軸方向の長さＬ１と第２幹部２３のＹ軸方向の長さＬ２とを等しくすることで、第１幹部１３から延出する第１固定電極指１４の本数と第２幹部２３から延出する第２固定電極指２４の本数とを同じにすることができる。そのため、第１固定電極指１４と第１可動電極指１８との間の静電容量の総量と第２固定電極指２４と第２可動電極指２８との間の静電容量の総量とを等しくすることができ、Ｘ軸方向に加わる加速度の検出感度とＹ軸方向に加わる加速度の検出感度とを同等にすることができる。   The length L2 of the second trunk 23 in the Y-axis direction is equal to the length L1 of the first trunk 13 of the first functional element 101 in the X-axis direction. By making the length L1 of the first stem 13 in the X-axis direction equal to the length L2 of the second stem 23 in the Y-axis direction, the number of first fixed electrode fingers 14 extending from the first stem 13 and the The number of the second fixed electrode fingers 24 extending from the two stems 23 can be the same. Therefore, the total amount of capacitance between the first fixed electrode finger 14 and the first movable electrode finger 18 is equal to the total amount of capacitance between the second fixed electrode finger 24 and the second movable electrode finger 28. The detection sensitivity of the acceleration applied in the X-axis direction can be made equal to the detection sensitivity of the acceleration applied in the Y-axis direction.

第２固定電極部支持部２２は、第２固定電極部２１の第２幹部２３と連結し、第２幹部２３が連結された側とは反対側の端部に設けられた第４固定部４４で、基板２に固定されている。また、第２可動部２５の＋Ｘ軸方向に配置された第２固定電極部２１を支持する第２固定電極部支持部２２の第４固定部４４と、第２可動部２５の−Ｘ軸方向に配置された第２固定電極部２１を支持する第２固定電極部支持部２２の第４固定部４４とは、Ｘ軸方向に沿って配置されている。   The second fixed electrode part support part 22 is connected to the second stem part 23 of the second fixed electrode part 21, and the fourth fixed part 44 provided at the end opposite to the side to which the second stem part 23 is connected. And is fixed to the substrate 2. Further, the fourth fixed portion 44 of the second fixed electrode portion support portion 22 that supports the second fixed electrode portion 21 arranged in the + X axis direction of the second movable portion 25, and the −X axis direction of the second movable portion 25 And the fourth fixed portion 44 of the second fixed electrode portion support portion 22 that supports the second fixed electrode portion 21 arranged in the X-axis direction.

第２可動部２５は、Ｙ軸方向を長辺とする矩形の第２可動電極部２７と、第２可動電極部２７から第２固定電極部２１側に延出し、第２固定電極指２４に対して間隔を隔てて噛み合う櫛歯状をなすように並んで配置されている複数の第２可動電極指２８と、を備えて構成されている。なお、本実施形態では、第２可動電極部２７は、２つの第２固定電極部２１が第２可動部２５を挟み配置されているので、＋Ｘ軸方向に延出する第２可動電極指２８と−Ｘ軸方向に延出する第２固定電極指２４とが間隔を隔てて対向して配置されており、−Ｘ軸方向に延出する第２可動電極指２８と＋Ｘ軸方向に延出する第２固定電極指２４とが間隔を隔てて対向して配置されている。   The second movable portion 25 has a rectangular second movable electrode portion 27 having a long side in the Y-axis direction, and extends from the second movable electrode portion 27 to the second fixed electrode portion 21 side. A plurality of second movable electrode fingers 28 that are arranged side by side so as to form a comb-like shape that meshes with an interval. In the present embodiment, the second movable electrode portion 27 has the second movable electrode finger 28 extending in the + X-axis direction because the two second fixed electrode portions 21 are disposed so as to sandwich the second movable portion 25. And a second fixed electrode finger 24 extending in the -X-axis direction are arranged facing each other with a space therebetween, and a second movable electrode finger 28 extending in the -X-axis direction and extending in the + X-axis direction. The second fixed electrode finger 24 is disposed to face with an interval.

また、第２可動部２５は、第２可動部２５の−Ｙ軸方向の端部で、第２可動部２５をＹ軸方向に変位可能とする弾性部５２と連結し、弾性部５２の第２可動部２５と反対側で、第２可動部支持部２６に連結している。そのため、第２可動部２５は、弾性部５２を介して第２可動部支持部２６と一体化している。   Further, the second movable portion 25 is connected to an elastic portion 52 that allows the second movable portion 25 to be displaceable in the Y-axis direction at an end of the second movable portion 25 in the −Y-axis direction, The second movable part 25 is connected to the second movable part support part 26 on the opposite side. Therefore, the second movable section 25 is integrated with the second movable section support section 26 via the elastic section 52.

第２可動部支持部２６は、弾性部５２が連結された側とは反対側の端部に設けられた第３固定部４３で、基板２に固定されている。また、第３固定部４３は、Ｘ軸方向に沿って配置され、２つの第４固定部４４の間で、２つの第４固定部４４と並んで配置されている。   The second movable portion supporting portion 26 is fixed to the substrate 2 by a third fixing portion 43 provided at an end opposite to the side to which the elastic portion 52 is connected. Further, the third fixing portion 43 is arranged along the X-axis direction, and is arranged between the two fourth fixing portions 44 along with the two fourth fixing portions 44.

このような素子部１の構成材料としては、シリコンやガラスなどが用いられる。これにより、エッチングによる高精度な加工が可能となるため、優れた外形形状を有する素子部１が得られる。また、シリコンを用いた場合には、素子部１を陽極接合によって基板２に接合することができるため、機械的強度の高い加速度センサー１００が得られる。   As a constituent material of such an element portion 1, silicon, glass, or the like is used. As a result, high-precision processing by etching becomes possible, so that the element portion 1 having an excellent outer shape is obtained. When silicon is used, the element portion 1 can be bonded to the substrate 2 by anodic bonding, so that the acceleration sensor 100 having high mechanical strength can be obtained.

≪蓋体≫
蓋体３は、下面３ｆ側に開口する凹部４０を有し、凹部４０と基板２に設けられた凹部１０，２０とで内部空間Ｓを形成するように、低融点ガラス等の接合部材６０を介して基板２に接合されている。このような蓋体３は、ガラス基板で形成されている。なお、蓋体３をシリコンで形成した場合には、蓋体３と基板２とを陽極接合によって接合することができるので、接合部材６０を必要としない。 ≪ lid ≫
The lid 3 has a concave portion 40 opened on the lower surface 3f side, and a joining member 60 made of low melting point glass or the like is formed so that the concave portion 40 and the concave portions 10 and 20 provided in the substrate 2 form an internal space S. And is joined to the substrate 2. Such a lid 3 is formed of a glass substrate. When the lid 3 is made of silicon, the lid 3 and the substrate 2 can be joined by anodic bonding, so that the joining member 60 is not required.

このような加速度センサー１００は、次のようにして加速度を測定する。
Ｘ軸方向の加速度が印加されると、第１機能素子１０１の第１可動部１５が基板２に対して矢印ａ１で示すように、Ｘ軸方向に変位する。そのため、第１可動部１５に設けられている第１可動電極指１８と第１固定電極指１４との間の静電容量が変化するので、これら静電容量の差に基づいて、Ｘ軸方向の加速度の大きさを測定することができる。
また、Ｙ軸方向の加速度が印加されると、第２機能素子１０２の第２可動部２５が基板２に対して矢印ａ２で示すように、Ｙ軸方向に変位する。そのため、第２可動部２５に設けられている第２可動電極指２８と第２固定電極指２４との間の静電容量が変化するので、これら静電容量の差に基づいて、Ｙ軸方向の加速度の大きさを測定することができる。 Such an acceleration sensor 100 measures acceleration as follows.
When the acceleration in the X-axis direction is applied, the first movable portion 15 of the first functional element 101 is displaced in the X-axis direction with respect to the substrate 2 as shown by an arrow a1. As a result, the capacitance between the first movable electrode finger 18 and the first fixed electrode finger 14 provided on the first movable portion 15 changes, and the X-axis direction is determined based on the difference between these capacitances. Can be measured.
Further, when acceleration in the Y-axis direction is applied, the second movable portion 25 of the second functional element 102 is displaced in the Y-axis direction with respect to the substrate 2 as shown by an arrow a2. Therefore, the capacitance between the second movable electrode finger 28 and the second fixed electrode finger 24 provided on the second movable portion 25 changes, and the Y-axis direction is determined based on the difference between these capacitances. Can be measured.

上述の加速度センサー１００によれば、長辺２ｎと短辺２ｓとを有する矩形の基板２に外部応力が加わった場合、基板２への外部応力の影響は、基板２の長辺方向であるＹ軸方向に比べ、基板２の短辺方向であるＸ軸方向の方が小さい。そのため、素子部１を基板２に固定している第１固定部４１、第２固定部４２、第３固定部４３、および第４固定部４４をＸ軸方向に沿って配置することで、基板２の外部応力による影響をＹ軸方向に沿って配置した場合に比べ、小さくすることができ、Ｘ軸方向に加わる加速度とＹ軸方向に加わる加速度とを同等の検出精度で測定することができる。従って、加速度センサーに加わる異なる２軸の加速度において、それぞれの検出精度のばらつきが小さい加速度センサー１００を提供することができる。   According to the acceleration sensor 100 described above, when an external stress is applied to the rectangular substrate 2 having the long side 2n and the short side 2s, the influence of the external stress on the substrate 2 is Y in the long side direction of the substrate 2. The X-axis direction, which is the short side direction of the substrate 2, is smaller than the axial direction. Therefore, by arranging the first fixing portion 41, the second fixing portion 42, the third fixing portion 43, and the fourth fixing portion 44 for fixing the element portion 1 to the substrate 2 along the X-axis direction, 2 can reduce the influence of the external stress along the Y-axis direction, and can measure the acceleration applied in the X-axis direction and the acceleration applied in the Y-axis direction with the same detection accuracy. . Therefore, it is possible to provide the acceleration sensor 100 in which the variation in the detection accuracy between the two different accelerations applied to the acceleration sensor is small.

また、第１固定電極指１４と第１可動電極指１８とがＸ軸方向に対向して配置されているので、Ｘ軸方向に加速度が加わると第１可動電極指１８がＸ軸方向に変位するため、第１固定電極指１４と第１可動電極指１８との間の静電容量が変化する。そのため、Ｘ軸方向に加わる加速度を測定することができる。また、第２固定電極指２４と第２可動電極指２８とがＹ軸方向に対向して配置されているので、Ｙ軸方向に加速度が加わると第２可動電極指２８がＹ軸方向に変位するため、第２固定電極指２４と第２可動電極指２８との間の静電容量が変化する。そのため、Ｙ軸方向に加わる加速度を測定することができる。従って、２軸の加速度の検出精度が高い加速度センサー１００を提供することができる。   Further, since the first fixed electrode finger 14 and the first movable electrode finger 18 are arranged to face each other in the X-axis direction, when acceleration is applied in the X-axis direction, the first movable electrode finger 18 is displaced in the X-axis direction. Therefore, the capacitance between the first fixed electrode finger 14 and the first movable electrode finger 18 changes. Therefore, the acceleration applied in the X-axis direction can be measured. Further, since the second fixed electrode finger 24 and the second movable electrode finger 28 are arranged to face each other in the Y-axis direction, when acceleration is applied in the Y-axis direction, the second movable electrode finger 28 is displaced in the Y-axis direction. Therefore, the capacitance between the second fixed electrode finger 24 and the second movable electrode finger 28 changes. Therefore, the acceleration applied in the Y-axis direction can be measured. Therefore, it is possible to provide the acceleration sensor 100 having high detection accuracy of the biaxial acceleration.

また、第１幹部１３の長さＬ１と第２幹部２３の長さＬ２とが等しいので、第１幹部１３から延出する第１固定電極指１４の本数と第２幹部２３から延出する第２固定電極指２４の本数とを同じにすることができる。そのため、第１固定電極指１４と第１可動電極指１８との間の静電容量の総量と第２固定電極指２４と第２可動電極指２８との間の静電容量の総量とを等しくすることができ、Ｘ軸方向に加わる加速度の検出感度とＹ軸方向に加わる加速度の検出感度とを同等にすることができる。従って、２軸の加速度の検出感度が同等な加速度センサー１００を提供することができる。   Further, since the length L1 of the first stem 13 is equal to the length L2 of the second stem 23, the number of the first fixed electrode fingers 14 extending from the first stem 13 and the length L1 extending from the second stem 23 are equal. The number of the two fixed electrode fingers 24 can be the same. Therefore, the total amount of capacitance between the first fixed electrode finger 14 and the first movable electrode finger 18 is equal to the total amount of capacitance between the second fixed electrode finger 24 and the second movable electrode finger 28. The detection sensitivity of the acceleration applied in the X-axis direction can be made equal to the detection sensitivity of the acceleration applied in the Y-axis direction. Therefore, it is possible to provide the acceleration sensor 100 having the same detection sensitivity for two-axis acceleration.

＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態に係る物理量センサーについて、加速度センサー１００ａを一例として挙げ、図３を参照して説明する。 <Second embodiment>
Next, the physical quantity sensor according to the second embodiment will be described with reference to FIG. 3 taking the acceleration sensor 100a as an example.

図３は、第２実施形態に係る物理量センサーの概略構造を示す平面図である。なお、図３において、加速度センサー１００ａの内部の構成を説明する便宜上、蓋体３を取り外した状態を図示している。また、図３において、基板２の上面２ｆに設けられている配線や端子部２ｗに設けられている端子は、省略している。   FIG. 3 is a plan view illustrating a schematic structure of the physical quantity sensor according to the second embodiment. Note that FIG. 3 illustrates a state in which the lid 3 is removed for convenience of describing the internal configuration of the acceleration sensor 100a. Also, in FIG. 3, the wiring provided on the upper surface 2f of the substrate 2 and the terminals provided on the terminal portion 2w are omitted.

本実施形態に係る加速度センサー１００ａでは、主に、第２幹部２３ａの長さと、第１固定電極指１４ａと第１可動電極指１８ａとの長さと、が異なっていること以外は、前述した第１実施形態に係る加速度センサー１００と同様である。   In the acceleration sensor 100a according to the present embodiment, mainly, the length of the second stem portion 23a and the length of the first fixed electrode finger 14a and the first movable electrode finger 18a are different from those of the acceleration sensor 100a described above. This is the same as the acceleration sensor 100 according to one embodiment.

なお、以下の説明では、第２実施形態の加速度センサー１００ａに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図３では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。   In the following description, the acceleration sensor 100a according to the second embodiment will be described focusing on differences from the above-described embodiment, and description of the same items will be omitted. In FIG. 3, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals.

本実施形態の加速度センサー１００ａは、図３に示すように、素子部１ａの第１機能素子１０１ａと第２機能素子１０２ａとの構成が異なっている。
第２機能素子１０２ａは、第２幹部２３ａの長さＬ２が第１機能素子１０１ａの第１幹部１３の長さＬ１より長い。そのため、第２幹部２３ａから延出する第２固定電極指２４の本数を第１幹部１３から延出する第１固定電極指１４ａの本数より多くすることができるので、第２固定電極指２４と第２可動電極指２８との対数を多くすることができる。つまり、第２固定電極指２４と第２可動電極指２８との対向面積の総量が大きくすることができ、第２固定電極指２４と第２可動電極指２８との間の静電容量の総量を大きくすることができる。従って、Ｙ軸方向に加わる加速度の検出感度を高めることができる。 As shown in FIG. 3, the acceleration sensor 100a of the present embodiment differs from the acceleration sensor 100a in the configuration of the first functional element 101a and the second functional element 102a of the element section 1a.
In the second functional element 102a, the length L2 of the second stem 23a is longer than the length L1 of the first stem 13 of the first functional element 101a. Therefore, the number of the second fixed electrode fingers 24 extending from the second stem portion 23a can be made larger than the number of the first fixed electrode fingers 14a extending from the first stem portion 13; The number of pairs with the second movable electrode finger 28 can be increased. That is, the total amount of opposing area between the second fixed electrode finger 24 and the second movable electrode finger 28 can be increased, and the total amount of capacitance between the second fixed electrode finger 24 and the second movable electrode finger 28 can be increased. Can be increased. Therefore, it is possible to increase the detection sensitivity of the acceleration applied in the Y-axis direction.

また、第１機能素子１０１ａの第１可動電極指１８ａの長さＷ１が第２機能素子１０２ａの第２可動電極指２８の長さＷ２より長い。そのため、第１固定電極指１４ａと第１可動電極指１８ａとの対向面積の総量を大きくすることができ、第１固定電極指１４ａと第１可動電極指１８ａとの間の静電容量の総量を大きくすることができる。従って、Ｘ軸方向に加わる加速度の検出感度を高めることができる。   The length W1 of the first movable electrode finger 18a of the first functional element 101a is longer than the length W2 of the second movable electrode finger 28 of the second functional element 102a. Therefore, the total amount of the opposing area between the first fixed electrode finger 14a and the first movable electrode finger 18a can be increased, and the total amount of capacitance between the first fixed electrode finger 14a and the first movable electrode finger 18a can be increased. Can be increased. Therefore, the detection sensitivity of the acceleration applied in the X-axis direction can be increased.

更に、第１可動電極指１８ａの長さＷ１を第２可動電極指２８の長さＷ２より長くすることで、第１固定電極指１４ａと第１可動電極指１８ａとの対向面積の総量を第２固定電極指２４と第２可動電極指２８との対向面積の総量と同じにすることで、第１固定電極指１４ａと第１可動電極指１８ａとの間の静電容量の総量を第２固定電極指２４と第２可動電極指２８との間の静電容量の総量と同じにすることができる。そのため、２軸の加速度の検出感度が高く、２軸の検出感度が同等な加速度センサー１００ａを提供することができる。   Furthermore, by making the length W1 of the first movable electrode finger 18a longer than the length W2 of the second movable electrode finger 28, the total amount of the opposing area between the first fixed electrode finger 14a and the first movable electrode finger 18a can be reduced to the second. By making the total amount of the opposing areas of the second fixed electrode finger 24 and the second movable electrode finger 28 the same, the total amount of capacitance between the first fixed electrode finger 14a and the first movable electrode finger 18a becomes the second amount. The total capacitance between the fixed electrode finger 24 and the second movable electrode finger 28 can be the same. Therefore, it is possible to provide the acceleration sensor 100a having high detection sensitivity for two-axis acceleration and having the same detection sensitivity for two axes.

上述の加速度センサー１００ａによれば、第２幹部２３ａの長さＬ２が第１幹部１３の長さＬ２より長いので、第２幹部２３ａから延出する第２固定電極指２４の本数を第１幹部１３から延出する第１固定電極指１４ａの本数より多くすることができる。そのため、第２固定電極指２４と第２可動電極指２８との対向面積の総量が大きくなり、第２固定電極指２４と第２可動電極指２８との間の静電容量の総量を大きくすることができ、基板２の短辺２ｓの長さを維持したまま、Ｙ軸方向に加わる加速度の検出感度を高めることができる。また、第１可動電極指１８ａの長さＷ１が第２可動電極指２８の長さＷ２より長いので第１固定電極指１４ａと第１可動電極指１８ａとの対向面積の総量が大きくなり、第１固定電極指１４ａと第１可動電極指１８ａとの間の静電容量の総量を大きくすることができる。そのため、基板２の短辺２ｓの長さを維持したまま、Ｘ軸方向に加わる加速度の検出感度を高めることができる。従って、２軸の加速度の検出感度が高い加速度センサー１００ａを提供することができる。   According to the above-described acceleration sensor 100a, since the length L2 of the second trunk portion 23a is longer than the length L2 of the first trunk portion 13, the number of the second fixed electrode fingers 24 extending from the second trunk portion 23a is reduced by the first trunk portion. The number of the first fixed electrode fingers 14a extending from the number 13 can be increased. Therefore, the total amount of the opposing area between the second fixed electrode finger 24 and the second movable electrode finger 28 increases, and the total amount of capacitance between the second fixed electrode finger 24 and the second movable electrode finger 28 increases. This makes it possible to increase the detection sensitivity of the acceleration applied in the Y-axis direction while maintaining the length of the short side 2s of the substrate 2. Further, since the length W1 of the first movable electrode finger 18a is longer than the length W2 of the second movable electrode finger 28, the total opposing area of the first fixed electrode finger 14a and the first movable electrode finger 18a increases, The total amount of capacitance between the first fixed electrode finger 14a and the first movable electrode finger 18a can be increased. Therefore, it is possible to increase the detection sensitivity of the acceleration applied in the X-axis direction while maintaining the length of the short side 2s of the substrate 2. Therefore, it is possible to provide the acceleration sensor 100a having high detection sensitivity for biaxial acceleration.

＜第３実施形態＞
次に、第３実施形態に係る物理量センサーについて、加速度センサー１００ｂを一例として挙げ、図４および図５を参照して説明する。 <Third embodiment>
Next, the physical quantity sensor according to the third embodiment will be described with reference to FIGS. 4 and 5, taking the acceleration sensor 100b as an example.

図４は、第３実施形態に係る物理量センサーの概略構造を示す平面図である。図５は、図４中のＢ−Ｂ線における断面図である。なお、図４において、加速度センサー１００ｂの内部の構成を説明する便宜上、蓋体３を取り外した状態を図示している。また、図４および図５において、基板２の上面２ｆに設けられている配線や端子部２ｗに設けられている端子は、省略している。   FIG. 4 is a plan view showing a schematic structure of the physical quantity sensor according to the third embodiment. FIG. 5 is a sectional view taken along line BB in FIG. FIG. 4 illustrates a state in which the lid 3 is removed for convenience of describing the internal configuration of the acceleration sensor 100b. 4 and 5, the wires provided on the upper surface 2f of the substrate 2 and the terminals provided on the terminal portions 2w are omitted.

本実施形態に係る加速度センサー１００ｂでは、主に、素子部１ｂにＸ軸方向およびＹ軸方向に直交するＺ軸方向の加速度を測定可能な第３機能素子１０３ｂが追加されていること以外は、前述した第１実施形態に係る加速度センサー１００と同様である。   In the acceleration sensor 100b according to the present embodiment, except that the third functional element 103b capable of measuring acceleration in the Z-axis direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction is mainly added to the element section 1b, This is the same as the acceleration sensor 100 according to the first embodiment described above.

なお、以下の説明では、第３実施形態の加速度センサー１００ｂに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図４および図５では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。   In the following description, the acceleration sensor 100b according to the third embodiment will be described focusing on differences from the above-described embodiment, and description of the same items will be omitted. 4 and 5, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals.

本実施形態の加速度センサー１００ｂは、図４および図５に示すように、素子部１ｂにＸ軸方向の加速度を測定する第１機能素子１０１ｂ、Ｙ軸方向の加速度を測定する第２機能素子１０２ｂ、およびＺ軸方向の加速度を測定する第３機能素子１０３ｂの３軸の加速度を測定する３つの機能素子で構成されている。また、第１機能素子１０１ｂ、第２機能素子１０２ｂ、および第３機能素子１０３ｂは、Ｙ軸方向に沿って配置されている。つまり、第１可動部１５と、第２可動部２５と、第３可動部３１と、がＹ軸方向に沿って配置されている。そのため、基板２の短辺２ｓの長さを第１実施形態に係る加速度センサー１００の短辺２ｓの長さと同じとすることができ、第１実施形態と同様に、Ｘ軸方向の外部応力の影響を小さくすることができる。   As shown in FIGS. 4 and 5, the acceleration sensor 100b of the present embodiment includes a first functional element 101b for measuring acceleration in the X-axis direction and a second functional element 102b for measuring acceleration in the Y-axis direction in the element section 1b. , And three functional elements that measure acceleration in three axes of a third functional element 103b that measures acceleration in the Z-axis direction. In addition, the first functional element 101b, the second functional element 102b, and the third functional element 103b are arranged along the Y-axis direction. That is, the first movable section 15, the second movable section 25, and the third movable section 31 are arranged along the Y-axis direction. Therefore, the length of the short side 2s of the substrate 2 can be the same as the length of the short side 2s of the acceleration sensor 100 according to the first embodiment. The effect can be reduced.

第３機能素子１０３ｂは、Ｚ軸方向の加速度に応じて支持軸Ｇまわりに変位可能であり、開口部３３が設けられている第３可動部３１と、第３可動部３１に設けられている第３可動電極部３２ａ，３２ｂ，３２ｃと、基板２に固定され、開口部３３に位置している支持部３６と、基板２の第３可動電極部３２ａ，３２ｂ，３２ｃに対向する位置に設けられている第３固定電極部３８ａ，３８ｂ，３８ｃと、を備えて構成されている。   The third functional element 103b is displaceable around the support axis G in accordance with the acceleration in the Z-axis direction, and is provided on the third movable section 31 provided with the opening 33 and on the third movable section 31. The third movable electrode portions 32a, 32b, and 32c, the support portion 36 fixed to the substrate 2 and located at the opening portion 33, and the third movable electrode portions 32a, 32b, and 32c of the substrate 2 are provided at positions facing the third movable electrode portions 32a, 32b, and 32c. And the third fixed electrode portions 38a, 38b, 38c.

第３可動部３１は、第３可動部３１をＺ軸方向に貫通する開口部３３と、開口部３３の＋Ｘ軸方向側に配置された第２の第３可動電極部３２ｂと、開口部３３の−Ｘ軸方向側に配置された第１の第３可動電極部３２ａと、第１の第３可動電極部３２ａの−Ｘ軸方向側に配置されたダミー電極となる第３の第３可動電極部３２ｃと、開口部３３に設けられた支持部３６と、を備えている。   The third movable portion 31 includes an opening 33 that penetrates the third movable portion 31 in the Z-axis direction, a second third movable electrode portion 32b disposed on the + X-axis direction side of the opening 33, and an opening 33. A first third movable electrode portion 32a disposed on the −X axis direction side of the first and third third movable portions serving as dummy electrodes disposed on the −X axis direction side of the first third movable electrode portion 32a. It has an electrode part 32 c and a support part 36 provided in the opening 33.

支持部３６は、開口部３３の一方のＹ軸方向側の第３可動部３１からＹ軸方向に延出し、開口部３３の他方のＹ軸方向側の第３可動部３１と連結している梁部３４と、Ｙ軸方向に長い長方形をなし、梁部３４を挟んで２つ並行に設けられ、その中央で梁部３４の中央に連結している支持固定部３５と、が設けられている。
２つの支持固定部３５は、基板２に設けられた凹部３０の内底面２ｅから上面２ｆ側に突出した２つの支柱２ｈの上にそれぞれ固定されている。従って、第３可動部３１は、２つの支持固定部３５を除き、基板２と離間している。 The support portion 36 extends in the Y-axis direction from the third movable portion 31 on one Y-axis direction side of the opening 33 and is connected to the third movable portion 31 on the other Y-axis direction side of the opening 33. A beam portion 34 and a support fixing portion 35 which is a rectangle long in the Y-axis direction and are provided in parallel with the beam portion 34 interposed therebetween and connected to the center of the beam portion 34 at the center thereof are provided. I have.
The two support fixing portions 35 are respectively fixed on two columns 2h projecting from the inner bottom surface 2e of the recess 30 provided in the substrate 2 to the upper surface 2f side. Therefore, the third movable portion 31 is separated from the substrate 2 except for the two support fixing portions 35.

また、基板２に設けられた凹部３０の内底面２ｅには、平面視で、第１の第３可動電極部３２ａと対向し重なる領域に第１の第３固定電極部３８ａが配置され、第２の第３可動電極部３２ｂと対向し重なる領域に第２の第３固定電極部３８ｂが配置され、第３の第３可動電極部３２ｃと対向し重なる領域にダミー電極となる第３の第３固定電極部３８ｃが配置されている。なお、第３固定電極部３８ａ，３８ｂ，３８ｃは、長辺と短辺とを有する矩形であり、その長辺は、Ｙ軸方向と平行である。   Further, on the inner bottom surface 2e of the concave portion 30 provided in the substrate 2, a first third fixed electrode portion 38a is disposed in a region facing and overlapping the first third movable electrode portion 32a in plan view. A second third fixed electrode portion 38b is disposed in a region facing and overlapping the second third movable electrode portion 32b, and a third third electrode serving as a dummy electrode is located in a region facing and overlapping the third third movable electrode portion 32c. Three fixed electrode parts 38c are arranged. The third fixed electrode portions 38a, 38b, 38c are rectangles having long sides and short sides, and the long sides are parallel to the Y-axis direction.

第３可動部３１は、支持部３６の支持軸Ｇを回転軸として、Ｚ軸方向に変位（搖動）可能である。そのため、第３可動部３１が、支持部３６の支持軸Ｇを支点としてシーソー揺動（傾倒）することで、第１の第３可動電極部３２ａと第１の第３固定電極部３８ａとの間隙（距離）、および第２の第３可動電極部３２ｂと第２の第３固定電極部３８ｂとの間隙（距離）が変化する。よって、第３機能素子１０３ｂは、Ｚ軸方向の加速度が加わった場合、第３可動部３１が矢印ａ３で示すようにＺ軸方向への傾倒に応じて、第１の第３可動電極部３２ａと第１の第３固定電極部３８ａとの間の静電容量Ｃ１と、第２の第３可動電極部３２ｂと第２の第３固定電極部３８ｂとの間の静電容量Ｃ２と、の変化からＺ軸方向の加速度を測定することができる。
従って、加速度センサー１００ｂは、Ｘ軸方向の加速度とＹ軸方向の加速度に加え、Ｚ軸方向の加速度も測定できる３軸の加速度センサーである。 The third movable portion 31 can be displaced (oscillated) in the Z-axis direction with the support axis G of the support portion 36 as a rotation axis. Therefore, the third movable portion 31 swings (tilts) on the seesaw with the support axis G of the support portion 36 as a fulcrum, so that the first third movable electrode portion 32a and the first third fixed electrode portion 38a are connected to each other. The gap (distance) and the gap (distance) between the second third movable electrode section 32b and the second third fixed electrode section 38b change. Therefore, when acceleration in the Z-axis direction is applied, the third functional element 103b responds to the inclination of the third movable portion 31 in the Z-axis direction as indicated by the arrow a3, so that the first third movable electrode portion 32a Of the capacitance C1 between the first fixed electrode portion 38a and the first fixed electrode portion 38a, and the capacitance C2 between the second movable electrode portion 32b and the second third fixed electrode portion 38b. From the change, the acceleration in the Z-axis direction can be measured.
Therefore, the acceleration sensor 100b is a three-axis acceleration sensor that can measure acceleration in the Z-axis direction in addition to acceleration in the X-axis direction and the Y-axis direction.

また、第３固定電極部３８ａ，３８ｂ，３８ｃのＹ軸方向の長さＬ４は、第３固定電極部３８ａ，３８ｂ，３８ｃのＸ軸方向の長さＬ３より長い。そのため、外部応力の影響が小さい基板２の短辺２ｓの長さを維持したまま、第３固定電極部３８ａ，３８ｂ，３８ｃのＹ軸方向の長さＬ４を大きくすることができるので、第３可動電極部３２ａ，３２ｂと第３固定電極部３８ａ，３８ｂとの間の対向面積および静電容量を大きくすることができ、Ｚ軸方向の加速度の検出感度を高めることができる。   The length L4 of the third fixed electrode portions 38a, 38b, 38c in the Y-axis direction is longer than the length L3 of the third fixed electrode portions 38a, 38b, 38c in the X-axis direction. Therefore, the length L4 of the third fixed electrode portions 38a, 38b, 38c in the Y-axis direction can be increased while maintaining the length of the short side 2s of the substrate 2 where the influence of the external stress is small. The opposing area and the capacitance between the movable electrode portions 32a, 32b and the third fixed electrode portions 38a, 38b can be increased, and the detection sensitivity for acceleration in the Z-axis direction can be increased.

上述の加速度センサー１００ｂによれば、加速度に応じて支持軸Ｇまわりに変位可能な第３可動部３１に設けられている第３可動電極部３２ａ，３２ｂに対向する位置に第３固定電極部３８ａ，３８ｂが設けられているので、Ｚ軸方向の加速度が加わると、Ｚ軸方向に第３可動電極部３２ａ，３２ｂが変位し、第３可動電極部３２ａ，３２ｂと第３固定電極部３８ａ，３８ｂとの間の静電容量が変化する。そのため、Ｚ軸方向に加わる加速度を測定することができ、３軸の加速度の検出精度の高い加速度センサー１００ｂを提供することができる。   According to the acceleration sensor 100b described above, the third fixed electrode portion 38a is located at a position opposed to the third movable electrode portions 32a and 32b provided on the third movable portion 31 that can be displaced around the support axis G according to acceleration. , 38b, when acceleration in the Z-axis direction is applied, the third movable electrode portions 32a, 32b are displaced in the Z-axis direction, and the third movable electrode portions 32a, 32b and the third fixed electrode portion 38a, 38b is changed. Therefore, acceleration applied in the Z-axis direction can be measured, and the acceleration sensor 100b with high detection accuracy of triaxial acceleration can be provided.

また、第３固定電極部３８ａ，３８ｂの長辺がＹ軸方向と平行であるので、第３可動部３１の長さを維持したまま、第３可動電極部３２ａ，３２ｂと第３固定電極部３８ａ，３８ｂとのＹ軸方向の長さを長くすることができる。そのため、第３可動電極部３２ａ，３２ｂと第３固定電極部３８ａ，３８ｂとの間の対向面積および静電容量を大きくすることができ、Ｚ軸方向に加わる加速度の検出感度を高めることができる。   Since the long sides of the third fixed electrode portions 38a and 38b are parallel to the Y-axis direction, the third movable electrode portions 32a and 32b and the third fixed electrode portion are maintained while maintaining the length of the third movable portion 31. The length in the Y-axis direction with respect to 38a and 38b can be increased. Therefore, the opposing area and the capacitance between the third movable electrode portions 32a and 32b and the third fixed electrode portions 38a and 38b can be increased, and the detection sensitivity of acceleration applied in the Z-axis direction can be increased. .

また、第１可動部１５、第２可動部２５、および第３可動部３１がＹ軸方向に沿って配置されているので、第１固定部４１、第２固定部４２、第３固定部４３、および第４固定部４４を配置する基板２のＸ軸方向の長さである短辺２ｓの長さを維持したまま、第１可動部１５、第２可動部２５、および第３可動部３１を基板２に配置することができる。そのため、基板２の外部応力による影響を小さくした、３軸の加速度の検出精度の高い加速度センサー１００ｂを提供することができる。   Further, since the first movable section 15, the second movable section 25, and the third movable section 31 are arranged along the Y-axis direction, the first fixed section 41, the second fixed section 42, and the third fixed section 43 are provided. And the first movable portion 15, the second movable portion 25, and the third movable portion 31 while maintaining the length of the short side 2s that is the length in the X-axis direction of the substrate 2 on which the fourth fixed portion 44 is disposed. Can be arranged on the substrate 2. For this reason, it is possible to provide the acceleration sensor 100b with high detection accuracy of three-axis acceleration, in which the influence of the external stress of the substrate 2 is reduced.

＜第４実施形態＞
次に、第４実施形態に係る物理量センサーについて、加速度センサー１００ｃを一例として挙げ、図６および図７を参照して説明する。 <Fourth embodiment>
Next, a physical quantity sensor according to a fourth embodiment will be described with reference to FIGS. 6 and 7, taking the acceleration sensor 100c as an example.

図６は、第４実施形態に係る物理量センサーの概略構造を示す平面図である。図７は、図６中のＣ−Ｃ線における断面図である。なお、図６において、加速度センサー１００ｃの内部の構成を説明する便宜上、蓋体３を取り外した状態を図示している。また、図６および図７において、基板２の上面２ｆに設けられている配線や端子部２ｗに設けられている端子は、省略している。   FIG. 6 is a plan view illustrating a schematic structure of a physical quantity sensor according to the fourth embodiment. FIG. 7 is a sectional view taken along line CC in FIG. Note that FIG. 6 illustrates a state in which the lid 3 is removed for convenience of describing the internal configuration of the acceleration sensor 100c. In FIGS. 6 and 7, the wiring provided on the upper surface 2f of the substrate 2 and the terminals provided on the terminal portion 2w are omitted.

本実施形態に係る加速度センサー１００ｃでは、主に、素子部１ｃの第１機能素子１０１ｃおよび第２機能素子１０２ｃの構成が異なっていること以外は、前述した第１実施形態に係る加速度センサー１００と同様である。   The acceleration sensor 100c according to the present embodiment is different from the acceleration sensor 100 according to the above-described first embodiment mainly in that the configurations of the first functional element 101c and the second functional element 102c of the element section 1c are different. The same is true.

なお、以下の説明では、第４実施形態の加速度センサー１００ｃに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図６および図７では、前述した実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。   In the following description, the acceleration sensor 100c according to the fourth embodiment will be described focusing on differences from the above-described embodiment, and description of the same items will be omitted. 6 and 7, the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals.

本実施形態の加速度センサー１００ｃは、図６および図７に示すように、素子部１ｃの第１機能素子１０１ｃおよび第２機能素子１０２ｃの構成が異なっている。
第１機能素子１０１ｃは、第１可動部１５のＸ軸方向の両端に、第１可動部１５をＸ軸方向に変位可能とする弾性部５１，５１ｃが連結されている。
＋Ｘ軸方向側の弾性部５１は、第１可動部１５側と反対側に第１可動部支持部１６が連結され、第１固定部４１において基板２に固定されている。
−Ｘ軸方向側の弾性部５１ｃは、第１可動部１５側と反対側に第１固定電極部１１と第１可動電極部１７とを取り囲む第１可動部支持部１６ｃが連結されている。なお、第１可動部支持部１６ｃは、第１固定部４１と２つの第２固定部４２とが並ぶＸ軸方向に沿って設けられた第５固定部４１ｃにおいて基板２に固定されている。従って、第１固定部４１と、２つの第２固定部４２と、第５固定部４１ｃと、がＸ軸方向に沿って配置されている。 As shown in FIGS. 6 and 7, the acceleration sensor 100c of the present embodiment is different from the acceleration sensor 100c in the configuration of the first functional element 101c and the second functional element 102c of the element section 1c.
In the first functional element 101c, elastic portions 51 and 51c that enable the first movable portion 15 to be displaceable in the X-axis direction are connected to both ends of the first movable portion 15 in the X-axis direction.
The elastic portion 51 on the + X axis direction side is connected to the first movable portion support portion 16 on the side opposite to the first movable portion 15 side, and is fixed to the substrate 2 at the first fixed portion 41.
The first movable portion supporting portion 16c surrounding the first fixed electrode portion 11 and the first movable electrode portion 17 is connected to the elastic portion 51c on the −X-axis direction side on the side opposite to the first movable portion 15 side. The first movable portion support portion 16c is fixed to the substrate 2 at a fifth fixed portion 41c provided along the X-axis direction where the first fixed portion 41 and the two second fixed portions 42 are arranged. Therefore, the first fixing portion 41, the two second fixing portions 42, and the fifth fixing portion 41c are arranged along the X-axis direction.

第２機能素子１０２ｃは、第２可動部２５のＹ軸方向の両端に、第２可動部２５をＹ軸方向に変位可能とする弾性部５２，５２ｃが連結されている。
−Ｙ軸方向側の弾性部５２は、第２可動部２５側と反対側に第２可動部支持部２６が連結され、第３固定部４３において基板２に固定されている。
＋Ｙ軸方向側の弾性部５２ｃは、第２可動部２５側と反対側に第２固定電極部２１と第２可動電極部２７とを取り囲む第２可動部支持部２６ｃが連結されている。なお、第２可動部支持部２６ｃは、第３固定部４３において、第２可動部支持部２６と連結している。 In the second functional element 102c, elastic portions 52, 52c that can displace the second movable portion 25 in the Y-axis direction are connected to both ends of the second movable portion 25 in the Y-axis direction.
The elastic portion 52 on the −Y axis direction side is connected to the second movable portion support portion 26 on the side opposite to the second movable portion 25 side, and is fixed to the substrate 2 at the third fixed portion 43.
The second movable portion support portion 26c surrounding the second fixed electrode portion 21 and the second movable electrode portion 27 is connected to the side of the elastic portion 52c on the + Y axis direction side opposite to the second movable portion 25 side. Note that the second movable portion support portion 26c is connected to the second movable portion support portion 26 at the third fixed portion 43.

上述の加速度センサー１００ｃによれば、第１可動部１５が第１可動部１５をＸ軸方向に変位可能とする弾性部５１，５１ｃを介して、第１可動部支持部１６，１６ｃと連結されている。そのため、第１可動部１５が両端支持となり、第１可動部１５を片持ち支持した場合に比べ、Ｙ軸方向の加速度による第１可動部１５のＹ軸方向への変位量を小さくすることができ、Ｙ軸方向の加速度による影響を低減することができる。
また、第２可動部２５が第２可動部２５をＹ軸方向に変位可能とする弾性部５２，５２ｃを介して、第２可動部支持部２６，２６ｃと連結されている。そのため、第２可動部２５が両端支持となり、第２可動部２５を片持ち支持した場合に比べ、Ｘ軸方向の加速度による第２可動部２５のＸ軸方向への変位量を小さくすることができ、Ｘ軸方向の加速度による影響を低減することができる。
従って、２軸の加速度の検出精度がより高い加速度センサー１００ｃを提供することができる。 According to the above-described acceleration sensor 100c, the first movable portion 15 is connected to the first movable portion support portions 16 and 16c via the elastic portions 51 and 51c that can displace the first movable portion 15 in the X-axis direction. ing. Therefore, the displacement amount of the first movable portion 15 in the Y-axis direction due to the acceleration in the Y-axis direction can be reduced as compared with the case where the first movable portion 15 is supported at both ends and the first movable portion 15 is cantilevered. As a result, the effect of acceleration in the Y-axis direction can be reduced.
In addition, the second movable portion 25 is connected to the second movable portion support portions 26 and 26c via elastic portions 52 and 52c that enable the second movable portion 25 to be displaceable in the Y-axis direction. Therefore, the amount of displacement of the second movable portion 25 in the X-axis direction due to acceleration in the X-axis direction can be reduced as compared with the case where the second movable portion 25 is supported at both ends and the second movable portion 25 is cantilevered. As a result, the influence of acceleration in the X-axis direction can be reduced.
Therefore, it is possible to provide the acceleration sensor 100c having higher detection accuracy of the two-axis acceleration.

［電子機器］
次に、上述した加速度センサー１００を用いた電子機器について、図８、図９、および図１０を参照して説明する。 [Electronics]
Next, electronic devices using the above-described acceleration sensor 100 will be described with reference to FIGS. 8, 9, and 10. FIG.

先ず、図８を参照して、電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューター１１００について説明する。図８は、電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を模式的に示す斜視図である。   First, a mobile personal computer 1100, which is an example of an electronic device, will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a perspective view schematically illustrating a configuration of a mobile personal computer as an example of the electronic apparatus.

この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、上述した加速度センサー１００が内蔵されており、加速度センサー１００の検出信号に基づいて制御部１１１０が、例えば姿勢制御などの制御を行なうことができる。   In this figure, a personal computer 1100 includes a main body 1104 having a keyboard 1102, and a display unit 1106 having a display 1108. The display unit 1106 is rotated with respect to the main body 1104 via a hinge structure. It is movably supported. Such a personal computer 1100 incorporates the acceleration sensor 100 described above, and the control unit 1110 can perform control such as attitude control based on a detection signal of the acceleration sensor 100.

次に、図９を参照して、電子機器の一例であるスマートフォン１２００について説明する。図９は、電子機器の一例であるスマートフォン（携帯電話機）の構成を模式的に示す斜視図である。   Next, a smartphone 1200 which is an example of an electronic device will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a perspective view schematically illustrating a configuration of a smartphone (mobile phone) as an example of the electronic apparatus.

この図において、スマートフォン１２００は、上述した加速度センサー１００が組込まれている。加速度センサー１００によって検出された検出信号（加速度データ）は、スマートフォン１２００の制御部１２０１に送信される。制御部１２０１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を含んで構成されており、受信した検出信号からスマートフォン１２００の姿勢や、挙動を認識して、表示部１２０８に表示されている表示画像を変化させたり、警告音や、効果音を鳴らしたり、振動モーターを駆動して本体を振動させることができる。換言すれば、スマートフォン１２００のモーションセンシングを行い、計測された姿勢や、挙動から、表示内容を変えたり、音や、振動などを発生させたりすることができる。特に、ゲームのアプリケーションを実行する場合には、現実に近い臨場感を味わうことができる。   In this figure, a smartphone 1200 incorporates the acceleration sensor 100 described above. A detection signal (acceleration data) detected by the acceleration sensor 100 is transmitted to the control unit 1201 of the smartphone 1200. The control unit 1201 includes a CPU (Central Processing Unit), recognizes the attitude and behavior of the smartphone 1200 from the received detection signal, and changes the display image displayed on the display unit 1208. It can sound a warning sound, sound effect, or drive a vibration motor to vibrate the main body. In other words, by performing motion sensing of the smartphone 1200, it is possible to change display contents, generate sound, vibration, or the like based on the measured posture or behavior. In particular, when a game application is executed, a realistic feeling close to reality can be enjoyed.

次に、図１０を参照して、電子機器の一例であるディジタルスチールカメラ１３００について説明する。図１０は、電子機器の一例であるディジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。   Next, a digital still camera 1300 which is an example of an electronic device will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a perspective view illustrating a configuration of a digital still camera as an example of the electronic apparatus. In this figure, connection with an external device is also simply shown.

この図において、ディジタルスチールカメラ１３００のケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとしても機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。   In this figure, a display unit 1310 is provided on the back of a case (body) 1302 of the digital still camera 1300, and is configured to perform display based on an image pickup signal by a CCD. It also functions as a viewfinder for displaying images. A light receiving unit 1304 including an optical lens (imaging optical system), a CCD, and the like is provided on the front side (back side in the figure) of the case 1302.

撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このディジタルスチールカメラ１３００では、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなディジタルスチールカメラ１３００には、上述した加速度センサー１００が内蔵されており、加速度センサー１００の検出信号に基づいて制御部１３１６が、例えば手振れ補正などの制御を行なうことができる。   When the photographer confirms the subject image displayed on the display unit 1310 and presses the shutter button 1306, the imaging signal of the CCD at that time is transferred and stored in the memory 1308. Also, in the digital still camera 1300, a video signal output terminal 1312 and an input / output terminal 1314 for data communication are provided on the side surface of the case 1302. As shown, a television monitor 1430 is connected to the video signal output terminal 1312, and a personal computer 1440 is connected to the input / output terminal 1314 for data communication as necessary. Further, the imaging signal stored in the memory 1308 is output to the television monitor 1430 or the personal computer 1440 by a predetermined operation. Such a digital still camera 1300 incorporates the above-described acceleration sensor 100, and the control unit 1316 can perform control such as camera shake correction based on a detection signal of the acceleration sensor 100.

このような電子機器は、上述した物理量センサーとしての加速度センサー１００、および制御部１１１０，１２０１，１３１６を備えているので、コンパクトで優れた信頼性を有している。   Since such an electronic device includes the acceleration sensor 100 as the above-described physical quantity sensor and the control units 1110, 1201, and 1316, it is compact and has excellent reliability.

なお、上述した物理量センサーとしての加速度センサー１００を備える電子機器は、図８のパーソナルコンピューター１１００、図９のスマートフォン１２００、図１０のディジタルスチールカメラ１３００の他にも、例えば、タブレット端末、時計、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、地震計、歩数計、傾斜計、ハードディスクの振動を計測する振動計、ロボットやドローンなど飛行体の姿勢制御装置、自動車の自動運転用慣性航法に使用される制御機器等に適用することができる。   Note that, in addition to the personal computer 1100 in FIG. 8, the smartphone 1200 in FIG. 9, and the digital still camera 1300 in FIG. Type ejection device (for example, inkjet printer), laptop personal computer, television, video camera, video tape recorder, car navigation device, pager, electronic notebook (including with communication function), electronic dictionary, calculator, electronic game machine, word processor , Workstation, videophone, security TV monitor, electronic binoculars, POS terminal, medical equipment (for example, electronic thermometer, blood pressure monitor, blood glucose meter, electrocardiogram measurement device, ultrasonic diagnostic device, electronic endoscope), fish finder , Various measuring instruments, instruments (for example, instruments for vehicles, aircraft, ships), flight simulators, seismometers, pedometers, inclinometers, vibration meters for measuring the vibration of hard disks, attitude control of flying objects such as robots and drones The present invention can be applied to devices, control devices used in inertial navigation for automatic driving of automobiles, and the like.

［移動体］
次に、上述した加速度センサー１００を用いた移動体について、図１１を参照して説明する。
図１１は、移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。 [Mobile]
Next, a moving object using the above-described acceleration sensor 100 will be described with reference to FIG.
FIG. 11 is a perspective view illustrating a configuration of an automobile that is an example of a moving object.

図１１に示すように、自動車１５００には、物理量センサーの一例としての加速度センサー１００が内蔵されており、例えば、加速度センサー１００によって車体１５０１の移動（位置）や姿勢を検出することができる。加速度センサー１００の検出信号は、車体の移動や姿勢を制御する車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。   As shown in FIG. 11, an automobile 1500 includes an acceleration sensor 100 as an example of a physical quantity sensor. For example, the acceleration sensor 100 can detect the movement (position) and posture of the vehicle body 1501. The detection signal of the acceleration sensor 100 is supplied to a vehicle body posture control device 1502 that controls the movement and posture of the vehicle body, and the vehicle body posture control device 1502 detects the posture of the vehicle body 1501 based on the signal, and according to the detection result, The hardness of the suspension can be controlled, and the brake of each wheel 1503 can be controlled.

なお、加速度センサー１００は、他にもキーレスエントリーシステム、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロールシステム（エンジンシステム）、自動運転用慣性航法の制御機器、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：Electronic Control Unit）に広く適用できる。   In addition, the acceleration sensor 100 includes a keyless entry system, an immobilizer, a car navigation system, a car air conditioner, an anti-lock brake system (ABS), an airbag, a tire pressure monitoring system (TPMS: Tire Pressure Monitoring System), The present invention can be widely applied to an electronic control unit (ECU) such as an engine control system (engine system), an inertial navigation control device for automatic driving, and a battery monitor of a hybrid vehicle or an electric vehicle.

また、移動体に適用される物理量センサーとしての加速度センサー１００は、上記の例示の他にも、例えば、二足歩行ロボットや電車などの移動や姿勢制御、ラジコン飛行機、ラジコンヘリコプター、およびドローンなどの遠隔操縦あるいは自律式の飛行体の移動や姿勢制御、農業機械（農機）、もしくは建設機械（建機）などの移動や姿勢制御、ロケット、人工衛星、船舶、およびＡＧＶ（無人搬送車）などの制御において利用することができる。以上のように、各種移動体の移動（位置）や姿勢制御の実現にあたって、加速度センサー１００、およびそれぞれの制御部（不図示）や姿勢制御部が組み込まれる。   Further, the acceleration sensor 100 as a physical quantity sensor applied to a moving object may be, for example, a movement or posture control of a bipedal walking robot or a train, a radio-controlled airplane, a radio-controlled helicopter, and a drone, in addition to the above examples. Movement and attitude control of remote-controlled or autonomous flying objects, movement and attitude control of agricultural machinery (agricultural machinery) or construction machinery (construction machinery), rockets, satellites, ships, and AGVs (automated guided vehicles) Can be used in control. As described above, in realizing the movement (position) and posture control of various moving objects, the acceleration sensor 100, and respective control units (not shown) and posture control units are incorporated.

このような移動体は、上述した物理量センサーとしての加速度センサー１００、および制御部（例えば、姿勢制御部としての車体姿勢制御装置１５０２）を備えているので、コンパクトで優れた信頼性を有している。   Since such a moving body includes the acceleration sensor 100 as the above-described physical quantity sensor and the control unit (for example, the vehicle body posture control device 1502 as the posture control unit), it has a compact and excellent reliability. I have.

以下に、上述した実施形態から導き出される内容を、各態様として記載する。   Hereinafter, the content derived from the above-described embodiment will be described as each aspect.

［態様１］本態様に係る物理量センサーは、互に直交する２つの方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向としたとき、長辺と前記Ｘ軸方向と平行な短辺とを有する矩形の基板と、前記基板に設けられ、物理量を検出する素子部と、を有し、前記素子部は、第１固定電極部と、前記基板に対して平行な前記Ｘ軸方向に変位可能な第１可動部と、前記第１可動部に設けられている第１可動電極部と、前記第１可動部を支持している第１可動部支持部と、前記第１固定電極部を支持している第１固定電極部支持部と、第２固定電極部と、前記基板に対して前記Ｙ軸方向に変位可能な第２可動部と、前記第２可動部に設けられている第２可動電極部と、前記第２可動部を支持している第２可動部支持部と、前記第２固定電極部を支持している第２固定電極部支持部と、を有し、前記第１可動部支持部を前記基板に固定している第１固定部と前記第１固定電極部支持部を前記基板に固定している第２固定部とは、前記Ｘ軸方向に沿って配置され、前記第２可動部支持部を前記基板に固定している第３固定部と前記第２固定電極部支持部を前記基板に固定している第４固定部とは、前記Ｘ軸方向に沿って配置されていることを特徴とする。   [Aspect 1] A physical quantity sensor according to this aspect includes a rectangular substrate having a long side and a short side parallel to the X-axis direction when two directions orthogonal to each other are defined as an X-axis direction and a Y-axis direction. , An element unit provided on the substrate and detecting a physical quantity, wherein the element unit is a first fixed electrode unit and a first movable unit displaceable in the X-axis direction parallel to the substrate. A first movable electrode section provided on the first movable section, a first movable section support section supporting the first movable section, and a first supporting section supporting the first fixed electrode section. A fixed electrode portion support portion, a second fixed electrode portion, a second movable portion displaceable in the Y-axis direction with respect to the substrate, a second movable electrode portion provided on the second movable portion, A second movable portion support portion that supports the second movable portion, and a second fixed electrode portion support portion that supports the second fixed electrode portion A first fixed portion fixing the first movable portion support portion to the substrate, and a second fixed portion fixing the first fixed electrode portion support portion to the substrate. A third fixed portion that is arranged along the axial direction and fixes the second movable portion support portion to the substrate and a fourth fixed portion that fixes the second fixed electrode portion support portion to the substrate. , And are arranged along the X-axis direction.

本態様によれば、長辺と短辺とを有する矩形の基板に外部応力が加わった場合、基板への外部応力の影響は、基板の長辺方向であるＹ軸方向に比べ、基板の短辺方向であるＸ軸方向の方が小さい。そのため、素子部を基板に固定している第１固定部、第２固定部、第３固定部、および第４固定部をＸ軸方向に沿って配置することで、基板の外部応力による影響をＹ軸方向に沿って配置した場合に比べ、小さくすることができ、Ｘ軸方向に加わる物理量とＹ軸方向に加わる物理量とを同等の検出精度で測定することができる。従って、物理量センサーに加わる異なる２軸の物理量において、それぞれの検出精度のばらつきが小さい物理量センサーを提供することができる。   According to this aspect, when an external stress is applied to a rectangular substrate having a long side and a short side, the influence of the external stress on the substrate is shorter than that of the substrate in the Y-axis direction which is the long side direction of the substrate. The X-axis direction, which is the side direction, is smaller. Therefore, by arranging the first fixing portion, the second fixing portion, the third fixing portion, and the fourth fixing portion that fix the element portion to the substrate along the X-axis direction, the influence of the external stress of the substrate can be reduced. It is possible to reduce the size in comparison with the case of disposing along the Y-axis direction, and it is possible to measure the physical quantity applied in the X-axis direction and the physical quantity applied in the Y-axis direction with the same detection accuracy. Therefore, it is possible to provide a physical quantity sensor that has a small variation in detection accuracy among different two-axis physical quantities added to the physical quantity sensor.

［態様２］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記第１固定電極部は、第１幹部と、前記第１幹部から前記Ｙ軸方向に延出している複数の第１固定電極指と、を有し、前記第２固定電極部は、第２幹部と、前記第２幹部から前記Ｘ軸方向に延出している複数の第２固定電極指と、を有し、前記第１可動電極部は、前記第１固定電極指と前記Ｘ軸方向に対向する複数の第１可動電極指を有し、前記第２可動電極部は、前記第２固定電極指と前記Ｙ軸方向に対向する複数の第２可動電極指を有していることが好ましい。   [Aspect 2] In the physical quantity sensor according to the above aspect, the first fixed electrode unit includes a first stem and a plurality of first fixed electrode fingers extending from the first stem in the Y-axis direction. The second fixed electrode unit has a second stem, and a plurality of second fixed electrode fingers extending from the second stem in the X-axis direction. A plurality of first movable electrode fingers facing the first fixed electrode finger in the X-axis direction; and a plurality of second movable electrode portions facing the second fixed electrode finger in the Y-axis direction. It is preferable to have a second movable electrode finger.

本態様によれば、第１固定電極指と第１可動電極指とがＸ軸方向に対向して配置されているので、Ｘ軸方向に物理量が加わると第１可動電極指がＸ軸方向に変位するため、第１固定電極指と第１可動電極指との間の静電容量が変化する。そのため、Ｘ軸方向に加わる物理量を測定することができる。また、第２固定電極指と第２可動電極指とがＹ軸方向に対向して配置されているので、Ｙ軸方向に物理量が加わると第２可動電極指がＹ軸方向に変位するため、第２固定電極指と第２可動電極指との間の静電容量が変化する。そのため、Ｙ軸方向に加わる物理量を測定することができる。従って、２軸の物理量の検出精度が高い物理量センサーを提供することができる。   According to this aspect, since the first fixed electrode finger and the first movable electrode finger are arranged to face each other in the X-axis direction, when a physical quantity is applied in the X-axis direction, the first movable electrode finger moves in the X-axis direction. Due to the displacement, the capacitance between the first fixed electrode finger and the first movable electrode finger changes. Therefore, the physical quantity applied in the X-axis direction can be measured. In addition, since the second fixed electrode finger and the second movable electrode finger are arranged facing each other in the Y-axis direction, the second movable electrode finger is displaced in the Y-axis direction when a physical quantity is applied in the Y-axis direction. The capacitance between the second fixed electrode finger and the second movable electrode finger changes. Therefore, the physical quantity applied in the Y-axis direction can be measured. Therefore, it is possible to provide a physical quantity sensor with high detection accuracy of two-axis physical quantities.

［態様３］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記第１幹部の長さは、前記第２幹部の長さと等しいことが好ましい。   [Aspect 3] In the physical quantity sensor according to the above aspect, it is preferable that the length of the first trunk is equal to the length of the second trunk.

本態様によれば、第１幹部の長さと第２幹部の長さとが等しいので、第１幹部から延出する第１固定電極指の本数と第２幹部から延出する第２固定電極指の本数とを同じにすることができる。そのため、第１固定電極指と第１可動電極指との間の静電容量の総量と第２固定電極指と第２可動電極指との間の静電容量の総量とを等しくすることができ、Ｘ軸方向に加わる物理量の検出感度とＹ軸方向に加わる物理量の検出感度とを同等にすることができる。従って、２軸の物理量の検出感度が同等な物理量センサーを提供することができる。   According to this aspect, since the length of the first stem is equal to the length of the second stem, the number of the first fixed electrode fingers extending from the first stem and the number of the second fixed electrode fingers extending from the second stem are equal. The number can be the same. Therefore, the total amount of capacitance between the first fixed electrode finger and the first movable electrode finger can be made equal to the total amount of capacitance between the second fixed electrode finger and the second movable electrode finger. , The detection sensitivity of the physical quantity applied in the X-axis direction can be made equal to the detection sensitivity of the physical quantity applied in the Y-axis direction. Therefore, it is possible to provide a physical quantity sensor having the same detection sensitivity for two-axis physical quantities.

［態様４］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記第２幹部の長さは、前記第２幹部の長さより長く、前記第１可動電極指の長さは、前記第２可動電極指の長さより長いことが好ましい。   [Aspect 4] In the physical quantity sensor according to the above aspect, the length of the second stem is longer than the length of the second stem, and the length of the first movable electrode finger is equal to the length of the second movable electrode finger. Preferably, it is longer.

本態様によれば、第２幹部の長さが第１幹部の長さより長い。そのため、第２幹部から延出する第２固定電極指の数を第１幹部から延出する第１固定電極指の数より多くすることができる。そのため、第２固定電極指と第２可動電極指との対向面積の総量が大きくなり、第２固定電極指と第２可動電極指との間の静電容量の総量を大きくすることができ、基板の短辺の長さを維持したまま、Ｙ軸方向に加わる物理量の検出感度を高めることができる。また、第１可動電極指の長さが第２可動電極指の長さより長い。そのため、第１固定電極指と第１可動電極指との対向面積の総量が大きくなり、第１固定電極指と第１可動電極指との間の静電容量の総量を大きくすることができ、基板の短辺の長さを維持したまま、Ｘ軸方向に加わる物理量の検出感度を高めることができる。従って、２軸の物理量の検出感度が高い物理量センサーを提供することができる。   According to this aspect, the length of the second trunk is longer than the length of the first trunk. Therefore, the number of the second fixed electrode fingers extending from the second stem can be larger than the number of the first fixed electrode fingers extending from the first stem. Therefore, the total amount of opposing areas between the second fixed electrode finger and the second movable electrode finger increases, and the total amount of capacitance between the second fixed electrode finger and the second movable electrode finger can be increased. The detection sensitivity of the physical quantity applied in the Y-axis direction can be increased while maintaining the length of the short side of the substrate. Further, the length of the first movable electrode finger is longer than the length of the second movable electrode finger. Therefore, the total amount of opposing areas between the first fixed electrode finger and the first movable electrode finger is increased, and the total amount of capacitance between the first fixed electrode finger and the first movable electrode finger can be increased. The detection sensitivity of the physical quantity applied in the X-axis direction can be increased while maintaining the length of the short side of the substrate. Therefore, it is possible to provide a physical quantity sensor having high detection sensitivity for biaxial physical quantities.

［態様５］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記素子部は、前記物理量に応じて支持軸まわりに変位可能であり、開口部が設けられている第３可動部と、前記第３可動部に設けられている第３可動電極部と、前記基板に固定され、前記開口部に位置している支持部と、前記基板の前記第３可動電極部に対向する位置に設けられている第３固定電極部と、を有し、前記第３固定電極部は、長辺と短辺とを有する矩形であり、前記第３固定電極部の前記長辺は、前記Ｙ軸方向と平行であることが好ましい。   [Aspect 5] In the physical quantity sensor according to the above aspect, the element unit is displaceable around a support axis in accordance with the physical quantity, and a third movable unit provided with an opening; and the third movable unit. A third movable electrode portion provided on the substrate; a support portion fixed to the substrate and located at the opening; and a third portion provided on the substrate at a position facing the third movable electrode portion. A fixed electrode portion, wherein the third fixed electrode portion is a rectangle having a long side and a short side, and the long side of the third fixed electrode portion is parallel to the Y-axis direction. Is preferred.

本態様によれば、物理量に応じて支持軸まわりに変位可能な第３可動部に設けられている第３可動電極部に対向する位置に第３固定電極部が設けられているので、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に直交する第３方向から物理量が加わると、第３方向に第３可動電極部が変位し、第３可動電極部と第３固定電極部との間の静電容量が変化する。そのため、第３方向に加わる物理量を測定することができ、３軸の物理量の検出精度の高い物理量センサーを提供することができる。
また、第３固定電極部の長辺がＹ軸方向と平行であるので、第３可動部の長さを維持したまま、第３可動電極部と第３固定電極部とのＹ軸方向の長さを長くすることができる。そのため、第３可動電極部と第３固定電極部との間の静電容量を大きくすることができ、第３方向に加わる物理量の検出感度を高めることができる。 According to this aspect, since the third fixed electrode portion is provided at a position facing the third movable electrode portion provided on the third movable portion that can be displaced around the support shaft in accordance with the physical quantity, the X-axis When a physical quantity is applied from the third direction orthogonal to the direction and the Y-axis direction, the third movable electrode portion is displaced in the third direction, and the capacitance between the third movable electrode portion and the third fixed electrode portion changes. I do. Therefore, a physical quantity applied in the third direction can be measured, and a physical quantity sensor with high detection accuracy of the three-axis physical quantity can be provided.
Further, since the long side of the third fixed electrode portion is parallel to the Y-axis direction, the length of the third movable electrode portion and the third fixed electrode portion in the Y-axis direction is maintained while maintaining the length of the third movable portion. Can be lengthened. Therefore, the capacitance between the third movable electrode portion and the third fixed electrode portion can be increased, and the sensitivity of detecting a physical quantity applied in the third direction can be increased.

［態様６］上記態様に記載の物理量センサーにおいて、前記第１可動部、前記第２可動部、および前記第３可動部は、前記Ｙ軸方向に沿って配置されていることが好ましい。   [Aspect 6] In the physical quantity sensor according to the above aspect, it is preferable that the first movable section, the second movable section, and the third movable section are arranged along the Y-axis direction.

本態様によれば、第１可動部、第２可動部、および第３可動部がＹ軸方向に沿って配置されているので、第１固定部、第２固定部、第３固定部、および第４固定部を配置する基板のＸ軸方向である短辺の長さを維持したまま、第１可動部、第２可動部、および第３可動部を基板に配置することができる。そのため、基板の外部応力による影響を小さくした、３軸の物理量の検出精度の高い物理量センサーを提供することができる。   According to this aspect, since the first movable section, the second movable section, and the third movable section are arranged along the Y-axis direction, the first fixed section, the second fixed section, the third fixed section, The first movable portion, the second movable portion, and the third movable portion can be disposed on the substrate while maintaining the length of the short side in the X-axis direction of the substrate on which the fourth fixed portion is disposed. For this reason, it is possible to provide a physical quantity sensor with high detection accuracy of the three-axis physical quantity, in which the influence of the external stress of the substrate is reduced.

［態様７］本態様に係る電子機器は、上記に記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする。   [Aspect 7] An electronic apparatus according to this aspect includes the physical quantity sensor described above, and a control unit that performs control based on a detection signal output from the physical quantity sensor.

本態様によれば、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、優れた信頼性を有する電子機器を提供することができる。   According to this aspect, it is possible to provide an electronic device that can enjoy the effects of the physical quantity sensor of the present invention and has excellent reliability.

［態様８］本態様に係る移動体は、上記に記載の物理量センサーと、前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、を含むことを特徴とする。   [Aspect 8] A moving object according to this aspect includes the physical quantity sensor described above, and a control unit that performs control based on a detection signal output from the physical quantity sensor.

本態様によれば、本発明の物理量センサーの効果を享受でき、優れた信頼性を有する移動体を提供することができる。   According to this aspect, it is possible to provide a moving object that can enjoy the effects of the physical quantity sensor of the present invention and has excellent reliability.

１…素子部、２…基板、２ｆ…上面、２ｎ…長辺、２ｓ…短辺、２ｗ…端子部、３…蓋体、３ｆ…下面、１０…凹部、１１…第１固定電極部、１２…第１固定電極部支持部、１３…第１幹部、１４…第１固定電極指、１５…第１可動部、１６…第１可動部支持部、１７…第１可動電極部、１８…第１可動電極指、２０…凹部、２１…第２固定電極部、２２…第２固定電極部支持部、２３…第２幹部、２４…第２固定電極指、２５…第２可動部、２６…第２可動部支持部、２７…第２可動電極部、２８…第２可動電極指、４１…第１固定部、４２…第２固定部、４３…第３固定部、４４…第４固定部、５１，５２…弾性部、６０…接合部材、１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｃ…物理量センサーとしての加速度センサー、１０１…第１機能素子、１０２…第２機能素子、１１００…電子機器としてのパーソナルコンピューター、１２００…電子機器としてのスマートフォン、１３００…電子機器としてのディジタルスチールカメラ、１５００…移動体としての自動車、ａ１，ａ２…矢印、Ｌ１，Ｌ２…長さ、Ｓ…内部空間。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Element part, 2 ... Substrate, 2f ... Upper surface, 2n ... Long side, 2s ... Short side, 2w ... Terminal part, 3 ... Lid, 3f ... Lower surface, 10 ... Depression, 11 ... First fixed electrode part, 12 ... First fixed electrode portion support portion, 13 first stem portion, 14 first fixed electrode finger, 15 first movable portion, 16 first movable portion support portion, 17 first movable electrode portion, 18 second 1 movable electrode finger, 20 recess, 21 second fixed electrode portion, 22 second fixed electrode portion support portion, 23 second stem portion, 24 second fixed electrode finger, 25 second movable portion, 26 Second movable portion support portion, 27: second movable electrode portion, 28: second movable electrode finger, 41: first fixed portion, 42: second fixed portion, 43: third fixed portion, 44: fourth fixed portion .., 51, 52... Elastic part, 60... Joining member, 100, 100a, 100b, 100c... 102, a second functional element, 1100, a personal computer as an electronic device, 1200, a smartphone as an electronic device, 1300, a digital still camera as an electronic device, 1500, an automobile as a moving object, a1, a2, arrows, L1, L2: length, S: internal space.

Claims (8)

互に直交する２つの方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向としたとき、
長辺と前記Ｘ軸方向と平行な短辺とを有する矩形の基板と、
前記基板に設けられ、物理量を検出する素子部と、を有し、
前記素子部は、
第１固定電極部と、
前記基板に対して平行な前記Ｘ軸方向に変位可能な第１可動部と、
前記第１可動部に設けられている第１可動電極部と、
前記第１可動部を支持している第１可動部支持部と、
前記第１固定電極部を支持している第１固定電極部支持部と、
第２固定電極部と、
前記基板に対して前記Ｙ軸方向に変位可能な第２可動部と、
前記第２可動部に設けられている第２可動電極部と、
前記第２可動部を支持している第２可動部支持部と、
前記第２固定電極部を支持している第２固定電極部支持部と、
を有し、
前記第１可動部支持部を前記基板に固定している第１固定部と前記第１固定電極部支持部を前記基板に固定している第２固定部とは、前記Ｘ軸方向に沿って配置され、
前記第２可動部支持部を前記基板に固定している第３固定部と前記第２固定電極部支持部を前記基板に固定している第４固定部とは、前記Ｘ軸方向に沿って配置されていることを特徴とする物理量センサー。 When two directions orthogonal to each other are defined as an X-axis direction and a Y-axis direction,
A rectangular substrate having a long side and a short side parallel to the X-axis direction;
An element unit that is provided on the substrate and detects a physical quantity,
The element unit includes:
A first fixed electrode unit;
A first movable portion displaceable in the X-axis direction parallel to the substrate;
A first movable electrode section provided on the first movable section;
A first movable portion supporting portion that supports the first movable portion;
A first fixed electrode portion supporting portion that supports the first fixed electrode portion;
A second fixed electrode unit;
A second movable portion displaceable in the Y-axis direction with respect to the substrate;
A second movable electrode section provided on the second movable section;
A second movable portion supporting portion that supports the second movable portion;
A second fixed electrode portion supporting portion supporting the second fixed electrode portion;
Has,
A first fixed portion fixing the first movable portion support portion to the substrate and a second fixed portion fixing the first fixed electrode portion support portion to the substrate are arranged along the X-axis direction. Placed,
A third fixed portion fixing the second movable portion support portion to the substrate and a fourth fixed portion fixing the second fixed electrode portion support portion to the substrate are arranged along the X-axis direction. A physical quantity sensor characterized by being arranged. 請求項１において、
前記第１固定電極部は、
第１幹部と、
前記第１幹部から前記Ｙ軸方向に延出している複数の第１固定電極指と、を有し、
前記第２固定電極部は、
第２幹部と、
前記第２幹部から前記Ｘ軸方向に延出している複数の第２固定電極指と、を有し、
前記第１可動電極部は、
前記第１固定電極指と前記Ｘ軸方向に対向する複数の第１可動電極指を有し、
前記第２可動電極部は、
前記第２固定電極指と前記Ｙ軸方向に対向する複数の第２可動電極指を有していることを特徴とする物理量センサー。 In claim 1,
The first fixed electrode unit includes:
The first executive,
A plurality of first fixed electrode fingers extending in the Y-axis direction from the first stem,
The second fixed electrode unit includes:
A second executive,
A plurality of second fixed electrode fingers extending in the X-axis direction from the second stem,
The first movable electrode unit includes:
A plurality of first movable electrode fingers opposed to the first fixed electrode finger in the X-axis direction;
The second movable electrode unit includes:
A physical quantity sensor comprising: a plurality of second movable electrode fingers facing the second fixed electrode finger in the Y-axis direction. 請求項２において、
前記第１幹部の長さは、前記第２幹部の長さと等しいことを特徴とする物理量センサー。 In claim 2,
The length of the first stem is equal to the length of the second stem. 請求項２において、
前記第２幹部の長さは、前記第１幹部の長さより長く、
前記第１可動電極指の長さは、前記第２可動電極指の長さより長いことを特徴とする物理量センサー。 In claim 2,
The length of the second trunk is longer than the length of the first trunk,
The physical quantity sensor according to claim 1, wherein a length of the first movable electrode finger is longer than a length of the second movable electrode finger. 請求項１乃至請求項４の何れか一項において、
前記素子部は、
前記物理量に応じて支持軸まわりに変位可能であり、開口部が設けられている第３可動部と、
前記第３可動部に設けられている第３可動電極部と、
前記基板に固定され、前記開口部に位置している支持部と、
前記基板の前記第３可動電極部に対向する位置に設けられている第３固定電極部と、
を有し、
前記第３固定電極部は、長辺と短辺とを有する矩形であり、
前記第３固定電極部の前記長辺は、前記Ｙ軸方向と平行であることを特徴とする物理量センサー。 In any one of claims 1 to 4,
The element unit includes:
A third movable portion that is displaceable around a support shaft according to the physical quantity and has an opening;
A third movable electrode section provided on the third movable section;
A support portion fixed to the substrate and located at the opening;
A third fixed electrode portion provided on the substrate at a position facing the third movable electrode portion;
Has,
The third fixed electrode portion is a rectangle having a long side and a short side,
The physical quantity sensor, wherein the long side of the third fixed electrode portion is parallel to the Y-axis direction. 請求項５において、
前記第１可動部、前記第２可動部、および前記第３可動部は、前記Ｙ軸方向に沿って配置されていることを特徴とする物理量センサー。 In claim 5,
The physical quantity sensor, wherein the first movable section, the second movable section, and the third movable section are arranged along the Y-axis direction. 請求項１乃至請求項６の何れか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、
を含むことを特徴とする電子機器。 A physical quantity sensor according to any one of claims 1 to 6,
A control unit that performs control based on a detection signal output from the physical quantity sensor,
An electronic device comprising: 請求項１乃至請求項６の何れか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、
を含むことを特徴とする移動体。 A physical quantity sensor according to any one of claims 1 to 6,
A control unit that performs control based on a detection signal output from the physical quantity sensor,
A moving object comprising:
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