JP2020011793A - Vacuum lift device - Google Patents

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敬彦 菅
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Abstract

To provide a vacuum lift device which can properly adsorb multiple suction pads on a curved surface of a transported object.SOLUTION: A vacuum lift device comprises: multiple suction pads each of which belongs to either a first group or a second group; a vacuum source which makes an airtight space vacuum between the multiple adhered suction pads and the transported object; and a state switching mechanism which switches each of a first airflow path from the suction pad belonging to the first group to the vacuum source and a second airflow path from the suction pad belonging to the second group to the vacuum source between a communication state where air can be sucked and a cut-off state where air cannot be sucked. The multiple suction pads are separated from each other in first and the second directions, and it is characterized that a tip of the suction pad belonging to the first group is moved ahead of the tip of the suction pad belonging to the second group in a third direction.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、真空リフト装置に関し、特に、表面が湾曲した搬送物を吸着搬送するのに適した真空リフト装置に関する。   The present invention relates to a vacuum lift device, and more particularly, to a vacuum lift device suitable for suction-transporting a conveyed object having a curved surface.

特許文献１には、複数の吸着パッドと、複数の吸着パッドを支持する支持枠と、エアチューブを通じて複数の吸着パッドと接続された真空源とを備える吊架移載具が開示されている。この吊架移載具は、複数の吸着パッドを板状の搬送物に密着させ、吸着パッドの内部空間を真空源で真空にすることによって、吸着パッドに吸着した搬送物を移動させるのに利用される。   Patent Literature 1 discloses a suspension transfer tool including a plurality of suction pads, a support frame supporting the plurality of suction pads, and a vacuum source connected to the plurality of suction pads through an air tube. This suspension transfer tool is used to move the goods adsorbed to the suction pads by bringing a plurality of suction pads into close contact with the plate-like conveyed object and evacuating the internal space of the suction pads with a vacuum source. Is done.

また、特許文献１に記載の吊架移載具は、複数の吸着パッドを垂直面上で支持する縦姿勢と、複数の吸着パッドを水平面上で支持する水平姿勢とに、支持枠を起倒させる起倒手段をさらに備える。起倒手段で支持枠を起倒させることにより、例えば、立て掛けられた搬送物に吸着パッドを吸着させ、搬送物を所望の位置まで移動させて水平面上に載置することができる。   Further, the suspension transfer device described in Patent Literature 1 raises and lowers the support frame between a vertical position in which a plurality of suction pads are supported on a vertical surface and a horizontal position in which the plurality of suction pads are supported on a horizontal surface. The apparatus further includes a raising / lowering means for causing the object to fall. By raising and lowering the support frame by the raising and lowering means, for example, the suction pad can be adsorbed by the transported object, and the transported object can be moved to a desired position and placed on a horizontal surface.

特開２０００−７１４７号公報JP 2000-7147 A

しかしながら、上記構成の吊架移載具において、表面が湾曲した搬送物に全ての吸着パッドを密着させるのは簡単ではない。特に、立て掛けられた搬送物に吸着パッドを密着させる場合、吊架移載具の自重で吸着パッドを搬送物に押し付けることができないので、その難易度は格段に高まる。   However, in the suspension transfer device having the above-described configuration, it is not easy to bring all the suction pads into close contact with a conveyed object having a curved surface. In particular, in the case where the suction pad is brought into close contact with the transported object, it is difficult to press the suction pad against the transported object by the weight of the suspension transfer tool.

本発明は、このような従来技術の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、表面が湾曲した搬送物に複数の吸着パッドを適切に吸着させることが可能な真空リフト装置を提供することにある。   The present invention has been made to solve such problems of the related art, and an object of the present invention is to provide a vacuum lift device capable of appropriately adsorbing a plurality of suction pads to a conveyed object having a curved surface. To provide.

本発明は、前記課題を解決するため、各々が第１グループ及び第２グループのいずれかに属し、先端が搬送物の表面に密着する複数の吸着パッドと、密着した前記複数の吸着パッド及び搬送物の間の気密空間を真空にする真空源と、前記第１グループに属する前記吸着パッドから前記真空源に至る第１空気流路、及び前記第２グループに属する前記吸着パッドから前記真空源に至る第２空気流路それぞれを、空気を吸引可能な連通状態及び空気を吸引不能な遮断状態に切り替える状態切替機構とを備える真空リフト装置において、前記複数の吸着パッドは、第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向に離間して配置されており、前記第１グループに属する前記吸着パッドの先端は、前記第２グループに属する前記吸着パッドの先端より、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向に前進していることを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a plurality of suction pads, each of which belongs to one of a first group and a second group, a tip of which is in close contact with the surface of a conveyed object, A vacuum source for vacuuming an airtight space between objects, a first air flow path from the suction pads belonging to the first group to the vacuum source, and a vacuum source from the suction pads belonging to the second group to the vacuum source. A plurality of suction pads, wherein the plurality of suction pads are arranged in a first direction and the second direction. The suction pads belonging to the first group are arranged apart from each other in a second direction orthogonal to the one direction, and the tips of the suction pads belonging to the second group are arranged closer to each other. Characterized in that it advances in a third direction orthogonal to the serial first and second directions.

上記構成によれば、第１グループの吸着パッドを搬送物に密着させて気密空間から空気を吸引すると、当該吸着パッドが圧縮変形して第２グループの吸着パッドが搬送物の表面に密着する。次に、第２グループの吸着パッドの気密空間から空気を吸引することによって、表面が湾曲する搬送物に全ての吸着パッドを吸着させることができる。これにより、最初から全ての吸着パッドを搬送物に密着させる必要がないので、表面が湾曲した搬送物に吸着パッドを吸着させる作業が簡単になる。   According to the above configuration, when the suction pads of the first group are brought into close contact with the article and air is sucked from the airtight space, the suction pads are compressed and deformed, and the suction pads of the second group adhere to the surface of the article. Next, by sucking air from the airtight space of the suction pads of the second group, all the suction pads can be sucked to the conveyed object whose surface is curved. Thus, since it is not necessary to bring all the suction pads into close contact with the conveyed object from the beginning, the operation of adsorbing the suction pads on the conveyed object having a curved surface is simplified.

また、前記第１方向及び前記第２方向に離間した位置において、前記複数の吸着パッドそれぞれを支持する支持部材をさらに備えており、前記第１グループに属する前記吸着パッドは、前記第２グループに属する前記吸着パッドと同一形状であり、且つ前記第２グループに属する前記吸着パッドより前記第３方向に前進した位置で前記支持部材に支持されていることを特徴としてもよい。   The apparatus further includes a support member that supports each of the plurality of suction pads at positions separated from each other in the first direction and the second direction, wherein the suction pads belonging to the first group belong to the second group. The suction pad may have the same shape as that of the suction pad, and may be supported by the support member at a position advanced in the third direction from the suction pad of the second group.

上記構成のように、第１グループ及び第２グループで同一形状の吸着パッドを使用することにより、第１グループ及び第２グループで異なる形状の吸着パッドを使用する場合と比較して、真空リフト装置の製造コストを削減することができる。   By using suction pads of the same shape in the first group and the second group as in the above configuration, the vacuum lift device is compared with a case where suction pads of different shapes are used in the first group and the second group. Manufacturing cost can be reduced.

また、前記第３方向が鉛直方向に沿う第１角度と、前記第３方向が水平方向に沿う第２角度との間で、前記支持部材の角度を切り替え可能な角度切替機構をさらに備えることを特徴としてもよい。   Further, the apparatus further includes an angle switching mechanism capable of switching an angle of the support member between a first angle in which the third direction is along a vertical direction and a second angle in which the third direction is along a horizontal direction. It may be a feature.

上記構成のように、角度切替機構を備える真空リフト装置に本発明を適用することによって、立て掛けられた搬送物に全ての吸着パッドを適切に吸着させることができる。   By applying the present invention to a vacuum lift device having an angle switching mechanism as in the above configuration, all the suction pads can be appropriately suctioned by the transported object.

また、前記第３方向において、前記第１グループ及び前記第２グループに属する前記吸着パッドの先端同士の距離は、前記第１グループに属する前記吸着パッドの変形可能量より短いことを特徴としてもよい。   Further, in the third direction, a distance between tips of the suction pads belonging to the first group and the second group may be shorter than a deformable amount of the suction pads belonging to the first group. .

上記構成によれば、第１グループの吸着パッドから空気を吸引して圧縮変形させると、第２グループの吸着パッドが搬送物に自然と密着する。すなわち、第２グループの吸着パッドを密着させるために特別な作業をする必要がない。   According to the above configuration, when air is sucked from the suction pads of the first group and compressed and deformed, the suction pads of the second group naturally adhere to the conveyed object. That is, there is no need to perform a special operation for bringing the suction pads of the second group into close contact.

また、前記第１グループに属する前記吸着パッドの気密空間を真空にしたときの搬送物への密着力は、前記第２グループに属する前記吸着パッドの気密空間を真空にする際に、前記第２グループに属する前記吸着パッドを前記第３方向に圧縮変形させるのに必要な力より大きいことを特徴としてもよい。   In addition, when the airtight space of the suction pads belonging to the first group is evacuated, the adhesion force of the suction pads belonging to the second group to the conveyed object is reduced when the airtight space of the suction pads belonging to the second group is evacuated. The suction pad belonging to the group may be larger than a force required to compress and deform the suction pad in the third direction.

上記構成によれば、第２グループの吸着パッドが搬送物に押し付けられる際の反力によって、第１グループの吸着パッドが搬送物から脱離するのを防止することができる。   According to the above configuration, it is possible to prevent the suction pads of the first group from detaching from the transported object due to the reaction force when the suction pads of the second group are pressed against the transported object.

また、前記状態切替機構は、前記第１空気流路の前記連通状態及び前記遮断状態を切り替える第１電磁弁と、前記第２空気流路の前記連通状態及び前記遮断状態を切り替える第２電磁弁とを有し、前記真空リフト装置は、前記第１空気流路を前記連通状態とし且つ前記第２空気流路を前記遮断状態とする第１操作、及び前記第１空気流路及び前記第２空気流路を前記連通状態とする第２操作を受け付ける操作装置と、前記操作装置を通じて受け付けた操作に基づいて、前記第１電磁弁及び前記第２電磁弁を制御するコントローラとをさらに備えることを特徴としてもよい。   Further, the state switching mechanism includes a first electromagnetic valve that switches the communication state and the shutoff state of the first air flow path, and a second electromagnetic valve that switches the communication state and the shutoff state of the second air flow path. A first operation for setting the first air flow path to the communication state and setting the second air flow path to the cutoff state, and the first air flow path and the second operation. An operation device that receives a second operation for bringing the air flow path into the communication state, and a controller that controls the first electromagnetic valve and the second electromagnetic valve based on the operation received through the operation device. It may be a feature.

上記構成によれば、真空リフト装置の作業者は、操作装置を通じて第１操作をして真空源に第１グループの吸着パッドから空気を吸引させ、その後、操作装置を通じて第２操作をして真空源に第２グループの吸着パッドから空気を吸引させればよい。   According to the above configuration, the operator of the vacuum lift device performs the first operation through the operation device to cause the vacuum source to suck air from the suction pads of the first group, and then performs the second operation through the operation device to perform the vacuum operation. The source may draw air from the second group of suction pads.

また、全ての前記吸着パッドの気密空間が大気圧である第１状態と、前記第１グループに属する前記吸着パッドの気密空間のみが真空である第２状態と、全ての前記吸着パッドの気密空間が真空である第３状態とを、区別して報知する報知装置をさらに備えることを特徴としてもよい。   A first state in which the airtight spaces of all the suction pads are at atmospheric pressure, a second state in which only the airtight spaces of the suction pads belonging to the first group are in a vacuum, and a hermetic space of all the suction pads. It may be further characterized by further comprising a notifying device for discriminating and notifying the third state in which is a vacuum.

上記構成によれば、第１グループ及び第２グループの吸着パッドの状態を、報知装置を通じて作業者に認識させることができる。これにより、全ての吸着パッドの気密空間が真空になる前に、真空リフト装置を吊り上げて搬送物が落下することなどを防止することができる。   According to the above configuration, the state of the suction pads in the first group and the second group can be recognized by the worker through the notification device. Thus, before the airtight spaces of all the suction pads are evacuated, the vacuum lift device can be lifted to prevent the transported object from falling.

本発明によると、最初から全ての吸着パッドを搬送物に密着させる必要がないので、表面が湾曲した搬送物の表面に吸着パッドを吸着させる作業が簡単になる。   According to the present invention, it is not necessary to bring all the suction pads into close contact with the conveyed object from the beginning, so that the operation of adsorbing the suction pads on the surface of the conveyed object having a curved surface is simplified.

実施形態に係る真空リフト装置１の正面図である。It is a front view of vacuum lift device 1 concerning an embodiment. シリンダ６２を伸長させた真空リフト装置１の側面図である。FIG. 3 is a side view of the vacuum lift device 1 with a cylinder 62 extended. シリンダ６２を収縮させた真空リフト装置１の側面図である。FIG. 3 is a side view of the vacuum lift device 1 in which a cylinder 62 is contracted. 真空リフト装置１のエア系統図である。FIG. 2 is an air system diagram of the vacuum lift device 1. 吸着パッド３ｉ、３ｊの拡大図である。It is an enlarged view of suction pads 3i and 3j. 真空リフト装置１のブロック図である。It is a block diagram of the vacuum lift device 1. 真空リフト装置１で搬送物１００を搬送する手順を示すフローチャートである。4 is a flowchart illustrating a procedure for transporting a transported object 100 by the vacuum lift device 1.

以下、実施形態に係る真空リフト装置１を図面に基づいて説明する。なお、以下に記載する本発明の実施形態は、本発明を具体化する際の一例を示すものであって、本発明の範囲を実施形態の記載の範囲に限定するものではない。従って、本発明は、実施形態に種々の変更を加えて実施することができる。   Hereinafter, a vacuum lift device 1 according to an embodiment will be described with reference to the drawings. It should be noted that the embodiments of the present invention described below show an example when embodying the present invention, and do not limit the scope of the present invention to the scope described in the embodiments. Therefore, the present invention can be implemented by adding various changes to the embodiment.

真空リフト装置１は、搬送物を吸着した状態でクレーン（図示省略）によって所望の位置に搬送され、搬送後の位置で搬送物を脱離することによって、所望の位置に搬送物を移動させるための装置である。真空リフト装置１は、筐体２と、複数の吸着パッド３ａ〜３ｘと、真空発生装置４（真空源）と、配管５（空気流路）と、パワーシリンダ６（角度切替機構）と、スイッチ７（操作装置）と、報知ランプ８（報知装置）と、コントローラ９とを主に備える。   The vacuum lift device 1 is used to move a conveyed object to a desired position by being conveyed to a desired position by a crane (not shown) while adsorbing the conveyed object and detaching the conveyed object at a position after the conveyance. Device. The vacuum lift device 1 includes a housing 2, a plurality of suction pads 3a to 3x, a vacuum generator 4 (vacuum source), a pipe 5 (air flow path), a power cylinder 6 (angle switching mechanism), and a switch. 7 (operation device), a notification lamp 8 (notification device), and a controller 9.

筐体２は、真空発生装置４及びコントローラ９を内部に収容すると共に、外部に配置される吸着パッド３ａ〜３ｘ、パワーシリンダ６、スイッチ７、及び報知ランプ８などを支持する。また、筐体２は、クレーンのフック２０を係止する係止部２１を有する。すなわち、係止部２１にフック２０を係止して吊り上げることにより、真空リフト装置１を所望の位置に移動させることができる。   The housing 2 accommodates the vacuum generator 4 and the controller 9 inside, and supports the suction pads 3a to 3x, the power cylinder 6, the switch 7, the notification lamp 8, and the like which are arranged outside. Further, the housing 2 has a locking portion 21 for locking the hook 20 of the crane. In other words, the vacuum lift device 1 can be moved to a desired position by locking the hook 20 to the locking portion 21 and lifting it.

吸着パッド３ａ〜３ｘは、ゴムなどの弾性変形能の高い材料で形成されている。吸着パッド３ａ〜３ｘは、先端が開口した円筒形状（より詳細には、円錐台形状）を呈する。すなわち、吸着パッド３ａ〜３ｘの内部空間は、先端の開口を通じて外部に露出されている。吸着パッド３ａ〜３ｘは、同一形状である。吸着パッド３ａ〜３ｘの先端が搬送物の表面に密着することによって、吸着パッド３ａ〜３ｘの内部空間が気密状態になる。そして、吸着パッド３ａ〜３ｘと搬送物との間の気密空間は、配管５を通じて真空発生装置４に接続される。   The suction pads 3a to 3x are formed of a material having a high elastic deformability such as rubber. Each of the suction pads 3a to 3x has a cylindrical shape (more specifically, a truncated cone shape) with an open end. That is, the internal space of the suction pads 3a to 3x is exposed to the outside through the opening at the tip. The suction pads 3a to 3x have the same shape. When the tips of the suction pads 3a to 3x come into close contact with the surface of the conveyed object, the internal spaces of the suction pads 3a to 3x become airtight. The hermetic space between the suction pads 3a to 3x and the transported object is connected to the vacuum generator 4 through the pipe 5.

吸着パッド３ａ〜３ｘの形状は、対象となる搬送物の形状や表面状態などによって異なる。本実施形態では、表面が波打った所謂「意匠ガラス」を搬送物の一例として想定している。意匠ガラスは、例えば、凸部と凹部とが交互に現れる波型のガラスである。また、隣接する凸部（隣接する凹部）の間の距離Ｄ１は、吸着パッド３ａ〜３ｘの先端開口径Ｄ２より大きい。さらに、凸部の高さ（凹部の深さ）は、吸着パッド３ａ〜３ｘの高さ（内部空間の深さ）より大きい。 The shapes of the suction pads 3a to 3x vary depending on the shape, surface condition, and the like of the target transported object. In the present embodiment, a so-called “design glass” having a wavy surface is assumed as an example of a transported object. The design glass is, for example, a corrugated glass in which convex portions and concave portions alternately appear. The distance D 1 of the between adjacent convex portions (adjacent concave portions), the tip larger than the opening diameter D 2 of the suction pad 3A～3x. Furthermore, the height of the convex portion (the depth of the concave portion) is larger than the height of the suction pads 3a to 3x (the depth of the internal space).

吸着パッド３ａ〜３ｘは、複数のビーム３１〜３７（支持部材）及びアーム３８を介して、筐体２に支持されている。主ビーム３１は、パワーシリンダ６に支持されて真空リフト装置１の左右方向に延設されている。副ビーム３２〜３７は、左右方向に所定の間隔を隔てて主ビーム３１に支持され、各々が主ビーム３１と交差（直交）する方向に延設されている。アーム３８は、一端が筐体２に接続され、他端が主ビーム３１に回動可能に接続されて、真空リフト装置１の上下方向（鉛直方向）に延設されている。以下、主ビーム３１の延設方向を第１方向と定義し、副ビーム３２〜３７の延設方向を第２方向と定義し、第１方向及び第２方向に直交する方向を第３方向と定義する。   The suction pads 3 a to 3 x are supported by the housing 2 via a plurality of beams 31 to 37 (support members) and arms 38. The main beam 31 is supported by the power cylinder 6 and extends in the left-right direction of the vacuum lift device 1. The sub beams 32 to 37 are supported by the main beam 31 at predetermined intervals in the left-right direction, and each extends in a direction intersecting (perpendicular to) the main beam 31. The arm 38 has one end connected to the housing 2 and the other end rotatably connected to the main beam 31, and extends in the vertical direction (vertical direction) of the vacuum lift device 1. Hereinafter, the extending direction of the main beam 31 is defined as a first direction, the extending direction of the auxiliary beams 32 to 37 is defined as a second direction, and a direction orthogonal to the first direction and the second direction is defined as a third direction. Define.

吸着パッド３ａ〜３ｄは、副ビーム３２の延設方向に所定の間隔を隔てて、副ビーム３２に支持されている。同様に、吸着パッド３ｅ〜３ｈは副ビーム３３に、吸着パッド３ｉ〜３ｌは副ビーム３４に、吸着パッド３ｍ〜３ｐは副ビーム３５に、吸着パッド３ｑ〜３ｔは副ビーム３６に、吸着パッド３ｕ〜３ｘは副ビーム３７に支持されている。なお、主ビーム３１に対する副ビーム３２〜３７の第１方向の位置は、適宜調整可能に構成されている。また、副ビーム３２に対する吸着パッド３ａ〜３ｄの第２方向の位置は適宜調整可能に構成されている。   The suction pads 3a to 3d are supported by the sub-beam 32 at predetermined intervals in the direction in which the sub-beam 32 extends. Similarly, the suction pads 3e to 3h are for the sub beam 33, the suction pads 3i to 31 are for the sub beam 34, the suction pads 3m to 3p are for the sub beam 35, the suction pads 3q to 3t are for the sub beam 36, and the suction pad 3u. 3x are supported by the auxiliary beam 37. The positions of the sub beams 32 to 37 in the first direction with respect to the main beam 31 are configured to be appropriately adjustable. Further, the positions of the suction pads 3a to 3d in the second direction with respect to the sub beam 32 are configured to be appropriately adjustable.

すなわち、吸着パッド３ａ〜３ｘは、第１方向及び第２方向に離間して配置されている。吸着パッド３ａ〜３ｘは、概ね長方形を呈する仮想面上に分散配置される。すなわち、吸着パッド３ａ〜３ｘは、第１方向の長さが第２方向より長い略長方形状の搬送物を搬送することを想定して配置されている。そして、吸着パッド３ａ〜３ｘの配置密度は、第１方向及び第２方向の中心に近いほど密に配置され、第１方向及び第２方向の外縁に近いほど疎になるのが望ましい。ただし、吸着パッド３ａ〜３ｘの具体的な配置はこれに限定されず、対象となる搬送物の形状によって適宜変更してもよい。   That is, the suction pads 3a to 3x are arranged apart from each other in the first direction and the second direction. The suction pads 3a to 3x are dispersedly arranged on a virtual surface having a substantially rectangular shape. In other words, the suction pads 3a to 3x are arranged on the assumption that a substantially rectangular conveyance object whose length in the first direction is longer than that in the second direction. It is desirable that the arrangement density of the suction pads 3a to 3x is denser closer to the center in the first direction and the second direction, and sparser closer to the outer edge in the first direction and the second direction. However, the specific arrangement of the suction pads 3a to 3x is not limited to this, and may be changed as appropriate depending on the shape of the target transported object.

吸着パッド３ａ〜３ｘそれぞれは、第１グループ及び第２グループのいずれかに属している。本実施形態では、吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐ（参照番号に下線を付す）が第１グループに属し、その他の吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘが第２グループに属する。すなわち、搬送物の長手方向の中央側で、且つ搬送物の短手方向の外側に密着する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐが第１グループに属する。ただし、第１グループに属する吸着パッドの数及び選び方は、これに限定されない。   Each of the suction pads 3a to 3x belongs to one of the first group and the second group. In the present embodiment, the suction pads 3i, 3l, 3m, 3p (reference numbers are underlined) belong to the first group, and the other suction pads 3a to 3h, 3j, 3k, 3n, 3o, 3g to 3x belong to the first group. Belongs to two groups. That is, the suction pads 3i, 31, 3m, and 3p that are in close contact with the center of the conveyed object in the longitudinal direction and on the outside in the short-side direction of the conveyed object belong to the first group. However, the number and selection of the suction pads belonging to the first group are not limited to this.

図５に示すように、第１グループに属する吸着パッド３ｉは、第２グループに属する吸着パッド３ｊと比較して、先端の位置が第３方向にＬ１だけ前進している。換言すれば、第１グループに属する吸着パッド３ｉは、第２グループに属する吸着パッド３ｊと比較して、第３方向にＬ１だけ前進した位置で副ビーム３４に支持されている。この位置関係は、吸着パッド３ｉ、３ｊのみに留まらず、第１グループに属する全ての吸着パッドと第２グループに属する全ての吸着パッドとの間で成立する。 As shown in FIG. 5, the suction pad 3i belonging to the first group, as compared with the suction pads 3j belonging to the second group, the position of the tip is advanced by L 1 in the third direction. In other words, the suction pad 3i belonging to the first group, as compared with the suction pads 3j belonging to the second group are supported by the auxiliary beam 34 at a position advanced by L 1 in the third direction. This positional relationship holds not only for the suction pads 3i and 3j but also for all the suction pads belonging to the first group and all the suction pads belonging to the second group.

真空発生装置４は、配管５を通じて吸着パッド３ａ〜３ｘの内部空間に接続されている。真空発生装置４は、配管５内の空気を外部に排出することによって、吸着パッド３ａ〜３ｘと搬送物との間の気密空間を負圧（真空）状態にする装置である。真空発生装置４は、モータＭでポンプＶＰを駆動することによって、気密空間内の空気を外部に排出する。また、真空発生装置４は、電磁弁の状態を切り替えることによって、配管５及び気密空間を大気に連通させる。さらに、真空発生装置４は、気密空間内を真空にするのを補助する真空タンクをさらに備えてもよい。真空発生装置４の構成は既に公知なので、詳細な説明は省略する。   The vacuum generator 4 is connected to the internal spaces of the suction pads 3a to 3x through a pipe 5. The vacuum generating device 4 is a device that discharges air in the pipe 5 to the outside to make a hermetic space between the suction pads 3a to 3x and the conveyed material a negative pressure (vacuum) state. The vacuum generator 4 discharges the air in the airtight space to the outside by driving the pump VP with the motor M. In addition, the vacuum generator 4 switches the state of the solenoid valve to connect the pipe 5 and the airtight space to the atmosphere. Further, the vacuum generating device 4 may further include a vacuum tank that assists in creating a vacuum in the airtight space. Since the configuration of the vacuum generator 4 is already known, a detailed description is omitted.

なお、真空源の具体的な構成は真空発生装置４に限定されない。他の例として、真空源は、ベンチュリー効果を利用して真空状態を作り出すエジェクタでもよい。さらに他の例として、真空源は、配管５に接続されたシリンダ内のピストンをクレーンで移動させることによって、気密空間から空気を吸引するものでもよい。   The specific configuration of the vacuum source is not limited to the vacuum generator 4. As another example, the vacuum source may be an ejector that creates a vacuum using the Venturi effect. As yet another example, the vacuum source may be one that sucks air from the airtight space by moving a piston in a cylinder connected to the pipe 5 with a crane.

また、本明細書中の「真空」とは、真空リフト装置１を吊り上げた際に、吸着パッド３ａ〜３ｘから搬送物が脱落しない程度の真空率であればよい。すなわち、必ずしも高真空や超高真空である必要はなく、低真空でもよい。具体的な真空率は搬送物の重量によって異なるが、例えば、意匠ガラスの場合にはゲージ圧で−０．０６〜−０．０９ＭＰａ程度であればよい。   Further, the “vacuum” in the present specification may be any vacuum rate that does not cause the transported object to fall off the suction pads 3a to 3x when the vacuum lift device 1 is lifted. That is, it is not always necessary to use a high vacuum or an ultra-high vacuum, and a low vacuum may be used. Although the specific vacuum rate varies depending on the weight of the conveyed object, for example, in the case of design glass, the gauge pressure may be about -0.06 to -0.09 MPa.

配管５は、吸着パッド３ａ〜３ｘと真空発生装置４との間で空気を流通させる空気流路である。配管５は、第１グループに属する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐそれぞれに接続される第１配管５１（第１空気流路）と、第２グループに属する吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘそれぞれに接続される第２配管５２（第２空気流路）と、真空発生装置４と第１配管５１及び第２配管５２とを接続する合流配管５３とで構成される。   The pipe 5 is an air flow path that allows air to flow between the suction pads 3 a to 3 x and the vacuum generator 4. The pipe 5 includes a first pipe 51 (first air flow path) connected to each of the suction pads 3i, 31, 3, 3m, and 3p belonging to the first group, and suction pads 3a to 3h, 3j, and 3k belonging to the second group. , 3n, 3o, 3g to 3x, each of which includes a second pipe 52 (second air flow path), and a merging pipe 53 that connects the vacuum generator 4 with the first pipe 51 and the second pipe 52. Is done.

すなわち、第１グループに属する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐは、第１配管５１及び合流配管５３を通じて真空発生装置４に接続されている。また、第２グループに属する吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘは、第２配管５２及び合流配管５３を通じて真空発生装置４に接続されている。さらに、第１配管５１及び第２配管５２の末端には、吸着パッド３ａ〜３ｘそれぞれに対応付けて、手動バルブ、チェック弁、及び圧力センサ等が設けられている。   That is, the suction pads 3 i, 3 l, 3 m, and 3 p belonging to the first group are connected to the vacuum generator 4 through the first pipe 51 and the merge pipe 53. The suction pads 3a to 3h, 3j, 3k, 3n, 3o, 3g to 3x belonging to the second group are connected to the vacuum generator 4 through the second pipe 52 and the merge pipe 53. Further, a manual valve, a check valve, a pressure sensor, and the like are provided at the ends of the first pipe 51 and the second pipe 52 in association with the suction pads 3a to 3x, respectively.

第１配管５１には、第１電磁弁５４（状態切替機構）が設けられている。より詳細には、第１電磁弁５４は、第１配管５１と合流配管５３との接続位置より吸着パッド側に配置されている。第１電磁弁５４は、コントローラ９から出力される制御信号に従って、第１配管５１を連通状態及び遮断状態に切り替える。第１配管５１の連通状態は、第１グループに属する吸着パッドの気密空間から空気を吸引可能な状態である。第１配管５１の遮断状態は、第１グループに属する吸着パッドの気密空間から空気を吸引不能な状態である。   The first pipe 51 is provided with a first solenoid valve 54 (state switching mechanism). More specifically, the first solenoid valve 54 is disposed closer to the suction pad than the connection position between the first pipe 51 and the junction pipe 53. The first solenoid valve 54 switches the first pipe 51 between a communication state and a cutoff state according to a control signal output from the controller 9. The communication state of the first pipe 51 is a state where air can be sucked from the airtight space of the suction pads belonging to the first group. The cutoff state of the first pipe 51 is a state in which air cannot be sucked from the airtight space of the suction pads belonging to the first group.

第２配管５２には、第２電磁弁５５（状態切替機構）が設けられている。より詳細には、第２電磁弁５５は、第２配管５２と合流配管５３との接続位置より吸着パッド側に配置されている。第２電磁弁５５は、コントローラ９から出力される制御信号に従って、第２配管５２を連通状態及び遮断状態に切り替える。第２配管５２の連通状態は、第２グループに属する吸着パッドの気密空間から空気を吸引可能な状態である。第２配管５２の遮断状態は、第２グループに属する吸着パッドの気密空間から空気を吸引不能な状態である。   A second solenoid valve 55 (state switching mechanism) is provided in the second pipe 52. More specifically, the second solenoid valve 55 is disposed closer to the suction pad than the connection position between the second pipe 52 and the junction pipe 53. The second solenoid valve 55 switches the second pipe 52 between a communication state and a cutoff state according to a control signal output from the controller 9. The communication state of the second pipe 52 is a state where air can be sucked from the airtight space of the suction pads belonging to the second group. The blocked state of the second pipe 52 is a state in which air cannot be sucked from the airtight space of the suction pads belonging to the second group.

すなわち、連通状態は、吸着パッド側から真空発生装置４へ向かう空気の流れを許容し、真空発生装置４側から吸着パッドへの空気の流れを遮断した状態である。一方、遮断状態は、吸着パッド側から真空発生装置４へ向かう空気の流れを遮断し、真空発生装置４側から吸着パッドへの空気の流れを許容した状態である。ただし、状態切替機構の具体的な構成はこれに限定されず、第１配管５１及び第２配管５２の状態（連通状態／遮断状態）を、個別に切り替え可能であればよい。   That is, the communication state is a state in which the flow of air from the suction pad side to the vacuum generation device 4 is allowed, and the flow of air from the vacuum generation device 4 side to the suction pad is cut off. On the other hand, the cutoff state is a state in which the flow of air from the suction pad side to the vacuum generating device 4 is cut off, and the flow of air from the vacuum generating device 4 side to the suction pad is allowed. However, the specific configuration of the state switching mechanism is not limited to this, as long as the state (communication state / blocking state) of the first pipe 51 and the second pipe 52 can be individually switched.

パワーシリンダ６は、第１方向（すなわち、主ビーム３１の延設方向）に延びる軸線周りに回動可能な状態で、ビーム３１〜３７及び吸着パッド３ａ〜３ｘを支持する。パワーシリンダ６は、モータ６１と、シリンダ６２と、回動板６３とを主に備える。モータ６１は、コントローラ９から出力させる制御信号に従って駆動して、シリンダ６２を伸長及び収縮させる。シリンダ６２は、一端が筐体２に支持されて、他端が回動板６３を介して主ビーム３１に接続されて、アーム３８と概ね平行な方向に伸縮する。回動板６３は、一端がシリンダ６２に回動可能に接続され、他端がアーム３８の接続位置から第２方向にずれた位置で主ビーム３１に回動可能に接続されている。   The power cylinder 6 supports the beams 31 to 37 and the suction pads 3a to 3x while being rotatable around an axis extending in a first direction (that is, an extending direction of the main beam 31). The power cylinder 6 mainly includes a motor 61, a cylinder 62, and a rotating plate 63. The motor 61 is driven according to a control signal output from the controller 9 to extend and contract the cylinder 62. One end of the cylinder 62 is supported by the housing 2, and the other end is connected to the main beam 31 via the rotating plate 63, and expands and contracts in a direction substantially parallel to the arm 38. The rotating plate 63 has one end rotatably connected to the cylinder 62 and the other end rotatably connected to the main beam 31 at a position shifted in the second direction from the connection position of the arm 38.

図１及び図２に示すシリンダ６２を収縮させると、回動板６３は、図３に示すように、第１方向に延びる軸線周りに回動しながらシリンダ６２の収縮方向に移動する。一方、図３に示すシリンダ６２を伸長させると、回動板６３は、図１及び図２に示すように、第１方向に延びる軸線周りに回動しながらシリンダ６２の伸長方向に移動する。ビーム３１〜３７及び吸着パッド３ａ〜３ｘは、この回動板６３の動きに伴って、回動板６３との接続位置を通り、且つ第１方向に延びる軸線周りに回動する。   When the cylinder 62 shown in FIGS. 1 and 2 is contracted, the rotating plate 63 moves in the contracting direction of the cylinder 62 while rotating around an axis extending in the first direction, as shown in FIG. On the other hand, when the cylinder 62 shown in FIG. 3 is extended, the rotating plate 63 moves in the extending direction of the cylinder 62 while rotating around an axis extending in the first direction, as shown in FIGS. The beams 31 to 37 and the suction pads 3 a to 3 x rotate around the axis extending in the first direction through the connection position with the rotary plate 63 with the movement of the rotary plate 63.

図１及び図２に示す真空リフト装置１において、吸着パッド３ａ〜３ｘは、真空リフト装置１の上下方向及び左右方向に拡がる仮想平面上に配置されている。また、第１グループに属する吸着パッドは、第２グループに属する吸着パッドと比較して、真空リフト装置１の後方側に前進配置されている。すなわち、図１及び図２において、第１方向は真空リフト装置１の左右方向に沿う方向であり、第２方向は真空リフト装置１の上下方向に沿う方向であり、第３方向は真空リフト装置１の前後方向に沿う方向である。   In the vacuum lift device 1 shown in FIGS. 1 and 2, the suction pads 3 a to 3 x are arranged on an imaginary plane extending in the vertical and horizontal directions of the vacuum lift device 1. In addition, the suction pads belonging to the first group are disposed forward on the rear side of the vacuum lift device 1 as compared with the suction pads belonging to the second group. That is, in FIGS. 1 and 2, the first direction is a direction along the left-right direction of the vacuum lift device 1, the second direction is a direction along the vertical direction of the vacuum lift device 1, and the third direction is a vacuum lift device. 1 is a direction along the front-back direction.

図３に示す真空リフト装置１において、吸着パッド３ａ〜３ｘは、真空リフト装置１の前後方向及び左右方向に拡がる仮想平面上に配置されている。また、第１グループに属する吸着パッドは、第２グループに属する吸着パッドと比較して、真空リフト装置１の下方側に前進配置されている。すなわち、図３において、第１方向は真空リフト装置１の左右方向に沿う方向であり、第２方向は真空リフト装置１の前後方向に沿う方向であり、第３方向は真空リフト装置１の上下方向（鉛直方向）に沿う方向である。   In the vacuum lift device 1 shown in FIG. 3, the suction pads 3 a to 3 x are arranged on an imaginary plane extending in the front-rear direction and the left-right direction of the vacuum lift device 1. In addition, the suction pads belonging to the first group are disposed forward of the vacuum lift device 1 as compared with the suction pads belonging to the second group. That is, in FIG. 3, the first direction is a direction along the left-right direction of the vacuum lift device 1, the second direction is a direction along the front-rear direction of the vacuum lift device 1, and the third direction is the vertical direction of the vacuum lift device 1. This is a direction along the direction (vertical direction).

このように、パワーシリンダ６は、第３方向が鉛直方向に沿う第１角度と、第３方向が水平方向に沿う第２角度との間で、ビーム３１〜３７及び吸着パッド３ａ〜３ｘの角度を切り替える。ただし、ビーム３１〜３７及び吸着パッド３ａ〜３ｘの角度を切り替える具体的な方法はこれに限定されず、例えば、ピニオン＆ラック機構などの公知の他の方法を用いてもよい。   As described above, the power cylinder 6 is configured such that the angles of the beams 31 to 37 and the suction pads 3a to 3x are between the first angle in which the third direction is along the vertical direction and the second angle in which the third direction is along the horizontal direction. Switch. However, the specific method of switching the angles of the beams 31 to 37 and the suction pads 3a to 3x is not limited to this, and for example, another known method such as a pinion and rack mechanism may be used.

スイッチ７は、真空リフト装置１を動作させる作業者の操作を受け付けて、受け付けた操作に対応する操作信号をコントローラ９に出力する。スイッチ７は、例えば、真空発生装置４を駆動及び大気解放させる吸引スイッチ７１と、第１電磁弁５４及び第２電磁弁５５の状態を切り替える弁切替スイッチ７２と、パワーシリンダ６を伸縮させる角度切替スイッチ７３とを含む。   The switch 7 receives an operation of an operator who operates the vacuum lift device 1 and outputs an operation signal corresponding to the received operation to the controller 9. The switch 7 includes, for example, a suction switch 71 that drives the vacuum generating device 4 and releases it to the atmosphere, a valve switch 72 that switches the state of the first solenoid valve 54 and the second solenoid valve 55, and an angle switch that expands and contracts the power cylinder 6. And a switch 73.

弁切替スイッチ７２は、第１配管５１を連通状態とし且つ第２配管５２を遮断状態とする第１操作と、第１配管５１及び第２配管５２を連通状態とする第２操作と、第１配管５１及び第２配管５２を遮断状態とする第３操作とを受け付けることができる。弁切替スイッチ７２は、例えば、３ポジションのトグルスイッチあるいはロータリースイッチなどである。また、弁切替スイッチ７２は、作業者が手を離しても現在の状態を保持するオルタネイト式のスイッチであるのが望ましい。これにより、第１操作、第２操作、第３操作を１アクションで実現できる。   The valve changeover switch 72 performs a first operation of setting the first pipe 51 to a communication state and setting the second pipe 52 to a cutoff state, a second operation of setting the first pipe 51 and the second pipe 52 to a communication state, and a first operation. It is possible to receive a third operation for shutting off the pipe 51 and the second pipe 52. The valve changeover switch 72 is, for example, a three-position toggle switch or a rotary switch. Further, it is desirable that the valve changeover switch 72 be an alternate type switch that maintains the current state even when the operator releases his / her hand. Thus, the first operation, the second operation, and the third operation can be realized by one action.

報知ランプ８は、コントローラ９から出力される制御信号に従って、吸着パッド３ａ〜３ｘの内部空間の気圧の状態を、作業者が区別しうる態様で報知する。報知ランプ８は、赤色に点灯する赤ランプ８１と、黄色に点灯する黄ランプ８２と、緑色に点灯する緑ランプ８３とを含む。赤ランプ８１は、全ての吸着パッド３ａ〜３ｘの気密空間が大気圧である第１状態のときに点灯する。黄ランプ８２は、第１グループに属する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐの気密空間のみが真空である第２状態のときに点灯する。緑ランプ８３は、全ての吸着パッド３ａ〜３ｘの気密空間が真空である第３状態のときに点灯する。   The notification lamp 8 notifies the state of the air pressure in the internal space of the suction pads 3a to 3x in a manner that can be distinguished by the worker according to the control signal output from the controller 9. The notification lamp 8 includes a red lamp 81 that lights red, a yellow lamp 82 that lights yellow, and a green lamp 83 that lights green. The red lamp 81 is turned on when the airtight spaces of all the suction pads 3a to 3x are in the first state in which the air pressure is the atmospheric pressure. The yellow lamp 82 is turned on when only the airtight spaces of the suction pads 3i, 31, 3, 3m and 3p belonging to the first group are in a vacuum state. The green lamp 83 is turned on when the airtight spaces of all the suction pads 3a to 3x are in the third state where the space is vacuum.

コントローラ９は、スイッチ７から出力される操作信号と、圧力センサ１１から出力される圧力信号とを取得し、真空発生装置４、第１電磁弁５４及び第２電磁弁５５、パワーシリンダ６、報知ランプ８、及びスピーカ１２を動作させる制御信号を出力する。圧力センサ１１は、第１配管５１及び第２配管５２内（換言すれば、吸着パッド３ａ〜３ｘの内部空間）の気圧を検出し、検出結果を示す圧力信号をコントローラ９に出力する。スピーカ１２は、警告音（ビープ音）を出力する。   The controller 9 obtains the operation signal output from the switch 7 and the pressure signal output from the pressure sensor 11, and obtains the vacuum generator 4, the first and second solenoid valves 54 and 55, the power cylinder 6, and the notification. A control signal for operating the lamp 8 and the speaker 12 is output. The pressure sensor 11 detects the atmospheric pressure in the first pipe 51 and the second pipe 52 (in other words, the internal space of the suction pads 3a to 3x), and outputs a pressure signal indicating the detection result to the controller 9. The speaker 12 outputs a warning sound (beep sound).

コントローラ９は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、及びＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）を備える。そして、ＲＯＭに記憶されたプログラムをＣＰＵが読み出して実行することによって、後述する各処理を実現してもよい。ただし、コントローラ９の具体的な構成はこれに限定されず、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）、ＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ−Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）などのハードウェアによって実現されてもよい。   The controller 9 includes, for example, a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), and a RAM (Random Access Memory). Then, the CPU may read out and execute the program stored in the ROM, thereby realizing each process described later. However, the specific configuration of the controller 9 is not limited to this, and may be realized by hardware such as an ASIC (Application Specific Integrated Circuit) and an FPGA (Field-Programmable Gate Array).

次に図７を参照して、立て掛けられた状態の搬送物１００を、真空リフト装置１で吸着搬送する手順を説明する。なお、図７の作業を開始する前において、真空発生装置４の電磁弁は図４の状態であり、弁切替スイッチ７２は第３操作がされた状態（第１電磁弁５４及び第２電磁弁５５が遮断状態）であり、シリンダ６２は収縮した状態であり、赤ランプ８１が点灯しているものとする。   Next, with reference to FIG. 7, a procedure of sucking and transporting the transported object 100 in the leaned state by the vacuum lift device 1 will be described. Before starting the operation of FIG. 7, the solenoid valve of the vacuum generator 4 is in the state of FIG. 4, and the valve changeover switch 72 is in the state of the third operation (the first solenoid valve 54 and the second solenoid valve 54). 55 is a shut-off state), the cylinder 62 is in a contracted state, and the red lamp 81 is lit.

まず、作業者は、第１グループに属する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐが搬送物１００の表面に密着する位置まで、クレーンで真空リフト装置１を吊り上げて移動させる（Ｓ１１）。その結果、図５の左側に示すように、第１グループに属する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐ（図５では３ｉのみ図示）が搬送物１００の表面に密着し、吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐと搬送物１００との間に気密空間が形成される。一方、第２グループに属する吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘ（図５では３ｊのみ図示）は、搬送物１００の表面から離間した状態である。   First, the operator lifts and moves the vacuum lift device 1 with a crane to a position where the suction pads 3i, 31, 3, 3m, and 3p belonging to the first group are in close contact with the surface of the transported object 100 (S11). As a result, as shown on the left side of FIG. 5, the suction pads 3i, 31, 3, 3m, and 3p (only 3i is shown in FIG. 5) belonging to the first group adhere to the surface of the conveyed object 100, and the suction pads 3i, 31,. An airtight space is formed between 3m, 3p and the article 100. On the other hand, the suction pads 3a to 3h, 3j, 3k, 3n, 3o, 3g to 3x (only 3j is shown in FIG. 5) belonging to the second group are in a state separated from the surface of the conveyed object 100.

作業者は、Ｓ１１において、第１グループに属する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐが搬送物１００の凹部を囲むように、換言すれば、隣接する凸部の間に位置するように、真空リフト装置１の位置を調整するのが望ましい。ただし、吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐと搬送物１００の関係はこれに限定されず、第１グループに属する全ての吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐが搬送物１００の表面に適切に密着する位置であればよい。   In step S11, the operator lifts the vacuum lift so that the suction pads 3i, 31, 3m, and 3p belonging to the first group surround the recesses of the conveyed object 100, in other words, are positioned between the adjacent protrusions. It is desirable to adjust the position of the device 1. However, the relationship between the suction pads 3i, 3l, 3m, and 3p and the transported object 100 is not limited to this, and all the suction pads 3i, 31, 3, 3m, and 3p belonging to the first group are properly adhered to the surface of the transported object 100. Any position is acceptable.

次に、コントローラ９は、作業者が吸引スイッチ７１を操作したことに応じて、真空発生装置４に空気を吸引させる（Ｓ１２）。Ｓ１２において、第１電磁弁５４及び第２電磁弁５５はいずれも遮断状態なので、真空発生装置４と第１電磁弁５４及び第２電磁弁５５との間が真空となり、第１電磁弁５４及び第２電磁弁５５より吸着パッド３ａ〜３ｘ側は大気圧のままである。   Next, the controller 9 causes the vacuum generator 4 to suck air in response to the operation of the suction switch 71 by the operator (S12). In S12, since both the first solenoid valve 54 and the second solenoid valve 55 are in the shut-off state, the space between the vacuum generator 4 and the first solenoid valve 54 and the second solenoid valve 55 becomes vacuum, and the first solenoid valve 54 and the second solenoid valve 55 The suction pads 3a to 3x side of the second solenoid valve 55 remain at the atmospheric pressure.

次に、コントローラ９は、作業者が弁切替スイッチ７２に対して第１操作をしたことに応じて、第１電磁弁５４を連通状態に切り替える（Ｓ１３）。これにより、第１配管５１と合流配管５３とが連通して、第１グループに属する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐの気密空間から空気が吸引される。一方、Ｓ１３において、第２電磁弁５５は遮断状態のままなので、第２グループに属する吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘの内部空間からは空気が吸引されない。   Next, the controller 9 switches the first solenoid valve 54 to the communication state in response to the operator performing the first operation on the valve switch 72 (S13). As a result, the first pipe 51 and the merge pipe 53 communicate with each other, and air is sucked from the airtight spaces of the suction pads 3i, 31, 3, 3m, and 3p belonging to the first group. On the other hand, in S13, since the second solenoid valve 55 remains in the shut-off state, no air is sucked from the internal spaces of the suction pads 3a to 3h, 3j, 3k, 3n, 3o, 3g to 3x belonging to the second group.

また、コントローラ９は、スピーカ１２を通じて警告音を出力する（Ｓ１４）。さらに、コントローラ９は、圧力センサ１１から出力される圧力信号を監視して、第１グループに属する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐの気密空間が真空になるまで、以降の処理の実行を待機する（Ｓ１５：Ｎｏ）。なお、スピーカ１２を通じた警告音の出力は、吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐの気密空間が真空になるまで継続する。   Further, the controller 9 outputs a warning sound through the speaker 12 (S14). Further, the controller 9 monitors the pressure signal output from the pressure sensor 11, and waits for the execution of the subsequent processing until the airtight spaces of the suction pads 3i, 31, 3, 3m, and 3p belonging to the first group become vacuum. (S15: No). The output of the warning sound through the speaker 12 is continued until the airtight spaces of the suction pads 3i, 31, 3, 3m, and 3p become vacuum.

次に、コントローラ９は、吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐの気密空間が真空になったと判定したことに応じて（Ｓ１５：Ｙｅｓ）、スピーカ１２を通じた警告音の出力を停止すると共に、赤ランプ８１を消灯し、黄ランプ８２を点灯する（Ｓ１６）。すなわち、作業者は、警告音の停止と、黄ランプ８２の点灯とによって、吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐの気密空間が真空になったことを認識する。   Next, in response to determining that the air-tight space of the suction pads 3i, 3l, 3m, and 3p has been evacuated (S15: Yes), the controller 9 stops outputting the warning sound through the speaker 12, and outputs a red signal. The lamp 81 is turned off and the yellow lamp 82 is turned on (S16). That is, the worker recognizes that the airtight spaces of the suction pads 3i, 31, 3, 3m, and 3p are evacuated by stopping the warning sound and turning on the yellow lamp 82.

ここで、気密空間が真空になった吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐは、図５の左側に示すように、第３方向に圧縮変形する。その結果、真空リフト装置１全体が搬送物１００に近づく向きに移動して、第２グループに属する吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘが搬送物１００の表面に密着する。すなわち、第２グループに属する吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘと搬送物１００との間に、気密空間が形成される。   Here, the suction pads 3i, 31, 3, 3m, and 3p whose airtight spaces have been evacuated are compressed and deformed in the third direction as shown on the left side of FIG. As a result, the entire vacuum lift device 1 moves in a direction approaching the article 100, and the suction pads 3a to 3h, 3j, 3k, 3n, 3o, 3g to 3x belonging to the second group adhere to the surface of the article 100. I do. That is, an airtight space is formed between the suctioned pads 3a to 3h, 3j, 3k, 3n, 3o, 3g to 3x belonging to the second group and the conveyed object 100.

そのため、第３方向において、第１グループに属する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐの先端と、第２グループに属する吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘの先端との距離Ｌ１は、図５に示すように、第１グループに属する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐの変形可能量Ｌ２より短く設定される。 Therefore, in the third direction, the tips of the suction pads 3i, 31, 3, 3m, and 3p belonging to the first group, and the tips of the suction pads 3a to 3h, 3j, 3k, 3n, 3o, and 3g to 3x belonging to the second group. distance L 1, as shown in FIG. 5, the suction pad 3i belonging to the first group, 3l, 3m, is set to be shorter than the deformable amount L 2 of 3p.

次に、コントローラ９は、作業者が弁切替スイッチ７２に対して第２操作をしたことに応じて、第２電磁弁５５を連通状態に切り替える（Ｓ１８）。これにより、第２配管５２と合流配管５３とが連通して、第２グループに属する吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘの気密空間から空気が吸引される。また、コントローラ９は、圧力センサ１１から出力される圧力信号を監視して、第２グループに属する吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘの気密空間が真空になるまで、以降の処理の実行を待機する（Ｓ１８：Ｎｏ）。   Next, the controller 9 switches the second solenoid valve 55 to the communication state in response to the operator performing the second operation on the valve changeover switch 72 (S18). As a result, the second pipe 52 and the merge pipe 53 communicate with each other, and air is sucked from the airtight spaces of the suction pads 3a to 3h, 3j, 3k, 3n, 3o, 3g to 3x belonging to the second group. The controller 9 monitors the pressure signal output from the pressure sensor 11 until the air-tight spaces of the suction pads 3a to 3h, 3j, 3k, 3n, 3o, 3g to 3x belonging to the second group become vacuum. , And waits for execution of the subsequent processing (S18: No).

次に、コントローラ９は、吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘの気密空間が真空になったと判定したことに応じて（Ｓ１８：Ｙｅｓ）、黄ランプ８２を消灯し、緑ランプ８３を点灯する（Ｓ１９）。すなわち、作業者は、緑ランプ８３の点灯によって、吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘの気密空間が真空になったことを認識する。これにより、全ての吸着パッド３ａ〜３ｘが搬送物１００に吸着したので、真空リフト装置１をクレーンで吊り上げても、吸着パッド３ａ〜３ｘから搬送物１００が脱離しない。   Next, the controller 9 turns off the yellow lamp 82 in response to determining that the airtight spaces of the suction pads 3a to 3h, 3j, 3k, 3n, 3o, and 3g to 3x have been evacuated (S18: Yes). Then, the green lamp 83 is turned on (S19). That is, the worker recognizes that the airtight spaces of the suction pads 3a to 3h, 3j, 3k, 3n, 3o, and 3g to 3x have been evacuated by turning on the green lamp 83. As a result, all the suction pads 3a to 3x are adsorbed to the transported object 100, so that even if the vacuum lift device 1 is lifted by the crane, the transported object 100 does not detach from the suction pads 3a to 3x.

第２グループに属する吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘが圧縮変形する過程において、第１グループに属する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐには、搬送物１００から離間する向きの反力が作用する。そこで、第１グループに属する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐの気密空間を真空にしたときの搬送物１００への密着力Ｆ１を、第２グループに属する吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘの気密空間を真空にする際に、吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘを第３方向に圧縮変形させるのに必要な力Ｆ２より大きく設定される。 In the process of compressing and deforming the suction pads 3a to 3h, 3j, 3k, 3n, 3o, and 3g to 3x belonging to the second group, the suction pads 3i, 31, 3, 3m, and 3p belonging to the first group are transferred from the transported object 100. A reaction force in the direction of separation acts. Therefore, the suction pad 3i belonging to the first group, 3l, 3m, adhesion F 1 to conveyed object 100 when the airtight space 3p vacuum, suction pad 3a~3h belonging to the second group, 3j, 3k , 3n, 3o, the airtight space 3g~3x when the vacuum suction pad 3a to 3h, 3j, 3k, 3n, 3o, the force required to compress and deform the 3g~3x in the third direction F 2 Set larger.

Ｆ１＞Ｆ２を充足させるための具体的な構成は特に限定されないが、一例として、第１グループに属する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐの数を、Ｆ１＞Ｆ２となるように調整すればよい。他の例として、第１グループに属する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐの開口面積の合計を、Ｆ１＞Ｆ２となるように調整してもよい。 Although a specific configuration for satisfying F 1 > F 2 is not particularly limited, as an example, the number of the suction pads 3i, 31, 3, 3m, and 3p belonging to the first group is set so that F 1 > F 2. Adjust it. As another example, suction pads 3i belonging to the first group, 3l, 3m, the total opening area of 3p, it may be adjusted such that F 1> F 2.

次に、作業者は、クレーンで真空リフト装置１を吊り上げて所望の位置に移動させる。このとき、吸着パッド３ａ〜３ｘに密着した搬送物１００も真空リフト装置１と共に移動する（Ｓ２０）。また、搬送物１００を水平面上に載置する場合、作業者は、角度切替スイッチ７３を操作する。これにより、コントローラ９は、モータ６１を駆動してシリンダ６２を伸長させることによって、ビーム３１〜３７及び吸着パッド３ａ〜３ｘの角度を、図２から図３の状態に切り替える。   Next, the worker lifts the vacuum lift device 1 with a crane and moves it to a desired position. At this time, the conveyed object 100 that is in close contact with the suction pads 3a to 3x also moves together with the vacuum lift device 1 (S20). When placing the transported object 100 on a horizontal surface, the operator operates the angle switch 73. Accordingly, the controller 9 switches the angles of the beams 31 to 37 and the suction pads 3a to 3x from the state shown in FIG. 2 to the state shown in FIG. 3 by driving the motor 61 to extend the cylinder 62.

次に、作業者は、搬送物１００を所望の位置に載置した状態で、吸引スイッチ７１を操作して、真空発生装置４を大気解放する（Ｓ２１）。コントローラ９は、吸引スイッチ７１が操作されたことに応じて、図４に示す真空発生装置４の３つの電磁弁を切り替えて、配管５内に空気を流入させる。Ｓ２１において、第１電磁弁５４及び第２電磁弁５５は連通状態なので、配管５に流入した空気は吸着パッド３ａ〜３ｘの気密空間にまで達し、気密空間が大気圧に戻る。これにより、吸着パッド３ａ〜３ｘが搬送物１００から脱離する。   Next, the operator operates the suction switch 71 with the transported object 100 placed at a desired position to release the vacuum generator 4 to the atmosphere (S21). The controller 9 switches the three solenoid valves of the vacuum generator 4 shown in FIG. 4 according to the operation of the suction switch 71, and causes the air to flow into the pipe 5. In S21, since the first solenoid valve 54 and the second solenoid valve 55 are in a communicating state, the air flowing into the pipe 5 reaches the airtight space of the suction pads 3a to 3x, and the airtight space returns to the atmospheric pressure. Thus, the suction pads 3a to 3x are detached from the transported object 100.

次に、コントローラ９は、圧力センサ１１から出力される圧力信号によって、吸着パッド３ａ〜３ｘの気密空間が大気圧になったと判定したことに応じて、緑ランプ８３を消灯し、赤ランプ８１を点灯する（Ｓ２２）。すなわち、作業者は、赤ランプ８１の点灯によって、吸着パッド３ａ〜３ｘが搬送物１００から脱離したことを認識する。これにより、再びクレーンで真空リフト装置１を吊り上げて、他の作業を行うことができる。   Next, the controller 9 turns off the green lamp 83 and turns off the red lamp 81 in response to the pressure signal output from the pressure sensor 11 determining that the airtight space of the suction pads 3a to 3x has become atmospheric pressure. Lights up (S22). That is, the worker recognizes that the suction pads 3a to 3x have detached from the conveyed object 100 by turning on the red lamp 81. Thus, the vacuum lift device 1 can be lifted again by the crane to perform another operation.

本実施形態によれば、例えば、以下のような作用効果を奏する。   According to the present embodiment, for example, the following operational effects can be obtained.

上記の実施形態によれば、Ｓ１１において、第１グループの吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐのみを搬送物１００に密着させればよいので、全ての吸着パッド３ａ〜３ｘを搬送物１００に密着させる場合と比較して、搬送物１００に対する真空リフト装置１の位置合わせが簡単になる。   According to the above embodiment, in S11, only the suction pads 3i, 31, 3m, and 3p of the first group need be brought into close contact with the article 100, so that all the suction pads 3a to 3x are brought into close contact with the article 100. In comparison with the case where the vacuum lift device 1 is moved, the positioning of the vacuum lift device 1 with respect to the transported object 100 is simplified.

また、上記の実施形態のように、第１グループ及び第２グループで同一形状の吸着パッド３ａ〜３ｘを使用することにより、第１グループ及び第２グループで異なる形状の吸着パッドを使用する場合と比較して、真空リフト装置１の製造コストを削減することができる。ただし、第１グループと第２グループとで形状の異なる吸着パッドを採用してもよい。より詳細には、第３方向において、第１グループの吸着パッドの長さを、第２グループの吸着パッドより長くしてもよい。   Further, by using the suction pads 3a to 3x having the same shape in the first group and the second group as in the above-described embodiment, a case in which suction pads having different shapes are used in the first group and the second group is used. In comparison, the manufacturing cost of the vacuum lift device 1 can be reduced. However, suction pads having different shapes between the first group and the second group may be employed. More specifically, in the third direction, the first group of suction pads may be longer than the second group of suction pads.

また、上記の実施形態のように、Ｌ１＜Ｌ２とすることによって、第１グループの吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐから空気を吸引して圧縮変形させると、第２グループの吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘが搬送物１００に自然と密着する。すなわち、第２グループの吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘを密着させるために特別な作業をする必要がないので、さらに簡単に搬送物１００を吸着搬送することができる。 Further, as in the above embodiment, by setting L 1 <L 2 and sucking air from the first group of suction pads 3 i, 31, 3 m and 3 p to compress and deform, the second group of suction pads 3a to 3h, 3j, 3k, 3n, 3o, and 3g to 3x naturally adhere to the transported object 100. That is, it is not necessary to perform a special operation for bringing the suction pads 3a to 3h, 3j, 3k, 3n, 3o, and 3g to 3x of the second group into close contact with each other. it can.

また、上記の実施形態のように、Ｆ１＞Ｆ２とすることによって、第２グループの吸着パッド３ａ〜３ｈ、３ｊ、３ｋ、３ｎ、３ｏ、３ｇ〜３ｘが搬送物１００に押し付けられる際の反力によって、第１グループの吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐが搬送物１００から脱離するのを防止することができる。 Also, as in the above embodiment, by the F 1> F 2, suction pad 3a~3h the second group, 3j, 3k, 3n, 3o, when 3g~3x is pressed against the conveyed object 100 The reaction force can prevent the first group of suction pads 3 i, 3 l, 3 m, and 3 p from being detached from the transported object 100.

また、上記の実施形態によれば、弁切替スイッチ７２の操作によって、第１電磁弁５４及び第２電磁弁５５の状態を切り替えることができる。その結果、第１電磁弁５４及び第２電磁弁５５それぞれを個別に切り替え操作する場合と比較して、作業者の操作負担を軽減することができる。ただし、配管５の状態を切り替える具体的な操作は、上記の実施形態に限定されない。例えば、吸着パッド３ａ〜３ｘそれぞれに対応する手動バルブを、作業者が開閉してもよい。   Further, according to the above-described embodiment, the states of the first solenoid valve 54 and the second solenoid valve 55 can be switched by operating the valve switch 72. As a result, the operation burden on the operator can be reduced as compared with the case where the first solenoid valve 54 and the second solenoid valve 55 are individually switched. However, a specific operation for switching the state of the pipe 5 is not limited to the above embodiment. For example, an operator may open and close the manual valves corresponding to each of the suction pads 3a to 3x.

また、第１電磁弁５４及び第２電磁弁５５の位置は、図４の例に限定されない。他の例として、合流配管５３に第１電磁弁５４を設け、第２配管５２に第２電磁弁５５を設けてもよい。この場合、Ｓ１３において、第１電磁弁５４を連通状態とし、第２電磁弁５５を遮断状態とすればよい。また、Ｓ１７において、第１電磁弁５４及び第２電磁弁５５を連通状態とすればよい。   Further, the positions of the first solenoid valve 54 and the second solenoid valve 55 are not limited to the example of FIG. As another example, the first electromagnetic valve 54 may be provided in the merging pipe 53 and the second electromagnetic valve 55 may be provided in the second pipe 52. In this case, in S13, the first electromagnetic valve 54 may be set to the communication state, and the second electromagnetic valve 55 may be set to the cutoff state. Further, in S17, the first solenoid valve 54 and the second solenoid valve 55 may be brought into a communicating state.

また、上記の実施形態によれば、第１グループ及び第２グループそれぞれの吸着パッド３ａ〜３ｘの状態を、報知ランプ８を通じて作業者に認識させることができる。これにより、全ての吸着パッド３ａ〜３ｘの気密空間が真空になる前に、真空リフト装置１を吊り上げることによる搬送物１００の落下などを防止することができる。   Further, according to the above-described embodiment, the state of the suction pads 3a to 3x of each of the first group and the second group can be recognized by the worker through the notification lamp 8. Thereby, before the airtight spaces of all the suction pads 3a to 3x are evacuated, it is possible to prevent the transported object 100 from falling due to lifting the vacuum lift device 1.

さらに、パワーシリンダ６を備える真空リフト装置１に本発明を適用することによって、立て掛けられた搬送物１００に対しても、全ての吸着パッド３ａ〜３ｘを適切に吸着させることができる。ただし、パワーシリンダ６を備えておらず、ビーム３１〜３７及び吸着パッド３ａ〜３ｘが図３の状態に固定された真空リフト装置１にも本発明は適用可能である。   Further, by applying the present invention to the vacuum lift device 1 including the power cylinder 6, all the suction pads 3a to 3x can be appropriately suctioned even to the transported object 100 leaned against. However, the present invention is also applicable to the vacuum lift device 1 which does not include the power cylinder 6 and in which the beams 31 to 37 and the suction pads 3a to 3x are fixed in the state shown in FIG.

なお、上記の実施形態では、第１グループに属する吸着パッド３ｉ、３ｌ、３ｍ、３ｐの数及び位置を固定した例を説明した。しかしながら、第１グループに属する吸着パッドの数及び位置は、搬送物１００の形状に合わせて変更可能であってもよい。一例として、真空リフト装置１は、吸着パッド３ａ〜３ｘそれぞれを、手動で第３方向に前進及び後退させる機構（例えば、ダブルナット）を備えてもよい。他の例として、真空リフト装置１は、第１グループの吸着パッドを指定する操作を受け付ける操作装置と、操作装置を通じて指定された吸着パッドを第３方向に前進させるアクチュエータとを備えてもよい。   In the above-described embodiment, an example has been described in which the number and positions of the suction pads 3i, 31, 3, 3m, and 3p belonging to the first group are fixed. However, the number and position of the suction pads belonging to the first group may be changeable according to the shape of the transported object 100. As an example, the vacuum lift device 1 may include a mechanism (for example, a double nut) for manually moving the suction pads 3a to 3x forward and backward in the third direction. As another example, the vacuum lift device 1 may include an operation device that receives an operation of designating the first group of suction pads, and an actuator that advances the suction pad specified through the operation device in the third direction.

１…真空リフト装置、２…筐体、３ａ〜３ｘ…吸着パッド、４…真空発生装置（真空源）、５…配管、６…パワーシリンダ（角度切替機構）、７…スイッチ（操作装置）、８…報知ランプ（報知装置）、９…コントローラ、３１…主ビーム（支持部材）、３２〜３７…副ビーム（支持部材）、５１…第１配管（第１空気流路）、５２…第２配管（第２空気流路）、５４…第１電磁弁、５５…第２電磁弁 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... vacuum lift device, 2 ... housing | casing, 3a-3x ... suction pad, 4 ... vacuum generator (vacuum source), 5 ... piping, 6 ... power cylinder (angle switching mechanism), 7 ... switch (operating device), Reference numeral 8: notification lamp (notification device), 9: controller, 31: main beam (supporting member), 32-37: sub-beam (supporting member), 51: first pipe (first air flow path), 52: second Piping (second air flow path), 54 ... first solenoid valve, 55 ... second solenoid valve

Claims (7)

各々が第１グループ及び第２グループのいずれかに属し、先端が搬送物の表面に密着する複数の吸着パッドと、
密着した前記複数の吸着パッド及び搬送物の間の気密空間を真空にする真空源と、
前記第１グループに属する前記吸着パッドから前記真空源に至る第１空気流路、及び前記第２グループに属する前記吸着パッドから前記真空源に至る第２空気流路それぞれを、空気を吸引可能な連通状態及び空気を吸引不能な遮断状態に切り替える状態切替機構とを備える真空リフト装置において、
前記複数の吸着パッドは、第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向に離間して配置されており、
前記第１グループに属する前記吸着パッドの先端は、前記第２グループに属する前記吸着パッドの先端より、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向に前進していることを特徴とする真空リフト装置。 A plurality of suction pads each belonging to one of the first group and the second group, and the tip of which is in close contact with the surface of the conveyed object;
A vacuum source for vacuuming an air-tight space between the plurality of suction pads and conveyed objects in close contact,
A first air flow path from the suction pads belonging to the first group to the vacuum source and a second air flow path from the suction pads belonging to the second group to the vacuum source can suck air. A vacuum lift device comprising a communication state and a state switching mechanism for switching air to a cut-off state in which air cannot be suctioned,
The plurality of suction pads are spaced apart in a first direction and a second direction orthogonal to the first direction,
The tip of the suction pad belonging to the first group is advanced in the third direction orthogonal to the first direction and the second direction from the tip of the suction pad belonging to the second group. Vacuum lift equipment. 前記第１方向及び前記第２方向に離間した位置において、前記複数の吸着パッドそれぞれを支持する支持部材をさらに備えており、
前記第１グループに属する前記吸着パッドは、前記第２グループに属する前記吸着パッドと同一形状であり、且つ前記第２グループに属する前記吸着パッドより前記第３方向に前進した位置で前記支持部材に支持されていることを特徴とする請求項１に記載の真空リフト装置。 At a position separated in the first direction and the second direction, a support member for supporting each of the plurality of suction pads is further provided,
The suction pads belonging to the first group have the same shape as the suction pads belonging to the second group, and are attached to the support member at a position advanced in the third direction from the suction pads belonging to the second group. The vacuum lift device according to claim 1, wherein the vacuum lift device is supported. 前記第３方向が鉛直方向に沿う第１角度と、前記第３方向が水平方向に沿う第２角度との間で、前記支持部材の角度を切り替え可能な角度切替機構をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の真空リフト装置。   It further includes an angle switching mechanism capable of switching an angle of the support member between a first angle in which the third direction is along a vertical direction and a second angle in which the third direction is along a horizontal direction. 3. The vacuum lift device according to claim 2, wherein 前記第３方向において、前記第１グループ及び前記第２グループに属する前記吸着パッドの先端同士の距離は、前記第１グループに属する前記吸着パッドの変形可能量より短いことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の真空リフト装置。   The distance between tips of the suction pads belonging to the first group and the second group in the third direction is shorter than a deformable amount of the suction pads belonging to the first group. 4. The vacuum lift device according to any one of claims 1 to 3. 前記第１グループに属する前記吸着パッドの気密空間を真空にしたときの搬送物への密着力は、前記第２グループに属する前記吸着パッドの気密空間を真空にする際に、前記第２グループに属する前記吸着パッドを前記第３方向に圧縮変形させるのに必要な力より大きいことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の真空リフト装置。   When the airtight space of the suction pads belonging to the first group is evacuated to a conveyed object when the airtight space of the suction pads belonging to the second group is evacuated, The vacuum lift device according to any one of claims 1 to 4, wherein the force is larger than a force required to compress and deform the suction pad to which the suction pad belongs in the third direction. 前記状態切替機構は、
前記第１空気流路の前記連通状態及び前記遮断状態を切り替える第１電磁弁と、
前記第２空気流路の前記連通状態及び前記遮断状態を切り替える第２電磁弁とを有し、
前記真空リフト装置は、
前記第１空気流路を前記連通状態とし且つ前記第２空気流路を前記遮断状態とする第１操作、及び前記第１空気流路及び前記第２空気流路を前記連通状態とする第２操作を受け付ける操作装置と、
前記操作装置を通じて受け付けた操作に基づいて、前記第１電磁弁及び前記第２電磁弁を制御するコントローラとをさらに備えることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の真空リフト装置。 The state switching mechanism,
A first solenoid valve that switches the communication state and the cutoff state of the first air flow path;
A second solenoid valve that switches the communication state and the cutoff state of the second air flow path,
The vacuum lift device,
A first operation of setting the first air flow path to the communication state and setting the second air flow path to the cutoff state; and a second operation of setting the first air flow path and the second air flow path to the communication state. An operation device for receiving an operation,
The vacuum lift device according to any one of claims 1 to 5, further comprising a controller that controls the first solenoid valve and the second solenoid valve based on an operation received through the operation device. 全ての前記吸着パッドの気密空間が大気圧である第１状態と、
前記第１グループに属する前記吸着パッドの気密空間のみが真空である第２状態と、
全ての前記吸着パッドの気密空間が真空である第３状態とを、区別して報知する報知装置をさらに備えることを特徴とする請求項６に記載の真空リフト装置。 A first state in which the airtight spaces of all the suction pads are at atmospheric pressure;
A second state in which only the airtight space of the suction pads belonging to the first group is in a vacuum,
The vacuum lift device according to claim 6, further comprising a notification device that separately notifies the third state in which the airtight spaces of all the suction pads are vacuum.
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