JP2019519066A - 発振器ジェネレータ及びその使用方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2016年4月27日に出願された米国特許出願第15/140,294号の関連出願であり、この関連出願に対する優先権を主張し、その利益を主張するものであり、その全開示内容はあらゆる目的のために参照することにより本明細書に組み込まれる。
添付の図面を参照して、本装置及び本システムの特定の実施形態を説明する。
図27に示すような回路を組み立てて、駆動モード及び発振モードを試験した。回路2700は、信号源2710、例えば、周波数シンセサイザ、VCO、位相ロックループ、数値制御発振器(NCO)、または位相ロックループの一部であるNCOを含む。信号源2710は、一対の増幅器2712、2714に電気的に結合される。増幅器2712、2714はそれぞれ、別の電力増幅器2722、2724のセットに別々に電気的に結合され、かつコンデンサ2732、2734を介して負荷コイル2760に別々に電気的に結合される。電力増幅器2722、2744は、プラズマの生成/維持に十分なRF出力電力を考慮して設計した。制御信号は、プロセッサ2780と増幅器2722、2724との間に存在する。周波数シンセサイザ2710から負荷コイル2760に供給される周波数を走査して、コイル電圧を最大にする周波数に同調させた。RF検出器2770は、信号変換器2782、2784を介してプロセッサ2780に電気的に結合され、RF検出器2770を使用して、負荷コイル2760に供給されるRF信号を監視することができる。本明細書で述べるように、RF検出器2770は、プラズマ点火を監視するための光センサで置き換えることができる。駆動モードでコイル2760に電力を供給するように、信号源2710及び増幅器2712、2714、2722及び2724を有効化することによって、プラズマを点火した。RF検出器2770を用いてプラズマを監視した。マイクロコントローラ2780(MCU ARM Cortex−M3)を使用して、アナログデジタル変換器2784を介してRF検出器から信号を受け取り、デジタルアナログ変換器2782を介して増幅器2712、2712、2722及び2744に制御信号を送る。
実施例1のジェネレータを、単一の四重極質量フィルタ分析計と組み合わせて使用して、様々な元素のピーク形状を測定した。NexION計器が提供している銅の負荷コイルを誘導装置として使用した。また、NexIONシステムの他の構成品を使用して、測定を行った。40MHzの周波数を使用した。
ハイブリッドジェネレータを、その安定性を試験するために不均衡にした。プロセッサを使用して、駆動される差動信号の振幅及び位相を34.44MHzで不平衡にすることによって、中立点(仮想接地)を負荷コイルに沿って電子的に移動させた。位相平衡は、酸化物比を含む感度に影響を与える可能性があり、振幅平衡も感度に影響を与える可能性がある。別々の時期に使用される種々の位相を図34に示す。
実施例2で行った測定を、わずかに異なる周波数を用いて繰り返した。その結果を図35の表に示す。ハイブリッドジェネレータの発振モードは、標準のNexIONジェネレータとほぼ同じ結果をもたらす。図33の測定値を得るために使用した周波数(34.7MHz)と比べると、発振モードで使用する周波数(35.96MHz)のわずかな増加が、測定した全ての元素について、駆動モードより良好な結果を提供する発振モードをもたらす。
図37及び図38に示す発振回路を備えたジェネレータを試験した。ジェネレータには、全く駆動モード回路が含まれていない。230MHzで1Kwの出力が可能なパワートランジスタを使用した。図41に示すように、34MHzプラズマジェネレータの高調波(34MHzの倍数)での放射は、1GHzまでの広域スペクトルにわたって比較的明瞭である。
実施例5のジェネレータを試験にかけて、電力の平衡をとる能力を検証した。フィードバック信号の1つを、コンデンサ3642を回路から取り外すことによって完全に除去した。両方のパワートランジスタ3622、3624は、電力平衡化に起因して依然として駆動され、プラズマを引き続き持続させることができた。本回路は、典型的には約4%の電流差の範囲内となる、優れた電力整合を提供することができる。
Claims (326)
- トーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、
プロセッサと、前記プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、
前記発振回路が、誘導装置に電気的に結合され、かつ発振モードで前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内に前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、
前記回路が、前記ジェネレータの前記発振モードで前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすように構成される、前記ジェネレータ。 - 前記回路が、前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第1のトランジスタを備える、請求項1に記載のジェネレータ。
- 前記回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第1の駆動回路をさらに含む、請求項2に記載のジェネレータ。
- 前記第1の駆動回路が、第1のローパスフィルタを介して、前記誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項3に記載のジェネレータ。
- 前記回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第2の駆動回路をさらに含む、請求項4に記載のジェネレータ。
- 前記第2の駆動回路が、第2のローパスフィルタを介して、前記誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項5に記載のジェネレータ。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、前記第1のパワートランジスタ及び前記第2のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項6に記載のジェネレータ。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項7に記載のジェネレータ。
- 前記高次のセラミックローパスフィルタが、200MHz以上の周波数で少なくとも20dBの遮断をもたらすように構成される、請求項8に記載のジェネレータ。
- 前記回路が、およそ3RFサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項1に記載のジェネレータ。
- 前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項1に記載のジェネレータ。
- 前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項11に記載のジェネレータ。
- 前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項11に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、誘導コイルまたは平板電極を含む誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項1に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項2に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記誘導装置から前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項15に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1の帰還抵抗を含む、請求項16に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2の帰還抵抗を含む、請求項17に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1のDCブロックコンデンサを含む、請求項18に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2のDCブロックコンデンサを含む、請求項19に記載のジェネレータ。
- トーチ本体の少なくとも一部を囲む誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、
前記発振ジェネレータが、前記発振ジェネレータの第1の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、前記発振ジェネレータの第2の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、
前記ジェネレータの前記第1の状態において、前記誘導装置に第1の周波数を与えるように構成された発振回路であって、前記発振回路が、前記第2の状態において、前記誘導装置に第2の周波数を与えるように構成され、前記第2の周波数が前記第1の周波数よりも高い、前記発振回路と、
前記誘導結合プラズマの点火後に、前記ジェネレータを前記第1の状態から前記第2の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備える、前記発振ジェネレータ。 - 前記発振回路が、高調波放射制御をもたらすように構成される、請求項21に記載のジェネレータ。
- 前記回路が、誘導装置に電気的に結合するように構成された第1のトランジスタを備える、請求項22に記載のジェネレータ。
- 前記回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第1の駆動回路をさらに含む、請求項23に記載のジェネレータ。
- 前記第1の駆動回路が、第1のローパスフィルタを介して、前記誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項24に記載のジェネレータ。
- 前記回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第2の駆動回路をさらに含む、請求項25に記載のジェネレータ。
- 前記第2の駆動回路が、第2のローパスフィルタを介して、前記誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項26に記載のジェネレータ。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、前記第1のパワートランジスタ及び前記第2のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項26に記載のジェネレータ。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項28に記載のジェネレータ。
- 前記高次のセラミックローパスフィルタが、200MHz以上の周波数で20dBの遮断をもたらすように構成される、請求項29に記載のジェネレータ。
- 前記回路が、前記ジェネレータが前記第1の状態から前記第2の状態に切り替えられた後、およそ3RFサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項21に記載のジェネレータ。
- 前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項21に記載のジェネレータ。
- 前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項32に記載のジェネレータ。
- 前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項32に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、誘導コイルまたは平板電極を含む誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項21に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項23に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記誘導装置から前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項36に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1の帰還抵抗と、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2の帰還抵抗とを含む、請求項37に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1のDCブロックコンデンサを含む、請求項38に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2のDCブロックコンデンサを含む、請求項39に記載のジェネレータ。
- 誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第1の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するとともに、第2の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備える、前記ジェネレータ。
- 前記回路が、前記誘導装置に電気的に結合して、前記誘導装置に電力を供給するように構成された第1のトランジスタを備える、請求項1に記載のジェネレータ。
- 前記回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第1の駆動回路をさらに含む、請求項42に記載のジェネレータ。
- 前記第1の駆動回路が、第1のローパスフィルタを介して、前記誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項43に記載のジェネレータ。
- 前記回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第2の駆動回路をさらに含む、請求項44に記載のジェネレータ。
- 前記第2の駆動回路が、第2のローパスフィルタを介して、前記誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項45に記載のジェネレータ。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、前記第1のパワートランジスタ及び前記第2のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項46に記載のジェネレータ。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項47に記載のジェネレータ。
- 前記高次のセラミックローパスフィルタが、200MHz以上の周波数で少なくとも20dBの遮断をもたらすように構成される、請求項48に記載のジェネレータ。
- 前記回路が、前記ジェネレータが前記第1の状態から前記第2の状態に切り替えられた後、およそ3RFサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項41に記載のジェネレータ。
- 前記プラズマの点火を判断するように構成されたプロセッサに電気的に結合された検出器をさらに備える、請求項41に記載のジェネレータ。
- 前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項51に記載のジェネレータ。
- 前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項51に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、誘導コイルまたは平板電極を含む誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項41に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項42に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記誘導装置から前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項55に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1の帰還抵抗を含む、請求項56に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2の帰還抵抗を含む、請求項57に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1のDCブロックコンデンサを含む、請求項58に記載のジェネレータ。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2のDCブロックコンデンサを含む、請求項59に記載のジェネレータ。
- 誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつトーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、プロセッサと、前記プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、前記発振回路が、発振モードで前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内に前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、前記回路が、前記ジェネレータの前記発振モードで前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすようにさらに構成される、前記ジェネレータとを備えるシステム。 - 前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを含む、請求項61に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第1の駆動回路をさらに含む、請求項62に記載のシステム。
- 前記第1の駆動回路が、第1のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項63に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第2の駆動回路をさらに含む、請求項64に記載のシステム。
- 前記第2の駆動回路が、第2のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項65に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、前記第1のパワートランジスタ及び前記第2のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項66に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項67に記載のシステム。
- 前記高次のセラミックローパスフィルタが、200MHz以上の周波数で少なくとも20dBの遮断をもたらすように構成される、請求項68に記載のシステム。
- 前記回路が、およそ3RFサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項61に記載のシステム。
- 前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項61に記載のシステム。
- 前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項71に記載のシステム。
- 前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項71に記載のシステム。
- 前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項61に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項62に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記誘導装置から前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項75に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1の帰還抵抗を含む、請求項76に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2の帰還抵抗を含む、請求項77に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1のDCブロックコンデンサを含む、請求項78に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2のDCブロックコンデンサを含む、請求項79に記載のシステム。
- 誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつトーチ本体の少なくとも一部を囲む誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、前記発振ジェネレータが、前記発振ジェネレータの第1の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、前記発振ジェネレータの第2の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持するように構成された前記発振ジェネレータとを備え、
前記発振ジェネレータが、
前記ジェネレータの前記第1の状態において、前記誘導装置に第1の周波数を与えるように構成された発振回路であって、前記発振回路が、前記第2の状態において、前記誘導装置に第2の周波数を与えるように構成され、前記第2の周波数が前記第1の周波数よりも高い、前記発振回路と、
前記誘導結合プラズマの点火後に、前記ジェネレータを前記第1の状態から前記第2の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備える、システム。 - 前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを含む、請求項81に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第1の駆動回路をさらに含む、請求項82に記載のシステム。
- 前記第1の駆動回路が、第1のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項83に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第2の駆動回路をさらに含む、請求項84に記載のシステム。
- 前記第2の駆動回路が、第2のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項85に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、前記第1のパワートランジスタ及び前記第2のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項86に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項87に記載のシステム。
- 前記高次のセラミックローパスフィルタが、200MHz以上の周波数で少なくとも20dBの遮断をもたらすように構成される、請求項88に記載のシステム。
- 前記回路が、およそ3RFサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項81に記載のシステム。
- 前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項81に記載のシステム。
- 前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項81に記載のシステム。
- 前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項81に記載のシステム。
- 前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項81に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項82に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記誘導装置から前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項95に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1の帰還抵抗を含む、請求項96に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2の帰還抵抗を含む、請求項97に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1のDCブロックコンデンサを含む、請求項98に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2のDCブロックコンデンサを含む、請求項99に記載のシステム。
- 誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第1の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するとともに、第2の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備えた前記ジェネレータとを備える、システム。 - 前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを含む、請求項101に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第1の駆動回路をさらに含む、請求項102に記載のシステム。
- 前記第1の駆動回路が、第1のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項103に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第2の駆動回路をさらに含む、請求項104に記載のシステム。
- 前記第2の駆動回路が、第2のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項105に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、前記第1のパワートランジスタ及び前記第2のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項106に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項107に記載のシステム。
- 前記高次のセラミックローパスフィルタが、200MHz以上の周波数で少なくとも20dBの遮断をもたらすように構成される、請求項108に記載のシステム。
- 前記回路が、およそ3RFサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項101に記載のシステム。
- 前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項101に記載のシステム。
- 前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項101に記載のシステム。
- 前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項101に記載のシステム。
- 前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項101に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項102に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記誘導装置から前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項95に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1の帰還抵抗を含む、請求項116に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2の帰還抵抗を含む、請求項117に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1のDCブロックコンデンサを含む、請求項118に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2のDCブロックコンデンサを含む、請求項119に記載のシステム。
- イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、収容した前記トーチ部分に高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記トーチ内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、プロセッサと、前記プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、前記発振回路が、発振モードで前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内に前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、前記回路が、前記ジェネレータの前記発振モードで前記トーチ内の前記誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすようにさらに構成される、前記ジェネレータと、
前記トーチに流体的に結合された質量分析器とを備える、質量分析計システム。 - 前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを含む、請求項121に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第1の駆動回路をさらに含む、請求項122に記載のシステム。
- 前記第1の駆動回路が、第1のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項123に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第2の駆動回路をさらに含む、請求項124に記載のシステム。
- 前記第2の駆動回路が、第2のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項125に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、前記第1のパワートランジスタ及び前記第2のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項126に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項127に記載のシステム。
- 前記高次のセラミックローパスフィルタが、200MHz以上の周波数で少なくとも20dBの遮断をもたらすように構成される、請求項128に記載のシステム。
- 前記回路が、およそ3RFサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項121に記載のシステム。
- 前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項121に記載のシステム。
- 前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項121に記載のシステム。
- 前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項121に記載のシステム。
- 前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項121に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項122に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記誘導装置から前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項135に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1の帰還抵抗を含む、請求項136に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2の帰還抵抗を含む、請求項137に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1のDCブロックコンデンサを含む、請求項138に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2のDCブロックコンデンサを含む、請求項139に記載のシステム。
- 質量分析計システムであって、
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、収容した前記トーチ部分に高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、前記発振ジェネレータが、前記発振ジェネレータの第1の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、前記発振ジェネレータの第2の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内の前記誘導結合プラズマを維持するように構成された前記発振ジェネレータとを備え、
前記発振ジェネレータが、
前記ジェネレータの前記第1の状態において、前記誘導装置に第1の周波数を与えるように構成された発振回路であって、前記発振回路が、前記第2の状態において、前記誘導装置に第2の周波数を与えるように構成され、前記第2の周波数が前記第1の周波数よりも高い、前記発振回路と、
前記誘導結合プラズマの点火後に、前記ジェネレータを前記第1の状態から前記第2の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備え、
前記質量分析計システムはさらに、
前記トーチに流体的に結合された質量分析器を備える、前記質量分析計システム。 - 前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを含む、請求項141に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第1の駆動回路をさらに含む、請求項142に記載のシステム。
- 前記第1の駆動回路が、第1のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項143に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第2の駆動回路をさらに含む、請求項144に記載のシステム。
- 前記第2の駆動回路が、第2のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項145に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、前記第1のパワートランジスタ及び前記第2のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項146に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項147に記載のシステム。
- 前記高次のセラミックローパスフィルタが、200MHz以上の周波数で少なくとも20dBの遮断をもたらすように構成される、請求項148に記載のシステム。
- 前記回路が、およそ3RFサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項141に記載のシステム。
- 前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項141に記載のシステム。
- 前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項141に記載のシステム。
- 前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項141に記載のシステム。
- 前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項141に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項142に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記誘導装置から前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項155に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1の帰還抵抗を含む、請求項156に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2の帰還抵抗を含む、請求項157に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1のDCブロックコンデンサを含む、請求項158に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2のDCブロックコンデンサを含む、請求項159に記載のシステム。
- イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、前記トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第1の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するとともに、第2の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備えた前記ジェネレータと、
前記トーチに流体的に結合された質量分析器とを備える、質量分析計システム。 - 前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを含む、請求項161に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第1の駆動回路をさらに含む、請求項162に記載のシステム。
- 前記第1の駆動回路が、第1のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項163に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第2の駆動回路をさらに含む、請求項164に記載のシステム。
- 前記第2の駆動回路が、第2のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項165に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、前記第1のパワートランジスタ及び前記第2のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項166に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項167に記載のシステム。
- 前記高次のセラミックローパスフィルタが、200MHz以上の周波数で少なくとも20dBの遮断をもたらすように構成される、請求項168に記載のシステム。
- 前記回路が、およそ3RFサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項161に記載のシステム。
- 前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項161に記載のシステム。
- 前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項161に記載のシステム。
- 前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項161に記載のシステム。
- 前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項161に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項162に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記誘導装置から前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項175に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1の帰還抵抗を含む、請求項176に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2の帰還抵抗を含む、請求項177に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1のDCブロックコンデンサを含む、請求項178に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2のDCブロックコンデンサを含む、請求項179に記載のシステム。
- 光学発光を検出するシステムであって、
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、前記トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記トーチ内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、プロセッサと、前記プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、前記発振回路が、発振モードで前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内に前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、前記回路が、前記ジェネレータの前記発振モードで前記トーチ内の前記誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすようにさらに構成される、前記ジェネレータと、
前記トーチ内の光学発光を検出するように構成された光検出器とを備える、前記システム。 - 前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを含む、請求項181に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第1の駆動回路をさらに含む、請求項182に記載のシステム。
- 前記第1の駆動回路が、第1のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項183に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第2の駆動回路をさらに含む、請求項184に記載のシステム。
- 前記第2の駆動回路が、第2のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項185に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、前記第1のパワートランジスタ及び前記第2のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項186に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項187に記載のシステム。
- 前記高次のセラミックローパスフィルタが、200MHz以上の周波数で少なくとも20dBの遮断をもたらすように構成される、請求項188に記載のシステム。
- 前記回路が、およそ3RFサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項181に記載のシステム。
- 前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項181に記載のシステム。
- 前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項181に記載のシステム。
- 前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項181に記載のシステム。
- 前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項181に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項182に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記誘導装置から前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項195に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1の帰還抵抗を含む、請求項196に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2の帰還抵抗を含む、請求項197に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1のDCブロックコンデンサを含む、請求項198に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2のDCブロックコンデンサを含む、請求項199に記載のシステム。
- 光学発光を検出するシステムであって、
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、前記トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、前記発振ジェネレータが、前記発振ジェネレータの第1の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、前記発振ジェネレータの第2の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内の前記誘導結合プラズマを維持するように構成された前記発振ジェネレータとを備え、
前記発振ジェネレータが、
前記ジェネレータの前記第1の状態において、前記誘導装置に第1の周波数を与えるように構成された発振回路であって、前記発振回路が、前記第2の状態において、前記誘導装置に第2の周波数を与えるように構成され、前記第2の周波数が前記第1の周波数よりも高い、前記発振回路と、
前記誘導結合プラズマの点火後に、前記ジェネレータを前記第1の状態から前記第2の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備え、
前記システムはさらに、
前記トーチ内の光学発光を検出するように構成された光検出器を備える、前記システム。 - 前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを含む、請求項201に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第1の駆動回路をさらに含む、請求項202に記載のシステム。
- 前記第1の駆動回路が、第1のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項203に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第2の駆動回路をさらに含む、請求項204に記載のシステム。
- 前記第2の駆動回路が、第2のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項205に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、前記第1のパワートランジスタ及び前記第2のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項206に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項207に記載のシステム。
- 前記高次のセラミックローパスフィルタが、200MHz以上の周波数で少なくとも20dBの遮断をもたらすように構成される、請求項208に記載のシステム。
- 前記回路が、およそ3RFサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項201に記載のシステム。
- 前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項201に記載のシステム。
- 前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項201に記載のシステム。
- 前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項201に記載のシステム。
- 前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項201に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項202に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記誘導装置から前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項215に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1の帰還抵抗を含む、請求項216に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2の帰還抵抗を含む、請求項217に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1のDCブロックコンデンサを含む、請求項218に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2のDCブロックコンデンサを含む、請求項219に記載のシステム。
- 光学発光を検出するシステムであって、
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、前記トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第1の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するとともに、第2の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備えた前記高周波ジェネレータと、
前記トーチ内の光学発光を検出するように構成された光検出器とを備える、前記システム。 - 前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを含む、請求項221に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第1の駆動回路をさらに含む、請求項222に記載のシステム。
- 前記第1の駆動回路が、第1のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項223に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第2の駆動回路をさらに含む、請求項224に記載のシステム。
- 前記第2の駆動回路が、第2のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項225に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、前記第1のパワートランジスタ及び前記第2のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項226に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項227に記載のシステム。
- 前記高次のセラミックローパスフィルタが、200MHz以上の周波数で少なくとも20dBの遮断をもたらすように構成される、請求項228に記載のシステム。
- 前記回路が、およそ3RFサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項221に記載のシステム。
- 前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項221に記載のシステム。
- 前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項221に記載のシステム。
- 前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項221に記載のシステム。
- 前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項221に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項222に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記誘導装置から前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項235に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1の帰還抵抗を含む、請求項236に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2の帰還抵抗を含む、請求項237に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1のDCブロックコンデンサを含む、請求項238に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2のDCブロックコンデンサを含む、請求項239に記載のシステム。
- 原子吸光発光を検出するシステムであって、
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、前記トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記トーチ内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、プロセッサと、前記プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、前記発振回路が、発振モードで前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内に前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、前記回路が、前記ジェネレータの前記発振モードで前記トーチ内の前記誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすようにさらに構成される、前記ジェネレータと、
前記トーチに光を供給するように構成された光源と、
前記トーチを透過する前記供給光の量を測定するように構成された光検出器とを備える、前記システム。 - 前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを含む、請求項241に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第1の駆動回路をさらに含む、請求項242に記載のシステム。
- 前記第1の駆動回路が、第1のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項243に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第2の駆動回路をさらに含む、請求項244に記載のシステム。
- 前記第2の駆動回路が、第2のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項245に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、前記第1のパワートランジスタ及び前記第2のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項246に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項247に記載のシステム。
- 前記高次のセラミックローパスフィルタが、200MHz以上の周波数で少なくとも20dBの遮断をもたらすように構成される、請求項248に記載のシステム。
- 前記回路が、およそ3RFサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項241に記載のシステム。
- 前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項241に記載のシステム。
- 前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項241に記載のシステム。
- 前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項241に記載のシステム。
- 前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項241に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項242に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記誘導装置から前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項255に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1の帰還抵抗を含む、請求項256に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2の帰還抵抗を含む、請求項257に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1のDCブロックコンデンサを含む、請求項258に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2のDCブロックコンデンサを含む、請求項259に記載のシステム。
- 原子吸光発光を検出するシステムであって、
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、前記トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、前記発振ジェネレータが、前記発振ジェネレータの第1の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、前記発振ジェネレータの第2の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内の前記誘導結合プラズマを維持するように構成された前記発振ジェネレータとを備え、
前記発振ジェネレータが、
前記ジェネレータの前記第1の状態において、前記誘導装置に第1の周波数を与えるように構成された発振回路であって、前記発振回路が、前記第2の状態において、前記誘導装置に第2の周波数を与えるように構成され、前記第2の周波数が前記第1の周波数よりも高い、前記発振回路と、
前記誘導結合プラズマの点火後に、前記ジェネレータを前記第1の状態から前記第2の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備え、
前記システムはさらに、
前記トーチに光を供給するように構成された光源と、
前記トーチを透過する前記供給光の量を測定するように構成された光検出器とを備える、前記システム。 - 前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを含む、請求項261に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第1の駆動回路をさらに含む、請求項262に記載のシステム。
- 前記第1の駆動回路が、第1のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項263に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第2の駆動回路をさらに含む、請求項264に記載のシステム。
- 前記第2の駆動回路が、第2のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項265に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、前記第1のパワートランジスタ及び前記第2のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項266に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項267に記載のシステム。
- 前記高次のセラミックローパスフィルタが、200MHz以上の周波数で少なくとも20dBの遮断をもたらすように構成される、請求項268に記載のシステム。
- 前記回路が、およそ3RFサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項261に記載のシステム。
- 前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項261に記載のシステム。
- 前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項261に記載のシステム。
- 前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項261に記載のシステム。
- 前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項261に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項262に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記誘導装置から前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項275に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1の帰還抵抗を含む、請求項276に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2の帰還抵抗を含む、請求項277に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1のDCブロックコンデンサを含む、請求項278に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2のDCブロックコンデンサを含む、請求項279に記載のシステム。
- 原子吸光発光を検出するシステムであって、
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、前記トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第1の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するとともに、第2の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備えた前記高周波ジェネレータと、
前記トーチに光を供給するように構成された光源と、
前記トーチを透過する前記供給光の量を測定するように構成された光検出器とを備える、前記システム。 - 前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第1のトランジスタ及び第2のトランジスタを含む、請求項281に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第1の駆動回路をさらに含む、請求項282に記載のシステム。
- 前記第1の駆動回路が、第1のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項283に記載のシステム。
- 前記回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第2の駆動回路をさらに含む、請求項284に記載のシステム。
- 前記第2の駆動回路が、第2のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項285に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、前記第1のパワートランジスタ及び前記第2のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項286に記載のシステム。
- 前記第1のローパスフィルタ及び前記第2のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項287に記載のシステム。
- 前記高次のセラミックローパスフィルタが、200MHz以上の周波数で少なくとも20dBの遮断をもたらすように構成される、請求項288に記載のシステム。
- 前記回路が、およそ3RFサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項281に記載のシステム。
- 前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項281に記載のシステム。
- 前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項281に記載のシステム。
- 前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項281に記載のシステム。
- 前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項281に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項282に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記誘導装置から前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項295に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1の帰還抵抗を含む、請求項296に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2の帰還抵抗を含む、請求項297に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第1のトランジスタに電気的に結合された第1のDCブロックコンデンサを含む、請求項298に記載のシステム。
- 前記発振回路が、前記第2のトランジスタに電気的に結合された第2のDCブロックコンデンサを含む、請求項299に記載のシステム。
- 反応チャンバと、
前記反応チャンバの一部分を収容するように構成された開口部を含む誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置を使用して、前記反応チャンバの前記収容部分に電力を供給するように構成された、請求項1〜60のいずれかに記載のジェネレータとを備える、化学反応器。 - 原子化チャンバと、
前記原子化チャンバの一部分を収容するように構成された開口部を含む誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置を使用して、前記原子化チャンバの前記収容部分に電力を供給するように構成された、請求項1〜60のいずれかに記載のジェネレータと、
前記原子化チャンバに流体的に結合され、原子化された化学種を前記チャンバから受け入れ、受け入れた、原子化された前記化学種を基板に向けて供給するように構成されたノズルとを備える、材料堆積装置。 - トーチと、
前記トーチの一部分を収容するように構成された開口部を含む第1の誘導装置と、
前記トーチの別の部分を収容するように構成された開口部を含む第2の誘導装置と、
前記第1の誘導装置に電気的に結合された第1のジェネレータと、
前記第2の誘導装置に電気的に結合された第2のジェネレータとを備え、
前記第1のジェネレータ及び前記第2のジェネレータの少なくとも一方が、請求項1〜60のいずれかに記載のジェネレータである、システム。 - 前記第1のジェネレータ及び前記第2のジェネレータのそれぞれが、請求項1〜60のいずれか1項に記載のジェネレータである、請求項303に記載のシステム。
- 単一のジェネレータを用いてプラズマを点火して維持する方法であって、
第1の発振モードの前記ジェネレータから誘導装置に電力を供給することによって、トーチ本体内にプラズマを点火すること、及び、
前記プラズマが点火した後の任意の時点で、前記ジェネレータを、前記第1の発振モードから第2の発振モードに切り替えることを含む、前記方法。 - 前記ジェネレータが、図37または図38または図40に示す回路を備える、請求項305に記載の方法。
- 単一のジェネレータを用いてプラズマを点火して維持する方法であって、
第1の発振モード及び第2の発振モードで誘導装置に電力を供給するように構成されたジェネレータから、前記誘導装置に電力を供給することによって、トーチ本体内にプラズマを点火すること、及び、
前記ジェネレータの前記第2の発振モードを用いて前記プラズマを維持することを含む、前記方法。 - 前記第1の発振モードの前記ジェネレータから電力を供給することによって、前記プラズマを点火する、請求項307に記載の方法。
- 前記第2の発振モードを用いて前記プラズマを一定期間維持した後に、前記ジェネレータを前記第1の発振モードに切り替えることをさらに含む、請求項308に記載の方法。
- 図37に示すジェネレータ回路。
- 図38に示すジェネレータ回路。
- 図40に示すジェネレータ回路。
- 誘導結合プラズマを維持する方法であって、図37に示すジェネレータ回路を使用して、発振モードでトーチに電力を供給することを含む、前記方法。
- 誘導結合プラズマを維持する方法であって、図38に示すジェネレータ回路を使用して、発振モードでトーチに電力を供給することを含む、前記方法。
- 誘導結合プラズマを維持する方法であって、図40に示すジェネレータ回路を使用して、発振モードでトーチに電力を供給することを含む、前記方法。
- トーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、
プロセッサと、前記プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、
前記発振回路が、誘導装置に電気的に結合され、かつ発振モードで前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内に前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、
前記発振回路が、前記発振回路のトランジスタに供給される電圧と電流とを独立して制御するように構成される、前記ジェネレータ。 - トーチ本体の少なくとも一部を囲む誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、
前記発振ジェネレータが、前記発振ジェネレータの第1の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、前記発振ジェネレータの第2の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、
前記ジェネレータの前記第1の状態において、前記誘導装置に第1の周波数を与えるように構成された発振回路であって、前記発振回路が、前記第2の状態において、前記誘導装置に第2の周波数を与えるように構成され、前記第2の周波数が前記第1の周波数よりも高く、前記発振回路が、前記発振回路のトランジスタに供給される電圧と電流とを独立して制御するようにさらに構成される、前記発振回路と、
前記誘導結合プラズマの点火後に、前記ジェネレータを前記第1の状態から前記第2の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備える、前記発振ジェネレータ。 - 誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第1の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するとともに、第2の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備え、
前記回路が、前記誘導装置に電力を供給する前記発振回路のトランジスタに供給される電圧と電流とを独立して制御するようにさらに構成される、前記ジェネレータ。 - トーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、
プロセッサと、前記プロセッサに電気的に結合された回路とを備え、
前記回路が、誘導装置に電気的に結合され、かつ発振モードで前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内に前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、前記回路が駆動モード回路を含まない、前記ジェネレータ。 - トーチ本体の少なくとも一部を囲む誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、前記発振ジェネレータが、前記発振ジェネレータの第1の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、前記発振ジェネレータの第2の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、
前記ジェネレータの前記第1の状態において、前記誘導装置に第1の周波数を与えるように構成された発振回路であって、前記発振回路が、前記第2の状態において、前記誘導装置に第2の周波数を与えるように構成され、前記第2の周波数が前記第1の周波数よりも高く、前記発振ジェネレータが駆動モード回路を含まない、前記発振回路と、
前記誘導結合プラズマの点火後に、前記ジェネレータを前記第1の状態から前記第2の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備える、前記発振ジェネレータ。 - 誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第1の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するとともに、第2の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備え、前記回路が駆動モード回路を含まない、前記高周波ジェネレータ。
- 前記回路が、図37に示す回路を含む、請求項1に記載のジェネレータ。
- 前記回路が、図38に示す回路を含む、請求項1に記載のジェネレータ。
- 前記回路が、図40に示す回路を含む、請求項1に記載のジェネレータ。
- 前記回路が、図37または図38または図40に示される回路を含む、請求項21に記載のジェネレータ。
- 前記回路が、図37または図38または図40に示される回路を含む、請求項41に記載のジェネレータ。
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