JP2019508688A - 一体型偏光干渉計及びそれを適用したスナップショット分光偏光計 - Google Patents
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Description
Claims (14)
- 入射される複合波を分離する偏光ビームスプリッタと、
前記偏光ビームスプリッタの第1面に貼り付けられ、前記偏光ビームスプリッタを透過した第1の偏光を前記偏光ビームスプリッタに反射する第1のミラーと、
前記偏光ビームスプリッタの第2面に貼り付けられ、前記偏光ビームスプリッタで反射された第2の偏光を前記偏光ビームスプリッタに反射する第2のミラーと、
を含むことを特徴とする一体型偏光干渉計。 - 前記一体型偏光干渉計内において、前記第1の偏光の経路長は、前記第2の偏光の経路長と差があることを特徴とする請求項1に記載の一体型偏光干渉計。
- 前記第1のミラーは、前記偏光ビームスプリッタに直接またはスペーサを介して貼り付けられ、
前記第2のミラーは、前記偏光ビームスプリッタに、スペーサを介して、または直接貼り付けられることを特徴とする請求項2に記載の一体型偏光干渉計。 - 前記差は、
紫外線または可視光線領域に対して20〜60μmであり、
近赤外線または赤外線領域に対して60〜500μmであることを特徴とする請求項3に記載の一体型偏光干渉計。 - 前記第1の偏光は、P−偏光であり、
前記第2の偏光は、S−偏光であることを特徴とする請求項4に記載の一体型偏光干渉計。 - 光源から照射される光を線形偏光させる第1の線形偏光子と、
前記第1の線形偏光子から出射され、オブジェクトを透過または反射して生成された複合波を偏光変調する一体型偏光干渉計と、
前記一体型偏光干渉計から出射される二つの波動を干渉させる第2の線形偏光子と、
前記第2の線形偏光子から出射される光の分光偏光情報を測定する測定装置と、
を含み、
前記一体型偏光干渉計は、
入射される複合波を分離する偏光ビームスプリッタと、
前記偏光ビームスプリッタの第1面に貼り付けられ、前記偏光ビームスプリッタを透過した第1の偏光を前記偏光ビームスプリッタに反射する第1のミラーと、
前記偏光ビームスプリッタの第2面に貼り付けられ、前記偏光ビームスプリッタで反射された第2の偏光を前記偏光ビームスプリッタに反射する第2のミラーと、
を含むことを特徴とするスナップショット分光偏光計。 - 前記第1の線形偏光子と前記第2の線形偏光子は、同じ方向の線形偏光子であることを特徴とする請求項6に記載のスナップショット分光偏光計。
- 前記一体型偏光干渉計において、前記第1の偏光の経路長は、前記第2の偏光の経路長と差があることを特徴とする請求項6に記載のスナップショット分光偏光計。
- 前記測定装置の測定波長領域は、可視光線領域、紫外線領域、近赤外線領域、赤外線領域の少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項1に記載のスナップショット分光偏光計。
- 入射される複合波を分離するビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタの第1面に貼り付けられ、前記ビームスプリッタを透過した光を偏光させる第1の偏光子と、
前記第1の偏光子から出射される第1の偏光を前記ビームスプリッタに反射する第1のミラーと、
前記ビームスプリッタの第2面に貼り付けられ、前記ビームスプリッタで反射された光を偏光させる第2の偏光子と、
前記第2の偏光子から出射される第2の偏光を前記ビームスプリッタに反射する第2のミラーと、
を含むことを特徴とする一体型偏光干渉計。 - 光源から照射される光を線形偏光させる線形偏光子と、
前記線形偏光子から入射される偏光を変調する一体型偏光干渉計と、
前記一体型偏光干渉計で変調された干渉波動を2つの経路に分離するビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタで分離された第1の光を周期的にオブジェクトに伝達し、前記ビームスプリッタで分離された第2の光を周期的にオブジェクトのない経路に伝達するチョッパーホイールと、
前記第1の光と前記第2の光の分光偏光情報を測定する測定装置と、
を含み、
前記一体型偏光干渉計は、
前記線形偏光子から入射される前記偏光を分離する偏光ビームスプリッタと、
前記偏光ビームスプリッタの第1面に貼り付けられ、前記偏光ビームスプリッタを透過した第1の偏光を前記偏光ビームスプリッタに反射する第1のミラーと、
前記偏光ビームスプリッタの第2面に貼り付けられ、前記偏光ビームスプリッタで反射された第2の偏光を前記偏光ビームスプリッタに反射する第2のミラーと、
を含むことを特徴とするスナップショット分光偏光計。 - 前記測定装置の測定波長領域は、可視光線領域、紫外線領域、近赤外線領域、赤外線領域の少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項11に記載のスナップショット分光偏光計。
- 光源から照射される光を線形偏光させる線形偏光子と、
前記線形偏光子から入射される偏光を変調する一体型偏光干渉計と、
前記一体型偏光干渉計で変調された干渉波動を分離するビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタにより分離されてオブジェクトを透過または反射した第1の光の分光偏光情報を測定する第1の測定装置と、
前記ビームスプリッタにより分離されて前記オブジェクトを透過または反射していない第2の光の分光偏光情報を測定する第2の測定装置と、
を含み、
前記一体型偏光干渉計は、
前記線形偏光子から入射される前記偏光を分離する偏光ビームスプリッタと、
前記偏光ビームスプリッタの第1面に貼り付けられ、前記偏光ビームスプリッタを透過した第1の偏光を前記偏光ビームスプリッタに反射する第1のミラーと、
前記偏光ビームスプリッタの第2面に貼り付けられ、前記偏光ビームスプリッタで反射された第2の偏光を前記偏光ビームスプリッタに反射する第2のミラーと、
を含むことを特徴とするスナップショット分光偏光計。 - 前記第1の測定装置と前記第2の測定装置の測定波長領域は、可視光線領域、紫外線領域、近赤外線領域、赤外線領域の少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項13に記載のスナップショット分光偏光計。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102625046B1 (ko) * | 2022-10-31 | 2024-01-15 | 한국 천문 연구원 | 듀얼 포트 간섭계 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107886820B (zh) * | 2017-11-15 | 2023-11-24 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 一种集成式双光路激光电离效应模拟系统 |
US11248955B2 (en) | 2018-08-10 | 2022-02-15 | Industrial Cooperation Foundation Chonbuk National University | Polarization measurement with interference patterns of high spatial carrier frequency |
US10900840B1 (en) | 2018-10-26 | 2021-01-26 | Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona | Snapshot Mueller matrix polarimeter |
KR102166527B1 (ko) * | 2018-12-28 | 2020-10-15 | 전북대학교산학협력단 | 실시간 위상감지 gmr 바이오센서 장치 및 센싱 방법 |
KR102260755B1 (ko) * | 2018-12-31 | 2021-06-07 | 전북대학교산학협력단 | 검사 장치 및 검사 방법 |
US11035790B2 (en) | 2018-12-31 | 2021-06-15 | Industrial Cooperation Foundation Chonbuk National University | Inspection apparatus and inspection method |
KR102158520B1 (ko) | 2019-01-07 | 2020-09-23 | 주식회사 엠젠 | 분광편광계의 광경로차를 자동으로 조절하는 장치 |
KR102124764B1 (ko) | 2019-01-07 | 2020-07-07 | 주식회사 엠젠 | 일체형 분광편광 측정장치 및 이를 포함하는 분광편광 측정 시스템 |
CN109990736B (zh) * | 2019-03-28 | 2020-09-08 | 华中科技大学 | 一种基于斯托克斯矢量的滚转角测量方法及装置 |
KR20200133976A (ko) | 2019-05-21 | 2020-12-01 | 문성수 | 콘텐츠 큐레이션 방법 및 장치 |
KR102278503B1 (ko) | 2019-10-31 | 2021-07-16 | 주식회사 엠젠 | 분광반사 측정장치 |
KR102316503B1 (ko) * | 2020-04-23 | 2021-10-22 | 서울대학교산학협력단 | 동축 분광 이미징 엘립소미터 |
KR20230030346A (ko) * | 2021-08-25 | 2023-03-06 | 삼성전자주식회사 | 편광 계측 장치 및 편광 계측 장치를 이용한 반도체 소자 제조 방법 |
CN114526670B (zh) * | 2022-02-23 | 2024-04-02 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 一种基于参考反射镜差动探测的白光干涉测量装置 |
CN115406366B (zh) * | 2022-08-29 | 2023-04-28 | 重庆市计量质量检测研究院 | 基于原位共角spr测量单层薄膜参数的isoa方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02248803A (ja) * | 1989-03-22 | 1990-10-04 | Keyence Corp | レーザー干渉測長計 |
JPH06174844A (ja) * | 1992-12-04 | 1994-06-24 | Sharp Corp | レーザ測距装置 |
JP2007147618A (ja) * | 2005-11-23 | 2007-06-14 | Agilent Technol Inc | モノリシック変位測定干渉計 |
JP2008521011A (ja) * | 2004-11-18 | 2008-06-19 | モーガン・リサーチ・コーポレーション | 小型のフーリエ変換分光計 |
CN101435720A (zh) * | 2008-12-09 | 2009-05-20 | 西安交通大学 | 静态宽场实时多方向探测偏振风成像干涉仪 |
KR20090063417A (ko) * | 2007-12-14 | 2009-06-18 | 광주과학기술원 | 외부 자극에 의한 광학적 분자 영상 시스템 |
JP2010237203A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Nikon Corp | 光学ユニット、干渉装置、ステージ装置、パターン形成装置およびデバイス製造方法 |
KR101060053B1 (ko) * | 2005-09-27 | 2011-08-29 | 베러티 인스트루먼트, 인코퍼레이티드 | 자기 참조 헤테로다인 반사계 및 그 실행방법 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4802768A (en) * | 1986-04-11 | 1989-02-07 | Sclavo, Inc. | Two light source reference system for a fluorometer |
DE19612794A1 (de) | 1995-03-31 | 1996-10-02 | Overhamm Michael Dr | Fourier-Spektrometer |
KR20010011339A (ko) * | 1999-07-27 | 2001-02-15 | 이철환 | 파워 윈도우 스위치 |
KR100366486B1 (ko) | 2000-06-19 | 2003-01-09 | 병 호 이 | 하나의 편광 빛 스플리터를 사용한 편광 모드 분산 보상기 |
US6909511B2 (en) * | 2001-02-27 | 2005-06-21 | Jds Uniphase Corporation | Athermal interferometer |
US7522343B2 (en) * | 2004-03-08 | 2009-04-21 | Optoplex Corporation | Michelson interferometer based delay line interferometers |
JP4505807B2 (ja) * | 2004-08-09 | 2010-07-21 | 国立大学法人 筑波大学 | 多重化スペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィー |
ATE516739T1 (de) * | 2005-12-06 | 2011-08-15 | Zeiss Carl Meditec Ag | Interferometrische probenmessung |
US8004750B1 (en) * | 2008-09-07 | 2011-08-23 | Optoplex Corporation | Multiple-FSR DPSK demodulator |
US8570524B2 (en) * | 2009-08-04 | 2013-10-29 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Stable monolithic interferometer for wavelenghth calibration |
KR101152798B1 (ko) | 2010-08-09 | 2012-06-14 | (주)펨트론 | 듀얼 파장 디지털 홀로그래피을 이용한 3d 측정 장치 |
US9442015B2 (en) | 2010-09-03 | 2016-09-13 | The Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona | Snapshot spatial heterodyne imaging polarimetry |
-
2016
- 2016-02-04 KR KR1020160013928A patent/KR101812608B1/ko active IP Right Grant
-
2017
- 2017-01-26 WO PCT/KR2017/000934 patent/WO2017135641A1/ko active Application Filing
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- 2017-01-26 US US16/075,842 patent/US10890487B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02248803A (ja) * | 1989-03-22 | 1990-10-04 | Keyence Corp | レーザー干渉測長計 |
JPH06174844A (ja) * | 1992-12-04 | 1994-06-24 | Sharp Corp | レーザ測距装置 |
JP2008521011A (ja) * | 2004-11-18 | 2008-06-19 | モーガン・リサーチ・コーポレーション | 小型のフーリエ変換分光計 |
KR101060053B1 (ko) * | 2005-09-27 | 2011-08-29 | 베러티 인스트루먼트, 인코퍼레이티드 | 자기 참조 헤테로다인 반사계 및 그 실행방법 |
JP2007147618A (ja) * | 2005-11-23 | 2007-06-14 | Agilent Technol Inc | モノリシック変位測定干渉計 |
KR20090063417A (ko) * | 2007-12-14 | 2009-06-18 | 광주과학기술원 | 외부 자극에 의한 광학적 분자 영상 시스템 |
CN101435720A (zh) * | 2008-12-09 | 2009-05-20 | 西安交通大学 | 静态宽场实时多方向探测偏振风成像干涉仪 |
JP2010237203A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Nikon Corp | 光学ユニット、干渉装置、ステージ装置、パターン形成装置およびデバイス製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102625046B1 (ko) * | 2022-10-31 | 2024-01-15 | 한국 천문 연구원 | 듀얼 포트 간섭계 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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