JP2018196992A - Functional fine line pattern, substrate with transparent conductive film, device, and electronic device - Google Patents

Functional fine line pattern, substrate with transparent conductive film, device, and electronic device Download PDF

Info

Publication number
JP2018196992A
JP2018196992A JP2018112333A JP2018112333A JP2018196992A JP 2018196992 A JP2018196992 A JP 2018196992A JP 2018112333 A JP2018112333 A JP 2018112333A JP 2018112333 A JP2018112333 A JP 2018112333A JP 2018196992 A JP2018196992 A JP 2018196992A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fine
line
thin
functional
wire
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018112333A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6658800B2 (en
Inventor
直人 新妻
Naoto NIIZUMA
直人 新妻
大屋 秀信
Hidenobu Oya
秀信 大屋
正好 山内
Masayoshi Yamauchi
正好 山内
小俣 猛憲
Takenori Omata
猛憲 小俣
圭一郎 鈴木
Keiichiro Suzuki
圭一郎 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Konica Minolta Inc
Original Assignee
Konica Minolta Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Konica Minolta Inc filed Critical Konica Minolta Inc
Priority to JP2018112333A priority Critical patent/JP6658800B2/en
Publication of JP2018196992A publication Critical patent/JP2018196992A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6658800B2 publication Critical patent/JP6658800B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Laminated Bodies (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Non-Insulated Conductors (AREA)

Abstract

To provide a functional fine line pattern, a transparent conductive film, a device, and an electronic device capable of forming functional fine lines stably with high freedom degree.SOLUTION: There are provided a functional fine line pattern, in which a plurality of polygonal fine lines 32 (52) containing a functional material are arranged in parallel on a substrate 1 two-dimensionally, and at least a pair of the polygonal fine lines 32 (52) are connected at 2 intersection points by crossing both sides sandwiching an apex of the polygonal each other; a substrate with a transparent conductive film having the transparent conductive film consisting of the functional fine line pattern on a substrate surface; a device having the substrate with the transparent conductive film; and an electronic device having the device.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、機能性細線を自由度高く安定に形成できる機能性細線パターン、透明導電膜付き基材、デバイス及び電子機器に関する。   The present invention relates to a functional fine line pattern, a substrate with a transparent conductive film, a device, and an electronic apparatus that can stably form a functional fine line with a high degree of freedom.

特許文献1〜3には、基材上に付与された導電性材料を含有する液滴を乾燥する際に、コーヒーステイン現象を利用して、該液滴の周縁部に選択的に導電性材料を堆積させる技術が開示されている。特許文献1は、液滴をドット状に付与することにより、該液滴の周縁部にリング状の導電性細線を形成している。また、特許文献2、3は、液滴を線状に付与することにより、該液滴の周縁部に直線状の導電性細線を形成している。   In Patent Documents 1 to 3, when a droplet containing a conductive material applied on a base material is dried, a conductive material is selectively applied to the peripheral portion of the droplet by utilizing a coffee stain phenomenon. Techniques for depositing are disclosed. In Patent Document 1, by applying droplets in the form of dots, ring-shaped conductive thin wires are formed on the periphery of the droplets. In Patent Documents 2 and 3, by applying droplets in a linear form, linear conductive thin wires are formed on the peripheral edge of the droplets.

WO2011/051952WO2011 / 051952 特開2005−95787号公報JP 2005-95787 A 特開2014−38992号公報JP 2014-38992 A

特許文献1の技術では、リング状の導電性細線の径を大きくするためには、ドット状に付与される液滴の径を大きくする必要がある。また、特許文献2の技術では、直線状の導電性細線の配置間隔を大きくするためには、直線状に付与される液滴の線幅を大きくする必要がある。これらの結果、液滴を形成するために大量の液体付与が必要になり、乾燥負荷が大きくなる。乾燥負荷が大きくなると、細線の安定形成が困難になったり、タクトタイムが長くなったりする。このように、従来の技術では、細線を自由度高く安定に形成することが困難であった。   In the technique of Patent Document 1, in order to increase the diameter of the ring-shaped conductive thin wire, it is necessary to increase the diameter of the droplet applied in a dot shape. Moreover, in the technique of Patent Document 2, in order to increase the arrangement interval of the linear conductive thin wires, it is necessary to increase the line width of the droplets applied in a linear shape. As a result, it is necessary to apply a large amount of liquid to form droplets, and the drying load increases. When the drying load increases, it becomes difficult to stably form fine wires, and the tact time becomes long. As described above, in the conventional technique, it has been difficult to stably form a thin line with a high degree of freedom.

例えばタッチパネルセンサー等に用いられる透明導電膜を、導電性細線の集合体により形成する際に、導電性細線を自由度高く安定に形成できれば、透明導電膜の低抵抗化を実現し、更に低視認性(導電性細線の視認困難性)を向上することが可能になる。また、導電性細線に限らず、種々の機能を有する機能性細線を自由度高く安定に形成できれば、該機能を好適に発揮することが可能になる。   For example, when forming a transparent conductive film used for touch panel sensors, etc. with an aggregate of conductive thin wires, if the conductive thin wires can be stably formed with a high degree of freedom, the resistance of the transparent conductive film can be reduced and the visibility can be further reduced. It becomes possible to improve the property (difficulty in visually recognizing the conductive thin wire). In addition, if a functional thin wire having various functions, not limited to a conductive thin wire, can be stably formed with a high degree of freedom, the function can be suitably exhibited.

そこで本発明の課題は、機能性細線を自由度高く安定に形成できる機能性細線パターン、透明導電膜付き基材、デバイス及び電子機器を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a functional fine line pattern, a substrate with a transparent conductive film, a device, and an electronic apparatus that can stably form a functional fine line with a high degree of freedom.

また本発明の他の課題は、以下の記載によって明らかとなる。   Other problems of the present invention will become apparent from the following description.

上記課題は、以下の各発明によって解決される。   The above problems are solved by the following inventions.

1.
基材上に、機能性材料を含む多角形状細線が二次元的に複数並設され、
少なくとも一組の多角形状細線が、多角形の頂点を挟む両辺同士を交差させて2点の交点で接続されていることを特徴とする機能性細線パターン。
2.
互いに接続された前記多角形状細線の内部領域の重複面積が、各多角形状細線の内部領域の面積の10分の1以下であることを特徴とする前記1記載の機能性細線パターン。
3.
前記多角形状細線は、三角形、四角形、六角形又は八角形であることを特徴とする前記1又は2記載の機能性細線パターン。
4.
前記基材の長手方向に対して各辺が傾斜した四角形である前記多角形状細線を、該基材の長手方向及び幅方向のそれぞれに所定のピッチで複数並設してなることを特徴とする前記3記載の機能性細線パターン。
5.
前記機能性材料は導電性材料であることを特徴とする前記1〜4の何れかに記載の機能性細線パターン。
6.
前記多角形状細線がメッキ層により被覆されていることを特徴とする前記1〜5の何れかに記載の機能性細線パターン。
7.
前記基材の両面に設けられたことを特徴とする前記1〜6の何れかに記載の機能性細線パターン。
8.
前記機能性材料が導電性材料である前記1〜7の何れかに記載の機能性細線パターンからなる透明導電膜を基材表面に有することを特徴とする透明導電膜付き基材。
9.
前記8記載の透明導電膜付き基材を有することを特徴とするデバイス。
10.
前記9記載のデバイスを備えることを特徴とする電子機器。
1.
On the base material, a plurality of polygonal fine wires containing functional materials are arranged two-dimensionally,
A functional thin line pattern, wherein at least one pair of polygonal thin lines are connected at two intersections by intersecting both sides sandwiching the vertex of the polygon.
2.
2. The functional thin line pattern as described in 1 above, wherein the overlapping area of the internal regions of the polygonal thin lines connected to each other is 1/10 or less of the area of the internal region of each polygonal thin line.
3.
3. The functional thin line pattern according to 1 or 2, wherein the polygonal thin line is a triangle, a quadrangle, a hexagon, or an octagon.
4).
A plurality of the thin polygonal wires that are quadrangles whose sides are inclined with respect to the longitudinal direction of the base material are arranged in parallel at a predetermined pitch in each of the longitudinal direction and the width direction of the base material. 4. The functional thin line pattern as described in 3 above.
5.
5. The functional thin line pattern according to any one of 1 to 4, wherein the functional material is a conductive material.
6).
The functional fine wire pattern according to any one of 1 to 5, wherein the polygonal fine wire is covered with a plating layer.
7).
The functional thin line pattern according to any one of 1 to 6, wherein the functional thin line pattern is provided on both surfaces of the base material.
8).
A substrate with a transparent conductive film, comprising a transparent conductive film comprising the functional fine wire pattern according to any one of 1 to 7 above, wherein the functional material is a conductive material.
9.
9. A device comprising the substrate with a transparent conductive film as described in 8 above.
10.
An electronic apparatus comprising the device according to 9 above.

本発明によれば、機能性細線を自由度高く安定に形成できる機能性細線パターン、透明導電膜付き基材、デバイス及び電子機器を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the functional fine wire pattern which can form a functional fine wire with high freedom stably, a base material with a transparent conductive film, a device, and an electronic device can be provided.

細線パターンが形成される様子を説明する斜視図The perspective view explaining a mode that a fine line pattern is formed 液体の縁部に機能性材料を運ぶ流動を説明する図であって、(a)は閉じられた幾何学図形からなるライン状液体の場合を示す図、(b)は、参考例であり、閉じられた幾何学図形ではない液体の場合を示す図It is a figure explaining the flow which carries a functional material to the edge part of a liquid, Comprising: (a) is a figure which shows the case of the line-shaped liquid which consists of a closed geometric figure, (b) is a reference example, Diagram showing the case of a liquid that is not a closed geometric figure 幾何学図形が四角形である場合の機能性細線パターン形成を説明する図The figure explaining functional thin line pattern formation when a geometric figure is a rectangle 幾何学図形が四角形である場合の機能性細線パターン形成を説明する図The figure explaining functional thin line pattern formation when a geometric figure is a rectangle 電解メッキ処理の一例について説明する図The figure explaining an example of an electrolytic plating process 電解メッキされた機能性細線パターンを説明する図Diagram explaining the electroplated functional fine wire pattern 一部の細線が除去された機能性細線パターンを説明する図The figure explaining the functional fine line pattern from which some fine lines were removed 図7の要部拡大図Fig. 7 基材の両面に機能性細線パターンを形成する場合の一例について説明する図The figure explaining an example in the case of forming a functional fine wire pattern on both surfaces of a base material 機能性細線パターンにより構成された透明導電膜を備えるタッチパネルセンサーの一例を説明する図The figure explaining an example of a touch panel sensor provided with the transparent conductive film comprised by the functional fine wire pattern 幾何学図形が三角形である場合の機能性細線パターン形成を説明する図The figure explaining functional thin line pattern formation when a geometric figure is a triangle 幾何学図形が六角形である場合の機能性細線パターン形成を説明する図Diagram explaining functional thin line pattern formation when geometric figure is hexagon 幾何学図形が八角形である場合の機能性細線パターン形成を説明する図Diagram explaining functional thin line pattern formation when geometric figure is octagon 幾何学図形が円形である場合の機能性細線パターン形成を説明する図The figure explaining functional fine line pattern formation when a geometric figure is circular 互いに隣接する細線ユニットの接続形態の他の例について説明する図The figure explaining the other example of the connection form of the mutually adjacent thin wire | line unit 幾何学図形の更なる他の例を説明する図Diagram explaining yet another example of geometric figure 基材上に形成された細線ユニットの一例を示す斜視図The perspective view which shows an example of the thin wire | line unit formed on the base material 内側細線と外側細線からなる実施例1の細線パターン(1)の光学顕微鏡写真Optical micrograph of fine line pattern (1) of Example 1 consisting of inner fine line and outer fine line 外側細線にメッキが施された実施例2の細線パターン(2)の光学顕微鏡写真Optical micrograph of fine line pattern (2) of Example 2 with outer fine line plated 内側細線が除去された実施例3の細線パターン(3)の光学顕微鏡写真Optical micrograph of fine line pattern (3) of Example 3 with inner fine lines removed

基材上に、機能性材料を含むライン状液体によって、閉じられた幾何学図形を形成し、次いで、前記ライン状液体を乾燥して、前記機能性材料を縁部に沿って堆積させることにより、機能性材料を含む内側細線と外側細線からなる機能性細線ユニット(以下、単に細線ユニットともいう)を形成する。細線ユニットを基材上に1又は複数並設することで機能性細線パターンを形成することができる。これにより、機能性細線を自由度高く安定に形成できる効果が得られる。   By forming a closed geometric figure on the substrate with the line liquid containing the functional material, and then drying the line liquid to deposit the functional material along the edges. Then, a functional thin line unit (hereinafter also simply referred to as a thin line unit) composed of an inner thin line and an outer thin line containing a functional material is formed. A functional fine line pattern can be formed by arranging one or more fine line units on the substrate. Thereby, the effect that a functional fine wire can be formed stably with high flexibility is obtained.

更に、好ましい態様において、かかる細線ユニットは、機能性細線パターンを形成するための機能性細線パターン前駆体(以下、単に前駆体ともいう)として用いられる。即ち、前駆体を構成する内側細線と外側細線からなる機能性細線の一部を除去することにより、除去せず残留させる細線によって、機能性細線パターンを形成することができる。これにより、パターン形成の自由度を更に高めることができ、特に機能性細線パターンを構成する細線の配置間隔を自由度高く調整できる効果が得られる。   Furthermore, in a preferred embodiment, the fine line unit is used as a functional fine line pattern precursor (hereinafter also simply referred to as a precursor) for forming a functional fine line pattern. That is, by removing a part of the functional thin line composed of the inner thin line and the outer thin line constituting the precursor, a functional fine line pattern can be formed by the fine lines remaining without being removed. Thereby, the freedom degree of pattern formation can further be raised and the effect which can adjust the arrangement | positioning space | interval of the thin wire | line which comprises a functional thin wire | line pattern with a high freedom degree especially is acquired.

以下に、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

まず、ライン状液体から細線ユニットが形成されるプロセスについて、図1を参照して説明する。   First, a process of forming a thin line unit from a line liquid will be described with reference to FIG.

図1(a)に示すように、基材1上に、ライン状液体2によって、閉じられた幾何学図形を形成する。ライン状液体2からなる幾何学図形は、液体が付与されていない領域20を内部に包含することにより、縁部として互いに独立した内側縁21と外側縁22とを有する。内側縁21は、ライン状液体2によって形成される閉じられた幾何学図形の内側の縁部であり、液体が付与されていない領域20に隣接する縁部である。外側縁22は、ライン状液体2によって形成される閉じられた幾何学図形の外側の縁部であり、内側縁21とは接続されていない。かかる液体2を乾燥させる際に、コーヒーステイン現象を利用して、縁部である内側縁21及び外側縁22に沿って機能性材料を選択的に堆積させることによって、図1(b)に示すように、内側縁21に対応する位置に内側細線31が、外側縁22に対応する位置に外側細線32が、それぞれ形成される。   As shown in FIG. 1A, a closed geometric figure is formed on a base material 1 by a line-like liquid 2. The geometric figure formed of the line-shaped liquid 2 includes an inner edge 21 and an outer edge 22 which are independent from each other as an edge by including a region 20 to which no liquid is applied. The inner edge 21 is an inner edge of the closed geometric figure formed by the line-shaped liquid 2 and is an edge adjacent to the region 20 to which no liquid is applied. The outer edge 22 is an outer edge of a closed geometric figure formed by the line-shaped liquid 2 and is not connected to the inner edge 21. When the liquid 2 is dried, a functional material is selectively deposited along the inner edge 21 and the outer edge 22 which are edges by using the coffee stain phenomenon, and the liquid 2 is shown in FIG. Thus, the inner thin line 31 is formed at a position corresponding to the inner edge 21, and the outer thin line 32 is formed at a position corresponding to the outer edge 22.

このようにして、機能性材料を含む内側細線31と該内側細線31を取り囲む外側細線32からなる細線ユニット3が形成される。細線ユニット3を構成する内側細線31と外側細線32は互いに接続されておらず独立している。内側細線31と外側細線32は、ライン状液体2の線幅(線の太さ)に比べて十分に細いものになる。図示の例では、ライン状液体2が、1つの内側縁21と1つの外側縁22を有することにより、一対の内側細線31及び外側細線32からなる細線ユニット3を形成している。   In this way, the thin line unit 3 is formed which includes the inner thin line 31 containing the functional material and the outer thin line 32 surrounding the inner thin line 31. The inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 constituting the thin wire unit 3 are not connected to each other and are independent. The inner thin line 31 and the outer thin line 32 are sufficiently thinner than the line width (line thickness) of the line-shaped liquid 2. In the illustrated example, the line-shaped liquid 2 has one inner edge 21 and one outer edge 22, thereby forming a thin line unit 3 including a pair of inner thin lines 31 and outer thin lines 32.

ライン状液体2から細線ユニット3を形成することによる効果について、図2を参照して説明する。   The effect of forming the thin line unit 3 from the line liquid 2 will be described with reference to FIG.

図2(a)に示すように、基材1上に付与されたライン状液体2の乾燥は、中央部に比べて内側縁21及び外側縁22において速いため、まず内側縁21及び外側縁22に沿って機能性材料の局所的な堆積が起こる。堆積した機能性材料により液体の縁が固定化された状態(接触線の固定化)となり、それ以降の乾燥に伴うライン状液体2の太さ方向の収縮が抑制される。ライン状液体2中では、内側縁21及び外側縁22での蒸発により失った分の液体を補うように、中央部から内側縁21に向かう流動と、中央部から外側縁22に向かう流動とが形成される。図中、流動の方向を矢印により概念的に示した。この流動によって更なる機能性材料が内側縁21及び外側縁22に運ばれて堆積する。その結果、内側縁21及び外側縁22に対応する位置に、機能性材料を含む内側細線31及び外側細線32がそれぞれ形成される。   As shown in FIG. 2 (a), the drying of the line-shaped liquid 2 applied on the substrate 1 is faster at the inner edge 21 and the outer edge 22 than at the center, and therefore, first, the inner edge 21 and the outer edge 22 are dried. Along with the local deposition of functional material. The liquid edge is fixed by the deposited functional material (fixation of the contact line), and the shrinkage in the thickness direction of the line-shaped liquid 2 accompanying the subsequent drying is suppressed. In the line-shaped liquid 2, a flow from the central portion toward the inner edge 21 and a flow from the central portion toward the outer edge 22 so as to compensate for the liquid lost by evaporation at the inner edge 21 and the outer edge 22. It is formed. In the figure, the direction of flow is conceptually indicated by arrows. This flow causes additional functional material to be carried and deposited on the inner edge 21 and the outer edge 22. As a result, an inner fine line 31 and an outer fine line 32 containing a functional material are formed at positions corresponding to the inner edge 21 and the outer edge 22, respectively.

図2(b)の参考例に示すような、閉じられた幾何学図形ではない液体100の縁101に機能性材料を選択的に堆積させる場合との対比では、図2(a)に示したライン状液体2は、液体が付与されていない領域20を内部に包含することにより、液体の付与量を削減でき、乾燥負荷を低減することができる。これにより、タクトタイムを短縮して生産効率を向上することができる。   As shown in the reference example of FIG. 2B, the functional material is selectively deposited on the edge 101 of the liquid 100 that is not a closed geometric figure, as shown in FIG. The line-shaped liquid 2 includes the region 20 to which no liquid is applied, so that the amount of liquid applied can be reduced and the drying load can be reduced. Thereby, tact time can be shortened and production efficiency can be improved.

更に、ライン状液体2は、液体が付与されていない領域20を内部に包含することにより、液体の乾燥に伴う気化熱の総量が比較的小さくなる。そのため、乾燥に伴う基材温度の変化や不均一化が抑制され、上述した液流を安定に形成することができる。   Furthermore, the line-like liquid 2 includes the region 20 to which no liquid is applied, so that the total amount of heat of vaporization accompanying the drying of the liquid becomes relatively small. Therefore, changes in the substrate temperature and non-uniformity due to drying are suppressed, and the above-described liquid flow can be stably formed.

また更に、ライン状液体2は、液体が付与されていない領域20を内部に包含することにより、流動によって機能性材料が縁に到達するまでの平均移動距離を短縮することができる。   Furthermore, the line-shaped liquid 2 can shorten the average moving distance until the functional material reaches the edge by flow by including the region 20 to which no liquid is applied.

これらの結果、比較的大きい径でライン状液体2を形成する場合においても、コーヒーステイン現象を安定に発現することができ、内側細線31及び外側細線32の形成を安定化することができる。これにより、機能性細線である内側細線31及び外側細線32を自由度高く安定に形成できる効果が得られる。   As a result, even when the line-shaped liquid 2 is formed with a relatively large diameter, the coffee stain phenomenon can be stably expressed, and the formation of the inner fine line 31 and the outer fine line 32 can be stabilized. Thereby, the effect which can form stably the inner side fine wire 31 and the outer side fine wire 32 which are functional thin wires with a high degree of freedom is acquired.

機能性材料を縁に運ぶ流動の形成を促進することは好ましいことである。例えば、固形分濃度、液体と基材の接触角、液体の量、基材の加熱温度、液体の配置密度、または温度、湿度、気圧といった環境因子などの条件を調整することによって、液体の縁を早期に固定化することができ、また液体中央部と縁の蒸発量の差を大きくすることができる。これにより、機能性材料を縁に運ぶ流動の形成を促進することができる。   It is preferable to promote the formation of a flow that carries the functional material to the edge. For example, by adjusting conditions such as solids concentration, contact angle between liquid and substrate, amount of liquid, substrate heating temperature, liquid arrangement density, or environmental factors such as temperature, humidity, and pressure, the edge of the liquid Can be fixed at an early stage, and the difference in evaporation amount between the liquid central portion and the edge can be increased. Thereby, formation of the flow which carries a functional material to an edge can be accelerated | stimulated.

基材1上へのライン状液体2の付与は、インクジェット法により行うことができる。具体的には、図示しない液滴吐出装置が備えるインクジェットヘッドを基材に対して相対移動させながら、インクジェットヘッドのノズルから機能性材料を含むインクを吐出し、吐出されたインク滴を基材上で合一させて、ライン状液体2を形成することができる。インクジェットヘッドの液滴吐出方式は格別限定されず、例えば、ピエゾ方式やサーマル方式などを用いることができる。   Application of the line-shaped liquid 2 onto the substrate 1 can be performed by an ink jet method. Specifically, while moving an inkjet head included in a droplet ejection device (not shown) relative to the substrate, ink containing a functional material is ejected from the nozzles of the inkjet head, and the ejected ink droplets are placed on the substrate. Can be combined to form the line-shaped liquid 2. The droplet discharge method of the inkjet head is not particularly limited, and for example, a piezo method or a thermal method can be used.

インクジェット法を用いることにより、ライン状液体2によって、閉じられた幾何学図形を所望の形状で自在に形成することができる。ライン状液体2の内側縁21及び外側縁22の形状に対応して、得られる細線ユニット3を構成する内側細線31及び外側細線32の形状を、それぞれ所望の閉じられた幾何学図形となるように形成することができる。そのため、インクジェット法を用いることにより、機能性細線を更に自由度高く形成することができる。   By using the inkjet method, a closed geometric figure can be freely formed in a desired shape by the line liquid 2. Corresponding to the shape of the inner edge 21 and the outer edge 22 of the line-shaped liquid 2, the shapes of the inner fine line 31 and the outer fine line 32 constituting the obtained fine line unit 3 are respectively formed into desired closed geometric figures. Can be formed. Therefore, the functional fine line can be formed with a higher degree of freedom by using the inkjet method.

以下に、基材1上に細線ユニット3を複数形成し、これら複数の細線ユニット3を前駆体として用いることによって、機能性細線パターンからなる透明導電膜を形成する方法の具体例を挙げて、本発明について更に詳しく説明する。ここでは、機能性材料として導電性材料が、基材として透明基材が好ましく用いられる。   Hereinafter, a specific example of a method of forming a transparent conductive film composed of a functional fine line pattern by forming a plurality of fine line units 3 on the substrate 1 and using the plurality of fine line units 3 as a precursor, The present invention will be described in more detail. Here, a conductive material is preferably used as the functional material, and a transparent substrate is preferably used as the base material.

まず、図3〜図8を参照して、ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を四角形にする態様について説明する。   First, with reference to FIGS. 3 to 8, a mode in which a closed geometric figure made of a line-like liquid is made into a quadrangle will be described.

まず、図3(a)に示すように、基材1上に、導電性材料を含む第1ライン状液体2によって、閉じられた幾何学図形として四角形を形成する。ここでは、基材1上に、四角形である第1ライン状液体2を基材の長手方向(図中、上下方向)及び幅方向(図中、左右方向)に所定ピッチで複数並設している。ここでは、便宜上、4つの第1ライン状液体2を図示している。   First, as shown in FIG. 3A, a quadrangular shape is formed on the substrate 1 as a closed geometric figure by the first line-shaped liquid 2 containing a conductive material. Here, a plurality of quadrangular first line-shaped liquids 2 are arranged on the base material 1 at a predetermined pitch in the longitudinal direction (the vertical direction in the figure) and the width direction (the horizontal direction in the figure) of the base material. Yes. Here, for convenience, four first line-shaped liquids 2 are illustrated.

基材1上に付与された第1ライン状液体2は、液体が付与されていない領域20を内部に包含することにより、縁として、互いに独立した内側縁21と外側縁22とを有する。   The first line-like liquid 2 applied on the substrate 1 includes an inner edge 21 and an outer edge 22 that are independent from each other as an edge by including a region 20 to which no liquid is applied.

次いで、第1ライン状液体2を乾燥させる際にコーヒーステイン現象を生起させて、導電性材料をライン状液体2の内側縁21及び外側縁22に沿って選択的に堆積させる。   Next, when the first line-shaped liquid 2 is dried, a coffee stain phenomenon occurs, and the conductive material is selectively deposited along the inner edge 21 and the outer edge 22 of the line-shaped liquid 2.

これにより、図3(b)に示すように、内側細線31と外側細線32からなる第1細線ユニット3が形成される。第1細線ユニット3を構成する細線31、32は、四角形状に形成されている。   Thereby, as shown in FIG.3 (b), the 1st thin wire | line unit 3 which consists of the inner fine wire 31 and the outer fine wire 32 is formed. The thin wires 31 and 32 constituting the first thin wire unit 3 are formed in a quadrangular shape.

次いで、図4(a)に示すように、基材1上に、導電性材料を含む第2ライン状液体4によって、閉じられた幾何学図形として四角形を形成する。ここでは、基材1上に、四角形である第2ライン状液体4を基材の長手方向及び幅方向に所定ピッチで複数並設している。ここでは、便宜上、5つの第2ライン状液体4を図示している。   Next, as shown in FIG. 4A, a quadrangular shape is formed on the substrate 1 as a closed geometric figure by the second line-shaped liquid 4 containing a conductive material. Here, a plurality of quadrangular second line-shaped liquids 4 are arranged on the substrate 1 at a predetermined pitch in the longitudinal direction and the width direction of the substrate. Here, for convenience, five second linear liquids 4 are illustrated.

基材1上に付与された第2ライン状液体4は、液体が付与されていない領域40を内部に包含することにより、縁として、互いに独立した内側縁41と外側縁42とを有する。   The second line-like liquid 4 applied on the substrate 1 includes an inner edge 41 and an outer edge 42 that are independent from each other by including a region 40 to which no liquid is applied.

本態様では、第2ライン状液体4を、4つの第1細線ユニット3の間に挟まれる位置に形成している。第2ライン状液体4からなる四角形の各頂点近傍は、隣接する第1細線ユニット3の外側細線32と接触するように配置されている。第2ライン状液体4からなる四角形の各頂点は、隣接する第1細線ユニット3の内側細線31と外側細線32の間の領域に配置されている。   In this embodiment, the second line-shaped liquid 4 is formed at a position sandwiched between the four first thin line units 3. The vicinity of each vertex of the quadrangle made of the second line-shaped liquid 4 is arranged so as to contact the outer fine line 32 of the adjacent first fine line unit 3. Each square vertex of the second line-shaped liquid 4 is arranged in a region between the inner thin line 31 and the outer thin line 32 of the adjacent first thin line unit 3.

次いで、第2ライン状液体4を乾燥させる際にコーヒーステイン現象を生起させて、導電性材料を第2ライン状液体4の内側縁41及び外側縁42に沿って選択的に堆積させる。   Next, when the second line-shaped liquid 4 is dried, a coffee stain phenomenon occurs, and the conductive material is selectively deposited along the inner edge 41 and the outer edge 42 of the second line-shaped liquid 4.

これにより、図4(b)に示すように、内側細線51と外側細線52からなる第2細線ユニット5を形成することができる。第2細線ユニット5を構成する細線51、52は、四角形状に形成されている。   Thereby, as shown in FIG.4 (b), the 2nd thin wire | line unit 5 which consists of the inner side fine wire 51 and the outer side fine wire 52 can be formed. The thin wires 51 and 52 constituting the second thin wire unit 5 are formed in a quadrangular shape.

本態様では、基材1上に、第1細線ユニット3と第2細線ユニット5を、基材の長手方向及び幅方向に交互に形成している。第1細線ユニット3の外側細線32と第2細線ユニット5の外側細線52とは互いに接続され、第1細線ユニット3の内側細線31と、第2細線ユニット5の内側細線51とは互いに接続されないように、各細線ユニット3、5を形成している。内側細線31、51は、他の内側細線31、51と接続されていないだけでなく、他の外側細線32、52とも接続されていない。   In this embodiment, the first fine wire unit 3 and the second fine wire unit 5 are alternately formed on the base material 1 in the longitudinal direction and the width direction of the base material. The outer fine wire 32 of the first fine wire unit 3 and the outer fine wire 52 of the second fine wire unit 5 are connected to each other, and the inner fine wire 31 of the first fine wire unit 3 and the inner fine wire 51 of the second fine wire unit 5 are not connected to each other. Thus, each thin wire | line unit 3 and 5 is formed. The inner thin wires 31 and 51 are not connected to the other inner thin wires 31 and 51 but are also not connected to the other outer thin wires 32 and 52.

以上のようにして、基材1上に、外側細線32、52によって互いに接続された細線ユニット3、5からなるパターンが形成される。   As described above, a pattern composed of the fine line units 3 and 5 connected to each other by the outer fine lines 32 and 52 is formed on the substrate 1.

次いで、得られたパターンに電解メッキを施す。かかる電解メッキ処理の一例について図5を参照して説明する。   Next, electrolytic plating is performed on the obtained pattern. An example of the electrolytic plating process will be described with reference to FIG.

図5に示すように、図示しないメッキ浴内の細線ユニット3、5からなるパターンに給電部材6を接触させて電解メッキを施す。このとき、外側細線32、52同士が互いに接続されていることにより、複数の外側細線32、52からなる通電経路が網目状に形成される。給電部材6から該通電経路を通して通電することで、該通電経路内の外側細線32、52に電解メッキが施される。   As shown in FIG. 5, the power supply member 6 is brought into contact with a pattern composed of thin wire units 3 and 5 in a plating bath (not shown) to perform electrolytic plating. At this time, since the outer thin wires 32 and 52 are connected to each other, an energization path including the plurality of outer thin wires 32 and 52 is formed in a mesh shape. By energizing the power supply member 6 through the energization path, the outer thin wires 32 and 52 in the energization path are subjected to electrolytic plating.

一方、内側細線31、51は、他の内側細線31、51及び外側細線32、52と互いに接続されておらず、各々が独立して形成されているため、上述した外側細線32、52のような通電経路が形成されない。図示するように、給電部材6と直接接触する内側細線31、51が存在する場合は、内側細線31、51に電解メッキが施され得るが、それ以外の内側細線31、51には通電されず、電解メッキが施されない。給電部材6を内側細線31、51に接触させない場合は、何れの内側細線31、51にも電解メッキが施されない。   On the other hand, the inner thin wires 31, 51 are not connected to the other inner thin wires 31, 51 and the outer thin wires 32, 52, and are formed independently of each other. Is not formed. As shown in the figure, when the inner thin wires 31 and 51 that are in direct contact with the power supply member 6 are present, the inner thin wires 31 and 51 can be electroplated, but the other inner thin wires 31 and 51 are not energized. Electrolytic plating is not applied. When the power supply member 6 is not brought into contact with the inner thin wires 31, 51, neither of the inner thin wires 31, 51 is subjected to electrolytic plating.

このようにして、外側細線32、52に対して通電経路を通して通電することで、該外側細線32、52に対して選択的に電解メッキを施すことができる。ここで、「選択的」というのは、少なくとも、電解メッキが施される外側細線32、52の本数が、電解メッキが施される内側細線31、51の本数よりも多いことをいう。   In this way, the outer fine wires 32 and 52 are energized through the energization path, whereby the outer thin wires 32 and 52 can be selectively subjected to electrolytic plating. Here, “selective” means that at least the number of outer thin wires 32 and 52 to which electrolytic plating is applied is larger than the number of inner thin wires 31 and 51 to which electrolytic plating is applied.

このようにして、図6に示すように、電解メッキが施された外側細線32、52の膜厚を、電解メッキが施されていない内側細線31、51と比較して増大させることができる。これにより、外側細線32、52は内側細線31、51よりも低抵抗化され、更に耐久性が向上する。   In this way, as shown in FIG. 6, the film thickness of the outer fine wires 32 and 52 that have been subjected to electrolytic plating can be increased compared to the inner thin wires 31 and 51 that have not been subjected to electrolytic plating. As a result, the outer thin wires 32 and 52 have a lower resistance than the inner thin wires 31 and 51, and the durability is further improved.

次いで、細線ユニット3、5を前駆体として用い、機能性細線パターンを形成する。   Next, a functional thin line pattern is formed using the thin line units 3 and 5 as precursors.

本態様では、細線ユニット3、5の内側細線31、51を除去することによって、図7に示すように、除去せず残留させる互いに接続された外側細線32、52によって、機能性細線パターンを形成している。   In this embodiment, by removing the inner thin lines 31 and 51 of the thin line units 3 and 5, as shown in FIG. 7, a functional fine line pattern is formed by the outer thin lines 32 and 52 connected to each other to remain without being removed. doing.

上述したように外側細線32、52に電解メッキを施して膜厚を増大させておくことにより、外側細線32、52は除去されにくくなり、電解メッキが施されていない内側細線31、51は比較的容易に除去できる効果が得られる。   As described above, by applying electrolytic plating to the outer thin wires 32 and 52 to increase the film thickness, the outer thin wires 32 and 52 are not easily removed, and the inner thin wires 31 and 51 not subjected to electrolytic plating are compared. The effect which can be removed easily is obtained.

細線を除去する方法は格別限定されないが、例えば、レーザー光等のようなエネルギー線を照射する方法や、化学的にエッチング処理する方法等を用いることが好ましい。   The method for removing the fine line is not particularly limited, but it is preferable to use, for example, a method of irradiating energy rays such as laser light or a method of chemically etching.

また、細線を除去する好ましい方法として、外側細線32、52に電解メッキを施す際に、内側細線31、51をメッキ液によって除去する方法を用いることもできる。この場合、メッキ液として、除去対象となる細線を構成する導電性材料を溶解又は分解可能なものを用いることができる。   As a preferred method for removing the fine wires, a method of removing the inner fine wires 31 and 51 with a plating solution when electrolytic plating is performed on the outer fine wires 32 and 52 can be used. In this case, a plating solution that can dissolve or decompose the conductive material constituting the fine wire to be removed can be used.

具体例として、まず、導電性材料として銀ナノ粒子を用いて、内側細線31、51及び外側細線32、52からなる細線ユニット3、5を形成する。そして、第1電解メッキとして外側細線32、52に選択的に銅メッキ層を設け、次いで、第2電解メッキとして該銅メッキ層上にニッケルメッキ層を設ける。このとき、第2電解メッキ(電解ニッケルメッキ)のメッキ液によって、第1電解メッキが施されていない銀からなる内側細線31、51を溶解又は分解して除去することができる。このように、外側細線32、52に対する電解メッキと、内側細線31、51の除去を同時に進行させることは好ましいことである。   As a specific example, first, fine wire units 3 and 5 including inner fine wires 31 and 51 and outer fine wires 32 and 52 are formed using silver nanoparticles as a conductive material. Then, a copper plating layer is selectively provided on the outer thin wires 32 and 52 as the first electrolytic plating, and then a nickel plating layer is provided on the copper plating layer as the second electrolytic plating. At this time, the inner fine wires 31 and 51 made of silver not subjected to the first electrolytic plating can be dissolved or decomposed and removed by the plating solution of the second electrolytic plating (electrolytic nickel plating). As described above, it is preferable that the electrolytic plating on the outer fine wires 32 and 52 and the removal of the inner fine wires 31 and 51 proceed simultaneously.

また、例えば、電解メッキのための給電を停止した後、除去対象となる細線、好ましくは内側細線31、51を除去するのに十分な時間、好ましくは1分〜30分の時間、基材1をメッキ液に浸漬させておくことも好ましいことである。   In addition, for example, after the power supply for electrolytic plating is stopped, the substrate 1 is allowed to have a sufficient time to remove the thin wires to be removed, preferably the inner thin wires 31 and 51, preferably for 1 to 30 minutes. It is also preferable to immerse in a plating solution.

以上のように、内側細線31、51を除去することによって、除去せず残留させる外側細線32、52からなる機能性細線パターンにおける細線の配置間隔を自由度高く調整することができる。細線の一部除去による配置間隔の調整は、特に配置間隔を大きくする場合に有利である。   As described above, by removing the inner thin lines 31 and 51, the arrangement interval of the thin lines in the functional thin line pattern including the outer thin lines 32 and 52 that remain without being removed can be adjusted with a high degree of freedom. The adjustment of the arrangement interval by partially removing the thin line is particularly advantageous when the arrangement interval is increased.

細線の一部を除去して細線の配置間隔を大きくすることにより、機能性細線パターンからなる透明導電膜の透過率や低視認性を好適に向上できる効果が得られる。   By removing a part of the fine lines and increasing the arrangement interval of the fine lines, an effect of suitably improving the transmittance and low visibility of the transparent conductive film made of the functional fine line pattern can be obtained.

以上のようにして得られた機能性細線パターンについて詳しく説明する。   The functional thin line pattern obtained as described above will be described in detail.

図7に示した機能性細線パターンは、基材1上に、外側細線32、52からなる細線、即ち機能性材料を含む四角形状細線を、二次元的に複数並設してなる。四角形状細線(外側細線32、52)は、該基材1の長手方向及び幅方向のそれぞれに所定のピッチで複数並設されている。   The functional fine line pattern shown in FIG. 7 is formed by two-dimensionally arranging a plurality of fine lines composed of outer fine lines 32 and 52 on the base material 1, that is, rectangular fine lines containing a functional material. A plurality of rectangular fine wires (outer fine wires 32 and 52) are arranged in parallel at a predetermined pitch in each of the longitudinal direction and the width direction of the substrate 1.

図7に示すように、機能性細線パターンにおいて、四角形状細線(外側細線32、52)は、基材1の長手方向に対して各辺が傾斜(図示の例では45°)した四角形であることが好ましい。これにより、機能性細線パターンからなる透明導電膜付き基材1を画像表示装置等のデバイスに組み込んだ際のモアレ発生を好適に防止できる効果が得られる。   As shown in FIG. 7, in the functional fine line pattern, the quadrangular fine lines (outer fine lines 32 and 52) are quadrangles whose sides are inclined (45 ° in the illustrated example) with respect to the longitudinal direction of the substrate 1. It is preferable. Thereby, the effect which can prevent suitably the moire generation | occurrence | production at the time of incorporating the base material 1 with a transparent conductive film which consists of a functional fine wire pattern in devices, such as an image display apparatus, is acquired.

モアレというのは、導電性細線の集合体からなる透明導電膜付き基材1をデバイスに組み込んだ際に、導電性細線とデバイス中の他の要素との組み合わせに由来するスジが視認されてしまうことである。モアレは、例えば、透明導電膜を構成する導電性細線と、デバイス中の画像表示素子が備える画素アレイとが光学干渉すること等により生じ得る。モアレが防止されることにより、画像表示素子により表示される画像を鮮明に視認できる効果が得られる。   Moire means that when a substrate 1 with a transparent conductive film made of an aggregate of conductive thin wires is incorporated into a device, streaks derived from combinations of the conductive thin wires and other elements in the device are visually recognized. That is. Moire can be caused by, for example, optical interference between a conductive thin wire constituting a transparent conductive film and a pixel array included in an image display element in the device. By preventing moiré, an effect of clearly viewing an image displayed by the image display element can be obtained.

かかる機能性細線パターンにおいて、隣接する四角形状細線(外側細線32、52)は、四角形の頂点を挟む両辺同士を交差させて2点の交点で接続されている。即ち、図8に拡大して示すように、隣接する四角形状細線(外側細線32、52)は、一方の四角形状細線(外側細線32)の頂点Aを挟む両辺a1、a2と、他方の四角形状細線(外側細線52)の頂点Bを挟む両辺b1、b2とを交差させることによって、2点の交点C、Dで接続されている。なお、図8では、説明の便宜上、隣接する1組の四角形状細線(外側細線32、52)のみを示しているが、図7に示されるように、他の隣接する四角形状細線も同様に接続されている。このように隣接する四角形状細線(外側細線32、52)を2点の交点で接続することによって両四角形状細線を確実に接続でき、特に機能性材料として導電性材料を用いる場合には、確実な電気的接続を実現できる。これにより、透明導電膜の更なる低抵抗化を実現でき、更に抵抗の不均一化を好適に防止できる効果も得られる。   In such a functional fine line pattern, adjacent quadrilateral fine lines (outer fine lines 32 and 52) are connected at two intersections by intersecting both sides sandwiching the apex of the quadrangle. That is, as shown in an enlarged view in FIG. 8, adjacent rectangular fine lines (outer fine lines 32 and 52) have both sides a 1 and a 2 sandwiching the vertex A of one rectangular fine line (outer fine line 32) and the other square. By connecting both sides b1 and b2 sandwiching the apex B of the shape fine line (outer fine line 52), the two intersections C and D are connected. In FIG. 8, for convenience of explanation, only a pair of adjacent rectangular thin lines (outer thin lines 32 and 52) are shown. However, as shown in FIG. It is connected. By connecting the adjacent rectangular fine wires (outer fine wires 32 and 52) at the intersection of two points in this way, the two rectangular fine wires can be reliably connected, particularly when a conductive material is used as the functional material. Electrical connection can be realized. As a result, the resistance of the transparent conductive film can be further reduced, and the effect of suitably preventing non-uniform resistance can be obtained.

また、隣接する四角形状細線(外側細線32、52)の内部領域の重複面積は、各四角形状細線(外側細線32、52)の内部領域の面積の10分の1以下であることが好ましい。ここで、重複面積というのは、図示の例でいえば、2つの頂点A、B及び2つの交点C、Dからなる4点を頂点とする四角形ADBCの面積である。これにより、両四角形状細線をより確実に接続できると共に、機能性細線パターンが視認されにくくなる効果が得られる。   Moreover, it is preferable that the overlapping area of the inner regions of adjacent rectangular fine wires (outer thin wires 32, 52) is 1/10 or less of the area of the inner region of each rectangular fine wire (outer thin wires 32, 52). Here, the overlapping area is an area of a quadrangle ADBC having four vertices including two vertices A and B and two intersections C and D as vertices in the illustrated example. Thereby, while being able to connect both square-shaped fine wires more reliably, the effect that a functional fine wire pattern becomes difficult to visually recognize is acquired.

また、特に機能性材料として導電性材料を用いる場合には、四角形状細線(外側細線32、52)がメッキ層により被覆されていることによって、より確実な電気的接続を実現できる。   In particular, when a conductive material is used as the functional material, more reliable electrical connection can be realized by covering the rectangular fine wires (outer fine wires 32 and 52) with a plating layer.

以上の説明では、基材の一面に機能性細線パターンを形成する場合について示したが、基材の両面に機能性細線パターンを形成することも好ましいことである。基材の両面に機能性細線パターンを形成する場合の一例について、図9を参照して説明する。   In the above description, the case where the functional thin line pattern is formed on one surface of the base material has been described. However, it is also preferable that the functional thin line pattern is formed on both surfaces of the base material. An example in the case of forming a functional thin line pattern on both surfaces of a base material is demonstrated with reference to FIG.

図9の例では、基材1の一面(表面)に機能性細線パターンを形成し、更に、基材1の他面(裏面)にも機能性細線パターンを形成している。   In the example of FIG. 9, a functional thin line pattern is formed on one surface (front surface) of the substrate 1, and further, a functional thin line pattern is formed on the other surface (back surface) of the substrate 1.

ここでは、各面の機能性細線パターンは、図7に示したものと同様に、細線ユニット3、5の内側細線31、51を除去することにより、除去せず残留させた外側細線32、52により構成されている。   Here, the functional thin line pattern on each surface is the same as that shown in FIG. 7, and the outer thin lines 32, 52 that remain without being removed by removing the inner thin lines 31, 51 of the thin line units 3, 5 are removed. It is comprised by.

このように、基材1の両面に機能性細線パターンを形成する場合において、一面及び又は他面の細線ユニットを構成する細線の一部を除去して細線の配置間隔を大きくすることは特に好ましい。   Thus, when forming a functional fine line pattern on both surfaces of the base material 1, it is particularly preferable to increase the arrangement interval of the fine lines by removing a part of the fine lines constituting the fine line unit on one side and / or the other side. .

例えば、基材として透明基材を用い、両面の機能性細線パターンに含有させる機能性材料として導電性材料を用いることで、機能性細線パターンからなる透明導電膜を透明基材の両面に形成することができる。この場合、細線の一部除去によって細線の配置間隔を大きくすることで、表裏のパターンの位置合わせ精度の高い要求を緩和することができる。
即ち、表裏のパターンの位置合わせに多少のずれが生じても、細線間隔が大きいことによって、表裏のパターンの干渉による骨見えを好適に防止できる。両面に透明導電膜を設けた透明基材は、例えばタッチパネルセンサー等として好適に用いることができる。
For example, by using a transparent base material as a base material and using a conductive material as a functional material to be included in the functional thin wire patterns on both sides, a transparent conductive film composed of the functional thin wire patterns is formed on both surfaces of the transparent base material. be able to. In this case, the requirement for high alignment accuracy of the front and back patterns can be relaxed by increasing the arrangement interval of the fine lines by partially removing the fine lines.
In other words, even if there is a slight shift in the alignment of the front and back patterns, the appearance of bone due to interference between the front and back patterns can be suitably prevented due to the large thin line spacing. A transparent substrate provided with a transparent conductive film on both sides can be suitably used as, for example, a touch panel sensor.

図10は、機能性細線パターンにより構成された透明導電膜を備えるタッチパネルセンサーの一例を示している。図10(a)は基材1を表面側から見た様子を、図10(b)は基材1を裏面側から見た様子を、それぞれ示している。   FIG. 10 shows an example of a touch panel sensor including a transparent conductive film configured by a functional thin line pattern. FIG. 10A shows a state in which the base material 1 is viewed from the front surface side, and FIG. 10B shows a state in which the base material 1 is viewed from the back surface side.

図示のタッチパネルセンサーは、図10(a)に示すように、透明な基材1の表面に、帯状のX電極7が複数並設されている。複数のX電極7は、それぞれ、外側細線32、52からなる機能性細線パターンにより構成された透明導電膜8により構成されている。   In the illustrated touch panel sensor, as shown in FIG. 10A, a plurality of strip-shaped X electrodes 7 are arranged in parallel on the surface of a transparent substrate 1. The plurality of X electrodes 7 are each constituted by a transparent conductive film 8 formed by a functional thin line pattern composed of outer thin lines 32 and 52.

各透明導電膜8を構成する機能性細線パターンにおいて、隣接する外側細線32、52は互いに接続されている。一方、一つの透明導電膜8を構成する外側細線32、52は、他の透明導電膜8を構成する外側細線32、52とは接続されていない。このように、互いに接続されていない外側細線32、52が存在することによって、基材1の表面に、互いに電気的に接続されていない独立した複数のX電極7を形成することができる。各X電極7は、互いに電気的に接続された複数の外側細線32、52からなる集合体によって構成されている。図中、符号9は引出し配線であり、各X電極7は引出し配線9によって図示しない制御回路に接続される。   In the functional fine line pattern constituting each transparent conductive film 8, the adjacent outer fine lines 32 and 52 are connected to each other. On the other hand, the outer fine wires 32 and 52 constituting one transparent conductive film 8 are not connected to the outer fine wires 32 and 52 constituting the other transparent conductive film 8. Thus, the presence of the outer thin wires 32 and 52 that are not connected to each other makes it possible to form a plurality of independent X electrodes 7 that are not electrically connected to each other on the surface of the substrate 1. Each X electrode 7 is constituted by an aggregate composed of a plurality of outer fine wires 32 and 52 that are electrically connected to each other. In the figure, reference numeral 9 denotes a lead wiring, and each X electrode 7 is connected to a control circuit (not shown) by the lead wiring 9.

一方、図10(b)に示すように、透明な基材1の裏面には、帯状のY電極10が複数並設されている。複数のY電極10は、それぞれ、上述したX電極7と同様に、外側細線32、52からなる機能性細線パターンにより構成された透明導電膜8により構成されている。帯状のY電極10は、その長手方向が、上述したX電極の長手方向と交差するように形成されている。各Y電極10は引出し配線9によって図示しない制御回路に接続される。   On the other hand, as shown in FIG. 10B, a plurality of strip-shaped Y electrodes 10 are arranged in parallel on the back surface of the transparent substrate 1. Each of the plurality of Y electrodes 10 is formed of a transparent conductive film 8 formed of a functional thin line pattern including outer thin lines 32 and 52, similarly to the X electrode 7 described above. The strip-shaped Y electrode 10 is formed so that its longitudinal direction intersects the longitudinal direction of the X electrode described above. Each Y electrode 10 is connected to a control circuit (not shown) by a lead wiring 9.

これらX電極7及びY電極10は、透明な基材1を介して交差する(重なり合う)ように設けられる。このとき、上述した細線の一部除去によって、X電極7及びY電極10を構成する透明導電膜を構成する機能性細線パターンにおける細線の配置間隔が大きくなっていることによって、図9を参照して説明したように、表裏のパターンの位置合わせ精度の高い要求を緩和することができる。   The X electrode 7 and the Y electrode 10 are provided so as to intersect (overlap) via the transparent substrate 1. At this time, the partial spacing of the fine lines in the functional fine line pattern constituting the transparent conductive film constituting the X electrode 7 and the Y electrode 10 is increased by partially removing the fine lines described above. As described above, it is possible to relax the requirement for high alignment accuracy of the front and back patterns.

以上のような構成を備えたタッチパネルセンサーは、例えば静電容量方式等のタッチパネルセンサーとして好適に用いることができる。静電容量方式のタッチパネルであれば、操作時において、これらX電極7及びY電極10にユーザーの指や導体等が接近、接触した際に生じる静電容量変化に基づく誘導電流を利用して、指や導体等の位置座標を検知することができる。   The touch panel sensor having the above-described configuration can be suitably used as, for example, a capacitive touch panel sensor. If it is a capacitive touch panel, using the induced current based on the capacitance change that occurs when the user's finger or conductor approaches or contacts these X electrode 7 and Y electrode 10 during operation, The position coordinates of a finger, a conductor, etc. can be detected.

以上の説明では、第1ライン状液体の形成から第1細線ユニットの形成までの工程と、第2ライン状液体の形成から第2細線ユニットの形成までの工程と、を設けて、2回に分けて複数の細線ユニットを形成したが、これに限定されるものではない。第2細線ユニットを形成した後に、更なる1又は複数の細線ユニットを形成してもよい。更なる1又は複数の細線ユニットは、1又は複数回に分けて形成することができる。即ち、基材上に複数の細線ユニットを形成する場合は、適宜、複数回に分けて形成することができる。また、例えば、細線ユニット同士を接続しない場合は、複数の細線ユニットを1回で形成することも好ましい。   In the above description, the process from the formation of the first line-shaped liquid to the formation of the first thin line unit and the process from the formation of the second line-shaped liquid to the formation of the second thin line unit are provided twice. A plurality of thin line units are formed separately, but the present invention is not limited to this. After forming the second thin line unit, one or more additional thin line units may be formed. Further one or more thin wire units can be formed in one or more times. That is, when a plurality of thin line units are formed on the substrate, they can be appropriately divided into a plurality of times. In addition, for example, when the thin line units are not connected to each other, it is also preferable to form a plurality of thin line units at a time.

以上の説明では、ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を四角形とし、四角形状細線からなる機能性細線パターンを形成する場合について示したが、これに限定されるものではなく、ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を多角形とし、多角形状細線からなる機能性細線パターンを形成することができる。   In the above description, a case has been described in which a closed geometric figure made of a line-like liquid is a quadrilateral and a functional fine line pattern made of a square-like fine line is formed. However, the present invention is not limited to this. The closed geometric figure made of can be made a polygon, and a functional fine line pattern made of polygonal fine lines can be formed.

以下に、四角形以外の他の多角形の例として、三角形、六角形、八角形の場合について説明する。   Below, the case of a triangle, a hexagon, and an octagon is demonstrated as an example of polygons other than a rectangle.

ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を三角形とすることにより、図11(a)に示すように、それぞれ三角形状に形成された内側細線31と外側細線32からなる細線ユニット3を形成することができる。隣接する外側細線32は、三角形の頂点を挟む両辺同士を交差させて2点の交点で接続されている。   By forming a closed geometric figure made of a line-shaped liquid into a triangle, as shown in FIG. 11A, a fine line unit 3 made up of an inner fine line 31 and an outer fine line 32 each formed in a triangular shape is formed. be able to. The adjacent outer fine lines 32 are connected at two intersections by intersecting both sides sandwiching the apex of the triangle.

かかる細線ユニット3からなる機能性細線パターン前駆体の内側細線31を除去することにより、図11(b)に示すように、除去せず残留させる外側細線32、即ち三角形状細線からなる機能性細線パターンを形成することができる。   By removing the inner fine line 31 of the functional fine line pattern precursor composed of the fine line unit 3, as shown in FIG. 11B, the outer fine line 32 that remains without being removed, that is, the functional fine line composed of a triangular thin line. A pattern can be formed.

ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を六角形とすることにより、図12(a)に示すように、それぞれ六角形状に形成された内側細線31と外側細線32からなる細線ユニット3を形成することができる。隣接する外側細線32は、六角形の頂点を挟む両辺同士を交差させて2点の交点で接続されている。   By forming a closed geometric figure made of a line-shaped liquid into a hexagon, as shown in FIG. 12A, a fine line unit 3 made up of an inner fine line 31 and an outer fine line 32 each formed in a hexagonal shape is formed. can do. The adjacent outer fine lines 32 are connected at two intersections by intersecting both sides sandwiching the hexagonal apex.

かかる細線ユニット3からなる機能性細線パターン前駆体の内側細線31を除去することにより、図12(b)に示すように、除去せず残留させる外側細線32、即ち六角形状細線を二次元的に複数並設してなる機能性細線パターンを形成することができる。   By removing the inner fine line 31 of the functional fine line pattern precursor composed of the fine line unit 3, as shown in FIG. 12B, the outer fine line 32 that remains without being removed, that is, the hexagonal fine line is two-dimensionally. A plurality of functional fine line patterns formed in parallel can be formed.

ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を八角形とすることにより、図13(a)に示すように、それぞれ八角形状に形成された内側細線31と外側細線32からなる細線ユニット3を形成することができる。隣接する外側細線32は、八角形の頂点を挟む両辺同士を交差させて2点の交点で接続されている。   By forming a closed geometric figure made of a line-shaped liquid into an octagon, as shown in FIG. 13 (a), a thin line unit 3 consisting of an inner thin line 31 and an outer thin line 32 each formed in an octagon is formed. can do. Adjacent outer thin wires 32 are connected at two intersections by intersecting both sides sandwiching the octagonal apex.

かかる細線ユニット3からなる機能性細線パターン前駆体の内側細線31を除去することにより、図13(b)に示すように、除去せず残留させる外側細線32、即ち八角形状細線を二次元的に複数並設してなる機能性細線パターンを形成することができる。   By removing the inner fine line 31 of the functional fine line pattern precursor composed of the fine line unit 3, as shown in FIG. 13B, the outer fine line 32 that remains without being removed, that is, the octagonal fine line is two-dimensionally. A plurality of functional fine line patterns formed in parallel can be formed.

更に、ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形は、多角形に限定されず、例えば円形や楕円形などのように曲線要素を含むものであってもよい。図14は、ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を円形とする場合の例を示している。   Furthermore, the closed geometric figure made of the line-shaped liquid is not limited to a polygon, and may include a curved element such as a circle or an ellipse. FIG. 14 shows an example in which a closed geometric figure made of a line-like liquid is circular.

ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を円形とすることにより、図14(a)に示すように、それぞれ円形状に形成された内側細線31と外側細線32からなる細線ユニット3を形成することができる。隣接する外側細線32は、円形の円周同士を交差させて2点の交点で接続されている。   By forming the closed geometric figure made of the line-like liquid into a circle, as shown in FIG. 14A, the fine line unit 3 composed of the inner fine line 31 and the outer fine line 32 each formed in a circular shape is formed. be able to. Adjacent outer fine lines 32 are connected at two intersections by intersecting circular circumferences.

かかる細線ユニット3からなる機能性細線パターン前駆体の内側細線61を除去することにより、図14(b)に示すように、除去せず残留させる外側細線62、即ち円形状細線を二次元的に複数並設してなる機能性細線パターンを形成することができる。   By removing the inner fine line 61 of the functional fine line pattern precursor composed of the fine line unit 3, as shown in FIG. 14B, the outer fine line 62 that remains without being removed, that is, the circular fine line is two-dimensionally. A plurality of functional fine line patterns formed in parallel can be formed.

機能性細線パターンを多角形状細線(外側細線32)によって構成する場合、多角形の1辺の長さは、自在に調整することができる。例えば、1辺の長さは、50μm以上、100μm以上、200μm以上、300μm以上、400μm以上、500μm以上、更には1mm以上であることが好ましい。このような比較的大きい多角形を形成する場合であっても、ライン状液体を閉じられた幾何学図形として付与することで、安定な細線形成を実現できる。大きさによらず安定な細線形成を実現できるため、1辺の長さの上限は格別限定されず、用途に応じて適宜設定できる。多角形を構成する少なくとも1つの辺が上記の範囲であることが好ましく、全ての辺が上記の範囲であることが更に好ましい。   When the functional thin line pattern is configured by polygonal thin lines (outer thin lines 32), the length of one side of the polygon can be freely adjusted. For example, the length of one side is preferably 50 μm or more, 100 μm or more, 200 μm or more, 300 μm or more, 400 μm or more, 500 μm or more, and more preferably 1 mm or more. Even when such a relatively large polygon is formed, a stable thin line can be formed by applying the line-like liquid as a closed geometric figure. Since stable thin line formation can be realized regardless of the size, the upper limit of the length of one side is not particularly limited, and can be appropriately set according to the application. It is preferable that at least one side constituting the polygon is in the above range, and it is more preferable that all sides are in the above range.

また、多角形は正多角形に限定されず、多角形を構成する各辺の長さや、各内角の角度は、互いに異なってもよい。   Further, the polygon is not limited to a regular polygon, and the length of each side constituting the polygon and the angle of each inner angle may be different from each other.

また、機能性細線パターンを円形状細線(外側細線32)によって構成する場合においても、円形の直径は自在に調整することができる。例えば、直径は、50μm以上、100μm以上、200μm以上、300μm以上、400μm以上、500μm以上、更には1mm以上であることが好ましい。このような比較的大きい円形を形成する場合であっても、ライン状液体を閉じられた幾何学図形として付与することで、安定な細線形成を実現できる。大きさによらず安定な細線形成を実現できるため、直径の上限は格別限定されず、用途に応じて適宜設定できる。   In addition, even when the functional thin line pattern is formed by circular thin lines (outer thin lines 32), the circular diameter can be freely adjusted. For example, the diameter is preferably 50 μm or more, 100 μm or more, 200 μm or more, 300 μm or more, 400 μm or more, 500 μm or more, and more preferably 1 mm or more. Even when such a relatively large circle is formed, a stable fine line can be formed by applying the line-like liquid as a closed geometric figure. Since stable thin wire formation can be realized regardless of the size, the upper limit of the diameter is not particularly limited, and can be appropriately set according to the application.

また、機能性細線パターンを楕円形状細線(外側細線32)によって構成する場合、上述した直径の好ましい範囲を、長径の好ましい範囲として適用できる。   In addition, when the functional fine line pattern is constituted by elliptic thin lines (outer fine lines 32), the above-described preferable range of the diameter can be applied as the preferable range of the long diameter.

以上の説明では、基材上に細線ユニットを複数形成する際に、これら複数の細線ユニットを所定のピッチで形成する場合について主に説明したが、これに限定されるものではない。   In the above description, when a plurality of fine line units are formed on the base material, the case where the plurality of fine line units are formed at a predetermined pitch has been mainly described, but the present invention is not limited to this.

以上の説明では、細線ユニットを接続する際に、外側細線同士を接続し、内側細線を他の内側細線及び外側細線と接続させない場合について主に示したが、これに限定されるものではない。細線ユニットを構成する何れかの機能性細線を互いに接触させて接続することができる。例えば、第1細線ユニットの内側細線及び又は外側細線と、第2細線ユニットの内側細線及び又は外側細線とを接続することができる。以下に、図15を参照して、細線ユニットの接続形態の他の例について説明する。   In the above description, when connecting the thin line units, the case where the outer thin lines are connected to each other and the inner thin line is not connected to the other inner thin lines and the outer thin line is mainly shown, but the present invention is not limited to this. Any of the functional thin wires constituting the thin wire unit can be brought into contact with each other and connected. For example, the inner thin wire and / or the outer thin wire of the first thin wire unit can be connected to the inner thin wire and / or the outer thin wire of the second thin wire unit. Below, with reference to FIG. 15, the other example of the connection form of a thin wire | line unit is demonstrated.

図15(a)の例において、互いに隣接する細線ユニット3、5は、外側細線32、52同士は接続され、内側細線31、51同士は接続されていない。この例では、一方の細線ユニット3を構成する内側細線31は、他方の細線ユニット5を構成する外側細線52と接続されている。同様に、他方の細線ユニット5を構成する内側細線51は、一方の細線ユニット3を構成する外側細線32と接続されている。   In the example of FIG. 15A, the adjacent thin wire units 3, 5 are connected to the outer thin wires 32, 52, and are not connected to the inner thin wires 31, 51. In this example, the inner thin wire 31 constituting one thin wire unit 3 is connected to the outer thin wire 52 constituting the other thin wire unit 5. Similarly, the inner thin wire 51 constituting the other thin wire unit 5 is connected to the outer fine wire 32 constituting the one thin wire unit 3.

図15(b)の例において、互いに隣接する細線ユニット3、5は、外側細線32、52同士が接続され、内側細線31、51同士も接続されている。この例では、一方の細線ユニット3を構成する内側細線31は、他方の細線ユニット5を構成する外側細線52と接続されている。同様に、他方の細線ユニット5を構成する内側細線51は、一方の細線ユニット3を構成する外側細線32と接続されている。   In the example of FIG. 15B, the adjacent fine line units 3 and 5 are connected to the outer fine lines 32 and 52, and are also connected to the inner fine lines 31 and 51. In this example, the inner thin wire 31 constituting one thin wire unit 3 is connected to the outer thin wire 52 constituting the other thin wire unit 5. Similarly, the inner thin wire 51 constituting the other thin wire unit 5 is connected to the outer fine wire 32 constituting the one thin wire unit 3.

図15(a)、(b)に示した接続形態を用いることによって、例えば、上述した電解メッキを、外側細線だけでなく内側細線にも好適に施すことができる。   By using the connection form shown in FIGS. 15A and 15B, for example, the above-described electrolytic plating can be suitably applied not only to the outer fine wire but also to the inner fine wire.

互いに接続された細線ユニットを複数形成する場合、これらは同一の接続形態によって接続されてもよいし、種々の接続形態が混在してもよい。更に、一部の細線ユニットが、内側細線も外側細線も接続されない状態で並設されていてもよい。   When a plurality of thin line units connected to each other are formed, they may be connected by the same connection form, or various connection forms may be mixed. Further, some of the thin wire units may be arranged side by side in a state where neither the inner fine wire nor the outer fine wire is connected.

以上の説明では、機能性細線パターンを構成する機能性細線同士を2点で交差させて接続する場合について主に示したが、2点での接続に限定されるものではない。例えば、機能性細線同士を1点で接触させて接続してもよい。2点交差と1点接触を適宜組み合わせて、3点以上で接続することも導電性を確保する観点では好ましいことである。   In the above description, the case where the functional thin lines constituting the functional thin line pattern are connected by intersecting at two points is mainly shown, but the present invention is not limited to the connection at two points. For example, the functional thin wires may be connected at a single point. It is also preferable from the viewpoint of ensuring conductivity to connect two points of intersection and one point of contact as appropriate to connect at three or more points.

ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形の更なる他の例について、図16を参照して説明する。   Still another example of a closed geometric figure made of a line-like liquid will be described with reference to FIG.

例えば、図16(a)に示すように、ライン状液体2よって形成される閉じられた幾何学図形は、ジグザグ状要素により構成されることも好ましいことである。これを乾燥することにより、ジグザグ状の内側縁21及び外側縁22に対応する位置に、ジグザグ状要素により構成された内側細線及び外側細線を形成することができる。更に、図示しないが、ジグザク状要素に代えて波線状要素としてもよいし、ジグザク状要素と波線状要素とを組み合わせてもよい。ジグザグ状要素や波線状要素により構成された機能性細線のような、正多角形ではない機能性細線同士を接続する場合は、1点又は2点で接続してもよいが、上述した3点以上での接続を好ましく用いることができる。上記正多角形ではない機能性細線としては、例えば1以上の内角が180°より大きい多角形の機能性細線を好ましく挙げることができる。   For example, as shown in FIG. 16A, it is also preferable that the closed geometric figure formed by the line-like liquid 2 is composed of zigzag elements. By drying this, the inner thin line and the outer thin line formed by the zigzag elements can be formed at positions corresponding to the zigzag inner edge 21 and the outer edge 22. Further, although not shown, a wavy element may be used instead of the zigzag element, or a zigzag element and a wavy element may be combined. When connecting functional thin lines that are not regular polygons, such as functional thin lines composed of zigzag elements and wavy line elements, they may be connected at one point or two points. The above connection can be preferably used. Preferred examples of the functional thin line that is not a regular polygon include a polygonal functional thin line having one or more interior angles larger than 180 °.

また、図16(b)に示すように、ライン状液体2よって形成される閉じられた幾何学図形は、液体が付与されていない2つの領域20a、20bを包含することができる。これにより、幾何学図形は、複数の内側縁21a、21bを有することができる。これを乾燥することにより、外側縁22に対応する位置に1つの外側細線を形成すると共に、2つの内側縁21a、21bに対応する位置に2つの内側細線を形成することができる。ライン状液体2に包含される液体が付与されていない領域を3以上とすることも可能であり、これにより、該領域の数に対応する本数の内側細線を形成することができる。   As shown in FIG. 16B, the closed geometric figure formed by the line-shaped liquid 2 can include two regions 20a and 20b to which no liquid is applied. Thereby, the geometric figure can have a plurality of inner edges 21a, 21b. By drying this, one outer fine line can be formed at a position corresponding to the outer edge 22, and two inner thin lines can be formed at positions corresponding to the two inner edges 21a and 21b. It is also possible to set the number of areas to which the liquid contained in the line-shaped liquid 2 is not applied to be 3 or more, and thereby it is possible to form the number of inner fine lines corresponding to the number of the areas.

更にまた、図16(c)に示すように、ライン状液体2よって形成される閉じられた幾何学図形は、突出部23を備えてもよい。突出部23は、例えば、図示するような、閉じられた幾何学図形に対して一端のみで接続された線分であり得る。   Furthermore, as shown in FIG. 16 (c), the closed geometric figure formed by the line-shaped liquid 2 may include a protrusion 23. The protrusion 23 can be, for example, a line segment connected at one end to a closed geometric figure as shown in the figure.

また、内側縁の形状と外側縁の形状は、互いに同一(即ち相似)でもよいし異なってもよい。これらの形状を異ならせることによって、得られる細線ユニットにおける内側細線の形状と外側細線の形状を異ならせることができる。   Further, the shape of the inner edge and the shape of the outer edge may be the same (that is, similar) or may be different. By making these shapes different, the shape of the inner fine wire and the shape of the outer fine wire in the obtained fine wire unit can be made different.

また、基材上に設けられる複数のライン状液体によって、複数種の互いに異なる幾何学図形を形成してもよい。これにより、複数種の互いに異なる幾何学図形からなる機能性細線を組み合わせた機能性細線パターンを形成することができる。例えば、上述した第1ライン状液体と第2ライン状液体は、同一形状であることが好ましいが、これに限定されず、相似であってもよいし、例えば四角形と円形の組み合わせのように異なる形状であってもよい。   A plurality of different geometric figures may be formed by a plurality of line-shaped liquids provided on the substrate. Thereby, the functional fine line pattern which combined the functional thin line which consists of multiple types of mutually different geometric figures can be formed. For example, the first line-shaped liquid and the second line-shaped liquid described above are preferably the same shape, but are not limited to this, and may be similar or different, for example, a combination of a square and a circle. It may be a shape.

以上の説明では、細線ユニットを構成する内側細線を除去することにより、除去せず残留させる外側細線によって機能性細線パターンを形成する場合について示したが、これに限定されるものではない。細線ユニットを構成する内側細線及び外側細線からなる細線の何れか一部を除去することにより、除去せず残留させる細線によって機能性細線パターンを形成することができる。例えば、細線ユニットを構成する外側細線を除去することにより、除去せず残留させる内側細線によって機能性細線パターンを形成することも好ましいことである。   In the above description, the case where the functional fine line pattern is formed by removing the inner fine lines constituting the fine line unit by the outer fine lines remaining without being removed is not limited to this. A functional fine line pattern can be formed by fine lines that remain without being removed by removing any part of the fine lines composed of the inner fine line and the outer fine line constituting the fine line unit. For example, it is also preferable to form a functional fine line pattern by removing the outer fine lines constituting the fine line unit and leaving the inner fine lines remaining without being removed.

また、特に図1及び図2を参照して説明したように、細線ユニットを構成する内側細線及び外側細線は、自由度高く安定に形成することができるため、細線の一部除去を行なう場合に限らず、該細線ユニットを基材上に1又は複数並設したものを機能性細線パターンとして用いることも好ましいことである。   In particular, as described with reference to FIGS. 1 and 2, the inner and outer thin lines constituting the thin line unit can be formed stably with a high degree of freedom. Not limited to this, it is also preferable to use one or a plurality of the fine line units arranged on the base material as the functional fine line pattern.

以上の説明では、細線ユニットを構成する外側細線に対して選択的に電解メッキを施す場合について主に説明したが、これに限定されるものではない。例えば、内側細線及び外側細線の両方に電解メッキを施すことも好ましいことである。   In the above description, the case where the electroplating is selectively applied to the outer fine wires constituting the fine wire unit has been mainly described, but the present invention is not limited to this. For example, it is also preferable to apply electrolytic plating to both the inner and outer fine wires.

また、細線ユニットを構成する内側細線を除去した後に外側細線に対して電解メッキを施すこと、あるいは、細線ユニットを構成する外側細線を除去した後に内側細線に対して電解メッキを施すことも好ましいことである。   In addition, it is also preferable to perform electrolytic plating on the outer fine wire after removing the inner fine wire constituting the fine wire unit, or to apply electrolytic plating to the inner fine wire after removing the outer fine wire constituting the fine wire unit. It is.

電解メッキに用いるメッキ金属は格別限定されないが、例えば銅やニッケル等を用いることが好ましい。細線に対して複数層のメッキ層を積層することも好ましい。この場合、メッキ金属を異ならせた複数回の電解メッキを施す。例えば、第1電解メッキとして細線上に銅メッキ層を設けて導電性を向上させ、次いで、第2電解メッキとして銅メッキ層上にニッケルメッキ層を設けて耐候性を向上させる方法等を好ましく挙げることができる。   The plating metal used for electrolytic plating is not particularly limited, but it is preferable to use, for example, copper or nickel. It is also preferable to laminate a plurality of plating layers on the fine wire. In this case, electrolytic plating is performed a plurality of times with different plating metals. For example, a method of improving the weather resistance by providing a copper plating layer on the fine wire as the first electrolytic plating to improve conductivity, and then providing a nickel plating layer on the copper plating layer as the second electrolytic plating is preferably exemplified. be able to.

また、電解メッキに限らず、無電解メッキを用いることも好ましいことである。これにより、機能性材料が導電性材料ではない場合においても、細線上にメッキ層を設けることができる。   Moreover, it is also preferable to use electroless plating as well as electrolytic plating. Thereby, even when the functional material is not a conductive material, a plating layer can be provided on the fine line.

ライン状液体を形成するための液体(インク)に含有される機能性材料は、基材に特定の機能を付与するための材料であれば格別限定されない。特定の機能を付与するとは、例えば、導電性材料を用いて基材に導電性を付与することや、絶縁性材料を用いて基材に絶縁性を付与することをいう。機能性材料は、該機能性材料が付与される基材表面を構成する材料とは異なる材料であることが好ましい。機能性材料として、例えば導電性材料、絶縁性材料、半導体材料、光学フィルター材料、誘電体材料等を好ましく例示できる。特に機能性材料は導電性材料または導電性材料前駆体であることが好ましい。導電性材料前駆体は、適宜処理を施すことによって導電性材料に変化させることができるものを指す。   The functional material contained in the liquid (ink) for forming the line-shaped liquid is not particularly limited as long as it is a material for imparting a specific function to the substrate. Giving a specific function means, for example, imparting conductivity to a substrate using a conductive material, or imparting insulation to a substrate using an insulating material. The functional material is preferably a material different from the material constituting the substrate surface to which the functional material is applied. Preferred examples of the functional material include a conductive material, an insulating material, a semiconductor material, an optical filter material, and a dielectric material. In particular, the functional material is preferably a conductive material or a conductive material precursor. An electroconductive material precursor refers to what can be changed into an electroconductive material by performing an appropriate process.

導電性材料としては、例えば、導電性微粒子、導電性ポリマー等を好ましく例示できる。   Preferred examples of the conductive material include conductive fine particles and conductive polymers.

導電性微粒子としては格別限定されないが、Au、Pt、Ag、Cu、Ni、Cr、Rh、Pd、Zn、Co、Mo、Ru、W、Os、Ir、Fe、Mn、Ge、Sn、Ga、In等の微粒子を好ましく例示でき、中でも、Au、Ag、Cuのような金属微粒子を用いると、電気抵抗が低く、且つ腐食に強い細線を形成することができるので好ましい。コスト及び安定性の観点から、Agを含む金属微粒子が最も好ましい。これらの金属微粒子の平均粒子径は、好ましくは1〜100nmの範囲、より好ましくは3〜50nmの範囲である。平均粒子径は、体積平均粒子径であり、マルバーン社製ゼータサイザ1000HSにより測定することができる。   The conductive fine particles are not particularly limited, but Au, Pt, Ag, Cu, Ni, Cr, Rh, Pd, Zn, Co, Mo, Ru, W, Os, Ir, Fe, Mn, Ge, Sn, Ga, Fine particles such as In can be preferably exemplified, and among them, it is preferable to use fine metal particles such as Au, Ag, and Cu because they can form thin wires having low electric resistance and strong against corrosion. From the viewpoint of cost and stability, metal fine particles containing Ag are most preferable. The average particle diameter of these metal fine particles is preferably in the range of 1 to 100 nm, more preferably in the range of 3 to 50 nm. The average particle diameter is a volume average particle diameter, and can be measured with a Zetasizer 1000HS manufactured by Malvern.

また、導電性微粒子として、カーボン微粒子を用いることも好ましい。カーボン微粒子としては、グラファイト微粒子、カーボンナノチューブ、フラーレン等を好ましく例示できる。   It is also preferable to use carbon fine particles as the conductive fine particles. Preferable examples of the carbon fine particles include graphite fine particles, carbon nanotubes, fullerenes and the like.

導電性ポリマーとしては格別限定されないが、π共役系導電性高分子を好ましく挙げることができる。   Although it does not specifically limit as a conductive polymer, (pi) conjugated system conductive polymer can be mentioned preferably.

π共役系導電性高分子としては、例えば、ポリチオフェン類、ポリピロール類、ポリインドール類、ポリカルバゾール類、ポリアニリン類、ポリアセチレン類、ポリフラン類、ポリパラフェニレン類、ポリパラフェニレンビニレン類、ポリパラフェニレンサルファイド類、ポリアズレン類、ポリイソチアナフテン類、ポリチアジル類等の鎖状導電性ポリマーを利用することができる。中でも、高い導電性が得られる点で、ポリチオフェン類やポリアニリン類が好ましい。ポリエチレンジオキシチオフェンであることが最も好ましい。   Examples of the π-conjugated conductive polymer include polythiophenes, polypyrroles, polyindoles, polycarbazoles, polyanilines, polyacetylenes, polyfurans, polyparaphenylenes, polyparaphenylene vinylenes, polyparaphenylene sulfide. Chain conductive polymers such as polyazenes, polyazulenes, polyisothianaphthenes, and polythiazyl compounds can be used. Among these, polythiophenes and polyanilines are preferable in that high conductivity can be obtained. Most preferred is polyethylene dioxythiophene.

導電性ポリマーは、より好ましくは、上述したπ共役系導電性高分子とポリアニオンとを含んで成ることである。こうした導電性ポリマーは、π共役系導電性高分子を形成する前駆体モノマーを、適切な酸化剤と酸化触媒と、ポリアニオンの存在下で化学酸化重合することによって容易に製造できる。   More preferably, the conductive polymer comprises the above-described π-conjugated conductive polymer and a polyanion. Such a conductive polymer can be easily produced by chemical oxidative polymerization of a precursor monomer that forms a π-conjugated conductive polymer in the presence of an appropriate oxidizing agent, an oxidation catalyst, and a polyanion.

導電性ポリマーは市販の材料も好ましく利用できる。例えば、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸からなる導電性ポリマー(PEDOT/PSSと略す)が、H.C.Starck社からCLEVIOSシリーズとして、Aldrich社からPEDOT−PASS483095、560598として、Nagase Chemtex社からDenatronシリーズとして市販されている。また、ポリアニリンが、日産化学社からORMECONシリーズとして市販されている。   A commercially available material can also be preferably used for the conductive polymer. For example, a conductive polymer (abbreviated as PEDOT / PSS) made of poly (3,4-ethylenedioxythiophene) and polystyrenesulfonic acid is H.264. C. It is commercially available from Starck as the CLEVIOS series, from Aldrich as PEDOT-PASS 483095, 560598, and from Nagase Chemtex as the Denatron series. Polyaniline is also commercially available from Nissan Chemical as the ORMECON series.

基材1上に付与されるライン状液体2中における機能性材料の含有率は、ライン状液体2の全量に対して0.01重量%以上1重量%以下の範囲であることが好ましい。含有率は、ライン状液体2が基材1上に付与された直後の乾燥される前の値である。機能性材料の含有率が、0.01重量%以上1重量%以下の範囲であることにより、コーヒーステイン現象による細線形成が更に安定化される。   The content of the functional material in the linear liquid 2 applied on the substrate 1 is preferably in the range of 0.01% by weight to 1% by weight with respect to the total amount of the linear liquid 2. The content rate is a value before being dried immediately after the line-shaped liquid 2 is applied on the substrate 1. When the content of the functional material is in the range of 0.01% by weight or more and 1% by weight or less, the fine line formation due to the coffee stain phenomenon is further stabilized.

機能性材料を含有させる液体としては、例えば水や有機溶剤等の1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。有機溶剤は、格別限定されないが、例えば、1,2−ヘキサンジオール、2−メチル−2,4−ペンタンジオール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、プロピレングリコールなどのアルコール類、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルなどのエーテル類等を例示できる。   As the liquid containing the functional material, for example, one kind or a combination of two or more kinds such as water and an organic solvent can be used. The organic solvent is not particularly limited. For example, alcohols such as 1,2-hexanediol, 2-methyl-2,4-pentanediol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, propylene glycol, Examples include ethers such as diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, and dipropylene glycol monoethyl ether.

また、機能性材料を含有させる液体は、本発明の効果を損なわない範囲で、界面活性剤など種々の添加剤を含んでもよい。界面活性剤を用いることで、例えば、液滴吐出装置を用いて基材1上にライン状液体2を形成するような場合などに、表面張力等を調整して吐出の安定化を図ること等が可能になる。界面活性剤としては、格別限定されないが、シリコン系界面活性剤等を用いることができる。シリコン系界面活性剤とはジメチルポリシロキサンの側鎖または末端をポリエーテル変性したものであり、例えば、信越化学工業製のKF−351A、KF−642やビッグケミー社製のBYK347、BYK348などが市販されている。界面活性剤の含有率は、ライン状液体2の全量に対して1重量%以下であることが好ましい。   Further, the liquid containing the functional material may contain various additives such as a surfactant as long as the effects of the present invention are not impaired. By using a surfactant, for example, when the line-like liquid 2 is formed on the substrate 1 using a droplet discharge device, the surface tension is adjusted to stabilize the discharge, etc. Is possible. The surfactant is not particularly limited, but a silicon surfactant or the like can be used. Silicon-based surfactants are those in which the side chain or terminal of dimethylpolysiloxane is modified with polyether. For example, KF-351A and KF-642 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. ing. The content of the surfactant is preferably 1% by weight or less with respect to the total amount of the line liquid 2.

機能性材料を含む液体が付与される基材は、格別限定されないが、例えば、ガラス、プラスチック(ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、アクリル、ポリエステル、ポリアミド等)、金属(銅、ニッケル、アルミ、鉄等や、あるいは合金)、セラミックなどを挙げることができ、これらは単独で用いてもよいし、貼り合せた状態で用いてもよい。中でも、プラスチックが好ましく、ポリエチレンテレフタレートや、ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフィンなどが好適である。   The substrate to which the liquid containing the functional material is applied is not particularly limited. For example, glass, plastic (polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene, polypropylene, acrylic, polyester, polyamide, etc.), metal (copper, nickel, (Aluminum, iron, etc., or alloys), ceramics, and the like can be used. These may be used alone or in a bonded state. Among these, plastic is preferable, and polyethylene terephthalate, polyolefin such as polyethylene and polypropylene, and the like are preferable.

次に、細線ユニット3の形状について、図17を参照して説明する。   Next, the shape of the thin wire unit 3 will be described with reference to FIG.

図17は、基材上に形成された細線ユニットを模式的に示した斜視図である。内側細線31及び外側細線32からなる細線ユニット3の一部を示すもので、便宜上直線状に示されているにすぎない。また、ここで説明する細線ユニット3は、コーヒーステイン現象により形成された直後のものである。メッキや細線の一部除去などの後処理によって細線ユニット3の形状等を変化可能であることは上述したとおりである。   FIG. 17 is a perspective view schematically showing a thin line unit formed on a substrate. A part of the thin line unit 3 composed of the inner thin line 31 and the outer thin line 32 is shown, and is merely shown in a straight line for convenience. Further, the thin wire unit 3 described here is the one immediately after being formed by the coffee stain phenomenon. As described above, the shape and the like of the fine wire unit 3 can be changed by post-processing such as plating or partial removal of the fine wire.

内側細線31及び外側細線32の配置間隔Iの範囲は格別限定されず、例えば、10μm以上〜1000μm以下の範囲とすることが好ましく、10μm以上〜500μm以下の範囲とすることが更に好ましく、10μm以上300μm以下の範囲とすることが最も好ましい。なお、内側細線31及び外側細線32の配置間隔Iとは、コーヒーステイン現象により形成された直後(メッキや細線の一部除去といった後処理を施していない状態)の内側細線31及び外側細線32の各最大突出部間の距離であり、基材1上に付与するライン状液体の線幅に対応して定まる。ライン状液体の線幅を小さくし、配置間隔Iを小さくすることは好ましいことである。これにより乾燥負荷を軽減して、内側細線31及び外側細線32の形成を安定化し、更にタクトタイムを短縮できる。このように配置間隔Iを小さくする場合においても、上述したように内側細線31及び外側細線32からなる細線の一部を容易に除去できるため、除去せず残留させる細線に所望の配置間隔を自由度高く設定できる。このような細線の一部除去を用いれば、内側細線31及び外側細線32の安定形成を維持しながら、例えば、50μm以上、100μm以上、200μm以上、300μm以上、400μm以上、500μm以上、更には1mm以上という大きい配置間隔を容易に設定できる。   The range of the arrangement interval I between the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 is not particularly limited. For example, the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 are preferably in the range of 10 μm to 1000 μm, more preferably in the range of 10 μm to 500 μm. The most preferable range is 300 μm or less. The arrangement interval I between the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 is the distance between the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 immediately after being formed by the coffee stain phenomenon (the state in which no post-processing such as plating or partial removal of the thin wire is performed). It is the distance between each maximum protrusion part, and is determined corresponding to the line width of the line-shaped liquid provided on the base material 1. It is preferable to reduce the line width of the line liquid and to reduce the arrangement interval I. This reduces the drying load, stabilizes the formation of the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32, and further shortens the tact time. Even in the case where the arrangement interval I is reduced in this way, as described above, a part of the thin line composed of the inner thin line 31 and the outer thin line 32 can be easily removed, so that the desired arrangement interval can be freely set for the remaining thin lines without being removed. Can be set high. By using such partial removal of the thin wires, for example, 50 μm or more, 100 μm or more, 200 μm or more, 300 μm or more, 400 μm or more, 500 μm or more, or 1 mm while maintaining the stable formation of the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32. A large arrangement interval as described above can be easily set.

細線ユニット3を構成する内側細線31及び外側細線32は、必ずしも互いに完全に独立した島状である必要はない。図示したように、内側細線31及び外側細線32は、該内側細線31及び外側細線32間に亘って、該内側細線31及び外側細線32の高さよりも低い高さで形成された薄膜部30によって接続された連続体として形成されることも好ましいことである。内側細線31及び外側細線32間において機能性材料の厚みが最薄となる最薄部分の高さZ、具体的には薄膜部30の最薄部分の高さZが10nm以下の範囲であることが好ましい。最も好ましいのは、透明性と安定性のバランスの両立を図るために、0<Z≦10nmの範囲で、薄膜部30を備えることである。機能性材料として導電性材料を用いる場合であっても、薄膜部30は極めて高抵抗であり実質的に絶縁体になるため、薄膜部30を介して接続された内側細線31と外側細線32は、電気的に絶縁された状態になる。それ故、上述した選択的な電解メッキを好適に施すことができる。   The inner fine line 31 and the outer fine line 32 constituting the fine line unit 3 do not necessarily have to be island shapes completely independent from each other. As illustrated, the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 are formed between the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 by the thin film portion 30 formed at a height lower than the height of the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32. It is also preferred that it be formed as a connected continuum. The height Z of the thinnest portion where the thickness of the functional material is the thinnest between the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32, specifically, the height Z of the thinnest portion of the thin film portion 30 is in the range of 10 nm or less. Is preferred. Most preferably, the thin film portion 30 is provided in the range of 0 <Z ≦ 10 nm in order to achieve a balance between transparency and stability. Even when a conductive material is used as the functional material, the thin film portion 30 has a very high resistance and is substantially an insulator. Therefore, the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 connected via the thin film portion 30 are , Become electrically insulated. Therefore, the selective electrolytic plating described above can be suitably performed.

細線ユニット3の内側細線31及び外側細線32の線幅W1、W2は、各々10μm以下であることが好ましい。10μm以下であれば、通常視認できないレベルとなるので、透明性を向上する観点からより好ましい。内側細線31及び外側細線32の安定性も考慮すると、線幅W1、W2は、各々2μm以上10μm以下の範囲であることが好ましい。なお、内側細線31及び外側細線32の幅W1、W2とは、該内側細線31及び外側細線32間において機能性材料の厚みが最薄となる最薄部分の高さをZとし、更に該Zからの内側細線31及び外側細線32の突出高さをY1、Y2としたときに、Y1、Y2の半分の高さにおける内側細線31及び外側細線32の幅とする。例えば、細線ユニット3が上述した薄膜部30を有する場合は、該薄膜部30における最薄部分の高さをZとすることができる。なお、内側細線31及び外側細線32間における機能性材料の最薄部分の高さが0であるときは、内側細線31及び外側細線32の線幅W1、W2は、基材1表面からの内側細線31及び外側細線32の高さH1、H2の半分の高さにおける内側細線31及び外側細線32の幅とする。   The line widths W1 and W2 of the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 of the thin wire unit 3 are each preferably 10 μm or less. If it is 10 micrometers or less, since it will be a level which cannot be visually recognized normally, it is more preferable from a viewpoint of improving transparency. Considering the stability of the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32, the line widths W1 and W2 are preferably in the range of 2 μm or more and 10 μm or less, respectively. The widths W1 and W2 of the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 are the height of the thinnest portion where the thickness of the functional material is the thinnest between the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32, and the Z When the projecting heights of the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 from Y1 and Y2 are Y1, Y2, the width of the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 at half the height of Y1 and Y2. For example, when the thin wire unit 3 has the thin film portion 30 described above, the height of the thinnest portion in the thin film portion 30 can be set to Z. When the height of the thinnest portion of the functional material between the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 is 0, the line widths W1 and W2 of the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 are the inner side from the surface of the substrate 1. The widths of the inner thin line 31 and the outer thin line 32 at half the heights H1 and H2 of the thin line 31 and the outer thin line 32 are used.

細線ユニット3を構成する内側細線31及び外側細線32の線幅W1、W2は、上述した通り極めて細いものであるため、断面積を確保して低抵抗化を図る観点で、基材1表面からの内側細線31及び外側細線32の高さH1、H2は高い方が望ましい。具体的には、内側細線31及び外側細線32の高さH1、H2は、50nm以上5μm以下の範囲であることが好ましい。更に、細線ユニット3の安定性を向上する観点から、H1/W1比、H2/W2比は、各々0.01以上1以下の範囲であることが好ましい。   Since the line widths W1 and W2 of the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 constituting the thin wire unit 3 are extremely thin as described above, from the viewpoint of securing a cross-sectional area and reducing resistance, It is desirable that the heights H1 and H2 of the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 be higher. Specifically, the heights H1 and H2 of the inner fine wire 31 and the outer fine wire 32 are preferably in the range of 50 nm to 5 μm. Furthermore, from the viewpoint of improving the stability of the thin wire unit 3, the H1 / W1 ratio and the H2 / W2 ratio are preferably in the range of 0.01 or more and 1 or less, respectively.

更に、細線ユニット3の更なる細線化向上のために、H1/Z比、H2/Z比は、各々5以上であることが好ましく、10以上であることがより好ましく、20以上であることが特に好ましい。   Furthermore, in order to further improve the thinning of the thin wire unit 3, the H1 / Z ratio and the H2 / Z ratio are each preferably 5 or more, more preferably 10 or more, and preferably 20 or more. Particularly preferred.

以上、細線ユニット3についてした説明は、細線ユニット5や更に追加的に設けられる細線ユニットについても援用することができる。   As described above, the description of the thin line unit 3 can be applied to the thin line unit 5 and a thin line unit additionally provided.

細線に含まれる機能性材料は、上述したように導電性材料であることが好ましい。導電性材料を用いることで、該細線の集合体により構成されるパターンを透明導電膜(電極膜あるいは透明電極ともいう)として好適に用いることができる。   The functional material included in the thin wire is preferably a conductive material as described above. By using a conductive material, a pattern formed of the aggregate of thin wires can be suitably used as a transparent conductive film (also referred to as an electrode film or a transparent electrode).

透明導電膜付き基材の用途は、格別限定されないが、種々の電子機器が備える種々のデバイスに用いることができる。本発明の効果を顕著に奏する観点で、例えば、液晶、プラズマ、有機エレクトロルミネッセンス、フィールドエミッション等の各種方式のディスプレイ用透明電極として、あるいは、タッチパネルや携帯電話、電子ペーパー、各種太陽電池、各種エレクトロルミネッセンス調光素子等に用いられる透明電極として好適に用いることができる。スマートフォン、タブレット端末等のような電子機器のタッチパネルセンサーとして透明導電膜付き基材を用いることは特に好ましい。タッチパネルセンサーとして用いる場合は、透明基材の両面の透明導電膜(X電極及びY電極)として、上述した細線パターンを用いることが好ましい。   Although the use of the substrate with a transparent conductive film is not particularly limited, it can be used for various devices included in various electronic apparatuses. From the viewpoint of remarkably exhibiting the effects of the present invention, for example, as a transparent electrode for displays of various systems such as liquid crystal, plasma, organic electroluminescence, field emission, etc., or as a touch panel, mobile phone, electronic paper, various solar cells, various electro It can be suitably used as a transparent electrode used in a luminescence light control element or the like. It is particularly preferable to use a substrate with a transparent conductive film as a touch panel sensor for electronic devices such as smartphones and tablet terminals. When used as a touch panel sensor, it is preferable to use the above-described thin line pattern as the transparent conductive film (X electrode and Y electrode) on both sides of the transparent substrate.

以上の説明において、一つの態様について説明された構成は、他の態様に適宜適用することができる。   In the above description, the configuration described for one embodiment can be applied to other embodiments as appropriate.

以下に、本発明の実施例について説明するが、本発明はかかる実施例により限定されない。   Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples.

1.パターンの形成
(実施例1);機能性細線パターン(1)の形成
<インクの組成>
インク(機能性材料を含む液体)として、以下の組成のものを調製した。
・銀ナノ粒子(平均粒子径:20nm):0.23重量%
・界面活性剤(ビッグケミー社製「BYK348」):0.05重量%
・ジエチレングリコールモノブチルエーテル(略称:DEGBE)(分散媒):20重量%
・水(分散媒):残量
1. Formation of pattern (Example 1); Formation of functional fine line pattern (1) <Ink composition>
An ink (liquid containing a functional material) having the following composition was prepared.
Silver nanoparticles (average particle size: 20 nm): 0.23% by weight
Surfactant (manufactured by Big Chemie “BYK348”): 0.05 wt%
Diethylene glycol monobutyl ether (abbreviation: DEGBE) (dispersion medium): 20% by weight
・ Water (dispersion medium): remaining amount

<基材>
基材として、機能性材料を含む液体の接触角が20.3°となるように表面処理が施されたPET基材を用意した。表面処理としては、信光電気計装社製「PS−1M」を用いてコロナ放電処理を行った。
<Base material>
As a base material, a PET base material that was surface-treated so that the contact angle of a liquid containing a functional material was 20.3 ° was prepared. As the surface treatment, corona discharge treatment was performed using “PS-1M” manufactured by Shinko Electric Instrumentation Co., Ltd.

<パターニング>
インクジェットヘッド(コニカミノルタ社製「KM1024iLHE−30」(標準液滴容量30pL))を基材に対して相対移動させながら該インクジェットヘッドからインクを吐出して、図3(a)に示すように、基材上に、機能性材料を含む第1ライン状液体2によって内側縁と外側縁を有する閉じられた幾何学図形を複数形成した。幾何学図形は、基材の長手方向に対して各辺が45°で傾斜する四角形である。
<Patterning>
Ink was ejected from the inkjet head while moving the inkjet head (Konica Minolta “KM1024iLHE-30” (standard droplet volume 30 pL)) relative to the substrate, as shown in FIG. A plurality of closed geometric figures having an inner edge and an outer edge were formed on the substrate by the first linear liquid 2 containing the functional material. The geometric figure is a quadrangle whose sides are inclined at 45 ° with respect to the longitudinal direction of the substrate.

これらの第1ライン状液体2を乾燥させることにより、該第1ライン状液体2の内側縁21及び外側縁22に機能性材料を選択的に堆積させて、図3(b)に示すように、内側細線31及び外側細線32からなる第1細線ユニット3を複数形成した。得られた各第1細線ユニット3の内側細線31及び外側細線32は、基材の長手方向に対して各辺が45°で傾斜する四角形である。この四角形は、内側細線31及び外側細線32の中間の線に沿って測定される1辺の長さが0.75mmである。   By drying the first line-shaped liquid 2, the functional material is selectively deposited on the inner edge 21 and the outer edge 22 of the first line-shaped liquid 2, as shown in FIG. A plurality of first fine line units 3 each including the inner fine line 31 and the outer fine line 32 were formed. The inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 of each obtained first thin wire unit 3 are quadrangles whose sides are inclined at 45 ° with respect to the longitudinal direction of the substrate. In this quadrangle, the length of one side measured along the middle line between the inner thin wire 31 and the outer thin wire 32 is 0.75 mm.

次いで、インクジェットヘッドを基材に対して相対移動させながら該インクジェットヘッドからインクを吐出して、図4(a)に示すように、基材上に、機能性材料を含む第2ライン状液体4によって内側縁と外側縁を有する閉じられた幾何学図形を複数形成した。幾何学図形は、基材の長手方向に対して各辺が45°で傾斜する四角形である。第2ライン状液体4の形成位置は、第2ライン状液体4の四角形の頂点近傍が、先に形成された第1細線ユニット3の外側細線32の四角形の頂点を覆うように設定した。   Next, ink is ejected from the inkjet head while moving the inkjet head relative to the substrate, and as shown in FIG. 4A, the second linear liquid 4 containing a functional material is formed on the substrate. To form a plurality of closed geometric figures having inner and outer edges. The geometric figure is a quadrangle whose sides are inclined at 45 ° with respect to the longitudinal direction of the substrate. The formation position of the second line-shaped liquid 4 was set so that the vicinity of the quadrangular vertex of the second line-shaped liquid 4 covered the quadrangular vertex of the outer fine line 32 of the first fine-line unit 3 previously formed.

これらの第2ライン状液体4を乾燥させることにより、該第2ライン状液体4の内側縁41及び外側縁42に機能性材料を選択的に堆積させて、図4(b)に示すように、内側細線51及び外側細線52からなる第2細線ユニット5を複数形成した。得られた各第2細線ユニット5の内側細線51及び外側細線52は、基材の長手方向に対して各辺が45°で傾斜する四角形である。この四角形は、内側細線51及び外側細線52の中間の線に沿って測定される1辺の長さが0.75mmである。   By drying the second line-shaped liquid 4, the functional material is selectively deposited on the inner edge 41 and the outer edge 42 of the second line-shaped liquid 4, as shown in FIG. 4B. A plurality of second fine line units 5 each including the inner fine line 51 and the outer fine line 52 were formed. The inner thin wires 51 and the outer thin wires 52 of the obtained second thin wire units 5 are quadrangles whose sides are inclined at 45 ° with respect to the longitudinal direction of the base material. In this quadrangle, the length of one side measured along the middle line between the inner thin line 51 and the outer thin line 52 is 0.75 mm.

第1細線ユニット3の外側細線32と、第2細線ユニット5の外側細線52は互いに接続されており、第1細線ユニット3の内側細線31と、第2細線ユニット5の内側細線51は、互いに接続されず独立している。   The outer fine wire 32 of the first fine wire unit 3 and the outer fine wire 52 of the second fine wire unit 5 are connected to each other, and the inner fine wire 31 of the first fine wire unit 3 and the inner fine wire 51 of the second fine wire unit 5 are mutually connected. Not connected and independent.

以上の工程では、70℃に加熱されたステージ上に配置した基材にライン状液体をパターニングすることにより、ライン状液体の乾燥を促進させている。また、形成された細線には、130℃のオーブンで、10分間の焼成処理を施した。   In the above process, the drying of the line-shaped liquid is promoted by patterning the line-shaped liquid on the substrate disposed on the stage heated to 70 ° C. Further, the formed thin wire was baked for 10 minutes in an oven at 130 ° C.

このようにして得られた細線パターン(1)の光学顕微鏡写真を図18に示す。図18に示す写真より、内側細線と外側細線とからなる細線ユニットが複数形成されたことがわかる。   An optical micrograph of the fine line pattern (1) thus obtained is shown in FIG. It can be seen from the photograph shown in FIG. 18 that a plurality of fine line units each formed of an inner fine line and an outer fine line are formed.

(実施例2);機能性細線パターン(2)の形成
実施例1で得られた機能性細線パターン(1)を構成する細線ユニット3、5の外側細線32、52に選択的に銅電解メッキを施して、図6に示したものと同様の機能性細線パターン(2)を得た。銅電解メッキは下記メッキ条件により行った。
(Example 2); Formation of functional fine wire pattern (2) Copper electrolytic plating selectively on outer fine wires 32 and 52 of fine wire units 3 and 5 constituting functional fine wire pattern (1) obtained in Example 1 As a result, a functional thin line pattern (2) similar to that shown in FIG. 6 was obtained. Copper electrolytic plating was performed under the following plating conditions.

<メッキ条件>
70×140mmに裁断した実施例1の機能性細線パターン(1)が形成された基材の導電面から給電し、下記メッキ浴内で電解メッキを行った。アノードをメッキ用銅板と接続し、メッキ浴内で銅板から30mm離れた位置に基材を設置した。0.2Aの定電流で1分間メッキ処理した。メッキ終了後、基材を水洗し、乾燥させた。
<Plating conditions>
Electric power was fed from the conductive surface of the substrate on which the functional fine wire pattern (1) of Example 1 cut to 70 × 140 mm was formed, and electrolytic plating was performed in the following plating bath. The anode was connected to a copper plate for plating, and the substrate was placed at a position 30 mm away from the copper plate in the plating bath. Plating was performed at a constant current of 0.2 A for 1 minute. After the completion of plating, the substrate was washed with water and dried.

<メッキ浴>
硫酸銅五水和物20g、1N塩酸1.3g、光沢付与剤(メルテックス社製「ST901C」)5gを、イオン交換水で1000mLとなるように調製した。
<Plating bath>
20 g of copper sulfate pentahydrate, 1.3 g of 1N hydrochloric acid, and 5 g of a gloss-imparting agent (“ST901C” manufactured by Meltex) were prepared with ion-exchanged water so as to be 1000 mL.

このようにして得られた機能性細線パターン(2)の光学顕微鏡写真を図19に示す。図19に示す写真より、互いに電気的に接続された外側細線に選択的にメッキ(ここでは銅メッキ)が施されたことがわかる。なお、図19に示す写真はグレースケール化されたものであるが、カラー写真においては、銅メッキされた外側細線が銅色に着色されたことを確認することができる。   An optical micrograph of the functional fine line pattern (2) thus obtained is shown in FIG. From the photograph shown in FIG. 19, it can be seen that the outer thin wires electrically connected to each other were selectively plated (here, copper plating). Note that the photograph shown in FIG. 19 is a gray scale, but in the color photograph, it can be confirmed that the copper-plated outer fine wire is colored copper.

(実施例3);機能性細線パターン(3)の形成
実施例2で得られた機能性細線パターン(2)を構成する外側細線32、52に選択的にニッケル電解メッキを施すと共に、メッキ液により内側細線31、51を除去して、図7に示したものと同様の機能性細線パターン(3)を得た。ニッケル電解メッキは下記メッキ条件により行った。
(Example 3); Formation of functional fine line pattern (3) The outer fine lines 32 and 52 constituting the functional fine line pattern (2) obtained in Example 2 are selectively subjected to nickel electrolytic plating and a plating solution. By removing the inner thin wires 31, 51, a functional fine wire pattern (3) similar to that shown in FIG. 7 was obtained. Nickel electrolytic plating was performed under the following plating conditions.

<メッキ条件>
実施例2の機能性細線パターン(2)が形成された基材の導電面から給電し、下記メッキ浴内で電解メッキを行った。アノードをメッキ用ニッケル板と接続し、メッキ浴内でニッケル板から30mm離れた位置に基材を設置した。0.2Aの定電流で30秒間メッキ処理した。メッキ液により内側細線31、51を十分に除去するために、メッキ終了後、基材をメッキ浴内で10分間放置した後、水洗し、乾燥させた。
<Plating conditions>
Power was supplied from the conductive surface of the base material on which the functional thin wire pattern (2) of Example 2 was formed, and electrolytic plating was performed in the following plating bath. The anode was connected to a nickel plate for plating, and the substrate was placed at a position 30 mm away from the nickel plate in the plating bath. Plating was performed at a constant current of 0.2 A for 30 seconds. In order to sufficiently remove the inner fine wires 31 and 51 with the plating solution, after the plating was completed, the substrate was left in the plating bath for 10 minutes, then washed with water and dried.

<メッキ浴>
硫酸ニッケル240g、塩化ニッケル45g、ホウ酸30gを、イオン交換水で1000mLとなるように調製した。
<Plating bath>
240 g of nickel sulfate, 45 g of nickel chloride, and 30 g of boric acid were prepared with ion-exchanged water so as to be 1000 mL.

このようにして得られた機能性細線パターン(3)の光学顕微鏡写真を図20に示す。図20に示す写真より、互いに電気的に接続された外側細線32、52に選択的にメッキ(ここではニッケルメッキ)が施されたことがわかる。なお、図20に示す写真はグレースケール化されたものであるが、カラー写真においては、外側細線が銅色から無色(ニッケルによる銀色)に変化したことを確認することができる。また、内側細線31、51が選択的に除去されていることがわかる。   An optical micrograph of the functional fine line pattern (3) thus obtained is shown in FIG. From the photograph shown in FIG. 20, it can be seen that the outer thin wires 32 and 52 electrically connected to each other are selectively plated (in this case, nickel plating). Note that the photograph shown in FIG. 20 is a gray scale, but in the color photograph, it can be confirmed that the outer fine line has changed from copper color to colorless (silver color by nickel). It can also be seen that the inner thin lines 31 and 51 are selectively removed.

2.評価方法
(1)細線幅
細線幅[μm]は、細線ユニットを構成する外側細線の線幅を顕微鏡により観察して測定した値である。
2. Evaluation Method (1) Fine Line Width The fine line width [μm] is a value measured by observing the line width of the outer fine line constituting the fine line unit with a microscope.

(2)透過率
透過率[%]は、東京電色社製AUTOMATIC HAZEMETER (MODEL TC-H III DP)を用いて測定した全光線透過率[%]である。なお、パターンのない基材(フィルム)を用いて補正を行い、作成したパターンの全光線透過率として測定した。
(2) Transmittance The transmittance [%] is the total light transmittance [%] measured using AUTOMATIC HAZEMETER (MODEL TC-H III DP) manufactured by Tokyo Denshoku. In addition, it corrected using the base material (film) without a pattern, and measured it as the total light transmittance of the created pattern.

(3)シート抵抗値
シート抵抗値[Ω/□]は、ダイアインスツルメンツ社製ロレスタEP(MODEL MCP―T360型)直列4探針プローブ(ESP)を用いて測定した値である。
(3) Sheet resistance value The sheet resistance value [Ω / □] is a value measured using a Loresta EP (MODEL MCP-T360 type) series 4-probe probe (ESP) manufactured by Dia Instruments.

(4)低視認性
サンプルをライトテーブル上で50cm離れた位置から目視し、細線が視認できないほど低視認性に優れると評価し、具体的には下記評価基準により評価した。なお、以下の評価基準において、B評価以上であれば、透明導電膜としての用途において好ましく用いることができる。
(4) Low visibility The sample was visually observed from a position 50 cm away on the light table, and it was evaluated that the low visibility was so excellent that the fine line could not be visually recognized. Specifically, the evaluation was performed according to the following evaluation criteria. In addition, in the following evaluation criteria, if it is more than B evaluation, it can use preferably in the use as a transparent conductive film.

<評価基準>
A:細線が視認できない
B:細線が若干視認できる
C:細線がはっきりと視認できる(該当なし)
<Evaluation criteria>
A: Fine line is not visible B: Fine line is slightly visible C: Fine line is clearly visible (not applicable)

以上の結果を表1に示す。   The results are shown in Table 1.

3.評価
実施例1〜3では、機能性材料を含む内側細線と外側細線からなる細線ユニットを用いることで、細線パターンを自由度高く安定に形成することができた。
3. Evaluation In Examples 1 to 3, a fine line pattern could be stably formed with a high degree of freedom by using a fine line unit comprising an inner fine line and a functional outer material.

表1の実施例2、3の結果より、細線ユニットの外側細線にメッキを施すことで、シート抵抗値をより好適に低下できることがわかる。また、実施例3の結果より、細線ユニットの内側細線を除去して、細線の配置間隔を大きくすることにより、透過率と低視認性をより好適に向上できることがわかる。   From the results of Examples 2 and 3 in Table 1, it can be seen that the sheet resistance value can be more suitably reduced by plating the outer fine wire of the fine wire unit. In addition, it can be seen from the results of Example 3 that the transmittance and the low visibility can be improved more appropriately by removing the inner fine line of the fine line unit and increasing the arrangement interval of the fine lines.

1:基材
2:第1ライン状液体
20:液体が付与されない領域
21:内側縁
22:外側縁
3:第1細線ユニット
31:内側細線
32:外側細線
4:第2ライン状液体
40:液体が付与されない領域
41:内側縁
42:外側縁
5:第2細線ユニット
51:内側細線
52:外側細線
1: Substrate 2: First line-shaped liquid 20: Area to which liquid is not applied 21: Inner edge 22: Outer edge 3: First fine line unit 31: Inner fine line 32: Outer fine line 4: Second line-shaped liquid 40: Liquid 41: inner edge 42: outer edge 5: second fine wire unit 51: inner fine wire 52: outer fine wire

Claims (10)

基材上に、機能性材料を含む多角形状細線が二次元的に複数並設され、
少なくとも一組の多角形状細線が、多角形の頂点を挟む両辺同士を交差させて2点の交点で接続されていることを特徴とする機能性細線パターン。
On the base material, a plurality of polygonal fine wires containing functional materials are arranged two-dimensionally,
A functional thin line pattern, wherein at least one pair of polygonal thin lines are connected at two intersections by intersecting both sides sandwiching the vertex of the polygon.
互いに接続された前記多角形状細線の内部領域の重複面積が、各多角形状細線の内部領域の面積の10分の1以下であることを特徴とする請求項1記載の機能性細線パターン。   2. The functional fine line pattern according to claim 1, wherein an overlapping area of the internal regions of the polygonal thin lines connected to each other is 1/10 or less of an area of the internal region of each polygonal thin line. 前記多角形状細線は、三角形、四角形、六角形又は八角形であることを特徴とする請求項1又は2記載の機能性細線パターン。   The functional thin line pattern according to claim 1 or 2, wherein the polygonal thin line is a triangle, a quadrangle, a hexagon or an octagon. 前記基材の長手方向に対して各辺が傾斜した四角形である前記多角形状細線を、該基材の長手方向及び幅方向のそれぞれに所定のピッチで複数並設してなることを特徴とする請求項3記載の機能性細線パターン。   A plurality of the thin polygonal wires that are quadrangles whose sides are inclined with respect to the longitudinal direction of the base material are arranged in parallel at a predetermined pitch in each of the longitudinal direction and the width direction of the base material. The functional thin line pattern according to claim 3. 前記機能性材料は導電性材料であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の機能性細線パターン。   The functional thin line pattern according to claim 1, wherein the functional material is a conductive material. 前記多角形状細線がメッキ層により被覆されていることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の機能性細線パターン。   The functional fine line pattern according to claim 1, wherein the polygonal fine lines are covered with a plating layer. 前記基材の両面に設けられたことを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の機能性細線パターン。   The functional thin line pattern according to claim 1, wherein the functional thin line pattern is provided on both surfaces of the base material. 前記機能性材料が導電性材料である請求項1〜7の何れかに記載の機能性細線パターンからなる透明導電膜を基材表面に有することを特徴とする透明導電膜付き基材。   The said functional material is an electroconductive material, It has a transparent conductive film which consists of a functional fine wire pattern in any one of Claims 1-7 in a base material surface, The base material with a transparent conductive film characterized by the above-mentioned. 請求項8記載の透明導電膜付き基材を有することを特徴とするデバイス。   A device comprising the substrate with a transparent conductive film according to claim 8. 請求項9記載のデバイスを備えることを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the device according to claim 9.
JP2018112333A 2018-06-12 2018-06-12 Functional fine wire pattern, substrate with transparent conductive film, device and electronic equipment Active JP6658800B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018112333A JP6658800B2 (en) 2018-06-12 2018-06-12 Functional fine wire pattern, substrate with transparent conductive film, device and electronic equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018112333A JP6658800B2 (en) 2018-06-12 2018-06-12 Functional fine wire pattern, substrate with transparent conductive film, device and electronic equipment

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015164115A Division JP6413978B2 (en) 2015-08-21 2015-08-21 Functional fine line pattern precursor forming method, functional fine line pattern forming method, transparent conductive film forming method, device manufacturing method and electronic device manufacturing method, functional thin line pattern, substrate with transparent conductive film, Devices and electronic equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018196992A true JP2018196992A (en) 2018-12-13
JP6658800B2 JP6658800B2 (en) 2020-03-04

Family

ID=64662474

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018112333A Active JP6658800B2 (en) 2018-06-12 2018-06-12 Functional fine wire pattern, substrate with transparent conductive film, device and electronic equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6658800B2 (en)

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009059998A (en) * 2007-09-03 2009-03-19 Konica Minolta Holdings Inc Translucent conductive film, its manufacturing method, and translucent electromagnetic wave shielding filter using translucent conductive film
JP2009511308A (en) * 2005-10-17 2009-03-19 レオンハード クルツ シュティフトゥング ウント コー. カーゲー Multilayer body and method for producing the same
JP2012138016A (en) * 2010-12-27 2012-07-19 Dainippon Printing Co Ltd Touch panel member
JP2013058180A (en) * 2011-09-08 2013-03-28 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd Touch panel
WO2013089085A1 (en) * 2011-12-16 2013-06-20 富士フイルム株式会社 Conductive sheet and touch panel
JP2013149236A (en) * 2011-12-22 2013-08-01 Fujifilm Corp Conductive sheet and touch panel
JP2014048952A (en) * 2012-08-31 2014-03-17 Dexerials Corp Transparent conductive element and manufacturing method for the same, input device, electronic apparatus, and formation method for conductive part
JP2015004997A (en) * 2012-06-07 2015-01-08 日東電工株式会社 Touch panel member and manufacturing method thereof
JP2015012046A (en) * 2013-06-26 2015-01-19 コニカミノルタ株式会社 Method for forming conductive fine wire, and wire and base material used for the same
JP2016184406A (en) * 2015-03-26 2016-10-20 三菱製紙株式会社 Light transmissive conductive material

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009511308A (en) * 2005-10-17 2009-03-19 レオンハード クルツ シュティフトゥング ウント コー. カーゲー Multilayer body and method for producing the same
JP2009059998A (en) * 2007-09-03 2009-03-19 Konica Minolta Holdings Inc Translucent conductive film, its manufacturing method, and translucent electromagnetic wave shielding filter using translucent conductive film
JP2012138016A (en) * 2010-12-27 2012-07-19 Dainippon Printing Co Ltd Touch panel member
JP2013058180A (en) * 2011-09-08 2013-03-28 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd Touch panel
WO2013089085A1 (en) * 2011-12-16 2013-06-20 富士フイルム株式会社 Conductive sheet and touch panel
JP2013149236A (en) * 2011-12-22 2013-08-01 Fujifilm Corp Conductive sheet and touch panel
JP2015004997A (en) * 2012-06-07 2015-01-08 日東電工株式会社 Touch panel member and manufacturing method thereof
JP2014048952A (en) * 2012-08-31 2014-03-17 Dexerials Corp Transparent conductive element and manufacturing method for the same, input device, electronic apparatus, and formation method for conductive part
JP2015012046A (en) * 2013-06-26 2015-01-19 コニカミノルタ株式会社 Method for forming conductive fine wire, and wire and base material used for the same
JP2016184406A (en) * 2015-03-26 2016-10-20 三菱製紙株式会社 Light transmissive conductive material

Also Published As

Publication number Publication date
JP6658800B2 (en) 2020-03-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101792585B1 (en) Parallel line pattern containing conductive material, parallel line pattern formation method, substrate with transparent conductive film, device and electronic apparatus
JP6007776B2 (en) Parallel line pattern forming method, manufacturing method of substrate with transparent conductive film, device and manufacturing method of electronic apparatus
JP6331457B2 (en) Coating film forming method, substrate with transparent conductive film, device and electronic device
JP6413978B2 (en) Functional fine line pattern precursor forming method, functional fine line pattern forming method, transparent conductive film forming method, device manufacturing method and electronic device manufacturing method, functional thin line pattern, substrate with transparent conductive film, Devices and electronic equipment
WO2015199204A1 (en) Pattern formation method, substrate provided with transparent electroconductive film, device, and electronic instrument
JP6508062B2 (en) Pattern forming method, substrate with transparent conductive film, device and electronic device
WO2017056978A1 (en) Functional fine-line pattern formation method and functional fine-line pattern
JP6439641B2 (en) Method for forming conductive pattern and conductive pattern
JP6515928B2 (en) Method of forming mesh-like functional pattern, mesh-like functional pattern and functional substrate
JP6658800B2 (en) Functional fine wire pattern, substrate with transparent conductive film, device and electronic equipment
WO2017056977A1 (en) Touch panel sensor manufacturing method and touch panel sensor
JP7331870B2 (en) Method for forming functional thin line pattern precursor and method for forming functional thin line pattern
CN110062820B (en) Method for forming transparent conductive film and plating solution for electroplating
WO2016194987A1 (en) Touch panel sensor and method for manufacturing touch panel sensor
WO2017110580A1 (en) Functional fine-wire pattern and method for manufacturing functional fine-wire pattern
KR102003625B1 (en) A pattern forming method, a substrate provided with a transparent conductive film, a device and an electronic device
CN111133405A (en) Touch panel sensor and method for manufacturing touch panel sensor
JP6451578B2 (en) Method for forming functional fine line pattern

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180628

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190320

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190507

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190705

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200107

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200120

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6658800

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150