JP2019110115A - Organic el display panel, organic el display device, and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

To provide an organic EL display panel where the thickness of a luminous layer or a functional layer, formed by application method, is controlled suitably, and to provide a manufacturing method thereof.SOLUTION: An organic EL display panel includes a board 11, multiple pixel electrodes 13 arranged in matrix, multiple barrier membranes 141, 142, 143 elongating in the column direction on the crevice of the pixel electrodes 13 in the row direction, a first luminous layer placed above the pixel electrodes 13 in the first crevice selected from the multiple crevices between the barrier membranes adjoining in the row direction, a second luminous layer placed above the pixel electrodes in the second crevice adjoining the first crevice in the row direction, and counter electrodes 20 placed above the first and second luminous layers. The first luminous layer is thicker than the second luminous layer, and out of the barrier membranes existing between the first and second crevices, the first barrier membrane portion on the first crevice side is higher than the second barrier membrane portion on the second crevice side, and the position where the sidewall of the first barrier membrane portion is in contact with the first luminous layer is higher than the position where the sidewall of the second barrier membrane portion is in contact with the second luminous layer.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本開示は、有機材料の電界発光現象を利用した有機EL(Electro Luminescence)素子を用いた有機EL表示パネル、及び、それを用いた有機EL表示装置に関する。   The present disclosure relates to an organic EL display panel using an organic EL (Electro Luminescence) element utilizing an electroluminescence phenomenon of an organic material, and an organic EL display device using the same.

近年、表示装置に有機EL素子を利用したものが普及しつつある。
有機EL素子は、陽極と陰極との間に、少なくとも発光層が挟まれた構造を有している。現在、発光層や機能層を効率よく形成する方法として、機能性材料を含むインクをインクジェット法等のウェットプロセスで塗布して形成することが行われている。ウェットプロセスでは、真空蒸着装置と比較して製造装置が小型化することができ、また、機能性材料を蒸着する際に使用するシャドウマスクを使用する必要がない。そのため、シャドウマスクの位置合わせ等の作業が必要なく、大型パネルの生成や量産性を考慮したパネルサイズを混合したような大型基板の製造も容易となり、効率の良いパネル生成に適した特徴がある。また蒸着法と異なり、インクジェット法では、高価な発光材料等の機能性材料の使用効率が向上することより、パネル製造コストの低減が可能となる。
In recent years, display devices using organic EL elements are becoming widespread.
The organic EL element has a structure in which at least a light emitting layer is sandwiched between an anode and a cathode. At present, as a method of efficiently forming a light emitting layer and a functional layer, an ink containing a functional material is applied and formed by a wet process such as an inkjet method. In the wet process, the manufacturing apparatus can be miniaturized as compared with a vacuum deposition apparatus, and it is not necessary to use a shadow mask used in depositing a functional material. Therefore, it is not necessary to align shadow masks, etc., and it becomes easy to manufacture large substrates such as mixed panel sizes considering generation of large panels and mass productivity, and it has features suitable for efficient panel generation. . Further, unlike the vapor deposition method, in the ink jet method, the panel manufacturing cost can be reduced by improving the use efficiency of functional materials such as expensive light emitting materials.

一方、発光層および機能層を形成するための発光材料や機能性材料を溶解したインクを塗り分け印刷するためにはバンクと呼ばれるサブピクセルごとに形成した隔壁が必要となる。機能性材料を含むインクが隔壁を乗り越えることによる混合、特に、発光材料を含むインクの場合、発色の異なるインクの混合による混色が発生すると、パネル不良の原因となるため、隔壁頂部表面には撥液性が付与されている。   On the other hand, in order to separately and print an ink in which a light emitting material and a functional material are dissolved for forming a light emitting layer and a functional layer, partition walls formed for each sub pixel called a bank are required. In the case of an ink containing a functional material mixed over the partition walls, in particular, in the case of an ink containing a light emitting material, color mixing caused by mixing of inks having different coloring causes a panel failure, so the top surface of the partition is repellent Liquidity is given.

特開2016−181498号公報JP, 2016-181498, A

一般には、隔壁頂部のみならず、それに続く側壁部の上部においても、撥液性が付与されることとなる。しかしながら、側壁部の上部に撥液性が付与されていると、側壁部分のうち親液部分がインクで濡れる一方、撥液部分にはインクが付着しない。そして、インクが乾燥するとき、親液部分に付着したインクは液面の高さに係らず移動しないため、側壁部の親液部分と撥液部分との界面に機能層の端部がピンニングされる現象が生じる。このピンニング位置と機能層中央部の高さとの間に段差が存在していると、機能層の膜厚むらが発生する。ピンニング位置の調整方法としては、例えば、特許文献1に開示されているように、隔壁の側壁部に撥液部分を付加する方法がある。しかしながら、この方法では、隔壁の形成後に撥液部分を後付けする必要があり、また、隔壁の高さがピンニング位置に係らず一定となるため、隔壁の高さが必ずしも機能層の膜厚やインクの量に対して適切であるとは限らない。   In general, the liquid repellency is imparted not only to the top of the partition wall but also to the upper portion of the side wall following it. However, when liquid repellency is imparted to the upper portion of the side wall portion, the lyophilic portion in the side wall portion gets wet with the ink, while the ink does not adhere to the liquid repellent portion. Then, when the ink is dried, the ink attached to the lyophilic portion does not move regardless of the height of the liquid surface, so the end of the functional layer is pinned at the interface between the lyophilic portion and the liquid repellent portion of the side wall portion Phenomenon occurs. If a step is present between the pinning position and the height of the central portion of the functional layer, the film thickness unevenness of the functional layer occurs. As a method of adjusting the pinning position, for example, as disclosed in Patent Document 1, there is a method of adding a liquid repellent portion to the side wall portion of the partition wall. However, in this method, it is necessary to retrofit the liquid repellent portion after the formation of the partition wall, and the height of the partition wall is constant regardless of the pinning position, so the height of the partition wall is necessarily the thickness of the functional layer or the ink It is not always appropriate for the amount of

本開示は、上記課題を鑑みてなされたものであり、発光層と機能層とのうち少なくとも1層を塗布法で形成する有機EL表示パネルにおいて好適な膜厚制御がなされた有機EL表示パネル、および、その製造方法を提供することを目的とする。   The present disclosure has been made in view of the above problems, and an organic EL display panel having a film thickness control suitable for an organic EL display panel in which at least one of a light emitting layer and a functional layer is formed by a coating method, And it aims at providing the manufacturing method.

本開示の一態様に係る有機EL表示パネルは、基板と、前記基板の上方に行列状に配される複数の画素電極と、前記基板の上方に配され、行方向における前記画素電極の間隙上に列方向に延伸する複数の隔壁と、行方向に隣接する前記隔壁間の複数の間隙から選択される第1間隙において、前記画素電極の上方に配される第1発光層と、前記第1間隙に行方向に隣接する第2間隙において、前記画素電極の上方に配される第2発光層と、前記第1発光層の上方および前記第2発光層の上方に配される対向電極とを備え、前記第1発光層の膜厚は、前記第2発光層の膜厚より厚く、前記第1間隙と前記第2間隙との間に存在する隔壁のうち、前記第1間隙側にある第1隔壁部分の高さは、前記第2間隙側にある第2隔壁部分の高さより高く、前記第1隔壁部分の側壁部と前記第1発光層とが接する第1ピンニング位置は、前記第2隔壁部分の側壁部と第2発光層とが接する第2ピンニング位置よりも高い。   An organic EL display panel according to an aspect of the present disclosure includes: a substrate; a plurality of pixel electrodes disposed in a matrix above the substrate; and a gap between the pixel electrodes in the row direction disposed above the substrate A first light emitting layer disposed above the pixel electrode in a first gap selected from a plurality of partitions extending in the column direction and a plurality of gaps between the partitions adjacent in the row direction; A second light emitting layer disposed above the pixel electrode and a counter electrode disposed above the first light emitting layer and above the second light emitting layer in a second gap adjacent to the gap in the row direction; The thickness of the first light emitting layer is greater than the thickness of the second light emitting layer, and the partition wall present between the first gap and the second gap is located on the first gap side. The height of one partition portion is higher than the height of the second partition portion on the second gap side, and First pinning position where the side wall portion and the first light-emitting layer of the first partition wall portion is in contact is higher than the second pinning position where the side wall portion of the second partition wall portion and the second light-emitting layer is in contact.

上記態様の有機EL表示パネルによれば、第1発光層、第2発光層のいずれも、膜厚に応じたピンニング位置を有する構成となるため、好適な膜厚制御がなされた有機EL表示パネルを実現できる。   According to the organic EL display panel of the above aspect, since both the first light emitting layer and the second light emitting layer have a pinning position according to the film thickness, the organic EL display panel with suitable film thickness control Can be realized.

実施の形態に係る有機EL表示パネル100の構成を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the structure of the organic electroluminescent display panel 100 which concerns on embodiment. 実施の形態に係る有機EL表示パネル100の構成を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the structure of the organic electroluminescent display panel 100 which concerns on embodiment. 実施の形態および比較例のそれぞれにおいて発光層が形成された状態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the state in which the light emitting layer was formed in each of embodiment and a comparative example. 実施の形態に係る隔壁141、142、143の製造過程の一部を模式的に示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view showing typically a part of manufacturing process of partition 141, 142, 143 concerning an embodiment. 実施の形態に係る隔壁141、142、143の製造過程の一部を模式的に示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view showing typically a part of manufacturing process of partition 141, 142, 143 concerning an embodiment. 実施の形態に係る隔壁141、142、143の製造過程の一部を模式的に示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view showing typically a part of manufacturing process of partition 141, 142, 143 concerning an embodiment. 実施の形態に係る隔壁141、142、143の製造過程の一部を模式的に示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view showing typically a part of manufacturing process of partition 141, 142, 143 concerning an embodiment. 実施の形態に係る隔壁141、142、143の製造過程を示すフローチャートである。It is a flow chart which shows a manufacturing process of partition 141, 142, and 143 concerning an embodiment. 実施の形態に係る有機EL表示パネル100の製造過程の一部を模式的に示す部分断面図である。(a)は、基材上にTFT層が形成された状態を示す部分断面図である。(b)は、TFT層上に層間絶縁層が形成された状態を示す部分断面図である。(c)は、層間絶縁層上に画素電極材料層が形成された状態を示す部分断面図である。(d)は、画素電極材料層がパターニングされて画素電極が形成された状態を示す部分断面図である。(e)は、画素電極および層間絶縁層上に隔壁が形成された状態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows typically a part of manufacturing process of the organic electroluminescent display panel 100 which concerns on embodiment. (A) is a fragmentary sectional view which shows the state in which the TFT layer was formed on the base material. (B) is a fragmentary sectional view which shows the state in which the interlayer insulation layer was formed on the TFT layer. (C) is a fragmentary sectional view which shows the state in which the pixel electrode material layer was formed on the interlayer insulation layer. (D) is a fragmentary sectional view which shows the state in which the pixel electrode material layer was patterned and the pixel electrode was formed. (E) is a fragmentary sectional view which shows the state in which the partition was formed on the pixel electrode and the interlayer insulation layer. 実施の形態に係る有機EL表示パネル100の製造過程の一部を模式的に示す部分断面図である。(a)は、隔壁の開口部内に正孔注入層が形成された状態を示す部分断面図である。(b)は、隔壁の開口部内に正孔輸送層が形成された状態を示す部分断面図である。(c)は、隔壁の開口部内において発光層が形成された状態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows typically a part of manufacturing process of the organic electroluminescent display panel 100 which concerns on embodiment. (A) is a fragmentary sectional view which shows the state in which the positive hole injection layer was formed in the opening part of the partition. (B) is a fragmentary sectional view which shows the state in which the positive hole transport layer was formed in the opening part of the partition. (C) is a fragmentary sectional view which shows the state in which the light emitting layer was formed in the opening part of the partition. 実施の形態に係る有機EL表示パネル100の製造過程の一部を模式的に示す部分断面図である。(a)は、隔壁上および発光層上に電子輸送層が形成された状態を示す部分断面図である。(b)は、電子輸送層上に電子注入層が形成された状態を示す部分断面図である。(c)は、電子注入層上に対向電極が形成された状態を示す部分断面図である。(d)は、対向電極上に封止層が形成された状態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows typically a part of manufacturing process of the organic electroluminescent display panel 100 which concerns on embodiment. (A) is a fragmentary sectional view which shows the state in which the electron carrying layer was formed on the partition and on a light emitting layer. (B) is a fragmentary sectional view which shows the state in which the electron injection layer was formed on the electron carrying layer. (C) is a fragmentary sectional view which shows the state in which the counter electrode was formed on the electron injection layer. (D) is a fragmentary sectional view which shows the state in which the sealing layer was formed on the counter electrode. 実施の形態に係る有機EL表示パネル100の製造過程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing process of the organic electroluminescent display panel 100 which concerns on embodiment. 変形例に係る隔壁141、142、143の構造を模式的に示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view showing typically the structure of partition 141, 142, 143 concerning a modification. 実施の形態に係る有機EL表示装置の概略構成を示す模式ブロック図である。It is a schematic block diagram which shows schematic structure of the organic electroluminescence display which concerns on embodiment.

<本開示の一態様に至った経緯>
塗布方式で発光層や機能層を形成する場合、材料を溶解したインクを、隔壁間隙に塗布する。上述したように、隔壁の頂部や側壁部の上部は、インクの乗り越えを防ぐために撥液性が付与されているため、側壁部のうち撥液部分には塗布されたインクが付着しない。一方で、側壁部の親液部分に付着したインクは乾燥後も下がることなく残るため、発光層や機能層と、側壁部との接点が、撥液部分と親液部分の界面に固定される(ピンニングされる)こととなる。
<Circumstances leading to one aspect of the present disclosure>
When forming a light emitting layer and a functional layer by a coating method, the ink which melt | dissolved material is apply | coated to a partition gap. As described above, the top of the partition wall and the upper portion of the side wall portion are provided with liquid repellence to prevent the ink from getting over, so the coated ink does not adhere to the liquid repellent portion of the side wall portion. On the other hand, since the ink attached to the lyophilic portion of the side wall remains without drying after drying, the contact between the light emitting layer or the functional layer and the side wall is fixed to the interface between the liquid repellent portion and the lyophilic portion It will be (pinned).

隔壁を形成する際、一般に、親液部分と撥液部分が同時に形成される。具体的には、フッ素系やシリコーン系の撥液性を有する界面活性剤を、親液性のアクリル系、メタクリル系、ポリイミド系、フェノール系などのフォトレジストに添加し、これを塗布、マスク露光、現像、焼成する。このような形成工程により、撥液性を有する界面活性剤の濃度は上部が高く下部が低くなるため、頂部を含む隔壁上部が撥液性を、隔壁下部が親液性を、それぞれ有することとなる。撥液部分と親液部分の界面、すなわち、ピンニング位置は、隔壁の高さと、撥液性を有する界面活性剤の添加量に依存する。   In forming the partition, generally, the lyophilic portion and the lyophobic portion are simultaneously formed. Specifically, a fluorine-based or silicone-based liquid repellent surfactant is added to a lyophilic acrylic-based, methacrylic-based, polyimide-based, or phenol-based photoresist, which is coated and mask-exposed. , Develop, bake. Since the concentration of the liquid repellent surfactant is high at the top and low at the bottom of the formation step, the top of the partition including the top has liquid repellency and the bottom of the partition has lyophilic. Become. The interface between the liquid repellent portion and the lyophilic portion, that is, the pinning position, depends on the height of the partition wall and the amount of the liquid repellent surfactant added.

一方で、発光層や機能層の膜厚は、発光層の発光機能、機能層のキャリア注入機能や輸送機能、ブロック機能などといった機能の発揮、光透過性、光共振器構造を実現するための厚みなどといった各種の要件により定まる。そのため、発光層の発光色が異なる有機EL素子については最適な膜厚も異なることが多い。他方、上述したようにピンニング位置の高さと発光層や機能層の上面の高さとの間に段差があると発光層や機能層の膜厚にむらが発生する。したがって、発光色ごとにピンニング位置を変える必要が生じる。例えば、図3(a)の模式断面図に示すように、同一の材料を用いて同一の高さの隔壁814を形成すると、撥液部分842が形成される高さの範囲が同一となる。そうすると、発光層の膜厚に係らずピンニングの位置が同一となるため、発光層の膜厚にむらが発生する。具体的には、発光層917aの膜厚に対してピンニングの位置が高いため、発光層917aの上面が凹面状となる、発光層917bの膜厚に対してピンニングの位置が低いため、発光層917bの上面が凸面状となる、といった事態が発生する。   On the other hand, the film thickness of the light emitting layer or the functional layer is to realize functions such as light emitting function of the light emitting layer, carrier injection function of the functional layer, transport function, block function, etc., light transparency, and optical resonator structure. Determined by various requirements such as thickness. Therefore, the optimum film thickness is often different for organic EL elements having different luminescent colors of the luminescent layer. On the other hand, as described above, when there is a step between the height of the pinning position and the height of the top surface of the light emitting layer or the functional layer, unevenness occurs in the film thickness of the light emitting layer or the functional layer. Therefore, it is necessary to change the pinning position for each luminescent color. For example, as shown in the schematic cross-sectional view of FIG. 3A, when the partition walls 814 having the same height are formed using the same material, the range of height in which the liquid repellent portions 842 are formed becomes the same. Then, the pinning positions become the same regardless of the film thickness of the light emitting layer, so that the film thickness of the light emitting layer is uneven. Specifically, since the pinning position is higher than the film thickness of the light emitting layer 917a, the upper surface of the light emitting layer 917a is concave, and the pinning position is lower than the film thickness of the light emitting layer 917b. A situation occurs in which the upper surface of the 917b is convex.

この問題を解決する方法としては、例えば、特許文献1に記載されているように、撥液部分の高さの制御を行うことが考えられる。しかしながら、隔壁の高さを変えずにピンニング位置のみを制御する場合、ピンニング位置が隔壁に対して高すぎるとインクの乗り越えを抑止できないため、図3(b)の模式断面図に示すように、膜厚が最も厚い発光層927bに合わせて隔壁824a、824b、824cの高さを設定する必要がある。そうすると、発光層927aを区画する2つの隔壁824a、824bは発光層927aの膜厚に対して高すぎることとなる。また、隔壁824aの撥液部分843a、隔壁824bの撥液部分843b、隔壁824cの撥液部分843cはいずれも、隣接する2つの発光層に対して同一構造となっていないため、隔壁の親液部分と撥液部分の一体形成が困難である。   As a method of solving this problem, for example, as described in Patent Document 1, it is conceivable to control the height of the liquid repellent portion. However, when controlling only the pinning position without changing the height of the partition wall, if the pinning position is too high relative to the partition wall, it is not possible to suppress the overcoming of the ink, as shown in the schematic cross sectional view of FIG. The heights of the partition walls 824 a, 824 b, and 824 c need to be set in accordance with the light emitting layer 927 b having the largest film thickness. Then, the two partitions 824a and 824b partitioning the light emitting layer 927a are too high for the film thickness of the light emitting layer 927a. In addition, since all of the liquid repellent portion 843a of the partition 824a, the liquid repellent portion 843b of the partition 824b, and the liquid repellent portion 843c of the partition 824c do not have the same structure with respect to two adjacent light emitting layers, It is difficult to integrally form the part and the liquid repellent part.

発明者は、隔壁の親液部分と撥液部分の一体形成を行いつつ、ピンニング位置および隔壁の高さを適切に設計できた有機EL表示パネルについて検討し、本開示に至ったものである。
<開示の態様>
本開示の一態様に係る有機EL表示パネルは、基板と、前記基板の上方に行列状に配される複数の画素電極と、前記基板の上方に配され、行方向における前記画素電極の間隙上に列方向に延伸する複数の隔壁と、行方向に隣接する前記隔壁間の複数の間隙から選択される第1間隙において、前記画素電極の上方に配される第1発光層と、前記第1間隙に行方向に隣接する第2間隙において、前記画素電極の上方に配される第2発光層と、前記第1発光層の上方および前記第2発光層の上方に配される対向電極とを備え、前記第1発光層の膜厚は、前記第2発光層の膜厚より厚く、前記第1間隙と前記第2間隙との間に存在する隔壁のうち、前記第1間隙側にある第1隔壁部分の高さは、前記第2間隙側にある第2隔壁部分の高さより高く、前記第1隔壁部分の側壁部と前記第1発光層とが接する第1ピンニング位置は、前記第2隔壁部分の側壁部と第2発光層とが接する第2ピンニング位置よりも高い。
The inventor studied the organic EL display panel in which the pinning position and the height of the partition can be appropriately designed while integrally forming the lyophilic portion and the liquid repellent portion of the partition, and the present disclosure has been made.
<Aspect of disclosure>
An organic EL display panel according to an aspect of the present disclosure includes: a substrate; a plurality of pixel electrodes disposed in a matrix above the substrate; and a gap between the pixel electrodes in the row direction disposed above the substrate A first light emitting layer disposed above the pixel electrode in a first gap selected from a plurality of partitions extending in the column direction and a plurality of gaps between the partitions adjacent in the row direction; A second light emitting layer disposed above the pixel electrode and a counter electrode disposed above the first light emitting layer and above the second light emitting layer in a second gap adjacent to the gap in the row direction; The thickness of the first light emitting layer is greater than the thickness of the second light emitting layer, and the partition wall present between the first gap and the second gap is located on the first gap side. The height of one partition portion is higher than the height of the second partition portion on the second gap side, and First pinning position where the side wall portion and the first light-emitting layer of the first partition wall portion is in contact is higher than the second pinning position where the side wall portion of the second partition wall portion and the second light-emitting layer is in contact.

また、本開示の一態様に係る有機EL表示パネルの製造方法は、基板を準備する工程と、前記基板の上方において、行列状に複数の画素電極を形成する工程と、前記基板の上方において、行方向に前記画素電極を区画するように、列方向に沿って隔壁を複数形成する工程と、行方向に隣接する前記隔壁間の複数の間隙から選択される第1間隙に、発光材料を含むインクを塗布して第1発光層を形成する工程と、前記第1間隙に行方向に隣接する第2間隙に、発光材料を含むインクを塗布して、前記第1発光層の膜厚より薄い膜厚を有する第2発光層を形成する工程と、前記第1発光層および前記第2発光層の上方に対向電極を形成する工程とを含み、前記隔壁を複数形成する工程において、前記第1間隙に隣接する第1隔壁部分の高さを、前記第2間隙に隣接する第2隔壁部分の高さより高く形成し、前記第1隔壁部分の前記第1間隙に面する側壁部と、前記第2隔壁部分の前記第2隔壁に面する側壁部とに、それぞれ、頂部から続く撥液部分を形成する。   Further, in the method of manufacturing an organic EL display panel according to one aspect of the present disclosure, a step of preparing a substrate, a step of forming a plurality of pixel electrodes in a matrix over the substrate, and a step of forming the plurality of pixel electrodes above the substrate A light emitting material is included in a step of forming a plurality of partitions along the column direction so as to partition the pixel electrodes in the row direction, and a first gap selected from a plurality of gaps between the partitions adjacent in the row direction Applying an ink to form a first light emitting layer, applying an ink containing a light emitting material to a second gap adjacent to the first gap in the row direction, and having a thickness smaller than the film thickness of the first light emitting layer Forming a second light emitting layer having a film thickness, and forming a counter electrode above the first light emitting layer and the second light emitting layer; The height of the first partition portion adjacent to the gap is A side wall portion of the second partition wall portion facing the first gap is formed higher than the height of the second partition wall portion adjacent to the second gap, and a side wall portion facing the second partition wall of the second partition wall portion Each forms a liquid repellent portion continuing from the top.

上記態様の有機EL表示パネル、または、上記態様の製造方法によれば、第1発光層、第2発光層のいずれも、膜厚に応じたピンニング位置を有する構成となるため、好適な膜厚制御がなされた有機EL表示パネルを実現できる。
また、上記態様に係る有機EL表示パネル、または、上記態様の製造方法において、以下のようにしてもよい。
According to the organic EL display panel of the above aspect or the manufacturing method of the above aspect, any of the first light emitting layer and the second light emitting layer has a pinning position according to the film thickness, so a suitable film thickness A controlled organic EL display panel can be realized.
Further, in the organic EL display panel according to the above aspect or the manufacturing method of the above aspect, the following may be performed.

前記第1ピンニング位置は前記第1隔壁部分の高さに依拠した高さを有し、前記第2ピンニング位置は前記第2隔壁部分の高さに依拠した高さを有する、としてもよい。
これにより、間隙ごとに隔壁部分の高さとピンニングの位置とを連動して間隙内に形成される発光層や機能層に合わせて最適化することができ、発光層や機能層の膜厚を均一化させることができる。
The first pinning position may have a height depending on the height of the first partition portion, and the second pinning position may have a height depending on the height of the second partition portion.
Thereby, the height of the partition wall portion and the pinning position can be interlocked in each gap to be optimized according to the light emitting layer or the functional layer formed in the gap, and the film thickness of the light emitting layer or the functional layer is uniform. Can be

また、前記第1ピンニング位置の高さは、前記第1隔壁部分の高さに第1の係数を乗算した高さであり、前記第2ピンニング位置の高さは、前記第2隔壁部分の高さに第2の係数を乗算した高さである、としてもよい。
これにより、間隙ごとに、その両側の隔壁部分の高さを制御することにより、ピンニングの位置を合わせて制御することができる。
The height of the first pinning position is a height obtained by multiplying the height of the first partition wall portion by a first coefficient, and the height of the second pinning position is a height of the second partition wall portion Or the height multiplied by the second coefficient.
Thereby, the position of pinning can be matched and controlled by controlling the height of the partition part of the both sides for every gap | interval.

また、前記第1の係数と、前記第2の係数とは異なる、としてもよい。
これにより、間隙ごとに、その両側の隔壁部分の高さとピンニング位置の高さの範囲との関係を、間隙内に形成される発光層や機能層に合わせて最適化することができる。
また、前記第1ピンニング位置の高さは、前記第1隔壁部分の高さから所定の厚みを減算した高さであり、前記第2ピンニング位置の高さは、前記第2隔壁部分の高さから前記所定の厚みを減算した高さであるとしてもよい。
Further, the first coefficient and the second coefficient may be different.
Thus, for each gap, the relationship between the heights of the partition wall portions on both sides thereof and the range of the height of the pinning position can be optimized in accordance with the light emitting layer and the functional layer formed in the gap.
Further, the height of the first pinning position is a height obtained by subtracting a predetermined thickness from the height of the first partition wall portion, and the height of the second pinning position is a height of the second partition wall portion It may be a height obtained by subtracting the predetermined thickness from.

これにより、ピンニング位置と隔壁頂部との高さの差を均一化することができる。
また、前記第1隔壁部分と、前記第2隔壁部分とは、それぞれ、絶縁性の樹脂材料からなり、撥液性を有する界面活性剤を含んでなる、としてもよい。
また、前記界面活性剤は、フッ素系化合物、または、シリコーン系化合物である、としてもよい。
Thereby, the difference in height between the pinning position and the top of the partition can be made uniform.
The first partition portion and the second partition portion may be made of an insulating resin material and may include a liquid repellent surfactant.
Further, the surfactant may be a fluorine-based compound or a silicone-based compound.

また、前記隔壁を複数形成する工程において、前記隔壁の材料として、撥液性を有する界面活性剤を含む樹脂材料を用いる、としてもよい。
また、前記界面活性剤として、フッ素系化合物、または、シリコーン系化合物を用いる、としてもよい。
これにより、隔壁部分を一体成型することができ、隔壁の形成工程を単純化することができる。
Further, in the step of forming a plurality of the partition walls, a resin material containing a liquid repellent surfactant may be used as a material of the partition walls.
Further, as the surfactant, a fluorine-based compound or a silicone-based compound may be used.
Thereby, a partition part can be integrally molded and the formation process of a partition can be simplified.

また、前記第1隔壁部分の前記第1発光層に面する側壁部において、前記第1ピンニング位置より高い部分は、前記第1ピンニング位置より低い部分より、前記界面活性剤の含有率が高く、前記第2隔壁部分の前記第2発光層に面する側壁部において、前記第2ピンニング位置より高い部分は、前記第2ピンニング位置より低い部分より、前記界面活性剤の含有率が高い、としてもよい。   In the side wall portion of the first partition portion facing the first light emitting layer, the content of the surfactant is higher in a portion higher than the first pinning position than in a portion lower than the first pinning position, In the side wall portion of the second partition portion facing the second light emitting layer, the content of the surfactant is higher in the portion higher than the second pinning position than in the portion lower than the second pinning position. Good.

また、前記隔壁を複数形成する工程において、前記隔壁の材料として前記界面活性剤を含む樹脂材料を用い、前記隔壁のうち前記界面活性剤の含有率が所定の割合以上の部分を前記撥液部分とする、としてもよい。
これにより、隔壁部分の上部表面を撥液部分とすることができ、隔壁の形成工程を単純化することができる。
In the step of forming a plurality of the partition walls, a resin material containing the surfactant is used as a material of the partition walls, and a portion of the partition walls in which the content ratio of the surfactant is a predetermined ratio or more is the liquid repellent portion It may be as well.
Thereby, the upper surface of the partition wall portion can be made to be a liquid repellent portion, and the process of forming the partition wall can be simplified.

また、前記第2隔壁部分の高さは、前記第1隔壁部分の高さより高く、前記隔壁を複数形成する工程において、前記第1隔壁部分の形成を行った後、前記第2隔壁形成部分の形成を行う、としてもよい。
これにより、隔壁部分を形成する際、高さが低い他の隔壁部分の影響を小さくすることができる。
Further, the height of the second partition wall portion is higher than the height of the first partition wall portion, and after the first partition wall portion is formed in the step of forming a plurality of the partition walls, the second partition wall formed portion The formation may be performed.
Thereby, when forming a partition part, the influence of the other partition part whose height is low can be made small.

<実施の形態>
1.有機EL表示パネルの概略構成
本発明の一態様である有機EL表示パネルについて説明する。
図1は、実施の形態に係る有機EL表示パネル100の部分断面図である。有機EL表示パネル100は、3つの色(赤色、緑色、青色)を発光する有機EL素子1(R)、1(G)、1(B)で構成される画素を複数備えている。
Embodiment
1. Schematic Configuration of Organic EL Display Panel An organic EL display panel according to an aspect of the present invention will be described.
FIG. 1 is a partial cross-sectional view of the organic EL display panel 100 according to the embodiment. The organic EL display panel 100 includes a plurality of pixels formed of organic EL elements 1 (R), 1 (G) and 1 (B) that emit light of three colors (red, green and blue).

有機EL表示パネル100において、各有機EL素子1は、前方(図1における紙面上方)に光を出射するいわゆるトップエミッション型である。
有機EL素子1(R)と、有機EL素子1(G)と、有機EL素子1(B)は、ほぼ同様の構成を有するので、区別しないときは、有機EL素子1として説明する。
図1に示すように、有機EL素子1は、基板11、層間絶縁層12、画素電極13、隔壁141、142、143、正孔注入層15、正孔輸送層16、発光層17、電子輸送層18、電子注入層19、対向電極20、および、封止層21を備える。なお、基板11、層間絶縁層12、電子輸送層18、電子注入層19、対向電極20、および、封止層21は、画素ごとに形成されているのではなく、有機EL表示パネル100が備える複数の有機EL素子1に共通して形成されている。
In the organic EL display panel 100, each organic EL element 1 is a so-called top emission type in which light is emitted forward (upward in the drawing of FIG. 1).
The organic EL element 1 (R), the organic EL element 1 (G), and the organic EL element 1 (B) have almost the same configuration, and therefore, they will be described as the organic EL element 1 when they are not distinguished.
As shown in FIG. 1, the organic EL element 1 includes a substrate 11, an interlayer insulating layer 12, a pixel electrode 13, partition walls 141, 142, 143, a hole injection layer 15, a hole transport layer 16, a light emitting layer 17, an electron transport. The layer 18, the electron injection layer 19, the counter electrode 20, and the sealing layer 21 are provided. The substrate 11, the interlayer insulating layer 12, the electron transport layer 18, the electron injection layer 19, the counter electrode 20, and the sealing layer 21 are not formed for each pixel, but are provided in the organic EL display panel 100. It is formed in common to the plurality of organic EL elements 1.

図2は、有機EL表示パネル100の模式平面図である。図2に示すように、実施の形態に係る有機EL表示パネル100は、所謂ラインバンク構造を採用している。すなわち、有機EL表示パネル100は、各々がY方向に長尺で、X方向に互いに間隔をあけて配置された複数条の隔壁141、142、143と、各々がX方向に長尺で、Y方向に互いに間隔をあけて配置された複数の副壁14bとを備える。なお、図1は、図2のA−A断面図に相当する。   FIG. 2 is a schematic plan view of the organic EL display panel 100. As shown in FIG. As shown in FIG. 2, the organic EL display panel 100 according to the embodiment adopts a so-called line bank structure. That is, the organic EL display panel 100 is long in the Y direction, and has a plurality of barrier ribs 141, 142 and 143 spaced apart from each other in the X direction, and each is long in the X direction, Y And a plurality of secondary walls 14b spaced apart from one another in the direction. FIG. 1 corresponds to a cross-sectional view taken along line A-A of FIG.

隣接する一対の隔壁141、142、143と、隣接する一対の副壁14bとで規定される領域に、有機EL素子1(R)、1(G)、1(B)のいずれかが形成され、そのそれぞれがサブピクセルとなる。各サブピクセルのY方向の長さは、例えば、300μmである。
以下、有機EL表示パネル100の各部構成について説明する。
One of the organic EL elements 1 (R), 1 (G), and 1 (B) is formed in a region defined by the pair of adjacent partitions 141, 142, and 143 and the pair of adjacent sub walls 14b. , Each of which is a sub-pixel. The length in the Y direction of each sub-pixel is, for example, 300 μm.
Hereinafter, the configuration of each part of the organic EL display panel 100 will be described.

<基板>
基板11は、絶縁材料である基材111と、TFT(Thin Film Transistor)層112とを含む。TFT層112には、画素ごとに駆動回路が形成されている。基材111は、例えば、ガラス基板、石英基板、シリコン基板、硫化モリブデン、銅、亜鉛、アルミニウム、ステンレス、マグネシウム、鉄、ニッケル、金、銀などの金属基板、ガリウム砒素などの半導体基板、プラスチック基板等を採用することができる。プラスチック材料としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂いずれの樹脂を用いてもよい。例えば、ポリイミド(PI)、ポリエーテルイミド(PEI)、ポリサルホン(PSu)、ポリカーボネート(PC)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリブチレンテレフタレート、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリウレタン系、等の各種熱可塑性エラストマー、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル、シリコーン樹脂、ポリウレタン等、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられる。これらよりプロセス温度に対して耐久性を有するように選択し、1種、または2種以上を積層した積層体を用いることができる。
<Board>
The substrate 11 includes a base material 111 which is an insulating material, and a TFT (Thin Film Transistor) layer 112. In the TFT layer 112, a drive circuit is formed for each pixel. The substrate 111 is, for example, a glass substrate, a quartz substrate, a silicon substrate, a metal substrate such as molybdenum sulfide, copper, zinc, aluminum, stainless steel, magnesium, iron, nickel, gold or silver, a semiconductor substrate such as gallium arsenide, a plastic substrate Etc. can be adopted. As a plastic material, any resin of thermoplastic resin and thermosetting resin may be used. For example, polyimide (PI), polyetherimide (PEI), polysulfone (PSu), polycarbonate (PC), polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polybutylene terephthalate, styrene type, polyolefin type, polyurethane type, And various thermoplastic elastomers such as epoxy resins, unsaturated polyesters, silicone resins, polyurethanes, etc., or copolymers, blends, polymer alloys and the like mainly comprising these. From these, it is selected so as to have durability against the process temperature, and it is possible to use a laminate obtained by laminating one kind or two or more kinds.

<層間絶縁層>
層間絶縁層12は、基板11上に形成されている。層間絶縁層12は、樹脂材料からなり、TFT層112の上面の段差を平坦化するためのものである。樹脂材料としては、例えば、ポジ型の感光性材料が挙げられる。また、このような感光性材料として、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、シロキサン系樹脂、フェノール系樹脂等が挙げられる。また、図1の断面図には示されていないが、層間絶縁層12には、画素ごとにコンタクトホールが形成されている。
<Interlayer insulating layer>
The interlayer insulating layer 12 is formed on the substrate 11. The interlayer insulating layer 12 is made of a resin material and is for planarizing a step on the top surface of the TFT layer 112. As a resin material, a positive photosensitive material is mentioned, for example. Moreover, acrylic resin, polyimide resin, siloxane resin, phenol resin etc. are mentioned as such a photosensitive material. Although not shown in the cross-sectional view of FIG. 1, contact holes are formed in the interlayer insulating layer 12 for each pixel.

<画素電極>
画素電極13は、光反射性の金属材料からなる金属層を含み、層間絶縁層12上に形成されている。画素電極13は、画素ごとに設けられ、層間絶縁層12に設けられたコンタクトホールを通じてTFT層112と電気的に接続されている。
本実施形態においては、画素電極13は、陽極として機能する。
<Pixel electrode>
The pixel electrode 13 includes a metal layer made of a light reflective metal material, and is formed on the interlayer insulating layer 12. The pixel electrode 13 is provided for each pixel, and is electrically connected to the TFT layer 112 through a contact hole provided in the interlayer insulating layer 12.
In the present embodiment, the pixel electrode 13 functions as an anode.

光反射性を具備する金属材料の具体例としては、Ag(銀)、Al(アルミニウム)、アルミニウム合金、Mo(モリブデン)、APC(銀、パラジウム、銅の合金)、ARA(銀、ルビジウム、金の合金)、MoCr(モリブデンとクロムの合金)、MoW(モリブデンとタングステンの合金)、NiCr(ニッケルとクロムの合金)などが挙げられる。   Specific examples of the metal material having light reflectivity include Ag (silver), Al (aluminum), aluminum alloy, Mo (molybdenum), APC (silver, palladium, alloy of copper), ARA (silver, rubidium, gold) And MoCr (alloy of molybdenum and chromium), MoW (alloy of molybdenum and tungsten), NiCr (alloy of nickel and chromium), and the like.

画素電極13は、金属層単独で構成してもよいが、金属層の上に、ITO(酸化インジウム錫)やIZO(酸化インジウム亜鉛)のような金属酸化物からなる層を積層した積層構造としてもよい。
<隔壁>
隔壁141、142、143は、画素電極13の上面の一部の領域を露出させ、その周辺の領域を被覆した状態で画素電極13上に形成されている。画素電極13上面において隔壁141、142、143で被覆されていない領域(以下、「開口部」という)は、サブピクセルに対応している。すなわち、隔壁141、142、143は、サブピクセルごとに設けられた開口部14aを有する。以下、区別する必要がある場合は、有機EL素子1(R)の開口部を開口部14aR、有機EL素子1(G)の開口部を開口部14aG、有機EL素子1(B)の開口部を開口部14aB、と表記する。
The pixel electrode 13 may be formed of a metal layer alone, but a laminated structure in which a layer formed of a metal oxide such as ITO (indium tin oxide) or IZO (indium zinc oxide) is laminated on the metal layer It is also good.
<Partition wall>
The partition walls 141, 142, and 143 are formed on the pixel electrode 13 in a state in which a partial region of the upper surface of the pixel electrode 13 is exposed and the peripheral region is covered. Regions (hereinafter referred to as “openings”) which are not covered with the partitions 141, 142, and 143 on the upper surface of the pixel electrode 13 correspond to sub-pixels. That is, the partitions 141, 142, and 143 have openings 14a provided for each sub-pixel. Hereinafter, when it is necessary to distinguish, the opening of the organic EL element 1 (R) is the opening 14aR, the opening of the organic EL element 1 (G) is the opening 14aG, and the opening of the organic EL element 1 (B) Is denoted as an opening 14aB.

本実施の形態において、隔壁141、142、143は、画素電極13が形成されていない部分では、層間絶縁層12上に形成されている。すなわち、画素電極13が形成されていない部分では、隔壁141、142、143の底面は層間絶縁層12の上面と接している。
隔壁141、142、143は、正孔注入層15や正孔輸送層16、発光層17を塗布法で形成する際、塗布されたインクが隣接するサブピクセルのインクと接触しないようにするための構造物として機能する。隔壁141、142、143は、頂部とそれに続く側壁部の上部が撥液部分146、147、148であり、側壁部のうち撥液部分を除く部分が親液部分である。隔壁141、142、143は、絶縁性の樹脂材料からなる母材に、フッ素系化合物やシリコーン系化合物などの撥液性の界面活性剤が添加されてなる。絶縁性の樹脂材料である母材としては、例えば、ポジ型の感光性材料を用いることができ、具体的には、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、シロキサン系樹脂、フェノール系樹脂等が挙げられる。なお、母材はポジ型の感光性材料に限られず、例えば、ネガ型の感光材料を用いてもよいし、感光性でない材料を用いてもよい。
In the present embodiment, the partitions 141, 142, and 143 are formed on the interlayer insulating layer 12 in the portion where the pixel electrode 13 is not formed. That is, the bottom surfaces of the partition walls 141, 142, and 143 are in contact with the top surface of the interlayer insulating layer 12 in the portion where the pixel electrode 13 is not formed.
When forming the hole injection layer 15, the hole transport layer 16, and the light emitting layer 17 by the application method, the partition walls 141, 142, and 143 prevent the applied ink from contacting the ink of the adjacent subpixel. It functions as a structure. In the partition walls 141, 142, and 143, the top portions and the upper portions of the side wall portions subsequent thereto are the liquid repellent portions 146, 147, and 148, and a portion of the side wall portions excluding the liquid repellent portion is a lyophilic portion. The partition walls 141, 142, 143 are formed by adding a liquid repellent surfactant such as a fluorine compound or a silicone compound to a base material made of an insulating resin material. As a base material which is an insulating resin material, for example, a positive photosensitive material can be used, and specifically, acrylic resin, polyimide resin, siloxane resin, phenol resin and the like can be mentioned. . The base material is not limited to the positive photosensitive material. For example, a negative photosensitive material may be used, or a non-photosensitive material may be used.

隔壁141は、開口部14aRに面する隔壁部分と、開口部14aGに面する隔壁部分とからなり、同様に、隔壁142は、開口部14aGに面する隔壁部分と、開口部14aBに面する隔壁部分からなる。同様に、隔壁143は、開口部14aBに面する隔壁部分と、開口部14aRに面する隔壁部分とからなる。隔壁部分のそれぞれは、それぞれ四角錐台状もしくはそれに類似した形状であり、断面は上方を先細りとする順テーパーの台形状もしくは上に凸のお椀状である。また、1つの開口部に面する2つの隔壁部分は、高さ、および、撥液部分の高さの範囲が同じである。   The partition 141 includes a partition facing the opening 14aR and a partition facing the opening 14aG. Similarly, the partition 142 includes a partition facing the opening 14aG and a partition facing the opening 14aB. It consists of parts. Similarly, the partition 143 includes a partition part facing the opening 14aB and a partition part facing the opening 14aR. Each of the partition portions is in the shape of a quadrangular frustum or a similar shape, and the cross-section is in the shape of a forward tapered trapezoidal or upwardly convex bowl in which the upper side is tapered. In addition, the two partition portions facing one opening have the same height and the same range of the height of the liquid repellent portion.

<副壁>
副壁14bは、画素電極13の上面の一部の領域を露出させ、その周辺の領域を被覆した状態で画素電極13上に形成されている。副壁14bの延伸する方向は、隔壁141、142、143が延伸する方向と直交している。副壁14bのそれぞれは、複数の開口部14aにわたって形成されており、開口部14a内において、隣接する画素電極13を区画している。
<Secondary wall>
The sub wall 14 b is formed on the pixel electrode 13 in a state in which a partial region of the upper surface of the pixel electrode 13 is exposed and the peripheral region is covered. The extending direction of the sub wall 14 b is orthogonal to the extending direction of the partition walls 141, 142, 143. Each of the sub walls 14 b is formed across the plurality of openings 14 a and divides the adjacent pixel electrode 13 in the openings 14 a.

本実施の形態において、副壁14bは、画素電極13が形成されていない部分では、層間絶縁層12上に形成されている。すなわち、画素電極13が形成されていない部分では、副壁14bの底面は層間絶縁層12の上面と接している。
副壁14bは、正孔注入層15や正孔輸送層16、発光層17を塗布法で形成する際、塗布されたインクの列方向(Y方向)への流動を規制するためのものである。副壁14bの形状は、四角錐台状もしくはそれに類似した形状であり、断面は上方を先細りとする順テーパーの台形状もしくは上に凸のお椀状である。また、層間絶縁層12からの副壁14bの高さは、層間絶縁層12からの隔壁141、142、143の高さよりも低い。副壁14bは、樹脂材料からなり、例えば、ポジ型の感光性材料を用いることができる。このような感光性材料として、具体的には、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、シロキサン系樹脂、フェノール系樹脂等が挙げられる。なお、樹脂材料はポジ型の感光性材料に限られず、例えば、ネガ型の感光材料を用いてもよいし、感光性でない材料を用いてもよい。
In the present embodiment, the sub wall 14 b is formed on the interlayer insulating layer 12 in the portion where the pixel electrode 13 is not formed. That is, in the portion where the pixel electrode 13 is not formed, the bottom surface of the sub wall 14 b is in contact with the top surface of the interlayer insulating layer 12.
The sub wall 14 b is for regulating the flow of the applied ink in the column direction (Y direction) when the hole injection layer 15, the hole transport layer 16, and the light emitting layer 17 are formed by the application method. . The shape of the sub wall 14b is a quadrangular frustum shape or a similar shape, and the cross section is a trapezoidal shape of a forward taper whose upper side is tapered or a convex bowl shape. Further, the height of the sub wall 14 b from the interlayer insulating layer 12 is smaller than the height of the partition walls 141, 142, 143 from the interlayer insulating layer 12. The sub wall 14 b is made of a resin material, and for example, a positive photosensitive material can be used. Specific examples of such photosensitive materials include acrylic resins, polyimide resins, siloxane resins, and phenol resins. The resin material is not limited to the positive photosensitive material. For example, a negative photosensitive material may be used, or a non-photosensitive material may be used.

<正孔注入層>
正孔注入層15は、画素電極13から発光層17への正孔(ホール)の注入を促進させる目的で、画素電極13上に設けられている。正孔注入層15の材料の具体例としては、例えば、PEDOT/PSS(ポリチオフェンとポリスチレンスルホン酸との混合物)などの導電性ポリマー材料が挙げられる。
<Hole injection layer>
The hole injection layer 15 is provided on the pixel electrode 13 for the purpose of promoting the injection of holes from the pixel electrode 13 to the light emitting layer 17. Specific examples of the material of the hole injection layer 15 include, for example, conductive polymer materials such as PEDOT / PSS (a mixture of polythiophene and polystyrene sulfonic acid).

なお、正孔注入層15は、遷移金属の酸化物で形成してもよい。遷移金属の具体例としては、Ag(銀)、Mo(モリブデン)、Cr(クロム)、V(バナジウム)、W(タングステン)、Ni(ニッケル)、Ir(イリジウム)などである。遷移金属は複数の酸化数を取るため、複数の準位を取ることができ、その結果、正孔注入が容易になり、駆動電圧の低減に寄与するからである。この場合、正孔注入層15は、大きな仕事関数を有することが好ましい。   The hole injection layer 15 may be formed of a transition metal oxide. Specific examples of the transition metal include Ag (silver), Mo (molybdenum), Cr (chromium), V (vanadium), W (tungsten), Ni (nickel), Ir (iridium) and the like. Since the transition metal takes a plurality of oxidation numbers, it can take a plurality of levels, as a result, hole injection becomes easy, which contributes to a reduction in drive voltage. In this case, the hole injection layer 15 preferably has a large work function.

<正孔輸送層>
正孔輸送層16は、正孔注入層15から注入された正孔を発光層17へ輸送する機能を有し、正孔を正孔注入層15から発光層17へと効率よく輸送するため、正孔移動度の高い有機材料で形成されている。正孔輸送層16の形成は、有機材料溶液の塗布および乾燥により行われる。正孔輸送層16を形成する有機材料としては、ポリフルオレンやその誘導体、あるいはポリアリールアミンやその誘導体等の高分子化合物を用いることができる。
<Hole transport layer>
The hole transport layer 16 has a function of transporting holes injected from the hole injection layer 15 to the light emitting layer 17, and in order to efficiently transport holes from the hole injection layer 15 to the light emitting layer 17, It is formed of an organic material with high hole mobility. The formation of the hole transport layer 16 is performed by applying and drying an organic material solution. As an organic material for forming the hole transport layer 16, a polymer compound such as polyfluorene or a derivative thereof, or a polyarylamine or a derivative thereof can be used.

また、正孔輸送層16はトリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ポルフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物及びスチリルアミン化合物、ブタジエン化合物、ポリスチレン誘導体、ヒドラゾン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、テトラフェニルベンゼン誘導体を用いて形成されてもよい。特に好ましくは、ポリフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物及びスチリルアミン化合物等を用いてもよい。この場合、正孔輸送層16は、真空蒸着法により形成される。なお、正孔輸送層16の材料および製造方法は上述のものに限られず、正孔輸送機能を有する任意の材料を用いてよく、正孔輸送層16の製造に用いることのできる任意の製造方法で形成されてよい。   In addition, the hole transport layer 16 may be a triazole derivative, an oxadiazole derivative, an imidazole derivative, a polyarylalkane derivative, a pyrazoline derivative or a pyrazolone derivative, a phenylenediamine derivative, an arylamine derivative, an amino-substituted chalcone derivative, an oxazole derivative, a styrylanthracene derivative, It may be formed using a fluorenone derivative, hydrazone derivative, stilbene derivative, porphyrin compound, aromatic tertiary amine compound and styrylamine compound, butadiene compound, polystyrene derivative, hydrazone derivative, triphenylmethane derivative, tetraphenylbenzene derivative . In particular, porphyrin compounds, aromatic tertiary amine compounds and styrylamine compounds may be used. In this case, the hole transport layer 16 is formed by vacuum evaporation. In addition, the material and manufacturing method of the positive hole transport layer 16 are not restricted to the above-mentioned thing, Arbitrary materials which have a positive hole transport function may be used, and arbitrary manufacturing methods which can be used for manufacture of the positive hole transport layer 16 And may be formed of

<発光層>
発光層17は、開口部14a内に形成されている。発光層17は、正孔と電子の再結合によりR、G、Bの各色の光を出射する機能を有する。発光層17の材料としては、公知の材料を利用することができる。
発光層17に含まれる有機発光材料としては、例えば、オキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物およびアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体およびピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、8−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、2−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とIII族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体等の蛍光物質を用いることができる。また、トリス(2−フェニルピリジン)イリジウムなどの燐光を発光する金属錯体等の公知の燐光物質を用いることができる。また、発光層17は、ポリフルオレンやその誘導体、ポリフェニレンやその誘導体、あるいはポリアリールアミンやその誘導体等の高分子化合物等、もしくは前記低分子化合物と前記高分子化合物の混合物を用いて形成されてもよい。
<Light emitting layer>
The light emitting layer 17 is formed in the opening 14a. The light emitting layer 17 has a function of emitting light of each color of R, G and B by recombination of holes and electrons. A known material can be used as the material of the light emitting layer 17.
Examples of the organic light emitting material contained in the light emitting layer 17 include oxinoid compounds, perylene compounds, coumarin compounds, azacoumarin compounds, oxazole compounds, oxadiazole compounds, perinone compounds, pyrrolopyrrole compounds, naphthalene compounds, anthracene compounds, fluorene compounds, Fluoranthene compounds, tetracene compounds, pyrene compounds, coronene compounds, quinolone compounds and azaquinolone compounds, pyrazoline derivatives and pyrazolone derivatives, rhodamine compounds, chrysene compounds, phenanthrene compounds, cyclopentadiene compounds, stilbene compounds, diphenylquinone compounds, styryl compounds, butadiene compounds, Dicyanomethylene pyran compound, dicyanomethylene thiopyran compound, fluorescein compound, pyrilylated Compounds, thiapyrilium compounds, selenapyrilium compounds, telluropyrilium compounds, aromatic aldadiene compounds, oligophenylene compounds, thioxanthene compounds, cyanine compounds, acridine compounds, metal complexes of 8-hydroxyquinoline compounds, metal complexes of 2-bipyridine compounds, Schiff A fluorescent substance such as a complex of a salt and a Group III metal, an oxine metal complex, or a rare earth complex can be used. In addition, known phosphors such as metal complexes that emit phosphorescence such as tris (2-phenylpyridine) iridium can be used. The light emitting layer 17 is formed by using polyfluorene or a derivative thereof, polyphenylene or a derivative thereof, a high molecular compound such as polyarylamine or a derivative thereof, or a mixture of the low molecular compound and the high molecular compound. It is also good.

<電子輸送層>
電子輸送層18は、複数の画素に共通して発光層17および隔壁141、142、143上に形成されており、対向電極20から注入された電子を発光層17へと輸送する機能を有する。電子輸送層18は、例えば、オキサジアゾール誘導体(OXD)、トリアゾール誘導体(TAZ)、フェナンスロリン誘導体(BCP、Bphen)などを用い形成されている。
<Electron transport layer>
The electron transport layer 18 is formed on the light emitting layer 17 and the partitions 141, 142, and 143 in common to a plurality of pixels, and has a function of transporting electrons injected from the counter electrode 20 to the light emitting layer 17. The electron transport layer 18 is formed using, for example, an oxadiazole derivative (OXD), a triazole derivative (TAZ), a phenanthroline derivative (BCP, Bphen) or the like.

<電子注入層>
電子注入層19は、電子輸送層18上に複数の画素に共通して設けられており、対向電極20から発光層17への電子の注入を促進させる機能を有する。
電子注入層19は、例えば、電子輸送性を有する有機材料に、電子注入性を向上させる金属材料がドープされてなる。ここで、ドープとは、金属材料の金属原子または金属イオンを有機材料中に略均等に分散させることを指し、具体的には、有機材料と微量の金属材料を含む単一の相を形成することを指す。なお、それ以外の相、特に、金属片や金属膜など、金属材料のみからなる相、または、金属材料を主成分とする相は、存在していないことが好ましい。また、有機材料と微量の金属材料を含む単一の相において、金属原子または金属イオンの濃度は均一であることが好ましく、金属原子または金属イオンは凝集していないことが好ましい。金属材料としては、アルカリ金属、または、アルカリ土類金属から選択されることが好ましく、BaまたはLiがより好ましい。本実施の形態では、Baが選択される。また、電子注入層19における金属材料のドープ量は5〜40wt%が好ましい。本実施の形態では、20wt%である。電子輸送性を有する有機材料としては、例えば、オキサジアゾール誘導体(OXD)、トリアゾール誘導体(TAZ)、フェナンスロリン誘導体(BCP、Bphen)などのπ電子系低分子有機材料が挙げられる。
<Electron injection layer>
The electron injection layer 19 is provided commonly to a plurality of pixels on the electron transport layer 18 and has a function of promoting the injection of electrons from the counter electrode 20 to the light emitting layer 17.
The electron injection layer 19 is formed, for example, by doping an organic material having electron transportability with a metal material for improving electron injection. Here, doping refers to substantially uniformly dispersing metal atoms or metal ions of a metal material in an organic material, and specifically, forms a single phase containing an organic material and a trace amount of metal material. Point to In addition, it is preferable that the phase which does not have the phase other than that, especially, the phase which consists only of metal materials, such as a metal piece and a metal film, or the phase which has a metal material as a main component does not exist. In addition, in a single phase containing an organic material and a trace amount of metal material, the concentration of metal atoms or metal ions is preferably uniform, and it is preferable that metal atoms or metal ions are not aggregated. The metal material is preferably selected from alkali metals or alkaline earth metals, and more preferably Ba or Li. In the present embodiment, Ba is selected. Moreover, as for the dope amount of the metal material in the electron injection layer 19, 5-40 wt% is preferable. In the present embodiment, it is 20 wt%. Examples of the organic material having electron transportability include π electron low molecular weight organic materials such as oxadiazole derivative (OXD), triazole derivative (TAZ), phenanthroline derivative (BCP, Bphen) and the like.

なお、電子注入層19は、アルカリ金属またはアルカリ土類金属から選択される金属のフッ化物層を発光層17側に有していてもよい。
<対向電極>
対向電極20は、複数の画素に共通して電子注入層19上に形成されており、陰極として機能する。
The electron injection layer 19 may have a fluoride layer of a metal selected from an alkali metal or an alkaline earth metal on the light emitting layer 17 side.
<Counter electrode>
The counter electrode 20 is formed on the electron injection layer 19 in common to a plurality of pixels, and functions as a cathode.

対向電極20は、透光性と導電性とを兼ね備えており、金属材料で形成された金属層、金属酸化物で形成された金属酸化物層のうち少なくとも一方を含んでいる。透光性を確保するため、金属層の膜厚は1nm〜50nm程度である。金属層の材料としては、例えば、Ag、Agを主成分とする銀合金、Al、Alを主成分とするAl合金が挙げられる。Ag合金としては、マグネシウム−銀合金(MgAg)、インジウム−銀合金が挙げられる。Agは、基本的に低抵抗率を有し、Ag合金は、耐熱性、耐腐食性に優れ、長期にわたって良好な電気伝導性を維持できる点で好ましい。Al合金としては、マグネシウム−アルミニウム合金(MgAl)、リチウム−アルミニウム合金(LiAl)が挙げられる。その他の合金として、リチウム−マグネシウム合金、リチウム−インジウム合金が挙げられる。金属酸化物層の材料としては、例えば、ITO(酸化インジウム錫)、IZO(酸化インジウム亜鉛)が挙げられる。   The counter electrode 20 has both light transmitting properties and conductivity, and includes at least one of a metal layer formed of a metal material and a metal oxide layer formed of a metal oxide. The film thickness of the metal layer is about 1 nm to 50 nm in order to ensure light transmittance. Examples of the material of the metal layer include Ag, a silver alloy containing Ag as a main component, Al, and an Al alloy containing Al as a main component. Examples of the Ag alloy include magnesium-silver alloy (MgAg) and indium-silver alloy. Ag basically has a low resistivity, and an Ag alloy is preferable in that it is excellent in heat resistance and corrosion resistance and can maintain good electrical conductivity over a long period of time. Examples of the Al alloy include magnesium-aluminum alloy (MgAl) and lithium-aluminum alloy (LiAl). Other alloys include lithium-magnesium alloys and lithium-indium alloys. Examples of the material of the metal oxide layer include ITO (indium tin oxide) and IZO (indium zinc oxide).

陰極は、金属層単独、または、金属酸化物層単独で構成してもよいが、金属層の上に金属酸化物層を積層した積層構造、あるいは金属酸化物層の上に金属層を積層した積層構造としてもよい。
<封止層>
対向電極20の上には、封止層21が設けられている。封止層21は、基板11の反対側から不純物(水、酸素)が対向電極20、電子注入層19、電子輸送層18、発光層17等へと侵入するのを防ぎ、不純物によるこれらの層の劣化を抑制する機能を有する。封止層21は、窒化シリコン(SiN)、酸窒化シリコン(SiON)などの透光性材料を用い形成される。また、窒化シリコン(SiN)、酸窒化シリコン(SiON)などの材料を用い形成された層の上に、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの樹脂材料からなる封止樹脂層を設けてもよい。
The cathode may be composed of a metal layer alone or a metal oxide layer alone, but a laminated structure in which the metal oxide layer is laminated on the metal layer, or a metal layer is laminated on the metal oxide layer It may be a laminated structure.
<Sealing layer>
A sealing layer 21 is provided on the counter electrode 20. The sealing layer 21 prevents impurities (water, oxygen) from invading the counter electrode 20, the electron injection layer 19, the electron transport layer 18, the light emitting layer 17 and the like from the opposite side of the substrate 11, and these layers Have the function of suppressing the deterioration of The sealing layer 21 is formed using a light transmitting material such as silicon nitride (SiN) or silicon oxynitride (SiON). In addition, a sealing resin layer made of a resin material such as an acrylic resin or an epoxy resin may be provided on a layer formed using a material such as silicon nitride (SiN) or silicon oxynitride (SiON).

本実施の形態においては、有機EL表示パネル100がトップエミッション型であるため、封止層21は光透過性の材料で形成されることが必要となる。
<その他>
なお図1には示されないが、封止層21の上に、封止樹脂を介してカラーフィルタや上部基板を貼り合せてもよい。上部基板を貼り合せることによって、正孔注入層15、正孔輸送層16、発光層17、電子輸送層18、電子注入層19、対向電極20を水分および空気などから保護できる。
In the present embodiment, since the organic EL display panel 100 is a top emission type, the sealing layer 21 needs to be formed of a light transmitting material.
<Others>
Although not shown in FIG. 1, a color filter or an upper substrate may be bonded onto the sealing layer 21 via a sealing resin. By bonding the upper substrate, the hole injection layer 15, the hole transport layer 16, the light emitting layer 17, the electron transport layer 18, the electron injection layer 19, and the counter electrode 20 can be protected from moisture, air, and the like.

<実施の形態に係る隔壁の効果>
以下、模式図を用いて、実施の形態に係る隔壁141、142と、他の構造を有する隔壁との差異について説明する。図3は、実施例および比較例における発光層材料の塗布過程を示す模式断面図である。なお、図中の左右方向はX方向、上下方向はZ方向に対応する。
<Effect of partition according to the embodiment>
Hereinafter, differences between the partition walls 141 and 142 according to the embodiment and a partition wall having another structure will be described using a schematic view. FIG. 3: is a schematic cross section which shows the application | coating process of the light emitting layer material in an Example and a comparative example. The horizontal direction in the drawing corresponds to the X direction, and the vertical direction corresponds to the Z direction.

図3(a)は、全ての隔壁814について高さを同じくし、撥液部分842が形成される高さの範囲を同一とした場合の模式断面図である。全ての隔壁814について同一の材料を用い、同一の工程で形成すると、このような隔壁の構成となる。このとき、発光層の膜厚に係らずピンニングの位置が同一となる。したがって、発光層917aの膜厚に対してピンニングの位置が高いと、図3(a)の発光層917aのように、上面が凹面状となり、膜厚が隔壁に近づくほど厚くなる。一方で、発光層917aの膜厚に対してピンニングの位置が低いと、図3(b)の発光層917bのように、上面が凸面状となり、膜厚が隔壁に近づくほど薄くなる。したがって、発光層の膜厚を均一にするためには、ピンニングの位置と発光層の膜厚が一致している必要があり、発光色に合わせて膜厚を調整することができない。   FIG. 3A is a schematic cross-sectional view in the case where the height is the same for all the partitions 814, and the range of the height in which the liquid repellent portion 842 is formed is the same. When the same material is used for all the partitions 814 and they are formed in the same step, such a configuration of the partitions is obtained. At this time, the pinning positions become the same regardless of the film thickness of the light emitting layer. Therefore, when the pinning position is higher than the film thickness of the light emitting layer 917a, the upper surface becomes concave like the light emitting layer 917a of FIG. 3A, and the film thickness becomes thicker as it approaches the partition wall. On the other hand, when the pinning position is lower than the film thickness of the light emitting layer 917a, the upper surface becomes convex as in the light emitting layer 917b of FIG. 3B, and the film thickness becomes thinner as it approaches the partition wall. Therefore, in order to make the film thickness of the light emitting layer uniform, the pinning position and the film thickness of the light emitting layer need to be the same, and the film thickness can not be adjusted in accordance with the light emission color.

図3(b)は、全ての隔壁824a、824b、843cについて高さを同じくする一方で、撥液部分843a、843b、843cが形成される高さの範囲を、各開口部に形成される発光層の膜厚に合わせて制御した場合の模式断面図である。このとき、ピンニングの位置は開口部ごとに制御することが可能であるため、発光層の膜厚を任意に設計しつつ、かつ、発光層の膜厚を均一にすることができる。その一方で、例えば隔壁824bに着目した場合、発光層927a側の側壁部における撥液部分843bの範囲と、発光層927b側の側壁部における撥液部分843bの範囲が異なる。隔壁824bと撥液部分843bの一体形成ではこのような構造を作るのは困難である。また、全ての開口部においてインクの溢れを抑止するためには、隔壁の高さを最もインク量の多い開口部に合わせて設計する必要があるため、インク量の少ない開口部では、隔壁が過度に高くなる課題も存在する。   In FIG. 3B, while the heights of all the partitions 824a, 824b, and 843c are the same, the range of height in which the liquid repellent portions 843a, 843b, and 843c are formed is light emission formed in each opening. It is a schematic cross section at the time of controlling according to the film thickness of a layer. At this time, since the position of pinning can be controlled for each opening, the film thickness of the light emitting layer can be made uniform while designing the film thickness of the light emitting layer arbitrarily. On the other hand, when focusing on the partition wall 824b, for example, the range of the liquid repellent portion 843b in the side wall portion on the light emitting layer 927a side differs from the range of the liquid repellent portion 843b in the side wall portion on the light emitting layer 927b side. It is difficult to form such a structure by integrally forming the partition wall 824b and the liquid repellent portion 843b. In addition, in order to prevent the ink from overflowing in all the openings, it is necessary to design the height of the partition in accordance with the opening with the largest amount of ink, so in the opening with a small amount of ink, the partition is excessive. There are also challenges that will

これに対し、実施の形態に係る隔壁では、図3(c)の模式断面図に示すように、隔壁141、142において、発光層17aが形成される開口部に面する隔壁部分14pと、発光層17bが形成される開口部に面する隔壁部分14qとの高さが異なる。したがって、発光層17aが形成される開口部については、開口部に面する2つの隔壁部分14pの高さ、および、撥液部分146p、147pの高さの範囲を、発光層17aに合わせて設計することができる。一方で、発光層17bが形成される開口部については、開口部に面する2つの隔壁部分14qの高さ、および、撥液部分146q、147qの高さの範囲を、発光層17bに合わせて設計することができる。したがって、いずれの開口部に対しても、隔壁の開口部に面する側壁部は、開口部に形成される発光層または機能層の特性に合わせて設計が可能となる。さらに、1つの開口部に面する2つの隔壁部分は、隔壁部分の高さも撥液部分の高さの範囲も同一であるため、同種の発光層または機能層に面する複数の隔壁部分を、撥液部分を含めて一度に成型することができる。また、2つの隔壁部分14p、14qはそれぞれ、材料の塗布、パターニング、現像の処理を隔壁部分の高さの種類だけ繰り返すだけで形成できるため、親液部分を形成した後に撥液部分をパターニング形成するよりも作成工程を単純化することができる。   On the other hand, in the partition wall according to the embodiment, as shown in the schematic cross sectional view of FIG. 3C, in the partition walls 141 and 142, the partition wall portion 14p facing the opening where the light emitting layer 17a is formed; The height of the partition wall 14 q facing the opening where the layer 17 b is formed is different. Therefore, for the opening where the light emitting layer 17a is formed, the height of the two partition portions 14p facing the opening and the range of the height of the liquid repellent portions 146p and 147p are designed to match the light emitting layer 17a. can do. On the other hand, for the opening where the light emitting layer 17b is formed, the heights of the two partition portions 14q facing the opening and the range of the heights of the liquid repellent portions 146q and 147q are adjusted to the light emitting layer 17b. It can be designed. Therefore, for any opening, the side wall facing the opening of the partition can be designed according to the characteristics of the light emitting layer or the functional layer formed in the opening. Furthermore, since the two partition parts facing one opening have the same height of the partition part and the height range of the liquid repellent part, plural partition parts facing the same light emitting layer or functional layer are It can be molded at once including the liquid repellent portion. Further, since the two partition portions 14p and 14q can be formed by repeating the application, patterning, and development processes of the material only by the type of height of the partition portions, patterning of the liquid repellent portion is performed after formation of the lyophilic portion. The production process can be simplified rather than

以上説明したように、実施の形態に係る隔壁は、発光層および/または機能層を塗布法で形成時、インクをあふれ出させない構造物として好適である上、膜厚を均一化して有機EL素子の特性向上においても好適である。
2.有機EL表示パネル100の製造方法
<隔壁の製造方法>
次に、有機EL表示パネル100の製造方法について、図面を用い説明する。
As described above, the partition wall according to the embodiment is suitable as a structure that prevents the ink from overflowing when the light emitting layer and / or the functional layer is formed by the application method, and the film thickness is made uniform to make the organic EL element Is also suitable for improving the characteristics of
2. Method of Manufacturing Organic EL Display Panel 100 <Method of Manufacturing Partition Wall>
Next, a method of manufacturing the organic EL display panel 100 will be described using the drawings.

まず、隔壁141、142、143の製造方法について、詳細に説明する。図4から図7は、隔壁141、142、143の製造における各工程での状態を示す模式断面図である。図8は、隔壁141、142、143の製造方法を示すフローチャートである。
なお、本実施の形態では、発光層の膜厚は、赤色発光層、緑色発光層、青色発光層の順に膜厚が大きくなるものとする。
First, the method of manufacturing the partition walls 141, 142, and 143 will be described in detail. FIG. 4 to FIG. 7 are schematic cross-sectional views showing the state in each process of manufacturing the partition walls 141, 142, 143. As shown in FIG. FIG. 8 is a flowchart showing a method of manufacturing the partition walls 141, 142, 143.
In the present embodiment, the film thickness of the light emitting layer is assumed to increase in the order of the red light emitting layer, the green light emitting layer, and the blue light emitting layer.

(1)第1隔壁材料層140Rの形成
図9(a)〜(d)に示すように、基板11上に層間絶縁層12、画素電極13を形成する(詳細は後述する)。
次に、図4(a)に示すように、層間絶縁層12と画素電極13とを覆うように、第1隔壁材料層140Rを形成する(ステップS210)。第1隔壁材料層140Rは、例えば、ネガ型の感光性材料であるアクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、シロキサン系樹脂、フェノール系樹脂に、撥液性を有する界面活性剤であるフッ素化合物が添加されて用いられる。具体的には、例えば、隔壁用樹脂であるフェノール樹脂とフッ素化合物とを溶媒(例えば、PGMEAや乳酸エチルとGBLの混合溶媒)に溶解させた溶液を画素電極13上および層間絶縁層12上にスピンコート法などを用いて一様に塗布することにより形成される。
(1) Formation of First Partition Material Layer 140R As shown in FIGS. 9A to 9D, the interlayer insulating layer 12 and the pixel electrode 13 are formed on the substrate 11 (details will be described later).
Next, as shown in FIG. 4A, the first barrier rib material layer 140R is formed to cover the interlayer insulating layer 12 and the pixel electrode 13 (step S210). In the first partition wall material layer 140R, for example, a fluorine compound which is a surfactant having liquid repellency is added to an acrylic resin, a polyimide resin, a siloxane resin, and a phenol resin which are negative photosensitive materials. Used. Specifically, for example, a solution in which a phenol resin as a partition resin and a fluorine compound are dissolved in a solvent (for example, a mixed solvent of PGMEA or ethyl lactate and GBL) is applied on the pixel electrode 13 and the interlayer insulating layer 12 It is formed by uniformly coating using a spin coating method or the like.

(2)第1隔壁材料層140Rの成形
次に、図4(b)に示すように、フォトマスク201を用いて第1隔壁材料層140Rをパターン露光する(ステップS220)。続けて、図4(c)に示すように、現像によって未硬化の第1隔壁材料層140Rを取り除くことで(ステップS230)、開口部14aRに面する隔壁部分143Rを形成する。
(2) Forming of First Partition Material Layer 140R Next, as shown in FIG. 4B, pattern exposure of the first partition material layer 140R is performed using a photomask 201 (Step S220). Subsequently, as shown in FIG. 4C, the uncured first partition wall material layer 140R is removed by development (Step S230), thereby forming the partition wall portion 143R facing the opening 14aR.

(3)第2隔壁材料層140Gの形成
次に、図5(a)に示すように、層間絶縁層12と画素電極13とを覆うように、第2隔壁材料層140Gを形成する(ステップS240)。第2隔壁材料層140Gの材料としては、例えば、第1隔壁材料層140Rの材料と同様の材料を用いることができる。
(4)第2隔壁材料層140Gの成形
次に、図5(b)に示すように、フォトマスク202を用いて第2隔壁材料層140Gをパターン露光する(ステップS250)。続けて、図5(c)に示すように、現像によって未硬化の第2隔壁材料層140Gを取り除くことで(ステップS260)、開口部14aGに面する隔壁部分143Gを形成する。
(3) Formation of Second Partition Material Layer 140G Next, as shown in FIG. 5A, the second partition material layer 140G is formed to cover the interlayer insulating layer 12 and the pixel electrode 13 (Step S240). ). As a material of the 2nd partition material layer 140G, the material similar to the material of the 1st partition material layer 140R can be used, for example.
(4) Forming of Second Partition Material Layer 140G Next, as shown in FIG. 5B, pattern exposure of the second partition material layer 140G is performed using a photomask 202 (Step S250). Subsequently, as shown in FIG. 5C, by removing the uncured second partition wall material layer 140G by development (Step S260), partition wall portions 143G facing the opening 14aG are formed.

(5)第3隔壁材料層140Bの形成
次に、図6(a)に示すように、層間絶縁層12と画素電極13とを覆うように、第3隔壁材料層140Bを形成する(ステップS270)。第3隔壁材料層140Bの材料としては、例えば、第1隔壁材料層140Rの材料と同様の材料を用いることができる。
(6)第3隔壁材料層140Bの成形
次に、図6(b)に示すように、フォトマスク203を用いて第3隔壁材料層140Bをパターン露光する(ステップS280)。続けて、図6(c)に示すように、現像によって未硬化の第3隔壁材料層140Bを取り除くことで(ステップS290)、開口部14aBに面する隔壁部分143Bを形成する。
(5) Formation of Third Partition Material Layer 140B Next, as shown in FIG. 6A, the third partition material layer 140B is formed so as to cover the interlayer insulating layer 12 and the pixel electrode 13 (step S270). ). As a material of the 3rd partition material layer 140B, the material similar to the material of the 1st partition material layer 140R can be used, for example.
(6) Forming of Third Partition Material Layer 140B Next, as shown in FIG. 6B, the third partition material layer 140B is pattern-exposed using a photomask 203 (step S280). Subsequently, as shown in FIG. 6C, the uncured third partition wall material layer 140B is removed by development (Step S290), thereby forming the partition wall portion 143B facing the opening 14aB.

(7)隔壁層の焼成
最後に、焼成を行うことで、隔壁141、142、143が完成する(ステップS295)。焼成は、例えば、150℃以上250℃以下の温度で60分間行う。
なお、ここでは、第1隔壁材料層140R、第2隔壁材料層140G、第3隔壁材料層140B全ての成形が終了してから一括して焼成を行うとしたが、成形の都度、すなわち、上記(2)の終了後(3)の開始前、(4)の終了後(5)の開始前、(6)の終了後のそれぞれにおいて焼成を行う、としてもよい。このようにすることで、焼成プロセスの回数が増加する反面、例えば、未焼成の隔壁部分143Rが第2隔壁部分143Gを形成するときの現像プロセスによる影響を受けることを抑止することができる。
(7) Firing of Partition Layers Finally, the partitions 141, 142, and 143 are completed by firing (Step S295). The firing is performed, for example, at a temperature of 150 ° C. or more and 250 ° C. or less for 60 minutes.
Here, although it is assumed that firing is collectively performed after the formation of all of the first partition wall material layer 140R, the second partition wall material layer 140G, and the third partition wall material layer 140B is completed, each time molding is performed, that is, After the end of (2), firing may be performed before the start of (3), after the end of (4) before the start of (5), and after the end of (6). By this, while the number of firing processes increases, it is possible to suppress the influence of the unbaked partition portion 143R from the development process when forming the second partition portion 143G, for example.

以上の工程により、図7に示すように、隔壁141、142、143が完成する。このとき、隔壁141の撥液部分146は、開口部14aRに面する撥液部分146Rと開口部14aGに面する撥液部分146Gとを含む。同様に、隔壁142の撥液部分147は、開口部14aGに面する撥液部分147Gと開口部14aBに面する撥液部分147Bとを含む。同様に、隔壁143の撥液部分148は、開口部14aBに面する撥液部分148Bと開口部14aRに面する撥液部分148Rとを含む。開口部14aRに面する両側の撥液部分に着目すると、撥液部分148Rと撥液部分146Rとは、いずれも隔壁部分143Rの一部として形成されたものであるため、その高さの範囲は同一となる。同様に、開口部14aGに面する撥液部分146Gと撥液部分147Gとは、いずれも隔壁部分143Gの一部として形成されたものであるため、その高さの範囲は同一となる。同様に、開口部14aBに面する撥液部分147Bと撥液部分148Bとは、いずれも隔壁部分143Bの一部として形成されたものであるため、その高さの範囲は同一となる。   Through the above steps, as shown in FIG. 7, the partition walls 141, 142, and 143 are completed. At this time, the liquid repellent portion 146 of the partition wall 141 includes the liquid repellent portion 146R facing the opening 14aR and the liquid repellent portion 146G facing the opening 14aG. Similarly, the liquid repellent portion 147 of the partition 142 includes a liquid repellent portion 147G facing the opening 14aG and a liquid repellent portion 147B facing the opening 14aB. Similarly, the liquid repellent portion 148 of the partition wall 143 includes a liquid repellent portion 148B facing the opening 14aB and a liquid repellent portion 148R facing the opening 14aR. Focusing on the liquid repellent portions on both sides facing the opening 14aR, since the liquid repellent portions 148R and the liquid repellent portions 146R are both formed as a part of the partition wall portion 143R, the range of the height is It becomes the same. Similarly, since both the liquid repellent portion 146G and the liquid repellent portion 147G facing the opening 14aG are formed as a part of the partition wall portion 143G, the range of the height is the same. Similarly, since both the liquid repellent portion 147B and the liquid repellent portion 148B facing the opening 14aB are formed as a part of the partition wall portion 143B, the range of the height is the same.

なお、上記説明では隔壁部分143R、143G、143Bの順で形成したが、隔壁部分の形成時の順はこれに限られない。
このように、本実施形態に係る有機EL表示パネル100においては、隔壁のうち開口部に面する隔壁部分の高さが開口部ごとに異なり、かつ、隔壁部分の側壁部は頂部に続く撥液部分を有することを特徴とする。この特徴により、隔壁部分の高さも、撥液部分の高さの範囲によって規定されるピンニング位置も開口部ごとに設計されるため、均質な膜厚の機能層や発光層を形成することができる。
In addition, although it formed in order of the partition part 143R, 143G, 143B in the said description, the order at the time of formation of a partition part is not restricted to this.
As described above, in the organic EL display panel 100 according to the present embodiment, the height of the partition part facing the opening in the partition is different for each opening, and the side wall part of the partition is the liquid repellant continuing from the top It is characterized by having a part. With this feature, both the height of the partition wall portion and the pinning position defined by the range of the height of the liquid repellent portion are designed for each opening, so that a functional layer or a light emitting layer with a uniform film thickness can be formed. .

<有機EL表示パネルの製造方法>
次に、有機EL表示パネル100全体の製造方法について、図面を用い説明する。図9から図11は、有機EL表示パネル100の製造における各工程での状態を示す模式断面図である。また、図12は、有機EL表示パネル100の製造方法を示すフローチャートである。
<Manufacturing method of organic EL display panel>
Next, a method of manufacturing the entire organic EL display panel 100 will be described using the drawings. FIG. 9 to FIG. 11 are schematic cross-sectional views showing the state in each process of manufacturing the organic EL display panel 100. FIG. FIG. 12 is a flowchart showing a method of manufacturing the organic EL display panel 100.

(1)基板11の作成
まず、図9(a)に示すように、基材111上にTFT層112を成膜して基板11を形成する(ステップS1)。TFT層112は、公知のTFTの製造方法により成膜することができる。
次に、図9(b)に示すように、基板11上に層間絶縁層12を形成する(ステップS2)。層間絶縁層12は、例えば、プラズマCVD法、スパッタリング法などを用いて積層形成することができる。
(1) Formation of Substrate 11 First, as shown in FIG. 9A, the TFT layer 112 is formed on the base material 111 to form the substrate 11 (step S1). The TFT layer 112 can be formed by a known TFT manufacturing method.
Next, as shown in FIG. 9B, the interlayer insulating layer 12 is formed on the substrate 11 (step S2). The interlayer insulating layer 12 can be stacked, for example, using a plasma CVD method, a sputtering method, or the like.

次に、層間絶縁層12における、TFT層のソース電極上の箇所にドライエッチングを行い、コンタクトホールを生成する。コンタクトホールは、その底部にソース電極の表面が露出されるように形成される。
次に、コンタクトホールの内壁に沿って接続電極層を形成する。接続電極層の上部は、その一部が層間絶縁層12上に配される。接続電極層の形成は、例えば、スパッタリング法を用いることができ、金属膜を成膜した後、フォトリソグラフィ法およびウェットエッチング法を用いパターニングすることがなされる。
Next, dry etching is performed on the portion of the interlayer insulating layer 12 on the source electrode of the TFT layer to generate a contact hole. The contact hole is formed so that the surface of the source electrode is exposed at the bottom thereof.
Next, a connection electrode layer is formed along the inner wall of the contact hole. A part of the upper portion of the connection electrode layer is disposed on the interlayer insulating layer 12. For example, a sputtering method can be used to form the connection electrode layer, and after forming a metal film, patterning is performed using a photolithography method and a wet etching method.

(2)画素電極13の作成
次に、図9(c)に示すように、層間絶縁層12上に画素電極材料層130を形成する(ステップS3)。画素電極材料層130は、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法などを用いて形成することができる。
そして、図9(d)に示すように、画素電極材料層130をエッチングによりパターニングして、サブピクセルごとに区画された複数の画素電極13を形成する(ステップS4)。
(2) Preparation of Pixel Electrode 13 Next, as shown in FIG. 9C, the pixel electrode material layer 130 is formed on the interlayer insulating layer 12 (step S3). The pixel electrode material layer 130 can be formed using, for example, a vacuum evaporation method, a sputtering method, or the like.
Then, as shown in FIG. 9D, the pixel electrode material layer 130 is patterned by etching to form a plurality of pixel electrodes 13 partitioned for each sub-pixel (step S4).

(3)副壁14bの作成
次に、画素電極13および層間絶縁層12上に、副壁14bの材料である副壁用樹脂を塗布し、副壁材料層を形成する(ステップS5)。副壁樹脂には、例えば、ポジ型の感光性材料であるフェノール樹脂が用いられる。副壁材料層は、フェノール樹脂を溶媒に溶解させた溶液を画素電極13上および層間絶縁層12上にスピンコート法などを用いて一様に塗布することにより形成される。そして、副壁材料層にパターン露光と現像を行うことで副壁14bを形成する。
(3) Preparation of Sub-Wall 14b Next, a sub-wall resin, which is a material of the sub-wall 14 b, is coated on the pixel electrode 13 and the interlayer insulating layer 12 to form a sub-wall material layer (step S5). For example, a phenol resin which is a positive photosensitive material is used as the sub-wall resin. The sub-wall material layer is formed by uniformly applying a solution in which a phenol resin is dissolved in a solvent on the pixel electrode 13 and the interlayer insulating layer 12 using a spin coating method or the like. Then, the sub-wall 14b is formed by performing pattern exposure and development on the sub-wall material layer.

(4)隔壁141、142、143の作成
次に、図9(e)に示すように、画素電極13および層間絶縁層12上に、隔壁141、142、143を形成する(ステップS6)。詳細については図8のステップS210から295として上述したのでここでは説明を省略する。これにより、発光層17の形成領域となる開口部14aが規定される。
(4) Preparation of Partitions 141, 142, 143 Next, as shown in FIG. 9 (e), the partitions 141, 142, 143 are formed on the pixel electrode 13 and the interlayer insulating layer 12 (step S6). The details have been described above as steps S210 to S295 in FIG. Thus, the opening 14 a to be the formation region of the light emitting layer 17 is defined.

なお、ここでは副壁14bの焼成は、隔壁141、142、143の焼成工程(ステップ6、詳細には図8のステップS295)で行うとしたが、(3)の終了後(4)の開始前に、副壁14bのみを焼成してもよい。都度焼成を行うとプロセス回数が増える反面、形成済みかつ未焼成の隔壁141、142、143や副壁14bが現像プロセス等の影響を受けづらくすることができる。   In addition, although it presupposed that baking of the subwall 14b is performed by the baking process (step 6, step S295 of FIG. 8 in detail) of the partition 141 here, after completion | finish of (3) start of (4) Only the side wall 14b may be fired before. If firing is performed each time, the number of processes increases, but the formed and unfired partition walls 141, 142 and 143 and the sub wall 14b can be less affected by the development process and the like.

(5)正孔注入層の成膜
次に、図10(a)に示すように、隔壁141、142、143および副壁14bが規定する開口部14aに対し、正孔注入層15の構成材料を含むインクを、インクジェットヘッド401のノズル4030から吐出して開口部14a内の画素電極13上に塗布し、焼成(乾燥)を行って、正孔注入層15を形成する(ステップS7)。
(5) Film Formation of Hole Injection Layer Next, as shown in FIG. 10A, the material of the hole injection layer 15 with respect to the opening 14a defined by the partition walls 141, 142, 143 and the sub wall 14b. The ink containing the above is discharged from the nozzle 4030 of the ink jet head 401 and applied onto the pixel electrode 13 in the opening 14a, and baking (drying) is performed to form the hole injection layer 15 (step S7).

(6)正孔輸送層の成膜
次に、図10(b)に示すように、正孔輸送層16の構成材料を含むインクを、インクジェットヘッド402のノズル4031から吐出して開口部14a内の正孔注入層15上に塗布し、焼成(乾燥)を行って、正孔輸送層16を形成する(ステップS8)。
(7)発光層の成膜
次に、図10(c)に示すように、発光層17の構成材料を含むインクを、インクジェットヘッド403のノズル4032から吐出して開口部14a内の正孔輸送層16上に塗布し、焼成(乾燥)を行って、発光層17を形成する(ステップS9)。
(6) Film Formation of Hole Transport Layer Next, as shown in FIG. 10B, the ink containing the constituent material of the hole transport layer 16 is discharged from the nozzle 4031 of the ink jet head 402 and the inside of the opening 14a The hole injection layer 15 is coated and baked (dried) to form the hole transport layer 16 (step S8).
(7) Film Formation of Light Emitting Layer Next, as shown in FIG. 10C, the ink containing the constituent material of the light emitting layer 17 is discharged from the nozzle 4032 of the ink jet head 403 to transport the holes in the opening 14a. The light-emitting layer 17 is formed by applying on the layer 16 and baking (drying) (step S9).

(8)電子輸送層の成膜
次に、図11(a)に示すように、発光層17上および隔壁141、142、143上に、電子輸送層18を構成する材料を真空蒸着法またはスパッタリング法により各サブピクセルに共通して成膜し、電子輸送層18を形成する(ステップS10)。
(9)電子注入層の成膜
次に、図11(b)に示すように、電子輸送層18上に、電子注入層19を構成する材料を真空蒸着法またはスパッタリング法により各サブピクセルに共通して成膜し、電子注入層19を形成する(ステップS11)。
(8) Deposition of Electron Transport Layer Next, as shown in FIG. 11A, the material forming the electron transport layer 18 is vacuum deposited or sputtered on the light emitting layer 17 and the partitions 141, 142, and 143. A common film is formed on each sub-pixel by a method to form an electron transport layer 18 (step S10).
(9) Deposition of Electron Injection Layer Next, as shown in FIG. 11B, the material constituting the electron injection layer 19 is common to each sub-pixel on the electron transport layer 18 by vacuum evaporation or sputtering. To form an electron injection layer 19 (step S11).

(10)対向電極の成膜
次に、図11(c)に示すように、電子注入層19上に、対向電極20を構成する材料を真空蒸着法またはスパッタリング法により各サブピクセルに共通して成膜し、対向電極20を形成する(ステップS12)。
(11)封止層の成膜
最後に、図11(d)に示すように、対向電極20上に、封止層を形成する材料をCVD法またはスパッタリング法により各サブピクセルに共通して成膜し、封止層21を形成する(ステップS13)。
(10) Deposition of counter electrode Next, as shown in FIG. 11C, the material forming the counter electrode 20 is commonly used for each sub-pixel on the electron injection layer 19 by vacuum evaporation or sputtering. A film is formed to form the counter electrode 20 (step S12).
(11) Film formation of sealing layer Finally, as shown in FIG. 11D, the material for forming the sealing layer is formed on the counter electrode 20 in common to each sub-pixel by the CVD method or the sputtering method. The film is formed to form the sealing layer 21 (step S13).

以上の工程を経ることにより有機EL表示パネル100が完成する。
なお、封止層21の上にカラーフィルタや上部基板を載置し、接合してもよい。
3.有機EL表示装置の全体構成
図14は、有機EL表示パネル100を備えた有機EL表示装置1000の構成を示す模式ブロック図である。図14に示すように、有機EL表示装置1000は、有機EL表示パネル100と、これに接続された駆動制御部200とを含む構成である。駆動制御部200は、4つの駆動回路210〜240と、制御回路250とから構成されている。
The organic EL display panel 100 is completed through the above steps.
Note that a color filter or an upper substrate may be placed on the sealing layer 21 and bonded.
3. Overall Configuration of Organic EL Display Device FIG. 14 is a schematic block diagram showing a configuration of an organic EL display device 1000 provided with the organic EL display panel 100. As shown in FIG. As shown in FIG. 14, the organic EL display device 1000 includes an organic EL display panel 100 and a drive control unit 200 connected to the organic EL display panel 100. The drive control unit 200 includes four drive circuits 210 to 240 and a control circuit 250.

なお、実際の有機EL表示装置1000では、有機EL表示パネル100に対する駆動制御部200の配置については、これに限られない。
4.変形例
(1)上記実施の形態においては、全ての隔壁を同様の材料で形成する場合について説明した。しかしながら、以下のような実施の形態であってもよい。例えば、各隔壁部分の材料について、隔壁部分の体積が大きいほど界面活性剤の含有率が少なくなるように、隔壁部分の材料における界面活性剤の添加量を変化させる。このようにすると、図13(a)の模式断面図に示すように、各隔壁部分の高さがhR、hG、hBと変化させる一方で、いずれの隔壁部分においても撥液部分の高さの範囲をhaと一定とすることができる。
In the actual organic EL display device 1000, the arrangement of the drive control unit 200 with respect to the organic EL display panel 100 is not limited to this.
4. Modifications (1) In the above embodiment, the case where all the partition walls are formed of the same material has been described. However, the following embodiment may be adopted. For example, with respect to the material of each partition portion, the amount of surfactant added to the material of the partition portion is changed so that the content of the surfactant decreases as the volume of the partition portion increases. By doing this, as shown in the schematic cross sectional view of FIG. 13A, while the height of each partition portion is changed to h R , h G and h B , the liquid repellent portion is also formed in any of the partition portions. the height range of the can be made constant and h a.

また、例えば、隔壁部分ごとに、形成する材料や添加物の比率を変化させることで、それぞれの高さおよび撥液部分の高さを任意に設計することができる。例えば、図13(b)の模式断面図に示すように、開口部14aRに面する隔壁部分の高さhRおよび撥液部分の高さの範囲hr、開口部14aGに面する隔壁部分の高さhGおよび撥液部分の高さの範囲hg、開口部14aBに面する隔壁部分の高さhBおよび撥液部分の高さの範囲hb、を、それぞれ独立に設計してもよい。 Further, for example, by changing the ratio of the material and the additive to be formed for each partition portion, the height of each of the liquid repellent portions can be designed arbitrarily. For example, as shown in the schematic cross-sectional view of FIG. 13B, the height h R of the partition facing the opening 14aR and the range h r of the height of the liquid repellent portion, and the partition facing the opening 14aG Even if the height h G and the range h g of the height of the liquid repellent portion, the height h B of the partition facing the opening 14 a B and the range h b of the height of the liquid repellent portion are each independently designed Good.

(2)上記実施の形態においては、R、G、Bのそれぞれに発光する3種類の発光層を設けた有機EL表示パネルについて説明したが、発光層の種類は2種類であってもよいし、4種類以上であってもよい。ここで、発光層の種類とは発光層や機能層の膜厚のバリエーションを指すものであり、同一の発光色であっても発光層や機能層の膜厚が異なる場合は、種類が異なる発光層と考えてよい。また、発光層の配置についても、RGBRGB…の配置に限られず、RGBBGRRGB…の配置であってもよいし、画素と画素との間に補助電極層やその他の非発光領域を設けてもよい。このとき、両側の発光層の種類が同一である隔壁については、一方の開口部に面する隔壁部分と他方の開口部に面する隔壁部分とが同一構造である、従来構成の隔壁であってもよい。また、片側のみに発光層が設けられる隔壁については、従来構成の隔壁であってもよいし、または、発光層が設けられる開口部に面する隔壁部分のみを有し、発光部が設けられない側の構造を有さない隔壁であってもよい。   (2) In the above embodiment, the organic EL display panel in which three types of light emitting layers for emitting R, G, and B are provided has been described, but the number of types of light emitting layers may be two. And may be four or more. Here, the type of the light emitting layer refers to the variation of the film thickness of the light emitting layer or the functional layer, and even if the light emitting color is the same, when the film thickness of the light emitting layer or the functional layer is different, light emission of different types is emitted. You can think of it as a layer. The arrangement of the light emitting layers is not limited to the arrangement of RGBRGB... But may be the arrangement of RGBBGRRGB... Or an auxiliary electrode layer or another non-light emitting area may be provided between the pixels. At this time, the partition having the same type of light emitting layer on both sides is a partition having a conventional configuration in which the partition facing the one opening and the partition facing the other opening have the same structure. It is also good. Moreover, about the partition in which a light emitting layer is provided only in one side, it may be a partition of a conventional structure, or it has only the partition part facing the opening part in which a light emitting layer is provided, and a light emission part is not provided. It may be a partition which does not have a side structure.

(3)上記実施の形態においては、有機EL素子1において正孔注入層15、正孔輸送層16、発光層17は全て塗布法により形成されるとしたが、少なくとも1つが塗布法で形成されればよく、それ以外の層は他の方法、例えば、蒸着法、スパッタリング法などにより形成されるとしてもよい。
また、正孔注入層15、正孔輸送層16、電子輸送層18、電子注入層19は必ずしも上記実施の形態の構成である必要はない。いずれか1以上を備えないとしてもよいし、さらにほかの機能層を備えていてもよい。また、例えば、電子輸送層18と電子注入層19に替えて、単一の電子注入輸送層を備える、としてもよい。
(3) In the above embodiment, the hole injection layer 15, the hole transport layer 16, and the light emitting layer 17 in the organic EL element 1 are all formed by the coating method, but at least one is formed by the coating method. The other layers may be formed by other methods, for example, a vapor deposition method, a sputtering method, and the like.
In addition, the hole injection layer 15, the hole transport layer 16, the electron transport layer 18, and the electron injection layer 19 do not necessarily have the configuration of the above embodiment. One or more may not be provided, and another functional layer may be further provided. Also, for example, instead of the electron transport layer 18 and the electron injection layer 19, a single electron injection transport layer may be provided.

(4)上記実施の形態においては、有機EL表示パネルはトップエミッション型であるとして、画素電極が光反射性を有し、対向電極が光透過性を有する場合について説明した。しかしながら、本開示に係る有機EL表示パネルは、いわゆるボトムエミッション型であるとしてもよい。
(5)以上、本開示に係る有機EL表示パネルおよび有機EL表示装置について、実施の形態および変形例に基づいて説明したが、本発明は、上記の実施の形態および変形例に限定されるものではない。上記実施の形態および変形例に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で実施の形態および変形例における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
(4) In the above embodiment, the organic EL display panel is of the top emission type, and the case where the pixel electrode has light reflectivity and the counter electrode has light transparency has been described. However, the organic EL display panel according to the present disclosure may be a so-called bottom emission type.
(5) Although the organic EL display panel and the organic EL display device according to the present disclosure have been described above based on the embodiment and the modification, the present invention is limited to the above embodiment and the modification is not. By arbitrarily combining the components and functions in the embodiment and the modification within the scope not departing from the spirit of the present invention, the embodiment obtained by applying various modifications that the person skilled in the art thinks to the above embodiment and the modification The forms to be realized are also included in the present invention.

本発明は、発光層、機能層のうち少なくとも1つを塗布法で形成する有機EL表示パネルにおいて、発光層、機能層の膜厚を均一化することにより、発光特性の優れた有機EL表示パネルを製造するのに有用である。   The present invention is an organic EL display panel in which at least one of a light emitting layer and a functional layer is formed by a coating method, the organic EL display panel having excellent light emitting characteristics by making the film thickness of the light emitting layer and the functional layer uniform. Useful for manufacturing

1 有機EL素子
11 基板
111 基材
112 TFT層
12 層間絶縁層
13 画素電極
141、142、143 隔壁
146、147、148 撥液部分
14a 開口部
14b 副壁
14p、14q 隔壁部分
15 正孔注入層
16 正孔輸送層
17 発光層
18 電子輸送層
19 電子注入層
20 対向電極
21 封止層
100 有機EL表示パネル
1000 有機EL表示装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 organic EL element 11 board | substrate 111 base material 112 TFT layer 12 interlayer insulation layer 13 pixel electrode 141, 142, 143 partition 146, 147, 148 liquid repellent part 14a opening part 14b subwall 14p, 14q partition part 15 hole injection layer 16 Hole transport layer 17 Light emitting layer 18 Electron transport layer 19 Electron injection layer 20 Counter electrode 21 Sealing layer 100 Organic EL display panel 1000 Organic EL display device

Claims (13)

基板と、
前記基板の上方に行列状に配される複数の画素電極と、
前記基板の上方に配され、行方向における前記画素電極の間隙上に列方向に延伸する複数の隔壁と、
行方向に隣接する前記隔壁間の複数の間隙から選択される第1間隙において、前記画素電極の上方に配される第1発光層と、
前記第1間隙に行方向に隣接する第2間隙において、前記画素電極の上方に配される第2発光層と、
前記第1発光層の上方および前記第2発光層の上方に配される対向電極と
を備え、
前記第1発光層の膜厚は、前記第2発光層の膜厚より厚く、
前記第1間隙と前記第2間隙との間に存在する隔壁のうち、前記第1間隙側にある第1隔壁部分の高さは、前記第2間隙側にある第2隔壁部分の高さより高く、
前記第1隔壁部分の側壁部と前記第1発光層とが接する第1ピンニング位置は、前記第2隔壁部分の側壁部と第2発光層とが接する第2ピンニング位置よりも高い
ことを特徴とする有機EL表示パネル。
A substrate,
A plurality of pixel electrodes arranged in a matrix above the substrate;
A plurality of partition walls disposed above the substrate and extending in the column direction on the gaps of the pixel electrodes in the row direction;
A first light emitting layer disposed above the pixel electrode in a first gap selected from a plurality of gaps between the partitions adjacent in a row direction;
A second light emitting layer disposed above the pixel electrode in a second gap adjacent to the first gap in the row direction;
A counter electrode disposed above the first light emitting layer and above the second light emitting layer;
The film thickness of the first light emitting layer is thicker than the film thickness of the second light emitting layer,
Among the partitions present between the first gap and the second gap, the height of the first partition portion on the first gap side is higher than the height of the second partition portion on the second gap side. ,
The first pinning position at which the side wall portion of the first partition wall portion contacts the first light emitting layer is higher than the second pinning position at which the side wall portion of the second partition wall portion contacts the second light emitting layer. Organic EL display panel.
前記第1ピンニング位置は前記第1隔壁部分の高さに依拠した高さを有し、
前記第2ピンニング位置は前記第2隔壁部分の高さに依拠した高さを有する
請求項1に記載の有機EL表示パネル。
The first pinning position has a height depending on the height of the first partition portion,
The organic EL display panel according to claim 1, wherein the second pinning position has a height depending on the height of the second partition wall portion.
前記第1ピンニング位置の高さは、前記第1隔壁部分の高さに第1の係数を乗算した高さであり、
前記第2ピンニング位置の高さは、前記第2隔壁部分の高さに第2の係数を乗算した高さである
請求項2に記載の有機EL表示パネル。
The height of the first pinning position is a height obtained by multiplying the height of the first partition portion by a first coefficient,
The organic EL display panel according to claim 2, wherein the height of the second pinning position is a height obtained by multiplying the height of the second partition wall portion by a second coefficient.
前記第1の係数と、前記第2の係数とは異なる
請求項3に記載の有機EL表示パネル。
The organic EL display panel according to claim 3, wherein the first coefficient and the second coefficient are different.
前記第1ピンニング位置の高さは、前記第1隔壁部分の高さから所定の厚みを減算した高さであり、
前記第2ピンニング位置の高さは、前記第2隔壁部分の高さから前記所定の厚みを減算した高さである
請求項2に記載の有機EL表示パネル。
The height of the first pinning position is a height obtained by subtracting a predetermined thickness from the height of the first partition wall portion,
The organic EL display panel according to claim 2, wherein the height of the second pinning position is a height obtained by subtracting the predetermined thickness from the height of the second partition wall portion.
前記第1隔壁部分と、前記第2隔壁部分とは、それぞれ、絶縁性の樹脂材料からなり、撥液性を有する界面活性剤を含んでなる
請求項1から5のいずれか1項に記載の有機EL表示パネル。
The said 1st partition part and the said 2nd partition part consist of an insulating resin material, respectively, and contain surfactant which has liquid repellency. Organic EL display panel.
前記界面活性剤は、フッ素系化合物、または、シリコーン系化合物である
請求項6に記載の有機EL表示パネル。
The organic EL display panel according to claim 6, wherein the surfactant is a fluorine-based compound or a silicone-based compound.
前記第1隔壁部分の前記第1発光層に面する側壁部において、前記第1ピンニング位置より高い部分は、前記第1ピンニング位置より低い部分より、前記界面活性剤の含有率が高く、
前記第2隔壁部分の前記第2発光層に面する側壁部において、前記第2ピンニング位置より高い部分は、前記第2ピンニング位置より低い部分より、前記界面活性剤の含有率が高い
請求項6または7に記載の有機EL表示パネル。
In a side wall portion of the first partition portion facing the first light emitting layer, a portion higher than the first pinning position has a higher content of the surfactant than a portion lower than the first pinning position,
In the side wall portion of the second partition portion facing the second light emitting layer, the content of the surfactant is higher in a portion higher than the second pinning position than in the portion lower than the second pinning position. Or the organic electroluminescent display panel as described in 7.
請求項1から8のいずれか1項に記載の有機EL表示パネルを備える有機EL表示装置。   An organic EL display device comprising the organic EL display panel according to any one of claims 1 to 8. 基板を準備する工程と、
前記基板の上方において、行列状に複数の画素電極を形成する工程と、
前記基板の上方において、行方向に前記画素電極を区画するように、列方向に沿って隔壁を複数形成する工程と、
行方向に隣接する前記隔壁間の複数の間隙から選択される第1間隙に、発光材料を含むインクを塗布して第1発光層を形成する工程と、
前記第1間隙に行方向に隣接する第2間隙に、発光材料を含むインクを塗布して、前記第1発光層の膜厚より薄い膜厚を有する第2発光層を形成する工程と、
前記第1発光層および前記第2発光層の上方に対向電極を形成する工程と
を含み、
前記隔壁を複数形成する工程において、
前記第1間隙に隣接する第1隔壁部分の高さを、前記第2間隙に隣接する第2隔壁部分の高さより高く形成し、
前記第1隔壁部分の前記第1間隙に面する側壁部と、前記第2隔壁部分の前記第2隔壁に面する側壁部とに、それぞれ、頂部から続く撥液部分を形成する
ことを特徴とする有機EL表示パネルの製造方法。
Preparing the substrate;
Forming a plurality of pixel electrodes in a matrix form above the substrate;
Forming a plurality of partitions along the column direction so as to partition the pixel electrodes in the row direction above the substrate;
Applying an ink containing a light emitting material to a first gap selected from a plurality of gaps between the partitions adjacent in a row direction to form a first light emitting layer;
Applying an ink containing a light emitting material to a second gap adjacent to the first gap in the row direction to form a second light emitting layer having a thickness smaller than that of the first light emitting layer;
Forming a counter electrode above the first light emitting layer and the second light emitting layer,
In the step of forming a plurality of the partition walls,
The height of the first partition portion adjacent to the first gap is formed higher than the height of the second partition portion adjacent to the second gap,
A liquid repellent portion continuing from the top is formed on each of a side wall portion facing the first gap of the first partition wall portion and a side wall portion facing the second partition wall of the second partition wall portion. Of manufacturing organic EL display panel.
前記隔壁を複数形成する工程において、前記隔壁の材料として撥液性を有する界面活性剤を含む樹脂材料を用い、前記隔壁のうち前記界面活性剤の含有率が所定の割合以上の部分を前記撥液部分とする
ことを特徴とする請求項10に記載の有機EL表示パネルの製造方法。
In the step of forming a plurality of the partition walls, a resin material containing a liquid repellent surfactant is used as a material of the partition walls, and in the partition walls, a portion having a predetermined content of the surfactant is repellent A method of manufacturing an organic EL display panel according to claim 10, wherein the liquid portion is used.
前記界面活性剤として、フッ素系化合物、または、シリコーン系化合物を用いる
ことを特徴とする請求項11に記載の有機EL表示パネルの製造方法。
A method of manufacturing an organic EL display panel according to claim 11, wherein a fluorine-based compound or a silicone-based compound is used as the surfactant.
前記隔壁を複数形成する工程において、前記第1隔壁部分の形成を行った後、前記第2隔壁形成部分の形成を行う
ことを特徴とする請求項10から12のいずれか1項に記載の有機EL表示パネルの製造方法。
The process according to any one of claims 10 to 12, wherein, in the step of forming a plurality of the barrier ribs, after the formation of the first barrier rib portion, the formation of the second barrier rib forming portion is performed. Manufacturing method of EL display panel.
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