JP2019210947A - Vacuum valve and vacuum system - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、真空バルブおよび真空システムに関する。 The present invention relates to a vacuum valve and a vacuum system.
ターボ分子ポンプは、例えば、半導体製造装置のチャンバ排気用の真空ポンプとして用いられる。活性ガスを使用する半導体製造装置にターボ分子ポンプを用いた場合、ポンプ内部に反応生成物が堆積しやすい。一般的には、ターボ分子ポンプをヒータ等で加熱して、反応生成物の堆積を抑制するようにしている。ターボ分子ポンプのロータには一般的にアルミニウム合金が用いられるので、ロータ温度の上昇を抑えて、高速回転するロータのクリープ変形の影響を低減するようにしている。高速回転するロータの温度を接触型の温度センサで計測するのは難しいので、例えば、特許文献1に記載のターボ分子ポンプでは、放射温度計をポンプベース部に設け間接的にロータ温度を計測している。
The turbo molecular pump is used, for example, as a vacuum pump for exhausting a chamber of a semiconductor manufacturing apparatus. When a turbo molecular pump is used in a semiconductor manufacturing apparatus that uses an active gas, reaction products are likely to deposit inside the pump. In general, a turbo molecular pump is heated with a heater or the like to suppress deposition of reaction products. Since an aluminum alloy is generally used for the rotor of the turbo molecular pump, an increase in the rotor temperature is suppressed and the influence of creep deformation of the rotor rotating at high speed is reduced. Since it is difficult to measure the temperature of a rotor that rotates at high speed with a contact-type temperature sensor, for example, in the turbomolecular pump described in
しかしながら、上述したように、反応生成物の堆積抑制のためにターボ分子ポンプをヒータ等で加熱すると、ポンプベース部に設けられた温度センサ(放射温度計)も高温に晒されることになり、温度センサの信頼性低下という問題がある。 However, as described above, when the turbo molecular pump is heated with a heater or the like in order to suppress the deposition of reaction products, the temperature sensor (radiation thermometer) provided in the pump base is also exposed to a high temperature. There is a problem that the reliability of the sensor is lowered.
本発明の好ましい態様による真空バルブは、吸気口フランジと、真空ポンプが接続される排気口フランジと、前記吸気口フランジと前記排気口フランジとの間に挿脱されるバルブプレートと、前記バルブプレートの前記排気口フランジの側の面に設けられ、前記真空ポンプのポンプロータの状態を監視する監視センサを備える。
さらに好ましい態様では、前記監視センサは前記ポンプロータの温度を計測する放射温度計である。
さらに好ましい態様では、前記放射温度計に対して前記ポンプロータの放射率を設定する設定部を備える。
さらに好ましい態様では、前記監視センサは前記ポンプロータを撮像する撮像センサである。
本発明の好ましい態様による真空システムは、上記態様の真空バルブと、前記真空バルブの前記排気口フランジに装着された真空ポンプと、を備える。
本発明の好ましい態様による真空システムは、上記態様の真空バルブと、前記真空バルブの前記排気口フランジに装着された真空ポンプと、前記ポンプロータのクリープ歪み速度相当量と温度との相関関係および前記放射温度計で計測される温度に基づいて、前記ポンプロータのクリープ歪みに相当する歪み相当量を算出する演算部と、算出された前記歪み相当量に基づいてロータ寿命を推定する推定部と、を備える。
A vacuum valve according to a preferred aspect of the present invention includes an intake port flange, an exhaust port flange to which a vacuum pump is connected, a valve plate inserted and removed between the intake port flange and the exhaust port flange, and the valve plate. And a monitoring sensor for monitoring the state of the pump rotor of the vacuum pump.
In a further preferred aspect, the monitoring sensor is a radiation thermometer that measures the temperature of the pump rotor.
In a further preferred aspect, a setting unit for setting the emissivity of the pump rotor with respect to the radiation thermometer is provided.
In a further preferred aspect, the monitoring sensor is an image sensor that images the pump rotor.
The vacuum system by the preferable aspect of this invention is equipped with the vacuum valve of the said aspect, and the vacuum pump with which the said exhaust port flange of the said vacuum valve was mounted | worn.
A vacuum system according to a preferred aspect of the present invention includes a correlation between a vacuum valve of the above aspect, a vacuum pump mounted on the exhaust port flange of the vacuum valve, a creep strain rate equivalent amount of the pump rotor, and a temperature. Based on the temperature measured by the radiation thermometer, a calculation unit that calculates a strain equivalent amount corresponding to the creep strain of the pump rotor, an estimation unit that estimates the rotor life based on the calculated strain equivalent amount, Is provided.
本発明によれば、ポンプロータを監視する監視センサの温度上昇を低減することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the temperature rise of the monitoring sensor which monitors a pump rotor can be reduced.
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図1は、真空排気装置100の概略構成を示す図である。真空排気装置100は、真空ポンプ1と真空バルブ2と寿命推定装置3とを備えている。真空ポンプ1は、ポンプ本体1Aとポンプコントローラ1Bとで構成される。ポンプ本体1Aの吸気口フランジ130は、真空バルブ2の排気口フランジ202にボルト固定されている。
Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of the
図1に示す真空ポンプ1は磁気軸受式のターボ分子ポンプであり、ポンプロータ10が取り付けられたシャフト11は、ポンプベース14に設けられた磁気軸受51A,51B,52によって非接触支持される。シャフト11の浮上位置は、磁気軸受51A,51B,52の各々に設けられた変位センサ(不図示)によって検出される。なお、磁気軸受が作動していない状態では、シャフト11はメカニカルベアリング37,38によって支持される。
The
シャフト11の下端には円形のロータディスク41が設けられており、このロータディスク41を上下に挟むように隙間を介して磁気軸受52の電磁石が設けられている。磁気軸受52によりロータディスク41を吸引することで、シャフト11がアキシャル方向に浮上する。ロータディスク41はナット部材42によりシャフト11の下端部に固定されている。シャフト11の回転数は回転数センサ72によって検出される。
A
ポンプロータ10には、回転軸延在方向に複数段の回転翼18が形成されている。上下に並んだ回転翼18の間には固定翼19がそれぞれ配設されている。これらの回転翼18と固定翼19とにより、真空ポンプ1のタービン翼段が構成される。各固定翼19は、スペーサ12によって上下に挟持されるように保持されている。スペーサ12は、固定翼19を保持する機能とともに、固定翼19間のギャップを所定間隔に維持する機能を有している。
A plurality of stages of
固定翼19の後段(図示下方)にはドラッグポンプ段を構成するネジステータ15が設けられており、ネジステータ15の内周面とポンプロータ10の円筒部16との間にはギャップが形成されている。ポンプロータ10と、スペーサ12によって保持された固定翼19とは、吸気口フランジ130が形成されたケーシング13内に納められている。ポンプロータ10が取り付けられたシャフト11を磁気軸受51A,51B,52により非接触支持しつつモータ17により回転駆動すると、吸気口フランジ130側のガスは背圧側に排気され、背圧側に排気されたガスは排気口36に接続された補助ポンプ(不図示)により排出される。
A
真空バルブ2は、バルブボディ20と、バルブボディ20内に設けられたバルブプレート21と、バルブプレート21に設けられた温度センサ210と、バルブプレート21を開閉駆動するバルブモータ23と、バルブモータ23を収納するモータケーシング22と、バルブコントローラ24とを備えている。温度センサ210は非接触式の温度センサであって、例えば、放射温度計が用いられる。図示上側の吸気口フランジ201は真空排気されるチャンバに固定され、バルブボディ20の排気口フランジ202には真空ポンプ1が固定される。
The vacuum valve 2 includes a
なお、温度センサ210はバルブプレート21の裏面に露出するように設けても良いが、腐食性ガスが排気されることも考慮して、温度センサ210をバルブプレート21に埋め込んで観察窓を配置し、その観察窓を介してロータ温度を計測するようにしても良い。
The
図2は、真空バルブ2を吸気口フランジ201側から見た平面図である。バルブモータ23を正方向および逆方向に回転駆動してバルブプレート21を揺動駆動することにより、バルブプレート21の開閉動作が行われる。バルブプレート21は、バルブ開口部201aの全体に対向する全遮蔽位置C2と、バルブ退避位置C1との間の任意の位置にスライド移動させることができる。バルブプレート21の開閉状態は開度と呼ばれるパラメータで表される。開度とは、比=(バルブプレートの揺動角):(全遮蔽位置C2からバルブ退避位置C1までの揺動角)をパーセントで表したものである。図2の全遮蔽位置C2は開度=0%であり、バルブ退避位置C1は開度=100%である。バルブプレート21の開度は、モータ軸に設けられたエンコーダ(不図示)によって検出される。
FIG. 2 is a plan view of the vacuum valve 2 as viewed from the
図2において、温度センサ210はバルブプレート21の裏面側中央に設けられており、バルブプレート21が全遮蔽位置C2にある場合にはポンプロータ10の軸芯の部分に対向している。ポンプロータ10の軸方向上端においては、軸芯を含む中央部分(図1の符号Aで示す範囲)は回転翼18が形成されていない領域となっている。
In FIG. 2, the
真空バルブ2が装着されたチャンバ内で成膜等のプロセスが行われる場合には、バルブ開度を調整して圧力制御が行われるが、そのような場合には開度10〜20%程度で使用されるのが一般的である。よって、バルブプレート21における温度センサ210の固定位置は、開度0〜20%のいずれにおいても温度センサ210が図1の符号Aの範囲と対向するように設定されるのが好ましい。図2では、温度センサ210はバルブプレート21の中央に配置されており、開度20%においては図示左側の黒丸Pの位置まで移動する。
When a process such as film formation is performed in a chamber equipped with the vacuum valve 2, pressure control is performed by adjusting the valve opening. In such a case, the opening is about 10 to 20%. Generally used. Therefore, it is preferable that the fixed position of the
図3は、ポンプコントローラ1B、バルブコントローラ24および寿命推定装置3の概略構成を示すブロック図である。ポンプコントローラ1Bは、モータ制御部111と軸受制御部112と通信部113とを備えている。モータ制御部111は回転数センサ72からの回転数情報(以下では、ロータ回転数Nと呼ぶ)に基づいてモータ17を駆動制御する。軸受制御部112は磁気軸受51A,51B,52を制御する。通信部113は寿命推定装置3に設けられた通信部304との間でデータの授受を行う。
FIG. 3 is a block diagram showing a schematic configuration of the
バルブコントローラ24は、バルブ制御部241とセンサ回路部242と設定部243と通信部244とを備えている。バルブ制御部241は、通信部244を介して入力される圧力指令値Psおよびチャンバ圧力値Prとエンコーダ25からの開度情報とに基づいてバルブモータ23を駆動して、バルブプレート21を所望の開度に制御する。センサ回路部242は、温度センサ210の出力に基づいてロータ温度Trを出力する。出力されたロータ温度Trは、通信部244を介して寿命推定装置3に入力される。通信部244は寿命推定装置3の通信部304に接続されている。
The
温度センサ210に放射温度計を用いる場合、測定対象物の放射率を設定する必要がある。例えば、予めポンプロータ10の放射率を測定しておき、その測定値を設定部243に入力することにより放射率を設定する。温度センサ210は設定された放射率に基づいて、ロータ温度を計測する。
When using a radiation thermometer for the
また、ポンプロータ10のセンサ対向位置に黒体部材(黒体スプレーや黒体テープ)を設けておき、その黒体部材を利用してポンプロータ10の放射率を設定部243において自動設定するようにしても良い。自動設定は以下のような手順で行われる。黒体部材が設けられたポンプロータ10を昇温させ、放射温度計の放射率設定値を黒体部材の放射率に設定して、黒体部材の部分を放射温度計で測定する。次いで、ポンプロータ10の黒体部材が設けられていない部分を放射温度計で測定し、黒体部材の部分を測定したときの計測値と指示値とが等しくなるように放射率設定値を調整する。この調整によって得られた放射率がポンプロータ10の放射率に相当する。このように、設定部243を設けることによって、ポンプロータ10の放射率が異なる種々の真空ポンプ1に適切に対応することができる。
Further, a black body member (black body spray or black body tape) is provided at the sensor facing position of the
寿命推定装置3は、計時部301と演算部302と記憶部303と通信部304とを備えている。寿命推定装置3には、温度センサ210で計測されたロータ温度Trがバルブコントローラ24から入力される。また、寿命推定装置3には、回転数センサ72で検出されたロータ回転数Nがポンプコントローラ1Bから入力される。
The
(ロータ寿命推定の説明)
次に、寿命推定装置3によって行われるポンプロータ10の寿命推定について説明する。高温、高引張応力環境にあるアルミ材のポンプロータ10は、遠心力によるクリープ歪みが増加してポンプロータ10の各部(特に、応力が大きい部分)の径寸法が大きくなる。その結果、ポンプロータ10と静止部(固定翼19,ネジステータ15等)との隙間が小さくなる。
(Explanation of rotor life estimation)
Next, the life estimation of the
図4は、一般的な高温、高引張応力の一定状態におけるクリープの進展トレンドを模式的に示したものである。ロータ回転時にポンプロータ10に生じる歪みには弾性歪みと永久歪みであるクリープ歪みがあるが、以下ではロータ寿命に関係するクリープ歪みに絞って説明する。図4の縦軸はクリープ歪みを表し、横軸の駆動時間はロータ駆動累積時間を表している。
FIG. 4 schematically shows the creep progress trend in a constant state of general high temperature and high tensile stress. The strain generated in the
なお、ロータ駆動累積時間は、クリープ歪みが問題となるロータ回転数となっている時間を累積したものであり、例えば、ロータ回転数が所定範囲内(例えば、定格回転数を含む所定回転数範囲)にあるときの累積時間がある。より簡単な方法としては、ポンプ回転のスタート信号からストップ信号までの時間を累積したものを用いても良い。ロータ駆動累積時間は、ポンプロータ10が交換されると手動にてリセットされる。交換後は、新しいポンプロータ10のロータ駆動累積時間の演算が新たに開始される。
Note that the rotor drive accumulated time is the accumulated time of the rotor rotation speed at which creep distortion becomes a problem. For example, the rotor rotation speed is within a predetermined range (for example, a predetermined rotation speed range including the rated rotation speed). ) Is the accumulated time. As a simpler method, an accumulated time from a pump rotation start signal to a stop signal may be used. The rotor drive accumulated time is manually reset when the
図4の曲線L21,L22,L23は、それぞれロータ温度がTr1,Tr2,Tr3(Tr1<Tr2<Tr3)の場合を示している。図4に示すように、比較的短時間で遷移クリープが生じた後に、ほぼ一定速度で徐々に進展する定常クリープが生じ、その後、加速的に進展する加速クリープの3つの状態におおよそ分けられる。 Curves L21, L22, and L23 in FIG. 4 indicate cases where the rotor temperatures are Tr1, Tr2, and Tr3 (Tr1 <Tr2 <Tr3), respectively. As shown in FIG. 4, after transition creep occurs in a relatively short time, steady creep that gradually progresses at a substantially constant speed occurs, and thereafter, it is roughly divided into three states of accelerated creep that progresses at an accelerated rate.
通常、ポンプロータ10は定常クリープの範囲内で設計される。本実施の形態における寿命歪みLdeとは、定常クリープにおいて回転側と固定側との隙間が狭くなる過程において、最終的にポンプロータ10が固定翼19やネジステータ15と接触するおそれのある危険域に達したときのクリープ歪みである。この寿命歪みLdeはポンプ設計によって決まっている。一定のロータ温度Tr1で使用した場合にはクリープ歪みが寿命歪みLdeに達する寿命はte1となり、一定のロータ温度Tr2で使用した場合の寿命はte2となり、一定のロータ温度Tr3で使用した場合の寿命はte3となる。
Normally, the
図5(a)は、クリープ歪みによりロータ寿命に至るまでのロータ駆動累積時間(以下ではロータ寿命時間と呼ぶ)とロータ温度Trとの関係を示す図である。ロータ温度Trが上昇するに従ってロータ寿命時間は短くなる。これは、図4の定常クリープにおける曲線L21〜L23の傾き(すなわちクリープ歪み速度)を見ると分かるように、ロータ温度Trが高くなるにつれてクリープ歪み速度が大きくなることを意味している。図5(a)の点(Tr1、te1)、(Tr2、te2)、(Tr3、te3)は、図5の曲線L21,L22,L23の場合のロータ寿命時間を示している。 FIG. 5A is a diagram showing the relationship between the rotor drive accumulated time (hereinafter referred to as the rotor life time) until the rotor life is reached due to creep strain and the rotor temperature Tr. As the rotor temperature Tr rises, the rotor life time becomes shorter. This means that the creep strain rate increases as the rotor temperature Tr increases, as can be seen from the slopes of the curves L21 to L23 (that is, the creep strain rate) in the steady creep of FIG. Points (Tr1, te1), (Tr2, te2), and (Tr3, te3) in FIG. 5A indicate the rotor lifetime in the case of the curves L21, L22, and L23 in FIG.
図5(b)は、図5(a)のロータ寿命時間に対して、ロータ寿命時間の逆数値とロータ温度Trとの関係を示したものである。ロータ寿命時間の逆数値は、ロータ寿命までのクリープ歪みを1とみなし、かつ、歪み速度が一定とみなしたときの1年当たりのクリープ歪みに相当するものである。すなわち、曲線L21に関しては、直線L25のように歪みが変化すると仮定した場合に相当する。実際には、図4に示すように、t=0からロータ寿命時間te1までのクリープ歪みには遷移クリープによるものと定常クリープによるものとが含まれ、遷移クリープにおいては歪み速度は一定ではない。 FIG. 5B shows the relationship between the reciprocal value of the rotor life time and the rotor temperature Tr with respect to the rotor life time of FIG. The reciprocal value of the rotor life time corresponds to the creep strain per year when the creep strain up to the rotor life is regarded as 1 and the strain rate is regarded as constant. That is, the curve L21 corresponds to the case where it is assumed that the distortion changes like the straight line L25. Actually, as shown in FIG. 4, the creep strain from t = 0 to the rotor life time te1 includes transition creep and steady creep, and the strain rate is not constant in transition creep.
ところで、歪みは歪み速度の時間積分であるので、ロータ寿命時間の逆数値の時間積分は歪み量を正規化した量になる。そして、ロータ寿命時間の逆数値の時間積分が1に達したタイミングがロータ寿命のタイミングである。ただし、温度検出精度等を考慮して、閾値=1に安全係数を掛けることも実用上有益である。 By the way, since the strain is a time integral of the strain rate, the time integral of the reciprocal value of the rotor life time is an amount obtained by normalizing the strain amount. The timing at which the time integral of the reciprocal value of the rotor life time reaches 1 is the rotor life timing. However, in consideration of temperature detection accuracy and the like, it is practically useful to multiply the threshold value = 1 by a safety factor.
図5(a)に示すように、Tr=120℃におけるロータ寿命時間は10年、Tr=115℃におけるロータ寿命時間は17年になっている。ロータ温度Tr=120℃、115℃におけるロータ寿命時間の逆数値は、図5(b)に示すように、それぞれ0.1[1/年]、約0.059[1/年]となる。ロータ温度Tr=120℃において累積で10年間使用するとロータ寿命となり、ロータ寿命時間の逆数値の時間積分は1(=0.1×10)になる。同様に、ロータ温度Tr=115℃において累積で17年間使用すると寿命になり、ロータ寿命時間の逆数値の時間積分は1(0.059×17=1.003)になる。 As shown in FIG. 5A, the rotor life time at Tr = 120 ° C. is 10 years, and the rotor life time at Tr = 115 ° C. is 17 years. The reciprocal values of the rotor lifetime at the rotor temperatures Tr = 120 ° C. and 115 ° C. are 0.1 [1 / year] and about 0.059 [1 / year], respectively, as shown in FIG. When the rotor temperature Tr = 120 ° C. is used for a cumulative period of 10 years, the rotor life is reached, and the time integral of the inverse value of the rotor life time is 1 (= 0.1 × 10). Similarly, if the rotor temperature Tr = 115 ° C. is used for a cumulative period of 17 years, the life is reached, and the time integral of the inverse value of the rotor life time is 1 (0.059 × 17 = 1.003).
図5(b)に示すようなロータ温度Trとロータ寿命時間の逆数値との相関関係を示すデータを、寿命推定装置3の記憶部303に記憶しておく。演算部302は、検出されたロータ温度Trに対応するロータ寿命時間の逆数値を相関関係により求め、歪みに相当する積算値である歪み積算値Ldnを算出する。
Data indicating the correlation between the rotor temperature Tr and the inverse value of the rotor life time as shown in FIG. 5B is stored in the
図6は、推定残寿命算出処理の一例を示すフローチャートである。なお、図6の処理は計時部301で時間Δtが計時される毎に実行される。ステップS100では、温度センサ210によるロータ温度Trをバルブコントローラ24から読み込むと共に、回転数センサ72により検出されたロータ回転数Nをポンプコントローラ1Bから読み込む。ステップS110では、ロータ回転数Nが上述した所定回転数範囲に含まれるか否かを判定する。ここでは、ロータ回転数Nが閾値Nth以上か否かで、ロータ回転数Nが所定回転数範囲に含まれるか否かを判定する。
FIG. 6 is a flowchart illustrating an example of an estimated remaining life calculation process. Note that the process of FIG. 6 is executed each time the time Δt is measured by the
図7は、ロータ回転数Nの時間的な変化を模式的に示したものである。真空ポンプ1が起動されると、ロータ回転数NはN=0から定格回転数Nrまで加速され、定格回転数Nrに維持される。その後、成膜等のプロセスが繰り返し行われるが、その間もロータ回転数Nは定格回転数Nrに維持される。真空ポンプ1が装着された半導体製造装置が停止されると真空ポンプ1も停止され、ロータ回転数NはN=0となる。すなわち、真空ポンプ1は、装置稼働中は回転状態とされ、装置停止中はN=0とされる。
FIG. 7 schematically shows temporal changes in the rotor rotational speed N. FIG. When the
図6のステップS110でN≧Nthと判定されるとステップS120へ進み、N<Nthと判定されると図6の処理を終了する。すなわち、N≧Nthの場合はクリープ歪みが問題となる回転数なので、後述する歪み積算値Ldnに関する演算が行われる。ステップS120では、ステップS100で読み込まれたロータ温度Trに基づいて、次式(1)のように歪み積算値Ldnを算出する。式(1)において、Ld(n-1)は前回の演算処理で算出された歪み積算値である。また、f(Trn)は、図5(b)の相関関係から求まるもので、ロータ温度Trnにおけるロータ寿命時間の逆数値である。
Ldn=Ld(n-1)+f(Trn)×Δt …(1)
If it is determined in step S110 in FIG. 6 that N ≧ Nth, the process proceeds to step S120, and if it is determined that N <Nth, the process in FIG. 6 is terminated. That is, when N ≧ Nth, since the creep distortion is a problem rotation speed, a calculation relating to the strain integrated value Ldn described later is performed. In step S120, based on the rotor temperature Tr read in step S100, a strain integrated value Ldn is calculated as in the following equation (1). In Expression (1), Ld (n−1) is a distortion integrated value calculated in the previous calculation process. Further, f (Trn) is obtained from the correlation shown in FIG. 5B, and is an inverse value of the rotor life time at the rotor temperature Trn.
Ldn = Ld (n−1) + f (Trn) × Δt (1)
例えば、図7に示す例では、時刻t1〜t16および時刻t17〜t31においてN≧Nthと判定され、各時刻におけるロータ温度Trに基づく歪み積算値Ldnがそれぞれ算出される。時刻t1,t16,t17における歪み積算値Ld1,Ld16,Ld17は、次式(1-1),(1-16)、(1-17)で算出される。
Ld1=f(Tr1)×Δt …(1-1)
Ld16=f(Tr1)×Δt+f(Tr2)×Δt+・・・+f(Tr16)×Δt …(1-16)
Ld17=f(Tr1)×Δt+・・・+f(Tr16)×Δt+f(Tr17)×Δt …(1-17)
For example, in the example shown in FIG. 7, it is determined that N ≧ Nth at times t1 to t16 and t17 to t31, and the strain integrated value Ldn based on the rotor temperature Tr at each time is calculated. The strain integrated values Ld1, Ld16, Ld17 at times t1, t16, t17 are calculated by the following equations (1-1), (1-16), (1-17).
Ld1 = f (Tr1) × Δt (1-1)
Ld16 = f (Tr1) × Δt + f (Tr2) × Δt +... + F (Tr16) × Δt (1-16)
Ld17 = f (Tr1) × Δt +... + F (Tr16) × Δt + f (Tr17) × Δt (1-17)
ステップS130では、ロータ駆動累積時間Δt×nが算出される。図7の例では、歪み積算値がLd17となるまでのロータ駆動累積時間は17・Δtであり、N<Nthとなる時刻t16から時刻t17までの時間はロータ駆動累積時間に含まれない。 In step S130, the rotor drive cumulative time Δt × n is calculated. In the example of FIG. 7, the rotor drive accumulated time until the strain integrated value becomes Ld17 is 17 · Δt, and the time from time t16 to time t17 where N <Nth is not included in the rotor drive accumulated time.
ステップS140では、ステップS120で算出した歪み積算値Ldnに対して、寿命歪みLdeまでの許容歪み量(Lde−Ldn)を算出する。 In step S140, an allowable strain amount (Lde−Ldn) up to the life strain Lde is calculated with respect to the strain integrated value Ldn calculated in step S120.
ステップS150では、許容歪み量(Lde−Ldn)に基づく推定残寿命を算出する。前述したように、ロータ寿命時間とロータ温度Trとの間には図5(a)に示すような関係がある。ここでは、ロータ温度Trが所定温度Tsの場合およびロータ上限温度Tmaxの場合のそれぞれについて、次式(2)、(3)のように推定残寿命Δt(Ts),Δt(Tmax)を求めるようにした。なお、Δt(Ts)はロータ温度TrがTsの場合の推定寿命であり、Δt(Tmax)はロータ温度TrがTmaxの場合の推定寿命である。なお、所定温度Tsとしては、現在時点におけるロータ温度Tr、現在までのロータ温度Trの平均値、予め記憶部303に記憶された設定値などがある。
Δt(Ts)=(Lde−Ldn)×t(Ts) …(2)
Δt(Tmax)=(Lde−Ldn)×t(Tmax) …(3)
In step S150, an estimated remaining life based on the allowable strain amount (Lde−Ldn) is calculated. As described above, there is a relationship as shown in FIG. 5A between the rotor life time and the rotor temperature Tr. Here, for each of the case where the rotor temperature Tr is the predetermined temperature Ts and the case where the rotor upper limit temperature is Tmax, the estimated remaining lifetimes Δt (Ts) and Δt (Tmax) are obtained as in the following equations (2) and (3). I made it. Δt (Ts) is an estimated life when the rotor temperature Tr is Ts, and Δt (Tmax) is an estimated life when the rotor temperature Tr is Tmax. The predetermined temperature Ts includes the rotor temperature Tr at the current time point, the average value of the rotor temperature Tr up to the present time, a set value stored in the
Δt (Ts) = (Lde−Ldn) × t (Ts) (2)
Δt (Tmax) = (Lde−Ldn) × t (Tmax) (3)
(変形例)
上述した実施の形態では、ポンプロータ10の状態を監視する監視センサとして温度センサ(放射温度計)210を設けたが、監視センサとしては温度センサに限定されない。例えば、CCDカメラ等の撮像センサを設けて、ポンプロータ10の外観を観察するようにしても良い。もちろん、温度センサ210と撮像センサの両方を、バルブプレート21の裏面側(ポンプロータ10が対向する側)に設けるようにしても良い。なお、撮像センサには、撮像時にポンプロータ10を照明する照明部(例えば、LEDライト)が設けられている。
(Modification)
In the above-described embodiment, the temperature sensor (radiation thermometer) 210 is provided as a monitoring sensor for monitoring the state of the
図1の構成において、温度センサ(放射温度計)210の位置に撮像センサを設けると、ロータ上端面の様子を観察することができる。この場合、バルブコントローラ24からは撮像データが出力され、その撮像データに基づいてポンプロータ10の状態、例えば、ポンプロータ10上に落下した異物や、ポンプロータ10上への反応生成物の堆積を検出することができる。また、ポンプロータ10に腐食防止用のメッキ処理が施されている場合には、メッキ被膜の剥がれを検出することも可能である。
In the configuration of FIG. 1, when an image sensor is provided at the position of the temperature sensor (radiation thermometer) 210, the state of the upper end surface of the rotor can be observed. In this case, imaging data is output from the
上述した本実施の形態では、真空システムである真空排気装置100において、図1に示すように、排気口フランジ202に接続される真空ポンプ1のポンプロータ10の状態を監視する監視センサ(例えば、温度センサ210や撮像センサ)を、バルブプレート21の排気口フランジ202の側の面に設けるようにした。その結果、生成物堆積を抑制するために真空ポンプ1をヒータ等で加熱した場合でも、監視センサ自体が高温に晒されることがなく監視センサの温度上昇を低減できるので、高温環境下における監視センサの信頼性低下を防止することができる。
In the present embodiment described above, in the
また、図3に示すように、温度センサ210で計測されたロータ温度Trを寿命推定装置3に取り込み、寿命推定装置3の演算部302において、ポンプロータ10のクリープ歪み速度相当量と温度との相関関係(図5(b))および温度センサ210で計測されるロータ温度Trに基づいて、ポンプロータ10のクリープ歪みに相当する歪み相当量である歪み積算値Ldnを算出する。そして、演算部302は、歪み積算値Ldnに基づいてロータ寿命、例えば、上述した推定残寿命Δt(Ts),Δt(Tmax)を推定する。
Further, as shown in FIG. 3, the rotor temperature Tr measured by the
推定されたロータ寿命に関する情報(例えば、推定残寿命Δt(Ts),Δt(Tmax))は、図3の通信部304を介して外部に出力される。例えば、半導体製造装置のコントローラに出力される。その結果、クリープ歪みの進展によりロータ寿命となる前に、ロータ交換等のメンテナンスを行うことができる。また、寿命推定装置3に表示装置を設け、その表示装置にロータ寿命に関する情報を表示するようにしても良い。
Information on the estimated rotor life (for example, estimated remaining life Δt (Ts), Δt (Tmax)) is output to the outside via the
なお、図1,図3に示す構成では、寿命推定装置3をバルブコントローラ24やポンプコントローラ1Bと独立して設けたが、バルブコントローラ24またはポンプコントローラ1Bに含めても良いし、半導体製造装置のコントローラに含めても良い。
1 and 3, the
上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。例えば、上述した実施形態では磁気軸受式のターボ分子ポンプを例に説明したが、真空ポンプ1としてはこれに限定されない。
Although various embodiments and modifications have been described above, the present invention is not limited to these contents. Other embodiments conceivable within the scope of the technical idea of the present invention are also included in the scope of the present invention. For example, although the magnetic bearing type turbo molecular pump has been described as an example in the above-described embodiment, the
1…真空ポンプ、1A…ポンプ本体、1B…ポンプコントローラ、2…真空バルブ、3…寿命推定装置、10…ポンプロータ、21…バルブプレート、24…バルブコントローラ、100…真空排気装置、201…吸気口フランジ、202…排気口フランジ、210…温度センサ、302…演算部
DESCRIPTION OF
Claims (6)
真空ポンプが接続される排気口フランジと、
前記吸気口フランジと前記排気口フランジとの間に挿脱されるバルブプレートと、
前記バルブプレートの前記排気口フランジの側の面に設けられ、前記真空ポンプのポンプロータの状態を監視する監視センサを備える、真空バルブ。 The inlet flange,
An exhaust flange to which the vacuum pump is connected;
A valve plate inserted and removed between the intake flange and the exhaust flange;
A vacuum valve comprising a monitoring sensor provided on a surface of the valve plate on the exhaust flange side and monitoring a state of a pump rotor of the vacuum pump.
前記監視センサは前記ポンプロータの温度を計測する放射温度計である、真空バルブ。 The vacuum valve according to claim 1,
The monitoring sensor is a vacuum valve that is a radiation thermometer that measures the temperature of the pump rotor.
前記放射温度計に対して前記ポンプロータの放射率を設定する設定部を備える、真空バルブ。 The vacuum valve according to claim 2,
A vacuum valve comprising a setting unit for setting an emissivity of the pump rotor with respect to the radiation thermometer.
前記監視センサは前記ポンプロータを撮像する撮像センサである、真空バルブ。 The vacuum valve according to claim 1,
The monitoring sensor is a vacuum valve that is an image sensor that images the pump rotor.
前記真空バルブの前記排気口フランジに装着された真空ポンプと、を備える真空システム。 A vacuum valve according to any one of claims 1 to 4,
And a vacuum pump mounted on the exhaust port flange of the vacuum valve.
前記真空バルブの前記排気口フランジに装着された真空ポンプと、
前記ポンプロータのクリープ歪み速度相当量と温度との相関関係および前記放射温度計で計測される温度に基づいて、前記ポンプロータのクリープ歪みに相当する歪み相当量を算出する演算部と、
算出された前記歪み相当量に基づいてロータ寿命を推定する推定部と、を備える真空システム。 A vacuum valve according to claim 2 or 3,
A vacuum pump mounted on the exhaust port flange of the vacuum valve;
Based on the correlation between the creep strain speed equivalent amount of the pump rotor and the temperature and the temperature measured by the radiation thermometer, a calculation unit that calculates a strain equivalent amount corresponding to the creep strain of the pump rotor;
An estimation unit that estimates a rotor life based on the calculated equivalent strain amount.
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JP2022126391A (en) * | 2021-02-18 | 2022-08-30 | 株式会社島津製作所 | Vacuum pump and vacuum pump control method |
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2018
- 2018-05-31 JP JP2018104555A patent/JP2019210947A/en active Pending
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