JP2018133368A - 圧電ポリマー膜及びその製造方法並びに感圧センサ、アクチュエータ及びインターフェースデバイス - Google Patents
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Abstract
Description
〔2〕 前記微細繊維がその繊維軸方向を揃えて形成された膜部分の細長い形状の長辺と短辺のアスペクト比が3以上であることを特徴とする前記〔1〕に記載の圧電ポリマー膜。
〔3〕 前記一枚の膜中に前記微細繊維がその繊維軸方向を揃えて形成された細長い形状の膜部分が2以上あることを特徴とする前記〔1〕又は〔2〕に記載の圧電ポリマー膜。
〔4〕 前記繊維軸方向が揃って形成された膜部分では、下記式(1)で定義される配向度が0.7以上であることを特徴とする前記〔1〕〜〔3〕に記載の圧電ポリマー膜。
配向度=B/(A+B) (1)
式中、Aは、線維軸方向を揃えて形成させた膜中の任意の場所について倍率10000で拡大された微細繊維の画像において、画像の左右を結ぶ水平線からの繊維軸方向のズレが20度以内の繊維の本数、Bは、前記ズレが20度を越える繊維の本数で定義される。
〔5〕 前記〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載の圧電ポリマー膜の製造方法であって、前記圧電ポリマー膜は、電界紡糸装置のコレクターの表面に前記細長い形状をパターン化したコレクターを用いて圧電ポリマーを電界紡糸することを特徴とする圧電ポリマー膜の製造方法。
〔6〕 前記〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載の圧電ポリマー膜の両面に電極を形成したことを特徴とする感圧センサ。
〔7〕 前記〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載の圧電ポリマー膜の両面に電極を形成したことを特徴とするアクチュエータ。
〔8〕 前記〔6〕に記載の感圧センサ又は前記〔7〕に記載のアクチュエータを用いたことを特徴とするインターフェースデバイス。
感圧センサあるいはアクチュエータとして当該圧電ポリマー膜を使用するためには、微細繊維の配列膜部が含まれていることが必須であるが、配列膜が感圧センサあるいはアクチュエータとして機能する可否を判断する指標がある。微細繊維の配列膜部の任意の場所について倍率10000で拡大された微細繊維の画像において、画像の左右を結ぶ水平線からの繊維軸方向のズレが20度以内の繊維の本数をA、ズレが20度を越える繊維の本数をBとした場合における配向度をA/(A+B)で定義し、係る配向度が0.7以上であることが望ましい。この値が0.7未満であればデバイスの応答特性に影響を及ぼす場合がある。
本発明の圧電ポリマー膜を作成する方法としては、微細繊維の配列膜部分と等方膜部分を別々に製造せず連続繊維で一体化されて形成されている必要があることから電界紡糸法が好適に用いられる。すなわち、圧電ポリマー膜の製造方法は、電界紡糸装置のコレクタの表面に前記細長い形状をパターン化したコレクタを用いて圧電ポリマーを電界紡糸することを特徴とする。
また、感圧センサを複数個有する感圧センサアレイとすることもできる。
また、アクチュエータを複数個有するアクチュエータ集合体とすることもできる。
ポリフッ化ビニリデン(クレハ製 W#1000)をジメチルアセトアミド(DMAc)の20wt%溶液となるように調製した。
電界紡糸装置のコレクタとして幅10mm、長さ50mmのスリット状のパターン孔を1個設けたアルミ製コレクタを作成し、これの電極をアース設置した後、電極面に電界紡糸法によって前記した樹脂溶液を噴霧し、厚さが3μmの微細繊維膜を形成させた(この場合、配列膜部は1カ所のみとなるので「配列膜モデル」とした。)。電界紡糸条件は、15kVの印加電圧、直径25Gのシリンジ針を用い、0.01ml/分の吐出速度、シリンジ−電極間距離が14cmの条件であった。得られた微細繊維の直径はおよそ100〜150nm程度であった。
電界紡糸装置のコレクタとして幅2mm、長さ15mmのスリット状のパターン孔を8個をそれぞれ45度ずつ離して放射状に設けたアルミ製コレクタを作成し、アース接地した後、電極面に電界紡糸法によって前記した樹脂用液を噴霧し、厚さが3μmの微細繊維膜を形成させた(この場合、配列膜部は8カ所となるので「配列膜アレイモデル」とした。)。電界紡糸条件は15kVの印加電圧、直径25Gのシリンジ針を用い、0.01ml/分の吐出速度、針先‐コレクタ間距離が14cmの条件であった。作成したポリフッ化ビニリデンの微細繊維膜全体の写真および任意の配列部分のレーザー顕微鏡観察結果を図3に示す。得られた微細繊維の直径はおよそ100〜200μm程度であった。
<繊維軸の配向度>
実施例1(配列膜モデル)及び実施例2(配列膜アレイモデルのそれぞれ異なる8個の配列部)のそれぞれ任意の場所について倍率10000で拡大された微細繊維の画像において、画像の左右を結ぶ水平線からの繊維軸方向のズレが20度以内の繊維の本数をA、ズレが20度を越える繊維の本数をBとした場合における配向度をA/(A+B)で定義し、画像解析から配向度を計算した。
実施例1(配列膜モデル)及び実施例2(配列膜アレイモデル)について、アルミ製コレクタから剥離後、直径20mmの半球を先端にもつ円柱に手で押付け、配列膜部が破壊されずに円柱に貼りつけることができるかを調べた。
実施例1(配列膜モデル)に対して作成した感圧センサデバイスモデルについて、下部と上部電極をオシロスコープに接続し、微細繊維膜部分に曲げ変形を加えて、圧電変換に基づく電圧出力の有無を調べた。
ポリフッ化ビニリデンの厚さ5μmのキャスト膜(実施例に使用した樹脂用液を用いて溶媒を乾燥させた)について3次元変形性を評価した。
これらの微細繊維からなる膜はいずれも3次元変形性に優れており、感圧センサモデルデバイスも変形印加後に電圧の出力を検知し、感圧センサとして機能することが分かった。
2 ノズル
3 シリンジ等
4 微細繊維(飛翔中)
5 コレクタ
6 有機ポリマー微細繊維膜
8 ポリフッ化ビニリデン微細繊維層
9 電圧検出部(データロガー、オシロスコープ等)
10 電極取出し部
11 曲げ変形(外部より印加)
Claims (8)
- 繊維径が300nm以下の圧電ポリマーの連続する微細繊維からなる膜であって、前記微細繊維がその繊維軸方向を揃えて形成された膜部分とそれらの周囲に配置された前記微細繊維がその繊維軸に方向性がない膜部分を一体化して形成させた一枚の膜であり、前記微細繊維がその繊維軸方向を揃えて形成された膜部分が細長い形状であることを特徴とする圧電ポリマー膜。
- 前記微細繊維がその繊維軸方向を揃えて形成された膜部分の細長い形状の長辺と短辺のアスペクト比が3以上であることを特徴とする請求項1に記載の圧電ポリマー膜。
- 前記一枚の膜中に前記微細繊維がその繊維軸方向を揃えて形成された細長い形状の膜部分が2以上あることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電ポリマー膜。
- 前記繊維軸方向が揃って形成された膜部分では、下記式(1)で定義される配向度が0.7以上であることを特徴とする請求項1〜3に記載の圧電ポリマー膜。
配向度=B/(A+B) (1)
式中、Aは、線維軸方向を揃えて形成させた膜中の任意の場所について倍率10000で拡大された微細繊維の画像において、画像の左右を結ぶ水平線からの繊維軸方向のズレが20度以内の繊維の本数、Bは、前記ズレが20度を越える繊維の本数で定義される。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の圧電ポリマー膜の製造方法であって、前記圧電ポリマー膜は、電界紡糸装置のコレクターの表面に前記細長い形状をパターン化したコレクターを用いて圧電ポリマーを電界紡糸することを特徴とする圧電ポリマー膜の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の圧電ポリマー膜の両面に電極を形成したことを特徴とする感圧センサ。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の圧電ポリマー膜の両面に電極を形成したことを特徴とするアクチュエータ。
- 請求項6に記載の感圧センサ又は請求項7に記載のアクチュエータを用いたことを特徴とするインターフェースデバイス。
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WO2015019981A1 (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-12 | 株式会社村田製作所 | 押圧検出センサ |
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2017
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