JP2019089224A - Head chip, liquid jet head, and liquid jet recording device - Google Patents

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JP2019089224A JP2017218101A JP2017218101A JP2019089224A JP 2019089224 A JP2019089224 A JP 2019089224A JP 2017218101 A JP2017218101 A JP 2017218101A JP 2017218101 A JP2017218101 A JP 2017218101A JP 2019089224 A JP2019089224 A JP 2019089224A
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大地 西川
Daichi Nishikawa
大地 西川
祐樹 山村
Yuki Yamamura
祐樹 山村
知季 亀山
Tomoki Kameyama
知季 亀山
小林　美咲
Misaki Kobayashi
美咲 小林
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

To provide a head chip, a liquid jet head and a liquid jet recording device capable of reducing a size.SOLUTION: A head chip 41 includes an actuator plate 412 having a plurality of discharge grooves C1e and C2e which are aligned in a first direction and extend in a second direction crossing the first direction, a nozzle plate 411 bonded to a first surface 471 of the actuator plate 412, and a cover plate 413 which covers the actuator plate 412 and is bonded to a second surface 472 of the actuator plate 412. The cover plate 413 has wall parts W1 and W2 covering each of the plurality of discharge grooves C1e and C2e. On the first surface 471, a first opening 481 is partially formed on the discharge grooves C1e and C2e, and in the second direction, a length La of the first opening 481 of the discharge grooves C1e and C2e is shorter than each length Lw of the wall parts W1 and W2.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置に関する。   The present disclosure relates to a head chip, a liquid jet head, and a liquid jet recording apparatus.

液体噴射記録装置の１つとして、記録紙等の被記録媒体にインク（液体）を吐出（噴射）して画像や文字等の記録を行う、インクジェット方式の記録装置が提供されている（例えば特許文献１参照）。この方式の液体噴射記録装置では、インクタンクからインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）へインクを供給し、このインクジェットヘッドのノズル孔から被記録媒体に対してインクを吐出することで、画像や文字等の記録が行われるようになっている。また、このようなインクジェットヘッドには、インクを吐出するヘッドチップが設けられている。   As one of liquid jet recording apparatuses, there is provided an ink jet recording apparatus which ejects ink (liquid) onto a recording medium such as recording paper to record images, characters, etc. (for example, a patent) Reference 1). In the liquid jet recording apparatus of this type, the ink is supplied from the ink tank to the ink jet head (liquid jet head), and the ink is ejected from the nozzle holes of the ink jet head to the recording medium to print an image, characters, etc. Recording is to be done. In addition, such an inkjet head is provided with a head chip for ejecting ink.

特開２０１７−１０９３８６号公報JP, 2017-109386, A

このようなヘッドチップ等では一般に、ヘッドチップを小型化することが求められている。小型化が可能なヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供することが望ましい。   In such a head chip etc., it is generally required to miniaturize the head chip. It is desirable to provide a head chip, a liquid jet head, and a liquid jet recording apparatus that can be miniaturized.

本開示の一実施の形態に係るヘッドチップは、液体を噴射するヘッドチップであって、第１の面と、第１の面とは反対側に設けられた第２の面と、第１の方向に沿って並設され、かつ第１の方向に交差する第２の方向に延在する複数の吐出溝とを有するアクチュエータプレートと、複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有すると共に、アクチュエータプレートの第１の面に接合されるノズルプレートと、アクチュエータプレートを覆うと共に、アクチュエータプレートの第２の面に接合されるカバープレートとを備えたものである。カバープレートは、複数の吐出溝をそれぞれ覆う壁部を有している。壁部は、第１の方向に延在すると共に、第２の方向に長さを有している。第１の面において、吐出溝に部分的に第１の開口が形成されており、第２の方向において、壁部の長さに対して、吐出溝の第１の開口の長さが短くなっている。   A head chip according to an embodiment of the present disclosure is a head chip that ejects a liquid, and includes a first surface, a second surface provided on the opposite side to the first surface, and a first surface. An actuator plate having a plurality of discharge grooves arranged in parallel along a direction and extending in a second direction crossing the first direction, and a plurality of nozzle holes individually communicating with the plurality of discharge grooves And a nozzle plate joined to the first surface of the actuator plate, and a cover plate covering the actuator plate and joined to the second surface of the actuator plate. The cover plate has wall portions that respectively cover the plurality of discharge grooves. The wall extends in the first direction and has a length in the second direction. In the first surface, a first opening is partially formed in the discharge groove, and in the second direction, the length of the first opening of the discharge groove is shorter than the length of the wall portion ing.

本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、上記本開示の一実施の形態に係るヘッドチップを備えたものである。   A liquid jet head according to an embodiment of the present disclosure includes a head chip according to an embodiment of the present disclosure.

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置は、上記本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドと、液体を収容する収容部とを備えたものである。   A liquid jet recording apparatus according to an embodiment of the present disclosure includes the liquid jet head according to an embodiment of the present disclosure, and a storage unit for storing a liquid.

本開示の一実施の形態に係るヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置によれば、小型化が可能となる。   According to the head chip, the liquid jet head, and the liquid jet recording apparatus according to an embodiment of the present disclosure, downsizing can be achieved.

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置の概略構成例を表す模式斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view illustrating a schematic configuration example of a liquid jet recording apparatus according to an embodiment of the present disclosure. 図１に示した液体噴射ヘッドの要部構成例を表す模式底面図である。FIG. 7 is a schematic bottom view showing an example of a configuration of main parts of the liquid jet head shown in FIG. 1. 図２に示したヘッドチップにおけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面構成例を表す模式図である。FIG. 3 is a schematic view illustrating an example of a cross-sectional configuration along a line III-III in the head chip shown in FIG. 2; 図２に示したＩＶ−ＩＶ線に沿ったヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。FIG. 4 is a schematic view illustrating an example of a cross-sectional configuration of a head chip along a line IV-IV illustrated in FIG. 2. 図２に示したＶ−Ｖ線に沿ったヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。FIG. 5 is a schematic view illustrating an example of the cross-sectional configuration of the head chip along the line V-V illustrated in FIG. 2. 図２に示したヘッドチップにおけるアクチュエータプレートの要部構成例を表す上面図である。FIG. 5 is a top view illustrating an example of a main configuration of an actuator plate in the head chip shown in FIG. 2; 図２に示したヘッドチップにおけるカバープレートの要部構成例を表す底面図である。It is a bottom view showing the example of principal part composition of the cover plate in the head chip shown in FIG. 図２に示したヘッドチップにおけるカバープレートの要部構成例を表す上面図である。FIG. 7 is a top view illustrating an example of a main configuration of a cover plate in the head chip shown in FIG. 2. 比較例に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。It is a schematic diagram showing the cross-sectional structural example of the head chip which concerns on a comparative example. 変形例１に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。FIG. 10 is a schematic view illustrating an example of a cross-sectional configuration of a head chip according to a modification example 1; 変形例２に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。FIG. 11 is a schematic view illustrating an example of a cross-sectional configuration of a head chip according to a modification example 2; 変形例３に係るヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。FIG. 16 is a schematic view illustrating an example of a cross-sectional configuration of a head chip according to a modification 3;

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（吐出溝を覆う壁部の長さに対して、吐出溝の開口の長さと非吐出溝の開口の長さとが短くなっている例）
２．変形例
変形例１（アクチュエータプレートにおいて、非吐出溝が端面において開口している例）
変形例２（吐出溝を覆う壁部の長さに対して、非吐出溝の開口の長さが長くなっている例）
変形例３（非吐出溝の溝深さが一定となっている例）
３．その他の変形例
Hereinafter, embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the drawings. The description will be made in the following order.
1. Embodiment (example in which the length of the opening of the discharge groove and the length of the opening of the non-discharge groove are shorter than the length of the wall covering the discharge groove)
2. Modifications Modification 1 (an example in which a non-discharge groove is opened at an end face of an actuator plate)
Modification 2 (example in which the length of the opening of the non-discharge groove is longer than the length of the wall covering the discharge groove)
Modification 3 (example in which the groove depth of the non-ejection groove is constant)
3. Other variations

＜１．実施の形態＞
［プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ１の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。このプリンタ１は、後述するインク９を利用して、被記録媒体としての記録紙Ｐに対して、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。 <1. Embodiment>
[Overall Configuration of Printer 1]
FIG. 1 is a schematic perspective view of a schematic configuration example of a printer 1 as a liquid jet recording apparatus according to an embodiment of the present disclosure. The printer 1 is an ink jet printer which performs recording (printing) of an image, characters and the like on a recording paper P as a recording medium using an ink 9 described later.

プリンタ１は、図１に示したように、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、循環機構５と、走査機構６とを備えている。これらの各部材は、所定形状を有する筺体１０内に収容されている。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。   As shown in FIG. 1, the printer 1 includes a pair of transport mechanisms 2 a and 2 b, an ink tank 3, an inkjet head 4, a circulation mechanism 5, and a scanning mechanism 6. Each of these members is accommodated in a housing 10 having a predetermined shape. In addition, in each drawing used for description of this specification, in order to make each member into a recognizable size, the scale of each member is suitably changed.

ここで、プリンタ１は、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応し、インクジェットヘッド４（後述するインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）は、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。また、インク９は、本開示における「液体」の一具体例に対応している。   Here, the printer 1 corresponds to a specific example of the "liquid jet recording apparatus" in the present disclosure, and the inkjet head 4 (inkjet heads 4Y, 4M, 4C, 4B described later) corresponds to the "liquid jet head" in the present disclosure. Corresponds to one specific example. In addition, the ink 9 corresponds to one specific example of the "liquid" in the present disclosure.

搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、図１に示したように、記録紙Ｐを搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送する機構である。これらの搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１、ピンチローラ２２および駆動機構（不図示）を有している。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２はそれぞれ、Ｙ軸方向（記録紙Ｐの幅方向）に沿って延設されている。駆動機構は、グリッドローラ２１を軸周りに回転させる（Ｚ−Ｘ面内で回転させる）機構であり、例えばモータ等によって構成されている。   Each of the transport mechanisms 2a and 2b transports the recording sheet P along the transport direction d (X-axis direction), as shown in FIG. Each of the transport mechanisms 2a and 2b has a grid roller 21, a pinch roller 22, and a drive mechanism (not shown). The grid roller 21 and the pinch roller 22 are respectively extended along the Y-axis direction (the width direction of the recording paper P). The drive mechanism is a mechanism for rotating the grid roller 21 around the axis (for rotation in the ZX plane), and is constituted by, for example, a motor or the like.

（インクタンク３）
インクタンク３は、インク９を内部に収容するタンクである。このインクタンク３としては、この例では図１に示したように、イエロー（Ｙ），マゼンダ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｂ）の４色のインク９を個別に収容する、４種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインク９を収容するインクタンク３Ｙと、マゼンダのインク９を収容するインクタンク３Ｍと、シアンのインク９を収容するインクタンク３Ｃと、ブラックのインク９を収容するインクタンク３Ｂとが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂは、筺体１０内において、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。 (Ink tank 3)
The ink tank 3 is a tank that accommodates the ink 9 therein. In this example, as this ink tank 3, as shown in FIG. 1, four colors of ink 9 of yellow (Y), magenta (M), cyan (C) and black (B) are separately stored. 4 There are different types of tanks. That is, an ink tank 3Y containing yellow ink 9, an ink tank 3M containing magenta ink 9, an ink tank 3C containing cyan ink 9, and an ink tank 3B containing black ink 9 It is provided. The ink tanks 3Y, 3M, 3C, 3B are arranged in the housing 10 along the X-axis direction.

なお、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂはそれぞれ、収容するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクタンク３と総称して説明する。また、このインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）は、本開示における「収容部」の一具体例に対応している。   The ink tanks 3Y, 3M, 3C, and 3B have the same configuration except for the color of the ink 9 to be stored. The ink tanks 3 (3Y, 3M, 3C, 3B) correspond to one specific example of the "accommodating portion" in the present disclosure.

（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、後述する複数のノズル（ノズル孔Ｈ１，Ｈ２）から記録紙Ｐに対して液滴状のインク９を噴射（吐出）して、画像や文字等の記録を行うヘッドである。このインクジェットヘッド４としても、この例では図１に示したように、上記したインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂにそれぞれ収容されている４色のインク９を個別に噴射する、４種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｙと、マゼンダのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｍと、シアンのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｃと、ブラックのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｂとが設けられている。これらのインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、筺体１０内において、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。 (Ink jet head 4)
The inkjet head 4 is a head that ejects (discharges) ink 9 in the form of droplets from a plurality of nozzles (nozzle holes H1 and H2) described later onto the recording paper P, and records an image, characters, and the like. Also as this inkjet head 4, as shown in FIG. 1 in this example, four types of heads that individually eject four colors of ink 9 stored in the above-described ink tanks 3 Y, 3 M, 3 C, 3 B Is provided. That is, an inkjet head 4Y for ejecting yellow ink 9, an inkjet head 4M for ejecting magenta ink 9, an inkjet head 4C for ejecting cyan ink 9, and an inkjet head 4B for ejecting black ink 9 It is provided. The inkjet heads 4Y, 4M, 4C, and 4B are arranged in the housing 10 along the Y-axis direction.

なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂはそれぞれ、利用するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクジェットヘッド４と総称して説明する。また、このインクジェットヘッド４の詳細構成については、後述する（図２〜図８）。   The ink jet heads 4Y, 4M, 4C, and 4B have the same configuration except for the color of the ink 9 to be used. Moreover, the detailed structure of this inkjet head 4 is mentioned later (FIGS. 2-8).

（循環機構５）
循環機構５は、インクタンク３内とインクジェットヘッド４内との間でインク９を循環させるための機構である。この循環機構５は、例えば、インク９を循環させるための流路である循環流路５０と、一対の送液ポンプ５２ａ，５２ｂとを含んで構成されている。 (Circulation mechanism 5)
The circulation mechanism 5 is a mechanism for circulating the ink 9 between the inside of the ink tank 3 and the inside of the ink jet head 4. The circulation mechanism 5 includes, for example, a circulation flow passage 50 which is a flow passage for circulating the ink 9, and a pair of liquid feed pumps 52a and 52b.

循環流路５０は、図１に示したように、インクタンク３から送液ポンプ５２ａを介してインクジェットヘッド４へと至る部分である流路５０ａと、インクジェットヘッド４から送液ポンプ５２ｂを介してインクタンク３へと至る部分である流路５０ｂとを有している。言い換えると、流路５０ａは、インクタンク３からインクジェットヘッド４へと向かって、インク９が流れる流路である。また、流路５０ｂは、インクジェットヘッド４からインクタンク３へと向かって、インク９が流れる流路である。なお、これらの流路５０ａ，５０ｂ（インク９の供給チューブ）はそれぞれ、可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。   As shown in FIG. 1, the circulation flow path 50 is a flow path 50a which is a portion from the ink tank 3 to the inkjet head 4 via the liquid feed pump 52a, and the ink jet head 4 via the liquid feed pump 52b. And a flow path 50 b which is a portion leading to the ink tank 3. In other words, the flow path 50 a is a flow path in which the ink 9 flows from the ink tank 3 toward the ink jet head 4. Further, the flow path 50 b is a flow path in which the ink 9 flows from the ink jet head 4 to the ink tank 3. In addition, these flow paths 50a and 50b (supply tubes of the ink 9) are respectively configured by flexible hoses having flexibility.

（走査機構６）
走査機構６は、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド４を走査させる機構である。この走査機構６は、図１に示したように、Ｙ軸方向に沿って延設された一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、これらのガイドレール６１ａ，６１ｂに移動可能に支持されたキャリッジ６２と、このキャリッジ６２をＹ軸方向に沿って移動させる駆動機構６３と、を有している。また、駆動機構６３は、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置された一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、これらのプーリ６３１ａ，６３１ｂ間に巻回された無端ベルト６３２と、プーリ６３１ａを回転駆動させる駆動モータ６３３と、を有している。 (Scanning mechanism 6)
The scanning mechanism 6 is a mechanism that scans the inkjet head 4 along the width direction (Y-axis direction) of the recording paper P. As shown in FIG. 1, the scanning mechanism 6 includes a pair of guide rails 61a and 61b extending along the Y-axis direction, and a carriage 62 movably supported by the guide rails 61a and 61b. And a drive mechanism 63 for moving the carriage 62 along the Y-axis direction. The drive mechanism 63 also includes a pair of pulleys 631a and 631b disposed between the guide rails 61a and 61b, an endless belt 632 wound between the pulleys 631a and 631b, and a drive for rotating the pulley 631a. And a motor 633.

プーリ６３１ａ，６３１ｂはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って、各ガイドレール６１ａ，６１ｂにおける両端付近に対応する領域に配置されている。無端ベルト６３２には、キャリッジ６２が連結されている。このキャリッジ６２上には、前述した４種類のインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂが、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。   The pulleys 631a and 631b are respectively arranged in the region corresponding to both ends of the guide rails 61a and 61b along the Y-axis direction. A carriage 62 is connected to the endless belt 632. On the carriage 62, the four types of inkjet heads 4Y, 4M, 4C, 4B described above are arranged side by side along the Y-axis direction.

なお、このような走査機構６と前述した搬送機構２ａ，２ｂとにより、インクジェットヘッド４と記録紙Ｐとを相対的に移動させる、移動機構が構成されるようになっている。   A moving mechanism for relatively moving the inkjet head 4 and the recording paper P is configured by such a scanning mechanism 6 and the above-described transport mechanisms 2a and 2b.

［インクジェットヘッド４の詳細構成］
次に、図１に加えて図２〜図８を参照して、インクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）の詳細構成例について説明する。 [Detailed Configuration of Inkjet Head 4]
Next, a detailed configuration example of the inkjet head 4 (head chip 41) will be described with reference to FIGS. 2 to 8 in addition to FIG.

図２は、ノズルプレート４１１（後出）を取り外した状態におけるインクジェットヘッド４の要部構成例を、模式的に底面図（Ｘ−Ｙ底面図）で表したものである。図３は、図２に示したＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例（Ｚ−Ｘ断面構成例）を、模式的に表したものである。同様に、図４は、図２に示したＩＶ−ＩＶ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例を模式的に表したものであり、後述するヘッドチップ４１における吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ（吐出溝）付近の断面構成例に対応している。また、図５は、図２に示したＶ−Ｖ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例を模式的に表したものであり、後述するヘッドチップ４１におけるダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ（非吐出溝）付近の断面構成例に対応している。図６は、後述するヘッドチップ４１におけるアクチュエータプレート４１２の要部構成例を、模式的に上面図で表したものである。図７は、後述するヘッドチップ４１におけるカバープレート４１３の要部構成例を、模式的に底面図で表したものである。図８は、後述するヘッドチップ４１におけるカバープレート４１３の要部構成例を、模式的に上面図で表したものである。   FIG. 2 is a schematic bottom view (X-Y bottom view) schematically showing an example of the main configuration of the inkjet head 4 in a state in which the nozzle plate 411 (described later) is removed. FIG. 3 schematically shows an example of a cross-sectional configuration (an example of a Z-X cross-sectional configuration) of the inkjet head 4 along the line III-III shown in FIG. 2. Similarly, FIG. 4 schematically shows an example of the cross-sectional configuration of the inkjet head 4 along the line IV-IV shown in FIG. 2, and discharge channels C1e and C2e (discharge grooves in the head chip 41 described later) ) Corresponds to an example of the cross-sectional configuration in the vicinity. 5 schematically shows an example of the cross-sectional configuration of the inkjet head 4 along the line V-V shown in FIG. 2, and dummy channels C1d and C2d (non-ejection grooves in the head chip 41 described later) ) Corresponds to an example of the cross-sectional configuration in the vicinity. FIG. 6 is a schematic top view showing an example of the main configuration of the actuator plate 412 in the head chip 41 described later. FIG. 7 is a schematic bottom view showing an example of the main configuration of the cover plate 413 in the head chip 41 described later. FIG. 8 is a schematic top view showing an example of the main configuration of the cover plate 413 in the head chip 41 described later.

本実施の形態のインクジェットヘッド４は、後述するヘッドチップ４１における複数のチャネル（複数のチャネルＣ１および複数のチャネルＣ２）のうち、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（後述する斜め方向）の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドである。また、このインクジェットヘッド４は、前述した循環機構５（循環流路５０）を用いることで、インクタンク３との間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドである。   The inkjet head 4 according to the present embodiment has a center in the extending direction (oblique direction described later) of the ejection channels C1 e and C2 e among a plurality of channels (a plurality of channels C1 and a plurality of channels C2) in the head chip 41 described later. This is a so-called side chute type ink jet head which ejects the ink 9 from the unit. The ink jet head 4 is a circulation type ink jet head in which the ink 9 is circulated between the ink tank 3 and the ink tank 3 by using the above-described circulation mechanism 5 (circulation flow path 50).

図３に示したように、インクジェットヘッド４は、ヘッドチップ４１および流路プレート４０を備えている。また、このインクジェットヘッド４には、制御機構（ヘッドチップ４１の動作を制御する機構）として、回路基板（不図示）と、フレキシブルプリント基板（Flexible Printed Circuits：ＦＰＣ）４４１，４４２（図４，図５参照）とが設けられている。なお、制御機構（例えばドライバＩＣ）がＦＰＣに搭載されている構造（ＣＯＦ（Chip on FPC））であってもよい。   As shown in FIG. 3, the inkjet head 4 includes a head chip 41 and a flow path plate 40. In addition, a circuit board (not shown) and a flexible printed circuit (FPC) 441 and 442 (FIG. 4, FIG. 4) are provided as a control mechanism (a mechanism for controlling the operation of the head chip 41) in the inkjet head 4. 5) and are provided. The control mechanism (for example, driver IC) may be a structure (COF (Chip on FPC)) mounted on the FPC.

回路基板は、ヘッドチップ４１を駆動するための駆動回路（電気回路）を搭載する基板である。フレキシブルプリント基板４４１，４４２はそれぞれ、回路基板上の駆動回路と、ヘッドチップ４１における後述する駆動電極Ｅｄとの間を、電気的に接続するための基板である。なお、このようなフレキシブルプリント基板４４１，４４２にはそれぞれ、後述する複数の引き出し電極がプリント配線されるようになっている。   The circuit board is a board on which a drive circuit (electric circuit) for driving the head chip 41 is mounted. The flexible printed boards 441 and 442 are boards for electrically connecting the drive circuit on the circuit board and a drive electrode Ed to be described later in the head chip 41, respectively. A plurality of lead-out electrodes to be described later are printed on such flexible printed circuit boards 441 and 442, respectively.

ヘッドチップ４１は、図３に示したように、インク９をＺ軸方向に沿って噴射する部材であり、各種のプレートを用いて構成されている。具体的には図３に示したように、ヘッドチップ４１は、ノズルプレート（噴射孔プレート）４１１、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３を、主に備えている。これらのノズルプレート４１１、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３と、上記した流路プレート４０とはそれぞれ、例えば接着剤等を用いて互いに貼り合わされており、Ｚ軸方向に沿ってこの順に積層されている。なお、以下では、Ｚ軸方向に沿って流路プレート４０側（カバープレート４１３側）を上方と称すると共に、ノズルプレート４１１側を下方と称して説明する。   As shown in FIG. 3, the head chip 41 is a member that ejects the ink 9 along the Z-axis direction, and is configured using various plates. Specifically, as shown in FIG. 3, the head chip 41 mainly includes a nozzle plate (injection hole plate) 411, an actuator plate 412 and a cover plate 413. The nozzle plate 411, the actuator plate 412 and the cover plate 413, and the above-described flow path plate 40 are bonded to each other using, for example, an adhesive or the like, and are stacked in this order along the Z-axis direction. . In the following, the flow path plate 40 side (cover plate 413 side) will be referred to as the upper side along the Z-axis direction, and the nozzle plate 411 side will be described as the lower side.

（ノズルプレート４１１）
ノズルプレート４１１は、ステンレス鋼等の金属フィルム材から形成され、例えば５０μｍ程度の厚みを有する。ただし、ノズルプレート４１１は、ポリイミド等のフィルム材で形成されていてもよい。また、ノズルプレート４１１の材料は、ガラスやシリコンであってもよい。ノズルプレート４１１は、図３〜図４に示したように、アクチュエータプレート４１２の下面（接合面４７１）に接着されている。また、図２に示したように、このノズルプレート４１１には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のノズル列（ノズル列Ａｎ１，Ａｎ２）が設けられている。これらのノズル列Ａｎ１，Ａｎ２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。このように、本実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）は、２列タイプのインクジェットヘッド（ヘッドチップ）となっている。 (Nozzle plate 411)
The nozzle plate 411 is formed of a metal film material such as stainless steel and has a thickness of, for example, about 50 μm. However, the nozzle plate 411 may be formed of a film material such as polyimide. The material of the nozzle plate 411 may be glass or silicon. The nozzle plate 411 is bonded to the lower surface (joint surface 471) of the actuator plate 412, as shown in FIGS. Further, as shown in FIG. 2, the nozzle plate 411 is provided with two nozzle rows (nozzle rows An1, An2) extending in the X-axis direction. The nozzle arrays An1 and An2 are arranged at predetermined intervals along the Y-axis direction. Thus, the inkjet head 4 (head chip 41) of the present embodiment is a two-row type inkjet head (head chip).

ノズル列Ａｎ１は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ１を有している。これらのノズル孔Ｈ１はそれぞれ、ノズルプレート４１１をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通しており、例えば図３および図４に示したように、後述するアクチュエータプレート４１２における吐出チャネルＣ１ｅ内に個別に連通している。具体的には図２に示したように、各ノズル孔Ｈ１は、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（後述する斜め方向）に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ１におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ１ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一（同一ピッチ）となっている。このようなノズル列Ａｎ１内のノズル孔Ｈ１からは、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ１ｅ内から供給されるインク９が吐出（噴射）されるようになっている。   The nozzle array An1 has a plurality of nozzle holes H1 formed in a straight line at predetermined intervals along the X-axis direction. Each of the nozzle holes H1 penetrates the nozzle plate 411 along its thickness direction (Z-axis direction), and, for example, as shown in FIGS. 3 and 4, the inside of the discharge channel C1e in the actuator plate 412 described later Communicate with each other individually. Specifically, as shown in FIG. 2, each nozzle hole H1 is formed to be located at the central portion along the extending direction (the oblique direction described later) of the discharge channel C1e. Further, the formation pitch along the X-axis direction in the nozzle hole H1 is the same (the same pitch) as the formation pitch along the X-axis direction in the discharge channel C1e. The ink 9 supplied from the inside of the ejection channel C1e is ejected (sprayed) from the nozzle holes H1 in such a nozzle array An1, which will be described in detail later.

ノズル列Ａｎ２も同様に、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ２を有している。これらのノズル孔Ｈ２もそれぞれ、ノズルプレート４１１をその厚み方向に沿って貫通しており、後述するアクチュエータプレート４１２における吐出チャネルＣ２ｅ内に個別に連通している。具体的には図２に示したように、各ノズル孔Ｈ２は、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（後述する斜め方向）に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ２におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ２ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一となっている。このようなノズル列Ａｎ２内のノズル孔Ｈ２からも、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ２ｅ内から供給されるインク９が吐出されるようになっている。   Similarly, the nozzle array An2 also has a plurality of nozzle holes H2 formed along a straight line at predetermined intervals along the X-axis direction. Each of the nozzle holes H2 also penetrates the nozzle plate 411 along its thickness direction, and individually communicates with the inside of the discharge channel C2e in the actuator plate 412 described later. Specifically, as shown in FIG. 2, each nozzle hole H2 is formed to be located at a central portion along the extending direction (the oblique direction described later) of the discharge channel C2e. Further, the formation pitch along the X-axis direction in the nozzle hole H2 is the same as the formation pitch along the X-axis direction in the discharge channel C2e. Although described in detail later, the ink 9 supplied from the inside of the discharge channel C2e is also discharged from the nozzle holes H2 in such a nozzle array An2.

また、図２に示したように、ノズル列Ａｎ１における各ノズル孔Ｈ１と、ノズル列Ａｎ２における各ノズル孔Ｈ２とは、Ｘ軸方向に沿って互い違いとなるように配置されている。したがって、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、ノズル列Ａｎ１におけるノズル孔Ｈ１と、ノズル列Ａｎ２におけるノズル孔Ｈ２とが、千鳥状に配置されている。なお、このようなノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパ状の貫通孔となっている。   Further, as shown in FIG. 2, the nozzle holes H1 in the nozzle row An1 and the nozzle holes H2 in the nozzle row An2 are alternately arranged along the X-axis direction. Therefore, in the inkjet head 4 according to the present embodiment, the nozzle holes H1 in the nozzle array An1 and the nozzle holes H2 in the nozzle array An2 are arranged in a staggered manner. Each of the nozzle holes H1 and H2 is a tapered through hole whose diameter gradually decreases in the downward direction.

（アクチュエータプレート４１２）
アクチュエータプレート４１２は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料により構成されたプレートである。このアクチュエータプレート４１２は、図３に示したように、分極方向が互いに異なる２つの圧電基板を、厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って積層して構成されている（いわゆる、シェブロンタイプ）。ただし、アクチュエータプレート４１２の構成としては、このシェブロンタイプには限られない。すなわち、例えば、分極方向が厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って一方向に設定されている１つ（単一）の圧電基板によって、アクチュエータプレート４１２を構成するようにしてもよい（いわゆる、カンチレバータイプ）。 (Actuator plate 412)
The actuator plate 412 is a plate made of, for example, a piezoelectric material such as PZT (lead zirconate titanate). As shown in FIG. 3, this actuator plate 412 is configured by laminating two piezoelectric substrates having different polarization directions along the thickness direction (Z-axis direction) (so-called chevron type). However, the configuration of the actuator plate 412 is not limited to this chevron type. That is, for example, the actuator plate 412 may be configured by one (single) piezoelectric substrate whose polarization direction is set in one direction along the thickness direction (Z-axis direction) (so-called cantilever) type).

また、図２に示したように、アクチュエータプレート４１２には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のチャネル列（チャネル列４２１，４２２）が設けられている。これらのチャネル列４２１，４２２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。   Further, as shown in FIG. 2, the actuator plate 412 is provided with two channel rows (channel rows 421 and 422) extending respectively along the X-axis direction. These channel rows 421 and 422 are arranged at predetermined intervals along the Y-axis direction.

このようなアクチュエータプレート４１２では、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿った中央部（チャネル列４２１，４２２の形成領域）に、インク９の吐出領域（噴射領域）が設けられている。一方、アクチュエータプレート４１２において、Ｘ軸方向に沿った両端部（チャネル列４２１，４２２の非形成領域）には、インク９の非吐出領域（非噴射領域）が設けられている。この非吐出領域は、上記した吐出領域に対して、Ｘ軸方向に沿った外側に位置している。なお、アクチュエータプレート４１２におけるＹ軸方向に沿った両端部はそれぞれ、図２に示したように、尾部４２０を構成している。   In such an actuator plate 412, as shown in FIG. 2, the discharge area (ejection area) of the ink 9 is provided in the central portion along the X-axis direction (the formation area of the channel rows 421 and 422). . On the other hand, in the actuator plate 412, non-ejection areas (non-ejection areas) of the ink 9 are provided at both ends (non-formation areas of the channel rows 421 and 422) in the X-axis direction. The non-ejection area is located outside along the X-axis direction with respect to the above-described ejection area. The both ends of the actuator plate 412 along the Y-axis direction constitute tails 420 as shown in FIG.

上記したチャネル列４２１は、図２および図３に示したように、複数のチャネルＣ１を有している。これらのチャネルＣ１は、図２に示したように、アクチュエータプレート４１２内においてＹ軸方向から所定の角度（鋭角）を成す、斜め方向に沿って延在している。また、これらのチャネルＣ１は、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ１は、圧電体（アクチュエータプレート４１２）からなる駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている（図３参照）。   The above-described channel string 421 has a plurality of channels C1 as shown in FIGS. 2 and 3. These channels C1 extend in an oblique direction in the actuator plate 412, which forms a predetermined angle (acute angle) from the Y-axis direction, as shown in FIG. Further, as shown in FIG. 2, these channels C1 are arranged side by side so as to be parallel to each other at a predetermined distance along the X-axis direction. Each channel C1 is defined by a drive wall Wd made of a piezoelectric body (actuator plate 412), and is a concave groove in a cross sectional view (see FIG. 3).

チャネル列４２２も同様に、図２に示したように、上記した斜め方向に沿って延在する複数のチャネルＣ２を有している。これらのチャネルＣ２は、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ２もまた、上記した駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている。   Similarly, as shown in FIG. 2, the channel row 422 has a plurality of channels C2 extending along the above-described oblique direction. These channels C2 are arranged side by side so as to be parallel to each other at a predetermined distance along the X-axis direction, as shown in FIG. Each channel C2 is also defined by the drive wall Wd described above, and is a concave groove in a cross sectional view.

ここで、図２〜図６に示したように、チャネルＣ１には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ１ｅ（吐出溝）と、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ１ｄ（非吐出溝）とが存在している。図２および図３に示したように、チャネル列４２１において、これらの吐出チャネルＣ１ｅとダミーチャネルＣ１ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ１ｅは、ノズルプレート４１１におけるノズル孔Ｈ１と連通している一方、各ダミーチャネルＣ１ｄはノズル孔Ｈ１には連通しておらず、ノズルプレート４１１の上面によって下方から覆われている（図３〜図５参照）。   Here, as shown in FIGS. 2 to 6, in the channel C1, the ejection channel C1e (ejection groove) for ejecting the ink 9 and the dummy channel C1d (non-ejection groove) for not ejecting the ink 9 are provided. Existing. As shown in FIGS. 2 and 3, in the channel row 421, the ejection channels C1e and the dummy channels C1d are alternately arranged along the X-axis direction. Each discharge channel C1e communicates with the nozzle hole H1 in the nozzle plate 411, while each dummy channel C1d does not communicate with the nozzle hole H1 and is covered from below by the upper surface of the nozzle plate 411 (see FIG. 3 to 5)).

同様に、図２，図４，図５に示したように、チャネルＣ２には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ２ｅ（吐出溝）と、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ２ｄ（非吐出溝）とが存在している。図２に示したように、チャネル列４２２において、これらの吐出チャネルＣ２ｅとダミーチャネルＣ２ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ２ｅは、ノズルプレート４１１におけるノズル孔Ｈ２と連通している一方、各ダミーチャネルＣ２ｄはノズル孔Ｈ２には連通しておらず、ノズルプレート４１１の上面によって下方から覆われている（図４，図５参照）。   Similarly, as shown in FIG. 2, FIG. 4 and FIG. 5, in the channel C2, a discharge channel C2e (discharge groove) for discharging the ink 9 and a dummy channel C2d (non-discharge groove) not discharging the ink 9 And exists. As shown in FIG. 2, in the channel column 422, the ejection channels C2e and the dummy channels C2d are alternately arranged along the X-axis direction. Each discharge channel C2e communicates with the nozzle hole H2 in the nozzle plate 411, while each dummy channel C2d does not communicate with the nozzle hole H2, and is covered from below by the upper surface of the nozzle plate 411 (see FIG. 4, see FIG. 5).

なお、このような吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅはそれぞれ、本開示における「吐出溝」の一具体例に対応している。また、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄはそれぞれ、本開示における「非吐出溝」の一具体例に対応している。   Such discharge channels C1e and C2e correspond to one specific example of the "discharge groove" in the present disclosure. The dummy channels C1d and C2d respectively correspond to one specific example of the "non-ejection groove" in the present disclosure.

また、図２中のＩＶ−ＩＶ線で示したように、チャネル列４２１における吐出チャネルＣ１ｅと、チャネル列４２２における吐出チャネルＣ２ｅとは、これら吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（前述した斜め方向）に沿って、一直線上に配置されている（図４参照）。同様に、図２中のＶ−Ｖ線で示したように、チャネル列４２１におけるダミーチャネルＣ１ｄと、チャネル列４２２におけるダミーチャネルＣ２ｄとは、これらダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの延在方向（上記斜め方向）に沿って、一直線上に配置されている（図５参照）。   Further, as indicated by the IV-IV line in FIG. 2, the discharge channel C1e in the channel line 421 and the discharge channel C2e in the channel line 422 have the extension directions of the discharge channels C1e and C2e (the oblique direction described above ) Are arranged on a straight line (see FIG. 4). Similarly, as indicated by the V-V line in FIG. 2, the dummy channel C1d in the channel line 421 and the dummy channel C2d in the channel line 422 are in the extension direction of the dummy channels C1d and C2d (the oblique direction ) Are arranged on a straight line (see FIG. 5).

ここで、図３に示したように、上記した駆動壁Ｗｄにおける対向する内側面にはそれぞれ、上記した斜め方向に沿って延在する、駆動電極Ｅｄが設けられている。この駆動電極Ｅｄには、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに面する内側面に設けられた共通電極（コモン電極）Ｅｄｃと、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに面する内側面に設けられた個別電極（アクティブ電極）Ｅｄａとが存在している。なお、このような駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）は、図３に示したように、駆動壁Ｗｄの内側面上において、深さ方向（Ｚ軸方向）の全体に亘って形成されている。   Here, as shown in FIG. 3, drive electrodes Ed that extend along the above-described oblique direction are provided on the opposing inner side surfaces of the above-described drive wall Wd. The drive electrode Ed includes a common electrode (common electrode) Edc provided on the inner side facing the ejection channels C1e and C2e, and an individual electrode (active electrode) provided on the inner side facing the dummy channels C1d and C2d. Eda exists. Such a drive electrode Ed (common electrode Edc and individual electrode Eda) is formed over the entire depth direction (Z-axis direction) on the inner side surface of the drive wall Wd, as shown in FIG. It is done.

同一の吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）内で対向する一対の共通電極Ｅｄｃ同士は、互いに電気的に接続されている（図６参照）。また、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士は、後述するように電極分割溝４６０（図５参照）によって、互いに電気的に分離されている。一方、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士は、後述するカバープレート４１３に形成された個別端子（個別配線Ｗｄａ）において互いに電気的に接続されている（図７参照）。   The pair of common electrodes Edc facing each other in the same ejection channel C1e (or ejection channel C2e) are electrically connected to each other (see FIG. 6). Further, a pair of individual electrodes Eda facing each other in the same dummy channel C1d (or dummy channel C2d) are electrically separated from each other by an electrode division groove 460 (see FIG. 5) as described later. On the other hand, a pair of individual electrodes Eda facing each other through the discharge channel C1e (or discharge channel C2e) are electrically connected to each other at individual terminals (individual wires Wda) formed on a cover plate 413 described later ( See Figure 7).

ここで、前述した尾部４２０においては、駆動電極Ｅｄと前述した回路基板との間を電気的に接続するための、前述したフレキシブルプリント基板４４１，４４２（図４，図５参照）が実装されている。これらのフレキシブルプリント基板４４１，４４２に形成された配線パターン（不図示）は、後述するカバープレート４１３に形成された共通配線Ｗｄｃおよび個別配線Ｗｄａ（図７参照）に対して電気的に接続されている。これにより、これらのフレキシブルプリント基板４４１，４４２を介して、上記した回路基板上の駆動回路から各駆動電極Ｅｄに対して、駆動電圧が印加されるようになっている。   Here, in the tail portion 420 described above, the above-described flexible printed boards 441 and 442 (see FIGS. 4 and 5) for electrically connecting the drive electrode Ed and the circuit board described above are mounted. There is. Wiring patterns (not shown) formed on flexible printed circuit boards 441 and 442 are electrically connected to common wiring Wdc and individual wiring Wda (see FIG. 7) formed on cover plate 413 described later. There is. As a result, drive voltages are applied to the drive electrodes Ed from the drive circuit on the circuit board described above via the flexible printed boards 441 and 442.

アクチュエータプレート４１２は、Ｘ軸方向に延在する溝部Ｓ０を有している（図６参照）。溝部Ｓ０は、吐出チャネルＣ１ｅと吐出チャネルＣ２ｅとの間と、ダミーチャネルＣ１ｄとダミーチャネルＣ２ｄとの間とに形成されている（図４〜図６参照）。   The actuator plate 412 has a groove S0 extending in the X-axis direction (see FIG. 6). The groove portion S0 is formed between the ejection channel C1e and the ejection channel C2e and between the dummy channel C1d and the dummy channel C2d (see FIGS. 4 to 6).

ヘッドチップ４１では、複数の吐出チャネルＣ１ｅ内の共通電極Ｅｄｃ同士が溝部Ｓ０付近（カバープレート４１３の底面上）や入口側共通インク室Ｒin１の側面において、互いに電気的に接続され、共通電極Ｅｄｃ２として引き出されている。この共通電極Ｅｄｃ２は、溝部Ｓ０付近から、入口側共通インク室Ｒin１内に引き出されている。   In the head chip 41, the common electrodes Edc in the plurality of ejection channels C1e are electrically connected to each other in the vicinity of the groove S0 (on the bottom of the cover plate 413) and the side surface of the inlet common ink chamber Rin1 as a common electrode Edc2. It is pulled out. The common electrode Edc2 is drawn out from the vicinity of the groove portion S0 into the inlet-side common ink chamber Rin1.

同様に、このヘッドチップ４１では、複数の吐出チャネルＣ２ｅ内の共通電極Ｅｄｃ同士が、上記した溝部Ｓ０付近（カバープレート４１３の底面上）や入口側共通インク室Ｒin２の側面において、互いに電気的に接続され、共通電極Ｅｄｃ２として引き出されている。この共通電極Ｅｄｃ２は、溝部Ｓ０付近から、入口側共通インク室Ｒin２内に引き出されている。   Similarly, in the head chip 41, the common electrodes Edc in the plurality of ejection channels C2e are mutually electrically connected in the vicinity of the groove S0 (on the bottom of the cover plate 413) and the side surface of the inlet common ink chamber Rin2. It is connected and drawn out as a common electrode Edc2. The common electrode Edc2 is drawn out from the vicinity of the groove portion S0 into the inlet-side common ink chamber Rin2.

アクチュエータプレート４１２は、ノズルプレート４１１との接合面４７１と、カバープレート４１３との接合面４７２とを有している（図４，図５参照）。接合面４７２は、接合面４７１に対して反対側の面に設けられている。   The actuator plate 412 has a bonding surface 471 with the nozzle plate 411 and a bonding surface 472 with the cover plate 413 (see FIGS. 4 and 5). The bonding surface 472 is provided on the surface opposite to the bonding surface 471.

ここで、接合面４７１は、本開示における「第１の面」の一具体例に対応している。接合面４７２は、本開示における「第２の面」の一具体例に対応している。Ｘ軸方向は、本開示における「第１の方向」の一具体例に対応している。また、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄとが延在する方向（前述した斜め方向）は、本開示における「第２の方向（第１の方向と交差する方向）」の一具体例に対応している。   Here, the bonding surface 471 corresponds to one specific example of the “first surface” in the present disclosure. The bonding surface 472 corresponds to one specific example of the “second surface” in the present disclosure. The X-axis direction corresponds to one specific example of the “first direction” in the present disclosure. Further, the direction in which the ejection channels C1e and C2e and the dummy channels C1d and C2d extend (the oblique direction described above) corresponds to a specific example of the “second direction (direction intersecting the first direction)” in the present disclosure. It corresponds to

吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅは、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１において、部分的に開口し、開口４８１が形成されている（図４参照）。吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内において、開口４８１は、第２の方向の略中央に形成されている。アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１では、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（第２の方向）において、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの一部が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの底部によって遮蔽されているとともに、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの他の部分が、部分的に開口している。   The discharge channels C1e and C2e are partially opened at the bonding surface 471 of the actuator plate 412 with the nozzle plate 411, and an opening 481 is formed (see FIG. 4). In the ejection channels C1e and C2e, the opening 481 is formed substantially at the center in the second direction. In the bonding surface 471 of the actuator plate 412 with the nozzle plate 411, in the extending direction (second direction) of the discharge channels C1e and C2e, part of the discharge channels C1e and C2e is blocked by the bottom of the discharge channels C1e and C2e And the other parts of the discharge channels C1e and C2e are partially open.

ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１において、部分的に開口し、開口４８２が形成されている（図５参照）。ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内において、開口４８２は、第２の方向の略中央に形成されている。アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの延在方向（第２の方向）において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの一部が、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの底部によって遮蔽されているとともに、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの他の部分が、部分的に開口している。   The dummy channels C1d and C2d are partially opened at the joint surface 471 of the actuator plate 412 with the nozzle plate 411, and an opening 482 is formed (see FIG. 5). In the dummy channels C1d and C2d, the opening 482 is formed substantially at the center in the second direction. In the bonding surface 471 of the actuator plate 412 with the nozzle plate 411, in the extension direction (second direction) of the dummy channels C1d and C2d, part of the dummy channels C1d and C2d is shielded by the bottoms of the dummy channels C1d and C2d And the other portions of the dummy channels C1d and C2d are partially open.

ここで、開口４８１は、本開示における「第１の開口」の一具体例に対応している。開口４８２は、本開示における「第２の開口」の一具体例に対応している。   Here, the opening 481 corresponds to a specific example of the “first opening” in the present disclosure. The opening 482 corresponds to an example of the “second opening” in the present disclosure.

吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの開口４８１の第２の方向における長さは、Ｌａとなっている。ここでは、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの開口４８１の第２の方向における長さが同じ長さＬａであるものとして説明するが、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれにおいて開口４８１の長さが異なっていてもよい。後述するように、カバープレート４１３には、吐出チャネルＣ１ｅの上方を覆うようにして壁部Ｗ１が設けられている（図４参照）。また、後述するように、カバープレート４１３には、吐出チャネルＣ２ｅの上方を覆うようにして壁部Ｗ２が設けられている（図４参照）。第２の方向において、吐出チャネルＣ１ｅの開口４８１の長さＬａは、後述する壁部Ｗ１の長さＬｗに比べて短くなっている（図４参照）。同様に、第２の方向において、吐出チャネルＣ２ｅの開口４８１の長さＬａは、後述する壁部Ｗ２の長さＬｗに比べて短くなっている（図４参照）。   The length in the second direction of each of the openings 481 of the ejection channels C1e and C2e is La. Here, the length in the second direction of the openings 481 of the ejection channels C1e and C2e is assumed to be the same length La, but the lengths of the openings 481 are different in the ejection channels C1e and C2e. May be As described later, the cover plate 413 is provided with a wall portion W1 so as to cover the upper side of the discharge channel C1e (see FIG. 4). Further, as described later, the cover plate 413 is provided with a wall portion W2 so as to cover the upper side of the discharge channel C2e (see FIG. 4). In the second direction, the length La of the opening 481 of the discharge channel C1e is shorter than the length Lw of the wall W1 described later (see FIG. 4). Similarly, in the second direction, the length La of the opening 481 of the discharge channel C2e is shorter than the length Lw of the wall W2 described later (see FIG. 4).

ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれの開口４８２の第２の方向における長さは、Ｌｄとなっている。ここでは、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれの開口４８２の第２の方向における長さが同じ長さＬｄであるものとして説明するが、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれにおいて開口４８２の長さが異なっていてもよい。第２の方向において、ダミーチャネルＣ１ｄの開口４８２の長さＬｄは、後述する壁部Ｗ１の長さＬｗに比べて短くなっている（図５参照）。同様に、第２の方向において、ダミーチャネルＣ２ｄの開口４８２の長さＬｄは、後述する壁部Ｗ２の長さＬｗに比べて短くなっている（図５参照）。   The length in the second direction of each of the openings 482 of the dummy channels C1 d and C2 d is Ld. Here, although the length in the second direction of each of the dummy channels C1d and C2d is the same length Ld, the lengths of the openings 482 are different in each of the dummy channels C1d and C2d. May be In the second direction, the length Ld of the opening 482 of the dummy channel C1d is shorter than the length Lw of the wall W1 described later (see FIG. 5). Similarly, in the second direction, the length Ld of the opening 482 of the dummy channel C2d is shorter than the length Lw of the wall W2 described later (see FIG. 5).

なお、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅはそれぞれ、図４に示したように、カバープレート４１３側（上方）からノズルプレート４１１側（下方）へ向けて吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面を有している。このような吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおける円弧状の側面はそれぞれ、例えば、ダイサーによる切削加工によって形成されるようになっている。   In each of the discharge channels C1e and C2e, as shown in FIG. 4, the cross-sectional area of the discharge channels C1e and C2e gradually decreases from the cover plate 413 side (upper side) to the nozzle plate 411 side (lower side). It has an arc-shaped side surface. The arc-shaped side surfaces of the discharge channels C1e and C2e are formed by, for example, cutting with a dicer.

同様に、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄはそれぞれ、図５に示したように、カバープレート４１３側（上方）からノズルプレート４１１側（下方）へ向けてダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面を有している。これにより、第２の方向において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内の溝深さｈｄは、中央では深く、側面方向に行くに従い浅くなっている。このようなダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおける円弧状の側面はそれぞれ、例えば、ダイサーによる切削加工によって形成されるようになっている。   Similarly, as shown in FIG. 5, in dummy channels C1d and C2d, the cross-sectional areas of dummy channels C1d and C2d gradually decrease from the cover plate 413 side (upper side) to the nozzle plate 411 side (lower side). , Has an arcuate side surface. Thus, in the second direction, the groove depth hd in the dummy channels C1d and C2d is deeper at the center and becomes shallower in the lateral direction. The arc-shaped side surfaces of such dummy channels C1d and C2d are formed by cutting with a dicer, for example.

アクチュエータプレート４１２は、前述の第２の方向において、所定の端面として、第１の端面４５１と、第１の端面４５１とは逆側を向く（第１の端面４５１に対向する）第２の端面４５２とを有している。ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、前述の第２の方向におけるアクチュエータプレート４１２の所定の端面において、電極分割溝４６０の部分を除き、閉じた構造とされている（図５参照）。電極分割溝４６０は、第２の方向においてアクチュエータプレート４１２の所定の端面（第１の端面４５１、第２の端面４５２）まで延在し、露出している（図５参照）。ただし、電極分割溝４６０が、前述の第２の方向においてアクチュエータプレート４１２の所定の端面まで延在しておらず、所定の端面よりも内側に形成されていてもよい。この場合、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、前述の第２の方向におけるアクチュエータプレート４１２の所定の端面において、閉じた構造となる。   The actuator plate 412 has a first end surface 451 and a second end surface facing the first end surface 451 (opposite to the first end surface 451) as a predetermined end surface in the above-described second direction. And 452. The dummy channels C1d and C2d are closed at the predetermined end face of the actuator plate 412 in the above-mentioned second direction except for the part of the electrode dividing groove 460 (see FIG. 5). The electrode dividing groove 460 extends to the predetermined end surface (the first end surface 451, the second end surface 452) of the actuator plate 412 in the second direction and is exposed (see FIG. 5). However, the electrode dividing groove 460 may not extend to the predetermined end face of the actuator plate 412 in the above-described second direction, and may be formed inside the predetermined end face. In this case, the dummy channels C1d and C2d have a closed structure at a predetermined end face of the actuator plate 412 in the above-described second direction.

なお、アクチュエータプレート４１２において、駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）を形成する方法としては、例えばめっきによって形成する方法と蒸着によって形成する方法とスパッタリングによって形成する方法とがある。本実施の形態のインクジェットヘッド４では、前述したように、駆動電極Ｅｄが、図３に示したように、駆動壁Ｗｄの内側面上において、深さ方向（Ｚ軸方向）の全体に亘って形成されている。この場合、駆動電極Ｅｄは例えばめっきによって形成される。この場合、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士が、チャネル内の底面側にまで延在し、一対の個別電極Ｅｄａ同士が、電気的に接続されるおそれがある。このため、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士を、電極分割溝４６０（図５参照）等の加工により、チャネル内の底面側において、互いに電気的に分離する必要があり得る。電極分割溝４６０は、第２の方向に沿って延在している。電極分割溝４６０は、一対の個別電極Ｅｄａのそれぞれを、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれにおける一方の側面側と他方の側面側とに電気的に分離するように、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれの底面に形成されている。   As a method of forming the drive electrode Ed (the common electrode Edc and the individual electrode Eda) in the actuator plate 412, for example, there are a method of forming by plating, a method of forming by evaporation, and a method of forming by sputtering. In the inkjet head 4 of the present embodiment, as described above, as shown in FIG. 3, the drive electrode Ed extends over the entire depth direction (Z-axis direction) on the inner side surface of the drive wall Wd. It is formed. In this case, the drive electrode Ed is formed by plating, for example. In this case, the pair of individual electrodes Eda facing each other in the same dummy channel C1d (or dummy channel C2d) extend to the bottom side in the channel, and the pair of individual electrodes Eda are electrically connected to each other. There is a risk of Therefore, the pair of individual electrodes Eda facing each other in the same dummy channel C1d (or dummy channel C2d) are electrically connected to each other on the bottom surface side in the channel by processing the electrode dividing groove 460 (see FIG. 5) or the like. May need to be separated. The electrode dividing groove 460 extends along the second direction. The electrode dividing groove 460 electrically separates each of the pair of individual electrodes Eda into one side and the other side of each of the dummy channels C1d and C2d. It is formed on the bottom.

一方、本実施の形態のインクジェットヘッド４に対する一変形例として、駆動壁Ｗｄの内側面上において、駆動電極Ｅｄを、深さ方向の中間位置までしか形成しない構成であってもよい。この場合、駆動電極Ｅｄは例えば斜め蒸着によって形成される。この場合、アクチュエータプレート４１２は、単一の圧電基板によって構成されたカンチレバータイプであってもよい。この場合、構造によっては、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士が電気的に接続されずに済むことがあるため、追加工による電極分割は不要となる場合がある。このため、必ずしも、電極分割溝４６０は形成しなくてもよい。   On the other hand, as a modification to the inkjet head 4 of the present embodiment, the drive electrode Ed may be formed only up to the middle position in the depth direction on the inner side surface of the drive wall Wd. In this case, the drive electrode Ed is formed by oblique deposition, for example. In this case, the actuator plate 412 may be a cantilever type constituted by a single piezoelectric substrate. In this case, depending on the structure, the pair of individual electrodes Eda facing each other in the same dummy channel C1d (or dummy channel C2d) may not be electrically connected, so that electrode division by additional processing is unnecessary. May be Therefore, the electrode dividing groove 460 may not necessarily be formed.

（カバープレート４１３）
カバープレート４１３は、図２〜図５に示したように、アクチュエータプレート４１２における各チャネルＣ１，Ｃ２（各チャネル列４２１，４２２）を閉塞するように配置されている。具体的には、このカバープレート４１３は、アクチュエータプレート４１２の上面（接合面４７２）に接着されており、板状構造となっている。 (Cover plate 413)
The cover plate 413 is arrange | positioned so that each channel C1, C2 (each channel row 421, 422) in the actuator plate 412 may be obstruct | occluded, as shown in FIGS. Specifically, the cover plate 413 is bonded to the upper surface (joint surface 472) of the actuator plate 412, and has a plate-like structure.

カバープレート４１３には、図５に示したように、一対の入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２と、一対の出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２とが、それぞれ形成されている。これらの入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２はそれぞれ、Ｘ軸方向に沿って延在していると共に、所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。また、入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１はそれぞれ、アクチュエータプレート４１２におけるチャネル列４２１（複数のチャネルＣ１）に対応する領域に形成されている。一方、入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２はそれぞれ、アクチュエータプレート４１２におけるチャネル列４２２（複数のチャネルＣ２）に対応する領域に形成されている。   As shown in FIG. 5, the cover plate 413 is formed with a pair of inlet-side common ink chambers Rin1 and Rin2, and a pair of outlet-side common ink chambers Rout1 and Rout2. The inlet-side common ink chambers Rin1 and Rin2 and the outlet-side common ink chambers Rout1 and Rout2 extend along the X-axis direction, and are arranged side by side so as to be parallel to each other at a predetermined distance. It is done. Further, the inlet-side common ink chamber Rin1 and the outlet-side common ink chamber Rout1 are respectively formed in regions corresponding to the channel row 421 (a plurality of channels C1) in the actuator plate 412. On the other hand, the inlet-side common ink chamber Rin2 and the outlet-side common ink chamber Rout2 are respectively formed in regions corresponding to the channel row 422 (a plurality of channels C2) in the actuator plate 412.

入口側共通インク室Ｒin１は、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この入口側共通インク室Ｒin１において、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４１３をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通する、供給スリットＳin１が形成されている（図４参照）。同様に、入口側共通インク室Ｒin２は、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この入口側共通インク室Ｒin２において、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、供給スリットＳin２が形成されている（図４参照）。   The inlet-side common ink chamber Rin1 is formed near the inner end of each channel C1 along the Y-axis direction, and is a concave groove (see FIG. 5). In the inlet-side common ink chamber Rin1, a supply slit Sin1 penetrating the cover plate 413 along the thickness direction (the Z-axis direction) is formed in the region corresponding to each discharge channel C1e (see FIG. 4). ). Similarly, the inlet-side common ink chamber Rin2 is formed near the inner end of each channel C2 along the Y-axis direction, and is a concave groove (see FIG. 5). In the inlet-side common ink chamber Rin2, a supply slit Sin2 penetrating the cover plate 413 along the thickness direction is also formed in the region corresponding to each discharge channel C2e (see FIG. 4).

出口側共通インク室Ｒout１は、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この出口側共通インク室Ｒout１において、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、排出スリットＳout１が形成されている（図４参照）。同様に、出口側共通インク室Ｒout２は、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図５参照）。この出口側共通インク室Ｒout２において、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、排出スリットＳout２が形成されている（図４参照）。   The outlet-side common ink chamber Rout1 is formed near the outer end of each channel C1 along the Y-axis direction, and is a concave groove (see FIG. 5). In the outlet-side common ink chamber Rout1, a discharge slit Sout1 penetrating the cover plate 413 along the thickness direction is formed in the region corresponding to each discharge channel C1e (see FIG. 4). Similarly, the outlet-side common ink chamber Rout2 is formed in the vicinity of the outer end along the Y-axis direction in each channel C2, and is a concave groove (see FIG. 5). In the outlet-side common ink chamber Rout2, a discharge slit Sout2 penetrating the cover plate 413 along the thickness direction is also formed in the region corresponding to each discharge channel C2e (see FIG. 4).

このようにして、入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１はそれぞれ、供給スリットＳin１および排出スリットＳout１を介して各吐出チャネルＣ１ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ１ｄには連通していない（図４，図５参照）。すなわち、各ダミーチャネルＣ１ｄは、これら入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１における底部によって、閉塞されるようになっている（図５参照）。   Thus, the inlet-side common ink chamber Rin1 and the outlet-side common ink chamber Rout1 communicate with the discharge channels C1e through the supply slit Sin1 and the discharge slit Sout1, respectively, but do not communicate with the dummy channels C1d. (Refer FIG. 4, FIG. 5.). That is, each dummy channel C1d is closed by the bottom of the inlet common ink chamber Rin1 and the outlet common ink chamber Rout1 (see FIG. 5).

同様に、入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２はそれぞれ、供給スリットＳin２および排出スリットＳout２を介して各吐出チャネルＣ２ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ２ｄには連通していない（図４，図５参照）。すなわち、各ダミーチャネルＣ２ｄは、これら入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２における底部によって、閉塞されるようになっている（図５参照）。   Similarly, the inlet-side common ink chamber Rin2 and the outlet-side common ink chamber Rout2 communicate with the discharge channels C2e via the supply slit Sin2 and the discharge slit Sout2, respectively, but do not communicate with the dummy channels C2d (see FIG. 4, see FIG. 5). That is, each dummy channel C2d is closed by the bottom of the inlet-side common ink chamber Rin2 and the outlet-side common ink chamber Rout2 (see FIG. 5).

（流路プレート４０）
流路プレート４０は、図３に示したように、カバープレート４１３の上面に配置されており、インク９が流れる所定の流路（不図示）を有している。また、このような流路プレート４０内の流路には、前述した循環機構５における流路５０ａ，５０ｂが接続されており、この流路に対するインク９の流入と、この流路からのインク９の流出とが、それぞれなされるようになっている。なお、上述したように、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄはカバープレート４１３の底部によって閉塞されるようになっているので、インク９は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのみに供給され、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄには流入しない。 (Channel plate 40)
The flow channel plate 40 is disposed on the top surface of the cover plate 413 as shown in FIG. 3 and has a predetermined flow channel (not shown) through which the ink 9 flows. Further, the flow paths 50a and 50b in the circulation mechanism 5 described above are connected to the flow path in the flow path plate 40, and the inflow of the ink 9 to the flow path and the ink 9 from the flow path The outflow of each is to be done separately. As described above, since the dummy channels C1d and C2d are closed by the bottom of the cover plate 413, the ink 9 is supplied only to the ejection channels C1e and C2e, and the dummy channels C1d and C2d are provided. It does not flow.

［吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の流路構造］
次に、前述した図４（吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の断面構成例）を参照して、前述した供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２と吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅとを連通する部分のインク９の流路構造について、詳細に説明する。 [Flow path structure near discharge channels C1e and C2e]
Next, referring to FIG. 4 described above (example of the cross-sectional configuration in the vicinity of the discharge channels C1e and C2e), the ink at the portion connecting the supply slits Sin1 and Sin2 and the discharge slits Sout1 and Sout2 with the discharge channels C1e and C2e. The flow channel structure 9 will be described in detail.

この図４に示したように、本実施の形態のヘッドチップ４１では、カバープレート４１３に、供給スリットＳin１，Ｓin２および排出スリットＳout１，Ｓout２と、壁部Ｗ１，Ｗ２とが設けられている。具体的には、供給スリットＳin１および排出スリットＳout１はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅとの間でインク９が流れる貫通孔であり、供給スリットＳin２および排出スリットＳout２はそれぞれ、吐出チャネルＣ２ｅとの間でインク９が流れる貫通孔である。詳細には図４中の破線の矢印で示したように、供給スリットＳin１，Ｓin２はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内にインク９を流入させるための貫通孔であり、排出スリットＳout１，Ｓout２はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内からインク９を流出させるための貫通孔である。   As shown in FIG. 4, in the head chip 41 of the present embodiment, the cover plate 413 is provided with the supply slits Sin1 and Sin2, the discharge slits Sout1 and Sout2, and the wall portions W1 and W2. Specifically, each of the supply slit Sin1 and the discharge slit Sout1 is a through hole through which the ink 9 flows with the discharge channel C1e, and the supply slit Sin2 and the discharge slit Sout2 each with the ink 9 with the discharge channel C2e. Is a through hole through which In detail, as indicated by the broken arrows in FIG. 4, the supply slits Sin1 and Sin2 are through holes for causing the ink 9 to flow into the discharge channels C1e and C2e, respectively, and the discharge slits Sout1 and Sout2 are respectively These are through holes for causing the ink 9 to flow out of the discharge channels C1e and C2e.

また、上記した壁部Ｗ１は、吐出チャネルＣ１ｅの上方を覆うようにして、入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１の間に配置されている。同様に、上記した壁部Ｗ２は、吐出チャネルＣ２ｅの上方を覆うようにして、入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２の間に配置されている。   The wall portion W1 described above is disposed between the inlet-side common ink chamber Rin1 and the outlet-side common ink chamber Rout1 so as to cover the upper side of the ejection channel C1e. Similarly, the wall portion W2 described above is disposed between the inlet-side common ink chamber Rin2 and the outlet-side common ink chamber Rout2 so as to cover the upper side of the discharge channel C2e.

上記した壁部Ｗ１，Ｗ２のそれぞれの第２の方向における長さは、Ｌｗとなっている。ここでは、壁部Ｗ１，Ｗ２のそれぞれの第２の方向における長さが同じ長さＬｗであるものとして説明するが、壁部Ｗ１，Ｗ２のそれぞれにおいて第２の方向における長さが異なっていてもよい。   The length in the second direction of each of the wall portions W1 and W2 described above is Lw. Here, the length in the second direction of each of the wall portions W1 and W2 is described as being the same length Lw, but the length in the second direction is different in each of the wall portions W1 and W2 It is also good.

［個別配線Ｗｄａ、共通配線Ｗｄｃ、共通電極Ｅｄｃ２の構成］
次に、図４〜図８を参照して、カバープレート４１３側の配線（個別配線Ｗｄａ、共通配線Ｗｄｃ、共通電極Ｅｄｃ２）について説明する。 [Configuration of individual wiring Wda, common wiring Wdc, common electrode Edc2]
Next, the wirings (individual wiring Wda, common wiring Wdc, common electrode Edc2) on the cover plate 413 side will be described with reference to FIGS. 4 to 8.

図４および図７に示したように、カバープレート４１３の底面における、アクチュエータプレート４１２の溝部Ｓ０の周囲に対応する領域には、アクチュエータプレート４１２側の、同一のチャネル列４２１（またはチャネル列４２２）にある複数の共通電極Ｅｄｃ同士を電気的に接続するための共通電極Ｅｄｃ２が、Ｘ軸方向に延在して形成されている。これにより、カバープレート４１３側において、複数の共通電極Ｅｄｃ同士がＸ軸方向で電気的に接続され、共通化される。   As shown in FIGS. 4 and 7, in the bottom surface of the cover plate 413, in the region corresponding to the periphery of the groove S0 of the actuator plate 412, the same channel row 421 (or channel row 422) on the actuator plate 412 side. A common electrode Edc2 for electrically connecting the plurality of common electrodes Edc in the X direction is formed extending in the X-axis direction. Thereby, on the cover plate 413 side, the plurality of common electrodes Edc are electrically connected in the X-axis direction, and are shared.

共通電極Ｅｄｃ２は、図４および図７に示したように、供給スリットＳin１，Ｓin２内にも形成されている。また、共通電極Ｅｄｃ２は、図５および図８に示したように、出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２内と、入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２内ととにも形成されている。   The common electrode Edc2 is also formed in the supply slits Sin1 and Sin2 as shown in FIGS. 4 and 7. Further, as shown in FIGS. 5 and 8, the common electrode Edc2 is also formed in the outlet-side common ink chambers Rout1 and Rout2 and in the inlet-side common ink chambers Rin1 and Rin2.

また、図７に示したように、カバープレート４１３の底面のＸ方向の両端部には、共通配線Ｗｄｃが形成されている。また、図７に示したように、カバープレート４１３の底面のＹ方向の両端部には、個別配線Ｗｄａが形成されている。なお、図７では、共通配線Ｗｄｃとして、Ｘ方向の１つの端部側の共通配線Ｗｄｃのみを図示している。共通配線Ｗｄｃは、２つのチャネル列４２１，４２２（図６参照）に対応するそれぞれの領域に形成されている。チャネル列４２１に対応する領域にある共通配線Ｗｄｃは、共通電極Ｅｄｃ２を介して、チャネル列４２１にある複数の共通電極Ｅｄｃとチャネル列４２１側のＦＰＣ４４１とを電気的に接続する。同様に、チャネル列４２２に対応する領域にある共通配線Ｗｄｃは、共通電極Ｅｄｃ２を介して、チャネル列４２２にある複数の共通電極Ｅｄｃとチャネル列４２２側のＦＰＣ４４２とを電気的に接続する。個別配線Ｗｄａは、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士を、ＦＰＣ４４１（またはＦＰＣ４４２）に電気的に接続する。   Further, as shown in FIG. 7, common wires Wdc are formed at both ends in the X direction of the bottom surface of the cover plate 413. Further, as shown in FIG. 7, individual wires Wda are formed at both ends in the Y direction of the bottom surface of the cover plate 413. In FIG. 7, only the common wire Wdc on one end side in the X direction is illustrated as the common wire Wdc. The common wiring Wdc is formed in the respective regions corresponding to the two channel rows 421 and 422 (see FIG. 6). The common wiring Wdc in the region corresponding to the channel column 421 electrically connects the plurality of common electrodes Edc in the channel column 421 to the FPC 441 on the channel column 421 via the common electrode Edc2. Similarly, the common wiring Wdc in the region corresponding to the channel column 422 electrically connects the plurality of common electrodes Edc in the channel column 422 and the FPC 442 on the channel column 422 via the common electrode Edc2. The individual wiring Wda electrically connects a pair of individual electrodes Eda facing each other through the ejection channel C1e (or ejection channel C2e) to the FPC 441 (or FPC 442).

［動作および作用・効果］
（Ａ．プリンタ１の基本動作）
このプリンタ１では、以下のようにして、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。なお、初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）にはそれぞれ、対応する色（４色）のインク９が十分に封入されているものとする。また、インクタンク３内のインク９は、循環機構５を介してインクジェットヘッド４内に充填された状態となっている。 [Operation and action / effect]
(A. Basic operation of printer 1)
In the printer 1, the recording operation (printing operation) of an image, characters, and the like on the recording paper P is performed as follows. In the initial state, it is assumed that the ink 9 of the corresponding color (four colors) is sufficiently enclosed in each of the four types of ink tanks 3 (3Y, 3M, 3C, 3B) shown in FIG. . Further, the ink 9 in the ink tank 3 is filled in the ink jet head 4 via the circulation mechanism 5.

このような初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂにおけるグリッドローラ２１がそれぞれ回転することで、グリッドローラ２１とピンチローラ２２と間に、記録紙Ｐが搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。また、このような搬送動作と同時に、駆動機構６３における駆動モータ６３３が、プーリ６３１ａ，６３１ｂをそれぞれ回転させることで、無端ベルト６３２を動作させる。これにより、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂにガイドされながら、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って往復移動する。そしてこの際に、各インクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）によって、４色のインク９を記録紙Ｐに適宜吐出させることで、この記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作がなされる。   In such an initial state, when the printer 1 is operated, the grid rollers 21 in the transport mechanisms 2a and 2b rotate, and the recording paper P is transported between the grid roller 21 and the pinch roller 22 in the transport direction d (X (In the axial direction). At the same time as such a conveyance operation, the drive motor 633 in the drive mechanism 63 operates the endless belt 632 by rotating the pulleys 631a and 631b. As a result, the carriage 62 reciprocates along the width direction (Y-axis direction) of the recording paper P while being guided by the guide rails 61a and 61b. At this time, the ink 9 of four colors is appropriately discharged onto the recording paper P by the respective inkjet heads 4 (4Y, 4M, 4C, 4B), and the recording operation of an image, characters, etc. on the recording paper P is performed. Ru.

（Ｂ．インクジェットヘッド４における詳細動作）
次いで、図１〜図５を参照して、インクジェットヘッド４における詳細動作（インク９の噴射動作）について説明する。すなわち、本実施の形態のインクジェットヘッド４（サイドシュートタイプ）では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインク９の噴射動作が行われる。 (B. Detailed operation in the inkjet head 4)
Next, the detailed operation (the operation of ejecting the ink 9) in the ink jet head 4 will be described with reference to FIGS. That is, in the inkjet head 4 (side shoot type) of the present embodiment, the ejection operation of the ink 9 using the shear (shear) mode is performed as follows.

まず、上記したキャリッジ６２（図１参照）の往復移動が開始されると、前述した回路基板上の駆動回路は、前述したフレキシブルプリント基板を介して、インクジェットヘッド４内の駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）に対し、駆動電圧を印加する。具体的には、この駆動回路は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを画成する一対の駆動壁Ｗｄに配置された各個別電極Ｅｄａに対し、駆動電圧を印加する。これにより、これら一対の駆動壁Ｗｄがそれぞれ、その吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに隣接するダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ側へ、突出するように変形する（図３参照）。   First, when the above-mentioned carriage 62 (see FIG. 1) starts to reciprocate, the drive circuit on the circuit board mentioned above drives the drive electrode Ed (common electrode in the ink jet head 4) through the flexible printed board mentioned above. A driving voltage is applied to Edc and the individual electrodes Eda). Specifically, this drive circuit applies a drive voltage to each of the individual electrodes Eda disposed on a pair of drive walls Wd that define the ejection channels C1e and C2e. As a result, the pair of drive walls Wd are deformed so as to protrude toward the dummy channels C1d and C2d adjacent to the discharge channels C1e and C2e, respectively (see FIG. 3).

ここで、前述したように、アクチュエータプレート４１２では、分極方向が厚み方向に沿って異なっている（前述した２つの圧電基板が積層されている）と共に、駆動電極Ｅｄが、駆動壁Ｗｄにおける内側面上の深さ方向の全体に亘って形成されている。このため、上記した駆動回路によって駆動電圧を印加することで、駆動壁Ｗｄにおける深さ方向の中間位置を中心として、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形することになる。そして、このような駆動壁Ｗｄの屈曲変形により、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがあたかも膨らむように変形する。ちなみに、アクチュエータプレート４１２の構成が、このようなシェブロンタイプではなく、前述したカンチレバータイプである場合には、以下のようにして、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形する。すなわち、このカンチレバータイプの場合、駆動電極Ｅｄが深さ方向の上半分まで斜め蒸着によって取り付けられることになるため、この駆動電極Ｅｄが形成されている部分のみに駆動力が及ぶことによって、駆動壁Ｗｄが（駆動電極Ｅｄの深さ方向端部において）屈曲変形する。その結果、この場合においても、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形するため、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがあたかも膨らむように変形することになる。   Here, as described above, in the actuator plate 412, the polarization direction is different along the thickness direction (the two piezoelectric substrates described above are stacked), and the drive electrode Ed is an inner side surface of the drive wall Wd. It is formed over the entire upper depth direction. Therefore, by applying the drive voltage by the above-described drive circuit, the drive wall Wd is bent and deformed in a V shape centering on the middle position in the depth direction in the drive wall Wd. Then, due to such bending deformation of the driving wall Wd, the discharge channels C1e and C2e are deformed so as to expand as they are. Incidentally, when the configuration of the actuator plate 412 is not such a chevron type but the cantilever type described above, the drive wall Wd is bent and deformed in a V shape as follows. That is, in the case of this cantilever type, since the drive electrode Ed is attached by oblique deposition up to the upper half in the depth direction, the drive force is applied to only the portion where the drive electrode Ed is formed. Wd is bent and deformed (at the end in the depth direction of the drive electrode Ed). As a result, also in this case, since the drive wall Wd is bent and deformed in a V shape, the discharge channels C1e and C2e are deformed so as to swell.

このように、一対の駆動壁Ｗｄでの圧電厚み滑り効果による屈曲変形によって、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大する。そして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大することにより、入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２内に貯留されたインク９が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されることになる（図４参照）。   Thus, the volume of the discharge channels C1e and C2e is increased by the bending deformation due to the piezoelectric thickness slip effect at the pair of drive walls Wd. Then, as the volumes of the discharge channels C1e and C2e increase, the ink 9 stored in the inlet-side common ink chambers Rin1 and Rin2 is guided into the discharge channels C1e and C2e (see FIG. 4). .

次いで、このようにして吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されたインク９は、圧力波となって吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内部に伝播する。そして、ノズルプレート４１１のノズル孔Ｈ１，Ｈ２にこの圧力波が到達したタイミングで、駆動電極Ｅｄに印加される駆動電圧が、０（ゼロ）Ｖとなる。これにより、上記した屈曲変形の状態から駆動壁Ｗｄが復元する結果、一旦増大した吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が、再び元に戻ることになる（図３参照）。   Then, the ink 9 thus induced into the ejection channels C1e and C2e becomes pressure waves and propagates inside the ejection channels C1e and C2e. Then, at the timing when the pressure wave reaches the nozzle holes H1, H2 of the nozzle plate 411, the drive voltage applied to the drive electrode Ed becomes 0 (zero) V. As a result, as a result of restoration of the drive wall Wd from the above-described state of bending and deformation, the volumes of the discharge channels C1e and C2e which have once increased will be restored again (see FIG. 3).

このようにして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が元に戻ると、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内部の圧力が増加し、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９が加圧される。その結果、液滴状のインク９が、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２を通って外部へと（記録紙Ｐへ向けて）吐出される（図３，図４参照）。このようにしてインクジェットヘッド４におけるインク９の噴射動作（吐出動作）がなされ、その結果、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作が行われることになる。   Thus, when the volumes of the discharge channels C1e and C2e return to their original states, the pressure inside the discharge channels C1e and C2e increases, and the ink 9 in the discharge channels C1e and C2e is pressurized. As a result, the ink 9 in the form of droplets is discharged to the outside (toward the recording paper P) through the nozzle holes H1 and H2 (see FIGS. 3 and 4). In this manner, the operation of ejecting the ink 9 (ejection operation) in the inkjet head 4 is performed, and as a result, the recording operation of an image, characters, etc. on the recording paper P is performed.

特に、本実施の形態のノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、前述したように、出口に向かうに従って漸次縮径するテーパ状の断面となっているため（図３，図４参照）、インク９を高速度で真っ直ぐに（直進性良く）吐出することができる。よって、高画質な記録を行うことが可能となる。   In particular, as described above, the nozzle holes H1 and H2 of the present embodiment each have a tapered cross section that gradually reduces in diameter toward the outlet (see FIGS. 3 and 4). It can be discharged straight (with good straightness) at speed. Therefore, high quality recording can be performed.

（Ｃ．インク９の循環動作）
続いて、図１，図４を参照して、循環機構５によるインク９の循環動作について、詳細に説明する。 (C. Ink 9 circulation operation)
Subsequently, the circulation operation of the ink 9 by the circulation mechanism 5 will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 4.

図１に示したように、このプリンタ１では、送液ポンプ５２ａによって、インクタンク３内から流路５０ａ内へと、インク９が送液される。また、送液ポンプ５２ｂによって、流路５０ｂ内を流れるインク９が、インクタンク３内へと送液される。   As shown in FIG. 1, in the printer 1, the ink 9 is fed from the inside of the ink tank 3 into the flow path 50 a by the feed pump 52 a. Further, the ink 9 flowing in the flow path 50 b is fed into the ink tank 3 by the liquid feeding pump 52 b.

この際に、インクジェットヘッド４内では、インクタンク３内から流路５０ａを介して流れるインク９が、入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２へと流入する。これらの入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２へと供給されたインク９は、図４に示したように、供給スリットＳin１，Ｓin２を介して、アクチュエータプレート４１２における各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へと供給される。   At this time, in the ink jet head 4, the ink 9 flowing from the inside of the ink tank 3 through the flow path 50 a flows into the inlet-side common ink chambers Rin 1 and Rin 2. The ink 9 supplied to the inlet side common ink chambers Rin1 and Rin2 is supplied into the discharge channels C1e and C2e in the actuator plate 412 through the supply slits Sin1 and Sin2 as shown in FIG. Be done.

また、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９は、図４に示したように、排出スリットＳout１，Ｓout２を介して、各出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２内へと流入する。これらの出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２へ供給されたインク９は、流路５０ｂへと排出されることで、インクジェットヘッド４内から流出される。そして、流路５０ｂへと排出されたインク９は、インクタンク３内へと戻されることになる。このようにして、循環機構５によるインク９の循環動作がなされる。   Further, as shown in FIG. 4, the ink 9 in the discharge channels C1e and C2e flows into the outlet common ink chambers Rout1 and Rout2 through the discharge slits Sout1 and Sout2. The ink 9 supplied to the outlet-side common ink chambers Rout1 and Rout2 is discharged to the flow path 50b, and then flows out of the ink jet head 4. Then, the ink 9 discharged to the flow path 50 b is returned to the inside of the ink tank 3. Thus, the circulation operation of the ink 9 by the circulation mechanism 5 is performed.

ここで、循環式ではないインクジェットヘッドでは、乾燥性の高いインクを使用した場合、ノズル孔の近傍でのインクの乾燥に起因して、インクの局所的な高粘度化や固化が生じる結果、インク不吐出の不良が発生するおそれがある。これに対して、本実施の形態のインクジェットヘッド４（循環式のインクジェットヘッド）では、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の近傍に常に新鮮なインク９が供給されることから、上記したようなインク不吐出の不良が回避されることになる。   Here, in the inkjet head which is not of the circulation type, when the ink having high drying property is used, the local viscosity increase or solidification of the ink occurs as a result of the drying of the ink in the vicinity of the nozzle hole. There is a possibility that a non-ejection failure may occur. On the other hand, in the ink jet head 4 (circulation type ink jet head) of the present embodiment, fresh ink 9 is always supplied in the vicinity of the nozzle holes H1 and H2. Failure will be avoided.

（Ｄ．作用・効果）
次に、本実施の形態のヘッドチップ４１、インクジェットヘッド４およびプリンタ１における作用および効果について、比較例と比較しつつ詳細に説明する。 (D. Action / Effect)
Next, the operation and effects of the head chip 41, the inkjet head 4 and the printer 1 of the present embodiment will be described in detail in comparison with the comparative example.

（比較例）
図９は、比較例に係るヘッドチップ（ヘッドチップ１０４）の断面構成例を模式的に表したものであり、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の断面構成例に対応している。この比較例のヘッドチップ１０４は、図４に示した本実施の形態のヘッドチップ４１におけるアクチュエータプレート４１２に代えて、アクチュエータプレート１０２を備えている。比較例のヘッドチップ１０４におけるアクチュエータプレート１０２では、図９に示したように、第２の方向において、吐出チャネルＣ１ｅの開口４８１の長さＬａは、カバープレート４１３の壁部Ｗ１の長さＬｗに比べて長くなっている。同様に、比較例のヘッドチップ１０４におけるアクチュエータプレート１０２では、第２の方向において、吐出チャネルＣ２ｅの開口４８１の長さＬａは、カバープレート４１３の壁部Ｗ２の長さＬｗに比べて長くなっている。 (Comparative example)
FIG. 9 schematically shows an example of the cross-sectional configuration of a head chip (head chip 104) according to a comparative example, and corresponds to an example of the cross-sectional configuration in the vicinity of the ejection channels C1e and C2e. The head chip 104 of this comparative example includes an actuator plate 102 in place of the actuator plate 412 of the head chip 41 of the present embodiment shown in FIG. In the actuator plate 102 of the head chip 104 of the comparative example, as shown in FIG. 9, in the second direction, the length La of the opening 481 of the discharge channel C1e is equal to the length Lw of the wall portion W1 of the cover plate 413. It is longer than it is. Similarly, in the actuator plate 102 in the head chip 104 of the comparative example, the length La of the opening 481 of the discharge channel C2e is longer than the length Lw of the wall portion W2 of the cover plate 413 in the second direction. There is.

比較例のヘッドチップ１０４においても、本実施の形態のヘッドチップ４１（図４参照）と同様に、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅはそれぞれ、カバープレート４１３側（上方）からノズルプレート４１１側（下方）へ向けて吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面を有する。このような吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおける円弧状の側面はそれぞれ、例えば、ダイサーによる切削加工によって形成される。円弧状の側面の形状を変えずに、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの開口４８１の長さＬａを長くすると、ヘッドチップ１０４全体として、第２の方向における長さも長くなってしまう。また、チャネル列（チャネル列４２１，４２２）の延在方向（Ｘ軸方向）の長さも長くなり、ヘッドチップ１０４全体としての大きさが大きくなりやすい。   Also in the head chip 104 of the comparative example, the discharge channels C1e and C2e are respectively directed from the cover plate 413 side (upper side) to the nozzle plate 411 side (lower side) as in the head chip 41 of this embodiment (see FIG. 4). It has an arc-shaped side surface in which the sectional area of the discharge channels C1e and C2e gradually decreases. The arc-shaped side surfaces of the discharge channels C1e and C2e are formed by cutting with a dicer, for example. If the length La of the openings 481 of the discharge channels C1e and C2e is increased without changing the shape of the arc-shaped side surface, the length in the second direction also increases as the entire head chip 104. Further, the length in the extending direction (X-axis direction) of the channel row (channel rows 421 and 422) is also long, and the size of the head chip 104 as a whole tends to be large.

（本実施の形態）
これに対して本実施の形態のヘッドチップ４１では、図４に示したように、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの開口４８１の第２の方向における長さＬａが、壁部Ｗ１，Ｗ１のそれぞれの第２の方向における長さＬｗに比べて短くなっている。これにより、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの開口４８１の第２の方向における長さＬａが短くなるので、チャネル列（チャネル列４２１，４２２）の延在方向（Ｘ軸方向）の長さも短くなり、ヘッドチップ全体としての大きさを従来構造に比べ抑えることができる。これにより、従来構造に比べてヘッドチップ４１を小型化することが可能となる。 (Embodiment)
On the other hand, in the head chip 41 according to the present embodiment, as shown in FIG. 4, the length La of the openings 481 in the second direction of the discharge channels C1e and C2e is equal to that of the walls W1 and W1. Is shorter than the length Lw in the second direction. As a result, the length La of each of the discharge channels C1e and C2e in the second direction of the openings 481 is shortened, so the length in the extending direction (X-axis direction) of the channel rows (channel rows 421 and 422) is also shortened. The size of the head chip as a whole can be reduced as compared with the conventional structure. As a result, the head chip 41 can be miniaturized as compared with the conventional structure.

また、本実施の形態のヘッドチップ４１では、図５に示したように、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１において、全体的に開口しているわけではなく、部分的な開口４８２が形成された構造とされている。そして、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれの開口４８２の第２の方向における長さＬｄが、壁部Ｗ１，Ｗ１のそれぞれの第２の方向における長さＬｗに比べて短くなっている。   Further, in the head chip 41 according to the present embodiment, as shown in FIG. 5, the dummy channels C1d and C2d are not entirely opened at the bonding surface 471 of the actuator plate 412 with the nozzle plate 411. Instead, a partial opening 482 is formed. The length Ld of the dummy channels C1d and C2d in the second direction of the openings 482 is shorter than the length Lw of the wall portions W1 and W1 in the second direction.

このように、本実施の形態のヘッドチップ４１では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれの開口４８２を部分的な開口とし、かつ、それぞれの開口４８２の第２の方向における長さＬｄを短くすることにより、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが全体的に開口する場合に比べて、ノズルプレート４１１面側へのダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの露出を減らすことができる。これにより、アクチュエータプレート４１２の強度を高くすることができ、製造上の歩留まり向上が可能となる。また、ノズルプレート４１１が金属である場合、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの個別電極Ｅｄａとノズルプレート４１１とのショートが起きる可能性があるが、そのようなショートを起き難くすることができる。よって、本実施の形態では、ヘッドチップ４１、インクジェットヘッド４およびプリンタ１における吐出安定性を向上させることが可能となる。また、アクチュエータプレート４１２の強度を高くすることができるので、信頼性を向上させることが可能となる。   As described above, in the head chip 41 according to the present embodiment, the openings 482 of the dummy channels C1 d and C2 d are partial openings, and the length Ld of the openings 482 in the second direction is shortened. Thus, the exposure of the dummy channels C1d and C2d to the surface side of the nozzle plate 411 can be reduced as compared with the case where the dummy channels C1d and C2d are entirely opened. Thereby, the strength of the actuator plate 412 can be increased, and the yield in manufacturing can be improved. In addition, when the nozzle plate 411 is metal, a short circuit may occur between the individual electrodes Eda of the dummy channels C1 d and C2 d and the nozzle plate 411, but such a short circuit can be made difficult to occur. Therefore, in the present embodiment, it is possible to improve the discharge stability in the head chip 41, the inkjet head 4 and the printer 1. In addition, since the strength of the actuator plate 412 can be increased, the reliability can be improved.

＜２．変形例＞
続いて、上記実施の形態の変形例（変形例１〜３）について説明する。なお、実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。 <2. Modified example>
Subsequently, modified examples (modified examples 1 to 3) of the above embodiment will be described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same thing as the component in embodiment, and description is abbreviate | omitted suitably.

［変形例１］
図１０は、変形例１に係るヘッドチップ（ヘッドチップ４１Ａ）の断面構成例を模式的に表したものであり、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近の断面構成例に対応している。この変形例１のヘッドチップ４１Ａ（アクチュエータプレート４１２Ａ）は、図５に示した実施の形態のヘッドチップ４１（アクチュエータプレート４１２）において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近の構造を変更したものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。 [Modification 1]
FIG. 10 schematically shows an example of the cross-sectional configuration of a head chip (head chip 41A) according to the first modification, and corresponds to an example of the cross-sectional configuration in the vicinity of the dummy channels C1d and C2d. The head chip 41A (actuator plate 412A) of this modification 1 corresponds to the head chip 41 (actuator plate 412) of the embodiment shown in FIG. 5 in which the structure near the dummy channels C1d and C2d is changed. The other configurations are basically the same.

具体的には、実施の形態のヘッドチップ４１（図５）では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが、前述の第２の方向におけるアクチュエータプレート４１２の所定の端面（第１の端面４５１、第２の端面４５２）において、電極分割溝４６０の部分を除き、閉じた構造とされている。これに対し、変形例１のヘッドチップ４１Ａ（図１０）では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、第２の方向におけるアクチュエータプレート４１２Ａの所定の端面において部分的に開口している。また、実施の形態のヘッドチップ４１（図５）と同様に、電極分割溝４６０が、第２の方向においてアクチュエータプレート４１２Ａの所定の端面まで延在し、露出している。   Specifically, in the head chip 41 (FIG. 5) of the embodiment, the dummy channels C1d and C2d are the predetermined end faces (first end face 451 and second end face) of the actuator plate 412 in the second direction described above. In 452), except for the portion of the electrode dividing groove 460, the structure is closed. On the other hand, in the head chip 41A (FIG. 10) of the first modification, the dummy channels C1d and C2d are partially opened at a predetermined end face of the actuator plate 412A in the second direction. Further, similarly to the head chip 41 (FIG. 5) of the embodiment, the electrode division groove 460 extends to the predetermined end surface of the actuator plate 412A in the second direction and is exposed.

なお、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが、第２の方向におけるアクチュエータプレート４１２Ｂの所定の端面において部分的に開口しているとは、所定の端面において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが、図５のように閉じた構造（遮蔽された構造）とはなっておらず、部分的に遮蔽されていない状態となっていることをいう。   The dummy channels C1d and C2d being partially opened at a predetermined end face of the actuator plate 412B in the second direction means that the dummy channels C1d and C2d are closed as shown in FIG. 5 at the predetermined end face. It means that it is not in a closed structure (shielded structure) but in a partially unshielded state.

このような構成の変形例１のヘッドチップ４１Ａ（図１０）においても、基本的には実施の形態のヘッドチップ４１と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。   Also in the head chip 41A (FIG. 10) of the first modification of such a configuration, basically, the same effect as that of the head chip 41 of the embodiment can be obtained.

さらに、変形例１のヘッドチップ４１Ａでは、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄがアクチュエータプレート４１２Ａの所定の端面において部分的に開口し（遮蔽物が無く）、また、電極分割溝４６０が所定の端面において露出していることで、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおける不純物（ゴミ）の詰まりをより抑制することができる。不純物が導電性である場合、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内において対向する個別電極Ｅｄａ同士がショートするおそれがあるが、変形例１のヘッドチップ４１Ａでは、そのようなショートを抑制することができる。   Further, in the head chip 41A of the first modification, the dummy channels C1d and C2d are partially opened at the predetermined end face of the actuator plate 412A (without the shield), and the electrode dividing groove 460 is exposed at the predetermined end face. By this, it is possible to further suppress the clogging of impurities (dust) in the dummy channels C1d and C2d. When the impurity is conductive, there is a possibility that the facing individual electrodes Eda may short in the dummy channels C1d and C2d, but in the head chip 41A of the first modification, such a short can be suppressed.

［変形例２］
図１１は、変形例２に係るヘッドチップ（ヘッドチップ４１Ｂ）の断面構成例を模式的に表したものであり、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近の断面構成例に対応している。 [Modification 2]
FIG. 11 schematically shows an example of the cross-sectional configuration of a head chip (head chip 41B) according to the second modification, and corresponds to an example of the cross-sectional configuration in the vicinity of the dummy channels C1d and C2d.

この変形例２のヘッドチップ４１Ｂ（アクチュエータプレート４１２Ｂ）は、図５に示した実施の形態のヘッドチップ４１（アクチュエータプレート４１２）において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近の構造を変更したものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。   The head chip 41B (actuator plate 412B) of this modification 2 corresponds to the head chip 41 (actuator plate 412) of the embodiment shown in FIG. 5 in which the structure near the dummy channels C1d and C2d is changed. The other configurations are basically the same.

具体的には、実施の形態のヘッドチップ４１（図５）では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれの開口４８２の第２の方向における長さＬｄが、カバープレート４１３の壁部Ｗ１，Ｗ１のそれぞれの第２の方向における長さＬｗに比べて短くなっている。これに対し、変形例２のヘッドチップ４１Ｂ（図１１）では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれの開口４８２の第２の方向における長さＬｄが、カバープレート４１３の壁部Ｗ１，Ｗ１のそれぞれの第２の方向における長さＬｗに比べて長くなっている。   Specifically, in the head chip 41 (FIG. 5) of the embodiment, the length Ld in the second direction of each of the openings 482 of the dummy channels C1d and C2d is the length of the wall portions W1 and W1 of the cover plate 413, respectively. Is shorter than the length Lw in the second direction. On the other hand, in the head chip 41B of the second modification (FIG. 11), the length Ld of each of the dummy channels C1d and C2d in the second direction of the openings 482 is the length of each of the wall portions W1 and W1 of the cover plate 413. It is longer than the length Lw in the second direction.

このような構成の変形例２のヘッドチップ４１Ｂにおいても、基本的には実施の形態のヘッドチップ４１と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。   Also in the head chip 41B of the modified example 2 having such a configuration, basically, the same effect as that of the head chip 41 of the embodiment can be obtained.

さらに、変形例２のヘッドチップ４１Ｂでは、実施の形態のヘッドチップ４１（図５）に比べて、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近において、部分的な開口４８２を形成するための構造物が占める領域が少なくなる。これにより、吐出動作時の吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅや駆動壁Ｗｄの動きへの悪影響を抑制し、吐出特性を向上させることができる。   Further, in the head chip 41B of the second modification, compared with the head chip 41 (FIG. 5) of the embodiment, the area occupied by the structure for forming the partial opening 482 is near the dummy channels C1d and C2d. Less. As a result, adverse effects on the movement of the discharge channels C1e and C2e and the drive wall Wd at the time of the discharge operation can be suppressed, and the discharge characteristics can be improved.

［変形例３］
図１２は、変形例３に係るヘッドチップ（ヘッドチップ４１Ｃ）の断面構成例を模式的に表したものであり、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近の断面構成例に対応している。 [Modification 3]
FIG. 12 schematically illustrates an example of the cross-sectional configuration of a head chip (head chip 41C) according to the third modification, and corresponds to an example of the cross-sectional configuration in the vicinity of the dummy channels C1d and C2d.

この変形例３のヘッドチップ４１Ｃ（アクチュエータプレート４１２Ｃ）は、図５に示した実施の形態のヘッドチップ４１（アクチュエータプレート４１２）において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ付近の構造を変更したものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。   The head chip 41C (actuator plate 412C) of this modification 3 corresponds to the head chip 41 (actuator plate 412) of the embodiment shown in FIG. 5 in which the structure near the dummy channels C1d and C2d is changed. The other configurations are basically the same.

具体的には、実施の形態のヘッドチップ４１（図５）では、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、アクチュエータプレート４１２のノズルプレート４１１との接合面４７１において、部分的に開口し、開口４８２が形成されている。これに対して、変形例３のヘッドチップ４１Ｃ（図１２）では、ノズルプレート４１１との接合面４７１において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが全体的に開口している。これにより、前述の第２の方向において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内の溝深さｈｄは略一定となっている。また、ダミーチャネルＣ１ｄにおける開口は、前述の第２の方向において、第１の端面４５１にまで形成されている。また、ダミーチャネルＣ２ｄにおける開口は、前述の第２の方向において、第２の端面４５２にまで形成されている。これにより、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄは、第２の方向において、第１の端面４５１と第２の端面４５２との間で全体的に開口し、ノズルプレート４１１との接合面４７１において露出している。   Specifically, in the head chip 41 (FIG. 5) of the embodiment, the dummy channels C1d and C2d are partially opened at the bonding surface 471 of the actuator plate 412 with the nozzle plate 411, and the opening 482 is formed. ing. On the other hand, in the head chip 41C (FIG. 12) of the third modification, the dummy channels C1d and C2d are entirely open at the bonding surface 471 with the nozzle plate 411. Thus, the groove depth hd in the dummy channels C1d and C2d is substantially constant in the above-described second direction. Further, the opening in the dummy channel C1d is formed up to the first end face 451 in the above-mentioned second direction. Further, the opening in the dummy channel C2d is formed up to the second end face 452 in the above-mentioned second direction. Thus, the dummy channels C1d and C2d are entirely open between the first end surface 451 and the second end surface 452 in the second direction, and are exposed at the bonding surface 471 with the nozzle plate 411. .

変形例３のヘッドチップ４１Ｃでは、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄが全体的に開口し、溝深さｈｄが一定となっていることで、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおける不純物（ゴミ）の詰まりを抑制することができる。不純物が導電性である場合、ショートするおそれがあるが、そのようなショートを抑制することができる。また、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに壁部を設けていないので、吐出動作時に駆動壁Ｗｄが動きやすくなり、吐出特性を向上させることができる。加えて、電極分割溝４６０も不要になるため、製造工程の工数の削減も可能となる。   In the head chip 41C of the third modification, the dummy channels C1d and C2d are entirely opened, and the groove depth hd is constant, thereby suppressing clogging of impurities (dust) in the dummy channels C1d and C2d. Can. If the impurity is conductive, there is a risk of shorting, but such shorting can be suppressed. In addition, since the wall portion is not provided in the dummy channels C1d and C2d, the drive wall Wd becomes easy to move during the discharge operation, and the discharge characteristics can be improved. In addition, since the electrode dividing groove 460 is also unnecessary, the number of manufacturing steps can be reduced.

＜３．その他の変形例＞
以上、実施の形態および変形例をいくつか挙げて本開示を説明したが、本開示はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。 <3. Other Modifications>
Although the present disclosure has been described above by citing some embodiments and modified examples, the present disclosure is not limited to these embodiments and the like, and various modifications are possible.

例えば、上記実施の形態等では、プリンタ、インクジェットヘッドおよびヘッドチップにおける各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。また、上記実施の形態等で説明した各種パラメータの値や範囲、大小関係等についても、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の値や範囲、大小関係等であってもよい。   For example, in the embodiment and the like, the configuration examples (shape, arrangement, number, etc.) of the members in the printer, the inkjet head, and the head chip have been specifically mentioned and described. The shape is not limited, and may be another shape, arrangement, number, or the like. In addition, the values and ranges of various parameters described in the above embodiment and the like, the magnitude relationship, and the like are not limited to those described in the above embodiment and the like, and other values, ranges, magnitude relationships, and the like are also possible. Good.

具体的には、例えば、上記実施の形態等では、２列タイプの（２列のノズル列Ａｎ１，Ａｎ２を有する）インクジェットヘッド４を挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、１列タイプ（１列のノズル列を有する）のインクジェットヘッドや、３列以上（例えば３列や４列など）の複数例タイプ（３列以上のノズル列を有する）インクジェットヘッドであってもよい。   Specifically, for example, in the above embodiment and the like, the two-row type (having two rows of nozzle rows An1 and An2) the inkjet head 4 has been described, but the present invention is not limited to this example. That is, for example, an inkjet head of one row type (having one row of nozzle rows) or a plurality of example types (having three or more rows of nozzle rows) of three or more rows (for example, three rows or four rows) It may be.

また、例えば、上記実施の形態等では、各吐出チャネル（吐出溝）および各ダミーチャネル（非吐出溝）がそれぞれ、アクチュエータプレート４１２内で斜め方向に沿って延在している場合について説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、各吐出チャネルおよび各ダミーチャネルがそれぞれ、アクチュエータプレート４１２内でＹ軸方向に沿って延在するようにしてもよい。   Further, for example, in the above-described embodiment and the like, the case has been described where each discharge channel (discharge groove) and each dummy channel (non-discharge groove) extend in the actuator plate 412 along the oblique direction. Not limited to this example. That is, for example, each ejection channel and each dummy channel may extend in the actuator plate 412 along the Y-axis direction.

さらに、例えば、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の断面形状については、上記実施の形態等で説明したような円形状には限られず、例えば、楕円形状や、三角形状等の多角形状、星型形状などであってもよい。   Furthermore, for example, the sectional shape of the nozzle holes H1 and H2 is not limited to the circular shape as described in the above embodiment and the like, and may be, for example, an elliptical shape, a polygonal shape such as a triangular shape, or a star shape. It may be.

また、上記実施の形態等では、主に、インクタンクとインクジェットヘッドとの間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドを例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、インク９を循環させずに利用する、非循環式のインクジェットヘッドにおいて、本開示を適用するようにしてもよい。   In the above embodiment and the like, the circulation type ink jet head is mainly described by circulating the ink 9 between the ink tank and the ink jet head. However, the present invention is limited to this example. Absent. That is, the present disclosure may be applied to a non-recirculation ink jet head that uses the ink 9 without circulating it.

さらに、上記実施の形態等で説明した一連の処理は、ハードウェア（回路）で行われるようにしてもよいし、ソフトウェア（プログラム）で行われるようにしてもよい。ソフトウェアで行われるようにした場合、そのソフトウェアは、各機能をコンピュータにより実行させるためのプログラム群で構成される。各プログラムは、例えば、上記コンピュータに予め組み込まれて用いられてもよいし、ネットワークや記録媒体から上記コンピュータにインストールして用いられてもよい。   Furthermore, the series of processes described in the above-described embodiment and the like may be performed by hardware (circuit) or may be performed by software (program). When performed by software, the software is configured by a group of programs for causing a computer to execute each function. For example, each program may be incorporated in advance in the computer and used, or may be installed and used in the computer from a network or a recording medium.

加えて、上記実施の形態等では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「ヘッドチップ」および「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「ヘッドチップ」および「液体噴射ヘッド」を適用するようにしてもよい。   In addition, in the above embodiment and the like, the printer 1 (ink jet printer) is described as a specific example of the “liquid jet recording apparatus” in the present disclosure, but the present invention is not limited to this example. The present disclosure is also applicable to the device of In other words, the “head chip” and the “liquid jet head” (inkjet head) of the present disclosure may be applied to devices other than the ink jet printer. Specifically, for example, the “head chip” and the “liquid jet head” of the present disclosure may be applied to an apparatus such as a facsimile or an on-demand printer.

加えて、これまでに説明した各種の例を、任意の組み合わせで適用させるようにしてもよい。   In addition, the various examples described above may be applied in any combination.

なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。   In addition, the effect described in this specification is an illustration to the last, is not limited, and may have other effects.

また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
液体を噴射するヘッドチップであって、
第１の面と、前記第１の面とは反対側に設けられた第２の面と、第１の方向に沿って並設され、かつ前記第１の方向に交差する第２の方向に延在する複数の吐出溝とを有するアクチュエータプレートと、
前記複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有すると共に、前記アクチュエータプレートの前記第１の面に接合されるノズルプレートと、
前記アクチュエータプレートを覆うと共に、前記アクチュエータプレートの前記第２の面に接合されるカバープレートと
を備え、
前記カバープレートは、前記複数の吐出溝をそれぞれ覆う壁部を有し、
前記壁部は、前記第１の方向に延在すると共に、前記第２の方向に長さを有し、
前記第１の面において、前記吐出溝に部分的に第１の開口が形成されており、
前記第２の方向において、前記壁部の長さに対して、前記吐出溝の前記第１の開口の長さが短くなっている
ヘッドチップ。
（２）
前記アクチュエータプレートは、前記第１の方向に沿って、前記複数の吐出溝と交互に並設され、かつ前記第２の方向に延在する非吐出溝、をさらに有し、
少なくとも前記第１の面において、前記非吐出溝に部分的に第２の開口が形成されている
上記（１）に記載のヘッドチップ。
（３）
前記第２の方向において、前記壁部の長さに対して、前記非吐出溝の前記第２の開口の長さが短くなっている
上記（２）に記載のヘッドチップ。
（４）
前記第２の方向において、前記壁部の長さに対して、前記非吐出溝の前記第２の開口の長さが長くなっている
上記（２）に記載のヘッドチップ。
（５）
前記アクチュエータプレートは、前記第１の方向に沿って、前記複数の吐出溝と交互に並設され、かつ前記第２の方向に延在する非吐出溝、をさらに有し、
前記非吐出溝が、前記第１の面において全体的に開口し、前記非吐出溝の溝深さが一定となっている
上記（１）に記載のヘッドチップ。
（６）
前記非吐出溝が、前記第２の方向における前記アクチュエータプレートの所定の端面において部分的に開口している
上記（２）ないし（４）のいずれか１つに記載のヘッドチップ。
（７）
上記（１）ないし（６）のいずれか１つに記載のヘッドチップを備えた
液体噴射ヘッド。
（８）
請求項（７）に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた液体噴射記録装置。 Furthermore, the present disclosure can also be configured as follows.
(1)
A head tip for jetting liquid,
A first surface, a second surface provided on the opposite side to the first surface, and a second direction which is juxtaposed along a first direction and which intersects the first direction An actuator plate having a plurality of extending discharge grooves;
A nozzle plate having a plurality of nozzle holes individually communicating with the plurality of ejection grooves, and joined to the first surface of the actuator plate;
A cover plate covering the actuator plate and joined to the second surface of the actuator plate;
The cover plate has wall portions that respectively cover the plurality of discharge grooves,
The wall extends in the first direction and has a length in the second direction,
In the first surface, a first opening is partially formed in the discharge groove;
A head chip, wherein a length of the first opening of the ejection groove is shorter than a length of the wall portion in the second direction.
(2)
The actuator plate further includes non-ejection grooves alternately arranged in parallel with the plurality of ejection grooves along the first direction, and extending in the second direction,
The head chip according to (1), wherein a second opening is partially formed in the non-ejection groove on at least the first surface.
(3)
The head chip according to (2), wherein a length of the second opening of the non-ejection groove is shorter than a length of the wall portion in the second direction.
(4)
The head chip according to (2), wherein a length of the second opening of the non-ejection groove is longer than a length of the wall portion in the second direction.
(5)
The actuator plate further includes non-ejection grooves alternately arranged in parallel with the plurality of ejection grooves along the first direction, and extending in the second direction,
The head chip according to (1), wherein the non-ejection groove is entirely open on the first surface, and the groove depth of the non-ejection groove is constant.
(6)
The head chip according to any one of (2) to (4), wherein the non-ejection groove is partially open at a predetermined end face of the actuator plate in the second direction.
(7)
A liquid jet head comprising the head chip according to any one of the above (1) to (6).
(8)
A liquid jet head according to claim 7;
And a storage unit for storing the liquid.

１…プリンタ、１０…筺体、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）…インクタンク、４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）…インクジェットヘッド、４０…流路プレート、４１…ヘッドチップ、４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ…ヘッドチップ、１０２…アクチュエータプレート、１０４…ヘッドチップ、
４１１…ノズルプレート、４１２…アクチュエータプレート、４１２Ａ，４１２Ｂ，４１２Ｃ…アクチュエータプレート、４１３…カバープレート、４２０…尾部、４２１，４２２…チャネル列、４４１，４４２…フレキシブルプリント基板、４５１…第１の端面、４５２…第２の端面、４６０…電極分割溝、４７１…接合面（第１の面）、４７２…接合面（第２の面）、４８１…開口（第１の開口）、４８２…開口（第２の開口）、５…循環機構、５０…循環流路、５０ａ，５０ｂ…流路（供給チューブ）、５２ａ，５２ｂ…送液ポンプ、６…走査機構、６１ａ，６１ｂ…ガイドレール、６２…キャリッジ、６３…駆動機構、６３１ａ，６３１ｂ…プーリ、６３２…無端ベルト、６３３…駆動モータ、９…インク、Ｐ…記録紙、ｄ…搬送方向、Ｈ１，Ｈ２…ノズル孔、Ａｎ１，Ａｎ２…ノズル列、Ｃ１，Ｃ２…チャネル、Ｃ１ｅ，Ｃ２ｅ…吐出チャネル（吐出溝）、Ｃ１ｄ，Ｃ２ｄ…ダミーチャネル（非吐出溝）、Ｗｄ…駆動壁、Ｅｄ…駆動電極、Ｅｄｃ…共通電極（コモン電極）、Ｅｄｃ２…共通電極（コモン電極）、Ｅｄａ…個別電極（アクティブ電極）、Ｗｄａ…個別配線、Ｗｄｃ…共通配線、Ｒin１，Ｒin２…入口側共通インク室、Ｒout１，Ｒout２…出口側共通インク室、Ｓin１，Ｓin２…供給スリット、Ｓout１，Ｓout２…排出スリット、Ｗ１，Ｗ２…壁部、ｈｄ…溝深さ、Ｌｅ…吐出チャネルの開口（第１の開口）の長さ、Ｌｄ…ダミーチャネルの開口（第２の開口）の長さ、Ｌｗ…壁部の長さ、Ｓ０…溝部。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Printer, 10 ... Housing, 2a, 2b ... Conveyance mechanism, 21 ... Grid roller, 22 ... Pinch roller, 3 (3Y, 3M, 3C, 3B) ... Ink tank, 4 (4Y, 4M, 4C, 4B) ... Ink jet head, 40: flow path plate, 41: head chip, 41A, 41B, 41C: head chip, 102: actuator plate, 104: head chip,
411 ... nozzle plate, 412 ... actuator plate, 412 A, 412 B, 412 C ... actuator plate, 413 ... cover plate, 420 ... tail portion, 421, 422 ... channel row, 441, 442 ... flexible printed circuit board, 451 ... first end face, 452 ... second end face, 460 ... electrode division groove, 471 ... bonding surface (first surface), 472 ... bonding surface (second surface), 481 ... opening (first opening), 482 ... opening (first) 2 opening 5) circulation mechanism 50 circulation flow path 50a, 50b flow path (supply tube) 52a, 52b liquid feed pump 6 scanning mechanism 61a, 61b guide rail 62 carriage , 63: drive mechanism, 631a, 631b: pulley, 632: endless belt, 633: drive motor, 9: ink, P: recording paper, d: transport method H1, H2 ... Nozzle holes, An1, An2 ... Nozzle arrays, C1, C2 ... Channels, C1e, C2e ... Discharge channels (discharge grooves), C1d, C2d ... Dummy channels (non-discharge grooves), Wd ... Drive wall, Ed ... driving electrode, Edc ... common electrode (common electrode), Edc 2 ... common electrode (common electrode), Eda ... individual electrode (active electrode), Wda ... individual wiring, Wdc ... common wiring, Rin1, Rin2 ... entrance side common ink chamber , Rout1, Rout2: outlet common ink chamber, Sin1, Sin2: supply slit, Sout1, Sout2: discharge slit, W1, W2: wall portion, hd: groove depth, Le: opening of discharge channel (first opening) Length, Ld: length of opening (second opening) of dummy channel, Lw: length of wall portion, S0: groove portion.

Claims (8)

液体を噴射するヘッドチップであって、
第１の面と、前記第１の面とは反対側に設けられた第２の面と、第１の方向に沿って並設され、かつ前記第１の方向に交差する第２の方向に延在する複数の吐出溝とを有するアクチュエータプレートと、
前記複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有すると共に、前記アクチュエータプレートの前記第１の面に接合されるノズルプレートと、
前記アクチュエータプレートを覆うと共に、前記アクチュエータプレートの前記第２の面に接合されるカバープレートと
を備え、
前記カバープレートは、前記複数の吐出溝をそれぞれ覆う壁部を有し、
前記壁部は、前記第１の方向に延在すると共に、前記第２の方向に長さを有し、
前記第１の面において、前記吐出溝に部分的に第１の開口が形成されており、
前記第２の方向において、前記壁部の長さに対して、前記吐出溝の前記第１の開口の長さが短くなっている
ヘッドチップ。 A head tip for jetting liquid,
A first surface, a second surface provided on the opposite side to the first surface, and a second direction which is juxtaposed along a first direction and which intersects the first direction An actuator plate having a plurality of extending discharge grooves;
A nozzle plate having a plurality of nozzle holes individually communicating with the plurality of ejection grooves, and joined to the first surface of the actuator plate;
A cover plate covering the actuator plate and joined to the second surface of the actuator plate;
The cover plate has wall portions that respectively cover the plurality of discharge grooves,
The wall extends in the first direction and has a length in the second direction,
In the first surface, a first opening is partially formed in the discharge groove;
A head chip, wherein a length of the first opening of the ejection groove is shorter than a length of the wall portion in the second direction. 前記アクチュエータプレートは、前記第１の方向に沿って、前記複数の吐出溝と交互に並設され、かつ前記第２の方向に延在する非吐出溝、をさらに有し、
少なくとも前記第１の面において、前記非吐出溝に部分的に第２の開口が形成されている
請求項１に記載のヘッドチップ。 The actuator plate further includes non-ejection grooves alternately arranged in parallel with the plurality of ejection grooves along the first direction, and extending in the second direction,
The head chip according to claim 1, wherein a second opening is partially formed in the non-ejection groove on at least the first surface. 前記第２の方向において、前記壁部の長さに対して、前記非吐出溝の前記第２の開口の長さが短くなっている
請求項２に記載のヘッドチップ。 The head chip according to claim 2, wherein a length of the second opening of the non-ejection groove is shorter than a length of the wall portion in the second direction. 前記第２の方向において、前記壁部の長さに対して、前記非吐出溝の前記第２の開口の長さが長くなっている
請求項２に記載のヘッドチップ。 The head chip according to claim 2, wherein a length of the second opening of the non-ejection groove is longer than a length of the wall portion in the second direction. 前記アクチュエータプレートは、前記第１の方向に沿って、前記複数の吐出溝と交互に並設され、かつ前記第２の方向に延在する非吐出溝、をさらに有し、
前記非吐出溝が、前記第１の面において全体的に開口し、前記非吐出溝の溝深さが一定となっている
請求項１に記載のヘッドチップ。 The actuator plate further includes non-ejection grooves alternately arranged in parallel with the plurality of ejection grooves along the first direction, and extending in the second direction,
The head chip according to claim 1, wherein the non-ejection groove is entirely open on the first surface, and the groove depth of the non-ejection groove is constant. 前記非吐出溝が、前記第２の方向における前記アクチュエータプレートの所定の端面において部分的に開口している
請求項２ないし請求項４のいずれか１項に記載のヘッドチップ。 The head chip according to any one of claims 2 to 4, wherein the non-ejection groove is partially open at a predetermined end face of the actuator plate in the second direction. 請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のヘッドチップを備えた
液体噴射ヘッド。 A liquid jet head comprising the head chip according to any one of claims 1 to 6. 請求項７に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた液体噴射記録装置。 A liquid jet head according to claim 7;
And a storage unit for storing the liquid.
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