JP2019113328A - 変位計測方法および装置 - Google Patents
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- ウィスパリングギャラリーモードの光共振器の所定箇所で前記光共振器に光結合する光導波路に光を供給した状態で、前記光導波路から出力された光の周波数を測定する第1工程と、
前記測定をしている状態で、前記光共振器からなる検出部を前記光共振器と光結合可能な範囲で変位計測対象に近づけて、前記変位計測対象と前記検出部との相対的な位置を変更する第2工程と
を備えることを特徴とする変位計測方法。 - 請求項1記載の変位計測方法において、
前記第2工程では、前記変位計測対象を移動することで、前記変位計測対象と前記検出部との相対的な位置を変更することを特徴とする変位計測方法。 - 請求項1または2記載の変位計測方法において、
前記第2工程では、前記変位計測対象の表面に平行な平面内で前記変位計測対象と前記検出部との相対的な位置を変更することを特徴とする変位計測方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の変位計測方法において、
前記光共振器は、ボトル型微小光共振器、球型光微小共振器、テーパーリング型光共振器のいずれかであることを特徴とする変位計測方法。 - ウィスパリングギャラリーモードの光共振器からなる検出部と、
前記光共振器の所定箇所で前記光共振器に光結合する光導波路と、
前記光導波路に光を供給する光源と、
前記光導波路から出力された光の周波数を測定する測定部と、
変位計測対象と前記検出部との相対的な位置を変更する位置変更部と
を備えることを特徴とする変位計測装置。 - 請求項5記載の変位計測装置において、
前記位置変更部は、前記変位計測対象を移動することで、前記変位計測対象と前記検出部との相対的な位置を変更することを特徴とする変位計測装置。 - 請求項5または6記載の変位計測装置において、
前記位置変更部は、前記変位計測対象の表面に平行な平面内で前記変位計測対象と前記検出部との相対的な位置を変更することを特徴とする変位計測装置。 - 請求項5〜7のいずれか1項に記載の変位計測装置において、
前記光共振器は、ボトル型微小光共振器、球型光微小共振器、テーパーリング型光共振器のいずれかであることを特徴とする変位計測装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112577426A (zh) * | 2020-11-30 | 2021-03-30 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种轴向探针式传感测试方法 |
CN113446947A (zh) * | 2021-06-25 | 2021-09-28 | 广东工业大学 | 一种基于双snap结构微腔阵列的角位移传感系统及方法 |
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2017
- 2017-12-21 JP JP2017244762A patent/JP6867280B2/ja active Active
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CN112577426A (zh) * | 2020-11-30 | 2021-03-30 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种轴向探针式传感测试方法 |
CN113446947A (zh) * | 2021-06-25 | 2021-09-28 | 广东工业大学 | 一种基于双snap结构微腔阵列的角位移传感系统及方法 |
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