JP2018120774A - Electrostatic accelerator - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrostatic accelerator capable of extracting ions of a high current by supplying high power to an ion source of a high voltage part, without increasing a weight of the high voltage part and with space saving of a footprint.SOLUTION: The electrostatic accelerator, accelerating charged particle beams at an electrostatic field, supplies microwave power from ground potential side through a waveguide having an insulation choke flange for supplying microwave power to an ion source on high voltage side, in order to supply microwaves of high power required to extract ion beams of a high current to the ion source on high voltage side.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、静電加速器に関する。   The present invention relates to an electrostatic accelerator.

従来からBNCT(ホウ素中性子捕獲療法)や国際核融合材料照射施設(IFMIF)、大量トリチウム製造用加速器に必要となる大電流の低エネルギー加速器においては、高周波四重極線形加速器(RFQ)とドリフトチューブライナック(DTL)の組み合わせが検討されてきた。しかし、大電流の連続ビーム加速器においては、発熱やビーム周辺材料の消耗が激しく、その実用化は困難を極めている。一方で、静電的にイオンを加速する静電加速器には負イオン入射タンデム加速器などが検討されているが、大電流には様々な課題があり、10mA程度が限界となっている。例えば、特許文献1と特許文献2に大電流の加速器システムについて記載されている。   Conventionally, high-frequency quadrupole linear accelerators (RFQ) and drift tubes are used for BNCT (boron neutron capture therapy), International Fusion Materials Irradiation Facility (IFFIF), and high-current low-energy accelerators that are necessary for accelerators for mass production of tritium. Linac (DTL) combinations have been considered. However, in a continuous beam accelerator with a large current, heat generation and consumption of material around the beam are severe, and its practical application is extremely difficult. On the other hand, negative ion incident tandem accelerators and the like have been studied as electrostatic accelerators for electrostatically accelerating ions. However, there are various problems with large currents, and the limit is about 10 mA. For example, Patent Document 1 and Patent Document 2 describe a high-current accelerator system.

特表2012−500454号公報Special table 2012-500454 gazette 特開2012−164660号公報JP 2012-164660 A

特許文献1に記載の静電加速器システムは、直流高電圧・大電力供給装置と、出射イオン加速管と、陽子イオン源との間に、質量分離磁石及び高電圧側に設置された真空ポンプとを有する。静電加速器システムは、ビーム管と呼ばれることもある絶縁リングにより相互に離間した複数の導電性電極を備えた加速管を有する。加速管は陽子ビームに対して一様で収束した加速電界を供給するよう構成されている。約0.4MeV以上の高電圧及び約10mA以上の大電流を供給する電力供給装置は、加速管に加速電圧を印加する。イオン源は、外部のマイクロ波発生器により供給されたマイクロ波電力を有するイオン化水素ガスにより陽子を生成する。プラズマはイオン源を包囲する永久磁石により形成された軸方向のソレノイド磁界に制限される。イオン源は、小さなビーム引き出し孔を有し、ビーム引き出し孔を通過する少量(好ましくは、標準状態で毎分3cm未満(standard cubic centimeters per minute;以下sccm)の中性子水素ガスを放出する一方で、5mA以上の電流の陽子ビームを発する。その加速器システムでは、加速管内でイオンのガス衝突による中性化を減少させる構成を有することが望ましい。また、質量分離磁石はイオン源と加速管の間に位置する。質量分離磁石の磁界は、イオン源で生成された陽子以外のイオンが加速管に到達するのを防止することができる。加速管に進入する中性子水素ガスの量を減少させる為に、イオン源と加速管の間には真空吸着ポンプを有している。ビームの発散が加速するのを制限し、加速管に進入する中性子ガスの量をさらに抑制するために、加速管の入り口には真空ポンプが設置されている。 The electrostatic accelerator system described in Patent Document 1 includes a mass separation magnet and a vacuum pump installed on the high voltage side between a DC high voltage / high power supply device, an exit ion accelerator tube, and a proton ion source. Have An electrostatic accelerator system has an acceleration tube with a plurality of conductive electrodes separated from each other by an insulating ring, sometimes called a beam tube. The accelerating tube is configured to supply a uniform and focused accelerating electric field for the proton beam. A power supply device that supplies a high voltage of about 0.4 MeV or more and a large current of about 10 mA or more applies an acceleration voltage to the acceleration tube. The ion source generates protons with ionized hydrogen gas having microwave power supplied by an external microwave generator. The plasma is limited to an axial solenoidal magnetic field formed by a permanent magnet surrounding the ion source. The ion source has a small beam extraction hole and emits a small amount of neutron hydrogen gas that passes through the beam extraction hole (preferably less than 3 cm 3 (standard cubic centimeters per minute)). It is desirable to emit a proton beam with a current of 5 mA or more, and in the accelerator system, it is desirable to have a configuration that reduces neutralization due to gas collision of ions within the accelerator tube. The magnetic field of the mass separation magnet can prevent ions other than protons generated by the ion source from reaching the accelerator tube, in order to reduce the amount of neutron hydrogen gas entering the accelerator tube. A vacuum adsorption pump is provided between the ion source and the accelerating tube, limiting the acceleration of beam divergence and further suppressing the amount of neutron gas entering the accelerating tube. In order, the vacuum pump is installed in the entrance of the accelerating tube.

特許文献2に記載された静電加速器では、イオンビーム電流を大きくするために、高電圧ターミナル内への真空ポンプ及び真空絞りの組込み、加速に先立つ、重要なイオンのみを加速するための質量分離、及び一次イオンビーム電流と中性ガスの放出との比率を最適化するためにイオン化効率が高いイオン源の適用が含まれている。真空ポンプ及び質量分析を高電圧ターミナル内に備えた直流線形加速器となっている。   In the electrostatic accelerator described in Patent Document 2, in order to increase the ion beam current, a vacuum pump and a vacuum constriction are incorporated in a high voltage terminal, and mass separation is performed to accelerate only important ions prior to acceleration. And application of an ion source with high ionization efficiency to optimize the ratio of primary ion beam current to neutral gas emission. It is a direct current linear accelerator equipped with a vacuum pump and mass spectrometry in a high voltage terminal.

電流をより大きくするための鍵は、加速管内の真空圧力を低くすることであるとされている。この加速管内の低真空圧力によって、大電流ビーム加速が可能となる。また、一次イオンビームから中性化ガスを除去するための質量分析器が収納されている。質量分析器は、該質量分析器が、イオン源から放出される発散ビームを集束させて収斂ビームにするレンズのように同じく作用するように構成することができる。この方法によれば、質量分析後、ビーム焦点即ち「ウエスト」が形成される。この構造によれば、小さいサイズの孔を備えた電極プレート又は壁の形態の真空絞りをビーム焦点の位置に置くことができる。それにより質量分析されたイオンビームは、加速管に向かって小さい孔でも通過させることができ、また、それと同時に中性ガスが加速管に流入するのを阻止することができる。   It is said that the key for increasing the current is to lower the vacuum pressure in the accelerating tube. This low vacuum pressure in the accelerating tube enables high current beam acceleration. A mass analyzer for removing the neutralizing gas from the primary ion beam is housed. The mass analyzer can be configured so that it acts like a lens that focuses the diverging beam emitted from the ion source into a convergent beam. According to this method, a beam focus or “waist” is formed after mass analysis. According to this structure, a vacuum stop in the form of an electrode plate or wall with small sized holes can be placed at the position of the beam focus. Thereby, the ion beam subjected to mass analysis can be passed through even a small hole toward the acceleration tube, and at the same time, neutral gas can be prevented from flowing into the acceleration tube.

特許文献1及び2に記載された構成の場合、イオン源で出射したイオンの中性化を防止することによって静電加速器の大電流化の効果を多少得ることができる。しかしながら、加速管内の真空圧力を低くすることだけで大電流化を実現することは非常に困難である。   In the case of the configurations described in Patent Documents 1 and 2, the effect of increasing the current of the electrostatic accelerator can be somewhat obtained by preventing neutralization of ions emitted from the ion source. However, it is very difficult to realize a large current only by reducing the vacuum pressure in the acceleration tube.

従来の静電加速器において、上記に示した様な従来のダイナミトロンは、イオン源から出る中性化ガスによるイオンの中性化を減らす対策はできても、イオン源のプラズマを生成するマイクロ波電力が小さいため、プラズマを充分に電離することができずに、中性化ガスに比べてイオンの比率を高くすることができないため、大電流イオンビームを引き出す事はできなかった。また、従来のタンデム加速器にあっては、負イオンを正イオンに変換するために薄膜を用いた電荷交換器の場合は熱負荷が大きいため溶融に至ることもあり、寿命が短くなる問題がある。また、ガスストリッパを用いた電荷交換器の場合は、ガスが高電圧電極部に流れて放電し易いという欠点があった。また負のイオン源では、大電流のイオンビームを引出することが技術的に困難であり、大電流にすることは困難であった。   In conventional electrostatic accelerators, the conventional dynamitron as described above is a microwave that generates ion source plasma even though it can take measures to reduce ion neutralization by the neutralizing gas emitted from the ion source. Since the electric power is small, the plasma cannot be sufficiently ionized, and the ion ratio cannot be increased as compared with the neutralized gas, so that a high-current ion beam cannot be extracted. Further, in the conventional tandem accelerator, in the case of a charge exchanger using a thin film for converting negative ions to positive ions, there is a problem that the heat load is large so that melting may occur and the life is shortened. . In addition, in the case of a charge exchanger using a gas stripper, there is a drawback in that gas easily flows and flows through the high voltage electrode portion. Also, with a negative ion source, it is technically difficult to extract a large current ion beam, and it has been difficult to obtain a large current.

上記課題を解決するために、例えば以下のような構成を採用する。   In order to solve the above problems, for example, the following configuration is adopted.

本発明は、上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、その一例をあげるならば、荷電粒子ビームを静電場で加速する静電加速器であって、加速器の高電圧側に設けられたイオン源と、前記イオン源へマイクロ波を供給する導波管と、前記導波管にマイクロ波を供給するマイクロ波生成装置とを有し、前記導波管は絶縁チョークフランジが設置され、前記マイクロ波生成装置は加速器の接地側に設けられていることを特徴とする。   The present invention includes a plurality of means for solving the above-mentioned problems. For example, an electrostatic accelerator for accelerating a charged particle beam with an electrostatic field, which is provided on the high voltage side of the accelerator. A microwave source for supplying the microwave to the ion source, and a microwave generator for supplying the microwave to the waveguide, the waveguide being provided with an insulating choke flange, The wave generator is provided on the ground side of the accelerator.

本発明によれば、荷電交換器を使うことなく、またイオン源として正のイオン源が使用可能な大電流ビームが引き出せる静電加速器を提供することができる。また、大電流の静電加速器を用いた中性子発生装置を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an electrostatic accelerator capable of extracting a large current beam that can use a positive ion source as an ion source without using a charge exchanger. In addition, a neutron generator using a high-current electrostatic accelerator can be provided.

本発明の第1の実施例による絶縁チョークフランジ構造を用いた静電加速器の概略構成を示す図である。1 is a diagram showing a schematic configuration of an electrostatic accelerator using an insulating choke flange structure according to a first embodiment of the present invention. 従来の回転モータと回転絶縁棒と回転発電機を用いた静電加速器の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the electrostatic accelerator using the conventional rotary motor, the rotation insulation rod, and the rotary generator. 従来の絶縁トランスによって電力を供給する方法を用いた静電加速器の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the electrostatic accelerator using the method of supplying electric power with the conventional insulation transformer.

本実施例ではマイクロ波電力の供給方法を用いた静電加速器とその構造を例に説明するが、本発明は静電加速装置の全般に適用可能である。   In this embodiment, an electrostatic accelerator using a microwave power supply method and its structure will be described as an example. However, the present invention is applicable to all electrostatic accelerators.

本発明の代表的な一実施例である静電加速器について、図1を用いて説明する。図1は、本実施例の静電加速器100の概略構成を示す図である。以下、本実施例の静電加速器100について説明する。   An electrostatic accelerator that is a typical embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of an electrostatic accelerator 100 according to the present embodiment. Hereinafter, the electrostatic accelerator 100 of the present embodiment will be described.

本実施例の大電流のビームを加速できる静電加速器100は、ビームを加速するためのシェンケル回路を構成して高電圧を発生するための高電圧の高周波トランス1と、低電圧側RF電極2と、高電圧側RF電極3を具備する。なお、シェンケル回路は低電圧側RF電極2と高電圧側RF電極3の間の浮遊容量がコンデンサの役割をなし、整流器4によって段階的に高電圧側RF電極3は昇圧される。昇圧により、加速器からビームを出射するビーム高エネルギー側(低電位な接地側)からイオン源があるビーム低エネルギー側(高電圧側)に向かって電位が上昇し、低エネルギー側は極めて高電圧な高電圧部となる。加速管13のビーム低エネルギー(高電圧側)端に設置された永久磁石マイクロ波イオン源5によって最初のイオンビームが発生する。イオン源5から大電流のビームを引き出すには、そのマイクロ波電力として数kW以上が必要である。大電力のマイクロ波電力は、マイクロ波導波管7によりマイクロ波発振器8からイオン源5に伝送する必要があるが、イオン源が設けられた低エネルギー側は極めて高電圧であるため、マイクロ波導波管7に複数の絶縁チョークフランジ6を具備し、高電圧から発振器8等を絶縁した構造を採用する。本実施例において、絶縁チョークフランジ6が複数設けられたマイクロ波導波管7は加速器管13と並ぶように、RF電極の内側に並列に配置されている。このように配置することで、加速器管13はその長手方向に、高電圧側(低エネルギー側)と低電圧の接地側(高エネルギー側)があり、マイクロ波導波管7も接地側に行くに従い低電圧となり、また、絶縁の為の距離を取ることが出来る。   The electrostatic accelerator 100 capable of accelerating a high-current beam according to the present embodiment includes a high-voltage high-frequency transformer 1 for generating a high voltage by forming a Schenkel circuit for accelerating the beam, and a low-voltage side RF electrode 2. And a high-voltage side RF electrode 3. In the Schenkel circuit, the stray capacitance between the low voltage side RF electrode 2 and the high voltage side RF electrode 3 serves as a capacitor, and the rectifier 4 boosts the high voltage side RF electrode 3 step by step. By boosting, the potential rises from the high energy side (low potential ground side) that emits the beam from the accelerator toward the low energy side (high voltage side) where the ion source is located, and the low energy side has an extremely high voltage. It becomes a high voltage part. The first ion beam is generated by the permanent magnet microwave ion source 5 installed at the beam low energy (high voltage side) end of the acceleration tube 13. In order to extract a high-current beam from the ion source 5, a microwave power of several kW or more is required. High-power microwave power needs to be transmitted from the microwave oscillator 8 to the ion source 5 through the microwave waveguide 7, but the low-energy side where the ion source is provided has an extremely high voltage. A structure in which a plurality of insulating choke flanges 6 are provided in the tube 7 and the oscillator 8 and the like are insulated from a high voltage is adopted. In this embodiment, the microwave waveguide 7 provided with a plurality of insulating choke flanges 6 is arranged in parallel inside the RF electrode so as to be aligned with the accelerator tube 13. By arranging in this way, the accelerator tube 13 has a high voltage side (low energy side) and a low voltage ground side (high energy side) in the longitudinal direction, and the microwave waveguide 7 also goes to the ground side. The voltage is low, and the distance for insulation can be taken.

マイクロ波導波管7を通してマイクロ波イオン源5に供給されるマイクロ波電力は、マイクロ波を生成する装置であるマイクロ波発振器8によって発振され、その電力はマイクロ波電源9によって供給され、その電力は元をたどると建屋電源又は建屋の分電盤10から供給される。また、マイクロ波イオン源5のガス供給制御系に必要な小電力は高電圧部に設置された蓄電池バッテリ11から供給される。   The microwave power supplied to the microwave ion source 5 through the microwave waveguide 7 is oscillated by a microwave oscillator 8 which is a device for generating a microwave, and the power is supplied by a microwave power source 9. When traced back, it is supplied from the building power supply or the distribution board 10 of the building. Moreover, the small electric power required for the gas supply control system of the microwave ion source 5 is supplied from the storage battery 11 installed in the high voltage part.

なお、マイクロ波イオン源5への水素ガス供給は水素ガスボンベ12からガス配管により供給される。また、ガス供給量やビーム光学をコントロールするための小電力を供給するバッテリ11の充電においては、静電加速器100の直流高電圧はシェンケル回路の段毎に電位が上昇して異なることを利用して、最上段とその1つ下の段の間の直流電位差によって充電電力は供給される。   The hydrogen gas supply to the microwave ion source 5 is supplied from the hydrogen gas cylinder 12 through a gas pipe. Further, in charging the battery 11 that supplies a small amount of power for controlling the gas supply amount and beam optics, the DC high voltage of the electrostatic accelerator 100 uses the fact that the potential increases at each stage of the Schenkel circuit. Thus, the charging power is supplied by the DC potential difference between the uppermost stage and the next lower stage.

本実施例の静電加速器100では、大電流のイオンを引き出すために必要な大電力のマイクロ波電力は、絶縁チョークフランジ6を具備したマイクロ波導波管によって接地側から電力を供給するので、図2の様に回転モータや重量の大きい回転発電機を高電位部に取り付ける必要もなく、高電圧部が軽量化できる。   In the electrostatic accelerator 100 of the present embodiment, the high-power microwave power necessary for extracting high-current ions is supplied from the ground side by the microwave waveguide provided with the insulating choke flange 6. As in 2, it is not necessary to attach a rotary motor or a heavy rotating generator to the high potential portion, and the high voltage portion can be reduced in weight.

また、図3の様に数MVもの高電圧を絶縁して電力を供給するための大型の絶縁トランスも不要となり、設置面積を小さくできる。   Further, as shown in FIG. 3, a large insulating transformer for insulating a high voltage of several MV and supplying power is not required, and the installation area can be reduced.

本実施例によれば、高電圧部にマイクロ波電力を供給する絶縁チョークフランジ6を具備したマイクロ波導波管は、放電しやすい高電界の領域を避けて接地側から給電するために、加速管13と隣接して並列に設置される。   According to the present embodiment, the microwave waveguide provided with the insulating choke flange 6 for supplying the microwave power to the high voltage portion is an accelerating tube in order to feed power from the ground side while avoiding a region of a high electric field that is easily discharged. Adjacent to 13 and installed in parallel.

本実施例によれば、静電加速器100により大電力のマイクロ波でマイクロ波イオン源5のプラズマを生成できるため、大電流のビームを引き出することができる。また、従来の様に高電圧部に回転発電機を必要としないため、軽量化でき、あるいは大型の絶縁トランスも不要であるため、接地面積を小さくでき、加速器システムの大電流化、高性能化、省スペース化が期待できる。   According to the present embodiment, since the plasma of the microwave ion source 5 can be generated by the electrostatic accelerator 100 with a high-power microwave, a high-current beam can be extracted. In addition, a rotary generator is not required for the high-voltage part as in the past, so the weight can be reduced or a large insulation transformer is not required, so that the grounding area can be reduced, the current of the accelerator system is increased, and the performance is improved. Space saving can be expected.

本実施例によれば、イオン源のプラズマを生成するマイクロ波電力を大きくして送電できるため、プラズマを充分に電離することができ、中性化ガスに比べてイオンの比率を高くすることができるため、大電流イオンビームを引き出すことができる。これにより、大電流ビームの引き出しが可能な静電加速器を提供することができる。   According to the present embodiment, since the microwave power for generating plasma of the ion source can be increased and transmitted, the plasma can be sufficiently ionized, and the ratio of ions can be increased compared to the neutralized gas. Therefore, a large current ion beam can be extracted. Thereby, the electrostatic accelerator which can draw out a large current beam can be provided.

イオン源のプラズマを点火するためのマイクロ波電力を増加することによって、より大電流化を実現することが可能であると考えられる。本実施例によれば、静電加速器により大電力のマイクロ波でイオン源のプラズマを生成できるため、大電流のビームを引き出せ、かつ高電圧部に回転発電機を必要としないため、軽量化でき、あるいは大型の絶縁トランスも不要であるため、接地面積を小さくでき、加速器システムの大電流化、高性能化、省スペース化が期待できる。   It is considered that a higher current can be realized by increasing the microwave power for igniting the plasma of the ion source. According to the present embodiment, the plasma of the ion source can be generated by the electrostatic accelerator with a high-power microwave, so that a high-current beam can be extracted and a rotary generator is not required in the high-voltage part, so that the weight can be reduced. In addition, since a large-sized insulating transformer is not required, the grounding area can be reduced, and the accelerator system can be expected to increase current, improve performance, and save space.

荷電粒子を静電的に加速する静電加速器において、大電流のビームを引き出すためには、大電力のマイクロ波をイオン源へ供給する必要があるが、数MVの高電圧部に大電力を供給するには、大型の回転発電機を高電圧側に具備する必要があるが、沿面放電を防ぐために絶縁材で支持する事が不可能な高電圧部に重量物を設置するのは剛性的に問題が生じる。もしくは大型の絶縁トランスを用いて送電する方法もあるが、設置面積が大きくなるという問題が生じる。本実施例によれば、高電圧部の重量を増加させず、かつ設置面積も省スペースで、大電力を高電圧部のイオン源へ供給して、大電流のイオンを引き出し可能にする静電加速器を提供できる。   In an electrostatic accelerator that electrostatically accelerates charged particles, it is necessary to supply a high-power microwave to the ion source in order to extract a high-current beam. In order to supply, it is necessary to equip the high-voltage side with a large rotary generator, but it is rigid to install heavy objects on high-voltage parts that cannot be supported by an insulating material to prevent creeping discharge. Problems arise. Alternatively, there is a method of transmitting power using a large insulating transformer, but there is a problem that the installation area becomes large. According to this embodiment, the electrostatic capacity that does not increase the weight of the high-voltage part, saves the installation area, supplies large power to the ion source of the high-voltage part, and can extract high-current ions. Accelerator can be provided.

なお、実施例1では、荷電粒子ビームについて述べたが、電子や陽電子等であっても、ビームであればよく、本実施例の静電加速器における大電力マイクロ波伝送方法は当然ながら成立する。   In the first embodiment, the charged particle beam is described. However, the electron beam, the positron, or the like may be any beam, and the high power microwave transmission method in the electrostatic accelerator of the present embodiment is naturally established.

1 高周波トランス
2 低電圧側RF電極
3 高電圧側RF電極
4 整流器
5 永久磁石マイクロ波イオン源
6 絶縁チョークフランジ
7 導波管
8 マイクロ波発信器
9 マイクロ波電源
10 分電盤(建屋電源)
11 バッテリ(蓄電池)
12 水素ボンベ
13 加速管
14 ビームダクト
15 ビーム
16 圧力容器
17 接地
20 回転絶縁棒
21 モータ
22 回転発電機
23 絶縁トランス
24 絶縁ブッシング
100、101、102 静電加速器
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 High frequency transformer 2 Low voltage side RF electrode 3 High voltage side RF electrode 4 Rectifier 5 Permanent magnet microwave ion source 6 Insulation choke flange 7 Waveguide 8 Microwave transmitter 9 Microwave power supply 10 Distribution board (building power supply)
11 Battery (storage battery)
12 Hydrogen cylinder 13 Accelerating tube 14 Beam duct 15 Beam 16 Pressure vessel 17 Grounding 20 Rotating insulating rod 21 Motor 22 Rotating generator 23 Insulating transformer 24 Insulating bushing 100, 101, 102 Electrostatic accelerator

Claims (4)

荷電粒子ビームを静電場で加速する静電加速器であって、
加速器の高電圧側に設けられたイオン源と、
前記イオン源へマイクロ波を供給する導波管と、
前記導波管にマイクロ波を供給するマイクロ波生成装置とを有し、
前記導波管は絶縁チョークフランジが設置され、
前記マイクロ波生成装置は加速器の接地側に設けられていることを特徴とする静電加速器。
An electrostatic accelerator that accelerates a charged particle beam in an electrostatic field,
An ion source provided on the high voltage side of the accelerator;
A waveguide for supplying microwaves to the ion source;
A microwave generator for supplying microwaves to the waveguide,
The waveguide is provided with an insulating choke flange,
The microwave generator is provided on a ground side of the accelerator, and is an electrostatic accelerator.
請求項1に記載の静電加速器であって、
加速器管を有し、
前記導波管が加速器管と並列に設けられていることを特徴とする静電加速器。
The electrostatic accelerator according to claim 1,
An accelerator tube,
An electrostatic accelerator, wherein the waveguide is provided in parallel with an accelerator tube.
請求項1に記載の静電加速器であって、
加速器の高電圧側に、前記イオン源へのガス供給を制御するためのバッテリを備えることを特徴とする静電加速器。
The electrostatic accelerator according to claim 1,
An electrostatic accelerator comprising a battery for controlling gas supply to the ion source on a high voltage side of the accelerator.
請求項3に記載の静電加速器であって、
静電加速器の高電圧を形成するための電源を有し、前記電源から前記バッテリへ電力を供給することを特徴とする静電加速器。
The electrostatic accelerator according to claim 3,
An electrostatic accelerator having a power source for forming a high voltage of the electrostatic accelerator and supplying electric power from the power source to the battery.
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