JP2019144157A - Sensor device and method for manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、センサー装置及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a sensor device and a manufacturing method thereof.
特開2013−19825号公報(特許文献1)は、センサーデバイスを開示している。特許文献1に開示されたセンサーデバイスは、固定部材と、固定部材に固定された複数のセンサー部品とを備えている。固定部材は、複数のセンサー部品を収容するケーシングの一部を構成している。
Japanese Patent Laying-Open No. 2013-19825 (Patent Document 1) discloses a sensor device. The sensor device disclosed in
本発明の目的は、小型化されかつ高い作業効率で製造され得るセンサー装置及びその製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide a sensor device that can be miniaturized and manufactured with high work efficiency, and a method for manufacturing the sensor device.
本発明のセンサー装置は、フレームと、第1の配線基板と、第2の配線基板と、第3の配線基板と、第4の配線基板と、制御ユニットとを備える。第1の配線基板と、第2の配線基板と、第3の配線基板と、第4の配線基板とは、フレームに取り付けられている。第4の配線基板は、第1の方向において、第1の配線基板に対向して配置されている。フレームは、第1の側から第2の側にかけて連続的に延在する第1の開口を有している。第1の側は、フレームの中心に対して第2の配線基板と反対側である。第2の側は、フレームの中心に対して第3の配線基板と反対側である。制御ユニットは、フレームの内部に配置されており、かつ、第1の配線基板と第4の配線基板とに取り付けられている。 The sensor device of the present invention includes a frame, a first wiring board, a second wiring board, a third wiring board, a fourth wiring board, and a control unit. The first wiring board, the second wiring board, the third wiring board, and the fourth wiring board are attached to the frame. The fourth wiring board is disposed to face the first wiring board in the first direction. The frame has a first opening extending continuously from the first side to the second side. The first side is opposite to the second wiring board with respect to the center of the frame. The second side is opposite to the third wiring board with respect to the center of the frame. The control unit is disposed inside the frame and attached to the first wiring board and the fourth wiring board.
本発明のセンサー装置の製造方法は、第1の配線基板と、第2の配線基板と、第3の配線基板と、第4の配線基板とを、フレームに取り付けることを備える。フレームは、第1の側から第2の側にかけて連続的に延在する第1の開口を有している。第1の側は、フレームの中心に対して第2の配線基板と反対側である。第2の側は、フレームの中心に対して第3の配線基板と反対側である。本発明のセンサー装置の製造方法は、第1の開口を通してフレームの外部からフレームの内部に制御ユニットを入れることと、制御ユニットを、第1の配線基板と第4の配線基板とに取り付けることとをさらに備える。 The manufacturing method of the sensor device of the present invention includes attaching the first wiring board, the second wiring board, the third wiring board, and the fourth wiring board to the frame. The frame has a first opening extending continuously from the first side to the second side. The first side is opposite to the second wiring board with respect to the center of the frame. The second side is opposite to the third wiring board with respect to the center of the frame. The method of manufacturing the sensor device of the present invention includes inserting a control unit from the outside of the frame into the frame through the first opening, and attaching the control unit to the first wiring board and the fourth wiring board. Is further provided.
本発明のセンサー装置及びその製造方法では、フレームは、第1の側から第2の側にかけて連続的に延在する第1の開口を有している。そのため、作業者は、フレームの内部の空間の任意の場所に容易にアクセスすることができる。制御ユニットは、フレームの外部からフレームの内部に容易に入れられ得るとともに、第1の配線基板と第4の配線基板とに容易に取り付けられ得る。制御ユニットはフレームの内部の空間に配置されるため、フレームの内部の空間の利用効率が向上する。本発明のセンサー装置及びその製造方法によれば、小型化され得るとともに、高い作業効率で製造され得る構造を有するセンサー装置が提供され得る。 In the sensor device and the manufacturing method thereof according to the present invention, the frame has a first opening extending continuously from the first side to the second side. Therefore, the worker can easily access any place in the space inside the frame. The control unit can be easily put into the frame from the outside of the frame and can be easily attached to the first wiring board and the fourth wiring board. Since the control unit is arranged in the space inside the frame, the utilization efficiency of the space inside the frame is improved. According to the sensor device and the manufacturing method thereof of the present invention, it is possible to provide a sensor device having a structure that can be downsized and manufactured with high work efficiency.
以下、本発明の実施の形態を説明する。なお、同一の構成には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。 Embodiments of the present invention will be described below. The same components are denoted by the same reference numerals, and description thereof is not repeated.
実施の形態1.
図1から図4を参照して、実施の形態1に係るセンサー装置1を説明する。センサー装置1は、フレーム3と、第1の配線基板20と、第2の配線基板10と、第3の配線基板15と、第4の配線基板22と、第1のセンサー部品21と、第2のセンサー部品11と、第3のセンサー部品16と、制御ユニット30とを主に備える。センサー装置1は、第5の配線基板12と、第6の配線基板17と、第4のセンサー部品23と、第5のセンサー部品13と、第6のセンサー部品18とをさらに備えてもよい。
With reference to FIG. 1 to FIG. 4, the
第1の配線基板20は、リジッドな配線基板である。本明細書において、リジッドな基板は、硬質で変形し難い基板を意味する。第1の配線基板20は、第1の方向(z方向)に平行な法線を有する平らな基板であってもよい。第1の配線基板20は、第1の方向(z方向)に垂直な第2の方向(x方向)と第3の方向(y方向)とに延在してもよい。第1の配線基板20は、端子20r,20sを含む。端子20r,20sは、第1の配線基板20を貫通してもよい。第1の配線基板20は、第1の配線(図示せず)を含んでいる。第1の配線基板20上には、第1のセンサー部品21に加えて、他の電子部品が搭載されてもよい。
The
第2の配線基板10は、リジッドな配線基板である。第2の配線基板10は、第2の方向(x方向)に平行な法線を有する平らな基板であってもよい。第2の配線基板10は、第2の方向(x方向)に垂直な第3の方向(y方向)と第1の方向(z方向)とに延在してもよい。第2の配線基板10は、第2の配線(図示せず)を含んでいる。第2の配線基板10上には、第2のセンサー部品11に加えて、他の電子部品が搭載されてもよい。
The
第3の配線基板15は、リジッドな配線基板である。第3の配線基板15は、第3の方向(y方向)に平行な法線を有する平らな基板であってもよい。第3の配線基板15は、第3の方向(y方向)に垂直な第1の方向(z方向)と第2の方向(x方向)とに延在してもよい。第3の配線基板15は、第3の配線(図示せず)を含んでいる。第3の配線基板15上には、第3のセンサー部品16に加えて、他の電子部品が搭載されてもよい。
The
第4の配線基板22は、リジッドな配線基板である。第4の配線基板22は、第1の方向(z方向)に平行な法線を有する平らな基板であってもよい。第4の配線基板22は、第1の方向(z方向)に垂直な第2の方向(x方向)と第3の方向(y方向)とに延在してもよい。第4の配線基板22は、第1の方向(z方向)において、第1の配線基板20に対向して配置されている。第4の配線基板22は、端子22r,22sを含む。端子22r,22sは、第4の配線基板22を貫通してもよい。第4の配線基板22は、第4の配線(図示せず)を含んでいる。第4の配線基板22上には、第4のセンサー部品23に加えて、他の電子部品が搭載されてもよい。
The
第5の配線基板12は、リジッドな配線基板である。第5の配線基板12は、第2の方向(x方向)に平行な法線を有する平らな基板であってもよい。第5の配線基板12は、第2の方向(x方向)に垂直な第3の方向(y方向)と第1の方向(z方向)とに延在してもよい。第5の配線基板12は、第2の方向(x方向)において、第2の配線基板10に対向して配置されている。第5の配線基板12は、第5の配線(図示せず)を含んでいる。第5の配線基板12上には、第5のセンサー部品13に加えて、他の電子部品が搭載されてもよい。
The
第6の配線基板17は、リジッドな配線基板である。第6の配線基板17は、第3の方向(y方向)に平行な法線を有する平らな基板であってもよい。第6の配線基板17は、第3の方向(y方向)に垂直な第1の方向(z方向)と第2の方向(x方向)とに延在してもよい。第6の配線基板17は、第3の方向(y方向)において、第3の配線基板15に対向して配置されている。第6の配線基板17は、第6の配線(図示せず)を含んでいる。第6の配線基板17上には、第6のセンサー部品18に加えて、他の電子部品が搭載されてもよい。
The
図2に示されるように、フレーム3は、直方体の形状を有してもよい。フレーム3は、第1部分4aと、第2部分4bと、第1部分4aと第2部分4bとを接続する第3部分4cとを含んでもよい。第1部分4aは、第1の方向(z方向)におけるフレーム3の一方の端部であり、第2部分4bは、第1の方向(z方向)におけるフレーム3の他方の端部である。第3部分4cは、第1の方向(z方向)の延在する複数の柱を含んでもよい。フレーム3は、特に限定されないが、絶縁性を有する樹脂で形成されてもよいし、金属で形成されてもよい。フレーム3は、単一の部材で形成されてもよいし、複数の柱状部材を組み立てることによって形成されてもよい。
As shown in FIG. 2, the
フレーム3は、第1の開口5aと、第2の開口5bと、第3の開口5cと、第4の開口5dと、第5の開口5eとを有する。第1の開口5aは、第1の側から第2の側にかけて連続的に延在している。第1の側は、フレーム3の中心に対して第2の配線基板10と反対側である。第2の側は、フレーム3の中心に対して第3の配線基板15と反対側である。第1の開口5aは、第1部分4aの一部と第2部分4bの一部と第3部分4cの一部とによって囲まれている。第1の開口5aは、第1の方向(z方向)において、第1部分4aから第2部分4bにわたって延在している。第2の開口5bは、第1部分4aによって囲まれている。第3の開口5cは、第1部分4aの一部と第2部分4bの一部と第3部分4cの一部とによって囲まれている。第4の開口5dは、第1部分4aの一部と第2部分4bの一部と第3部分4cの一部とによって囲まれている。第5の開口5eは、第2部分4bによって囲まれている。
The
第1の開口5aと、第2の開口5bと、第3の開口5cと、第4の開口5dと、第5の開口5eとは、各々、フレーム3の内部の空間と連通している。特定的には、第1の開口5aは、第2の方向(x方向)と第3の方向(y方向)とにおいて、フレーム3の内部の空間と連通している。第2の開口5bは、第1の方向(z方向)において、フレーム3の内部の空間と連通している。第3の開口5cは、第2の方向(x方向)において、フレーム3の内部の空間と連通している。第4の開口5dは、第3の方向(y方向)において、フレーム3の内部の空間と連通している。第5の開口5eは、第1の方向(z方向)において、フレーム3の内部の空間と連通している。
The
第1の配線基板20と、第2の配線基板10と、第3の配線基板15とは、ネジまたはボルトのような固定部材を用いて、フレーム3に取り付けられてもよい。第1の配線基板20は、第1の接合部を介して、フレーム3に取り付けられてもよい。第1の接合部は、第1の配線基板20をフレーム3に接合する。第2の配線基板10は、第2の接合部を介して、フレーム3に取り付けられてもよい。第2の接合部は、第2の配線基板10をフレーム3に接合する。第3の配線基板15は、第3の接合部を介して、フレーム3に取り付けられてもよい。第3の接合部は、第3の配線基板15をフレーム3に接合する。例えば、第1から第3の接合部は、各々、はんだまたは接着剤で形成されてもよい。
The
第4の配線基板22と、第5の配線基板12と、第6の配線基板17とは、ネジまたはボルトのような固定部材を用いて、フレーム3に取り付けられてもよい。第4の配線基板22は、第4の接合部を介して、フレーム3に取り付けられてもよい。第4の接合部は、第4の配線基板22をフレーム3に接合する。第5の配線基板12は、第5の接合部を介して、フレーム3に取り付けられてもよい。第5の接合部は、第5の配線基板12をフレーム3に接合する。第6の配線基板17は、第6の接合部を介して、フレーム3に取り付けられてもよい。第6の接合部は、第6の配線基板17をフレーム3に接合する。例えば、第4から第6の接合部は、各々、はんだまたは接着剤で形成されてもよい。
The
特定的には、第1の配線基板20は、フレーム3の外表面7上に取り付けられている。第1の配線基板20は、第2の開口5bを完全に閉塞してもよいし、第2の開口5bの少なくとも一部を閉塞してもよい。第2の配線基板10は、フレーム3の外表面7上に取り付けられている。第2の配線基板10は、第3の開口5cを完全に閉塞してもよいし、第3の開口5cの少なくとも一部を閉塞してもよい。第3の配線基板15は、フレーム3の外表面7上に取り付けられている。第3の配線基板15は、第4の開口5dを完全に閉塞してもよいし、第4の開口5dの少なくとも一部を閉塞してもよい。
Specifically, the
第4の配線基板22は、フレーム3の内表面8上に取り付けられている。第4の配線基板22は、第5の開口5eを完全に閉塞してもよいし、第5の開口5eの少なくとも一部を閉塞してもよい。第5の配線基板12は、フレーム3の内表面8上に取り付けられている。第5の配線基板12は、第3の開口5cを完全に閉塞してもよいし、第3の開口5cの少なくとも一部を閉塞してもよい。第6の配線基板17は、フレーム3の内表面8上に取り付けられている。第6の配線基板17は、第4の開口5dを完全に閉塞してもよいし、第4の開口5dの少なくとも一部を閉塞してもよい。
The
第1のセンサー部品21は、第1の配線基板20上に搭載されている。第1のセンサー部品21は、第1の配線基板20の外表面上に搭載されてもよい。本明細書において、基板の外表面は、基板の内表面と反対側の表面を意味し、基板の内表面は、フレーム3の中心に面する表面を意味する。第1のセンサー部品21は、第1の方向(z方向)についての第1の物理量を測定し得るように構成されている。第1の方向(z方向)についての第1の物理量は、例えば、第1の方向(z方向)に平行な第1の軸(z軸)まわりの角速度であってもよい。第1のセンサー部品21は、例えば、第1の軸(z軸)まわりの角速度を検出し得るように構成されている角速度センサー(例えば、ジャイロセンサー)であってもよい。
The
第2のセンサー部品11は、第2の配線基板10上に搭載されている。第2のセンサー部品11は、第2の配線基板10の外表面上に搭載されてもよい。第2のセンサー部品11は、第2の方向(x方向)についての第2の物理量を測定し得るように構成されている。第2の方向(x方向)についての第2の物理量は、例えば、第2の方向(x方向)に平行な第2の軸(x軸)まわりの角速度であってもよい。第2のセンサー部品11は、例えば、第2の軸(x軸)まわりの角速度を検出し得るように構成されている角速度センサー(例えば、ジャイロセンサー)であってもよい。
The
第3のセンサー部品16は、第3の配線基板15上に搭載されている。第3のセンサー部品16は、第3の配線基板15の外表面上に搭載されてもよい。第3のセンサー部品16は、第3の方向(y方向)についての第3の物理量を測定し得るように構成されている。第3の方向(y方向)についての第3の物理量は、例えば、第3の方向(y方向)に平行な第3の軸(y軸)まわりの角速度であってもよい。第3のセンサー部品16は、例えば、第3の軸(y軸)まわりの角速度を検出し得るように構成されている角速度センサー(例えば、ジャイロセンサー)であってもよい。センサー装置1は、第1のセンサー部品21と第2のセンサー部品11と第3のセンサー部品16とを含む3軸センサー装置であってもよい。
The
第4のセンサー部品23は、第4の配線基板22上に搭載されている。第4のセンサー部品23は、第4の配線基板22の外表面上に搭載されてもよい。第4のセンサー部品23は、第1の方向(z方向)についての第4の物理量を測定し得るように構成されている。第1の方向(z方向)についての第4の物理量は、例えば、第1の方向(z方向)の加速度であってもよい。第4のセンサー部品23は、例えば、第1の方向(z方向)の加速度を検出し得るように構成されている加速度センサーであってもよい。
The
第5のセンサー部品13は、第5の配線基板12上に搭載されている。第5のセンサー部品13は、第5の配線基板12の外表面上に搭載されてもよい。第5のセンサー部品13は、第2の方向(x方向)についての第5の物理量を測定し得るように構成されている。第2の方向(x方向)についての第5の物理量は、例えば、第2の方向(x方向)の加速度であってもよい。第5のセンサー部品13は、例えば、第2の方向(x方向)の加速度を検出し得るように構成されている加速度センサーであってもよい。
The
第6のセンサー部品18は、第6の配線基板17上に搭載されている。第6のセンサー部品18は、第6の配線基板17の外表面上に搭載されてもよい。第6のセンサー部品18は、第3の方向(y方向)についての第6の物理量を測定し得るように構成されている。第3の方向(y方向)についての第6の物理量は、例えば、第3の方向(y方向)の加速度であってもよい。第6のセンサー部品18は、例えば、第3の方向(y方向)の加速度を検出し得るように構成されている加速度センサーであってもよい。センサー装置1は、第1のセンサー部品21と第2のセンサー部品11と第3のセンサー部品16と第4のセンサー部品23と第5のセンサー部品13と第6のセンサー部品18とを含む6軸センサー装置であってもよい。
The
制御ユニット30は、第1のセンサー部品21と第2のセンサー部品11と第3のセンサー部品16とを制御し得るように構成されている。制御ユニット30は、第4のセンサー部品23と第5のセンサー部品13と第6のセンサー部品18とをさらに制御し得るように構成されてもよい。制御ユニット30は、フレーム3の内部に配置されている。
The
制御ユニット30は、第1の配線基板20と第4の配線基板22とに取り付けられている。制御ユニット30は、第1の配線基板20と第4の配線基板22とに電気的及び機械的に接続されている。具体的には、制御ユニット30は、リジッド導電ケーブル36を介して、第1の配線基板20に取り付けられている。制御ユニット30は、リジッド導電ケーブル36を介して、第1の配線基板20の端子20r,20sに電気的に接続されている。リジッド導電ケーブル36は、第1の接合部を介して、第1の配線基板20に取り付けられてもよい。リジッド導電ケーブル36は、第1の接合部と同じ接合部を介して、制御ユニット30に取り付けられてもよい。リジッド導電ケーブル36は、導体37と、導体37を束ねる絶縁体38とを含む。本明細書において、リジッドケーブルは、硬質で変形し難いケーブルを意味する。
The
制御ユニット30は、リジッド導電ケーブル36bを介して、第4の配線基板22に取り付けられている。制御ユニット30は、リジッド導電ケーブル36bを介して、第4の配線基板22の端子22r,22sに電気的に接続されている。リジッド導電ケーブル36bは、第4の接合部を介して、第4の配線基板22に取り付けられてもよい。リジッド導電ケーブル36bは、第4の接合部と同じ接合部を介して、制御ユニット30に取り付けられてもよい。リジッド導電ケーブル36bは、導体37bと、導体37bを束ねる絶縁体38bとを含む。
The
制御ユニット30は、1つ以上の第1の制御回路基板(制御回路基板31,31b,31c,31d)と、1つ以上の第1の制御回路基板(制御回路基板31,31b,31c,31d)上に搭載された1つ以上の制御部32,32b,32c,32dとを含んでもよい。制御ユニット30は、複数の第1の制御回路基板(制御回路基板31,31b,31c,31d)を含んでもよい。複数の第1の制御回路基板(制御回路基板31,31b,31c,31d)は、第1の方向(z方向)において互いに積層されてもよい。
The
複数の第1の制御回路基板(制御回路基板31,31b,31c,31d)は、互いに、リジッド導電ケーブル36cを介して、電気的に接続されてもよい。具体的には、リジッド導電ケーブル36cは、制御回路基板31と制御回路基板31bとにはんだ付けされてもよい。リジッド導電ケーブル36cは、制御回路基板31bと制御回路基板31cとにはんだ付けされてもよい。リジッド導電ケーブル36cは、制御回路基板31cと制御回路基板31dとにはんだ付けされてもよい。リジッド導電ケーブル36cは、導体37cと、導体37cを束ねる絶縁体38cとを含む。
The plurality of first control circuit boards (control
センサー装置1は、電子機器に組み込むことができる。制御部32,32b,32c,32dは、第1のセンサー部品21、第2のセンサー部品11及び第3のセンサー部品16からそれぞれ出力される第1の信号、第2の信号及び第3の信号に基づいて、電子機器を制御してもよい。制御部32,32b,32c,32dは、第4のセンサー部品23、第5のセンサー部品13及び第6のセンサー部品18からそれぞれ出力される第4の信号、第5の信号及び第6の信号にも基づいて、電子機器を制御してもよい。電子機器の制御は、特に限定されないが、例えば、電子機器の手ぶれ補正のための制御または電子機器の姿勢制御であってもよい。
The
図3及び図4に示されるように、センサー装置1は、第2の配線基板10と第3の配線基板15とを第1の配線基板20に電気的に接続する導電接続部材(フレキシブル導電ケーブル41,41c)をさらに備えてもよい。本明細書において、フレキシブルケーブルは、軟質で変形しやすく折り曲げ可能な基板を意味する。具体的には、図3に示されるように、フレキシブル導電ケーブル41は、第1の配線基板20と第2の配線基板10とを電気的に接続している。図4に示されるように、フレキシブル導電ケーブル41cは、第1の配線基板20と第3の配線基板15とを電気的に接続している。
As shown in FIGS. 3 and 4, the
センサー装置1は、第5の配線基板12と第6の配線基板17とを第4の配線基板22に電気的に接続する導電接続部材(フレキシブル導電ケーブル41b,41d)をさらに備えてもよい。図1及び図3に示されるように、フレキシブル導電ケーブル41bは、第4の配線基板22と第5の配線基板12とを電気的に接続している。図1及び図4に示されるように、フレキシブル導電ケーブル41dは、第4の配線基板22と第6の配線基板17とを電気的に接続している。
The
第1のセンサー部品21から出力される第1の信号は、第1の配線基板20に含まれる第1の配線(図示せず)と、端子20r,20sと、リジッド導電ケーブル36とを通って、制御ユニット30に供給される。第2のセンサー部品11から出力される第2の信号は、第2の配線基板10に含まれる第2の配線(図示せず)と、フレキシブル導電ケーブル41と、第1の配線(図示せず)と、端子20r,20sと、リジッド導電ケーブル36とを通って、制御ユニット30に供給される。第3のセンサー部品16から出力される第3の信号は、第3の配線基板15に含まれる第3の配線(図示せず)と、フレキシブル導電ケーブル41cと、第1の配線(図示せず)と、端子20r,20sと、リジッド導電ケーブル36とを通って、制御ユニット30に供給される。
The first signal output from the
第4のセンサー部品23から出力される第4の信号は、第4の配線基板22に含まれる第4の配線(図示せず)と、端子22r,22sと、リジッド導電ケーブル36bとを通って、制御ユニット30に供給される。第5のセンサー部品13から出力される第5の信号は、第5の配線基板12に含まれる第5の配線(図示せず)と、フレキシブル導電ケーブル41bと、第4の配線(図示せず)と、端子22r,22sと、リジッド導電ケーブル36bとを通って、制御ユニット30に供給される。第6のセンサー部品18から出力される第6の信号は、第6の配線基板17に含まれる第6の配線(図示せず)と、フレキシブル導電ケーブル41dと、第4の配線(図示せず)と、端子22r,22sと、リジッド導電ケーブル36bとを通って、制御ユニット30に供給される。
The fourth signal output from the
図5を参照して、本実施の形態のセンサー装置1の製造方法を説明する。
センサー装置1の製造方法は、第1のセンサー部品21が搭載されている第1の配線基板20と、第2のセンサー部品11が搭載されている第2の配線基板10と、第3のセンサー部品16が搭載されている第3の配線基板15と、第4のセンサー部品23が搭載されている第4の配線基板22とを、フレーム3に取り付けること(S1)を備える。第1の配線基板20と、第2の配線基板10と、第3の配線基板15と、第4の配線基板22とは、ネジもしくはボルトのような固定部材を用いて、または、はんだもしくは接着剤などにより形成されている接合部を介して、フレーム3に取り付けられてもよい。なお、センサー装置1が3軸センサー装置である場合には、第4のセンサー部品23は省略されてもよい。
With reference to FIG. 5, the manufacturing method of the
The manufacturing method of the
センサー装置1の製造方法は、第5のセンサー部品13が搭載されている第5の配線基板12と、第6のセンサー部品18が搭載されている第6の配線基板17とを、フレーム3に取り付けること(S2)を備えてもよい。第5の配線基板12と、第6の配線基板17とは、ネジもしくはボルトのような固定部材を用いて、または、はんだもしくは接着剤などにより形成されている接合部を介して、フレーム3に取り付けられてもよい。なお、センサー装置1が3軸センサー装置である場合には、第5のセンサー部品13、第5の配線基板12、第6のセンサー部品18及び第6の配線基板17の少なくとも1つは、省略されてもよい。
The manufacturing method of the
センサー装置1の製造方法は、第1の開口5aを通してフレーム3の外部からフレーム3の内部に制御ユニット30を入れること(S3)を備える。本実施の形態のセンサー装置1の製造方法は、制御ユニット30を、第1の配線基板20と第4の配線基板22とに取り付けること(S4)を備える。具体的には、リジッド導電ケーブル36を介して、制御ユニット30は、第1の配線基板20に取り付けられてもよい。リジッド導電ケーブル36は、制御ユニット30と第1の配線基板20とにはんだ付けされてもよい。リジッド導電ケーブル36bを介して、制御ユニット30は、第4の配線基板22に取り付けられてもよい。リジッド導電ケーブル36bは、制御ユニット30と第4の配線基板22とにはんだ付けされてもよい。
The manufacturing method of the
本実施の形態の第1の変形例では、第1のセンサー部品21、第2のセンサー部品11及び第3のセンサー部品16は、各々、加速度センサーであってもよく、第4のセンサー部品23、第5のセンサー部品13及び第6のセンサー部品18は、各々、角速度センサーであってもよい。本実施の形態の第2の変形例では、第1の配線基板20上に、第1のセンサー部品21と第4のセンサー部品23とが搭載され、第2の配線基板10上に、第2のセンサー部品11と第5のセンサー部品13とが搭載され、第3の配線基板15上に、第3のセンサー部品16と第6のセンサー部品18とが搭載されてもよい。
In the first modified example of the present embodiment, each of the
本実施の形態のセンサー装置1及びその製造方法の効果を説明する。
センサー装置1は、フレーム3と、第1の配線基板20と、第2の配線基板10と、第3の配線基板15と、第4の配線基板22と、第1のセンサー部品21と、第2のセンサー部品11と、第3のセンサー部品16と、制御ユニット30とを備える。第1の配線基板20と、第2の配線基板10と、第3の配線基板15と、第4の配線基板22とは、フレーム3に取り付けられている。第1のセンサー部品21は、第1の配線基板20上に搭載されている。第2のセンサー部品11は、第2の配線基板10上に搭載されている。第3のセンサー部品16は、第3の配線基板15上に搭載されている。制御ユニット30は、第1のセンサー部品21と第2のセンサー部品11と第3のセンサー部品16とを制御し得るように構成されている。
Effects of the
The
第1のセンサー部品21は、第1の方向(z方向)についての第1の物理量を測定し得るように構成されている。第2のセンサー部品11は、第2の方向(x方向)についての第2の物理量を測定し得るように構成されている。第3のセンサー部品16は、第3の方向(y方向)についての第3の物理量を測定し得るように構成されている。第4の配線基板22は、第1の方向(z方向)において、第1の配線基板20に対向して配置されている。フレーム3は、第1の側から第2の側にかけて連続的に延在する第1の開口5aを有している。第1の側は、フレーム3の中心に対して第2の配線基板10と反対側である。第2の側は、フレーム3の中心に対して第3の配線基板15と反対側である。制御ユニット30は、フレーム3の内部に配置されており、かつ、第1の配線基板20と第4の配線基板22とに取り付けられている。
The
センサー装置1では、フレーム3は、第1の側から第2の側にかけて連続的に延在する第1の開口5aを有している。そのため、作業者または組み立て装置のアームなどは、フレーム3の内部の空間の任意の場所に容易にアクセスし得る。制御ユニット30は、フレーム3の外部からフレーム3の内部に容易に入れられ得るとともに、第1の配線基板20と第4の配線基板22とに容易に取り付けられ得る。制御ユニット30はフレーム3の内部の空間に配置されるため、フレーム3の内部の空間の利用効率が向上する。本実施の形態のセンサー装置1によれば、小型化され得るとともに、高い作業効率で製造され得る構造を有する3軸センサー装置が提供され得る。
In the
制御ユニット30は、第1の方向(z方向)において互いに積層された2つの第1の制御回路基板(例えば、制御回路基板31,31b)と、2つの第1の制御回路基板(例えば、制御回路基板31,31b)を互いに接続するリジッド導電ケーブル36cとを含む。互いに積層された2つの第1の制御回路基板(例えば、制御回路基板31,31b)は、フレーム3の内部の空間の利用効率を向上させる。そのため、センサー装置1は小型化され得る。
The
本実施の形態のセンサー装置1は、第5の配線基板12と、第6の配線基板17と、第4のセンサー部品23と、第5のセンサー部品13と、第6のセンサー部品18とをさらに備える。第5の配線基板12と、第6の配線基板17とは、フレーム3に取り付けられている。第4のセンサー部品23は、第4の配線基板22上に搭載されている。第5のセンサー部品13は、第5の配線基板12上に搭載されている。第6のセンサー部品18は、第6の配線基板17上に搭載されている。第4のセンサー部品23は、第1の方向(z方向)についての第4の物理量を測定し得るように構成されている。第5のセンサー部品13は、第2の方向(x方向)についての第5の物理量を測定し得るように構成されている。第6のセンサー部品18は、第3の方向(y方向)についての第6の物理量を測定し得るように構成されている。制御ユニット30は、第4のセンサー部品23と第5のセンサー部品13と第6のセンサー部品18とを制御し得るように構成されている。本実施の形態のセンサー装置1によれば、小型化され得るとともに、高い作業効率で製造され得る構造を有する6軸センサー装置が提供され得る。
The
本実施の形態のセンサー装置1の製造方法は、第1のセンサー部品21が搭載されている第1の配線基板20と、第2のセンサー部品11が搭載されている第2の配線基板10と、第3のセンサー部品16が搭載されている第3の配線基板15と、第4の配線基板22とを、フレーム3に取り付けること(S1)を備える。フレーム3は、第1の側から第2の側にかけて連続的に延在する第1の開口5aを有している。第1の側は、フレーム3の中心に対して第2の配線基板10と反対側である。第2の側は、フレーム3の中心に対して第3の配線基板15と反対側である。本実施の形態のセンサー装置1の製造方法は、第1の開口5aを通してフレーム3の外部からフレーム3の内部に制御ユニット30を入れること(S3)と、制御ユニット30を、第1の配線基板20と第4の配線基板22とに取り付けること(S4)とを備える。
The manufacturing method of the
フレーム3は、第1の側から第2の側にかけて連続的に延在する第1の開口5aを有している。そのため、作業者または組み立て装置のアームなどは、フレーム3の内部の空間の任意の場所に容易にアクセスし得る。制御ユニット30は、フレーム3の外部からフレーム3の内部に容易に入れられ得るとともに、第1の配線基板20と第4の配線基板22とに容易に取り付けられ得る。制御ユニット30はフレーム3の内部の空間に配置されるため、フレーム3の内部の空間の利用効率が向上する。本実施の形態のセンサー装置1の製造方法によれば、小型化され得る3軸センサー装置が高い作業効率で製造され得る。
The
本実施の形態のセンサー装置1の製造方法は、第5のセンサー部品13が搭載されている第5の配線基板12と、第6のセンサー部品18が搭載されている第6の配線基板17とを、フレーム3に取り付けること(S2)をさらに備えてもよい。第4の配線基板22には、第4のセンサー部品23が搭載されてもよい。本実施の形態のセンサー装置1の製造方法によれば、小型化され得る6軸センサー装置が高い作業効率で製造され得る。
The manufacturing method of the
実施の形態2.
図6から図15を参照して、実施の形態2に係るセンサー装置1bを説明する。本実施の形態のセンサー装置1bは、実施の形態1のセンサー装置1と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。
The
センサー装置1bでは、実施の形態1のフレキシブル導電ケーブル41,41b,41c,41dに代えて、フレーム3に含まれるリード6p,6q,6t,6uが用いられている。特定的には、リード6p,6q,6t,6uは、フレーム3に埋め込まれてもよい。フレーム3が絶縁樹脂のような絶縁材料で形成されている場合には、リード6p,6q,6t,6uはフレーム3内に直接埋め込まれてもよい。フレーム3が金属のような導電材料で形成されている場合には、リード6p,6q,6t,6uは、絶縁膜を介して、フレーム3内に埋め込まれてもよい。
In the
フレーム3は、第2の配線基板10と第3の配線基板15とを第1の配線基板20とに電気的に接続する第1のリード(リード6p,6q)を含む。具体的には、図7及び図14に示されるように、フレーム3は、第2の配線基板10を第1の配線基板20に電気的に接続するリード6pを含む。図7及び図15に示されるように、フレーム3は、第3の配線基板15を第1の配線基板20に電気的に接続するリード6qを含む。
The
フレーム3は、第5の配線基板12と第6の配線基板17とを第4の配線基板22に電気的に接続する第2のリード(リード6t,6u)をさらに含む。図7及び図14に示されるように、フレーム3は、第5の配線基板12を第4の配線基板22に電気的に接続するリード6tを含む。図7及び図15に示されるように、フレーム3は、第6の配線基板17を第4の配線基板22に電気的に接続するリード6uを含む。
The
第4の配線基板22は、フレーム3の外表面7上に取り付けられている。第4の配線基板22は、第5の開口5eを完全に閉塞してもよいし、第5の開口5eの少なくとも一部を閉塞してもよい。
The
図8、図14及び図15に示されるように、第1の配線基板20は、端子20r,20sに加えて、端子20p,20qをさらに含む。端子20p,20q,20r,20sは、第1の配線基板20を貫通してもよい。図9、図14及び図15に示されるように、第4の配線基板22は、端子22r,22sに加えて、端子22p,22qをさらに含む。端子22p,22q,22r,22sは、第4の配線基板22を貫通してもよい。
As shown in FIGS. 8, 14 and 15, the
図10及び図14に示されるように、第2の配線基板10は、端子10pを含む。端子10pは、第2の配線基板10を貫通してもよい。図11及び図14に示されるように、第5の配線基板12は、端子12tを含む。端子12tは、第5の配線基板12を貫通してもよい。図14に示されるように、第5の配線基板12は、フレーム3の第1部分4aの内表面8と、フレーム3の第2部分4bの内表面8とに取り付けられている。図12及び図15に示されるように、第3の配線基板15は、端子15qを含む。端子15qは、第3の配線基板15を貫通してもよい。図13及び図15に示されるように、第6の配線基板17は、端子17uを含む。端子17uは、第6の配線基板17を貫通してもよい。図15に示されるように、第6の配線基板17は、フレーム3の第1部分4aの内表面8と、フレーム3の第2部分4bの内表面8とに取り付けられている。
As shown in FIGS. 10 and 14, the
図14に示されるように、第1の配線基板20の端子20pと第2の配線基板10の端子10pとは、リード6pを介して、互いに電気的に接続されている。第1の導電接合部は、リード6pと第1の配線基板20の端子20pとを互いに接合する。第2の導電接合部は、リード6pと第2の配線基板10の端子10pとを互いに接合する。図15に示されるように、第1の配線基板20の端子20qと第3の配線基板15の端子15qとは、リード6qを介して、互いに電気的に接続されている。第1の導電接合部は、リード6qと第1の配線基板20の端子20qとを互いに接合する。第3の導電接合部は、リード6qと第3の配線基板15の端子15qとを互いに接合する。
As shown in FIG. 14, the terminal 20p of the
図14に示されるように、第4の配線基板22の端子22tと第5の配線基板12の端子12tとは、リード6tを介して、互いに電気的に接続されている。第4の導電接合部は、リード6tと第4の配線基板22の端子22tとを互いに接合する。第5の導電接合部は、リード6tと第5の配線基板12の端子12tとを互いに接合する。図15に示されるように、第4の配線基板22の端子22uと第6の配線基板17の端子17uとは、リード6uを介して、互いに電気的に接続されている。第4の導電接合部は、リード6uと第4の配線基板22の端子22uとを互いに接合する。第6の導電接合部は、リード6uと第6の配線基板17の端子17uとを互いに接合する。
As shown in FIG. 14, the terminal 22t of the
例えば、第1から第6の導電接合部は、各々、はんだ、または、銀ナノ粒子もしくは銅ナノ粒子のような微粒子の焼結体により形成されてもよい。第1から第6の導電接合部は、各々、Cu−Ag系の液相拡散接合により形成されてもよい。 For example, each of the first to sixth conductive joints may be formed of solder or a sintered body of fine particles such as silver nanoparticles or copper nanoparticles. Each of the first to sixth conductive joints may be formed by Cu-Ag liquid phase diffusion bonding.
図14及び図15に示されるように、第1のセンサー部品21は、第1の配線基板20の外表面上ではなく、第2の配線基板10の内表面上に搭載されている。そのため、センサー装置1bは、さらに小型化され得る。第1のセンサー部品21は、第1の配線基板20によって保護される。センサー装置1bが組み込まれる電子機器の他の部品に第1のセンサー部品21が機械的に干渉することなく、第1の配線基板20の外表面は電子機器の他の部品に取り付けられ得る。
As shown in FIGS. 14 and 15, the
図14及び図15に示されるように、第4のセンサー部品23は、第4の配線基板22の外表面上ではなく、第4の配線基板22の内表面上に搭載されている。そのため、センサー装置1bは、さらに小型化され得る。第4のセンサー部品23は、第4の配線基板22によって保護される。センサー装置1bが組み込まれる電子機器の他の部品に第1のセンサー部品21が機械的に干渉することなく、第4の配線基板22の外表面は電子機器の他の部品に取り付けられ得る。
As shown in FIGS. 14 and 15, the
本実施の形態のセンサー装置1bの製造方法は、実施の形態1の製造方法と同様に工程を有するが、以下のように行われてもよい。第1の配線基板20と、第2の配線基板10と、第3の配線基板15と、第4の配線基板22とをフレーム3に取り付けること(S1)と、第5の配線基板12と、第6の配線基板17とをフレーム3に取り付けること(S2)とは、以下の工程を含んでもよい。
Although the manufacturing method of the
フレーム3から露出した第1のリード(リード6p,6q)の第1露出部とフレーム3から露出した第2のリード(リード6t,6u)の第2露出部とをアライメントマークとして用いて、フレーム3に対して、第1の配線基板20と、第2の配線基板10と、第3の配線基板15と、第4の配線基板22と、第5の配線基板12と、第6の配線基板17とを位置合わせする。具体的には、第1の配線基板20から第6の配線基板17に含まれる端子10p,12t,15q,17u,20p,20q,22p,22qを、第1のリード(リード6p,6q)の第1露出部と第2のリード(リード6t,6u)の露出部とに位置合わせすることによって、第1の配線基板20と、第2の配線基板10と、第3の配線基板15と、第4の配線基板22と、第5の配線基板12と、第6の配線基板17とは、フレーム3に対して位置合わせされる。
The first exposed portion of the first lead (leads 6p, 6q) exposed from the
それから、第1の配線基板20と、第2の配線基板10と、第3の配線基板15と、第4の配線基板22と、第5の配線基板12と、第6の配線基板17とを、フレーム3に一括して接合する。言い換えると、第1の導電接合部と、第2の導電接合部と、第3の導電接合部と、第4の導電接合部と、第5の導電接合部と、第6の導電接合部とを一括して形成する。例えば、フレーム3と、第1の配線基板20、第2の配線基板10、第3の配線基板15、第4の配線基板22、第5の配線基板12及び第6の配線基板17の各々との間に、はんだ、導電接着剤または導電微粒子のような接合材を設ける。それから、フレーム3と、第1の配線基板20と、第2の配線基板10と、第3の配線基板15と、第4の配線基板22と、第5の配線基板12と、第6の配線基板17とを一括して加熱する。こうして、第1の配線基板20と、第2の配線基板10と、第3の配線基板15と、第4の配線基板22と、第5の配線基板12と、第6の配線基板17とは、フレーム3に一括して接合されてもよい。
Then, the
第1の配線基板20、第2の配線基板10、第3の配線基板15、第4の配線基板22、第5の配線基板12及び第6の配線基板17のフレーム3への接合を補強するために、第1の配線基板20、第2の配線基板10、第3の配線基板15、第4の配線基板22、第5の配線基板12及び第6の配線基板17のフレーム3への接合には、本実施の形態の導電接合部(第1から第6の導電接合部)とともに、実施の形態1に記載されたネジもしくはボルトのような固定部材またははんだもしくは接着剤などにより形成されている接合部も用いられてもよい。
The bonding of the
本実施の形態のセンサー装置1b及びその製造方法の効果を説明する。本実施の形態のセンサー装置1b及びその製造方法は、実施の形態1のセンサー装置1及びその製造方法の効果に加えて、同様の以下の効果を奏する。
The effects of the
本実施の形態のセンサー装置1bでは、フレーム3は、第2の配線基板10と第3の配線基板15とを第1の配線基板20に電気的に接続する第1のリード(リード6p,6q)を含む。フレーム3は、第5の配線基板12と第6の配線基板17とを第4の配線基板22に電気的に接続する第2のリード(リード6t,6u)をさらに含んでもよい。本実施の形態のセンサー装置1bでは、実施の形態1のフレキシブル導電ケーブル41,41b,41c,41dに代えて、第1のリード(リード6p,6q)と第2のリード(リード6t,6u)とが用いられている。そのため、センサー装置1bは、さらに高い作業効率で製造され得る構造を有している。
In the
本実施の形態のセンサー装置1bでは、第1のリード(リード6p,6q)は、フレーム3の内部に埋め込まれてもよい。第2のリード(リード6t,6u)も、フレーム3の内部に埋め込まれてもよい。そのため、センサー装置1bは、さらに小型化され得る。
In the
本実施の形態のセンサー装置1bの製造方法では、第1の配線基板20と、第2の配線基板10と、第3の配線基板15と、第4の配線基板22とをフレーム3に取り付けることと、第5の配線基板12と、第6の配線基板17とをフレーム3に取り付けることは、以下の工程を含んでもよい。フレーム3から露出した第1のリード(リード6p,6q)の第1露出部とフレーム3から露出した第2のリード(リード6t,6u)の第2露出部とをアライメントマークとして用いて、フレーム3に対して、第1の配線基板20と、第2の配線基板10と、第3の配線基板15と、第4の配線基板22と、第5の配線基板12と、第6の配線基板17とを位置合わせする。
In the manufacturing method of the
それから、第1の配線基板20と、第2の配線基板10と、第3の配線基板15と、第4の配線基板22と、第5の配線基板12と、第6の配線基板17とを、フレーム3に一括して接合する。本実施の形態のセンサー装置1bの製造方法によれば、小型化され得る6軸センサーが高い作業効率で製造され得る。
Then, the
実施の形態3.
図16から図18を参照して、実施の形態3に係るセンサー装置1cを説明する。本実施の形態のセンサー装置1cは、実施の形態2のセンサー装置1bと同様の構成を備え、同様の効果を奏するが、主に以下の点で異なる。
A
図17に示されるように、第2のセンサー部品11は、第5のセンサー部品13に面している。第2のセンサー部品11は、第2の配線基板10の外表面上ではなく、第2の配線基板10の内表面上に搭載されている。そのため、センサー装置1cは、さらに小型化され得る。第2のセンサー部品11は、第2の配線基板10によって保護される。センサー装置1cが組み込まれる電子機器の他の部品に第2のセンサー部品11が機械的に干渉することなく、第2の配線基板10の外表面は電子機器の他の部品に取り付けられ得る。
As shown in FIG. 17, the
図18に示されるように、第3のセンサー部品16は、第6のセンサー部品18に面している。第3のセンサー部品16は、第3の配線基板15の外表面上ではなく、第3の配線基板15の内表面上に搭載されている。そのため、センサー装置1cは、さらに小型化され得る。第3のセンサー部品16は、第3の配線基板15によって保護される。センサー装置1cが組み込まれる電子機器の他の部品に第3のセンサー部品16が機械的に干渉することなく、第3の配線基板15の外表面は電子機器の他の部品に取り付けられ得る。
As shown in FIG. 18, the
実施の形態4.
図19から図22を参照して、実施の形態4に係るセンサー装置1dを説明する。本実施の形態のセンサー装置1dは、実施の形態2のセンサー装置1bと同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。
Embodiment 4 FIG.
A
図20に示されるように、センサー装置1dは、実施の形態1のフレーム3に代えて、フレーム3dを含む。第1の開口5aが第1の側から第2の側にかけて連続的に延在していれば、フレーム3dは、直方体以外の任意の形状を有してもよい。例えば、フレーム3dの第1部分4aは、フレーム3dの第2部分4bと異なるサイズを有してもよい。フレーム3dの第1部分4aの内表面8は、第3部分4cの外表面7に接続されてもよい。
As shown in FIG. 20, the
図19及び図20に示されるように、フレーム3dは、1つ以上のスペーサ9,9bを含む。1つ以上のスペーサ9,9bは、第2の配線基板10及び第3の配線基板15の少なくとも1つを支持している。スペーサ9,9bは、第2の配線基板10及び第3の配線基板15の少なくとも1つが振動することを防止し得る。第2の配線基板10及び第3の配線基板15の少なくとも1つは、1つ以上のスペーサ9,9bを含むフレーム3dにより安定的に支持され得る。
As shown in FIGS. 19 and 20, the
具体的には、スペーサ9は、第2の配線基板10を支持している。第2の配線基板10は、ネジもしくはボルトのような固定部材を用いて、または、はんだもしくは接着剤などにより形成されている接合部を介して、フレーム3dの第1部分4aの外表面7とスペーサ9とに取り付けられている。スペーサ9bは、第3の配線基板15を支持している。第3の配線基板15は、ネジもしくはボルトのような固定部材を用いて、または、はんだもしくは接着剤などにより形成されている接合部を介して、フレーム3dの第1部分4aの外表面7とスペーサ9bとに取り付けられている。
Specifically, the
図21に示されるように、第5の配線基板12は、フレーム3dの第1部分4aの内表面8と、フレーム3dの第2部分4bの外表面7とに取り付けられている。図22に示されるように、第6の配線基板17は、フレーム3dの第1部分4aの内表面8と、フレーム3dの第2部分4bの外表面7とに取り付けられている。
As shown in FIG. 21, the
本実施の形態のセンサー装置1dの効果を説明する。本実施の形態のセンサー装置1dは、実施の形態2のセンサー装置1bの効果に加えて、同様の以下の効果を奏する。
The effect of the
センサー装置1dでは、フレーム3dは、1つ以上のスペーサ9,9bを含む。1つ以上のスペーサ9,9bは、第2の配線基板10及び第3の配線基板15の少なくとも1つを支持している。第2の配線基板10と第5の配線基板12とのサイズが異なっていても、センサー装置1dを小型化しながら、第2の配線基板10と第5の配線基板12とは、1つ以上のスペーサ9,9bを含むフレーム3dに取り付けられ得る。第3の配線基板15と第6の配線基板17とのサイズが異なっていても、センサー装置1dを小型化しながら、第3の配線基板15と第6の配線基板17とは、1つ以上のスペーサ9,9bを含むフレーム3dに取り付けられ得る。
In the
実施の形態5.
図23及び図24を参照して、実施の形態5に係るセンサー装置1eを説明する。本実施の形態のセンサー装置1eは、実施の形態1のセンサー装置1と同様の構成を備えるが、主に以下の点で異なる。
With reference to FIG.23 and FIG.24, the
センサー装置1eは、第2の制御回路基板(制御回路基板31e)をさらに備えている。センサー装置1eは、第2の制御回路基板(制御回路基板31e)上に搭載された制御部32eをさらに備えてもよい。制御回路基板31eは、フレーム3に取り付けられている。具体的には、制御回路基板31eは、ネジもしくはボルトのような固定部材を用いて、または、はんだもしくは接着剤などにより形成されている接合部を介して、フレーム3の第1部分4aと第2部分4bとに取り付けられている。特定的には、制御回路基板31eは、フレーム3の外表面7上に取り付けられてもよい。制御回路基板31eは、第1の開口5aの少なくとも一部を閉塞している。
The
制御回路基板31eは、リジッド導電ケーブル36eを介して、制御回路基板31,31b,31c,31dに接続されている。リジッド導電ケーブル36eは、導体37eと、導体37eを束ねる絶縁体38eとを含む。制御回路基板31eは、実施の形態1の制御回路基板31,31b,31c,31dの機能の一部を担ってもよい。そのため、本実施の形態の制御回路基板31,31b,31c,31dは、実施の形態1の制御回路基板31,31b,31c,31dよりも小型化され得る。制御回路基板31eは、実施の形態1の制御回路基板31,31b,31c,31dと異なる機能を有してもよい。そのため、本実施の形態のセンサー装置1eは、実施の形態1のセンサー装置1のサイズを実質的に維持しながら、実施の形態1のセンサー装置1にはない新たな機能を有し得る。
The
図23及び図24に示されるように、センサー装置1eは、実施の形態1のフレキシブル導電ケーブル41,41cに代えて、第2の配線基板10と第3の配線基板15とを第1の配線基板20に電気的に接続する導電接続部材(リジッド導電ケーブル56,56c)を備えてもよい。具体的には、図23に示されるように、リジッド導電ケーブル56は、第2の配線基板10を第1の配線基板20に電気的に接続している。リジッド導電ケーブル56は、導体57と、導体57を束ねる絶縁体58とを含む。図24に示されるように、リジッド導電ケーブル56cは、第3の配線基板15を第1の配線基板20に電気的に接続している。リジッド導電ケーブル56cは、導体57cと、導体57cを束ねる絶縁体58とを含む。
As shown in FIGS. 23 and 24, the
図23及び図24に示されるように、センサー装置1eは、実施の形態1のフレキシブル導電ケーブル41b,41dに代えて、第5の配線基板12と第6の配線基板17とを第4の配線基板22に電気的に接続する導電接続部材(リジッド導電ケーブル56b,56d)を備えてもよい。図23に示されるように、リジッド導電ケーブル56bは、第5の配線基板12を第4の配線基板22に電気的に接続している。リジッド導電ケーブル56bは、導体57bと、導体57bを束ねる絶縁体58bとを含む。図24に示されるように、リジッド導電ケーブル56dは、第6の配線基板17を第4の配線基板22に電気的に接続している。リジッド導電ケーブル56dは、導体57dと、導体57dを束ねる絶縁体58dとを含む。
As shown in FIGS. 23 and 24, the
図25を参照して、本実施の形態のセンサー装置1eの製造方法を説明する。本実施の形態のセンサー装置1eの製造方法は、実施の形態1のセンサー装置1の製造方法と同様の工程を備えるが、主に以下の点で異なる。
With reference to FIG. 25, the manufacturing method of the
本実施の形態のセンサー装置1eの製造方法は、制御ユニット30を第1の配線基板20と第4の配線基板22とに取り付けた(S4)後に、第1の開口5aの少なくとも一部を閉塞する第2の制御回路基板(制御回路基板31e)をフレーム3に取り付けること(S5)をさらに備える。例えば、第2の制御回路基板(制御回路基板31e)は、ネジもしくはボルトのような固定部材を用いて、または、はんだもしくは接着剤などにより形成されている接合部を介して、フレーム3に取り付けられてもよい。
In the manufacturing method of the
本実施の形態のセンサー装置1e及びその製造方法の効果を説明する。本実施の形態のセンサー装置1e及びその製造方法は、実施の形態1のセンサー装置1及びその製造方法と効果に加えて、以下の効果を奏する。本実施の形態のセンサー装置1e及びその製造方法によれば、さらに小型化され得るセンサー装置1eまたは新たな機能を有するセンサー装置1eが提供され得る。
The effects of the
今回開示された実施の形態1−5及びその変形例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。例えば、制御回路基板31,31b,31c,31d,31eの数、リード6p,6q,6t,6uの数、端子10p,12t,15q,17u,20p,20q,20r,20s,22p,22q,22r,22s,22t,22uの数は、各々、実施の形態1−5及びその変形例に示された数に限られない。矛盾のない限り、今回開示された実施の形態1−5及びその変形例の少なくとも2つを組み合わせてもよい。本発明の範囲は、上記した説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。
It should be considered that Embodiment 1-5 and its modifications disclosed this time are illustrative and not restrictive in all respects. For example, the number of
1,1b,1c,1d,1e センサー装置、3,3d フレーム、4a 第1部分、4b 第2部分、4c 第3部分、5a 第1の開口、5b 第2の開口、5c 第3の開口、5d 第4の開口、5e 第5の開口、6p,6q,6t,6u リード、7 外表面、8 内表面、9,9b スペーサ、10 第2の配線基板、10p,12t,15q,17u,20p,20q,20r,20s,22p,22q,22r,22s,22t,22u 端子、11 第2のセンサー部品、12 第5の配線基板、13 第5のセンサー部品、15 第3の配線基板、16 第3のセンサー部品、17 第6の配線基板、18 第6のセンサー部品、20 第1の配線基板、21 第1のセンサー部品、22 第4の配線基板、23 第4のセンサー部品、30 制御ユニット、31,31b,31c,31d,31e 制御回路基板、32,32b,32c,32d,32e 制御部、36,36b,36c,36e,56,56b,56c,56d リジッド導電ケーブル、37,37b,37c,37e,57,57b,57c,57d 導体、38,38b,38c,38e,58,58b,58d 絶縁体、41,41b,41c,41d フレキシブル導電ケーブル。 1, 1b, 1c, 1d, 1e sensor device, 3, 3d frame, 4a first part, 4b second part, 4c third part, 5a first opening, 5b second opening, 5c third opening, 5d 4th opening, 5e 5th opening, 6p, 6q, 6t, 6u lead, 7 outer surface, 8 inner surface, 9, 9b spacer, 10 second wiring board, 10p, 12t, 15q, 17u, 20p , 20q, 20r, 20s, 22p, 22q, 22r, 22s, 22t, 22u terminal, 11 second sensor component, 12 fifth wiring board, 13 fifth sensor component, 15 third wiring board, 16th 3 sensor parts, 17 6th wiring board, 18 6th sensor parts, 20 1st wiring board, 21 1st sensor parts, 22 4th wiring board, 23 4th sensor parts, 3 Control unit, 31, 31b, 31c, 31d, 31e Control circuit board, 32, 32b, 32c, 32d, 32e Control unit, 36, 36b, 36c, 36e, 56, 56b, 56c, 56d Rigid conductive cable, 37, 37b , 37c, 37e, 57, 57b, 57c, 57d Conductor, 38, 38b, 38c, 38e, 58, 58b, 58d Insulator, 41, 41b, 41c, 41d Flexible conductive cable.
Claims (13)
前記フレームに取り付けられている第1の配線基板と、
前記フレームに取り付けられている第2の配線基板と、
前記フレームに取り付けられている第3の配線基板と、
前記フレームに取り付けられている第4の配線基板と、
前記第1の配線基板上に搭載されている第1のセンサー部品と、
前記第2の配線基板上に搭載されている第2のセンサー部品と、
前記第3の配線基板上に搭載されている第3のセンサー部品と、
前記第1のセンサー部品と前記第2のセンサー部品と前記第3のセンサー部品とを制御し得るように構成されている制御ユニットとを備え、
前記第1のセンサー部品は、第1の方向についての第1の物理量を測定し得るように構成されており、
前記第2のセンサー部品は、前記第1の方向に直交する第2の方向についての第2の物理量を測定し得るように構成されており、
前記第3のセンサー部品は、前記第1の方向及び前記第2の方向に直交する第3の方向についての第3の物理量を測定し得るように構成されており、
前記第4の配線基板は、前記第1の方向において、前記第1の配線基板に対向して配置されており、
前記フレームは、第1の側から第2の側にかけて連続的に延在する第1の開口を有し、前記第1の側は、前記フレームの中心に対して前記第2の配線基板と反対側であり、前記第2の側は、前記フレームの前記中心に対して前記第3の配線基板と反対側であり、
前記制御ユニットは、前記フレームの内部に配置されており、かつ、前記第1の配線基板と前記第4の配線基板とに取り付けられている、センサー装置。 Frame,
A first wiring board attached to the frame;
A second wiring board attached to the frame;
A third wiring board attached to the frame;
A fourth wiring board attached to the frame;
A first sensor component mounted on the first wiring board;
A second sensor component mounted on the second wiring board;
A third sensor component mounted on the third wiring board;
A control unit configured to control the first sensor component, the second sensor component, and the third sensor component;
The first sensor component is configured to measure a first physical quantity in a first direction;
The second sensor component is configured to measure a second physical quantity in a second direction orthogonal to the first direction;
The third sensor component is configured to measure a third physical quantity in a third direction orthogonal to the first direction and the second direction,
The fourth wiring board is disposed to face the first wiring board in the first direction,
The frame has a first opening continuously extending from a first side to a second side, and the first side is opposite to the second wiring board with respect to a center of the frame. The second side is opposite to the third wiring board with respect to the center of the frame;
The sensor unit is disposed in the frame, and is attached to the first wiring board and the fourth wiring board.
前記1つ以上のスペーサは、前記第2の配線基板及び前記第3の配線基板の少なくとも1つを支持している、請求項1または請求項2に記載のセンサー装置。 The frame includes one or more spacers;
The sensor device according to claim 1, wherein the one or more spacers support at least one of the second wiring board and the third wiring board.
前記フレームに取り付けられている第6の配線基板と、
前記第4の配線基板上に搭載されている第4のセンサー部品と、
前記第5の配線基板上に搭載されている第5のセンサー部品と、
前記第6の配線基板上に搭載されている第6のセンサー部品とをさらに備え、
前記第4のセンサー部品は、前記第1の方向についての第4の物理量を測定し得るように構成されており、
前記第5のセンサー部品は、前記第2の方向についての第5の物理量を測定し得るように構成されており、
前記第6のセンサー部品は、前記第3の方向についての第6の物理量を測定し得るように構成されており、
前記制御ユニットは、前記第4のセンサー部品と前記第5のセンサー部品と前記第6のセンサー部品とを制御し得るように構成されている、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のセンサー装置。 A fifth wiring board attached to the frame;
A sixth wiring board attached to the frame;
A fourth sensor component mounted on the fourth wiring board;
A fifth sensor component mounted on the fifth wiring board;
A sixth sensor component mounted on the sixth wiring board;
The fourth sensor component is configured to measure a fourth physical quantity in the first direction;
The fifth sensor component is configured to measure a fifth physical quantity in the second direction;
The sixth sensor component is configured to measure a sixth physical quantity in the third direction;
4. The control unit according to claim 1, wherein the control unit is configured to control the fourth sensor component, the fifth sensor component, and the sixth sensor component. 5. The sensor device described.
前記第3のセンサー部品は、前記第6のセンサー部品に面している、請求項6に記載のセンサー装置。 The second sensor component faces the fifth sensor component;
The sensor device according to claim 6, wherein the third sensor component faces the sixth sensor component.
前記センサー装置は、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の前記センサー装置であり、
前記第1のセンサー部品が搭載されている前記第1の配線基板と、前記第2のセンサー部品が搭載されている前記第2の配線基板と、前記第3のセンサー部品が搭載されている前記第3の配線基板と、前記第4の配線基板とを、前記フレームに取り付けることと、
前記第1の開口を通して前記フレームの外部から前記フレームの前記内部に前記制御ユニットを入れることと、
前記制御ユニットを、前記第1の配線基板と前記第4の配線基板とに取り付けることとを備える、センサー装置の製造方法。 A method for manufacturing a sensor device, comprising:
The sensor device is the sensor device according to any one of claims 1 to 5,
The first wiring board on which the first sensor component is mounted, the second wiring board on which the second sensor component is mounted, and the third sensor component are mounted on the first wiring board. Attaching a third wiring board and the fourth wiring board to the frame;
Putting the control unit into the inside of the frame from the outside of the frame through the first opening;
A method of manufacturing a sensor device, comprising: attaching the control unit to the first wiring board and the fourth wiring board.
前記センサー装置は、請求項6から請求項9のいずれか1項に記載の前記センサー装置であり、
前記第1のセンサー部品が搭載されている前記第1の配線基板と、前記第2のセンサー部品が搭載されている前記第2の配線基板と、前記第3のセンサー部品が搭載されている前記第3の配線基板と、前記第4の配線基板とを、前記フレームに取り付けることと、
前記第5のセンサー部品が搭載されている前記第5の配線基板と、前記第6のセンサー部品が搭載されている前記第6の配線基板とを、前記フレームに取り付けることと、
前記第1の開口を通して前記フレームの外部から前記フレームの前記内部に前記制御ユニットを入れることと、
前記制御ユニットを、前記第1の配線基板と前記第4の配線基板とに取り付けることとを備える、センサー装置の製造方法。 A method for manufacturing a sensor device, comprising:
The sensor device is the sensor device according to any one of claims 6 to 9,
The first wiring board on which the first sensor component is mounted, the second wiring board on which the second sensor component is mounted, and the third sensor component are mounted on the first wiring board. Attaching a third wiring board and the fourth wiring board to the frame;
Attaching the fifth wiring board on which the fifth sensor component is mounted and the sixth wiring board on which the sixth sensor component is mounted to the frame;
Putting the control unit into the inside of the frame from the outside of the frame through the first opening;
A method of manufacturing a sensor device, comprising: attaching the control unit to the first wiring board and the fourth wiring board.
前記第5のセンサー部品が搭載されている前記第5の配線基板と、前記第6のセンサー部品が搭載されている前記第6の配線基板とを、前記フレームに取り付けることをさらに備え、
前記第1の配線基板と、前記第2の配線基板と、前記第3の配線基板と、前記第4の配線基板とを前記フレームに取り付けることと、前記第5の配線基板と、前記第6の配線基板とを前記フレームに取り付けることは、
前記フレームから露出した前記第1のリードの第1露出部と前記フレームから露出した前記第2のリードの第2露出部とをアライメントマークとして用いて、前記フレームに対して、前記第1の配線基板と、前記第2の配線基板と、前記第3の配線基板と、前記第4の配線基板と、前記第5の配線基板と、前記第6の配線基板とを位置合わせすることと、
前記第1の配線基板と、前記第2の配線基板と、前記第3の配線基板と、前記第4の配線基板と、前記第5の配線基板と、前記第6の配線基板とを、前記フレームに一括して接合することとを含む、請求項11に記載のセンサー装置の製造方法。 The sensor device is the sensor device according to claim 9,
Attaching the fifth wiring board on which the fifth sensor component is mounted and the sixth wiring board on which the sixth sensor component is mounted to the frame;
Attaching the first wiring board, the second wiring board, the third wiring board, and the fourth wiring board to the frame; the fifth wiring board; and the sixth wiring board. Attaching the wiring board to the frame
Using the first exposed portion of the first lead exposed from the frame and the second exposed portion of the second lead exposed from the frame as an alignment mark, the first wiring with respect to the frame Aligning the substrate, the second wiring substrate, the third wiring substrate, the fourth wiring substrate, the fifth wiring substrate, and the sixth wiring substrate;
The first wiring board, the second wiring board, the third wiring board, the fourth wiring board, the fifth wiring board, and the sixth wiring board; The manufacturing method of the sensor apparatus of Claim 11 including joining to a flame | frame collectively.
前記制御ユニットは、1つ以上の第1の制御回路基板を含み、
前記センサー装置は、前記第2の制御回路基板を含む、請求項10から請求項12のいずれか1項に記載のセンサー装置の製造方法。
After the control unit is attached to the first wiring board and the fourth wiring board, a second control circuit board that closes at least a part of the first opening is further attached to the frame. ,
The control unit includes one or more first control circuit boards,
The method of manufacturing a sensor device according to any one of claims 10 to 12, wherein the sensor device includes the second control circuit board.
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CN113639735A (en) * | 2021-08-30 | 2021-11-12 | 武汉大学 | Constant temperature control MEMS gyroscope |
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- 2018-02-22 JP JP2018029676A patent/JP2019144157A/en active Pending
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