JP2018142443A - Inspection method for electrode, and inspection device for electrode - Google Patents

Inspection method for electrode, and inspection device for electrode Download PDF

Info

Publication number
JP2018142443A
JP2018142443A JP2017035337A JP2017035337A JP2018142443A JP 2018142443 A JP2018142443 A JP 2018142443A JP 2017035337 A JP2017035337 A JP 2017035337A JP 2017035337 A JP2017035337 A JP 2017035337A JP 2018142443 A JP2018142443 A JP 2018142443A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
coating
active material
fluorescent
strip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2017035337A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
文隆 早川
Fumitaka Hayakawa
文隆 早川
木下 恭一
Kyoichi Kinoshita
恭一 木下
慎一 近藤
Shinichi Kondo
慎一 近藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Industries Corp
Original Assignee
Toyota Industries Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Industries Corp filed Critical Toyota Industries Corp
Priority to JP2017035337A priority Critical patent/JP2018142443A/en
Publication of JP2018142443A publication Critical patent/JP2018142443A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/10Energy storage using batteries

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection device for an electrode capable of accurately inspecting a formation state of a coating part of a coating layer material.SOLUTION: An inspection method for a negative electrode includes a detection step, a measurement step and a discrimination step. In the detection step, a belt-like electrode 19 comprising a metal foil 11 in a long belt shape, an anode active material layer 12 existing on both surfaces of a metal foil 11 and a coating part 18 that is a precursor of a protection layer formed by coating a surface of the anode active material layer 12 with a ceramic slurry is conveyed in a length direction. With respect to a spot of the belt-like electrode 19 where the belt-like electrode is conveyed while being supported in such a manner that a side view of the belt-like electrode in a length direction becomes arcuate, a fluorescent X-ray detection device 41 is oscillated in a width direction of the belt-like electrode 19 with a center C of a circular arc L defined as an axis, and a fluorescent X ray generated from the belt-like electrode 19 is detected. In the measurement step, an energy strength of aluminum contained in the coating part 18 of the belt-like electrode 19 is measured from the detected fluorescent X ray. In the discrimination step, based on the energy strength, the quality of a formation state of the coating part 18 in the belt-like electrode 19 is discriminated.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、集電体と、集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、活物質層の表面に存在する被覆層とを有する電極の検査方法及び検査装置に関する。   The present invention relates to an electrode inspection method and inspection apparatus having a current collector, an active material layer present on both or one side of the current collector, and a coating layer present on the surface of the active material layer.

蓄電装置としての二次電池に使用される電極の一例として、集電体としての金属箔と、金属箔の両面又は片面に存在する活物質層と、活物質層の表面に存在する被覆層としての保護層とを有する電極が知られている(例えば、特許文献1参照)。このような構成の電極では、被覆層材料としての保護層材料の塗工部の形成状態が良好か否かを検査する必要がある。特許文献1では、活物質層及び保護層材料の塗工部が形成された金属箔から発生した蛍光X線を測定し、その測定結果から保護層材料の塗工部の厚み(目付量)を取得して、塗工部の形成状態が良好か否かを検査している。   As an example of an electrode used for a secondary battery as a power storage device, a metal foil as a current collector, an active material layer present on both surfaces or one surface of the metal foil, and a coating layer present on the surface of the active material layer An electrode having a protective layer is known (see, for example, Patent Document 1). In the electrode having such a configuration, it is necessary to inspect whether or not the formation state of the coating portion of the protective layer material as the coating layer material is good. In Patent Document 1, fluorescent X-rays generated from a metal foil on which an active material layer and a protective layer material coating part are formed are measured, and the thickness (weight per unit area) of the protective layer material coating part is determined from the measurement result. Acquired and inspected whether the formation state of the coated part is good.

特開2009−193906号公報JP 2009-193906 A

このような塗工部の形成状態の検査では、高精度の検査が望まれている。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、被覆層材料の塗工部の形成状態を精度良く検査できる電極の検査方法、及び電極の検査装置を提供することにある。
In the inspection of the formation state of such a coating part, a highly accurate inspection is desired.
The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide an electrode inspection method and an electrode inspection apparatus that can accurately inspect the formation state of the coating portion of the coating layer material. It is in.

上記課題を解決する電極の検査方法は、集電体と、前記集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、前記活物質層の表面を覆う被覆層とを有する電極の検査方法であって、長尺帯状の集電体と、前記長尺帯状の集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、前記活物質層の表面に被覆層材料が塗工されて形成された前記被覆層の前駆体である塗工部とを有する帯状電極を長手方向に搬送し、前記長手方向から見た前記帯状電極の側面視が円弧となるように支持した状態で搬送された箇所に対し、蛍光X線検出装置を前記円弧の中心を軸として前記帯状電極の短手方向に揺動させ、前記帯状電極から発生する蛍光X線を検出する検出工程と、前記蛍光X線から、前記帯状電極の塗工部に含まれる元素のエネルギ強度を測定する測定工程と、前記エネルギ強度に基づいて、前記帯状電極の塗工部の形成状態の良否を判定する判定工程とを含むことを要旨とする。   An electrode inspection method that solves the above problem is an electrode inspection method that includes a current collector, an active material layer that is present on both or one side of the current collector, and a coating layer that covers the surface of the active material layer. The elongated strip-shaped current collector, the active material layer existing on both sides or one side of the elongated strip-shaped current collector, and a coating layer material applied to the surface of the active material layer were formed. A belt-shaped electrode having a coating portion that is a precursor of the coating layer is transported in the longitudinal direction, and is transported in a state where the strip-shaped electrode viewed from the longitudinal direction is supported so that a side view is an arc. On the other hand, the fluorescent X-ray detection device is swung in the short direction of the strip electrode with the center of the arc as an axis to detect the fluorescent X-ray generated from the strip electrode, and from the fluorescent X-ray, A measuring process for measuring the energy intensity of the elements contained in the coated part of the strip electrode, Based on the energy intensity is summarized in that comprising a determination step of determining the quality of the formation state of the coated portion of the strip electrodes.

これによれば、検出工程において帯状電極の塗工部と蛍光X線検出装置との距離を一定にできるため、検出結果のばらつきが抑制され、蛍光X線の定量的な検出が可能となる。よって、被覆層材料の塗工部の形成状態を精度良く検査できる。   According to this, since the distance between the strip electrode application portion and the fluorescent X-ray detection device can be made constant in the detection step, variation in detection results is suppressed, and quantitative detection of fluorescent X-rays becomes possible. Therefore, the formation state of the coating part of coating layer material can be test | inspected accurately.

また、電極の検査方法について、前記検出工程の最中に、前記帯状電極の塗工部に向けてガスを噴射するガス噴射工程を含むのが好ましい。
これによれば、帯状電極の塗工部と蛍光X線検出装置との間の雰囲気を一定に保つことができるため、検出結果のばらつきが抑制される。よって、被覆層材料の塗工部の形成状態を精度良く検査できる。また、帯状電極が円弧状に支持されていることで、円弧の内側のガスが逃げ出しづらくなり、雰囲気をより一定に保ちやすくなる。
Moreover, about the inspection method of an electrode, it is preferable to include the gas injection process which injects gas toward the coating part of the said strip | belt-shaped electrode in the middle of the said detection process.
According to this, since the atmosphere between the coating part of the belt-like electrode and the fluorescent X-ray detection device can be kept constant, the variation in detection results is suppressed. Therefore, the formation state of the coating part of coating layer material can be test | inspected accurately. Further, since the belt-like electrode is supported in an arc shape, the gas inside the arc does not easily escape, and the atmosphere is more easily maintained.

また、電極の検査方法について、前記ガス噴射工程は、前記帯状電極の塗工部を乾燥させる乾燥工程の一部を兼ねるのが好ましい。
電極の検査は、被覆層材料を塗工して電極を製造する途中に行われる。帯状電極の塗工部と蛍光X線検出装置との間の雰囲気を一定に保つためにガスを噴射することで被覆層材料の乾燥が促進されるため、塗工部の形成状態を検査しつつ、塗工部が形成された帯状電極の生産性を向上できる。また、高温のガスを用いた場合、帯状電極が円弧状に支持されていることで、円弧の内側のガスの温度が低下しづらくなり、塗工部の乾燥をより効果的に行うことができる。
Moreover, about the inspection method of an electrode, it is preferable that the said gas injection process also serves as a part of drying process which dries the coating part of the said strip electrode.
The inspection of the electrode is performed during the production of the electrode by applying the coating layer material. Since the drying of the coating layer material is promoted by injecting gas in order to keep the atmosphere between the coating portion of the strip electrode and the fluorescent X-ray detection device constant, while checking the formation state of the coating portion The productivity of the strip electrode on which the coating part is formed can be improved. In addition, when a high-temperature gas is used, since the strip electrode is supported in an arc shape, the temperature of the gas inside the arc is not easily lowered, and the coating part can be dried more effectively. .

また、電極の検査方法について、前記検出工程において、前記蛍光X線検出装置を連続的に揺動させるのが好ましい。
これによれば、帯状電極の被覆層材料の塗工部を長手方向及び短手方向全体で検査することができる。
In the electrode inspection method, it is preferable that the fluorescent X-ray detection device is continuously swung in the detection step.
According to this, the coating part of the coating layer material of the strip electrode can be inspected in the entire longitudinal direction and the short direction.

また、電極の検査方法について、前記被覆層は、前記活物質層を保護する保護層であるのが好ましい。
これによれば、保護層材料の塗工状態を精度良く検査できる。保護層は、活物質層を有する複数の電極を積層した際に電極間を絶縁させる絶縁機能を有するため、保護層材料の塗工状態を検査することは重要である。
Moreover, about the inspection method of an electrode, it is preferable that the said coating layer is a protective layer which protects the said active material layer.
According to this, the coating state of the protective layer material can be accurately inspected. Since the protective layer has an insulating function to insulate between the electrodes when a plurality of electrodes having an active material layer are stacked, it is important to inspect the coating state of the protective layer material.

また、電極の検査方法について、前記測定工程においてエネルギ強度を測定される元素は、原子番号3〜20の軽元素であるのが好ましい。
これによれば、保護層材料の主成分を生成できる原子番号3以上、電極の重量エネルギ密度を低下させない原子番号20以下の軽元素から発せられる蛍光X線のエネルギ強度によって、保護層材料の塗工部の形成状態を検査することができる。
Regarding the electrode inspection method, the element whose energy intensity is measured in the measurement step is preferably a light element having an atomic number of 3 to 20.
According to this, the coating of the protective layer material is performed by the energy intensity of fluorescent X-rays emitted from a light element having an atomic number of 3 or more that can generate the main component of the protective layer material and an atomic number of 20 or less that does not decrease the weight energy density of the electrode. The formation state of the working part can be inspected.

また、電極の検査方法について、前記電極は、負極電極であり、前記軽元素は、アルミニウムであるのが好ましい。
一般に、保護層は負極電極に形成されることが多く、またアルミニウムを含むことが多いため、アルミニウムから発せられる蛍光X線のエネルギ強度によって、負極電極に形成された保護層材料の塗工部の形成状態を検査することができる。
Regarding the electrode inspection method, the electrode is preferably a negative electrode, and the light element is preferably aluminum.
Generally, since the protective layer is often formed on the negative electrode and often contains aluminum, the protective layer material applied to the negative electrode is formed by the energy intensity of fluorescent X-rays emitted from aluminum. The formation state can be inspected.

上記課題を解決する電極の検査装置は、集電体と、前記集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、前記活物質層の表面を覆う被覆層とを有する電極の検査装置であって、長尺帯状の集電体と、前記長尺帯状の集電体の両面又は片面を覆う活物質層と、前記活物質層の表面に被覆層材料が塗工されて形成された前記被覆層の前駆体である塗工部とを有する帯状電極を長手方向に搬送する搬送装置と、前記帯状電極から発生する蛍光X線を検出する蛍光X線検出装置と、前記蛍光X線から、前記帯状電極の塗工部に含まれる元素のエネルギ強度を測定する測定部と、前記エネルギ強度に基づいて、前記帯状電極の塗工部の形成状態の良否を判定する判定装置とを備え、前記搬送装置は、前記帯状電極を支持する支持部材を有し、前記支持部材は、前記帯状電極を前記長手方向から見た側面視において円弧状をなす支持凹部を有し、前記蛍光X線検出装置は、前記支持凹部の円弧の中心を軸として前記帯状電極の短手方向に揺動可能であることを要旨とする。   An electrode inspection apparatus that solves the above-described problems is an electrode inspection apparatus that includes a current collector, an active material layer that is present on one or both surfaces of the current collector, and a coating layer that covers the surface of the active material layer. A long strip-shaped current collector, an active material layer covering both surfaces or one surface of the long strip-shaped current collector, and a coating layer material applied to the surface of the active material layer. From a conveying device that conveys a strip electrode having a coating portion that is a precursor of a coating layer in the longitudinal direction, a fluorescent X-ray detection device that detects fluorescent X-rays generated from the strip electrode, and the fluorescent X-ray, A measurement unit that measures the energy intensity of an element contained in the coating part of the strip electrode, and a determination device that determines the quality of the formation state of the coating part of the strip electrode based on the energy intensity, The transport device includes a support member that supports the belt-like electrode, and the support member And a support concave portion having an arc shape in a side view when the belt-like electrode is viewed from the longitudinal direction, and the X-ray fluorescence detector is arranged in a short direction of the belt-like electrode with the center of the arc of the support concave portion as an axis. The gist is that it can swing.

これによれば、円弧状に支持された帯状電極の塗工部と蛍光X線検出装置との距離を一定にできるため、検出結果のばらつきが抑制され、蛍光X線の定量的な検出が可能となる。よって、被覆層材料の塗工部の形成状態を精度良く検査できる。   According to this, since the distance between the coating portion of the strip-shaped electrode supported in an arc shape and the fluorescent X-ray detection device can be made constant, variations in detection results are suppressed, and quantitative detection of fluorescent X-rays is possible. It becomes. Therefore, the formation state of the coating part of coating layer material can be test | inspected accurately.

また、電極の検査装置について、前記帯状電極の塗工部のうち前記蛍光X線の検出が行われる部分に向けてガスを噴射するガス噴射装置を備えるのが好ましい。
これによれば、帯状電極の塗工部と蛍光X線検出装置との間の雰囲気を一定に保つことができるため、検出結果のばらつきが抑制される。よって、被覆層材料の塗工部の形成状態を精度良く検査できる。また、支持凹部が帯状電極を円弧状に支持することで、円弧の内側のガスが逃げ出しづらくなり、雰囲気をより一定に保ちやすくなる。
In addition, the electrode inspection apparatus preferably includes a gas injection device that injects gas toward a portion where the fluorescent X-ray is detected in the coating portion of the strip electrode.
According to this, since the atmosphere between the coating part of the belt-like electrode and the fluorescent X-ray detection device can be kept constant, the variation in detection results is suppressed. Therefore, the formation state of the coating part of coating layer material can be test | inspected accurately. In addition, since the support concave portion supports the belt-like electrode in an arc shape, the gas inside the arc does not easily escape and the atmosphere is more easily maintained.

本発明によれば、被覆層材料の塗工部の形成状態を精度良く検査できる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the formation state of the coating part of coating layer material can be test | inspected accurately.

電極の斜視図。The perspective view of an electrode. 保護層形成工程を示す概略側面図。The schematic side view which shows a protective layer formation process. 保護層形成工程における検出工程を示す概略断面図。The schematic sectional drawing which shows the detection process in a protective layer formation process. 保護層形成工程における検出工程を示す斜視図。The perspective view which shows the detection process in a protective layer formation process. 別例の搬送装置の支持部材を示す斜視図。The perspective view which shows the supporting member of the conveying apparatus of another example.

以下、電極の検査方法を二次電池用の電極の検査方法に具体化した一実施形態を図1〜図4を参照して説明する。
この実施形態の検査方法によって検査される電極を使用した蓄電装置としての二次電池は、図示しないが、外観が角型をなす角型電池であり、リチウムイオン二次電池である。この二次電池は、ケース内に電極組立体を備える。電極組立体は、電極としての複数の正極電極と、複数の負極電極を備える。電極組立体は、正極電極と負極電極とが、両者の間を、セパレータで絶縁した状態で交互に積層されて構成されている。以下、検査される電極を負極電極に具体化し、その構成及び検査方法について説明する。
Hereinafter, an embodiment in which an electrode inspection method is embodied as an electrode inspection method for a secondary battery will be described with reference to FIGS.
Although not shown, a secondary battery as a power storage device using an electrode to be inspected by the inspection method of this embodiment is a square battery having a rectangular external appearance, and is a lithium ion secondary battery. This secondary battery includes an electrode assembly in a case. The electrode assembly includes a plurality of positive electrodes as electrodes and a plurality of negative electrodes. The electrode assembly is configured by alternately laminating positive electrodes and negative electrodes in a state where they are insulated by a separator. Hereinafter, the electrode to be inspected is embodied as a negative electrode, and the configuration and the inspection method will be described.

図1に示すように、二次電池用の負極電極10は、集電体としての矩形状の金属箔11と、金属箔11の両面に存在する活物質層としての負極活物質層12とを備える。金属箔11は、後の検査に用いられる元素としてのアルミニウムを含まない金属(例えば、銅)で構成される。負極電極10は、その一辺に沿って、負極活物質層12が存在せず、金属箔11が露出した未塗工部13を有する。そして、負極電極10において、未塗工部13の一部には、集電タブ14が突出する状態に存在する。負極電極10は、負極活物質層12の表面全体を覆う被覆層としての保護層15を備える。保護層15は、正極電極と負極電極10を絶縁させる絶縁機能を有する。保護層15は、セラミック粒子としてのアルミナ粒子と樹脂製のバインダとを含み、バインダを介してアルミナ粒子同士、又はアルミナ粒子と負極活物質層12表面の活物質粒子とが結合して層構造を有する。アルミナ粒子を主成分とする保護層15の耐熱温度は、樹脂製のセパレータよりも高い。また、保護層15は、アルミナ粒子を主成分とするため、元素の中でも軽元素であるアルミニウムを主成分として含む。   As shown in FIG. 1, a negative electrode 10 for a secondary battery includes a rectangular metal foil 11 as a current collector and a negative electrode active material layer 12 as an active material layer present on both surfaces of the metal foil 11. Prepare. The metal foil 11 is made of a metal (for example, copper) that does not contain aluminum as an element used for later inspection. The negative electrode 10 has an uncoated portion 13 along which the negative electrode active material layer 12 is not present and the metal foil 11 is exposed. And in the negative electrode 10, the current collection tab 14 exists in the state which protrudes in a part of uncoated part 13. FIG. The negative electrode 10 includes a protective layer 15 as a coating layer that covers the entire surface of the negative electrode active material layer 12. The protective layer 15 has an insulating function for insulating the positive electrode and the negative electrode 10. The protective layer 15 includes alumina particles as ceramic particles and a resin binder, and the alumina particles or the alumina particles and the active material particles on the surface of the negative electrode active material layer 12 are bonded via the binder to form a layer structure. Have. The heat-resistant temperature of the protective layer 15 mainly composed of alumina particles is higher than that of a resin separator. Moreover, since the protective layer 15 has alumina particles as a main component, it contains aluminum which is a light element among the elements as a main component.

次に、負極電極10の製造工程について説明する。負極電極10の製造工程は、長尺帯状の金属箔11の両面に負極活物質層12を形成する活物質層形成工程と、負極活物質層12の表面に保護層15を形成する被覆層形成工程としての保護層形成工程と、負極活物質層12及び保護層15が形成された金属箔11を負極電極10の形状に切断する切断工程とを含む。   Next, the manufacturing process of the negative electrode 10 will be described. The manufacturing process of the negative electrode 10 includes an active material layer forming process in which the negative electrode active material layer 12 is formed on both surfaces of the long metal foil 11, and a coating layer forming in which the protective layer 15 is formed on the surface of the negative electrode active material layer 12. A protective layer forming step as a step and a cutting step of cutting the metal foil 11 on which the negative electrode active material layer 12 and the protective layer 15 are formed into the shape of the negative electrode 10 are included.

図示しないが、活物質層形成工程は、塗布工程、乾燥工程、及びプレス工程を含む。塗布工程は、長尺帯状の金属箔11の片面に活物質ペーストを塗工する工程である。ただし、後に未塗工部13となる部分には活物質ペーストを塗工しない。乾燥工程は、塗工された活物質ペーストを乾燥させ、負極活物質層前駆体を形成する工程である。プレス工程は、乾燥工程後、負極活物質層前駆体が形成された金属箔11をロールプレス機に通すことで、負極活物質層前駆体の活物質密度を上げる工程である。これにより、帯状の金属箔11の一方の面には、所定の密度と厚みを有する負極活物質層12が形成される。また、金属箔11の他方の面についても同様に負極活物質層12を形成する。活物質層形成工程にて、両面に負極活物質層12が形成された長尺帯状の金属箔11は電極材料16となる。以下、電極材料16の長手方向と直交し、かつ電極材料16の面に沿う方向を短手方向とする。   Although not shown, the active material layer forming step includes a coating step, a drying step, and a pressing step. The application step is a step of applying an active material paste to one side of the long strip-shaped metal foil 11. However, the active material paste is not applied to the portion that will later become the uncoated portion 13. The drying step is a step of drying the coated active material paste to form a negative electrode active material layer precursor. A press process is a process of raising the active material density of a negative electrode active material layer precursor by letting the metal foil 11 in which the negative electrode active material layer precursor was formed pass a roll press machine after a drying process. Thereby, the negative electrode active material layer 12 having a predetermined density and thickness is formed on one surface of the strip-shaped metal foil 11. Similarly, the negative electrode active material layer 12 is formed on the other surface of the metal foil 11. In the active material layer forming step, the long strip-shaped metal foil 11 having the negative electrode active material layer 12 formed on both surfaces becomes the electrode material 16. Hereinafter, a direction perpendicular to the longitudinal direction of the electrode material 16 and along the surface of the electrode material 16 is defined as a short direction.

図2に示すように、保護層形成工程は、塗工工程、検査工程、及び乾燥工程を含む。塗工工程は、電極材料16を長手方向に搬送しながら、電極材料16の負極活物質層12の表面に被覆層材料としての保護層材料であるセラミックスラリー17を塗工し、保護層15の前駆体となる塗工部18を形成する工程である。よって、塗工部18は、セラミックスラリー17の塗工によって形成される。検査工程は、塗工工程で形成された塗工部18の形成状態を検査する工程である。   As shown in FIG. 2, the protective layer forming process includes a coating process, an inspection process, and a drying process. In the coating process, while conveying the electrode material 16 in the longitudinal direction, a ceramic slurry 17 that is a protective layer material as a coating layer material is applied to the surface of the negative electrode active material layer 12 of the electrode material 16, This is a step of forming the coating portion 18 to be a precursor. Therefore, the coating part 18 is formed by the coating of the ceramic slurry 17. The inspection step is a step of inspecting the formation state of the coating part 18 formed in the coating step.

保護層形成工程に用いる搬送装置20は、供給リール21と、巻取リール22と、複数のガイドロール23と、支持部材としての搬送ロール24とを備える。供給リール21は、塗工工程よりも上流側の場所に配置され、巻取リール22は、乾燥工程よりも下流側の場所に配置されている。ガイドロール23は、供給リール21と巻取リール22の間の場所に配置されている。供給リール21、巻取リール22、及びガイドロール23は、図示しない支持装置によって回転可能に支持されている。電極材料16は、供給リール21に巻回されている。供給リール21から供給された電極材料16は、巻取リール22に巻き取られる。   The transport device 20 used in the protective layer forming step includes a supply reel 21, a take-up reel 22, a plurality of guide rolls 23, and a transport roll 24 as a support member. The supply reel 21 is disposed at a location upstream of the coating process, and the take-up reel 22 is disposed at a location downstream of the drying process. The guide roll 23 is disposed at a location between the supply reel 21 and the take-up reel 22. The supply reel 21, the take-up reel 22, and the guide roll 23 are rotatably supported by a support device (not shown). The electrode material 16 is wound around the supply reel 21. The electrode material 16 supplied from the supply reel 21 is taken up by the take-up reel 22.

図4に示すように、搬送ロール24は、検査工程に配置されている。搬送ロール24は、図示しない支持装置によって回転可能に支持されている。搬送ロール24は、全周に亘って存在する支持凹部24aを有する。支持凹部24aは、搬送ロール24の直径が回転軸方向両端部から中央にかけて曲線的に小さくなることで構成されている。支持凹部24aは、搬送ロール24の回転軸方向両端より内側にある。電極材料16の長手方向から見た側面視において、支持凹部24aは円弧状をなしている。凹部61aの表面に固形潤滑剤等を塗布して表面コートを施してもよいし施さなくてもよい。支持凹部24aの円弧Lの中心を中心Cとする。電極材料16は、搬送ロール24によって支持される際、支持凹部24aに沿って円弧状に変形させた状態で支持される。また、搬送ロール24が回転することによって、電極材料16は長手方向に搬送される。   As shown in FIG. 4, the transport roll 24 is arranged in the inspection process. The transport roll 24 is rotatably supported by a support device (not shown). The transport roll 24 has a support recess 24a that exists over the entire circumference. The support recess 24a is configured such that the diameter of the transport roll 24 decreases in a curved manner from both ends in the rotation axis direction to the center. The support recesses 24 a are on the inner side than both ends of the transport roll 24 in the rotation axis direction. In the side view as seen from the longitudinal direction of the electrode material 16, the support recess 24a has an arc shape. A surface lubricant may or may not be applied by applying a solid lubricant or the like to the surface of the recess 61a. The center of the arc L of the support recess 24a is defined as the center C. When the electrode material 16 is supported by the transport roll 24, the electrode material 16 is supported in a state of being deformed in an arc shape along the support recess 24a. Moreover, the electrode material 16 is conveyed in a longitudinal direction by the conveyance roll 24 rotating.

塗工工程を行う塗工装置は、グラビア塗工装置30である。グラビア塗工装置30は、セラミックスラリー17の貯留部31と、円柱状のグラビアロール32と、グラビアロール32と電極材料16を間に挟んで対向するバックロール33とを備える。貯留部31にて貯留されるセラミックスラリー17は、アルミナ粒子と例えばPVDF(ポリフッ化ビニリデン)などのバインダとを、水又はNMP(Nメチルピロリドン)などの非水溶媒により混練することで得る。なお、セラミックスラリー17に含まれるアルミナ粒子の濃度は均一にされている。   The coating apparatus that performs the coating process is a gravure coating apparatus 30. The gravure coating apparatus 30 includes a storage portion 31 for the ceramic slurry 17, a cylindrical gravure roll 32, and a back roll 33 that faces the gravure roll 32 and the electrode material 16. The ceramic slurry 17 stored in the storage unit 31 is obtained by kneading alumina particles and a binder such as PVDF (polyvinylidene fluoride) with water or a nonaqueous solvent such as NMP (N methylpyrrolidone). The concentration of alumina particles contained in the ceramic slurry 17 is made uniform.

図示しないが、グラビアロール32の外周面には、斜線型のグラビアパターンが彫刻されている。このため、グラビアロール32は、軸方向に対し斜めに延びる溝32aを有する。また、グラビアロール32は、外周面の一部が常に貯留部31内に露出する状態に支持されている。   Although not shown, an oblique gravure pattern is engraved on the outer peripheral surface of the gravure roll 32. For this reason, the gravure roll 32 has the groove | channel 32a extended diagonally with respect to an axial direction. Further, the gravure roll 32 is supported in a state where a part of the outer peripheral surface is always exposed in the storage portion 31.

このようなグラビアロール32は、モータ34によって回転駆動される。モータ34には、制御装置35が接続されている。モータ34は、制御装置35によって回転数が制御される。グラビアロール32が回転することにより、貯留部31内のセラミックスラリー17は、グラビアロール32の溝32a内に入り込みつつグラビアパターンの表面に付着する。グラビアパターンの表面に付着したセラミックスラリー17は、グラビアロール32の回転によって、貯留部31内から電極材料16に向けて搬送される。そして、塗工位置Pにおいて、搬送されたセラミックスラリー17は、供給リール21から供給された電極材料16の負極活物質層12の表面に接触する。これにより、負極活物質層12の表面にセラミックスラリー17が塗工され、塗工部18が形成される。上述したように、セラミックスラリー17におけるアルミナ粒子の濃度は一定であるため、塗工部18におけるアルミニウムの濃度も一定である。塗工部18が形成された電極材料16は、帯状電極19となる。   Such a gravure roll 32 is rotationally driven by a motor 34. A controller 35 is connected to the motor 34. The rotation speed of the motor 34 is controlled by the control device 35. As the gravure roll 32 rotates, the ceramic slurry 17 in the reservoir 31 adheres to the surface of the gravure pattern while entering the groove 32a of the gravure roll 32. The ceramic slurry 17 adhering to the surface of the gravure pattern is conveyed toward the electrode material 16 from the storage unit 31 by the rotation of the gravure roll 32. At the coating position P, the conveyed ceramic slurry 17 contacts the surface of the negative electrode active material layer 12 of the electrode material 16 supplied from the supply reel 21. As a result, the ceramic slurry 17 is applied to the surface of the negative electrode active material layer 12 to form a coating portion 18. As described above, since the concentration of alumina particles in the ceramic slurry 17 is constant, the concentration of aluminum in the coating part 18 is also constant. The electrode material 16 on which the coating part 18 is formed becomes a strip electrode 19.

検査工程には、電極の検査装置としての負極電極の検査装置40が用いられる。検査装置40は、後述する蛍光X線検出装置41、ガス噴射装置44、測定装置45、及び判定装置48を備える。   In the inspection process, a negative electrode inspection device 40 as an electrode inspection device is used. The inspection device 40 includes a fluorescent X-ray detection device 41, a gas injection device 44, a measurement device 45, and a determination device 48 which will be described later.

検査工程は、帯状電極19を長手方向に搬送しながら、帯状電極19から発生する蛍光X線βを検出する検出工程を含む。検出工程は、検査装置40の蛍光X線検出装置41を用いて行われる。蛍光X線検出装置41は、搬送ロール24の支持凹部24aの上方に配置されている。なお、本実施形態では、蛍光X線検出装置41として、Oxford社製ハンドヘルド金属材料判別器(型式:X−MET8000、X線管球:電圧50kV、ロジウムターゲット、検出器:シリコンドリフト式)を用いたが、これに限定されない。   The inspection step includes a detection step of detecting fluorescent X-rays β generated from the strip electrode 19 while transporting the strip electrode 19 in the longitudinal direction. The detection process is performed using the fluorescent X-ray detection device 41 of the inspection device 40. The X-ray fluorescence detector 41 is disposed above the support recess 24 a of the transport roll 24. In this embodiment, as a fluorescent X-ray detector 41, a Oxford handheld metal material discriminator (model: X-MET8000, X-ray tube: voltage 50 kV, rhodium target, detector: silicon drift type) is used. However, it is not limited to this.

図2及び図3に示すように、蛍光X線検出装置41は、1次X線αを照射可能なX線管42と、蛍光X線βを検出可能な検出部43とが一体化された装置である。X線管42は、帯状電極19上の照射範囲Q(例えば、長手方向5mmかつ短手方向5mmに広がる矩形状の範囲)に1次X線αを照射する(図4参照)。すると、1次X線αの照射範囲Qにおいて帯状電極19の厚みを構成する部分の原子が励起状態となり、励起状態から安定状態に戻る際に蛍光X線βが発生する。検出部43は、この蛍光X線βを検出する。   As shown in FIGS. 2 and 3, the X-ray fluorescence detection apparatus 41 has an integrated X-ray tube 42 capable of emitting primary X-rays α and a detection unit 43 capable of detecting fluorescence X-rays β. Device. The X-ray tube 42 irradiates the primary X-ray α on the irradiation range Q on the strip electrode 19 (for example, a rectangular range extending 5 mm in the longitudinal direction and 5 mm in the short direction) (see FIG. 4). Then, in the irradiation range Q of the primary X-ray α, the atoms of the portion constituting the thickness of the strip electrode 19 are in an excited state, and fluorescent X-rays β are generated when returning from the excited state to the stable state. The detection unit 43 detects this fluorescent X-ray β.

蛍光X線検出装置41は、支持凹部24aの円弧Lの中心Cを揺動軸として、帯状電極19の短手方向に揺動可能である。また、上述したように、帯状電極19は、長手方向から見た側面視において、支持凹部24aによって円弧Lに沿って支持された状態で搬送される。このため、蛍光X線検出装置41と帯状電極19との距離Xは常に一定である。また、本実施形態の蛍光X線検出装置41は、帯状電極19の短手方向の一端(他端)から他端(一端)まで連続的に揺動するとともに、帯状電極19上で短手方向の異なる位置に存在する複数の照射範囲Q(例えば、第1〜第5照射範囲Q1〜Q5)について、帯状電極19から発生する蛍光X線βを検出する。よって、蛍光X線検出装置41は、帯状電極19の長手方向及び短手方向の全体を検査する。そして、検出部43は、帯状電極19の第1〜第5照射範囲Q1〜Q5で発生した蛍光X線βの検出結果を測定装置45に出力する。   The X-ray fluorescence detector 41 can swing in the short direction of the strip electrode 19 with the center C of the arc L of the support recess 24a as the swing axis. Further, as described above, the strip electrode 19 is conveyed in a state of being supported along the arc L by the support recess 24a in a side view as viewed from the longitudinal direction. For this reason, the distance X between the fluorescent X-ray detector 41 and the strip electrode 19 is always constant. In addition, the X-ray fluorescence detection apparatus 41 of the present embodiment continuously swings from one end (the other end) to the other end (one end) in the short direction of the strip electrode 19 and is short on the strip electrode 19. X-rays β generated from the strip electrode 19 are detected for a plurality of irradiation ranges Q (for example, first to fifth irradiation ranges Q1 to Q5) existing at different positions. Therefore, the fluorescent X-ray detection device 41 inspects the whole of the strip electrode 19 in the longitudinal direction and the lateral direction. Then, the detection unit 43 outputs the detection result of the fluorescent X-rays β generated in the first to fifth irradiation ranges Q1 to Q5 of the strip electrode 19 to the measurement device 45.

ところで、検出部43は、帯状電極19に含まれる複数の元素の蛍光X線βを検出する。蛍光X線βは、元素ごとに異なる固有のエネルギを有する。例えば、金属箔11は銅製であるため、検出部43は、銅固有のエネルギを有する蛍光X線βを検出する。また、塗工部18は、アルミナ粒子(アルミニウム)を含むため、検出部43は、アルミニウム固有のエネルギを有する蛍光X線βを検出する。また、各元素の蛍光X線βのエネルギ強度は、照射範囲Qにおいて帯状電極19の厚みを構成する部分に含まれる原子の量によって決まる。検出部43が測定装置45に出力する蛍光X線βの検出結果は、帯状電極19に含まれる複数の元素のエネルギ強度を含む。   By the way, the detection unit 43 detects fluorescent X-rays β of a plurality of elements included in the strip electrode 19. The fluorescent X-ray β has a unique energy that is different for each element. For example, since the metal foil 11 is made of copper, the detection unit 43 detects the fluorescent X-ray β having energy specific to copper. Further, since the coating unit 18 includes alumina particles (aluminum), the detection unit 43 detects fluorescent X-rays β having energy specific to aluminum. Further, the energy intensity of the fluorescent X-ray β of each element is determined by the amount of atoms contained in the portion constituting the thickness of the strip electrode 19 in the irradiation range Q. The detection result of the fluorescent X-ray β output from the detection unit 43 to the measurement device 45 includes the energy intensity of a plurality of elements included in the strip electrode 19.

また、検査工程は、帯状電極19の塗工部18に向かってガスを噴射するガス噴射工程を含む。ガス噴射工程は、上記検出工程の最中に行われる。ガス噴射工程は、検査装置40のガス噴射装置44を用いて行われる。なお、図2では、ガス噴射装置44の図示を省略している。   The inspection process includes a gas injection process for injecting gas toward the coating portion 18 of the strip electrode 19. The gas injection process is performed during the detection process. The gas injection process is performed using the gas injection device 44 of the inspection device 40. In addition, illustration of the gas injection apparatus 44 is abbreviate | omitted in FIG.

本実施形態のガス噴射装置44は、帯状電極19の短手方向において蛍光X線検出装置41の両端に取り付けられ、蛍光X線検出装置41と一体化されている。ガス噴射装置44は、蛍光X線検出装置41の揺動に伴って帯状電極19の短手方向に揺動するとともに、照射範囲Qに向けてガスを噴射する。これにより、搬送ロール24の支持凹部24aの内側、すなわち帯状電極19の塗工部18上にガスが充満する。ガス噴射工程に用いられるガスは、例えばアルゴンなどの不活性ガスであり、ガスの温度及び湿度は、塗工部18よりも高温、高湿に設定されている。また、このガスによって、塗工部18の乾燥を促進させることができる。ただし、ガス噴射工程では、塗工部18を完全に乾燥させることはできないため、後述の乾燥装置50によって塗工部18を更に乾燥させる必要がある。ガス噴射工程は、塗工部18を乾燥させる乾燥工程の一部を兼ねる。   The gas injection device 44 of this embodiment is attached to both ends of the fluorescent X-ray detection device 41 in the short direction of the strip electrode 19 and is integrated with the fluorescent X-ray detection device 41. The gas injection device 44 oscillates in the short direction of the strip electrode 19 as the fluorescent X-ray detection device 41 oscillates, and injects gas toward the irradiation range Q. As a result, the gas fills the inside of the support recess 24 a of the transport roll 24, that is, the coating portion 18 of the strip electrode 19. The gas used in the gas injection process is, for example, an inert gas such as argon, and the temperature and humidity of the gas are set higher and higher than the coating unit 18. Moreover, drying of the coating part 18 can be accelerated | stimulated with this gas. However, since the coating unit 18 cannot be completely dried in the gas injection process, the coating unit 18 needs to be further dried by a drying device 50 described later. The gas injection process also serves as a part of the drying process for drying the coating part 18.

検査工程は、検出工程での検出結果から、帯状電極19に含まれるアルミニウムのエネルギ強度を測定する測定工程を備える。測定工程は、検査装置40の測定装置45を用いて行われる。測定装置45は、蛍光X線検出装置41と信号接続されている。   The inspection step includes a measurement step of measuring the energy intensity of aluminum contained in the strip electrode 19 from the detection result in the detection step. The measurement process is performed using the measurement device 45 of the inspection device 40. The measuring device 45 is signal-connected to the fluorescent X-ray detection device 41.

測定装置45は、アルミニウムのエネルギ強度を測定する測定部46を備える。測定部46には、検出部43から帯状電極19についての検出結果が入力される。測定部46は、第1〜第5照射範囲Q1〜Q5について、帯状電極19に含まれるアルミニウムのエネルギ強度をそれぞれ測定し、各測定値を第1〜第5検査値A1〜A5として設定する。また、測定部46は、検出部43から検出結果が出力される度にエネルギ強度の測定を行い、第1〜第5検査値A1〜A5を更新する。   The measuring device 45 includes a measuring unit 46 that measures the energy intensity of aluminum. A detection result for the strip electrode 19 is input from the detection unit 43 to the measurement unit 46. The measurement part 46 measures the energy intensity of the aluminum contained in the strip electrode 19 for the first to fifth irradiation ranges Q1 to Q5, respectively, and sets each measurement value as the first to fifth inspection values A1 to A5. Moreover, the measurement part 46 measures energy intensity, whenever a detection result is output from the detection part 43, and updates 1st-5th test value A1-A5.

検査工程は、各検査値A1〜A5と、エネルギ強度の上限値AH及び下限値ALとを比較する比較工程を備える。比較工程は、測定装置45の比較部47を用いて行われる。第1〜第5検査値A1〜A5は、測定部46から比較部47に入力される。上限値AH及び下限値ALは、塗工部18の目付量の上限及び下限に対応して予め設定されたアルミニウムのエネルギ強度であり、比較部47に記憶されている。   The inspection step includes a comparison step of comparing each inspection value A1 to A5 with the upper limit value AH and the lower limit value AL of the energy intensity. The comparison process is performed using the comparison unit 47 of the measurement device 45. The first to fifth inspection values A1 to A5 are input from the measurement unit 46 to the comparison unit 47. The upper limit value AH and the lower limit value AL are aluminum energy strengths set in advance corresponding to the upper limit and the lower limit of the basis weight of the coating unit 18, and are stored in the comparison unit 47.

比較部47は、第1検査値A1と上限値AHとを比較する。比較部47は、第1検査値A1が上限値AHより大きいとき、信号S1を生成し、第1検査値A1が上限値AH以下のとき、信号S2を生成する。また、比較部47は、第1検査値A1と下限値ALとを比較する。比較部47は、第1検査値A1が下限値AL以上のとき、信号S3を生成し、第1検査値A1が下限値ALより小さいとき、信号S4を生成する。比較部47は、第2〜第5検査値A2〜A5についても同様に比較し、信号S1〜S4を生成する。   The comparison unit 47 compares the first inspection value A1 with the upper limit value AH. The comparison unit 47 generates a signal S1 when the first inspection value A1 is larger than the upper limit value AH, and generates a signal S2 when the first inspection value A1 is equal to or lower than the upper limit value AH. The comparison unit 47 compares the first inspection value A1 with the lower limit value AL. The comparison unit 47 generates a signal S3 when the first inspection value A1 is greater than or equal to the lower limit value AL, and generates a signal S4 when the first inspection value A1 is smaller than the lower limit value AL. The comparison unit 47 similarly compares the second to fifth inspection values A2 to A5, and generates signals S1 to S4.

検査工程は、比較部47で生成された信号S1〜S4に基づいて、帯状電極19の塗工部18の形成状態の良否を判定する判定工程を含む。判定工程は、検査装置40の判定装置48によって行われる。判定装置48は、測定装置45と信号接続されている。判定装置48には、信号S1〜S4が比較部47から入力される。また、判定装置48は、グラビア塗工装置30のモータ34の制御装置35に接続されている。   The inspection process includes a determination process for determining whether the formation state of the coating part 18 of the strip electrode 19 is good or not based on the signals S1 to S4 generated by the comparison part 47. The determination process is performed by the determination device 48 of the inspection device 40. The determination device 48 is signal-connected to the measurement device 45. Signals S <b> 1 to S <b> 4 are input from the comparison unit 47 to the determination device 48. The determination device 48 is connected to the control device 35 of the motor 34 of the gravure coating device 30.

判定装置48は、第1検査値A1について信号S2,S3が比較部47から入力されたとき、すなわち第1検査値A1が上限値AH以下かつ下限値AL以上であるとき、第1照射範囲Q1での塗工部18の形成状態を良好(目付量が目標範囲内)と判定する。判定装置48は、第1検査値A1について信号S1が比較部47から入力されたとき、すなわち第1検査値A1が上限値AHより大きいとき、第1照射範囲Q1での塗工部18の形成状態を不良1(目付量が目標範囲外)と判定する。判定装置48は、第1検査値A1について信号S4が比較部47から入力されたとき、すなわち第1検査値A1が下限値ALより小さいとき、第1照射範囲Q1での塗工部18の形成状態を不良2(目付量が目標範囲外)と判定する。判定装置48は、第2〜第5検査値A2〜A5についても同様の判定を行う。   When the signals S2 and S3 are input from the comparator 47 for the first inspection value A1, that is, when the first inspection value A1 is equal to or lower than the upper limit value AH and equal to or higher than the lower limit value AL, the determination device 48 determines the first irradiation range Q1. The formation state of the coating part 18 is determined to be good (the basis weight is within the target range). When the signal S1 is input from the comparison unit 47 for the first inspection value A1, that is, when the first inspection value A1 is larger than the upper limit value AH, the determination device 48 forms the coating unit 18 in the first irradiation range Q1. The state is determined to be defective 1 (the basis weight is outside the target range). When the signal S4 is input from the comparison unit 47 for the first inspection value A1, that is, when the first inspection value A1 is smaller than the lower limit value AL, the determination device 48 forms the coating unit 18 in the first irradiation range Q1. The state is determined to be defective 2 (the basis weight is outside the target range). The determination device 48 performs the same determination on the second to fifth inspection values A2 to A5.

また、判定装置48は、第1〜第5照射範囲Q1〜Q5での塗工部18のうち3つ以上を不良1と判定した場合、制御装置35に対して、「目付量過剰」の信号を出力する。判定装置48は、第1〜第5照射範囲Q1〜Q5での塗工部18のうち3つ以上を不良2と判定した場合、制御装置35に対して、「目付量不足」の信号を出力する。制御装置35は、「目付量過剰」の信号が入力されると、モータ34の回転駆動を加速させることでグラビアロール32の回転速度を加速させ、塗工部18の目付量を減らす。一方、制御装置35は、「目付量不足」の信号が入力されると、モータ34の回転駆動を減速させることでグラビアロール32の回転速度を減速させ、塗工部18の目付量を増やす。   Further, when the determination device 48 determines that three or more of the coating portions 18 in the first to fifth irradiation ranges Q1 to Q5 are defective 1, a signal of “overweight per unit weight” is sent to the control device 35. Is output. When the determination device 48 determines that three or more of the coating portions 18 in the first to fifth irradiation ranges Q1 to Q5 are defective 2, the controller 48 outputs a signal of “insufficient basis weight” to the control device 35. To do. When the “overweight basis weight” signal is input, the control device 35 accelerates the rotational drive of the motor 34 to accelerate the rotation speed of the gravure roll 32 and reduces the basis weight of the coating unit 18. On the other hand, when a signal of “insufficient basis weight” is input, the control device 35 reduces the rotational speed of the gravure roll 32 by reducing the rotational drive of the motor 34 and increases the basis weight of the coating unit 18.

検査工程後、帯状電極19は、乾燥装置50内に搬送される。乾燥装置50は、ガス噴射工程でのガスによって乾燥が進んだ状態の塗工部18を完全に乾燥させる。塗工部18は、保護層前駆体となる。保護層前駆体が形成された帯状電極19は、図示しない切断工程にて負極電極10の形状に切断される。保護層前駆体から保護層15が形成される。こうして枚葉状の負極電極10が製造される。   After the inspection process, the strip electrode 19 is conveyed into the drying device 50. The drying device 50 completely dries the coating part 18 in a state where the drying has progressed by the gas in the gas injection process. The coating part 18 becomes a protective layer precursor. The strip electrode 19 on which the protective layer precursor is formed is cut into the shape of the negative electrode 10 in a cutting step (not shown). A protective layer 15 is formed from the protective layer precursor. In this way, the sheet-like negative electrode 10 is manufactured.

次に、本実施形態の作用について説明する。
保護層形成工程の検出工程では、搬送装置20によって帯状電極19を長手方向に搬送しながら、蛍光X線検出装置41によって帯状電極19から発生する蛍光X線βを検出する。このとき、帯状電極19の一部は、長手方向から見た側面視において、搬送ロール24の支持凹部24aによって円弧状に支持されながら搬送される。また、蛍光X線検出装置41は、支持凹部24aの円弧Lの中心Cを揺動軸として、帯状電極19の短手方向に揺動する。このため、帯状電極19の塗工部18と蛍光X線検出装置41との距離Xは一定に保たれ、蛍光X線βの定量的な検出が可能となる。
Next, the operation of this embodiment will be described.
In the detection step of the protective layer forming step, the fluorescent X-rays β generated from the strip electrode 19 are detected by the fluorescent X-ray detection device 41 while the strip electrode 19 is transported in the longitudinal direction by the transport device 20. At this time, a part of the belt-like electrode 19 is transported while being supported in an arc shape by the support recess 24a of the transport roll 24 in a side view as viewed from the longitudinal direction. The fluorescent X-ray detection apparatus 41 swings in the short direction of the strip electrode 19 with the center C of the arc L of the support recess 24a as the swing axis. For this reason, the distance X between the coating part 18 of the strip electrode 19 and the fluorescent X-ray detector 41 is kept constant, and the fluorescent X-ray β can be quantitatively detected.

次に、本実施形態の効果を記載する。
(1)検出工程において、帯状電極19の一部は、長手方向から見た側面視において、搬送ロール24の支持凹部24aによって円弧状に支持されながら長手方向に搬送される。帯状電極19から発生する蛍光X線βを検出する蛍光X線検出装置41は、支持凹部24aの円弧Lの中心Cを揺動軸として、帯状電極19の短手方向に揺動する。このため、検出工程における帯状電極19の塗工部18と蛍光X線検出装置41との距離Xが一定に保たれる。よって、蛍光X線βの検出結果のばらつきが抑制され、蛍光X線βの定量的な検出が可能となり、塗工部18の形成状態を精度良く検査できる。
Next, the effect of this embodiment will be described.
(1) In the detection step, a part of the strip electrode 19 is transported in the longitudinal direction while being supported in an arc shape by the support recess 24a of the transport roll 24 in a side view as viewed from the longitudinal direction. The X-ray fluorescence detector 41 that detects the fluorescent X-rays β generated from the strip electrode 19 swings in the short direction of the strip electrode 19 with the center C of the arc L of the support recess 24a as the swing axis. For this reason, the distance X between the coating part 18 of the strip electrode 19 and the fluorescent X-ray detection device 41 in the detection step is kept constant. Therefore, variation in the detection result of the fluorescent X-ray β is suppressed, the fluorescent X-ray β can be quantitatively detected, and the formation state of the coating portion 18 can be inspected with high accuracy.

(2)検出工程は、検出工程の最中に、帯状電極19の塗工部18に向けてガスを噴射するガス噴射工程を含むため、帯状電極19の塗工部18と蛍光X線検出装置41との間の雰囲気が一定に保たれ、検出結果のばらつきが抑制される。よって、塗工部18の形成状態を精度良く検査できる。また、支持凹部24aによって帯状電極19が円弧状に支持されていることで、円弧Lの内側のガスが逃げ出しづらくなり、雰囲気をより一定に保ちやすくなる。   (2) Since the detection step includes a gas injection step of injecting gas toward the coating portion 18 of the strip electrode 19 during the detection step, the coating portion 18 of the strip electrode 19 and the fluorescent X-ray detection device 41 is kept constant, and variations in detection results are suppressed. Therefore, the formation state of the coating part 18 can be inspected with high accuracy. Further, since the belt-like electrode 19 is supported in an arc shape by the support recess 24a, the gas inside the arc L is difficult to escape, and the atmosphere is more easily maintained.

(3)ガス噴射工程に用いられるガスは、不活性ガスであるため、大気による蛍光X線βの散乱が抑制され、塗工部18の形成状態をより精度良く検査できる。
(4)蛍光X線検出装置41を連続的に揺動させているため、帯状電極19の塗工部18を長手方向及び短手方向全体に亘って検査することができる。
(3) Since the gas used in the gas injection process is an inert gas, the scattering of the fluorescent X-ray β by the atmosphere is suppressed, and the formation state of the coating part 18 can be inspected with higher accuracy.
(4) Since the fluorescent X-ray detection device 41 is continuously swung, the coating portion 18 of the strip electrode 19 can be inspected over the entire length direction and the short direction.

(5)軽元素であるアルミニウムから発せられる蛍光X線βのエネルギ強度によって、塗工部18の形成状態を検査することができる。
(6)ガス噴射工程は、乾燥工程の一部を兼ねる。このため、ガス噴射工程でのガスによって塗工部18の乾燥が促進され、乾燥装置50による乾燥時間を短縮することができる。また、高温のガスを用いても、支持凹部24aによって帯状電極19が円弧状に支持されていることで、円弧Lの内側のガスの温度が低下しづらくなり、塗工部18の乾燥をより効果的に行うことができる。
(5) The formation state of the coating part 18 can be inspected by the energy intensity of the fluorescent X-ray β emitted from aluminum which is a light element.
(6) The gas injection process also serves as a part of the drying process. For this reason, drying of the coating part 18 is accelerated | stimulated with the gas in a gas injection process, and the drying time by the drying apparatus 50 can be shortened. Even when a high-temperature gas is used, the belt-like electrode 19 is supported in an arc shape by the support recess 24a, so that the temperature of the gas inside the arc L is less likely to be lowered, and the coating portion 18 is further dried. Can be done effectively.

(7)ガス噴射装置44は、蛍光X線検出装置41とともに揺動するため、帯状電極19の塗工部18のうち照射範囲Qに向けてガスを噴射することができる。
なお、上記実施形態は、以下のように変更してもよい。
(7) Since the gas injection device 44 swings together with the fluorescent X-ray detection device 41, the gas injection device 44 can inject gas toward the irradiation range Q in the coating portion 18 of the strip electrode 19.
In addition, you may change the said embodiment as follows.

○ 負極電極10は、金属箔11の片面だけに負極活物質層12及び保護層15を有するものであってもよい。この場合、帯状電極19の片面だけに負極活物質層12が設けられるとともに、その負極活物質層12にセラミックスラリー17の塗工部18が形成される。   The negative electrode 10 may have the negative electrode active material layer 12 and the protective layer 15 only on one side of the metal foil 11. In this case, the negative electrode active material layer 12 is provided only on one surface of the belt-like electrode 19, and the coating portion 18 of the ceramic slurry 17 is formed on the negative electrode active material layer 12.

○ 集電体は、負極活物質層12が形成できるものであれば、金属箔11に限定されるものではない。例えば、織物状や網状のシートを用いてもよい。
○ 測定工程においてエネルギ強度が測定される元素は、アルミニウムに限定されず、他の元素であってもよい。例えば、セラミック粒子を生成できる原子番号3以上、負極電極10の重量エネルギ密度を低下させない原子番号20以下の軽元素であってもよい。
The current collector is not limited to the metal foil 11 as long as the negative electrode active material layer 12 can be formed. For example, a woven or net-like sheet may be used.
O The element whose energy intensity is measured in the measurement process is not limited to aluminum, but may be other elements. For example, a light element having an atomic number of 3 or more that can generate ceramic particles and an atomic number of 20 or less that does not decrease the weight energy density of the negative electrode 10 may be used.

○ 上記実施形態では、保護層15が含むセラミック粒子は、アルミナ粒子であったが、窒化アルミニウムであってもよい。また、負極活物質層12がシリコン(ケイ素)を含まない場合、保護層15が含むセラミック粒子は、二酸化ケイ素、窒化ケイ素など、他の元素の酸化物や窒化物であってもよい。   In the above embodiment, the ceramic particles included in the protective layer 15 are alumina particles, but may be aluminum nitride. Moreover, when the negative electrode active material layer 12 does not contain silicon (silicon), the ceramic particles included in the protective layer 15 may be oxides or nitrides of other elements such as silicon dioxide and silicon nitride.

○ 被覆層は、金属箔11の両面に存在する負極活物質層12とは別の活物質層であってもよい。ただし、金属箔11の両面に存在する負極活物質層12に含まれる元素と、負極活物質層12を覆う別の負極活物質層に含まれ、かつ測定工程においてエネルギ強度を測定される元素は、別の元素にする。   The coating layer may be an active material layer different from the negative electrode active material layer 12 present on both surfaces of the metal foil 11. However, elements included in the negative electrode active material layer 12 present on both surfaces of the metal foil 11 and elements included in another negative electrode active material layer covering the negative electrode active material layer 12 and whose energy intensity is measured in the measurement step are , Make another element.

○ 上記実施形態では、負極電極10の検査方法及び検査装置40に具体化して説明したが、正極電極についても同様の検査方法及び検査装置で検査することができる。ただし、正極電極の集電体を構成する元素と、正極電極の保護層に含まれ、かつ測定工程においてエネルギ強度を測定される元素は、別の元素にする。   In the above embodiment, the inspection method and the inspection apparatus 40 for the negative electrode 10 are described in detail, but the positive electrode can also be inspected by the same inspection method and inspection apparatus. However, the element constituting the current collector of the positive electrode and the element which is included in the protective layer of the positive electrode and whose energy intensity is measured in the measurement process are different elements.

○ 活物質層形成工程における活物質ペーストの塗工工程は、長尺帯状の金属箔11の長手方向に連続して行う連続塗工でもよいし、間隔を空けて塗布する間欠塗工でもよい。間欠塗工の場合、保護層形成工程におけるセラミックスラリー17の塗工工程を、グラビアロール32の回転を間欠的に停止させて、電極材料16の長手方向に間隔を空けて塗布する間欠塗工とすることができる。   The active material paste coating step in the active material layer forming step may be continuous coating performed continuously in the longitudinal direction of the long strip-shaped metal foil 11 or intermittent coating applied at intervals. In the case of intermittent coating, the coating process of the ceramic slurry 17 in the protective layer forming process is performed by intermittently stopping the rotation of the gravure roll 32 and coating the electrode material 16 at intervals in the longitudinal direction. can do.

○ 帯状電極19を長手方向から見た側面視において円弧状に支持するための支持部材は、上記実施形態の搬送ロール24に限定されない。
例えば、図5に示すように、搬送ロール24の代わりに、帯状電極19を支持する円弧状の凹部61aを有する支持部61を支持部材としてもよい。支持部61は、図示しない支持装置によって固定されている。この場合、帯状電極19は、供給リール21から巻取リール22に巻き取られることによって長手方向に搬送される。凹部61aの表面に固形潤滑剤等を塗布して表面コートを施してもよいし施さなくてもよい。
The support member for supporting the strip electrode 19 in an arc shape when viewed from the longitudinal direction is not limited to the transport roll 24 of the above embodiment.
For example, as shown in FIG. 5, instead of the transport roll 24, a support portion 61 having an arcuate recess 61 a that supports the strip electrode 19 may be used as a support member. The support part 61 is fixed by a support device (not shown). In this case, the belt-like electrode 19 is conveyed in the longitudinal direction by being wound from the supply reel 21 to the take-up reel 22. A surface lubricant may or may not be applied by applying a solid lubricant or the like to the surface of the recess 61a.

○ 検出工程だけでなく検出工程に連続する後工程(実施形態では乾燥工程)においても、支持凹部24aによって帯状電極19を円弧状に支持してもよい。
○ 蛍光X線検出装置41を揺動させる範囲は、塗工部18の短手方向の幅に合わせるなど適宜変更してよい。
The strip electrode 19 may be supported in an arc shape by the support recess 24a not only in the detection step but also in a subsequent step (in the embodiment, a drying step) that is continuous with the detection step.
The range in which the fluorescent X-ray detection device 41 is swung may be changed as appropriate, for example, according to the width of the coating unit 18 in the short direction.

○ 上記実施形態では、蛍光X線検出装置41を連続的に揺動させていたが、間欠的に揺動させてもよい。
○ 検出工程は、乾燥工程の前に行われていたが、乾燥工程後に行われてもよい。
In the above embodiment, the fluorescent X-ray detection device 41 is continuously swung, but may be swung intermittently.
O Although the detection process was performed before the drying process, it may be performed after the drying process.

○ ガス噴射工程は、省略してもよい。
○ ガス噴射工程におけるガスの温度や湿度によっては、ガス噴射工程は乾燥工程の一部を兼ねない。
○ The gas injection step may be omitted.
○ Depending on the temperature and humidity of the gas in the gas injection process, the gas injection process may be part of the drying process.

○ ガス噴射装置44の個数は、適宜変更してよい。また、ガス噴射装置44は、蛍光X線検出装置41と別体であってもよい。この場合、ガス噴射装置44を揺動させてもよいし、固定してもよい。   The number of gas injection devices 44 may be changed as appropriate. Further, the gas injection device 44 may be separate from the fluorescent X-ray detection device 41. In this case, the gas injection device 44 may be swung or fixed.

○ ガス噴射工程に用いられる不活性ガスとしては、アルゴンの他に窒素や二酸化炭素を用いてもよい。また、ガス噴射工程に用いられるガスは、不活性ガスに限定されず、空気でもよい。また、ガス噴射工程に用いられるガスの温度や湿度は、適宜変更してよい。ガスの温度や湿度が塗工部18の温度や湿度より高い場合、塗工部18を乾燥させることができる。   ○ As the inert gas used in the gas injection step, nitrogen or carbon dioxide may be used in addition to argon. Moreover, the gas used for a gas injection process is not limited to an inert gas, Air may be sufficient. Moreover, you may change suitably the temperature and humidity of the gas used for a gas injection process. When the temperature and humidity of the gas are higher than the temperature and humidity of the coating unit 18, the coating unit 18 can be dried.

○ 蛍光X線検出装置41と測定装置45は、一体化してもよいし、別体としてもよい。
○ 上記実施形態では、蛍光X線検出装置41が帯状電極19の短手方向の一端(他端)から他端(一端)まで揺動する間に、帯状電極19上の5つの照射範囲Q1〜Q5で検出を行っていたが、照射範囲Qの数は適宜変更してよい。
The X-ray fluorescence detection device 41 and the measurement device 45 may be integrated or separated.
In the above embodiment, while the X-ray fluorescence detector 41 swings from one end (other end) to the other end (one end) in the short direction of the strip electrode 19, the five irradiation ranges Q1 on the strip electrode 19 Although the detection is performed in Q5, the number of irradiation ranges Q may be changed as appropriate.

○ 上記実施形態では、各照射範囲Q1〜Q5について帯状電極19に含まれるアルミニウムのエネルギ強度を測定し、測定値を第1〜第5検査値A1〜A5として設定していたが、第1〜第5照射範囲Q1〜Q5について測定値の平均を取り、エネルギ強度の平均値を1つの検査値として設定してもよい。   In the above embodiment, the energy intensity of aluminum contained in the strip electrode 19 is measured for each irradiation range Q1 to Q5, and the measured values are set as the first to fifth inspection values A1 to A5. You may take the average of a measured value about the 5th irradiation range Q1-Q5, and may set the average value of energy intensity as one inspection value.

○ 判定装置48が制御装置35に対して「目付量過剰」又は「目付量不足」の信号を出力する条件は、適宜変更してよい。
○ 上記実施形態では、塗工部18の形成状態の良否判定を塗工工程にフィードバックすることで活用していたが、保護層15が形成された負極電極10の良品・不良品の選別などに活用してもよい。
The condition for the determination device 48 to output a signal of “excess basis weight” or “underweight basis weight” to the control device 35 may be changed as appropriate.
○ In the above-described embodiment, the pass / fail judgment of the formation state of the coating part 18 is utilized by feeding back to the coating process. However, for the selection of non-defective / defective products of the negative electrode 10 on which the protective layer 15 is formed. It may be used.

○ 上記実施形態では、活物質層形成工程、保護層形成工程、及び切断工程を別の製造ラインで行っていたが、同じ製造ラインで続けて行ってもよい。
○ 積層型電極組立体用の電極の検査方法に限らず、巻回型電極組立体用の電極の検査方法に適用してもよい。
In the above embodiment, the active material layer forming step, the protective layer forming step, and the cutting step are performed in separate production lines, but may be performed continuously in the same production line.
(Circle) You may apply to the inspection method of the electrode for not only the electrode inspection method for laminated | stacked electrode assemblies but the winding type electrode assembly.

○ 上記実施形態における電極の検査方法は、例えば、ニッケル水素二次電池に用いられる電極や、リチウムキャパシタなどの蓄電装置に用いる電極の検査方法に適用してもよい。   The electrode inspection method in the above embodiment may be applied to, for example, an electrode inspection method for electrodes used in nickel hydride secondary batteries and power storage devices such as lithium capacitors.

10…電極としての負極電極、11…集電体としての金属箔、12…活物質層としての負極活物質層、15…被覆層としての保護層、17…被覆層材料としてのセラミックスラリー、18…塗工部、19…帯状電極、20…搬送装置、24…支持部材としての搬送ロール、24a…支持凹部、40…検査装置、41…蛍光X線検出装置、44…ガス噴射装置、46…測定部、48…判定装置、L…円弧、β…蛍光X線。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Negative electrode as an electrode, 11 ... Metal foil as a collector, 12 ... Negative electrode active material layer as an active material layer, 15 ... Protective layer as a coating layer, 17 ... Ceramic slurry as a coating layer material, 18 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Coating part, 19 ... Strip electrode, 20 ... Conveyance device, 24 ... Conveyance roll as support member, 24a ... Support recessed part, 40 ... Inspection apparatus, 41 ... Fluorescence X-ray detection apparatus, 44 ... Gas injection apparatus, 46 ... Measurement unit, 48: determination device, L: arc, β: fluorescent X-ray.

Claims (9)

集電体と、前記集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、前記活物質層の表面を覆う被覆層とを有する電極の検査方法であって、
長尺帯状の集電体と、前記長尺帯状の集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、前記活物質層の表面に被覆層材料が塗工されて形成された前記被覆層の前駆体である塗工部とを有する帯状電極を長手方向に搬送し、前記長手方向から見た前記帯状電極の側面視が円弧となるように支持した状態で搬送された箇所に対し、蛍光X線検出装置を前記円弧の中心を軸として前記帯状電極の短手方向に揺動させ、前記帯状電極から発生する蛍光X線を検出する検出工程と、
前記蛍光X線から、前記帯状電極の塗工部に含まれる元素のエネルギ強度を測定する測定工程と、
前記エネルギ強度に基づいて、前記帯状電極の塗工部の形成状態の良否を判定する判定工程と
を含むことを特徴とする電極の検査方法。
An inspection method for an electrode comprising a current collector, an active material layer present on both or one side of the current collector, and a coating layer covering the surface of the active material layer,
A long strip current collector, an active material layer present on both or one side of the long strip current collector, and the coating layer formed by coating a coating layer material on the surface of the active material layer A belt-like electrode having a coating part that is a precursor of the material is conveyed in the longitudinal direction, and the portion of the belt-like electrode viewed from the longitudinal direction is supported so that the side view is an arc. A detection step of detecting an X-ray fluorescence generated from the strip electrode by swinging an X-ray detection device in the short direction of the strip electrode with the center of the arc as an axis;
From the fluorescent X-ray, a measurement step of measuring the energy intensity of the element contained in the coating part of the strip electrode,
And a determination step of determining whether or not the formation state of the coating portion of the strip electrode is based on the energy intensity.
前記検出工程の最中に、前記帯状電極の塗工部に向けてガスを噴射するガス噴射工程を含む請求項1に記載の電極の検査方法。   The electrode inspection method according to claim 1, further comprising a gas injection step of injecting a gas toward the coating portion of the strip electrode during the detection step. 前記ガス噴射工程は、前記帯状電極の塗工部を乾燥させる乾燥工程の一部を兼ねる請求項2に記載の電極の検査方法。   The electrode inspection method according to claim 2, wherein the gas injection step also serves as a part of a drying step of drying a coating portion of the strip electrode. 前記検出工程において、前記蛍光X線検出装置を連続的に揺動させる請求項1〜請求項3の何れか一項に記載の電極の検査方法。   The electrode inspection method according to claim 1, wherein in the detection step, the fluorescent X-ray detection device is continuously swung. 前記被覆層は、前記活物質層を保護する保護層である請求項1〜請求項4の何れか一項に記載の電極の検査方法。   The said coating layer is a protective layer which protects the said active material layer, The inspection method of the electrode as described in any one of Claims 1-4. 前記測定工程においてエネルギ強度を測定される元素は、原子番号3〜20の軽元素である請求項5に記載の電極の検査方法。   6. The electrode inspection method according to claim 5, wherein the element whose energy intensity is measured in the measuring step is a light element having an atomic number of 3 to 20. 前記電極は、負極電極であり、
前記軽元素は、アルミニウムである請求項6に記載の電極の検査方法。
The electrode is a negative electrode;
The electrode inspection method according to claim 6, wherein the light element is aluminum.
集電体と、前記集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、前記活物質層の表面を覆う被覆層とを有する電極の検査装置であって、
長尺帯状の集電体と、前記長尺帯状の集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、前記活物質層の表面に被覆層材料が塗工されて形成された前記被覆層の前駆体である塗工部とを有する帯状電極を長手方向に搬送する搬送装置と、
前記帯状電極から発生する蛍光X線を検出する蛍光X線検出装置と、
前記蛍光X線から、前記帯状電極の塗工部に含まれる元素のエネルギ強度を測定する測定部と、
前記エネルギ強度に基づいて、前記帯状電極の塗工部の形成状態の良否を判定する判定装置と
を備え、
前記搬送装置は、前記帯状電極を支持する支持部材を有し、前記支持部材は、前記帯状電極を前記長手方向から見た側面視において円弧状をなす支持凹部を有し、
前記蛍光X線検出装置は、前記支持凹部の円弧の中心を軸として前記帯状電極の短手方向に揺動可能であることを特徴とする電極の検査装置。
An inspection apparatus for an electrode having a current collector, an active material layer present on both or one side of the current collector, and a coating layer covering the surface of the active material layer,
A long strip current collector, an active material layer present on both or one side of the long strip current collector, and the coating layer formed by coating a coating layer material on the surface of the active material layer A transport device for transporting in the longitudinal direction a strip electrode having a coating part which is a precursor of
A fluorescent X-ray detector for detecting fluorescent X-rays generated from the strip electrode;
From the fluorescent X-ray, a measurement unit that measures the energy intensity of the element contained in the coating portion of the strip electrode,
A determination device that determines whether the formation state of the coating portion of the strip electrode is based on the energy intensity;
The transport device includes a support member that supports the belt-like electrode, and the support member includes a support concave portion that has an arc shape in a side view when the belt-like electrode is viewed from the longitudinal direction.
2. The electrode inspection apparatus according to claim 1, wherein the fluorescent X-ray detection apparatus is swingable in a short direction of the strip electrode with the center of the arc of the support recess as an axis.
前記帯状電極の塗工部のうち前記蛍光X線の検出が行われる部分に向けてガスを噴射するガス噴射装置を備える請求項8に記載の電極の検査装置。   The electrode inspection apparatus according to claim 8, further comprising a gas injection device that injects gas toward a portion where the fluorescent X-ray detection is performed in the coating portion of the strip electrode.
JP2017035337A 2017-02-27 2017-02-27 Inspection method for electrode, and inspection device for electrode Pending JP2018142443A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017035337A JP2018142443A (en) 2017-02-27 2017-02-27 Inspection method for electrode, and inspection device for electrode

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017035337A JP2018142443A (en) 2017-02-27 2017-02-27 Inspection method for electrode, and inspection device for electrode

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2018142443A true JP2018142443A (en) 2018-09-13

Family

ID=63526707

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017035337A Pending JP2018142443A (en) 2017-02-27 2017-02-27 Inspection method for electrode, and inspection device for electrode

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2018142443A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101234434B1 (en) Inspection device
US8531680B2 (en) Method of detecting the width of a coated film and detection device used in said detection method
JP6606448B2 (en) Coating film inspection apparatus, coating film inspection method, and membrane / catalyst layer assembly manufacturing apparatus
JP5246525B2 (en) Foreign object detection device and foreign object detection method
KR101813739B1 (en) Automatic Measuring Apparatus For Outer Diameter Of Jelly-roll And Auto Calibration Method For Outer Diameter Of Jelly-roll
JP2011042458A (en) Web carrying device, method thereof and method of manufacturing battery
JP5359671B2 (en) Film thickness measuring apparatus and film thickness measuring method
JP2018142443A (en) Inspection method for electrode, and inspection device for electrode
JP7013318B2 (en) Electrode layer inspection method and battery manufacturing method
JP5341567B2 (en) Inspection device
US20140113063A1 (en) Method of manufacturing battery electrode and apparatus
JP2018098096A (en) Negative electrode inspection method, negative electrode manufacturing method, negative electrode inspection device
JP2001338693A (en) Winding device and winding method
JP2016120473A (en) Horizontal type double-sided coating apparatus
JP7277243B2 (en) Separator manufacturing method and separator manufacturing apparatus
JP2018206538A (en) Active material density inspecting device
CN112179895A (en) Method for detecting pre-lithium amount of pole piece
JP2006172799A (en) Evaluation method of electrode body, evaluation device using it and electrode body winding device
JP2015210923A (en) Inspection device of electrode material and inspection method of electrode material
JP2000155101A (en) Method and apparatus for quantifying element
US11846584B2 (en) Apparatus for detecting slurry spread volume using terahertz wave, spread system and detecting method using the same
US20200343505A1 (en) Method for producing separator and apparatus for producing separator
JP7277244B2 (en) Slit separator manufacturing method and slit separator manufacturing apparatus
KR20230140915A (en) Welding inspection device for secondary battery and electrode manufacturing device comprising the same
JP2018081769A (en) Electrode inspection method and electrode inspection device