JP2020012636A - Measuring device cover, measuring device with cover and cover for arm type robot - Google Patents

Measuring device cover, measuring device with cover and cover for arm type robot Download PDF

Info

Publication number
JP2020012636A
JP2020012636A JP2018132824A JP2018132824A JP2020012636A JP 2020012636 A JP2020012636 A JP 2020012636A JP 2018132824 A JP2018132824 A JP 2018132824A JP 2018132824 A JP2018132824 A JP 2018132824A JP 2020012636 A JP2020012636 A JP 2020012636A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cover
measuring device
probe
opening
main body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2018132824A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
雅典 新井
Masanori Arai
雅典 新井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp, Mitsutoyo Kiko Co Ltd filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP2018132824A priority Critical patent/JP2020012636A/en
Publication of JP2020012636A publication Critical patent/JP2020012636A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

To provide a measuring device cover that protects a moving mechanism of a measuring device that operates in an environment in which dust, mist and the like scatter.SOLUTION: A measuring device cover 1 is a cover attached to a measuring device 100 including a probe 140, a measuring head 130 that moves the probe 140, and a pillar 120 that supports the measuring head 130. The measuring device cover includes a cover body 2 having a first opening 21 through which the pillar 120 is inserted and a second opening 23 through which the probe 140 is inserted, and configured to house the measuring head 130. The cover body 2 has flexibility that can be deformed according to the movement of the probe 140.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、測定装置に装着される測定装置用カバー、測定装置用カバーを装着されたカバー付測定装置、および、アーム型ロボットに装着されるアーム型ロボット用カバーに関するものである。   The present invention relates to a measuring device cover mounted on a measuring device, a measuring device with a cover mounted with the measuring device cover, and an arm type robot cover mounted on an arm type robot.

三次元測定機や形状測定機等、プローブを移動させる移動機構を有する測定装置では、移動機構に異物が侵入することを防ぐための防塵機構が設けられている。
例えば、特許文献1に開示される三次元座標測定機では、プローブを支持するキャリッジがガイド機構によって移動可能に構成されている。このようなガイド機構では、キャリッジがスライドする溝の開口部に対し、キャリッジの移動に伴って伸縮する蛇腹カバーが設けられている。
2. Description of the Related Art In a measuring apparatus having a moving mechanism for moving a probe, such as a three-dimensional measuring machine or a shape measuring machine, a dustproof mechanism for preventing foreign matter from entering the moving mechanism is provided.
For example, in a three-dimensional coordinate measuring machine disclosed in Patent Document 1, a carriage supporting a probe is configured to be movable by a guide mechanism. In such a guide mechanism, a bellows cover that expands and contracts with the movement of the carriage is provided at the opening of the groove in which the carriage slides.

特開2018−017738号公報JP 2018-017738 A

近年、工場等の製造現場に三次元測定機や形状測定機等の測定装置を設置し、製造直後の製品を測定したいという要望がある。
そこで、いわゆる門型ではなく、狭い場所への設置が容易な支柱型の測定装置を製造現場に設置することが検討されている。なお、本明細書において、支柱型の測定装置とは、モータ等の駆動によりプローブを移動させる移動機構を1本の支柱により支持するタイプの測定装置をいう。あるいは、多関節アーム機構にプローブが取り付けられた測定用多関節アームロボットやアーム型三次元測定装置など、多関節アーム機構を使用した測定装置を製造現場に設置することも検討されている。
In recent years, there has been a demand for installing a measuring device such as a three-dimensional measuring machine or a shape measuring machine at a manufacturing site such as a factory to measure a product immediately after manufacturing.
Therefore, it has been studied to install a column-type measuring device that can be easily installed in a narrow place at a manufacturing site instead of a so-called gate type. Note that in this specification, a column-type measuring device refers to a type of measuring device in which a moving mechanism that moves a probe by driving a motor or the like is supported by a single column. Alternatively, installation of a measuring device using a multi-joint arm mechanism at a manufacturing site, such as a multi-joint arm robot for measurement in which a probe is attached to the multi-joint arm mechanism or an arm type three-dimensional measuring device, is also being studied.

しかし、上述したような測定装置は、細かな粒子の塵やミストが生じる製造現場に設置して使用することが困難である。
例えば、支柱型測定装置の移動機構に対して、特許文献1に記載される蛇腹カバーを設けたとしても、蛇腹カバーの折り目に存在する隙間を介して、塵やミストが移動機構に侵入してしまう。また、多関節アーム機構を使用した測定装置では、アーム部同士を連結する関節部に塵やミストが侵入してしまう可能性がある。同様の問題は、多関節アーム機構を使用したアーム型ロボットにも共通する。
However, it is difficult to install and use the above-described measuring device at a manufacturing site where fine particles of dust and mist are generated.
For example, even if the bellows cover described in Patent Literature 1 is provided for the moving mechanism of the column-type measuring device, dust and mist enter the moving mechanism through the gap existing in the fold of the bellows cover. I will. Further, in a measuring device using a multi-joint arm mechanism, there is a possibility that dust or mist may enter a joint connecting the arms. A similar problem is common to an arm type robot using an articulated arm mechanism.

本発明の目的は、塵やミスト等が飛散する環境下で測定を可能にするための測定装置用カバー、当該測定装置用カバーが装着されたカバー付測定装置、および、アーム型ロボット用カバーを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a cover for a measuring device for enabling measurement in an environment where dust or mist or the like is scattered, a measuring device with a cover to which the cover for the measuring device is attached, and a cover for an arm type robot. To provide.

本発明に係る測定装置用カバーは、プローブと、前記プローブを移動させる移動機構と、前記移動機構を支持する支柱とを備える測定装置に装着される測定装置用カバーであって、前記支柱が挿通する第一開口および前記プローブが挿通する第二開口を有し、かつ、前記移動機構を収容するように構成されたカバー本体を備え、前記カバー本体は、前記プローブの移動に応じて変形可能な柔軟性を有することを特徴とする。   The measuring device cover according to the present invention is a measuring device cover attached to a measuring device including a probe, a moving mechanism for moving the probe, and a support for supporting the moving mechanism, wherein the support is inserted. A cover main body configured to accommodate the moving mechanism, the cover main body being deformable in accordance with the movement of the probe. It is characterized by having flexibility.

本発明に係る測定装置用カバーは、いわゆる支柱型測定装置に使用される。このような構成の測定装置用カバーを測定装置に装着する場合、カバー本体に移動機構を収容し、カバー本体の第一開口に支柱を挿通させ、かつ、カバー本体の第二開口にプローブを挿通させる。そして、第一開口および第二開口部の各周縁部を支柱およびプローブの各周面に対して密着させることにより、支柱が挿通した第一開口とプローブが挿通した第二開口とをそれぞれ気密に閉じる。これにより、カバー本体が密封され、移動機構が外気中の塵やミストから保護される。
なお、測定装置用カバーを装着された測定装置において、プローブは、カバー本体から第二開口を介して露出するため、カバー本体の外側に配置される被測定物を測定できる。また、カバー本体は、プローブの移動に応じて変形可能な柔軟性を有するため、プローブは、カバー本体に阻害されずに移動しながら被測定物を測定できる。
したがって、本発明によれば、塵やミスト等が飛散する環境下で動作する測定装置を保護する測定装置用カバーが提供される。
The cover for a measuring device according to the present invention is used for a so-called support type measuring device. When the measuring device cover having such a configuration is mounted on the measuring device, the moving mechanism is accommodated in the cover main body, the support is inserted through the first opening of the cover main body, and the probe is inserted through the second opening of the cover main body. Let it. Then, by bringing the respective peripheral portions of the first opening and the second opening into close contact with the respective peripheral surfaces of the support and the probe, the first opening through which the support is inserted and the second opening through which the probe is inserted are hermetically sealed, respectively. close. Thereby, the cover body is sealed, and the moving mechanism is protected from dust and mist in the outside air.
In the measuring device equipped with the measuring device cover, since the probe is exposed from the cover main body through the second opening, the probe can measure an object to be measured arranged outside the cover main body. In addition, since the cover main body has flexibility that can be deformed in accordance with the movement of the probe, the probe can measure the object to be measured while moving without being disturbed by the cover main body.
Therefore, according to the present invention, there is provided a cover for a measurement device that protects the measurement device that operates in an environment where dust, mist, and the like are scattered.

本発明に係る測定装置用カバーは、前記カバー本体に取り付けられ、前記カバー本体の内外の換気を行う換気部をさらに備えることが好ましい。
このような構成によれば、移動機構の駆動部等から発生する熱がカバー本体の内部に蓄積することを抑制できる。これにより、測定装置の各部の熱膨張による測定誤差を抑制したり、測定装置の熱暴走を防止したりできる。
It is preferable that the measuring device cover according to the present invention further includes a ventilator attached to the cover main body and configured to ventilate inside and outside of the cover main body.
According to such a configuration, it is possible to suppress the heat generated from the drive unit or the like of the moving mechanism from accumulating inside the cover body. Thereby, a measurement error due to thermal expansion of each part of the measuring device can be suppressed, and thermal runaway of the measuring device can be prevented.

本発明に係る測定装置用カバーにおいて、前記カバー本体には、前記第二開口の周縁部に沿った環状の弾性リングが取り付けられていることが好ましい。
このような構成では、プローブを弾性リングに圧入することにより、第二開口を容易に閉じることができる。
In the measuring device cover according to the present invention, it is preferable that an annular elastic ring is attached to the cover main body along a peripheral portion of the second opening.
In such a configuration, the second opening can be easily closed by press-fitting the probe into the elastic ring.

本発明に係る測定装置用カバーにおいて、前記カバー本体は、前記プローブの各移動方向において、前記移動機構よりも大きく構成されていることが好ましい。
このような構成では、測定装置用カバーが測定装置に装着された状態において、カバー本体がプローブの周囲に弛みを形成する。カバー本体の弛みがプローブの移動に応じて変形することにより、カバー本体が突っ張ることがなく、プローブの移動に加わる抵抗が低減される。これにより、測定装置における測定精度の低下を抑制できる。
In the measuring device cover according to the present invention, it is preferable that the cover body is configured to be larger than the moving mechanism in each moving direction of the probe.
In such a configuration, the cover body forms slack around the probe when the cover for the measuring device is mounted on the measuring device. Since the slack of the cover main body is deformed in accordance with the movement of the probe, the cover main body does not stretch and the resistance applied to the movement of the probe is reduced. Thereby, it is possible to suppress a decrease in measurement accuracy in the measurement device.

本発明に係る測定装置用カバーにおいて、前記カバー本体における前記プローブの周りには、前記カバー本体を前記プローブから離れる側に引っ張る弾性部材が接続されていることが好ましい。
このような構成によれば、カバー本体の弛みが大きい場合には、弾性部材がカバー本体の弛みをプローブから引き離すように引っ張るため、当該弛みがプローブに干渉することを抑制できる。これにより、測定精度の低下を抑制できる。
In the measurement device cover according to the present invention, it is preferable that an elastic member that pulls the cover body away from the probe is connected around the probe in the cover body.
According to such a configuration, when the slack of the cover main body is large, the elastic member pulls the slack of the cover main body so as to separate the slack from the probe, so that the slack can be prevented from interfering with the probe. Thereby, a decrease in measurement accuracy can be suppressed.

本発明に係る測定装置用カバーにおいて、前記カバー本体における前記第二開口の周りには、前記第二開口を中心とする蛇腹状の折り目が形成されていることが好ましい。
このような構成によれば、カバー本体の弛みが垂れ下がる量を小さくできるため、カバー本体の弛みがプローブに干渉することを抑制できる。また、カバー本体がある程度の剛性を有していたとしても、蛇腹状の折り目が伸縮することにより、プローブの移動に加わる抵抗がより低減される。
In the measuring device cover according to the present invention, it is preferable that a bellows-like fold centering on the second opening is formed around the second opening in the cover body.
According to such a configuration, the amount by which the slack of the cover main body sags can be reduced, so that interference of the slack of the cover main body with the probe can be suppressed. Further, even if the cover body has a certain degree of rigidity, the resistance applied to the movement of the probe is further reduced due to the expansion and contraction of the bellows-like fold.

本発明のカバー付測定装置は、プローブと、前記プローブを移動させる移動機構と、前記移動機構を支持する支柱と、上述の測定装置用カバーとを備えることを特徴とする。本発明のカバー付測定装置によれば、塵やミスト等が飛散する環境下であってもプローブを安定して移動させることができる。   A measuring device with a cover according to the present invention includes a probe, a moving mechanism for moving the probe, a support for supporting the moving mechanism, and the above-described measuring device cover. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the measuring apparatus with a cover of this invention, a probe can be moved stably even in the environment where dust, mist, etc. scatter.

本発明の第二態様による測定装置用カバーは、複数のアーム部および前記アーム部同士を連結する関節部を有する多関節アーム機構と、前記多関節アーム機構に取り付けられたプローブとを備える測定装置に装着される測定装置用カバーであって、互いに異なる前記アーム部が挿通する第一開口および第二開口を有し、かつ、前記関節部を収容するように構成されたカバー本体を備え、前記カバー本体は、前記プローブの移動に応じて変形可能な柔軟性を有することを特徴とする。   A measurement device cover according to a second aspect of the present invention includes a multi-joint arm mechanism having a plurality of arms and joints connecting the arms, and a probe attached to the multi-joint arm mechanism. A measurement device cover attached to the, having a first opening and a second opening through which the different arm portion is inserted, and comprising a cover body configured to accommodate the joint portion, The cover body has a flexibility that can be deformed according to the movement of the probe.

本発明の第二態様による測定装置用カバーは、多関節アームロボットやアーム型三次元測定機など、多関節アーム機構を使用した測定装置に使用される。このような構成の測定装置用カバーを測定装置に装着する場合、カバー本体に関節部を収容し、カバー本体の第一開口および第二開口に互いに異なるアーム部を挿通させる。そして、第一開口および第二開口部の各周縁部を各アーム部の周面に対して密着させることにより、第一開口および第二開口をそれぞれ気密に閉じる。これにより、カバー本体が密封され、関節部が外気中の塵やミストから保護される。また、カバー本体は、プローブの移動に応じて変形可能な柔軟性を有するため、プローブは、カバー本体に阻害されずに移動しながら被測定物を測定できる。
したがって、本発明によれば、塵やミスト等が飛散する環境下で動作する測定装置を保護する測定装置用カバーが提供される。
The measurement device cover according to the second aspect of the present invention is used for a measurement device using an articulated arm mechanism, such as an articulated arm robot or an arm-type three-dimensional measuring device. When the measurement device cover having such a configuration is mounted on the measurement device, the joint portion is housed in the cover body, and different arm portions are inserted through the first opening and the second opening of the cover body. Then, the first opening and the second opening are air-tightly closed by bringing the respective peripheral portions of the first opening and the second opening into close contact with the peripheral surface of each arm. Thereby, the cover body is sealed, and the joint is protected from dust and mist in the outside air. In addition, since the cover main body has flexibility that can be deformed in accordance with the movement of the probe, the probe can measure the object to be measured while moving without being disturbed by the cover main body.
Therefore, according to the present invention, there is provided a cover for a measurement device that protects the measurement device that operates in an environment where dust, mist, and the like are scattered.

本発明に係るカバー付測定装置は、複数のアーム部および前記アーム部同士を連結する関節部を有する多関節アーム機構と、前記多関節アーム機構に取り付けられて対象物の測定を行うセンサと、上述の第二態様による測定装置用カバーと、を備えることを特徴とする。本発明のカバー付測定装置によれば、塵やミスト等が飛散する環境下であってもプローブを安定して動作させることができる。   A measuring device with a cover according to the present invention includes a multi-joint arm mechanism having a plurality of arms and joints connecting the arms, a sensor attached to the multi-joint arm mechanism to measure an object, And a cover for a measuring device according to the second aspect described above. According to the measuring device with a cover of the present invention, the probe can be operated stably even in an environment where dust, mist, and the like are scattered.

本発明のアーム型ロボット用カバーは、複数のアーム部および前記アーム部同士を連結する関節部を有する多関節アーム機構を備える駆動装置に装着されるアーム型ロボット用カバーであって、互いに異なる前記アーム部が挿通する第一開口および第二開口を有し、かつ、前記関節部を収容するように構成されたカバー本体を備え、前記カバー本体は、前記多関節アーム機構の動作に応じて変形可能な柔軟性を有することを特徴とする。
本発明は、測定装置用カバーに限られず、アーム型ロボット用カバーに広く適用できる。本発明のアーム型ロボット用カバーによれば、塵やミスト等が飛散する環境下において多関節アーム機構を保護することができる。
An arm-type robot cover according to the present invention is an arm-type robot cover attached to a drive device having a multi-joint arm mechanism having a plurality of arms and joints connecting the arms. A cover main body having a first opening and a second opening through which the arm section is inserted, and configured to accommodate the joint section, wherein the cover main body is deformed according to the operation of the multi-joint arm mechanism; It is characterized by having possible flexibility.
INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is not limited to a cover for a measuring device, and can be widely applied to a cover for an arm type robot. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the cover for arm type robots of this invention, the articulated arm mechanism can be protected under the environment where dust and mist scatter.

本発明の第一実施形態に係る測定装置用カバーと当該測定装置用カバーが装着された測定装置とを示す模式図。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a measurement device cover according to a first embodiment of the present invention and a measurement device to which the measurement device cover is attached. 前記第一実施形態の測定装置用カバーを装着された測定装置を示す背面斜視図。FIG. 2 is a rear perspective view showing the measuring device provided with the measuring device cover of the first embodiment. 前記第一実施形態のカバー本体の弛みを示す模式図。FIG. 3 is a schematic diagram showing a slack of the cover body of the first embodiment. 前記第一実施形態の変形例に係る測定装置用カバーを示す模式図。The schematic diagram which shows the cover for measuring devices concerning the modification of the said 1st embodiment. 前記第一実施形態の他の変形例に係る測定装置用カバーを示す模式図。The schematic diagram which shows the cover for measuring devices which concerns on the other modification of the said 1st embodiment. 前記第一実施形態の他の変形例に係る測定装置用カバーを示す模式図であり、カバー本体におけるプローブ周りの部分を示す図。FIG. 9 is a schematic view showing a measurement device cover according to another modified example of the first embodiment, showing a portion around a probe in a cover body. 図6の測定装置用カバーを示す模式図。The schematic diagram which shows the cover for measuring devices of FIG. 本発明の第二実施形態に係る測定装置用カバーと当該測定装置用カバーが装着された測定装置とを示す模式図。The schematic diagram which shows the cover for measuring devices which concerns on 2nd embodiment of this invention, and the measuring device with which the cover for measuring devices was mounted.

〔第一実施形態〕
本発明に係る第一実施形態の測定装置用カバーについて説明する。
図1および図2は、本実施形態の測定装置用カバー1の使用態様を示す図である。図1および図2に示すように、測定装置用カバー1は、例えば三次元測定機である測定装置100に装着され、測定装置100を塵やミストから保護するものである。なお、図1では、測定装置用カバー1のうち測定装置100を覆う部分について、輪郭部分のみを示している。換言すると、図1では、測定装置用カバー1に覆われた測定装置100の部分についても図示している。
(First embodiment)
The measurement device cover according to the first embodiment of the present invention will be described.
FIG. 1 and FIG. 2 are views showing a use mode of the cover 1 for a measuring device of the present embodiment. As shown in FIGS. 1 and 2, the measuring device cover 1 is attached to a measuring device 100, for example, a three-dimensional measuring machine, and protects the measuring device 100 from dust and mist. FIG. 1 shows only the outline of the portion of the cover 1 for the measuring device that covers the measuring device 100. In other words, FIG. 1 also illustrates a portion of the measuring device 100 covered by the measuring device cover 1.

本実施形態において、測定装置用カバー1が装着される測定装置100は、支柱型の測定装置である。具体的には、測定装置100は、基台110と、基台110に立設された支柱120と、支柱120に支持された測定ヘッド130と、測定ヘッド130に支持されたプローブ140とを備えている。   In the present embodiment, the measuring device 100 to which the measuring device cover 1 is attached is a column-type measuring device. Specifically, the measuring apparatus 100 includes a base 110, a support 120 erected on the base 110, a measurement head 130 supported by the support 120, and a probe 140 supported by the measurement head 130. ing.

基台110には、図示を省略するが、被測定物が載置されるテーブルが設置される。支柱120は、基台110の上面からZ軸方向(垂直方向)に延びており、測定ヘッド130を支持している。
測定ヘッド130は、本発明の移動機構に相当するものであり、支柱120に取り付けられた取付部131と、取付部131に対してZ軸方向に移動可能に設けられたヘッド本体132と、ヘッド本体132に対してY軸方向(Z軸方向の直交方向)に移動可能に設けられたYスライダ133と、Yスライダ133に対してX軸方向(Y,Z軸方向の直交方向)に移動可能に設けられたXスライダ134とを備えている。また、測定ヘッド130は、図示を省略するが、ヘッド本体132、Yスライダ133およびXスライダ134を各軸方向に駆動するための駆動部や、これらの座標を取得するためのスケール等を備えている。
Although not shown, a table on which an object to be measured is placed is installed on the base 110. The column 120 extends in the Z-axis direction (vertical direction) from the upper surface of the base 110, and supports the measuring head 130.
The measuring head 130 corresponds to a moving mechanism of the present invention, and includes a mounting portion 131 mounted on the support 120, a head main body 132 movably provided in the Z-axis direction with respect to the mounting portion 131, A Y slider 133 provided movably in the Y-axis direction (perpendicular to the Z-axis direction) with respect to the main body 132, and movable in the X-axis direction (perpendicular to the Y- and Z-axis directions) with respect to the Y slider 133. And an X slider 134 provided at the end. Although not shown, the measuring head 130 includes a driving unit for driving the head main body 132, the Y slider 133, and the X slider 134 in each axial direction, a scale for acquiring these coordinates, and the like. I have.

プローブ140は、Xスライダ134に支持されたプローブ本体141と、プローブ本体141に装着されたスタイラス142とを有している。プローブ本体141は、被測定物に接触したスタイラス142の変位を電気信号として検出する。なお、プローブ140は、このような接触式の構成に限定されず、非接触式に構成されていてもよい。   The probe 140 has a probe main body 141 supported by the X slider 134 and a stylus 142 mounted on the probe main body 141. The probe body 141 detects the displacement of the stylus 142 that has come into contact with the measured object as an electric signal. In addition, the probe 140 is not limited to such a contact type configuration, and may be a non-contact type configuration.

以上の構成を有する測定装置100では、測定ヘッド130が、プローブ140を各軸方向へ移動させながらスタイラス142を被測定物に接触させる。測定装置100は、プローブ140が被測定物に接触したときの測定ヘッド130の各軸の座標値やスタイラス142の変位情報に基づいて、被測定物の寸法や形状を測定できる。   In the measuring apparatus 100 having the above configuration, the measuring head 130 causes the stylus 142 to come into contact with the measured object while moving the probe 140 in each axis direction. The measuring apparatus 100 can measure the size and shape of the measured object based on the coordinate values of the axes of the measuring head 130 and the displacement information of the stylus 142 when the probe 140 comes into contact with the measured object.

測定装置用カバー1は、測定装置100に装着されて使用される。具体的には、測定装置用カバー1は、測定ヘッド130を収容するカバー本体2と、カバー本体2に取り付けられた換気部3とを備えている。   The measuring device cover 1 is used by being attached to the measuring device 100. More specifically, the measuring device cover 1 includes a cover main body 2 that houses the measuring head 130 and a ventilation unit 3 attached to the cover main body 2.

カバー本体2は、ビニール等の柔軟性を有するシート材によって袋状に構成されており、測定ヘッド130および測定ヘッド130が取り付けられた支柱120の上側部分121を共に収容する。   The cover body 2 is formed in a bag shape from a flexible sheet material such as vinyl, and accommodates both the measuring head 130 and the upper part 121 of the support 120 to which the measuring head 130 is attached.

カバー本体2には、支柱120が挿通する第一開口21が形成されている。測定装置用カバー1の装着後、カバー本体2における第一開口21の周縁部210は、テープ等の固定具41によって、支柱120の周面122に対して密着固定される。   The cover main body 2 has a first opening 21 through which the support 120 is inserted. After the measurement device cover 1 is attached, the peripheral portion 210 of the first opening 21 in the cover main body 2 is tightly fixed to the peripheral surface 122 of the column 120 by a fixing tool 41 such as a tape.

また、カバー本体2には、第一開口21の縁から切り込まれた形状のスリット22が形成されている。測定装置用カバー1の装着前、作業者の手で広げられた状態のスリット22は、第一開口21と共により広い開口を形成し、測定ヘッド130等を挿通することができる。
カバー本体2におけるスリット22の周囲には、ファスナー42が取り付けられている。ファスナー42は、例えばスライドファスナーまたは面ファスナーであり、スリット22の切り込み方向(長手方向)に沿うように、スリット22の長手方向の両端部間にわたって取り付けられている。測定装置用カバー1の装着後、ファスナー42を閉じることにより、スリット22の開口を閉じることができる。
The cover main body 2 is formed with a slit 22 cut from the edge of the first opening 21. Before the measurement device cover 1 is attached, the slit 22 that is opened by the operator's hand forms a wider opening together with the first opening 21 so that the measurement head 130 and the like can be inserted.
A fastener 42 is attached around the slit 22 in the cover body 2. The fastener 42 is, for example, a slide fastener or a hook-and-loop fastener, and is attached between both ends in the longitudinal direction of the slit 22 so as to be along the cutting direction (longitudinal direction) of the slit 22. After the cover 1 for the measuring device is mounted, the opening of the slit 22 can be closed by closing the fastener 42.

また、カバー本体2には、プローブ140が挿通する第二開口23が形成されており、第二開口23には弾性リング43が取り付けられている。弾性リング43は、第二開口23の周縁部に沿った環状の形状を有しており、弾性リング43の内径は、プローブ140の根本部分となるプローブ本体141の径よりも若干小さく設定されている。弾性リング43は、プローブ本体141が圧入されることにより弾性変形し、プローブ本体141に密着する。   Further, a second opening 23 through which the probe 140 is inserted is formed in the cover body 2, and an elastic ring 43 is attached to the second opening 23. The elastic ring 43 has an annular shape along the peripheral edge of the second opening 23, and the inner diameter of the elastic ring 43 is set to be slightly smaller than the diameter of the probe body 141 that is the root of the probe 140. I have. The elastic ring 43 is elastically deformed when the probe body 141 is press-fitted, and comes into close contact with the probe body 141.

換気部3は、吸気ファン31、排気ファン32およびケーブル挿通部33を有しており、不図示のクランプ部材などによって、支柱120の上面123に固定される。
吸気ファン31は、カバー本体2の内部空間25へ外気を送り込み、排気ファン32は、カバー本体2の内部空間25の空気を外部に送り出す。吸気ファン31および排気ファン32には、外気中の塵やミストがカバー本体2の内部空間25へ侵入することを防止するためのフィルタがそれぞれ設けられている。
ケーブル挿通部33は、測定ヘッド130に接続されたケーブル151(例えば信号ケーブルや電力ケーブル)を挿通させる孔331を有している。
The ventilation unit 3 includes an intake fan 31, an exhaust fan 32, and a cable insertion unit 33, and is fixed to the upper surface 123 of the column 120 by a clamp member (not shown) or the like.
The intake fan 31 sends outside air into the internal space 25 of the cover main body 2, and the exhaust fan 32 sends out air in the internal space 25 of the cover main body 2 to the outside. Each of the intake fan 31 and the exhaust fan 32 is provided with a filter for preventing dust and mist in the outside air from entering the internal space 25 of the cover body 2.
The cable insertion portion 33 has a hole 331 through which a cable 151 (for example, a signal cable or a power cable) connected to the measurement head 130 is inserted.

以上の構成を有する測定装置用カバー1が測定装置100に装着された状態において、カバー本体2は、測定装置100に対して複数(例えば三箇所)の部位で固定される。具体的には、カバー本体2は、弾性リング43を介してプローブ140に固定され、固定具41によって支柱120の周面122に固定され、かつ、換気部3を介して支柱120の上面123に固定される。   With the measuring device cover 1 having the above configuration attached to the measuring device 100, the cover main body 2 is fixed to the measuring device 100 at a plurality of (for example, three) portions. Specifically, the cover main body 2 is fixed to the probe 140 via the elastic ring 43, is fixed to the peripheral surface 122 of the support 120 by the fixing tool 41, and is fixed to the upper surface 123 of the support 120 via the ventilation part 3. Fixed.

このような構成のカバー本体2は、プローブ140の各移動方向において、測定ヘッド130よりも大きく構成されている。特に、カバー本体2において、弾性リング43と換気部3との間を接続する範囲、および、弾性リング43と固定具41との間を接続する範囲は、測定ヘッド130を覆うために必要な最小の寸法に対してプローブ140の各軸方向の移動距離を加味することにより設定されている。   The cover body 2 having such a configuration is larger than the measuring head 130 in each moving direction of the probe 140. In particular, in the cover body 2, the range connecting between the elastic ring 43 and the ventilation unit 3 and the range connecting between the elastic ring 43 and the fixture 41 are the minimum required to cover the measuring head 130. The dimension is set by taking into account the distance of movement of the probe 140 in each axial direction with respect to the dimension.

このような構成のカバー本体2が測定ヘッド130等を収容した状態において、カバー本体2におけるプローブ140の周囲には弛み2Aが形成される。例えば、図3(A)に示すように、プローブ140がY軸方向の最も一方側に位置するとき、プローブ140に対するY軸方向の一方側におけるカバー本体2には、プローブ140のY軸方向の移動可能距離分の弛み2Aが形成される。
このようなカバー本体2の弛み2Aは、プローブ140の移動時、プローブ140から加わる力によって伸び縮みするように変形する。例えば、図3(B)に示すように、プローブ140がY軸方向の一方側から他方側に移動した場合、カバー本体2では、プローブ140のY軸方向の一方側の弛み2Aが小さくなると共に、プローブ140のY軸方向の他方側の弛み2Aが大きくなるように変形する。
なお、図3(A)(B)では、Y軸方向の弛み2Aについて図示しているが、X軸方向の弛み2Aについても同様である。
このような構成によれば、プローブ140が各軸方向に移動する時、カバー本体2に突っ張りが生じず、プローブ140の移動がカバー本体2に阻害されない。これより、プローブ140の移動に加わる抵抗が低減される。
When the cover main body 2 having such a configuration houses the measuring head 130 and the like, a slack 2A is formed around the probe 140 in the cover main body 2. For example, as shown in FIG. 3A, when the probe 140 is located at the most one side in the Y-axis direction, the cover body 2 on one side in the Y-axis direction with respect to the probe 140 is attached to the cover 140 in the Y-axis direction. A slack 2A corresponding to the movable distance is formed.
The slack 2A of the cover body 2 is deformed so as to expand and contract by the force applied from the probe 140 when the probe 140 moves. For example, as shown in FIG. 3B, when the probe 140 moves from one side in the Y-axis direction to the other side, in the cover body 2, the slack 2A of the probe 140 in one side in the Y-axis direction is reduced, and The probe 140 is deformed so that the slack 2A on the other side in the Y-axis direction becomes large.
Although FIGS. 3A and 3B show the slack 2A in the Y-axis direction, the same applies to the slack 2A in the X-axis direction.
According to such a configuration, when the probe 140 moves in each axial direction, no tension occurs in the cover body 2, and the movement of the probe 140 is not hindered by the cover body 2. Thus, the resistance applied to the movement of the probe 140 is reduced.

以上の構成を有する測定装置用カバー1を測定装置100に装着する方法の例について説明する。
まず、プローブ本体141を弾性リング43に圧入する。これにより、弾性リング43がプローブ140に固定され、カバー本体2の第二開口23が気密に閉じられる。
次に、スリット22の開口を広げた状態のまま、第一開口21およびスリット22を介して、測定ヘッド130をカバー本体2に収容する。このとき、カバー本体2を測定ヘッド130に下側から被せていき、換気部3を支柱120の上面123に固定した後、カバー本体2を支柱120に上側から被せる。また、測定ヘッド130に接続されたケーブル151をケーブル挿通部33の孔331に挿通させ、シーリング材などによって孔331の隙間を密封する。
An example of a method of attaching the measuring device cover 1 having the above configuration to the measuring device 100 will be described.
First, the probe body 141 is pressed into the elastic ring 43. Thereby, the elastic ring 43 is fixed to the probe 140, and the second opening 23 of the cover main body 2 is airtightly closed.
Next, the measurement head 130 is housed in the cover body 2 via the first opening 21 and the slit 22 with the opening of the slit 22 being widened. At this time, the cover main body 2 is put on the measuring head 130 from below, and the ventilation part 3 is fixed to the upper surface 123 of the support 120, and then the cover main body 2 is put on the support 120 from above. Further, the cable 151 connected to the measuring head 130 is inserted into the hole 331 of the cable insertion portion 33, and the gap between the holes 331 is sealed with a sealing material or the like.

次に、ファスナー42を使用してスリット22の開口を閉じることによって、スリット22を気密に閉じる。その後、第一開口21の周縁部210を支柱120の周面122に対して密着させ、固定具41によって固定する。これにより、第一開口21が気密に閉じられる。
以上により、測定装置用カバー1が測定装置100に装着される。測定装置用カバー1が装着された状態の測定装置100は、本発明のカバー付測定装置に相当する。
Next, the slit 22 is airtightly closed by closing the opening of the slit 22 using the fastener 42. Then, the peripheral portion 210 of the first opening 21 is brought into close contact with the peripheral surface 122 of the column 120, and is fixed by the fixing tool 41. Thereby, the first opening 21 is airtightly closed.
As described above, the measuring device cover 1 is attached to the measuring device 100. The measuring device 100 with the measuring device cover 1 attached thereto corresponds to the measuring device with a cover of the present invention.

〔第一実施形態の効果〕
測定装置用カバー1のカバー本体2は、測定ヘッド130を収容した状態で密封されるため、測定ヘッド130を外気中の塵やミストから保護することができる。また、プローブ140は、カバー本体2から第二開口23を介して露出するため、カバー本体2の外側に配置される被測定物を測定できる。また、カバー本体2は、プローブ140の移動に応じて変形可能な柔軟性を有するため、プローブ140は、カバー本体2に阻害されずに移動しながら被測定物を測定できる。
したがって、測定装置用カバー1は、塵やミストなどが飛散する環境下で動作する測定ヘッド130を保護することができる。
[Effects of the first embodiment]
Since the cover main body 2 of the measuring device cover 1 is sealed in a state in which the measuring head 130 is housed, the measuring head 130 can be protected from dust and mist in the outside air. Further, since the probe 140 is exposed from the cover main body 2 via the second opening 23, it is possible to measure an object to be measured arranged outside the cover main body 2. In addition, since the cover main body 2 has flexibility that can be deformed in accordance with the movement of the probe 140, the probe 140 can measure an object to be measured while moving without being hindered by the cover main body 2.
Therefore, the measuring device cover 1 can protect the measuring head 130 operating in an environment where dust, mist, and the like are scattered.

カバー本体2は、ビニールなどにより構成されるため、塵やミストで汚れた場合には廃棄可能な使い捨てタイプとして構成できる。これにより、製造現場に設置される測定装置100に対して、測定装置用カバー1をより好適に利用できる。   Since the cover body 2 is made of vinyl or the like, it can be configured as a disposable type that can be discarded when it is soiled with dust or mist. Thus, the measuring device cover 1 can be more suitably used for the measuring device 100 installed at the manufacturing site.

測定装置用カバー1は、カバー本体2の内外の換気を行う換気部3を有するため、測定ヘッド130の駆動部などから発生する熱がカバー本体2の内部に蓄積することを抑制できる。これにより、測定装置100の各部の熱膨張による測定誤差を抑制したり、測定装置100の熱暴走を防止したりできる。
なお、カバー本体2が使い捨てタイプとして構成される場合、換気部3は、カバー本体2に対して脱着可能に構成され、再利用されてもよい。
Since the measurement device cover 1 has the ventilation unit 3 that ventilates the inside and outside of the cover main body 2, it is possible to suppress heat generated from the driving unit of the measurement head 130 and the like from accumulating inside the cover main body 2. Thereby, a measurement error due to thermal expansion of each part of the measuring device 100 can be suppressed, and thermal runaway of the measuring device 100 can be prevented.
When the cover body 2 is configured as a disposable type, the ventilation unit 3 may be configured to be detachable from the cover body 2 and may be reused.

カバー本体2には、第二開口23の周縁部に沿った環状の弾性リング43が取り付けられている。このため、プローブ140を弾性リング43に挿通させることにより、第二開口23を容易に閉じることができる。   An annular elastic ring 43 is attached to the cover body 2 along the peripheral edge of the second opening 23. Therefore, by inserting the probe 140 through the elastic ring 43, the second opening 23 can be easily closed.

カバー本体2は、プローブ140の各移動方向において、測定ヘッド130よりも大きく構成されている。このような構成では、測定装置用カバー1が測定装置100に装着された状態において、カバー本体2がプローブ140の周囲に弛み2Aを形成する。カバー本体2の弛み2Aがプローブ140の移動に応じて変形することにより、カバー本体2が突っ張ることがなく、プローブ140の移動に加わる抵抗が低減される。これにより、測定装置100における測定精度の低下を抑制できる。   The cover main body 2 is larger than the measuring head 130 in each moving direction of the probe 140. In such a configuration, the cover main body 2 forms a slack 2 </ b> A around the probe 140 in a state in which the measuring device cover 1 is attached to the measuring device 100. Since the slack 2A of the cover main body 2 is deformed in accordance with the movement of the probe 140, the cover main body 2 is not stretched, and the resistance applied to the movement of the probe 140 is reduced. This can suppress a decrease in measurement accuracy in the measurement device 100.

〔第一実施形態の変形例〕
(変形例1)
図4に示すように、変形例1の測定装置用カバー1Aは、カバー本体2に接続された1つ以上の弾性部材5を備えていてもよい。
弾性部材5は、例えばコイルバネであり、弾性部材5の一端は、カバー本体2において弛み2Aが形成される部分に接続され、弾性部材5の他端は、プローブ140に対して水平な位置か、プローブ140よりも鉛直方向上側の位置に接続される。弾性部材5の他端が接続される場所は、カバー本体2であってもよいし、測定装置100の近傍に存在する柱や壁などの設備であってもよい。カバー本体2に対して複数の弾性部材5が設けられる場合には、プローブ140を中心として均等に配置されることが好ましい。また、弾性部材5が有する弾性力は、弾性リング43よりも小さく、カバー本体2に過度なテンションが加わらない程度であることが好ましい。
このような構成によれば、カバー本体2の弛み2Aの量が大きくなった場合には、弾性部材5がカバー本体2の弛み2Aをプローブ140から引き離すように引っ張るため、弛み2Aがプローブ140に干渉することを抑制でき、測定精度の悪化を抑制できる。
[Modification of First Embodiment]
(Modification 1)
As shown in FIG. 4, the measurement device cover 1 </ b> A of the first modification may include one or more elastic members 5 connected to the cover main body 2.
The elastic member 5 is, for example, a coil spring. One end of the elastic member 5 is connected to a portion of the cover main body 2 where the slack 2A is formed, and the other end of the elastic member 5 is positioned horizontally with respect to the probe 140, It is connected to a position vertically above the probe 140. The place where the other end of the elastic member 5 is connected may be the cover body 2 or may be a facility such as a pillar or a wall existing near the measuring device 100. When a plurality of elastic members 5 are provided for the cover body 2, it is preferable that the plurality of elastic members 5 be arranged uniformly around the probe 140. Further, the elastic force of the elastic member 5 is preferably smaller than that of the elastic ring 43, and it is preferable that an excessive tension is not applied to the cover body 2.
According to such a configuration, when the amount of the slack 2A of the cover main body 2 increases, the elastic member 5 pulls the slack 2A of the cover main body 2 so as to separate the slack 2A from the probe 140. Interference can be suppressed, and deterioration of measurement accuracy can be suppressed.

(変形例2)
図5に示すように、変形例2の測定装置用カバー1Bは、第二開口23の周縁部と弾性リング43との間を連結する板状部材6を備えていてもよい。板状部材6は、プローブ140の周囲空間を上側から保護するように配置される。このような構成によっても、カバー本体2の弛み2Aがプローブ140に干渉することを抑制できる。
(Modification 2)
As shown in FIG. 5, the measurement device cover 1 </ b> B of Modification 2 may include a plate-shaped member 6 that connects between the peripheral edge of the second opening 23 and the elastic ring 43. The plate-shaped member 6 is arranged to protect the space around the probe 140 from above. Even with such a configuration, it is possible to suppress the slack 2 </ b> A of the cover main body 2 from interfering with the probe 140.

(変形例3)
図6は、変形例3の測定装置用カバー1Cについて、カバー本体2のうちのプローブ140の周囲部分を示している。図6に示すように、測定装置用カバー1Cでは、カバー本体2における第二開口23の周りに、第二開口23を中心とする蛇腹状の折り目71が形成されている。ここで、カバー本体2は、柔軟性を失わずかつ折り目が付く程度に剛性を有しているものとする。また、カバー本体2において蛇腹状の折り目71が配置される範囲の外側には、例えばテープ等の接着部72が第二開口23を中心として均等に設置されている。カバー本体2は、複数の接着部72を介して測定装置100に固定される。
このような構成によれば、図7に示すように、カバー本体2が蛇腹状に折り畳まれ、弛み2Aの垂れ下がる量が小さくなるため、弛み2Aがプローブ140に干渉することを抑制できる。また、カバー本体2がある程度の剛性を有していても、蛇腹状の折り目71が曲げ伸ばしされることにより、プローブ140の移動に加わる抵抗を低減できる。
(Modification 3)
FIG. 6 shows a portion of the cover main body 2 around the probe 140 in the measuring device cover 1C according to the third modification. As shown in FIG. 6, in the cover for measurement device 1 </ b> C, a bellows-like fold 71 centering on the second opening 23 is formed around the second opening 23 in the cover main body 2. Here, it is assumed that the cover main body 2 does not lose its flexibility and has such rigidity as to be creased. Outside the area where the bellows-like folds 71 are arranged in the cover main body 2, for example, an adhesive portion 72 such as a tape is uniformly provided around the second opening 23. The cover main body 2 is fixed to the measuring device 100 via a plurality of adhesive portions 72.
According to such a configuration, as shown in FIG. 7, the cover main body 2 is folded in a bellows shape, and the amount of sagging of the slack 2A is reduced, so that interference of the slack 2A with the probe 140 can be suppressed. Further, even if the cover body 2 has a certain degree of rigidity, the bellows-like fold 71 is bent and stretched, whereby the resistance applied to the movement of the probe 140 can be reduced.

(他の変形例)
前記実施形態の測定装置用カバー1は、換気部3を備えるが、測定装置100から発する熱が問題にならない場合には、換気部3は省略されてもよい。
また、前記実施形態の換気部3は、吸気ファン31および排気ファン32の両方を有しているが、いずれか一方が省略されてもよい。吸気ファン31または排気ファン32の一方が省略された場合、測定装置用カバー1は、フィルタを設けられた吸気口または排気口を有していてもよい。
(Other modifications)
The measurement device cover 1 of the embodiment includes the ventilation unit 3, but the ventilation unit 3 may be omitted when the heat generated from the measurement device 100 does not matter.
In addition, although the ventilation unit 3 of the embodiment has both the intake fan 31 and the exhaust fan 32, one of them may be omitted. When one of the intake fan 31 and the exhaust fan 32 is omitted, the measuring device cover 1 may have an intake port or an exhaust port provided with a filter.

前記実施形態において、換気部3は、ケーブル挿通部33を有しているが、このケーブル挿通部33は省略されてもよい。この場合、測定ヘッド130に接続されたケーブル151は、第一開口21またはスリット22の一部から外部に延出してもよい。
前記実施形態において、スリット22は、ファスナー42ではなく、両面テープや単なるテープ等によって閉じられてもよい。
In the above-described embodiment, the ventilation section 3 has the cable insertion section 33, but the cable insertion section 33 may be omitted. In this case, the cable 151 connected to the measuring head 130 may extend outside from the first opening 21 or a part of the slit 22.
In the above embodiment, the slit 22 may be closed with a double-sided tape or a simple tape instead of the fastener 42.

前記実施形態において、カバー本体2はスリット22を有しているが、このスリット22は省略されてもよい。例えば、測定ヘッド130が挿通可能な程度に第一開口21を大きく形成してもよい。   In the above embodiment, the cover main body 2 has the slit 22, but this slit 22 may be omitted. For example, the first opening 21 may be formed so large that the measuring head 130 can be inserted.

前記実施形態において、カバー本体2の第二開口23には弾性リング43が取り付けられているが、この弾性リング43は省略されてもよい。例えば、カバー本体2の第二開口23にプローブ140を挿通させた後、テープ等の他の手段によって、第二開口23の周縁部をプローブ140の周面に密着させてもよい。   In the above embodiment, the elastic ring 43 is attached to the second opening 23 of the cover main body 2, but this elastic ring 43 may be omitted. For example, after the probe 140 is inserted through the second opening 23 of the cover main body 2, the peripheral portion of the second opening 23 may be brought into close contact with the peripheral surface of the probe 140 by another means such as a tape.

前記実施形態において、カバー本体2は、測定装置100の移動機構としての測定ヘッド130を収容しているが、本発明はこれに限られない。すなわち、本発明のカバー本体が収容する移動機構は、前記実施形態のような測定ヘッドであることに限定されず、プローブを少なくとも一方向に移動する移動機構であればよい。   In the above embodiment, the cover main body 2 houses the measuring head 130 as a moving mechanism of the measuring device 100, but the present invention is not limited to this. That is, the moving mechanism accommodated in the cover body of the present invention is not limited to the measuring head as in the above embodiment, but may be any moving mechanism that moves the probe in at least one direction.

前記各実施形態では、測定装置用カバー1が装着される測定装置100として、三次元測定装置を例示しているが、本発明はこれに限られず、表面性状測定機や真円度測定機等の他の測定装置であってもよい。   In each of the above embodiments, a three-dimensional measuring device is illustrated as the measuring device 100 to which the measuring device cover 1 is attached. However, the present invention is not limited to this, and a surface texture measuring device, a roundness measuring device, or the like may be used. May be another measuring device.

〔第二実施形態〕
本発明に係る第二実施形態の測定装置用カバーについて説明する。
図8は、本実施形態の測定装置用カバー8の使用態様を示す図である。図8に示すように、測定装置用カバー8は、測定装置900に装着されて、測定装置900を塵やミストから保護するものである。
(Second embodiment)
A measurement device cover according to a second embodiment of the present invention will be described.
FIG. 8 is a diagram illustrating a use mode of the measurement device cover 8 of the present embodiment. As shown in FIG. 8, the measuring device cover 8 is mounted on the measuring device 900 to protect the measuring device 900 from dust and mist.

本実施形態において、測定装置用カバー8が装着される測定装置900は、多関節アーム型の測定装置である。
まず、測定装置900の構成について説明する。測定装置900は、例えば三次元測定装置であり、プローブ910と、多関節アーム機構920とを含んで構成されている。
In the present embodiment, the measuring device 900 to which the measuring device cover 8 is attached is a multi-joint arm type measuring device.
First, the configuration of the measuring device 900 will be described. The measuring device 900 is, for example, a three-dimensional measuring device, and includes a probe 910 and an articulated arm mechanism 920.

プローブ910は、第一実施形態のプローブ140と同様の構成を有しており、多関節アーム機構920に支持されたプローブ本体911と、プローブ本体911に装着されたスタイラス912とを有している。プローブ本体911は、スタイラス912の変位を電気信号として検出する。
なお、プローブ910は、上記構成に限定されず、測定者がスタイラス912と被測定物との接触を認識してスイッチを押すことにより、プローブ本体911がトリガーを出力するように構成されてもよい。また、プローブ910は、このような接触式の構成に限定されず、非接触式に構成されていてもよい。
The probe 910 has the same configuration as the probe 140 of the first embodiment, and has a probe main body 911 supported by the articulated arm mechanism 920 and a stylus 912 mounted on the probe main body 911. . The probe main body 911 detects the displacement of the stylus 912 as an electric signal.
Note that the probe 910 is not limited to the above configuration, and the probe body 911 may output a trigger when the measurer recognizes contact between the stylus 912 and the device under test and presses a switch. . In addition, the probe 910 is not limited to such a contact type configuration, and may be configured as a non-contact type.

多関節アーム機構920は、プローブ910を三次元空間内で外部からの力(測定者による操作)によって移動可能に構成されている。具体的には、多関節アーム機構920は、支柱920Aと、第一リンク920B〜第六リンク920Gと、第一関節部920H〜第六関節部920Mを備える。なお、支柱920Aおよび第一リンク920B〜第六リンク920Gは、本発明のアーム部に相当するものとする。   The articulated arm mechanism 920 is configured to be able to move the probe 910 in a three-dimensional space by an external force (operation by a measurer). Specifically, the multi-joint arm mechanism 920 includes a support 920A, a first link 920B to a sixth link 920G, and a first joint 920H to a sixth joint 920M. The support 920A and the first to sixth links 920B to 920G correspond to the arm portion of the present invention.

支柱920Aは、例えば鉛直方向に平行な第一軸Ax1に沿うように作業台等に固定される。
第一関節部920Hは、支柱920Aと第一リンク920Bの一端とを連結しており、第一リンク920Bは、支柱920Aに対して、第一軸Ax1を中心として回転可能である。
第二関節部920Iは、第一リンク920Bの他端と第二リンク920Cの一端とを連結しており、第一,第二リンク920B,920Cは、例えば水平方向に沿った第二軸Ax2を中心として相対的に回転可能である。
第三関節部920Jは、第二リンク920Cの他端と第三リンク920Dの一端とを連結しており、第二,第三リンク920C,920Dは、互いの中心軸Ax3を中心として相対的に回転可能である。
第四関節部920Kは、第三リンク920Dの他端と第四リンク920Eの一端とを連結しており、第三,第四リンク920D,920Eは、中心軸Ax3に直交する第三軸Ax4を中心として相対的に回転可能である。
The column 920A is fixed to a workbench or the like along, for example, a first axis Ax1 parallel to the vertical direction.
The first joint 920H connects the support 920A and one end of the first link 920B, and the first link 920B is rotatable about the first axis Ax1 with respect to the support 920A.
The second joint 920I connects the other end of the first link 920B and one end of the second link 920C, and the first and second links 920B and 920C connect, for example, the second axis Ax2 along the horizontal direction. It is relatively rotatable as a center.
The third joint 920J connects the other end of the second link 920C and one end of the third link 920D, and the second and third links 920C and 920D are relatively centered on the center axis Ax3 of each other. It is rotatable.
The fourth joint 920K connects the other end of the third link 920D and one end of the fourth link 920E, and the third and fourth links 920D and 920E define a third axis Ax4 orthogonal to the central axis Ax3. It is relatively rotatable as a center.

第五関節部920Lは、第四リンク920Eの他端と第五リンク920Fの一端とを連結しており、第四,第五リンク920E,920Fは、互いの中心軸Ax5を中心として相対的に回転可能である。
第六関節部920Mは、第五リンク920Fの他端と第六リンク920Gの一端とを連結しており、第五,第六リンク920F,920Gは、中心軸Ax5に直交する第四軸Ax6を中心として相対的に回転可能である。第六リンク920Gの多端には、プローブ本体911が取り付けられている。
The fifth joint 920L connects the other end of the fourth link 920E and one end of the fifth link 920F, and the fourth and fifth links 920E and 920F are relatively positioned around the center axis Ax5 of each other. It is rotatable.
The sixth joint 920M connects the other end of the fifth link 920F to one end of the sixth link 920G. It is relatively rotatable as a center. A probe body 911 is attached to a multi-end of the sixth link 920G.

以上のように、多関節アーム機構920は、複数軸(本実施形態では6軸)での操作が可能に構成されている。なお、第一関節部920H〜第六関節部920Mには、それぞれ、角度センサ(図示省略)が取り付けられている。角度センサは、第一関節部920H〜第六関節部920Mにより互いに連結された第一関節部920H〜第六関節部920Mの相対的な回転角度を検出する。   As described above, the multi-joint arm mechanism 920 is configured to be able to operate on a plurality of axes (six axes in the present embodiment). An angle sensor (not shown) is attached to each of the first joint 920H to the sixth joint 920M. The angle sensor detects a relative rotation angle of the first joint 920H to the sixth joint 920M connected to each other by the first joint 920H to the sixth joint 920M.

以上の構成を有する測定装置900では、測定者がプローブ910を直接手で動かすことで多関節アーム機構920を操作できる。測定装置900は、プローブ910が被測定物に接触したときのスタイラス912の変位情報や第一関節部920H〜第六関節部920Mの各回転角度に基づいて、被測定物の寸法や形状を測定できる。   In the measuring device 900 having the above configuration, the measurer can operate the articulated arm mechanism 920 by directly moving the probe 910 by hand. The measuring device 900 measures the size and shape of the object to be measured based on displacement information of the stylus 912 when the probe 910 contacts the object to be measured and each rotation angle of the first joint 920H to the sixth joint 920M. it can.

以下の説明では、測定装置900における第一関節部920H〜第六関節部920Mを、第一関節群901〜第三関節群903に分けて説明する。なお、第一関節部920H〜第六関節部920Mについて、互いに近接配置されるものが同じ群に属するように分けるものとする。
具体的には、第一関節部920H、第二関節部920Iおよび第三関節部920Jは、第一関節群901に属し、第四関節部920Kは第二関節群902に属し、第五関節部920Lおよび第六関節部920Mは第三関節群903に属する。
In the following description, the first joint portion 920H to the sixth joint portion 920M in the measurement device 900 will be described by being divided into a first joint group 901 to a third joint group 903. Note that the first joint portion 920H to the sixth joint portion 920M are divided so that those arranged close to each other belong to the same group.
Specifically, the first joint 920H, the second joint 920I, and the third joint 920J belong to the first joint group 901; the fourth joint 920K belongs to the second joint group 902; 920L and the sixth joint 920M belong to the third joint group 903.

本実施形態の測定装置用カバー8は、測定装置900に装着されて使用されるものである。具体的には、測定装置用カバー8は、第一関節群901〜第三関節群903をそれぞれ収容するカバー本体81〜83を備えている。カバー本体81〜83は、ビニール等の柔軟性を有するシート材によって、それぞれ独立して構成されている。   The measuring device cover 8 of the present embodiment is used by being attached to the measuring device 900. Specifically, the measuring device cover 8 includes cover main bodies 81 to 83 that respectively accommodate the first joint group 901 to the third joint group 903. The cover main bodies 81 to 83 are independently formed of a flexible sheet material such as vinyl.

カバー本体81は、支柱920Aが挿通する第一開口811と、第三リンク920Dが挿通する第二開口812とを有する筒状に構成され、第一関節群901を収容する。カバー本体81が測定装置900に装着された状態では、第一開口811および第二開口812が支柱920Aおよび第三リンク920Dにそれぞれ挿通された状態のまま、カバー本体81はテープ等の固定具84によって密封される。   The cover main body 81 is formed in a cylindrical shape having a first opening 811 through which the support 920A is inserted and a second opening 812 through which the third link 920D is inserted, and accommodates the first joint group 901. When the cover main body 81 is mounted on the measuring device 900, the cover main body 81 is fixed to a fixing member 84 such as a tape while the first opening 811 and the second opening 812 are respectively inserted through the columns 920A and the third links 920D. Sealed by.

カバー本体82は、第三リンク920Dが挿通する第一開口821と、第四リンク920Eが挿通する第二開口822とを有する筒状に構成され、第二関節群902を収容する。カバー本体82が測定装置900に装着された状態では、第一開口821および第二開口822が第三リンク920Dおよび第四リンク920Eにそれぞれ挿通された状態のまま、カバー本体82はテープ等の固定具85によって密封される。   The cover body 82 is formed in a tubular shape having a first opening 821 through which the third link 920D is inserted and a second opening 822 through which the fourth link 920E is inserted, and accommodates the second joint group 902. When the cover main body 82 is attached to the measuring device 900, the cover main body 82 is fixed with a tape or the like while the first opening 821 and the second opening 822 are inserted through the third link 920D and the fourth link 920E, respectively. It is sealed by the tool 85.

カバー本体83は、第四リンク920Eが挿通する第一開口831と、第六リンク920Gが挿通する第二開口832とを有する筒状に構成され、第三関節群903を収容する。カバー本体83が測定装置900に装着された状態では、第一開口831および第二開口832が第四リンク920Eおよび第六リンク920Gにそれぞれ挿通された状態のまま、カバー本体83はテープ等の固定具86によって密封される。   The cover main body 83 is formed in a tubular shape having a first opening 831 through which the fourth link 920E is inserted and a second opening 832 through which the sixth link 920G is inserted, and accommodates the third joint group 903. When the cover main body 83 is attached to the measuring device 900, the cover main body 83 is fixed with a tape or the like while the first opening 831 and the second opening 832 are inserted through the fourth link 920E and the sixth link 920G, respectively. It is sealed by the tool 86.

各カバー本体81〜83は、各カバー本体81〜83が収容する関節群901〜903の動作を、それぞれ測定に必要な程度許容するための大きさを有する。
例えば、カバー本体81を例として説明すると、カバー本体81は、第一関節部920Hを介した支柱920Aに対する第一リンク920Bの回転、第二関節部920Iを介した第一リンク920Bに対する第二リンク920Cの回転、および、第三関節部920Jを介した第二リンク920Cに対する第三リンク920Dの回転を、それぞれ測定に必要な程度許容するように構成される。なお、測定に必要な程度とは、例えば180〜360度の回転を許容する程度である。このような構成によれば、カバー本体81は、第一関節群901を単に覆う分よりも大きく構成される。よって、測定装置900が基準状態(または待機状態)にあるとき、カバー本体81は弛みを有する。
カバー本体82,83についても、カバー本体81と同様に構成される。
なお、測定装置用カバー8が装着された測定装置900は、本発明のカバー付測定装置に相当する。
Each of the cover main bodies 81 to 83 has a size to allow the operation of the joint groups 901 to 903 accommodated by each of the cover main bodies 81 to 83 to the extent necessary for the measurement.
For example, when the cover main body 81 is described as an example, the cover main body 81 includes a rotation of a first link 920B with respect to a support 920A via a first joint 920H, and a second link with a first link 920B via a second joint 920I. The rotation of the first link 920C and the rotation of the third link 920D with respect to the second link 920C via the third joint 920J are configured to be permitted to the extent necessary for the measurement. The degree required for the measurement is, for example, a degree that allows rotation of 180 to 360 degrees. According to such a configuration, the cover main body 81 is configured to be larger than just covering the first joint group 901. Therefore, when measuring device 900 is in the reference state (or standby state), cover body 81 has slack.
The cover bodies 82 and 83 have the same configuration as the cover body 81.
The measuring device 900 with the measuring device cover 8 attached thereto corresponds to the measuring device with a cover of the present invention.

〔第二実施形態の効果〕
測定装置用カバー8の各カバー本体81〜83は、各関節群901〜903を収容した状態で密封されるため、各関節群901〜903を外気中の塵やミストから保護することができる。また、カバー本体81〜83は、プローブ910の移動に応じて変形可能な柔軟性を有するため、プローブ910は、カバー本体81〜83に阻害されずに移動しながら被測定物を測定できる。
したがって、測定装置用カバー8は、塵やミストなどが飛散する環境下で動作する測定ヘッド130を保護することができる。
[Effects of the second embodiment]
Since each of the cover main bodies 81 to 83 of the measurement device cover 8 is sealed while accommodating each of the joint groups 901 to 903, each of the joint groups 901 to 903 can be protected from dust and mist in the outside air. In addition, since the cover main bodies 81 to 83 have flexibility that can be deformed according to the movement of the probe 910, the probe 910 can measure an object to be measured while moving without being hindered by the cover main bodies 81 to 83.
Therefore, the measuring device cover 8 can protect the measuring head 130 that operates in an environment where dust, mist, and the like are scattered.

測定装置用カバー8の各カバー本体81〜83は、ビニールなどにより構成されるため、塵やミストで汚れた場合には廃棄可能な使い捨てタイプとして構成できる。これにより、製造現場に設置される測定装置100に対して、測定装置用カバー1をより好適に利用できる。   Since each of the cover bodies 81 to 83 of the measuring device cover 8 is made of vinyl or the like, it can be configured as a disposable type that can be discarded when it becomes dirty with dust or mist. Thus, the measuring device cover 1 can be more suitably used for the measuring device 100 installed at the manufacturing site.

〔第二実施形態の変形例〕
前記実施形態において、測定装置用カバー8は、3つのカバー本体81〜83を備えているが、カバー本体の数はこれに限定されない。本発明の測定装置用カバーは、例えば測定装置が有する関節部の数や配置等に応じて、任意の数のカバー本体を備えることができる。
[Modification of Second Embodiment]
In the above embodiment, the measuring device cover 8 includes three cover bodies 81 to 83, but the number of cover bodies is not limited to this. The measurement device cover of the present invention can include an arbitrary number of cover bodies according to, for example, the number and arrangement of the joints of the measurement device.

前記実施形態において、測定装置用カバー8は、各関節群901〜903をそれぞれ別個に収容するカバー本体81〜83を備えているが、これに限定されない。すなわち、測定装置用カバー8は、関節部920H〜920Mの全てを一度に収容するカバー本体を備えていてもよい。この場合、カバー本体は、支柱920Aが挿通する第一開口と、第六リンク920Gが挿通する第二開口とを有する筒状に構成される。   In the above-described embodiment, the measuring device cover 8 includes the cover main bodies 81 to 83 that individually accommodate the joint groups 901 to 903, respectively, but is not limited thereto. That is, the measuring device cover 8 may include a cover main body that accommodates all of the joints 920H to 920M at one time. In this case, the cover main body is formed in a tubular shape having a first opening through which the support 920A is inserted and a second opening through which the sixth link 920G is inserted.

本発明の測定装置用カバーは、測定装置が備える全ての関節部を保護することに限定されない。例えば、本発明の測定装置用カバーは、塵やミストの影響が心配される関節部のみを保護するように構成されたカバー本体を備えるものであってもよい。   The measurement device cover of the present invention is not limited to protecting all the joints provided in the measurement device. For example, the measurement device cover of the present invention may include a cover main body configured to protect only the joint portion where the influence of dust and mist is concerned.

前記実施形態では、マニュアル式三次元測定装置である測定装置900について説明しているが、本発明の測定装置用カバーが装着される測定装置は、これに限られない。例えば、本発明の測定装置用カバーが装着される測定装置は、多関節アームと、多関節アームに取り付けられるプローブとを備え、多関節アームの駆動を自動制御するアーム型ロボットであってもよい。   In the above embodiment, the measuring device 900 which is a manual type three-dimensional measuring device is described, but the measuring device to which the cover for the measuring device of the present invention is attached is not limited to this. For example, the measurement device to which the measurement device cover of the present invention is attached may be an arm-type robot that includes an articulated arm and a probe attached to the articulated arm, and that automatically controls the driving of the articulated arm. .

また、前記実施形態では、測定装置900に使用する測定装置用カバー8について説明しているが、測定装置用カバー8は、アーム型ロボット用カバーとして、多関節アーム機構を備えるアーム型ロボットに対して装着することができる。例えば、多関節アームと、多関節アームに取り付けられたチャック等を備える搬送用アーム型ロボットにおいて、当該多関節アームに対して測定装置用カバー8をアーム型ロボット用カバーとして装着することができる。このような構成によれば、前記実施形態と同様、塵やミスト等が飛散する環境下において多関節アーム機構を保護することができる。   In the above embodiment, the measuring device cover 8 used for the measuring device 900 is described. However, the measuring device cover 8 is used as an arm type robot cover for an arm type robot having an articulated arm mechanism. Can be attached. For example, in a transfer arm type robot including a multi-joint arm and a chuck attached to the multi-joint arm, the measuring device cover 8 can be attached to the multi-joint arm as an arm type robot cover. According to such a configuration, similarly to the above-described embodiment, the multi-joint arm mechanism can be protected in an environment where dust, mist, and the like are scattered.

1,1A,1B,1C,8…測定装置用カバー、2,81〜83…カバー本体、21,811,821,831…第一開口、22…スリット、23,821,822,832…第二開口、25…内部空間、3…換気部、31…吸気ファン、32…排気ファン、33…ケーブル挿通部、331…孔、41…固定具、42…ファスナー、43…弾性リング、5…弾性部材、6…板状部材、71…折り目、100,900…測定装置、110…基台、120…支柱、121…上側部分、122…周面、123…上面、130…測定ヘッド、131…取付部、132…ヘッド本体、133…Yスライダ、134…Xスライダ、140…プローブ、141…プローブ本体、142…スタイラス、151…ケーブル、920A…支柱(アーム部)、920B〜920G…リンク(アーム部)、920H〜920M…関節部。   1, 1A, 1B, 1C, 8 ... cover for measuring device, 2, 81 to 83 ... cover body, 21, 811, 821, 831 ... first opening, 22 ... slit, 23, 821, 822, 832 ... second Opening, 25 ... Internal space, 3 ... Ventilation part, 31 ... Intake fan, 32 ... Exhaust fan, 33 ... Cable insertion part, 331 ... Hole, 41 ... Fixture, 42 ... Fastener, 43 ... Elastic ring, 5 ... Elastic member Reference numeral 6: plate member, 71: fold, 100, 900: measuring device, 110: base, 120: support, 121: upper part, 122: peripheral surface, 123: upper surface, 130: measuring head, 131: mounting portion , 132: Head body, 133: Y slider, 134: X slider, 140: Probe, 141: Probe body, 142: Stylus, 151: Cable, 920A: Strut (arm), 920 ~920G ... link (arm part), 920H~920M ... joints.

Claims (10)

プローブと、前記プローブを移動させる移動機構と、前記移動機構を支持する支柱とを備える測定装置に装着される測定装置用カバーであって、
前記支柱が挿通する第一開口および前記プローブが挿通する第二開口を有し、かつ、前記移動機構を収容するように構成されたカバー本体を備え、
前記カバー本体は、前記プローブの移動に応じて変形可能な柔軟性を有することを特徴とする測定装置用カバー。
A probe, a moving mechanism for moving the probe, and a measuring device cover attached to the measuring device including a support supporting the moving mechanism,
A cover body having a first opening through which the support is inserted and a second opening through which the probe is inserted, and comprising a moving mechanism is provided.
The cover for a measuring device, wherein the cover body has flexibility that can be deformed in accordance with movement of the probe.
請求項1に記載の測定装置用カバーであって、
前記カバー本体に取り付けられ、前記カバー本体の内外の換気を行う換気部をさらに備えることを特徴とする測定装置用カバー。
The measuring device cover according to claim 1,
A cover for a measuring device, further comprising a ventilation unit attached to the cover main body and configured to ventilate inside and outside of the cover main body.
請求項1または請求項2に記載の測定装置用カバーであって、
前記カバー本体には、前記第二開口の周縁部に沿った環状の弾性リングが取り付けられていることを特徴とする測定装置用カバー。
The measurement device cover according to claim 1 or 2, wherein:
A cover for a measuring device, wherein an annular elastic ring is attached to the cover body along a peripheral portion of the second opening.
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の測定装置用カバーであって、
前記カバー本体は、前記プローブの各移動方向において、前記移動機構よりも大きく構成されていることを特徴とする測定装置用カバー。
It is a cover for measuring devices according to any one of claims 1 to 3,
The cover for a measuring device, wherein the cover body is configured to be larger than the moving mechanism in each moving direction of the probe.
請求項4に記載の測定装置用カバーであって、
前記カバー本体における前記プローブの周りには、前記カバー本体を前記プローブから離れる側に引っ張る弾性部材が接続されていることを特徴とする測定装置用カバー。
The measurement device cover according to claim 4,
An elastic member for pulling the cover main body away from the probe is connected around the probe in the cover main body.
請求項4に記載の測定装置用カバーであって、
前記カバー本体における前記第二開口の周りには、前記第二開口を中心とする蛇腹状の折り目が形成されていることを特徴とする測定装置用カバー。
The measurement device cover according to claim 4,
A bellows-like fold centering on the second opening is formed around the second opening in the cover body.
プローブと、
前記プローブを移動させる移動機構と、
前記移動機構を支持する支柱と、
請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の測定装置用カバーとを備えることを特徴とするカバー付測定装置。
A probe,
A moving mechanism for moving the probe,
A column supporting the moving mechanism;
A measuring device with a cover, comprising: the measuring device cover according to any one of claims 1 to 6.
複数のアーム部および前記アーム部同士を連結する関節部を有する多関節アーム機構と、前記多関節アーム機構に取り付けられたプローブとを備える測定装置に装着される測定装置用カバーであって、
互いに異なる前記アーム部が挿通する第一開口および第二開口を有し、かつ、前記関節部を収容するように構成されたカバー本体を備え、
前記カバー本体は、前記プローブの移動に応じて変形可能な柔軟性を有することを特徴とする測定装置用カバー。
A multi-joint arm mechanism having a plurality of arm portions and an articulation portion connecting the arm portions to each other, and a measurement device cover attached to a measurement device including a probe attached to the multi-joint arm mechanism,
A first opening and a second opening through which the different arms are inserted, and a cover body configured to accommodate the joint;
The cover for a measuring device, wherein the cover body has flexibility that can be deformed in accordance with movement of the probe.
複数のアーム部および前記アーム部同士を連結する関節部を有する多関節アーム機構と、
前記多関節アーム機構に取り付けられたプローブと、
請求項8に記載の測定装置用カバーとを備えることを特徴とするカバー付測定装置。
A multi-joint arm mechanism having a plurality of arms and joints connecting the arms,
A probe attached to the articulated arm mechanism,
A measuring device with a cover, comprising: the measuring device cover according to claim 8.
複数のアーム部および前記アーム部同士を連結する関節部を有する多関節アーム機構を備えるアーム型ロボットに装着されるアーム型ロボット用カバーであって、
互いに異なる前記アーム部が挿通する第一開口および第二開口を有し、かつ、前記関節部を収容するように構成されたカバー本体を備え、
前記カバー本体は、前記多関節アーム機構の動作に応じて変形可能な柔軟性を有することを特徴とするアーム型ロボット用カバー。
An arm-type robot cover attached to an arm-type robot having a multi-joint arm mechanism having a plurality of arm units and an articulation unit connecting the arm units,
A first opening and a second opening through which the different arms are inserted, and a cover body configured to accommodate the joint;
The cover for an arm type robot, wherein the cover body has flexibility that can be deformed in accordance with the operation of the articulated arm mechanism.
JP2018132824A 2018-07-13 2018-07-13 Measuring device cover, measuring device with cover and cover for arm type robot Pending JP2020012636A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018132824A JP2020012636A (en) 2018-07-13 2018-07-13 Measuring device cover, measuring device with cover and cover for arm type robot

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018132824A JP2020012636A (en) 2018-07-13 2018-07-13 Measuring device cover, measuring device with cover and cover for arm type robot

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2020012636A true JP2020012636A (en) 2020-01-23

Family

ID=69170802

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018132824A Pending JP2020012636A (en) 2018-07-13 2018-07-13 Measuring device cover, measuring device with cover and cover for arm type robot

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2020012636A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116858151A (en) * 2023-09-05 2023-10-10 西安德普赛科计量设备有限责任公司 Protection mechanism for auxiliary supporting leg of three-coordinate measuring machine

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116858151A (en) * 2023-09-05 2023-10-10 西安德普赛科计量设备有限责任公司 Protection mechanism for auxiliary supporting leg of three-coordinate measuring machine
CN116858151B (en) * 2023-09-05 2023-12-12 西安德普赛科计量设备有限责任公司 Protection mechanism for auxiliary supporting leg of three-coordinate measuring machine

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7063560B2 (en) Methods and equipment for adaptive robotic end effectors
US9027231B2 (en) Assembling apparatus and production system
CN107044839B (en) Measuring machine based on Delta robot assembly
JP6238421B2 (en) Method and system for determining at least one characteristic of a joint
Joubair et al. Kinematic calibration of a five-bar planar parallel robot using all working modes
US10065319B2 (en) Tool calibration apparatus of robot manipulator
EP2781312A2 (en) Machine tool
JP2010531238A (en) Apparatus and method for position adjustment of universal bearing device for cutting machine
WO1999046723A1 (en) Robot calibration system
JP7027775B2 (en) robot
US10794678B2 (en) Apparatus for measuring the roughness of a workpiece surface
US20200406481A1 (en) Robot
JP2019063940A (en) robot
EP3127663B1 (en) Industrial robot and frame unit thereof
JP2020012636A (en) Measuring device cover, measuring device with cover and cover for arm type robot
EP1920215B1 (en) Cmm arm with enhanced manual control
US20190381668A1 (en) Tool calibration apparatus for robotic arm
KR102076907B1 (en) Robot manipulator
TW201718208A (en) Tool calibration apparatus of robot manipulator
JP6668665B2 (en) Robot device
CN115042189A (en) Mechanical arm parameter error identification and compensation method
Vrhovec et al. Measurement and compensation of deformations in coordinate measurement arm
JP3939935B2 (en) Method and apparatus for measuring frame deformation of parallel mechanism
JP5797761B2 (en) Measuring device acting non-linearly to analyze and improve the adjustment of the orientation device acting on the sphere
KR101781093B1 (en) Cnc for automatically total inspector