JP2019138644A

JP2019138644A - Scale jig

Info

Publication number: JP2019138644A
Application number: JP2018019040A
Authority: JP
Inventors: 学成田; Manabu Narita
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2018-02-06
Filing date: 2018-02-06
Publication date: 2019-08-22

Abstract

To easily measure a distance and a height difference between two locations by using two scales.SOLUTION: A scale jig 1 includes a jig body 10 for holding a first scale 110 and a second scale 120 so as to allow them to be respectively slidable in a mutually crossing state. The jig body 10 includes: a first opening 11 for storing the first scale 110; a second opening 12 for storing the second scale 120; and a window 13 for reading scale marks 111 of the first scale 110 and scale marks 121 of the second scale 120. The jig body 10 includes a fixing part 14 for fixing the first scale 110 and the second scale 120.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、２本のスケールを互いに交差させて保持するスケール治具に関する。 The present invention relates to a scale jig that holds two scales crossing each other.

２箇所の間で距離や高さの差を測定する際には、例えば下記特許文献１に記載されたスケールが使用される。また、２箇所の間における距離と高さの差とを同時に測定することもあり、その場合は、２本のスケールを互いに交差させて使用する必要がある。 When measuring a difference in distance or height between two places, for example, a scale described in Patent Document 1 below is used. In addition, the distance and height difference between two locations may be measured simultaneously. In that case, it is necessary to use two scales crossing each other.

特開平６−３２３８６８号公報JP-A-6-323868

しかし、距離と高さの差とを同時に測定する際は、２本のスケールを互いに交差させ、その角度及び位置がずれないように手で保持することが必要となるところ、そのような作業を正確に行うことは、困難であるとともに面倒である。 However, when measuring the difference in distance and height at the same time, it is necessary to cross the two scales and hold them by hand so that their angles and positions do not shift. It is difficult and cumbersome to do accurately.

本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、その目的は、２箇所の距離と高さの差とを２本のスケールを用いて簡単かつ正確に測定することにある。 The present invention has been considered in view of such a problem, and an object thereof is to easily and accurately measure a distance between two places and a difference in height using two scales.

本発明は、目盛を備えた長尺体の２本のスケールを互いに交差させた状態で、それぞれのスケールをスライド可能にするスケール治具であって、第１のスケールを収容する第１の孔と、該第１のスケールに交差させる第２のスケールを収容する第２の孔と、該第１のスケールの目盛と該第２のスケールの目盛とを読み取るための窓とを備える。
このスケール治具では、前記第１の孔に収容された前記第１のスケールと前記第２の孔に収容された前記第２のスケールとを固定する固定部を設けたることが好ましい。 The present invention relates to a scale jig that allows a scale to slide in a state in which two long scales each having a scale are crossed with each other, and includes a first hole that accommodates the first scale. And a second hole that accommodates a second scale that intersects the first scale, and a window for reading the scale of the first scale and the scale of the second scale.
In this scale jig, it is preferable to provide a fixing portion for fixing the first scale accommodated in the first hole and the second scale accommodated in the second hole.

本発明に係るスケール治具によれば、第１のスケールと第２のスケールとを互いに交差させた状態でスライド可能に支持できるため、２箇所の間の距離と高さの差とを、２本のスケールを用いて同時に簡単かつ正確に測定することができ、操作性が向上する。
また、第1のスケールと第２のスケールとを固定する固定部を備えることで、第1のスケールと第２のスケールとが固定された状態の維持に作業者が関与せずに済むため、操作性がより向上するとともに、より正確な測定が可能となる。 According to the scale jig according to the present invention, since the first scale and the second scale can be slidably supported while crossing each other, the difference between the distance and the height between the two locations is 2 Using the scale of the book, it is possible to measure easily and accurately at the same time, and the operability is improved.
In addition, since the fixing unit that fixes the first scale and the second scale is provided, the operator does not need to be involved in maintaining the state where the first scale and the second scale are fixed. The operability is further improved and more accurate measurement is possible.

第1実施形態のスケール治具を使用して２点間の距離及び高低差を測定する状態を示す正面図である。It is a front view which shows the state which measures the distance and height difference between two points using the scale jig | tool of 1st Embodiment. 第1実施形態のスケール治具を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a scale jig of the first embodiment. 第1実施形態のスケール治具と位置合わせ治具とを使用して２点間の距離及び高低差を測定する状態を示す正面図である。It is a front view which shows the state which measures the distance and height difference between two points using the scale jig | tool and alignment jig | tool of 1st Embodiment. 第２実施形態のスケール治具を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the scale jig | tool of 2nd Embodiment. 第３実施形態のスケール治具を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the scale jig | tool of 3rd Embodiment. 第４実施形態のスケール治具の固定部を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the fixing | fixed part of the scale jig | tool of 4th Embodiment.

１第１実施形態
図１及び図２に示すスケール治具１は、直尺体の第１のスケール１１０と第２のスケール１２０とを互いに直交状態で交差させてそれぞれをスライド可能に保持する治具本体１０と、第１のスケール１１０と第２のスケール１２０とを固定する固定部１４とを備えている。 1 First Embodiment A scale jig 1 shown in FIG. 1 and FIG. 2 is a jig that holds a slidable first scale 110 and a second scale 120 that intersect each other in an orthogonal state. A tool body 10 and a fixing portion 14 for fixing the first scale 110 and the second scale 120 are provided.

治具本体１０は、正面視矩形の板状体である。図２に示すように、治具本体１０は、第１のスケール１１０を収容する第１の孔１１と、第１のスケール１１０に交差させる第２のスケール１２０を収容する第２の孔１２とを備えている。図１に示すように、第１のスケール１１０の表面１１０ｃには、第１のスケール１１０の長手方向に目盛１１１が表示されており、第２のスケール１２０の表面１２０ｃには、第２の方向の長手方向に目盛１２１が表示されている。また、治具本体１０には、第１のスケール１１０の目盛１１１と第２のスケール１２０の目盛１２１とを読み取るための窓１３とを備えている。 The jig body 10 is a plate-like body having a rectangular shape when viewed from the front. As shown in FIG. 2, the jig body 10 includes a first hole 11 that houses the first scale 110, and a second hole 12 that houses the second scale 120 that intersects the first scale 110. It has. As shown in FIG. 1, a scale 111 is displayed on the surface 110 c of the first scale 110 in the longitudinal direction of the first scale 110, and a second direction is displayed on the surface 120 c of the second scale 120. A scale 121 is displayed in the longitudinal direction. Further, the jig body 10 includes a window 13 for reading the scale 111 of the first scale 110 and the scale 121 of the second scale 120.

第１の孔１１は、治具本体１０の正面視縦方向（Ｚ方向）の中央部を正面視左右方向（Ｘ方向）に貫通している。第１の孔１１は、第１のスケール１１０をその長さ方向（Ｘ方向）にスライド可能に支持している。 The first hole 11 penetrates the central portion of the jig body 10 in the front view vertical direction (Z direction) in the front view left-right direction (X direction). The first hole 11 supports the first scale 110 so as to be slidable in the length direction (X direction).

第２の孔１２は、治具本体１０のＸ方向の中央部をＺ方向に貫通している。第２の孔１２は、治具本体１０に対し第２のスケール１２０をその長さ方向（Ｚ方向）にスライド可能に支持している。 The second hole 12 penetrates the center portion of the jig body 10 in the X direction in the Z direction. The second hole 12 supports the second scale 120 with respect to the jig body 10 so as to be slidable in the length direction (Z direction).

図２に示すように、第１の孔１１は、治具本体１０の正面視厚さ方向（Ｙ方向）の中央よりも背面１０ｂ寄りに設けられている。また、第２の孔１２は、治具本体１０のＹ方向の中央よりも前面１０ａ寄りに設けられている。そして、第１の孔１１に第１のスケール１１０が収容され、第２の孔１２に第２のスケール１２０が収容されることにより、第１のスケール１１０と第２のスケール１２０とが、治具本体１０内の中央部でＹ方向に重なり合った状態で直交し、第１のスケール１１０はＸ方向に、第２のスケール１２０はＺ方向に、それぞれスライド可能に保持される。なお、第１の孔１１が治具本体１０の正面視厚さ方向（Ｙ方向）の中央よりも前面１０ａ寄りに設けられ、第２の孔１２が治具本体１０のＹ方向の中央よりも背面１０ｂ寄りに設けられていてもよい。 As shown in FIG. 2, the first hole 11 is provided closer to the back surface 10 b than the center of the jig main body 10 in the front view thickness direction (Y direction). The second hole 12 is provided closer to the front surface 10 a than the center of the jig body 10 in the Y direction. The first scale 110 is accommodated in the first hole 11, and the second scale 120 is accommodated in the second hole 12, whereby the first scale 110 and the second scale 120 are cured. In the center of the tool body 10, the first scale 110 is held in a slidable manner in the X direction and the second scale 120 is slidable in the Z direction. The first hole 11 is provided closer to the front surface 10a than the center of the jig body 10 in the thickness direction (Y direction) when viewed from the front, and the second hole 12 is closer to the center of the jig body 10 in the Y direction. It may be provided near the back surface 10b.

窓１３は、治具本体１０の前面１０ａに開口している。窓１３は、第１の孔１１及び第２の孔１２に連通している。窓１３は、治具本体１０の前面１０ａの中心部を避けてＸ方向左寄りの位置に設けられている。すなわち、窓１３は、第１のスケール１１０の目盛１１１と第２のスケール１２０の目盛１２１との交差部分を視認できる位置に形成されている。 The window 13 is open to the front surface 10 a of the jig body 10. The window 13 communicates with the first hole 11 and the second hole 12. The window 13 is provided at a position on the left side in the X direction while avoiding the central portion of the front surface 10a of the jig body 10. That is, the window 13 is formed at a position where the intersection between the scale 111 of the first scale 110 and the scale 121 of the second scale 120 can be visually recognized.

図２に示すように、固定部１４は、治具本体１０の前面１０ａの中心部に設けられた雌ねじ孔１４１と、雌ねじ孔１４１に螺着される締着部材１４２とを有している。雌ねじ孔１４１は、治具本体１０の前面１０ａから第２の孔１２に連通している。締着部材１４２は、雌ねじ孔１４１に螺合する雄ねじ部１４２ａと、締着部材１４２を回すためのつまみ部１４２ｂとを有している。 As shown in FIG. 2, the fixing portion 14 has a female screw hole 141 provided at the center of the front surface 10 a of the jig main body 10 and a fastening member 142 that is screwed into the female screw hole 141. The female screw hole 141 communicates with the second hole 12 from the front surface 10 a of the jig body 10. The fastening member 142 has a male screw portion 142 a that is screwed into the female screw hole 141, and a knob portion 142 b for turning the fastening member 142.

固定部１４は、つまみ部１４２ｂを指でつまんで締着部材１４２を正逆回転させることにより、締着部材１４２を治具本体１０に対して進退させて、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を固定したり固定を解除したりすることができる。すなわち、締着部材１４２を正回転（右回りに回転）させていくと、雄ねじ部１４２ａの先端１４２ｃが第２のスケール１２０の表面１２０ｃを押圧し、その押圧力によって第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０の互いの交差部分が固定される。このとき、締着部材１４２を強く締め付けると、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０は、スライド不能となる。一方、その状態から、締着部材１４２を逆回転（左回りに回転）させると、雄ねじ部１４２ａの先端１４２ｃが第２のスケール１２０の表面１２０ｃから離れ、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０の固定状態が解除されるため、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０は、それぞれスライド可能となる。 The fixing part 14 moves the fastening member 142 forward and backward with respect to the jig body 10 by pinching the knob part 142b with a finger and rotating the fastening member 142 forward and backward, so that the first scale 110 and the second scale The scale 120 can be fixed or released. That is, when the fastening member 142 is rotated forward (rotated clockwise), the tip 142c of the male screw portion 142a presses the surface 120c of the second scale 120, and the pressing force causes the first scale 110 and the first scale 110c. The intersecting portions of the two scales 120 are fixed. At this time, if the fastening member 142 is strongly tightened, the first scale 110 and the second scale 120 cannot slide. On the other hand, when the fastening member 142 is rotated backward (rotated counterclockwise) from that state, the tip 142c of the male screw portion 142a is separated from the surface 120c of the second scale 120, and the first scale 110 and the second scale are separated. Since the fixed state of 120 is released, the first scale 110 and the second scale 120 can slide.

このように、スケール治具１は、治具本体１０に設けられた第１の孔１１及び第２の孔１２により、第１のスケール１１０と第２のスケール１２０とを互いに交差させた状態でスライド可能に支持するとともに、固定部１４により第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を固定することができる。 As described above, the scale jig 1 is in a state where the first scale 110 and the second scale 120 intersect each other by the first hole 11 and the second hole 12 provided in the jig body 10. The first scale 110 and the second scale 120 can be fixed by the fixing portion 14 while being slidably supported.

次に、図１を参照して、基台１３０上に互いに離間して配置された第１のテーブル１３１と第２のテーブル１３２との間の高さの差を測定する方法について説明する。なお、例えばウェーハに対して切削、研削等の加工を施す加工装置では、第１のテーブル１３１は、例えば加工時のウェーハを保持するチャックテーブルであり、第２のテーブル１３２は、例えば加工後の洗浄時にウェーハを保持して高速回転するスピンナテーブルである。 Next, with reference to FIG. 1, a method for measuring the height difference between the first table 131 and the second table 132 which are arranged on the base 130 so as to be separated from each other will be described. For example, in a processing apparatus that performs processing such as cutting and grinding on a wafer, the first table 131 is, for example, a chuck table that holds the wafer during processing, and the second table 132 is, for example, after processing This is a spinner table that holds a wafer during cleaning and rotates at a high speed.

この場合、まず、締着部材１４２をゆるめて第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０の固定を解除した状態で、第１のテーブル１３１の上面１３１ａに第１のスケール１１０の下側長辺１１０ａを接触させるとともに、第２のテーブル１３２の上面１３２ａに第２のスケール１２０のゼロ目盛側短辺１２０ａを接触させて、第２のスケール１２０を上面１３２ａに対して垂直に（Ｚ方向に）立て、その状態で、締着部材１４２を締めて固定部１４により第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を固定する。 In this case, the lower long side of the first scale 110 is first placed on the upper surface 131a of the first table 131 with the fastening member 142 loosened and the first scale 110 and the second scale 120 released from being fixed. 110a is brought into contact with the upper surface 132a of the second table 132, and the zero scale side short side 120a of the second scale 120 is brought into contact with the upper surface 132a so that the second scale 120 is perpendicular to the upper surface 132a (in the Z direction). In this state, the fastening member 142 is tightened, and the first scale 110 and the second scale 120 are fixed by the fixing portion 14.

その後、窓１３から、第２のスケール１２０の目盛１２１のうち第１のスケール１１０の下側長辺１１０ａが指す値を読み取ることにより、第１のテーブル１３１と第２のテーブル１３２との間の高さの差を簡単に測定することができる。その際、第１のスケール１１０と第２のスケール１２０とが固定部１４により固定されているので、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を、第１のテーブル１３１及び第２のテーブル１３２から取り外した状態で、窓１３から第２のスケール１２０の目盛１２１を読むこともできる。したがって、目盛１２１の値を誤読するおそれを低減することができる。 Thereafter, the value indicated by the lower long side 110a of the first scale 110 in the scale 121 of the second scale 120 is read from the window 13, so that the space between the first table 131 and the second table 132 is read. The difference in height can be easily measured. At this time, since the first scale 110 and the second scale 120 are fixed by the fixing unit 14, the first scale 110 and the second scale 120 are connected to the first table 131 and the second table 132. The scale 121 of the 2nd scale 120 can also be read from the window 13 in the state removed from. Therefore, the possibility of misreading the value of the scale 121 can be reduced.

次に、図３を参照して、スケール治具１を用いて第１のテーブル１３１と第２のテーブル１３２との中心間のＸ方向の距離及び当該中心間の高さの差を測定する方法について説明する。なお、第１のテーブル１３１の上面１３１ａ及び第２のテーブル１３２の上面１３２ａは、いずれも平坦であり、互いに平行である。 Next, referring to FIG. 3, a method of measuring the distance in the X direction between the centers of the first table 131 and the second table 132 and the difference in height between the centers using the scale jig 1. Will be described. Note that the upper surface 131a of the first table 131 and the upper surface 132a of the second table 132 are both flat and parallel to each other.

図３の例では、第１のテーブル１３１の中心に第１のスケール１１０のゼロ目盛側短辺１１０ｂの位置を合わせるための第１の位置合わせ治具２０と、第２のテーブル１３２の中心に第２のスケール１２０の左側長辺１２０ｂの位置を合わせるための第２の位置合わせ治具３０とを使用する。第１の位置合わせ治具２０及び第２の位置合わせ治具３０は、それぞれ第１のテーブル１３１及び第２のテーブル１３２の形状及び直径に合わせて形成された略円板状の治具である。 In the example of FIG. 3, the first alignment jig 20 for aligning the zero scale side short side 110 b of the first scale 110 with the center of the first table 131 and the center of the second table 132. A second alignment jig 30 for aligning the position of the left long side 120b of the second scale 120 is used. The first alignment jig 20 and the second alignment jig 30 are substantially disk-shaped jigs formed in accordance with the shapes and diameters of the first table 131 and the second table 132, respectively. .

第１の位置合わせ治具２０の下部には、第１のテーブル１３１の上部に嵌合する円形の凹部２０ａが設けられている。また、第１の位置合わせ治具２０の上部には、第１のスケール１１０が挿入される第１のスリット２０ｂが設けられている。第１のスリット２０ｂは、第１の位置合わせ治具２０の周縁２０ｃから中心２０ｄまで延びている。 A circular recess 20 a that fits into the upper portion of the first table 131 is provided at the lower portion of the first alignment jig 20. In addition, a first slit 20 b into which the first scale 110 is inserted is provided on the upper portion of the first alignment jig 20. The first slit 20b extends from the peripheral edge 20c of the first alignment jig 20 to the center 20d.

第２の位置合わせ治具３０の下部には、第２のテーブル１３２の上部に嵌合する円形の凹部３０ａが設けられている。また、第２の位置合わせ治具３０の上部には、第２のスケール１２０が挿入される第２のスリット３０ｂが設けられている。第２のスリット３０ｂは、第２の位置合わせ治具３０の周縁３０ｃから中心３０ｄまで延びている。 A circular recess 30 a that fits into the upper portion of the second table 132 is provided at the lower portion of the second alignment jig 30. In addition, a second slit 30 b into which the second scale 120 is inserted is provided on the upper portion of the second alignment jig 30. The second slit 30b extends from the peripheral edge 30c of the second alignment jig 30 to the center 30d.

第１のスリット２０ｂの底面は第１の位置合わせ治具２０の表面と平行であり、第２のスリット３０ｂの底面は第２の位置合わせ治具３０の表面と平行である。また、第１のスリット２０ｂの底面から第１の位置合わせ治具２０の下面までの厚さ２０Ｔと、第２のスリット３０ｂの底面から第２の位置合わせ治具３０の下面までの厚さ３０Ｔとは等しい。したがって、第１のスリット２０ｂの底面と第２のスリット３０ｂの底面との高さの差は、第１のテーブル１３１の中心と第２のテーブル１３２の中心との高さの差を表す。 The bottom surface of the first slit 20 b is parallel to the surface of the first alignment jig 20, and the bottom surface of the second slit 30 b is parallel to the surface of the second alignment jig 30. Further, a thickness 20T from the bottom surface of the first slit 20b to the lower surface of the first alignment jig 20 and a thickness 30T from the bottom surface of the second slit 30b to the lower surface of the second alignment jig 30 are provided. Is equivalent to Therefore, the difference in height between the bottom surface of the first slit 20 b and the bottom surface of the second slit 30 b represents the difference in height between the center of the first table 131 and the center of the second table 132.

第１のテーブル１３１に第１の位置合わせ治具２０が取り付けられるとともに、第２のテーブル１３２に第２の位置合わせ治具３０が取り付けられた状態で、締着部材１４２をゆるめて第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０の固定を解除し、第１の位置合わせ治具２０の第１のスリット２０ｂの底面に第１のスケール１１０の下側長辺１１０ａを載せるとともに、第２の位置合わせ治具３０の第２のスリット３０ｂの底面に第２のスケール１２０のゼロ目盛側短辺１２０ａを載せて、第２のスケール１２０を垂直に立てる。このとき、第１のスケール１１０の短辺１１０ｂを、第１のスリット２０ｂの正面視左端、すなわち、第１の位置合わせ治具２０の中心に当接させるとともに、第１のスケール１１０の下側長辺１１０ａを第１のスリット２０ｂの底面に平行に載せる。また、第２のスケール１２０の左側長辺１２０ｂを第２のスリット３０ｂの正面視左端、すなわち、第２の位置合わせ治具３０の中心３０ｄに当接させるとともに、第２のスケール１２０のゼロ目盛側短辺１２０ａを第２のスリット３０ｂの底面に平行に載せる。そして、その状態で、固定部１４により第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を固定する。 While the first alignment jig 20 is attached to the first table 131 and the second alignment jig 30 is attached to the second table 132, the fastening member 142 is loosened and the first alignment jig 20 is attached. The fixing of the scale 110 and the second scale 120 is released, the lower long side 110a of the first scale 110 is placed on the bottom surface of the first slit 20b of the first alignment jig 20, and the second position The zero scale side short side 120a of the second scale 120 is placed on the bottom surface of the second slit 30b of the aligning jig 30, and the second scale 120 is set up vertically. At this time, the short side 110b of the first scale 110 is brought into contact with the left end of the first slit 20b when viewed from the front, that is, the center of the first alignment jig 20, and the lower side of the first scale 110. The long side 110a is placed in parallel with the bottom surface of the first slit 20b. Further, the left long side 120b of the second scale 120 is brought into contact with the left end of the second slit 30b when viewed from the front, that is, the center 30d of the second alignment jig 30 and the zero scale of the second scale 120 The short side 120a is placed parallel to the bottom surface of the second slit 30b. In this state, the first scale 110 and the second scale 120 are fixed by the fixing unit 14.

その後、窓１３から、第１のスケール１１０の目盛１１１のうち第２のスケール１２０の左側長辺１２０ｂが指す値を読み取ることにより、第１のテーブル１３１と第２のテーブル１３２との中心間距離を簡単に測定することができる。この場合も、第１のスケール１１０と第２のスケール１２０とが固定部１４により固定されているので、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を、第１のテーブル１３１及び第２のテーブル１３２から取り外した状態で、窓１３から第１のスケール１１０の目盛１１１を読むことができる。 Thereafter, by reading the value indicated by the left long side 120b of the second scale 120 in the scale 111 of the first scale 110 from the window 13, the distance between the centers of the first table 131 and the second table 132 is obtained. Can be measured easily. Also in this case, since the first scale 110 and the second scale 120 are fixed by the fixing unit 14, the first scale 110 and the second scale 120 are connected to the first table 131 and the second table. The scale 111 of the first scale 110 can be read from the window 13 while being removed from the window 132.

また、上記のように、第１のスケール１１０の短辺１１０ｂを第１の位置合わせ治具２０の中心に当接させるとともに第１のスケール１１０の下側長辺１１０ａを第１のスリット２０ｂの底面に平行に載せ、第２のスケール１２０の左側長辺１２０ｂを第２の位置合わせ治具３０の中心３０ｄに当接させるとともに、第２のスケール１２０のゼロ目盛側短辺１２０ａを第２のスリット３０ｂの底面に平行に載せ、固定部１４により第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を固定した状態においては、上記中心間距離と同時に、上面１３１ａの中心と上面１３２ａの中心との高さの差を窓１３から読み取ることができる。すなわち、具体的には、第２のスケール１２０の目盛１２１中、第１のスケール１１０の下側長辺１１０ａが指す位置が、上面１３１ａの中心と上面１３２ａの中心との高さの差となる。 Further, as described above, the short side 110b of the first scale 110 is brought into contact with the center of the first alignment jig 20, and the lower long side 110a of the first scale 110 is set to the first slit 20b. The left long side 120b of the second scale 120 is placed in parallel with the bottom surface and brought into contact with the center 30d of the second alignment jig 30, and the zero scale side short side 120a of the second scale 120 is set to the second scale 120. In the state where the first scale 110 and the second scale 120 are fixed in parallel with the bottom surface of the slit 30b and fixed by the fixing portion 14, the height between the center of the upper surface 131a and the center of the upper surface 132a is the same as the distance between the centers. The difference in height can be read from the window 13. Specifically, in the scale 121 of the second scale 120, the position indicated by the lower long side 110a of the first scale 110 is the difference in height between the center of the upper surface 131a and the center of the upper surface 132a. .

２第２実施形態
図４に示すスケール治具４の治具本体４０は、第１のプレート４１と第２のプレート４２とを貼り合せて構成される。第１のプレート４１は、治具本体４０の背面側部分をなし、第２のプレート４２は、治具本体４０の前面側部分をなしている。 2 Second Embodiment A jig body 40 of the scale jig 4 shown in FIG. 4 is configured by bonding a first plate 41 and a second plate 42 together. The first plate 41 constitutes the back side portion of the jig body 40, and the second plate 42 constitutes the front side portion of the jig body 40.

第１のプレート４１には、第１のスケール１１０を収容する第１の溝４３が設けられている。この第１の溝４３は、第１のプレート４１の前面４１ａのＺ方向の中央部に設けられ、左端４３１から右端４３２にかけて延びている。 The first plate 41 is provided with a first groove 43 that accommodates the first scale 110. The first groove 43 is provided at the center of the front surface 41 a of the first plate 41 in the Z direction, and extends from the left end 431 to the right end 432.

第２のプレート４２には、第２のスケール１２０を収容する第２の溝４４と、窓４５と、雌ねじ孔４６とが設けられている。第２の溝４４は、第２のプレート４２の背面４２ｂの横方向（Ｘ方向）の中央部に設けられ、上端４４１から下端４４２にかけて延びている。 The second plate 42 is provided with a second groove 44 that accommodates the second scale 120, a window 45, and a female screw hole 46. The second groove 44 is provided at the center in the lateral direction (X direction) of the back surface 42 b of the second plate 42, and extends from the upper end 441 to the lower end 442.

窓４５は、第２のプレート４２の中心部を避けてＸ方向左寄りの位置に設けられており、第２のプレート４２の前面４２ａから背面４２ｂにかけて厚さ方向（Ｙ方向）に貫通している。一方、雌ねじ孔４６は、第２のプレート４２の中心部に設けられている。 The window 45 is provided at a position on the left side in the X direction, avoiding the center of the second plate 42, and penetrates in the thickness direction (Y direction) from the front surface 42a to the back surface 42b of the second plate 42. . On the other hand, the female screw hole 46 is provided at the center of the second plate 42.

上記のように構成された第２実施形態の治具本体４０は、第１のプレート４１の前面４１ａと第２のプレート４２の背面４２ｂとを互いに接合することにより、第１の溝４３が、図２に示した第１の孔１１に相当するものとなり、第２の溝４４が、図２に示した第２の孔１２に相当するものとなる。また、第２のプレート４２の雌ねじ孔４６には前面４２ａ側から図２に示した締着部材１４２が挿入され螺着される。 The jig main body 40 of the second embodiment configured as described above has the first groove 43 formed by joining the front surface 41a of the first plate 41 and the back surface 42b of the second plate 42 to each other. 2 corresponds to the first hole 11 shown in FIG. 2, and the second groove 44 corresponds to the second hole 12 shown in FIG. Further, the fastening member 142 shown in FIG. 2 is inserted and screwed into the female screw hole 46 of the second plate 42 from the front surface 42a side.

このように構成されるスケール治具４では、図１に示した第１のスケール１１０を第１の溝４３に挿通するとともに、図１に示した第２のスケール１２０を第２の溝４４に挿通する。これにより、第１実施形態と同様に、２点間の水平方向の距離及び高さの差を同時にかつ簡単に測定することができる。 In the scale jig 4 configured as described above, the first scale 110 shown in FIG. 1 is inserted into the first groove 43 and the second scale 120 shown in FIG. Insert. Thereby, similarly to 1st Embodiment, the difference of the horizontal distance and height between two points can be measured simultaneously and easily.

３第３実施形態
図５に示すスケール治具５の治具本体５０は、第１のプレート５１と第２のプレート５２とを貼り合せて構成される。第１のプレート５１は、治具本体５０の背面側部分をなし、第２のプレート５２は、治具本体５０の前面側部分をなしている。 3 Third Embodiment A jig body 50 of the scale jig 5 shown in FIG. 5 is configured by bonding a first plate 51 and a second plate 52 together. The first plate 51 is a back side portion of the jig body 50, and the second plate 52 is a front side portion of the jig body 50.

第１のプレート５１には、第１のスケール１１０を収容する第１の溝５３が設けられている。この第１の溝５３は、第１のプレート５１の前面５１ａのＺ方向中央部に設けられ、左端５３１から右端５３２にかけて延びている。 The first plate 51 is provided with a first groove 53 that accommodates the first scale 110. The first groove 53 is provided at the center in the Z direction of the front surface 51 a of the first plate 51 and extends from the left end 531 to the right end 532.

また、第１のプレート５１には、第２のスケール１２０を収容する第２の溝５４も設けられている。第２の溝５４は、第１のプレート５１の前面５１ａのＸ方向の中央部に設けられ、上端５４１から下端５４２にかけて延びている。 The first plate 51 is also provided with a second groove 54 that accommodates the second scale 120. The second groove 54 is provided at the center of the front surface 51 a of the first plate 51 in the X direction, and extends from the upper end 541 to the lower end 542.

第１のプレート５１の前面５１ａの中央部では、第１の溝５３と第２の溝５４とが交差している。第１の溝５３の深さ５３ｄと第２の溝５４の深さ５４ｄとは深さが異なっている。図５の例では、第１の溝５３の深さ５３ｄが第２の溝５４の深さ５４ｄよりも深く形成されている。この場合は、第１のスケール１１０より第２のスケール１２０の方が前面側に位置するため、２つの溝の深さの差、すなわち深さ５３ｄから深さ５４ｄを引いた値が、第１のスケール１１０の厚さより大きいことが好ましい。また、深さ５４ｄの値は、第２のスケール１２０の厚さよりも若干大きい。 At the center of the front surface 51a of the first plate 51, the first groove 53 and the second groove 54 intersect. The depth 53d of the first groove 53 and the depth 54d of the second groove 54 are different. In the example of FIG. 5, the depth 53 d of the first groove 53 is formed deeper than the depth 54 d of the second groove 54. In this case, since the second scale 120 is located on the front side of the first scale 110, the difference between the depths of the two grooves, that is, the value obtained by subtracting the depth 54d from the depth 53d is the first scale 110. It is preferable that the thickness is larger than the thickness of the scale 110. Further, the value of the depth 54d is slightly larger than the thickness of the second scale 120.

一方、第２の溝５４の深さ５４ｄが第１の溝５３の深さ５３ｄよりも深く形成されていてもよい。その場合は、第２のスケール１２０より第１のスケール１１０の方が前面側に位置するため、２つの溝の深さの差、すなわち深さ５４ｄから深さ５３ｄを引いた値が、第２のスケール１２０の厚さより大きいことが好ましい。 On the other hand, the depth 54 d of the second groove 54 may be formed deeper than the depth 53 d of the first groove 53. In that case, since the first scale 110 is located on the front side of the second scale 120, the difference between the depths of the two grooves, that is, the value obtained by subtracting the depth 53d from the depth 54d is the second scale 120. It is preferable to be larger than the thickness of the scale 120.

第２のプレート５２には、表裏を貫通する窓５５と、表裏を貫通する雌ねじ孔５６とが設けられている。 The second plate 52 is provided with a window 55 penetrating the front and back and a female screw hole 56 penetrating the front and back.

上記のように構成された第３実施形態の治具本体５０は、第１のプレート５１の前面５１ａと第２のプレート５２の背面５２ｂとを互いに接合することにより、第１の溝５３が、図２に示した第１の孔１１に相当するものとなり、第２の溝５４が、図２に示した第２の孔１２に相当するものとなる。また、第２のプレート５２の雌ねじ孔５６には前面５２ａ側から図２に示した締着部材１４２が挿入され螺着される。 The jig main body 50 according to the third embodiment configured as described above has the first groove 53 formed by joining the front surface 51a of the first plate 51 and the back surface 52b of the second plate 52 to each other. 2 corresponds to the first hole 11 shown in FIG. 2, and the second groove 54 corresponds to the second hole 12 shown in FIG. 2 is inserted and screwed into the female screw hole 56 of the second plate 52 from the front surface 52a side.

このように構成されるスケール治具５では、図１に示した第１のスケール１１０を第１の溝５３に挿通するとともに、図１に示した第２のスケール１２０を第２の溝５４に挿通する。これにより、第１実施形態と同様に、２点間の水平方向の距離及び高さの差を同時にかつ簡単に測定することができる。 In the scale jig 5 configured as described above, the first scale 110 shown in FIG. 1 is inserted into the first groove 53, and the second scale 120 shown in FIG. 1 is inserted into the second groove 54. Insert. Thereby, similarly to 1st Embodiment, the difference of the horizontal distance and height between two points can be measured simultaneously and easily.

４第４実施形態
図６に示すスケール治具６は、治具本体６０の内部に、第１のスケール１１０を側面側から固定する第１の固定部材６１１と第２のスケール１２０を側面側から固定する第２の固定部材６１２とからなる固定部６１を備えている。その他の構成は、第１〜３のいずれの実施形態と同一でもよい。 4 4th Embodiment The scale jig | tool 6 shown in FIG. 6 has the 1st fixing member 611 and the 2nd scale 120 which fix the 1st scale 110 from the side surface inside the jig | tool main body 60 from the side surface side. A fixing portion 61 including a second fixing member 612 to be fixed is provided. Other configurations may be the same as any of the first to third embodiments.

第１の固定部材６１１及び第２の固定部材６１２としては、例えばコイルばねを用いることができる。第１の固定部材６１１は第１の凹部６１３に収容され、第２の固定部材６１２は第２の凹部６１４に収容されている。 As the first fixing member 611 and the second fixing member 612, for example, a coil spring can be used. The first fixing member 611 is accommodated in the first recess 613, and the second fixing member 612 is accommodated in the second recess 614.

第１の固定部材６１１は、第１のスケール１１０に対して常時摩擦力を作用させ、第２の固定部材６１２は、第２のスケール１２０に対して常時摩擦力を作用させる。したがって、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０は、任意の位置にスライド可能であるとともに、スライドさせた位置において固定することができる。したがって、第１のスケール１１０及び第２のスケール１２０を固定するための操作が不要となり、操作性が向上する。 The first fixing member 611 always applies a friction force to the first scale 110, and the second fixing member 612 always applies a friction force to the second scale 120. Therefore, the first scale 110 and the second scale 120 can be slid to arbitrary positions and can be fixed at the slid positions. Therefore, an operation for fixing the first scale 110 and the second scale 120 is unnecessary, and the operability is improved.

１：スケール治具
１０：治具本体１０ａ：前面１０ｂ：背面
１１：第１の孔１２：第２の孔
１３：窓
１４：固定部
１４１：雌ねじ孔
１４２：締着部材１４２ａ：雄ねじ部１４２ｂ：つまみ部１４２ｃ：先端
１１０：第１のスケール
１１０ａ：下側長辺１１０ｂ：ゼロ目盛側短辺１１０ｃ：表面１１１：目盛
１２０：第２のスケール
１２０ａ：ゼロ目盛側短辺１２０ｂ：左側長辺１２０ｃ：表面１２１：目盛
１３０：基台
１３１：第１のテーブル１３１ａ：上面
１３２：第２のテーブル１３２ａ：上面
２０：第１の位置合わせ治具
２０ａ：凹部２０ｂ：第１のスリット２０ｃ：周縁２０ｄ：中心
３０：第２の位置合わせ治具
３０ａ：凹部３０ｂ：第２のスリット３０ｃ：周縁３０ｄ：中心
４：スケール治具
４０：治具本体
４１：第１のプレート４１ａ：前面
４２：第２のプレート４２ｂ：背面
４３：第１の溝４３１：左端４３２：右端
４４：第２の溝４４１：上端４４２：下端４５：窓４６：雌ねじ孔
５：スケール治具
５０：治具本体
５１：第１のプレート５１ａ：前面
５２：第２のプレート５２ｂ：背面
５３：第１の溝５３１：左端５３２：右端
５４：第２の溝５４１：上端５４２：下端
５５：窓５６：雌ねじ孔
６：スケール治具
６０：治具本体
６１：固定部
６１１：第１の固定部材６１２：第２の固定部材
６１３：第１の凹部６１４：第２の凹部 1: Scale jig 10: Jig body 10a: Front face 10b: Back face 11: First hole 12: Second hole 13: Window 14: Fixing part 141: Female screw hole 142: Fastening member 142a: Male screw part 142b: Knob 142c: Tip 110: First scale 110a: Lower long side 110b: Zero scale side short side 110c: Surface 111: Scale 120: Second scale 120a: Zero scale side short side 120b: Left long side 120c: Surface 121: Scale 130: Base 131: First table 131a: Upper surface 132: Second table 132a: Upper surface 20: First alignment jig 20a: Recess 20b: First slit 20c: Periphery 20d: Center 30: Second alignment jig 30a: Recess 30b: Second slit 30c: Periphery 30d: Center 4: Scale jig 40: Jig body 41: 1 plate 41a: front surface 42: second plate 42b: back surface 43: first groove 431: left end 432: right end 44: second groove 441: upper end 442: lower end 45: window 46: female screw hole 5: scale jig Tool 50: Jig body 51: First plate 51a: Front surface 52: Second plate 52b: Back surface 53: First groove 531: Left end 532: Right end 54: Second groove 541: Upper end 542: Lower end 55: Window 56: Female screw hole 6: Scale jig 60: Jig body 61: Fixing part
611: 1st fixing member 612: 2nd fixing member 613: 1st recessed part 614: 2nd recessed part

Claims

A scale jig that allows each scale to be slid in a state where two scales of a long body having a scale cross each other,
A first hole for accommodating the first scale, a second hole for accommodating a second scale intersecting the first scale, a scale for the first scale, and a scale for the second scale A window for reading,
A scale jig comprising

A fixing portion is provided to fix the first scale accommodated in the first hole and the second scale accommodated in the second hole;
The scale jig according to claim 1.