JP2019174261A - Measurement head and method for adjusting temperature characteristic thereof - Google Patents

Measurement head and method for adjusting temperature characteristic thereof Download PDF

Info

Publication number
JP2019174261A
JP2019174261A JP2018062230A JP2018062230A JP2019174261A JP 2019174261 A JP2019174261 A JP 2019174261A JP 2018062230 A JP2018062230 A JP 2018062230A JP 2018062230 A JP2018062230 A JP 2018062230A JP 2019174261 A JP2019174261 A JP 2019174261A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
sensor
contact
measuring head
fixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018062230A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP7080692B2 (en
Inventor
大輔 工藤
Daisuke Kudo
大輔 工藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Seimitsu Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Seimitsu Co Ltd filed Critical Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority to JP2018062230A priority Critical patent/JP7080692B2/en
Publication of JP2019174261A publication Critical patent/JP2019174261A/en
Priority to JP2022083816A priority patent/JP7254997B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7080692B2 publication Critical patent/JP7080692B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

To provide a method for widely adjusting a temperature characteristic of a contact-type measurement head.SOLUTION: A contact-type measurement head for measuring outer diameter of a work piece 55 comprises: a sensor rod 20 having one end which is a tip having a contact piece 21 in contact with the work piece 55 and the other end which is connected to a linear scale 6 detecting travel distance of the contact piece 21, and a measurement head main body 11-1. The sensor part has a first plate 8a which is a plate-like member with one end fixed to a reference position 11-2, a second plate 8b fixed to the first plate 8a through a spacer 32, and a substrate provided with a sensor 4 for detecting travel distance of the contact piece 21 by detecting travel distance of the linear scale 6 and fixed to the second plate 8b.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、例えば円柱状のワークの外径等を高精度に測定する接触式の測定ヘッド及びその温度特性を調整する方法に関し、特に工作機械、研削装置等に測定ヘッドを取り付けて自動測定するのに好適である。   The present invention relates to a contact-type measuring head that measures, for example, the outer diameter of a cylindrical workpiece with high accuracy and a method for adjusting the temperature characteristics thereof, and in particular, automatically measures by attaching a measuring head to a machine tool, a grinding device, or the like. It is suitable for.

従来、製品の多様化、商品寿命の短期化といった市場の流れに対応する生産設備の手段として加工機のフレキシブル化、自動化については、小中量、大量生産に係らず、加工品質の維持、監視など、インプロセス計測が必要となる。インプロセス計測は、加工現場での環境下で信頼性の高い、高精度かつ高能率な測定が必要とされる。また、切粉、切削液、温度変動、機械振動などの影響を十分回避するために、接触子をワークに当接させる接触式の外径測定装置が広く用いられている。   Conventionally, as a means of production equipment that responds to market flows such as diversification of products and shortening of product life, flexible and automated processing machines are used to maintain and monitor processing quality regardless of small to medium volume and mass production. In-process measurement is required. In-process measurement requires highly reliable, highly accurate and highly efficient measurement under the environment at the processing site. Further, in order to sufficiently avoid the influence of chips, cutting fluid, temperature fluctuation, mechanical vibration, etc., a contact-type outer diameter measuring device that makes the contact contact with the workpiece is widely used.

また、スリムでコンパクトなゲージで、隣接した多点計測を得意とし様々な形状の測定を正確に行うことができる高精度な接触式の小型デジタル測長器が知られている。小型デジタル測長器は、センサ部として直径10mm程度の中に小型光学スケールが内蔵され、隣接した多点測定を可能としたペンシル型高精度デジタル測長器、あるいはインプロセス用のマシンコントロールゲージ測定ヘッドとして用いられている。また、現場での外径測定、段差測定、厚さ測定、多点測定等のため、高精度のみならず、小型省スペース、防水性、一般的なクーラント・油に対する耐性等の高い耐環境性、繰り返し測定のための耐久性、メンテナンス不要で長寿命などが強く要望されている。   In addition, there is known a high-precision contact-type small digital length measuring device that is capable of accurately measuring various shapes with a slim and compact gauge and capable of measuring adjacent multiple points. A small digital length measuring instrument has a built-in small optical scale with a diameter of about 10mm as a sensor part, and a pencil-type high-precision digital length measuring instrument that can measure multiple adjacent points, or an in-process machine control gauge measurement. Used as a head. In addition, on-site outer diameter measurement, step measurement, thickness measurement, multi-point measurement, etc., not only high accuracy, but also high environmental resistance such as small space saving, water resistance, general coolant / oil resistance, etc. There is a strong demand for durability for repeated measurement, long service life without maintenance, etc.

さらに、自動車のエンジン等に用いられるクランクシャフト研削盤等のクランクシャフト加工機において、ジャーナルの軸線を中心に回転するクランクピンの外径寸法をクランクピンの研削加工中に外径測定用ゲージで測定することでインプロセス計測が行われ、例えば、特許文献1に記載されている。   Furthermore, in crankshaft processing machines such as crankshaft grinders used in automobile engines, etc., the outer diameter of the crankpin that rotates around the journal axis is measured with an outer diameter measuring gauge during crankpin grinding. Thus, in-process measurement is performed, which is described in Patent Document 1, for example.

特開2017−67512号公報JP 2017-67512 A

ペンシル型高精度デジタル測長器、あるいはインプロセス用のマシンコントロールゲージ測定ヘッドとして用いられる小型デジタル測長器は、センサ部を小型省スペース、防水、油に対する耐性等の高い耐環境性とするため、センサ部の筐体内部の気密性を高める必要があり、その分回路の発熱により、熱がこもる。そして、センサ先端の光学スケールや光学式エンコーダを取り付ける部位が熱をもつことにより熱膨張し、光学スケールと光学式エンコーダとの相対位置関係が変化し、測定値に影響する恐れがあった。   Pencil-type high-precision digital length measuring device or small digital length measuring device used as an in-process machine control gauge measuring head is designed to make the sensor unit small and space-saving, waterproof and highly resistant to oil, etc. Therefore, it is necessary to improve the airtightness inside the housing of the sensor unit, and heat is stored by the heat generated by the circuit. Then, the portion where the optical scale and the optical encoder at the tip of the sensor are attached has thermal expansion, and the relative positional relationship between the optical scale and the optical encoder changes, which may affect the measured value.

特許文献1に記載の外径測定用ゲージは、インプロセス用のマシンコントロールゲージ測定ヘッドであり、クランクピンの外径寸法をクランクピンの研削加工中に測定する。したがって、機械振動ばかりでなく、加工現場の環境下での大きな温度変動、加工中のワークからの伝熱の精度への影響を大きく受ける。したがって、クランクピンの測定のように複数個所を測定する場合、特に、測定ヘッドの温度特性を調整する必要があった。また、測定ヘッドの温度特性は、同じ形状の異なる熱膨張係数の部品を組み付けて調整を行う方法を取っている。   The outer diameter measuring gauge described in Patent Document 1 is an in-process machine control gauge measuring head, and measures the outer diameter of a crank pin during grinding of the crank pin. Therefore, it is greatly affected not only by machine vibration but also by large temperature fluctuations in the environment of the processing site and accuracy of heat transfer from the workpiece being processed. Therefore, when measuring a plurality of locations such as measuring a crankpin, it is necessary to adjust the temperature characteristics of the measuring head. The temperature characteristics of the measuring head are adjusted by assembling parts having the same shape and different thermal expansion coefficients.

上記のため、温度特性を調整するための部品は、複数の材料で同一形状の部品を事前に複数用意して交換しなければならず、在庫を管理することが困難であった。さらに、複数の材料で同一形状の部品を用意することは少量生産となること、調整時の部品交換の度に工数が掛かること、より、コスト高となっていた。   For this reason, the parts for adjusting the temperature characteristics have to be prepared and replaced in advance with a plurality of parts of the same shape made of a plurality of materials, making it difficult to manage the inventory. Furthermore, preparing parts having the same shape with a plurality of materials requires a small amount of production, and requires more man-hours for each replacement of parts during adjustment, resulting in higher costs.

本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、少ない種類の材料、形状の部品で幅広く測定ヘッドの温度特性を調整することにある。また、それによって、在庫管理を容易とし、簡単で簡素化した調整、工数の削減、コスト低減を行うことにある。さらに、他の目的としては、加工現場の環境条件、特に温度条件に係らず、高精度で、安定した測定精度、繰り返し精度を確保することにある。   An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art and adjust the temperature characteristics of a measuring head widely with a small number of kinds of materials and shapes. In addition, it is to facilitate inventory management, and to perform simple and simplified adjustment, reduction of man-hours, and cost reduction. Another object is to ensure high accuracy, stable measurement accuracy, and repeatability regardless of the environmental conditions of the processing site, particularly temperature conditions.

上記目的を達成する本発明は、ワークの外径を測定する接触式の測定ヘッドにおいて、
一端が前記ワークに当接する接触子を有する先端部とされ、他端は前記接触子の移動距離を検出するセンサ部のリニアスケールに接続されたセンサロッドと、該センサロッドを保持している測定ヘッド本体と、を有し、前記センサ部は、一端が前記測定ヘッド本体の基準位置に固定されている板状部材の第1プレートと、前記第1プレートにスペーサを介して固定される第2プレートと、前記リニアスケールの移動距離を検出することで前記接触子の移動距離を検出するセンサが設けられ、前記第2プレートに固定された基板と、を備えたものである。
The present invention for achieving the above object is a contact-type measuring head for measuring the outer diameter of a workpiece.
One end is a tip portion having a contact that contacts the workpiece, and the other end is a sensor rod connected to a linear scale of a sensor unit that detects a moving distance of the contact, and a measurement that holds the sensor rod A first plate of a plate member having one end fixed to a reference position of the measurement head main body, and a second plate fixed to the first plate via a spacer. A plate, and a substrate that is provided with a sensor that detects a moving distance of the contact by detecting a moving distance of the linear scale, and is fixed to the second plate.

また、上記のものにおいて、前記第1プレートと第2プレートは板状部材とされ、少なくともいずれか一方に長穴が設けられ、その範囲で固定位置を任意に変えることを可能としたことが望ましい。   Further, in the above, it is desirable that the first plate and the second plate are plate-like members, and at least one of them is provided with a long hole, and the fixing position can be arbitrarily changed within the range. .

さらに、前記第1プレート前記第2プレートとで熱膨張率が異なることが望ましい。   Further, it is desirable that the first plate and the second plate have different coefficients of thermal expansion.

さらに、前記第2プレートを第1プレートに比べて低熱膨張材としたことが望ましい。   Furthermore, it is desirable that the second plate be a low thermal expansion material compared to the first plate.

さらに、前記センサロッドと前記第1プレートを鉄、前記リニアスケールを石英、前記第2プレートをNi系合金、前記測定ヘッド本体をアルミニウムとしたことが望ましい。   Further, it is desirable that the sensor rod and the first plate are iron, the linear scale is quartz, the second plate is a Ni-based alloy, and the measuring head body is aluminum.

また、本発明は、ワークの外径を測定する接触式の測定ヘッドにおいて、一端が前記ワークに当接する接触子を有する先端部とされ、他端は前記接触子の移動距離を検出するセンサ部のリニアスケールに接続されたセンサロッドと、該センサロッドを保持している測定ヘッド本体と、を有し、前記センサ部は、一端が前記測定ヘッド本体の基準位置に固定されている板状部材の第1プレートと、前記第1プレートにスペーサを介して固定される第2プレートと、前記第2プレートに固定される取付板と、前記リニアスケールの移動距離を検出することで前記接触子の移動距離を検出するセンサが設けられ、前記取付板に固定された基板と、を備えたものである。   Further, the present invention provides a contact-type measuring head for measuring the outer diameter of a workpiece, wherein one end is a tip portion having a contact that abuts against the workpiece, and the other end is a sensor unit that detects a moving distance of the contact. A plate-shaped member having a sensor rod connected to the linear scale and a measurement head body holding the sensor rod, the sensor unit having one end fixed to a reference position of the measurement head body The first plate, a second plate fixed to the first plate via a spacer, a mounting plate fixed to the second plate, and a moving distance of the linear scale to detect the contact of the contact A sensor for detecting a movement distance, and a substrate fixed to the mounting plate.

さらに、上記のものにおいて、前記第2プレートの材質は前記取付板に対して、より低熱膨張材としたことが望ましい。   Furthermore, in the above, it is preferable that the second plate is made of a material having a lower thermal expansion than the mounting plate.

さらに、上記のものにおいて、前記取付板は、左右の前記取付穴の中央部に左右対称のV字状の切込みが設けられていることが望ましい。   Furthermore, in the above-mentioned thing, it is desirable that the mounting plate is provided with a left and right symmetrical V-shaped cut at the center of the left and right mounting holes.

また、本発明は、一端がワークに当接する接触子を有する先端部とされ、他端は前記接触子の移動距離を検出するセンサ部のリニアスケールに接続されたセンサロッドと、を有し、前記ワークの外径を測定する接触式の測定ヘッドの温度特性を調整する方法であって、前記センサ部は、一端が前記測定ヘッド本体の基準位置に固定されている板状部材の第1プレートと、前記第1プレートにスペーサを介して固定される第2プレートと、前記リニアスケールの移動距離を検出することで前記接触子の移動距離を検出するセンサが設けられ、前記第2プレートに固定された基板と、を有し、前記第1プレートと第2プレートとの固定位置を可変することを特徴とする。   In addition, the present invention has a sensor rod connected to a linear scale of a sensor unit, one end of which has a contact that abuts against the workpiece, and the other end detects a moving distance of the contact, A method of adjusting a temperature characteristic of a contact-type measuring head for measuring an outer diameter of the workpiece, wherein the sensor unit is a first plate of a plate-like member whose one end is fixed at a reference position of the measuring head main body. And a second plate fixed to the first plate via a spacer, and a sensor for detecting the moving distance of the contact by detecting the moving distance of the linear scale is fixed to the second plate. And a fixed position between the first plate and the second plate is variable.

本発明によれば、先端部に接触子を有するセンサロッドで接触子の移動距離を検出する測定ヘッドにおいて、一端が測定ヘッド本体の基準位置に固定されている板状部材の第1プレートにスペーサを介して第2プレートを固定し、センサが設けられた基板を第2プレートに固定するので、第1プレートと第2プレートの固定位置を可変するだけで、幅広く測定ヘッドの温度特性を調整することができる。   According to the present invention, in the measuring head that detects the moving distance of the contact with the sensor rod having the contact at the tip, the spacer is attached to the first plate of the plate member whose one end is fixed at the reference position of the measurement head body. Since the second plate is fixed via the substrate and the substrate on which the sensor is provided is fixed to the second plate, the temperature characteristics of the measuring head can be adjusted widely only by changing the fixing position of the first plate and the second plate. be able to.

したがって、在庫管理を容易とし、簡単で簡素化した調整、工数の削減を可能とできる。また、加工現場の環境条件、特に温度条件に係らず、高精度で、安定した測定精度、繰り返し精度を確保できる。   Therefore, inventory management is facilitated, and simple and simplified adjustment and reduction of man-hours are possible. In addition, it is possible to ensure high accuracy, stable measurement accuracy, and repeatability regardless of environmental conditions at the processing site, particularly temperature conditions.

本発明の一実施形態に係る測定ヘッドの断面図Sectional drawing of the measuring head which concerns on one Embodiment of this invention 本発明の一実施形態に係る測定ヘッド要部を矢印P方向から見た上面図The top view which looked at the measuring head principal part concerning one embodiment of the present invention from the arrow P direction 本発明による一実施形態に係る測定ヘッド要部を矢印Q方向から見た下面図The bottom view which looked at the measuring head principal part concerning one embodiment by the present invention from the arrow Q direction. 本発明による他の実施形態に係る外径測定器を備える研削装置の正面図The front view of a grinding device provided with the outside diameter measuring instrument concerning other embodiments by the present invention. 本発明による他の実施形態に係る外径測定器を備える研削装置の側面図The side view of a grinding device provided with the outside diameter measuring instrument concerning other embodiments by the present invention. 他の実施形態に係る外径測定器の先端部Sを一部断面とした平面図The top view which made the front-end | tip part S of the outer diameter measuring device which concerns on other embodiment a partial cross section 他の実施形態に係る外径測定器におけるセンサ部Gの断面図Sectional drawing of the sensor part G in the outer diameter measuring device which concerns on other embodiment. 他の実施形態に係る測定ヘッド要部を矢印P方向から見た上面図The top view which looked at the principal part of the measuring head concerning other embodiments from the arrow P direction 他の実施形態に係る外径測定器の取付板の変位を説明する図The figure explaining the displacement of the mounting plate of the outer diameter measuring device which concerns on other embodiment. 他の実施形態に係わる取付板の詳細な形状を示す平面図The top view which shows the detailed shape of the mounting plate concerning other embodiment

以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の一実施例に係る測定ヘッド11の断面図であり、図2は測定ヘッド要部を矢印P方向から見た上面図、図3は測定ヘッド要部を矢印Q方向から見た下面図である。測定ヘッドは、例えばペンシル型高精度デジタル測長器、あるいはインプロセス用のマシンコントロールゲージ測定ヘッドとして用いられる小型デジタル測長器である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 1 is a cross-sectional view of a measurement head 11 according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a top view of the main part of the measurement head viewed from the direction of arrow P, and FIG. 3 is the main part of the measurement head from the direction of arrow Q. FIG. The measuring head is, for example, a pencil type high-precision digital length measuring device or a small digital length measuring device used as a machine control gauge measuring head for in-process.

測定ヘッド11は、直径10mm程度の測定ヘッド本体11-1の中にセンサ部として小型光学スケールであるリニアスケール6が内蔵されている。測定ヘッド11-1の一端には、中央部にセンサロッド20が保持される。センサロッド20先端に設けられた接触子21は、測定対象であるワーク55に当接し、測定対象を押圧するようにバネ36によって付勢される。また、センサロッド20は、先端から測定ヘッド本体11-1を貫通してセンサ部Gまで伸びて接続されている。測定対象であるワーク55のサイズの変動は、センサロッド20の接触子21の移動距離として捉えられ、測定ヘッド本体11-1の他端側に設けられたセンサ部Gで検出するタイプである。   The measuring head 11 includes a linear scale 6 which is a small optical scale as a sensor unit in a measuring head body 11-1 having a diameter of about 10 mm. A sensor rod 20 is held at the center of one end of the measuring head 11-1. The contact 21 provided at the tip of the sensor rod 20 abuts on the workpiece 55 that is a measurement target and is biased by a spring 36 so as to press the measurement target. The sensor rod 20 extends from the tip through the measurement head body 11-1 to the sensor unit G and is connected. The variation in the size of the workpiece 55 that is the measurement target is captured as the movement distance of the contact 21 of the sensor rod 20, and is detected by the sensor unit G provided on the other end side of the measurement head main body 11-1.

センサロッド20はセンサ部Gでリニアスケール6と接続され、センサ4と共に、リニアセンサを構成する。センサ部Gでは、長方形の板状部材である第1プレート8aの一端が測定ヘッド本体11-1の基準位置11-2に固定されている。第1プレート8aには、スペーサ32を介して板状部材である第2プレート8bがねじ9によって固定される。ここで、第1プレート8aと第2プレート8bは、長手方向に長穴34-1、34-2がそれぞれ設けられ、その範囲で取付位置を任意に変えることができる。なお、長穴34-1、34-2はどちらか一方だけとしても同様である。   The sensor rod 20 is connected to the linear scale 6 at the sensor portion G, and constitutes a linear sensor together with the sensor 4. In the sensor unit G, one end of the first plate 8a, which is a rectangular plate member, is fixed to the reference position 11-2 of the measurement head main body 11-1. A second plate 8b, which is a plate-like member, is fixed to the first plate 8a with a screw 9 via a spacer 32. Here, the first plate 8a and the second plate 8b are respectively provided with elongated holes 34-1 and 34-2 in the longitudinal direction, and the mounting position can be arbitrarily changed within the range. The same applies to either one of the long holes 34-1 and 34-2.

基板3は第2プレート8bにねじ35-1、35-2で取り付けられ、基板3の中央部にはセンサ4が設けられる。リニアスケール6は、センサロッド20の移動と共に移動する。リニアスケール6には、例えば白黒の細かいパターンが描かれる。そして、センサ4はリニアスケール6のパターンへ発光してパターンの反射光を受光し、その移動量を検出する。   The substrate 3 is attached to the second plate 8b with screws 35-1 and 35-2, and the sensor 4 is provided at the center of the substrate 3. The linear scale 6 moves with the movement of the sensor rod 20. For example, a black and white fine pattern is drawn on the linear scale 6. The sensor 4 emits light to the pattern of the linear scale 6 to receive the reflected light of the pattern, and detects the amount of movement.

温度上昇によるリニアスケール6側の伸びは、ワーク55の伸び、センサロッド20の伸び、リニアスケール6の伸びの和となる。センサ4側は、測定ヘッド本体11-1の伸び、第1プレート8aと第2プレート8bとによる伸びの和となる。リニアスケール6側の伸びに対してのセンサ4側の伸びを等しくすれば、リニアスケール6側の伸び量、移動量を補償できる。したがって、センサ4による検出誤差が少なくなり、温度上昇があっても高精度化を図ることができる。   The elongation on the linear scale 6 side due to the temperature rise is the sum of the elongation of the workpiece 55, the elongation of the sensor rod 20, and the elongation of the linear scale 6. The sensor 4 side is the sum of the extension of the measurement head body 11-1 and the extension of the first plate 8a and the second plate 8b. If the elongation on the sensor 4 side is equal to the elongation on the linear scale 6 side, the amount of elongation and movement on the linear scale 6 side can be compensated. Therefore, the detection error by the sensor 4 is reduced, and high accuracy can be achieved even if the temperature rises.

第1プレート8aと第2プレート8bとによる伸びは、長穴34-1、34-2を利用して固定位置を変えて、第1プレート8aの固定位置から測定ヘッド本体11-1の基準位置11-2までの距離、第2プレート8bの固定位置からセンサ4までの距離を可変すれば、温度上昇による伸びはそれぞれの差となり、温度上昇によるセンサ4側の伸びを調整できる。また、第1プレート8aと第2プレート8bとで熱膨張率が異なるようにしても、温度上昇によるセンサ4側の伸びを変えることができる。なお、第2プレート8bを第1プレート8aに比べて低熱膨張材とした方が調整範囲を広くすることができ、調整が容易となる。   The extension by the first plate 8a and the second plate 8b is performed by changing the fixing position using the long holes 34-1 and 34-2, and the reference position of the measuring head main body 11-1 from the fixing position of the first plate 8a. If the distance to 11-2 and the distance from the fixed position of the second plate 8b to the sensor 4 are varied, the elongation due to the temperature rise will be the difference between them, and the elongation on the sensor 4 side due to the temperature rise can be adjusted. Further, even if the first plate 8a and the second plate 8b have different coefficients of thermal expansion, the elongation on the sensor 4 side due to temperature rise can be changed. Note that the adjustment range can be widened and adjustment can be facilitated by using the second plate 8b as a low thermal expansion material compared to the first plate 8a.

例えば、ワーク55、センサロッド20と、第1プレート8aを鉄とすると線膨張係数は、11.7×10−6となる。リニアスケール6を石英とすると線膨張係数は、10.3×10−6となる。第2プレート8bは低熱膨張材であるNi系合金とすると0.7×10−6となる。測定ヘッド本体11-1はアルミニウムとすると線膨張係数23.4×10−6となる。さらに、ワーク55の直径を25mm、温度変化を15℃とすると、リニアスケール6側の伸び量=ワーク55の伸び(11.7×10−6×(25/2)×15)+センサロッド20の伸び(長さを100mmとして、11.7×10−6×100×15)+リニアスケール6の伸び(長さを20mmとして、10.3×10−6×20×15)となる。 For example, if the workpiece 55, the sensor rod 20, and the first plate 8a are made of iron, the linear expansion coefficient is 11.7 × 10 −6 . When the linear scale 6 is made of quartz, the linear expansion coefficient is 10.3 × 10 −6 . The second plate 8b is 0.7 × 10 −6 if it is a Ni-based alloy that is a low thermal expansion material. If the measuring head body 11-1 is made of aluminum, the coefficient of linear expansion is 23.4 × 10 −6 . Further, when the diameter of the workpiece 55 is 25 mm and the temperature change is 15 ° C., the amount of elongation on the linear scale 6 side = the elongation of the workpiece 55 (11.7 × 10 −6 × (25/2) × 15) + sensor rod 20 (11.7 × 10 −6 × 100 × 15 when the length is 100 mm) + elongation of the linear scale 6 (10.3 × 10 −6 × 20 × 15 when the length is 20 mm).

センサ4側の伸び量は、第1プレート8aの固定位置から測定ヘッド本体11-1の基準となる位置までの距離をL、第2プレート8bの固定位置からセンサ4までの距離をL−5として、センサ4側の伸び量=測定ヘッド本体11-1の伸び(測定ヘッドの保持位置から測定ヘッド本体11−1の基準となる位置までの長さを30mmとして、23.4×10−6×30×15)+第1プレート8aの伸び(11.7×10−6×L×15)−第2プレート8bの伸び(0.7×10−6×(L−5)×15)となる。 The amount of elongation on the sensor 4 side is the distance from the fixed position of the first plate 8a to the reference position of the measuring head body 11-1, and the distance from the fixed position of the second plate 8b to the sensor 4 is L-5. Elongation amount on the sensor 4 side = elongation of the measurement head main body 11-1 (23.4 × 10 −6 assuming that the length from the measurement head holding position to the reference position of the measurement head main body 11-1 is 30 mm. × 30 × 15) + Elongation of the first plate 8a (11.7 × 10 −6 × L × 15) −Elongation of the second plate 8b (0.7 × 10 −6 × (L-5) × 15) Become.

リニアスケール6側の伸び量=センサ4側の伸び量とすれば、L=74となる。したがって、ワーク55の直径を25mm、温度変化を15℃のとき、第1プレート8aと第2プレート8bとの固定位置Lを74mmとすれば温度変化を15℃によるリニアスケール6側の伸び量を相殺でき、温度変化による測定値の変化を無くすことができる。同様に、ワーク55の直径を45mmとするとL=85となり、ワーク55の直径、測定径に合わせて第1プレート8aと第2プレート8bとの固定位置Lを変えれば、温度変化による測定値の変化を無くして高精度化を図ることができる。   If the amount of elongation on the linear scale 6 side = the amount of elongation on the sensor 4 side, then L = 74. Therefore, when the diameter of the workpiece 55 is 25 mm and the temperature change is 15 ° C., if the fixing position L between the first plate 8 a and the second plate 8 b is 74 mm, the amount of elongation on the linear scale 6 side when the temperature change is 15 ° C. It is possible to cancel, and the change of the measured value due to the temperature change can be eliminated. Similarly, if the diameter of the work 55 is 45 mm, L = 85, and if the fixing position L between the first plate 8a and the second plate 8b is changed in accordance with the diameter and measurement diameter of the work 55, the measured value due to the temperature change is changed. High accuracy can be achieved without change.

次に、他の実施形態として、本発明をクランクピンの外径寸法をクランクピンの研削加工中に測定する研削装置へ適用した例として説明する。図4及び図5は、外径測定器10及びそれを備える研削装置80の概略図であり、図4は研削装置80の正面図、図5は研削装置80の側面図である。研削対象であるワーク55は、内燃機関のクランク軸が有するクランクピン55である。   Next, as another embodiment, the present invention will be described as an example in which the present invention is applied to a grinding device that measures the outer diameter of a crankpin during grinding of the crankpin. 4 and 5 are schematic views of the outer diameter measuring instrument 10 and a grinding device 80 including the same, FIG. 4 is a front view of the grinding device 80, and FIG. 5 is a side view of the grinding device 80. The workpiece 55 to be ground is a crankpin 55 included in the crankshaft of the internal combustion engine.

図4において、研削装置80では、回転運動(図1では反時計回りの回転)する砥石84が砥石支持部材83に回転可能に支持されている。なお、砥石84は図5示すように、回転駆動機構(モータ)88により回転駆動される。砥石支持部材83は、砥石84の回転軸に直角な方向に進退(B/F)可能に設けられた砥石ベース82に固定されている。   In FIG. 4, in the grinding apparatus 80, a grindstone 84 that rotates (counterclockwise in FIG. 1) is rotatably supported by a grindstone support member 83. The grindstone 84 is rotationally driven by a rotational driving mechanism (motor) 88 as shown in FIG. The grindstone support member 83 is fixed to a grindstone base 82 provided so as to be able to advance and retreat (B / F) in a direction perpendicular to the rotation axis of the grindstone 84.

砥石ベース82の下面には、間隔を置いてガイドレール81に係合する直動ガイド85が設けられている。直動ガイド85は、基礎に固定されたレール上を滑動する。砥石ベース82を進退させる直動機構86が砥石ベース82上に配置されている。   On the lower surface of the grindstone base 82, a linear motion guide 85 that engages with the guide rail 81 is provided at an interval. The linear motion guide 85 slides on a rail fixed to the foundation. A linear motion mechanism 86 for moving the grinding wheel base 82 back and forth is disposed on the grinding wheel base 82.

砥石支持部材83の上部には、アーム12の一端が、回転中心12aで回転可能に取り付けられている。アーム12の他端には、外径測定器10が回転中心12bで回転可能に取り付けられている。砥石84にはワークであるクランクピン55が当接しており、外径測定器10の先端部はクランクピン55と砥石84との当接部とは異なる周方向位置で、クランクピン55に当接する。砥石84とクランクピン55とが安定して当接する。クランクピン55が旋回運動すると、それに応じて砥石84が進退(F/B)するが、外径測定器10はクランクピン55に追従して移動する。   One end of the arm 12 is attached to the upper portion of the grindstone support member 83 so as to be rotatable about the rotation center 12a. An outer diameter measuring instrument 10 is attached to the other end of the arm 12 so as to be rotatable at a rotation center 12b. The grindstone 84 is in contact with a crank pin 55 that is a workpiece, and the tip of the outer diameter measuring instrument 10 is in contact with the crank pin 55 at a circumferential position different from the contact portion between the crank pin 55 and the grindstone 84. . The grindstone 84 and the crank pin 55 are in stable contact. When the crankpin 55 turns, the grindstone 84 advances and retreats (F / B) accordingly, but the outer diameter measuring instrument 10 moves following the crankpin 55.

図5において、紙面の前側にはクランクシャフト50を駆動するクランクシャフト駆動部が、後側には砥石部がそれぞれ配置されている。クランクシャフト駆動部は、クランクシャフト50の両端部を回転支持する回転支持部62を有し、クランクシャフト50の一方端に取り付けた回転駆動機構(モータ)64により、クランクシャフト50は回転駆動される。   In FIG. 5, a crankshaft drive for driving the crankshaft 50 is disposed on the front side of the paper surface, and a grindstone is disposed on the rear side. The crankshaft drive portion has a rotation support portion 62 that rotatably supports both ends of the crankshaft 50, and the crankshaft 50 is rotationally driven by a rotation drive mechanism (motor) 64 attached to one end of the crankshaft 50. .

クランクシャフト50の回転を図示しないセンサで検出して、制御装置100に入力信号94として入力する。一方、制御装置100からはモータ64を制御する制御出力信号96が指令される。同様に、砥石84と砥石ベース82を駆動する直動機構86から回転信号93や位置信号92が制御装置100に入力され、制御装置100からそれぞれ指令信号97,98が出力される。この時、外径測定器10からワークであるクランクピン55の外径が制御装置100に入力信号91として入力される。   The rotation of the crankshaft 50 is detected by a sensor (not shown) and input to the control device 100 as an input signal 94. On the other hand, a control output signal 96 for controlling the motor 64 is commanded from the control device 100. Similarly, a rotation signal 93 and a position signal 92 are input to the control device 100 from the linear motion mechanism 86 that drives the grindstone 84 and the grindstone base 82, and command signals 97 and 98 are output from the control device 100, respectively. At this time, the outer diameter of the crank pin 55 that is a workpiece is input from the outer diameter measuring instrument 10 to the control device 100 as the input signal 91.

制御装置100は、これらの各入力信号92〜94に基づいて各駆動装置64、88、86を駆動し、外径測定器10の入力信号91に基づいて、研削装置80がクランクピン55を所定値まで研削したか否かを判断する。そして、クランクピン55の外径が所定の許容範囲に入ったら、研削を終了する。   The control device 100 drives the driving devices 64, 88, 86 based on these input signals 92 to 94, and the grinding device 80 determines the crank pin 55 based on the input signal 91 of the outer diameter measuring instrument 10. Judge whether or not grinding to the value. Then, when the outer diameter of the crankpin 55 is within a predetermined allowable range, the grinding is finished.

図6から図8に、外径測定器10の詳細を示す。図6は、外径測定器10の先端部Sを一部断面とした平面図、図7は、本発明の他の実施例に係る外径測定器10におけるセンサ部Gの断面図である。図8は、測定ヘッド要部を矢印P方向から見た上面図である。図7で示す他の実施例は、クランクピンの外径寸法をクランクピンの研削加工中に測定する測定ヘッドである。図1、2で示した実施例との主な違いは、第2プレート8bに取付られていた基板3及びセンサ4が取付板1を介して第2プレート8bに固定される点にある。   The details of the outer diameter measuring instrument 10 are shown in FIGS. FIG. 6 is a plan view in which the tip portion S of the outer diameter measuring instrument 10 is partially sectioned, and FIG. 7 is a sectional view of the sensor portion G in the outer diameter measuring instrument 10 according to another embodiment of the present invention. FIG. 8 is a top view of the main part of the measurement head as seen from the direction of the arrow P. Another embodiment shown in FIG. 7 is a measuring head that measures the outer diameter of the crankpin during grinding of the crankpin. The main difference from the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 is that the substrate 3 and the sensor 4 attached to the second plate 8 b are fixed to the second plate 8 b via the attachment plate 1.

図4に示したように外径測定器10は、一端側をアーム12に回転可能に取り付けられた細長い概略矩形で箱状の測定ヘッド本体10-1と、それに固定されたセンサ部本体10-2を有している。測定ヘッド本体10-1の先端部Sには、中央部に外径測定センサであるセンサロッド20が保持されるように断面矩形状または台形状または円形の穴が貫通したVベース19が固定されている。   As shown in FIG. 4, the outer diameter measuring instrument 10 has an elongated, generally rectangular, box-shaped measuring head main body 10-1 which is rotatably attached to an arm 12 at one end side, and a sensor unit main body 10- fixed to the measuring head main body 10-1. 2 has. A V base 19 having a rectangular cross section, a trapezoidal shape, or a circular hole is fixed to the distal end S of the measurement head main body 10-1 so that a sensor rod 20 as an outer diameter measurement sensor is held at the center. ing.

Vベース19の先端部Sに設けられた接触子21は、測定対象であるワーク55に当接し、測定対象を押圧するように付勢される。また、センサロッド20は、先端部Sから測定ヘッド本体10-1を貫通してセンサ部Gまで伸びて接続されている。測定対象のサイズの変動は、センサロッド20の接触子21の移動距離として捉えられ、測定ヘッド本体10-1の他端側に設けられたセンサ部Gで検出するタイプである。   The contact 21 provided at the tip S of the V base 19 abuts on the workpiece 55 that is a measurement target and is urged so as to press the measurement target. Further, the sensor rod 20 extends from the distal end portion S to the sensor portion G through the measuring head main body 10-1, and is connected. The variation in the size of the measurement target is captured as the movement distance of the contact 21 of the sensor rod 20 and is detected by the sensor unit G provided on the other end side of the measurement head body 10-1.

Vベース19のワーク55に当接する側は、矩形断面をV字型にカットした形状であり、さらに、研削装置80に取り付けられた場合に上側になる部分は、砥石84との干渉を避けるため、上下方向をカットされた形状となっている。Vベース19の中央部を貫通して配置されるセンサロッド20はセンサ部Gでリニアスケール6と接続され、センサ4と共に、リニアセンサを構成する。先端部にルビー等の球で形成された接触子21を有する。   The side of the V base 19 that comes into contact with the workpiece 55 has a rectangular cross-section cut into a V shape, and the upper portion when attached to the grinding device 80 is for avoiding interference with the grindstone 84. The shape is cut in the vertical direction. The sensor rod 20 disposed through the central portion of the V base 19 is connected to the linear scale 6 at the sensor portion G and constitutes a linear sensor together with the sensor 4. A contact 21 formed of a ball such as ruby is provided at the tip.

Vベース19のV字を構成する斜面には、断面が台形状の上側取付板44と下側取付板45が取り付けられており、各取付板44、45にはワーク55に点接触するように配置された上側保持部材41と下側保持部材42が固定されている。ここで、上側保持部材41と下側保持部材42には、ワーク55を傷つける恐れが無いようまた研削加工中変形しないよう、金属製の丸棒または丸チューブを用いている。   An upper mounting plate 44 and a lower mounting plate 45 having a trapezoidal cross section are attached to the slope forming the V-shape of the V base 19, and the mounting plates 44 and 45 are in point contact with the workpiece 55. The arranged upper holding member 41 and lower holding member 42 are fixed. Here, a metal round bar or a round tube is used for the upper holding member 41 and the lower holding member 42 so as not to damage the work 55 and to prevent deformation during the grinding process.

センサ部Gでは、第2プレート8bに取付板1が取付穴2を介して、ねじ5で固定される。取付穴2は複数、図8で長手方向Aに垂直にセンサロッド20を挟んで3か所ずつ取付板1の先端部S側に設けられ、固定はそのいずれか二箇所で行われる。いずれか二箇所を選択することにより、取付板1の固定される間隔を可変することができる。   In the sensor part G, the mounting plate 1 is fixed to the second plate 8b through the mounting hole 2 with screws 5. A plurality of mounting holes 2 are provided on the distal end portion S side of the mounting plate 1 at three positions across the sensor rod 20 perpendicular to the longitudinal direction A in FIG. 8, and fixing is performed at any two of them. By selecting any two places, the interval at which the mounting plate 1 is fixed can be varied.

基板3の中央部にはセンサ4が設けられ、基板3は取付板1の基板取付穴7を介して固定される。リニアスケール6は、センサロッド20の移動と共に移動する。リニアスケール6には、例えば白黒の細かいパターンが描かれ、センサ4はリニアスケール6のパターンへ発光してパターンの反射光を受光し、その移動量を検出する。   A sensor 4 is provided at the center of the substrate 3, and the substrate 3 is fixed via a substrate mounting hole 7 of the mounting plate 1. The linear scale 6 moves with the movement of the sensor rod 20. For example, a black and white fine pattern is drawn on the linear scale 6, and the sensor 4 emits light to the pattern of the linear scale 6 to receive the reflected light of the pattern, and detects the amount of movement.

センサロッド20はセンサ部Gでリニアスケール6と接続され、センサ4と共に、リニアセンサを構成する。センサ部Gでは、長方形の板状部材である第1プレート8aがセンサ部本体10-2の基準位置10-3に固定されている。第1プレート8aには、スペーサ32を介して第2プレート8bがねじ9によって固定される。ここで、第1プレート8aと第2プレート8bは、長穴34-1、34-2(図2、3と同様)がそれぞれ設けられ、その範囲で取付位置を任意に変えることができる。   The sensor rod 20 is connected to the linear scale 6 at the sensor portion G, and constitutes a linear sensor together with the sensor 4. In the sensor part G, the first plate 8a, which is a rectangular plate-like member, is fixed at the reference position 10-3 of the sensor part body 10-2. The second plate 8 b is fixed to the first plate 8 a with the screws 9 through the spacers 32. Here, the first plate 8a and the second plate 8b are respectively provided with elongated holes 34-1 and 34-2 (similar to FIGS. 2 and 3), and the mounting position can be arbitrarily changed within the range.

温度上昇によるリニアスケール6側の伸びは、ワーク55の伸び、センサロッド20の伸び、リニアスケール6の伸びの和となる。センサ4側は、Vベース19から測定ヘッド本体10-1、センサ部本体10-2に至るまでの伸び、第1プレート8aと第2プレート8bとによる伸び、取付板1の伸びとなる。ただし、図8のように取付板1を取り付けた場合は、第1プレート8aと第2プレート8bとによる伸びと逆方向となる。リニアスケール6側の伸びに対してセンサ4側の伸びを等しくすれば、リニアスケール6側の伸び量、移動量を補償できる。したがって、センサ4による検出誤差が少なくなり、温度上昇があっても高精度化を図ることができる。   The elongation on the linear scale 6 side due to the temperature rise is the sum of the elongation of the workpiece 55, the elongation of the sensor rod 20, and the elongation of the linear scale 6. The sensor 4 side extends from the V base 19 to the measurement head main body 10-1 and the sensor unit main body 10-2, the first plate 8 a and the second plate 8 b, and the mounting plate 1. However, when the attachment plate 1 is attached as shown in FIG. 8, the direction is opposite to the extension by the first plate 8a and the second plate 8b. If the elongation on the sensor 4 side is made equal to the elongation on the linear scale 6 side, the amount of elongation and movement on the linear scale 6 side can be compensated. Therefore, the detection error by the sensor 4 is reduced, and high accuracy can be achieved even if the temperature rises.

第1プレート8aと第2プレート8bとによる伸びは、長穴34-1、34-2(図2、3)を利用して固定位置を変えて、第1プレート8aの固定位置から基準位置10-3までの距離、第2プレート8bの固定位置から取付板1の固定位置となる取付穴2までの距離を可変すれば、温度上昇による伸びはそれぞれの差となり、温度上昇によるセンサ4側の伸びを調整できる。また、本実施例では、第2プレート8bに取付板1が取付穴2を介して固定されるので、取付板1の伸びを可変することでセンサ4側の伸びをさらに調整できる。   The elongation of the first plate 8a and the second plate 8b is changed from the fixed position of the first plate 8a to the reference position 10 by changing the fixing position using the long holes 34-1 and 34-2 (FIGS. 2 and 3). -3, and the distance from the fixing position of the second plate 8b to the mounting hole 2 which is the fixing position of the mounting plate 1, the elongation due to the temperature rise will be the difference between them, and the sensor 4 side due to the temperature rise Elongation can be adjusted. In the present embodiment, since the mounting plate 1 is fixed to the second plate 8b through the mounting hole 2, the extension on the sensor 4 side can be further adjusted by varying the extension of the mounting plate 1.

図9は他の実施例による外径測定器10に熱が加わったときの取付板1の変位を説明する図である。取付板1の材質はステンレスであり、第2プレート8bの材質は取付板1に対して、より低熱膨張材であるNi系合金を用いる。熱膨張率の大きい取付板1が低熱膨張材である第2プレート8bに二箇所、ねじ5(図8)で拘束される。   FIG. 9 is a diagram for explaining the displacement of the mounting plate 1 when heat is applied to the outer diameter measuring instrument 10 according to another embodiment. The material of the mounting plate 1 is stainless steel, and the material of the second plate 8b is a Ni-based alloy that is a lower thermal expansion material than the mounting plate 1. The mounting plate 1 having a large coefficient of thermal expansion is restrained by two screws 5 (FIG. 8) on the second plate 8b which is a low thermal expansion material.

したがって、取付板1はポアソン効果によって、拘束された部分の伸び(左右方向Bの歪)が拘束されていない方向(長手方向A)への変形(歪み)に変換される。つまり、拘束した部分の伸び量に応じて拘束されていない方向へ伸び量を変えることができる。   Therefore, the mounting plate 1 is converted by the Poisson effect into the deformation (distortion) in the direction (longitudinal direction A) in which the elongation of the constrained portion (distortion in the left-right direction B) is not constrained. That is, the elongation amount can be changed in the unconstrained direction according to the elongation amount of the constrained portion.

図9の(a)では、3か所ずつ設けられた取付穴2のうち一番外側の位置で取付板1が第2プレート8bへ固定されている。(b)では一番内側の位置で取付板1が固定される。したがって、(a)の方が矢印方向の伸び量が(b)よりも大きくなる。   In FIG. 9A, the mounting plate 1 is fixed to the second plate 8b at the outermost position among the mounting holes 2 provided in three places. In (b), the mounting plate 1 is fixed at the innermost position. Therefore, (a) has a larger amount of elongation in the direction of the arrow than (b).

図7で示した他の実施例によれば、センサ4側によるリニアスケール6側への移動量の補償は、第1プレート8aと第2プレート8bの固定位置を変えることに加えて、取付板1の伸び量を図9で示したように変えることで、さらに調整できる。したがって、温度上昇に対してより細密に調整が可能となり高精度化を図ることができる。   According to another embodiment shown in FIG. 7, the compensation of the movement amount to the linear scale 6 side by the sensor 4 side, in addition to changing the fixing position of the first plate 8a and the second plate 8b, Further adjustment is possible by changing the amount of elongation of 1 as shown in FIG. Therefore, fine adjustment can be performed with respect to the temperature rise, and high accuracy can be achieved.

図10は、取付板1の詳細な形状を示す平面図である。この形状は、熱膨張で左右方向Bの伸びを長手方向Aに効率良く変換するように定められる。固定部であるE部は、既に述べたように、取付穴2を複数設け、固定個所の間隔を変えることでセンサロッド20の伸び量などに応じて長手方向Aの伸び量を変えることができる。   FIG. 10 is a plan view showing the detailed shape of the mounting plate 1. This shape is determined so that the expansion in the left-right direction B can be efficiently converted into the longitudinal direction A by thermal expansion. As described above, the E portion which is the fixing portion can be provided with a plurality of mounting holes 2 and the amount of extension in the longitudinal direction A can be changed according to the amount of extension of the sensor rod 20 by changing the interval between the fixing points. .

F部は、V字状の切込みFが左右の取付穴2の中央部に設けている。このV字状の切込みFによって、取付板1は切込みが無い場合に比べて、左右方向Bから力が加わった場合、長手方向Aへの伸びに変換される。さらに、取付穴2で低熱膨張材である第2プレート8bに固定されるので、取付板1には第2プレート8bが取付板1に相等する熱膨張材の場合と比較してより大きく逆方向へ圧縮応力が掛かる。そして、横方向に大きくなった伸びは長手方向Aに効率良く変換される。つまり、温度に対する長手方向Aの補償量を大きく、感度を高くする効果がある。   In the F portion, a V-shaped cut F is provided in the central portion of the left and right mounting holes 2. Due to this V-shaped cut F, the mounting plate 1 is converted into an extension in the longitudinal direction A when a force is applied from the left-right direction B as compared to the case where there is no cut. Further, since the mounting hole 2 is fixed to the second plate 8b, which is a low thermal expansion material, the mounting plate 1 has a larger reverse direction compared to the case where the second plate 8b is equivalent to the mounting plate 1. Compressive stress is applied. And the elongation which became large in the horizontal direction is efficiently converted into the longitudinal direction A. That is, there is an effect of increasing sensitivity in the longitudinal direction A with respect to temperature and increasing sensitivity.

また、V字状の切込みFの各角部は応力集中を避けるため、丸味を持たせるためRが付けられている。V字状の切込みFが無い形状、四角の切込み形状では、中央部で圧縮応力が相殺され縦方向への歪み(伸び)は大きく得られない。V字状の深さは、取付穴2の位置より深くすること、左右対称のV字とすること、が望ましい。   In addition, each corner of the V-shaped cut F is provided with an R to give it a roundness to avoid stress concentration. In the case of the shape without the V-shaped cut F or the square cut shape, the compressive stress is canceled out at the center, and a large strain (elongation) in the vertical direction cannot be obtained. It is desirable that the V-shaped depth is deeper than the position of the mounting hole 2 and that the V-shape is symmetrical.

H部は、図10で左右の略取付穴2の長手方向A(図9)に設けた貫通穴Hであり、V字状の切込みFと同様の作用がある。I部は、貫通穴Hのさらに長手方向Aに位置し、略取付穴2の中央部が長手方向Aに膨んだ円弧Iaとされている。つまり、貫通穴Hはセンサ部方向において切込みFと円弧Iaとの間に設けられている。   The H portion is a through hole H provided in the longitudinal direction A (FIG. 9) of the left and right substantially mounting holes 2 in FIG. 10, and has the same action as the V-shaped cut F. The portion I is positioned in the longitudinal direction A of the through hole H, and the central portion of the substantially mounting hole 2 is an arc Ia that swells in the longitudinal direction A. That is, the through hole H is provided between the cut F and the arc Ia in the sensor part direction.

円弧Iaの左右端Ibは、図10のように取付穴2から長手方向Aの距離が、中央部に比べて小さくなっている。したがって、温度上昇による伸び量は、中央部に比べて円弧Iaの左右端では小さくなり、基板取付穴7の間隔が広がることを防いでいる。これにより、基板3に加わる温度上昇による左右方向Bの応力を低減している。   At the left and right ends Ib of the arc Ia, the distance in the longitudinal direction A from the mounting hole 2 is smaller than the central portion as shown in FIG. Therefore, the amount of elongation due to the temperature rise is smaller at the left and right ends of the arc Ia than in the central portion, and the interval between the board mounting holes 7 is prevented from widening. Thereby, the stress in the left-right direction B due to the temperature rise applied to the substrate 3 is reduced.

A…長手方向、B…左右方向、F…V字状の切込み、H…貫通穴、Ia…円弧、Ib…左右端、1…取付板、2…取付穴、3…基板、4…センサ、5、9、35-1、35-2…ねじ、6…リニアスケール、7…基板取付穴、8a…第1プレート、8b…第2プレート、10…外径測定器、10-1…ゲージ本体、10-2センサ部本体、10-3、11-2…基準位置、S…先端部、G…センサ部、11…測定ヘッド、11-1…測定ヘッド本体、12…アーム、12a、12b…回転中心、19…Vベース、20…センサロッド、21…接触子、30…測定機構、32…スペーサ、34-1、34-2…長穴、36…バネ、41…上側保持部材、42…下側保持部材、44…上側取付板、45…下側取付板、50…クランクシャフト、52…リアフランジ、53…ジャーナル、54…クランクウェブ、55…ワーク(クランクピン)、61…クランクシャフト・ベース、62、63…回転支持部、64…回転駆動機構(モータ)、80…研削装置、81…ガイドレール、82…砥石ベース、83…砥石支持部材、84…砥石、85…直動ガイド、86…直動機構、88…回転駆動機構(モータ)、91〜94…入力信号、96〜98…出力信号、100…制御装置   A ... Longitudinal direction, B ... Left-right direction, F ... V-shaped cut, H ... Through hole, Ia ... Arc, Ib ... Left and right ends, 1 ... Mounting plate, 2 ... Mounting hole, 3 ... Substrate, 4 ... Sensor, 5, 9, 35-1, 35-2 ... screw, 6 ... linear scale, 7 ... board mounting hole, 8a ... first plate, 8b ... second plate, 10 ... outer diameter measuring instrument, 10-1 ... gauge body DESCRIPTION OF SYMBOLS 10-2 Sensor part main body, 10-3, 11-2 ... Reference position, S ... Tip part, G ... Sensor part, 11 ... Measuring head, 11-1 ... Measuring head main body, 12 ... Arm, 12a, 12b ... Rotation center, 19 ... V base, 20 ... sensor rod, 21 ... contact, 30 ... measuring mechanism, 32 ... spacer, 34-1, 34-2 ... long hole, 36 ... spring, 41 ... upper holding member, 42 ... Lower holding member, 44 ... upper mounting plate, 45 ... lower mounting plate, 50 ... crankshaft, 52 ... rear franc 53 ... Journal, 54 ... Crank web, 55 ... Workpiece (crankpin), 61 ... Crankshaft base, 62, 63 ... Rotation support, 64 ... Rotation drive mechanism (motor), 80 ... Grinding device, 81 ... Guide Rail, 82 ... Grinding wheel base, 83 ... Grinding wheel support member, 84 ... Grinding wheel, 85 ... Linear motion guide, 86 ... Linear motion mechanism, 88 ... Rotation drive mechanism (motor), 91 to 94 ... Input signal, 96 to 98 ... Output Signal, 100 ... control device

Claims (9)

ワークの外径を測定する接触式の測定ヘッドにおいて、
一端が前記ワークに当接する接触子を有する先端部とされ、他端は前記接触子の移動距離を検出するセンサ部のリニアスケールに接続されたセンサロッドと、該センサロッドを保持している測定ヘッド本体と、を有し、
前記センサ部は、
一端が前記測定ヘッド本体の基準位置に固定されている板状部材の第1プレートと、
前記第1プレートにスペーサを介して固定される第2プレートと、
前記リニアスケールの移動距離を検出することで前記接触子の移動距離を検出するセンサが設けられ、前記第2プレートに固定された基板と、
を備えたことを特徴とする測定ヘッド。
In a contact-type measuring head that measures the outer diameter of a workpiece,
One end is a tip portion having a contact that contacts the workpiece, and the other end is a sensor rod connected to a linear scale of a sensor unit that detects a moving distance of the contact, and a measurement that holds the sensor rod A head body,
The sensor unit is
A first plate of a plate-like member, one end of which is fixed at a reference position of the measurement head body,
A second plate fixed to the first plate via a spacer;
A sensor for detecting a moving distance of the contact by detecting a moving distance of the linear scale is provided; and a substrate fixed to the second plate;
A measuring head comprising:
前記第1プレートと前記第2プレートは板状部材とされ、少なくともいずれか一方に長穴が設けられ、その範囲で固定位置を任意に変えることを可能としたことを特徴とする請求項1に記載の測定ヘッド。   The first plate and the second plate are plate-like members, and at least one of them is provided with a long hole, and the fixing position can be arbitrarily changed within the range. The measuring head described. 前記第1プレートと前記第2プレートとで熱膨張率が異なることを特徴とする請求項1又は2に記載の測定ヘッド。   The measurement head according to claim 1, wherein the first plate and the second plate have different coefficients of thermal expansion. 前記第2プレートを前記第1プレートに比べて低熱膨張材としたことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の測定ヘッド。   4. The measuring head according to claim 1, wherein the second plate is made of a low thermal expansion material compared to the first plate. 5. 前記センサロッドと前記第1プレートを鉄、前記リニアスケールを石英、前記第2プレートをNi系合金、前記測定ヘッド本体をアルミニウムとしたことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の測定ヘッド。   5. The method according to claim 1, wherein the sensor rod and the first plate are made of iron, the linear scale is made of quartz, the second plate is made of an Ni-based alloy, and the measuring head body is made of aluminum. The measuring head described. ワークの外径を測定する接触式の測定ヘッドにおいて、
一端が前記ワークに当接する接触子を有する先端部とされ、他端は前記接触子の移動距離を検出するセンサ部のリニアスケールに接続されたセンサロッドと、該センサロッドを保持している測定ヘッド本体と、を有し、
前記センサ部は、
一端が前記測定ヘッド本体の基準位置に固定されている板状部材の第1プレートと、
前記第1プレートにスペーサを介して固定される第2プレートと、
前記第2プレートに固定される取付板と、
前記リニアスケールの移動距離を検出することで前記接触子の移動距離を検出するセンサが設けられ、前記取付板に固定された基板と、
を備えたことを特徴とする測定ヘッド。
In a contact-type measuring head that measures the outer diameter of a workpiece,
One end is a tip portion having a contact that contacts the workpiece, and the other end is a sensor rod connected to a linear scale of a sensor unit that detects a moving distance of the contact, and a measurement that holds the sensor rod A head body,
The sensor unit is
A first plate of a plate-like member, one end of which is fixed at a reference position of the measurement head body,
A second plate fixed to the first plate via a spacer;
A mounting plate fixed to the second plate;
A sensor for detecting a moving distance of the contact by detecting a moving distance of the linear scale is provided, and a substrate fixed to the mounting plate;
A measuring head comprising:
前記第2プレートの材質は前記取付板に対して、より低熱膨張材としたことを特徴とする請求項6に記載の測定ヘッド。   The measuring head according to claim 6, wherein a material of the second plate is a lower thermal expansion material than the mounting plate. 前記取付板は、取付穴の中央部にV字状の切込みが設けられていることを特徴とする請求項6又は7に記載の測定ヘッド。   The measuring head according to claim 6 or 7, wherein the mounting plate is provided with a V-shaped cut at a center portion of the mounting hole. 一端がワークに当接する接触子を有する先端部とされ、他端は前記接触子の移動距離を検出するセンサ部のリニアスケールに接続されたセンサロッドと、を有し、前記ワークの外径を測定する接触式の測定ヘッドの温度特性を調整する方法であって、
前記センサ部は、一端が前記測定ヘッドの本体の基準位置に固定されている板状部材の第1プレートと、前記第1プレートにスペーサを介して固定される第2プレートと、前記リニアスケールの移動距離を検出することで前記接触子の移動距離を検出するセンサが設けられ、前記第2プレートに固定された基板と、を有し、前記第1プレートと前記第2プレートとの固定位置を可変することを特徴とする測定ヘッドの温度特性を調整する方法。
One end is a tip portion having a contact that abuts against the workpiece, and the other end has a sensor rod connected to a linear scale of a sensor unit that detects a moving distance of the contact, and the outer diameter of the workpiece is A method for adjusting the temperature characteristics of a contact-type measuring head to be measured,
The sensor unit includes a first plate of a plate-like member having one end fixed to a reference position of the main body of the measurement head, a second plate fixed to the first plate via a spacer, and a linear scale A sensor for detecting a moving distance of the contact by detecting a moving distance, and a substrate fixed to the second plate; and a fixing position between the first plate and the second plate. A method for adjusting temperature characteristics of a measuring head, characterized in that it is variable.
JP2018062230A 2018-03-28 2018-03-28 How to adjust the measuring head and its temperature characteristics Active JP7080692B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018062230A JP7080692B2 (en) 2018-03-28 2018-03-28 How to adjust the measuring head and its temperature characteristics
JP2022083816A JP7254997B2 (en) 2018-03-28 2022-05-23 Measuring head and method for adjusting its temperature characteristics

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018062230A JP7080692B2 (en) 2018-03-28 2018-03-28 How to adjust the measuring head and its temperature characteristics

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022083816A Division JP7254997B2 (en) 2018-03-28 2022-05-23 Measuring head and method for adjusting its temperature characteristics

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019174261A true JP2019174261A (en) 2019-10-10
JP7080692B2 JP7080692B2 (en) 2022-06-06

Family

ID=68168595

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018062230A Active JP7080692B2 (en) 2018-03-28 2018-03-28 How to adjust the measuring head and its temperature characteristics

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7080692B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7485958B2 (en) 2021-01-20 2024-05-17 日本製鉄株式会社 Outer diameter measuring device and outer diameter measuring method

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06160016A (en) * 1992-11-25 1994-06-07 Mitsutoyo Corp Displacement detector
JP2002039799A (en) * 2000-07-19 2002-02-06 Mitsutoyo Corp Scale member, its manufacturing method and displacement gage to use the same
JP2002287068A (en) * 2001-03-27 2002-10-03 Fuji Photo Optical Co Ltd Light source device
JP2017167071A (en) * 2016-03-18 2017-09-21 公益財団法人鉄道総合技術研究所 Member angle measurement device
JP2017181923A (en) * 2016-03-31 2017-10-05 ウシオ電機株式会社 Positioning stage device
JP2017198554A (en) * 2016-04-27 2017-11-02 株式会社ミツトヨ Linear gauge

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06160016A (en) * 1992-11-25 1994-06-07 Mitsutoyo Corp Displacement detector
JP2002039799A (en) * 2000-07-19 2002-02-06 Mitsutoyo Corp Scale member, its manufacturing method and displacement gage to use the same
JP2002287068A (en) * 2001-03-27 2002-10-03 Fuji Photo Optical Co Ltd Light source device
JP2017167071A (en) * 2016-03-18 2017-09-21 公益財団法人鉄道総合技術研究所 Member angle measurement device
JP2017181923A (en) * 2016-03-31 2017-10-05 ウシオ電機株式会社 Positioning stage device
JP2017198554A (en) * 2016-04-27 2017-11-02 株式会社ミツトヨ Linear gauge

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7485958B2 (en) 2021-01-20 2024-05-17 日本製鉄株式会社 Outer diameter measuring device and outer diameter measuring method

Also Published As

Publication number Publication date
JP7080692B2 (en) 2022-06-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000258153A (en) Plane flatness measurement device
JP5877917B2 (en) Profile measurement / calibration equipment
EP1180662B1 (en) Position transducer
EP1278613B1 (en) Apparatus and methods for mesuring the pins diameter of a crankshaft at the place of grinding
JP2018021860A (en) Outer diameter measuring apparatus and measuring method
JP4398255B2 (en) Analog probe
CN102901439A (en) Contact measuring head for measuring thickness of surface mount technology (SMT) screen plate
KR100660794B1 (en) Apparatus and method for measuring wear of the wheel using vcm
JP2019174261A (en) Measurement head and method for adjusting temperature characteristic thereof
US3798779A (en) Probe inspection system
JP7133330B2 (en) Outer diameter measuring instrument, method for adjusting temperature characteristics thereof, and grinding apparatus
JP2018072175A (en) Outer diameter measurement device, and measurement method
JP7254997B2 (en) Measuring head and method for adjusting its temperature characteristics
US6694797B2 (en) Dial indicator calibration apparatus
JP2019152554A (en) Lens thickness measuring device
JP7307247B2 (en) Outside diameter measuring instrument
US2763934A (en) Gauge apparatus
JP2006329795A (en) Shape measuring device
JP6940663B1 (en) Electric discharge machine and sensor unit
JP2006003164A (en) Tool for measuring peripheral face shape of roll type article
KR20040081946A (en) Apparatus for measuring roughness and flatness
JPH08201020A (en) Moving value reader for measuring apparatus
CN217465603U (en) Measuring device
CN2911611Y (en) Regulatable precision probe fixer
CN112414252B (en) Device and method for quickly detecting quality of cylindrical products produced in batch

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210212

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20220107

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220201

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220426

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220525

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7080692

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150