JP2019021688A - Thermally conductive sheet - Google Patents

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豊和 伊藤
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Abstract

To provide a thermally conductive sheet having sufficiently high thermal conductivity and hard to cause displacement in an in-plane direction.SOLUTION: A thermally conductive sheet comprises: a first region formed by a first material including a resin and a thermally conductive filler; and a second region formed by a second material having a Mooney viscosity (ML, 100°C) of 2 or more, and an adhesive force of 5.0 N/mm or more. In the thermally conductive sheet, an areal percentage occupied by the second region in at least one principal face is over 0% and under 20%.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、熱伝導シートに関するものである。   The present invention relates to a heat conductive sheet.

近年、プラズマディスプレイパネル(PDP)や集積回路(IC)チップ等の電子部品は、高性能化に伴って発熱量が増大している。その結果、電子部品を用いた電子機器では、電子部品の温度上昇による機能障害対策を講じる必要が生じている。   In recent years, electronic components such as plasma display panels (PDP) and integrated circuit (IC) chips have increased in heat generation as performance is improved. As a result, in electronic devices using electronic components, it is necessary to take measures against functional failures due to temperature rise of the electronic components.

電子部品の温度上昇による機能障害対策としては、一般に、電子部品等の発熱体に対し、金属製のヒートシンク、放熱板、放熱フィン等の放熱体を取り付けることによって、放熱を促進させる方法が採られている。そして、放熱体を使用する際には、発熱体から放熱体へと熱を効率的に伝えるために、通常、熱伝導率が高いシート状の部材(熱伝導シート)を介在させた状態で発熱体と放熱体とを密着させている。   As countermeasures against functional failures due to temperature rise of electronic components, generally, a method of promoting heat dissipation by attaching a heat sink such as a metal heat sink, heat sink, heat sink or the like to a heat generator such as an electronic component is adopted. ing. And when using a radiator, in order to efficiently transfer heat from the heater to the radiator, heat is usually generated with a sheet-like member (heat conductive sheet) having high thermal conductivity interposed. The body and the radiator are in close contact.

従って、発熱体と放熱体との間に挟み込んで使用される熱伝導シートには、優れた熱伝導性を発揮することが求められている。   Therefore, the heat conductive sheet used by being sandwiched between the heat generating body and the heat radiating body is required to exhibit excellent heat conductivity.

そこで、例えば、特許文献1では、高い熱伝導性を有する熱伝導シートとして、フッ素樹脂と膨張化黒鉛とを含む組成物を加圧してシート状に成形してなるプレ熱伝導シートを厚み方向に複数枚積層して、或いは、折畳または捲回して得た積層体を、積層方向に対して45°以下の角度でスライスしてなる熱伝導シートが提案されている。また、特許文献1では、プレ熱伝導シートを、表面に接着剤を塗布した状態または表面に接着層を設けた状態で、積層、折畳、或いは、捲回することにより、得られる積層体の層間剥離を十分に抑制することも提案されている。そして、この特許文献1の熱伝導シートは、フッ素樹脂および膨張化黒鉛を含む条片(積層体を構成していたプレ熱伝導シートのスライス片)が任意の接着剤または接着層を介して並列接合されてなる構成を有しており、各条片がフッ素樹脂および膨張化黒鉛を含有しているので、高い熱伝導性を発揮することができる。   Therefore, for example, in Patent Document 1, as a heat conductive sheet having high heat conductivity, a pre-heat conductive sheet formed by pressing a composition containing a fluororesin and expanded graphite into a sheet shape in the thickness direction is used. There has been proposed a heat conductive sheet obtained by slicing a laminated body obtained by laminating a plurality of sheets or by folding or winding at an angle of 45 ° or less with respect to the laminating direction. Moreover, in patent document 1, it is the state of the laminated body obtained by laminating | stacking, folding, or winding a pre heat conductive sheet in the state which apply | coated the adhesive agent on the surface, or the state which provided the adhesive layer on the surface. It has also been proposed to sufficiently suppress delamination. And as for the heat conductive sheet of this patent document 1, the strip (The slice piece of the pre heat conductive sheet which comprised the laminated body) containing a fluororesin and expanded graphite is paralleled through arbitrary adhesive agents or an adhesive layer. Since it has the structure formed by joining and each strip contains the fluororesin and the expanded graphite, high thermal conductivity can be exhibited.

国際公開第2016/185688号International Publication No. 2016/185688

ここで、熱伝導シートには、発熱体等の被着体に熱伝導シートを接着させた状態で輸送する際や、熱伝導シートを介在させた状態で発熱体と放熱体とを密着させる際などに、面内方向(熱伝導シートの表面に平行な方向)に位置ズレを起こさないことも求められている。   Here, when the heat conductive sheet is transported in a state where the heat conductive sheet is adhered to an adherend such as a heat generating element, or when the heat generating element and the heat radiating element are brought into close contact with the heat conductive sheet interposed therebetween. For example, it is also required not to cause a positional shift in an in-plane direction (a direction parallel to the surface of the heat conductive sheet).

しかし、上記従来の熱伝導シートには、熱伝導性を確保しつつ位置ズレを起こし難くするという点において改善の余地があった。   However, the conventional heat conductive sheet has room for improvement in that it is difficult to cause positional displacement while ensuring heat conductivity.

そこで、本発明は、十分に高い熱伝導性を有し、且つ、面内方向の位置ズレを起こし難い熱伝導シートを提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a heat conductive sheet that has a sufficiently high thermal conductivity and hardly causes positional displacement in the in-plane direction.

本発明者は、上記課題を解決することを目的として鋭意検討を行った。そして、本発明者は、熱伝導シートに所定の性状を有する領域を所定の割合で設ければ、熱伝導性を確保しつつ面内方向の位置ズレの発生を抑制し得ることを見出し、本発明を完成させた。   The present inventor has intensively studied for the purpose of solving the above problems. And this inventor discovered that if the area | region which has a predetermined | prescribed property was provided in a predetermined | prescribed ratio in a heat conductive sheet, generation | occurrence | production of the position shift | offset | difference of an in-plane direction could be suppressed, ensuring thermal conductivity, Completed the invention.

即ち、この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の熱伝導シートは、樹脂および熱伝導性充填材を含む第一材料よりなる第一領域と、ムーニー粘度(ML1+4,100℃)が2以上の第二材料よりなり、且つ、粘着力が5.0N/mm以上である第二領域とを有し、少なくとも一方の主面において前記第二領域が占める面積割合が0%超20%未満であることを特徴とする。このように、熱伝導性充填材を含有する第一領域を設ければ、十分に高い熱伝導性を確保することができる。また、所定の性状を有する第二材料からなり、且つ、所定の粘着力を有する第二領域を設ければ、熱伝導シートの形状を維持しつつ、面内方向の位置ズレの発生を抑制することができる。更に、第二領域の面積割合を所定の範囲内にすれば、熱伝導シートの熱伝導性が低下するのを抑制することができる。
ここで、本発明において、「ムーニー粘度」は、JIS K6300に準拠して温度100℃で測定することができる。また、「粘着力」は、プローブタック試験機を使用し、温度25℃、荷重0.5Nの条件でプローブを10秒間押し付けて測定することができる。
That is, the present invention aims to advantageously solve the above-mentioned problems, and the heat conductive sheet of the present invention includes a first region comprising a first material containing a resin and a heat conductive filler, Mooney A second region having a viscosity (ML 1 + 4 , 100 ° C.) of 2 or more and having an adhesive strength of 5.0 N / mm or more, and the second region on at least one main surface is The area ratio is more than 0% and less than 20%. Thus, if the 1st area | region containing a heat conductive filler is provided, sufficiently high heat conductivity can be ensured. Further, if a second region made of a second material having a predetermined property and having a predetermined adhesive force is provided, the occurrence of positional displacement in the in-plane direction is suppressed while maintaining the shape of the heat conductive sheet. be able to. Furthermore, if the area ratio of the second region is within a predetermined range, it is possible to suppress a decrease in the thermal conductivity of the heat conductive sheet.
Here, in the present invention, the “Mooney viscosity” can be measured at a temperature of 100 ° C. in accordance with JIS K6300. The “adhesive strength” can be measured by using a probe tack tester and pressing the probe for 10 seconds under the conditions of a temperature of 25 ° C. and a load of 0.5 N.

ここで、本発明の熱伝導シートは、前記第二領域が占める面積割合が1%以上15%以下であることが好ましい。第二領域が占める面積割合が上記範囲内であれば、面内方向の位置ズレの発生を更に良好に抑制しつつ、熱伝導シートの熱伝導性を十分に高めることができる。   Here, in the heat conductive sheet of the present invention, the area ratio occupied by the second region is preferably 1% or more and 15% or less. If the area ratio which a 2nd area | region occupies is in the said range, the thermal conductivity of a heat conductive sheet can fully be improved, suppressing generation | occurrence | production of the position shift | offset | difference of an in-plane direction still more favorably.

また、本発明の熱伝導シートは、前記樹脂がフッ素樹脂およびシリコン樹脂の少なくとも一方からなることが好ましい。第一材料の樹脂がフッ素樹脂および/またはシリコン樹脂であれば、熱伝導シートの難燃性を高めることができる。   In the heat conductive sheet of the present invention, the resin is preferably made of at least one of a fluororesin and a silicon resin. If the resin of the first material is a fluororesin and / or a silicon resin, the flame retardancy of the heat conductive sheet can be increased.

更に、本発明の熱伝導シートは、前記第二材料が、粘着性樹脂と、熱伝導性充填材とを含むことが好ましい。粘着性樹脂と熱伝導性充填材とを含む第二材料を使用すれば、熱伝導シートの熱伝導性が低下するのを十分に抑制しつつ、第二領域の粘着力を十分に高めて面内方向の位置ズレの発生を更に抑制することができる。   Furthermore, in the heat conductive sheet of the present invention, it is preferable that the second material includes an adhesive resin and a heat conductive filler. If a second material containing an adhesive resin and a thermally conductive filler is used, the adhesiveness of the second region is sufficiently increased while sufficiently suppressing the thermal conductivity of the thermal conductive sheet from being lowered. Generation | occurrence | production of the position shift of an inner direction can further be suppressed.

ここで、前記第二材料中における前記熱伝導性充填材の含有割合は、1.0質量%以上20.0質量%以下であることが好ましい。第二材料中の熱伝導性充填材の含有割合が上記範囲内であれば、第二領域の粘着力が低下するのを十分に抑制しつつ、熱伝導シートの熱伝導性を十分に高めることができる。   Here, it is preferable that the content rate of the said heat conductive filler in said 2nd material is 1.0 mass% or more and 20.0 mass% or less. If the content ratio of the heat conductive filler in the second material is within the above range, the heat conductivity of the heat conductive sheet is sufficiently increased while sufficiently suppressing the adhesive strength of the second region from being lowered. Can do.

更に、前記第二材料中の前記熱伝導性充填材が繊維状炭素ナノ材料を含み、前記繊維状炭素ナノ材料のBET比表面積が、400m/g以上2500m/g以下であることが好ましい。繊維状炭素ナノ材料のBET比表面積が上記範囲内であれば、第二領域の粘着力と熱伝導シートの熱伝導性とを十分に高めることができる。
なお、本発明において、「BET比表面積」とは、BET法を用いて測定した窒素吸着比表面積を指す。
Furthermore, it is preferable that the thermally conductive filler in the second material includes a fibrous carbon nanomaterial, and the BET specific surface area of the fibrous carbon nanomaterial is 400 m 2 / g or more and 2500 m 2 / g or less. . If the BET specific surface area of the fibrous carbon nanomaterial is within the above range, the adhesive strength of the second region and the thermal conductivity of the thermal conductive sheet can be sufficiently increased.
In the present invention, the “BET specific surface area” refers to a nitrogen adsorption specific surface area measured using the BET method.

また、本発明の熱伝導シートは、前記第一材料中の前記熱伝導性充填材が、体積平均粒子径が150μm以上300μm以下の粒子状材料を含むことが好ましい。第一材料の熱伝導性充填材として体積平均粒子径が150μm以上300μm以下の粒子状材料を含む熱伝導性充填材を使用すれば、熱伝導シートの熱伝導性を十分に高めることができる。
なお、本発明において、「体積平均粒子径」とは、レーザー回折法を用いて測定された体積基準の粒子径分布における極大値(モード径)を指す。そして、粒子状材料の体積平均粒子径の測定は、特に限定されることなく、例えば第一領域を構成する第一材料に含まれている樹脂に対する良溶媒を用いて樹脂を溶解させる等の任意の手法を用いて第一領域から粒子状材料を取り出して行うことができる。
In the heat conductive sheet of the present invention, it is preferable that the heat conductive filler in the first material includes a particulate material having a volume average particle diameter of 150 μm or more and 300 μm or less. If a heat conductive filler containing a particulate material having a volume average particle diameter of 150 μm or more and 300 μm or less is used as the heat conductive filler of the first material, the heat conductivity of the heat conductive sheet can be sufficiently increased.
In the present invention, the “volume average particle diameter” refers to a maximum value (mode diameter) in a volume-based particle diameter distribution measured using a laser diffraction method. The measurement of the volume average particle diameter of the particulate material is not particularly limited. For example, it is optional to dissolve the resin using a good solvent for the resin contained in the first material constituting the first region. The particulate material can be taken out from the first region by using the above method.

そして、本発明の熱伝導シートは、前記第一材料中における前記粒子状材料の含有割合が5体積%以上30体積%以下であることが好ましい。粒子状材料の含有割合が上記範囲内であれば、熱伝導シートの柔軟性および被着体に対する密着性を十分に確保しつつ、熱伝導シートの熱伝導性を十分に高めることができる。   And as for the heat conductive sheet of this invention, it is preferable that the content rate of the said particulate material in said 1st material is 5 volume% or more and 30 volume% or less. If the content rate of a particulate material is in the said range, the heat conductivity of a heat conductive sheet can fully be improved, ensuring the softness | flexibility of a heat conductive sheet, and the adhesiveness with respect to a to-be-adhered body sufficiently.

本発明によれば、十分に高い熱伝導性を有し、且つ、面内方向の位置ズレを起こし難い熱伝導シートを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it can provide the heat conductive sheet which has high heat conductivity and does not raise | generate the position shift of an in-plane direction easily.

本発明に従う熱伝導シートの一例を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically an example of the heat conductive sheet according to this invention. 本発明に従う熱伝導シートの他の例を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the other example of the heat conductive sheet according to this invention. 図1に示す熱伝導シートの製造に用いられる積層体を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the laminated body used for manufacture of the heat conductive sheet shown in FIG. 図2に示す熱伝導シートの製造に用いられる積層体を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the laminated body used for manufacture of the heat conductive sheet shown in FIG. (a)〜(f)は、実施例および比較例の熱伝導シートの構成を模式的に示す平面図である。(A)-(f) is a top view which shows typically the structure of the heat conductive sheet of an Example and a comparative example.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、各図において、同一の符号を付したものは、同一の構成要素を示すものとする。また、各図では、理解を容易にするために、各構成要素の大きさを適宜に拡大または縮小して示している。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, in each figure, what attached | subjected the same code | symbol shall show the same component. Moreover, in each figure, in order to understand easily, the magnitude | size of each component is expanded or reduced suitably, and is shown.

(熱伝導シート)
ここで、本発明の熱伝導シートは、例えば、発熱体に放熱体を取り付ける際に発熱体と放熱体との間に挟み込んで使用することができる。即ち、本発明の熱伝導シートは、放熱部材として、ヒートシンク、放熱板、放熱フィン等の放熱体と共に放熱装置を構成することができる。
(Heat conduction sheet)
Here, the heat conductive sheet of the present invention can be used by being sandwiched between the heat generator and the heat radiator, for example, when the heat radiator is attached to the heat generator. That is, the heat conductive sheet of this invention can comprise a heat radiating device as a heat radiating member with heat sinks, such as a heat sink, a heat sink, and a heat radiating fin.

そして、本発明の熱伝導シートは、樹脂および熱伝導性充填材を含む第一材料よりなる第一領域と、ムーニー粘度(ML1+4,100℃)が2以上の第二材料よりなり、且つ、粘着力が5.0N/mm以上である第二領域とを有する。そして、本発明の熱伝導シートは、熱伝導シートの厚み方向に直交する面である主面の少なくとも一方、好ましくは両方において、第二領域が占める面積割合が0%超20%未満であることを特徴とする。 And the heat conductive sheet of this invention consists of a 1st area | region which consists of a 1st material containing resin and a heat conductive filler, and a Mooney viscosity (ML1 + 4,100 degreeC) is 2 or more second materials, and A second region having an adhesive strength of 5.0 N / mm or more. In the heat conductive sheet of the present invention, the area ratio occupied by the second region is at least 0% and less than 20% in at least one, preferably both, of the main surface which is a surface orthogonal to the thickness direction of the heat conductive sheet. It is characterized by.

具体的には、本発明の熱伝導シートは、例えば図1、図2または図5に示すように、第一材料よりなる第一領域11と、第二材料よりなる第二領域12とを有している。そして、熱伝導シート10の少なくとも一方の主面において、第二領域12が占める面積の合計の割合は、20%未満である。
なお、第一領域11および第二領域12の形状および配置は、図1,2,5に示す形状および配置に限定されるものではない。そして、第一領域11および第二領域12は、それぞれが熱伝導シート10の厚み方向の全長に亘って(即ち、両主面間に亘って)延在していることが好ましい。更に、第一領域11および第二領域12の形状は、熱伝導シート10の厚み方向に変化しないことが好ましく、第二領域12が占める面積割合は、一方の主面側と他方の主面側とで同一であることが好ましい。また、熱伝導シート10は、第一領域11および第二領域12以外に、第一材料および第二材料以外の材料からなる領域を更に含んでいてもよいが、熱伝導シートの生産性の観点からは、熱伝導シートは、第一領域11および第二領域12のみからなることが好ましい。
Specifically, the heat conductive sheet of the present invention has, for example, a first region 11 made of the first material and a second region 12 made of the second material, as shown in FIG. 1, FIG. 2, or FIG. doing. And in the at least one main surface of the heat conductive sheet 10, the ratio of the total of the area which the 2nd area | region 12 occupies is less than 20%.
In addition, the shape and arrangement | positioning of the 1st area | region 11 and the 2nd area | region 12 are not limited to the shape and arrangement | positioning shown to FIG. And it is preferable that the 1st area | region 11 and the 2nd area | region 12 each extend over the full length of the thickness direction of the heat conductive sheet 10 (namely, over both main surfaces). Furthermore, it is preferable that the shapes of the first region 11 and the second region 12 do not change in the thickness direction of the heat conductive sheet 10, and the area ratio occupied by the second region 12 is one main surface side and the other main surface side. And are preferably the same. In addition to the first region 11 and the second region 12, the heat conductive sheet 10 may further include a region made of a material other than the first material and the second material, but from the viewpoint of the productivity of the heat conductive sheet. From the above, it is preferable that the heat conductive sheet includes only the first region 11 and the second region 12.

そして、本発明の熱伝導シートは、熱伝導性充填材を含有する第一領域を有しているので、十分に高い熱伝導性を確保することができる。また、本発明の熱伝導シートは、所定の性状を有する第二材料からなり、且つ、所定の粘着力を有する第二領域を有しているので、熱伝導シートの形状を維持しつつ、面内方向の位置ズレの発生を抑制することができる。更に、本発明の熱伝導シートは、第二領域の面積割合が所定の範囲内であるので、熱伝導性の確保と、面内方向の位置ズレの発生の抑制とを両立することができる。   And since the heat conductive sheet of this invention has the 1st area | region containing a heat conductive filler, it can ensure sufficiently high heat conductivity. Moreover, since the heat conductive sheet of the present invention is made of the second material having a predetermined property and has a second region having a predetermined adhesive force, the surface of the heat conductive sheet is maintained while maintaining the shape of the heat conductive sheet. Generation | occurrence | production of the position shift of an inner direction can be suppressed. Furthermore, since the area ratio of a 2nd area | region is in the predetermined range, the heat conductive sheet of this invention can be compatible with ensuring thermal conductivity and suppressing generation | occurrence | production of the position shift of an in-plane direction.

<第一領域>
ここで、第一領域は、樹脂と、熱伝導性充填材とを含有する第一材料で構成されている。そして、第一材料は、熱伝導性充填材を含有しているので、第一材料からなる第一領域を有する熱伝導シートは、熱伝導性を確保することができる。
なお、熱伝導シートに含まれる第一領域は、樹脂および熱伝導性充填材を含有する第一材料で構成されていれば、1種類の第一材料のみで構成されていてもよいし、2種類以上の第一材料で構成されていてもよい。また、第一材料からなる第一領域は、通常、第二材料からなる第二領域よりも粘着力が低い。そして、第一領域の粘着力は、5.0N/mm未満であってもよく、例えば4.0N/mm以下とすることができる。
<First area>
Here, the first region is composed of a first material containing a resin and a thermally conductive filler. And since the 1st material contains the heat conductive filler, the heat conductive sheet which has the 1st area | region which consists of a 1st material can ensure heat conductivity.
In addition, if the 1st area | region contained in a heat conductive sheet is comprised with the 1st material containing resin and a heat conductive filler, it may be comprised only with 1 type of 1st materials, or 2 You may be comprised with the 1st material of the kind or more. Further, the first region made of the first material usually has a lower adhesive force than the second region made of the second material. And the adhesive force of a 1st area | region may be less than 5.0 N / mm, for example, can be 4.0 N / mm or less.

[第一材料]
第一領域を構成する第一材料は、樹脂と、熱伝導性充填材とを含有する。そして、第一材料は、難燃剤や可塑剤などの添加剤を更に含有していてもよいが、添加剤のブリードアウトまたはブルーミングを防止する観点からは、第一材料は添加剤を含有しないことが好ましい。
[First material]
The first material constituting the first region contains a resin and a thermally conductive filler. The first material may further contain an additive such as a flame retardant or a plasticizer, but from the viewpoint of preventing the additive from bleeding out or blooming, the first material should not contain an additive. Is preferred.

−樹脂−
樹脂は、第一領域のマトリックス樹脂を構成すると共に、熱伝導性充填材を結着する結着材としても機能する。
そして、樹脂としては、常温常圧下で液体の樹脂と、常温常圧下で固体の樹脂との少なくとも一方を用いることができる。なお、本明細書において、「常温」とは23℃を指し、「常圧」とは、1atm(絶対圧)を指す。
-Resin-
The resin constitutes the matrix resin in the first region and also functions as a binder for binding the heat conductive filler.
As the resin, at least one of a resin that is liquid at normal temperature and pressure and a resin that is solid at normal temperature and pressure can be used. In this specification, “normal temperature” refers to 23 ° C., and “normal pressure” refers to 1 atm (absolute pressure).

ここで、常温常圧下で液体の樹脂としては、常温常圧下で液体の熱可塑性樹脂および常温常圧下で液体の熱硬化性樹脂が挙げられる。中でも、熱伝導シートの使用時に熱伝導シートと被着体との間の密着性を高めて熱伝導シートを介した熱の良好な伝導を可能にする観点からは、常温常圧下で液体の樹脂としては、常温常圧下で液体の熱可塑性樹脂を用いることが好ましい。   Here, examples of the resin that is liquid under normal temperature and normal pressure include a thermoplastic resin that is liquid under normal temperature and normal pressure, and a thermosetting resin that is liquid under normal temperature and normal pressure. Among these, from the viewpoint of improving the adhesion between the heat conductive sheet and the adherend when using the heat conductive sheet and enabling good conduction of heat through the heat conductive sheet, it is a liquid resin at room temperature and normal pressure. It is preferable to use a thermoplastic resin that is liquid at normal temperature and pressure.

常温常圧下で液体の熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、フッ素樹脂などが挙げられる。これらは、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。   Examples of the thermoplastic resin that is liquid at room temperature and normal pressure include acrylic resin, epoxy resin, silicon resin, and fluororesin. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

また、常温常圧下で液体の熱硬化性樹脂としては、例えば、天然ゴム;ブタジエンゴム;イソプレンゴム;ニトリルゴム;水素化ニトリルゴム;クロロプレンゴム;エチレンプロピレンゴム;塩素化ポリエチレン;クロロスルホン化ポリエチレン;ブチルゴム;ハロゲン化ブチルゴム;ポリイソブチレンゴム;エポキシ樹脂;ポリイミド樹脂;ビスマレイミド樹脂;ベンゾシクロブテン樹脂;フェノール樹脂;不飽和ポリエステル;ジアリルフタレート樹脂;ポリイミドシリコーン樹脂;ポリウレタン;熱硬化型ポリフェニレンエーテル;熱硬化型変性ポリフェニレンエーテル;などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。   Examples of the thermosetting resin that is liquid at normal temperature and pressure include natural rubber; butadiene rubber; isoprene rubber; nitrile rubber; hydrogenated nitrile rubber; chloroprene rubber; ethylene propylene rubber; Butyl rubber; Halogenated butyl rubber; Polyisobutylene rubber; Epoxy resin; Polyimide resin; Bismaleimide resin; Benzocyclobutene resin; Phenolic resin; Unsaturated polyester; Type-modified polyphenylene ether; and the like. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

また、常温常圧下で固体の樹脂としては、常温常圧下で固体の熱可塑性樹脂および常温常圧下で固体の熱硬化性樹脂が挙げられる。中でも、熱伝導シートと被着体との密着性を高める観点からは、常温常圧下で固体の樹脂としては、常温常圧下で固体の熱可塑性樹脂を用いることが好ましい。   Examples of the resin that is solid under normal temperature and normal pressure include a thermoplastic resin that is solid under normal temperature and normal pressure, and a thermosetting resin that is solid under normal temperature and normal pressure. Among these, from the viewpoint of improving the adhesion between the heat conductive sheet and the adherend, it is preferable to use a thermoplastic resin that is solid at normal temperature and pressure as the solid resin at normal temperature and pressure.

常温常圧下で固体の熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリ(アクリル酸2−エチルヘキシル)、アクリル酸とアクリル酸2−エチルヘキシルとの共重合体、ポリメタクリル酸またはそのエステル、ポリアクリル酸またはそのエステルなどのアクリル樹脂;シリコン樹脂;フッ素樹脂;ポリエチレン;ポリプロピレン;エチレン−プロピレン共重合体;ポリメチルペンテン;ポリ塩化ビニル;ポリ塩化ビニリデン;ポリ酢酸ビニル;エチレン−酢酸ビニル共重合体;ポリビニルアルコール;ポリアセタール;ポリエチレンテレフタレート;ポリブチレンテレフタレート;ポリエチレンナフタレート;ポリスチレン;ポリアクリロニトリル;スチレン−アクリロニトリル共重合体;アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体(ABS樹脂);スチレン−ブタジエンブロック共重合体またはその水素添加物;スチレン−イソプレンブロック共重合体またはその水素添加物;ポリフェニレンエーテル;変性ポリフェニレンエーテル;脂肪族ポリアミド類;芳香族ポリアミド類;ポリアミドイミド;ポリカーボネート;ポリフェニレンスルフィド;ポリサルホン;ポリエーテルサルホン;ポリエーテルニトリル;ポリエーテルケトン;ポリケトン;ポリウレタン;液晶ポリマー;アイオノマー;などが挙げられる。これらは、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。   Examples of the thermoplastic resin that is solid at normal temperature and pressure include, for example, poly (2-ethylhexyl acrylate), a copolymer of acrylic acid and 2-ethylhexyl acrylate, polymethacrylic acid or an ester thereof, polyacrylic acid or an ester thereof. Acrylic resin such as: silicone resin; fluororesin; polyethylene; polypropylene; ethylene-propylene copolymer; polymethylpentene; polyvinyl chloride; polyvinylidene chloride; polyvinyl acetate: ethylene-vinyl acetate copolymer; Polyethylene terephthalate; polybutylene terephthalate; polyethylene naphthalate; polystyrene; polyacrylonitrile; styrene-acrylonitrile copolymer; acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer (ABS resin) Styrene-butadiene block copolymer or hydrogenated product thereof; styrene-isoprene block copolymer or hydrogenated product thereof; polyphenylene ether; modified polyphenylene ether; aliphatic polyamides; aromatic polyamides; Polysulfone; Polyethersulfone; Polyethernitrile; Polyetherketone; Polyketone; Polyurethane; Liquid crystal polymer; Ionomer; These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

また、常温常圧下で固体の熱硬化性樹脂としては、例えば、天然ゴム;ブタジエンゴム;イソプレンゴム;ニトリルゴム;水素化ニトリルゴム;クロロプレンゴム;エチレンプロピレンゴム;塩素化ポリエチレン;クロロスルホン化ポリエチレン;ブチルゴム;ハロゲン化ブチルゴム;ポリイソブチレンゴム;エポキシ樹脂;ポリイミド樹脂;ビスマレイミド樹脂;ベンゾシクロブテン樹脂;フェノール樹脂;不飽和ポリエステル;ジアリルフタレート樹脂;ポリイミドシリコーン樹脂;ポリウレタン;熱硬化型ポリフェニレンエーテル;熱硬化型変性ポリフェニレンエーテル;などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。   Examples of the thermosetting resin that is solid at room temperature and normal pressure include natural rubber; butadiene rubber; isoprene rubber; nitrile rubber; hydrogenated nitrile rubber; chloroprene rubber; ethylene propylene rubber; Butyl rubber; Halogenated butyl rubber; Polyisobutylene rubber; Epoxy resin; Polyimide resin; Bismaleimide resin; Benzocyclobutene resin; Phenolic resin; Unsaturated polyester; Type-modified polyphenylene ether; and the like. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

上述した中でも、熱伝導シートの難燃性を高める観点からは、樹脂としては、フッ素樹脂およびシリコン樹脂の少なくとも一方を用いることが好ましく、フッ素樹脂を用いることがより好ましい。   Among the above, from the viewpoint of increasing the flame retardancy of the heat conductive sheet, it is preferable to use at least one of a fluororesin and a silicon resin as the resin, and more preferably a fluororesin.

そして、常温常圧下で液体のフッ素樹脂としては、例えば、ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロペンテン−テトラフルオロエチレン3元共重合体、パーフルオロプロペンオキサイド重合体、テトラフルオロエチレン−プロピレン−フッ化ビニリデン共重合体などを用いることができる。
また、市販されている、常温常圧下で液体のフッ素樹脂としては、例えば、デュポン株式会社製のバイトン(登録商標)LM、ダイキン工業株式会社製のダイエル(登録商標)G−101、スリーエム株式会社製のダイニオンFC2210、信越化学工業株式会社製のSIFELシリーズなどが挙げられる。
Examples of the fluororesin that is liquid at normal temperature and pressure include, for example, vinylidene fluoride-hexafluoropropylene copolymer, vinylidene fluoride-hexafluoropentene-tetrafluoroethylene terpolymer, perfluoropropene oxide polymer, A tetrafluoroethylene-propylene-vinylidene fluoride copolymer or the like can be used.
Examples of commercially available fluororesins that are liquid at room temperature and normal pressure include, for example, Viton (registered trademark) LM manufactured by DuPont, Daiel (registered trademark) G-101 manufactured by Daikin Industries, Ltd., and 3M Examples include Dinion FC2210 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. and SIFEL series manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

更に、常温常圧下で固体のフッ素樹脂としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体、ポリビニリデンフルオライド、ポリクロロトリフルオロエチレン、エチレン−クロロフルオロエチレン共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロジオキソール共重合体、ポリビニルフルオライド、テトラフルオロエチレン−プロピレン共重合体、ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ビニリデンフルオライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ポリテトラフルオロエチレンのアクリル変性物、ポリテトラフルオロエチレンのエステル変性物、ポリテトラフルオロエチレンのエポキシ変性物およびポリテトラフルオロエチレンのシラン変性物などを用いることができる。
また、市販されている、常温常圧下で固体のフッ素樹脂としては、例えば、ダイキン工業株式会社製のダイエル(登録商標)G−912、G−700シリーズ、ダイエルG−550シリーズ/G−600シリーズ、ダイエルG−310;ALKEMA社製のKYNAR(登録商標)シリーズ、KYNAR FLEX(登録商標)シリーズ;スリーエム社製のダイニオンFC2211、FPO3600ULV;などが挙げられる。
Further, examples of the fluororesin that is solid at normal temperature and pressure include, for example, polytetrafluoroethylene, tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer, tetrafluoroethylene-ethylene copolymer. Polymer, polyvinylidene fluoride, polychlorotrifluoroethylene, ethylene-chlorofluoroethylene copolymer, tetrafluoroethylene-perfluorodioxole copolymer, polyvinyl fluoride, tetrafluoroethylene-propylene copolymer, vinylidene fluoride Ride-hexafluoropropylene copolymer, vinylidene fluoride-tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer, polytetrafluoroethylene acrylic modified product, Ester-modified product of La fluoroethylene, epoxy-modified products of polytetrafluoroethylene and polytetrafluoroethylene silane modified product or the like can be used.
Examples of commercially available fluororesins that are solid at room temperature and normal pressure include, for example, Daiel (registered trademark) G-912, G-700 series, Daiel G-550 series / G-600 series manufactured by Daikin Industries, Ltd. And DYNAR (registered trademark) series, KYNAR FLEX (registered trademark) series manufactured by ALKEMA; Dyneon FC2211, FPO3600ULV manufactured by 3M; and the like.

そして、第一材料中の樹脂の含有割合は、特に限定されることなく、例えば、50体積%以上であることが好ましく、70体積%以上であることがより好ましく、95体積%以下であることが好ましく、80体積%以下であることがより好ましい。樹脂の含有割合が上記下限以上であれば、第一領域の柔軟性を高めることができるので、第一領域を有する熱伝導シートの被着体に対する密着性を高めることができるからである。また、樹脂の含有割合が上記上限以下であれば、熱伝導性充填材を十分に含有させて、第一領域および第一領域を有する熱伝導シートの熱伝導性を十分に高めることができるからである。   The content ratio of the resin in the first material is not particularly limited, and is, for example, preferably 50% by volume or more, more preferably 70% by volume or more, and 95% by volume or less. Is preferable, and it is more preferable that it is 80 volume% or less. If the resin content is equal to or higher than the above lower limit, the flexibility of the first region can be increased, so that the adhesion of the heat conductive sheet having the first region to the adherend can be increased. Moreover, if the resin content is less than or equal to the above upper limit, the thermal conductivity of the thermal conductive sheet having the first region and the first region can be sufficiently increased by sufficiently containing the thermal conductive filler. It is.

−熱伝導性充填材−
熱伝導性充填材は、第一材料からなる第一領域に優れた熱伝導性を付与する。そして、熱伝導性充填材としては、特に限定されることなく、熱伝導性を有する粒子状材料および熱伝導性を有する繊維状材料などの既知の熱伝導性充填材を用いることができる。中でも、第一材料の熱伝導性充填材としては、粒子状炭素材料および繊維状炭素材料などの炭素材料を用いることが好ましく、粒子状炭素材料を用いることがより好ましい。なお、熱伝導性充填材は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
-Thermally conductive filler-
The thermally conductive filler imparts excellent thermal conductivity to the first region made of the first material. The heat conductive filler is not particularly limited, and known heat conductive fillers such as a particulate material having thermal conductivity and a fibrous material having thermal conductivity can be used. Among these, as the thermally conductive filler of the first material, it is preferable to use a carbon material such as a particulate carbon material and a fibrous carbon material, and it is more preferable to use a particulate carbon material. In addition, a heat conductive filler may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

熱伝導性を有する粒子状材料としては、例えば、アルミナ粒子、酸化亜鉛粒子、窒化ホウ素粒子、窒化アルミニウム粒子、窒化ケイ素粒子、炭化ケイ素粒子、酸化マグネシウム粒子、および、粒子状炭素材料が挙げられる。中でも、窒化ホウ素粒子および粒子状炭素材料が好ましく、粒子状炭素材料がより好ましい。
なお、熱伝導性を有する粒子状材料は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
Examples of the particulate material having thermal conductivity include alumina particles, zinc oxide particles, boron nitride particles, aluminum nitride particles, silicon nitride particles, silicon carbide particles, magnesium oxide particles, and particulate carbon materials. Among these, boron nitride particles and a particulate carbon material are preferable, and a particulate carbon material is more preferable.
In addition, the particulate material which has heat conductivity may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

ここで、熱伝導性を有する粒子状材料として好適な粒子状炭素材料としては、特に限定されることなく、例えば、人造黒鉛、鱗片状黒鉛、薄片化黒鉛、天然黒鉛、酸処理黒鉛、膨張性黒鉛、膨張化黒鉛などの黒鉛;カーボンブラック;などを用いることができる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
中でも、粒子状炭素材料としては、膨張化黒鉛を用いることが好ましい。膨張化黒鉛を使用すれば、第一領域および第一領域を有する熱伝導シートの熱伝導性をより向上させることができるからである。
Here, the particulate carbon material suitable as the particulate material having thermal conductivity is not particularly limited, for example, artificial graphite, flake graphite, exfoliated graphite, natural graphite, acid-treated graphite, expansibility Graphite, graphite such as expanded graphite, carbon black, and the like can be used. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.
Among them, it is preferable to use expanded graphite as the particulate carbon material. This is because if expanded graphite is used, the thermal conductivity of the heat conductive sheet having the first region and the first region can be further improved.

なお、膨張化黒鉛は、例えば、鱗片状黒鉛などの黒鉛を硫酸などで化学処理して得た膨張性黒鉛を、熱処理して膨張させた後、微細化することにより得ることができる。そして、膨張化黒鉛としては、例えば、伊藤黒鉛工業社製のEC1500、EC1000、EC500、EC300、EC100、EC50(いずれも商品名)等が挙げられる。   The expanded graphite can be obtained, for example, by expanding the expanded graphite obtained by chemically treating graphite such as flake graphite with sulfuric acid or the like, and then making it finer. Examples of expanded graphite include EC1500, EC1000, EC500, EC300, EC100, and EC50 (all trade names) manufactured by Ito Graphite Industries.

そして、熱伝導性を有する粒子状材料の体積平均粒子径は、50μm以上であることが好ましく、150μm以上であることがより好ましく、300μm以下であることが好ましく、200μm以下であることがより好ましい。熱伝導性を有する粒子状材料の平均粒子径が上記範囲内であれば、第一領域中に粒子状材料の伝熱パスを良好に形成し、第一領域および第一領域を有する熱伝導シートに優れた熱伝導性を発揮させ得るからである。   The volume average particle diameter of the particulate material having thermal conductivity is preferably 50 μm or more, more preferably 150 μm or more, preferably 300 μm or less, and more preferably 200 μm or less. . If the average particle diameter of the particulate material having thermal conductivity is within the above range, the heat conduction path of the particulate material is well formed in the first region, and the heat conduction sheet having the first region and the first region This is because excellent thermal conductivity can be exhibited.

また、熱伝導性を有する粒子状材料のアスペクト比(長径/短径)は、1以上10以下であることが好ましく、1以上5以下であることがより好ましい。
なお、「粒子状材料のアスペクト比」は、熱伝導シートの厚み方向における断面をSEM(走査型電子顕微鏡)で観察し、任意の50個の粒子状材料について、最大径(長径)と、最大径に直交する方向の粒子径(短径)とを測定し、長径と短径の比(長径/短径)の平均値を算出することにより求めることができる。
Further, the aspect ratio (major axis / minor axis) of the particulate material having thermal conductivity is preferably 1 or more and 10 or less, and more preferably 1 or more and 5 or less.
The “aspect ratio of the particulate material” refers to a cross section in the thickness direction of the heat conductive sheet observed with a scanning electron microscope (SEM). It can be determined by measuring the particle diameter (minor axis) in the direction perpendicular to the diameter and calculating the average value of the ratio of the major axis to the minor axis (major axis / minor axis).

また、熱伝導性を有する繊維状材料としては、特に限定されることなく、例えば、カーボンナノチューブ、気相成長炭素繊維、有機繊維を炭化して得られる炭素繊維、およびそれらの切断物などを用いることができる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。   The fibrous material having thermal conductivity is not particularly limited, and for example, carbon nanotubes, vapor-grown carbon fibers, carbon fibers obtained by carbonizing organic fibers, and cut products thereof are used. be able to. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

そして、熱伝導性を有する繊維状材料のアスペクト比(長径/短径)は、10超であることが好ましい。
なお、「繊維状材料のアスペクト比」は、TEM(透過型電子顕微鏡)を使用し、無作為に選択した繊維状材料100本の最大径(長径)と、最大径に直交する方向の外径(短径)とを測定し、長径と短径の比(長径/短径)の平均値を算出することにより求めることができる。
The aspect ratio (major axis / minor axis) of the fibrous material having thermal conductivity is preferably more than 10.
The “aspect ratio of the fibrous material” is the maximum diameter (major diameter) of 100 randomly selected fibrous materials using a TEM (transmission electron microscope) and the outer diameter in the direction perpendicular to the maximum diameter. It can be determined by measuring (minor axis) and calculating the average value of the ratio of major axis to minor axis (major axis / minor axis).

上述した中でも、熱伝導性を有する繊維状材料としては、カーボンナノチューブ(以下、「CNT」と称することがある。)などの繊維状炭素ナノ材料を用いることが好ましく、CNTを含む繊維状炭素ナノ材料を用いることがより好ましい。   Among the above, as the fibrous material having thermal conductivity, it is preferable to use a fibrous carbon nanomaterial such as a carbon nanotube (hereinafter sometimes referred to as “CNT”). It is more preferable to use a material.

ここで、熱伝導性を有する繊維状材料として好適に使用し得る、CNTを含む繊維状炭素ナノ材料は、CNTのみからなるものであってもよいし、CNTと、CNT以外の繊維状炭素ナノ材料との混合物であってもよい。
なお、繊維状炭素ナノ材料中のCNTとしては、特に限定されることなく、単層カーボンナノチューブおよび/または多層カーボンナノチューブを用いることができるが、CNTは、単層から5層までのカーボンナノチューブであることが好ましく、単層カーボンナノチューブであることがより好ましい。
Here, the fibrous carbon nanomaterial containing CNT, which can be suitably used as a fibrous material having thermal conductivity, may be composed only of CNT, or CNT and fibrous carbon nanomaterial other than CNT. It may be a mixture with the material.
The CNTs in the fibrous carbon nanomaterial are not particularly limited, and single-walled carbon nanotubes and / or multi-walled carbon nanotubes can be used. CNTs are single-walled to carbon-walled carbon nanotubes. It is preferable that there is a single-walled carbon nanotube.

また、繊維状炭素ナノ材料の平均直径(Av)は、0.5nm以上であることが好ましく、1nm以上であることがより好ましく、15nm以下であることが好ましく、10nm以下であることがより好ましい。繊維状炭素ナノ材料の平均直径(Av)が上記下限以上であれば、繊維状炭素ナノ材料の凝集を抑制して繊維状炭素ナノ材料の分散性を高めることができるからである。また、繊維状炭素ナノ材料の平均直径(Av)が15nm以下であれば、熱伝導シートの熱伝導性および強度を十分に高めることができるからである。
なお、「繊維状炭素ナノ材料の平均直径(Av)」は、TEM(透過型電子顕微鏡)を使用し、無作為に選択した繊維状炭素ナノ材料100本の直径(外径)を測定して求めることができる。
Further, the average diameter (Av) of the fibrous carbon nanomaterial is preferably 0.5 nm or more, more preferably 1 nm or more, preferably 15 nm or less, and more preferably 10 nm or less. . This is because if the average diameter (Av) of the fibrous carbon nanomaterial is equal to or more than the lower limit, aggregation of the fibrous carbon nanomaterial can be suppressed and dispersibility of the fibrous carbon nanomaterial can be improved. Moreover, if the average diameter (Av) of the fibrous carbon nanomaterial is 15 nm or less, the thermal conductivity and strength of the thermal conductive sheet can be sufficiently increased.
The “average diameter (Av) of fibrous carbon nanomaterial” is obtained by measuring the diameter (outer diameter) of 100 randomly selected fibrous carbon nanomaterials using a TEM (transmission electron microscope). Can be sought.

更に、繊維状炭素ナノ材料の平均長さは、0.1μm以上であることが好ましく、1μm以上であることがより好ましく、5000μm以下であることが好ましい。
なお、本発明において、「繊維状炭素ナノ材料の平均長さ」は、TEM(透過型電子顕微鏡)を使用し、無作為に選択した繊維状炭素ナノ材料100本の最大径(長径)を測定し平均値を算出することにより求めることができる。
Furthermore, the average length of the fibrous carbon nanomaterial is preferably 0.1 μm or more, more preferably 1 μm or more, and preferably 5000 μm or less.
In the present invention, “average length of fibrous carbon nanomaterial” is measured by measuring the maximum diameter (major diameter) of 100 randomly selected fibrous carbon nanomaterials using a TEM (transmission electron microscope). It can be obtained by calculating an average value.

また、繊維状炭素ナノ材料のBET比表面積は、400m/g以上であることが好ましく、600m/g以上であることがより好ましく、2500m/g以下であることが好ましい。繊維状炭素ナノ材料のBET比表面積が上記下限以上であれば、熱伝導シートの熱伝導性および強度を十分に高めることができるからである。また、繊維状炭素ナノ材料のBET比表面積が上記上限以下であれば、繊維状炭素ナノ材料の凝集を抑制することができるからである。 The BET specific surface area of the fibrous carbon nanomaterial is preferably 400 m 2 / g or more, more preferably 600 m 2 / g or more, and preferably 2500 m 2 / g or less. This is because if the BET specific surface area of the fibrous carbon nanomaterial is greater than or equal to the above lower limit, the thermal conductivity and strength of the thermal conductive sheet can be sufficiently increased. Moreover, it is because aggregation of fibrous carbon nanomaterial can be suppressed if the BET specific surface area of fibrous carbon nanomaterial is below the said upper limit.

更に、上述した性状を有する繊維状炭素ナノ材料としては、特に限定されることなく、CNT製造用の触媒層を表面に有する基材上に、原料化合物およびキャリアガスを供給して、化学的気相成長法(CVD法)によりCNTを合成する際に、系内に微量の酸化剤(触媒賦活物質)を存在させることで、触媒層の触媒活性を飛躍的に向上させるという方法(スーパーグロース法;国際公開第2006/011655号参照)に準じて製造したCNTを含む繊維状炭素ナノ材料を用いることが好ましい。なお、以下では、スーパーグロース法により得られるカーボンナノチューブを「SGCNT」と称することがある。
ここで、スーパーグロース法により製造したSGCNTを含む繊維状炭素ナノ材料は、SGCNTのみから構成されていてもよいし、SGCNTに加え、例えば、非円筒形状の炭素ナノ構造体等の他の炭素ナノ構造体が含まれていてもよい。
Further, the fibrous carbon nanomaterial having the above-described properties is not particularly limited, and a chemical compound is supplied by supplying a raw material compound and a carrier gas onto a substrate having a catalyst layer for CNT production on the surface. When synthesizing CNTs by the phase growth method (CVD method), a method of dramatically improving the catalytic activity of the catalyst layer by making a small amount of oxidizing agent (catalyst activation material) present in the system (super growth method) It is preferable to use fibrous carbon nanomaterials containing CNTs manufactured according to WO 2006/011655). Hereinafter, the carbon nanotube obtained by the super growth method may be referred to as “SGCNT”.
Here, the fibrous carbon nanomaterial containing SGCNT produced by the super-growth method may be composed only of SGCNT, and in addition to SGCNT, other carbon nano-materials such as non-cylindrical carbon nanostructures may be used. A structure may be included.

そして、第一材料中の熱伝導性充填材の含有割合は、特に限定されることなく、例えば、5体積%以上であることが好ましく、20体積%以上であることがより好ましく、50体積%以下であることが好ましく、30体積%以下であることがより好ましい。熱伝導性充填材の含有割合が上記下限以上であれば、熱伝導性充填材を十分に含有させて、第一領域および第一領域を有する熱伝導シートの熱伝導性を十分に高めることができるからである。また、熱伝導性充填材の含有割合が上記上限以下であれば、第一領域の柔軟性を高めることができるので、第一領域を有する熱伝導シートの被着体に対する密着性を高めることができるからである。   And the content rate of the heat conductive filler in a 1st material is not specifically limited, For example, it is preferable that it is 5 volume% or more, it is more preferable that it is 20 volume% or more, and 50 volume%. Or less, more preferably 30% by volume or less. If the content ratio of the heat conductive filler is equal to or more than the above lower limit, the heat conductive filler is sufficiently contained to sufficiently increase the heat conductivity of the heat conductive sheet having the first region and the first region. Because it can. Moreover, if the content rate of a heat conductive filler is below the said upper limit, since the softness | flexibility of a 1st area | region can be improved, the adhesiveness with respect to the to-be-adhered body of the heat conductive sheet which has a 1st area | region can be improved. Because it can.

中でも、第一材料の熱伝導性充填材が、体積平均粒子径が150μm以上300μm以下の粒子状材料を含む場合には、第一材料中における体積平均粒子径が150μm以上300μm以下の粒子状材料の含有割合は、5体積%以上であることが好ましく、20体積%以上であることがより好ましく、50体積%以下であることが好ましく、30体積%以下であることがより好ましい。粒子状材料の含有割合が上記下限以上であれば、熱伝導シートの熱伝導性を十分に高めることができ、また、粒子状材料の含有割合が上記上限以下であれば、熱伝導シートの被着体に対する密着性を高めることができるからである。   In particular, when the thermally conductive filler of the first material includes a particulate material having a volume average particle diameter of 150 μm to 300 μm, the particulate material having a volume average particle diameter of 150 μm to 300 μm in the first material. The content of is preferably 5% by volume or more, more preferably 20% by volume or more, preferably 50% by volume or less, and more preferably 30% by volume or less. If the content ratio of the particulate material is not less than the above lower limit, the thermal conductivity of the heat conductive sheet can be sufficiently increased, and if the content ratio of the particulate material is not more than the above upper limit, the heat conductive sheet is covered. This is because the adhesion to the body can be improved.

[面積割合]
そして、熱伝導シートの少なくとも一方の主面において第一領域が占める面積の合計の割合は、通常80%超100%未満であり、85%以上であることが好ましく、90%以上であることがより好ましく、99%以下であることが好ましく、98.75%以下であることがより好ましい。第一領域の面積割合が上記下限値以上であれば、熱伝導シートの熱伝導性を十分に高めることができる。また、第一領域の面積割合が上記上限値以下であれば、粘着力の高い第二領域の面積を十分に確保することができるので、上記面積割合を満たす主面側を被着体に密着させた際に熱伝導シートの面内方向の位置ズレの発生を良好に抑制することができる。
[Area ratio]
And the ratio of the sum total of the area which a 1st area | region occupies in at least one main surface of a heat conductive sheet is more than 80% and less than 100% normally, it is preferable that it is 85% or more, and it is 90% or more. More preferably, it is 99% or less, and more preferably 98.75% or less. If the area ratio of a 1st area | region is more than the said lower limit, the heat conductivity of a heat conductive sheet can fully be improved. Further, if the area ratio of the first region is equal to or less than the above upper limit value, the area of the second region having a high adhesive force can be sufficiently ensured, so that the main surface side satisfying the area ratio is in close contact with the adherend. It is possible to satisfactorily suppress the occurrence of positional deviation in the in-plane direction of the heat conductive sheet when it is made to occur.

[形状]
なお、熱伝導シートにおける第一領域の形状は、特に限定されることなく、任意の形状とすることができる。具体的には、例えば図1および図5(a),(b),(e),(f)に平面視形状を示すように、島状の第二領域12を囲繞する形状(海状)であってもよいし、例えば図2および図5(c),(d)に平面視形状を示すように、第二領域12で分断された矩形状であってもよい。そして、熱伝導シート中に存在する第一領域の数は、1つであってもよいし、2つ以上であってもよい。
[shape]
In addition, the shape of the 1st area | region in a heat conductive sheet is not specifically limited, It can be set as arbitrary shapes. Specifically, for example, as shown in FIG. 1 and FIGS. 5A, 5B, 5E, and 5F, the shape surrounding the island-like second region 12 (sea shape) as shown in a plan view shape. For example, as shown in a plan view shape in FIGS. 2 and 5C and 5D, a rectangular shape divided by the second region 12 may be used. And the number of the 1st area | region which exists in a heat conductive sheet may be one, and two or more may be sufficient as it.

<第二領域>
第二領域は、ムーニー粘度(ML1+4,100℃)が2以上の第二材料で構成されている。そして、第二領域は、熱伝導シートの面内方向の位置ズレを抑制する機能を主として担っており、粘着力が5.0N/mm以上であることを必要とする。
なお、熱伝導シートに含まれる第二領域は、ムーニー粘度(ML1+4,100℃)が2以上の第二材料で構成されていれば、1種類の第二材料のみで構成されていてもよいし、2種類以上の第二材料で構成されていてもよい。そして、第二材料からなる第二領域は、通常、第一材料からなる第一領域よりも熱伝導性が低い。
<Second area>
The second region is composed of a second material having a Mooney viscosity (ML 1 + 4 , 100 ° C.) of 2 or more. And the 2nd area | region mainly bears the function which suppresses the position shift of the in-plane direction of a heat conductive sheet, and requires that adhesive force is 5.0 N / mm or more.
In addition, the 2nd area | region contained in a heat conductive sheet may be comprised only with one type of 2nd material, if Mooney viscosity (ML1 + 4 , 100 degreeC) is comprised with 2 or more 2nd materials. And you may be comprised with 2 or more types of 2nd materials. And the 2nd area | region which consists of a 2nd material has a heat conductivity normally lower than the 1st area | region which consists of a 1st material.

[第二材料]
第二領域を構成する第二材料は、ムーニー粘度(ML1+4,100℃)が2以上であり、且つ、第二領域の粘着力を5.0N/mm以上とすることができるものであれば、特に限定されない。中でも、第二材料としては、粘着性樹脂、或いは、粘着性樹脂と熱伝導性充填材とを含有し、任意に難燃剤や可塑剤などの添加剤を更に含有する樹脂組成物が好ましい。なお、樹脂組成物は、難燃剤や可塑剤などの添加剤を含有していてもよいが、添加剤のブリードアウトまたはブルーミングを防止する観点からは、樹脂組成物は添加剤を含有しないことが好ましい。
そして、第二材料は、通常、第一材料とは異なる材料からなる。
[Second material]
As long as the second material constituting the second region has a Mooney viscosity (ML 1 + 4 , 100 ° C.) of 2 or more and the adhesive strength of the second region can be 5.0 N / mm or more. There is no particular limitation. Among these, as the second material, a resin composition containing an adhesive resin or an adhesive resin and a thermally conductive filler and optionally further containing an additive such as a flame retardant or a plasticizer is preferable. The resin composition may contain an additive such as a flame retardant or a plasticizer. However, from the viewpoint of preventing the additive from bleeding out or blooming, the resin composition may not contain an additive. preferable.
The second material is usually made of a material different from the first material.

−粘着性樹脂−
粘着性樹脂は、第二領域のマトリックス樹脂を構成すると共に、第二領域に所望の粘着力を付与する。また、第二材料に熱伝導性充填材が含まれている場合には、粘着性樹脂は、熱伝導性充填材を結着する結着材としても機能する。
-Adhesive resin-
The adhesive resin constitutes a matrix resin in the second region and imparts a desired adhesive force to the second region. In addition, when the second material contains a heat conductive filler, the adhesive resin also functions as a binder for binding the heat conductive filler.

そして、粘着性樹脂としては、特に限定されることなく、例えば、常温常圧下で固体のアクリル樹脂や常温常圧下で液体の樹脂を用いることができる。なお、本明細書において、「常温」とは23℃を指し、「常圧」とは、1atm(絶対圧)を指す。   The adhesive resin is not particularly limited, and for example, an acrylic resin that is solid under normal temperature and normal pressure or a resin that is liquid under normal temperature and normal pressure can be used. In this specification, “normal temperature” refers to 23 ° C., and “normal pressure” refers to 1 atm (absolute pressure).

ここで、常温常圧下で液体の樹脂としては、第一材料の樹脂およびその好適例として例示したものと同様の常温常圧下で液体の樹脂を用いることができる。
中でも、熱伝導シートの難燃性を高める観点からは、常温常圧下で液体の樹脂としては、常温常圧下で液体のフッ素樹脂および常温常圧下で液体のシリコン樹脂の少なくとも一方を用いることが好ましく、常温常圧下で液体のフッ素樹脂を用いることがより好ましい。
Here, as the resin that is liquid under normal temperature and normal pressure, a resin that is liquid under normal temperature and normal pressure similar to those exemplified as the first material resin and preferred examples thereof can be used.
Among them, from the viewpoint of increasing the flame retardancy of the heat conductive sheet, it is preferable to use at least one of a fluororesin that is liquid at normal temperature and pressure and a silicon resin that is liquid at normal temperature and pressure as the resin that is liquid at normal temperature and pressure. It is more preferable to use a liquid fluororesin at room temperature and normal pressure.

そして、第二材料中の粘着性樹脂の含有割合は、特に限定されることなく、例えば、80質量%以上であることが好ましく、90質量%以上であることがより好ましく、93質量%以上であることが更に好ましく、100質量%未満であることが好ましく、97質量%以下であることがより好ましい。粘着性樹脂の含有割合が上記下限以上であれば、第二領域の粘着力を十分に高めることができるので、熱伝導シートの面内方向の位置ズレを抑制することができるからである。また、粘着性樹脂の含有割合が上記上限以下であれば、熱伝導性充填材を含有させて、第二領域を有する熱伝導シートの熱伝導性が低下するのを抑制することができるからである。   And the content rate of the adhesive resin in 2nd material is not specifically limited, For example, it is preferable that it is 80 mass% or more, it is more preferable that it is 90 mass% or more, and it is 93 mass% or more. More preferably, it is preferably less than 100% by mass, and more preferably 97% by mass or less. This is because if the content ratio of the adhesive resin is equal to or more than the above lower limit, the adhesive force of the second region can be sufficiently increased, and the positional deviation in the in-plane direction of the heat conductive sheet can be suppressed. Moreover, if the content rate of adhesive resin is below the said upper limit, a heat conductive filler can be contained and it can suppress that the heat conductivity of the heat conductive sheet which has a 2nd area | region falls. is there.

−熱伝導性充填材−
第二材料の熱伝導性充填材は、第二材料からなる第二領域の熱伝導性が低下するのを抑制する。
そして、第二材料の熱伝導性充填材としては、第一材料の熱伝導性充填材およびその好適例として例示したものと同様の熱伝導性充填材を用いることができる。中でも、第二材料の熱伝導性充填材としては、粒子状炭素材料および繊維状炭素材料などの炭素材料を用いることが好ましく、粒子状炭素材料および/または繊維状炭素材料を用いることがより好ましく、繊維状炭素ナノ材料を用いることが更に好ましく、BET比表面積が400m/g以上2500m/g以下の繊維状炭素ナノ材料を用いることが特に好ましい。
-Thermally conductive filler-
The thermally conductive filler of the second material suppresses a decrease in the thermal conductivity of the second region made of the second material.
And as a heat conductive filler of a 2nd material, the heat conductive filler similar to what was illustrated as a heat conductive filler of a 1st material and its suitable example can be used. Among them, as the heat conductive filler of the second material, it is preferable to use a carbon material such as a particulate carbon material and a fibrous carbon material, and it is more preferable to use a particulate carbon material and / or a fibrous carbon material. It is more preferable to use a fibrous carbon nanomaterial, and it is particularly preferable to use a fibrous carbon nanomaterial having a BET specific surface area of 400 m 2 / g or more and 2500 m 2 / g or less.

そして、第二材料中の熱伝導性充填材の含有割合は、特に限定されることなく、例えば、0質量%超であることが好ましく、3.0質量%以上であることがより好ましく、20.0質量%以下であることが好ましく、10.0質量%以下であることがより好ましく、7.0質量%以下であることが更に好ましい。熱伝導性充填材の含有割合が上記下限以上であれば、第二領域を有する熱伝導シートの熱伝導性が低下するのを抑制することができるからである。また、熱伝導性充填材の含有割合が上記上限以下であれば、第二領域の粘着力を十分に確保し、熱伝導シートの面内方向の位置ズレを抑制することができるからである。   And the content rate of the heat conductive filler in 2nd material is not specifically limited, For example, it is preferable that it is more than 0 mass%, and it is more preferable that it is 3.0 mass% or more, 20 The content is preferably 0.0% by mass or less, more preferably 10.0% by mass or less, and still more preferably 7.0% by mass or less. It is because it can suppress that the heat conductivity of the heat conductive sheet which has a 2nd area | region falls if the content rate of a heat conductive filler is more than the said minimum. Moreover, if the content rate of a heat conductive filler is below the said upper limit, it is because the adhesive force of a 2nd area | region can fully be ensured and the position shift of the in-plane direction of a heat conductive sheet can be suppressed.

中でも、第二材料の熱伝導性充填材が、繊維状炭素ナノ材料を含む場合には、第二材料中における繊維状炭素ナノ材料の含有割合は、1.0質量%以上であることが好ましく、3.0質量%以上であることがより好ましく、10.0質量%以下であることが好ましく、7.0質量%以下であることがより好ましい。熱伝導性充填材の含有割合が上記下限以上であれば、熱伝導シートの熱伝導性が低下するのを十分に抑制することができ、また、熱伝導性充填材の含有割合が上記上限以下であれば、熱伝導シートの面内方向の位置ズレを十分に抑制することができるからである。   In particular, when the thermally conductive filler of the second material includes a fibrous carbon nanomaterial, the content ratio of the fibrous carbon nanomaterial in the second material is preferably 1.0% by mass or more. 3.0 mass% or more, more preferably 10.0 mass% or less, and even more preferably 7.0 mass% or less. If the content ratio of the heat conductive filler is equal to or higher than the above lower limit, the heat conductivity of the heat conductive sheet can be sufficiently suppressed from decreasing, and the content ratio of the heat conductive filler is equal to or lower than the above upper limit. This is because the positional deviation in the in-plane direction of the heat conductive sheet can be sufficiently suppressed.

−ムーニー粘度−
そして、第二材料は、ムーニー粘度(ML1+4,100℃)が2以上であることを必要とし、第二材料のムーニー粘度(ML1+4,100℃)は、10以上であることが好ましく、100以下であることが好ましく、50以下であることがより好ましい。第二材料のムーニー粘度(ML1+4,100℃)が2未満の場合、熱伝導シートが形状を維持することが困難になるからである。また、第二材料のムーニー粘度(ML1+4,100℃)が上記範囲内であれば、第二材料からなる第二領域の粘着力を適度な大きさとすることができるからである。
-Mooney viscosity-
The second material needs to have a Mooney viscosity (ML 1 + 4 , 100 ° C.) of 2 or more, and the Mooney viscosity (ML 1 + 4 , 100 ° C.) of the second material is preferably 10 or more. Or less, more preferably 50 or less. This is because when the Mooney viscosity (ML 1 + 4 , 100 ° C.) of the second material is less than 2, it is difficult to maintain the shape of the heat conductive sheet. In addition, if the Mooney viscosity (ML 1 + 4 , 100 ° C.) of the second material is within the above range, the adhesive strength of the second region made of the second material can be set to an appropriate level.

[粘着力]
上記第二材料からなる第二領域は、粘着力が5.0N/mm以上であることを必要とし、第二領域の粘着力は、9.0N/mm以上20.0N/mm以下であることが好ましい。第二領域の粘着力が5.0N/mm未満の場合、熱伝導シートの面内方向の位置ズレを抑制することができないからである。また、第二領域の粘着力が上記範囲内であれば、粘着力を確保しつつ第二材料のベタつきに起因して熱伝導シートの製造容易性が低下するのを抑制して、面内方向の位置ズレを良好に抑制し得る熱伝導シートを容易に製造することができるからである。
[Adhesive force]
The second region made of the second material requires an adhesive strength of 5.0 N / mm or more, and the adhesive strength of the second region is 9.0 N / mm or more and 20.0 N / mm or less. Is preferred. This is because when the adhesive force of the second region is less than 5.0 N / mm, the positional deviation in the in-plane direction of the heat conductive sheet cannot be suppressed. Further, if the adhesive strength of the second region is within the above range, it is possible to suppress a decrease in manufacturability of the heat conductive sheet due to the stickiness of the second material while ensuring the adhesive strength, and in the in-plane direction. This is because it is possible to easily manufacture a heat conductive sheet that can satisfactorily suppress the positional deviation.

[面積割合]
そして、熱伝導シートの少なくとも一方の主面において第二領域が占める面積の合計の割合は、20%未満である必要があり、1%以上であることが好ましく、1.25%以上であることがより好ましく、15%以下であることが好ましく、10%以下であることがより好ましい。第二領域の面積割合が20%未満であれば、第一領域の面積を十分に確保し、熱伝導シートの熱伝導性を十分に高めることができる。また、第二領域の面積割合が上記下限値以上であれば、上記面積割合を満たす主面側を被着体に密着させた際に熱伝導シートの面内方向の位置ズレの発生を良好に抑制することができる。
[Area ratio]
And the ratio of the sum total of the area which a 2nd area | region occupies in at least one main surface of a heat conductive sheet needs to be less than 20%, It is preferable that it is 1% or more, and it is 1.25% or more. Is more preferable, 15% or less is preferable, and 10% or less is more preferable. If the area ratio of a 2nd area | region is less than 20%, the area of a 1st area | region can fully be ensured and the heat conductivity of a heat conductive sheet can fully be improved. Further, if the area ratio of the second region is equal to or more than the lower limit, when the main surface side satisfying the area ratio is brought into close contact with the adherend, the positional deviation in the in-plane direction of the heat conductive sheet is favorably generated. Can be suppressed.

[形状]
なお、熱伝導シートにおける第二領域の形状は、特に限定されることなく、任意の形状とすることができる。具体的には、第二領域の形状は、例えば図1および図5(a),(b),(e),(f)に平面視形状を示すように、熱伝導シート10が第一領域11からなる海部と第二領域12からなる島部とを有する海島構造となるような形状にしてもよい。この場合、島部となる第二領域12は、図1および図5(a),(e),(f)に示すように全周が第一領域11で囲繞されていてもよいし、図5(b)に示すように周囲の一部のみが第一領域11で囲繞されていてもよい。また、第二領域の形状は、図2および図5(c),(d)に平面視形状を示すように、熱伝導シート10の任意の一方向の全長に亘って延在する矩形状であってもよい。そして、熱伝導シート中に存在する第二領域の数は、1つであってもよいし、2つ以上であってもよい。
[shape]
In addition, the shape of the 2nd area | region in a heat conductive sheet is not specifically limited, It can be set as arbitrary shapes. Specifically, the shape of the second region is such that, for example, the heat conductive sheet 10 is in the first region as shown in FIGS. 1 and 5 (a), (b), (e), and (f) in plan view. You may make it the shape used as the sea island structure which has the sea part which consists of 11 and the island part which consists of the 2nd area | region 12. In this case, the second region 12 serving as an island may be surrounded by the first region 11 as shown in FIGS. 1 and 5A, 5E, and 5F. Only a part of the periphery may be surrounded by the first region 11 as shown in 5 (b). Moreover, the shape of the second region is a rectangular shape extending over the entire length in any one direction of the heat conductive sheet 10 as shown in plan view in FIGS. 2 and 5C and 5D. There may be. And the number of the 2nd area | region which exists in a heat conductive sheet may be one, and two or more may be sufficient as it.

<熱伝導シートの製造方法>
そして、本発明の熱伝導シートは、特に限定されることなく、例えば、下記の(1)〜(3)の何れかの方法を用いて調製することができる。なお、下記において、第一材料または第二材料からなる「シート」には、「条片」と称されることもある狭幅のシートや、短尺のシートも含まれる。
(1)第一材料からなり、且つ、第二領域を形成する位置に所望の第二領域の形状に対応した形状の穴を有するシートを調製した後、シートの穴に第二材料を充填して、或いは、シートの穴に第二材料からなるシートを埋め込んで第一材料からなるシートと接合することにより、熱伝導シートを調製する方法。
(2)第一材料からなるシートと、第二材料からなるシートとを別個に調製した後、接着等の既知の手法を用いてシート同士を並列接合することにより、熱伝導シートを調製する方法。
(3)第一材料からなるシート(第一領域用シート)と、第二材料からなるシート(第二領域用シート)との積層体を形成した後、積層体をスライスすることにより、熱伝導シートを調製する方法。
<The manufacturing method of a heat conductive sheet>
And the heat conductive sheet of this invention is not specifically limited, For example, it can prepare using the method in any one of following (1)-(3). In the following, the “sheet” made of the first material or the second material includes a narrow-width sheet sometimes referred to as a “strip” and a short sheet.
(1) After preparing a sheet made of the first material and having a hole having a shape corresponding to the shape of the desired second region at the position where the second region is formed, the second material is filled into the hole of the sheet. Alternatively, a method of preparing a heat conductive sheet by embedding a sheet made of the second material in a hole of the sheet and joining the sheet made of the first material.
(2) A method of preparing a heat conductive sheet by separately preparing a sheet made of the first material and a sheet made of the second material, and then joining the sheets in parallel using a known technique such as adhesion. .
(3) After forming a laminate of a sheet made of the first material (sheet for the first region) and a sheet made of the second material (sheet for the second region), heat conduction is performed by slicing the laminate. A method of preparing a sheet.

中でも、製造容易性の観点からは、本発明の熱伝導シートは、上記(3)の方法で製造することが好ましい。
具体的には、例えば図1に示すような熱伝導シート10は、図3に示すような積層体20を形成した後、積層体20を積層方向にスライスすることにより、製造することができる。ここで、図3に示す積層体20は、第一領域用シート21を任意の枚数(図示例では2枚)積層してなる複数(図示例では4つ)の積層構造の間に幅方向(図示例では左右方向)に互いに離隔して配置した1対の第二領域用シート(条片)22Aを介在させてなる構造を有している。
また、例えば図2に示すような熱伝導シート10は、図4に示すような積層体20を形成した後、積層体20を積層方向にスライスすることにより、製造することができる。ここで、図4に示す積層体20は、第一領域用シート21を任意の枚数(図示例では3枚)積層してなる複数(図示例では3つ)の積層構造の間に第一領域用シート21と平面視寸法が等しい第二領域用シート22Bを任意の枚数(図示例では積層構造の間に1枚ずつ)介在させてなる構造を有している。
Among these, from the viewpoint of ease of manufacture, the heat conductive sheet of the present invention is preferably manufactured by the method (3).
Specifically, for example, the heat conductive sheet 10 as shown in FIG. 1 can be manufactured by forming the laminate 20 as shown in FIG. 3 and then slicing the laminate 20 in the lamination direction. Here, the laminated body 20 shown in FIG. 3 includes a plurality of (four in the illustrated example) laminated structures in which the first region sheets 21 are laminated (two in the illustrated example) in the width direction (four in the illustrated example). It has a structure in which a pair of second region sheets (strips) 22 </ b> A that are spaced apart from each other in the left-right direction in the illustrated example.
For example, the heat conductive sheet 10 as shown in FIG. 2 can be manufactured by forming the laminated body 20 as shown in FIG. 4 and then slicing the laminated body 20 in the lamination direction. Here, the laminate 20 shown in FIG. 4 includes a first region between a plurality of (three in the illustrated example) laminated structures in which the first region sheets 21 are laminated in an arbitrary number (three in the illustrated example). The second region sheet 22 </ b> B having the same planar view size as that of the sheet for use 21 is interposed (in the illustrated example, one sheet between the laminated structures).

そして、上記(3)の方法で調製された熱伝導シートにおいては、第一領域用シート21のスライス片が上述した第一領域となり、第二領域用シート22A,22Bのスライス片が上述した第二領域となる。   And in the heat conductive sheet prepared by the method of (3), the slice piece of the first region sheet 21 is the first region described above, and the slice pieces of the second region sheets 22A, 22B are the first piece described above. There are two areas.

ここで、第一領域用シートは、樹脂および熱伝導性充填材を含有し、任意に添加剤等を更に含有する第一材料を加圧してシート状に成形することにより、得ることができる。そして、第一材料を加圧してシート状に成形してなる第一領域用シートでは、熱伝導性充填材が主として面内方向に配列し、特に面内方向の熱伝導性が向上すると推察される。
なお、上述した第一材料は、特に限定されることなく、ニーダー、ロール、ミキサー等の既知の混合装置を用いて上述した成分を混合することにより、得ることができる。そして、混合は、有機溶剤等の溶媒の存在下で行ってもよい。
また、上述のようにして調製した第一材料は、任意に脱泡および解砕した後に、プレス成形、圧延成形または押出し成形などの既知の成形方法を用いてシート状に成形することができる。なお、混合時に溶媒を用いている場合には、溶媒を除去してからシート状に成形することが好ましく、例えば、真空脱泡を用いて脱泡を行えば、脱泡時に溶媒の除去も同時に行うことができる。
Here, the sheet | seat for 1st area | regions can be obtained by pressurizing the 1st material which contains resin and a heat conductive filler, and further contains an additive etc. and shape | molds it in a sheet form. And in the sheet | seat for 1st area | region formed by pressurizing 1st material and shape | molding in a sheet form, it is guessed that a heat conductive filler arranges mainly in an in-plane direction, and the heat conductivity of an in-plane direction improves especially. The
In addition, the 1st material mentioned above is not specifically limited, It can obtain by mixing the component mentioned above using known mixing apparatuses, such as a kneader, a roll, a mixer. The mixing may be performed in the presence of a solvent such as an organic solvent.
Further, the first material prepared as described above can be defoamed and crushed arbitrarily, and then formed into a sheet using a known forming method such as press forming, rolling forming or extrusion forming. In addition, when a solvent is used at the time of mixing, it is preferable to form the sheet after removing the solvent. For example, if defoaming is performed using vacuum defoaming, the solvent is simultaneously removed at the time of defoaming. It can be carried out.

更に、第二領域用シートは、第一領域用シートと同様に、例えば第二材料を加圧してシート状に成形することにより、得ることができる。   Further, the second region sheet can be obtained, for example, by pressurizing the second material and forming it into a sheet shape, similarly to the first region sheet.

そして、積層体は、第一領域用シートと、第二領域用シートとを任意の順番および配置で積層することにより、得ることができる。
ここで、通常、積層体において、シートの表面同士の接着力は、シートを積層する際の圧力により充分に得られる。しかし、接着力が不足する場合や、積層体の層間剥離を十分に抑制する必要がある場合には、シートの表面を溶剤で若干溶解させた状態で積層を行ってもよいし、シートを積層させた積層体を積層方向に更にプレスしてもよい。中でも、第一領域用シートよりも狭幅の第二領域用シートを使用する場合など、第一領域用シートの平面視寸法と第二領域用シートの平面視寸法とが異なる場合には、積層体を積層方向にプレスしてシート同士を接着させることが好ましい。
And a laminated body can be obtained by laminating | stacking the sheet | seat for 1st area | regions and the sheet | seat for 2nd area | regions in arbitrary orders and arrangement | positioning.
Here, usually, in the laminate, the adhesive force between the surfaces of the sheets is sufficiently obtained by the pressure when the sheets are laminated. However, when the adhesive strength is insufficient or when it is necessary to sufficiently suppress delamination of the laminate, lamination may be performed in a state where the surface of the sheet is slightly dissolved with a solvent. You may further press the laminated body made into the lamination direction. In particular, when using a second area sheet having a width narrower than that of the first area sheet, when the plan view dimension of the first area sheet is different from the plan view dimension of the second area sheet, lamination is performed. It is preferable to press the body in the stacking direction to bond the sheets together.

なお、シートを積層して得られる積層体では、熱伝導性充填材などが積層方向に略直交する方向に配列していると推察される。   In addition, in the laminated body obtained by laminating | stacking a sheet | seat, it is guessed that a heat conductive filler etc. are arranged in the direction substantially orthogonal to the lamination direction.

そして、積層体のスライスによる熱伝導シートの製造は、積層体を、積層方向に対して45°以下の角度でスライスし、積層体のスライス片よりなる熱伝導シートを得ることにより行うことができる。ここで、積層体をスライスする方法としては、特に限定されることなく、例えば、マルチブレード法、レーザー加工法、ウォータージェット法、ナイフ加工法等が挙げられる。
なお、熱伝導シートの熱伝導性を高める観点からは、積層体をスライスする角度は、積層方向に対して30°以下であることが好ましく、積層方向に対して15°以下であることがより好ましく、積層方向に対して略0°である(即ち、積層方向に沿う方向である)ことが好ましい。
また、積層体を容易にスライスする観点からは、スライスする際の積層体の温度は−20℃以上30℃以下とすることが好ましい。更に、同様の理由により、スライスする積層体は、積層方向とは垂直な方向に圧力を負荷しながらスライスすることが好ましく、積層方向とは垂直な方向に0.1MPa以上0.5MPa以下の圧力を負荷しながらスライスすることがより好ましい。
And manufacture of the heat conductive sheet by the slice of a laminated body can be performed by slicing a laminated body at an angle of 45 degrees or less with respect to the lamination direction, and obtaining the heat conductive sheet which consists of a slice piece of a laminated body. . Here, the method for slicing the laminate is not particularly limited, and examples thereof include a multi-blade method, a laser processing method, a water jet method, and a knife processing method.
In addition, from the viewpoint of increasing the thermal conductivity of the heat conductive sheet, the angle at which the laminate is sliced is preferably 30 ° or less with respect to the stacking direction, and more preferably 15 ° or less with respect to the stacking direction. Preferably, it is approximately 0 ° with respect to the stacking direction (that is, the direction along the stacking direction).
From the viewpoint of easily slicing the laminate, the temperature of the laminate when slicing is preferably -20 ° C or higher and 30 ° C or lower. Furthermore, for the same reason, the laminated body to be sliced is preferably sliced while applying a pressure in a direction perpendicular to the lamination direction, and a pressure of 0.1 MPa to 0.5 MPa in the direction perpendicular to the lamination direction. It is more preferable to slice while loading.

以下、本発明について実施例を用いて更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
なお、実施例および比較例において、粒子状材料(膨張化黒鉛)の体積平均粒子径、第二材料のムーニー粘度、第一領域および第二領域の粘着力、熱伝導シートの熱伝導性、耐位置ズレ性および形状維持性は、それぞれ以下の方法を使用して測定および評価した。また、実施例および比較例において、熱伝導シートの一方の主面における第二領域の面積割合と、熱伝導シートの他方の主面における第二領域の面積割合とは同一であった。
EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated further in detail using an Example, this invention is not limited to these Examples.
In Examples and Comparative Examples, the volume average particle diameter of the particulate material (expanded graphite), the Mooney viscosity of the second material, the adhesive strength of the first region and the second region, the thermal conductivity of the thermal conductive sheet, The positional deviation property and the shape maintenance property were measured and evaluated using the following methods, respectively. Moreover, in the Example and the comparative example, the area ratio of the 2nd area | region in the one main surface of a heat conductive sheet and the area ratio of the 2nd area | region in the other main surface of a heat conductive sheet were the same.

<粒子状材料の体積平均粒子径>
第一領域用シート1gをメチルエチルケトン6gに添加し、スターラーで5分間撹拌した。目視により、メチルエチルケトン溶媒中にシート状のものが存在しないことを確認した。そして、得られた懸濁液を試験液とした。
レーザー回折/散乱式粒子径分布測定装置(堀場製作所製、型式「LA−960」)を使用し、懸濁液中に含まれる粒子状材料(膨張化黒鉛)の粒子径を測定した。そして、横軸を粒子径、縦軸を粒子状材料の体積とした体積基準の粒子径分布曲線を得て、その極大値における粒子径(モード径)を、粒子状材料の体積平均粒子径として求めた。
<ムーニー粘度>
ムーニー粘度計(島津製作所製、製品名「MOONEY VISCOMETER SMV−202」)を使用し、JIS K6300に準拠して、温度100℃におけるムーニー粘度(ML1+4,100℃)を測定した。
<粘着力>
プローブタック試験機(株式会社レスカ製、商品名「TAC1000」)を使用して第一領域用シートの粘着力および第二領域用シートの粘着力を測定し、それぞれの値を第一領域の粘着力および第二領域の粘着力とした。
具体的には、第一領域用シートおよび第二領域用シートのそれぞれを試験片とした。そして、得られた試験片の略中心位置に対して、温度25℃、荷重0.5Nの条件で、直径5mmの平らなプローブを10秒間押し付けた。その後、押しつけたプローブを試験片から引き離す際に要する力(N/mm)を測定し、粘着力とした。
<熱伝導性>
熱伝導シートについて、樹脂材料熱抵抗試験器(株式会社日立テクノロジーアンドサービス製、製品名「C47108」)を使用し、温度50℃において、比較的低圧である0.05MPaを加えた時の熱抵抗値(℃/W)を測定した。熱抵抗値が小さいほど熱伝導シートが熱伝導性に優れ、例えば、発熱体と放熱体との間に介在させて放熱装置とした際の放熱特性に優れていることを示す。
<耐位置ズレ性>
アルミ板と熱伝導シートとの間の静止摩擦力を測定し、耐位置ズレ性を評価した。
具体的には、200gの移動重錘に熱伝導シート(縦:10mm、横:10mm、厚さ:150μm)を両面テープ(ニチバン社製、製品名「ナイスタック」)で貼り付けた。次に、熱伝導シート側を下にして縦20mm×横20mm×厚さ1mmのアルミ板の上に載せ、移動重錘を100mm/分の速度で引っ張った。そして、始動時の最大引張試験力(N)を読み取り、アルミ板と熱伝導シートとの間の静止摩擦力とした。静止摩擦力が大きいほど、熱伝導シートが面内方向に位置ズレし難く、耐位置ズレ性に優れていることを示す。
<形状維持性>
重量を測定した熱伝導シートをPET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム上に載せて、常温(25℃)で24時間保管した。そして、保管後の熱伝導シートの重量を測定し、重量変化率(={(保管前の重量−保管後の重量)/保管前の重量}×100%)を求めた。そして、以下の基準に従って評価した。重量変化率が小さいほど、第二材料からなる第二領域のPETフィルムへの転写などが起きておらず、形状維持性に優れていることを示す。
○:重量変化率が0.1質量%以下
×:重量変化率が0.1質量%超
<Volume average particle diameter of particulate material>
1 g of the first region sheet was added to 6 g of methyl ethyl ketone, and stirred for 5 minutes with a stirrer. By visual inspection, it was confirmed that there was no sheet-like material in the methyl ethyl ketone solvent. The obtained suspension was used as a test solution.
The particle diameter of the particulate material (expanded graphite) contained in the suspension was measured using a laser diffraction / scattering type particle size distribution measuring device (Horiba Seisakusho, model “LA-960”). Then, a volume-based particle size distribution curve with the horizontal axis as the particle diameter and the vertical axis as the volume of the particulate material is obtained, and the particle diameter (mode diameter) at the maximum value is defined as the volume average particle diameter of the particulate material. Asked.
<Mooney viscosity>
A Mooney viscometer (manufactured by Shimadzu Corporation, product name “MOONEY VISCOMETER SMV-202”) was used, and Mooney viscosity (ML 1 + 4 , 100 ° C.) at a temperature of 100 ° C. was measured according to JIS K6300.
<Adhesive strength>
Using a probe tack tester (trade name “TAC1000”, manufactured by Resuka Co., Ltd.), the adhesive strength of the first region sheet and the adhesive strength of the second region sheet were measured, and the respective values were determined as the first region adhesive force. Force and adhesive strength of the second region.
Specifically, each of the first region sheet and the second region sheet was used as a test piece. Then, a flat probe having a diameter of 5 mm was pressed for 10 seconds under the conditions of a temperature of 25 ° C. and a load of 0.5 N against the substantially center position of the obtained test piece. Thereafter, the force (N / mm) required for pulling the pressed probe away from the test piece was measured and used as the adhesive strength.
<Thermal conductivity>
About the heat conductive sheet, using a resin material thermal resistance tester (product name “C47108” manufactured by Hitachi Technology & Service Co., Ltd.), the thermal resistance when a relatively low pressure of 0.05 MPa was applied at a temperature of 50 ° C. The value (° C./W) was measured. The smaller the thermal resistance value, the more excellent the thermal conductivity of the heat conductive sheet, for example, it indicates that the heat dissipation characteristic is excellent when it is interposed between the heat generator and the heat radiator.
<Position displacement resistance>
The static friction force between the aluminum plate and the heat conductive sheet was measured to evaluate the displacement resistance.
Specifically, a heat conductive sheet (vertical: 10 mm, horizontal: 10 mm, thickness: 150 μm) was attached to a 200 g moving weight with a double-sided tape (product name “Nystack” manufactured by Nichiban Co., Ltd.). Next, the heat conductive sheet side was placed on a 20 mm long × 20 mm wide × 1 mm thick aluminum plate, and the moving weight was pulled at a speed of 100 mm / min. And the maximum tensile test force (N) at the time of starting was read, and it was set as the static frictional force between an aluminum plate and a heat conductive sheet. As the static frictional force is larger, the heat conductive sheet is less likely to be displaced in the in-plane direction, which indicates that the displacement resistance is excellent.
<Shape maintenance>
The heat conductive sheet whose weight was measured was placed on a PET (polyethylene terephthalate) film and stored at room temperature (25 ° C.) for 24 hours. And the weight of the heat conductive sheet after storage was measured, and the weight change rate (= {(weight before storage−weight after storage) / weight before storage} × 100%) was determined. And it evaluated according to the following references | standards. As the rate of change in weight is smaller, transfer to the PET film of the second region made of the second material does not occur, indicating that the shape maintainability is better.
○: Weight change rate is 0.1% by mass or less ×: Weight change rate is more than 0.1% by mass

(実施例1)
<第一領域用シートの製造>
熱伝導性充填材としての膨張化黒鉛(伊藤黒鉛工業株式会社製、商品名「EC−100」、体積平均粒子径:190μm)を50質量部と、樹脂としての常温で液体の熱可塑性フッ素樹脂(ダイキン工業株式会社製、商品名「ダイエルG−101」)100質量部とをホバートミキサー(株式会社小平製作所製、商品名「ACM−5LVT型」、容量:5L)で80℃に加温し、30分間混合した。混合して得られた組成物をワンダークラッシュミル(大阪ケミカル株式会社製、商品名「D3V−10」)に投入して、1分間解砕した。
次いで、解砕した組成物(第一材料)5gを、サンドブラスト処理を施した厚さ50μmのPETフィルム(保護フィルム)で挟み、ロール間隙550μm、ロール温度50℃、ロール線圧50kg/cm、ロール速度1m/分の条件にて圧延成形し、縦50mm、横50mm、厚さ0.5mmの第一領域用シートを得た。
そして、第一領域用シート中の粒子状材料(膨張化黒鉛)の体積平均粒子径および第一領域用シートの粘着力を測定した。結果を表1に示す。
<第二領域用シートの製造>
粘着性樹脂としての常温で液体の熱可塑性フッ素樹脂(ダイキン工業株式会社製、商品名「ダイエルG−101」)97質量部と、繊維状炭素ナノ材料としてのSGCNT(BET比表面積:1050m/g)3質量部とを混合したものを、加圧ニーダーにて撹拌した。混合して得られた組成物をワンダークラッシュミル(大阪ケミカル株式会社製、商品名「D3V−10」)に投入して、1分間解砕した。そして、解砕した組成物(第二材料)のムーニー粘度を測定した。
次いで、解砕した組成物(第二材料)5gを、サンドブラスト処理を施した厚さ50μmのPETフィルム(保護フィルム)で挟み、ロール間隙550μm、ロール温度50℃、ロール線圧50kg/cm、ロール速度1m/分の条件にて圧延成形し、縦50mm、横2.5mm、厚さ0.5mmの第二領域用シート(条片)を得た。
また、同様にして、粘着力の測定用に縦50mm、横50mm、厚さ0.5mmの第二領域用シートを作製した。そして、第二領域用シートの粘着力を測定した。結果を表1に示す。
<積層体の形成>
第一領域用シート10枚を積層してなる積層構造(縦50mm、横50mm、高さ5mm)の上に、第二領域用シート(条片)を、第二領域用シートの縦方向と第一領域用シートの縦方向と一致するように、且つ、隣接する第二領域用シート同士が互いに2.5mm離隔するように合計10枚並列配置した。そして、第二領域用シートの上に、第一領域用シートを更に10枚積層し、プレスして高さ10mmのブロック体(積層体)を得た。
<熱伝導シートの作製>
得られた積層体を、0.3MPaの圧力で押し付けながら、木工用スライサー(株式会社丸仲鐵工所製、商品名「超仕上げかんな盤スーパーメカS」を用いて、積層方向に対して0度の角度でスライス(換言すれば、積層されたシートの主面の法線方向にスライス)し、長さ50mm×幅10mm×厚さ150μmのシートを得た。なお、木工用スライサーのナイフは、2枚の片刃が、切刃の反対側同士で接触し、表刃の刃先の最先端が裏刃の刃先の最先端よりも0.5mm高くスリット部からの突出長さ0.11mmに配置され、表刃の刃角21°である2枚刃のものを用いた。
次に、得られたシートを、シートの長さ方向端縁から長さ方向に10mmの位置で切断して、図5(a)に示すような平面視形状で、寸法が縦10mm、横10mm、厚さ150μmの熱伝導シートを得た。
そして、各種評価を行った。結果を表1に示す。なお、熱伝導シートの主面中における第二領域の合計面積は、2.5mm(=2.5mm×0.5mm×2箇所)であった。
Example 1
<Manufacture of first area sheet>
50 parts by mass of expanded graphite (trade name “EC-100”, volume average particle diameter: 190 μm) manufactured by Ito Graphite Industries Co., Ltd. as a thermally conductive filler, and a thermoplastic fluororesin that is liquid at room temperature as a resin 100 parts by mass (made by Daikin Industries, Ltd., trade name “DAIEL G-101”) is heated to 80 ° C. with a Hobart mixer (manufactured by Kodaira Manufacturing Co., Ltd., trade name “ACM-5LVT type”, capacity: 5 L). For 30 minutes. The composition obtained by mixing was put into a wonder crush mill (trade name “D3V-10” manufactured by Osaka Chemical Co., Ltd.) and crushed for 1 minute.
Next, 5 g of the crushed composition (first material) was sandwiched between 50 μm thick PET films (protective film) subjected to sandblast treatment, a roll gap of 550 μm, a roll temperature of 50 ° C., a roll linear pressure of 50 kg / cm, a roll Roll forming was performed at a speed of 1 m / min to obtain a first region sheet having a length of 50 mm, a width of 50 mm, and a thickness of 0.5 mm.
And the volume average particle diameter of the particulate material (expanded graphite) in the sheet | seat for 1st area | regions, and the adhesive force of the sheet | seat for 1st area | regions were measured. The results are shown in Table 1.
<Manufacture of second area sheet>
97 parts by mass of a thermoplastic fluororesin that is liquid at room temperature as an adhesive resin (trade name “DAIEL G-101” manufactured by Daikin Industries, Ltd.) and SGCNT as a fibrous carbon nanomaterial (BET specific surface area: 1050 m 2 / g) A mixture of 3 parts by mass was stirred with a pressure kneader. The composition obtained by mixing was put into a wonder crush mill (trade name “D3V-10” manufactured by Osaka Chemical Co., Ltd.) and crushed for 1 minute. Then, the Mooney viscosity of the crushed composition (second material) was measured.
Subsequently, 5 g of the crushed composition (second material) is sandwiched between 50 μm thick PET films (protective film) subjected to sandblasting, a roll gap of 550 μm, a roll temperature of 50 ° C., a roll linear pressure of 50 kg / cm, a roll Roll forming was performed at a speed of 1 m / min to obtain a second region sheet (strip) having a length of 50 mm, a width of 2.5 mm, and a thickness of 0.5 mm.
Similarly, a second region sheet having a length of 50 mm, a width of 50 mm, and a thickness of 0.5 mm was prepared for measuring the adhesive strength. And the adhesive force of the sheet | seat for 2nd area | regions was measured. The results are shown in Table 1.
<Formation of laminate>
On the laminated structure (50 mm long, 50 mm wide, 5 mm high) formed by laminating 10 sheets for the first area, the sheet for the second area (strip) is arranged in the vertical direction of the sheet for the second area. A total of 10 sheets were arranged in parallel so as to coincide with the longitudinal direction of the one area sheet and so that the adjacent second area sheets were separated from each other by 2.5 mm. And 10 sheets of 1st area | region sheets were laminated | stacked on the sheet | seat for 2nd area | regions, and it pressed, and obtained the block body (laminated body) of height 10mm.
<Preparation of heat conductive sheet>
While pressing the resulting laminate with a pressure of 0.3 MPa, the slicer for woodworking (manufactured by Marunaka Steel Co., Ltd., trade name “Super Finished Plane Super Mecha S”) was used to reduce the stacking direction to 0. The sheet was sliced at an angle of 50 degrees (in other words, sliced in the normal direction of the main surface of the laminated sheets) to obtain a sheet of length 50 mm × width 10 mm × thickness 150 μm. Two single blades contact each other on the opposite side of the cutting blade, and the leading edge of the front edge is 0.5 mm higher than the leading edge of the back edge, and the protruding length from the slit portion is 0.11 mm A two-blade blade having a blade angle of 21 ° on the front blade was used.
Next, the obtained sheet is cut at a position of 10 mm in the length direction from the edge in the length direction of the sheet, and has a plan view shape as shown in FIG. A heat conductive sheet having a thickness of 150 μm was obtained.
Various evaluations were performed. The results are shown in Table 1. Incidentally, the total area of the second region in the main surface of the thermally conductive sheet was 2.5mm 2 (= 2.5mm × 0.5mm × 2 points).

(実施例2)
積層体の形成時に、第一領域用シート5枚を積層してなる積層構造(縦50mm、横50mm、高さ2.5mm)の上に、第二領域用シート(条片)を、第二領域用シートの縦方向と第一領域用シートの縦方向と一致するように、且つ、積層構造の横方向端縁から第二領域用シートの横方向中心位置までの距離がそれぞれ1.25mm、8.75mm、11.25mm、18.75mm、21.25mm、28.75mm、31.25mm、38.75mm、41.25mm、48.75mmになるように合計10枚並列配置した後、第一領域用シート10枚を更に積層し、その上に上記と同様にして第二領域用シート(条片)を10枚並列配置し、更にその上に第一領域用シート5枚を積層した以外は実施例1と同様にして、第一領域用シートの製造、第二領域用シートの製造、積層体の形成および熱伝導シートの作製を行った。なお、熱伝導シートの平面視形状は図5(b)に示すような形状であった。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。なお、熱伝導シートの主面中における第二領域の合計面積は、5mm(=2.5mm×0.5mm×4箇所)であった。
(Example 2)
At the time of forming the laminate, the second region sheet (strip) is placed on the laminated structure (50 mm long, 50 mm wide, 2.5 mm high) formed by laminating five sheets for the first region. The distance from the lateral edge of the laminated structure to the lateral center position of the second region sheet is 1.25 mm so as to match the longitudinal direction of the region sheet and the longitudinal direction of the first region sheet, After arranging 10 pieces in parallel to be 8.75 mm, 11.25 mm, 18.75 mm, 21.25 mm, 28.75 mm, 31.25 mm, 38.75 mm, 41.25 mm, 48.75 mm, the first region 10 sheets for sheets were further laminated, 10 sheets for the second area (strips) were arranged in parallel on the same, and 5 sheets for the first area were further laminated thereon. As in Example 1, the first area DOO manufacture, production of the second region sheet were produced in the formation and heat conducting sheet of the stack. In addition, the planar view shape of the heat conductive sheet was a shape as shown in FIG.5 (b). Measurements and evaluations were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1. In addition, the total area of the 2nd area | region in the main surface of a heat conductive sheet was 5 mm < 2 > (= 2.5 mm x 0.5 mm x 4 places).

(実施例3)
第二領域用シートの製造時に縦50mm、横50mm、厚さ0.5mmの第二領域用シートのみを製造し、積層体の形成時に、第一領域用シート4枚を積層してなる積層構造(縦50mm、横50mm、高さ2.0mm)の上に、第二領域用シート1枚を積層した後、その上に、第一領域用シート10枚、第二領域用シート1枚、第一領域用シート4枚を順次積層した以外は実施例1と同様にして、第一領域用シートの製造、第二領域用シートの製造、積層体の形成および熱伝導シートの作製を行った。なお、熱伝導シートの平面視形状は図5(c)に示すような形状であった。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。なお、熱伝導シートの主面中における第二領域の合計面積は、10mm(=10mm×0.5mm×2箇所)であった。
(Example 3)
A laminated structure in which only a second area sheet having a length of 50 mm, a width of 50 mm, and a thickness of 0.5 mm is produced when the second area sheet is produced, and four first area sheets are laminated when a laminate is formed. After laminating one sheet for the second region on the top (50 mm in length, 50 mm in width, 2.0 mm in height), 10 sheets for the first region, 1 sheet for the second region, Except for sequentially laminating four sheets for one region, the production of the first region sheet, the production of the second region sheet, the formation of the laminate and the production of the heat conductive sheet were carried out in the same manner as in Example 1. In addition, the planar view shape of the heat conductive sheet was a shape as shown in FIG.5 (c). Measurements and evaluations were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1. Incidentally, the total area of the second region in the main surface of the thermally conductive sheet was 10mm 2 (= 10mm × 0.5mm × 2 points).

(実施例4)
第二領域用シートの製造時に、縦50mm、横50mm、厚さ0.25mmの第二領域用シートを製造し、積層体の形成時に、第一領域用シート3枚を積層してなる積層構造(縦50mm、横50mm、高さ1.5mm)の上に、厚さ0.25mmの第二領域用シート1枚を積層した後、その上に、第一領域用シート4枚、厚さ0.25mmの第二領域用シート1枚、第一領域用シート4枚、厚さ0.25mmの第二領域用シート1枚、第一領域用シート4枚、厚さ0.25mmの第二領域用シート1枚、第一領域用シート3枚を順次積層した以外は実施例1と同様にして、第一領域用シートの製造、第二領域用シートの製造、積層体の形成および熱伝導シートの作製を行った。なお、熱伝導シートの平面視形状は図5(d)に示すような形状であった。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。なお、熱伝導シートの主面中における第二領域の合計面積は、10mm(=10mm×0.25mm×4箇所)であった。
Example 4
A laminated structure in which a second area sheet having a length of 50 mm, a width of 50 mm, and a thickness of 0.25 mm is produced at the time of producing the second area sheet, and three sheets for the first area are laminated at the time of forming a laminate. After laminating one sheet for the second region having a thickness of 0.25 mm on the top (50 mm in length, 50 mm in width, and 1.5 mm in height), four sheets for the first region and a thickness of 0 were formed thereon. 1 sheet for the second area of 25 mm, 4 sheets for the first area, 1 sheet for the second area of 0.25 mm, 4 sheets of the first area, 2nd area of the thickness of 0.25 mm Except that one sheet for the first region and three sheets for the first region were sequentially laminated, the production of the sheet for the first region, the production of the sheet for the second region, the formation of the laminate, and the heat conductive sheet Was made. In addition, the planar view shape of the heat conductive sheet was a shape as shown in FIG.5 (d). Measurements and evaluations were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1. In addition, the total area of the 2nd area | region in the main surface of a heat conductive sheet was 10 mm < 2 > (= 10 mm x 0.25 mm x 4 places).

(実施例5)
第二領域用シートの製造時に、常温で液体の熱可塑性フッ素樹脂(ダイキン工業株式会社製、商品名「ダイエルG−101」)の量を99質量部に変更し、SGCNT(BET比表面積:1050m/g)の量を1質量部に変更すると共に、縦50mm、横2.5mm、厚さ0.25mmの第二領域用シート(条片)を製造し、積層体の形成時に、第一領域用シート1枚を積層してなる積層構造(縦50mm、横50mm、高さ0.5mm)の上に、第二領域用シート(条片)を、第二領域用シートの縦方向と第一領域用シートの縦方向と一致するように、且つ、積層構造の横方向端縁から第二領域用シートの横方向中心位置までの距離がそれぞれ1.25mm、8.75mm、11.25mm、18.75mm、21.25mm、28.75mm、31.25mm、38.75mm、41.25mm、48.75mmになるように合計10枚並列配置した後、第一領域用シート1枚を更に積層し、その上に、第二領域用シート(条片)を、第二領域用シートの縦方向と第一領域用シートの縦方向と一致するように、且つ、積層構造の横方向端縁から第二領域用シートの横方向中心位置までの距離がそれぞれ3.75mm、6.25mm、13.75mm、16.25mm、23.75mm、26.25mm、33.75mm、36.25mm、43.75mm、46.25mmになるように合計10枚並列配置し、更に第一領域用シート1枚を積層する操作を4回繰り返した以外は実施例1と同様にして、第一領域用シートの製造、第二領域用シートの製造、積層体の形成および熱伝導シートの作製を行った。なお、熱伝導シートの平面視形状は図5(e)に示すような形状であった。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。なお、熱伝導シートの主面中における第二領域の合計面積は、10mm(=2.5mm×0.25mm×16箇所)であった。
(Example 5)
At the time of manufacturing the sheet for the second region, the amount of thermoplastic fluororesin (trade name “DAIEL G-101”, manufactured by Daikin Industries, Ltd.) that is liquid at room temperature was changed to 99 parts by mass, and SGCNT (BET specific surface area: 1050 m). 2 / g) is changed to 1 part by mass, and a second region sheet (strip) having a length of 50 mm, a width of 2.5 mm, and a thickness of 0.25 mm is manufactured. On the laminated structure (50 mm long, 50 mm wide, 0.5 mm in height) formed by laminating one area sheet, the second area sheet (strip) is arranged in the vertical direction of the second area sheet. The distances from the lateral edge of the laminated structure to the lateral center position of the second region sheet are 1.25 mm, 8.75 mm, 11.25 mm, respectively, so as to coincide with the longitudinal direction of the one region sheet, 18.75mm, 21.25mm, 28 After arranging a total of 10 sheets so as to be 75 mm, 31.25 mm, 38.75 mm, 41.25 mm, and 48.75 mm, one sheet for the first area is further laminated, and then the sheet for the second area (Strip) from the lateral edge of the laminated structure to the lateral center position of the second region sheet so as to coincide with the longitudinal direction of the second region sheet and the longitudinal direction of the first region sheet A total of 10 sheets so that the distance of each becomes 3.75 mm, 6.25 mm, 13.75 mm, 16.25 mm, 23.75 mm, 26.25 mm, 33.75 mm, 36.25 mm, 43.75 mm, 46.25 mm In the same manner as in Example 1 except that the operation of laminating one sheet for the first region was repeated four times, the production of the first region sheet, the production of the second region sheet, the laminate Formation and And a heat conductive sheet were prepared. In addition, the planar view shape of the heat conductive sheet was a shape as shown in FIG.5 (e). Measurements and evaluations were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1. In addition, the total area of the 2nd area | region in the main surface of a heat conductive sheet was 10 mm < 2 > (= 2.5 mm x 0.25 mm x 16 places).

(実施例6)
第二領域用シートの製造時に、常温で液体の熱可塑性フッ素樹脂(ダイキン工業株式会社製、商品名「ダイエルG−101」)の量を93質量部に変更し、SGCNT(BET比表面積:1050m/g)の量を7質量部に変更した以外は実施例5と同様にして、第一領域用シートの製造、第二領域用シートの製造、積層体の形成および熱伝導シートの作製を行った。なお、熱伝導シートの平面視形状は図5(e)に示すような形状であった。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。なお、熱伝導シートの主面中における第二領域の合計面積は、10mm(=2.5mm×0.25mm×16箇所)であった。
(Example 6)
At the time of manufacturing the sheet for the second region, the amount of thermoplastic fluororesin (trade name “DAIEL G-101”, manufactured by Daikin Industries, Ltd.) that is liquid at room temperature was changed to 93 parts by mass, and SGCNT (BET specific surface area: 1050 m). The production of the first region sheet, the production of the second region sheet, the formation of the laminate and the production of the heat conduction sheet were carried out in the same manner as in Example 5 except that the amount of 2 / g) was changed to 7 parts by mass. went. In addition, the planar view shape of the heat conductive sheet was a shape as shown in FIG.5 (e). Measurements and evaluations were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1. In addition, the total area of the 2nd area | region in the main surface of a heat conductive sheet was 10 mm < 2 > (= 2.5 mm x 0.25 mm x 16 places).

(実施例7)
第二領域用シートの製造時に、常温で液体の熱可塑性フッ素樹脂(ダイキン工業株式会社製、商品名「ダイエルG−101」)の量を90質量部に変更し、SGCNT(BET比表面積:1050m/g)に替えて膨張化黒鉛(伊藤黒鉛工業株式会社製、商品名「EC−100」、体積平均粒子径:190μm)10質量部を用いた以外は実施例5と同様にして、第一領域用シートの製造、第二領域用シートの製造、積層体の形成および熱伝導シートの作製を行った。なお、熱伝導シートの平面視形状は図5(e)に示すような形状であった。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。なお、熱伝導シートの主面中における第二領域の合計面積は、10mm(=2.5mm×0.25mm×16箇所)であった。
(Example 7)
At the time of manufacturing the sheet for the second region, the amount of thermoplastic fluororesin (trade name “DAIEL G-101”, manufactured by Daikin Industries, Ltd.) that is liquid at room temperature was changed to 90 parts by mass, and SGCNT (BET specific surface area: 1050 m). 2 / g) in the same manner as in Example 5 except that 10 parts by mass of expanded graphite (trade name “EC-100”, volume average particle diameter: 190 μm, manufactured by Ito Graphite Industries Co., Ltd.) was used. Manufacture of the sheet | seat for one area | region, manufacture of the sheet | seat for 2nd area | regions, formation of the laminated body, and preparation of the heat conductive sheet were performed. In addition, the planar view shape of the heat conductive sheet was a shape as shown in FIG.5 (e). Measurements and evaluations were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1. In addition, the total area of the 2nd area | region in the main surface of a heat conductive sheet was 10 mm < 2 > (= 2.5 mm x 0.25 mm x 16 places).

(実施例8)
第二領域用シートの製造時に、解砕した組成物に替えて第二材料として常温常圧下で固体の熱可塑性フッ素樹脂(スリーエムジャパン社製、商品名「Dyneon(登録商標)E−20575」、ムーニー粘度(ML1+4,100℃):4.0)のみを使用し、積層体の形成時に、第一領域用シート10枚を積層してなる積層構造(縦50mm、横50mm、高さ5mm)の上に、第二領域用シート(条片)を、第二領域用シートの縦方向と第一領域用シートの縦方向と一致するように、且つ、積層構造の横方向端縁から第二領域用シートの横方向中心位置までの距離がそれぞれ3.75mm、6.25mm、13.75mm、16.25mm、23.75mm、26.25mm、33.75mm、36.25mm、43.75mm、46.25mmになるように合計10枚並列配置した後、第一領域用シートを更に10枚積層した以外は実施例1と同様にして、第一領域用シートの製造、第二領域用シートの製造、積層体の形成および熱伝導シートの作製を行った。なお、熱伝導シートの平面視形状は図5(f)に示すような形状であった。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。なお、熱伝導シートの主面中における第二領域の合計面積は、2.5mm(=2.5mm×0.5mm×2箇所)であった。
(Example 8)
At the time of manufacturing the sheet for the second region, instead of the crushed composition, as a second material, a solid thermoplastic fluororesin under normal temperature and normal pressure (manufactured by 3M Japan, trade name “Dyneon (registered trademark) E-20575”, Laminated structure using only Mooney viscosity (ML 1 + 4 , 100 ° C.): 4.0) and laminating 10 sheets for the first region at the time of forming the laminate (length 50 mm, width 50 mm, height 5 mm) The second region sheet (strip) is secondly aligned with the longitudinal direction of the second region sheet and the longitudinal direction of the first region sheet and from the lateral edge of the laminated structure. The distance to the lateral center position of the area sheet is 3.75 mm, 6.25 mm, 13.75 mm, 16.25 mm, 23.75 mm, 26.25 mm, 33.75 mm, 36.25 mm, 43.75 mm, 4 .Since a total of 10 sheets were arranged in parallel so as to be 25 mm, the production of the first area sheet and the production of the second area sheet were performed in the same manner as in Example 1 except that 10 sheets of the first area sheet were further laminated. Then, a laminate was formed and a heat conductive sheet was produced. In addition, the planar view shape of the heat conductive sheet was a shape as shown in FIG.5 (f). Measurements and evaluations were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1. Incidentally, the total area of the second region in the main surface of the thermally conductive sheet was 2.5mm 2 (= 2.5mm × 0.5mm × 2 points).

(実施例9)
第二領域用シートの製造時に、解砕した組成物に替えて第二材料として常温常圧下で固体の熱可塑性フッ素樹脂(スリーエムジャパン社製、商品名「Dyneon(登録商標)E−20575」、ムーニー粘度(ML1+4,100℃):4.0)のみを使用した以外は実施例2と同様にして、第一領域用シートの製造、第二領域用シートの製造、積層体の形成および熱伝導シートの作製を行った。なお、熱伝導シートの平面視形状は図5(b)に示すような形状であった。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。なお、熱伝導シートの主面中における第二領域の合計面積は、5mm(=2.5mm×0.5mm×4箇所)であった。
Example 9
At the time of manufacturing the sheet for the second region, instead of the crushed composition, as a second material, a solid thermoplastic fluororesin under normal temperature and normal pressure (manufactured by 3M Japan, trade name “Dyneon (registered trademark) E-20575”, Production of first area sheet, production of second area sheet, formation of laminate and heat in the same manner as in Example 2 except that only Mooney viscosity (ML 1 + 4 , 100 ° C.): 4.0) was used. A conductive sheet was prepared. In addition, the planar view shape of the heat conductive sheet was a shape as shown in FIG.5 (b). Measurements and evaluations were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1. In addition, the total area of the 2nd area | region in the main surface of a heat conductive sheet was 5 mm < 2 > (= 2.5 mm x 0.5 mm x 4 places).

(比較例1)
第二領域用シートの製造時に縦50mm、横50mm、厚さ0.5mmの第二領域用シートのみを製造し、積層体の形成時に、第一領域用シート2枚を積層してなる積層構造(縦50mm、横50mm、高さ1.0mm)の上に、第二領域用シート1枚を積層した後、その上に、第一領域用シート4枚、第二領域用シート1枚、第一領域用シート4枚、第二領域用シート1枚、第一領域用シート4枚、第二領域用シート1枚、第一領域用シート2枚を順次積層した以外は実施例1と同様にして、第一領域用シートの製造、第二領域用シートの製造、積層体の形成および熱伝導シートの作製を行った。なお、熱伝導シートの平面視形状は図5(d)に示すような形状であった。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。なお、熱伝導シートの主面中における第二領域の合計面積は、20mm(=10mm×0.5mm×4箇所)であった。
(Comparative Example 1)
A laminated structure in which only the second area sheet having a length of 50 mm, a width of 50 mm, and a thickness of 0.5 mm is produced when the second area sheet is produced, and two sheets of the first area sheet are laminated at the time of forming the laminate. After laminating one sheet for the second region on the top (50 mm in length, 50 mm in width, 1.0 mm in height), four sheets for the first region, one sheet for the second region, Example 1 except that 4 sheets for one area, 1 sheet for 2nd area, 4 sheets for 1st area, 1 sheet for 2nd area, 2 sheets for 1st area were laminated in order. The manufacture of the first region sheet, the manufacture of the second region sheet, the formation of the laminate, and the production of the heat conductive sheet were performed. In addition, the planar view shape of the heat conductive sheet was a shape as shown in FIG.5 (d). Measurements and evaluations were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1. In addition, the total area of the 2nd area | region in the main surface of a heat conductive sheet was 20 mm < 2 > (= 10 mm x 0.5 mm x 4 places).

(比較例2)
第二領域用シートを製造せず、積層体の形成時に、第一領域用シートのみを20枚積層して積層体とした以外は実施例1と同様にして、第一領域用シートの製造、積層体の形成および熱伝導シートの作製を行った。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。
(Comparative Example 2)
Without producing the second region sheet, at the time of forming the laminate, the production of the first region sheet was the same as in Example 1, except that only the first region sheet was laminated to form a laminate. Formation of a laminated body and preparation of a heat conductive sheet were performed. Measurements and evaluations were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

(比較例3)
第二領域用シートの製造時に、常温で液体の熱可塑性フッ素樹脂(ダイキン工業株式会社製、商品名「ダイエルG−101」)の量を99.5質量部に変更し、SGCNT(BET比表面積:1050m/g)の量を0.5質量部に変更した以外は実施例3と同様にして、第一領域用シートの製造、第二領域用シートの製造、積層体の形成および熱伝導シートの作製を行った。なお、熱伝導シートの平面視形状は図5(c)に示すような形状であった。そして、実施例1と同様にして測定および評価を行った。結果を表1に示す。なお、熱伝導シートの主面中における第二領域の合計面積は、10mm(=10mm×0.5mm×2箇所)であった。
(Comparative Example 3)
At the time of manufacturing the sheet for the second region, the amount of the thermoplastic fluororesin (trade name “DAIEL G-101”, manufactured by Daikin Industries, Ltd.) that is liquid at room temperature was changed to 99.5 parts by mass, and SGCNT (BET specific surface area) : The production of the first region sheet, the production of the second region sheet, the formation of the laminate and the heat conduction in the same manner as in Example 3 except that the amount of 1050 m 2 / g) was changed to 0.5 parts by mass. A sheet was prepared. In addition, the planar view shape of the heat conductive sheet was a shape as shown in FIG.5 (c). Measurements and evaluations were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1. Incidentally, the total area of the second region in the main surface of the thermally conductive sheet was 10mm 2 (= 10mm × 0.5mm × 2 points).

Figure 2019021688
Figure 2019021688

表1より、実施例1〜9の熱伝導シートは、十分に高い熱伝導性を有し、且つ、面内方向の位置ズレを起こし難いことが分かる。一方、表1より、第二領域が占める面積割合が大きい比較例1の熱伝導シートでは熱伝導性が低下し、第二領域を有さない比較例2の熱伝導シートでは面内方向の位置ズレを抑制できず、第二材料のムーニー粘度が2未満の比較例3の熱伝導シートは形状を維持できないことが分かる。   From Table 1, it can be seen that the heat conductive sheets of Examples 1 to 9 have sufficiently high heat conductivity and are less likely to cause positional displacement in the in-plane direction. On the other hand, from Table 1, in the heat conductive sheet of Comparative Example 1 in which the area ratio occupied by the second region is large, the thermal conductivity decreases, and in the heat conductive sheet of Comparative Example 2 that does not have the second region, the position in the in-plane direction. It can be seen that the heat transfer sheet of Comparative Example 3 in which the deviation cannot be suppressed and the Mooney viscosity of the second material is less than 2 cannot maintain the shape.

本発明によれば、十分に高い熱伝導性を有し、且つ、面内方向の位置ズレを起こし難い熱伝導シートを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it can provide the heat conductive sheet which has high heat conductivity and does not raise | generate the position shift of an in-plane direction easily.

10 熱伝導シート
11 第一領域
12 第二領域
20 積層体
21 第一領域用シート
22A,22B 第二領域用シート
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Thermal conductive sheet 11 1st area | region 12 2nd area | region 20 Laminated body 21 Sheet | seat 22A, 22B for 1st areas 2nd area | region sheets

Claims (8)

樹脂および熱伝導性充填材を含む第一材料よりなる第一領域と、
ムーニー粘度(ML1+4,100℃)が2以上の第二材料よりなり、且つ、粘着力が5.0N/mm以上である第二領域と、
を有し、
少なくとも一方の主面において前記第二領域が占める面積割合が0%超20%未満である、熱伝導シート。
A first region comprising a first material comprising a resin and a thermally conductive filler;
A second region having a Mooney viscosity (ML 1 + 4 , 100 ° C.) of 2 or more and an adhesive strength of 5.0 N / mm or more;
Have
The heat conductive sheet whose area ratio which said 2nd area | region occupies in at least one main surface is more than 0% and less than 20%.
前記第二領域が占める面積割合が1%以上15%以下である、請求項1に記載の熱伝導シート。   The heat conductive sheet according to claim 1, wherein the area ratio occupied by the second region is 1% or more and 15% or less. 前記樹脂がフッ素樹脂およびシリコン樹脂の少なくとも一方からなる、請求項1または2に記載の熱伝導シート。   The heat conductive sheet according to claim 1 or 2, wherein the resin comprises at least one of a fluororesin and a silicon resin. 前記第二材料が、粘着性樹脂と、熱伝導性充填材とを含む、請求項1〜3の何れかに記載の熱伝導シート。   The heat conductive sheet according to any one of claims 1 to 3, wherein the second material includes an adhesive resin and a heat conductive filler. 前記第二材料中における前記熱伝導性充填材の含有割合が1.0質量%以上20.0質量%以下である、請求項4に記載の熱伝導シート。   The heat conductive sheet of Claim 4 whose content rate of the said heat conductive filler in said 2nd material is 1.0 mass% or more and 20.0 mass% or less. 前記第二材料中の前記熱伝導性充填材が繊維状炭素ナノ材料を含み、
前記繊維状炭素ナノ材料のBET比表面積が400m/g以上2500m/g以下である、請求項4または5に記載の熱伝導シート。
The thermally conductive filler in the second material comprises fibrous carbon nanomaterial;
The BET specific surface area of the fibrous carbon nanomaterials or less 400 meters 2 / g or more 2500 m 2 / g, the heat conducting sheet according to claim 4 or 5.
前記第一材料中の前記熱伝導性充填材が、体積平均粒子径が150μm以上300μm以下の粒子状材料を含む、請求項1〜6の何れかに記載の熱伝導シート。   The heat conductive sheet in any one of Claims 1-6 in which the said heat conductive filler in said 1st material contains a particulate material with a volume average particle diameter of 150 micrometers or more and 300 micrometers or less. 前記第一材料中における前記粒子状材料の含有割合が5体積%以上30体積%以下である、請求項7に記載の熱伝導シート。   The heat conductive sheet of Claim 7 whose content rate of the said particulate material in said 1st material is 5 volume% or more and 30 volume% or less.
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