JP2020011375A - センサパッケージ、およびセンサパッケージの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
センサであって、材料層に形成されたセンシング構造と、センシング構造を封止するように配置されて密封センサユニットを形成する1つまたは複数の追加の材料層とを含むセンサと、
支持構造と、
密封センサユニットを支持構造に柔軟に固定する1つまたは複数のばねであって、センサユニットのセンシング構造と同じ材料層に形成された1つまたは複数のばねと、
センサユニット、支持構造、及び、1つまたは複数のばねを封入する1つまたは複数の外部パッケージ壁(複数可)であって、支持構造が、パッケージ壁(複数可)の少なくとも1つに固定される、1つまたは複数の外部パッケージ壁と、
を含む、センサパッケージを提供する。
センシング構造を材料層に形成することと、
1つまたは複数のばねをセンシング構造と同じ材料層に形成することと、
1つまたは複数の追加の材料層を追加してセンシング構造を封止することによって、1つまたは複数のばねが密封センサユニットを支持構造に柔軟に固定する密封センサユニットを形成することと、
支持構造を1つまたは複数の外部パッケージ壁(複数可)に固定して、1つまたは複数の外部パッケージ壁(複数可)が、慣性センサユニット、支持構造、及び、1つまたは複数のばねを封入することと、
を含む方法を提供する。
固定した基板と、印加された加速度に反応して、センシング軸に沿って平面内で移動するように、固定した基板に可撓性支持脚部によって取り付けられたプルーフマスであって、
センシング軸に実質的に垂直に延び、センシング軸に沿って間隔を置いた、可動の電極フィンガの複数のセットを含むプルーフマスと、
少なくとも2対の固定容量電極と、を含み、固定容量電極の第1の対は、第1の固定電極と第4の固定電極とを含み、固定容量電極の第2の対は、第2の固定電極と第3の固定電極とを含み、各固定容量電極は、センシング軸に実質的に垂直に延び、センシング軸に沿って間隔を置いた固定容量電極フィンガのセットを含み、
第1と第3の固定電極のフィンガのセットが、隣接する固定フィンガ間の中線からセンシング軸に沿って一方向に第1のオフセットを有して可動電極フィンガのセットと相互に嵌合するように配置され、第2と第4の固定電極のフィンガのセットが、隣り合う固定フィンガ間の中線からセンシング軸に沿って反対方向に第2のオフセットを有して可動電極フィンガのセットと相互に嵌合するように配置される。
Claims (15)
- センサであって、材料層に形成されたセンシング構造と、前記センシング構造を封止するように配置されて密封センサユニットを形成する1つまたは複数の追加の材料層とを含む、センサと、
支持構造と、
前記密封センサユニットを前記支持構造に柔軟に固定する1つまたは複数のばねであって、前記センサユニットの前記センシング構造と同じ材料層に形成されている、1つまたは複数のばねと、
前記センサユニット、前記支持構造、及び、前記1つまたは複数のばねを封入する1つまたは複数の外部パッケージ壁であって、前記支持構造が、前記外部パッケージ壁の少なくとも1つに固定された、前記外部パッケージ壁と、
を含む、センサパッケージ。 - 前記1つまたは複数のばねは、蛇行形状を有する、請求項1に記載のセンサパッケージ。
- 前記支持構造は、前記センサユニットの前記センシング構造及び前記1つまたは複数のばねと同じ材料層に形成されている、請求項1または2に記載のセンサパッケージ。
- 前記支持構造は、前記密封センサユニットを囲む枠である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のセンサパッケージ。
- 前記支持構造は、前記少なくとも1つの外部パッケージ壁の1つまたは複数に剛性取付部を介して固定されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載のセンサパッケージ。
- 前記密封センサユニットと前記支持構造との間に配置されたスクイーズフィルム制動構造をさらに含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載のセンサパッケージ。
- 前記スクイーズフィルム制動構造は、複数の相互に嵌合した制動フィンガを含む、請求項6に記載のセンサパッケージ。
- 前記スクイーズフィルム制動構造は、前記センサユニットの前記センシング構造及び前記ばねと同じ材料層に形成されている、請求項6または7に記載のセンサパッケージ。
- 前記センサユニットを前記外部パッケージ壁の少なくとも1つに電気的に接続した可撓性ワイヤボンドをさらに含む、請求項1〜8のいずれか1項に記載のセンサパッケージ。
- 前記センサユニットは、前記1つまたは複数のばねによって担持された導電性経路によって前記外部パッケージ壁の少なくとも1つに電気的に接続されている、請求項1〜9のいずれか1項に記載のセンサパッケージ。
- センサパッケージの製造方法であって、
センシング構造を材料層に形成することと、
前記センシング構造と同じ材料層に1つまたは複数のばねを形成することと、
1つまたは複数の追加の材料層を追加して前記センシング構造を封止し、前記1つまたは複数のばねが密封センサユニットを支持構造に柔軟に固定する前記密封センサユニットを形成することと、
1つまたは複数の外部パッケージ壁に前記支持構造を固定することと、を含み、
前記1つまたは複数の外部パッケージ壁は、前記センサユニット、前記支持構造、及び、前記1つまたは複数のばねを封入する、
前記方法。 - 前記センサユニットの前記センシング構造及び前記1つまたは複数のばねと同じ材料層に前記支持構造を形成すること
を含む、請求項11に記載の方法。 - 前記密封された慣性センサユニットと前記支持構造との間にスクイーズフィルム制動構造を形成すること
を含む、請求項11または12に記載の方法。 - 前記センサユニットの前記センシング構造及び前記ばねと同じ材料層に前記スクイーズフィルム制動構造を形成すること
を含む、請求項13に記載の方法。 - 前記センサユニットが、前記外部パッケージ壁の少なくとも1つに電気的に接続されるように、前記1つまたは複数のばねを通る導電性経路を形成すること、
を含む、請求項11〜14のいずれか1項に記載の方法。
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