JP2019135809A - Ultrasonic transducer - Google Patents

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加藤 学
Manabu Kato
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Abstract

To provide an ultrasonic transducer in which a piezoelectric element is difficult to break and the sensitivity of reception is maintained.SOLUTION: The present invention includes: a cylindrical case body 1 with one open end 2 and the other end 3 having one bottomed end 5; and a piezoelectric element 10 in the case body 1. The bottomed surface 5 is a vibration surface 5 having a longer axis direction and a shorter axis direction in an orthogonal two-axial coordinate system. The vibration surface 5 includes a first region 11, to which the piezoelectric element 10 is fixed, and a pair of second regions 12, which are adjacent to the first region 11 at both sides in the shorter axis direction and extend along the longer axis direction, the second region 12 having a lower rigidity than that of the first region 11.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、超音波トランスデューサに関する。   The present invention relates to an ultrasonic transducer.

車両等に用いられ、超音波を利用して障害物を検出したり障害物までの距離を測定したりする超音波トランスデューサが存在する(例えば特許文献1及び2)。特許文献1に示される超音波トランスデューサでは、筒状のケース体(文献では支持体)の一端面に圧電素子(文献では圧電振動子)が固着される振動面が設けられ、振動面は長軸方向と短軸方向とを有する。車両に搭載される超音波トランスデューサは、振動面のうち、長軸方向が車両の高さ方向に合わせられ、短軸方向が車両の横幅方向に合わせられる。これにより、超音波トランスデューサは、車高方向に狭く車幅方向に広い指向性を持たせることができ、路面等の不要な検出を抑制しつつ広範囲の障害物検出と測距が可能になる。   There is an ultrasonic transducer that is used in a vehicle or the like and detects an obstacle using an ultrasonic wave or measures a distance to the obstacle (for example, Patent Documents 1 and 2). In the ultrasonic transducer shown in Patent Document 1, a vibration surface to which a piezoelectric element (a piezoelectric vibrator in the document) is fixed is provided on one end surface of a cylindrical case body (a support body in the document), and the vibration surface has a long axis. Direction and a minor axis direction. In the ultrasonic transducer mounted on the vehicle, the major axis direction of the vibration surface is matched with the height direction of the vehicle, and the minor axis direction is matched with the lateral width direction of the vehicle. Accordingly, the ultrasonic transducer can have a directivity that is narrow in the vehicle height direction and wide in the vehicle width direction, and it is possible to detect and measure a wide range of obstacles while suppressing unnecessary detection of the road surface and the like.

特許文献2には、断面が円形であって一端に底面を有する筒状のケース体(文献ではセンサ筐体)に圧電振動子が収容された超音波トランスデューサが示されている。ケース体は開口部及び底面が小判状であって、底面は圧電素子(文献では圧電振動子)が配置されており、圧電素子により底面が振動面として振動する。当該振動面において長軸方向と短軸方向とが存在する。これにより、振動面の長軸方向の指向性を狭くすることができ、超音波トランスデューサを、振動面の長軸方向が車両の高さ方向になるように設置することで、路面や路面上の物体(例えば駐車用縁石等)を障害物として検出する誤検出を抑制することができる。   Patent Document 2 shows an ultrasonic transducer in which a piezoelectric vibrator is housed in a cylindrical case body (sensor housing in the literature) having a circular cross section and a bottom surface at one end. The case body has an oval opening and bottom surface, and a piezoelectric element (a piezoelectric vibrator in the literature) is arranged on the bottom surface, and the bottom surface vibrates as a vibration surface by the piezoelectric element. A major axis direction and a minor axis direction exist on the vibration surface. As a result, the directivity in the major axis direction of the vibration surface can be narrowed, and the ultrasonic transducer is installed so that the major axis direction of the vibration surface is the height direction of the vehicle. False detection of detecting an object (for example, a curb for parking) as an obstacle can be suppressed.

特開昭61−234698号公報JP-A 61-234698 特開2002−58091号公報JP 2002-58091 A

特許文献1の超音波トランスデューサでは、上述の通り、振動面に短軸方向と長軸方向とを有する縦長形状であるので、車両に搭載された場合に、車高方向に狭く車幅方向に広い指向性を得ることができる。ここで、上記トランスデューサは、車両において車両外部から視認可能な位置に搭載されるため、小型化が求められる。しかし、トランスデューサの小型化は、振動面の寸法の狭小化を招き、振動板は変形しにくくなり、共振周波数が高くなる。そのため、振動面の共振周波数を実用的な共振周波数にするために、振動面を有する振動板の厚みを薄くする必要がある。振動板の厚みを薄くすると、振動板において振動面とは反対側の面(外面)に外力が作用した場合に、当該外力が振動板から圧電素子に伝達し易くなる。このため、車両に搭載された超音波トランスデューサは、外方から飛び石等による振動、衝撃を受けた場合に圧電素子が破損し易い。   As described above, the ultrasonic transducer of Patent Document 1 has a vertically long shape having a short axis direction and a long axis direction on the vibration surface. Therefore, when mounted on a vehicle, the ultrasonic transducer is narrow in the vehicle height direction and wide in the vehicle width direction. Directivity can be obtained. Here, since the transducer is mounted at a position visible from the outside of the vehicle in the vehicle, it is required to be downsized. However, the downsizing of the transducer causes the size of the vibration surface to be narrowed, the diaphragm is difficult to deform, and the resonance frequency is increased. Therefore, in order to set the resonance frequency of the vibration surface to a practical resonance frequency, it is necessary to reduce the thickness of the diaphragm having the vibration surface. When the thickness of the diaphragm is reduced, when an external force is applied to a surface (outer surface) opposite to the vibration surface of the diaphragm, the external force is easily transmitted from the diaphragm to the piezoelectric element. For this reason, the ultrasonic transducer mounted on the vehicle is likely to break the piezoelectric element when subjected to vibrations and impacts caused by stepping stones from the outside.

一方、特許文献2の超音波トランスデューサでは、振動面の長軸方向(垂直方向寄与方向)の中央部に圧電素子が配置され、振動面を有する振動板は長軸方向において両端部の厚みが中央部の厚みよりも薄く構成されている。したがって、同一共振周波数であり、同一形状である振動面が均一な厚みの場合に比べて、圧電素子の配置される部位の厚みは厚くなり、振動面の長軸方向において圧電素子が配置されている中央部は、振動面の厚みが均一な場合に比べて変形しにくい。また、振動面は短軸方向では振動板の厚みが一定であり、圧電素子が配置される部位の厚みは、長軸方向の中央部と同じ厚みである。このため、振動面の短軸方向において、圧電素子が配置されている中央部は、振動面の厚みが均一な場合に比べて変形しにくい。また、上記のように、圧電素子は振動面において中央寄りに固着されている。これらにより、圧電素子が駆動することで発生する力を受ける振動面は変形しにくくなるため、圧電素子から外方に高音圧を出力することができない。また、圧電素子の受信時においても、振動面の変形が小さくなることで圧電素子の変形が小さくなり、受信感度が低下する。   On the other hand, in the ultrasonic transducer of Patent Document 2, a piezoelectric element is arranged at the center of the vibration surface in the major axis direction (contributing direction in the vertical direction), and the diaphragm having the vibration surface has a center of thickness at both ends in the major axis direction. It is configured to be thinner than the thickness of the part. Therefore, compared with the case where the vibration surface having the same resonance frequency and the same shape has a uniform thickness, the thickness of the portion where the piezoelectric element is arranged becomes thicker, and the piezoelectric element is arranged in the major axis direction of the vibration surface. The central part is less likely to deform than when the thickness of the vibration surface is uniform. Further, the vibration surface has a constant thickness of the diaphragm in the minor axis direction, and the thickness of the portion where the piezoelectric element is disposed is the same thickness as the central portion in the major axis direction. For this reason, in the minor axis direction of the vibration surface, the central portion where the piezoelectric element is disposed is less likely to be deformed than when the thickness of the vibration surface is uniform. Further, as described above, the piezoelectric element is fixed to the center of the vibration surface. As a result, the vibration surface that receives the force generated by the driving of the piezoelectric element is less likely to be deformed, so that high sound pressure cannot be output outward from the piezoelectric element. Also, when receiving the piezoelectric element, the deformation of the vibration surface is reduced, so that the deformation of the piezoelectric element is reduced and the reception sensitivity is lowered.

上記実情に鑑み、受信感度を維持しつつ圧電素子が破損し難い超音波トランスデューサが求められている。   In view of the above circumstances, there is a need for an ultrasonic transducer that maintains the reception sensitivity and is less likely to damage the piezoelectric element.

本発明に係る超音波トランスデューサの特徴構成は、一端が開口され他端に底面を有する筒状のケース体と、前記ケース体に収容される圧電素子と、を備え、前記底面は、直交二軸座標系において長軸方向と短軸方向とを有する振動面であって、前記振動面は、前記圧電素子が固着される第1領域と、前記短軸方向の両端側において前記第1領域に隣接し前記長軸方向に沿って延在する一対の第2領域とを有し、前記第2領域は前記第1領域よりも剛性が低くなるように構成された点にある。   A characteristic configuration of an ultrasonic transducer according to the present invention includes a cylindrical case body having one end opened and a bottom surface at the other end, and a piezoelectric element accommodated in the case body. A vibration surface having a major axis direction and a minor axis direction in a coordinate system, wherein the vibration surface is adjacent to the first region to which the piezoelectric element is fixed, and to the first region at both ends in the minor axis direction. And a pair of second regions extending along the major axis direction, wherein the second region is configured to have lower rigidity than the first region.

本構成のように、超音波トランスデューサの振動面が、短軸方向において圧電素子を挟む両側に、圧電素子が固着される第1領域よりも剛性が低い一対の第2領域を有することで、振動面において第2領域を容易に変形させることができる。これにより、振動面は短軸方向においても変形し易くなるため、振動面を有する振動板において圧電素子が固着される第1領域の厚みを厚くすることができる。この結果、振動板において振動面とは反対の側の外面に外力が作用したとしても、当該外力が振動板から圧電素子に伝達し難くなるため、圧電素子は破損し難くなり、超音波トランスデューサの信頼性が向上する。また、振動面が長軸方向に沿って延在する第2領域を有することで、超音波が送受信される際の圧電素子及び振動面は、長軸方向の曲げ変形が主となり、短軸方向の曲げ変形が抑制される。この結果、振動面の第1領域の短軸における曲げ変形は小さくなるため、圧電素子に加わる曲げ応力を低減することができ、高音圧の超音波を送受信した場合においても、曲げ応力による圧電素子の破損を抑制することができる。   As in this configuration, the vibration surface of the ultrasonic transducer has a pair of second regions having rigidity lower than that of the first region to which the piezoelectric element is fixed on both sides of the piezoelectric element in the minor axis direction. The second region can be easily deformed on the surface. As a result, the vibration surface is easily deformed even in the minor axis direction, so that the thickness of the first region to which the piezoelectric element is fixed can be increased in the vibration plate having the vibration surface. As a result, even if an external force acts on the outer surface of the diaphragm opposite to the vibration surface, the external force is difficult to be transmitted from the diaphragm to the piezoelectric element. Reliability is improved. In addition, since the vibration surface has the second region extending along the major axis direction, the piezoelectric element and the vibration surface when ultrasonic waves are transmitted and received are mainly subjected to bending deformation in the major axis direction, and the minor axis direction. Bending deformation is suppressed. As a result, since the bending deformation in the short axis of the first region of the vibration surface is reduced, the bending stress applied to the piezoelectric element can be reduced, and the piezoelectric element caused by the bending stress can be transmitted even when high sound pressure ultrasonic waves are transmitted and received. Can be prevented from being damaged.

他の特徴構成は、前記第2領域は、前記振動面に形成された溝部によって構成されている点にある。   Another characteristic configuration is that the second region is formed by a groove formed in the vibration surface.

本構成によれば、振動面に溝部を形成するだけで振動面は剛性の低い第2領域を有することができる。これにより、振動面に容易に第2領域を設けることができる。   According to this configuration, the vibration surface can have the second region with low rigidity only by forming the groove on the vibration surface. Thereby, a 2nd area | region can be easily provided in a vibration surface.

他の特徴構成は、前記第2領域は、前記長軸方向において前記圧電素子よりも長い点にある。   Another feature is that the second region is longer than the piezoelectric element in the major axis direction.

本構成によれば、第2領域は、振動面の長軸方向において圧電素子よりも長いので、振動面の振動時における歪分布は、短軸方向の歪に比べて長軸方向の歪が一層大きくなる。これにより、超音波トランスデューサは、振動面の短軸方向における圧電素子の曲げ変形をより確実に抑制することができる。   According to this configuration, since the second region is longer than the piezoelectric element in the long axis direction of the vibration surface, the strain distribution during vibration of the vibration surface is more strained in the long axis direction than in the short axis direction. growing. Thereby, the ultrasonic transducer can more reliably suppress the bending deformation of the piezoelectric element in the minor axis direction of the vibration surface.

第1実施形態の平面図である。It is a top view of a 1st embodiment. 図1のII−II矢視断面図である。It is II-II arrow sectional drawing of FIG. 短軸方向における歪分布を示す図である。It is a figure which shows the distortion distribution in a short axis direction. 図1のIV−IV矢視断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along arrow IV-IV in FIG. 1. 長軸方向における歪分布を示す図である。It is a figure which shows the distortion distribution in a major axis direction. 比較例の平面図である。It is a top view of a comparative example. 図6のVII−VII矢視断面図である。It is VII-VII arrow sectional drawing of FIG. 比較例の短軸方向における歪分布を示す図である。It is a figure which shows the distortion distribution in the short-axis direction of a comparative example. 比較例の長軸方向における歪分布を示す図である。It is a figure which shows the distortion distribution in the major axis direction of a comparative example. 別形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another form. 別形態を示す平面図である。It is a top view which shows another form. 図11のXII−XII矢視断面図である。It is XII-XII arrow sectional drawing of FIG.

以下に、本発明に係る超音波トランスデューサの実施形態を図面に基づいて説明する。   Embodiments of an ultrasonic transducer according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1〜図3に、本発明に係る超音波トランスデューサ100を示す。図1は、超音波トランスデューサ100を後方から視た平面図である。超音波トランスデューサ100は、一端2が開口され他端3に底面5を有する円筒状のケース体1と、ケース体1に収容される圧電素子10と、を備える。ケース体1は外形の横断面が円形状であり、ケース体1の内部に横断面が楕円形状の中空部4が形成されている。ケース体1の外形の軸心Zと中空部4の軸心とは一致している。   1 to 3 show an ultrasonic transducer 100 according to the present invention. FIG. 1 is a plan view of the ultrasonic transducer 100 viewed from behind. The ultrasonic transducer 100 includes a cylindrical case body 1 having one end 2 opened and a bottom surface 5 at the other end 3, and a piezoelectric element 10 accommodated in the case body 1. The case body 1 has a circular outer cross section, and a hollow portion 4 having an elliptical cross section is formed inside the case body 1. The axial center Z of the outer shape of the case body 1 coincides with the axial center of the hollow portion 4.

底面5は、中空部4の横断面と同形状であって、直交二軸座標系において長軸方向Yと短軸方向Xとを有する振動面である。振動面(底面)5に圧電素子10が固着されている。ケース体1において、振動面5を含む振動板6は外面7を有する。外面7は振動板6のうち、振動面5と反対側の面である。圧電素子10は、矩形平板状であって、超音波の送信及び受信が可能に構成されている。振動面5を含むケース体1は、高弾性なアルミニウム等の軽合金又は合成樹脂等により形成される。   The bottom surface 5 has the same shape as the cross section of the hollow portion 4 and is a vibration surface having a major axis direction Y and a minor axis direction X in an orthogonal biaxial coordinate system. A piezoelectric element 10 is fixed to the vibration surface (bottom surface) 5. In the case body 1, the diaphragm 6 including the vibration surface 5 has an outer surface 7. The outer surface 7 is a surface of the diaphragm 6 opposite to the vibration surface 5. The piezoelectric element 10 has a rectangular flat plate shape and is configured to be able to transmit and receive ultrasonic waves. The case body 1 including the vibration surface 5 is formed of a light alloy such as highly elastic aluminum or a synthetic resin.

振動面5は、圧電素子10が固着される第1領域11と、短軸方向Xの両端側において第1領域11に隣接し長軸方向Yに沿って延在する一対の第2領域12とを有する。圧電素子10は、第1領域11の短軸方向Xと同じ幅を有する。第2領域12は第1領域11よりも剛性が低くなるように構成されている。具体的には、第2領域12には振動板6に振動面5の側から溝部13が形成されている。この結果、第1領域11における振動板6の軸心Z方向に沿う厚みT1よりも、第2領域12における厚みT2の方が薄くなっている。   The vibration surface 5 includes a first region 11 to which the piezoelectric element 10 is fixed, a pair of second regions 12 that are adjacent to the first region 11 and extend along the major axis direction Y on both ends in the minor axis direction X. Have The piezoelectric element 10 has the same width as the minor axis direction X of the first region 11. The second region 12 is configured to have lower rigidity than the first region 11. Specifically, in the second region 12, a groove portion 13 is formed in the diaphragm 6 from the vibration surface 5 side. As a result, the thickness T2 in the second region 12 is thinner than the thickness T1 along the axis Z direction of the diaphragm 6 in the first region 11.

振動面5の形状は、長軸方向Yと短軸方向Xとを有する楕円形状である。これにより、超音波トランスデューサ100は、長軸方向Yに狭く短軸方向Xに広い指向性を有する超音波を放出する。同様に、振動面5が楕円形状であることで、超音波トランスデューサ100は、長軸方向Yに狭く短軸方向Xに広い受信感度を有する。   The shape of the vibration surface 5 is an elliptical shape having a major axis direction Y and a minor axis direction X. Thereby, the ultrasonic transducer 100 emits ultrasonic waves that are narrow in the long axis direction Y and wide in the short axis direction X. Similarly, since the vibration surface 5 has an elliptical shape, the ultrasonic transducer 100 has a reception sensitivity that is narrow in the long axis direction Y and wide in the short axis direction X.

このように構成された超音波トランスデューサ100では、リード線(不図示)を介して所定の周波数の電気信号が圧電素子10に送信されると、圧電素子10が振動面5に対して平行な方向に伸縮する力を上記電気信号に応じて発生し、それに伴い振動面5が振動し、超音波が外気中に放射される。超音波は短時間送出され、その残響時間の経過後に送受信切替手段(図示せず)を用いて送信から受信に切り替えられる。外気中に放射された超音波は、対象物(障害物)に当たりその反射波が超音波トランスデューサ100に到達する。そして、その反射波は振動面5とあわせて圧電素子10を振動変形させたうえで圧電素子10から電圧として取り出すことで受信される。超音波が圧電素子10から送信されてから対象物(障害物)に当たりその反射波が圧電素子10で受信されるまでの時間を測定することで、振動面5と対象物(障害物)との距離を算出することができる。   In the ultrasonic transducer 100 configured as described above, when an electrical signal having a predetermined frequency is transmitted to the piezoelectric element 10 via a lead wire (not shown), the piezoelectric element 10 is parallel to the vibrating surface 5. In response to the electrical signal, the vibration surface 5 vibrates and ultrasonic waves are radiated into the outside air. The ultrasonic waves are transmitted for a short time, and after the reverberation time has elapsed, switching from transmission to reception is performed using transmission / reception switching means (not shown). The ultrasonic wave radiated into the outside air hits an object (obstacle) and the reflected wave reaches the ultrasonic transducer 100. The reflected wave is received by extracting the piezoelectric element 10 as a voltage after vibrating and deforming the piezoelectric element 10 together with the vibration surface 5. By measuring the time from when the ultrasonic wave is transmitted from the piezoelectric element 10 until it hits the object (obstacle) and the reflected wave is received by the piezoelectric element 10, the vibration surface 5 and the object (obstacle) The distance can be calculated.

圧電素子10は、矩形状に形成されている。圧電素子10は、短軸方向Xにおいて第1領域11と同じ幅を有し、第1領域11の両側に一対の溝部13(第2領域12)が隣接する。圧電素子10は、振動面5が変形して凹面になったときに、長軸方向Yに沿う断面(図5)における歪が圧縮歪となる領域内に収まるように配置されている。振動面5を含む振動板6において第2領域12の厚みT2は第1領域11の厚みT1の半分以下にしてもよい。第2領域12の厚みT2は第1領域11の厚みT1の半分以下になると、第1領域11と第2領域12との剛性の差が大きくなるため、振動面5は第1領域11において高い剛性を維持しつつ第2領域12の変形を容易にすることができる。   The piezoelectric element 10 is formed in a rectangular shape. The piezoelectric element 10 has the same width as the first region 11 in the minor axis direction X, and a pair of groove portions 13 (second regions 12) are adjacent to both sides of the first region 11. The piezoelectric element 10 is arranged such that when the vibration surface 5 is deformed to be a concave surface, the strain in the cross section (FIG. 5) along the major axis direction Y falls within a region where the strain is a compressive strain. In the diaphragm 6 including the vibration surface 5, the thickness T2 of the second region 12 may be less than or equal to half the thickness T1 of the first region 11. When the thickness T2 of the second region 12 is less than or equal to half the thickness T1 of the first region 11, the difference in rigidity between the first region 11 and the second region 12 increases, so that the vibration surface 5 is high in the first region 11. The deformation of the second region 12 can be facilitated while maintaining the rigidity.

図6及び図7は、本実施形態の超音波トランスデューサ100の比較例としての従来の超音波トランスデューサAを示す図である。超音波トランスデューサAは、振動面5を含む振動板6が一定の板厚で構成されている。その他は、図1〜図3に示される超音波トランスデューサ100の構造と同じである。   6 and 7 are diagrams showing a conventional ultrasonic transducer A as a comparative example of the ultrasonic transducer 100 of the present embodiment. In the ultrasonic transducer A, the diaphragm 6 including the vibration surface 5 is configured with a constant plate thickness. The rest is the same as the structure of the ultrasonic transducer 100 shown in FIGS.

図8は、超音波トランスデューサAの振動面5の短軸方向Xにおける歪分布を示す。図9は、超音波トランスデューサAの振動面5の長軸方向Yにおける歪分布を示す。図8及び図9に示されるように、振動面5の中央部分において、短軸方向Xにおける歪が長軸方向Yにおける歪より大きくなる。このため、振動面5の歪を受けて圧電素子10は変形による応力を受け易くなる。   FIG. 8 shows a strain distribution in the minor axis direction X of the vibration surface 5 of the ultrasonic transducer A. FIG. 9 shows a strain distribution in the major axis direction Y of the vibration surface 5 of the ultrasonic transducer A. As shown in FIGS. 8 and 9, the strain in the minor axis direction X is larger than the strain in the major axis direction Y at the central portion of the vibration surface 5. For this reason, the piezoelectric element 10 is easily subjected to stress due to deformation under the distortion of the vibration surface 5.

一方、本実施形態の超音波トランスデューサ100では、振動面5は第2領域12として一対の溝部13を有するので、振動面5において第2領域12は、軸心Z方向の変位に対してせん断変形し易くなるので(図3参照)、振動板6の共振周波数を変えることなく、圧電素子10が配置された第1領域11の厚みT1を厚くすることができる。この結果、振動板6において振動面5とは反対の側の外面7に外力が作用したとしても、当該外力が振動板6から圧電素子10に伝達し難くなるため、圧電素子10は破損し難くなり、超音波トランスデューサ100の信頼性が向上する。   On the other hand, in the ultrasonic transducer 100 of the present embodiment, the vibration surface 5 has a pair of grooves 13 as the second region 12, and therefore the second region 12 in the vibration surface 5 is shear-deformed with respect to the displacement in the axial center Z direction. Therefore, the thickness T1 of the first region 11 in which the piezoelectric element 10 is disposed can be increased without changing the resonance frequency of the diaphragm 6 (see FIG. 3). As a result, even if an external force acts on the outer surface 7 on the side opposite to the vibration surface 5 in the diaphragm 6, the external force is difficult to be transmitted from the diaphragm 6 to the piezoelectric element 10, so that the piezoelectric element 10 is not easily damaged. Thus, the reliability of the ultrasonic transducer 100 is improved.

また、振動面5が長軸方向Yに沿って延在する一対の溝部13(第2領域12)を有することで、超音波が送受信される際の圧電素子10及び振動面5は、長軸方向Yの曲げ変形が主となり、短軸方向Xの第1領域11の曲げ変形が抑制される。この結果、短軸方向Xにおける振動面5の第1領域11の振動振幅と圧電素子10の曲げ変形とは共に小さくなるため、圧電素子10に加わる曲げ応力を低減することができ、高音圧の超音波を送受信した場合においても、曲げ応力による圧電素子10の破損を抑制することができる。   In addition, since the vibration surface 5 has a pair of groove portions 13 (second regions 12) extending along the major axis direction Y, the piezoelectric element 10 and the vibration surface 5 when ultrasonic waves are transmitted and received have a long axis. The bending deformation in the direction Y is mainly performed, and the bending deformation of the first region 11 in the minor axis direction X is suppressed. As a result, since both the vibration amplitude of the first region 11 of the vibration surface 5 in the minor axis direction X and the bending deformation of the piezoelectric element 10 are reduced, the bending stress applied to the piezoelectric element 10 can be reduced, and the high sound pressure can be reduced. Even when ultrasonic waves are transmitted and received, damage to the piezoelectric element 10 due to bending stress can be suppressed.

さらに、本実施形態では、第2領域12としての一対の溝部13は、振動面5の長軸方向Yにおいて圧電素子10よりも長く形成されている。本構成により、振動面5の振動時における歪分布は、短軸方向Xの歪に比べて長軸方向Yの歪が一層大きくなる。その結果、超音波トランスデューサ100は、振動面5の短軸方向Xにおける圧電素子10の曲げ変形をより確実に抑制することができる。   Furthermore, in the present embodiment, the pair of grooves 13 as the second region 12 is formed longer than the piezoelectric element 10 in the major axis direction Y of the vibration surface 5. With this configuration, the strain distribution during vibration of the vibration surface 5 has a larger strain in the major axis direction Y than that in the minor axis direction X. As a result, the ultrasonic transducer 100 can more reliably suppress the bending deformation of the piezoelectric element 10 in the minor axis direction X of the vibration surface 5.

図4において、破線は振動面5の長軸方向Yの振動時の一状態を示したものである。図5は、振動面5の圧電素子10の接着面における長軸方向Yの表面歪を示す。長軸方向Yの中央部では圧縮歪が発生し、長軸方向Yの両端部では引っ張り歪が発生している。このように振動面5が変形した場合、長軸方向Yにおいて圧縮歪と引っ張り歪との境界線は、短軸方向Xに沿うようになる。このため、図4のように振動面5が振動により変形した場合には、振動面5において圧電素子10が接着される面(第1領域11)において、圧縮歪が印加される領域は略長方形になる。その結果、圧電素子10を長方形状に形成することで、第1領域11において圧電素子10が効率よく駆動するようになるため、受信感度を向上させることができる。また、圧電素子10が長方形状であると、圧電素子10を製造する上で歩留まりがよくなるため、超音波トランスデューサ100の製造コストを低くすることができる。   In FIG. 4, the broken line indicates one state when the vibration surface 5 vibrates in the long axis direction Y. FIG. 5 shows the surface strain in the major axis direction Y on the bonding surface of the piezoelectric element 10 on the vibration surface 5. Compressive strain is generated at the central portion in the major axis direction Y, and tensile strain is generated at both ends in the major axis direction Y. When the vibration surface 5 is thus deformed, the boundary line between the compressive strain and the tensile strain in the major axis direction Y is along the minor axis direction X. For this reason, when the vibration surface 5 is deformed by vibration as shown in FIG. 4, the region to which the compressive strain is applied is substantially rectangular on the surface (first region 11) to which the piezoelectric element 10 is bonded. become. As a result, by forming the piezoelectric element 10 in a rectangular shape, the piezoelectric element 10 is efficiently driven in the first region 11, so that reception sensitivity can be improved. In addition, when the piezoelectric element 10 is rectangular, the yield in manufacturing the piezoelectric element 10 is improved, and the manufacturing cost of the ultrasonic transducer 100 can be reduced.

〔別実施形態〕
(1)上記の実施形態では、振動面5に一対の溝部13を形成して第2領域12とする構成を示したが、図10に示すように、第2領域12は振動面5とは反対の側の外面7に一対の溝部14を形成して構成してもよい。また、図11及び図12に示すように、第2領域12は長軸方向Yに沿って振動面5に複数の凹部15を設けて構成してもよい。これにより、第2領域12は、凹部15を有する厚み部分(厚みT2)と、第1領域11と同じ厚み部分16(厚みT1)によって構成される。なお、複数の凹部15の形状並びに配置は適宜変更してもよい。
[Another embodiment]
(1) In the above embodiment, the configuration in which the pair of grooves 13 are formed on the vibration surface 5 to form the second region 12 is shown. However, as shown in FIG. A pair of grooves 14 may be formed on the outer surface 7 on the opposite side. Further, as shown in FIGS. 11 and 12, the second region 12 may be configured by providing a plurality of concave portions 15 on the vibration surface 5 along the long axis direction Y. Thus, the second region 12 is configured by a thickness portion (thickness T2) having the recess 15 and a thickness portion 16 (thickness T1) that is the same as the first region 11. In addition, you may change the shape and arrangement | positioning of several recessed part 15 suitably.

(2)超音波トランスデューサ100の振動板6において、第2領域12は、例えば弾性部材等、ケース体1とは別材料によって構成してもよい。 (2) In the diaphragm 6 of the ultrasonic transducer 100, the second region 12 may be made of a material different from the case body 1, such as an elastic member.

本発明は、超音波トランスデューサに広く用いることができる。   The present invention can be widely used for ultrasonic transducers.

1 :ケース体
2 :一端
3 :他端
4 :中空部
5 :振動面(底面)
6 :振動板
7 :外面
10 :圧電素子
11 :第1領域
12 :第2領域
13 :溝部
14 :溝部
15 :孔部
100 :超音波トランスデューサ
T1 :第1領域の厚み
T2 :第2領域の厚み
X :短軸方向
Y :長軸方向
Z :軸心
1: Case body 2: One end 3: The other end 4: Hollow part 5: Vibration surface (bottom surface)
6: Diaphragm 7: Outer surface 10: Piezoelectric element 11: 1st area | region 12: 2nd area | region 13: Groove part 14: Groove part 15: Hole part 100: Ultrasonic transducer T1: Thickness of 1st area | region T2: Thickness of 2nd area | region X: minor axis direction Y: major axis direction Z: shaft center

Claims (3)

一端が開口され他端に底面を有する筒状のケース体と、
前記ケース体に収容される圧電素子と、を備え、
前記底面は、直交二軸座標系において長軸方向と短軸方向とを有する振動面であって、
前記振動面は、前記圧電素子が固着される第1領域と、前記短軸方向の両端側において前記第1領域に隣接し前記長軸方向に沿って延在する一対の第2領域とを有し、
前記第2領域は前記第1領域よりも剛性が低くなるように構成された超音波トランスデューサ。
A cylindrical case body having one end opened and a bottom surface on the other end;
A piezoelectric element housed in the case body,
The bottom surface is a vibrating surface having a major axis direction and a minor axis direction in an orthogonal biaxial coordinate system,
The vibration surface has a first region to which the piezoelectric element is fixed, and a pair of second regions extending along the major axis direction adjacent to the first region on both ends in the minor axis direction. And
The ultrasonic transducer configured such that the second region has lower rigidity than the first region.
前記第2領域は、前記振動面に形成された溝部によって構成されている請求項1に記載の超音波トランスデューサ。   The ultrasonic transducer according to claim 1, wherein the second region is configured by a groove formed in the vibration surface. 前記第2領域は、前記長軸方向において前記圧電素子よりも長い請求項1または2に記載の超音波トランスデューサ。   The ultrasonic transducer according to claim 1, wherein the second region is longer than the piezoelectric element in the major axis direction.
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