JP2018127902A - Automatic pressure regulating valve and vacuum pumping system - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an automatic pressure regulating valve that can regulate pressure quickly and stably.SOLUTION: An automatic pressure regulating valve 1 comprises a temperature sensor 15 that detects valve temperature, a storage unit 23 in which pumping speed of a pumping system including the automatic pressure regulating valve 1 and a vacuum pump 4 or valve conductance of the automatic pressure regulating valve 1 is stored as a valve control property, and a correction unit 25 that corrects the valve control property on the basis of the detected temperature of the temperature sensor 15 at the time of pressure regulation. Chamber pressure is regulated by controlling an opening degree of the pressure regulating valve on the basis of the valve control property corrected by the correction unit 25, the detected temperature of the temperature sensor 15, and the chamber pressure.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、自動圧力調整バルブおよび真空排気システムに関する。   The present invention relates to an automatic pressure control valve and a vacuum exhaust system.

エッチング装置等の真空装置においては、プロセスチャンバにプロセスガスを流入させつつチャンバ内圧力を所定の圧力維持し、プロセスが行われる。そのため、プロセスチャンバと真空ポンプとの間に自動圧力調整バルブ（ＡＰＣバルブとも呼ばれる）が設けられ、この自動圧力調整バルブによってプロセスチャンバの圧力を所望の圧力に制御している（例えば、特許文献１参照）。   In a vacuum apparatus such as an etching apparatus, a process is performed by maintaining a predetermined pressure in the chamber while allowing a process gas to flow into the process chamber. Therefore, an automatic pressure control valve (also called an APC valve) is provided between the process chamber and the vacuum pump, and the pressure of the process chamber is controlled to a desired pressure by the automatic pressure control valve (for example, Patent Document 1). reference).

特開２０１４−０９３４９７号公報JP 2014-093497 A

しかしながら、エッチング装置等で用いられる自動圧力調整バルブは、生成物の堆積を防止するためにヒータ等により高温状態にして使用される。その場合、温度影響によって自動圧力調整バルブのコンダクタンスが微妙に変化し、排気システムの実効排気速度も変化することになる。その結果、調圧に使用する実効排気速度と実際の実効排気速度との間にズレが生じ、圧力調整動作が鈍くなったり不安定になったりすることがあった。   However, an automatic pressure control valve used in an etching apparatus or the like is used in a high temperature state with a heater or the like in order to prevent product accumulation. In that case, the conductance of the automatic pressure regulating valve slightly changes due to the temperature effect, and the effective exhaust speed of the exhaust system also changes. As a result, there is a difference between the effective exhaust speed used for pressure regulation and the actual effective exhaust speed, and the pressure adjustment operation may become dull or unstable.

本発明の好ましい実施形態による自動圧力調整バルブは、チャンバと真空ポンプとの間に配置され、チャンバ圧力を要求圧力へ調整する自動圧力調整バルブであって、バルブ温度を検出する温度センサと、前記自動圧力調整バルブおよび前記真空ポンプを含む排気系の排気速度または前記自動圧力調整バルブのバルブコンダクタンスがバルブ制御特性として記憶される記憶部と、圧力調整時の前記温度センサの検出温度に基づいて前記バルブ制御特性を補正する補正部と、を備え、前記補正部により補正されたバルブ制御特性、前記温度センサの検出温度および前記チャンバ圧力に基づき圧力調整バルブの開度を制御して前記チャンバ圧力を調整する。
さらに好ましい実施形態では、前記記憶部に記憶される前記バルブ制御特性を生成するバルブ特性生成部を備え、前記バルブ特性生成部は、前記チャンバへ流入するガスの流量情報と、ガス流入時におけるチャンバ圧力検出値と、ガス流入時における前記温度センサの検出温度とに基づいて前記バルブ制御特性を生成する。
さらに好ましい実施形態では、前記記憶部には、前記バルブコンダクタンスまたは前記排気系の排気速度を温度補正する温度補正情報が記憶され、前記補正部は、前記温度補正情報に基づいて前記バルブ制御特性を補正する。
さらに好ましい実施形態では、前記バルブ特性生成部は前記検出温度の異なる複数の前記バルブ制御特性を生成し、前記補正部は、前記バルブ特性生成部により生成された複数の前記バルブ制御特性と、圧力調整時の前記温度センサの検出温度とに基づいて前記バルブ制御特性を補正する。
本発明の好ましい実施形態による真空排気システムは、上述の自動圧力調整バルブと、前記自動圧力調整バルブに接続される真空ポンプと、を備える。 An automatic pressure regulating valve according to a preferred embodiment of the present invention is an automatic pressure regulating valve that is disposed between a chamber and a vacuum pump and regulates the chamber pressure to a required pressure, the temperature sensor detecting the valve temperature, Based on a storage unit in which an exhaust speed of an exhaust system including an automatic pressure adjustment valve and the vacuum pump or a valve conductance of the automatic pressure adjustment valve is stored as a valve control characteristic, and a detected temperature of the temperature sensor at the time of pressure adjustment A correction unit that corrects the valve control characteristic, and controls the opening of the pressure adjustment valve based on the valve control characteristic corrected by the correction unit, the temperature detected by the temperature sensor, and the chamber pressure, thereby adjusting the chamber pressure. adjust.
In a further preferred embodiment, a valve characteristic generation unit that generates the valve control characteristic stored in the storage unit is provided, and the valve characteristic generation unit includes information on a flow rate of gas flowing into the chamber and a chamber at the time of gas inflow. The valve control characteristic is generated based on the detected pressure value and the temperature detected by the temperature sensor at the time of gas inflow.
In a further preferred embodiment, the storage unit stores temperature correction information for correcting the temperature of the valve conductance or the exhaust speed of the exhaust system, and the correction unit sets the valve control characteristic based on the temperature correction information. to correct.
In a further preferred embodiment, the valve characteristic generation unit generates a plurality of the valve control characteristics having different detection temperatures, and the correction unit includes a plurality of the valve control characteristics generated by the valve characteristic generation unit, and a pressure The valve control characteristic is corrected based on the temperature detected by the temperature sensor at the time of adjustment.
A vacuum exhaust system according to a preferred embodiment of the present invention includes the above-described automatic pressure control valve, and a vacuum pump connected to the automatic pressure control valve.

本発明によれば、圧力調整をより素早くかつ安定的に行うことができる。   According to the present invention, pressure adjustment can be performed more quickly and stably.

図１は、真空排気システムの概略構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of the vacuum exhaust system. 図２は、バルブ本体の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the valve body. 図３は、図２のＡ−Ａ断面を示す図である。FIG. 3 is a view showing a cross section taken along the line AA of FIG. 図４は、初期実効排気速度の一例を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating an example of the initial effective exhaust speed. 図５は、ラーニング動作の一例を説明するフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart for explaining an example of the learning operation. 図６は、図５のフローチャートに続く処理を示すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart showing processing following the flowchart of FIG. 図７は、校正Ｓマップの一例を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating an example of the calibration S map. 図８は、温度変化によるコンダクタンスＣvの変化の一例を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating an example of a change in conductance Cv due to a temperature change. 図９は、変形例を説明する図である。FIG. 9 is a diagram illustrating a modification. 図１０は、圧力調整時の圧力変化を模式的に示す図である。FIG. 10 is a diagram schematically showing a pressure change during pressure adjustment.

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図１は本実施の形態の真空排気システムの概略構成を示すブロック図である。図１では、真空排気システムは自動圧力調整バルブ１と真空ポンプ４とで構成されている。真空ポンプには、例えば、ターボ分子ポンプが用いられる。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of the vacuum exhaust system of the present embodiment. In FIG. 1, the evacuation system includes an automatic pressure control valve 1 and a vacuum pump 4. For example, a turbo molecular pump is used as the vacuum pump.

自動圧力調整バルブ１は、真空装置の真空チャンバ３に取り付けられるバルブ本体１ａと、バルブ本体１ａの動作を制御するバルブコントローラ１ｂとで構成される。真空チャンバ３には、チャンバ内にガスを導入するための流量コントローラ３２と、チャンバ内の圧力を検出するための真空計３１が設けられている。流量コントローラ３２から出力される流量Ｑin［Ｐａ・ｍ３／ｓ］に関するデータは、真空装置側に設けられたコントローラ（不図示）に入力される。 The automatic pressure regulating valve 1 is composed of a valve main body 1a attached to a vacuum chamber 3 of a vacuum apparatus, and a valve controller 1b for controlling the operation of the valve main body 1a. The vacuum chamber 3 is provided with a flow rate controller 32 for introducing gas into the chamber and a vacuum gauge 31 for detecting the pressure in the chamber. Data relating to the flow rate Qin [Pa · m 3 / s] output from the flow rate controller 32 is input to a controller (not shown) provided on the vacuum device side.

バルブ本体１ａに設けられたバルブプレート（弁体）１２は、モータ１３によって開閉駆動される。モータ１３にはバルブプレート１２の開度を検出するためのエンコーダ１３０が設けられている。エンコーダ１３０の検出信号（以下では開度計測値θrと記す）はバルブコントローラ１ｂに入力される。バルブ本体１ａには、バルブ本体１ａの温度を計測する温度センサ１５が設けられている。温度センサ１５の温度計測値Ｔはバルブコントローラ１ｂに入力される。また、バルブコントローラ１ｂには、真空計３１により計測された圧力計測値Ｐr［Ｐａ］が入力される。   A valve plate (valve element) 12 provided in the valve body 1 a is driven to open and close by a motor 13. The motor 13 is provided with an encoder 130 for detecting the opening degree of the valve plate 12. A detection signal of the encoder 130 (hereinafter referred to as an opening measurement value θr) is input to the valve controller 1b. The valve body 1a is provided with a temperature sensor 15 for measuring the temperature of the valve body 1a. The temperature measurement value T of the temperature sensor 15 is input to the valve controller 1b. Further, the pressure measurement value Pr [Pa] measured by the vacuum gauge 31 is input to the valve controller 1b.

バルブコントローラ１ｂは、開度制御部２１、モータドライバ部２２、記憶部２３、入力操作部２４、補正部２５および表示部２６を備えている。バルブコントローラ１ｂには真空装置側のコントローラから圧力目標値Ｐsが入力される。開度制御部２１は、圧力目標値Ｐs，開度計測値θrおよび圧力計測値Ｐrに基づいて開度指令値θaを設定する。モータドライバ部２２は、開度指令値θaに基づいてモータ１３を駆動制御する。記憶部２３には、バルブ制御に関するソフトウェアやデータが記憶される。バルブコントローラ１ｂは、入力操作部２４を操作することにより各種指令を入力することができる。表示部２６には、自動圧力調整バルブ１の運転状態等が表示される。補正部２５の機能について後述する。   The valve controller 1b includes an opening degree control unit 21, a motor driver unit 22, a storage unit 23, an input operation unit 24, a correction unit 25, and a display unit 26. The target pressure value Ps is input from the controller on the vacuum device side to the valve controller 1b. The opening control unit 21 sets the opening command value θa based on the target pressure value Ps, the measured opening value θr, and the measured pressure value Pr. The motor driver unit 22 drives and controls the motor 13 based on the opening command value θa. The storage unit 23 stores software and data related to valve control. The valve controller 1 b can input various commands by operating the input operation unit 24. The display unit 26 displays the operating state of the automatic pressure control valve 1 and the like. The function of the correction unit 25 will be described later.

図２はバルブ本体１ａを真空チャンバ３側から見た平面図である。バルブ本体１ａのハウジング１１内に設けられたバルブプレート１２は、モータ１３により揺動駆動される。ハウジング１１の表側および裏側にはフランジ１１０ａ，１１０ｂ（図３参照）が設けられている。バルブプレート１２は、バルブ開口部１１１の全体に対向する全遮蔽位置Ｃ２と、バルブ開口部１１１に全く対向しない全開放位置Ｃ１との間の任意の位置にスライド移動させることができる。   FIG. 2 is a plan view of the valve body 1a as seen from the vacuum chamber 3 side. The valve plate 12 provided in the housing 11 of the valve main body 1a is driven to swing by a motor 13. Flange 110a, 110b (refer FIG. 3) is provided in the front side and the back side of the housing 11. As shown in FIG. The valve plate 12 can be slid to an arbitrary position between a total shielding position C2 that faces the entire valve opening 111 and a fully open position C1 that does not face the valve opening 111 at all.

バルブプレート１２によるバルブ開口部１１１の遮蔽状態は、開度と呼ばれるパラメータで表される。開度とは、比＝（バルブプレートの揺動角）：（全遮蔽状態からバルブ開口部１１１が全て解放されるまでの揺動角）をパーセントで表したものである。図２の全遮蔽位置Ｃ２は開度＝０％であり、全開放位置Ｃ１は開度＝１００％である。すなわち、バルブプレート１２の開度を調整することにより、バルブ本体１ａのコンダクタンスを制御することができる。以下では、開度を、符号θを用いて表すことにする。   The shielding state of the valve opening 111 by the valve plate 12 is represented by a parameter called an opening. The opening degree is a ratio = (swing angle of the valve plate) :( swing angle from the fully shielded state until the valve opening 111 is fully released) expressed as a percentage. 2 is the opening degree = 0%, and the fully open position C1 is the opening degree = 100%. That is, by adjusting the opening degree of the valve plate 12, the conductance of the valve body 1a can be controlled. In the following, the opening degree is expressed using the symbol θ.

図３は、図２のＡ−Ａ断面を示す図である。ハウジング１１には図示上下に移動可能なシールリング１４が設けられている。なお、シールリング１４の駆動機構は図示を省略した。図３は、シールリング１４が最も上方位置に移動された状態を示しており、破線で示すようなガス流路が形成されている。自動圧力調整バルブ１を閉状態とする場合には、シールリング１４を下方に移動させてガス流路を完全に遮蔽する。   FIG. 3 is a view showing a cross section taken along the line AA of FIG. The housing 11 is provided with a seal ring 14 that can move up and down in the drawing. The drive mechanism for the seal ring 14 is not shown. FIG. 3 shows a state where the seal ring 14 is moved to the uppermost position, and a gas flow path as shown by a broken line is formed. When the automatic pressure control valve 1 is closed, the seal ring 14 is moved downward to completely shield the gas flow path.

自動圧力調整バルブ１は、後述するように入力される圧力計測値Ｐrと圧力目標値Ｐsとの差がゼロとなるようにバルブ本体１ａの開度（後述する）を調整して、真空チャンバ３の圧力を圧力目標値Ｐsへと調整する。自動圧力調整バルブ１の開度を制御して真空チャンバ３の圧力を調整するためには、ガス流量と、開度θと、真空チャンバ３に対する真空排気システムの排気速度（以下では、実効排気速度と呼ぶ）との関係を正確に把握しておく必要がある。   The automatic pressure adjusting valve 1 adjusts the opening (described later) of the valve body 1a so that the difference between the pressure measurement value Pr input and the pressure target value Ps is zero as described later, and the vacuum chamber 3 Is adjusted to the pressure target value Ps. In order to adjust the pressure of the vacuum chamber 3 by controlling the opening degree of the automatic pressure regulating valve 1, the gas flow rate, the opening degree θ, the exhaust speed of the vacuum exhaust system with respect to the vacuum chamber 3 (hereinafter referred to as the effective exhaust speed). It is necessary to know the relationship with

一般に、実効排気速度Ｓeは次式（１）で表される。式（１）において、Ｓpは真空ポンプ４の排気速度であり、Ｃvは自動圧力調整バルブ１のコンダクタンスである。自動圧力調整バルブ１のコンダクタンスＣvは開度θによって異なるので、Ｃv(θ)のように開度θの関数として表される。そのため、式（１）の実効排気速度Ｓeもθの関数になっている。
１／Ｓe＝１／Ｓp＋１／Ｃv ・・・（１） In general, the effective exhaust speed Se is expressed by the following equation (1). In Equation (1), Sp is the exhaust speed of the vacuum pump 4, and Cv is the conductance of the automatic pressure control valve 1. Since the conductance Cv of the automatic pressure regulating valve 1 varies depending on the opening degree θ, it is expressed as a function of the opening degree θ like Cv (θ). Therefore, the effective exhaust speed Se in the equation (1) is also a function of θ.
1 / Se = 1 / Sp + 1 / Cv (1)

式（１）から、真空排気システムの実効排気速度Ｓeは、Ｓe＝Ｓp・Ｃv／（Ｓp＋Ｃv）と表される。すなわち、真空排気システムの実効排気速度Ｓeは、自動圧力調整バルブ１のコンダクタンスＣvを変化させることによって変化する。真空チャンバ３内の圧力Ｐは、真空チャンバ３に導入されるガスの流量をＱinとすると、圧力が安定した静的状態においてはＰ＝Ｑin／Ｓeと表される。そのため、真空チャンバ３の圧力Ｐを要求される圧力目標値Ｐsに制御するためには、真空排気システムの実効排気速度ＳeがＳe＝Ｑin／Ｐsとなるように開度θを調整すれば良い。すなわち、自動圧力調整バルブ１のコンダクタンスＣvがＣv＝Ｑin×Ｓp／（Ｐs×Ｓp−Ｑin）となるように開度θを調整する。   From the equation (1), the effective exhaust speed Se of the vacuum exhaust system is expressed as Se = Sp · Cv / (Sp + Cv). That is, the effective exhaust speed Se of the vacuum exhaust system is changed by changing the conductance Cv of the automatic pressure control valve 1. The pressure P in the vacuum chamber 3 is expressed as P = Qin / Se in a static state where the pressure is stable, where Qin is the flow rate of the gas introduced into the vacuum chamber 3. Therefore, in order to control the pressure P of the vacuum chamber 3 to the required pressure target value Ps, the opening degree θ may be adjusted so that the effective exhaust speed Se of the vacuum exhaust system becomes Se = Qin / Ps. That is, the opening degree θ is adjusted so that the conductance Cv of the automatic pressure regulating valve 1 becomes Cv = Qin × Sp / (Ps × Sp−Qin).

自動圧力調整バルブ１による真空チャンバ３の圧力調整は、例えば、次式（２）に示すような調圧式を用いて行われる。Ｑinは真空チャンバ３に導入されるガスの流量である。また、Ｓeは真空チャンバ３に対する実効排気速度、すなわち、真空チャンバ３と自動圧力調整バルブ１との間の配管等のコンダクタンスを加味した真空チャンバ３に対する実効排気速度である。Ｖ［ｍ３］は真空チャンバ３の容積、Ｐ［Ｐａ］は真空チャンバ３内の圧力である。上述したように、真空チャンバ３の圧力が安定した状態においてはＱin＝Ｓe×Ｐと表されるが、真空チャンバ３の圧力が変化する調圧時（動的状態）においては圧力変化に関係する右辺第１項が追加されることになる。この式（２）は記憶部２３に記憶されている。
Ｑin＝Ｖ×（ｄＰ／ｄｔ）＋Ｓe×Ｐ ・・・（２） The pressure adjustment of the vacuum chamber 3 by the automatic pressure adjustment valve 1 is performed using, for example, a pressure regulation type as shown in the following formula (2). Qin is the flow rate of the gas introduced into the vacuum chamber 3. Se is an effective exhaust speed for the vacuum chamber 3, that is, an effective exhaust speed for the vacuum chamber 3 in consideration of conductance such as piping between the vacuum chamber 3 and the automatic pressure control valve 1. V [m 3 ] is the volume of the vacuum chamber 3, and P [Pa] is the pressure in the vacuum chamber 3. As described above, when the pressure in the vacuum chamber 3 is stable, it is expressed as Qin = Se × P. However, when the pressure in the vacuum chamber 3 changes (dynamic state), it is related to the pressure change. The first term on the right side is added. This expression (2) is stored in the storage unit 23.
Qin = V × (dP / dt) + Se × P (2)

式（２）に示す調圧式は真空チャンバ３の容積Ｖも関係しているので、バルブコントローラ１ｂはバルブ本体１ａが取り付けられる真空装置のチャンバ容積Ｖを取得する必要がある。また、実効排気速度Ｓeについても、調圧の精度および安定性を高めるためには、真空排気システムを真空装置に取り付けた状態の実効排気速度を用いるのが好ましい。   Since the pressure regulating equation shown in the equation (2) also relates to the volume V of the vacuum chamber 3, the valve controller 1b needs to acquire the chamber volume V of the vacuum apparatus to which the valve body 1a is attached. As for the effective exhaust speed Se, it is preferable to use the effective exhaust speed in a state where the vacuum exhaust system is attached to the vacuum apparatus in order to increase the accuracy and stability of pressure regulation.

そのため、本実施の形態では、バルブコントローラ１ｂに補正部２５を設け、真空排気システムを真空チャンバ３に取り付けたときに、式（１）で表される真空排気システム単体での実効排気速度（以下では、初期実効排気速度と呼ぶ。）Ｓeを真空チャンバ３に取り付けた状態における実効排気速度に校正する動作（以下では、ラーニング動作と呼ぶ）を行えるような構成とした。真空排気システムを真空チャンバ３に取り付けた状態で、オペレータがバルブコントローラ１ｂの入力操作部２４を操作することにより、ラーニング動作を実行させることができる。   Therefore, in the present embodiment, when the correction unit 25 is provided in the valve controller 1b and the vacuum exhaust system is attached to the vacuum chamber 3, the effective exhaust speed (hereinafter referred to as the single exhaust system) represented by the formula (1) Then, it is referred to as an initial effective pumping speed.) It is configured such that an operation (hereinafter referred to as a learning operation) for calibrating Se to an effective pumping speed in a state of being attached to the vacuum chamber 3 can be performed. With the evacuation system attached to the vacuum chamber 3, the learning operation can be executed by the operator operating the input operation unit 24 of the valve controller 1 b.

ところで、自動圧力調整バルブ１を真空チャンバ３に取り付けて使用する際には、自動圧力調整バルブ１への生成物付着を防止するためにバルブ本体１ａをヒータ等により加熱するようにしている。この加熱によりバルブ本体１ａの温度が上昇すると、バルブプレート１２とハウジング１１との隙間寸法が変化するなどして自動圧力調整バルブ１のコンダクタンスＣvが変化し、その影響により真空排気システムの実効排気速度Ｓeが変化することになる。バルブコントローラ１ｂの補正部２５は、上述したラーニング動作を行う機能に加え、ラーニング動作により取得された実効排気速度Ｓeに対して調圧時のバルブ温度に基づく温度校正を行う機能も備えている。   By the way, when the automatic pressure adjusting valve 1 is attached to the vacuum chamber 3, the valve main body 1a is heated by a heater or the like in order to prevent the product from adhering to the automatic pressure adjusting valve 1. When the temperature of the valve main body 1a rises due to this heating, the conductance Cv of the automatic pressure regulating valve 1 changes due to a change in the gap between the valve plate 12 and the housing 11, and the effective pumping speed of the vacuum pumping system due to the influence. Se will change. The correction unit 25 of the valve controller 1b has a function of performing temperature calibration based on the valve temperature during pressure adjustment with respect to the effective exhaust speed Se acquired by the learning operation in addition to the function of performing the learning operation described above.

（ラーニング動作の説明）
式（１）で示したように、真空排気システムの実効排気速度Ｓeは、真空ポンプの排気速度Ｓpと自動圧力調整バルブ１のコンダクタンスＣvとで表される。コンダクタンスＣvは開度θの関数Ｃv(θ)として表され、真空ポンプ４の排気速度Ｓpは流量Ｑに依存するので流量Ｑの関数Ｓp(Ｑ)のように表される。その結果、実効排気速度Ｓeは、流量Ｑと開度θとの関数Ｓe(Ｑ，θ)として表される。 (Description of learning operation)
As shown in the formula (1), the effective exhaust speed Se of the vacuum exhaust system is expressed by the exhaust speed Sp of the vacuum pump and the conductance Cv of the automatic pressure control valve 1. The conductance Cv is expressed as a function Cv (θ) of the opening degree θ, and the exhaust speed Sp of the vacuum pump 4 is expressed as a function Sp (Q) of the flow rate Q because it depends on the flow rate Q. As a result, the effective exhaust speed Se is expressed as a function Se (Q, θ) between the flow rate Q and the opening degree θ.

本実施の形態では、排気速度Ｓp(Ｑ)とコンダクタンスＣv(θ)とから式（１）により算出される真空排気システムの実効排気速度Ｓe(Ｑ，θ)、または、予め設定されたチャンバを使用して実測された実効排気速度Ｓe(Ｑ，θ)が、式（２）の調圧式に用いられる実効排気速度Ｓeの初期データ（初期実効排気速度）として記憶部２３に記憶されている。   In the present embodiment, the effective exhaust speed Se (Q, θ) of the vacuum exhaust system calculated from the exhaust speed Sp (Q) and the conductance Cv (θ) by the equation (1), or a preset chamber is set. The effective exhaust speed Se (Q, θ) actually measured by use is stored in the storage unit 23 as initial data (initial effective exhaust speed) of the effective exhaust speed Se used in the pressure-regulating equation (2).

図４は、初期実効排気速度の一例を示す図である。図４では、初期実効排気速度Ｓe(Ｑ，θ)に関する排気速度データＳij（ただし、i,j＝０，１，２，・・・，９）が、複数のガス流量Ｑ0，Ｑ1，・・・，Ｑ9と複数の開度θ0，θ1，・・・，θ9の組み合わせに関する２次元マップとして表されている。なお、θ0＝０（％）、θ9＝１００（％）である。排気するガスの種類としては、一般的に窒素ガスやＡｒガスが用いられる。以下では、この初期実効排気速度Ｓe(Ｑ，θ)の２次元マップを、デフォルトＳマップと呼ぶことにする。   FIG. 4 is a diagram illustrating an example of the initial effective exhaust speed. In FIG. 4, the exhaust velocity data Sij (where i, j = 0, 1, 2,..., 9) relating to the initial effective exhaust velocity Se (Q, θ) is a plurality of gas flow rates Q0, Q1,. .., And is represented as a two-dimensional map relating to a combination of a plurality of openings θ0, θ1,. Note that θ0 = 0 (%) and θ9 = 100 (%). Generally, nitrogen gas or Ar gas is used as the type of gas to be exhausted. Hereinafter, this two-dimensional map of the initial effective exhaust speed Se (Q, θ) will be referred to as a default S map.

例えば、排気速度データＳ32はガス流量がＱ3で開度がθ2の場合の排気速度データを表している。上述したように、初期実効排気速度Ｓe(Ｑ3，θ2)の実排気速度データＳ32は、自動圧力調整バルブ１の開度をθ2に設定したときのコンダクタンスＣv(θ2)と、ガス流量Ｑ3における真空ポンプ４の排気速度Ｓp(Ｑ3)を式（１）に代入することで算出される。または、予め設定されたチャンバを使用し、開度θ2およびガス流量Ｑ3に設定して実験的に得られた実効排気速度を排気速度データＳ32としても良い。   For example, the exhaust velocity data S32 represents the exhaust velocity data when the gas flow rate is Q3 and the opening degree is θ2. As described above, the actual exhaust speed data S32 of the initial effective exhaust speed Se (Q3, θ2) is the conductance Cv (θ2) when the opening of the automatic pressure regulating valve 1 is set to θ2, and the vacuum at the gas flow rate Q3. It is calculated by substituting the exhaust speed Sp (Q3) of the pump 4 into the equation (1). Alternatively, an effective exhaust speed experimentally obtained by using a preset chamber and setting the opening degree θ2 and the gas flow rate Q3 may be used as the exhaust speed data S32.

ラーニング動作では、真空排気システム（自動圧力調整バルブ１および真空ポンプ４）を真空装置の真空チャンバ３に取り付けた状態でガスを流し、そのときに実測される実効排気速度を用いて図４に示すデフォルトＳマップを校正する。ここでは、校正後のＳマップを校正Ｓマップと呼び、校正Ｓマップで表される実効排気速度を校正実効排気速度Ｓe1(Ｑ,θ)と呼ぶことにする。   In the learning operation, the gas is flowed in a state where the vacuum exhaust system (the automatic pressure adjusting valve 1 and the vacuum pump 4) is attached to the vacuum chamber 3 of the vacuum apparatus, and the effective exhaust speed actually measured at that time is used, as shown in FIG. Calibrate the default S map. Here, the corrected S map is referred to as a calibration S map, and the effective exhaust speed represented by the calibration S map is referred to as a calibration effective exhaust speed Se1 (Q, θ).

図５，６は、ラーニング動作の一例を説明するフローチャートである。この処理は、図１のバルブコントローラ１ｂの補正部２５において実行される。ラーニング動作においては、開度制御部２１は、補正部２５からの指令に基づいて、圧力計測値Ｐr、圧力目標値Ｐs、開度計測値θrおよび調圧の式（２）に基づく調圧制御を行う。式（２）の実効排気速度ＳeにはデフォルトＳマップを用いた初期実効排気速度Ｓe(Ｑ,θ)が用いられる。オペレータは、入力操作部２４を操作して設定画面を表示部２６に表示させ、その設定画面からラーニング動作を選択する。設定画面でラーニング動作が選択されると、図５，６に示すラーニング処理がスタートする。   5 and 6 are flowcharts for explaining an example of the learning operation. This process is executed in the correction unit 25 of the valve controller 1b in FIG. In the learning operation, the opening degree control unit 21 is based on the command from the correction unit 25, and the pressure regulation control based on the pressure measurement value Pr, the pressure target value Ps, the opening degree measurement value θr, and the pressure regulation formula (2). I do. The initial effective exhaust speed Se (Q, θ) using the default S map is used as the effective exhaust speed Se in the equation (2). The operator operates the input operation unit 24 to display a setting screen on the display unit 26 and selects a learning operation from the setting screen. When the learning operation is selected on the setting screen, the learning process shown in FIGS. 5 and 6 starts.

ステップＳ１０では、真空チャンバ３の容量Ｖの入力を要求する画面が表示部２６に表示される。オペレータは、画面表示に従って容量Ｖの値を入力する。ステップＳ２０では、容量Ｖの入力があったか否かを判定し、入力があるとステップＳ３０へ進む。   In step S <b> 10, a screen requesting input of the capacity V of the vacuum chamber 3 is displayed on the display unit 26. The operator inputs the value of the capacity V according to the screen display. In step S20, it is determined whether or not the capacity V has been input. If there is an input, the process proceeds to step S30.

ステップＳ３０では、流量選択画面が表示部２６に表示される。例えば、図４に示すデフォルトＳマップではガス流量ＱはＱ0〜Ｑ9までの１０種類が設定されているので、これら１０種類のガス流量からいずれか一つを選択させる流量選択画面を表示する。オペレータは、流量選択画面の指示に従ってガス流量を選択し、その後、選択完了操作を行う。ステップＳ４０では、選択完了操作の入力の有無を判定し、入力があるとステップＳ５０へ進む。   In step S30, a flow rate selection screen is displayed on the display unit 26. For example, in the default S map shown in FIG. 4, since 10 types of gas flow rates Q0 to Q9 are set, a flow rate selection screen for selecting any one of these 10 types of gas flow rates is displayed. The operator selects a gas flow rate according to the instruction on the flow rate selection screen, and then performs a selection completion operation. In step S40, it is determined whether or not a selection completion operation has been input. If there is an input, the process proceeds to step S50.

ステップＳ５０では、選択されたガス流量でのガス流入開始を指示する画面を表示部２６に表示する。オペレータは、画面表示に従って真空チャンバ３へガスを流入させ、チューニング動作の開始を指示する操作を入力操作部２４により行う。   In step S50, a screen for instructing start of gas inflow at the selected gas flow rate is displayed on the display unit 26. The operator causes the gas to flow into the vacuum chamber 3 according to the screen display, and performs an operation for instructing the start of the tuning operation by the input operation unit 24.

ステップＳ６０では、オペレータによるラーニング動作の開始を指示する操作があったか否かを判定する。入力操作部２４により開始指示操作が入力されるとステップＳ７０へ進む。   In step S60, it is determined whether or not there has been an operation for instructing the operator to start the learning operation. When a start instruction operation is input by the input operation unit 24, the process proceeds to step S70.

ステップＳ７０では、所定時間が経過したか否かを判定する。この所定時間は、ガス流入後の真空チャンバ３内の圧力が安定するまでの待機時間であり、予め設定されている。なお、予め設定されている所定時間が経過するまで待機する代わりに、真空チャンバ３の圧力計測値Ｐrの変化が所定閾値以下となるまで待機するようにしても良い。   In step S70, it is determined whether a predetermined time has elapsed. This predetermined time is a waiting time until the pressure in the vacuum chamber 3 after gas inflow is stabilized, and is set in advance. Instead of waiting until a predetermined time that has been set in advance, it may be waited until the change in the pressure measurement value Pr of the vacuum chamber 3 becomes equal to or less than a predetermined threshold.

ステップＳ８０では、図４の開度θ0〜θ9を開度θjと表した場合のパラメータｊを、初期値のｊ＝０に設定する。ステップＳ８０の処理が終了すると、図６のステップＳ９０へ進む。   In step S80, the parameter j when the openings θ0 to θ9 in FIG. 4 are expressed as the opening θj is set to an initial value j = 0. When the process of step S80 ends, the process proceeds to step S90 of FIG.

ステップＳ９０では、自動圧力調整バルブ１の開度をθjに設定する。ここで、ステップＳ８０からステップＳ９０へ進んだ場合には、ステップＳ８０でｊ＝０と設定されているので、開度θをθ0（＝０）に設定する。ステップＳ１００では、真空チャンバ３内の圧力が安定するまで所定時間待機する。ステップＳ１１０では、図１の真空計３１で計測された真空チャンバ３の圧力計測値Ｐrを取得する。   In step S90, the opening degree of the automatic pressure regulating valve 1 is set to θj. When the process proceeds from step S80 to step S90, since j = 0 is set in step S80, the opening degree θ is set to θ0 (= 0). In step S100, the process waits for a predetermined time until the pressure in the vacuum chamber 3 is stabilized. In step S110, the pressure measurement value Pr of the vacuum chamber 3 measured by the vacuum gauge 31 of FIG. 1 is acquired.

ステップＳ１２０では、現在のｊに１を加算し、それを新たなｊとする。ステップＳ１３０ではｊ＞９か否かを判定し、ｊ＞９の場合にはステップＳ１４０へ進み、ｊが９以下の場合にはステップＳ９０に戻る。すなわち、ｊ＝０〜９まではステップＳ９０からステップＳ１３０までの処理が繰り返される。その結果、各開度θ0〜θ9における圧力計測値Ｐrがそれぞれ取得される。   In step S120, 1 is added to the current j to make it a new j. In step S130, it is determined whether j> 9. If j> 9, the process proceeds to step S140. If j is 9 or less, the process returns to step S90. That is, the process from step S90 to step S130 is repeated until j = 0-9. As a result, the pressure measurement values Pr at the respective opening degrees θ0 to θ9 are acquired.

ステップＳ１４０では、次式（３）を用いて各開度θ0〜θ9における排気速度データＳij(Ｑi，θj)を算出する。この排気速度データＳij(Ｑi，θj)は、校正実効排気速度Ｓe1(Ｑ,θ)を表す２次元の校正Ｓマップのｉｊ要素である。式（３）において、Ｑｉは選択したガス流量であり、Ｐr(j)は開度θjにおいて取得された圧力計測値である。この式（３）は、上述した式（２）において「ｄＰ／ｄｔ＝０」とした場合に得られる式であり、圧力が一定となっている静的な場合に適用することができる。
Ｓij(Ｑi，θj）＝Ｑi／Ｐr(j) ・・・（３） In step S140, exhaust velocity data Sij (Qi, θj) at each opening θ0 to θ9 is calculated using the following equation (3). The exhaust velocity data Sij (Qi, θj) is an ij element of a two-dimensional calibration S map representing the calibration effective exhaust velocity Se1 (Q, θ). In Equation (3), Qi is the selected gas flow rate, and Pr (j) is the pressure measurement value acquired at the opening θj. This expression (3) is an expression obtained when “dP / dt = 0” in the above-described expression (2), and can be applied to a static case where the pressure is constant.
Sij (Qi, θj) = Qi / Pr (j) (3)

ステップＳ１５０では、ステップＳ１４０で算出された排気速度データＳij(Ｑi，θj）が妥当であるか否かの判定を行う。判定方法の一例としては、デフォルトＳマップの対応する排気速度データＳijと算出された校正Ｓマップの排気速度データＳij(Ｑi，θj）との差分が、予め設定した閾値以下であるならば妥当と判定する。算出された排気速度データＳij(Ｑi，θj）とデフォルトＳマップの排気速度データＳijとの差の要因としては、真空チャンバ３の容積がデフォルトＳマップにおいて前提とされているチャンバ容積と異なることや、配管コンダクタンスの影響があげられる。これらの影響が大きくない限り、算出された排気速度データＳij(Ｑi，θj）とデフォルトＳマップの排気速度データＳijとが大きく異なることはない。   In step S150, it is determined whether or not the exhaust velocity data Sij (Qi, θj) calculated in step S140 is valid. As an example of the determination method, it is appropriate if the difference between the exhaust speed data Sij corresponding to the default S map and the calculated exhaust speed data Sij (Qi, θj) of the calibration S map is equal to or smaller than a preset threshold value. judge. As a factor of the difference between the calculated exhaust velocity data Sij (Qi, θj) and the exhaust velocity data Sij of the default S map, the volume of the vacuum chamber 3 is different from the chamber volume assumed in the default S map. The influence of pipe conductance can be raised. As long as these influences are not large, the calculated exhaust velocity data Sij (Qi, θj) and the exhaust velocity data Sij in the default S map do not differ greatly.

そこで、Ｓij(Ｑi，θj）とＳijとが大きく乖離している場合には、算出された排気速度データＳij(Ｑi，θj）は適切でないと判断する。妥当性の判定基準である閾値は、予め記憶部２３に記憶されている。ステップＳ１５０において妥当でないと判定されると、ステップＳ１５５へ進んで表示部２６に警告表示を表示する。一方、妥当と判定された場合には、ステップＳ１５０からステップＳ１６０へ進む。   Therefore, when Sij (Qi, θj) and Sij are largely different, it is determined that the calculated exhaust velocity data Sij (Qi, θj) is not appropriate. A threshold value that is a criterion for validity is stored in the storage unit 23 in advance. If it is determined in step S150 that it is not appropriate, the process proceeds to step S155, and a warning display is displayed on the display unit 26. On the other hand, if it is determined to be valid, the process proceeds from step S150 to step S160.

ステップＳ１５０で妥当であると判定されると、図４に示すデフォルトＳマップの流量Ｑ0〜Ｑ9の一つに対応した、校正Ｓマップの一行（横一列）の排気速度データＳij(Ｑi，θj）が得られたことになる。すなわち、実測値に基づく１０個の排気速度データＳij(Ｑi，θj）が校正実効排気速度Ｓe1(Ｑ，θ)として得られた。ここで、ｉ（＝０〜９）はガス流量がＱiであることを表し、ｊ（＝０〜９）は開度がθjであることを表す。   If it is determined to be appropriate in step S150, the exhaust velocity data Sij (Qi, θj) in one row (one horizontal row) of the calibration S map corresponding to one of the flow rates Q0 to Q9 of the default S map shown in FIG. Is obtained. That is, ten exhaust velocity data Sij (Qi, θj) based on the actually measured values were obtained as the calibration effective exhaust velocity Se1 (Q, θ). Here, i (= 0 to 9) represents that the gas flow rate is Qi, and j (= 0 to 9) represents that the opening degree is θj.

ステップＳ１６０では、ガス流量Ｑiの行以外の所定領域の排気速度データを、上述のように得られた排気速度データＳij(Ｑi，θj）を用いて算出する。所定領域の校正実効排気速度の計算の詳細については後述する。ステップＳ１７０では、図４のデフォルトＳマップの一部をステップＳ１４０およびステップＳ１６０で取得された排気速度データＳij(Ｑi，θj）で置き換えたマップ（図７参照）を、校正ＳマップとしてデフォルトＳマップとは別に記憶部２３に記憶する。   In step S160, the exhaust velocity data in a predetermined region other than the row of the gas flow rate Qi is calculated using the exhaust velocity data Sij (Qi, θj) obtained as described above. Details of the calculation of the calibration effective exhaust speed in the predetermined area will be described later. In step S170, a map (see FIG. 7) obtained by replacing a part of the default S map of FIG. 4 with the exhaust velocity data Sij (Qi, θj) acquired in steps S140 and S160 is used as a calibration S map. Separately stored in the storage unit 23.

図７は、上述のようにして生成された校正Ｓマップの一例を示す図である。図７の校正Ｓマップでは、ガス流量Ｑ6に関して校正された排気速度データＳt60〜Ｓt69が取得されている。なお、図７の校正Ｓマップでは、校正された排気速度データＳij(Ｑi，θj）をＳtijのように表示した。   FIG. 7 is a diagram showing an example of the calibration S map generated as described above. In the calibration S map of FIG. 7, the exhaust velocity data St60 to St69 calibrated with respect to the gas flow rate Q6 are acquired. In the calibration S map of FIG. 7, the calibrated exhaust velocity data Sij (Qi, θj) is displayed as Stij.

また、図７の太線で囲まれた領域Ｒ１の排気速度データＳt59，Ｓt76〜Ｓt79，Ｓt84〜Ｓt89およびＳt93〜St99は、実測値に基づいて校正された排気速度データＳt60〜Ｓt69を用いて算出した排気速度データである。ガス流量Ｑ6の行の排気速度データおよび領域Ｒ１の排気速度データを除く、その他の排気速度データについては、デフォルトＳマップの排気速度データを使用している。   Further, the exhaust velocity data St59, St76 to St79, St84 to St89, and St93 to St99 in the region R1 surrounded by the thick line in FIG. Exhaust speed data. For the other exhaust speed data excluding the exhaust speed data in the row of the gas flow rate Q6 and the exhaust speed data in the region R1, the exhaust speed data in the default S map is used.

次に、領域Ｒ１の排気速度データについて説明する。領域Ｒ１に含まれる排気速度データＳt59，Ｓt76〜Ｓt79，Ｓt84〜Ｓt89およびＳt93〜St99については、排気速度データＳt60〜Ｓt69を用いた演算により推定する。上述したように、図４に示すデフォルトＳマップでは、排気速度データＳijとして、真空ポンプ４の排気速度Ｓpが定格排気速度であると仮定した場合の実効排気速度が用いられている。または、予め設定された所定容積のチャンバを使用して実測または算出された実効排気速度が用いられている。そのため、実際の真空チャンバ３との容積差や排気速度Ｓpにおける流量Ｑの影響が考慮されていない。   Next, the exhaust velocity data in the region R1 will be described. The exhaust speed data St59, St76 to St79, St84 to St89 and St93 to St99 included in the region R1 are estimated by calculation using the exhaust speed data St60 to St69. As described above, in the default S map shown in FIG. 4, the effective exhaust speed when the exhaust speed Sp of the vacuum pump 4 is assumed to be the rated exhaust speed is used as the exhaust speed data Sij. Alternatively, an effective exhaust speed measured or calculated using a chamber having a predetermined volume set in advance is used. Therefore, the influence of the flow rate Q on the volume difference from the actual vacuum chamber 3 and the exhaust speed Sp is not considered.

そのため、図７に示す校正Ｓマップでは、ガス流量Ｑ6に関しては、上述したように開度θ0〜θ9に対する排気速度データＳt60〜Ｓt69を実測値から求める。これらの排気速度データＳt60〜Ｓt69には、吸気口圧力が高い領域における真空ポンプ４の性能低下の影響（流量Ｑの影響）と、実際に使用する真空チャンバ３の容積や配管コンダクタンスの影響が含まれている。   Therefore, in the calibration S map shown in FIG. 7, with respect to the gas flow rate Q6, as described above, the exhaust velocity data St60 to St69 for the openings θ0 to θ9 are obtained from the actually measured values. These exhaust velocity data St60 to St69 include the effect of the performance deterioration of the vacuum pump 4 in the region where the inlet pressure is high (the effect of the flow rate Q), and the effect of the volume of the vacuum chamber 3 actually used and the pipe conductance. It is.

図４，７に示すＳマップにおいて、開度θが小さい領域では、自動圧力調整バルブ１のコンダクタンスＣvが真空ポンプ４の排気速度Ｓpよりも小さくなり、式（１）で算出される実効排気速度Ｓeは、コンダクタンスＣvが支配的となる。そのため、実効排気速度の変化はほぼ開度θの変化に依存している。一方、開度θが大きな領域では、自動圧力調整バルブ１のコンダクタンスＣvが真空ポンプ４の排気速度Ｓpよりも大きくなり、実効排気速度の変化は排気速度Ｓpの変化に支配されることになる。そのため、ガス流量が大きくなる領域では、排気速度Ｓpの低下の影響が顕著になる。   4 and 7, in the region where the opening degree θ is small, the conductance Cv of the automatic pressure regulating valve 1 is smaller than the exhaust speed Sp of the vacuum pump 4, and the effective exhaust speed calculated by the equation (1). In Se, conductance Cv is dominant. Therefore, the change in the effective exhaust speed is almost dependent on the change in the opening degree θ. On the other hand, in the region where the opening degree θ is large, the conductance Cv of the automatic pressure adjusting valve 1 is larger than the exhaust speed Sp of the vacuum pump 4 and the change in the effective exhaust speed is governed by the change in the exhaust speed Sp. Therefore, in the region where the gas flow rate increases, the influence of the decrease in the exhaust speed Sp becomes significant.

そこで、本実施の形態では、排気速度Ｓpの低下の影響が特に顕著な領域Ｒ１において、実測された排気速度データＳt60〜Ｓt69を利用した校正処理を行うようにした。例えば、図４の排気速度データＳ78を図７の排気速度データＳt78に校正する場合には、先ず、同じ開度θ8における校正された排気速度データＳt68と図４の排気速度データＳ68との比（Ｓt68／Ｓ68）を計算する。そして、校正後の排気速度データＳt78と図４の排気速度データＳ78との比も、ほぼ同じ値になるものと考える。すなわち、次式（４）により校正後の排気速度データＳt78を算出する。
Ｓt78＝(Ｓt68／Ｓ68)×Ｓ78 ・・・（４） Therefore, in the present embodiment, the calibration process using the actually measured exhaust speed data St60 to St69 is performed in the region R1 where the influence of the decrease in the exhaust speed Sp is particularly remarkable. For example, when the exhaust speed data S78 of FIG. 4 is calibrated to the exhaust speed data St78 of FIG. 7, first, the ratio between the corrected exhaust speed data St68 and the exhaust speed data S68 of FIG. St68 / S68) is calculated. Then, it is considered that the ratio between the exhaust speed data St78 after calibration and the exhaust speed data S78 in FIG. That is, the exhaust speed data St78 after calibration is calculated by the following equation (4).
St78 = (St68 / S68) × S78 (4)

同一開度θ8の排気速度データＳt88，Ｓt98についても、図４の排気速度データＳ88，Ｓ98に係数(Ｓt68／Ｓ68)を乗算することにより得られる。同様に、開度θ6に関する校正後の排気速度データＳt76，Ｓt86，Ｓt96については、図４の排気速度データＳ76，Ｓ86，Ｓ96に係数(Ｓt66／Ｓ66)を乗算すれば良い。   The exhaust speed data St88 and St98 with the same opening degree θ8 are also obtained by multiplying the exhaust speed data S88 and S98 of FIG. 4 by a coefficient (St68 / S68). Similarly, for the exhaust speed data St76, St86, St96 after calibration relating to the opening degree θ6, the exhaust speed data S76, S86, S96 of FIG. 4 may be multiplied by a coefficient (St66 / S66).

以上のような手順で図７の校正Ｓマップが得られたならば、上述したように校正Ｓマップを記憶部２３に記憶する。そして、調圧制御においては校正Ｓマップに基づいてバルブ開度が制御される。   When the calibration S map of FIG. 7 is obtained by the above procedure, the calibration S map is stored in the storage unit 23 as described above. In the pressure adjustment control, the valve opening is controlled based on the calibration S map.

なお、上述した校正Ｓマップは、図１に示す真空チャンバのプロセスにおけるガス流量がＱ6である場合を想定して求めたものである。そのため、他のガス流量でプロセスを行う場合には、そのガス流量においてラーニング動作を再度行う必要がある。例えば、ガス流量Ｑ4で他のプロセスを行う場合、ガス流量Ｑ4でラーニング動作を別途行い、排気速度データＳ40〜Ｓ49に代わる校正後の排気速度データＳt40〜Ｓt49を求める。そして、記憶部２３に記憶されている校正Ｓマップのガス流量Ｑ4の行の排気速度データＳ40〜Ｓ49を校正後の排気速度データＳt40〜Ｓt49で書き換える。   The above-described calibration S map is obtained assuming that the gas flow rate in the vacuum chamber process shown in FIG. 1 is Q6. Therefore, when the process is performed at another gas flow rate, it is necessary to perform the learning operation again at the gas flow rate. For example, when another process is performed at the gas flow rate Q4, a learning operation is separately performed at the gas flow rate Q4 to obtain corrected exhaust velocity data St40 to St49 instead of the exhaust velocity data S40 to S49. Then, the exhaust speed data S40 to S49 in the row of the gas flow rate Q4 in the calibration S map stored in the storage unit 23 are rewritten with the corrected exhaust speed data St40 to St49.

（温度校正の説明）
次に、補正部２５における温度校正について説明する。前述したように、自動圧力調整バルブ１は生成物付着を防止するためにヒータ等により加熱され、自動圧力調整バルブ１の温度が変化する。自動圧力調整バルブ１の温度が変化すると、コンダクタンスＣvも変化する。すなわち、上述のラーニング動作を行っても、その後のヒーティングによるバルブ温度の変化によりコンダクタンスＣvが変化し、調圧精度が低下するという問題が生じる。 (Explanation of temperature calibration)
Next, temperature calibration in the correction unit 25 will be described. As described above, the automatic pressure control valve 1 is heated by a heater or the like in order to prevent product adhesion, and the temperature of the automatic pressure control valve 1 changes. When the temperature of the automatic pressure control valve 1 changes, the conductance Cv also changes. That is, even if the above-described learning operation is performed, there arises a problem that the conductance Cv changes due to a change in the valve temperature due to subsequent heating, and the pressure regulation accuracy decreases.

図８は、温度変化によるコンダクタンスＣvの変化の一例を示す図である。ラインＬ１はバルブ温度＝２５℃の場合のコンダクタンスＣv(25℃、θ)を示し、ラインＬ２はバルブ温度＝１２０℃の場合のコンダクタンスＣv(120℃、θ)を示す。このようにバルブ温度が上昇すると、コンダクタンス値が低下する。コンダクタンスＣvが変化すると、それに応じて式（１）で算出される実効排気速度Ｓeも変化する。そのため、調圧時に使用される実効排気速度には、ラーニング動作で校正された校正実効排気速度Ｓe1をさらに温度校正した温度校正実効排気速度Ｓe2を用いるのが好ましい。   FIG. 8 is a diagram illustrating an example of a change in conductance Cv due to a temperature change. Line L1 indicates conductance Cv (25 ° C., θ) when the valve temperature = 25 ° C., and line L2 indicates conductance Cv (120 ° C., θ) when the valve temperature = 120 ° C. When the valve temperature increases in this way, the conductance value decreases. When the conductance Cv changes, the effective exhaust speed Se calculated by the equation (1) also changes accordingly. Therefore, it is preferable to use the temperature calibration effective exhaust speed Se2 obtained by further temperature-calibrating the calibration effective exhaust speed Se1 calibrated by the learning operation as the effective exhaust speed used at the time of pressure adjustment.

温度校正は以下のようにして行う。排気システム単体における初期実効排気速度Ｓe(Ｑ，θ，Ｔ)については前述した式（１）で表されるが、真空排気システムを真空チャンバ３に取り付けた状態での校正実効排気速度Ｓe1(Ｑ，θ，Ｔ)は次式（５）にように表される。式（５）において、Ｃ1は真空チャンバ３に対する実効排気速度を低下させる要因をコンダクタンスで表現したものであり、自動圧力調整バルブ１までの配管のコンダクタンスや真空チャンバ３の形状等が影響する。
１／Ｓe1＝１／Ｓp＋１／Ｃv＋１／Ｃ1 …（５） Perform temperature calibration as follows. The initial effective exhaust speed Se (Q, θ, T) in the exhaust system alone is expressed by the above-described formula (1). However, the calibration effective exhaust speed Se1 (Q with the vacuum exhaust system attached to the vacuum chamber 3 is described. , Θ, T) is expressed as the following equation (5). In the equation (5), C1 expresses a factor that lowers the effective exhaust speed with respect to the vacuum chamber 3 by conductance, and is affected by conductance of piping up to the automatic pressure regulating valve 1, the shape of the vacuum chamber 3, and the like.
1 / Se1 = 1 / Sp + 1 / Cv + 1 / C1 (5)

ここで、Ｃ1はＳpやＣvに比べて大きいと考えて１／Ｃ1≒０とみなすとＳe1≒Ｓeとなるので、校正実効排気速度Ｓe1(Ｑ，θ，Ｔ)に対するコンダクタンスＣvの温度変化の影響は、初期実効排気速Ｓe(Ｑ，θ，Ｔ)に対するコンダクタンスＣvの温度変化の影響とほぼ同じであると考えてもよい。   Here, assuming that C1 is larger than Sp and Cv and assuming that 1 / C1≈0, Se1≈Se. Therefore, the influence of the temperature change of the conductance Cv on the calibration effective exhaust speed Se1 (Q, θ, T). May be considered to be almost the same as the influence of the temperature change of the conductance Cv on the initial effective pumping speed Se (Q, θ, T).

まず、温度校正の基準温度を設定し、例えば、温度２５℃を基準温度に設定し、バルブ温度が温度Ｔのときの初期実効排気速度Ｓe(Ｑ，θ，Ｔ)を次式（６）のように設定する。Ｓe(Ｑ，θ，25℃)は基準温度（２５℃）における初期実効排気速度であり、Ｇ(Ｔ，θ)は温度補正係数である。温度補正係数Ｇ(Ｔ，θ)は、種々の温度Ｔについて実効排気速度を計測することで、実験的に求めることができる。
Ｓe(Ｑ，θ，Ｔ)＝Ｓe(Ｑ，θ，25℃)×Ｇ(Ｔ，θ) …（６） First, a reference temperature for temperature calibration is set, for example, a temperature of 25 ° C. is set as a reference temperature, and an initial effective exhaust speed Se (Q, θ, T) when the valve temperature is a temperature T is expressed by the following equation (6). Set as follows. Se (Q, θ, 25 ° C.) is an initial effective exhaust speed at a reference temperature (25 ° C.), and G (T, θ) is a temperature correction coefficient. The temperature correction coefficient G (T, θ) can be obtained experimentally by measuring the effective exhaust speed for various temperatures T.
Se (Q, θ, T) = Se (Q, θ, 25 ° C.) × G (T, θ) (6)

ラーニング動作時のバルブ温度をＴ１とすると、ラーニング動作による校正を行う前の初期実効排気速度Ｓe(Ｑ，θ，Ｔ１)は次式（７）のように表される。また、温度上昇時（調圧時）のバルブ温度をＴ２とした場合、バルブ温度Ｔ２における初期実効排気速度Ｓe(Ｑ，θ，Ｔ２)は、初期実効排気速度Ｓe(Ｑ，θ，Ｔ１)を用いて次式（８）のように表される。
Ｓe(Ｑ,θ,Ｔ１)＝Ｓe(Ｑ,θ,25℃)×Ｇ(Ｔ１,θ) …（７）
Ｓe(Ｑ,θ,Ｔ２)＝Ｓe(Ｑ,θ,25℃)×Ｇ(Ｔ２,θ)
＝Ｓe(Ｑ,θ,Ｔ１)×Ｇ(Ｔ２,θ)／Ｇ(Ｔ１,θ) …（８） Assuming that the valve temperature during the learning operation is T1, the initial effective exhaust speed Se (Q, θ, T1) before calibration by the learning operation is expressed by the following equation (7). When the valve temperature at the time of temperature rise (pressure adjustment) is T2, the initial effective exhaust speed Se (Q, θ, T2) at the valve temperature T2 is the initial effective exhaust speed Se (Q, θ, T1). The following expression (8) is used.
Se (Q, θ, T1) = Se (Q, θ, 25 ° C.) × G (T1, θ) (7)
Se (Q, θ, T2) = Se (Q, θ, 25 ° C.) × G (T2, θ)
= Se (Q, θ, T1) × G (T2, θ) / G (T1, θ) (8)

初期実効排気速度Ｓe(Ｑ,θ,Ｔ１)をラーニング動作によって校正することにより、バルブ温度Ｔ１における校正実効排気速度Ｓe1(Ｑ,θ,Ｔ１)が求まる。そこで、式（８）の右辺のＳe(Ｑ,θ,Ｔ１)を校正実効排気速度Ｓe1(Ｑ,θ,Ｔ１)で置き換えることで、バルブ温度Ｔ２における校正実効排気速度、すなわち温度校正実効排気速度Ｓe2(Ｑ,θ,Ｔ２)を求める。温度校正実効排気速度Ｓe2(Ｑ,θ,Ｔ２)は、校正実効排気速度Ｓe1(Ｑ,θ,Ｔ１)および温度補正係数Ｇ(Ｔ，θ)を用いて次式（９）のように表される。
Ｓe1(Ｑ,θ,Ｔ２)＝Ｓe1(Ｑ,θ,Ｔ１)×Ｇ(Ｔ２,θ)／Ｇ(Ｔ１,θ) …（９） By calibrating the initial effective exhaust speed Se (Q, θ, T1) by the learning operation, the calibration effective exhaust speed Se1 (Q, θ, T1) at the valve temperature T1 is obtained. Therefore, by replacing Se (Q, θ, T1) on the right side of Equation (8) with the calibration effective exhaust speed Se1 (Q, θ, T1), the calibration effective exhaust speed at the valve temperature T2, that is, the temperature calibration effective exhaust speed. Se2 (Q, θ, T2) is obtained. The temperature calibration effective exhaust speed Se2 (Q, θ, T2) is expressed by the following equation (9) using the calibration effective exhaust speed Se1 (Q, θ, T1) and the temperature correction coefficient G (T, θ). The
Se1 (Q, θ, T2) = Se1 (Q, θ, T1) × G (T2, θ) / G (T1, θ) (9)

上述の温度補正係数Ｇ(Ｔ,θ)は記憶部２３に記憶されている。自動圧力調整バルブ１のヒーティングが開始されて、温度センサで検出されるバルブ温度Ｔが所定の目標温度範囲となったならば、補正部２５は、初期実効排気速度Ｓe(Ｑ,θ,Ｔ)および温度補正関数Ｇ(Ｔ,θ)を用いて温度校正実効排気速度Ｓe2(Ｑ,θ,Ｔ２)を算出し、算出された温度校正実効排気速度Ｓe2(Ｑ,θ,Ｔ２)を記憶部２３に記憶する。開度制御部２１は、温度校正実効排気速度Ｓe2(Ｑ,θ,Ｔ２)とラーニング動作で取得したチャンバ容積Ｖと式（２）とに基づいて、調圧制御を行う。   The temperature correction coefficient G (T, θ) described above is stored in the storage unit 23. When the heating of the automatic pressure control valve 1 is started and the valve temperature T detected by the temperature sensor falls within a predetermined target temperature range, the correction unit 25 sets the initial effective exhaust speed Se (Q, θ, T ) And the temperature correction function G (T, θ) are used to calculate the temperature calibration effective exhaust speed Se2 (Q, θ, T2), and the calculated temperature calibration effective exhaust speed Se2 (Q, θ, T2) is stored in the storage unit. 23. The opening degree control unit 21 performs pressure regulation control based on the temperature calibration effective exhaust speed Se2 (Q, θ, T2), the chamber volume V acquired by the learning operation, and Equation (2).

なお、温度補正係数Ｇ(Ｔ,Ｑ)は真空排気システムとしての温度補正係数であるが、この温度補正係数Ｇ(Ｔ,Ｑ)に代えて、自動圧力調整バルブ１のコンダクタンスＣvの温度補正係数α(Ｔ,Ｑ)を用いても良い。この場合次のように考えれば良い。   The temperature correction coefficient G (T, Q) is a temperature correction coefficient for the evacuation system. Instead of the temperature correction coefficient G (T, Q), the temperature correction coefficient of the conductance Cv of the automatic pressure regulating valve 1 is used. α (T, Q) may be used. In this case, the following may be considered.

初期実効排気速度Ｓe(Ｑ,θ,Ｔ)は式（１）で表されるが、式（１）でコンダクタンスＣvをα(θ,Ｔ)Ｃvで置き換えると、式（１０）に示すような温度校正後の初期実効排気速度Ｓe’(Ｑ,θ,Ｔ)が得られる。
１／Ｓe’(Ｑ,θ,Ｔ)＝１／Ｓp＋１／α(θ,Ｔ)Ｃv …（１０） The initial effective pumping speed Se (Q, θ, T) is expressed by the equation (1). If the conductance Cv is replaced by α (θ, T) Cv in the equation (1), the equation (10) An initial effective exhaust speed Se ′ (Q, θ, T) after temperature calibration is obtained.
1 / Se ′ (Q, θ, T) = 1 / Sp + 1 / α (θ, T) Cv (10)

一方、上述の温度補正係数Ｇ(Ｔ,Ｑ)を用いた場合には、Ｓe’(Ｑ,θ,Ｔ)はＳe’(Ｑ,θ,Ｔ)＝Ｓe(Ｑ,θ,Ｔ)×Ｇ(Ｔ,Ｑ)と表される。ここで、開度θが大きい場合（θ１とする）と、開度θが小さい場合（θ２とする）について考える。開度θが大きい場合（θ１とする）にはＣv≫Ｓpなので、式（１０）の右辺は１／Ｓpに近づき、式（１）の右辺も１／Ｓpに近づくことになる。この場合、Ｇ(Ｔ,Ｑ)はＧ(Ｔ,Ｑ)→１のように１に近づく補正係数であると考えることができる。   On the other hand, when the above-described temperature correction coefficient G (T, Q) is used, Se ′ (Q, θ, T) is Se ′ (Q, θ, T) = Se (Q, θ, T) × G It is expressed as (T, Q). Here, a case where the opening degree θ is large (referred to as θ1) and a case where the opening degree θ is small (referred to as θ2) will be considered. Since Cv >> Sp when the opening degree θ is large (assuming θ1), the right side of Equation (10) approaches 1 / Sp, and the right side of Equation (1) also approaches 1 / Sp. In this case, G (T, Q) can be considered as a correction coefficient approaching 1 as G (T, Q) → 1.

逆に、開度θが小さい場合にはＳp≫Ｃvとなるので、式（１０）の右辺は１／α(θ２,Ｔ)Ｃvに近づき、式（１）の右辺は１／Ｃvに近づく。この場合、Ｇ(Ｔ,Ｑ)はＧ(Ｔ,Ｑ)→α(θ２,Ｔ)のようにα(θ,Ｔ)に近づく補正係数であると考えることができる。このことから、Ｇ(Ｔ,Ｑ)を式（１１）のように、自動圧力調整バルブ１の温度補正係数αで表すことができる。なお、温度補正係数αはガス流量Ｑに依存しないと考えているので、式（１１）ではＧ(Ｔ,Ｑ)をＧ(Ｔ)と表した。
Ｇ(Ｔ)＝｛(θ−θ１)／(θ１−θ２)｝×α(θ,Ｔ)＋１v …（１１） Conversely, when the opening degree θ is small, Sp >> Cv, so the right side of equation (10) approaches 1 / α (θ2, T) Cv, and the right side of equation (1) approaches 1 / Cv. In this case, G (T, Q) can be considered as a correction coefficient that approaches α (θ, T) as G (T, Q) → α (θ2, T). From this, G (T, Q) can be expressed by the temperature correction coefficient α of the automatic pressure regulating valve 1 as shown in Expression (11). Since it is considered that the temperature correction coefficient α does not depend on the gas flow rate Q, G (T, Q) is expressed as G (T) in the equation (11).
G (T) = {(θ−θ1) / (θ1−θ2)} × α (θ, T) + 1v (11)

このように、温度補正係数としては、真空排気システムとしてのＧ(Ｔ,Ｑ)を用いても良いし、自動圧力調整バルブ１単体についての温度補正係数α(θ,Ｔ)を用いても良い。   As described above, as the temperature correction coefficient, G (T, Q) as an evacuation system may be used, or the temperature correction coefficient α (θ, T) of the automatic pressure regulating valve 1 alone may be used. .

（変形例）
上述した実施の形態では、記憶部２３に記憶されている温度補正係数Ｇ(Ｔ,θ)を用いて温度校正実効排気速度Ｓe2(Ｑ,θ,Ｔ２)を求めた。しかし、以下に説明する変形例では、ラーニング動作時に複数の温度に関してラーニングを行い、その結果に基づいてヒーティング時の温度校正実効排気速度を求めるようにした。ここでは、２つの温度Ｔ１，Ｔ２（例えば、Ｔ１＝２５℃、Ｔ２＝１２０℃）に関する温度校正実効排気速度を求める場合について説明する。 (Modification)
In the above-described embodiment, the temperature calibration effective exhaust speed Se2 (Q, θ, T2) is obtained using the temperature correction coefficient G (T, θ) stored in the storage unit 23. However, in the modification described below, learning is performed for a plurality of temperatures during the learning operation, and the temperature calibration effective exhaust speed during heating is obtained based on the results. Here, the case where the temperature calibration effective exhaust speed regarding two temperatures T1 and T2 (for example, T1 = 25 ° C., T2 = 120 ° C.) is obtained will be described.

まず、バルブ温度を温度Ｔ１に設定し、ラーニング動作を行って温度Ｔ１における校正実効排気速度Ｓe1(Ｑ，θ，Ｔ１)を取得する。次いで、自動圧力調整バルブ１をヒーティングしてバルブ温度を温度Ｔ２に調整し、ラーニング動作を行って温度Ｔ２における校正実効排気速度Ｓe1(Ｑ，θ，Ｔ２)を取得する。   First, the valve temperature is set to a temperature T1, and a learning operation is performed to obtain a calibration effective exhaust speed Se1 (Q, θ, T1) at the temperature T1. Next, the automatic pressure control valve 1 is heated to adjust the valve temperature to the temperature T2, and a learning operation is performed to obtain the calibration effective exhaust speed Se1 (Q, θ, T2) at the temperature T2.

図９（ａ）は、校正実効排気速度Ｓe1(Ｑ，θ，Ｔ１)，Ｓe1(Ｑ，θ，Ｔ２)の模式図である。また、図９（ｂ）は、開度θ１における各校正実効排気速度Ｓe1(Ｑ，θ１，Ｔ１)，Ｓe1(Ｑ，θ１，Ｔ２)を示したものである。図９（ｂ）の直線Ｌ１０は、校正実効排気速度Ｓe1(Ｑ，θ１，Ｔ１)を示す点と校正実効排気速度Ｓe1(Ｑ，θ１，Ｔ２)を示す点とを結ぶ直線である。温度Ｔ１と温度Ｔ２との間の校正実効排気速度Ｓe1(Ｑ，θ１，Ｔ)は、この直線Ｌ１０上にあるものと近似して求める。すなわち、調圧時の温度がＴ３であった場合には、温度軸の温度Ｔ３を通る垂線と直線Ｌ１０との交点における実効排気速度を、バルブ温度Ｔ３における温度校正実効排気速度Ｓe2(Ｑ，θ１，Ｔ３)とする。   FIG. 9A is a schematic diagram of the calibration effective exhaust speed Se1 (Q, θ, T1), Se1 (Q, θ, T2). FIG. 9B shows the calibration effective exhaust speeds Se1 (Q, θ1, T1) and Se1 (Q, θ1, T2) at the opening θ1. A straight line L10 in FIG. 9B is a straight line connecting a point indicating the calibration effective exhaust speed Se1 (Q, θ1, T1) and a point indicating the calibration effective exhaust speed Se1 (Q, θ1, T2). The calibration effective exhaust speed Se1 (Q, θ1, T) between the temperature T1 and the temperature T2 is obtained by approximating that it is on the straight line L10. That is, when the temperature at the time of pressure regulation is T3, the effective exhaust speed at the intersection of the vertical line passing through the temperature T3 of the temperature axis and the straight line L10 is the temperature calibration effective exhaust speed Se2 (Q, θ1 at the valve temperature T3. , T3).

上述した実施の形態によれば、次の作用効果が得られる。
（Ｃ１）自動圧力調整バルブ１は、バルブ温度を検出する温度センサ１５と、自動圧力調整バルブ１および真空ポンプ４を含む排気系の排気速度または自動圧力調整バルブ１のバルブコンダクタンスがバルブ制御特性として記憶される記憶部２３と、圧力調整時の温度センサ１５の検出温度に基づいてバルブ制御特性を補正する補正部２５と、を備え、補正部２５により補正されたバルブ制御特性、温度センサ１５の検出温度および前記チャンバ圧力に基づき圧力調整バルブの開度を制御してチャンバ圧力を調整する。 According to the embodiment described above, the following operational effects can be obtained.
(C1) The automatic pressure control valve 1 has the valve control characteristics of the temperature sensor 15 for detecting the valve temperature, the exhaust speed of the exhaust system including the automatic pressure control valve 1 and the vacuum pump 4, or the valve conductance of the automatic pressure control valve 1. A storage unit 23 that is stored; and a correction unit 25 that corrects the valve control characteristic based on the temperature detected by the temperature sensor 15 during pressure adjustment. The valve control characteristic corrected by the correction unit 25 and the temperature sensor 15 The chamber pressure is adjusted by controlling the opening of the pressure adjustment valve based on the detected temperature and the chamber pressure.

このように、バルブ制御特性をバルブ温度（温度センサ１５の検出温度）に基づいて補正することで、自動圧力調整バルブ１による圧力調整をより素早くかつ安定的に行うことができる。   Thus, by correcting the valve control characteristic based on the valve temperature (the temperature detected by the temperature sensor 15), the pressure adjustment by the automatic pressure adjustment valve 1 can be performed more quickly and stably.

図１０は、圧力調整時の圧力変化を模式的に示す図である。ラインＬ１１はバルブ温度による校正を行わない場合を示し、ラインＬ１２は温度校正を行った場合の変化を示す。温度校正を行わない場合、調圧に用いられる式（２）における実効排気速度Ｓeが高温時の実際の実効排気速度とずれているため、目標圧力に対してオーバーシュートが発生し、目標圧力に落ち着くまでに時間がかかっている。一方、ラインＬ１２の場合には、真空排気システムとしての温度補正係数Ｇ(Ｑ,Ｔ)やコンダクタンスＣvの温度補正係数α(θ,Ｔ)で温度校正を行っているので、適切に調圧動作が行われ、オーバーシュートやアンダーシュートを生じることなく素早く目標圧力へ調整することができる。   FIG. 10 is a diagram schematically showing a pressure change during pressure adjustment. Line L11 shows a case where calibration based on the valve temperature is not performed, and line L12 shows a change when temperature calibration is performed. When the temperature calibration is not performed, the effective exhaust speed Se in the formula (2) used for pressure adjustment is different from the actual effective exhaust speed at high temperature, so an overshoot occurs with respect to the target pressure, and the target pressure is reached. It takes time to settle down. On the other hand, in the case of the line L12, since the temperature calibration is performed with the temperature correction coefficient G (Q, T) as the vacuum exhaust system and the temperature correction coefficient α (θ, T) of the conductance Cv, the pressure adjustment operation is appropriately performed. Can be quickly adjusted to the target pressure without causing overshoot or undershoot.

（Ｃ２）より好ましくは、補正部２５は、自動圧力調整バルブ１と真空ポンプ４とを真空チャンバ３に装着した状態におけるバルブ制御特性である校正実効排気速度Ｓe1を生成する。補正部２５は、真空チャンバ３へ流入するガスの流量情報Ｑinと、ガス流入時におけるチャンバ圧力検出値Ｐrと、ガス流入時における温度センサ１５の検出温度Ｔとに基づいて校正実効排気速度Ｓe1を生成する。このような校正実効排気速度Ｓe1を記憶部２３に記憶させ、校正実効排気速度Ｓe1に基づいて開度制御を行うことで、自動圧力調整バルブ１が装着されている装置環境に応じた適切な開度制御を行うことができる。 (C2) More preferably, the correction unit 25 generates a calibration effective exhaust speed Se1 that is a valve control characteristic in a state where the automatic pressure adjusting valve 1 and the vacuum pump 4 are mounted on the vacuum chamber 3. The correction unit 25 calculates the calibration effective exhaust speed Se1 based on the flow rate information Qin of the gas flowing into the vacuum chamber 3, the detected chamber pressure value Pr when the gas flows, and the detected temperature T of the temperature sensor 15 when the gas flows. Generate. Such a calibration effective exhaust speed Se1 is stored in the storage unit 23, and the opening degree is controlled based on the calibration effective exhaust speed Se1, so that an appropriate opening corresponding to the apparatus environment in which the automatic pressure control valve 1 is mounted is provided. Degree control.

さらに、ラーニング動作を行う場合でも、圧力調整時の検出温度に基づいてバルブ制御特性の補正を行うだけなので、圧力調整の度にそのときの温度でラーニング動作を再度行う必要がない。   Furthermore, even when the learning operation is performed, the valve control characteristic is only corrected based on the detected temperature at the time of pressure adjustment, so that it is not necessary to perform the learning operation again at the temperature at that time for each pressure adjustment.

（Ｃ３）また、ラーニング動作の有無に関係なく、記憶部２３に記憶された温度補正係数α(θ,Ｔ)またはＧ(Ｑ,Ｔ)に基づいてバルブ制御特性であるバルブコンダクタンスＣvまたは真空排気系の実効排気速度を補正することで、バルブ温度に応じた適切な調圧動作を行うことができる。 (C3) Regardless of the presence or absence of the learning operation, the valve conductance Cv or the vacuum exhaust which is the valve control characteristic based on the temperature correction coefficient α (θ, T) or G (Q, T) stored in the storage unit 23 By correcting the effective pumping speed of the system, it is possible to perform an appropriate pressure adjustment operation according to the valve temperature.

（Ｃ４）また、図９に示す変形例で説明したように、ラーニング動作を行う場合に検出温度Ｔの異なる複数のバルブ制御特性Ｓe1(Ｑ,θ,Ｔ１)，Ｓe1(Ｑ,θ,Ｔ２)を生成し、図９（ｂ）のように、バルブ制御特性Ｓe1(Ｑ,θ,Ｔ１)，Ｓe1(Ｑ,θ,Ｔ２)と圧力調整時の検出温度Ｔ１，Ｔ２とに基づいてバルブ制御特性を補正するようにしても良い。 (C4) Further, as described in the modification shown in FIG. 9, when performing the learning operation, a plurality of valve control characteristics Se1 (Q, θ, T1), Se1 (Q, θ, T2) having different detection temperatures T are used. As shown in FIG. 9B, the valve control characteristics are based on the valve control characteristics Se1 (Q, θ, T1), Se1 (Q, θ, T2) and the detected temperatures T1 and T2 during pressure adjustment. May be corrected.

上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。   Although various embodiments and modifications have been described above, the present invention is not limited to these contents. Other embodiments conceivable within the scope of the technical idea of the present invention are also included in the scope of the present invention.

１…自動圧力調整バルブ、１ａ…バルブ本体、１ｂ…バルブコントローラ、３…真空チャンバ、４…真空ポンプ、１５…温度センサ、２１…開度制御部、２３…記憶部、２５…補正部   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Automatic pressure control valve, 1a ... Valve body, 1b ... Valve controller, 3 ... Vacuum chamber, 4 ... Vacuum pump, 15 ... Temperature sensor, 21 ... Opening control part, 23 ... Memory | storage part, 25 ... Correction part

Claims (5)

チャンバと真空ポンプとの間に配置され、チャンバ圧力を要求圧力へ調整する自動圧力調整バルブにおいて、
バルブ温度を検出する温度センサと、
前記自動圧力調整バルブおよび前記真空ポンプを含む排気系の排気速度または前記自動圧力調整バルブのバルブコンダクタンスがバルブ制御特性として記憶される記憶部と、
圧力調整時の前記温度センサの検出温度に基づいて前記バルブ制御特性を補正する補正部と、を備え、
前記補正部により補正されたバルブ制御特性、前記温度センサの検出温度および前記チャンバ圧力に基づき圧力調整バルブの開度を制御して前記チャンバ圧力を調整する、自動圧力調整バルブ。 In an automatic pressure regulating valve that is arranged between the chamber and the vacuum pump and regulates the chamber pressure to the required pressure,
A temperature sensor for detecting the valve temperature;
A storage unit in which an exhaust speed of an exhaust system including the automatic pressure control valve and the vacuum pump or a valve conductance of the automatic pressure control valve is stored as a valve control characteristic;
A correction unit that corrects the valve control characteristic based on a temperature detected by the temperature sensor during pressure adjustment, and
An automatic pressure adjustment valve that adjusts the chamber pressure by controlling the opening of the pressure adjustment valve based on the valve control characteristic corrected by the correction unit, the detected temperature of the temperature sensor, and the chamber pressure. 請求項１に記載の自動圧力調整バルブにおいて、
前記記憶部に記憶される前記バルブ制御特性を生成するバルブ特性生成部を備え、
前記バルブ特性生成部は、前記チャンバへ流入するガスの流量情報と、ガス流入時におけるチャンバ圧力検出値と、ガス流入時における前記温度センサの検出温度とに基づいて前記バルブ制御特性を生成する、自動圧力調整バルブ。 The automatic pressure regulating valve according to claim 1,
A valve characteristic generation unit that generates the valve control characteristic stored in the storage unit;
The valve characteristic generation unit generates the valve control characteristic based on flow rate information of the gas flowing into the chamber, a chamber pressure detection value at the time of gas inflow, and a detected temperature of the temperature sensor at the time of gas inflow. Automatic pressure control valve. 請求項１または２に記載の自動圧力調整バルブにおいて、
前記記憶部には、前記バルブコンダクタンスまたは前記排気系の排気速度を温度補正する温度補正情報が記憶され、
前記補正部は、前記温度補正情報に基づいて前記バルブ制御特性を補正する、自動圧力調整バルブ。 The automatic pressure regulating valve according to claim 1 or 2,
The storage unit stores temperature correction information for correcting the temperature of the valve conductance or the exhaust speed of the exhaust system,
The correction unit is an automatic pressure adjustment valve that corrects the valve control characteristic based on the temperature correction information. 請求項２に記載の自動圧力調整バルブにおいて、
前記バルブ特性生成部は前記検出温度の異なる複数の前記バルブ制御特性を生成し、
前記補正部は、前記バルブ特性生成部により生成された複数の前記バルブ制御特性と、圧力調整時の前記温度センサの検出温度とに基づいて前記バルブ制御特性を補正する、自動圧力調整バルブ。 The automatic pressure regulating valve according to claim 2,
The valve characteristic generation unit generates a plurality of the valve control characteristics having different detection temperatures,
The said correction | amendment part is an automatic pressure control valve which correct | amends the said valve control characteristic based on the said several valve control characteristic produced | generated by the said valve characteristic production | generation part, and the detected temperature of the said temperature sensor at the time of pressure adjustment. 請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の自動圧力調整バルブと、
前記自動圧力調整バルブに接続される真空ポンプと、を備える真空排気システム。 An automatic pressure regulating valve according to any one of claims 1 to 4,
And a vacuum pump connected to the automatic pressure control valve.
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