JP2019127491A - Quartz glass fiber-containing prepreg, quartz glass fiber-containing film and quartz glass fiber-containing substrate - Google Patents

Quartz glass fiber-containing prepreg, quartz glass fiber-containing film and quartz glass fiber-containing substrate Download PDF

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吉弘 堤
Yoshihiro Tsutsumi
吉弘 堤
佳英 浜本
yoshihide Hamamoto
佳英 浜本
塩原 利夫
Toshio Shiobara
利夫 塩原
明彦 大▲崎▼
Akihiko Osaki
明彦 大▲崎▼
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Abstract

To provide a quartz glass fiber-containing prepreg having excellent dielectric properties, and having excellent heat resistance, and a quartz glass fiber-containing film and a quartz glass fiber-containing substrate including the quartz glass fiber-containing prepreg.SOLUTION: A quartz glass fiber-containing prepreg contains (A) a quartz glass fiber and (B) a curable resin composition. In the (A) quartz glass fiber, the number of air bubbles contained therein is 10/mor less per unit area.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は石英ガラス繊維含有プリプレグ、石英ガラス繊維含有フィルム及び石英ガラス繊維含有基板に関する。   The present invention relates to a quartz glass fiber-containing prepreg, a quartz glass fiber-containing film, and a quartz glass fiber-containing substrate.

デジタル技術の発展に伴い、パソコン、携帯電話に代表される電子機器の軽薄短小化、高機能化が進められ、例えば、代表部品であるプリント基板に対して高密度実装、軽薄短小化が必要とされている。これに対応するために、ガラス繊維含有基板及びフィルムに対する特性向上の強い要求がある。   With the development of digital technology, electronic devices such as personal computers and mobile phones are being reduced in size and size, and enhanced in function. For example, high density mounting and reduction in size and thickness on printed circuit boards, which are representative components, are required. It is done. In order to cope with this, there is a strong demand for improving the properties of glass fiber-containing substrates and films.

また、コンピュータ、モバイル、通信インフラ等の高速・高周波化が進み、それに伴って、プリント配線基板に要求される特性として伝送損失に優れた低誘電材料や超薄膜基板やフィルムのために高引張剛性特性やガラス繊維の均一性、薄膜化が求められている(特許文献1〜2)。   In addition, with the progress of high speed and high frequency such as computer, mobile and communication infrastructure, high tensile rigidity for low dielectric material, super thin film substrate and film excellent in transmission loss as characteristic required for printed wiring board Characteristics, uniformity of glass fiber, and thinning are required (Patent Documents 1 and 2).

従来、プリプレグや基板に用いられるガラスクロスとして、Eガラス繊維、Dガラス繊維から織布されたクロスが用いられてきた(特許文献3〜5)。ガラス繊維の中でも特に高耐熱性、低不純物、低誘電率、誘電損失等の特性から石英ガラス繊維が注目されている。   Conventionally, cloths woven from E glass fibers and D glass fibers have been used as glass cloths used for prepregs and substrates (Patent Documents 3 to 5). Among glass fibers, quartz glass fibers are attracting attention because of their characteristics such as high heat resistance, low impurities, low dielectric constant, and dielectric loss.

また、汎用ガラスクロスは気泡を含んだホロファイバーが存在するため、基板成型工程で使用するメッキ液、洗浄液、エッチング液などがクロス内に存在する気泡に侵入し、メッキ層が付かず導通不良の発生や誘電特性の低下等の欠陥が発生する。一方、石英ガラスクロスはホロファイバーの含有量が少ないため、汎用ガラスクロスで問題となる導通不良や誘電特性の低下が起こらない。   In addition, since general-purpose glass cloth has holofibers containing bubbles, plating solution, cleaning solution, etching solution, etc. used in the substrate molding process penetrates into the bubbles present in the cloth, and the plating layer does not attach, resulting in poor conduction. Defects such as generation and deterioration of dielectric properties occur. On the other hand, quartz glass cloth has a low content of holofiber, so that there is no problem of conduction failure and deterioration of dielectric characteristics, which are problems with general-purpose glass cloth.

特開2016−131243号公報JP 2016-131243 A 特開2015−155196号公報JP2015-155196A 特開平9−74255号公報JP-A-9-74255 特開平2−61131号公報JP-A-2-61131 特開昭62−169495号公報Japanese Patent Laid-Open No. 62-169495

本発明は上記事情に鑑みなされたもので、誘電特性に優れ、かつ耐熱性に優れる石英ガラス繊維含有プリプレグ、該石英ガラス繊維含有プリプレグを用いた石英ガラス繊維含有フィルム及び石英ガラス繊維含有基板を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a quartz glass fiber-containing prepreg having excellent dielectric characteristics and heat resistance, a quartz glass fiber-containing film and a quartz glass fiber-containing substrate using the quartz glass fiber-containing prepreg. The purpose is to do.

上記課題を達成するために、本発明は、
石英ガラス繊維含有プリプレグであって、
(A)石英ガラス繊維
(B)硬化性樹脂組成物
を含み、前記(A)石英ガラス繊維が、含有する気泡の数が単位面積当たり10個/m以下のものである石英ガラス繊維含有プリプレグを提供する。
In order to achieve the above object, the present invention provides:
A quartz glass fiber-containing prepreg,
(A) A quartz glass fiber-containing prepreg comprising a quartz glass fiber (B) and a curable resin composition, wherein the (A) quartz glass fiber contains 10 bubbles / m 2 or less of bubbles per unit area. I will provide a.

本発明の石英ガラス繊維含有プリプレグであれば、気泡の少ない石英ガラス繊維を用いることで誘電特性に優れ、かつ耐熱性に優れる石英ガラス繊維含有プリプレグとなる。   If it is a quartz glass fiber containing prepreg of this invention, it will become a quartz glass fiber containing prepreg which is excellent in a dielectric characteristic and excellent in heat resistance by using a quartz glass fiber with few bubbles.

また、前記(A)石英ガラス繊維の繊維径が3μm以上9μm以下であり、かつ、仮想温度が1,300℃〜1,500℃であることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the fiber diameter of said (A) quartz glass fiber is 3 micrometers or more and 9 micrometers or less, and fictive temperature is 1,300 to 1500 degreeC.

このような石英ガラス繊維であれば、加工性、量産性に優れ、かつ構造安定性に優れた石英ガラス繊維含有プリプレグとなる。   Such a quartz glass fiber is a quartz glass fiber-containing prepreg having excellent processability and mass productivity and excellent structural stability.

また、前記(B)硬化性樹脂組成物が、シリコーン樹脂、硬化性ポリイミド樹脂、マレイミド樹脂、エポキシ樹脂、シアネート樹脂、(メタ)アクリル樹脂から選択される硬化性樹脂の少なくとも1つを含む熱硬化性樹脂組成物及び/又は光硬化性樹脂組成物であることが好ましい。   In addition, the (B) curable resin composition is a thermosetting resin containing at least one of a curable resin selected from silicone resin, curable polyimide resin, maleimide resin, epoxy resin, cyanate resin, and (meth) acrylic resin. And / or a photocurable resin composition.

本発明の石英ガラス繊維含有プリプレグには、このような樹脂組成物を好適に用いることができる。   Such a resin composition can be suitably used for the quartz glass fiber-containing prepreg of the present invention.

また、前記(B)硬化性樹脂組成物が、さらに無機充填材を含有することが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said (B) curable resin composition contains an inorganic filler further.

このように無機充填剤を含有する石英ガラス繊維含有プリプレグであれば、樹脂組成物の低熱膨張特性、高弾性率性、耐熱性、難燃性等を向上させることができる。   Thus, if it is a quartz glass fiber containing prepreg containing an inorganic filler, the low thermal expansion characteristic of the resin composition, high elastic modulus, heat resistance, flame retardancy etc. can be improved.

また、前記石英ガラス繊維含有プリプレグ1枚の硬化物からなるものである石英ガラス繊維含有フィルムを提供する。   Moreover, the quartz glass fiber containing film which consists of a hardened | cured material of the said quartz glass fiber containing prepreg 1 sheet is provided.

このように、本発明の石英ガラス繊維含有プリプレグは、石英ガラス繊維含有フィルムに好適に用いることができる。   Thus, the quartz glass fiber containing prepreg of this invention can be used suitably for a quartz glass fiber containing film.

また、前記石英ガラス繊維含有フィルムにおいて、1.0GHzにおける誘電正接と10GHzにおける誘電正接との差の絶対値が0以上0.01以下であることが好ましい。   In the quartz glass fiber-containing film, the absolute value of the difference between the dielectric loss tangent at 1.0 GHz and the dielectric loss tangent at 10 GHz is preferably 0 or more and 0.01 or less.

このような石英ガラス繊維含有フィルムであれば、その低誘電特性を利用した各種電子部品への応用に好適な材料となる。   Such a quartz glass fiber-containing film is a material suitable for application to various electronic components utilizing its low dielectric properties.

また、前記石英ガラス繊維含有プリプレグ2枚以上の積層硬化物からなるものである石英ガラス繊維含有基板を提供する。   Moreover, the quartz glass fiber containing board | substrate which consists of a lamination | stacking hardened | cured material of two or more sheets of the said quartz glass fiber containing prepreg is provided.

このように、本発明の石英ガラス繊維含有プリプレグは、石英ガラス繊維含有基板に好適に用いることができる。   Thus, the quartz glass fiber containing prepreg of this invention can be used suitably for a quartz glass fiber containing board | substrate.

また、前記石英ガラス繊維含有基板において、1.0GHzにおける誘電正接と10GHzにおける誘電正接との差の絶対値が0以上0.01以下であることが好ましい。   In the quartz glass fiber-containing substrate, the absolute value of the difference between the dielectric loss tangent at 1.0 GHz and the dielectric loss tangent at 10 GHz is preferably 0 or more and 0.01 or less.

このような石英ガラス繊維含有基板であれば、その低誘電特性を利用した各種電子部品への応用に好適な材料となる。   Such a quartz glass fiber-containing substrate is a material suitable for application to various electronic components utilizing its low dielectric properties.

本発明の石英ガラス繊維含有プリプレグであれば、誘電特性に優れ、かつ高強度で高引張剛性特性、表面均一性、薄膜成形性、メッキ性に優れる石英ガラス繊維含有プリプレグとなり、石英ガラス繊維含有フィルム及び石英ガラス繊維含有基板に好適に用いることができる。   The quartz glass fiber-containing prepreg of the present invention is a quartz glass fiber-containing prepreg having excellent dielectric properties, high strength, high tensile rigidity, surface uniformity, thin film formability, and excellent plating properties. And a quartz glass fiber-containing substrate.

本発明は以下の態様を含むものである。
<石英ガラス繊維含有プリプレグ>
[(A)石英ガラス繊維]
本発明における石英ガラス繊維含有プリプレグに含まれる石英ガラス繊維は、繊維状でもガラスクロスと呼ばれる布帛状でもよいが、取扱いが容易であるなどの理由で、石英ガラスクロスを用いるのが好ましい。該石英ガラスクロスは、石英ガラスストランド及び/又は石英ガラスヤーンを用いて作製されたものである。石英ガラスストランド及び/又は石英ガラスヤーンは、上記石英ガラス繊維を50本以上500本以下束ねたものである。なお、本発明においては、繊維を撚らずに束ねたものをストランドと称し、繊維に撚りをかけて束ねたものをヤーンと称する。
The present invention includes the following aspects.
<Quartz glass fiber containing prepreg>
[(A) Quartz glass fiber]
The quartz glass fibers contained in the quartz glass fiber-containing prepreg in the present invention may be fibrous or cloth-like called glass cloth, but it is preferable to use quartz glass cloth because it is easy to handle. The quartz glass cloth is produced using a quartz glass strand and / or a quartz glass yarn. Quartz glass strands and / or quartz glass yarns are bundles of 50 to 500 quartz glass fibers. In the present invention, a bundle of fibers bundled without twisting is referred to as a strand, and a bundle of fibers twisted together is referred to as a yarn.

前記石英ガラス繊維の仮想温度は1,300℃〜1,500℃の範囲が好ましく、上記仮想温度の範囲にあると加工性、量産性に優れ、かつ構造安定性に優れており、石英ガラス繊維の繊維径は3μm以上9μm以下であることが好ましい。   The fictive temperature of the quartz glass fiber is preferably in the range of 1,300 ° C. to 1,500 ° C. If the fictive temperature is within the fictive temperature range, the processability and mass productivity are excellent, and the structural stability is excellent. The fiber diameter is preferably 3 μm or more and 9 μm or less.

また、本発明の石英ガラス繊維含有プリプレグに含まれる石英ガラス繊維は、気泡の含有量が極めて少なく、気泡の数は、単位面積当たり10個/m以下であり、好ましくは5個/m以下である。 Further, the quartz glass fiber contained in the quartz glass fiber-containing prepreg of the present invention has an extremely small content of air bubbles, and the number of air bubbles is 10 / m 2 or less per unit area, preferably 5 / m 2. It is below.

本発明の石英ガラス繊維含有プリプレグに含まれる石英ガラス繊維は上記特徴と共に、高耐熱性、低不純物、低誘電率、誘電損失等の特性を有することが好ましい。また高強度で高引張剛性特性、表面均一性、薄膜成形性に優れることが好ましい。石英ガラス繊維として、天然石英ガラス及び/又は合成石英ガラスを原料とした石英ガラス繊維が使用できる。   The quartz glass fiber contained in the prepreg containing quartz glass fiber of the present invention preferably has characteristics such as high heat resistance, low impurities, low dielectric constant, and dielectric loss, in addition to the above characteristics. In addition, it is preferable to have high strength and high tensile stiffness characteristics, surface uniformity, and excellent thin film formability. As the quartz glass fiber, quartz glass fiber made from natural quartz glass and / or synthetic quartz glass can be used.

[(B)硬化性樹脂組成物]
硬化性樹脂組成物は、熱硬化性樹脂組成物及び/又は光硬化性樹脂組成物であることが好ましく、常温(25℃)では液状、半固形状、固形状のどの状態であっても構わない。硬化性樹脂組成物に含まれる硬化性樹脂としては、具体的には、シリコーン樹脂、硬化性ポリイミド樹脂、マレイミド樹脂、エポキシ樹脂、シアネート樹脂、(メタ)アクリル樹脂などが挙げられ、本発明の石英ガラス繊維含有プリプレグ、基板、及びフィルムはこれらから選択される硬化性樹脂の少なくとも1つを含むことが好ましい。中でもシリコーン樹脂、硬化性ポリイミド、マレイミド樹脂、エポキシ樹脂が好適に用いられる。なお、硬化性樹脂は単独でも良いし、複数樹脂の併用でも構わない。
[(B) Curable resin composition]
The curable resin composition is preferably a thermosetting resin composition and / or a photocurable resin composition, and may be in any state of liquid, semi-solid or solid at normal temperature (25 ° C.) Absent. Specific examples of the curable resin contained in the curable resin composition include silicone resin, curable polyimide resin, maleimide resin, epoxy resin, cyanate resin, (meth) acrylic resin and the like, and the quartz of the present invention The glass fiber-containing prepreg, the substrate, and the film preferably contain at least one of curable resins selected therefrom. Among them, silicone resins, curable polyimides, maleimide resins and epoxy resins are preferably used. The curable resin may be used alone or in combination of a plurality of resins.

((B−1)シリコーン樹脂)
シリコーン樹脂は付加硬化型シリコーン樹脂と、縮合型シリコーン樹脂が挙げられる。
付加硬化型シリコーン樹脂としては、下記(a)〜(c)成分、
(a)下記平均組成式(1)で示され、ケイ素原子に結合したアルケニル基を1分子中に少なくとも2個以上有するオルガノポリシロキサン
(R SiO1/2(R SiO2/2(RSiO3/2(SiO4/2 (1)
(式中、Rは独立に水酸基、炭素数1〜10の脂肪族炭化水素基、炭素数5〜10の脂環式炭化水素基、炭素数6〜10の芳香族炭化水素基、及び炭素数2〜10のアルケニル基から選ばれる基であり、a、b、c、dは、a≧0、b≧0、c≧0、d≧0、a+b+c+d=1を満足する数である。)
(b)下記平均組成式(2)で示され、ケイ素原子に結合した水素原子を1分子中に少なくとも2個以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン
(R SiO1/2(R SiO2/2(RSiO3/2(SiO4/2 (2)
(式中、Rは独立に水素原子、または水酸基、炭素数1〜10の脂肪族炭化水素基、炭素数5〜10の脂環式炭化水素基、炭素数6〜10の芳香族炭化水素基から選ばれる基であり、e、f、g、hは、e≧0、f≧0、g≧0、h≧0、e+f+g+h=1を満足する数である。)
前記(a)成分と(b)成分との配合比率は、(a)成分中のケイ素原子に結合したアルケニル基1モル当たり、(b)成分中のケイ素原子に結合した水素原子の量が0.1〜5.0モルとなる量、及び
(c)付加反応触媒
を含むシリコーン樹脂が挙げられる。
((B-1) silicone resin)
The silicone resin includes an addition curing type silicone resin and a condensation type silicone resin.
As the addition curing silicone resin, the following components (a) to (c),
(A) Organopolysiloxane represented by the following average composition formula (1) and having at least two alkenyl groups bonded to silicon atoms in one molecule (R 1 3 SiO 1/2 ) a (R 1 2 SiO 2 / 2 ) b (R 1 SiO 3/2 ) c (SiO 4/2 ) d (1)
(Wherein, R 1 independently represents a hydroxyl group, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 10 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 10 carbon atoms, and carbon A group selected from alkenyl groups of 2 to 10, a, b, c, d are numbers satisfying a ≧ 0, b ≧ 0, c ≧ 0, d ≧ 0, and a + b + c + d = 1.)
(B) Organohydrogenpolysiloxane represented by the following average composition formula (2) and having at least two hydrogen atoms bonded to silicon atoms in one molecule (R 2 3 SiO 1/2 ) e (R 2 2 SiO 2/2 ) f (R 2 SiO 3/2 ) g (SiO 4/2 ) h (2)
(Wherein R 2 independently represents a hydrogen atom, or a hydroxyl group, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 10 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon having 6 to 10 carbon atoms And e, f, g and h are numbers satisfying e ≧ 0, f ≧ 0, g ≧ 0, h ≧ 0 and e + f + g + h = 1)
The blending ratio of the component (a) to the component (b) is such that the amount of hydrogen atoms bonded to silicon atoms in the component (b) is 0 per mole of alkenyl groups bonded to silicon atoms in the component (a). And an amount of 1 to 5.0 moles, and (c) a silicone resin containing an addition reaction catalyst.

また、縮合型シリコーン樹脂としては、下記(d)成分、
(d)下記平均組成式(4)で示され、1分子中に少なくとも2個以上の縮合反応性基を有するオルガノポリシロキサン
(R SiO1/2(R SiO2/2(RSiO3/2(SiO4/2 (4)
(式中、Rは独立して水酸基、炭素数1〜6のアルコキシ基、炭素数1〜10の脂肪族炭化水素基、炭素数5〜10の脂環式炭化水素基、炭素数6〜10の芳香族炭化水素基から選ばれる基であり、1分子中Rの少なくとも2個以上は水酸基、または炭素数1〜6のアルコキシ基から選ばれる基であり、i、j、k、lは、i≧0、j≧0、k≧0、l≧0、i+j+k+l=1を満足する数である。)
を含むシリコーン樹脂が挙げられる。
Further, as the condensation type silicone resin, the following component (d),
(D) An organopolysiloxane represented by the following average composition formula (4) and having at least two condensation-reactive groups in one molecule (R 3 3 SiO 1/2 ) i (R 3 2 SiO 2/2) ) J (R 3 SiO 3/2 ) k (SiO 4/2 ) l (4)
(Wherein R 3 independently represents a hydroxyl group, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 10 carbon atoms, or 6 to 6 carbon atoms It is a group selected from 10 aromatic hydrocarbon groups, and at least two or more of R 3 in one molecule are a hydroxyl group or a group selected from an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, i, j, k, l Is a number satisfying i ≧ 0, j ≧ 0, k ≧ 0, l ≧ 0, i + j + k + l = 1.)
And silicone resins containing

(d)は単独でも加熱することにより縮合し硬化するが、硬化を促進するために、別途縮合触媒を添加してもよい。   (D) alone is condensed and cured by heating, but a condensation catalyst may be added separately in order to accelerate the curing.

本発明の石英ガラス繊維含有プリプレグに含むことができるシリコーン樹脂は、ケイ素原子に結合した全有機基に対して10モル%〜99モル%、好ましくは15モル%〜80モル%、より好ましくは17モル%〜75モル%のケイ素原子に結合したアリール基を含有することが好ましい。   The silicone resin that can be included in the prepreg containing quartz glass fibers of the present invention is 10 mol% to 99 mol%, preferably 15 mol% to 80 mol%, more preferably 17 mol%, based on all organic groups bonded to silicon atoms. It is preferred to contain an aryl group bonded to a mole percent to 75 mole percent silicon atom.

((B−2)硬化性ポリイミド樹脂、マレイミド樹脂)
硬化性ポリイミド樹脂はその反応末端基の化学的性質によって分類させる。これらの中でも、加工性やハンドリング性等の観点からマレイミド樹脂の使用が好ましい。以下はマレイミド樹脂ついて説明する。
((B-2) curable polyimide resin, maleimide resin)
Curable polyimide resins are classified according to the chemical nature of their reactive end groups. Among these, the use of a maleimide resin is preferable from the viewpoint of processability and handling. The following describes the maleimide resin.

マレイミド樹脂は、1分子内にマレイミド基を2つ以上含む化合物で、加熱によりマレイミド基が反応して硬化する樹脂であれば良い。マレイミド樹脂としては、N,N’−(4,4’−ジフェニルメタン)ビスマレイミド、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタンなどが挙げられるが、中でも主鎖に脂肪族炭化水素基を有するマレイミド樹脂は、耐熱性に優れるだけでなく、誘電特性にも優れるので好ましい。   The maleimide resin is a compound containing two or more maleimide groups in one molecule and may be a resin that is cured by reaction of the maleimide group by heating. Examples of the maleimide resin include N, N ′-(4,4′-diphenylmethane) bismaleimide, bis (3-ethyl-5-methyl-4-maleimidophenyl) methane and the like. A maleimide resin having a hydrogen group is preferable because it has not only excellent heat resistance but also excellent dielectric properties.

また、硬化をより促進させるために反応開始剤を含有してもよい。反応開始剤としては限定されないが、過酸化物等が挙げられる。さらにはマレイミド基を反応しうる官能基を有する化合物を硬化剤として含有しても構わない。硬化剤としては、例えば、脂環式マレイミド類、芳香族マレイミド類、不飽和炭化水素、芳香族アミン類、脂肪族アミン類、脂環式アミン類、酸無水物類、イソシアネート類等が挙げられる。   Moreover, in order to accelerate hardening more, you may contain a reaction initiator. Although it does not limit as a reaction initiator, A peroxide etc. are mentioned. Further, a compound having a functional group capable of reacting with a maleimide group may be contained as a curing agent. Examples of the curing agent include alicyclic maleimides, aromatic maleimides, unsaturated hydrocarbons, aromatic amines, aliphatic amines, alicyclic amines, acid anhydrides, isocyanates, and the like. .

((B−3)エポキシ樹脂)
エポキシ樹脂は、1分子中にエポキシ基を2つ以上含有していればよい。例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂等のナフタレン骨格含有型エポキシ樹脂、2官能ビフェニル型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ジヒドロアントラセン型エポキシ樹脂などが挙げられる。中でも、誘電特性及び熱膨張特性の観点からは、ナフタレン骨格含有型エポキシ樹脂又はビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂を用いることが好ましい。これらの中の1種類を単独で用いても、2種類以上を併用しても構わない。
((B-3) Epoxy resin)
The epoxy resin should just contain 2 or more of epoxy groups in 1 molecule. For example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, aliphatic chain epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy Naphthalene frame structure type epoxy resin such as resin, phenol aralkyl type epoxy resin, naphthol novolac type epoxy resin, naphthol aralkyl type epoxy resin, bifunctional biphenyl type epoxy resin, biphenyl aralkyl type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, dihydroanthracene Type epoxy resin. Among these, from the viewpoint of dielectric properties and thermal expansion properties, it is preferable to use a naphthalene skeleton-containing epoxy resin or a biphenyl aralkyl epoxy resin. One of these may be used alone, or two or more may be used in combination.

また、エポキシ樹脂と反応する硬化剤を使用してもよく、その種類は特に制限されない。例えば、フェノール系硬化剤、酸無水物系硬化剤、アミン系硬化剤、さらにはベンゾオキサジン化合物が挙げられる。これらの硬化剤は単独で用いてもよく、2種類以上を併用しても構わない。エポキシ樹脂と硬化剤の配合比率としては、硬化剤のエポキシ基と反応しうる活性基が1.0当量に対し、エポキシ樹脂中のエポキシ基が好ましくは0.5〜2.0当量となる割合で配合し、より好ましくは0.6〜1.8で、更に好ましくは0.8〜1.5である。この割合であると、硬化後のガラス転移温度などの特性に優れ、信頼性の高い基板やフィルムになる。   In addition, a curing agent that reacts with the epoxy resin may be used, and the type is not particularly limited. For example, a phenol type hardening | curing agent, an acid anhydride type hardening | curing agent, an amine type hardening | curing agent, and also a benzoxazine compound are mentioned. These curing agents may be used alone or in combination of two or more. As a compounding ratio of the epoxy resin and the curing agent, a ratio in which the active group capable of reacting with the epoxy group of the curing agent is 1.0 equivalent, and the epoxy group in the epoxy resin is preferably 0.5 to 2.0 equivalent. More preferably, it is 0.6-1.8, More preferably, it is 0.8-1.5. If it is this ratio, it will be excellent in characteristics, such as glass transition temperature after hardening, and will be a highly reliable substrate and film.

さらに、エポキシ樹脂と硬化剤の反応性を高めるために硬化促進剤を添加しても構わない。硬化促進剤としては、特に制限されるモノではなく、例えばアミン類やイミダゾールのような窒素系硬化促進剤や4級ホスホニウム塩のようなリン系硬化促進剤、さらには有機金属塩類及びこれらの誘導体が挙げられる。   Furthermore, in order to enhance the reactivity of the epoxy resin and the curing agent, a curing accelerator may be added. The curing accelerator is not particularly limited. For example, nitrogen-based curing accelerators such as amines and imidazoles, phosphorus-based curing accelerators such as quaternary phosphonium salts, organometallic salts and derivatives thereof. Is mentioned.

((B−4)シアネート樹脂)
シアネート樹脂はシアネート基を1分子中に2個以上有すものであれば、特に限定されないが、例えば、ハロゲン化シアン化合物とフェノール類やナフトール類とを反応させ、必要に応じて加熱等の方法でプレポリマー化することによって得ることができる。
((B-4) cyanate resin)
The cyanate resin is not particularly limited as long as it has two or more cyanate groups in one molecule. For example, a method of reacting a halogenated cyanide compound with phenols or naphthols and heating as necessary Can be obtained by prepolymerization.

シアネート樹脂としては、例えば、ノボラック型シアネート樹脂、ビスフェノール型シアネート樹脂、ナフトールアラルキル型シアネート樹脂、ジシクロペンタジエン型シアネート樹脂、ビフェニルアルキル型シアネート樹脂などが挙げられる。このうち、シアネート基当量が小さいものは硬化収縮が小さく、低熱膨張係数、高ガラス転移温度の硬化物を得ることができる。これらの中の1種類を単独で用いても、2種類以上を併用しても構わない。   Examples of the cyanate resin include novolac type cyanate resin, bisphenol type cyanate resin, naphthol aralkyl type cyanate resin, dicyclopentadiene type cyanate resin, biphenyl alkyl type cyanate resin and the like. Among these, those having a small cyanate group equivalent have small curing shrinkage, and a cured product having a low thermal expansion coefficient and a high glass transition temperature can be obtained. One of these may be used alone, or two or more may be used in combination.

さらに硬化剤や硬化触媒を含んでも構わない。硬化剤や硬化触媒の種類は特に限定は無く、硬化剤としてはフェノール系硬化剤やジヒドロキシナフタレン化合物などが挙げられ、硬化促進剤としては1級アミンや金属錯体などが挙げられる。   Further, a curing agent or a curing catalyst may be included. There are no particular limitations on the type of curing agent or curing catalyst, examples of the curing agent include phenolic curing agents and dihydroxynaphthalene compounds, and examples of the curing accelerator include primary amines and metal complexes.

((B−5)(メタ)アクリル樹脂)
(メタ)アクリル樹脂としては、例えば(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリル酸エステル及び(メタ)アクリルアミド等の重合体並びに共重合体などが挙げられ、(メタ)アクリル骨格を有する樹脂を示す。アクリロイイル基やメタクリロイル基等の反応性基で硬化する樹脂には限定しない。
((B-5) (meth) acrylic resin)
Examples of the (meth) acrylic resin include polymers and copolymers such as (meth) acrylic acid, (meth) acrylonitrile, (meth) acrylic acid ester and (meth) acrylamide, and a (meth) acrylic skeleton. The resin which has is shown. The resin is not limited to a resin that cures with a reactive group such as an acryloyl group or a methacryloyl group.

また、硬化性の調整のために、過酸化物のようなラジカル重合開始剤や光重合開始剤、(メタ)アクリル樹脂が有する反応性基の反応を促進する硬化促進剤を加えても構わない。   In order to adjust the curability, a radical polymerization initiator such as peroxide, a photopolymerization initiator, or a curing accelerator that accelerates the reaction of the reactive group of the (meth) acrylic resin may be added. .

これらの樹脂は各樹脂群の中の1種類を単独で用いても、2種類以上を併用しても構わない。さらに各樹脂群から選ばれた樹脂を2種類以上併用しても構わない。特に(B−2)のマレイミド樹脂(化合物)と(B−4)のシアネート樹脂(化合物)の混合組成物はBTレジンとして知られており、加工性や耐熱性、電気特性などに優れる。   One of these resins may be used alone, or two or more of these resins may be used in combination. Furthermore, two or more types of resins selected from each resin group may be used in combination. In particular, a mixed composition of a maleimide resin (compound) of (B-2) and a cyanate resin (compound) of (B-4) is known as a BT resin, and is excellent in processability, heat resistance, electrical properties and the like.

(無機充填材)
前記(B)成分の樹脂組成物には、さらに無機充填材を含有することが好ましい。任意に適切な無機充填材を含有させることで、樹脂組成物の低熱膨張特性、高弾性率性、耐熱性、難燃性等を向上させることができる。無機充填材としては、通常エポキシ樹脂組成物などの熱硬化性樹脂組成物に配合されるものを使用することができ、特に制限されないが、例えば、シリカ、クリストバライト化シリカ、アルミナ、酸化チタン、マイカ、ベリリア、チタン酸バリウム、チタン酸カリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、炭酸アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、ケイ酸アルミニウム、炭酸カルシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、焼成クレー、タルク、ホウ酸アルミニウム、炭化ケイ素等が挙げられる。中でも低熱膨張率を得るためにはシリカの配合が好ましく、特に高充填にするために球状シリカの配合がより好ましい。
(Inorganic filler)
It is preferable that the resin composition of the component (B) further contains an inorganic filler. By arbitrarily containing an appropriate inorganic filler, the low thermal expansion property, high elastic modulus, heat resistance, flame retardancy, and the like of the resin composition can be improved. As the inorganic filler, those usually blended in a thermosetting resin composition such as an epoxy resin composition can be used, and are not particularly limited. For example, silica, cristobalite silica, alumina, titanium oxide, mica , Beryllia, barium titanate, potassium titanate, strontium titanate, calcium titanate, aluminum carbonate, magnesium hydroxide, aluminum hydroxide, aluminum silicate, calcium carbonate, calcium carbonate, calcium silicate, magnesium silicate, silicon nitride, boron nitride , Fired clay, talc, aluminum borate, silicon carbide and the like. Above all, it is preferable to blend silica in order to obtain a low thermal expansion coefficient, and in particular, it is more preferred to blend spherical silica in order to achieve high loading.

これらは1種類を単独で用いても、2種類以上を併用してもよい。無機充填材の形状及び粒径についても特に制限はない。無機充填材の形状は、例えば、球状でも破砕状でもよいが、前述のとおり、高充填するには球状であることが好ましい。無機充填剤の粒径は、例えば、0.01〜50μm、0.01〜20μm、0.1〜15μm又は0.1〜10μmであってもよい。ここで、粒径とは、平均粒子径を指し、レーザー光回折法による粒度分布測定における質量平均値D50(またはメジアン径)として求めた値である。 These may be used alone or in combination of two or more. There is no restriction | limiting in particular also about the shape and particle size of an inorganic filler. The shape of the inorganic filler may be, for example, spherical or crushed, but as described above, it is preferably spherical for high filling. The particle size of the inorganic filler may be, for example, 0.01 to 50 μm, 0.01 to 20 μm, 0.1 to 15 μm, or 0.1 to 10 μm. Here, the particle diameter refers to an average particle diameter, and is a value obtained as a mass average value D 50 (or median diameter) in particle size distribution measurement by a laser light diffraction method.

硬化性樹脂組成物に対する無機充填材の配合割合は、特に限定されないが、硬化性樹脂組成物の接着性、靭性、耐熱性、耐薬品性等の観点から、樹脂組成物成分の合計量100質量部に対して、1〜1,000質量部の範囲であることが好ましく、硬化性樹脂組成物の熱膨張を抑制しつつ、硬化後の靱性を維持する観点から、100〜800質量部がより好ましい。   The blending ratio of the inorganic filler to the curable resin composition is not particularly limited, but from the viewpoint of the adhesiveness, toughness, heat resistance, chemical resistance, etc. of the curable resin composition, the total amount of the resin composition component is 100 mass The amount is preferably in the range of 1 to 1,000 parts by mass with respect to part, and from the viewpoint of maintaining the toughness after curing while suppressing the thermal expansion of the curable resin composition, 100 to 800 parts by mass is more preferable.

[その他添加剤]
必要に応じて、前述の硬化剤・硬化促進剤だけでなく、接着助剤、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤、熱可塑性樹脂、顔料、樹脂粒子など各種の添加剤を、石英ガラス繊維含有プリプレグ及び(B)成分のいずれか又は両方に配合することができる。なお、添加剤としては、公知のものを使用することができる。
[Other additives]
If necessary, in addition to the above-mentioned curing agent and curing accelerator, various additives such as adhesion assistant, silane coupling agent, titanate coupling agent, thermoplastic resin, pigment, resin particles, etc., containing quartz glass fiber It can mix | blend with any one or both of a prepreg and (B) component. In addition, as an additive, a well-known thing can be used.

(接着助剤)
前記硬化性樹脂組成物に接着性を付与するため、接着助剤(接着性付与剤)を添加することができる。接着助剤としては、例えば、1分子中にケイ素原子に結合した水素原子(Si−H基)、ケイ素原子に結合したアルケニル基(例えばSi−CH=CH基)、アルコキシシリル基(例えばトリメトキシシリル基)、エポキシ基(例えばグリシドキシプロピル基、3,4−エポキシシクロヘキシルエチル基)、イソシアネート基(例えばオルガノオキシシリル変性イソシアヌレート化合物及びその加水分解縮合物)等を官能基として含むシラン、シロキサンが挙げられる。なお、接着助剤は、1種単独でも2種以上を組み合わせても使用することができる。
(Adhesion aid)
An adhesion assistant (adhesion imparting agent) can be added to impart adhesiveness to the curable resin composition. Examples of the adhesion assistant include a hydrogen atom (Si—H group) bonded to a silicon atom in one molecule, an alkenyl group (for example, Si—CH═CH 2 group) bonded to a silicon atom, and an alkoxysilyl group (for example, a trimethyl group). Silanes containing, as functional groups, methoxysilyl groups), epoxy groups (eg glycidoxypropyl groups, 3,4-epoxycyclohexylethyl groups), isocyanate groups (eg organooxysilyl-modified isocyanurate compounds and hydrolysis condensates thereof), etc. And siloxane. The adhesion assistant can be used singly or in combination of two or more.

(カップリング剤)
(A)成分の石英ガラス繊維と(B)成分の硬化性樹脂組成物との結合強度を強くしたり、硬化性樹脂組成物の石英ガラス繊維への濡れ性を向上させたりするために、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤などのカップリング剤を添加することができる。また、予め石英ガラス繊維の表面をカップリング剤処理した石英ガラス繊維でもよい。
(Coupling agent)
Silane to increase the bond strength between the component (A) quartz glass fiber and the component (B) curable resin composition, or to improve the wettability of the curable resin composition to quartz glass fiber. Coupling agents such as coupling agents and titanate coupling agents can be added. In addition, the surface of the quartz glass fiber may be treated with a coupling agent in advance.

カップリング剤としては、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等のエポキシ官能性アルコキシシラン;N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノ官能性アルコキシシラン;γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプト官能性アルコキシシランなどのシランカップリング剤、イソプロピルトリイソステアロイルチタネート、テトラオクチルビス(ジトリデシルホスファイト)チタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)オキシアセテートチタネートなどのチタネートカップリング剤が使用される。なお、表面処理に用いるカップリング剤の配合量及び表面処理方法については、特に限定されない。   Examples of coupling agents include epoxy functional alkoxysilanes such as γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, and the like. Amino-functional alkoxysilanes such as N-β- (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane; γ-mercaptopropyltri Silane coupling agents such as mercapto functional alkoxysilanes such as methoxysilane, isopropyl triisostearoyl titanate, tetraoctyl bis (ditridecyl phosphite) titanate, bis (dioctyl pyrophosphate) oxyacetate titaniume A titanate coupling agent such as a salt is used. The amount of coupling agent used for the surface treatment and the surface treatment method are not particularly limited.

(熱可塑性樹脂)
さらに特性の改善のために誘電特性改良、応力緩和材として熱可塑性樹脂を添加してもよい。熱可塑性樹脂として、フッ素樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、スチレン−エチレン−ブチレン共重合体、シクロオレフィンポリマー、アクリルブロック共重合体などが挙げられる。
(Thermoplastic resin)
Furthermore, a thermoplastic resin may be added as a dielectric property improvement / stress relaxation material to improve the properties. Examples of the thermoplastic resin include a fluororesin, a polyphenylene ether resin, a styrene-ethylene-butylene copolymer, a cycloolefin polymer, and an acrylic block copolymer.

(顔料、染料)
着色の目的で顔料や染料を添加しても良い。顔料として、カーボンブラック、チタンブラック、カオリン、合成酸化鉄赤、ニッケルチタン黄、含水酸化クロム、酸化クロム、アルミ酸コバルト、合成ウルトラマリン青などの無機顔料などが挙げられる。染料として、イソインドリノン、イソインドリン、キノフタリン、キサンテン、ジケトピロロピロール、ペリレン、ペリノン、アントラキノン、インジゴイド、オキサジン、キナクリドン、ベンツイミダゾロン、ビオランスロン、フタロシアニン、アゾメチンなどが挙げられる。
(Pigment, dye)
Pigments and dyes may be added for the purpose of coloring. Examples of the pigment include carbon black, titanium black, kaolin, synthetic iron oxide red, nickel titanium yellow, hydrous chromium oxide, chromium oxide, cobalt aluminate, and inorganic pigments such as synthetic ultramarine blue. Examples of the dye include isoindolinone, isoindoline, quinophthalene, xanthene, diketopyrrolopyrrole, perylene, perinone, anthraquinone, indigoid, oxazine, quinacridone, benzimidazolone, violanthrone, phthalocyanine, and azomethine.

<石英ガラス繊維含有フィルム及び石英ガラス繊維含有基板>
また、本発明は、本発明の(A)石英ガラス繊維と(B)硬化性樹脂組成物を含む石英ガラス繊維含有プリプレグの硬化物である石英ガラス繊維含有フィルム、及び本発明の石英ガラス繊維含有プリプレグ2枚以上の積層硬化物からなる石英ガラス繊維含有基板を提供する。本発明の石英ガラス繊維含有フィルム及び石英ガラス繊維含有基板は誘電特性に優れ、1.0GHzの誘電正接と10GHzでの誘電正接の差が0〜0.01を満たすものであることが好ましい。
<Quartz glass fiber-containing film and quartz glass fiber-containing substrate>
Further, the present invention is a quartz glass fiber-containing film which is a cured product of a quartz glass fiber-containing prepreg comprising (A) quartz glass fiber and (B) a curable resin composition of the present invention, and quartz glass fiber containing the present invention Provided is a quartz glass fiber-containing substrate comprising a laminated cured product of two or more prepregs. It is preferable that the quartz glass fiber-containing film and the quartz glass fiber-containing substrate of the present invention have excellent dielectric properties, and the difference between the dielectric loss tangent at 1.0 GHz and the dielectric loss tangent at 10 GHz is 0 to 0.01.

<石英ガラス繊維含有プリプレグ、フィルム及び基板の製造方法>
本発明の石英ガラス繊維含有プリプレグの製造方法としては、特に限定されない。一般的なガラス繊維含有プリプレグなどの製造方法を適用することができる。例えば、一般的なガラス繊維への硬化樹脂組成物の塗布方法(コーティング方式)に準じて製造する。
<Method for producing quartz glass fiber-containing prepreg, film and substrate>
It does not specifically limit as a manufacturing method of the quartz glass fiber containing prepreg of this invention. A production method such as a general glass fiber-containing prepreg can be applied. For example, it manufactures according to the coating method (coating system) of the cured resin composition to a general glass fiber.

代表的なコーティング方式としては、ダイレクトグラビアコーター、チャンバードクターコーター、オフセットグラビアコーター、一本ロールキスコーター、リバースキスコーター、バーコーター、リバースロールコーター、スロッタダイ、エアードクターコーター、正回転ロールコーター、ブレードコーター、ナイフコーター、含浸コーター、MBコーター、MBリバースコーターなどの塗工装置を用いる方法がある。   Typical coating methods include direct gravure coater, chamber doctor coater, offset gravure coater, single roll kiss coater, reverse kiss coater, bar coater, reverse roll coater, slotter die, air doctor coater, positive rotation roll coater, blade coater There are methods using a coating apparatus such as a knife coater, an impregnation coater, an MB coater, and an MB reverse coater.

塗布性を向上、確保するために硬化性樹脂組成物を溶媒で希釈してもよい。硬化性樹脂組成物の溶解特性から有機溶剤を単独あるいは2種以上混合して用いることができる。有機溶剤の例としては、メタノール、エタノール、イソプロパノール、n−ブタノールなどのアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン類、エチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコールエーテル類、ヘキサン、ヘプタンなどの脂肪族炭化水素類、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジn−ブチルエーテルなどのエーテル類などが挙げられる。   In order to improve and secure the coatability, the curable resin composition may be diluted with a solvent. An organic solvent can be used singly or in combination of two or more in view of the dissolution characteristics of the curable resin composition. Examples of organic solvents include alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol and n-butanol, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone, glycol ethers such as ethylene glycol and propylene glycol, and fats such as hexane and heptane. And aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, ethers such as diethyl ether, diisopropyl ether and di n-butyl ether.

使用する硬化性樹脂組成物により条件は異なるが、例えば、上記の方法によって石英ガラス繊維に塗布した後、25〜150℃、好ましくは50〜120℃で乾燥し、Bステージ化することによって、本発明の石英ガラス繊維含有プリプレグを得ることができる。得られたプリプレグを25〜300℃で1分間〜24時間加熱硬化することで石英ガラス繊維含有フィルムや石英ガラス繊維含有基板を得ることができる。なお、本発明では、前記プリプレグ1枚を加熱硬化することによって得られるものをフィルム、前記プリプレグ2枚以上を積層して加熱硬化することで得られるものを基板と呼ぶこととする。   Although the conditions differ depending on the curable resin composition to be used, for example, after being applied to quartz glass fiber by the above method, it is dried at 25 to 150 ° C., preferably 50 to 120 ° C., and B-staged. The quartz glass fiber-containing prepreg of the invention can be obtained. By heating and curing the obtained prepreg at 25 to 300 ° C. for 1 minute to 24 hours, a quartz glass fiber-containing film or a quartz glass fiber-containing substrate can be obtained. In the present invention, what is obtained by heat-curing one prepreg is referred to as a film, and what is obtained by laminating two or more prepregs and heat-cured is referred to as a substrate.

なお、前記基板を作成する際は、加熱すると同時に加圧成形してもよい。油圧プレス、真空プレスなどを用いて、5〜50MPaの圧力を掛けて成形することが好ましい。   In addition, when producing the said board | substrate, you may pressure-mold simultaneously with heating. It is preferable to form by applying a pressure of 5 to 50 MPa using a hydraulic press, a vacuum press or the like.

本発明の石英ガラス繊維含有フィルム及び基板は誘電特性に優れるものであることが好ましい。具体的には、1.0GHzにおける誘電正接と10GHzにおける誘電正接の差の絶対値が0以上0.01以下であることが好ましい。この範囲内であれば、その低誘電特性を利用した各種電子部品への応用に好適な材料となる。   It is preferable that the quartz glass fiber containing film and board | substrate of this invention are excellent in a dielectric characteristic. Specifically, the absolute value of the difference between the dielectric loss tangent at 1.0 GHz and the dielectric loss tangent at 10 GHz is preferably 0 or more and 0.01 or less. If it is in this range, it will become a material suitable for application to various electronic parts utilizing its low dielectric property.

このように製造された石英ガラス繊維含有フィルム及び基板は、使用する石英ガラス繊維の気泡含有量が極めて少ないため、基板成型工程で使用するメッキ液、洗浄液、エッチング液などが前記フィルムや基板を構成する石英ガラスクロス内に存在する気泡に侵入し、メッキ層が欠損する恐れがない。したがって、導通不良の発生や誘電特性の低下等の欠陥のない石英ガラス繊維含有フィルム及び基板となる。また、高強度で高引張剛性特性、表面均一性、薄膜成形性に優れる。   Since the quartz glass fiber-containing film and substrate produced in this way have a very low bubble content in the quartz glass fiber used, the plating solution, cleaning solution, etching solution, etc. used in the substrate molding process constitute the film or substrate. There is no risk that the plated layer will be lost due to intrusion of bubbles present in the quartz glass cloth. Therefore, it becomes a quartz glass fiber containing film and a substrate without defects such as occurrence of conduction failure and deterioration of dielectric characteristics. In addition, it is high in strength and high in tensile rigidity, excellent in surface uniformity and thin film formability.

石英ガラス繊維を主体としたフィルム及び基板は、不純物元素が極めて少ないため半導体用途、特にコンピュータ、モバイル、通信インフラ等の高速・高周波化に伴ってプリント配線基板などに要求される伝送損失、誘電特性に優れた石英ガラス繊維含有フィルム及び基板となる。   Films and substrates mainly made of quartz glass fiber have very few impurity elements, so they are required for printed wiring boards etc. along with semiconductor applications, especially high speed and high frequency such as computer, mobile and communication infrastructure etc. Excellent in quartz glass fiber-containing film and substrate.

以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are shown and this invention is demonstrated concretely, this invention is not restrict | limited to the following Example.

ガラスクロス
下記表1に示すガラスを用いて厚さ0.1mmのガラスクロスを調製した。種類や気泡の数を同時に記載する。なお、比較例1〜6のガラスの気泡数は数が多すぎて200個までしか計測できなかった。
Glass Cloth A glass cloth having a thickness of 0.1 mm was prepared using the glass shown in Table 1 below. Describe the type and number of bubbles at the same time. In addition, the number of bubbles of the glass of Comparative Examples 1 to 6 was too large and could only be measured up to 200.

Figure 2019127491
Figure 2019127491

フィルムの調製
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(商品名:EPICLON N−695、(株)DIC製)、10質量部、フェノールノボラック樹脂(商品名PEHNOLITE TD−2090、(株)DIC製)5質量部、イミダゾール系硬化促進剤(商品名:2E4MZ、(株)四国化成製)0.1質量部、球状シリカ(商品名:SC−2050−SE、(株)アドマテックス製)85質量部及びMEK溶剤50質量部からなるフィラー含有エポキシ樹脂組成物のスラリーを調製した。
Preparation of film Cresol novolac type epoxy resin (trade name: EPICLON N-695, manufactured by DIC Corporation), 10 parts by mass, phenol novolac resin (trade name PEHNOLITE TD-2090, manufactured by DIC Corporation) 5 parts by mass, imidazole 0.1 part by mass of a curing accelerator (trade name: 2E4MZ, manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.), 85 parts by mass of spherical silica (trade name: SC-2050-SE, manufactured by Admatex Co., Ltd.) and 50 parts of MEK solvent A slurry of a filler-containing epoxy resin composition consisting of parts was prepared.

表1で示した各ガラスクロスを上記フィラー含有エポキシ樹脂組成物スラリーに含浸させた後、100℃で10分間乾燥させてプリプレグを作成し、さらに該プリプレグを180℃で4時間本硬化させることでガラスクロス含有フィルムを作成した。なお、樹脂の付着量はすべて55質量%であった。   After impregnating each glass cloth shown in Table 1 with the above-mentioned filler-containing epoxy resin composition slurry, drying it at 100 ° C. for 10 minutes to prepare a prepreg, and further curing the prepreg at 180 ° C. for 4 hours. A glass cloth-containing film was prepared. In addition, all the adhesion amounts of resin were 55 mass%.

誘電正接の測定
ネットワークアナライザ(キーサイト社製 E5063−2D5)とストリップライン(キーコム株式会社製)を接続し、前記フィルムの周波数1.0GHzにおける誘電正接tanδ1と、10GHzにおける誘電正接tanδ2を測定し、数式|tanδ1−tanδ2|の値を計算した。結果を表2に示す。
Measure a dielectric loss tangent measurement network analyzer (manufactured by Keysight E5063-2D5) and a stripline (manufactured by Keycom Co., Ltd.) and measure the dielectric loss tangent tan δ1 of the film at a frequency of 1.0 GHz and the dielectric loss tangent tan δ2 at 10 GHz. The value of the formula | tan δ1−tan δ2 | was calculated. The results are shown in Table 2.

誘電率の測定
ネットワークアナライザ(キーサイト社製 E5063−2D5)とストリップライン(キーコム株式会社製)を接続し、前記フィルムの周波数1.0GHzにおける誘電率を測定した。結果を表2に示す。
Measurement of Permittivity A network analyzer (manufactured by Keysight Co., Ltd. E5063-2D5) and a strip line (manufactured by Keycom Co., Ltd.) were connected, and the dielectric constant of the film at a frequency of 1.0 GHz was measured. The results are shown in Table 2.

基板の調製
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(商品名:EPICLON N−695、(株)DIC製)、10質量部、フェノールノボラック樹脂(商品名PEHNOLITE TD−2090、(株)DIC製)5質量部、イミダゾール系硬化促進剤(商品名:2E4MZ、(株)四国化成製)0.1質量部、球状シリカ(商品名:SC−2050−SE、(株)アドマテックス製)85質量部及びMEK溶剤50質量部からなるフィラー含有エポキシ樹脂組成物のスラリーを調製した。
Preparation of substrate : Cresol novolac type epoxy resin (trade name: EPICLON N-695, manufactured by DIC Corporation), 10 parts by mass, Phenolic novolac resin (trade name: PEHNOLITE TD-2090, manufactured by DIC Corporation) 5 parts by mass, imidazole 0.1 part by mass of a curing accelerator (trade name: 2E4MZ, manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.), 85 parts by mass of spherical silica (trade name: SC-2050-SE, manufactured by Admatex Co., Ltd.) and 50 parts of MEK solvent A slurry of a filler-containing epoxy resin composition consisting of parts was prepared.

表1で示した各ガラスクロスを上記フィラー含有エポキシ樹脂組成物スラリーに含浸させた後、100℃で10分間乾燥させ、プリプレグを作成した。これらのプリプレグを5枚重ね、180℃、4時間、4.0MPaの条件で積層基板を作成した。   Each glass cloth shown in Table 1 was impregnated with the filler-containing epoxy resin composition slurry, and then dried at 100 ° C. for 10 minutes to prepare a prepreg. Five of these prepregs were stacked, and a laminated substrate was prepared under conditions of 180 ° C., 4 hours, and 4.0 MPa.

耐熱性試験
先ほど作成した積層基板を100mm×100mmのサイズにカットした。続いて、ドリル径5mmのドリルを用いて10か所の穴を作成した。その後、無電解銅メッキを行い、260℃のリフロー工程を5回通した後、穴の中のメッキの剥がれや膨れを確認した。膨れ、剥がれが全く発生しなかったものを○、一つでも発生したものは×とした。結果を表2に示す。
The laminated substrate prepared just before the heat resistance test was cut into a size of 100 mm × 100 mm. Subsequently, 10 holes were created using a drill with a drill diameter of 5 mm. Thereafter, electroless copper plating was performed, and a reflow process at 260 ° C. was performed five times, after which peeling and swelling of the plating in the holes were confirmed. The case where no blistering or peeling occurred was marked with ○, and the case where even one occurred was marked with ×. The results are shown in Table 2.

Figure 2019127491
Figure 2019127491

表2のとおり、気泡数の少ない石英ガラスクロスを用いることで誘電特性が良好でかつ、メッキの膨れや剥がれが発生しないことを示すことがわかった。よって、本発明は有用であることが示された。   As shown in Table 2, it was found that by using a quartz glass cloth having a small number of bubbles, the dielectric characteristics were good and the plating was not swollen or peeled off. Thus, the present invention has been shown to be useful.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。   The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has the substantially same constitution as the technical idea described in the claims of the present invention, and the same effects can be exhibited by any invention. It is included in the technical scope of

Claims (8)

石英ガラス繊維含有プリプレグであって、
(A)石英ガラス繊維
(B)硬化性樹脂組成物
を含み、前記(A)石英ガラス繊維が、含有する気泡の数が単位面積当たり10個/m以下のものであることを特徴とする石英ガラス繊維含有プリプレグ。
A quartz glass fiber-containing prepreg,
(A) A quartz glass fiber (B) comprising a curable resin composition, wherein the number of bubbles contained in the (A) quartz glass fiber is 10 / m 2 or less per unit area. Quartz glass fiber containing prepreg.
前記(A)石英ガラス繊維の繊維径が3μm以上9μm以下であり、かつ、仮想温度が1,300℃〜1,500℃であることを特徴とする請求項1に記載の石英ガラス繊維含有プリプレグ。   The silica glass fiber-containing prepreg according to claim 1, wherein the fiber diameter of the (A) quartz glass fiber is 3 μm to 9 μm, and the fictive temperature is 1,300 ° C. to 1,500 ° C. . 前記(B)硬化性樹脂組成物が、シリコーン樹脂、硬化性ポリイミド樹脂、マレイミド樹脂、エポキシ樹脂、シアネート樹脂、(メタ)アクリル樹脂から選択される硬化性樹脂の少なくとも1つを含む熱硬化性樹脂組成物及び/又は光硬化性樹脂組成物であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の石英ガラス繊維含有プリプレグ。   The (B) curable resin composition includes at least one of a curable resin selected from a silicone resin, a curable polyimide resin, a maleimide resin, an epoxy resin, a cyanate resin, and a (meth) acrylic resin. The quartz glass fiber-containing prepreg according to claim 1 or 2, wherein the prepreg is a composition and / or a photocurable resin composition. 前記(B)硬化性樹脂組成物が、さらに無機充填材を含有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の石英ガラス繊維含有プリプレグ。   The quartz glass fiber-containing prepreg according to any one of claims 1 to 3, wherein the (B) curable resin composition further contains an inorganic filler. 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の石英ガラス繊維含有プリプレグ1枚の硬化物からなるものであることを特徴とする石英ガラス繊維含有フィルム。   5. A quartz glass fiber-containing film comprising a cured product of one quartz glass fiber-containing prepreg according to claim 1. 前記石英ガラス繊維含有フィルムにおいて、1.0GHzにおける誘電正接と10GHzにおける誘電正接との差の絶対値が0以上0.01以下であることを特徴とする請求項5に記載の石英ガラス繊維含有フィルム。   The quartz glass fiber-containing film according to claim 5, wherein the absolute value of the difference between the dielectric loss tangent at 1.0 GHz and the dielectric loss tangent at 10 GHz is 0 or more and 0.01 or less. . 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の石英ガラス繊維含有プリプレグ2枚以上の積層硬化物からなるものであることを特徴とする石英ガラス繊維含有基板。   A quartz glass fiber-containing substrate comprising a laminated cured product of two or more quartz glass fiber-containing prepregs according to any one of claims 1 to 4. 前記石英ガラス繊維含有基板において、1.0GHzにおける誘電正接と10GHzにおける誘電正接との差の絶対値が0以上0.01以下であることを特徴とする請求項7に記載の石英ガラス繊維含有基板。   The quartz glass fiber-containing substrate according to claim 7, wherein the quartz glass fiber-containing substrate has an absolute value of a difference between a dielectric loss tangent at 1.0 GHz and a dielectric loss tangent at 10 GHz of not less than 0 and not more than 0.01. .
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