JP2018111208A - Method for manufacturing nozzle plate - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、インクが流れる流路を有するノズルプレートの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a nozzle plate having a flow path through which ink flows.
従来、インクジェットプリンタには、複数の微細なノズルからインクを吐出して記録媒体に画像を形成するインクジェットヘッドが知られている。従来のインクジェットヘッドは、インクを吐出する複数のチャネルを有している。そして、インクジェットヘッドは、チャネル毎に、圧力室と、圧力室に供給されるインクに吐出圧力を付与するためのアクチュエータと、圧力室のインクを吐出するノズルを有するノズルプレートとを有している。 Conventionally, an inkjet head that forms an image on a recording medium by ejecting ink from a plurality of fine nozzles is known as an inkjet printer. A conventional inkjet head has a plurality of channels for ejecting ink. The ink jet head has, for each channel, a pressure chamber, an actuator for applying a discharge pressure to the ink supplied to the pressure chamber, and a nozzle plate having a nozzle for discharging the ink in the pressure chamber. .
また、特許文献1に記載には、パンチ治具を用いて板状部材に対してプレス加工することで、ノズル孔を形成し、ノズルプレートを製造する技術が記載されている。
さらに、近年では、ノズル孔から吐出されるインクの流路抵抗を低減や、インクを循環させるために、ノズル孔と連続し、かつノズル孔と直交する方向に延びる流路を形成したノズルプレートが提案されている。 Further, in recent years, in order to reduce the flow resistance of the ink discharged from the nozzle holes and to circulate the ink, there is a nozzle plate formed with flow paths that are continuous with the nozzle holes and extend in a direction perpendicular to the nozzle holes. Proposed.
しかしながら、特許文献1に記載された技術を用いて流路を設けたノズルプレートを製造するには、1回目のプレス加工によりノズルを形成した後に、流路を形成するために、2回目のプレス加工を行う必要があった。そのため、特許文献1に記載された技術では、2回のプレス加工を行う必要があるだけでなく、形成されたノズルと流路との位置ズレが発生するという問題を有していた。
However, in order to manufacture a nozzle plate provided with a flow path using the technique described in
本発明は、上述のような従来の問題点に鑑み、ノズルと流路の位置ズレの発生を防止すると共に簡単な構成でノズルプレートを製造することができるノズルプレートの製造方法を提供することを目的とする。 In view of the above-described conventional problems, the present invention provides a nozzle plate manufacturing method capable of preventing the occurrence of positional misalignment between a nozzle and a flow path and manufacturing a nozzle plate with a simple configuration. Objective.
上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明のノズルプレートの製造方法は、下記の金型を用いて製造される。金型は、本体部と、ノズル形成部と、流路形成部と、を備えている。ノズル形成部は、本体部の一面から突出し、インクを吐出するノズルを形成する。流路形成部は、本体部の一面から突出し、ノズル形成部に連続し、ノズルの軸方向と直交する方向に延在する流路を形成する。 In order to solve the above problems and achieve the object of the present invention, the nozzle plate manufacturing method of the present invention is manufactured using the following mold. The mold includes a main body part, a nozzle forming part, and a flow path forming part. The nozzle forming part protrudes from one surface of the main body part and forms a nozzle for discharging ink. The flow path forming portion protrudes from one surface of the main body, forms a flow path that is continuous with the nozzle forming portion and extends in a direction perpendicular to the axial direction of the nozzle.
上記構成のノズルプレートの製造方法によれば、ノズルと流路の位置ズレの発生を防止すると共に簡単な構成でノズルプレートを製造することができる。 According to the manufacturing method of the nozzle plate having the above configuration, it is possible to manufacture the nozzle plate with a simple configuration while preventing the occurrence of positional deviation between the nozzle and the flow path.
以下に、本発明のノズルプレートの製造方法を実施するための形態について、図1〜図12を参照しながら説明する。なお、各図において共通の部材には、同一の符号を付している。また、本発明は、以下の形態に限定されるものではない。 Below, the form for implementing the manufacturing method of the nozzle plate of this invention is demonstrated, referring FIGS. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the common member in each figure. The present invention is not limited to the following form.
1.インクジェットヘッドの構成
1−1.インクジェットヘッドの一例の構成
まず、本発明のノズルプレートの製造方法により製造されたノズルプレートを有するインクジェットヘッドの一例の構成について図1及び図2を参照して説明する。
図1は、インクジェットヘッドの概略構成図、図2は、インクジェットヘッドの断面図である。
1. Configuration of inkjet head 1-1. Configuration of an Example of an Inkjet Head First, a configuration of an example of an inkjet head having a nozzle plate manufactured by the method for manufacturing a nozzle plate of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an inkjet head, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the inkjet head.
図1及び図2に示す装置は、被印刷物に向けてインク滴を吐出することで画像を形成するインクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドである。図1に示すように、インクジェットヘッド1は、共通インク室2と、保持部3と、ヘッドチップ4と、フレキシブル配線基板5と、を有している。
The apparatus shown in FIGS. 1 and 2 is an ink jet head used in an ink jet printer that forms an image by ejecting ink droplets toward a substrate. As shown in FIG. 1, the
共通インク室2は、中空の略直方体状に形成されており、一面が開口している。共通インク室2の開口と反対側の一面には、インクを供給するためのインク供給口2aと、インクを排出するためのインク排出口2bが設けられている。
The
共通インク室2の室内2cには、フィルタ7が設けられている。フィルタ7は、メッシュ状の部材で形成されている。フィルタ7は、インク供給口2aから供給されたインクから異物を取り除くと共に、インク内に含有する気泡を細かく破砕する。そして、共通インク室2の開口を覆うようにして保持部3が配置されている。
A filter 7 is provided in the
保持部3は、略中央に開口部3aを有する略平板状に形成されている。保持部3の一方の面には、開口部3aを覆うようにして共通インク室2が接続される。また、保持部3の他方の面には、開口部3aを覆うようにしてヘッドチップ4が接続される。そして、保持部3の開口部3aを介して共通インク室2と、ヘッドチップ4が連通する。
The holding |
保持部3の外周部には、挿通孔3bが設けられている。挿通孔3bには、フレキシブル配線基板5が挿通する。フレキシブル配線基板5は、後述するヘッドチップ4の配線基板50に接続される。また、フレキシブル配線基板5は、保持部3に設けた挿通孔3bを保持部3の他方の面から挿通して、共通インク室2側に引き出される。
An
ヘッドチップ4は、ノズルプレート10と、中間プレート20と、圧力室形成プレート30と、駆動プレート40と、配線基板50とを有している。また、ヘッドチップ4は、インクの吐出面側から、ノズルプレート10、中間プレート20、圧力室形成プレート30、駆動プレート40、配線基板50の順に積層されている。
The
ノズルプレート10には、複数のノズル11と、流路12が形成されている。ノズル11は、ノズルプレート10の一面から他面にかけて貫通している。このノズル11は、共通インク室2から供給されたインクを外部に吐出する。また、ノズル11は、ノズルプレート10に複数(例えば、500〜2000個)設けられ、マトリックス状に配置されている。このノズル11は、ノズルプレート10に積層される中間プレート20を介して圧力室形成プレート30に形成された圧力室31と連通する。
A plurality of
流路12は、ノズル11に連続して形成されている。この流路12は、ノズルプレート10に一面から他面に向けて凹んだ凹部である。そして、流路12は、ノズル11の軸方向と交差する方向に延びている。この流路12により、ノズルプレート10を通過するインクの流路抵抗を低減させている。
The
中間プレート20は、ノズルプレート10と、圧力室形成プレート30との間に配置される。中間プレート20には、ノズル11と後述する圧力室形成プレート30に設けた圧力室31とを連通する第1連通孔21が設けられている。この第1連通孔21は、ノズルプレート10のノズル11と対応する位置に設けられ、中間プレート20の一面から他面にかけて貫通している。
The
圧力室形成プレート30は、複数の圧力室31と、振動板32とを有している。圧力室31は、圧力室形成プレート30の一面から他面にかけて貫通している。この圧力室31によって、ノズル11から吐出されるインクに吐出圧力が付与される。また、圧力室31は、ノズルプレート10のノズル11及び中間プレート20の第1連通孔21と対応する位置に設けられている。
The pressure
振動板32は、圧力室31における中間プレート20とは反対側の開口を覆うように配置されている。この振動板32には、圧力室31と連通する第2連通孔32aが設けられている。振動板32における圧力室31側の一面と反対側の一面には、駆動プレート40が配置されている。
The
駆動プレート40は、空間部41と、第2連通孔32aと連通する第3連通孔42とを有している。空間部41は、振動板32を間に挟んで圧力室31と対向する位置に配置されている。空間部41には、アクチュエータ60が収容されている。
The
アクチュエータ60は、圧電素子61と、第1電極62と、第2電極63とを有している。第1電極62は、振動板32の一面に積層されている。そして、第1電極62には、圧電素子61が積層されて、振動板32及び第1電極62を間に挟んで圧力室31と対向する位置に配置される。そして、圧電素子61は、圧力室31毎(チャネル毎)に設けられる。
The
圧電素子61は、電圧が印加されることによって変形する材料で構成されており、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)などの強誘電体材料で構成されている。また、圧電素子61における第1電極62とは反対側の面には、第2電極63が積層されている。第2電極63は、バンプ64を介して後述する配線基板50に設けられた配線層51と接続される。
The
配線基板50は、配線層51と、配線層51が一面に形成されたシリコン層52とを有している。配線層51は、第2電極63に設けたバンプ64と、半田51aを介して接続される。また、配線層51の外縁部は、フレキシブル配線基板5に接続される。さらに、配線層51における駆動プレート40と反対側の一面には、シリコン層52が配置される。シリコン層52は、保持部3に接合される。
The
また、配線基板50には、配線層51及びシリコン層52を貫通する第4連通孔53が設けられている。この第4連通孔53は、駆動プレート40の第3連通孔42と、保持部3の開口部3aを介して共通インク室2と連通する。
The
これにより、第4連通孔53、第3連通孔42及び第2連通孔32aを通過して、共通インク室2に収容されたインクが圧力室31に流れ込む。そして、第1電極62と第2電極63に電圧が印加されることで、圧電素子61が変形すると共に圧電素子61の変形に伴い、振動板32が変形する。この振動板32が変形することで、圧力室31内にインクを吐出するための圧力が発生する。これにより、第1連通孔21を介してノズル11からインクが吐出される。
As a result, the ink stored in the
1−2.インクジェットヘッドの他の例
次に、図3を参照して、インクジェットヘッドの他の例の構成について説明する。
図3は、インクジェットヘッドの他の例を示す断面図である。
1-2. Another Example of Inkjet Head Next, the configuration of another example of the inkjet head will be described with reference to FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing another example of the inkjet head.
図3に示すインクジェットヘッド1Aが、図1及び図2に示すインクジェットヘッド1と異なる点は、インクを循環させる循環流路を設けた点である。そのため、図1及び図2に示すインクジェットヘッド1と共通する部分には同一の符号を付して重複した説明を省略する。
The
図3に示すように、インクジェットヘッド1Aは、共通インク室2と、保持部3と、ヘッドチップ4Aと、不図示のフレキシブル配線基板とを有している。ヘッドチップ4Aは、ノズルプレート10Aと、中間プレート20Aと、圧力室形成プレート30と、駆動プレート40と、配線基板50とを有している。
As shown in FIG. 3, the
また、ノズルプレート10Aと、中間プレート20Aには、インクを循環させる循環流路70Aが設けられている。ノズルプレート10Aには、ノズル11に連続し、ノズル11の軸方向と交差する個別循環流路12Aが形成されている。
The
また、中間プレート20Aには、隣り合うチャネルの個別循環流路12A、12Aと連通する共通循環流路22Aが形成されている。また、共通循環流路22Aは、不図示の共通排出液室に連通している。そして、共通排出液室は、不図示のポンプを介して共通インク室2に接続されている。
The
個別循環流路12A、共通循環流路22A及び共通排出液室を介してインクを循環させることで、ヘッドチップ4内に発生した気泡を除去し、ノズル11の詰まりや、射出不良等を抑制することができる。
By circulating the ink through the individual
2.ノズルプレートの製造方法
2−1.金型の第1の実施の形態例
次に、上述した流路12、個別循環流路12A(以下、合わせて「流路12」という)構成を有するノズルプレートの製造方法の第1の実施の形態例(以下、「本例」という)について図4〜図5を参照して説明する。
図4Aは、本例の製造方法で用いられる金型を示す正面図、図4Bは、金型を示す側面図、図4Cは、金型を示す平面図である。
2. Manufacturing method of nozzle plate 2-1. First Embodiment of Mold Next, a first embodiment of a method for manufacturing a nozzle plate having the above-described
FIG. 4A is a front view showing a mold used in the manufacturing method of this example, FIG. 4B is a side view showing the mold, and FIG. 4C is a plan view showing the mold.
なお、本例のノズルプレートの製造方法は、図4A〜4Cに示す金型100を用いて行われる。図4A〜4Cに示すように、金型100は、略直方体状に形成された本体部101と、ノズル形成部102と、流路形成部103とを有している。
In addition, the manufacturing method of the nozzle plate of this example is performed using the metal mold | die 100 shown to FIG. As shown in FIGS. 4A to 4C, the
ノズル形成部102及び流路形成部103は、本体部101の一面101aから突出している。ノズル形成部102は、略円錐状に形成されている。なお、ノズル形成部102の先端部は、半球状に形成されている。また、ノズル形成部102におけるノズル形成部102の軸方向に対する傾斜角度(以下、「ノズル形成部角度」という。)θ0は、所定の角度範囲に設定されている。このノズル形成部102によってノズルプレート10のノズル11が形成される。
The
流路形成部103は、ノズル形成部102の側面部に連続して、略直方体状に形成されている。また、流路形成部103は、本体部101の一面101aと平行をなし、かつノズル形成部102の軸方向と交差する方向に延在している。この流路形成部103によってノズルプレート10の流路12が形成される。
The flow
次に、上述した金型100を用いたノズルプレートの製造方法について図5A〜図5Dを参照して説明する。
図5A〜図5Dは、上述した金型100を用いたノズルプレートの製造方法を示す説明図である。
Next, the manufacturing method of the nozzle plate using the metal mold | die 100 mentioned above is demonstrated with reference to FIG. 5A-FIG. 5D.
5A to 5D are explanatory views showing a nozzle plate manufacturing method using the
まず、図5Aに示すように、平板状に形成された板状部材80の一面80aと、金型100におけるノズル形成部102及び流路形成部103が設けられた一面101aを対向させる。また、ノズルプレート10となる板状部材80の材質としては、例えば、ステンレス、スチール、アルミやニッケル等の金属が用いられる。
First, as shown in FIG. 5A, one
次に、図5Bに示すように、金型100の一面101aを板状部材80の一面80aに押し付け、プレス加工を行う。これにより、板状部材80の一面80aには、ノズル形成部102によって、一面80aと反対側の他面80bに向けて凹んだノズル凹部81が形成される。同様に、板状部材80の一面80aには、流路形成部103によって他面80bに向けて凹んだ流路凹部82が形成される。この流路凹部82がノズルプレート10の流路12となる。さらに、板状部材80の他面80bには、ノズル凹部81と対向する箇所に第1凸部83と、流路凹部82と対向する箇所に第2凸部84が形成される。
Next, as shown in FIG. 5B, one
次に、図5Cに示すように、板状部材80の他面80bから突出する第1凸部83及び第2凸部84を研磨し、除去する。そのため、図5Dに示すように、板状部材80の他面80bには、ノズル凹部81が開口する。これにより、板状部材80には、一面80aから他面80bにかけて貫通するノズル11が形成される。さらに、板状部材80の一面80aには、ノズル11と連通し、ノズル11の軸方向と交差する方向に延びる流路12が形成される。その結果、上述した工程によりノズルプレート10の製造が完了する。
Next, as shown in FIG. 5C, the first and
このように、本例の製造方法によれば、一つの金型100を用いて一回のプレス加工によって、ノズル11となるノズル凹部81と、流路12となる流路凹部82を同時に形成することができる。そのため、製造時において、ノズル11と流路12の位置ズレが発生することを防ぐことができ、ノズルプレート10を容易に製造することができる。
As described above, according to the manufacturing method of this example, the
2−2.金型の第2の実施の形態例
次に、ノズルプレートの製造方法で用いられる金型の第2の実施の形態例について図6A〜図6Cを参照して説明する。
図6は、第2の実施の形態例にかかる金型を示す正面図、図6Bは、金型を示す側面図、図6Cは、金型を示す平面図である。
2-2. Second Embodiment of Mold Next, a second embodiment of the mold used in the nozzle plate manufacturing method will be described with reference to FIGS. 6A to 6C.
FIG. 6 is a front view showing a mold according to the second embodiment, FIG. 6B is a side view showing the mold, and FIG. 6C is a plan view showing the mold.
この第2の実施の形態例の金型200が、第1の実施の形態例の金型100と異なる点は、流路形成部の形状である。そのため、ここでは、流路形成部について説明し、第1の実施の形態例にかかる金型100と共通する部分には同一の符号を付して重複した説明を省略する。
The
図6A〜図6Cに示すように、金型200は、本体部201と、ノズル形成部202と、流路形成部203とを有している。流路形成部203は、本体部201の一面201aと反対側の端部がV字状に形成されている。そのため、流路形成部203は、本体部201の一面201aに沿って延びる三角柱状に形成されている。
As shown in FIGS. 6A to 6C, the
第2の実施の形態例にかかる金型200によれば、プレス加工の際に、流路形成部203を板状部材80に押し込む角度が安定し、確実に板状部材に流路12を形成することができる。また、この金型200により形成された流路12は、V状の凹部となる。これにより、流路12を通過するインクの速度を安定させることができる。
According to the
その他の構成は、上述した第1の実施の形態例にかかる金型100と同様であるため、それらの説明は省略する。このような金型200を用いた製造方法によっても、上述した第1の実施の形態例にかかる金型100を用いた製造方法と同様の作用及び効果を得ることができる。
Since other configurations are the same as those of the
2−3.金型の第3の実施の形態例
次に、ノズルプレートの製造方法で用いられる金型の第3の実施の形態例について図7A及び図7Bを参照して説明する。
図7Aは、金型を示す正面図、図7Bは、この金型で製造されたノズルプレートを示す断面図である。
2-3. Third Embodiment of Mold Next, a third embodiment of a mold used in the nozzle plate manufacturing method will be described with reference to FIGS. 7A and 7B.
FIG. 7A is a front view showing a mold, and FIG. 7B is a cross-sectional view showing a nozzle plate manufactured by the mold.
この第3の実施の形態例の金型300が、第1の実施の形態例の金型100と異なる点は、ノズル形成部の形状である。そのため、ここでは、ノズル形成部について説明し、第1の実施の形態例にかかる金型100と共通する部分には同一の符号を付して重複した説明を省略する。
The
図7Aに示すように、金型300は、本体部301と、ノズル形成部302と、流路形成部303とを有している。ノズル形成部302は、第1ノズル形成部302aと、第2ノズル形成部302bとを有している。第1ノズル形成部302aは、本体部301の一面301aから略円錐台形状に突出している。第2ノズル形成部302bは、第1ノズル形成部302aの先端部に連続し、略円錐状に突出している。そして、第2ノズル形成部302bの傾斜角度は、第1ノズル形成部302aの傾斜角度よりも小さく設定されている。
As illustrated in FIG. 7A, the
このように、第3の実施の形態例にかかる金型300は、ノズル形成部302が2段階にその傾斜角度が変化し、先端部に向かうにつれて2段階に窄まっている。なお、第3の実施の形態例にかかる金型300では、ノズル形成部302を2段階に窄ませた例を説明したが、これに限定されるものではなく、ノズル形成部302を3段階以上に窄ませてもよい。
As described above, in the
第3の実施の形態例にかかる金型300を用いて製造されたノズルプレート10Bは、図7Bに示すように、ノズル11Bは、インクが入る入り側からインクが吐出する出側に向けて傾斜角度の異なる2つの傾斜面11a、11bを有する。第1傾斜面11aは、入り側に形成され、第2傾斜面11bは、出側に形成される。そして、第2傾斜面11bにおけるノズル11Bの軸方向に対する傾斜角度は、第1傾斜面11aの傾斜角度よりも小さくなる。
In the
その他の構成は、上述した第1の実施の形態例にかかる金型100と同様であるため、それらの説明は省略する。このような金型300を用いた製造方法によっても、上述した第1の実施の形態例にかかる金型100を用いた製造方法と同様の作用及び効果を得ることができる。
Since other configurations are the same as those of the
2−4.金型の第4の実施の形態例
次に、ノズルプレートの製造方法で用いられる金型の第4の実施の形態例について図8A及び図8Bを参照して説明する。
図8Aは、金型を示す正面図、図8Bは、この金型で製造されたノズルプレートを示す断面図である。
2-4. Fourth Embodiment of Mold Next, a fourth embodiment of a mold used in the nozzle plate manufacturing method will be described with reference to FIGS. 8A and 8B.
FIG. 8A is a front view showing a mold, and FIG. 8B is a cross-sectional view showing a nozzle plate manufactured by the mold.
この第4の実施の形態例の金型400が、第1の実施の形態例の金型100と異なる点は、ノズル形成部と流路形成部との接続箇所の角度である。そのため、ここでは、流路形成部について説明し、第1の実施の形態例にかかる金型100と共通する部分には同一の符号を付して重複した説明を省略する。
The
図8Aに示すように、金型400は、本体部401と、ノズル形成部402と、流路形成部403とを有している。流路形成部403における本体部401の一面401aと反対側の端部は、本体部401の一面401aに対して傾斜している。そして、流路形成部403がノズル形成部402に接続される箇所と、ノズル形成部402の軸方向で形成される角度θ1は、90°よりも大きく設定されている。これにより、金型400を板状部材80にプレスする際の流路形成部403が板状部材80に押し付けられる角度が安定する。
As shown in FIG. 8A, the
第4の実施の形態例にかかる金型400を用いて製造されたノズルプレート10Cは、図8Bに示すように、流路12Cが、ノズル11の先端に近づく方向に傾斜する。これにより、流路12Cからノズル11に向かうインクの液滴速度を安定させることができる。
As shown in FIG. 8B, the
その他の構成は、上述した第1の実施の形態例にかかる金型100と同様であるため、それらの説明は省略する。このような金型400を用いた製造方法によっても、上述した第1の実施の形態例にかかる金型100を用いた製造方法と同様の作用及び効果を得ることができる。
Since other configurations are the same as those of the
2−5.金型の第5の実施の形態例
次に、ノズルプレートの製造方法で用いられる金型の第5の実施の形態例について図9A及び図9Bを参照して説明する。
図9Aは、金型を示す正面図、図9Bは、この金型で製造されたノズルプレートを示す断面図である。
2-5. Fifth Embodiment of Mold Next, a fifth embodiment of a mold used in the nozzle plate manufacturing method will be described with reference to FIGS. 9A and 9B.
FIG. 9A is a front view showing a mold, and FIG. 9B is a cross-sectional view showing a nozzle plate manufactured by the mold.
この第5の実施の形態例の金型500が、第1の実施の形態例の金型100と異なる点は、ノズル形成部と流路形成部との接続箇所の角度である。そのため、ここでは、流路形成部について説明し、第1の実施の形態例にかかる金型100と共通する部分には同一の符号を付して重複した説明を省略する。
The
図9Aに示すように、金型500は、本体部501と、ノズル形成部502と、流路形成部503とを有している。流路形成部503における本体部501の一面501aと反対側の端部は、本体部501の一面501aに対して傾斜している。そして、流路形成部503がノズル形成部502に接続される箇所と、ノズル形成部502の軸方向で形成される角度θ1は、90°よりも小さく設定されている。この金型500を用いて製造されたノズルプレート10Dを図9Bに示す。この図9Bに示すように、流路12Dは、ノズル11から離反する方向に傾斜する。
As illustrated in FIG. 9A, the
その他の構成は、上述した第1の実施の形態例にかかる金型100と同様であるため、それらの説明は省略する。このような金型500を用いた製造方法によっても、上述した第1の実施の形態例にかかる金型100を用いた製造方法と同様の作用及び効果を得ることができる。
Since other configurations are the same as those of the
3.従来例との比較
次に、上述した金型により製造されたノズルプレートと、従来の製造方法により製造されたノズルプレートの比較した結果を、図10を参照して説明する。
図10は、本例の金型により製造されたノズルプレートと従来の製造方法により製造されたノズルプレートの性能の比較を示す表である。
3. Comparison with Conventional Example Next, a comparison result between the nozzle plate manufactured by the above-described mold and the nozzle plate manufactured by the conventional manufacturing method will be described with reference to FIG.
FIG. 10 is a table showing a comparison of the performance of the nozzle plate manufactured by the mold of this example and the nozzle plate manufactured by the conventional manufacturing method.
なお、図10に示す比較実験では、幅が30μmの流路形成部を有する金型を用いて金属製の板状部材をプレス加工することにより製造している。そして、金型のノズル形成部の先端部の直径は、24μmに設定されている。また、図5A〜図5Dに示すように、プレス加工を施した後に、板状部材の他面に対して帳面研磨加工を行い、100チャネル分のノズルを形成した。 In addition, in the comparative experiment shown in FIG. 10, it manufactures by pressing a metal plate-shaped member using the metal mold | die which has a flow-path formation part whose width | variety is 30 micrometers. And the diameter of the front-end | tip part of the nozzle formation part of a metal mold | die is set to 24 micrometers. Further, as shown in FIGS. 5A to 5D, after pressing, the other surface of the plate-like member was subjected to book polishing to form nozzles for 100 channels.
そして、製造したノズルプレートを図1及び図2に示す圧電式のインクヘッドヘッドのヘッドチップに設け、10cPの溶剤アナログインクを用いて、1dpd(drop per dot)で射出を行い、10発目の発滴速度を評価している。なお、dpdは、1dot当たりのdrop数を意味している。そのため、1dpdは、1滴(drop)で1dotの印字を行うという意味である。 The manufactured nozzle plate is provided on the head chip of the piezoelectric ink head shown in FIGS. 1 and 2, and 10 cP solvent analog ink is used for injection at 1 dpd (drop per dot). The rate of droplet ejection is evaluated. Dpd means the number of drops per dot. Therefore, 1 dpd means that 1 dot is printed with one drop.
また、流路形成部によりノズルプレートに形成された流路は、ノズルプレートと接合する他のプレートの流路とつながり、そちらにもインクが流れるように設計した。 In addition, the flow path formed in the nozzle plate by the flow path forming unit is designed to be connected to the flow path of another plate joined to the nozzle plate, and the ink flows there.
図10における実施例1は、図4A〜図4Cに示す第1の実施の形態例にかかる金型100に対応する例であり、ノズル形成部角度θ0が3°に設定した例を示している。実施例2は、図5A〜図5Cに示す第2の実施の形態例にかかる金型200に対応する例であり、ノズル形成部角度θ0が3°に設定した例を示している。
Example 1 in FIG. 10 is an example corresponding to the
また、実施例3〜実施例6は、図4A〜図4Cに示す第1の実施の形態例にかかる金型100に対応する例を示している。また、実施例3は、ノズル形成部角度θ0が4°に設定され、実施例4は、ノズル形成部角度θ0が5°に設定されている。そして、実施例5は、ノズル形成部角度θ0が25°、実施例6は、ノズル形成部角度θ0が26°に設定されている。
Examples 3 to 6 show examples corresponding to the
実施例7は、図7A及び図7Bに示す第3の実施の形態例にかかる金型300に対応する例を示している。そして、実施例7におけるノズル形成部角度θ0は、第2ノズル形成部302bの傾斜角度を示している。また、実施例8では、ノズルプレートの材質としてステンレスを用いた例を示している。他の例では、ノズルプレートの材質は、スチールを用いている。
Example 7 shows an example corresponding to the
実施例9は、一つの金型に100個のノズル形成部と流路形成部を形成した例を示している。実施例10は、図8A及び図8Bに示す第4の実施の形態例にかかる金型400に対応する例であり、ノズル形成部と流路形成部のなす角度θ1が、100°に設定されている。実施例11は、図9A及び図9Bに示す第5の実施の形態例にかかる金型500に対応する例であり、ノズル形成部と流路形成部のなす角度θ1が、80°に設定されている。さらに、実施例12では、ノズル11と流路12が形成された板状部材80におけるインクが吐出する側の面である他面80bに撥水膜を塗布した例を示している。
Example 9 shows an example in which 100 nozzle forming portions and flow path forming portions are formed in one mold. Example 10 is an example corresponding to the
なお、比較例1は、流路形成部がなくノズル形成部のみを有する金型を用いて板状部材に対してプレス加工を行い、その後流路形成部のみを有する金型を用いて板状部材に対して2回目のプレス加工を行ったものである。 In Comparative Example 1, the plate-shaped member is pressed using a mold having only a nozzle forming portion without a flow path forming portion, and then plate-shaped using a die having only a flow path forming portion. A second press work is performed on the member.
図10に示す実施例1〜12及び比較例1は、それぞれ10個のインクジェットヘッドを作成した。そして、100チャネルの液滴速度の平均が6.0m/sとなるように印加電圧を調整し、100チャネル全ての液滴速度を評価した。評価基準は、以下に示す通りである。
○○:5.5m/s<10ヘッド×全100チャネルの液滴速度<6.5m/s
○:5.0m/s<10ヘッド×全100チャネルの液滴速度<7.0m/s
×:10ヘッド×全100チャネルの液滴速度<5.0m/s、7.0m/s<10ヘッド×全100チャネルの液滴速度
In Examples 1 to 12 and Comparative Example 1 shown in FIG. And the applied voltage was adjusted so that the average of the droplet speed of 100 channels was 6.0 m / s, and the droplet velocity of all 100 channels was evaluated. The evaluation criteria are as shown below.
◯◯: 5.5 m / s <10 heads × drop velocity of all 100 channels <6.5 m / s
A: 5.0 m / s <10 heads × drop velocity of all 100 channels <7.0 m / s
X: Drop speed of 10 heads x
図10の実施例1〜実施例12に示すように、金型にノズル形成部と流路形成部を設け、一度のプレス加工でノズルと流路を同時に形成する製造方法では、全て安定した液滴速度を得ることができることが分かる。 As shown in Example 1 to Example 12 in FIG. 10, a nozzle is provided with a nozzle forming part and a flow path forming part, and in the manufacturing method in which the nozzle and the flow path are simultaneously formed by a single press process, all stable liquids are used. It can be seen that the drop velocity can be obtained.
これに対して、ノズルと流路を別のプレス加工で形成する比較例1では、液滴速度が不安定になっていることが分かる。このように、ノズルと流路を別のプレス加工で形成する場合では、ノズルと流路との位置精度が悪化するため、ノズルから流路へのインクの流量が安定しなくなる。 On the other hand, in Comparative Example 1 in which the nozzle and the flow path are formed by separate press processing, it can be seen that the droplet velocity is unstable. As described above, when the nozzle and the flow path are formed by different press processes, the positional accuracy between the nozzle and the flow path is deteriorated, and the ink flow rate from the nozzle to the flow path becomes unstable.
また、実施例2に示すように、流路形成部の先端がV字状に形成した場合、実施例1に示す流路形成部の先端の形状がV字状でない例よりも液滴速度が安定していることが分かる。 Further, as shown in Example 2, when the tip of the flow path forming part is formed in a V shape, the droplet velocity is higher than that in the example where the shape of the tip of the flow path forming part shown in Example 1 is not V-shaped. You can see that it is stable.
さらに、実施例4〜実施例5に示すように、ノズル形成部角度θ0が5°から25°の範囲では、実施例1、3、6よりも液滴速度が安定していることが分かる。これは、ノズルの傾斜角度が5°〜25°の範囲では、ノズルから吐出した液滴が分裂しにくくなるためと考えられる。そのため、ノズル形成部角度θ0は、5°〜25°の範囲に設定することが好ましい。 Further, as shown in Examples 4 to 5, it can be seen that the droplet velocity is more stable than those in Examples 1, 3, and 6 when the nozzle forming portion angle θ0 is in the range of 5 ° to 25 °. This is presumably because the droplets ejected from the nozzle are less likely to break up when the nozzle tilt angle is in the range of 5 ° to 25 °. For this reason, the nozzle forming portion angle θ0 is preferably set in the range of 5 ° to 25 °.
実施例7に示すように、ノズル形成部が2段形状であれば、液滴速度がより安定していることが分かる。このように、ノズル形成部が2段形状であれば、図7Bに示すように、形成されるノズルも2段形状となり、インクのメニスカス形状が安定し、液滴速度が安定する。 As shown in Example 7, it can be seen that if the nozzle forming portion has a two-stage shape, the droplet velocity is more stable. Thus, if the nozzle forming portion has a two-stage shape, the formed nozzle also has a two-stage shape as shown in FIG. 7B, the ink meniscus shape is stabilized, and the droplet velocity is stabilized.
また、実施例8に示すように、ノズルプレートの材質がステンレスでも液滴速度が安定していること分かる。そのため、ノズルプレートの材質は、例えば、ステンレス、スチール、アルミやニッケル等の金属が用いてもよい。また、ノズルプレートの材質がステンレスの場合、スチールの場合に比べて、所望の加工形状を得やすく、液滴速度が安定する。 Further, as shown in Example 8, it can be seen that the droplet velocity is stable even when the nozzle plate is made of stainless steel. For this reason, the material of the nozzle plate may be, for example, a metal such as stainless steel, steel, aluminum or nickel. Further, when the material of the nozzle plate is stainless steel, it is easier to obtain a desired processed shape and the droplet speed is stable than when steel is used.
実施例9に示すように、金型に複数のノズル形成部と流路形成部を設けた場合、金型に一つのノズル形成部と流路形成部を設けた場合に比べて、液滴速度が安定していることが分かる。このように、複数のノズル形成部と流路形成部を設けることで、プレス加工時に金型と板状部材との位置ズレが発生し難くなり、加工形状が安定し、ノズルプレートの液滴速度が安定する。 As shown in Example 9, when a plurality of nozzle forming portions and flow path forming portions are provided in a mold, the droplet velocity is higher than when a single nozzle forming portion and flow path forming portion are provided in a mold. It can be seen that is stable. In this way, by providing a plurality of nozzle forming portions and flow path forming portions, it is difficult for positional deviation between the mold and the plate-like member to occur during press processing, the processing shape is stable, and the droplet speed of the nozzle plate Is stable.
実施例10に示すように、ノズル形成部と流路形成部のなす角度θ1が90°よりも大きい場合では、液滴速度がより安定していることが分かる。このように、ノズル形成部と流路形成部のなす角度θ1が90°よりも大きい場合では、金型を板状部材にプレスする際の流路形成部が板状部材に押し付けられる角度が安定し、加工形状が安定し、ノズルプレートの液滴速度が安定する。 As shown in Example 10, when the angle θ1 formed by the nozzle forming portion and the flow path forming portion is larger than 90 °, it can be seen that the droplet velocity is more stable. As described above, when the angle θ1 formed by the nozzle forming portion and the flow path forming portion is larger than 90 °, the angle at which the flow path forming portion is pressed against the plate-like member when the mold is pressed to the plate-like member is stable. In addition, the processed shape is stabilized, and the droplet speed of the nozzle plate is stabilized.
さらに、実施例11に示すように、ノズル形成部と流路形成部のなす角度θ1が90°よりも小さい場合でも、液滴速度がより安定していることが分かる。これは、図9Bに示すように、流路12Dがノズル11から離反する方向に傾斜するため、インクがノズル11から流路12Dに逆流することを防ぐことができるものと考えられる。さらに、ノズル11の周辺の異物が流路12Dを伝ってノズル11に侵入することを防ぐことができ、液滴速度が安定する。
Furthermore, as shown in Example 11, it can be seen that the droplet velocity is more stable even when the angle θ1 formed by the nozzle forming portion and the flow path forming portion is smaller than 90 °. As shown in FIG. 9B, it is considered that the ink can be prevented from flowing back from the
また、実施例12に示すように、撥水膜を塗布した場合では、液滴速度がより安定していることが分かる。そのため、プレス加工を施した後に、ノズルプレートにおけるインクが吐出される側の面(他面)におおいてノズルの開口の周辺とノズルプレートの表面に撥水膜を塗布することで、ノズルプレートに変形があった場合でも液滴速度が安定する。 Further, as shown in Example 12, it can be seen that the droplet velocity is more stable when the water-repellent film is applied. For this reason, after applying the press working, a water repellent film is applied to the periphery of the nozzle opening and the surface of the nozzle plate on the surface (other surface) on the nozzle plate where ink is ejected. Even when there is deformation, the droplet velocity is stabilized.
4.製造方法の他の実施の形態例
次に、図11〜図12Bを参照してノズルプレートの製造方法の他の実施の形態例について説明する。
図11は、他の実施の形態例で用いられる金型を示す断面図である。図12A及び図12Bは、他の実施の形態例にかかるノズルプレートの製造方法を示す説明図である。
4). Another Embodiment of Manufacturing Method Next, another embodiment of the manufacturing method of the nozzle plate will be described with reference to FIGS.
FIG. 11 is a cross-sectional view showing a mold used in another embodiment. 12A and 12B are explanatory diagrams illustrating a method for manufacturing a nozzle plate according to another embodiment.
この実施の形態例にかかるノズルプレートの製造方法は、射出成形によりノズルプレートを製造する方法である。図11に示すように、第1金型601と、第1金型601と対向する第2金型610が用いられる。
The nozzle plate manufacturing method according to this embodiment is a method of manufacturing a nozzle plate by injection molding. As shown in FIG. 11, a first mold 601 and a
第1金型601には、ノズル形成部602と、流路形成部603とを有している。ノズル形成部602及び流路形成部603は、第1金型601における第2金型610と対向する一面601aから第2金型610に向けて突出している。なお、流路形成部603の構成は、上述した金型100、200、300、400、500の流路形成部103、203、303、403、503と同一である。
The first mold 601 has a
また、ノズル形成部602は、略円錐台形状に形成されている。そして、ノズル形成部602の先端部は、第2金型610に当接している。
Moreover, the
次に、上述した構成を有する第1金型601及び第2金型610を用いたノズルプレートの製造方法について図12A及び図12Bを参照して説明する。
図12Aに示すように、第1金型601と第2金型610の間に形成された空間S1に溶融した樹脂P1を流し込み、空間S1を溶融した樹脂P1で充填する。次に、樹脂P1を冷却させて固化(硬化)させる。そして、樹脂P1が硬化すると、第1金型601と第2金型610を離反させる。これにより、図12Bに示すように、ノズル11と流路12が形成されたノズルプレート10の製造が完了する。
Next, a method for manufacturing a nozzle plate using the first mold 601 and the
As shown in FIG. 12A, molten resin P1 is poured into space S1 formed between first mold 601 and
図12A及び図12Bに示す製造方法では、第1金型601と第2金型610の間に形成された空間S1に溶融部材の一例として樹脂P1を流し込み射出成形する例を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、第1金型601と第2金型610の間に形成された空間S1に溶融部材の他の例として溶融したアルミ等の金属を流し込み、いわゆる鋳造によってノズルプレートを製造してもよい。
In the manufacturing method shown in FIGS. 12A and 12B, the example in which the resin P <b> 1 is poured and injected into the space S <b> 1 formed between the first mold 601 and the
このような第1金型601及び第2金型610を用いた射出成形による製造方法によっても、金型100を用いたプレス加工による製造方法と同様に、ノズル11と流路12の位置ズレが発生することなく容易にノズルプレート10を製造することができる。
Also in the manufacturing method by injection molding using the first mold 601 and the
なお、本発明は上述しかつ図面に示した実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形実施が可能である。上述した実施の形態例では、製造したノズルプレートを圧電式のインクジェットヘッドのヘッドチップに設けた例を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、サーマル方式のヘッドチップにノズルプレートを設けてもよい。 The present invention is not limited to the embodiment described above and shown in the drawings, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention described in the claims. In the above-described embodiment, the example in which the manufactured nozzle plate is provided on the head chip of the piezoelectric inkjet head has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, a nozzle plate may be provided on a thermal head chip.
1、1A…インクジェットヘッド、 2…共通インク室、 3…保持部、 4、4A…ヘッドチップ、 5…フレキシブル配線基板、 10、10A、10B、10C、10D…ノズルプレート、 10a…一面、 11、11B…ノズル、 11a…第1傾斜面、 11b…第2傾斜面、 12、12C、12D…流路、 12A…個別循環流路、 20、20A…中間プレート、 30…圧力室形成プレート、 31…圧力室、 32…振動板、 40…駆動プレート、 50…配線基板、 60…アクチュエータ、 70A…循環流路、 80…板状部材、 80a…一面、 80b…他面、 81…ノズル凹部、 82…流路凹部、 83…第1凸部、 84…第2凸部、 100、200、300、400、500、600…金型、 101、201、301、401、501…本体部、 101a、201a、301a、401a、501a、601a…一面、 102、202、302、402、502、602…ノズル形成部、 103、203、403、503、603…流路形成部、 302a…第1ノズル形成部、 302b…第2ノズル形成部、 601…第1金型、 610…第2金型 P1…樹脂(溶融部材)、 S1…空間
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記本体部の一面から突出し、インクを吐出するノズルを形成するノズル形成部と、
前記本体部の前記一面から突出し、前記ノズル形成部に連続し、前記ノズルの軸方向と直交する方向に延在する流路を形成する流路形成部と、を備えた金型を用いて製造される
ノズルプレートの製造方法。 The main body,
A nozzle forming portion that protrudes from one surface of the main body and forms a nozzle for discharging ink;
Produced using a mold having a flow path forming portion that protrudes from the one surface of the main body portion, continues to the nozzle forming portion, and forms a flow channel extending in a direction perpendicular to the axial direction of the nozzle. Nozzle plate manufacturing method.
前記板状部材の前記一面とは反対側の他面においてプレス加工を行うことで形成された凸部を研磨し、除去する工程と、
を含む請求項1に記載のノズルプレートの製造方法。 A step of causing the one surface of the mold to face one surface of the plate-like member, and pressing the plate-like member with the die; and
Polishing and removing the protrusions formed by pressing on the other surface opposite to the one surface of the plate-like member;
The manufacturing method of the nozzle plate of Claim 1 containing this.
請求項1又は2に記載のノズルプレートの製造方法。 The nozzle plate manufacturing method according to claim 1, wherein the flow path forming portion has an end portion on the opposite side to the one surface of the main body portion formed in a substantially V shape.
前記ノズル形成部の軸方向に対する傾斜角度が、5°〜25°の範囲に設定されている
請求項1〜3のいずれか1項に記載のノズルプレートの製造方法。 The nozzle forming portion is formed in a substantially conical shape,
The manufacturing method of the nozzle plate according to any one of claims 1 to 3, wherein an inclination angle of the nozzle forming portion with respect to an axial direction is set in a range of 5 ° to 25 °.
前記本体部の一面から突出する略円錐台形状の第1ノズル形成部と、
前記第1ノズル形成部の先端部から連続し、略円錐状に形成された第2ノズル形成部と、を有し、
前記第2ノズル形成部の軸方向に対する傾斜角度は、前記第1ノズル形成部の軸方向に対する傾斜角度よりも小さく設定されている
請求項1〜3のいずれか1項に記載のノズルプレートの製造方法。 The nozzle forming part is
A substantially frustoconical first nozzle forming portion protruding from one surface of the main body portion;
A second nozzle forming portion that is continuous from the tip of the first nozzle forming portion and is formed in a substantially conical shape,
The nozzle plate according to any one of claims 1 to 3, wherein an inclination angle of the second nozzle forming portion with respect to the axial direction is set smaller than an inclination angle of the first nozzle forming portion with respect to the axial direction. Method.
請求項1〜5のいずれか1項に記載のノズルプレートの製造方法。 The location where the said flow path formation part is connected to the said nozzle formation part, and the angle formed in the axial direction of the said nozzle formation part are set larger than 90 degrees. The manufacturing method of the nozzle plate as described in 2.
請求項1〜5のいずれか1項に記載のノズルプレートの製造方法。 The location where the said flow path formation part is connected to the said nozzle formation part, and the angle formed in the axial direction of the said nozzle formation part are set smaller than 90 degrees. The manufacturing method of the nozzle plate as described in 2.
請求項1〜7のいずれか1項に記載のノズルプレートの製造方法。 The method for manufacturing a nozzle plate according to claim 1, wherein a plurality of the nozzle forming part and the flow path forming part are provided in the main body part.
請求項2〜8のいずれか1項に記載のノズルプレートの製造方法。 The method for manufacturing a nozzle plate according to any one of claims 2 to 8, further comprising a step of applying an ink repellent film to a surface of the plate-like member that has been subjected to the press working on the side from which the ink is ejected.
前記第1金型と前記第2金型の間に形成された空間に溶融部材を流し込む工程と、
前記溶融部材を固化させる工程と、
を含む請求項1に記載のノズルプレートの製造方法。 The mold includes a first mold having the nozzle forming section and the flow path forming section, and a second mold facing the one surface of the first mold on which the nozzle forming section and the flow path forming section are provided. A mold, and
Pouring a melting member into a space formed between the first mold and the second mold;
Solidifying the molten member;
The manufacturing method of the nozzle plate of Claim 1 containing this.
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WO2021019693A1 (en) | 2019-07-30 | 2021-02-04 | コニカミノルタ株式会社 | Nozzle plate, nozzle plate manufacturing method, and inkjet head |
WO2022044245A1 (en) | 2020-08-28 | 2022-03-03 | コニカミノルタ株式会社 | Nozzle plate and inkjet head |
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- 2016-12-26 JP JP2016250459A patent/JP2018111208A/en active Pending
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