JP2019190930A

JP2019190930A - Vibration detector

Info

Publication number: JP2019190930A
Application number: JP2018082196A
Authority: JP
Inventors: 高木　義彦; Yoshihiko Takagi; 義彦高木
Original assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Current assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date: 2018-04-23
Filing date: 2018-04-23
Publication date: 2019-10-31

Abstract

To provide a vibration detector which can suppress the change of the measurement accuracy.SOLUTION: The vibration detector includes: a magnetic circuit having a magnet and a gap part in one part; a conductor in the gap part, the conductor being freely displaced relatively with respect to the magnetic circuit; and a reduction member for reducing the change of the density of the magnetic flux in the gap part by becoming closer to the gap part when the ambient temperature becomes higher and becoming more distant from the gap part when the ambient temperature becomes lower, using the difference in the thermal expansion coefficient between a low heat expansion coefficient material and a high heat expansion coefficient material.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本件は、振動検出器に関する。 The present case relates to a vibration detector.

磁気回路が生成する磁界の中を導体が振動することによって得られる起電力を測定することで、振動の大きさを検出する振動検出器が開示されている（例えば、特許文献１，２参照）。 A vibration detector that detects the magnitude of vibration by measuring an electromotive force obtained by the vibration of a conductor in a magnetic field generated by a magnetic circuit is disclosed (for example, see Patent Documents 1 and 2). .

特開２００３−４２８３７号公報JP 2003-42837 A 特開２００１−３３６９７４号公報JP 2001-336974 A

磁気回路を構成する磁石の特性は、周囲温度により変化する。例えば、周囲温度が高くなると、磁石の磁力が弱くなる傾向にある。したがって、振動検出器の感度が設置環境により変化し、振動検出器の測定精度が変動するおそれがある。 The characteristics of the magnets constituting the magnetic circuit vary with the ambient temperature. For example, when the ambient temperature increases, the magnetic force of the magnet tends to be weakened. Therefore, the sensitivity of the vibration detector may vary depending on the installation environment, and the measurement accuracy of the vibration detector may vary.

１つの側面では、本発明は、測定精度の変動を抑制することができる振動検出器を提供することを目的とする。 In one aspect, an object of the present invention is to provide a vibration detector that can suppress variation in measurement accuracy.

１つの態様では、本発明に係る振動検出器は、磁石を備え一部に空隙部を有する磁気回路と、前記空隙部に配置され前記磁気回路に対して相対的に変位可能な導体と、を備える振動検出器であって、低熱膨張係数材料と高熱膨張係数材料との熱膨張係数差を利用して、周囲温度が高くなれば前記空隙部に近づき、周囲温度が低くなれば前記空隙部から遠ざかることで、前記空隙部における磁束密度の変化を低減する低減部材、を備えることを特徴とする。 In one aspect, a vibration detector according to the present invention includes a magnetic circuit having a magnet and a gap in part, and a conductor that is disposed in the gap and is relatively displaceable with respect to the magnetic circuit. A vibration detector comprising a thermal expansion coefficient difference between a low thermal expansion coefficient material and a high thermal expansion coefficient material, approaching the gap when the ambient temperature is high, and from the gap when the ambient temperature is low It is provided with the reduction member which reduces the change of the magnetic flux density in the said space | gap part by moving away.

上記振動検出器において、前記低減部材を磁性体としてもよい。 In the vibration detector, the reduction member may be a magnetic body.

上記振動検出器において、前記低減部材を、前記磁気回路が生成する磁場と反発する磁場を生成する磁石としてもよい。 In the vibration detector, the reduction member may be a magnet that generates a magnetic field repelling a magnetic field generated by the magnetic circuit.

測定精度の変動を抑制することができる振動検出器を提供することができる。 A vibration detector that can suppress fluctuations in measurement accuracy can be provided.

（ａ）は第１実施形態に係る振動検出器の全体構成を例示する模式的な断面図であり、（ｂ）は磁束線を例示する図である。(A) is typical sectional drawing which illustrates the whole structure of the vibration detector which concerns on 1st Embodiment, (b) is a figure which illustrates a magnetic flux line. （ａ）は比較形態に係る振動検出器の全体構成を例示する模式的な断面図であり、（ｂ）は磁束線を例示する図である。(A) is typical sectional drawing which illustrates the whole structure of the vibration detector which concerns on a comparison form, (b) is a figure which illustrates a magnetic flux line. （ａ）は第２実施形態に係る振動検出器の全体構成を例示する模式的な断面図であり、（ｂ）は磁束線を例示する図である。(A) is typical sectional drawing which illustrates the whole structure of the vibration detector which concerns on 2nd Embodiment, (b) is a figure which illustrates a magnetic flux line. （ａ）は磁場を例示する図であり、（ｂ）および（ｃ）は磁石の配置を例示する図である。(A) is a figure which illustrates a magnetic field, (b) and (c) are figures which illustrate arrangement | positioning of a magnet.

以下、図面を参照しつつ、実施形態について説明する。 Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings.

（第１実施形態）
図１（ａ）は、第１実施形態に係る振動検出器１００の全体構成を例示する模式的な断面図である。図１（ａ）において、感度軸（例えば鉛直方向）をＹ軸とし、感度軸と直交する方向（例えば水平方向）をＸ軸とする。 (First embodiment)
FIG. 1A is a schematic cross-sectional view illustrating the overall configuration of the vibration detector 100 according to the first embodiment. In FIG. 1A, the sensitivity axis (for example, the vertical direction) is the Y axis, and the direction orthogonal to the sensitivity axis (for example, the horizontal direction) is the X axis.

図１（ａ）で例示するように、振動検出器１００は、有底有蓋であってＹ軸に沿って軸を有する略円筒形状を有するケース１０内に各機器が配置された構造を有する。ケース１０は、ＳＵＳ３０４などの非磁性の金属からなる。 As illustrated in FIG. 1A, the vibration detector 100 has a structure in which each device is arranged in a case 10 having a bottomed lid and a substantially cylindrical shape having an axis along the Y axis. The case 10 is made of a nonmagnetic metal such as SUS304.

ケース１０内において、ヨーク２１が配置されている。ヨーク２１は、磁性体からなり、有底であってＹ軸に沿って軸を有する略円筒形状を有する。ヨーク２１の外径はケース１０の内径よりも若干小さく設定されているため、ヨーク２１は、ケース１０内に収容されるとともにケース１０内に固定される。ヨーク２１の上端部は、内方に対して突出してリング形状をなしている。このリング形状の部分は、ヨーク２１の外極として機能する。 A yoke 21 is disposed in the case 10. The yoke 21 is made of a magnetic material, has a bottom, and has a substantially cylindrical shape having an axis along the Y axis. Since the outer diameter of the yoke 21 is set slightly smaller than the inner diameter of the case 10, the yoke 21 is accommodated in the case 10 and fixed in the case 10. The upper end of the yoke 21 protrudes inward and has a ring shape. This ring-shaped portion functions as the outer pole of the yoke 21.

ヨーク２１の底部の上面中心部に、Ｙ軸方向に沿って軸を有する略円柱形状の磁石２２が配置されている。磁石２２上には、Ｙ軸方向に沿って軸を有する略円柱形状のトッププレート２３が配置されている。トッププレート２３は、磁性体からなる。トッププレート２３は、ヨーク２１のリング形状の外極と対向する位置に配置されている。それにより、トッププレート２３は、内極として機能する。 A substantially cylindrical magnet 22 having an axis along the Y-axis direction is disposed at the center of the upper surface of the bottom of the yoke 21. A substantially cylindrical top plate 23 having an axis along the Y-axis direction is disposed on the magnet 22. The top plate 23 is made of a magnetic material. The top plate 23 is disposed at a position facing the ring-shaped outer pole of the yoke 21. Thereby, the top plate 23 functions as an inner pole.

ヨーク２１の外極と、内極として機能するトッププレート２３との間の空隙部２４には、直流磁界が形成される。それにより、図１（ｂ）で例示するように、ヨーク２１、磁石２２、トッププレート２３および空隙部２４によって磁気回路が形成される。すなわち、磁束線は、磁石２２、トッププレート２３、空隙部２４、ヨーク２１、磁石２２というループを形成する。または、磁束線は、磁石２２、ヨーク２１、空隙部２４、トッププレート２３、磁石２２というループを形成する。なお、図１（ｂ）においては、磁束線が描かれており、図１（ａ）のハッチを省略してある。 A DC magnetic field is formed in the gap 24 between the outer pole of the yoke 21 and the top plate 23 that functions as the inner pole. Thereby, as illustrated in FIG. 1B, a magnetic circuit is formed by the yoke 21, the magnet 22, the top plate 23, and the gap 24. That is, the magnetic flux lines form a loop of the magnet 22, the top plate 23, the gap 24, the yoke 21, and the magnet 22. Alternatively, the magnetic flux lines form a loop of the magnet 22, the yoke 21, the gap 24, the top plate 23, and the magnet 22. In FIG. 1B, magnetic flux lines are drawn, and the hatching in FIG. 1A is omitted.

この空隙部２４において、Ｙ軸方向を軸として周回するように巻線導体を備える略円筒形状のコイル３０が配置されている。コイル３０は、上下１対の支持バネ４０によって支持されている。支持バネ４０は、ヨーク２１に固定されている。それにより、空隙部２４において、磁気回路に対して相対的に変位可能であって、振動可能である。コイル３０は、非磁性材料製のボビンを使用せずにコイル線材だけで直接円筒状に巻線するか、もしくはボビン上にコイル線材を円筒状に巻線して形成されている。コイル３０から２本のリード線５１は、ケース１０の蓋を貫通する出力端子５２に接続されている。 In the gap 24, a substantially cylindrical coil 30 having a winding conductor is disposed so as to circulate around the Y-axis direction. The coil 30 is supported by a pair of upper and lower support springs 40. The support spring 40 is fixed to the yoke 21. Thereby, in the space | gap part 24, it can displace relatively with respect to a magnetic circuit, and can vibrate. The coil 30 is formed by directly winding a coil wire only in a cylindrical shape without using a non-magnetic material bobbin, or by winding a coil wire rod in a cylindrical shape on a bobbin. Two lead wires 51 from the coil 30 are connected to an output terminal 52 that penetrates the lid of the case 10.

コイル３０がＹ軸方向に沿って振動すると、コイル３０と磁気回路との間の相対速度に比例した電圧Ｅがコイル３０の両端に発生する。この電圧は、下記式（１）で表すことができる。出力端子５２を用いてこの電圧Ｅを測定することにより、コイル３０の振動速度ｖを検出することができ、振動変位を検出することができる。
Ｅ＝ＢＬｖ（１）
Ｂ：コイル３０が位置している空隙部２４の磁束密度
Ｌ：コイル３０の有効長
ｖ：コイル３０と磁気回路との間の相対速度 When the coil 30 vibrates along the Y-axis direction, a voltage E proportional to the relative speed between the coil 30 and the magnetic circuit is generated at both ends of the coil 30. This voltage can be expressed by the following formula (1). By measuring this voltage E using the output terminal 52, the vibration speed v of the coil 30 can be detected, and the vibration displacement can be detected.
E = BLv (1)
B: Magnetic flux density of the gap 24 where the coil 30 is located L: Effective length of the coil 30 v: Relative speed between the coil 30 and the magnetic circuit

本実施形態に係る振動検出器１００は、ヨーク２１の上端に、有蓋であってＹ軸方向に沿って軸を有する略円筒形状の支持枠６０を備えている。支持枠６０は、非磁性体からなる。支持枠６０の外径はケース１０の内径よりも若干小さく設定されているため、支持枠６０は、ケース１０内に収容されるとともにケース１０内に固定される。 The vibration detector 100 according to the present embodiment includes a substantially cylindrical support frame 60 that is covered and has an axis along the Y-axis direction at the upper end of the yoke 21. The support frame 60 is made of a nonmagnetic material. Since the outer diameter of the support frame 60 is set to be slightly smaller than the inner diameter of the case 10, the support frame 60 is accommodated in the case 10 and fixed in the case 10.

支持枠６０の蓋部の下面中心部に、Ｙ軸方向に沿って軸を有する略円柱形状の位置決め部材７０が固定されている。位置決め部材７０は、非磁性体からなる。位置決め部材７０の下端には、磁性体８０が固定されている。Ｙ軸方向において、磁性体８０は、空隙部２４よりも上方に位置するが、当該空隙部２４の近傍に位置している。 A substantially cylindrical positioning member 70 having an axis along the Y-axis direction is fixed to the center of the lower surface of the lid portion of the support frame 60. The positioning member 70 is made of a nonmagnetic material. A magnetic body 80 is fixed to the lower end of the positioning member 70. In the Y-axis direction, the magnetic body 80 is located above the gap 24 but is located in the vicinity of the gap 24.

位置決め部材７０の熱膨張係数は、支持枠６０の熱膨張係数よりも高く設定されている。例えば、支持枠６０は、セラミックなどによって構成されている。位置決め部材７０は、アルミニウム、樹脂材などによって構成されている。それにより、周囲温度が上昇した場合に、支持枠６０の膨張量よりも位置決め部材７０の膨張量の方が大きくなる。したがって、磁性体８０は、周囲温度が低い場合よりも高い場合において、空隙部２４に近づくことになる。周囲温度が下降した場合には、支持枠６０の収縮量よりも位置決め部材７０の収縮量の方が大きくなる。したがって、磁性体８０は、周囲温度が高い場合よりも低い場合において、空隙部２４から遠ざかることになる。 The thermal expansion coefficient of the positioning member 70 is set to be higher than the thermal expansion coefficient of the support frame 60. For example, the support frame 60 is made of ceramic or the like. The positioning member 70 is made of aluminum, a resin material, or the like. Thereby, when the ambient temperature rises, the expansion amount of the positioning member 70 becomes larger than the expansion amount of the support frame 60. Therefore, the magnetic body 80 approaches the gap 24 when the ambient temperature is higher than when the ambient temperature is low. When the ambient temperature decreases, the contraction amount of the positioning member 70 is larger than the contraction amount of the support frame 60. Therefore, the magnetic body 80 moves away from the gap 24 when the ambient temperature is lower than when the ambient temperature is high.

ここで、本実施形態に係る振動検出器１００の効果について説明するため、比較形態に係る振動検出器２００について説明する。図２（ａ）は、振動検出器２００の構成を例示する模式的な断面図である。図２（ａ）で例示するように、振動検出器２００が振動検出器１００と異なる点は、支持枠６０、位置決め部材７０および磁性体８０が備わっていない点である。 Here, in order to explain the effect of the vibration detector 100 according to the present embodiment, the vibration detector 200 according to the comparative embodiment will be described. FIG. 2A is a schematic cross-sectional view illustrating the configuration of the vibration detector 200. As illustrated in FIG. 2A, the vibration detector 200 is different from the vibration detector 100 in that the support frame 60, the positioning member 70, and the magnetic body 80 are not provided.

振動検出器２００においても、出力端子５２を用いて電圧Ｅを測定することによって、振動速度ｖを検出することができる。しかしながら、磁石２２の特性は、周囲温度により変化する。例えば、周囲温度が高くなると、図２（ｂ）で例示した磁石２２の磁力が弱くなる傾向にある。したがって、振動検出器１００の感度が設置環境により変化し、振動検出器１００の測定精度が変動してしまう。 Also in the vibration detector 200, the vibration speed v can be detected by measuring the voltage E using the output terminal 52. However, the characteristics of the magnet 22 vary with the ambient temperature. For example, when the ambient temperature increases, the magnetic force of the magnet 22 illustrated in FIG. 2B tends to be weakened. Therefore, the sensitivity of the vibration detector 100 varies depending on the installation environment, and the measurement accuracy of the vibration detector 100 varies.

これに対して、本実施形態に係る振動検出器１００においては、磁性体８０が空隙部２４の近くに位置していることから、図１（ｂ）で例示するように、上述した磁束線のループの一部は磁性体８０を通過することになる。磁性体８０の位置が変動すると、磁性体８０を通過する磁束線の分布も変化する。周囲温度が高くなって磁石２２の磁力が弱くなった場合に、支持枠６０の熱膨張係数と位置決め部材７０の熱膨張係数との差を利用して、磁性体８０が空隙部２４に近づくことになる。この場合、空隙部２４の磁束密度が大きくなる。したがって、周囲温度が高くなって磁石２２の磁力が弱くなった場合における空隙部２４の磁束密度の変化が低減される。その結果、振動検出器１００の測定精度の変動を抑制することができる。 On the other hand, in the vibration detector 100 according to the present embodiment, since the magnetic body 80 is located near the gap portion 24, as illustrated in FIG. A part of the loop passes through the magnetic body 80. When the position of the magnetic body 80 varies, the distribution of magnetic flux lines passing through the magnetic body 80 also changes. When the ambient temperature becomes high and the magnetic force of the magnet 22 becomes weak, the magnetic body 80 approaches the gap portion 24 using the difference between the thermal expansion coefficient of the support frame 60 and the thermal expansion coefficient of the positioning member 70. become. In this case, the magnetic flux density in the gap 24 is increased. Therefore, the change in the magnetic flux density of the gap 24 when the ambient temperature becomes high and the magnetic force of the magnet 22 becomes weak is reduced. As a result, fluctuations in measurement accuracy of the vibration detector 100 can be suppressed.

なお、周囲温度が低くなって磁石２２の磁力が強くなった場合には、支持枠６０の熱膨張係数と位置決め部材７０の熱膨張係数との差を利用して、磁性体８０が空隙部２４から遠ざかることになる。この場合、空隙部２４の磁束密度が小さくなる。それにより、周囲温度が低くなって磁石２２の磁力が強くなった場合における空隙部２４の磁束密度の変化が低減される。その結果、振動検出器１００の測定精度の変動を抑制することができる。 Note that when the ambient temperature is lowered and the magnetic force of the magnet 22 is increased, the magnetic body 80 is formed in the gap portion 24 by utilizing the difference between the thermal expansion coefficient of the support frame 60 and the thermal expansion coefficient of the positioning member 70. It will be away from. In this case, the magnetic flux density in the gap 24 is reduced. Thereby, the change in the magnetic flux density of the gap 24 when the ambient temperature is lowered and the magnetic force of the magnet 22 is increased is reduced. As a result, fluctuations in measurement accuracy of the vibration detector 100 can be suppressed.

本実施形態においては、ヨーク２１、磁石２２およびトッププレート２３が、磁石を備え一部に空隙部を有する磁気回路の一例として機能する。コイル３０が、前記空隙部に配置され前記磁気回路に対して相対的に変位可能な導体の一例として機能する。支持枠６０が、低熱膨張係数材料の一例として機能する。位置決め部材７０が、高熱膨張係数材料の一例として機能する。磁性体８０が、低熱膨張係数材料と高熱膨張係数材料との熱膨張係数差を利用して、周囲温度が高くなれば前記空隙部に近づき、周囲温度が低くなれば前記空隙部から遠ざかることで、前記空隙部における磁束密度の変化を低減する低減部材の一例として機能する。 In the present embodiment, the yoke 21, the magnet 22, and the top plate 23 function as an example of a magnetic circuit that includes a magnet and partially has a gap. The coil 30 functions as an example of a conductor that is disposed in the gap and is relatively displaceable with respect to the magnetic circuit. The support frame 60 functions as an example of a low thermal expansion coefficient material. The positioning member 70 functions as an example of a high thermal expansion coefficient material. By utilizing the difference in thermal expansion coefficient between the low thermal expansion coefficient material and the high thermal expansion coefficient material, the magnetic body 80 approaches the gap when the ambient temperature increases, and moves away from the gap when the ambient temperature decreases. , And functions as an example of a reducing member that reduces a change in magnetic flux density in the gap.

（第２実施形態）
図３（ａ）は、第２実施形態に係る振動検出器１００ａを例示する模式的な断面図である。振動検出器１００ａが図１の振動検出器１００と異なる点は、磁性体８０の代わりに磁石９０が設けられている点である。磁石９０は、図４（ａ）で例示するように、磁石９０が生成する磁場と、ヨーク２１、磁石２２、トッププレート２３および空隙部２４によって構成される磁気回路が生成する磁場とが互いに反発するように配置される。例えば、図４（ｂ）で例示するように、磁石２２のＮ極がＹ軸上方に位置し、Ｓ極がＹ軸下方に位置する場合には、磁石９０は、Ｎ極がＹ軸下方に位置し、Ｓ極がＹ軸上方に位置するように配置される。図４（ｃ）で例示するように、磁石２２のＳ極がＹ軸上方に位置し、Ｎ極がＹ軸下方に位置する場合には、磁石９０は、Ｓ極がＹ軸下方に位置し、Ｎ極がＹ軸上方に位置するように配置される。 (Second Embodiment)
FIG. 3A is a schematic cross-sectional view illustrating a vibration detector 100a according to the second embodiment. The vibration detector 100 a is different from the vibration detector 100 of FIG. 1 in that a magnet 90 is provided instead of the magnetic body 80. As illustrated in FIG. 4A, the magnet 90 repels the magnetic field generated by the magnet 90 and the magnetic field generated by the magnetic circuit formed by the yoke 21, the magnet 22, the top plate 23, and the gap 24. To be arranged. For example, as illustrated in FIG. 4B, when the N pole of the magnet 22 is located above the Y axis and the S pole is located below the Y axis, the magnet 90 has the N pole below the Y axis. Positioned so that the south pole is located above the Y axis. As illustrated in FIG. 4C, when the S pole of the magnet 22 is located above the Y axis and the N pole is located below the Y axis, the magnet 90 has the S pole located below the Y axis. , N poles are arranged so as to be located above the Y axis.

磁石２２が生成する磁束線と、磁石９０が生成する磁束線とは、互いに交差しない。したがって、図３（ｂ）で例示するように、磁石９０が空隙部２４に近づくと、磁石２２が生成する磁束線がＹ軸方向の下方に押し込まれる。それにより、空隙部２４の磁束密度が大きくなる。磁石９０が空隙部２４から遠ざかると、空隙部２４の磁束密度が小さくなる。 The magnetic flux lines generated by the magnet 22 and the magnetic flux lines generated by the magnet 90 do not intersect each other. Therefore, as illustrated in FIG. 3B, when the magnet 90 approaches the gap 24, the magnetic flux lines generated by the magnet 22 are pushed downward in the Y-axis direction. Thereby, the magnetic flux density of the gap 24 is increased. When the magnet 90 moves away from the gap 24, the magnetic flux density in the gap 24 decreases.

本実施形態においては、周囲温度が上昇して磁石２２の磁力が弱くなった場合に、支持枠６０の熱膨張係数と位置決め部材７０の熱膨張係数との差を利用して、磁石９０が空隙部２４に近づくことになる。それにより、空隙部２４における磁束密度の変化が低減される。その結果、振動検出器１００ａの測定精度の変動を抑制することができる。 In the present embodiment, when the ambient temperature rises and the magnetic force of the magnet 22 becomes weak, the magnet 90 is formed into a gap by utilizing the difference between the thermal expansion coefficient of the support frame 60 and the thermal expansion coefficient of the positioning member 70. The part 24 is approached. Thereby, the change in the magnetic flux density in the gap 24 is reduced. As a result, fluctuations in measurement accuracy of the vibration detector 100a can be suppressed.

なお、周囲温度が低くなって磁石２２の磁力が強くなった場合には、支持枠６０の熱膨張係数と位置決め部材７０の熱膨張係数との差を利用して、磁石９０が空隙部２４から遠ざかることになる。それにより、空隙部２４における磁束密度の変化が低減される、その結果、振動検出器１００ａの測定精度の変動を抑制することができる。 When the ambient temperature is lowered and the magnetic force of the magnet 22 is increased, the magnet 90 is removed from the gap portion 24 by utilizing the difference between the thermal expansion coefficient of the support frame 60 and the thermal expansion coefficient of the positioning member 70. I will go away. Thereby, the change in the magnetic flux density in the gap portion 24 is reduced, and as a result, fluctuations in the measurement accuracy of the vibration detector 100a can be suppressed.

本実施形態においては、ヨーク２１、磁石２２およびトッププレート２３が、磁石を備え一部に空隙部を有する磁気回路の一例として機能する。コイル３０が、前記空隙部に配置され前記磁気回路に対して相対的に変位可能な導体の一例として機能する。支持枠６０が、低熱膨張係数材料の一例として機能する。位置決め部材７０が、高熱膨張係数材料の一例として機能する。磁石９０が、低熱膨張係数材料と高熱膨張係数材料との熱膨張係数差を利用して、周囲温度が高くなれば前記空隙部に近づき、周囲温度が低くなれば前記空隙部から遠ざかることで、前記空隙部における磁束密度の変化を低減する低減部材の一例として機能する。 In the present embodiment, the yoke 21, the magnet 22, and the top plate 23 function as an example of a magnetic circuit that includes a magnet and partially has a gap. The coil 30 functions as an example of a conductor that is disposed in the gap and is relatively displaceable with respect to the magnetic circuit. The support frame 60 functions as an example of a low thermal expansion coefficient material. The positioning member 70 functions as an example of a high thermal expansion coefficient material. By using the difference in thermal expansion coefficient between the low thermal expansion coefficient material and the high thermal expansion coefficient material, the magnet 90 approaches the gap when the ambient temperature is high, and away from the gap when the ambient temperature is low. It functions as an example of a reducing member that reduces a change in magnetic flux density in the gap.

以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to such specific embodiments, and various modifications and changes can be made within the scope of the gist of the present invention described in the claims. It can be changed.

１０ケース
２１ヨーク
２２磁石
２３トッププレート
２４空隙部
３０コイル
４０支持バネ
５１リード線
５２出力端子
６０支持枠
７０位置決め部材
８０磁性体
９０磁石
１００振動検出器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Case 21 Yoke 22 Magnet 23 Top plate 24 Cavity 30 Coil 40 Support spring 51 Lead wire 52 Output terminal 60 Support frame 70 Positioning member 80 Magnetic body 90 Magnet 100 Vibration detector

Claims

A vibration detector comprising a magnetic circuit having a gap in part with a magnet and a conductor disposed in the gap and displaceable relative to the magnetic circuit,
By utilizing the difference in thermal expansion coefficient between the low thermal expansion coefficient material and the high thermal expansion coefficient material, if the ambient temperature is high, the gap portion is approached, and if the ambient temperature is low, the gap portion is moved away. A vibration detector comprising a reduction member that reduces a change in magnetic flux density.

The vibration detector according to claim 1, wherein the reduction member is a magnetic body.

The vibration detector according to claim 1, wherein the reduction member is a magnet that generates a magnetic field that repels a magnetic field generated by the magnetic circuit.