JP2019144657A - Conductive pattern formation method, conductive pattern base material, and touch sensor panel - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、導電パターンの形成方法、導電パターン基材及びタッチパネルセンサに関する。 The present invention relates to a method for forming a conductive pattern, a conductive pattern substrate, and a touch panel sensor.
パソコン、テレビ等の大型電子機器、カーナビゲーション、スマートフォン、電子辞書等の小型電子機器、OA(Office Automation:オフィスオートメーション)機器、FA(Factory Automation:ファクトリーオートメーション)機器等の表示機器などには、液晶表示素子又はタッチパネル(タッチパネルセンサ)が用いられている。 Liquid crystal is used for large electronic devices such as personal computers and televisions, small electronic devices such as car navigation systems, smartphones and electronic dictionaries, OA (Office Automation) devices, and FA (Factory Automation) devices. A display element or a touch panel (touch panel sensor) is used.
従来、透明導電膜の材料には、可視光に対して高い透過率を示すことから、ITO(Indium−Tin−Oxide)、酸化インジウム及び酸化スズ等が用いられている。液晶表示素子用基板等に設けられる電極は、上記の材料からなる透明導電膜をパターニングしたものが主流になっている。 Conventionally, ITO (Indium-Tin-Oxide), indium oxide, tin oxide, and the like have been used as the material for the transparent conductive film because of its high transmittance for visible light. As electrodes provided on a substrate for a liquid crystal display element or the like, a pattern obtained by patterning a transparent conductive film made of the above-mentioned material is mainly used.
近年、ITO、酸化インジウム及び酸化スズ等に替わる材料を用いて透明な導電パターンを形成する試みがなされている。例えば、下記特許文献1には、基板上に、導電性繊維を含有する導電膜と感光性樹脂層とを有する感光性導電フィルムを設け、これらにパターンマスクを介した露光と、現像とを施すことにより導電パターンを形成する方法が開示されている。
In recent years, attempts have been made to form a transparent conductive pattern using a material in place of ITO, indium oxide, tin oxide, or the like. For example, in the following
ところで、導電性繊維を含む導電パターンにおいては、静電気により導電性繊維が断線するESD(Electro Static Discharge)が問題となる。ESD耐性を向上させるためには、導電性繊維の表面抵抗値を下げることが有効である。しかしながら、導電性繊維の表面抵抗値を下げるためには、導電性繊維の量を増加させる必要があり、その結果、視認性(透過性)が悪化するという問題がある。 By the way, in the conductive pattern containing a conductive fiber, ESD (Electro Static Discharge) which a conductive fiber breaks by static electricity becomes a problem. In order to improve the ESD resistance, it is effective to lower the surface resistance value of the conductive fiber. However, in order to reduce the surface resistance value of the conductive fiber, it is necessary to increase the amount of the conductive fiber, and as a result, there is a problem that visibility (permeability) deteriorates.
そこで、本発明は、視認性を悪化させずにESD耐性を向上させることができる導電パターンの形成方法、導電パターン基材及びタッチパネルセンサを提供することを目的とする。 Then, an object of this invention is to provide the formation method of a conductive pattern, a conductive pattern base material, and a touch panel sensor which can improve ESD tolerance, without deteriorating visibility.
本発明者らは、上記課題について鋭意検討した結果、導電パターンにおいて導電性繊維に異方性を持たせることで、視認性を悪化させずにESD耐性を向上させることができるとの知見を得た。 As a result of intensive studies on the above problems, the present inventors have obtained knowledge that ESD resistance can be improved without deteriorating visibility by imparting anisotropy to conductive fibers in a conductive pattern. It was.
なお、特許文献1には、従来、感光性導電フィルムが異方性を有する場合は、取り位置を斜めにして、X電極及びY電極におけるライン抵抗の差をなくしていたことが記載されている。しかしながら、特許文献1に記載された従来技術は、感光性導電フィルム自身が異方性を有しているに過ぎず、X電極及びY電極は等方化されたものとなっている。これは、ITO、酸化インジウム及び酸化スズ等により形成される導電パターンは等方性を有することから、感光性導電フィルムにより形成される導電パターンも、当然に等方性が要求されていたからである。
本発明に係る導電パターンの形成方法は、導電性繊維を用いてなる導電性ネットワークの導電パターンを基材上に形成する導電パターンの形成方法であって、導電パターンの導電方向における導電性繊維の配向度が、導電方向に垂直な方向である垂直方向における導電性繊維の配向度よりも大きくなるように、導電パターンを形成する。 The method for forming a conductive pattern according to the present invention is a method for forming a conductive pattern of a conductive network using a conductive fiber on a substrate, the conductive pattern in the conductive direction of the conductive pattern. The conductive pattern is formed so that the degree of orientation is greater than the degree of orientation of the conductive fibers in the vertical direction, which is a direction perpendicular to the conductive direction.
この導電パターンの形成方法では、導電方向における導電性繊維の配向度が垂直方向における導電性繊維の配向度よりも大きくなるため、両者の配向度が等しい場合に比べて、導電パターンの導電方向における抵抗値が小さくなる。これにより、導電性繊維を増加させなくても、視認性(透過性)を悪化させずにESD耐性を向上させることができる。 In this method of forming a conductive pattern, the degree of orientation of the conductive fibers in the conductive direction is larger than the degree of orientation of the conductive fibers in the vertical direction. The resistance value becomes smaller. Thereby, even if it does not increase electroconductive fiber, ESD tolerance can be improved, without worsening visibility (permeability).
MD方向における導電性繊維の配向度とTD方向における導電性繊維の配向度とが異なる導電性ネットワークを有する感光性樹脂層を基材上に形成する層形成工程と、感光性樹脂層にマスクパターンを通して活性光線を照射する露光工程と、感光性樹脂層の未露光部を除去することにより、導電パターンを基材上に形成する現像工程と、を有し、露光工程では、基材に対するマスクパターンの向きを、導電方向における導電性繊維の配向度が垂直方向における導電性繊維の配向度よりも大きくなる向きにしてもよい。この導電パターンの形成方法では、露光工程において、基材に対するマスクパターンの向きを調整することで、導電方向における導電性繊維の配向度が垂直方向における導電性繊維の配向度よりも大きい導電パターンを形成することができる。 A layer forming step of forming on the substrate a photosensitive resin layer having a conductive network in which the orientation degree of the conductive fibers in the MD direction and the orientation degree of the conductive fibers in the TD direction are different, and a mask pattern on the photosensitive resin layer An exposure step of irradiating with actinic rays through, and a development step of forming a conductive pattern on the substrate by removing unexposed portions of the photosensitive resin layer. In the exposure step, a mask pattern for the substrate Alternatively, the orientation of the conductive fibers in the conductive direction may be larger than the orientation of the conductive fibers in the vertical direction. In this method of forming a conductive pattern, in the exposure process, by adjusting the orientation of the mask pattern with respect to the substrate, a conductive pattern in which the orientation degree of the conductive fibers in the conduction direction is larger than the orientation degree of the conductive fibers in the vertical direction is obtained. Can be formed.
本発明に係る導電パターン基材は、基材と、基材上に形成され、導電性繊維を用いてなる導電性ネットワークを有する導電パターンと、を備え、導電パターンでは、導電パターンの導電方向における導電性繊維の配向度は、導電方向に垂直な方向である垂直方向における導電性繊維の配向度よりも大きい。 The conductive pattern base material according to the present invention includes a base material and a conductive pattern having a conductive network formed on the base material and using conductive fibers. In the conductive pattern, in the conductive direction of the conductive pattern. The orientation degree of the conductive fibers is larger than the orientation degree of the conductive fibers in the vertical direction, which is a direction perpendicular to the conduction direction.
この導電パターン基材では、導電方向における導電性繊維の配向度が垂直方向における導電性繊維の配向度よりも大きいため、両者の配向度が等しい場合に比べて、導電パターンの導電方向における抵抗値が小さくなる。これにより、導電性繊維を増加させなくても、視認性(透過性)を悪化させずにESD耐性を向上させることができる。 In this conductive pattern base material, since the degree of orientation of the conductive fibers in the conductive direction is larger than the degree of orientation of the conductive fibers in the vertical direction, the resistance value in the conductive direction of the conductive pattern compared to the case where the degree of orientation of both is equal. Becomes smaller. Thereby, even if it does not increase electroconductive fiber, ESD tolerance can be improved, without worsening visibility (permeability).
本発明に係る導電パターン基材は、基材と、基材上に形成され、導電性繊維を用いてなる導電性ネットワークを有する導電パターンと、を備え、導電パターンでは、導電パターンの導電方向における単位長さ当たりの抵抗値は、導電方向に垂直な方向である垂直方向における単位長さ当たりの抵抗値よりも小さい。 The conductive pattern base material according to the present invention includes a base material and a conductive pattern having a conductive network formed on the base material and using conductive fibers. In the conductive pattern, in the conductive direction of the conductive pattern. The resistance value per unit length is smaller than the resistance value per unit length in the vertical direction, which is a direction perpendicular to the conduction direction.
この導電パターン基材では、導電方向における導電パターンの単位長さ当たりの抵抗値が、垂直方向における導電パターンの単位長さ当たりの抵抗値よりも小さいため、導電性繊維を増加させなくても、視認性(透過性)を悪化させずにESD耐性を向上させることができる。 In this conductive pattern base material, the resistance value per unit length of the conductive pattern in the conductive direction is smaller than the resistance value per unit length of the conductive pattern in the vertical direction, so even without increasing the conductive fibers, ESD resistance can be improved without deteriorating visibility (transmittance).
上記の何れかの導電パターン基材において、導電パターンの、垂直方向における導電性繊維の配向度に対する導電方向における導電性繊維の配向度の割合は、1.0より大きく3.0未満であってもよい。この導電パターン基材では、導電パターンの垂直方向における導電性繊維の配向度に対する導電方向における導電性繊維の配向度の割合が1.0より大きく3.0未満であるため、製造容易性を確保しつつ、導電パターンの導電方向における抵抗値をより小さくすることができる。 In any one of the conductive pattern substrates described above, the ratio of the orientation degree of the conductive fibers in the conductive direction to the orientation degree of the conductive fibers in the vertical direction of the conductive pattern is greater than 1.0 and less than 3.0. Also good. In this conductive pattern substrate, the ratio of the degree of orientation of the conductive fibers in the conductive direction to the degree of orientation of the conductive fibers in the vertical direction of the conductive pattern is greater than 1.0 and less than 3.0, thus ensuring ease of manufacture. However, the resistance value in the conductive direction of the conductive pattern can be further reduced.
上記の何れかの導電パターン基材において、導電パターンの、垂直方向における単位長さ当たりの抵抗値に対する導電方向における単位長さ当たりの抵抗値の割合は、0.3以上1.0未満であってもよい。この導電パターン基材では、導電パターンの垂直方向における単位長さ当たりの抵抗値に対する導電方向における単位長さ当たりの抵抗値の割合が0.3以上1.0未満であるため、製造容易性を確保しつつ、導電パターンの導電方向における抵抗値をより小さくすることができる。 In any one of the conductive pattern substrates described above, the ratio of the resistance value per unit length in the conductive direction to the resistance value per unit length in the vertical direction of the conductive pattern is 0.3 or more and less than 1.0. May be. In this conductive pattern base material, the ratio of the resistance value per unit length in the conductive direction to the resistance value per unit length in the vertical direction of the conductive pattern is 0.3 or more and less than 1.0. While ensuring, the resistance value in the conductive direction of the conductive pattern can be further reduced.
本発明に係るタッチパネルセンサは、上記の何れかの導電パターン基材を備える。このタッチパネルでは、上述した導電パターン基材を備えるため、視認性を悪化させずにESD耐性を向上することができる。 The touch panel sensor according to the present invention includes any one of the above conductive pattern base materials. Since this touch panel includes the above-described conductive pattern base material, ESD resistance can be improved without deteriorating visibility.
本発明によれば、視認性を悪化させずにESD耐性を向上させることができる。 According to the present invention, ESD tolerance can be improved without deteriorating visibility.
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面中、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また、本明細書において「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. Moreover, the numerical value range shown using "to" in this specification shows the range which includes the numerical value described before and behind "to" as a minimum value and a maximum value, respectively.
(導電パターン基材)
図1に示すように、本実施形態の導電パターン基材1は、基材2と、基材2上に形成される導電パターン3及び樹脂層4と、を備える。導電パターン3は、導電性繊維を用いてなる導電性ネットワークにより形成されている。
(Conductive pattern substrate)
As shown in FIG. 1, the
<基材>
基材2は、導電パターンを支持するものである。基材2としては、特に制限なく使用することができるが、例えばタッチパネルセンサに用いられる、ガラス、プラスチック、セラミック、樹脂製の基材等が挙げられる。樹脂製の基材として、例えばポリエステル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、オレフィン系樹脂、ポリブチレンテレフタレート系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、アクリル系樹脂製の基材等が挙げられる。基材2の厚みは、使用の目的に応じて適宜選択することができ、フィルム状の基材を用いてもよい。フィルム状の基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリカーボネートフィルム、シクロオレフィンポリマフィルムが挙げられる。また、これらに数μmの加飾段差が施されたものも挙げられる。なお、この段差は通常10μm程度が要求されており、10μm以下であることが好ましい。基材2は、450〜650nmの波長域での最小光透過率が80%以上であるものが好ましく、85%以上であることがより好ましく、90%以上であることが更に好ましい。基材2が、このような条件を満たす場合、ディスプレイパネル等での高輝度化が容易となる。
<Base material>
The
<導電パターン>
導電パターン3は、パターン形成された導電性を有する複数の電極、配線等である。導電パターン3のパターン形状としては、特に制限されず、例えばストライプ状の形状、ダイヤ形状が一方向に連なった形状等を含む。
<Conductive pattern>
The
<導電性繊維>
導電パターン3を形成する導電性ネットワークに含まれる導電性繊維としては、例えば、金、銀、銅、白金等の金属繊維、又はカーボンナノチューブ等の炭素繊維などが挙げられる。これらは、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。導電性に優れる観点からは、金繊維又は銀繊維を用いることが好ましい。更に、導電パターン3の導電性を容易に調整できる観点からは、銀繊維(銀ナノワイヤ)がより好ましい。
<Conductive fiber>
Examples of the conductive fiber included in the conductive network forming the
上記の金属繊維は、例えば、金属イオンをNaBH4等の還元剤で還元する方法、ポリオール法等により調製することができる。カーボンナノチューブは、Unidym社のHipco単層カーボンナノチューブなどの市販品を使用することができる。 The metal fiber can be prepared by, for example, a method of reducing metal ions with a reducing agent such as NaBH 4 or a polyol method. Commercially available products such as Unipym's Hipco single-walled carbon nanotubes can be used as the carbon nanotubes.
導電性繊維の繊維径は、優れた静電気耐性を得る観点から、1nm以上であることが好ましく、2nm以上であることがより好ましく、3nm以上であることが更に好ましく、10nm以上であることが特に好ましく、20nm以上であることが極めて好ましい。導電性繊維の繊維径は、優れた視認性が得られ易い観点から、50nm以下であることが好ましく、45nm以下であることがより好ましく、40nm以下であることが更に好ましい。これらの観点から、導電性繊維の繊維径は、1〜50nmであることが好ましく、2〜45nmであることがより好ましく、3〜40nmであることが更に好ましく、10〜40nmであることが特に好ましく、20〜40nmであることが極めて好ましい。導電性繊維の繊維径は、走査型電子顕微鏡により測定することができる。 The fiber diameter of the conductive fiber is preferably 1 nm or more, more preferably 2 nm or more, further preferably 3 nm or more, and particularly preferably 10 nm or more from the viewpoint of obtaining excellent electrostatic resistance. Preferably, it is very preferably 20 nm or more. The fiber diameter of the conductive fiber is preferably 50 nm or less, more preferably 45 nm or less, and still more preferably 40 nm or less, from the viewpoint of easily obtaining excellent visibility. From these viewpoints, the fiber diameter of the conductive fiber is preferably 1 to 50 nm, more preferably 2 to 45 nm, still more preferably 3 to 40 nm, and particularly preferably 10 to 40 nm. Preferably, the thickness is 20 to 40 nm. The fiber diameter of the conductive fiber can be measured with a scanning electron microscope.
導電性繊維の繊維長は、充分な視認性を得るための導電性繊維の使用量を低減し易い観点から、1μm以上であることが好ましく、2μm以上であることがより好ましく、3μm以上であることが更に好ましい。導電性繊維の繊維長は、導電性繊維の凝集を抑制し易い観点から、100μm以下であることが好ましく、50μm以下であることがより好ましく、10μm以下であることが更に好ましく、5μm以下であることが特に好ましい。これらの観点から、導電性繊維の繊維長は、1〜100μmであることが好ましく、2〜50μmであることがより好ましく、3〜10μmであることが更に好ましく、3〜5μmであることが特に好ましい。導電性繊維の繊維長は、走査型電子顕微鏡により測定することができる。 The fiber length of the conductive fiber is preferably 1 μm or more, more preferably 2 μm or more, and more preferably 3 μm or more from the viewpoint of easily reducing the amount of the conductive fiber used for obtaining sufficient visibility. More preferably. The fiber length of the conductive fiber is preferably 100 μm or less, more preferably 50 μm or less, further preferably 10 μm or less, and more preferably 5 μm or less from the viewpoint of easily suppressing the aggregation of the conductive fibers. It is particularly preferred. From these viewpoints, the fiber length of the conductive fiber is preferably 1 to 100 μm, more preferably 2 to 50 μm, still more preferably 3 to 10 μm, and particularly preferably 3 to 5 μm. preferable. The fiber length of the conductive fiber can be measured with a scanning electron microscope.
導電パターン3の厚みは、導電パターン基材1の用途、求められる導電性等によっても異なるが、下記の範囲であることが好ましい。導電パターン3の厚みは、450〜650nmの波長域における光透過率が高く、特に透明電極に好適なものとなる観点から、1μm以下であることが好ましく、0.5μm以下であることがより好ましく、0.1μm以下であることが更に好ましい。導電パターン3の厚みは、均一な導電性を確保し易い観点から、1nm以上であることが好ましく、5nm以上であることがより好ましく、10nm以上であることが更に好ましく、50nm以上であることが特に好ましい。これらの観点から、導電パターン3の厚みは、1μm以下であることが好ましく、1nm〜0.5μmであることがより好ましく、5nm〜0.1μmであることが更に好ましく、10nm〜0.1μmであることが特に好ましく、50nm〜0.1μmであることが極めて好ましい。
The thickness of the
上記の金属繊維は、導電性繊維を含んでなる網目構造を有することが好ましい。導電パターン3が導電性繊維を含むとともに導電パターン基材1が樹脂層4を有する場合、このような網目構造は、例えば(1)樹脂層4に埋没している形態、(2)樹脂層4に埋没し、一部分が樹脂層4の主面から露出している形態、(3)樹脂層4の主面上に露出した形態で存在していてもよい。なお、網目構造を有する導電パターン3の厚みは、走査型電子顕微鏡写真によって測定される値を指す。
The metal fiber preferably has a network structure containing conductive fibers. When the
図2に示すように、導電パターン3の導電方向を「導電方向CD」といい、導電パターン3の導電方向CDに垂直な方向を「垂直方向VD」という。導電方向CDは、導電パターン3において電流が流れる方向であり、パターン方向ともいう。導電パターン3では、導電方向CDにおける導電性繊維Fの配向度は、垂直方向VDにおける導電性繊維Fの配向度よりも大きい。この場合、導電パターン3の、垂直方向VDにおける導電性繊維Fの配向度に対する導電方向CDにおける導電性繊維Fの配向度の割合は、導電方向CDにおける優れた低抵抗性(ESD耐性)を得る観点から、1.0より大きいことが好ましく、1.2以上であることが更に好ましく、1.5以上であることが特に好ましい。この割合は、製造容易性の観点から、3.0未満であることが好ましく、2.5以下であることが更に好ましく、2.0以下であることが特に好ましい。これらの観点から、この割合は、1.0より大きく3.0未満であることが好ましく、1.2以上2.5以下であることが更に好ましく、1.5以上2.0以下であることが特に好ましい。
As shown in FIG. 2, the conductive direction of the
導電パターン3の導電性ネットワークには、多数の導電性繊維Fが含まれており、これらの導電性繊維Fは、様々な方向を向いている。このため、上記の配向度は、個々の導電性繊維Fの配向度を示しているのではなく、多数の導電性繊維Fの全体的な配向度を示している。つまり、垂直方向VD側よりも導電方向CD側に向いている導電性繊維Fの本数が多くなるほど、導電方向CDにおける導電性繊維Fの配向度が高くなり、導電方向CD側よりも垂直方向VD側に向いている導電性繊維Fの本数が多くなるほど、垂直方向VDにおける導電性繊維Fの配向度が高くなる。
The conductive network of the
ここで、導電方向CDにおける導電性繊維Fの配向度が高くなると、導電方向CDにおける導電パターン3の抵抗値が小さくなり、垂直方向VDにおける導電性繊維Fの配向度が高くなると、垂直方向VDにおける導電パターン3の抵抗値が小さくなる。このため、導電パターン3では、導電方向CDにおける単位長さ当たりの抵抗値(ライン抵抗値)は、垂直方向VDにおける単位長さ当たりの抵抗値(ライン抵抗値)よりも小さい。この場合、導電パターン3の、垂直方向VDにおける単位長さ当たりの抵抗値R1に対する導電方向CDにおける単位長さ当たりの抵抗値R2の割合(R2/R1)は、導電方向CDにおける優れた低抵抗性(ESD耐性)を得る観点から、1.0未満であることが好ましく、0.83以下であることが更に好ましく、0.67以下であることが特に好ましい。この割合(R2/R1)は、製造容易性の観点から、0.3以上であることが好ましく、0.4以上であることが更に好ましく、0.5以上であることが特に好ましい。これらの観点から、この割合(R2/R1)は、0.3以上1.0未満であることが好ましく、0.4以上0.83以下であることが更に好ましく、0.5以上0.67以下であることが特に好ましい。導電パターン3の導電方向CD及び垂直方向VDにおける単位長さ当たりの抵抗値は、テスターにより計測することができる。
Here, when the degree of orientation of the conductive fiber F in the conductive direction CD increases, the resistance value of the
<樹脂層>
樹脂層4の材料としては、特に制限されるものではなく、例えば、アクリル樹脂、スチレン樹脂、エポキシ樹脂、アミド樹脂、アミドエポキシ樹脂、アルキド樹脂、フェノール樹脂、エステル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応で得られるエポキシアクリレート樹脂、エポキシアクリレート樹脂と酸無水物の反応で得られる酸変性エポキシアクリレート樹脂を用いることができる。
<Resin layer>
The material of the resin layer 4 is not particularly limited. For example, acrylic resin, styrene resin, epoxy resin, amide resin, amide epoxy resin, alkyd resin, phenol resin, ester resin, urethane resin, epoxy resin ( An epoxy acrylate resin obtained by a reaction of (meth) acrylic acid, an acid-modified epoxy acrylate resin obtained by a reaction of an epoxy acrylate resin and an acid anhydride can be used.
樹脂層4は感光性樹脂組成物を硬化した樹脂硬化物であってもよい。感光性樹脂組成物としては、例えば、国際公開第2014/002770号パンフレットに記載の(a)バインダーポリマー、(b)光重合性化合物及び(c)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物が挙げられる。 The resin layer 4 may be a cured resin obtained by curing a photosensitive resin composition. As the photosensitive resin composition, for example, a photosensitive resin composition containing (a) a binder polymer, (b) a photopolymerizable compound, and (c) a photopolymerization initiator described in International Publication No. 2014/002770 pamphlet. Is mentioned.
導電パターン基材1の透明性を確保する観点から、導電パターン3及び樹脂層4は、両層の合計膜厚を1〜10μmとしたときに450〜650nmの波長域における最小光透過率が80%以上であることが好ましく、85%以上であることがより好ましく、90%以上であることが更に好ましい。このような条件を満たす場合、導電パターン基材1をディスプレイパネル等に適用した際の視認性が向上する。
From the viewpoint of ensuring the transparency of the
(導電パターンの形成方法)
次に、導電パターンの形成方法について説明する。ここでは、一例として、感光性導電フィルム(転写型導電フィルム)を用いて導電パターン(導電パターン基材)を形成する方法について説明する。
(Method for forming conductive pattern)
Next, a method for forming a conductive pattern will be described. Here, as an example, a method for forming a conductive pattern (conductive pattern substrate) using a photosensitive conductive film (transfer type conductive film) will be described.
<感光性導電フィルム>
まず、感光性導電フィルムについて説明する。感光性導電フィルム12は、例えば、図3及び図4に示すように、支持フィルム付き感光性導電フィルム10として用意される。支持フィルム付き感光性導電フィルム10は、支持フィルム11と、支持フィルム11上に設けられた感光性導電フィルム12と、を備える。感光性導電フィルム12は、支持フィルム11上に設けられた導電性ネットワーク13と、導電性ネットワーク13上に設けられた感光性樹脂層14とから構成されている。この場合、感光性導電フィルム12は、導電性ネットワーク13及び感光性樹脂層14を支持フィルム11側からこの順に有する。
<Photosensitive conductive film>
First, the photosensitive conductive film will be described. The photosensitive
<支持フィルム>
支持フィルム11としては、例えば重合体フィルムを用いることができる。重合体フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等が挙げられる。これらのうち、透明性及び耐熱性の観点から、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。
<Support film>
As the
上記の重合体フィルムは、後に感光性導電フィルム12からの剥離が容易となるよう、離型処理されたものであってもよい。
The above polymer film may be subjected to a release treatment so that peeling from the photosensitive
支持フィルム11の厚みは、機械的強度の観点から、5μm以上であることが好ましく、10μm以上であることがより好ましく、15μm以上であることが更に好ましい。支持フィルム11の厚みを上記数値以上とすることによって、例えば、導電性ネットワーク13を形成するために導電性繊維分散液又は導電性繊維溶液を塗工する工程、感光性樹脂層14を形成するために感光性樹脂組成物を塗工する工程で、支持フィルム11が破れることを防止できる。また、後述する露光工程又は現像工程に際し、感光性導電フィルム12から支持フィルム11を剥離する工程においても、同様の効果が期待できる。また、支持フィルム11を介して感光性樹脂層14に活性光線を照射する場合に導電パターンの解像度を充分確保する観点から、支持フィルム11の厚みは、300μm以下であることが好ましく、200μm以下であることがより好ましく、100μm以下であることが更に好ましい。
From the viewpoint of mechanical strength, the thickness of the
上記の観点から、支持フィルム11の厚みは、5〜300μmであることが好ましく、10〜200μmであることがより好ましく、15〜100μmであることが特に好ましい。
From the above viewpoint, the thickness of the
支持フィルム11のヘーズ値は、感度及び解像度を良好にできる観点から、0.01〜5.0%であることが好ましく、0.01〜3.0%であることがより好ましく、0.01〜2.0%であることが更に好ましく、0.01〜1.5%であることが特に好ましい。なお、ヘーズ値はJIS K 7105に準拠して測定することができ、例えば、NDH5000(日本電色工業株式会社製、商品名)等の市販の濁度計などで測定が可能である。
The haze value of the
<導電性ネットワーク>
導電性ネットワーク13は、導電パターン基材1の導電パターン3に含まれる導電性繊維を含んでなるものであり、複数の導電性繊維から形成することができる。
<Conductive network>
The
導電性ネットワーク13には、導電性繊維と合わせて有機導電体を用いることができる。有機導電体としては、導電性ポリマーが挙げられる。導電性ポリマーとしては、ポリチオフェン、ポリチオフェン誘導体、ポリアニリン、及びポリアニリン誘導体からなる群より選択される少なくとも一種のポリマーを用いることができる。例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン、ポリヘキシルチオフェン及びポリアニリン等が挙げられる。
An organic conductor can be used for the
導電性ネットワーク13が、有機導電体を更に含んで導電層を構成する場合、導電層は感光性樹脂組成物を更に含むことが好ましい。感光性樹脂組成物は後述する感光性樹脂層を構成する成分を用いることができる。
When the
本実施形態においては、導電性ネットワーク13が感光性樹脂層14の一方の主面側に設けられる。
In the present embodiment, the
また、導電性ネットワーク13と感光性樹脂層14との境界は必ずしも明確になっている必要はない。導電性ネットワーク13は、感光性樹脂層14の面方向に導電性が得られるものであればよい。感光性樹脂層の一方の主面側に設けられた導電性ネットワークは、例えば、(1)感光性樹脂層14に埋没している形態、(2)感光性樹脂層14に埋没し、一部分が感光性樹脂層14の主面から露出している形態、(3)感光性樹脂層14の主面上に露出した形態で存在していてもよい。
Further, the boundary between the
以下で説明する感光性樹脂層14の厚みは、導電性ネットワーク13が感光性樹脂層14に埋没している場合には、導電性ネットワーク13の一部分を含めた厚みを指す。また、導電性ネットワーク13の少なくとも一部分が感光性樹脂層14から露出している場合には、当該一部分を除いた感光性樹脂層14自体の厚みを指す。
The thickness of the
導電性ネットワーク13は、例えば、支持フィルム11上に、上述した導電性繊維、水及び/又は有機溶剤、必要に応じて有機導電体及び界面活性剤等の分散安定剤等を加えた導電性繊維分散液を塗工し、乾燥することで形成することができる。また導電性繊維分散液が金属ナノワイヤーを含む場合、金属ナノワイヤー同士の融着を促進するために、金属塩を添加してもよい。乾燥後、支持フィルム11上に形成した導電性ネットワーク13は、必要に応じてラミネートされてもよい。
The
塗工は、例えばロールコート法、コンマコート法、グラビアコート法、エアーナイフコート法、ダイコート法、バーコート法、スプレーコート法等の公知の方法で行うことができる。また、乾燥は、30〜150℃で1〜30分間程度、熱風対流式乾燥機等で行うことができる。導電性ネットワーク13において、導電性繊維及び有機導電体は界面活性剤及び分散安定剤と共存していてもかまわない。本明細書において導電性ネットワークは、導電性繊維が分散した塗布液に含有する溶媒、添加剤等に由来する乾燥後残留物を含む。
The coating can be performed by a known method such as a roll coating method, a comma coating method, a gravure coating method, an air knife coating method, a die coating method, a bar coating method, or a spray coating method. The drying can be performed at 30 to 150 ° C. for about 1 to 30 minutes using a hot air convection dryer or the like. In the
<感光性樹脂層>
感光性樹脂層14は、(A)バインダーポリマー、(B)重合性化合物、(C)光重合開始剤、並びに、(D)金属錯体及び/又はヘテロ原子化合物を含有する感光性樹脂組成物から形成することができる。
<Photosensitive resin layer>
The
<バインダーポリマー>
(A)バインダーポリマーとしては、例えば、アクリル樹脂、スチレン樹脂、エポキシ樹脂、アミド樹脂、アミドエポキシ樹脂、アルキド樹脂、フェノール樹脂、エステル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応で得られるエポキシアクリレート樹脂、エポキシアクリレート樹脂と酸無水物の反応で得られる酸変性エポキシアクリレート樹脂等が挙げられる。
<Binder polymer>
(A) As a binder polymer, for example, obtained by reaction of acrylic resin, styrene resin, epoxy resin, amide resin, amide epoxy resin, alkyd resin, phenol resin, ester resin, urethane resin, epoxy resin and (meth) acrylic acid Examples thereof include epoxy acrylate resins, acid-modified epoxy acrylate resins obtained by reaction of epoxy acrylate resins and acid anhydrides, and the like.
上記の中でも、アルカリ現像性及びフィルム形成性に優れる観点から、アクリル樹脂を用いることが好ましい。また。上記アクリル樹脂が(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来する構造単位を構成単位として有するとより好ましい。ここで、「アクリル樹脂」とは、(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体に由来する構造単位を主に有する重合体のことを意味する。 Among these, it is preferable to use an acrylic resin from the viewpoint of excellent alkali developability and film formability. Also. More preferably, the acrylic resin has a structural unit derived from (meth) acrylic acid and a (meth) acrylic acid alkyl ester as a structural unit. Here, the “acrylic resin” means a polymer mainly having a structural unit derived from a polymerizable monomer having a (meth) acryloyl group.
<重合性化合物>
(B)重合性化合物としては、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物が好ましい。エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物としては、公知の化合物を用いることができる。例えば、多価アルコールにα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、グリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、ウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物等のウレタンモノマー、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシプロピル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート等のフタル酸系化合物、(メタ)アクリル酸アルキルエステルなどが挙げられる。
<Polymerizable compound>
(B) As the polymerizable compound, a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond is preferable. A known compound can be used as the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. For example, a compound obtained by reacting a polyhydric alcohol with an α, β-unsaturated carboxylic acid, a compound obtained by reacting a glycidyl group-containing compound with an α, β-unsaturated carboxylic acid, and having a urethane bond (meth) Urethane monomers such as acrylate compounds, γ-chloro-β-hydroxypropyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyethyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β Examples thereof include phthalic acid compounds such as -hydroxypropyl-β '-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, and (meth) acrylic acid alkyl esters.
(B)重合性化合物の含有割合は、(A)バインダーポリマー及び(B)重合性化合物の総量100質量部に対して、30〜80質量部であることが好ましく、40〜70質量部であることがより好ましく、40〜60質量部であることが更に好ましい。光硬化性及び形成された導電性ネットワーク13上への塗工性に優れる点では、30質量部以上であることが好ましく、フィルムとして巻き取った場合の保管安定性に優れる点では、80質量部以下であることが好ましい。
The content ratio of the (B) polymerizable compound is preferably 30 to 80 parts by mass and 40 to 70 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the (A) binder polymer and the (B) polymerizable compound. It is more preferable, and it is still more preferable that it is 40-60 mass parts. It is preferably 30 parts by mass or more in terms of excellent photocurability and coatability on the formed
<光重合開始剤>
(C)光重合開始剤としては、活性光線の照射によって感光性樹脂層14を硬化させることができるものであれば、特に制限されない。光硬化性に優れる観点からは、ラジカル重合開始剤を用いることが好ましい。例えば、ベンゾフェノン、N、N’−テトラメチル−4、4’−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、N、N’−テトラエチル−4、4’−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−プロパノン−1等の芳香族ケトン;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物;ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物;1、2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン1−(O−アセチルオキシム)等のオキシムエステル化合物;ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体;2−(o−クロロフェニル)−4、5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4、5−ジ(メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4、5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4、5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4、5−ジフェニルイミダゾール二量体等の2、4、5−トリアリールイミダゾール二量体;9−フェニルアクリジン、1、7−ビス(9、9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体;2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド等のフォスフィンオキサイド;N−フェニルグリシン、N−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物、オキサゾール系化合物などが挙げられる。
<Photopolymerization initiator>
(C) As a photoinitiator, if the
これらの中でも、透明性、及び感光性樹脂層14の厚み10μm以下でのパターン形成能の観点から、オキシムエステル化合物又はフォスフィンオキサイド化合物が好ましい。
Among these, an oxime ester compound or a phosphine oxide compound is preferable from the viewpoints of transparency and pattern forming ability when the thickness of the
(C)光重合開始剤の含有割合は、(A)バインダーポリマー及び(B)重合性化合物の総量100質量部に対して、0.1〜20質量部であることが好ましく、1〜10質量部であることがより好ましく、1〜5質量部であることが更に好ましい。光感度に優れる点では、0.1質量部以上であることが好ましく、感光性樹脂層14の内部の光硬化性に優れる点では、20質量部以下であることが好ましい。
The content ratio of (C) the photopolymerization initiator is preferably 0.1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of (A) binder polymer and (B) polymerizable compound, and 1 to 10 parts by mass. More preferably, it is 1 to 5 parts by mass. In terms of excellent photosensitivity, it is preferably 0.1 parts by mass or more, and in terms of excellent photocurability inside the
<金属錯体及び/又はヘテロ原子化合物>
(D)成分のうちの金属錯体としては、例えば、アセチルアセトン金属錯体、アンミン金属錯体、シアノ金属錯体、クロロ金属錯体、フルオロ金属錯体、ブロモ金属錯体、スルファト金属錯体、チオシアナト金属錯体、アセタト金属錯体等が挙げられ、感光性樹脂層中への溶解性及び安定性の観点から、アセチルアセトン金属錯体が好ましい。
<Metal complex and / or heteroatom compound>
Examples of the metal complex of component (D) include acetylacetone metal complex, ammine metal complex, cyano metal complex, chloro metal complex, fluoro metal complex, bromo metal complex, sulfato metal complex, thiocyanate metal complex, and acetate metal complex. From the viewpoint of solubility and stability in the photosensitive resin layer, an acetylacetone metal complex is preferable.
<その他の成分>
感光性樹脂層14には、必要に応じて、各種添加剤を含有させることができる。添加剤としては、p−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤、防錆剤等を含有させることができる。これらの添加剤の添加量は、(A)バインダーポリマー及び(B)重合性化合物の総量100質量部に対して各々0.01〜20質量部であることが好ましい。
<Other ingredients>
Various additives can be contained in the
感光性樹脂層14は、支持フィルム11上に形成された導電性ネットワーク13上に、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、N、N−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解した、固形分10〜60質量%程度の感光性樹脂組成物の溶液を塗工した後、乾燥することにより形成できる。但し、この場合、乾燥後の感光性樹脂層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止するため、2質量%以下であることが好ましい。また、本発明における感光性導電フィルムは、感光性樹脂層と導電性ネットワークの間に、他の層を介在させてもよい。
The
塗工は、公知の方法で行うことができる。例えば、ロールコート法、コンマコート法、グラビアコート法、エアーナイフコート法、ダイコート法、バーコート法、スプレーコート法等が挙げられる。塗工後、有機溶剤等を除去するための乾燥は、70〜150℃で5〜30分間程度、熱風対流式乾燥機等で行うことができる。 Coating can be performed by a known method. Examples thereof include a roll coating method, a comma coating method, a gravure coating method, an air knife coating method, a die coating method, a bar coating method, and a spray coating method. After coating, drying for removing the organic solvent and the like can be performed at 70 to 150 ° C. for about 5 to 30 minutes with a hot air convection dryer or the like.
<他の層>
本発明の感光性導電フィルムは、本発明の効果が得られる範囲で、適宜選択した他の層を設けてもよい。他の層としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、クッション層、酸素遮蔽層、剥離層、接着層等が挙げられる。感光性導電フィルムは、これらの層を1種単独で有していてもよく、2種以上を有してもよい。また、同種の層を2以上有していてもよい。
<Other layers>
The photosensitive conductive film of the present invention may be provided with other appropriately selected layers as long as the effects of the present invention are obtained. There is no restriction | limiting in particular as another layer, According to the objective, it can select suitably, For example, a cushion layer, an oxygen shielding layer, a peeling layer, an adhesive layer etc. are mentioned. The photosensitive conductive film may have these layers individually by 1 type, and may have 2 or more types. Moreover, you may have 2 or more of the same kind of layers.
<導電性ネットワークにおける導電性繊維の配向>
感光性樹脂層14の塗工により、導電性ネットワーク13は、MD(Machine Direction)方向における導電性繊維の配向度とTD(Traverse Direction)方向における導電性繊維の配向度とが異なる異方性を有するものとなる。具体的には、MD方向における導電性繊維の配向度がTD方向における導電性繊維の配向度よりも大きくなる。
<Orientation of conductive fiber in conductive network>
By applying the
TD方向における導電性繊維の配向度に対するMD方向における導電性繊維の配向度の割合を大きくする方法としては、例えば、感光性樹脂層14の塗工速度を高める方法、感光性樹脂層14の塗工の際にMD方向に送風する方法などがある。
As a method for increasing the ratio of the orientation degree of the conductive fibers in the MD direction to the orientation degree of the conductive fibers in the TD direction, for example, a method for increasing the coating speed of the
[導電パターンの形成方法]
導電パターン形成方法は、導電性繊維を用いてなる導電性ネットワークの導電パターンを基材上に形成する導電パターンの形成方法であって、導電パターンの導電方向における導電性繊維の配向度が、導電方向に垂直な方向である垂直方向における導電性繊維の配向度よりも大きくなるように、導電パターンを形成する。
[Method of forming conductive pattern]
The conductive pattern forming method is a method for forming a conductive pattern of a conductive network using conductive fibers on a substrate, and the degree of orientation of the conductive fibers in the conductive direction of the conductive pattern is determined by the conductive pattern. The conductive pattern is formed so as to be larger than the degree of orientation of the conductive fibers in the vertical direction which is a direction perpendicular to the direction.
この方法は、MD方向における導電性繊維の配向度とTD方向における導電性繊維の配向度とが異なる導電性ネットワークを有する感光性樹脂層を基材上に形成する層形成工程と、感光性樹脂層にマスクパターンを通して活性光線を照射する露光工程と、感光性樹脂層の未露光部を除去することにより、導電パターンを基材上に形成する現像工程と、を有する。そして、露光工程では、基材に対するマスクパターンの向きを、導電性繊維の配向度が垂直方向における導電性繊維の配向度よりも大きくなる向きにする。 This method includes a layer forming step of forming on a substrate a photosensitive resin layer having a conductive network in which the orientation degree of the conductive fibers in the MD direction and the orientation degree of the conductive fibers in the TD direction are different, and the photosensitive resin It has the exposure process which irradiates an active ray through a mask pattern to a layer, and the image development process which forms a conductive pattern on a base material by removing the unexposed part of the photosensitive resin layer. In the exposure step, the orientation of the mask pattern with respect to the substrate is set so that the orientation degree of the conductive fibers is larger than the orientation degree of the conductive fibers in the vertical direction.
[層形成工程]
層形成工程では、図5(a)に示すように、例えば、支持フィルム付き感光性導電フィルム10を、基材2を加熱しながら感光性樹脂層14側を基材2に圧着することで積層できる。なお、この工程は、密着性及び追従性の見地から、減圧下で行われることが好ましい。減圧度は10hPa以下であることが好ましいが、この条件には特に制限はない。支持フィルム付き感光性導電フィルム10の積層は、感光性樹脂層14及び/又は基材2を70〜130℃に加熱しながら行うことが好ましく、圧着圧力は、0.1〜1.0MPa程度(1〜10kgf/cm2程度)とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。また、感光性樹脂層14を上記のように70〜130℃に加熱すれば、予め基材2を予熱処理することは必要ではないが、積層性を更に向上させるために基材2の予熱処理を行うこともできる。
[Layer formation process]
In the layer forming step, for example, as shown in FIG. 5A, the photosensitive
[露光工程]
露光工程での露光方法としては、図5(b)に示すような、アートワークと呼ばれるネガ又はポジのマスクパターン15(遮光マスク)を通して活性光線Lをパターン状に照射する方法(マスク露光法)が挙げられる。
[Exposure process]
As an exposure method in the exposure step, a method of irradiating actinic rays L in a pattern through a negative or positive mask pattern 15 (shading mask) called an artwork as shown in FIG. 5B (mask exposure method) Is mentioned.
このとき、基材2に対するマスクパターン15の向きを、導電方向CDにおける導電性繊維の配向度が垂直方向VDにおける導電性繊維の配向度よりも大きくなる向きにする。つまり、基材2及びマスクパターン15の少なくとも一方の向きを調整することで、導電性ネットワーク13のMD方向と導電パターン3の導電方向CDとを略同じ(同じを含む)方向にする。
At this time, the orientation of the
露光工程での活性光線の光源としては、公知の光源が挙げられる。例えば、紫外線、可視光などを有効に放射することができるカーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプが用いられる。また、Arイオンレーザ、半導体レーザも用いられる。更に、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものも用いられる。また、レーザ露光法等を用いた直接描画法により活性光線をパターン状に照射する方法を採用してもよい。 As a light source of actinic rays in the exposure step, a known light source can be mentioned. For example, a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, or a xenon lamp that can effectively radiate ultraviolet rays, visible light, or the like is used. Ar ion lasers and semiconductor lasers are also used. Further, those that effectively radiate visible light, such as photographic flood bulbs and solar lamps, are also used. Alternatively, a method of irradiating actinic rays in a pattern by a direct drawing method using a laser exposure method or the like may be employed.
露光工程での露光量は、使用する装置及び感光性樹脂組成物の組成によって異なるが、好ましくは5mJ/cm2〜1000mJ/cm2であり、より好ましくは10mJ/cm2〜200mJ/cm2である。光硬化性に優れる点では、10mJ/cm2以上であることが好ましく、解像性の点では200mJ/cm2以下であることが好ましい。 Exposure at the exposure step may vary depending on the composition of the device and the photosensitive resin composition used, preferably 5mJ / cm 2 ~1000mJ / cm 2 , more preferably 10mJ / cm 2 ~200mJ / cm 2 is there. In terms of excellent photocurability, it is preferably 10 mJ / cm 2 or more, and in terms of resolution, it is preferably 200 mJ / cm 2 or less.
露光工程は、空気中、真空中等で行うことができ、露光の雰囲気は特に制限されない。本実施形態においては、支持フィルム11を剥離せずに感光性導電フィルム12が露光されることにより、酸素の影響が小さくなり硬化させやすくなる。
The exposure process can be performed in air, vacuum, or the like, and the exposure atmosphere is not particularly limited. In this embodiment, when the photosensitive
[現像工程]
現像工程では、感光性導電フィルム12の、露光工程における未露光の領域が除去される。具体的には、ウェット現像によって、感光性樹脂層14の硬化していない部分(未露光部分)を、導電性ネットワーク13とともに除去する。これにより、図5(c)に示すように、露光工程により硬化された樹脂硬化層(硬化膜)14a及び導電性ネットワーク13aをからなる導電パターン3を有する導電パターン基材1が得られる。
[Development process]
In the development process, the unexposed areas in the exposure process of the photosensitive
ウェット現像は、例えば、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤系現像液を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッビング等の公知の方法により行うことができる。 The wet development can be performed by a known method such as spraying, rocking dipping, brushing, or scrubbing using, for example, an alkaline aqueous solution, an aqueous developer, or an organic solvent developer.
現像液としては、安全かつ安定であり、操作性が良好なため、アルカリ性水溶液が好ましく用いられる。アルカリ性水溶液としては、0.1〜5質量%炭酸ナトリウム水溶液、0.1〜5質量%炭酸カリウム水溶液、0.1〜5質量%水酸化ナトリウム水溶液、0.1〜5質量%四ホウ酸ナトリウム水溶液等が好ましい。また、現像に用いるアルカリ性水溶液のpHは9〜11の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光性樹脂層の現像性に合わせて調節することができる。また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させてもよい。 As the developer, an alkaline aqueous solution is preferably used because it is safe and stable and has good operability. As alkaline aqueous solution, 0.1-5 mass% sodium carbonate aqueous solution, 0.1-5 mass% potassium carbonate aqueous solution, 0.1-5 mass% sodium hydroxide aqueous solution, 0.1-5 mass% sodium tetraborate An aqueous solution or the like is preferable. The pH of the alkaline aqueous solution used for development is preferably in the range of 9 to 11, and the temperature can be adjusted according to the developability of the photosensitive resin layer. In the alkaline aqueous solution, a surfactant, an antifoaming agent, a small amount of an organic solvent for accelerating development, and the like may be mixed.
現像の方式としては、例えば、ディップ方式、パドル方式、高圧スプレー方式、ブラッシング、スクラッビング等が挙げられる。これらのうち、高圧スプレー方式を用いることが、解像度向上の観点から好ましい。 Examples of the development method include a dip method, a paddle method, a high-pressure spray method, brushing, and scrubbing. Among these, it is preferable to use a high-pressure spray system from the viewpoint of improving the resolution.
本実施形態の導電パターンの形成方法においては、現像後に必要に応じて、60〜250℃程度の加熱又は0.2〜10J/cm2程度の露光を行うことにより、導電パターンを更に硬化してもよい。 In the method for forming a conductive pattern of the present embodiment, the conductive pattern is further cured by performing heating at about 60 to 250 ° C. or exposure at about 0.2 to 10 J / cm 2 as necessary after development. Also good.
以上説明したように、本実施形態に係る導電パターンの形成方法では、導電方向CDにおける導電性繊維の配向度が垂直方向VDにおける導電性繊維の配向度よりも大きくなるため、両者の配向度が等しい場合に比べて、導電パターン3の導電方向CDにおける抵抗値が小さくなる。これにより、導電性繊維を増加させなくても、視認性(透過性)を悪化させずにESD耐性を向上させることができる。
As described above, in the method for forming a conductive pattern according to the present embodiment, the degree of orientation of the conductive fibers in the conductive direction CD is larger than the degree of orientation of the conductive fibers in the vertical direction VD. Compared with the case where it is equal, the resistance value in the conductive direction CD of the
そして、露光工程において、基材2に対するマスクパターン15の向きを調整することで、導電方向CDにおける導電性繊維の配向度が垂直方向VDにおける導電性繊維の配向度よりも大きい導電パターン3を形成することができる。
Then, in the exposure process, by adjusting the orientation of the
本実施形態に係る導電パターン基材では、導電方向CDにおける導電性繊維の配向度が垂直方向VDにおける導電性繊維の配向度よりも大きいため、両者の配向度が等しい場合に比べて、導電パターン3の導電方向CDにおける抵抗値が小さくなる。これにより、導電性繊維を増加させなくても、視認性(透過性)を悪化させずにESD耐性を向上させることができる。 In the conductive pattern substrate according to the present embodiment, since the degree of orientation of the conductive fibers in the conductive direction CD is larger than the degree of orientation of the conductive fibers in the vertical direction VD, the conductive pattern is compared with the case where the degree of orientation of both is equal. 3 in the conduction direction CD becomes smaller. Thereby, even if it does not increase electroconductive fiber, ESD tolerance can be improved, without worsening visibility (permeability).
本実施形態に係る導電パターン基材では、導電方向CDにおける導電パターン3の単位長さ当たりの抵抗値R2が、垂直方向VDにおける導電パターン3の単位長さ当たりの抵抗値R1よりも小さいため、導電性繊維を増加させなくても、視認性(透過性)を悪化させずにESD耐性を向上させることができる。
In the conductive pattern substrate according to the present embodiment, the resistance value R2 per unit length of the
そして、導電パターン3の垂直方向VDにおける導電性繊維の配向度に対する導電方向CDにおける導電性繊維の配向度の割合が1.0より大きく3.0未満であるため、製造容易性を確保しつつ、導電パターン3の導電方向における抵抗値をより小さくすることができる。
And since the ratio of the orientation degree of the conductive fiber in the conductive direction CD with respect to the orientation degree of the conductive fiber in the vertical direction VD of the
同様に、導電パターン3の垂直方向VDにおける単位長さ当たりの抵抗値R1に対する導電方向CDにおける単位長さ当たりの抵抗値R2の割合(R2/R1)が0.3以上1.0未満であるため、製造容易性を確保しつつ、導電パターン3の導電方向における抵抗値をより小さくすることができる。
Similarly, the ratio (R2 / R1) of the resistance value R2 per unit length in the conductive direction CD to the resistance value R1 per unit length in the vertical direction VD of the
(タッチパネルセンサ)
次に、本実施形態に係るタッチパネルセンサについて説明する。本実施形態に係るタッチパネルセンサは、上記の導電パターン基材1を備える。
(Touch panel sensor)
Next, the touch panel sensor according to the present embodiment will be described. The touch panel sensor according to the present embodiment includes the
図6は、静電容量方式のタッチパネルセンサの一例を示す模式平面図である。図6に示すタッチパネルセンサは、透明基板等の基材101の片面にタッチ位置を検出するためのタッチ画面102があり、この領域に静電容量変化を検出して、X位置座標とする透明電極103(導電パターン)と、Y位置座標とする透明電極104(導電パターン)を備えている。これらのX、Y位置座標とするそれぞれの透明電極103、104には、タッチパネルセンサとしての電気信号を制御するドライバー素子回路と接続するための引き出し配線105と、その引き出し配線105と透明電極103、104を接続する接続電極106が配置されている。更に、引き出し配線105の接続電極106と反対側の端部には、ドライバー素子回路と接続する接続端子107が配置されている。
FIG. 6 is a schematic plan view illustrating an example of a capacitive touch panel sensor. The touch panel sensor shown in FIG. 6 has a
次に、図7も参照して、タッチパネルセンサの製造方法について説明する。図7(a)及び図7(c)は、タッチパネルセンサの製造方法を説明するための模式平面図であり、図7(b)は、図7(a)のI−I線における模式断面図であり、図7(d)は、図7(c)のII−II線における模式断面図である。 Next, a method for manufacturing a touch panel sensor will be described with reference to FIG. 7 (a) and 7 (c) are schematic plan views for explaining a method for manufacturing a touch panel sensor, and FIG. 7 (b) is a schematic cross-sectional view taken along the line II of FIG. 7 (a). FIG.7 (d) is a schematic cross section in the II-II line | wire of FIG.7 (c).
本実施形態では、まず、図7(a)及び図7(b)に示すように、基材101上に、透明電極103(X電極)を形成する。具体的には、支持フィルム付き感光性導電フィルム10を感光性樹脂層14が基材101に密着するようラミネートする。転写した感光性導電フィルム12(導電性ネットワーク13及び感光性樹脂層14)に対し、マスクパターン15を通してパターン状に活性光線を照射する。このとき、基材101に対するマスクパターン15の向きを、導電方向CDにおける導電性繊維の配向度が垂直方向VDにおける導電性繊維の配向度よりも大きくなる向きにする。露光工程の後、現像を行うことで、硬化が不充分な感光性樹脂層14と共に、導電性ネットワーク13が除去され、所定のパターンを有する導電性ネットワーク13aが形成される。この所定のパターンを有する導電性ネットワーク13aによりX位置座標を検知する透明電極103(導電パターン)が形成される。
In the present embodiment, first, as shown in FIGS. 7A and 7B, the transparent electrode 103 (X electrode) is formed on the
続いて、図7(c)及び図7(d)に示すように、透明電極104(導電パターン)を形成する。具体的には、上記の工程により形成された透明電極103を備える基材101に、更に、新たな支持フィルム付き感光性導電フィルム10をラミネートし、上記同様の操作により、透明電極104が形成される。
Subsequently, as shown in FIGS. 7C and 7D, a transparent electrode 104 (conductive pattern) is formed. Specifically, the
次に、基材101の表面に、外部回路と接続するための引き出し配線105と、この引き出し線と透明電極103、104を接続する接続電極106を形成する。引き出し配線105及び接続電極106は、透明電極103及び104の形成後に形成してもよく、各透明電極形成時に同時に形成してもよい。引き出し配線105は、例えば、フレーク状の銀を含有する導電ペースト材料を使って、スクリーン印刷法を用いて、接続電極106を形成するのと同時に形成することができる。
Next, on the surface of the
以上説明したように、本実施形態に係るタッチパネルセンサでは、上述した導電パターン基材1を備えるため、視認性を悪化させずにESD耐性を向上することができる。
As described above, since the touch panel sensor according to the present embodiment includes the conductive
本発明の導電パターンの形成方法、導電パターン基材及びタッチパネルセンサは、以上説明した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更が可能である。 The method for forming a conductive pattern, the conductive pattern base material, and the touch panel sensor of the present invention are not limited to the embodiment described above, and can be appropriately changed without departing from the gist of the present invention.
例えば、上記実施形態の導電パターン基材は、一層の導電パターンを備えるものとして説明したが、二層以上の導電パターンを備えるものとしてもよい。例えば、導電パターン基材が二層の導電パターンを備える場合、図8に示す導電パターン基材1Aのように、導電パターン3及び樹脂層4と、導電パターン5及び樹脂層6とが、基材2に対して同じ側に配置されていてもよく、図9に示す導電パターン基材1Bのように、導電パターン3及び樹脂層4と、導電パターン5及び樹脂層6とが、基材2に対して反対側に配置されていてもよい。図8に示す導電パターン基材1Aでは、基材2の一方の主面上に、樹脂層4、導電パターン3、樹脂層6、及び導電パターン5が、この順で配置されている。図9に示す導電パターン基材1Bでは、基材2の一方の主面上に、樹脂層4及び導電パターン3が、この順で配置されており、基材2の他方の主面上に、樹脂層6及び導電パターン5が、この順で配置されている。
For example, although the conductive pattern base material of the above-described embodiment has been described as including a single conductive pattern, the conductive pattern substrate may include two or more conductive patterns. For example, when the conductive pattern base material includes two layers of conductive patterns, the
また、上記実施形態の導電パターン基材は、基材2上に、導電パターン3及び樹脂層4が直接的に形成されていたが、基材2と導電パターン3及び樹脂層4との間に他の構成要素が介在していてもよい。例えば、基材2と導電パターン3及び樹脂層4との間に、ITO、酸化インジウム及び酸化スズ等により形成された他の導電パターンが形成されていてもよい。
Moreover, although the conductive pattern base material of the said embodiment and the
また、上記実施形態のタッチパネルセンサは、X位置座標とする透明電極103及びY位置座標とする透明電極104の双方とも、導電性繊維を用いてなる導電性ネットワークにより形成されるものとして説明したが、何れか一方は、ITO、酸化インジウム及び酸化スズ等により形成されていてもよい。
In the touch panel sensor of the above embodiment, both the
また、上記実施形態の導電パターン基材及びタッチパネルセンサでは、導電性繊維を用いてなる導電性ネットワークの導電パターンは、樹脂層を介して基材上に形成されているものとして説明したが、樹脂層を介することなく、OCA(Optical Clear Adhesive)等の接着剤により基材上に直接的に形成されていてもよい。 In the conductive pattern substrate and touch panel sensor of the above embodiment, the conductive pattern of the conductive network using conductive fibers has been described as being formed on the substrate via a resin layer. You may form directly on the base material by adhesives, such as OCA (Optical Clear Adhesive), without passing through a layer.
1,1A,1B…導電パターン基材、2…基材、3…導電パターン、4…樹脂層、5…導電パターン、6…樹脂層、10…支持フィルム付き感光性導電フィルム、11…支持フィルム、12…感光性導電フィルム、13…導電性ネットワーク、13a…導電性ネットワーク、14…感光性樹脂層、14a…樹脂硬化層、15…マスクパターン、101…基材、102…タッチ画面、103…透明電極(導電パターン)、104…透明電極(導電パターン)、105…引き出し配線、106…接続電極、107…接続端子、CD…導電方向、VD…垂直方向。
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記導電パターンの導電方向における前記導電性繊維の配向度が、前記導電方向に垂直な方向である垂直方向における前記導電性繊維の配向度よりも大きくなるように、前記導電パターンを形成する、
導電パターンの形成方法。 A conductive pattern forming method for forming a conductive pattern of a conductive network using conductive fibers on a substrate,
Forming the conductive pattern such that the degree of orientation of the conductive fibers in the conductive direction of the conductive pattern is greater than the degree of orientation of the conductive fibers in the vertical direction, which is a direction perpendicular to the conductive direction;
A method for forming a conductive pattern.
前記感光性樹脂層にマスクパターンを通して活性光線を照射する露光工程と、
前記感光性樹脂層の未露光部を除去することにより、前記導電パターンを前記基材上に形成する現像工程と、を有し、
前記露光工程では、前記基材に対する前記マスクパターンの向きを、導電方向における前記導電性繊維の配向度が前記垂直方向における前記導電性繊維の配向度よりも大きくなる向きにする、
請求項1に記載の導電パターンの形成方法。 A layer forming step of forming on the base material a photosensitive resin layer having the conductive network in which the degree of orientation of the conductive fibers in the MD direction and the degree of orientation of the conductive fibers in the TD direction are different;
An exposure step of irradiating the photosensitive resin layer with actinic rays through a mask pattern;
A development step of forming the conductive pattern on the substrate by removing an unexposed portion of the photosensitive resin layer,
In the exposure step, the orientation of the mask pattern relative to the base material is such that the orientation degree of the conductive fibers in the conductive direction is larger than the orientation degree of the conductive fibers in the vertical direction.
The method for forming a conductive pattern according to claim 1.
前記基材上に形成され、導電性繊維を用いてなる導電性ネットワークを有する導電パターンと、を備え、
前記導電パターンでは、前記導電パターンの導電方向における前記導電性繊維の配向度は、前記導電方向に垂直な方向である垂直方向における前記導電性繊維の配向度よりも大きい、
導電パターン基材。 A substrate;
A conductive pattern formed on the base material and having a conductive network using conductive fibers,
In the conductive pattern, the degree of orientation of the conductive fibers in the conductive direction of the conductive pattern is greater than the degree of orientation of the conductive fibers in the vertical direction, which is a direction perpendicular to the conductive direction.
Conductive pattern base material.
前記基材上に形成され、導電性繊維を用いてなる導電性ネットワークを有する導電パターンと、を備え、
前記導電パターンでは、前記導電パターンの導電方向における単位長さ当たりの抵抗値は、前記導電方向に垂直な方向である垂直方向における単位長さ当たりの抵抗値よりも小さい、
導電パターン基材。 A substrate;
A conductive pattern formed on the base material and having a conductive network using conductive fibers,
In the conductive pattern, a resistance value per unit length in the conductive direction of the conductive pattern is smaller than a resistance value per unit length in a vertical direction that is a direction perpendicular to the conductive direction.
Conductive pattern base material.
請求項3又は4に記載の導電パターン基材。 The ratio of the orientation degree of the conductive fiber in the conductive direction to the orientation degree of the conductive fiber in the vertical direction of the conductive pattern is greater than 1.0 and less than 3.0.
The conductive pattern base material according to claim 3 or 4.
請求項3〜5の何れか一項に記載の導電パターン基材。 The ratio of the resistance value per unit length in the conductive direction to the resistance value per unit length in the vertical direction of the conductive pattern is 0.3 or more and less than 1.0.
The electroconductive pattern base material as described in any one of Claims 3-5.
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