JP2018169380A - Inspection device, inspection method, and manufacturing method of film wound body - Google Patents

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Abstract

To suppress decline of inspection accuracy caused by thickness of an inspection object.SOLUTION: A defect inspection device (1) includes a radiation source (2) for emitting an electromagnetic wave (R) radially to a separator wound body (10), a TDI sensor (4) for detecting the electromagnetic wave (R) transmitted through the separator wound body (10), and a movement mechanism (3) for moving an inspection region in the separator wound body (10), while keeping each distance from the radiation source (2) to the separator wound body (10) and the TDI sensor (4) in an approximately fixed state.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、検査装置、検査方法およびフィルム捲回体の製造方法に関する。   The present invention relates to an inspection apparatus, an inspection method, and a film winding body manufacturing method.

リチウムイオン二次電池の内部において、正極および負極は、多孔質のセパレータによって分離される。セパレータを製造する際、異物が付着する等の欠陥が発生する場合があるため、セパレータにおける欠陥の有無を検査する必要がある。特に、欠陥が金属等の導電性異物である場合は、リチウムイオン二次電池の内部で短絡の原因となる恐れがある。   Inside the lithium ion secondary battery, the positive electrode and the negative electrode are separated by a porous separator. When manufacturing a separator, defects such as adhesion of foreign matter may occur, so it is necessary to inspect the separator for defects. In particular, when the defect is a conductive foreign material such as a metal, there is a risk of causing a short circuit inside the lithium ion secondary battery.

例えば特許文献1には、搬送される検査対象物にX線を照射して異物を検出するX線異物検出装置が開示されている。   For example, Patent Document 1 discloses an X-ray foreign object detection device that detects a foreign object by irradiating an inspection object to be conveyed with X-rays.

特開2004−61479号公報(2004年2月26日公開)JP 2004-61479 A (published February 26, 2004)

ここで、セパレータ捲回体は、使用されるリチウムイオン二次電池のサイズに応じて、セパレータが1つの原反から複数個にスリット(切断)されて、それぞれ、コアに捲回されることで製造される。   Here, according to the size of the lithium ion secondary battery to be used, the separator winding body is formed by slitting (cutting) the separator into a plurality of pieces from one original fabric and winding them around the core. Manufactured.

このセパレータが原反からスリットされる際に金属刃から金属異物が付着しやすいため、スリットされたセパレータの欠陥の有無を検査することが好ましい。また、金属異物は搬送ロールの摺動部等からも発生するため、欠陥の検査は以降ロールとの接触が無いコアにセパレータが巻き取られた後のセパレータ捲回体で実施することが好ましい。   When this separator is slit from the raw fabric, metal foreign objects are likely to adhere from the metal blade, and therefore it is preferable to inspect the slit separator for defects. In addition, since the metal foreign matter is also generated from the sliding portion of the transport roll or the like, it is preferable that the defect inspection is performed on the separator wound body after the separator is wound around the core that does not come into contact with the roll.

しかしながら、特許文献1に記載のX線異物検出装置では、セパレータ捲回体のような厚みが比較的大きい検査対象物の場合、厚み方向に対向する表面および裏面における検査位置にずれが生じ、検査精度が低下する可能性がある。   However, in the X-ray foreign object detection device described in Patent Document 1, in the case of an inspection object having a relatively large thickness such as a separator wound body, the inspection positions on the front surface and the back surface facing each other in the thickness direction are shifted. Accuracy may be reduced.

本発明の一態様は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、検査対象物の厚みに起因する検査精度の低下を抑えることが可能な検査装置等を実現することにある。   One aspect of the present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to realize an inspection apparatus or the like that can suppress a decrease in inspection accuracy due to the thickness of an inspection object. is there.

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る検査装置は、検査対象物に対し、前記検査対象物の厚み方向から電磁波を放射状に出射する線源と、前記検査対象物に対して前記線源とは反対側に設置され、前記検査対象物を透過した前記電磁波を検出するTDIセンサと、前記線源と前記検査対象物および前記TDIセンサとの距離を略一定に保ちながら、前記検査対象物における検査領域を移動させる移動機構とを備える。   In order to solve the above-described problem, an inspection apparatus according to an aspect of the present invention is directed to an inspection object, a radiation source that emits electromagnetic waves radially from the thickness direction of the inspection object, and the inspection object The TDI sensor that is installed on the opposite side of the radiation source and detects the electromagnetic wave that has passed through the inspection object, and the distance between the radiation source, the inspection object, and the TDI sensor are kept substantially constant, A moving mechanism for moving the inspection area of the inspection object.

上記の構成では、線源と検査対象物との距離、および線源とTDIセンサとの距離をそれぞれ略一定に保ちながら、検査対象物における検査領域を移動させつつ、検査対象物を透過した電磁波をTDIセンサによって検出するため、検査対象物の厚みに起因するTDIセンサの検出位置の誤差を改善することが可能となる。したがって、上記の構成によれば、検査対象物の厚みに起因する検査精度の低下を抑えることが可能な検査装置を実現することができる。   In the above configuration, the electromagnetic wave transmitted through the inspection object while moving the inspection area of the inspection object while keeping the distance between the radiation source and the inspection object and the distance between the radiation source and the TDI sensor substantially constant. Is detected by the TDI sensor, it is possible to improve the error of the detection position of the TDI sensor due to the thickness of the inspection object. Therefore, according to said structure, the test | inspection apparatus which can suppress the fall of the test | inspection precision resulting from the thickness of a test target object is realizable.

また、本発明の一態様に係る検査装置では、前記移動機構は、前記線源を略中心とした円軌道に沿って、前記検査対象物を移動させてもよい。   In the inspection apparatus according to one aspect of the present invention, the moving mechanism may move the inspection object along a circular trajectory that is substantially centered on the radiation source.

上記の構成では、線源を略中心とした円軌道に沿って検査対象物を移動させることにより、線源と検査対象物およびTDIセンサとの距離を略一定に保ちながら、検査対象物における検査領域を移動させる。このため、検査対象物に対する電磁波の照射角度が略均等化されるので、検査対象物を透過した電磁波をTDIセンサによって検出することによって、検査対象物の厚みに起因するTDIセンサの検出位置の誤差を改善することができる。   In the above configuration, by moving the inspection object along a circular orbit centered about the radiation source, the inspection object is inspected while keeping the distance between the radiation source, the inspection object, and the TDI sensor substantially constant. Move the area. For this reason, since the irradiation angle of the electromagnetic wave to the inspection object is substantially equalized, the detection position error of the TDI sensor due to the thickness of the inspection object is detected by detecting the electromagnetic wave transmitted through the inspection object by the TDI sensor. Can be improved.

また、本発明の一態様に係る検査装置では、前記移動機構は、前記円軌道上に位置する第1地点と第2地点との間で前記検査対象物を複数回にわたって往復移動させてもよい。   In the inspection apparatus according to one aspect of the present invention, the moving mechanism may reciprocate the inspection object a plurality of times between a first point and a second point located on the circular orbit. .

上記の構成では、検査対象物を複数回にわたって往復移動させるため、検査対象物を透過した電磁波をTDIセンサによって複数回検出することができる。したがって、上記の構成によれば、検査に必要なタクトタイムを短縮することができる。また、例えば検査対象物の一部ずつをTDIセンサによって複数回検出する場合において、検査対象物全体の検査に必要なタクトタイムを短縮することができる。   In the above configuration, since the inspection object is reciprocated multiple times, the electromagnetic wave transmitted through the inspection object can be detected multiple times by the TDI sensor. Therefore, according to said structure, the tact time required for a test | inspection can be shortened. In addition, for example, when a part of the inspection object is detected by the TDI sensor a plurality of times, the tact time required for the inspection of the entire inspection object can be shortened.

また、本発明の一態様に係る検査装置では、前記TDIセンサは、前記第1地点から前記第2地点へ向けて前記検査対象物が移動する間に前記検査対象物を透過した前記電磁波を検出してもよい。   In the inspection apparatus according to one aspect of the present invention, the TDI sensor detects the electromagnetic wave transmitted through the inspection object while the inspection object moves from the first point toward the second point. May be.

上記の構成では、第1地点から第2地点へ向けて検査対象物が移動する間に検査対象物を透過した電磁波をTDIセンサが検出する。したがって、上記の構成によれば、一方向へ移動する検査対象物を透過した電磁波をTDIセンサによって好適に検出することができる。   In the above configuration, the TDI sensor detects the electromagnetic wave transmitted through the inspection object while the inspection object moves from the first point toward the second point. Therefore, according to said structure, the electromagnetic wave which permeate | transmitted the test object which moves to one direction can be detected suitably with a TDI sensor.

また、本発明の一態様に係る検査装置では、前記移動機構は、前記第2地点から前記第1地点へ前記検査対象物が移動する間に前記厚み方向に伸びる軸を略中心として前記検査対象物を回転させてもよい。   Moreover, in the inspection apparatus according to one aspect of the present invention, the moving mechanism is configured such that the inspection object is substantially centered on an axis extending in the thickness direction while the inspection object moves from the second point to the first point. An object may be rotated.

上記の構成では、検査対象物が第2地点から第1地点へ移動する間に検査対象物を回転させる。したがって、上記の構成によれば、検査対象物が一往復するごとに、検査対象物の異なる領域を透過した電磁波をTDIセンサによって検出することができる。また、第2地点から第1地点へ検査対象物が移動する間に検査対象物を回転させるため、検査に必要なタクトタイムを短縮することができる。   In the above configuration, the inspection object is rotated while the inspection object moves from the second point to the first point. Therefore, according to the above configuration, every time the inspection object reciprocates, an electromagnetic wave transmitted through a different region of the inspection object can be detected by the TDI sensor. Further, since the inspection object is rotated while the inspection object moves from the second point to the first point, the tact time required for the inspection can be shortened.

また、本発明の一態様に係る検査装置では、前記TDIセンサは、前記第1地点から前記第2地点へ向けて前記検査対象物が移動する間、および前記第2地点から前記第1地点へ向けて前記検査対象物が移動する間に前記検査対象物を透過した前記電磁波を検出してもよい。   In the inspection apparatus according to the aspect of the present invention, the TDI sensor may be configured to move the inspection object from the first point toward the second point and from the second point to the first point. The electromagnetic wave transmitted through the inspection object may be detected while the inspection object moves toward the object.

上記の構成では、円軌道上の第1地点から第2地点へ向けて検査対象物が移動する間、および第2地点から第1地点へ向けて検査対象物が移動する間の双方において検査対象物を透過した電磁波をTDIセンサが検出する。したがって、上記の構成によれば、双方向へ移動する検査対象物を透過した電磁波をTDIセンサによって効率的に検出することができる。   In the above configuration, the inspection object is both during the movement of the inspection object from the first point to the second point on the circular orbit and during the movement of the inspection object from the second point to the first point. The TDI sensor detects the electromagnetic wave that has passed through the object. Therefore, according to said structure, the electromagnetic waves which permeate | transmitted the test object which moves to both directions can be efficiently detected with a TDI sensor.

また、本発明の一態様に係る検査装置では、前記移動機構は、前記検査対象物が前記第1地点から前記第2地点に到達した際、および前記検査対象物が前記第2地点から前記第1地点に到達した際に前記厚み方向に伸びる軸を略中心として前記検査対象物を回転させてもよい。   In the inspection apparatus according to the aspect of the present invention, the moving mechanism may be configured such that the inspection object reaches the second point from the first point and the inspection object moves from the second point to the second point. The inspection object may be rotated about an axis extending in the thickness direction when reaching one point.

上記の構成では、検査対象物が第1地点から第2地点に到達した際、および第2地点から第1地点に到達した際の双方において検査対象物を回転させる。したがって、上記の構成によれば、検査対象物が一往復するごとに、検査対象物の異なる2つの領域を透過した電磁波をTDIセンサによって検出することができるため、検査対象物全体の検査に必要なタクトタイムを短縮することができる。   In the above configuration, the inspection object is rotated both when the inspection object reaches the second point from the first point and when the inspection object reaches the first point from the second point. Therefore, according to the above configuration, every time the inspection object makes one round trip, the electromagnetic wave transmitted through two different regions of the inspection object can be detected by the TDI sensor, which is necessary for the inspection of the entire inspection object. Tact time can be shortened.

また、本発明の一態様に係る検査装置では、前記検査対象物は、前記厚み方向から見た場合の外形が略円形であってもよい。   In the inspection apparatus according to one aspect of the present invention, the inspection object may have a substantially circular outer shape when viewed from the thickness direction.

本発明の一態様に係る検査装置は、厚み方向から見た場合の外形が略円形である検査対象物に対しても好適に使用可能である。   The inspection apparatus according to one aspect of the present invention can be suitably used for an inspection object whose outer shape when viewed in the thickness direction is substantially circular.

また、本発明の一態様に係る検査装置では、前記検査対象物は、円筒形状のコアと、前記コアの外周面に巻かれたフィルムとを備えたフィルム捲回体であってもよい。   Moreover, in the inspection apparatus which concerns on 1 aspect of this invention, the said test target object may be a film winding body provided with the cylindrical core and the film wound around the outer peripheral surface of the said core.

本発明の一態様に係る検査装置は、特に、筒形状のコアと、当該コアの外周面に巻かれたフィルムとを備えたフィルム捲回体等のような厚みが比較的大きい検査対象物に対して好適に使用可能である。   The inspection apparatus according to one aspect of the present invention is particularly suitable for an inspection object having a relatively large thickness, such as a film winding body including a cylindrical core and a film wound around the outer peripheral surface of the core. It can be preferably used.

また、本発明の一態様に係る検査装置では、前記電磁波は、X線であってもよい。   In the inspection apparatus according to one aspect of the present invention, the electromagnetic wave may be an X-ray.

上記の構成によれば、検査対象物に対してX線を用いた検査を行うことができる。また、コストを増大させず、取扱いがしやすい検査装置を実現することができる。   According to said structure, the test | inspection which used the X-ray with respect to the test object can be performed. Further, it is possible to realize an inspection apparatus that is easy to handle without increasing the cost.

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る検査方法は、検査対象物に対し、前記検査対象物の厚み方向から電磁波を線源から放射状に出射する出射工程と、前記検査対象物における検査領域を移動させる移動工程と、前記検査対象物を透過した前記電磁波をTDIセンサによって検出する検出工程とを含み、前記移動工程にて、前記線源と前記検査対象物および前記TDIセンサとの距離を略一定に保ちながら、前記検査領域を移動させる。   In order to solve the above-described problem, an inspection method according to an aspect of the present invention includes an emission step of emitting an electromagnetic wave radially from a radiation source from the thickness direction of the inspection object, and the inspection object. A moving step of moving an inspection region in the object, and a detecting step of detecting the electromagnetic wave transmitted through the inspection object by a TDI sensor, and in the moving step, the radiation source, the inspection object, and the TDI sensor The inspection area is moved while maintaining a substantially constant distance.

上記の方法では、線源と検査対象物との距離、および線源とTDIセンサとの距離をそれぞれ略一定に保ちながら、検査対象物における検査領域を移動させつつ、検査対象物を透過した電磁波をTDIセンサによって検出するため、検査対象物の厚みに起因するTDIセンサの検出位置の誤差を改善することが可能となる。したがって、上記の方法によれば、検査対象物の厚みに起因する検査精度の低下を抑えることが可能な検査方法を実現することができる。   In the above method, the electromagnetic wave transmitted through the inspection object while moving the inspection area of the inspection object while keeping the distance between the radiation source and the inspection object and the distance between the radiation source and the TDI sensor substantially constant. Is detected by the TDI sensor, it is possible to improve the error of the detection position of the TDI sensor due to the thickness of the inspection object. Therefore, according to said method, the test | inspection method which can suppress the fall of the test | inspection precision resulting from the thickness of a test target object is realizable.

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るフィルム捲回体の製造方法は、本発明に係る検査方法によって、円筒形状のコアと、前記コアの外周面に巻かれたフィルムとを備えたフィルム捲回体に対し、前記フィルムの欠陥を検査する欠陥検査工程を含むフィルムの製造方法
上記の方法によれば、フィルムに異物の混入等の欠陥が少ないフィルム捲回体を製造することができる。
In order to solve the above problems, a film winding body manufacturing method according to one aspect of the present invention includes a cylindrical core and a film wound around the outer peripheral surface of the core by the inspection method according to the present invention. A film winding method including a defect inspection step for inspecting defects of the film with respect to a film winding body comprising: According to the above method, a film winding body with less defects such as contamination of foreign matters is manufactured in the film. be able to.

また、本発明の一態様に係るフィルム捲回体の製造方法では、前記フィルムよりも幅が広い原反から前記フィルムをスリットするスリット工程と、前記スリット工程にてスリットされた前記フィルムを、前記コアに捲回することで前記フィルム捲回体を得るフィルム捲回工程と、前記フィルム捲回工程にて製造された前記フィルム捲回体を包装する包装工程とを有し、前記欠陥検査工程は、前記スリット工程の後、前記包装工程の前に設けられていてもよい。   Moreover, in the manufacturing method of the film winding body which concerns on 1 aspect of this invention, the slit process which slits the said film from the raw material wider than the said film, The said film slit by the said slit process, A film winding step of obtaining the film winding body by winding on a core, and a packaging step of packaging the film winding body manufactured in the film winding step, wherein the defect inspection step is , May be provided after the slitting process and before the packaging process.

上記の方法によれば、異物が発生しやすいスリット工程で発生した異物を、欠陥検査工程により効率的に検査することができる。さらに、フィルム捲回体を包装した後工程にて、フィルムに付着した異物を検査する手間を省くことができる。   According to said method, the foreign material which generate | occur | produced at the slit process in which a foreign material tends to generate | occur | produce can be efficiently test | inspected by a defect inspection process. Furthermore, it is possible to save the trouble of inspecting the foreign matter adhering to the film in the post-process after packaging the film winding body.

また、本発明の一態様に係るフィルム捲回体の製造方法では、前記欠陥検査工程にて、100μm以上の異物の有無を検査してもよい。   Moreover, in the manufacturing method of the film winding body which concerns on 1 aspect of this invention, you may test | inspect the presence or absence of a foreign material of 100 micrometers or more in the said defect inspection process.

上記の方法によれば、100μm以上の異物が少ないか、100μm以上の異物が含まれないフィルム捲回体を製造することができる。   According to said method, the film winding body which has few foreign materials of 100 micrometers or more or does not contain a foreign material of 100 micrometers or more can be manufactured.

なお、上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るフィルム捲回体は、本発明に係るフィルム捲回体の製造方法によって製造されてもよい。これにより、異物の混入等、欠陥が少ないセパレータ捲回体を得ることができる。   In addition, in order to solve said subject, the film winding body which concerns on 1 aspect of this invention may be manufactured by the manufacturing method of the film winding body which concerns on this invention. Thereby, the separator winding body with few defects, such as mixing of a foreign material, can be obtained.

また、本発明の一態様に係るフィルム捲回体は、電池に使用されるセパレータが筒状のコアに捲回されたセパレータ捲回体であって、当該コアに捲回されたセパレータ内に、100μm以上の異物が含まれていないことを特徴とする。これにより、セパレータに付着した異物によって不良が発生する可能性が低いセパレータ捲回体を得ることができる。   Moreover, the film winding body according to one embodiment of the present invention is a separator winding body in which a separator used in a battery is wound around a cylindrical core, and the separator wound around the core is It is characterized in that no foreign matter of 100 μm or more is contained. Thereby, the separator winding body with low possibility that a defect generate | occur | produces with the foreign material adhering to a separator can be obtained.

本発明の一態様によれば、検査対象物の厚みに起因する検査精度の低下を抑えることができるという効果を奏する。   According to one aspect of the present invention, it is possible to suppress a decrease in inspection accuracy due to the thickness of an inspection object.

(a)および(b)は、実施形態1に係るスリット装置の概略構成を示す模式図である。(A) And (b) is a schematic diagram which shows schematic structure of the slit apparatus which concerns on Embodiment 1. FIG. (a)〜(e)は、実施形態1に係るセパレータ捲回体の概略構成を説明するための模式図である。(A)-(e) is a schematic diagram for demonstrating schematic structure of the separator winding body which concerns on Embodiment 1. FIG. (a)〜(c)は、実施形態1に係る欠陥検査装置の概略構成を示す模式図である。(A)-(c) is a schematic diagram which shows schematic structure of the defect inspection apparatus which concerns on Embodiment 1. FIG. (a)および(b)は、図3に示される欠陥検査装置で行われる欠陥検査方法の一例を説明するための模式図である。(A) And (b) is a schematic diagram for demonstrating an example of the defect inspection method performed with the defect inspection apparatus shown by FIG. 図3に示される欠陥検査装置の変形例の概略構成を示す正面図である。It is a front view which shows schematic structure of the modification of the defect inspection apparatus shown by FIG. 図3に示される移動機構の変形例の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the modification of the moving mechanism shown by FIG. 図3に示される移動機構の他の変形例の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the other modification of the moving mechanism shown by FIG. 実施形態2に係る欠陥検査装置の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the defect inspection apparatus which concerns on Embodiment 2. FIG. (a)は、上記陥検査装置を示す上面図であり、(b)は、上記欠陥検査装置の動作状態を示す側面図である。(A) is a top view which shows the said defect inspection apparatus, (b) is a side view which shows the operation state of the said defect inspection apparatus. (a)〜(c)は、上記欠陥検査装置が備える姿勢変化機構を説明するための模式図である。(A)-(c) is a schematic diagram for demonstrating the attitude | position change mechanism with which the said defect inspection apparatus is provided. (a)および(b)は、上記欠陥検査装置が備える台座の変形例を示す側面図である。(A) And (b) is a side view which shows the modification of the base with which the said defect inspection apparatus is provided. (a)〜(h)は、実施形態3に係る欠陥検査装置の概略構成および動作状態を模式図である。(A)-(h) is a schematic diagram of schematic structure and operation state of the defect inspection apparatus which concerns on Embodiment 3. FIG. 図12に示される欠陥検査装置の変形例を模式図である。It is a schematic diagram of the modification of the defect inspection apparatus shown by FIG.

〔実施形態1〕
本発明の実施の一形態について、図1〜図5に基づいて説明すれば以下のとおりである。本実施形態では、本発明に係る検査装置を、セパレータ捲回体に異物が混入しているか否か検査するための欠陥検査装置に適用した場合を例にして説明する。ただし、本発明に係る検査装置は、セパレータ捲回体に限定されず、厚みが比較的大きい各種の検査対象物に好適に適用することができる。
Embodiment 1
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. In the present embodiment, an example in which the inspection apparatus according to the present invention is applied to a defect inspection apparatus for inspecting whether or not a foreign substance is mixed in a separator winding body will be described. However, the inspection apparatus according to the present invention is not limited to the separator wound body, and can be suitably applied to various inspection objects having a relatively large thickness.

〔セパレータ捲回体の製造工程〕
まず、本実施形態に係る欠陥検査装置(検査装置)の検査対象物であるセパレータ捲回体(フィルム捲回体)の製造工程について説明する。
[Manufacturing process of separator roll]
First, the manufacturing process of the separator winding body (film winding body) which is an inspection object of the defect inspection apparatus (inspection apparatus) according to the present embodiment will be described.

図1の(a)および(b)は、セパレータをスリットするスリット装置6の概略構成を示す模式図である。具体的には、図1の(a)はスリット装置6全体の概略構成を示し、図1の(b)は原反をスリットする前後の概略構成を示す。   FIGS. 1A and 1B are schematic views showing a schematic configuration of a slit device 6 that slits a separator. Specifically, FIG. 1A shows a schematic configuration of the entire slit device 6, and FIG. 1B shows a schematic configuration before and after slitting the original fabric.

セパレータ12は、リチウムイオン二次電池(電池)等のカソードとアノードとの間を分離しつつ、これらの間におけるリチウムイオンの移動を可能にする多孔質フィルム、または不織布である。セパレータ12は、その材料として、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィンを含む。   The separator 12 is a porous film or a non-woven fabric that separates a cathode and an anode of a lithium ion secondary battery (battery) or the like and allows lithium ions to move between them. The separator 12 includes, for example, polyolefin such as polyethylene and polypropylene as its material.

セパレータ12は、多孔質フィルムと、当該多孔質フィルムの表面に設けられた耐熱層とを有することで耐熱性を有していてもよい。当該耐熱層は、その材料として、例えば全芳香族ポリアミド(アラミド樹脂)を含む。   The separator 12 may have heat resistance by including a porous film and a heat-resistant layer provided on the surface of the porous film. The heat-resistant layer contains, for example, wholly aromatic polyamide (aramid resin) as the material.

すなわち、セパレータ12は、ポリオレフィンを含む多孔質フィルムと、耐熱層または接着層等の機能層とを備える積層多孔質フィルムであってもよい。機能層は樹脂を含む。当該樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン;ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、ポリテトラフルオロエチレン、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレンの共重合体等の含フッ素高分子;芳香族ポリアミド;スチレン−ブタジエン共重合体およびその水素化物、メタクリル酸エステル共重合体、アクリロニトリル−アクリル酸エステル共重合体、スチレン−アクリル酸エステル共重合体等のゴム類;融点又はガラス転移温度が180℃以上の高分子;ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコール、セルロースエーテル、アルギン酸ナトリウム、ポリアクリル酸、ポリアクリルアミド、ポリメタクリル酸等の水溶性高分子;等が挙げられる。また、機能層は、有機物または無機物からなるフィラーを含んでもよい。無機フィラーとしては、シリカ、酸化マグネシウム、アルミナ、水酸化アルミニウム、ベーマイト等の無機酸化物等が挙げられる。当該アルミナには、α、β、γ、θ等の結晶形が存在するが、何れも使用することができる。上記の樹脂およびフィラーは1種類のみを用いてもよく、2種類以上を組み合わせてもよい。上記機能層がフィラーを含む場合、フィラーの含有量は、機能層の1体積%以上99体積%以下とすることができる。   That is, the separator 12 may be a laminated porous film including a porous film containing polyolefin and a functional layer such as a heat-resistant layer or an adhesive layer. The functional layer includes a resin. Examples of the resin include polyolefins such as polyethylene and polypropylene; fluorine-containing polymers such as polyvinylidene fluoride (PVDF), polytetrafluoroethylene, and a copolymer of vinylidene fluoride-hexafluoropropylene; aromatic polyamide; styrene-butadiene copolymer Polymers and their hydrides, methacrylic acid ester copolymers, acrylonitrile-acrylic acid ester copolymers, rubbers such as styrene-acrylic acid ester copolymers; polymers having a melting point or glass transition temperature of 180 ° C. or higher; polyvinyl And water-soluble polymers such as alcohol, polyethylene glycol, cellulose ether, sodium alginate, polyacrylic acid, polyacrylamide, and polymethacrylic acid. The functional layer may include a filler made of an organic material or an inorganic material. Examples of the inorganic filler include inorganic oxides such as silica, magnesium oxide, alumina, aluminum hydroxide, and boehmite. The alumina has crystal forms such as α, β, γ, and θ, and any of them can be used. As for said resin and filler, only 1 type may be used and 2 or more types may be combined. When the said functional layer contains a filler, content of a filler can be 1 volume% or more and 99 volume% or less of a functional layer.

また、セパレータ12は、後述する欠陥検査に与える影響を少なくするために、セパレータ12に含まれる水分は少ないほうが良い。後述する欠陥検査工程における欠陥検査では、X線等の電磁波を、セパレータ12を透過させることで、コアに捲回されたセパレータ12内に混入した異物等の有無を検査する。しかし、水分は、X線等の電磁波の透過率を下げるため、セパレータ12に多くの水分が含まれていると、欠陥検査の精度が下がるため好ましくない。   Further, the separator 12 should have less moisture contained in the separator 12 in order to reduce the influence on the defect inspection described later. In the defect inspection in the defect inspection process described later, the presence or absence of foreign matter mixed in the separator 12 wound around the core is inspected by transmitting electromagnetic waves such as X-rays through the separator 12. However, since moisture lowers the transmittance of electromagnetic waves such as X-rays, it is not preferable that the separator 12 contains a lot of moisture because the accuracy of defect inspection is lowered.

セパレータ12に含まれる水分は、2000ppm以下程度であることが好ましい。これにより、後述する欠陥検査工程において、X線等の電磁波の透過率の低下を抑制しつつ、精度よく、コアに捲回されたセパレータ12内の欠陥を検査することができる。   The moisture contained in the separator 12 is preferably about 2000 ppm or less. Thereby, in the defect inspection process mentioned later, the defect in the separator 12 wound by the core can be test | inspected accurately, suppressing the fall of the transmittance | permeability of electromagnetic waves, such as X-rays.

セパレータ12は、リチウムイオン二次電池等の応用製品に適した幅(以下「製品幅」)であることが好ましい。しかし、生産性を上げるために、まずセパレータ12は、その幅が製品幅以上となるように製造される。そして、製品幅以上に製造された後、セパレータは、製品幅に切断(スリット)される。   The separator 12 preferably has a width suitable for application products such as lithium ion secondary batteries (hereinafter referred to as “product width”). However, in order to increase productivity, first, the separator 12 is manufactured so that its width is equal to or greater than the product width. And after manufacturing beyond the product width, the separator is cut (slit) to the product width.

ここで、スリット工程にてスリットされ、コアに捲回されたセパレータ12の幅(TDの長さ)は、例えば、30mm以上、100mm以下程度であることが好ましい。セパレータ12の幅が大きくなりすぎると、後述する欠陥検査工程における欠陥検査にて、X線等の電磁波がセパレータ12を透過しにくくなり、欠陥検査の精度が下がる。そこで、セパレータ12の幅を100mm以下程度とすることで、後述する欠陥検査工程において、X線等の電磁波の透過率の低下を抑制しつつ、精度よく、コアに捲回されたセパレータ12内の欠陥を検査することができる。   Here, it is preferable that the width (length of TD) of the separator 12 slit in the slit process and wound around the core is, for example, about 30 mm or more and 100 mm or less. If the width of the separator 12 becomes too large, electromagnetic waves such as X-rays are difficult to pass through the separator 12 in the defect inspection in the defect inspection process described later, and the accuracy of the defect inspection is lowered. Therefore, by setting the width of the separator 12 to about 100 mm or less, in the defect inspection process described later, the decrease in the transmittance of electromagnetic waves such as X-rays is suppressed, and the separator 12 wound around the core is accurately placed. Defects can be inspected.

なお、「セパレータの幅」とは、セパレータの長手方向と厚み方向とに対し略垂直である方向の、セパレータの長さを意味する。以下では、スリットされる前の幅広のセパレータを「原反」と称する。また、スリットとは、セパレータを長手方向(製造におけるフィルムの流れ方向)に沿って切断することを意味し、カットとは、セパレータを横断方向に沿って切断することを意味する。横断方向とは、セパレータの長手方向と厚み方向とに対し略垂直である方向を意味し、セパレータの幅方向と同義である。   The “separator width” means the length of the separator in a direction substantially perpendicular to the longitudinal direction and the thickness direction of the separator. Hereinafter, the wide separator before being slit is referred to as “original fabric”. Moreover, a slit means cutting | disconnecting a separator along a longitudinal direction (flow direction of the film in manufacture), and a cutting means cutting a separator along a cross direction. The transverse direction means a direction substantially perpendicular to the longitudinal direction and the thickness direction of the separator, and is synonymous with the width direction of the separator.

スリット装置6は原反をスリットする装置である。スリット装置6は、回転可能に支持された円柱形状の、巻出ローラー61と、搬送ローラー62〜69と、複数の巻取ローラー70U・70Lとを備える。   The slit device 6 is a device for slitting the original fabric. The slit device 6 includes a cylindrical unwinding roller 61, transport rollers 62 to 69, and a plurality of winding rollers 70U and 70L that are rotatably supported.

スリット装置6では、原反を巻きつけた円筒形状のコアcが、巻出ローラー61に嵌められている。   In the slit device 6, a cylindrical core c around which an original fabric is wound is fitted on the unwinding roller 61.

そして、原反は、コアcから経路UまたはLへ巻き出される。巻き出された原反は、搬送ローラー63〜67を経由し、搬送ローラー68へ搬送される。搬送ローラー67から搬送ローラー68に搬送される工程において原反は、複数のセパレータ12にスリットされる(スリット工程)。なお、搬送ローラー68近傍には、原反を複数のセパレータ12にスリットする切断装置(不図示)が配置されている。   Then, the original fabric is unwound from the core c to the path U or L. The unwound original fabric is conveyed to the conveyance roller 68 via the conveyance rollers 63 to 67. In the process of transporting from the transport roller 67 to the transport roller 68, the original fabric is slit into the plurality of separators 12 (slit process). A cutting device (not shown) that slits the raw material into the plurality of separators 12 is disposed in the vicinity of the transport roller 68.

スリット工程の後、原反から複数にスリットされたセパレータ12は、それぞれ、巻取ローラー70Uに嵌められた円筒形状の各コアuへ巻き取られ、他の一部は、それぞれ、巻取ローラー70Lに嵌められた円筒形状の各コアlへ巻き取られる(セパレータ捲回工程)。   After the slitting process, the separators 12 slit into a plurality of pieces from the original fabric are respectively wound around cylindrical cores u fitted on the winding roller 70U, and the other parts are respectively wound on the winding roller 70L. Is wound around each of the cylindrical cores l fitted into the separator (separator winding step).

なお、原反からスリットされた後のセパレータ12がコア(ボビン)にロール状に巻き取られたものを「セパレータ捲回体」と称する。本実施形態では、このセパレータ捲回工程にてセパレータ捲回体が製造された後、後述する欠陥検査工程にて、コアに捲回されたセパレータ12内に異物が混入しているか否かを検査する。上述したスリット工程では、例えば、金属からなるスリット刃の一部が欠けてスリットされたセパレータ12の表面に付着する等、異物が発生しやすい。このため、欠陥検査工程は、スリット工程の後に設けることが好ましい。これにより、異物が発生しやすいスリット工程で発生した異物を、欠陥検査工程により効率的に検査することができる。   The separator 12 after being slit from the raw fabric is wound around a core (bobbin) in a roll shape and is referred to as a “separator wound body”. In this embodiment, after the separator winding body is manufactured in this separator winding step, it is inspected whether or not foreign matter is mixed in the separator 12 wound around the core in the defect inspection step described later. To do. In the above-described slitting process, for example, a part of a slit blade made of metal is chipped and adheres to the surface of the slit separator 12, and foreign matters are likely to be generated. For this reason, it is preferable to provide a defect inspection process after a slit process. Thereby, the foreign material generated in the slit process in which foreign material is likely to be generated can be efficiently inspected by the defect inspection process.

そして、欠陥検査工程にて良品と判定されたセパレータ捲回体は、その後、包装工程にて複数個まとめて包装されて保管・出荷される。   Then, a plurality of separator rolls determined as non-defective products in the defect inspection process are packaged and stored / shipped together in the packaging process.

〔セパレータ捲回体の構成〕
次に、本実施形態に係るセパレータ捲回体(検査対象物・フィルム捲回体)の構成について説明する。図2の(a)〜(e)は、本実施形態に係るセパレータ捲回体10の概略構成を示す模式図である。具体的には、図2の(a)はコア8からセパレータ12が巻き出される前の状態を示し、図2の(b)は図2の(a)の状態を別角度から示し、図2の(c)はコア8からセパレータ12が巻き出された状態を示し、図2の(d)は図2の(c)の状態を別角度から示し、図2の(e)はセパレータ12が巻き出され、取り除かれた後のコア8の状態を示す。
[Configuration of separator winding body]
Next, the structure of the separator winding body (inspection object / film winding body) according to the present embodiment will be described. (A)-(e) of FIG. 2 is a schematic diagram which shows schematic structure of the separator winding body 10 which concerns on this embodiment. 2A shows a state before the separator 12 is unwound from the core 8, FIG. 2B shows the state of FIG. 2A from a different angle, and FIG. (C) of FIG. 2 shows a state where the separator 12 is unwound from the core 8, (d) of FIG. 2 shows the state of (c) of FIG. 2 from another angle, and (e) of FIG. The state of the core 8 after being unwound and removed is shown.

図2の(a)および(b)に示すように、セパレータ捲回体10は、セパレータ12を巻いたコア8を備える。このセパレータ12は、上述のように原反からスリットされている。セパレータ捲回体10のうち、ロール状に巻かまかれたセパレータ12の外周面を外周面10aと称し、外周面10aを挟んで互いに対向する外形が略円形の両側面のうちの一方の側面を第1側面10bと称し、第1側面10bとは反対側の他方の側面を第2側面10cと称する。   As shown in FIGS. 2A and 2B, the separator wound body 10 includes a core 8 around which a separator 12 is wound. The separator 12 is slit from the original as described above. Of the separator wound body 10, the outer peripheral surface of the separator 12 wound in a roll shape is referred to as an outer peripheral surface 10a, and one side surface of both side surfaces whose outer shapes facing each other across the outer peripheral surface 10a are substantially circular is defined. The other side surface opposite to the first side surface 10b is referred to as a second side surface 10c.

コア8は、外側円筒部材(外側筒状部材)81と、内側円筒部材(内側筒状部材)82と、複数のリブ83とを備える。   The core 8 includes an outer cylindrical member (outer cylindrical member) 81, an inner cylindrical member (inner cylindrical member) 82, and a plurality of ribs 83.

外側円筒部材81は、その外周面81aにセパレータ12を巻くための円筒部材である。内側円筒部材82は、外側円筒部材81の内周面81b側に設けられる、外側円筒部材81よりも小径の円筒部材である。リブ83は、外側円筒部材81の内周面81bと、内側円筒部材82の外周面82aとの間に延び、外側円筒部材81を内周面81b側から支持する支持部材である。本実施形態では、コア8の周方向に沿って等間隔に合計8つのリブ83が設けられている。   The outer cylindrical member 81 is a cylindrical member for winding the separator 12 around the outer peripheral surface 81a. The inner cylindrical member 82 is a cylindrical member having a smaller diameter than the outer cylindrical member 81 provided on the inner peripheral surface 81 b side of the outer cylindrical member 81. The rib 83 is a support member that extends between the inner peripheral surface 81b of the outer cylindrical member 81 and the outer peripheral surface 82a of the inner cylindrical member 82 and supports the outer cylindrical member 81 from the inner peripheral surface 81b side. In the present embodiment, a total of eight ribs 83 are provided at equal intervals along the circumferential direction of the core 8.

コア8では、その略中心に内側円筒部材82(内側円筒部材82の内周面82b)によって規定された第1貫通孔8aを有し、第1貫通孔8aの周囲に、外側円筒部材81と内側円筒部材82とリブ83とによって規定された複数(本実施形態では8つ)の第2貫通孔8bを有する。   The core 8 has a first through hole 8a defined by the inner cylindrical member 82 (the inner peripheral surface 82b of the inner cylindrical member 82) at the approximate center thereof, and the outer cylindrical member 81 and the periphery of the first through hole 8a. A plurality (eight in this embodiment) of second through holes 8b defined by the inner cylindrical member 82 and the ribs 83 are provided.

図2の(c)および(d)に示すように、セパレータ12の一端は、接着テープ130によってコア8と貼り付けられる。具体的には、セパレータ12の一端は、接着テープ130によって、コア8(外側円筒部材81)の外周面81aに固定される。セパレータ12の一端を外周面81aに固定する手段は、接着テープ130の他、接着剤をセパレータ12の一端に直接塗布して固定する、またはクリップで固定する等であってもよい。   As shown in FIGS. 2C and 2D, one end of the separator 12 is attached to the core 8 with an adhesive tape 130. Specifically, one end of the separator 12 is fixed to the outer peripheral surface 81 a of the core 8 (outer cylindrical member 81) by the adhesive tape 130. The means for fixing one end of the separator 12 to the outer peripheral surface 81a may be applied by directly applying an adhesive to one end of the separator 12 in addition to the adhesive tape 130, or may be fixed by a clip.

図2の(e)に示すように、コア8では、外側円筒部材81および内側円筒部材82の中心軸は略一致していることが好ましいが、これに限られない。さらに、外側円筒部材81および内側円筒部材82の厚みや幅、および半径等の寸法は、捲回するセパレータ12の種類またはサイズ等に応じて適宜設計が可能である。   As shown in FIG. 2 (e), in the core 8, it is preferable that the center axes of the outer cylindrical member 81 and the inner cylindrical member 82 substantially coincide with each other, but the present invention is not limited to this. Furthermore, the thickness, width, radius, and other dimensions of the outer cylindrical member 81 and the inner cylindrical member 82 can be appropriately designed according to the type or size of the separator 12 to be wound.

また、リブ83は、互いに均等に間隔をあけ、円周を8等分した位置に、外側円筒部材81と内側円筒部材82とに略垂直になるように、それぞれ配置されている。しかし、リブ83の個数や配置の間隔についてはこれに限られない。   In addition, the ribs 83 are arranged at equal intervals from each other and approximately perpendicular to the outer cylindrical member 81 and the inner cylindrical member 82 at positions obtained by dividing the circumference into eight equal parts. However, the number of ribs 83 and the arrangement interval are not limited thereto.

コア8の材料は、ABS樹脂を含む。ただし、コア8の材料として、ABS樹脂の他に、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、および塩化ビニール樹脂等の樹脂を含んでもよい。また、コア8の材料は、金属、紙、フッ素樹脂でないことが好ましい。   The material of the core 8 includes ABS resin. However, the material of the core 8 may include a resin such as a polyethylene resin, a polypropylene resin, a polystyrene resin, and a vinyl chloride resin in addition to the ABS resin. The material of the core 8 is preferably not metal, paper, or fluororesin.

〔欠陥検査装置の構成〕
次に、本実施形態に係る欠陥検査装置の構成について説明する。図3の(a)〜(c)は、本実施形態に係る欠陥検査装置1の概略構成を示す模式図である。具体的には、図3の(a)は欠陥検査装置1の正面図であり、図3の(b)は欠陥検査装置1の上面図であり、図3の(c)は欠陥検査装置1の側面図である。
[Configuration of defect inspection equipment]
Next, the configuration of the defect inspection apparatus according to this embodiment will be described. 3A to 3C are schematic views showing a schematic configuration of the defect inspection apparatus 1 according to the present embodiment. Specifically, FIG. 3A is a front view of the defect inspection apparatus 1, FIG. 3B is a top view of the defect inspection apparatus 1, and FIG. FIG.

欠陥検査装置1は、セパレータ捲回体10においてコア8に捲回されたセパレータ12に異物が混入しているか否かを検査するものである(欠陥検査工程)。具体的には、本実施形態に係る欠陥検査装置1は、セパレータ捲回体10に対し電磁波(電磁放射線)を照射することにより、セパレータ12に異物が混入しているか否かを検査する。   The defect inspection apparatus 1 inspects whether or not foreign matter is mixed in the separator 12 wound around the core 8 in the separator wound body 10 (defect inspection step). Specifically, the defect inspection apparatus 1 according to the present embodiment inspects whether or not foreign matter is mixed in the separator 12 by irradiating the separator wound body 10 with electromagnetic waves (electromagnetic radiation).

欠陥検査装置1は、取り扱う電磁波が外部に漏れないように、鉛等が含まれるX線等が透過しにくい壁で覆われている。   The defect inspection apparatus 1 is covered with a wall that is difficult to transmit X-rays or the like containing lead or the like so that electromagnetic waves to be handled do not leak outside.

図3の(a)〜(c)に示すように、欠陥検査装置1は、線源2、移動機構3、およびTDIセンサ4を備える。本実施形態では、移動機構3の回動軸322の中心線Aと平行な方向をX軸方向とし、X軸に垂直に交わる、線源2からTDIセンサ4へ向かう方向をY軸方向とし、X軸およびY軸に垂直に交わる方向をZ軸方向とする。   As shown in FIGS. 3A to 3C, the defect inspection apparatus 1 includes a radiation source 2, a moving mechanism 3, and a TDI sensor 4. In the present embodiment, the direction parallel to the center line A of the rotation shaft 322 of the moving mechanism 3 is defined as the X-axis direction, the direction perpendicular to the X-axis from the radiation source 2 toward the TDI sensor 4 is defined as the Y-axis direction, A direction perpendicular to the X axis and the Y axis is taken as a Z axis direction.

(線源)
線源2は、セパレータ捲回体10に対し、セパレータ捲回体10の厚み方向(Y軸方向)から電磁波Rを放射状に出射する。「セパレータ捲回体の厚み方向」とは、コア8に捲回されたセパレータ12の幅方向と同一方向であり、セパレータ捲回体10の第1側面10bと第2側面10cとに垂直に交わる方向を意味する。
(Source)
The radiation source 2 emits electromagnetic waves R radially from the thickness direction (Y-axis direction) of the separator winding body 10 to the separator winding body 10. “The thickness direction of the separator wound body” is the same direction as the width direction of the separator 12 wound around the core 8 and intersects the first side face 10b and the second side face 10c of the separator wound body 10 perpendicularly. Means direction.

本実施形態では、欠陥検査装置1は、電磁波Rを放射状に出射する2つの線源2を備える。各線源2は、中心線A上にそれぞれ配置される。また、各線源2から放射状に出射された電磁波RのうちY軸方向と平行な電磁波Rがコア8によって遮られないように、各線源2の間隔(各線源2の中心の間隔)はセパレータ捲回体10のコア8の直径と略一致するように設定されている。このように各線源2の間隔を設定することにより、電磁波RをTDIセンサ4で検出する際に、コア8の影がTDIセンサ4に入り込むことを防止することができる。また、それぞれの電磁波Rが混ざらないようにするために、線源2の近傍に遮蔽物を置く、各線源2の照射角度を振り分ける等の方法を適宜選択して採用してもよい。   In the present embodiment, the defect inspection apparatus 1 includes two radiation sources 2 that emit electromagnetic waves R radially. Each radiation source 2 is arranged on the center line A, respectively. In addition, the distance between the radiation sources 2 (the distance between the centers of the radiation sources 2) is the separator so that the electromagnetic waves R parallel to the Y-axis direction among the electromagnetic waves R emitted radially from the radiation sources 2 are not blocked by the core 8. The diameter is set so as to substantially match the diameter of the core 8 of the rotating body 10. By setting the intervals between the radiation sources 2 in this way, it is possible to prevent the shadow of the core 8 from entering the TDI sensor 4 when the electromagnetic wave R is detected by the TDI sensor 4. Moreover, in order not to mix each electromagnetic wave R, you may select and employ | adopt suitably the methods, such as putting a shield in the vicinity of the radiation source 2, and distributing the irradiation angle of each radiation source 2. FIG.

線源2が出射する電磁波Rとしては、例えば、X線、γ線のような電磁放射線等を好適に使用することができる。特に、電磁波RとしてX線を使用することにより、コストを増大させず、取扱いがしやすい欠陥検査装置1を実現することができる。ただし、電磁波Rの種類は、検査対象物の種類またはサイズ等に応じて適宜選択可能である。   As the electromagnetic wave R emitted from the radiation source 2, for example, electromagnetic radiation such as X-rays and γ-rays can be preferably used. In particular, by using X-rays as the electromagnetic wave R, it is possible to realize the defect inspection apparatus 1 that is easy to handle without increasing the cost. However, the type of the electromagnetic wave R can be appropriately selected according to the type or size of the inspection object.

なお、線源2は、コア8に捲回されたセパレータ12だけでなく、コア8にも照射されるように電磁波Rをセパレータ捲回体10に照射してもよい。   The radiation source 2 may irradiate the separator wound body 10 with the electromagnetic wave R so that not only the separator 12 wound around the core 8 but also the core 8 is irradiated.

(移動機構)
移動機構3は、セパレータ捲回体10を移動させる。移動機構3は、セパレータ捲回体10を保持する台座31、および台座31を回動させる駆動部32から構成される。
(Movement mechanism)
The moving mechanism 3 moves the separator winding body 10. The moving mechanism 3 includes a pedestal 31 that holds the separator winding body 10 and a drive unit 32 that rotates the pedestal 31.

台座31は、フレーム311、支持板312、保持機構313、および連結棒314を含む。フレーム311は、略矩形の枠状部材である。フレーム311の対向する2辺(Z軸方向に対向する2辺)には、それらの内面に支持板312が架け渡されている。また、フレーム311の対向する2辺(X軸方向に対向する2辺)には、それらの外面に連結棒314が突設されている。   The pedestal 31 includes a frame 311, a support plate 312, a holding mechanism 313, and a connecting rod 314. The frame 311 is a substantially rectangular frame member. Support plates 312 are bridged on the inner surfaces of two opposite sides (two sides opposite in the Z-axis direction) of the frame 311. Further, on two opposite sides (two sides facing in the X-axis direction) of the frame 311, connecting rods 314 are projected from the outer surfaces thereof.

支持板312は、保持機構313を支持するための板状部材である。支持板312は、Z軸方向に伸びる長辺とX軸方向に伸びる短辺とを含み、当該短辺の長さ(支持板312の幅)は、コア8の直径未満に設定されている。このように支持板312の短辺の長さをコア8の直径未満に設定することにより、電磁波RをTDIセンサ4で検出する際に、支持板312の影がTDIセンサ4に入り込むことを防止することができる。   The support plate 312 is a plate-like member for supporting the holding mechanism 313. The support plate 312 includes a long side extending in the Z-axis direction and a short side extending in the X-axis direction, and the length of the short side (the width of the support plate 312) is set to be less than the diameter of the core 8. In this way, by setting the length of the short side of the support plate 312 to be less than the diameter of the core 8, the shadow of the support plate 312 is prevented from entering the TDI sensor 4 when the electromagnetic wave R is detected by the TDI sensor 4. can do.

保持機構313は、セパレータ捲回体10を回転可能に保持する軸部材である。保持機構313は、支持板312の中央部に突設されており、セパレータ捲回体10のコア8の第1貫通孔8aに嵌められる。   The holding mechanism 313 is a shaft member that holds the separator winding body 10 rotatably. The holding mechanism 313 protrudes from the center of the support plate 312 and is fitted into the first through hole 8 a of the core 8 of the separator winding body 10.

保持機構313は、時計回りまたは反時計回りに回転可能である。このため、保持機構313の回転に伴って、セパレータ捲回体10を当該セパレータ捲回体10の厚み方向に伸びる保持機構313を略中心として回転させることができる。   The holding mechanism 313 can rotate clockwise or counterclockwise. For this reason, as the holding mechanism 313 rotates, the separator winding body 10 can be rotated about the holding mechanism 313 extending in the thickness direction of the separator winding body 10.

本実施形態では、保持機構313は、セパレータ捲回体10の第1側面10b側からコア8の第1貫通孔8aに挿入され、セパレータ捲回体10を保持する。これにより、セパレータ捲回体10は、線源2とTDIセンサ4との間に、第1側面10b側を線源2側に向け、第2側面10c側をTDIセンサ4側に向けた状態で、コア8に捲回されたセパレータ12の一部が少なくとも介在するように欠陥検査装置1にセットされる。   In the present embodiment, the holding mechanism 313 is inserted into the first through hole 8 a of the core 8 from the first side surface 10 b side of the separator winding body 10 and holds the separator winding body 10. Thereby, the separator winding body 10 is between the radiation source 2 and the TDI sensor 4, with the first side surface 10b side facing the radiation source 2 side and the second side surface 10c side facing the TDI sensor 4 side. The separator 12 wound around the core 8 is set in the defect inspection apparatus 1 so that at least a part of the separator 12 is interposed.

連結棒314は、フレーム311を駆動部32に連結するための棒状部材である。連結棒314はフレーム311の対向する2辺(X軸方向に対向する2辺)の外面に、それぞれ2つずつが互いに平行に突設されている。   The connecting rod 314 is a rod-shaped member for connecting the frame 311 to the drive unit 32. Two connecting rods 314 protrude in parallel from each other on the outer surfaces of two opposite sides (two sides opposite in the X-axis direction) of the frame 311.

駆動部32は、中心線Aを略中心として台座31を回動させる。駆動部32は、フレーム311の対向する2辺(X軸方向に対向する2辺)に、連結棒314を介して1つずつ連結されている。   The drive unit 32 rotates the pedestal 31 about the center line A. The drive unit 32 is connected to two opposite sides (two sides opposite to the X-axis direction) of the frame 311 one by one via a connecting rod 314.

駆動部32は、回動ロール321、および回動軸322を含んでいる。回動ロール321は、その外周面に連結棒314が固定された円筒部材である。回動ロール321の内周面には、回動軸322が嵌められている。   The drive unit 32 includes a rotating roll 321 and a rotating shaft 322. The rotating roll 321 is a cylindrical member having a connecting rod 314 fixed to the outer peripheral surface thereof. A rotation shaft 322 is fitted on the inner peripheral surface of the rotation roll 321.

回動軸322は、モータ(不図示)等によって中心線Aを略中心として、時計回りおよび反時計回りに回動可能な軸部材である。駆動部32は、各回動軸322を互いに連動して回動させることにより、回動ロール321を回動させる。   The rotation shaft 322 is a shaft member that can be rotated clockwise and counterclockwise about a center line A by a motor (not shown) or the like. The drive unit 32 rotates the rotation roll 321 by rotating the rotation shafts 322 in conjunction with each other.

移動機構3によれば、駆動部32の動作を制御することにより、線源2(中心線A)を略中心とした円軌道に沿って、台座31に保持されたセパレータ捲回体10を移動させることができる。   According to the moving mechanism 3, the separator winding body 10 held by the pedestal 31 is moved along a circular orbit centered about the radiation source 2 (center line A) by controlling the operation of the drive unit 32. Can be made.

(TDIセンサ)
TDI(Time Delay Integration)センサ4は、セパレータ12を透過した電磁波Rを検出可能な検出器である。TDIセンサ4は、線源2がX線を出射する場合はX線を検出可能な検出器であればよく、線源2がγ線を出射する場合はγ線を検出可能な検出器であればよい。
(TDI sensor)
The TDI (Time Delay Integration) sensor 4 is a detector that can detect the electromagnetic wave R that has passed through the separator 12. The TDI sensor 4 may be a detector capable of detecting X-rays when the source 2 emits X-rays, and may be a detector capable of detecting γ-rays when the source 2 emits γ-rays. That's fine.

TDIセンサ4は、セパレータ捲回体10に対して線源2とは反対側に設置されている。TDIセンサ4は、セパレータ捲回体10の移動(回動)方向に対して垂直な方向(X軸方向)と平行な方向(Z軸方向)とのそれぞれに複数のセル(センサ素子)を配置した構成である。すなわち、TDIセンサ4は、Z軸方向に複数の単位ラインセンサが並べられた構成である。   The TDI sensor 4 is installed on the side opposite to the radiation source 2 with respect to the separator wound body 10. The TDI sensor 4 has a plurality of cells (sensor elements) arranged in a direction (X-axis direction) perpendicular to a movement (rotation) direction of the separator winding body 10 and a direction parallel to the Z-axis direction (Z-axis direction). This is the configuration. That is, the TDI sensor 4 has a configuration in which a plurality of unit line sensors are arranged in the Z-axis direction.

TDIセンサ4は、線源2が出射した電磁波Rを検出すると、検出した電磁波Rの強度に応じた電気信号を画像処理部(不図示)へ出力し、画像処理部においてTDIセンサ4から出力された電気信号に基づいて撮影画像を生成する。   When the TDI sensor 4 detects the electromagnetic wave R emitted from the radiation source 2, the TDI sensor 4 outputs an electrical signal corresponding to the intensity of the detected electromagnetic wave R to an image processing unit (not shown), and is output from the TDI sensor 4 in the image processing unit. A captured image is generated based on the electrical signal.

〔欠陥検査方法〕
次に、本実施形態に係る欠陥検査装置1で行われる欠陥検査方法(欠陥検査工程)の一例について説明する。図4の(a)および(b)は、図3に示される欠陥検査装置1における欠陥検査方法の一例を説明するための模式図である。具体的には、図4の(a)は欠陥検査装置1におけるセパレータ捲回体10の移動状態を示す側面図であり、図4の(b)はセパレータ捲回体10の撮影された領域を示す上面図である。なお、説明の便宜上、図4の(a)では移動機構3を省略している。
[Defect inspection method]
Next, an example of a defect inspection method (defect inspection process) performed by the defect inspection apparatus 1 according to the present embodiment will be described. 4A and 4B are schematic diagrams for explaining an example of the defect inspection method in the defect inspection apparatus 1 shown in FIG. Specifically, FIG. 4A is a side view showing a moving state of the separator winding body 10 in the defect inspection apparatus 1, and FIG. 4B shows an imaged area of the separator winding body 10. FIG. FIG. For convenience of explanation, the moving mechanism 3 is omitted in FIG.

欠陥検査装置1では、線源2とセパレータ捲回体10との距離、および線源2とTDIセンサ4との距離をそれぞれ略一定に保ちながら、セパレータ捲回体10における検査領域を移動させつつ、セパレータ捲回体10を透過した電磁波RをTDIセンサによって検出する。具体的には、本実施形態では、図4の(a)に示すように、X軸方向から見た場合、セパレータ捲回体10を平行移動(直線移動)ではなく、線源2を略中心とした円軌道Cに沿って移動(円運動)させながら、セパレータ12を透過した電磁波RをTDIセンサ4によって検出する。このため、セパレータ捲回体10を平行移動させる構成に比べて、セパレータ捲回体10に対する電磁波Rの照射角度が略均等化されるので、セパレータ捲回体10の厚みに起因するTDIセンサ4の検出位置の誤差を改善することができる。   In the defect inspection apparatus 1, the inspection area in the separator winding body 10 is moved while the distance between the radiation source 2 and the separator winding body 10 and the distance between the radiation source 2 and the TDI sensor 4 are kept substantially constant. The electromagnetic wave R transmitted through the separator winding body 10 is detected by a TDI sensor. Specifically, in this embodiment, as shown in FIG. 4A, when viewed from the X-axis direction, the separator wound body 10 is not moved in parallel (linearly moved), but the source 2 is substantially centered. The electromagnetic wave R transmitted through the separator 12 is detected by the TDI sensor 4 while moving (circular movement) along the circular orbit C. For this reason, since the irradiation angle of the electromagnetic wave R with respect to the separator winding body 10 is substantially equalized compared to the configuration in which the separator winding body 10 is moved in parallel, the TDI sensor 4 caused by the thickness of the separator winding body 10 The error of the detection position can be improved.

なお、本実施形態では、移動機構3がセパレータ捲回体10を円軌道Cに沿って移動させる構成であるが、線源2とセパレータ捲回体10およびTDIセンサ4との距離を略一定に保ちながら、セパレータ捲回体10における検査領域を移動させることが可能であれば、他の構成を採用してもよい。   In the present embodiment, the moving mechanism 3 is configured to move the separator winding body 10 along the circular path C. However, the distance between the radiation source 2 and the separator winding body 10 and the TDI sensor 4 is substantially constant. Other configurations may be adopted as long as it is possible to move the inspection region in the separator wound body 10 while keeping it.

また、TDIセンサ4は、円軌道Cと略平行になるように湾曲していてもよい。これにより、線源2から放射状に出射される電磁波RをTDIセンサ4によって好適に検出することができるとともに、TDIセンサ4に対する電磁波Rの入射角度が略均等化されるのでTDIセンサ4の検出精度を向上させることができる。   The TDI sensor 4 may be curved so as to be substantially parallel to the circular orbit C. As a result, the electromagnetic wave R emitted radially from the radiation source 2 can be suitably detected by the TDI sensor 4, and the incident angle of the electromagnetic wave R with respect to the TDI sensor 4 is substantially equalized, so the detection accuracy of the TDI sensor 4 Can be improved.

本実施形態では、欠陥検査装置1は、円軌道C上に位置する第1地点P1と第2地点P2との間でセパレータ捲回体10を複数回にわたって往復移動(単振り子運動)させる。そして、第1地点P1から第2地点P2へ向けてセパレータ捲回体10が移動する間にセパレータ12の一部ずつを撮影することによりセパレータ12全体の撮影画像を生成する。   In the present embodiment, the defect inspection apparatus 1 causes the separator winding body 10 to reciprocate a plurality of times (single pendulum motion) between the first point P1 and the second point P2 located on the circular orbit C. And while the separator winding body 10 moves toward the 2nd point P2 from the 1st point P1, the captured image of the separator 12 whole is produced | generated by image | photographing a part of separator 12 each.

具体的には、欠陥検査装置1は、線源2によってセパレータ捲回体10の第1側面10b側から電磁波Rを照射しつつ(出射工程)、移動機構3(駆動部32)によって第1地点P1から第2地点P2へ向けてセパレータ捲回体10を移動させる(移動工程)。   Specifically, the defect inspection apparatus 1 irradiates the electromagnetic wave R from the side of the first side face 10b of the separator wound body 10 by the radiation source 2 (outgoing process), and moves the first point by the moving mechanism 3 (drive unit 32). The separator winding body 10 is moved from P1 toward the second point P2 (moving step).

本実施形態では、第1地点P1におけるセパレータ捲回体10と第2地点P2におけるセパレータ捲回体10とが成す角度(送り角度)は約30度に設定されている。換言すれば、本実施形態では、セパレータ捲回体10の振り子角度θは約15度に設定されている。セパレータ捲回体10の振り子角度θはセパレータ捲回体10およびTDIセンサ4のサイズ等に応じて適宜設定可能であるが、振り子角度θは60度以下であることが好ましい。振り子角度θが60度を超える場合、セパレータ捲回体10に対する電磁波Rを照射角度が小さくなり、セパレータ捲回体10を電磁波Rが透過する際の透過長(すなわち、セパレータ捲回体10内における電磁波Rの経路長)が大きくなる。このため、TDIセンサ4によって検出される電磁波Rの強度が低下し、異物を適切に検出できない可能性がある。したがって、振り子角度θは、60度以下であることが好ましく、40度以下であることがよりに好ましい。   In the present embodiment, the angle (feed angle) formed by the separator winding body 10 at the first point P1 and the separator winding body 10 at the second point P2 is set to about 30 degrees. In other words, in this embodiment, the pendulum angle θ of the separator winding body 10 is set to about 15 degrees. The pendulum angle θ of the separator winding body 10 can be appropriately set according to the size of the separator winding body 10 and the TDI sensor 4, but the pendulum angle θ is preferably 60 degrees or less. When the pendulum angle θ exceeds 60 degrees, the irradiation angle of the electromagnetic wave R with respect to the separator winding body 10 becomes small, and the transmission length when the electromagnetic wave R passes through the separator winding body 10 (that is, in the separator winding body 10). The path length of the electromagnetic wave R) increases. For this reason, the intensity | strength of the electromagnetic wave R detected by the TDI sensor 4 falls, and there exists a possibility that a foreign material cannot be detected appropriately. Therefore, the pendulum angle θ is preferably 60 degrees or less, and more preferably 40 degrees or less.

第1地点P1から第2地点P2へ向けてセパレータ捲回体10が移動する間、欠陥検査装置1は、TDIセンサ4によってセパレータ12を透過した電磁波Rを検出することでセパレータ12の一部を撮影する(検出工程)。本実施形態では、欠陥検査装置1は、第1地点P1と第2地点P2との中間位置である第3地点P3にセパレータ捲回体10が位置したときセパレータ12の撮影画像が含まれるように、TDIセンサ4によってセパレータ12を撮影する。   While the separator wound body 10 moves from the first point P1 toward the second point P2, the defect inspection apparatus 1 detects the electromagnetic wave R transmitted through the separator 12 by the TDI sensor 4 to remove a part of the separator 12. Take a picture (detection process). In the present embodiment, the defect inspection apparatus 1 includes a captured image of the separator 12 when the separator winding body 10 is positioned at a third point P3 that is an intermediate position between the first point P1 and the second point P2. The separator 12 is photographed by the TDI sensor 4.

欠陥検査装置1は、第2地点P2にセパレータ捲回体10が到達した場合、移動機構3(駆動部32)によって第2地点P2から第1地点P1へ向けてセパレータ捲回体10を移動させる。第2地点P2から第1地点P1へセパレータ捲回体10が移動する間、欠陥検査装置1は、TDIセンサ4による電磁波Rの検出を行わず、移動機構3(保持機構313)によってセパレータ捲回体10を所定角度だけ回転させる。   When the separator winding body 10 reaches the second point P2, the defect inspection apparatus 1 moves the separator winding body 10 from the second point P2 toward the first point P1 by the moving mechanism 3 (drive unit 32). . While the separator winding body 10 moves from the second point P2 to the first point P1, the defect inspection apparatus 1 does not detect the electromagnetic wave R by the TDI sensor 4, and the separator winding is performed by the moving mechanism 3 (holding mechanism 313). The body 10 is rotated by a predetermined angle.

このような動作を繰り返すことにより、欠陥検査装置1は、セパレータ捲回体10が第1地点P1と第2地点P2との間を一往復するごとに、セパレータ12の異なる領域をTDIセンサ4によって撮影することができる。例えば、欠陥検査装置1は、図4の(b)に示すように、1度目の撮影で第1領域R1を撮影し、2度目の撮影でセパレータ12の第2領域R2を撮影し、3度目の撮影で第3領域R3を撮影することができる。   By repeating such an operation, the defect inspection apparatus 1 causes the TDI sensor 4 to change different regions of the separator 12 each time the separator winding body 10 reciprocates between the first point P1 and the second point P2. You can shoot. For example, as shown in FIG. 4B, the defect inspection apparatus 1 captures the first region R1 by the first image capture, captures the second region R2 of the separator 12 by the second capture, and the third time. The third region R3 can be photographed by photographing.

したがって、一往復するごとに、移動機構3(保持機構313)によってセパレータ捲回体10を約14度回転させて撮影を行った場合、合計13回の撮影でセパレータ12全体を撮影することができる。なお、一往復するごとにセパレータ捲回体10を回転させる角度(所定角度)は、セパレータ捲回体10およびTDIセンサ4のサイズ等に応じて適宜設定可能である。   Therefore, every time the reciprocating operation is performed, when the separator winding body 10 is rotated about 14 degrees by the moving mechanism 3 (holding mechanism 313) and the image is taken, the entire separator 12 can be imaged by a total of 13 times. . Note that the angle (predetermined angle) at which the separator winding body 10 is rotated every time it reciprocates can be appropriately set according to the size of the separator winding body 10 and the TDI sensor 4.

なお、一回当たりの撮影で何秒間撮影するかは、検査に要する時間、TDIセンサ4の感度、処理検体数等によって適宜調整すればよい。例えば4秒以内で撮影を行うこともでき、一回当たりの撮影時間が短いほど、セパレータ捲回体10の1個当たりの検査に要するタクトタイムが短くなるので好ましい。   It should be noted that the number of seconds for each imaging can be appropriately adjusted according to the time required for the examination, the sensitivity of the TDI sensor 4, the number of processed samples, and the like. For example, photographing can be performed within 4 seconds, and the shorter the photographing time per time, the shorter the tact time required for the inspection of each separator wound body 10 is preferable.

また、セパレータ捲回体10の1個当たりの検査に要する時間、TDIセンサ4のセンサ感度、処理検体数(検査するセパレータ捲回体10の数)等によっては、例えば、複数のセパレータ捲回体10を重ねて同時に撮影したり、複数のセパレータ捲回体10を並べて同時に撮影したりすることで、複数のセパレータ捲回体10を同時に検査してもよい。   Further, depending on the time required for the inspection of each separator wound body 10, the sensor sensitivity of the TDI sensor 4, the number of processed samples (the number of separator wound bodies 10 to be inspected), etc., for example, a plurality of separator wound bodies The plurality of separator winding bodies 10 may be inspected at the same time by overlapping 10 and photographing simultaneously, or arranging a plurality of separator winding bodies 10 and photographing simultaneously.

さら、セパレータ捲回体10が線源2に対し相対的に移動する前後で、電磁波Rの照射をON/OFFしてもよく、またはTDIセンサ4での検出をON/OFFしてもよい。すなわち、電磁波Rを継続的に照射した状態として、TDIセンサ4の検出を切り替えるようにしてもよい。これにより、電磁波Rを断片的に照射した場合と同様、セパレータ12の異なる領域の撮影画像を得ることができる。なお、セパレータ捲回体10が相対的に移動する前後では、TDIセンサ4の検出を切り替えるほうが好ましい。線源2を頻繁にON/OFFすると、照射される電磁波Rが安定せず、線源2の寿命が短くなる等の不具合が生じる恐れがあるためである。   Furthermore, before and after the separator wound body 10 moves relative to the radiation source 2, the irradiation of the electromagnetic wave R may be turned on / off, or the detection by the TDI sensor 4 may be turned on / off. That is, the detection of the TDI sensor 4 may be switched in a state where the electromagnetic wave R is continuously irradiated. Thereby, the picked-up image of a different area | region of the separator 12 can be obtained similarly to the case where the electromagnetic wave R is irradiated in pieces. Note that it is preferable to switch the detection of the TDI sensor 4 before and after the separator wound body 10 moves relatively. This is because if the radiation source 2 is frequently turned ON / OFF, the irradiated electromagnetic wave R is not stabilized, and there is a risk that a malfunction such as shortening the life of the radiation source 2 may occur.

欠陥検査装置1は、このようにして得られた部分的な撮影画像から必要な領域を抽出して繋ぎ合せることで円環状のセパレータ12全体の撮影画像を生成する。そして、生成したセパレータ12全体の撮影画像を解析することによって、セパレータ12に異物が混入しているか否かを検査する。   The defect inspection apparatus 1 generates a captured image of the entire annular separator 12 by extracting necessary regions from the partially captured images thus obtained and connecting them. Then, the generated image of the entire separator 12 is analyzed to inspect whether or not a foreign substance is mixed in the separator 12.

このように複数の撮影画像を繋ぎ合せることで、異物の3次元的な異物の位置特定も可能となる。また、薄い形状の異物も漏れなく検出することが可能になる。   By connecting a plurality of photographed images in this way, it is possible to specify the position of the three-dimensional foreign matter. Further, it is possible to detect a thin foreign object without leakage.

なお、欠陥検査装置1が検出可能な異物の材質は、種々のものが考えられるが、例えば、金属、およびカーボン等を挙げることができる。また、欠陥検査装置1が検出可能な異物のサイズとしては、種々のサイズが考えられるが、一例として、100μm、厚みが50μm程度のサイズのものが挙げられる。本明細書において、異物のサイズに厚みや幅等の特定がないとき、つまり単に100μm等の長さのみが記載されているときには、当該長さは異物の外接球の直径の長さを意味する。   In addition, although the material of the foreign material which the defect inspection apparatus 1 can detect can consider various things, For example, a metal, carbon, etc. can be mentioned. In addition, various sizes of the foreign matter that can be detected by the defect inspection apparatus 1 are conceivable. As an example, a size having a size of about 100 μm and a thickness of about 50 μm can be given. In the present specification, when the size or the like of the foreign matter is not specified, that is, when only the length of 100 μm or the like is described, the length means the diameter of the circumscribed sphere of the foreign matter. .

検出すべき欠陥である異物は、比重が大きい方が小さいサイズまで検出できる傾向がある。検出すべき欠陥が金属異物である場合、例えばある検査条件の下において、比重が6程度の金属を100μm程度まで検出できるときに、比重2程度の金属は300μm程度まで検出することができる。欠陥検査装置1において、適宜、検出対象である金属異物の種類(すなわち比重)によって、検出対象とする異物のサイズを設定すればよい。   A foreign substance that is a defect to be detected tends to be detected up to a smaller size when the specific gravity is larger. When the defect to be detected is a metal foreign object, for example, when a metal having a specific gravity of about 6 can be detected to about 100 μm under a certain inspection condition, a metal having a specific gravity of about 2 can be detected to about 300 μm. In the defect inspection apparatus 1, the size of the foreign object to be detected may be set as appropriate depending on the type (that is, specific gravity) of the metallic foreign object to be detected.

なお、欠陥検査装置1において、露光時間を延ばす、セパレータ捲回体10における同じ領域を複数回撮影する等により、検査に要する時間を延ばせば、サイズが小さい異物を検出することができる。このため、上記のような、検出対象とする金属異物の比重とサイズとの関係は、検査に要する時間を同じにした場合の関係である。   In the defect inspection apparatus 1, if the time required for the inspection is extended by extending the exposure time or photographing the same region of the separator wound body 10 a plurality of times, a foreign substance having a small size can be detected. For this reason, the relationship between the specific gravity and the size of the metal foreign object to be detected as described above is a relationship when the time required for the inspection is the same.

なお、代表的な金属の比重としては、Fe;7.8程度、Al;2.7程度、Zn;7.1程度、SUS7.7程度、Cu8.5程度、真鍮8.5程度等が例示されるがこの限りではない。   As specific gravity of typical metals, Fe: about 7.8, Al: about 2.7, Zn: about 7.1, SUS 7.7, Cu 8.5, brass 8.5, etc. are exemplified. This is not the case.

例えば、欠陥検査装置1を、100μm以上の異物を検出するように設定し、欠陥検査装置1によりセパレータ捲回体10の欠陥検査を行うことで、セパレータ捲回体10の製造工程にて製造される、様々なサイズの異物が含まれる(含まれる可能性がある)様々なセパレータ捲回体10から、100μm以上の異物が含まれるセパレータ捲回体10だけを選別することができる。   For example, the defect inspection apparatus 1 is set so as to detect foreign matters of 100 μm or more, and the defect inspection apparatus 1 performs defect inspection of the separator winding body 10, thereby manufacturing the separator winding body 10 in the manufacturing process. From the various separator winding bodies 10 containing (or possibly including) foreign substances of various sizes, only the separator winding body 10 containing foreign matters of 100 μm or more can be selected.

そして、欠陥検査装置1によって100μm以上の異物が検出されたセパレータ捲回体10を、製造工程から排除することによって、様々なサイズの異物が含まれる(含まれる可能性がある)様々なセパレータ捲回体10から、100μm以上の異物が少ないか、100μm以上の異物が含まれないセパレータ捲回体10を選別することができる。   Then, by removing the separator wound body 10 in which foreign matter of 100 μm or more is detected by the defect inspection apparatus 1 from the manufacturing process, various separators containing various sizes of foreign matter (possibly included) The separator roll 10 can be selected from the roll 10 so that there is little foreign matter of 100 μm or more or no foreign matter of 100 μm or more is contained.

換言すると、セパレータ捲回体10の製造工程において、欠陥検査装置1を用いた欠陥検査工程を組み込むことで、様々なサイズの異物が含まれる(含まれる可能性がある)様々なセパレータ捲回体10から、100μm以上の異物が少ないか、100μm以上の異物が含まれないセパレータ捲回体10を製造することができる。   In other words, in the manufacturing process of the separator winding body 10, various separator winding bodies that include (possibly include) foreign substances of various sizes by incorporating a defect inspection process using the defect inspection apparatus 1. From 10, the separator wound body 10 can be manufactured with little foreign matter of 100 μm or more or no foreign matter of 100 μm or more.

特に、100μm以上の異物が少ないセパレータ捲回体10は、セパレータ12に付着した異物によって不良が発生する可能性を低くすることができる。   In particular, the separator wound body 10 with few foreign matters of 100 μm or more can reduce the possibility of occurrence of defects due to the foreign matter attached to the separator 12.

このように、セパレータ捲回体10の製造工程において、欠陥検査装置1を用いた欠陥検査工程を組み込むことで、異物の混入等の欠陥が少ないセパレータ捲回体を製造することができる。   In this manner, by incorporating a defect inspection process using the defect inspection apparatus 1 in the manufacturing process of the separator wound body 10, it is possible to manufacture a separator wound body with few defects such as contamination of foreign matters.

また、上述のように、欠陥検査工程は、セパレータ捲回体10の製造工程において、スリット工程の後、包装工程の前に設けることが好ましい。これにより、スリット工程にて発生した異物を効率よく検査することができる。   Further, as described above, the defect inspection process is preferably provided after the slit process and before the packaging process in the manufacturing process of the separator wound body 10. Thereby, the foreign material generated in the slit process can be efficiently inspected.

また、セパレータ捲回体10の製造工程において欠陥検査工程を設けることにより、セパレータ捲回体10の包装工程以降、コア8に捲回されたセパレータ12を用いて電池を組み立てる製造工程において、セパレータ12に付着した異物の有無を検査する手間を省くことができる。   Further, by providing a defect inspection step in the manufacturing process of the separator winding body 10, in the manufacturing process of assembling the battery using the separator 12 wound around the core 8 after the packaging process of the separator winding body 10, the separator 12. It is possible to save the trouble of inspecting the presence or absence of foreign matter adhering to the surface.

また、欠陥検査装置1を用いた、コア8に捲回されたセパレータ12内の欠陥の有無の検査は、欠陥検査装置1をクリーンルームに配置する等により、クリーンな環境で行うことが好ましい。クリーンな環境としては、例えばクラス10万以下が好ましい。このような環境下で行うことにより、検査中および検査後に異物が新たに付着する可能性を低減することができる。さらに、欠陥検査装置1の装置内または装置外であって、鉛等の壁で囲まれた領域もこのような、クリーンな環境であることが好ましい。これにより、欠陥検査装置1を用いて、精度よく、コア8に捲回されたセパレータ12内の欠陥の有無の検査を行うことができる。   Moreover, it is preferable that the inspection of the presence or absence of defects in the separator 12 wound around the core 8 using the defect inspection apparatus 1 is performed in a clean environment by arranging the defect inspection apparatus 1 in a clean room. As a clean environment, for example, a class of 100,000 or less is preferable. By performing in such an environment, it is possible to reduce the possibility of foreign matter newly adhering during and after the inspection. Furthermore, it is preferable that a region surrounded by a wall of lead or the like inside or outside the defect inspection apparatus 1 is also in such a clean environment. Thereby, it is possible to accurately inspect for the presence or absence of defects in the separator 12 wound around the core 8 using the defect inspection apparatus 1.

また、1個のセパレータ捲回体10の撮影を終了し、次のセパレータ捲回体10の撮影を開始する前(1つの撮影サイクル終了後)に、セパレータ捲回体10の撮影のために移動した各部(保持機構313等)を初期状態に戻すことが好ましい。これにより、検査漏れや重複検査を防止したり、撮影途中に次の撮影に入る等の誤作動も防止することもできる。なお、この1つの撮影サイクル終了後に各部を初期状態に戻すことが好ましいことは、実施形態2以降に説明する各欠陥検査装置においても同様である。   Further, the photographing of one separator winding body 10 is finished, and before the next separator winding body 10 starts photographing (after the end of one photographing cycle), the separator winding body 10 is moved for photographing. It is preferable to return each part (holding mechanism 313 etc.) to the initial state. As a result, it is possible to prevent inspection omissions and duplicate inspections, and to prevent malfunction such as entering the next shooting during shooting. Note that it is also preferable for each defect inspection apparatus described in the second and subsequent embodiments that it is preferable to return each unit to the initial state after the end of one imaging cycle.

〔欠陥検査装置のまとめ〕
以上のように、本実施形態に係る欠陥検査装置1は、セパレータ捲回体10に対し、セパレータ捲回体10の厚み方向から電磁波Rを放射状に出射する線源2と、セパレータ捲回体10を移動させる移動機構3と、セパレータ捲回体10に対して線源2とは反対側に設置され、セパレータ12を透過した電磁波Rを検出するTDIセンサ4とを備え、移動機構3は、線源2を略中心とした円軌道Cに沿って、セパレータ捲回体10を移動させる。
[Summary of defect inspection equipment]
As described above, the defect inspection apparatus 1 according to the present embodiment includes the radiation source 2 that radiates the electromagnetic wave R radially from the thickness direction of the separator winding body 10 and the separator winding body 10. And a TDI sensor 4 that is installed on the side opposite to the radiation source 2 with respect to the separator winding body 10 and detects the electromagnetic wave R that has passed through the separator 12. The separator winding body 10 is moved along a circular orbit C centered on the source 2.

欠陥検査装置1では、線源2を略中心とした円軌道Cに沿ってセパレータ捲回体10を移動させながら、セパレータ12を透過した電磁波RをTDIセンサ4によって検出する。このため、セパレータ12に対する電磁波Rの照射角度が略均等化されるので、セパレータ捲回体10の厚みに起因するTDIセンサ4の検出位置の誤差を改善することができる。   In the defect inspection apparatus 1, the electromagnetic wave R transmitted through the separator 12 is detected by the TDI sensor 4 while the separator winding body 10 is moved along the circular orbit C having the radiation source 2 substantially at the center. For this reason, since the irradiation angle of the electromagnetic wave R with respect to the separator 12 is substantially equalized, the error of the detection position of the TDI sensor 4 resulting from the thickness of the separator winding body 10 can be improved.

したがって、本実施形態によれば、セパレータ捲回体10の厚みに起因する検査精度の低下を抑えることが可能な欠陥検査装置1を実現することができる。   Therefore, according to the present embodiment, it is possible to realize the defect inspection apparatus 1 that can suppress a decrease in inspection accuracy due to the thickness of the separator wound body 10.

〔欠陥検査装置の変形例〕
(変形例1)
上述の説明では、欠陥検査装置1は、セパレータ捲回体10が第1地点P1と第2地点P2との間を一往復するごとに、セパレータ捲回体10を1度撮影する構成について説明した。しかしながら、本発明はこの構成に限定されない。欠陥検査装置1は、セパレータ捲回体10が第1地点P1と第2地点P2との間を一往復するごとに、セパレータ捲回体10を2度撮影する構成であってもよい。
[Deformation of defect inspection system]
(Modification 1)
In the above description, the defect inspection apparatus 1 has described the configuration in which the separator winding body 10 is photographed once every time the separator winding body 10 makes a round trip between the first point P1 and the second point P2. . However, the present invention is not limited to this configuration. The defect inspection apparatus 1 may have a configuration in which the separator winding body 10 is imaged twice each time the separator winding body 10 makes a round trip between the first point P1 and the second point P2.

具体的には、欠陥検査装置1は、第1地点P1から第2地点P2へ向けてセパレータ捲回体10が移動する間、および第2地点P2から第1地点P1へ向けてセパレータ捲回体10が移動する間の双方において、セパレータ12を透過した電磁波RをTDIセンサが検出することでセパレータ12を撮影する。   Specifically, the defect inspection apparatus 1 includes the separator winding body while the separator winding body 10 moves from the first point P1 toward the second point P2 and from the second point P2 toward the first point P1. The separator 12 is photographed when the TDI sensor detects the electromagnetic wave R transmitted through the separator 12 both during the movement of the separator 10.

この場合、セパレータ捲回体10が第1地点P1から第2地点P2に到達した際、および第2地点P2から第1地点P1に到達した際の双方において、セパレータ捲回体10を所定角度だけ回転させればよい。   In this case, the separator winding body 10 is moved by a predetermined angle both when the separator winding body 10 reaches the second point P2 from the first point P1 and when the separator winding body 10 reaches the first point P1 from the second point P2. Rotate.

これにより、欠陥検査装置1は、セパレータ捲回体10が第1地点P1と第2地点P2との間を一往復するごとに、セパレータ捲回体10の異なる2つの領域を撮影することができるため、セパレータ捲回体10全体の検査に必要なタクトタイムを短縮することができる。   Thereby, the defect inspection apparatus 1 can image two different areas of the separator winding body 10 each time the separator winding body 10 makes a round trip between the first point P1 and the second point P2. Therefore, the tact time required for the inspection of the separator separator 10 as a whole can be shortened.

(変形例2)
また、上述の説明では、欠陥検査装置1は、2つの線源2を有する構成について説明した。しかしながら、本発明はこの構成に限定されない。例えば、欠陥検査装置1は、1つの線源2を有する構成であってもよく、または3つ以上の線源2を有する構成であってもよい。すなわち、使用する線源2の数は、検査対象物の種類、形状またはサイズ等に応じて適宜変更である。
(Modification 2)
In the above description, the defect inspection apparatus 1 has been described as having two radiation sources 2. However, the present invention is not limited to this configuration. For example, the defect inspection apparatus 1 may have a configuration having one radiation source 2 or a configuration having three or more radiation sources 2. That is, the number of the radiation sources 2 to be used is appropriately changed according to the type, shape, size, etc. of the inspection object.

図5は、図3に示される欠陥検査装置1の変形例の概略構成を示す正面図である。図5に示すように、欠陥検査装置1は、1つの線源2を有する構成であってもよい。このような構成においても、線源2を略中心とした円軌道Cに沿ってセパレータ捲回体10を移動させることにより、セパレータ捲回体10に対する電磁波Rの照射角度が略均等化されるので、セパレータ捲回体10の厚みに起因するTDIセンサ4の検出位置の誤差を改善することができる。   FIG. 5 is a front view showing a schematic configuration of a modified example of the defect inspection apparatus 1 shown in FIG. As shown in FIG. 5, the defect inspection apparatus 1 may have a configuration having one radiation source 2. Even in such a configuration, the irradiation angle of the electromagnetic wave R on the separator winding body 10 is substantially equalized by moving the separator winding body 10 along the circular orbit C centered about the radiation source 2. The error of the detection position of the TDI sensor 4 due to the thickness of the separator winding body 10 can be improved.

ただし、線源2の数が1つの場合、電磁波RをTDIセンサ4で検出する際にコア8の影がTDIセンサ4に入り込んでしまう。このため、本実施形態のように検査対象物がセパレータ捲回体10である場合は、線源2の数は2つ以上であることが好ましい。   However, when the number of the radiation sources 2 is one, the shadow of the core 8 enters the TDI sensor 4 when the electromagnetic wave R is detected by the TDI sensor 4. For this reason, when the inspection object is the separator wound body 10 as in the present embodiment, the number of the radiation sources 2 is preferably two or more.

(変形例3)
また、上述の説明では、セパレータ捲回体10を回転可能に保持する台座31、および台座31を回動させる駆動部32から構成される移動機構3について説明した。しかしながら、本発明に係る移動機構はこの構成に限定されない。移動機構は、線源2を略中心とした円軌道に沿って、セパレータ捲回体10を移動させることが可能な構成であればよい。
(Modification 3)
In the above description, the moving mechanism 3 including the pedestal 31 that rotatably holds the separator winding body 10 and the drive unit 32 that rotates the pedestal 31 has been described. However, the moving mechanism according to the present invention is not limited to this configuration. The moving mechanism should just be the structure which can move the separator winding body 10 along the circular track | orbit centering the radiation source 2 in the center.

図6は、図3の(a)〜(c)に示される移動機構3の変形例の概略構成を示す模式図である。具体的には、図6の(a)は移動機構3aの正面図であり、図6の(b)は移動機構3aの上面図であり、図6の(c)は移動機構3aの側面図である。   FIG. 6 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a modified example of the moving mechanism 3 shown in FIGS. Specifically, FIG. 6A is a front view of the moving mechanism 3a, FIG. 6B is a top view of the moving mechanism 3a, and FIG. 6C is a side view of the moving mechanism 3a. It is.

図6の(a)〜(c)は、ロボットアームを用いて移動機構3aを構成した場合の一例を示している。図6の(a)〜(c)に示すように、移動機構3aは、セパレータ捲回体10を回転可能に保持する保持機構313、および保持機構313を支持するアーム315を備えている。   FIGS. 6A to 6C show an example in which the moving mechanism 3a is configured using a robot arm. As shown in FIGS. 6A to 6C, the moving mechanism 3 a includes a holding mechanism 313 that rotatably holds the separator winding body 10, and an arm 315 that supports the holding mechanism 313.

アーム315は、その先端部に回動軸316を有し、この回動軸316に保持機構313が接続されている。このため、回動軸316の中心線Aを略中心として、保持機構313が回動可能になっている。したがって、回動軸316の中心線A上に線源2を配置することにより、線源2を略中心とした円軌道に沿ってセパレータ捲回体10を移動(円運動)させながら、セパレータ12を透過した電磁波RをTDIセンサ4によって検出することができる。   The arm 315 has a rotation shaft 316 at the tip thereof, and a holding mechanism 313 is connected to the rotation shaft 316. For this reason, the holding mechanism 313 is rotatable about the center line A of the rotation shaft 316 as a substantial center. Therefore, by disposing the radiation source 2 on the center line A of the rotation shaft 316, the separator winding body 10 is moved (circular motion) along a circular orbit centered on the radiation source 2 while the separator 12 is moved. Can be detected by the TDI sensor 4.

このように、ロボットアームを用いて移動機構3aを構成することにより、移動機構3aを用いてセパレータ捲回体10の搬送および欠陥検査を行うことが可能となる。したがって、セパレータ捲回体10の欠陥検査に必要なタクトタイムを短縮することができる。   Thus, by configuring the moving mechanism 3a using the robot arm, it is possible to carry the separator wound body 10 and perform defect inspection using the moving mechanism 3a. Therefore, the tact time required for the defect inspection of the separator wound body 10 can be shortened.

図7は、図3の(a)〜(c)に示される移動機構3の他の変形例の概略構成を示す模式図である。具体的には、図7の(a)は移動機構3bの正面図であり、図7(b)は移動機構3bの上面図であり、図7の(c)は移動機構3bの側面図である。   FIG. 7 is a schematic diagram showing a schematic configuration of another modified example of the moving mechanism 3 shown in FIGS. Specifically, FIG. 7A is a front view of the moving mechanism 3b, FIG. 7B is a top view of the moving mechanism 3b, and FIG. 7C is a side view of the moving mechanism 3b. is there.

図7の(a)〜(c)に示すように、移動機構3bは、セパレータ捲回体10を回転可能に保持する保持機構313、および保持機構313を回動可能に支持する回動軸316を備えている。このような構成の移動機構3bであっても、回動軸316の中心線A上に線源2を配置することにより、線源2を略中心とした円軌道に沿ってセパレータ捲回体10を移動(円運動)させながら、セパレータ12を透過した電磁波RをTDIセンサ4によって検出することが可能である。   As shown in FIGS. 7A to 7C, the moving mechanism 3b includes a holding mechanism 313 that rotatably holds the separator winding body 10, and a rotating shaft 316 that rotatably supports the holding mechanism 313. It has. Even in the moving mechanism 3b having such a configuration, the separator winding body 10 is arranged along a circular orbit centered on the radiation source 2 by arranging the radiation source 2 on the center line A of the rotation shaft 316. The electromagnetic wave R transmitted through the separator 12 can be detected by the TDI sensor 4 while moving (circular movement).

〔実施形態2〕
本発明の他の実施形態について、図8〜図11に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
[Embodiment 2]
The following will describe another embodiment of the present invention with reference to FIGS. For convenience of explanation, members having the same functions as those described in the embodiment are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted.

〔欠陥検査装置の構成〕
図8は、本実施形態に係る欠陥検査装置11の概略構成を示す模式図である。本実施形態に係る欠陥検査装置11は、チェーンコンベア33を含む移動機構13によってセパレータ捲回体10を一方向へ移動させつつ、セパレータ12に異物が混入しているか否かを検査するものである。
[Configuration of defect inspection equipment]
FIG. 8 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the defect inspection apparatus 11 according to the present embodiment. The defect inspection apparatus 11 according to the present embodiment inspects whether or not foreign matter is mixed in the separator 12 while moving the separator wound body 10 in one direction by the moving mechanism 13 including the chain conveyor 33. .

具体的には、欠陥検査装置11は、投入位置Sから取出位置Eまでの搬送経路(往路)上に設定された検査位置D1〜D4をセパレータ捲回体10が通過する際、セパレータ12を透過した電磁波RをTDIセンサ4によって検出する。また、欠陥検査装置11は、搬送経路上に設定された姿勢変更位置C1〜C3においてセパレータ捲回体10を約45°回転させる。これにより、検査位置D1〜D4においてセパレータ12の異なる領域を撮影し、これらの撮影画像を解析することにより、セパレータ12に異物が混入しているか否かを検査する。   Specifically, the defect inspection apparatus 11 passes through the separator 12 when the separator winding body 10 passes through the inspection positions D1 to D4 set on the transport path (outward path) from the loading position S to the extraction position E. The detected electromagnetic wave R is detected by the TDI sensor 4. Moreover, the defect inspection apparatus 11 rotates the separator winding body 10 about 45 degrees in the attitude | position change position C1-C3 set on the conveyance path | route. Accordingly, different regions of the separator 12 are photographed at the inspection positions D1 to D4, and these photographed images are analyzed to inspect whether or not foreign matter is mixed in the separator 12.

セパレータ捲回体10の搬送経路上において、検査位置D1と検査位置D2との間に姿勢変更位置C1が設定され、検査位置D2と検査位置D3との間に姿勢変更位置C2が設定され、検査位置D3と検査位置D4との間に姿勢変更位置C3が設定されている。また、取出位置Eから投入位置Sまでの戻り経路(復路)上において、姿勢変更位置C4が設定されている。   On the transport path of the separator winding body 10, the posture change position C1 is set between the inspection position D1 and the inspection position D2, and the posture change position C2 is set between the inspection position D2 and the inspection position D3. A posture change position C3 is set between the position D3 and the inspection position D4. On the return path (return path) from the take-out position E to the input position S, the posture change position C4 is set.

なお、欠陥検査装置11は、取り扱う電磁波Rが外部に漏れないように、鉛等が含まれるX線等が透過しにくい壁で覆われている。   The defect inspection apparatus 11 is covered with a wall through which X-rays and the like containing lead are difficult to transmit so that the electromagnetic wave R to be handled does not leak to the outside.

図8に示すように、欠陥検査装置11は、線源2、移動機構13、およびTDIセンサ4を備える。線源2、およびTDIセンサ4は、検査位置D1〜D4にそれぞれ配置されている。線源2、およびTDIセンサ4は、移動機構13によって移動するセパレータ捲回体10が検査位置D1〜D4を通過する際、セパレータ12を透過した線源2からの電磁波RがTDIセンサによって検出可能な位置に配置されている。   As shown in FIG. 8, the defect inspection apparatus 11 includes a radiation source 2, a moving mechanism 13, and a TDI sensor 4. The radiation source 2 and the TDI sensor 4 are arranged at the inspection positions D1 to D4, respectively. When the separator winding body 10 that is moved by the moving mechanism 13 passes through the inspection positions D1 to D4, the radiation source 2 and the TDI sensor 4 can detect the electromagnetic wave R from the radiation source 2 that has passed through the separator 12 by the TDI sensor. It is arranged in the position.

(移動機構13)
移動機構13は、セパレータ捲回体10を保持する台座31、および台座31を移動させるチェーンコンベア33から構成される。チェーンコンベア33は、2つのチェーン331、および複数のギア(スプロケット)332を含んでいる。台座31はチェーン331にバネ等によって接続されている。移動機構13は、ギア332を駆動させてチェーン331を回転させることにより、台座31に保持されたセパレータ捲回体10を移動させる。
(Movement mechanism 13)
The moving mechanism 13 includes a pedestal 31 that holds the separator winding body 10 and a chain conveyor 33 that moves the pedestal 31. The chain conveyor 33 includes two chains 331 and a plurality of gears (sprockets) 332. The pedestal 31 is connected to the chain 331 by a spring or the like. The moving mechanism 13 moves the separator winding body 10 held by the base 31 by driving the gear 332 and rotating the chain 331.

図9の(a)は、欠陥検査装置11を示す上面図であり、図9の(b)は、検査位置D1における移動機構13の動作状態を示す側面図である。以下では、検査位置D1における移動機構13の動作状態について説明するが、検査位置D2〜D4においても同様である。   9A is a top view showing the defect inspection apparatus 11, and FIG. 9B is a side view showing an operating state of the moving mechanism 13 at the inspection position D1. Hereinafter, the operation state of the moving mechanism 13 at the inspection position D1 will be described, but the same applies to the inspection positions D2 to D4.

図9の(a)に示すように、検査位置D1には、各ギア332の内側に、2つの円搬送ロール34が互いに対向して配置されている。また、検査位置D1には、電磁波Rを放射状に出射する2つの線源2が、円搬送ロール34の中心線A上にそれぞれ配置される。   As shown in FIG. 9A, at the inspection position D1, two circular transport rolls 34 are arranged inside each gear 332 so as to face each other. In addition, at the inspection position D1, the two radiation sources 2 that emit the electromagnetic waves R radially are arranged on the center line A of the circular transport roll 34, respectively.

図9の(b)に示すように、検査位置D1へ移動した台座31の連結棒314が円搬送ロール34の外周面に当接することにより、円搬送ロール34は中心線Aを軸に回転する。このため、検査位置D1において、線源2を略中心とした円軌道に沿ってセパレータ捲回体10を移動(円運動)させながら、セパレータ12を透過した電磁波RをTDIセンサ4によって検出することができる。これにより、セパレータ捲回体10に対する電磁波Rの照射角度が略均等化されるので、セパレータ捲回体10の厚みに起因するTDIセンサ4の検出位置の誤差を改善することができる。   As shown in FIG. 9B, when the connecting rod 314 of the pedestal 31 moved to the inspection position D1 contacts the outer peripheral surface of the circular transport roll 34, the circular transport roll 34 rotates about the center line A. . For this reason, the electromagnetic wave R transmitted through the separator 12 is detected by the TDI sensor 4 while moving the separator winding body 10 (circular movement) along the circular orbit centered about the radiation source 2 at the inspection position D1. Can do. Thereby, since the irradiation angle of the electromagnetic wave R with respect to the separator winding body 10 is substantially equalized, the error of the detection position of the TDI sensor 4 resulting from the thickness of the separator winding body 10 can be improved.

図10の(a)〜(c)は、欠陥検査装置11が備える回動保持機構35を説明するための模式図である。具体的には、図10の(a)は台座31の支持板312に設けられた回動保持機構35の概略構成を示す側面図であり、図10の(b)は姿勢変更位置C1〜C3における回動板351の姿勢変更を示す上面図であり、図10の(c)は姿勢変更位置C4における回動板351の姿勢変更を示す上面図である。   FIGS. 10A to 10C are schematic views for explaining the rotation holding mechanism 35 provided in the defect inspection apparatus 11. Specifically, FIG. 10A is a side view showing a schematic configuration of the rotation holding mechanism 35 provided on the support plate 312 of the base 31, and FIG. 10B is a posture change position C1 to C3. FIG. 10C is a top view showing the posture change of the rotary plate 351 at the posture change position C4.

図10の(a)に示すように、欠陥検査装置11では、セパレータ捲回体10を回動可能に保持する回動保持機構35が、台座31の支持板312に設けられている。回動保持機構35は、回動軸351aを中心に回動可能なように支持板312に設けられた回動板351、回動板351の上面に突設され、セパレータ捲回体10を保持する保持部材352、および回動板351の下面に突設された複数の姿勢変更棒353a〜353dを含んでいる。   As shown in FIG. 10A, in the defect inspection apparatus 11, a rotation holding mechanism 35 that rotatably holds the separator winding body 10 is provided on the support plate 312 of the base 31. The rotation holding mechanism 35 is provided on a rotation plate 351 provided on the support plate 312 so as to be rotatable about a rotation shaft 351a, and protrudes from the upper surface of the rotation plate 351 to hold the separator winding body 10. And a plurality of posture changing rods 353a to 353d protruding from the lower surface of the rotating plate 351.

姿勢変更棒353a〜353dは、姿勢変更棒353b、姿勢変更棒353c、姿勢変更棒353a・353dの順で長さが短くなっており、姿勢変更棒353aと姿勢変更棒353dとは同じ長さである。   Posture change rods 353a to 353d are shorter in the order of posture change rod 353b, posture change rod 353c, posture change rods 353a and 353d, and posture change rod 353a and posture change rod 353d have the same length. is there.

図10の(b)に示すように、検査位置D1の下流側に設定された姿勢変更位置C1には、姿勢変更棒353bに当接する第1レールr1が略ハの字型に設けられている。この第1レールr1に姿勢変更棒353bが当接することにより、回動板351が約45°回転する。これにより、セパレータ捲回体10の姿勢を、検査位置D1通過時の姿勢(すなわち、投入位置Sにおける初期姿勢)から約45°の回転角度で変更し、続く検査位置D2へ導入することができる。   As shown in FIG. 10B, a first rail r1 that is in contact with the posture changing rod 353b is provided in a substantially square shape at the posture changing position C1 set on the downstream side of the inspection position D1. . When the posture changing rod 353b comes into contact with the first rail r1, the rotating plate 351 rotates about 45 °. Thereby, the attitude | position of the separator winding body 10 can be changed by the rotation angle of about 45 degrees from the attitude | position at the time of inspection position D1 passage (namely, initial position in the injection | pouring position S), and it can introduce into the subsequent inspection position D2. .

また、検査位置D2の下流側に設定された姿勢変更位置C2には、姿勢変更棒353cに当接する第2レールr2が略ハの字型に設けられている。この第2レールr2に姿勢変更棒353cが当接することにより、回動板351がさらに約45°回転する。これにより、セパレータ捲回体10の姿勢を、検査位置D2通過時の姿勢から約45°の回転角度で変更し、続く検査位置D3へ導入することができる。   In addition, at the posture change position C2 set on the downstream side of the inspection position D2, a second rail r2 that comes into contact with the posture change rod 353c is provided in a substantially square shape. When the posture changing rod 353c comes into contact with the second rail r2, the rotating plate 351 further rotates about 45 °. Thereby, the attitude | position of the separator winding body 10 can be changed by the rotation angle of about 45 degrees from the attitude | position at the time of the test | inspection position D2, and it can introduce | transduce into the subsequent test | inspection position D3.

また、検査位置D3の下流側に設定された姿勢変更位置C3には、姿勢変更棒353dに当接する第3レールr3が略ハの字型に設けられている。この第3レールr3に姿勢変更棒353dが当接することにより、回動板351がさらに約45°回転する。これにより、セパレータ捲回体10の姿勢を、検査位置D3通過時の姿勢から約45°の回転角度で変更し、続く検査位置D4へ導入することができる。   In addition, at the posture change position C3 set on the downstream side of the inspection position D3, a third rail r3 that comes into contact with the posture change rod 353d is provided in a substantially square shape. When the posture changing rod 353d comes into contact with the third rail r3, the rotating plate 351 further rotates by about 45 °. Thereby, the attitude | position of the separator winding body 10 can be changed by the rotation angle of about 45 degrees from the attitude | position at the time of the test | inspection position D3 passage, and it can introduce into the subsequent test | inspection position D4.

このように、欠陥検査装置11では、姿勢変更位置C1〜C3においてセパレータ捲回体10を約45°ずつ回転させる。これにより、検査位置D1〜D4においてセパレータ12の異なる領域を4回に分けて撮影し、これらの撮影画像を解析することにより、セパレータ12に異物が混入しているか否かを検査することができる。   Thus, in the defect inspection apparatus 11, the separator winding body 10 is rotated about 45 degrees at posture change position C1-C3. As a result, different regions of the separator 12 are photographed four times at the inspection positions D1 to D4, and it is possible to inspect whether or not foreign matter is mixed in the separator 12 by analyzing these photographed images. .

また、図10の(c)に示すように、取出位置Eから投入位置Sまでの戻り経路(復路)上に設定された姿勢変更位置C4には、姿勢変更棒353bに当接する第4レールr4、および姿勢変更棒353aに当接する第5レールr5が略ハの字型に設けられている。第4レールr4に姿勢変更棒353bが当接し、第5レールr5に姿勢変更棒353aが当接することにより、回動板351が約135°逆回転する。これにより、回動板351を初期姿勢に戻し、投入位置Sへ導入することができる。このように、姿勢変更棒の長さと、レールの高さおよび配置を調整することで、レールはそれぞれ特定の姿勢変更棒のみに当接するように設定されている。   Further, as shown in FIG. 10C, the fourth rail r4 that contacts the posture changing rod 353b is located at the posture changing position C4 set on the return path (return path) from the take-out position E to the loading position S. The fifth rail r5 that contacts the posture changing rod 353a is provided in a substantially square shape. When the posture changing rod 353b comes into contact with the fourth rail r4 and the posture changing rod 353a comes into contact with the fifth rail r5, the rotating plate 351 rotates reversely by about 135 °. As a result, the rotating plate 351 can be returned to the initial posture and introduced into the closing position S. Thus, by adjusting the length of the posture changing rod and the height and arrangement of the rail, the rails are set so as to contact only the specific posture changing rod.

なお、本実施形態では、検査位置D1〜D4においてセパレータ12の異なる領域を4回に分けて撮影する構成について説明した。しかしながら、本発明はこの構成に限定されない。欠陥検査装置11は、セパレータ12の異なる領域を3回以下または5回以上に分けて撮影してもよい。この場合、撮影回数に応じて、検査位置および位置変更位置を設定し、各検査位置における撮影範囲、および各位置変更位置における姿勢変更の角度を調整すればよい。   In the present embodiment, the configuration has been described in which different regions of the separator 12 are imaged in four times at the inspection positions D1 to D4. However, the present invention is not limited to this configuration. The defect inspection apparatus 11 may shoot different areas of the separator 12 by dividing them into three times or less or five times or more. In this case, the inspection position and the position change position may be set according to the number of times of imaging, and the imaging range at each inspection position and the posture change angle at each position change position may be adjusted.

〔欠陥検査装置のまとめ〕
以上のように、本実施形態に係る欠陥検査装置11は、チェーンコンベア33を含む移動機構13を備え、チェーンコンベア33によってセパレータ捲回体10を一方向へ移動させつつ、セパレータ12に異物が混入しているか否かを検査する。
[Summary of defect inspection equipment]
As described above, the defect inspection apparatus 11 according to this embodiment includes the moving mechanism 13 including the chain conveyor 33, and foreign substances are mixed into the separator 12 while moving the separator winding body 10 in one direction by the chain conveyor 33. Inspect whether or not

したがって、本実施形態によれば、欠陥検査に必要なタクトタイムを短縮することが可能な欠陥検査装置11を実現することができる。   Therefore, according to the present embodiment, it is possible to realize the defect inspection apparatus 11 that can shorten the tact time required for defect inspection.

〔欠陥検査装置の変形例〕
図11の(a)および(b)は、欠陥検査装置11が備える台座31の変形例を示す側面図である。具体的には、図11の(a)はセパレータ捲回体10が下降位置にある状態を示し、図11の(b)はセパレータ捲回体10が上昇位置にある状態を示している。
[Deformation of defect inspection system]
FIGS. 11A and 11B are side views showing a modification of the pedestal 31 provided in the defect inspection apparatus 11. Specifically, FIG. 11A shows a state where the separator winding body 10 is in the lowered position, and FIG. 11B shows a state where the separator winding body 10 is in the raised position.

図11の(a)および(b)に示すように、台座31は、セパレータ捲回体10の位置を下降位置または上昇位置に切り替える高さ調整機構36を備えていてもよい。これにより、セパレータ捲回体10が移動する円軌道の回転半径を変更することができる。高さ調整機構36によって線源2からセパレータ12までの距離を変化させることにより、TDIセンサ4による撮影画像の拡大率を変更することができる。   As shown in FIGS. 11A and 11B, the pedestal 31 may include a height adjusting mechanism 36 that switches the position of the separator winding body 10 to the lowered position or the raised position. Thereby, the rotational radius of the circular orbit along which the separator winding body 10 moves can be changed. By changing the distance from the radiation source 2 to the separator 12 by the height adjustment mechanism 36, the magnification of the captured image by the TDI sensor 4 can be changed.

〔実施形態3〕
本発明の他の実施形態について、図12および図13に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
[Embodiment 3]
The following will describe another embodiment of the present invention with reference to FIG. 12 and FIG. For convenience of explanation, members having the same functions as those described in the embodiment are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted.

〔欠陥検査装置の構成〕
図12の(a)〜(h)は、本実施形態3に係る欠陥検査装置21の概略構成および動作状態を模式図である。本実施形態に係る欠陥検査装置21は、第1台座31aおよび第2台座31bを備え、これらをスライドさせることによって、セパレータ12に異物が混入しているか否かを順次検査するものである。
[Configuration of defect inspection equipment]
12A to 12H are schematic diagrams illustrating a schematic configuration and an operation state of the defect inspection apparatus 21 according to the third embodiment. The defect inspection apparatus 21 according to the present embodiment includes a first pedestal 31a and a second pedestal 31b, and sequentially inspects whether or not foreign substances are mixed in the separator 12 by sliding them.

図12の(a)〜(h)に示すように、欠陥検査装置21は、線源2、移動機構23、およびTDIセンサ4を備えている。   As shown in FIGS. 12A to 12H, the defect inspection apparatus 21 includes a radiation source 2, a moving mechanism 23, and a TDI sensor 4.

線源2、およびTDIセンサ4は、検査位置D11に配置されている。欠陥検査装置21では、検査位置D11において、駆動部32によってセパレータ捲回体10が線源2を略中心として複数回にわたって往復移動(単振り子運動)する間に、セパレータ12の異なる領域を複数回撮影する。そして、これらの撮影画像を解析することにより、セパレータ12に異物が混入しているか否かを検査する。   The radiation source 2 and the TDI sensor 4 are disposed at the inspection position D11. In the defect inspection apparatus 21, at the inspection position D <b> 11, while the separator winding body 10 reciprocates a plurality of times (single pendulum motion) around the radiation source 2 by the driving unit 32, different regions of the separator 12 are moved a plurality of times. Take a picture. Then, by analyzing these captured images, it is inspected whether foreign matter is mixed in the separator 12 or not.

この欠陥検査装置21では、図12の(a)に示すように、第1台座31aが第1投入・取出位置C11に位置し、第2台座31bが検査位置D11に位置する初期状態において、第1台座31aに検査前のセパレータ捲回体10をセットする。   In the defect inspection apparatus 21, as shown in FIG. 12A, in the initial state where the first pedestal 31a is located at the first loading / unloading position C11 and the second pedestal 31b is located at the inspection position D11, The separator winding body 10 before the inspection is set on one pedestal 31a.

次に、図12の(b)に示すように、第1台座31aおよび第2台座31bをスライドさせる。これにより、第1台座31aが検査位置D11へ移動し、第2台座31bが第2投入・取出位置C12へ移動する。そして、第1台座31aにセットされたセパレータ捲回体10の検査を開始する。   Next, as shown in FIG. 12B, the first pedestal 31a and the second pedestal 31b are slid. As a result, the first pedestal 31a moves to the inspection position D11, and the second pedestal 31b moves to the second loading / unloading position C12. And the test | inspection of the separator winding body 10 set to the 1st base 31a is started.

次に、図12の(c)に示すように、第1台座31aにセットされたセパレータ捲回体10の検査中に、第2台座31bに検査前のセパレータ捲回体10をセットする。   Next, as shown in FIG. 12C, during the inspection of the separator winding body 10 set on the first pedestal 31a, the separator winding body 10 before the inspection is set on the second pedestal 31b.

次に、図12の(d)に示すように、第1台座31aにセットされたセパレータ捲回体10の検査が終了した場合、第1台座31aおよび第2台座31bをスライドさせる。これにより、第1台座31aが第1投入・取出位置C11へ移動し、第2台座31bが検査位置D11へ移動する。そして、第2台座31bにセットされたセパレータ捲回体10の検査を開始する。   Next, as shown in FIG. 12D, when the inspection of the separator wound body 10 set on the first pedestal 31a is completed, the first pedestal 31a and the second pedestal 31b are slid. Accordingly, the first pedestal 31a moves to the first loading / unloading position C11, and the second pedestal 31b moves to the inspection position D11. And the test | inspection of the separator winding body 10 set to the 2nd base 31b is started.

次に、図12の(e)に示すように、第2台座31bにセットされたセパレータ捲回体10の検査中に、第1台座31aにセットされた検査後のセパレータ捲回体10を取り外す。   Next, as shown in FIG. 12E, during the inspection of the separator winding body 10 set on the second pedestal 31b, the separator winding body 10 after inspection set on the first pedestal 31a is removed. .

次に、図12の(f)に示すように、第2台座31bにセットされたセパレータ捲回体10の検査中に、第1台座31aに検査前のセパレータ捲回体10をセットする。   Next, as shown in FIG. 12 (f), during the inspection of the separator winding body 10 set on the second pedestal 31b, the separator winding body 10 before the inspection is set on the first pedestal 31a.

次に、図12の(g)に示すように、第2台座31bにセットされたセパレータ捲回体10の検査が終了した場合、第1台座31aおよび第2台座31bをスライドさせる。これにより、第1台座31aが検査位置D11へ移動し、第2台座31bが第2投入・取出位置C12へ移動する。   Next, as shown in FIG. 12G, when the inspection of the separator wound body 10 set on the second pedestal 31b is completed, the first pedestal 31a and the second pedestal 31b are slid. As a result, the first pedestal 31a moves to the inspection position D11, and the second pedestal 31b moves to the second loading / unloading position C12.

次に、図12の(h)に示すように、第1台座31aにセットされたセパレータ捲回体10の検査中に、第2台座31bにセットされたセパレータ捲回体10を取り外す。以降、図12の(c)〜図12の(h)に示す動作を繰り返すことにより、セパレータ12に異物が混入しているか否かを順次検査することができる。   Next, as shown in FIG. 12 (h), the separator winding body 10 set on the second pedestal 31b is removed during the inspection of the separator winding body 10 set on the first pedestal 31a. Thereafter, by repeating the operations shown in FIG. 12C to FIG. 12H, it is possible to sequentially inspect whether or not foreign matter is mixed in the separator 12.

〔欠陥検査装置のまとめ〕
以上のように、本実施形態に係る欠陥検査装置21は、第1台座31aおよび第2台座31bをスライドさせる移動機構23を備える。
[Summary of defect inspection equipment]
As described above, the defect inspection apparatus 21 according to this embodiment includes the moving mechanism 23 that slides the first pedestal 31a and the second pedestal 31b.

したがって、本実施形態によれば、欠陥検査に必要なタクトタイムを短縮することが可能な欠陥検査装置21を実現することができる。   Therefore, according to the present embodiment, it is possible to realize the defect inspection apparatus 21 that can shorten the tact time required for defect inspection.

(欠陥検査装置の変形例)
図13は、欠陥検査装置21の変形例を示す側面図である。図13に示すように、欠陥検査装置21aは、4つの台座31、および各台座31を移動させるチェーンコンベア37から構成される移動機構38を備えている。チェーンコンベア37は、チェーン331、および複数のギア(スプロケット)332を含んでいる。
(Modification of defect inspection equipment)
FIG. 13 is a side view showing a modification of the defect inspection apparatus 21. As shown in FIG. 13, the defect inspection apparatus 21 a includes a moving mechanism 38 including four pedestals 31 and a chain conveyor 37 that moves each pedestal 31. The chain conveyor 37 includes a chain 331 and a plurality of gears (sprockets) 332.

この欠陥検査装置11では、まず、投入位置S11の台座31に検査前のセパレータ捲回体10をセットする。   In this defect inspection apparatus 11, first, the separator winding body 10 before inspection is set on the base 31 at the loading position S11.

次に、チェーンコンベア37を前進させ、投入位置S11のセパレータ捲回体10を検査位置D11へ移動させる。   Next, the chain conveyor 37 is moved forward, and the separator winding body 10 at the loading position S11 is moved to the inspection position D11.

次に、チェーンコンベア37を前後進させることにより、線源2を略中心として、セパレータ捲回体10を複数回にわたって往復移動(単振り子運動)させる。また、一往復するごとにセパレータ捲回体10を所定角度ずつ回転させる。これにより、セパレータ12の異なる領域を複数回撮影し、これらの撮影画像を解析することにより、セパレータ12に異物が混入しているか否かを検査する。   Next, by moving the chain conveyor 37 back and forth, the separator winding body 10 is reciprocated a plurality of times (single pendulum motion) about the radiation source 2 as a center. In addition, the separator winding body 10 is rotated by a predetermined angle every time it reciprocates once. Thus, different regions of the separator 12 are photographed a plurality of times, and these photographed images are analyzed to inspect whether or not foreign matter is mixed in the separator 12.

次に、検査位置D11においてセパレータ捲回体10を検査している間に、投入位置S11の台座31に検査前のセパレータ捲回体10をセットする。   Next, while the separator winding body 10 is inspected at the inspection position D11, the separator winding body 10 before inspection is set on the pedestal 31 at the loading position S11.

次に、検査位置D11においてセパレータ捲回体10の検査が終了した場合、チェーンコンベア37を前進させる。これにより、検査後のセパレータ捲回体10が取出位置E11へ移動し、検査前のセパレータ捲回体10が検査位置D11へ移動する。そして、取出位置E11に位置する台座31にセットされた検査後のセパレータ捲回体10を取り外すとともに、投入位置S11の台座31に検査前のセパレータ捲回体10をセットする。   Next, when the inspection of the separator wound body 10 is completed at the inspection position D11, the chain conveyor 37 is advanced. Thereby, the separator winding body 10 after an inspection moves to the taking-out position E11, and the separator winding body 10 before an inspection moves to the inspection position D11. And while removing the separator winding body 10 after the inspection set to the base 31 located in the extraction position E11, the separator winding body 10 before the inspection is set to the base 31 at the loading position S11.

以上の動作を繰り返すことにより、セパレータ12に異物が混入しているか否かを順次検査することができる。   By repeating the above operation, it is possible to sequentially inspect whether or not foreign material is mixed in the separator 12.

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope shown in the claims, and embodiments obtained by appropriately combining technical means disclosed in different embodiments. Is also included in the technical scope of the present invention.

1 欠陥検査装置(検査装置)
2 線源
3、3a、3b、13、23、38 移動機構
4 TDIセンサ
8 コア
10 セパレータ捲回体(検査対象物・フィルム捲回体)
C 円軌道
12 セパレータ(フィルム)
P1 第1地点
P2 第2地点
R 電磁波(X線)
1 Defect inspection equipment (inspection equipment)
2 Radiation source 3, 3a, 3b, 13, 23, 38 Movement mechanism 4 TDI sensor 8 Core 10 Separator winding body (inspection object / film winding body)
C Circular orbit 12 Separator (film)
P1 First point P2 Second point R Electromagnetic wave (X-ray)

Claims (14)

検査対象物に対し、前記検査対象物の厚み方向から電磁波を放射状に出射する線源と、
前記検査対象物に対して前記線源とは反対側に設置され、前記検査対象物を透過した前記電磁波を検出するTDIセンサと、
前記線源と、前記検査対象物および前記TDIセンサと、の距離を略一定に保ちながら、前記検査対象物における検査領域を移動させる移動機構と、
を備える検査装置。
For the inspection object, a radiation source that emits electromagnetic waves radially from the thickness direction of the inspection object;
A TDI sensor which is installed on the opposite side of the radiation source with respect to the inspection object and detects the electromagnetic wave transmitted through the inspection object;
A moving mechanism for moving an inspection region in the inspection object while keeping the distance between the radiation source, the inspection object and the TDI sensor substantially constant;
An inspection apparatus comprising:
前記移動機構は、前記線源を略中心とした円軌道に沿って、前記検査対象物を移動させる請求項1に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 1, wherein the moving mechanism moves the inspection object along a circular orbit centered about the radiation source. 前記移動機構は、前記円軌道上に位置する第1地点と第2地点との間で前記検査対象物を複数回にわたって往復移動させる請求項2に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 2, wherein the moving mechanism reciprocates the inspection object a plurality of times between a first point and a second point located on the circular orbit. 前記TDIセンサは、前記第1地点から前記第2地点へ向けて前記検査対象物が移動する間に前記検査対象物を透過した前記電磁波を検出する請求項3に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 3, wherein the TDI sensor detects the electromagnetic wave transmitted through the inspection object while the inspection object moves from the first point toward the second point. 前記移動機構は、前記第2地点から前記第1地点へ前記検査対象物が移動する間に前記厚み方向に伸びる軸を略中心として前記検査対象物を回転させる請求項4に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 4, wherein the moving mechanism rotates the inspection object about an axis extending in the thickness direction while the inspection object moves from the second point to the first point. 前記TDIセンサは、前記第1地点から前記第2地点へ向けて前記検査対象物が移動する間、および前記第2地点から前記第1地点へ向けて前記検査対象物が移動する間に前記検査対象物を透過した前記電磁波を検出する請求項3に記載の検査装置。   The TDI sensor detects the inspection while the inspection object moves from the first point toward the second point and while the inspection object moves from the second point toward the first point. The inspection apparatus according to claim 3, wherein the electromagnetic wave transmitted through the object is detected. 前記移動機構は、前記検査対象物が前記第1地点から前記第2地点に到達した際、および前記検査対象物が前記第2地点から前記第1地点に到達した際に前記厚み方向に伸びる軸を略中心として前記検査対象物を回転させる請求項6に記載の検査装置。   The moving mechanism is an axis extending in the thickness direction when the inspection object reaches the second point from the first point and when the inspection object reaches the first point from the second point. The inspection apparatus according to claim 6, wherein the inspection object is rotated about the center. 前記検査対象物は、前記厚み方向から見た場合の外形が略円形である請求項1から7のいずれか1項に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection object has a substantially circular outer shape when viewed from the thickness direction. 前記検査対象物は、円筒形状のコアと、前記コアの外周面に巻かれたフィルムとを備えたフィルム捲回体である請求項8に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 8, wherein the inspection object is a film winding body including a cylindrical core and a film wound around an outer peripheral surface of the core. 前記電磁波は、X線である請求項1から9のいずれか1項に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 1, wherein the electromagnetic wave is an X-ray. 検査対象物に対し、前記検査対象物の厚み方向から電磁波を線源から放射状に出射する出射工程と、
前記検査対象物における検査領域を移動させる移動工程と、
前記検査対象物を透過した前記電磁波をTDIセンサによって検出する検出工程とを含み、
前記移動工程にて、前記線源と、前記検査対象物および前記TDIセンサと、の距離を略一定に保ちながら、前記検査領域を移動させる検査方法。
For the inspection object, an emission step of emitting electromagnetic waves radially from the radiation source from the thickness direction of the inspection object;
A moving step of moving the inspection area in the inspection object;
Detecting the electromagnetic wave transmitted through the inspection object with a TDI sensor,
An inspection method for moving the inspection region while maintaining a substantially constant distance between the radiation source, the inspection object, and the TDI sensor in the moving step.
請求項11に記載の検査方法によって、円筒形状のコアと、前記コアの外周面に巻かれたフィルムとを備えたフィルム捲回体に対し、前記フィルムの欠陥を検査する欠陥検査工程を含むフィルム捲回体の製造方法。   A film including a defect inspection step of inspecting a defect of the film with respect to a film winding body including a cylindrical core and a film wound around an outer peripheral surface of the core by the inspection method according to claim 11. A method of manufacturing a wound body. 前記フィルムよりも幅が広い原反から前記フィルムをスリットするスリット工程と、
前記スリット工程にてスリットされた前記フィルムを、前記コアに捲回することで前記フィルム捲回体を得るフィルム捲回工程と、
前記フィルム捲回工程にて製造された前記フィルム捲回体を包装する包装工程とを有し、
前記欠陥検査工程は、前記スリット工程の後、前記包装工程の前に設けられている請求項12に記載のフィルム捲回体の製造方法。
A slitting process for slitting the film from a raw material wider than the film,
A film winding step of obtaining the film winding body by winding the film slit in the slit step on the core;
A packaging step of packaging the film winding body manufactured in the film winding step,
The manufacturing method of the film winding body of Claim 12 with which the said defect inspection process is provided before the said packaging process after the said slit process.
前記欠陥検査工程にて、100μm以上の異物の有無を検査する請求項12または13に記載のフィルム捲回体の製造方法。   The method for producing a film winding body according to claim 12 or 13, wherein in the defect inspection step, the presence or absence of a foreign matter of 100 µm or more is inspected.
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