JP2018103551A - Liquid jet device and method for controlling liquid jet device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid jet device that can suppress liquid-jetting failures even in a jetting state where shortage of supply of liquid to a common liquid chamber may be induced, and a method for controlling a liquid jet device.SOLUTION: A nozzle group has a first nozzle (30a) and a second nozzle (30b) different form the first nozzle. A driving pulse generating circuit generates first driving pulse (Pd) and second driving pulse (Pv2). The first driving pulse is driving pulse for jetting liquid from the first nozzle, and the second driving pulse is driving pulse for generating pressure vibrations in liquid in the second nozzle when a jetting state of liquid in each nozzles in the nozzle group satisfies a specific condition for inducing shortage of supply of liquid to a common liquid chamber.SELECTED DRAWING: Figure 13

Description

本発明は、複数のノズルから構成されるノズル群を有する液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置、および、液体噴射装置の制御方法に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting apparatus including a liquid ejecting head having a nozzle group including a plurality of nozzles, and a method for controlling the liquid ejecting apparatus.

液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を噴射(吐出)する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置,有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイやFED(面発光ディスプレイ)等の電極を形成する電極形成装置,バイオチップ(生物化学素子)を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではR(Red)・G(Green)・B(Blue)の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。   The liquid ejecting apparatus includes a liquid ejecting head and ejects (discharges) various liquids from the liquid ejecting head. As this liquid ejecting apparatus, for example, there is an image recording apparatus such as an ink jet printer or an ink jet plotter, but recently, various types of manufacturing have been made by taking advantage of the ability to accurately land a very small amount of liquid on a predetermined position. It is also applied to devices. For example, a display manufacturing apparatus that manufactures color filters such as liquid crystal displays, an electrode forming apparatus that forms electrodes such as organic EL (Electro Luminescence) displays and FEDs (surface emitting displays), and chips that manufacture biochips (biochemical elements) Applied to manufacturing equipment. The recording head for the image recording apparatus ejects liquid ink, and the color material ejecting head for the display manufacturing apparatus ejects solutions of R (Red), G (Green), and B (Blue) color materials. The electrode material ejecting head for the electrode forming apparatus ejects a liquid electrode material, and the bioorganic matter ejecting head for the chip manufacturing apparatus ejects a bioorganic solution.

この種の液体噴射ヘッドは、導入口から共通液室(リザーバーあるいはマニホールドとも呼ばれる)及び圧力室を通ってノズルに至る液体流路を備えており、圧電素子や発熱素子等のアクチュエーター(駆動素子)の駆動によってノズルや圧力室内の液体に圧力振動を生じさせ、この圧力振動を利用してノズルから液滴を噴射させる。液体噴射ヘッドにおいて複数のノズルから同時に大量の液体を噴射させるような動作が行われた場合、液体流路における圧力損失が増大することにより上流側から共通液室への液体の供給が追い付かなくなり、これにより、ノズルから液体が正常に噴射されなくなる場合がある。このような問題に対し、液体噴射ヘッドにおける液体の噴射状況が上記液体の供給不足が生じるおそれがある状況となった場合に液体の噴射が行われない待機時間が設けられ、上記のような液体の供給不足を回避する構成が提案されている(例えば、特許文献1参照)。   This type of liquid ejecting head includes a liquid flow path from an inlet to a common liquid chamber (also called a reservoir or a manifold) and a pressure chamber to a nozzle, and an actuator (driving element) such as a piezoelectric element or a heating element. By driving this, pressure vibration is generated in the liquid in the nozzle and the pressure chamber, and droplets are ejected from the nozzle using this pressure vibration. When an operation is performed in which a large amount of liquid is simultaneously ejected from a plurality of nozzles in the liquid ejecting head, the supply of liquid from the upstream side to the common liquid chamber cannot catch up due to an increase in pressure loss in the liquid flow path, Thereby, the liquid may not be normally ejected from the nozzle. In response to such a problem, when the liquid ejection state in the liquid ejection head becomes a situation where there is a possibility that insufficient supply of the liquid may occur, a standby time during which the liquid is not ejected is provided, and the liquid as described above Has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

特開2010−228349号公報JP 2010-228349 A

しかしながら、上記のように待機時間を設けることにより、液体噴射装置の全体の処理速度(スループット)が低下するという問題があった。また、液体噴射ヘッドの構造によっては、液体の噴射量が相対的に多い状況から上記の待機時間が設けられた場合等のように液体の噴射状況が急激に変化した場合に、これに起因して共通液室の液体に大きな圧力振動が生じる場合がある。そして、次回に液体噴射動作を再開した際に上記の共通液室の圧力振動の位相によっては却って液体の供給不足が発生するおそれがあった。   However, there is a problem that the overall processing speed (throughput) of the liquid ejecting apparatus is reduced by providing the standby time as described above. Further, depending on the structure of the liquid ejecting head, this may be caused by a sudden change in the liquid ejecting state such as when the above-described standby time is provided from a situation where the liquid ejecting amount is relatively large. As a result, a large pressure oscillation may occur in the liquid in the common liquid chamber. Then, when the liquid ejection operation is restarted next time, there is a possibility that insufficient supply of liquid may occur depending on the phase of the pressure oscillation of the common liquid chamber.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、共通液室への液体の供給不足を誘発するおそれがある噴射状況であっても液体の噴射不良を抑制することが可能な液体噴射装置、および、液体噴射装置の制御方法を提供するものである。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to suppress liquid ejection failure even in an ejection situation that may induce a shortage of liquid supply to the common liquid chamber. The present invention provides a liquid ejecting apparatus capable of performing the above and a method for controlling the liquid ejecting apparatus.

本発明の液体噴射装置は、上記目的を達成するために提案されたものであり、複数のノズルから構成されるノズル群、各ノズルにそれぞれ対応して複数設けられ、対応する前記ノズル内の液体に圧力振動を生じさせる駆動素子、および、各ノズルに供給する液体が供給される共通液室を有する液体噴射ヘッドと、
前記駆動素子を駆動する駆動パルスを発生させる駆動パルス発生回路と、
を備える液体噴射装置であって、
前記ノズル群は、第1のノズルと、第2のノズルと、を有し、
前記駆動パルス発生回路は、第1の駆動パルスと、第2の駆動パルスと、を発生し、
前記第1の駆動パルスは、前記第1のノズルに対応する前記駆動素子に印加されて当該第1のノズルから液体を噴射させる駆動パルスであり、
前記第2の駆動パルスは、前記ノズル群における各ノズルの液体の噴射状況が前記共通液室への液体の供給不足を誘発する特定の条件を満たした場合に前記第2のノズルに対応する前記駆動素子に印加されて当該第2のノズル内の液体に圧力振動を生じさせる駆動パルスであることを特徴とする。
The liquid ejecting apparatus of the present invention has been proposed to achieve the above object, and a plurality of nozzle groups each composed of a plurality of nozzles and a plurality of nozzles corresponding to each nozzle are provided, and the liquid in the corresponding nozzles is provided. A liquid ejecting head having a common liquid chamber to which a liquid to be supplied to each nozzle and a driving element that causes pressure vibration to be supplied to the nozzle, and
A drive pulse generation circuit for generating a drive pulse for driving the drive element;
A liquid ejecting apparatus comprising:
The nozzle group includes a first nozzle and a second nozzle,
The drive pulse generation circuit generates a first drive pulse and a second drive pulse,
The first driving pulse is a driving pulse that is applied to the driving element corresponding to the first nozzle and ejects liquid from the first nozzle,
The second drive pulse corresponds to the second nozzle when the liquid ejection state of each nozzle in the nozzle group satisfies a specific condition that induces insufficient supply of liquid to the common liquid chamber. The driving pulse is applied to the driving element to cause pressure oscillation in the liquid in the second nozzle.

本発明によれば、ノズル群における各ノズルの液体の噴射状況が共通液室への液体の供給不足を誘発する特定の条件を満たした場合に第2のノズルに対応する駆動素子に第2の駆動パルスが印加されて当該第2のノズル内の液体に圧力振動を生じさせるので、第1のノズルからの液体の消費に伴って第2のノズル側の液体に共通液室側に引き込もうとする力が作用したとしても、第2のノズルにおいて当該力に抗する(打ち消す)ような圧力振動を生じさせることができる。このため、各ノズルにおける噴射状況が上記条件を満たした場合であっても、第2のノズルから液体流路内に空気が引き込まれることが抑制される。その結果、高DUTYでの噴射動作が断続的に繰り返される等のように、共通液室への液体の供給不足を誘発するおそれがあるような噴射状況であっても、液体の噴射不良を抑制することが可能となる。その結果、DUTYを下げたり待機時間を別途設けたりする等のように液体噴射装置の能力を下げるような対処を行うことなく噴射動作を行うことが可能となる。   According to the present invention, when the liquid ejection state of each nozzle in the nozzle group satisfies a specific condition that induces insufficient supply of liquid to the common liquid chamber, the second driving element corresponding to the second nozzle Since the drive pulse is applied to cause pressure oscillation in the liquid in the second nozzle, the liquid on the second nozzle side tends to be drawn into the common liquid chamber side as the liquid from the first nozzle is consumed. Even if a force acts, pressure vibration that resists (cancels) the force can be generated in the second nozzle. For this reason, even if it is a case where the injection condition in each nozzle satisfy | fills the said conditions, it is suppressed that air is drawn in into a liquid flow path from a 2nd nozzle. As a result, liquid injection failure is suppressed even in an injection situation where there is a risk of inadequate supply of liquid to the common liquid chamber, such as intermittent injection operation at high DUTY. It becomes possible to do. As a result, it is possible to perform the ejection operation without taking measures such as reducing the capacity of the liquid ejection device, such as lowering the DUTY or separately providing a standby time.

上記構成において、前記駆動パルス発生回路は、液体の噴射が行われない前記ノズルに対応する前記駆動素子に印加されて、当該ノズル内の液体に圧力振動を生じさせる振動駆動パルスを発生可能であり、
前記第2の駆動パルスは、前記振動駆動パルスの場合よりも前記ノズル内の液体に生じさせる圧力振動が大きい駆動パルスである構成を採用することが望ましい。
In the above configuration, the drive pulse generation circuit can generate a vibration drive pulse that is applied to the drive element corresponding to the nozzle that is not ejected of liquid and causes pressure vibration in the liquid in the nozzle. ,
It is desirable to adopt a configuration in which the second drive pulse is a drive pulse in which pressure vibration generated in the liquid in the nozzle is larger than in the case of the vibration drive pulse.

この構成によれば、第2のノズルにおいて液体を共通液室側に引き込もうとする力に抗する力がより強くなるので、第2のノズルから液体流路内に空気が引き込まれることがより確実に抑制される。   According to this configuration, since the force against the force of drawing the liquid into the common liquid chamber is increased in the second nozzle, it is more reliable that air is drawn into the liquid channel from the second nozzle. To be suppressed.

また、上記構成において、前記第2の駆動パルスは、前記第2のノズル内の液体の圧力を高めて噴射側に押し出すように前記駆動素子を駆動する駆動パルスである構成を採用することが望ましい。   In the above-described configuration, it is desirable that the second drive pulse is a drive pulse that drives the drive element so as to increase the pressure of the liquid in the second nozzle and push it toward the ejection side. .

この構成によれば、第2のノズルにおいて液体を噴射側に押し出すため、第2のノズルから液体流路内に空気が引き込まれることがより効果的に抑制される。   According to this configuration, since the liquid is pushed out to the ejection side in the second nozzle, it is more effectively suppressed that air is drawn into the liquid flow path from the second nozzle.

上記構成において、前記第2の駆動パルスによって生じる前記第2のノズル内の液体の圧力振動と、前記第1のノズルにおける液体の噴射に伴って生じる圧力振動とは逆位相である構成を採用することが望ましい。   In the above configuration, a configuration is adopted in which the pressure vibration of the liquid in the second nozzle caused by the second drive pulse and the pressure vibration generated in association with the ejection of the liquid in the first nozzle are in opposite phases. It is desirable.

第2のノズルにおいて液体を共通液室側に引き込もうとする力を打ち消すので、第2のノズルから液体流路内に空気が引き込まれることがより確実に抑制される。   Since the force for drawing the liquid into the common liquid chamber is canceled by the second nozzle, the air is more reliably suppressed from being drawn into the liquid channel from the second nozzle.

また、本発明は、前記共通液室の一部が可撓性を有するコンプライアンス部材により区画されている構成に適用する場合に好適である。   In addition, the present invention is suitable when applied to a configuration in which a part of the common liquid chamber is partitioned by a compliance member having flexibility.

この構成によれば、共通液室の一部が可撓性を有するコンプライアンス部材により区画された構成では、共通液室内の液体の圧力振動に応じてコンプライアンス部材が変位することで当該圧力振動が大きくなるため、比較的低いDUTYにおいても供給不足を誘発するおそれがあるところ、このような構成においても液体の噴射不良を効果的に抑制することが可能となる。   According to this configuration, in a configuration in which a part of the common liquid chamber is partitioned by the compliance member having flexibility, the pressure vibration is greatly increased by the displacement of the compliance member according to the pressure vibration of the liquid in the common liquid chamber. Therefore, even in a relatively low DUTY, there is a possibility that insufficient supply may be induced. Even in such a configuration, it is possible to effectively suppress liquid ejection failure.

また、本発明の液体噴射装置の制御方法は、複数のノズルから構成されるノズル群、各ノズルにそれぞれ対応して複数設けられ、対応する前記ノズル内の液体に圧力振動を生じさせる駆動素子、および、各ノズルに供給する液体が供給される共通液室を有する液体噴射ヘッドと、前記駆動素子を駆動する駆動パルスを発生させる駆動パルス発生回路と、を備える液体噴射装置の制御方法であって、
前記ノズル群を構成する前記ノズルのうちの第1のノズルから液体を噴射させる際に当該第1のノズルに対応する前記駆動素子に前記第1の駆動パルスを印加する一方、
前記ノズル群における各ノズルの液体の噴射状況が前記共通液室への液体の供給不足を誘発する特定の条件を満たした場合に、前記ノズル群を構成する前記ノズルのうちの第2のノズルに対応する前記駆動素子に第2の駆動パルスを印加して、当該第2のノズル内の液体に圧力振動を生じさせることを特徴とする。
Further, according to the control method of the liquid ejecting apparatus of the present invention, a nozzle group composed of a plurality of nozzles, a plurality of driving elements provided corresponding to each nozzle, and causing pressure vibrations in the liquid in the corresponding nozzle, And a control method for a liquid ejecting apparatus, comprising: a liquid ejecting head having a common liquid chamber to which a liquid to be supplied to each nozzle is supplied; and a drive pulse generating circuit that generates a drive pulse for driving the drive element. ,
While applying the first drive pulse to the drive element corresponding to the first nozzle when ejecting liquid from the first nozzle of the nozzles constituting the nozzle group,
When the liquid ejection state of each nozzle in the nozzle group satisfies a specific condition that induces insufficient supply of liquid to the common liquid chamber, the second nozzle among the nozzles constituting the nozzle group A second drive pulse is applied to the corresponding drive element to cause pressure oscillation in the liquid in the second nozzle.

液体噴射装置(プリンター)の一形態の構成を説明する正面図である。It is a front view explaining the structure of one form of a liquid ejecting apparatus (printer). 液体噴射装置の電気的な構成を説明するブロック図である。3 is a block diagram illustrating an electrical configuration of the liquid ejecting apparatus. FIG. 液体噴射ヘッド(記録ヘッド)の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a liquid ejecting head (recording head). 図3における領域Xの拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view of a region X in FIG. 3. コンプライアンス部周辺の拡大図である。It is an enlarged view around a compliance section. リザーバーからノズルに至るインク流路の模式図である。It is a schematic diagram of the ink flow path from a reservoir to a nozzle. 噴射用ノズルと非噴射ノズルとの間におけるインクの流れについて説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the flow of ink between the nozzle for ejection and the non-ejection nozzle. 各ノズルについてのインク噴射状況の変化について説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the change of the ink ejection condition about each nozzle. インク噴射状況についてインク供給不足の対策の有無についての試験結果を示す表である。It is a table | surface which shows the test result about the presence or absence of the countermeasure of an ink supply shortage about an ink ejection condition. 噴射駆動パルスの波形図である。It is a wave form diagram of a jetting drive pulse. 第1振動駆動パルスの波形図である。It is a wave form diagram of the 1st vibration drive pulse. 第2振動駆動パルスの波形図である。It is a wave form diagram of the 2nd vibration drive pulse. 第2振動駆動パルスによって生じる圧力振動の波形と、噴射駆動パルスのタイミングと、第2振動駆動パルスの印加されるタイミングと、をそれぞれ対応させて示した図である。It is the figure which showed the waveform of the pressure vibration produced | generated by the 2nd vibration drive pulse, the timing of the injection drive pulse, and the timing at which the 2nd vibration drive pulse is applied corresponding to each other. 噴射用ノズルと非噴射ノズルとの間におけるインクの流れについて説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the flow of ink between the nozzle for ejection and the non-ejection nozzle. 第2振動駆動パルスの変形例の波形図である。It is a wave form diagram of the modification of the 2nd vibration drive pulse. 第2振動駆動パルスの変形例の波形図である。It is a wave form diagram of the modification of the 2nd vibration drive pulse. 第2振動駆動パルスの変形例の波形図である。It is a wave form diagram of the modification of the 2nd vibration drive pulse. 第2振動駆動パルスの変形例の波形図である。It is a wave form diagram of the modification of the 2nd vibration drive pulse.

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、インクジェット式記録装置(以下、プリンター)を例に挙げて説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the embodiments described below, various limitations are made as preferred specific examples of the present invention. However, the scope of the present invention is not limited to the following description unless otherwise specified. However, the present invention is not limited to these embodiments. In the following, an ink jet recording apparatus (hereinafter referred to as a printer) will be described as an example of the liquid ejecting apparatus of the invention.

図1は、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド10を備えるプリンター1の構成を示す正面図である。また、図2は、プリンター1の電気的な構成について説明するブロック図である。このプリンター1は、フレーム2と、このフレーム2内に配設されたプラテン3とを備えており、搬送機構4(図2参照)によってプラテン3上に記録用紙、布帛、あるいは、樹脂シート等の記録媒体(液体の着弾対象物の一種)が搬送される。また、フレーム2内には、プラテン3と平行にガイドロッド5が架設されており、このガイドロッド5には、記録ヘッド10を搭載したキャリッジ6が摺動可能に支持されている。このキャリッジ6は、キャリッジ移動機構7(図2参照)の駆動により、ガイドロッド5に沿って記録媒体の搬送方向に直交する主走査方向に往復移動するように構成されている。このプリンター1は、プラテン3上に載置される記録媒体に対してキャリッジ6を主走査方向に相対移動させながら記録ヘッド10のノズル30(図3参照)からインク(本発明における液体の一種)を噴射させて、記録媒体上に当該インクを着弾させることにより文字や画像等の着弾パターンを形成(記録・印刷)する。   FIG. 1 is a front view illustrating a configuration of a printer 1 including a recording head 10 which is a kind of liquid ejecting head. FIG. 2 is a block diagram illustrating the electrical configuration of the printer 1. The printer 1 includes a frame 2 and a platen 3 disposed in the frame 2, and a recording sheet, fabric, resin sheet, or the like is placed on the platen 3 by a transport mechanism 4 (see FIG. 2). A recording medium (a kind of liquid landing target) is conveyed. A guide rod 5 is installed in the frame 2 in parallel with the platen 3, and a carriage 6 on which a recording head 10 is mounted is slidably supported on the guide rod 5. The carriage 6 is configured to reciprocate in the main scanning direction perpendicular to the conveyance direction of the recording medium along the guide rod 5 by driving a carriage moving mechanism 7 (see FIG. 2). The printer 1 uses ink (a kind of liquid in the present invention) from a nozzle 30 (see FIG. 3) of the recording head 10 while moving the carriage 6 relative to the recording medium placed on the platen 3 in the main scanning direction. Is ejected to land the ink on the recording medium, thereby forming (recording / printing) a landing pattern such as characters and images.

キャリッジ6には、インクを貯留したインクカートリッジ8(液体貯留部材の一種)を着脱可能に装着されている。インクとしては、例えば、水系の染料インクもしくは顔料インクや、これらの水系のインクよりも耐候性が高められた有機溶剤系(エコソルベント系)インクや、紫外線の照射による硬化する光硬化型インク等、周知の種々の組成のものを用いることができる。なお、本実施形態においては、インクカートリッジ8がキャリッジ6に搭載される構成を例示したが、これには限られず、インクカートリッジ8がプリンター1の本体側に配置され、インク供給チューブを介して記録ヘッド10に供給される構成を採用することも可能である。   An ink cartridge 8 (a type of liquid storage member) that stores ink is detachably mounted on the carriage 6. Examples of the ink include water-based dye ink or pigment ink, organic solvent-based (ecosolvent-based) ink having higher weather resistance than these water-based inks, and photo-curable ink that is cured by irradiation with ultraviolet rays. Well-known various compositions can be used. In the present embodiment, the configuration in which the ink cartridge 8 is mounted on the carriage 6 is illustrated. However, the present invention is not limited to this, and the ink cartridge 8 is disposed on the main body side of the printer 1 and is recorded via the ink supply tube. It is also possible to employ a configuration supplied to the head 10.

プリンター1の非記録領域であるホームポジションには、キャリッジ6に搭載された記録ヘッド10のノズルプレート24のノズル形成面(プラテン3と対向する面。図3等参照。)を払拭するワイピング機構11が配設されている。このワイピング機構11は、ワイパー12を有しており、このワイパー12としては、例えばゴムやエラストマー等の弾性・可撓性を有する部材により構成される。このワイピング機構11は、ワイパー12を、その先端部がワイピング時において記録ヘッド10のノズル形成面に接触可能な位置に配置する。そして、ワイパー12の先端部がノズル形成面に接触した状態で両者を相対移動させることにより当該ワイパー12によってノズル形成面が払拭される。   At the home position, which is a non-recording area of the printer 1, a wiping mechanism 11 that wipes the nozzle forming surface (the surface facing the platen 3, see FIG. 3) of the nozzle plate 24 of the recording head 10 mounted on the carriage 6. Is arranged. The wiping mechanism 11 has a wiper 12, and the wiper 12 is configured by an elastic / flexible member such as rubber or elastomer. In the wiping mechanism 11, the wiper 12 is disposed at a position where the tip of the wiper 12 can come into contact with the nozzle forming surface of the recording head 10 during wiping. Then, the nozzle forming surface is wiped by the wiper 12 by relatively moving the wiper 12 in a state where the tip of the wiper 12 is in contact with the nozzle forming surface.

このワイピング機構11に隣接して、上記ホームポジション若しくはその近傍に、キャッピング機構13が配設されている。キャッピング機構13は、記録ヘッド10のノズル形成面に当接し得るトレイ状の弾性部材からなるキャップ14(封止部材の一種)を有する。このキャッピング機構13では、キャップ14内の空間が封止空間として機能し、この封止空間内に記録ヘッド10のノズル30を臨ませた状態でノズル形成面に密着可能に構成されている。また、このキャップ14には、図示しない廃液チューブを介してポンプユニット16(図2参照)が接続されており、このポンプユニット16の作動によって廃液チューブを介してキャップ14の封止空間内を負圧化することができる。そして、記録ヘッド10のノズル30やインク流路の詰まりを解消するためのクリーニング処理においては、ノズル形成面への密着状態で封止空間(密閉空間)内が負圧化されてノズル30から記録ヘッド10内のインクや気泡が吸引されてキャップ14の封止空間内に排出される。   A capping mechanism 13 is disposed adjacent to the wiping mechanism 11 at or near the home position. The capping mechanism 13 has a cap 14 (a kind of sealing member) made of a tray-like elastic member that can come into contact with the nozzle forming surface of the recording head 10. The capping mechanism 13 is configured such that the space in the cap 14 functions as a sealing space, and can be brought into close contact with the nozzle forming surface with the nozzle 30 of the recording head 10 facing the sealing space. Further, a pump unit 16 (see FIG. 2) is connected to the cap 14 via a waste liquid tube (not shown), and the operation of the pump unit 16 causes the inside of the sealed space of the cap 14 to be negatively charged via the waste liquid tube. Can be compressed. In the cleaning process for eliminating the clogging of the nozzles 30 and the ink flow paths of the recording head 10, the pressure in the sealed space (sealed space) is reduced to a negative pressure while being in close contact with the nozzle forming surface. Ink and bubbles in the head 10 are sucked and discharged into the sealed space of the cap 14.

図2に示されるように、本実施形態におけるプリンター1は、CPU17、記憶装置18、駆動信号発生回路19(本発明における駆動パルス発生回路に相当)、入出力インターフェース20、搬送機構4、キャリッジ移動機構7、ワイピング機構11、キャッピング機構13、ポンプユニット16、および記録ヘッド10を有する。入出力インターフェース20は、外部機器側からの印刷動作等の要求、印刷設定情報、印刷データ(画像データ)等を受けたり、プリンター1の状態情報を外部機器に出力したり各種データの送受信を行う。CPU17は、プリンター全体の制御を行うための演算処理装置であり、記録ヘッド10による印刷動作(液体の噴射動作)等を制御する。記憶装置18は、CPU17のプログラムや各種制御に用いられるデータを記憶する素子であり、ROM、RAM、NVRAM(不揮発性記憶素子)を含む。駆動信号発生回路19は、駆動信号の波形に関する波形データに基づいて記録ヘッド10の圧電素子31を駆動するための駆動パルス(後述)を含む駆動信号を生成する。   As shown in FIG. 2, the printer 1 in this embodiment includes a CPU 17, a storage device 18, a drive signal generation circuit 19 (corresponding to a drive pulse generation circuit in the present invention), an input / output interface 20, a transport mechanism 4, and carriage movement. It has a mechanism 7, a wiping mechanism 11, a capping mechanism 13, a pump unit 16, and a recording head 10. The input / output interface 20 receives a request for a printing operation from the external device side, print setting information, print data (image data), etc., outputs the status information of the printer 1 to the external device, and transmits and receives various data. . The CPU 17 is an arithmetic processing unit for controlling the entire printer, and controls a printing operation (liquid ejection operation) by the recording head 10. The storage device 18 is an element that stores a program for the CPU 17 and data used for various controls, and includes a ROM, a RAM, and an NVRAM (nonvolatile storage element). The drive signal generation circuit 19 generates a drive signal including a drive pulse (described later) for driving the piezoelectric element 31 of the recording head 10 based on waveform data relating to the waveform of the drive signal.

次に、本実施形態における記録ヘッド10の構成について説明する。
図3は記録ヘッド10の断面図であり、図4は図3における領域Xの拡大図である。また、図5は、図4におけるリザーバー43の周辺の拡大図である。本実施形態における記録ヘッド10は、固定板23、ノズルプレート24、連通板25、アクチュエーター基板26、コンプライアンス基板27、ホルダー28等の複数のヘッド構成部材が積層されて接着剤等によって接合されてユニット化されている。なお、以下においては、記録ヘッド10の各構成部材の積層方向を、適宜上下方向として説明する。
Next, the configuration of the recording head 10 in the present embodiment will be described.
3 is a cross-sectional view of the recording head 10, and FIG. 4 is an enlarged view of a region X in FIG. FIG. 5 is an enlarged view of the periphery of the reservoir 43 in FIG. The recording head 10 according to the present embodiment is a unit in which a plurality of head components such as a fixed plate 23, a nozzle plate 24, a communication plate 25, an actuator substrate 26, a compliance substrate 27, and a holder 28 are laminated and bonded by an adhesive or the like. It has become. In the following description, the stacking direction of the constituent members of the recording head 10 will be described as the vertical direction as appropriate.

本実施形態におけるアクチュエーター基板26は、ノズルプレート24に形成されたノズル30と連通する圧力室33が形成された圧力室形成基板29と、各圧力室33内のインクに圧力振動を生じさせる駆動素子としての圧電素子31と、これらの圧力室形成基板29および圧電素子31を保護する保護基板32とを積層した状態で備えている。保護基板32の平面視における略中央部には、駆動IC38を実装したフレキシブル基板39が挿通される配線空部40が開設されている。この配線空部40内に、圧電素子31のリード電極が配置され、このリード電極にフレキシブル基板39の配線端子が電気的に接続される。このフレキシブル基板39を通じて駆動信号発生回路19から送られてくる駆動信号が圧電素子31に供給される。なお、フレキシブル基板39としては、駆動IC38を備えるものには限られず、当該駆動IC38が保護基板32の上部に所謂インターポーザーを介して別途配置される構成を採用することもできる。   In the present embodiment, the actuator substrate 26 includes a pressure chamber forming substrate 29 in which a pressure chamber 33 communicating with the nozzles 30 formed in the nozzle plate 24 is formed, and a drive element that generates pressure vibration in the ink in each pressure chamber 33. And a protective substrate 32 that protects the pressure chamber forming substrate 29 and the piezoelectric element 31 in a laminated state. A wiring empty portion 40 through which the flexible substrate 39 on which the drive IC 38 is mounted is opened at a substantially central portion in plan view of the protective substrate 32. A lead electrode of the piezoelectric element 31 is disposed in the wiring space 40, and a wiring terminal of the flexible substrate 39 is electrically connected to the lead electrode. A drive signal sent from the drive signal generation circuit 19 is supplied to the piezoelectric element 31 through the flexible substrate 39. The flexible substrate 39 is not limited to the one provided with the drive IC 38, and a configuration in which the drive IC 38 is separately disposed on the protective substrate 32 via a so-called interposer may be employed.

アクチュエーター基板26の圧力室形成基板29は、シリコン単結晶基板から作製されている。この圧力室形成基板29には、圧力室33となる空間が各ノズル30に対応して複数列設されている。この圧力室33は、ノズル列に交差(本実施形態においては直交)する方向に長尺な空部である。この圧力室33の長手方向の一側の端部には、ノズル連通口34が連通し、他側の端部に個別連通口35が連通する。本実施形態における圧力室形成基板29には、圧力室33の列が2列形成されている。   The pressure chamber forming substrate 29 of the actuator substrate 26 is made of a silicon single crystal substrate. In the pressure chamber forming substrate 29, a plurality of spaces corresponding to the nozzles 30 are provided as spaces for forming the pressure chambers 33. The pressure chamber 33 is a hollow portion that is long in a direction intersecting with the nozzle row (orthogonal in the present embodiment). A nozzle communication port 34 communicates with one end of the pressure chamber 33 in the longitudinal direction, and an individual communication port 35 communicates with the other end. Two rows of pressure chambers 33 are formed on the pressure chamber forming substrate 29 in the present embodiment.

圧力室形成基板29の上面(連通板25側とは反対側の面)には、振動板36が積層され、この振動板36によって圧力室33の上部開口が封止されている。すなわち、振動板36により、圧力室33の一部が区画されている。この振動板36は、例えば、圧力室形成基板29の上面に形成された二酸化シリコン(SiO)からなる弾性膜と、この弾性膜上に形成された酸化ジルコニウム(ZrO)からなる絶縁体膜と、から成る。そして、この振動板36上における各圧力室33に対応する領域に圧電素子31がそれぞれ積層されている。 A vibration plate 36 is laminated on the upper surface of the pressure chamber forming substrate 29 (the surface opposite to the communication plate 25 side), and the upper opening of the pressure chamber 33 is sealed by the vibration plate 36. That is, a part of the pressure chamber 33 is partitioned by the diaphragm 36. The vibration plate 36 includes, for example, an elastic film made of silicon dioxide (SiO 2 ) formed on the upper surface of the pressure chamber forming substrate 29 and an insulator film made of zirconium oxide (ZrO 2 ) formed on the elastic film. And consist of And the piezoelectric element 31 is laminated | stacked on the area | region corresponding to each pressure chamber 33 on this diaphragm 36, respectively.

本実施形態の圧電素子31は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子31は、例えば、振動板36上に、下電極層、圧電体層および上電極層(いずれも図示せず)が順次積層されてなる。このように構成された圧電素子31は、下電極層と上電極層との間に両電極の電位差に応じた電界が付与されると、上下方向に撓み変形する。本実施形態では、2列に形成された圧力室33の列に対応して、圧電素子31の列が2列形成されている。なお、下電極層および上電極層は、両側の圧電素子31の列から当該列の間の配線空部40内までリード電極として延在され、上述したようにフレキシブル基板39と電気的に接続されている。   The piezoelectric element 31 of the present embodiment is a so-called bending mode piezoelectric element. For example, the piezoelectric element 31 is formed by sequentially laminating a lower electrode layer, a piezoelectric layer, and an upper electrode layer (all not shown) on the vibration plate 36. The piezoelectric element 31 configured in this manner bends and deforms in the vertical direction when an electric field corresponding to the potential difference between both electrodes is applied between the lower electrode layer and the upper electrode layer. In the present embodiment, two rows of piezoelectric elements 31 are formed corresponding to the rows of pressure chambers 33 formed in two rows. The lower electrode layer and the upper electrode layer extend as lead electrodes from the rows of the piezoelectric elements 31 on both sides to the inside of the wiring space 40 between the rows, and are electrically connected to the flexible substrate 39 as described above. ing.

保護基板32は、2列に形成された圧電素子31の列を覆うように振動板36上に積層されている。保護基板32の内部には、圧電素子31の列を収容可能な長尺な収容空間41が形成されている。この収容空間41は、保護基板32の下面側(振動板36側)から上面側(ホルダー28側)に向けて保護基板32の高さ方向途中まで形成された窪みである。本実施形態における保護基板32には、配線空部40の両側に収容空間41がそれぞれ形成されている。アクチュエーター基板26の下面には、このアクチュエーター基板26よりも広い面積を有する連通板25が接合される。   The protective substrate 32 is laminated on the vibration plate 36 so as to cover the rows of the piezoelectric elements 31 formed in two rows. Inside the protective substrate 32, a long accommodation space 41 that can accommodate the rows of piezoelectric elements 31 is formed. The accommodation space 41 is a recess formed partway in the height direction of the protective substrate 32 from the lower surface side (the diaphragm 36 side) of the protective substrate 32 toward the upper surface side (the holder 28 side). In the protection substrate 32 in the present embodiment, accommodation spaces 41 are respectively formed on both sides of the wiring vacant portion 40. A communication plate 25 having a larger area than the actuator substrate 26 is joined to the lower surface of the actuator substrate 26.

連通板25は、圧力室形成基板29と同様にシリコン単結晶基板から作製されている。本実施形態における連通板25には、圧力室33とノズル30とを連通するノズル連通口34、各圧力室に共通に設けられたリザーバー43(共通液室の一種。マニホールドとも呼ばれる。)、および、リザーバー43と圧力室33とを連通する個別連通口35が、例えば異方性エッチングにより形成されている。リザーバー43は、ノズル列方向に沿って延在する空部であり、本実施形態における連通板25においてノズルプレート24のノズル列毎に対応して2つ形成されている。なお、1つのノズル列に対して複数のリザーバーが設けられ、それぞれのリザーバーに異なる種類のインクが割り当てられる構成を採用することもできる。ノズル連通口34、個別連通口35、及びリザイーバー43は、連通板25の下面側から異方性エッチングによって形成されている。このリザーバー43には、後述するようにホルダー28に設けられた液室空部51の導入口52を通じてインクが導入される。個別連通口35は、各圧力室33にそれぞれ対応してノズル列方向に沿って複数形成されている。この個別連通口35は、圧力室33の長手方向における他側(ノズル連通口34に連通する側とは反対側)の端部と連通する。   Similar to the pressure chamber forming substrate 29, the communication plate 25 is made of a silicon single crystal substrate. In the communication plate 25 in the present embodiment, a nozzle communication port 34 for communicating the pressure chamber 33 and the nozzle 30, a reservoir 43 (a kind of common liquid chamber, also referred to as a manifold) provided in common to each pressure chamber, and The individual communication port 35 communicating the reservoir 43 and the pressure chamber 33 is formed by, for example, anisotropic etching. The reservoirs 43 are empty portions extending along the nozzle row direction, and two reservoirs 43 are formed corresponding to each nozzle row of the nozzle plate 24 in the communication plate 25 in the present embodiment. It is also possible to employ a configuration in which a plurality of reservoirs are provided for one nozzle row, and different types of ink are assigned to the respective reservoirs. The nozzle communication port 34, the individual communication port 35, and the reservoir 43 are formed by anisotropic etching from the lower surface side of the communication plate 25. Ink is introduced into the reservoir 43 through an introduction port 52 of a liquid chamber empty portion 51 provided in the holder 28 as will be described later. A plurality of individual communication ports 35 are formed along the nozzle row direction corresponding to the respective pressure chambers 33. The individual communication port 35 communicates with the end portion on the other side in the longitudinal direction of the pressure chamber 33 (the side opposite to the side communicating with the nozzle communication port 34).

図4及び図5に示されるように、リザーバー43は、ホルダー28の液室空部51と連通する第1のリザーバー部43aと、当該第1のリザーバー部43aと圧力室33とを連通する第2のリザーバー部43bと、から構成される。第1のリザーバー部43aは、ホルダー28の液室空部51の底面側の開口形状に倣った形状および寸法の開口を有する空部であり、連通板25の板厚方向を貫通した部分である。本実施形態においては、第1のリザーバー部43aの長手方向、すなわち、ノズル列方向の中央部に対応する位置にホルダー28の導入口52が配置されている(図6参照)。第2のリザーバー部43bは、連通板25の上面側に肉薄部43cを残して下面側から板厚方向の途中まで窪まされた部分であり、第1のリザーバー部43aに対してノズル列方向に交差する方向(本実施形態においては直交する方向)に隣接して形成されている。この第2のリザーバー部43bは、ノズル列方向において、第1のリザーバー部43aの一端から他端にかけて当該第1のリザーバー部43aに沿って延在している。また、第2のリザーバー部43bのノズル列方向に交差する方向における一端部は第1のリザーバー部43aと連通する一方、同方向の他端部は、連通板25に接合された圧力室形成基板29の圧力室33に連通する個別連通口35に連通するように形成されている。そして、リザーバー43の下面側の開口部は、コンプライアンス基板27のコンプライアンスシート44によって封止される。   As shown in FIGS. 4 and 5, the reservoir 43 includes a first reservoir 43 a that communicates with the liquid chamber cavity 51 of the holder 28, and a first reservoir 43 a that communicates with the first reservoir 43 a and the pressure chamber 33. 2 reservoir portions 43b. The first reservoir portion 43 a is an empty portion having an opening having a shape and a size that follows the opening shape on the bottom surface side of the liquid chamber empty portion 51 of the holder 28, and is a portion that penetrates the thickness direction of the communication plate 25. . In the present embodiment, the introduction port 52 of the holder 28 is disposed at a position corresponding to the longitudinal direction of the first reservoir 43a, that is, the center in the nozzle row direction (see FIG. 6). The second reservoir portion 43b is a portion that is recessed from the lower surface side to the middle of the plate thickness direction while leaving the thin portion 43c on the upper surface side of the communication plate 25, and in the nozzle row direction with respect to the first reservoir portion 43a. It is formed adjacent to the intersecting direction (the orthogonal direction in the present embodiment). The second reservoir portion 43b extends along the first reservoir portion 43a from one end of the first reservoir portion 43a to the other end in the nozzle row direction. One end of the second reservoir 43b in the direction intersecting the nozzle row direction communicates with the first reservoir 43a, while the other end of the second reservoir 43b is joined to the communication plate 25. It is formed so as to communicate with individual communication ports 35 communicating with 29 pressure chambers 33. The opening on the lower surface side of the reservoir 43 is sealed with the compliance sheet 44 of the compliance substrate 27.

上記の連通板25の下面の略中央部分には、複数のノズル30が形成されたノズルプレート24が接合される。本実施形態におけるノズルプレート24は、連通板25およびアクチュエーター基板26よりも小さい外形の板材であり、シリコン単結晶基板から構成されている。このノズルプレート24は、連通板25の下面において、リザーバー43の開口から外れた位置であって、ノズル連通口34が開口した領域に、これらのノズル連通口34と複数のノズル30とがそれぞれ連通する状態で接着剤等により接合される。本実施形態におけるノズルプレート24には、複数のノズル30が列設されてなるノズル列(本発明におけるノズル群に相当)が合計2条形成されている。本実施形態においては、1列のノズル列は、例えば400個のノズル30により構成されている。なお、ノズル群としては、複数のノズルが列状に並設されたものには限られず、複数のノズルがマトリクス状に配置されたものも採用することができる。要するに、ノズル群は、同一のリザーバー(共通液室)から液体がそれぞれ供給される複数のノズルにより構成されるものであればよい。   A nozzle plate 24 in which a plurality of nozzles 30 are formed is joined to a substantially central portion of the lower surface of the communication plate 25. The nozzle plate 24 in the present embodiment is a plate material having an outer shape smaller than the communication plate 25 and the actuator substrate 26, and is composed of a silicon single crystal substrate. The nozzle plate 24 is located at a position deviated from the opening of the reservoir 43 on the lower surface of the communication plate 25, and the nozzle communication port 34 and the plurality of nozzles 30 communicate with each other in a region where the nozzle communication port 34 is opened. In such a state, it is joined with an adhesive or the like. In the nozzle plate 24 in this embodiment, a total of two nozzle rows (corresponding to the nozzle group in the present invention) in which a plurality of nozzles 30 are arranged are formed. In the present embodiment, one nozzle row is composed of, for example, 400 nozzles 30. The nozzle group is not limited to one in which a plurality of nozzles are arranged in a line, and one in which a plurality of nozzles are arranged in a matrix can also be employed. In short, the nozzle group may be composed of a plurality of nozzles to which liquids are respectively supplied from the same reservoir (common liquid chamber).

また、連通板25の下面において、ノズルプレート24の周囲を囲むように、当該ノズルプレート24の外形に倣った形状の貫通開口46が中央部に形成されたコンプライアンス基板27が接合される。このコンプライアンス基板27の貫通開口46は、固定板23の貫通口23aと連通して、その内側にノズルプレート24が配置されるように構成されている。   In addition, on the lower surface of the communication plate 25, a compliance substrate 27 having a through-opening 46 having a shape following the outer shape of the nozzle plate 24 formed at the center so as to surround the nozzle plate 24 is joined. The through opening 46 of the compliance substrate 27 communicates with the through hole 23a of the fixing plate 23, and the nozzle plate 24 is arranged inside thereof.

コンプライアンス基板27は、連通板25の下面に位置決めされて接合された状態で、連通板25の下面におけるリザーバー43の開口を封止する。本実施形態におけるコンプライアンス基板27は、図4および図5に示されるように、コンプライアンスシート44(コンプライアンス部材の一種)と、これを支持する支持板45とが接合されて構成されている。連通板25の下面には、コンプライアンス基板27のコンプライアンスシート44が接合されて、連通板25と支持板45との間にコンプライアンスシート44が挟まれた状態となる。コンプライアンスシート44は、可撓性を有する薄膜、例えばポリフェニレンサルファイド(PPS)等の合成樹脂材料により作製されている。支持板45は、コンプライアンスシート44よりも剛性が高く且つ厚みのあるステンレス鋼等の金属材料で形成されている。この支持板45のリザーバー43に対向する領域には、このリザーバー43の下面開口に倣った形状に支持板45の一部が除去されたコンプライアンス開口48が形成されている。このため、リザーバー43の下面側の開口は、可撓性を有するコンプライアンスシート44のみで封止されている。換言すると、コンプライアンスシート44は、リザーバー43の一部を区画している。   The compliance substrate 27 is positioned and joined to the lower surface of the communication plate 25 and seals the opening of the reservoir 43 on the lower surface of the communication plate 25. As shown in FIGS. 4 and 5, the compliance substrate 27 in the present embodiment is configured by joining a compliance sheet 44 (a kind of compliance member) and a support plate 45 that supports the compliance sheet 44. The compliance sheet 44 of the compliance substrate 27 is bonded to the lower surface of the communication plate 25 so that the compliance sheet 44 is sandwiched between the communication plate 25 and the support plate 45. The compliance sheet 44 is made of a flexible thin film, for example, a synthetic resin material such as polyphenylene sulfide (PPS). The support plate 45 is formed of a metal material such as stainless steel having higher rigidity and thickness than the compliance sheet 44. In a region of the support plate 45 facing the reservoir 43, a compliance opening 48 is formed by removing a part of the support plate 45 in a shape following the opening of the lower surface of the reservoir 43. For this reason, the opening on the lower surface side of the reservoir 43 is sealed only with the compliance sheet 44 having flexibility. In other words, the compliance sheet 44 defines a part of the reservoir 43.

支持板45の下面におけるコンプライアンス開口48に対応する部分は、固定板23によって封止される。これにより、コンプライアンスシート44の可撓領域と、これに対向する固定板23との間には、コンプライアンス空間47が形成されている。そして、このコンプライアンス空間47におけるコンプライアンスシート44の可撓領域が、インク流路内、特にリザーバー43内の圧力振動に応じてリザーバー43側またはコンプライアンス空間47側に変位する。したがって、支持板45の厚みは、コンプライアンス空間47として必要な高さに応じて定められている。   A portion corresponding to the compliance opening 48 on the lower surface of the support plate 45 is sealed by the fixing plate 23. Thereby, a compliance space 47 is formed between the flexible region of the compliance sheet 44 and the fixing plate 23 facing the flexible region. The flexible region of the compliance sheet 44 in the compliance space 47 is displaced to the reservoir 43 side or the compliance space 47 side in response to pressure vibration in the ink flow path, particularly in the reservoir 43. Therefore, the thickness of the support plate 45 is determined according to the height required for the compliance space 47.

アクチュエーター基板26及び連通板25は、ホルダー28に固定されている。ホルダー28は、平面視において連通板25と略同一形状を呈し、その下面側にはアクチュエーター基板26を収容する収容空部49が形成されている。そして、収容空部49にアクチュエーター基板26が収容された状態でホルダー28の下面が連通板25によって封止される。図3に示されるように、このホルダー28の平面視における略中央部分には、収容空部49と連通する挿通空部50が開設されている。この挿通空部50は、アクチュエーター基板26の配線空部40とも連通する。上記のフレキシブル基板39は、挿通空部50を通じて配線空部40に挿入されるように構成されている。また、ホルダー28の内部において、挿通空部50および収容空部49の両側には、連通板25のリザーバー43と連通する液室空部51が形成されている。また、ホルダー28の上面には、液室空部51と連通する導入口52がそれぞれ開設されている。液室空部51には、インクカートリッジ8から送られてきたインクが導入口52を通じて導入される。すなわち、インクカートリッジ8から送られてきたインクは、導入口52、液室空部51、およびリザーバー43へと導入され、リザーバー43から個別連通口35を通じて各圧力室33に供給される。   The actuator substrate 26 and the communication plate 25 are fixed to the holder 28. The holder 28 has substantially the same shape as the communication plate 25 in a plan view, and an accommodation space 49 for accommodating the actuator substrate 26 is formed on the lower surface side of the holder 28. Then, the lower surface of the holder 28 is sealed by the communication plate 25 in a state where the actuator substrate 26 is accommodated in the accommodation space 49. As shown in FIG. 3, an insertion space 50 that communicates with the accommodation space 49 is formed at a substantially central portion of the holder 28 in plan view. The insertion space 50 communicates with the wiring space 40 of the actuator substrate 26. The flexible board 39 is configured to be inserted into the wiring cavity 40 through the insertion cavity 50. Further, inside the holder 28, a liquid chamber space 51 that communicates with the reservoir 43 of the communication plate 25 is formed on both sides of the insertion space 50 and the accommodation space 49. In addition, on the upper surface of the holder 28, an introduction port 52 communicating with the liquid chamber empty space 51 is opened. Ink sent from the ink cartridge 8 is introduced into the liquid chamber space 51 through the introduction port 52. In other words, the ink sent from the ink cartridge 8 is introduced into the introduction port 52, the liquid chamber space 51, and the reservoir 43, and is supplied from the reservoir 43 to the pressure chambers 33 through the individual communication ports 35.

固定板23は、例えば、ステンレス鋼等の金属製の板材である。本実施形態における固定板23には、ノズルプレート24に対応する位置に、当該ノズルプレート24に形成されたノズル30を露出させるため、ノズルプレート24の外形に倣った形状の貫通口23aが厚さ方向を貫通する状態で形成されている。上述したように、この貫通口23aは、コンプライアンス基板27の貫通開口46と連通する。本実施形態では、この固定板23における固定板23の下面と貫通口23aにおけるノズルプレート24の露出部分とにより、ノズル形成面が構成されている。   The fixed plate 23 is a metal plate material such as stainless steel. In the present embodiment, the fixing plate 23 has a through-hole 23 a having a shape that follows the outer shape of the nozzle plate 24 in order to expose the nozzle 30 formed on the nozzle plate 24 at a position corresponding to the nozzle plate 24. It is formed so as to penetrate the direction. As described above, the through hole 23 a communicates with the through opening 46 of the compliance substrate 27. In this embodiment, the lower surface of the fixed plate 23 in the fixed plate 23 and the exposed portion of the nozzle plate 24 in the through hole 23a constitute a nozzle forming surface.

そして、上記構成の記録ヘッド10では、液室空部51からリザーバー43および圧力室33を通ってノズル30に至るまでの流路内がインクで満たされた状態で、駆動IC38からの駆動信号(駆動パルス)に従い圧電素子31が駆動されることにより、圧力室33内のインクに圧力振動が生じ、この圧力振動によって所定のノズル30からインクが噴射される。また、記録ヘッド10の記録動作(液体噴射動作)に伴ってインク流路内(リザーバー43内)の液体に生じた圧力振動に伴って上記コンプライアンスシート44が変位する(撓む)ことで、当該圧力振動が緩和される。   In the recording head 10 having the above-described configuration, the drive signal from the drive IC 38 (in the state where the flow path from the liquid chamber empty portion 51 through the reservoir 43 and the pressure chamber 33 to the nozzle 30 is filled with ink. When the piezoelectric element 31 is driven according to the drive pulse), pressure vibration is generated in the ink in the pressure chamber 33, and ink is ejected from a predetermined nozzle 30 by this pressure vibration. Further, the compliance sheet 44 is displaced (bends) in accordance with the pressure vibration generated in the liquid in the ink flow path (inside the reservoir 43) with the recording operation (liquid ejecting operation) of the recording head 10. Pressure oscillation is relieved.

図6は、インク流路(本発明における液体流路に相当)内のインクや空気の流れについて説明する図であり、リザーバー43からノズル30に至るインク流路を簡略化して示した模式図である。また、図7は、噴射用ノズル30a(本発明における第1のノズルに相当)と非噴射ノズル30b(本発明における第2のノズルに相当)との間におけるインクの流れについて説明する模式図である。本実施形態におけるプリンター1では、同一ノズル列を構成するノズル30のうち、両端部に位置するノズル30は、記録媒体等に対する画像等の記録のために行われる記録動作(液体噴射動作)においてインクの噴射が行われない非噴射ノズル30bとなっている。このような非噴射ノズル30bに関し、例えば、複数の記録ヘッド10を組み合わせてより大きなヘッドユニットが構成される場合、隣り合う記録ヘッドのノズル列のつなぎ目に当たる端部のノズルが、ノズル列方向における位置で互いに重複するように設けられており、重複するノズルのうちの一方が非噴射ノズルとされる。また、ノズル列の全長よりも当該ノズル列方向における寸法(幅)が狭い記録媒体等に対して液体噴射動作を行う場合には、記録領域よりも外側に位置するノズルは、非噴射ノズルとされる。   FIG. 6 is a diagram for explaining the flow of ink and air in the ink flow path (corresponding to the liquid flow path in the present invention), and is a schematic diagram showing a simplified ink flow path from the reservoir 43 to the nozzle 30. is there. FIG. 7 is a schematic diagram for explaining the ink flow between the ejection nozzle 30a (corresponding to the first nozzle in the present invention) and the non-ejection nozzle 30b (corresponding to the second nozzle in the present invention). is there. In the printer 1 according to the present embodiment, among the nozzles 30 constituting the same nozzle row, the nozzles 30 located at both ends are ink in a recording operation (liquid ejecting operation) performed for recording an image or the like on a recording medium or the like. This is a non-injection nozzle 30b where no injection is performed. Regarding such a non-ejection nozzle 30b, for example, when a larger head unit is configured by combining a plurality of recording heads 10, the nozzles at the ends corresponding to the joints between the nozzle rows of adjacent recording heads are positioned in the nozzle row direction. Are provided so as to overlap each other, and one of the overlapping nozzles is a non-injection nozzle. In addition, when a liquid ejecting operation is performed on a recording medium or the like whose dimension (width) in the nozzle array direction is narrower than the entire length of the nozzle array, the nozzle located outside the recording area is a non-ejection nozzle. The

上記の構成のプリンター1では、同一ノズル列を構成するノズル30のうち、多数のノズル30(噴射用ノズル30a)から一度に多くのインクを噴射させた場合、具体的には、同一ノズル列を構成する全ノズル30から最も大きいサイズのインク滴をそれぞれ噴射させた場合の総インク量(最大値)を100%として、例えば70%以上の高DUTYでインク量を噴射させる動作を行った場合、インク供給経路において圧力損失が増大し、リザーバー43へのインクの供給不足が生じることがある。特に、本実施形態における記録ヘッド10のように、リザーバー43に可撓性を有するコンプライアンスシート44が設けられている構成では、上記のような高DUTYでインクが噴射される高DUTY期間の直後にこれよりもDUTYが一定以上低い(例えば、30%未満)低DUTY期間もしくは各ノズル30から全くインクが噴射されない休止期間(DUTY=0%)が設けられるような場合、あるいは、このような低DUTY期間もしくは休止期間の直後に高DUTY期間が設けられるような場合等のように、インクの噴射状況に急激な変化が生じた場合(DUTYが急激に変化した場合)、上記のコンプライアンスシート44が所定の固有周期をもって振動することがある。すなわち、リザーバー43のインクの圧力が周期的に増減する。そして、この振動によりリザーバー43の内の圧力が低下した状態で、比較的高いDUTYでインクの噴射が行われると、リザーバー43より上流側のインク供給経路において圧力損失が増大することにより、上流側からリザーバー43へのインクが追い付かずにインクの供給不足が生じる。このようなインクの供給不足が生じた場合で、インクの噴射を継続した場合、噴射用ノズル30aからのインクの消費に伴って、リザーバー43内のインクが減圧され、図6および図7に示されるように、インクの噴射が行われていない非噴射用ノズル30b側からインクが引き込まれる。この引き込む力が大きいと、当該非噴射ノズル30bから空気が引き込まれてインク流路内に入り込む場合がある。そして、インク流路内に空気が入り込んだ場合、噴射用ノズル30aからインクが正常に噴射されないおそれがある。以下、各ノズル30におけるインクの噴射状況(液体の噴射状況)を表す指標として上記のDUTYを用いる。なお、インクカートリッジ8からリザーバー43に至るまでのインク供給経路の特定の位置における流速の高低によりインクの噴射状況を把握することもできる。   In the printer 1 having the above-described configuration, when a large amount of ink is ejected from a large number of nozzles 30 (ejection nozzles 30a) among the nozzles 30 constituting the same nozzle row, specifically, the same nozzle row is arranged. When the total ink amount (maximum value) when each of the largest size ink droplets is ejected from all the constituent nozzles 30 is 100%, for example, when the operation of ejecting the ink amount with a high DUTY of 70% or more is performed, In some cases, pressure loss increases in the ink supply path, resulting in insufficient supply of ink to the reservoir 43. Particularly, in the configuration in which the flexible compliance sheet 44 is provided in the reservoir 43 as in the recording head 10 in the present embodiment, immediately after the high DUTY period in which ink is ejected at the high DUTY as described above. When the DUTY is lower than a certain value (for example, less than 30%) than this, a low DUTY period or a pause period (DUTY = 0%) where no ink is ejected from each nozzle 30 is provided, or such a low DUTY When a sudden change occurs in the ink ejection state (when DUTY changes rapidly), such as when a high DUTY period is provided immediately after the period or pause period, the above-described compliance sheet 44 is predetermined. May vibrate with a natural period of. That is, the pressure of the ink in the reservoir 43 periodically increases and decreases. When ink is ejected with a relatively high DUTY in a state where the pressure in the reservoir 43 is reduced by this vibration, the pressure loss increases in the ink supply path on the upstream side of the reservoir 43, so that the upstream side Insufficient supply of ink occurs because ink does not catch up with the reservoir 43. When such ink shortage occurs and ink ejection is continued, the ink in the reservoir 43 is depressurized as the ink is consumed from the ejection nozzle 30a, as shown in FIGS. As described above, ink is drawn from the non-ejecting nozzle 30b side where ink is not ejected. If the pulling force is large, air may be drawn from the non-ejecting nozzle 30b and enter the ink flow path. When air enters the ink flow path, the ink may not be ejected normally from the ejection nozzle 30a. Hereinafter, the above-described DUTY is used as an index representing the ink ejection status (liquid ejection status) in each nozzle 30. The ink ejection status can also be grasped by the flow velocity at a specific position in the ink supply path from the ink cartridge 8 to the reservoir 43.

図8および図9は、インクの供給不足が生じる噴射状況の条件について説明する図であり、図8は、各ノズル30についてのインク噴射状況の変化について説明する模式図、図9は、種々のインク噴射状況についてインク供給不足の対策の有無についての試験結果を示す表である。なお、図8においてハッチングで示される部分は、対応するノズル30(噴射用ノズル30a)からインクの噴射が行われる状態を示しており、その他の部分はインクの噴射が行われない状態を示している。図8の例では、ノズル列がノズル番号#1のノズル30からノズル番号#400のノズル30までの合計400個のノズル30から構成されており、このうち、当該ノズル列の端部に位置するノズル番号#1のノズル30とノズル番号#400のノズル30が非噴射ノズル30bとなっており、残りのノズル番号#2〜#399のノズル30が噴射用ノズル30aとなっている。そして、期間Aでは、ノズル番号#2〜#399の噴射用ノズル30aからそれぞれ同時に最大サイズのインク滴が噴射される。この場合、DUTYは99.5%である。期間Aの後に続く期間Bは、DUTYが0%、すなわち、いずれのノズル30からもインクが噴射されない休止期間である。この期間Bの後に続く期間Cは、期間Aと同様に99.5%のDUTYでインクが噴射される期間である。なお、非噴射ノズル30bとは、記録動作(液体噴射動作)において恒常的にインクの噴射に使用されないノズルを意味する。また、噴射用ノズル30aとは、記録動作においてインクの噴射に使用されるノズルを意味する。この噴射ノズル30aに関し、記録する内容(画像等)によっては記録動作において使用されない場合もある。   FIG. 8 and FIG. 9 are diagrams for explaining the conditions of the ejection situation in which insufficient ink supply occurs. FIG. 8 is a schematic diagram for explaining the change in the ink ejection situation for each nozzle 30, and FIG. It is a table | surface which shows the test result about the presence or absence of the countermeasure of an ink supply shortage about an ink ejection condition. In FIG. 8, hatched portions indicate a state where ink is ejected from the corresponding nozzle 30 (ejecting nozzle 30 a), and other portions indicate a state where ink is not ejected. Yes. In the example of FIG. 8, the nozzle row is composed of a total of 400 nozzles 30 from the nozzle 30 with the nozzle number # 1 to the nozzle 30 with the nozzle number # 400, of which the nozzle row is located at the end of the nozzle row. The nozzle 30 with nozzle number # 1 and the nozzle 30 with nozzle number # 400 are non-injection nozzles 30b, and the remaining nozzles 30 with nozzle numbers # 2 to # 399 are injection nozzles 30a. In the period A, ink droplets of the maximum size are ejected simultaneously from the ejection nozzles 30a with the nozzle numbers # 2 to # 399. In this case, the DUTY is 99.5%. The period B following the period A is a pause period in which DUTY is 0%, that is, no ink is ejected from any nozzle 30. A period C subsequent to the period B is a period in which ink is ejected at a duty ratio of 99.5% as in the period A. The non-ejecting nozzle 30b means a nozzle that is not constantly used for ejecting ink in the recording operation (liquid ejecting operation). The ejection nozzle 30a means a nozzle used for ejecting ink in a recording operation. The jet nozzle 30a may not be used in the recording operation depending on the content to be recorded (image or the like).

ここで、図9に示されるように、休止期間または低DUTY期間である期間Bの時間が1.5〔ms〕未満であれば、リザーバー43内のインクにおいて振動は殆ど励起されず、対策は不要であった。同様に、期間Bの時間が3〔ms〕以上では、期間Aと期間Bとの間のDUTYの変化によりリザーバー43内のインクに振動が生じたとしても、当該振動は期間Bにおいて概ね収束するため、対策は不要という結果になった。期間Bの時間が1.5〔ms〕以上、3〔ms〕未満であって、期間Aの時間が1.5〔ms〕未満の場合、期間Aと期間Bとの間のDUTYの変化によってもリザーバー43内のインクに振動が生じにくく、対策が不要という結果となった。また、期間Aの時間が1.5〔ms〕以上であっても、期間Cの期間が1.5〔ms〕未満である場合、期間Aと期間Bとの間のDUTYの変化によってもリザーバー43内のインクに振動が生じにくく、対策が不要という結果となった。以下においては、期間Aおよび期間Cの時間が1.5〔ms〕以上、また、期間Bの時間が1.5〔ms〕以上、3〔ms〕未満であることを前提とする。   Here, as shown in FIG. 9, if the time of the period B, which is a pause period or a low DUTY period, is less than 1.5 [ms], vibration in the ink in the reservoir 43 is hardly excited, and the countermeasure is It was unnecessary. Similarly, if the period B is 3 ms or longer, even if the ink in the reservoir 43 vibrates due to a change in DUTY between the period A and the period B, the vibration almost converges in the period B. As a result, no measures were required. When the time of period B is 1.5 [ms] or more and less than 3 [ms] and the time of period A is less than 1.5 [ms], the change in DUTY between period A and period B As a result, the ink in the reservoir 43 hardly vibrates and no countermeasure is required. Further, even if the time of period A is 1.5 [ms] or more, if the period of period C is less than 1.5 [ms], the reservoir is also changed by the change in DUTY between period A and period B. As a result, it was difficult for the ink in the ink 43 to vibrate, and no countermeasure was required. In the following, it is assumed that the time of period A and period C is 1.5 [ms] or more, and the time of period B is 1.5 [ms] or more and less than 3 [ms].

期間BにおけるDUTYが30%以上である場合、期間Aと期間Bとの間のDUTYの差、および、期間Bと期間Cとの間のDUTYの差が比較的小さいため、リザーバー43内のインクに振動が生じにくく、対策が不要という結果となった。期間BにおけるDUTYが30%未満であっても、期間Aおよび期間CにおけるDUTYが70%未満(AB間およびBC間におけるDUTYの差が40%未満)である場合、期間AにおけるDUTYが70%未満で期間CにおけるDUTYが70%以上である場合、または、期間AにおけるUTYDが70%以上で期間CにおけるDUTYが70%未満である場合には、リザーバー43内のインクの振動による不具合は生じず、対策が不要という結果となった。   When the DUTY in the period B is 30% or more, the difference in the DUTY between the period A and the period B and the difference in the DUTY between the period B and the period C are relatively small, so the ink in the reservoir 43 As a result, it was difficult for vibration to occur and no countermeasures were required. Even if the DUTY in period B is less than 30%, if the DUTY in period A and period C is less than 70% (the difference in DUTY between AB and BC is less than 40%), the DUTY in period A is 70% If DUTY in period C is 70% or more, or if UTYD in period A is 70% or more and DUTY in period C is less than 70%, a problem due to vibration of ink in reservoir 43 occurs. As a result, no measures were required.

これに対し、期間Aおよび期間CにおけるDUTYが70%以上で期間BにおけるDUTYが0%のような場合、あるいは、期間Bにおいてインクの噴射が行われる場合(30%未満の低DUTYでの噴射)であっても、例えば期間Aおよび期間CにおけるDUTYが99.5%である場合のように、期間Aと期間Bとの間のDUTYの差、および、期間Bと期間Cとの間のDUTYの差がそれぞれ70%以上となる場合、リザーバー43内のインクの振動に起因するインクの供給不足が生じることにより、非噴射ノズル30bから空気がインク流路内に引き込まれるおそれがあり、対策が必要であるという結果になった。   In contrast, when DUTY in period A and period C is 70% or more and DUTY in period B is 0%, or when ink is ejected in period B (low-duty ejection of less than 30%) ), For example, the difference in DUTY between period A and period B and between period B and period C, such as when DUTY in period A and period C is 99.5% When the difference in DUTY is 70% or more, there is a possibility that air may be drawn from the non-ejecting nozzle 30b into the ink flow path due to insufficient supply of ink due to the vibration of the ink in the reservoir 43. As a result, it was necessary.

本発明に係るプリンター1では、ノズル列の各ノズル30についてのインクの噴射状況が上記のようなリザーバー43へのインクの供給不足を誘発する特定の条件を満たした場合に非噴射ノズル30bにおけるインク(メニスカス)の振動を制御することにより、当該非噴射ノズル30bからの空気の引き込みを抑制している。以下、この点について説明する。   In the printer 1 according to the present invention, the ink in the non-ejecting nozzle 30b is satisfied when the ink ejection status of each nozzle 30 in the nozzle row satisfies the specific condition that induces the shortage of ink supply to the reservoir 43 as described above. By controlling the vibration of the (meniscus), air intake from the non-injection nozzle 30b is suppressed. Hereinafter, this point will be described.

上記のDUTYの変化は、外部機器等から受信した印刷データに基づきCPU17が把握することができる。本実施形態においては、期間Aと期間Bとの間のDUTYの差、および、期間Bと期間Cとの間のDUTYの差がそれぞれ70%以上であって、期間Aおよび期間Cの時間が1.5〔ms〕以上、また、期間Bの時間が1.5〔ms〕以上、3〔ms〕未満である条件を満たした場合に、後述する対策が行われる。対策を実行する条件については、例えばプリンター1の製品としての出荷前の段階で試験を行うことにより予め取得され、当該条件についての情報が記憶装置18に記憶される。   The change in DUTY can be recognized by the CPU 17 based on print data received from an external device or the like. In this embodiment, the difference in DUTY between the period A and the period B and the difference in DUTY between the period B and the period C are 70% or more, respectively. When the condition that the time of period B is 1.5 [ms] or more and less than 3 [ms] is satisfied for 1.5 [ms] or more, a countermeasure described later is performed. The conditions for executing the countermeasure are acquired in advance, for example, by performing a test at a stage before shipment as a product of the printer 1, and information about the conditions is stored in the storage device 18.

ここで、インクの噴射動作に用いられる噴射駆動パルスPd、ノズル30におけるインクの増粘を抑制するために当該インク(メニスカス)を振動させる振動動作(微振動動作とも呼ばれる)に用いられる振動駆動パルス、および、上記条件を満たした場合に非噴射ノズル30bに対応する圧電素子31に印加される対策用の振動駆動パルスについて説明する。   Here, the ejection drive pulse Pd used for the ink ejection operation, and the vibration drive pulse used for the vibration operation (also referred to as the fine vibration operation) that vibrates the ink (meniscus) in order to suppress the ink thickening at the nozzle 30. And the vibration drive pulse for a countermeasure applied to the piezoelectric element 31 corresponding to the non-injection nozzle 30b when the said conditions are satisfy | filled is demonstrated.

図10は、噴射駆動パルスPd(本発明における第1の駆動パルスの一種)の波形図、図11は、第1振動駆動パルスPv1(本発明における振動駆動パルスの一種)の波形図である。また、図12は、対策用の第2振動駆動パルスPv2(本発明における第2の駆動パルスの一種)の波形図である。   FIG. 10 is a waveform diagram of the ejection drive pulse Pd (a kind of first drive pulse in the present invention), and FIG. 11 is a waveform diagram of the first vibration drive pulse Pv1 (a kind of vibration drive pulse in the present invention). FIG. 12 is a waveform diagram of the second vibration drive pulse Pv2 for countermeasures (a kind of second drive pulse in the present invention).

図10に示される噴射駆動パルスPdは、膨張要素p1と、膨張ホールド要素p2と、収縮要素p3と、収縮ホールド要素p4と、復帰要素p5とからなる。膨張要素p1は、圧力室33の基準容積(膨張又は収縮の基準となる容積)に対応する基準電位Ebから当該基準電位Ebよりも低い膨張電位EL1まで電位が下降する波形要素であり、膨張ホールド要素p2は、膨張要素p1の終端電位である膨張電位EL1を一定時間維持する波形要素である。収縮要素p3は、膨張電位EL1から基準電位Ebよりも高い収縮電位EH1まで急勾配で電位を上昇させる波形要素である。収縮ホールド要素p4は、収縮電位EH1を一定期間維持する波形要素である。また、復帰要素p5は収縮電位EH1から基準電位Ebまでインクを噴射させない程度に電位を復帰させる波形要素である。   The injection drive pulse Pd shown in FIG. 10 includes an expansion element p1, an expansion hold element p2, a contraction element p3, a contraction hold element p4, and a return element p5. The expansion element p1 is a waveform element in which the potential drops from the reference potential Eb corresponding to the reference volume of the pressure chamber 33 (the volume serving as a reference for expansion or contraction) to the expansion potential EL1 lower than the reference potential Eb. The element p2 is a waveform element that maintains the expansion potential EL1 that is the terminal potential of the expansion element p1 for a predetermined time. The contraction element p3 is a waveform element that increases the potential with a steep slope from the expansion potential EL1 to the contraction potential EH1 higher than the reference potential Eb. The contraction hold element p4 is a waveform element that maintains the contraction potential EH1 for a certain period. The return element p5 is a waveform element that returns the potential from the contraction potential EH1 to the reference potential Eb to the extent that ink is not ejected.

上記の噴射駆動パルスPdが圧電素子31に供給されると、まず、膨張要素p1によって圧電素子31(および振動板36の作動部。以下、同様。)の幅方向中央部が圧力室33の外側(ノズルプレート24から離隔する側)に向けて撓む。これにより圧力室33が基準電位Ebに対応する基準容積から膨張電位EL1に対応する膨張容積まで膨張する。この膨張により圧力室33内のインクが減圧されてノズル30(噴射用ノズル30a)におけるメニスカスが圧力室33側に引き込まれると共に、圧力室33内にはリザーバー43側から個別連通口35を通じてインクが供給される。そして、この圧力室33の膨張状態は、膨張ホールド要素p2の供給期間中に亘って維持される。その後、収縮要素p3が印加されることで圧電素子31の中央部が圧力室33の内側に撓む。これにより、圧力室33は膨張容積から収縮電位EH1に対応する収縮容積まで急激に収縮される。この圧力室33の急激な収縮により圧力室33内のインクが加圧され、ノズル30(噴射用ノズル30a)から規定量のインクが噴射される。圧力室33の収縮状態は、収縮ホールド要素p4の供給期間に亘って維持され、この間に、インクの噴射によって生じたノズル30内のインクの圧力振動は周期的に増減を繰り返す。そして、インク圧力が上昇するタイミングに合わせて復帰要素p5が供給され、これに伴って圧電素子31および作動部の中央部が圧力室33の外側に向けて撓んで基準状態に復帰する。   When the ejection drive pulse Pd is supplied to the piezoelectric element 31, first, the central portion in the width direction of the piezoelectric element 31 (and the operating portion of the diaphragm 36. The same applies hereinafter) is expanded outside the pressure chamber 33 by the expansion element p 1. It bends toward (the side away from the nozzle plate 24). As a result, the pressure chamber 33 expands from the reference volume corresponding to the reference potential Eb to the expansion volume corresponding to the expansion potential EL1. Due to this expansion, the ink in the pressure chamber 33 is depressurized, and the meniscus in the nozzle 30 (jet nozzle 30a) is drawn into the pressure chamber 33 side, and the ink enters the pressure chamber 33 through the individual communication port 35 from the reservoir 43 side. Supplied. The expanded state of the pressure chamber 33 is maintained over the supply period of the expansion hold element p2. Thereafter, the contraction element p <b> 3 is applied, so that the central portion of the piezoelectric element 31 bends inside the pressure chamber 33. Thereby, the pressure chamber 33 is rapidly contracted from the expansion volume to the contraction volume corresponding to the contraction potential EH1. The ink in the pressure chamber 33 is pressurized by the rapid contraction of the pressure chamber 33, and a specified amount of ink is ejected from the nozzle 30 (ejection nozzle 30a). The contraction state of the pressure chamber 33 is maintained over the supply period of the contraction hold element p4. During this period, the pressure vibration of the ink in the nozzle 30 caused by the ink ejection repeats increase and decrease periodically. Then, the return element p5 is supplied in accordance with the timing at which the ink pressure rises, and accordingly, the piezoelectric element 31 and the central portion of the operating portion are bent toward the outside of the pressure chamber 33 to return to the reference state.

図11に示される第1振動駆動パルスPv1は、振動膨張要素p11と、振動膨張ホールド要素p12と、振動収縮要素p13とを有している。振動膨張要素p11は、基準電位Ebから当該基準電位Ebよりも低い第1振動膨張電位Ev1まで電位を下降させる波形要素である。振動膨張ホールド要素p12は、振動膨張要素p11の終端電位である第1振動膨張電位Ev1を一定時間維持する波形要素である。また、振動収縮要素p13は、第1振動膨張電位Ev1から基準電位Ebまで、ノズル30からインクが噴射されない程度に緩やかに電位を上昇させる波形要素である。基準電位Ebと第1振動膨張電位Ev1との電位差は、この第1振動駆動パルスPv1の振動電圧V1であり、噴射駆動パルスPdの駆動電圧Vd(収縮電位EH1と膨張電位EL1との電位差)よりも十分に小さく設定されている。   The first vibration drive pulse Pv1 shown in FIG. 11 has a vibration expansion element p11, a vibration expansion hold element p12, and a vibration contraction element p13. The vibration expansion element p11 is a waveform element that lowers the potential from the reference potential Eb to the first vibration expansion potential Ev1 that is lower than the reference potential Eb. The vibration expansion hold element p12 is a waveform element that maintains the first vibration expansion potential Ev1 that is the terminal potential of the vibration expansion element p11 for a certain period of time. The vibration contraction element p13 is a waveform element that gradually increases the potential from the first vibration expansion potential Ev1 to the reference potential Eb to such an extent that ink is not ejected from the nozzle 30. The potential difference between the reference potential Eb and the first vibration expansion potential Ev1 is the vibration voltage V1 of the first vibration drive pulse Pv1, and from the drive voltage Vd of the ejection drive pulse Pd (potential difference between the contraction potential EH1 and the expansion potential EL1). Is set small enough.

このように構成された第1振動駆動パルスPv1が圧電素子31に供給されると、まず、振動膨張要素p11によって圧電素子31の幅方向中央部が圧力室33の外側に撓む。これにより圧力室33が基準電位Ebに対応する基準容積から第1振動膨張電位Ev1に対応する第1振動膨張容積まで膨張する。この圧力室33の膨張により当該圧力室33内が減圧され、図7においてハッチングの矢印で示されるように、ノズル30におけるメニスカスが圧力室33側に引き込まれる。そして、この圧力室33の膨張状態は、振動膨張ホールド要素p12の供給期間中に亘って維持される。その後、振動収縮要素p13が印加されることで圧電素子31の中央部が圧力室33の内側に撓んで基準状態に復帰する。これにより、圧力室33が基準容積まで戻る。この圧力室33の一連の容積変動に伴って圧力室33内にはノズル30からインクが噴射されない程度の圧力振動が生じ、この圧力振動によってノズル30内のインク(メニスカス)が振動する。このメニスカスの振動によってノズル30付近の増粘インクが拡散され、その結果、インクの増粘を抑制することができる。   When the first vibration drive pulse Pv <b> 1 configured in this way is supplied to the piezoelectric element 31, first, the central portion in the width direction of the piezoelectric element 31 is bent to the outside of the pressure chamber 33 by the vibration expansion element p <b> 11. As a result, the pressure chamber 33 expands from the reference volume corresponding to the reference potential Eb to the first vibration expansion volume corresponding to the first vibration expansion potential Ev1. Due to the expansion of the pressure chamber 33, the inside of the pressure chamber 33 is depressurized, and the meniscus in the nozzle 30 is drawn toward the pressure chamber 33 as shown by the hatched arrows in FIG. The expanded state of the pressure chamber 33 is maintained over the supply period of the vibration expansion hold element p12. Thereafter, when the vibration contraction element p13 is applied, the central portion of the piezoelectric element 31 bends inside the pressure chamber 33 and returns to the reference state. Thereby, the pressure chamber 33 returns to the reference volume. Along with the series of volume fluctuations of the pressure chamber 33, pressure vibration is generated in the pressure chamber 33 so that ink is not ejected from the nozzle 30, and the ink (meniscus) in the nozzle 30 vibrates due to this pressure vibration. The thickened ink in the vicinity of the nozzle 30 is diffused by the vibration of the meniscus, and as a result, the thickening of the ink can be suppressed.

通常の記録動作においては、非噴射ノズル30bにおけるインクの増粘抑制のために上記第1振動駆動パルスPv1が用いられて振動動作が行われる。この振動動作は、噴射用ノズル30aについてもインクが噴射されないタイミングで行われる。一般的に、振動動作においてはノズルからインクが誤って噴射されないように、主にメニスカスがインク流路側(圧力室33側あるいはリザーバー43側)に引き込まれる形で振動動作が行われるように振動駆動パルスが設計されている。しかしながら、DUTYの急激な変化によりリザーバー43へのインクの供給不足が生じた場合において、図7に示されるように、噴射用ノズル30aからインクが噴射されることに伴って非噴射用ノズル30b側からインクがリザーバー43側に引き込まれるタイミングに対し、第1振動駆動パルスPv1の振動膨張要素p11により非噴射ノズル30bにおけるメニスカスが引き込まれるタイミングが重なってしまうと、当該非噴射ノズル30bから空気が一層引き込まれやすくなってしまう。   In a normal recording operation, a vibration operation is performed using the first vibration drive pulse Pv1 in order to suppress ink thickening in the non-ejection nozzle 30b. This oscillating operation is performed at a timing when ink is not ejected from the ejection nozzle 30a. Generally, in vibration operation, vibration driving is performed so that the meniscus is mainly drawn into the ink flow path side (pressure chamber 33 side or reservoir 43 side) so that ink is not accidentally ejected from the nozzles. The pulse is designed. However, when the supply of ink to the reservoir 43 is insufficient due to a rapid change in DUTY, as shown in FIG. 7, the ink is ejected from the ejection nozzle 30a, and the non-ejection nozzle 30b side If the timing at which the meniscus in the non-ejection nozzle 30b is drawn by the vibration expansion element p11 of the first vibration drive pulse Pv1 overlaps with the timing at which the ink is drawn from the reservoir 43 to the reservoir 43 side, more air is discharged from the non-ejection nozzle 30b. It becomes easy to be drawn.

このため、本発明に係るプリンター1では、各ノズル30における噴射状況が上記条件を満たした場合に、第1振動駆動パルスPv1に替えて対策用の第2振動駆動パルスPv2により非噴射ノズル30bにおける振動動作が行われる。なお、第1振動駆動パルスPv1と第2振動駆動パルスPv2との切り替えに関し、駆動信号発生回路19からそれぞれ別の信号経路を通じて記録ヘッド10側に送信され、上記の条件の成立に応じて記録ヘッド10において信号経路を切り替えることで選択的に圧電素子31に印加される構成とすることもできるし、あるいは、上記の条件の成立に応じて駆動信号発生回路19において第1振動駆動パルスPv1の波形が第2振動駆動パルスPv2の波形に変更されて形記録ヘッド10側に送信される構成を採用することもできる。さらに、後述するように、上記の噴射駆動パルスPdの波形要素の一部を第2振動駆動パルスPv2として選択的に圧電素子31に印加する構成を採用することもできる。   For this reason, in the printer 1 according to the present invention, when the ejection state at each nozzle 30 satisfies the above-described conditions, the second vibration drive pulse Pv2 for countermeasures replaces the first vibration drive pulse Pv1 with the non-ejection nozzle 30b. Vibration operation is performed. The switching between the first vibration drive pulse Pv1 and the second vibration drive pulse Pv2 is transmitted from the drive signal generation circuit 19 to the recording head 10 through different signal paths, and the recording head is satisfied in accordance with the establishment of the above conditions. 10 can be configured to be selectively applied to the piezoelectric element 31 by switching the signal path, or the waveform of the first vibration drive pulse Pv1 in the drive signal generation circuit 19 in accordance with the establishment of the above condition. May be changed to the waveform of the second vibration drive pulse Pv2 and transmitted to the shape recording head 10 side. Furthermore, as will be described later, a configuration in which a part of the waveform element of the ejection drive pulse Pd is selectively applied to the piezoelectric element 31 as the second vibration drive pulse Pv2 may be employed.

図12に示される第2振動駆動パルスPv2は、第1振動駆動パルスPv1と同様に、振動膨張要素p11と、振動膨張ホールド要素p12と、振動収縮要素p13とを有しているが、振動電圧が高められている点、および、圧電素子31に印加されるタイミングが変更されている点(後述)で第1振動駆動パルスPv1と異なっている。すなわち、第2振動駆動パルスPv2における振動膨張要素p11は、圧力室33の基準容積に対応する基準電位Ebから上記第1振動膨張電位Ev1よりも低い第2振動膨張電位Ev2まで電位を下降させる波形要素である。第2振動駆動パルスPv2における振動膨張ホールド要素p12は、振動膨張要素p11の終端電位である第2振動膨張電位Ev2を一定時間維持する波形要素である。また、第2振動駆動パルスPv2における振動収縮要素p13は、第2振動膨張電位Ev2から基準電位Ebまで電位を上昇させる波形要素である。この第2振動駆動パルスPv2の振動電圧V2(基準電位Ebと第2振動膨張電位Ev2との電位差)は、第1振動駆動パルスPv1の振動電圧V1よりも高く設定されている。このため、この第2振動駆動パルスPv2は、ノズル30(非噴射ノズル30b)内のインクに生じさせる振動の振幅がより大きくなる。   Like the first vibration drive pulse Pv1, the second vibration drive pulse Pv2 shown in FIG. 12 includes a vibration expansion element p11, a vibration expansion hold element p12, and a vibration contraction element p13. Is different from the first vibration drive pulse Pv1 in that the point is increased and the timing of application to the piezoelectric element 31 is changed (described later). That is, the waveform of the vibration expansion element p11 in the second vibration drive pulse Pv2 lowers the potential from the reference potential Eb corresponding to the reference volume of the pressure chamber 33 to the second vibration expansion potential Ev2 lower than the first vibration expansion potential Ev1. Is an element. The vibration expansion hold element p12 in the second vibration drive pulse Pv2 is a waveform element that maintains the second vibration expansion potential Ev2 that is the terminal potential of the vibration expansion element p11 for a certain period of time. The vibration contraction element p13 in the second vibration drive pulse Pv2 is a waveform element that raises the potential from the second vibration expansion potential Ev2 to the reference potential Eb. The vibration voltage V2 (potential difference between the reference potential Eb and the second vibration expansion potential Ev2) of the second vibration drive pulse Pv2 is set higher than the vibration voltage V1 of the first vibration drive pulse Pv1. For this reason, the amplitude of the vibration generated in the ink in the nozzle 30 (non-ejecting nozzle 30b) is larger in the second vibration driving pulse Pv2.

図13は、第2振動駆動パルスPv2によって圧電素子31が駆動されることにより非噴射ノズル30b内のインクに生じる圧力振動の波形(上段)と、噴射用ノズル30aに対応する圧電素子31に噴射駆動パルスPdが印加されるタイミング(中段)と、非噴射ノズル30bに対応する圧電素子31に第2振動駆動パルスPv2が印加されるタイミング(下段)と、をそれぞれ対応させて示した図である。なお、同図の上段において横軸が時間であり、縦軸が非噴射ノズル30bにおけるメニスカス(メニスカスの中央部)の変位を示している。この場合の初期位置は、圧電素子31に基準電位Ebが継続して印加されている状態であって、非噴射ノズル30bでメニスカスが静定している状態における当該メニスカス(メニスカスの中央部)の位置である。また、同図の中段及び下段において横軸は時間を示し、縦軸は電圧を示している。   FIG. 13 shows the waveform (upper stage) of pressure vibration generated in the ink in the non-ejecting nozzle 30b when the piezoelectric element 31 is driven by the second vibration drive pulse Pv2, and the piezoelectric element 31 corresponding to the ejecting nozzle 30a is ejected. It is the figure which showed the timing (middle stage) when the drive pulse Pd is applied, and the timing (lower stage) when the second vibration drive pulse Pv2 is applied to the piezoelectric element 31 corresponding to the non-injection nozzle 30b. . In the upper part of the figure, the horizontal axis represents time, and the vertical axis represents the displacement of the meniscus (the central part of the meniscus) in the non-injection nozzle 30b. In this case, the initial position is a state in which the reference potential Eb is continuously applied to the piezoelectric element 31, and the meniscus (center portion of the meniscus) in a state where the meniscus is settled by the non-injection nozzle 30b. Position. In the middle and lower parts of the figure, the horizontal axis indicates time, and the vertical axis indicates voltage.

図13に示されるように、第2振動駆動パルスPv2によって圧電素子31が駆動されることにより非噴射ノズル30bにおけるインクには圧力振動が生じ、この振動周期Tcは、次式(1)で表すことができる。
Tc=2π√{Cc/〔(1/Mn)+(1/Ms)〕}…(1)
式(1)において、Mnはノズル30(非噴射ノズル30b)のイナータンス(単位断面積あたりのインクの質量:〔インク密度ρ×流路長さL〕/流路断面積S)、Msは個別連通口35のイナータンス、Ccは圧力室33のコンプライアンス(単位圧力あたりの容積変化、柔らかさの度合いを示す。)である。
As shown in FIG. 13, when the piezoelectric element 31 is driven by the second vibration drive pulse Pv2, pressure vibration is generated in the ink in the non-ejection nozzle 30b, and this vibration cycle Tc is expressed by the following equation (1). be able to.
Tc = 2π√ {Cc / [(1 / Mn) + (1 / Ms)]} (1)
In equation (1), Mn is the inertance of the nozzle 30 (non-jet nozzle 30b) (mass of ink per unit cross-sectional area: [ink density ρ × channel length L] / channel cross-sectional area S), and Ms is individual. The inertance Cc of the communication port 35 is the compliance of the pressure chamber 33 (indicating the volume change per unit pressure and the degree of softness).

上記の圧力振動により非噴射ノズル30bにおけるメニスカスが圧力室33側に変位しているタイミングで噴射用ノズル30a側において噴射駆動パルスPdの収縮要素p3によりインクの噴射が行われると、非噴射ノズル30bから空気が引き込まれやすくなってしまう。このため、非噴射ノズル30bにおけるメニスカスが噴射側(プラテン3上の記録媒体側)に変位しているタイミングで噴射用ノズル30a側において噴射駆動パルスPdの収縮要素p3によりインクの噴射が行われるように、第2振動駆動パルスPv2の印加タイミング(噴射駆動パルスPdとの相対的な発生タイミング)が調整される。より具体的には、図13に示されるように、第2振動駆動パルスPv2の振動膨張要素p11の終端から噴射駆動パルスPdの収縮要素p3の始端までの時間Δtに関し、以下の式(2)または式(3)の範囲内の値となるように、第2振動駆動パルスPv2の印加タイミングが調整される。
Tc/4≦Δt≦Tc/2 …(2)
5Tc/4≦Δt≦3Tc/2 …(3)
When ink is ejected by the contraction element p3 of the ejection drive pulse Pd on the ejection nozzle 30a side at the timing when the meniscus in the non-ejection nozzle 30b is displaced toward the pressure chamber 33 due to the pressure vibration, the non-ejection nozzle 30b. Air is easily drawn from. Therefore, ink is ejected by the contraction element p3 of the ejection drive pulse Pd on the ejection nozzle 30a side at the timing when the meniscus in the non-ejection nozzle 30b is displaced toward the ejection side (the recording medium side on the platen 3). In addition, the application timing of the second vibration drive pulse Pv2 (the generation timing relative to the ejection drive pulse Pd) is adjusted. More specifically, as shown in FIG. 13, regarding the time Δt from the end of the vibration expansion element p11 of the second vibration drive pulse Pv2 to the start of the contraction element p3 of the injection drive pulse Pd, the following equation (2) Or the application timing of the 2nd vibration drive pulse Pv2 is adjusted so that it may become a value within the range of Formula (3).
Tc / 4 ≦ Δt ≦ Tc / 2 (2)
5Tc / 4 ≦ Δt ≦ 3Tc / 2 (3)

図14は、第2振動駆動パルスPv2により振動動作が行われた場合における噴射用ノズル30aと非噴射ノズル30bとの間におけるインクの流れについて説明する模式図である。上記の時間Δtが式(2)または式(3)の範囲内となるタイミングで第2振動駆動パルスPv2が非噴射ノズル30bに対応する圧電素子31に印加されることにより、当該非噴射ノズル30bにおけるインク(メニスカス)が噴射側に変位しているタイミングで噴射用ノズル30a側においてインクの噴射が行われる。換言すると、非噴射ノズル30bにおいて第2振動駆動パルスPv2により発生されるインクの振動と、噴射用ノズル30aにおいて噴射駆動パルスPdにより発生されるインクの振動とが打ち消し合うように(可及的に逆位相となるように)、噴射用ノズル30a側においてインクの噴射が行われる。このため、図14に示されるように、噴射用ノズル30aからのインクの消費に伴って非噴射用ノズル30b側のインクにリザーバー43側に引き込もうとする力が作用したとしても、非噴射ノズル30bにおけるメニスカスが噴射側に移動しているので(図中、ハッチングの矢印参照)、上記のリザーバー43側に引き込もうとする力に抗する。このため、各ノズル30における噴射状況が上記条件を満たした場合であっても、非噴射ノズル30bからインク流路内に空気が引き込まれることが抑制される。その結果、高DUTYでの噴射動作が断続的に繰り返される等のように、リザーバー43へのインクの供給不足が生じやすいような状況であっても、インク流路内への空気の巻き込みを抑制しつつも、DUTYを下げたりリザーバー43における振動を収束させるための待機時間を別途設けたりする等のようなプリンター1の能力低下を招くような対処を行うことなく噴射動作を行うことが可能となる。加えて、本実施形態における第2振動駆動パルスPv2は、通常の第1振動駆動パルスPv1よりも振動電圧が高められているので、非噴射ノズル30bにおけるインクに生じる圧力振動の振幅をより大きくすることができる。その結果、インク流路内への空気の巻き込みをより確実に抑制することができる。   FIG. 14 is a schematic diagram illustrating the flow of ink between the ejection nozzle 30a and the non-ejection nozzle 30b when the vibration operation is performed by the second vibration drive pulse Pv2. The second vibration drive pulse Pv2 is applied to the piezoelectric element 31 corresponding to the non-injection nozzle 30b at a timing at which the time Δt falls within the range of the expression (2) or the expression (3), whereby the non-injection nozzle 30b. Ink is ejected on the ejection nozzle 30a side at the timing when the ink (meniscus) is displaced toward the ejection side. In other words, the vibration of the ink generated by the second vibration drive pulse Pv2 in the non-ejection nozzle 30b and the vibration of the ink generated by the ejection drive pulse Pd in the ejection nozzle 30a cancel each other as much as possible. Ink is ejected on the ejection nozzle 30a side so that the phase is reversed. For this reason, as shown in FIG. 14, even if a force to draw the ink toward the reservoir 43 acts on the ink on the non-ejecting nozzle 30b side as the ink is consumed from the ejecting nozzle 30a, the non-ejecting nozzle 30b Since the meniscus is moved to the injection side (see the hatched arrow in the figure), it resists the force to be drawn into the reservoir 43 side. For this reason, even if it is a case where the ejection condition in each nozzle 30 satisfy | fills the said conditions, it is suppressed that air is drawn in into an ink flow path from the non-ejecting nozzle 30b. As a result, even if the ink supply to the reservoir 43 is likely to be insufficient, such as when the ejection operation at high DUTY is repeated intermittently, air entrainment in the ink flow path is suppressed. However, it is possible to perform the ejection operation without taking measures to reduce the capability of the printer 1 such as lowering the DUTY or separately providing a standby time for converging the vibration in the reservoir 43. Become. In addition, since the vibration voltage of the second vibration drive pulse Pv2 in this embodiment is higher than that of the normal first vibration drive pulse Pv1, the amplitude of the pressure vibration generated in the ink in the non-ejecting nozzle 30b is further increased. be able to. As a result, air entrainment in the ink flow path can be more reliably suppressed.

図15〜図18は、第2振動駆動パルスPv2の変形例について説明する波形図である。なお、各図における破線で示される波形は第1振動駆動パルスPv1を示している。
上記の第2振動駆動パルスPv2は、振動電圧V2が上記第1振動駆動パルスPv1の振動電圧V1よりも高められた駆動パルスであるのに対し、図15に示される第2振動駆動パルスPv2aは、振動電圧についてはV1のままで、振動膨張要素p11と振動収縮要素p13との電位変化率(時間変化に対する電位変化の割合)が第1振動駆動パルスPv1の場合よりも急峻になっている点で異なっている。このように第2振動駆動パルスPv2aの波形要素のうち電位が変化する振動膨張要素p11と振動収縮要素p13との電位変化率をより急峻にすることにより、非噴射ノズル30bにおけるインクに生じる圧力振動の振幅をより大きくすることができる。したがって、第2振動駆動パルスPv2に替えて第2振動駆動パルスPv2aを採用することによっても、非噴射ノズル30bからインク流路内に空気が引き込まれることが抑制される。なお、第2振動駆動パルスPv2aの印加タイミングについては、上記第2振動駆動パルスPv2の場合と同様である。
15 to 18 are waveform diagrams for explaining modifications of the second vibration drive pulse Pv2. In addition, the waveform shown with the broken line in each figure has shown the 1st vibration drive pulse Pv1.
The second vibration drive pulse Pv2 is a drive pulse in which the vibration voltage V2 is higher than the vibration voltage V1 of the first vibration drive pulse Pv1, whereas the second vibration drive pulse Pv2a shown in FIG. The vibration voltage remains at V1, and the potential change rate (ratio of potential change with respect to time change) between the vibration expansion element p11 and the vibration contraction element p13 is steeper than in the case of the first vibration drive pulse Pv1. Is different. In this way, by making the potential change rate of the vibration expansion element p11 and the vibration contraction element p13 whose potential changes among the waveform elements of the second vibration drive pulse Pv2a more steep, the pressure vibration generated in the ink in the non-ejection nozzle 30b. Can be made larger in amplitude. Therefore, by adopting the second vibration drive pulse Pv2a instead of the second vibration drive pulse Pv2, the air is suppressed from being drawn into the ink flow path from the non-ejecting nozzle 30b. The application timing of the second vibration drive pulse Pv2a is the same as that of the second vibration drive pulse Pv2.

振動膨張要素p11と振動収縮要素p13との電位変化率に関し、それぞれ異なるように設定することができる。例えば、図16に示される第2振動駆動パルスPv2bでは、振動膨張要素p11の電位変化率については第1振動駆動パルスPv1の動膨張要素p11の電位変化率よりも小さく設定される一方で、振動収縮要素p13の電位変化率については第1振動駆動パルスPv1の振動収縮要素p13の電位変化率よりも大きく設定されている。このため、この第2振動駆動パルスPv2bは、圧力室33を膨張させて減圧する力よりも圧力室33を収縮させてインクを加圧する力の方が大きくなっている。つまり、この第2振動駆動パルスPv2bは、圧電素子31の駆動により非噴射ノズル30bにおけるインクを時間平均で加圧する駆動パルスである。このため、第2振動駆動パルスPv2bによれば、非噴射ノズル30bにおいてインクを噴射側に押し出す力が大きいため、非噴射ノズル30bからインク流路内に空気が引き込まれることがより効果的に抑制される。なお、第2振動駆動パルスPv2bの印加タイミングについては、上記第2振動駆動パルスPv2と同様である。   The potential change rates of the vibration expansion element p11 and the vibration contraction element p13 can be set differently. For example, in the second vibration drive pulse Pv2b shown in FIG. 16, the potential change rate of the vibration expansion element p11 is set to be smaller than the potential change rate of the dynamic expansion element p11 of the first vibration drive pulse Pv1. The potential change rate of the contraction element p13 is set larger than the potential change rate of the vibration contraction element p13 of the first vibration drive pulse Pv1. For this reason, in the second vibration drive pulse Pv2b, the force for contracting the pressure chamber 33 to pressurize the ink is larger than the force for expanding and depressurizing the pressure chamber 33. That is, the second vibration drive pulse Pv2b is a drive pulse that pressurizes the ink in the non-ejection nozzle 30b by time average by driving the piezoelectric element 31. For this reason, according to the second vibration drive pulse Pv2b, the force that pushes the ink toward the ejection side in the non-ejecting nozzle 30b is large, so that air is more effectively suppressed from being drawn into the ink flow path from the non-ejecting nozzle 30b. Is done. The application timing of the second vibration drive pulse Pv2b is the same as that of the second vibration drive pulse Pv2.

図17に示される第2振動駆動パルスPv2cは、振動電圧V2が上記第1振動駆動パルスPv1の振動電圧V1よりも高められ、さらに振動膨張要素p11と振動収縮要素p13との電位変化率が第1振動駆動パルスPv1の場合よりも急峻になっている。これにより、非噴射ノズル30bにおけるインクに生じる圧力振動の振幅をさらに大きくすることができる。したがって、第2振動駆動パルスPv2に替えてこの第2振動駆動パルスPv2cを採用することにより、非噴射ノズル30bからインク流路内に空気が引き込まれることがさらに確実に抑制される。なお、第2振動駆動パルスPv2cの圧電素子31への印加タイミングについては、上記第2振動駆動パルスPv2と同様である。   In the second vibration drive pulse Pv2c shown in FIG. 17, the vibration voltage V2 is higher than the vibration voltage V1 of the first vibration drive pulse Pv1, and the potential change rate between the vibration expansion element p11 and the vibration contraction element p13 is the first. It is steeper than in the case of one vibration drive pulse Pv1. Thereby, the amplitude of the pressure vibration generated in the ink in the non-ejecting nozzle 30b can be further increased. Therefore, by adopting the second vibration drive pulse Pv2c instead of the second vibration drive pulse Pv2, it is possible to further reliably suppress the air from being drawn into the ink flow path from the non-ejecting nozzle 30b. The application timing of the second vibration drive pulse Pv2c to the piezoelectric element 31 is the same as that of the second vibration drive pulse Pv2.

図18に示される第2振動駆動パルスPv2dは、上記の各第2振動駆動パルスPv2、Pv2a,Pv2b,Pv2cとは、基準電位Ebからの電位の変化方向が異なっている。具体的には、第2振動駆動パルスPv2dは、振動収縮要素p21と、振動収縮ホールド要素p22と、振動膨張要素p23とを有している。振動収縮要素p21は、基準電位Ebから当該基準電位Ebよりも高い振動収縮電位Ev3まで電位を上昇させる波形要素である。振動収縮ホールド要素p22は、振動収縮要素p21の終端電位である振動収縮電位Ev3を一定時間維持する波形要素である。また、振動膨張要素p23は、振動収縮電位Ev3から基準電位Ebまで電位を下降させる波形要素である。第2振動駆動パルスPv2の振動電圧V3(振動収縮電位Ev3と基準電位Ebとの電位差)は、V1以上の値に設定されている。すなわち、この第2振動駆動パルスPv2dは、圧力室33を基準状態から収縮させて非噴射ノズル30bにおけるインクを噴射側に押し出した後、圧力室33を膨張させて基準状態に戻してインクを基準位置側に復帰させるように圧電素子31を駆動させる波形となっている。上記第2振動駆動パルスPv2に替えて第2振動駆動パルスPv2dが採用される場合も、非噴射ノズル30bにおいて第2振動駆動パルスPv2dにより発生されるインクの振動と、噴射用ノズル30aにおいて噴射駆動パルスPdにより発生されるインクの振動とが逆位相となるように、非噴射ノズル30bに対応する圧電素子31への第2振動駆動パルスPv2dの印加タイミングが調整される。この構成によっても、非噴射ノズル30bにおいてインクを噴射側に押し出す力が作用するため、非噴射ノズル30bからインク流路内に空気が引き込まれることがより効果的に抑制される。非噴射ノズル30bからインク流路内に空気が引き込まれることが抑制される。   The second vibration drive pulse Pv2d shown in FIG. 18 differs from the above-described second vibration drive pulses Pv2, Pv2a, Pv2b, and Pv2c in the direction of potential change from the reference potential Eb. Specifically, the second vibration drive pulse Pv2d has a vibration contraction element p21, a vibration contraction hold element p22, and a vibration expansion element p23. The vibration contraction element p21 is a waveform element that increases the potential from the reference potential Eb to the vibration contraction potential Ev3 that is higher than the reference potential Eb. The vibration contraction hold element p22 is a waveform element that maintains the vibration contraction potential Ev3, which is the terminal potential of the vibration contraction element p21, for a predetermined time. The vibration expansion element p23 is a waveform element that lowers the potential from the vibration contraction potential Ev3 to the reference potential Eb. The vibration voltage V3 (potential difference between the vibration contraction potential Ev3 and the reference potential Eb) of the second vibration drive pulse Pv2 is set to a value equal to or greater than V1. That is, the second vibration drive pulse Pv2d contracts the pressure chamber 33 from the reference state and pushes the ink in the non-ejecting nozzle 30b to the ejection side, and then expands the pressure chamber 33 to return to the reference state to thereby reference the ink. It has a waveform for driving the piezoelectric element 31 to return to the position side. Even when the second vibration drive pulse Pv2d is employed instead of the second vibration drive pulse Pv2, the ink vibration generated by the second vibration drive pulse Pv2d in the non-ejecting nozzle 30b and the ejection drive in the ejection nozzle 30a are performed. The application timing of the second vibration drive pulse Pv2d to the piezoelectric element 31 corresponding to the non-ejecting nozzle 30b is adjusted so that the vibration of the ink generated by the pulse Pd has an opposite phase. Also with this configuration, the force that pushes the ink toward the ejection side acts on the non-ejecting nozzle 30b, so that air is more effectively suppressed from being drawn into the ink flow path from the non-ejecting nozzle 30b. Air is prevented from being drawn into the ink flow path from the non-ejecting nozzle 30b.

上記の各第2振動駆動パルスPv2、Pv2a,Pv2b,Pv2c,Pv2dに関し、噴射駆動パルスPdとは別に設けられた構成を例示したが、これには限られず、噴射駆動パルスPdの波形要素の一部を第2振動駆動パルスPv2として選択的に圧電素子31に印加する構成を採用することもできる。すなわち、図10に示される噴射駆動パルスPdにおいて、収縮要素p3が基準電位Ebを境としてこれよりもマイナス側(膨張電位EL1側)の第1収縮要素p3aと、プラス側(収縮電位EH1側)の第2収縮要素p3bとに区分されている。そして、このうち、対策用の第2振動駆動パルスPv2として、第2収縮要素p3b、収縮ホールド要素p4、および復帰要素p5が選択されて非噴射ノズル30bに対応する圧電素子31に印加される構成を採用することもできる。この構成においても、第2振動駆動パルスPv2により非噴射ノズル30bにおけるメニスカスが噴射側に変位しているタイミングで噴射用ノズル30a側においてインクの噴射が行われる。換言すると、非噴射ノズル30bにおいて第2振動駆動パルスPv2により発生されるインクの振動と、噴射用ノズル30aにおいて噴射駆動パルスPdにより発生されるインクの振動とが打ち消し合うように(可及的に逆位相となるように)、噴射用ノズル30a側においてインクの噴射が行われるので、非噴射ノズル30bからインク流路内に空気が引き込まれることが抑制される。また、この構成によれば、第2振動駆動パルスを別途設ける必要がないため、駆動信号発生回路19の構成や信号経路をより簡素化することが可能となる。   For each of the second vibration drive pulses Pv2, Pv2a, Pv2b, Pv2c, and Pv2d, the configuration provided separately from the injection drive pulse Pd is illustrated. However, the configuration is not limited thereto, and one of the waveform elements of the injection drive pulse Pd is illustrated. It is also possible to adopt a configuration in which the part is selectively applied to the piezoelectric element 31 as the second vibration drive pulse Pv2. That is, in the ejection drive pulse Pd shown in FIG. 10, the contraction element p3 is the first contraction element p3a on the minus side (expansion potential EL1 side) and the plus side (contraction potential EH1 side) from the reference potential Eb. And the second contraction element p3b. Of these, the second contraction element p3b, the contraction hold element p4, and the return element p5 are selected and applied to the piezoelectric element 31 corresponding to the non-injection nozzle 30b as the second vibration drive pulse Pv2 for countermeasures. Can also be adopted. Also in this configuration, ink is ejected on the ejection nozzle 30a side at the timing when the meniscus in the non-ejection nozzle 30b is displaced toward the ejection side by the second vibration drive pulse Pv2. In other words, the vibration of the ink generated by the second vibration drive pulse Pv2 in the non-ejection nozzle 30b and the vibration of the ink generated by the ejection drive pulse Pd in the ejection nozzle 30a cancel each other as much as possible. Since ink is ejected on the ejection nozzle 30a side so that the phase is reversed, air is suppressed from being drawn into the ink flow path from the non-ejection nozzle 30b. Further, according to this configuration, since it is not necessary to separately provide the second vibration drive pulse, the configuration and signal path of the drive signal generation circuit 19 can be further simplified.

これらの第2振動駆動パルスの振動電圧に関し、通常(上記の条件を満たしていない状態)ではインクが噴射される程度の電圧に設定することができる。これにより、非噴射ノズル30bにおいて第2振動駆動パルスにより発生されるインクの振動の振幅がより大きいものとなり、インク流路内に空気が引き込まれることがより効果的に抑制される。   Regarding the vibration voltage of these second vibration drive pulses, the voltage can be set to a level at which ink is normally ejected (in a state where the above conditions are not satisfied). Thereby, the amplitude of the vibration of the ink generated by the second vibration drive pulse in the non-ejecting nozzle 30b becomes larger, and the air is more effectively suppressed from being drawn into the ink flow path.

なお、上記各実施形態においては駆動素子として、所謂撓み振動型の圧電素子31を例示したが、これには限られず、例えば、所謂縦振動型の圧電素子を採用することも可能である。この場合、例示した各駆動パルスに関し、電位の変化方向、つまり上下(極性)が反転した波形となる。その他、アクチュエーターとしては、圧電素子に限られず、静電アクチュエーター等の他の駆動素子を採用することも可能である。   In each of the above-described embodiments, the so-called flexural vibration type piezoelectric element 31 is exemplified as the drive element. However, the present invention is not limited to this, and for example, a so-called longitudinal vibration type piezoelectric element can be employed. In this case, with respect to each of the exemplified driving pulses, the waveform changes in the potential change direction, that is, up and down (polarity). In addition, the actuator is not limited to the piezoelectric element, and other driving elements such as an electrostatic actuator may be employed.

そして、以上では、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド10(記録ヘッド10)を例に挙げて説明したが、本発明は、他の液体噴射ヘッドおよびこれを備える液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイ、FED(面発光ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ(生物化学素子)の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を複数備える液体噴射ヘッド、および、これを備える液体噴射装置にも本発明を適用することができる。   In the above description, the ink jet recording head 10 (recording head 10), which is a kind of liquid ejecting head, has been described as an example. However, the present invention is also applicable to other liquid ejecting heads and liquid ejecting apparatuses including the same. can do. For example, a color material ejecting head used for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display, an electrode material ejecting head used for forming an electrode such as an organic EL (Electro Luminescence) display, FED (surface emitting display), a biochip (biochemical element) The present invention can also be applied to a liquid ejecting head including a plurality of bio-organic matter ejecting heads and the like and a liquid ejecting apparatus including the same.

1…プリンター,2…フレーム,3…プラテン,4…搬送機構,5…ガイドロッド,6…キャリッジ,7…キャリッジ移動機構,8…インクカートリッジ,10…記録ヘッド,11…ワイピング機構,12…ワイパー,13…キャッピング機構13…キャップ,15…排液チューブ,16…ポンプユニット,17…CPU,18…記憶装置,19…駆動信号発生回路,20…入出力インターフェース,23…固定板,24…ノズルプレート,25…連通板,26…アクチュエーター基板,27…コンプライアンス基板,28…ホルダー,29…圧力室形成基板,30…ノズル,31…圧電素子,32…保護基板,33…圧力室,34…ノズル連通口,35…個別連通口,36…振動板,38…駆動IC,39…フレキシブル基板,40…配線空部,41…収容空間,43…リザーバー,44…コンプライアンスシート,45…支持板,46…貫通開口,47…コンプライアンス空間,48…コンプライアンス開口,49…収容空部,50…挿通空部,51…液室空部,52…導入口   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Printer, 2 ... Frame, 3 ... Platen, 4 ... Conveyance mechanism, 5 ... Guide rod, 6 ... Carriage, 7 ... Carriage moving mechanism, 8 ... Ink cartridge, 10 ... Recording head, 11 ... Wiping mechanism, 12 ... Wiper 13 ... Capping mechanism 13 ... Cap, 15 ... Draining tube, 16 ... Pump unit, 17 ... CPU, 18 ... Storage device, 19 ... Drive signal generation circuit, 20 ... Input / output interface, 23 ... Fixing plate, 24 ... Nozzle Plate, 25 ... Communication plate, 26 ... Actuator substrate, 27 ... Compliance substrate, 28 ... Holder, 29 ... Pressure chamber forming substrate, 30 ... Nozzle, 31 ... Piezoelectric element, 32 ... Protection substrate, 33 ... Pressure chamber, 34 ... Nozzle Communication port, 35 ... Individual communication port, 36 ... Diaphragm, 38 ... Drive IC, 39 ... Flexible substrate, 40 ... Wiring , 41 ... accommodating space, 43 ... reservoir, 44 ... compliance sheet, 45 ... support plate, 46 ... through opening, 47 ... compliance space, 48 ... compliance opening, 49 ... accommodating cavity, 50 ... inserting cavity, 51 ... Liquid chamber empty space, 52 ... Inlet

Claims (6)

複数のノズルから構成されるノズル群、各ノズルにそれぞれ対応して複数設けられ、対応する前記ノズル内の液体に圧力振動を生じさせる駆動素子、および、各ノズルに供給する液体が供給される共通液室を有する液体噴射ヘッドと、
前記駆動素子を駆動する駆動パルスを発生させる駆動パルス発生回路と、
を備える液体噴射装置であって、
前記ノズル群は、第1のノズルと、第2のノズルと、を有し、
前記駆動パルス発生回路は、第1の駆動パルスと、第2の駆動パルスと、を発生し、
前記第1の駆動パルスは、前記第1のノズルに対応する前記駆動素子に印加されて当該第1のノズルから液体を噴射させる駆動パルスであり、
前記第2の駆動パルスは、前記ノズル群における各ノズルの液体の噴射状況が前記共通液室への液体の供給不足を誘発する特定の条件を満たした場合に前記第2のノズルに対応する前記駆動素子に印加されて当該第2のノズル内の液体に圧力振動を生じさせる駆動パルスであることを特徴とする液体噴射装置。
A plurality of nozzle groups each composed of a plurality of nozzles, a plurality of nozzles corresponding to each nozzle, a drive element that generates pressure vibrations in the liquid in the corresponding nozzle, and a common liquid supplied to each nozzle are supplied A liquid ejecting head having a liquid chamber;
A drive pulse generation circuit for generating a drive pulse for driving the drive element;
A liquid ejecting apparatus comprising:
The nozzle group includes a first nozzle and a second nozzle,
The drive pulse generation circuit generates a first drive pulse and a second drive pulse,
The first driving pulse is a driving pulse that is applied to the driving element corresponding to the first nozzle and ejects liquid from the first nozzle,
The second drive pulse corresponds to the second nozzle when the liquid ejection state of each nozzle in the nozzle group satisfies a specific condition that induces insufficient supply of liquid to the common liquid chamber. A liquid ejecting apparatus, wherein the liquid ejecting apparatus is a driving pulse that is applied to a driving element to cause pressure oscillation in the liquid in the second nozzle.
前記駆動パルス発生回路は、液体の噴射が行われない前記ノズルに対応する前記駆動素子に印加されて、当該ノズル内の液体に圧力振動を生じさせる振動駆動パルスを発生可能であり、
前記第2の駆動パルスは、前記振動駆動パルスの場合よりも前記ノズル内の液体に生じさせる圧力振動が大きい駆動パルスであることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射装置。
The drive pulse generation circuit is capable of generating a vibration drive pulse that is applied to the drive element corresponding to the nozzle that is not ejected of liquid and causes pressure vibration in the liquid in the nozzle,
2. The liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the second driving pulse is a driving pulse that generates a larger pressure vibration in the liquid in the nozzle than in the case of the vibration driving pulse.
前記第2の駆動パルスは、前記第2のノズル内の液体の圧力を高めて噴射側に押し出すように前記駆動素子を駆動する駆動パルスであることを特徴とする請求項2に記載の液体噴射装置。   The liquid ejection according to claim 2, wherein the second drive pulse is a drive pulse for driving the drive element so as to increase the pressure of the liquid in the second nozzle and push the liquid toward the ejection side. apparatus. 前記第2の駆動パルスによって生じる前記第2のノズル内の液体の圧力振動と、前記第1のノズルにおける液体の噴射に伴って生じる圧力振動とは逆位相であることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の液体噴射装置。   3. The pressure vibration of the liquid in the second nozzle caused by the second drive pulse is opposite in phase to the pressure vibration caused by the ejection of the liquid in the first nozzle. Alternatively, the liquid ejecting apparatus according to claim 3. 前記共通液室の一部が可撓性を有するコンプライアンス部材により区画されていることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか一項に記載の液体噴射装置。   The liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein a part of the common liquid chamber is partitioned by a compliance member having flexibility. 複数のノズルから構成されるノズル群、各ノズルにそれぞれ対応して複数設けられ、対応する前記ノズル内の液体に圧力振動を生じさせる駆動素子、および、各ノズルに供給する液体が供給される共通液室を有する液体噴射ヘッドと、前記駆動素子を駆動する駆動パルスを発生させる駆動パルス発生回路と、を備える液体噴射装置の制御方法であって、
前記ノズル群を構成する前記ノズルのうちの第1のノズルから液体を噴射させる際に当該第1のノズルに対応する前記駆動素子に前記第1の駆動パルスを印加する一方、
前記ノズル群における各ノズルの液体の噴射状況が前記共通液室への液体の供給不足を誘発する特定の条件を満たした場合に、前記ノズル群を構成する前記ノズルのうちの第2のノズルに対応する前記駆動素子に第2の駆動パルスを印加して、当該第2のノズル内の液体に圧力振動を生じさせることを特徴とする液体噴射装置の制御方法。
A plurality of nozzle groups each composed of a plurality of nozzles, a plurality of nozzles corresponding to each nozzle, a drive element that generates pressure vibrations in the liquid in the corresponding nozzle, and a common liquid supplied to each nozzle are supplied A control method of a liquid ejecting apparatus comprising: a liquid ejecting head having a liquid chamber; and a drive pulse generating circuit that generates a drive pulse for driving the drive element,
While applying the first drive pulse to the drive element corresponding to the first nozzle when ejecting liquid from the first nozzle of the nozzles constituting the nozzle group,
When the liquid ejection state of each nozzle in the nozzle group satisfies a specific condition that induces insufficient supply of liquid to the common liquid chamber, the second nozzle among the nozzles constituting the nozzle group A control method for a liquid ejecting apparatus, wherein a second driving pulse is applied to the corresponding driving element to cause pressure oscillation in the liquid in the second nozzle.
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