JP2018061934A - One-tank type vacuum cleaning drier - Google Patents

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和彦 岡村
Kazuhiko Okamura
和彦 岡村
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a one-tank type vacuum cleaning drier capable of performing putting-in/taking-out or the like of a workpiece simply by using a simple mechanism without requiring a large installation space.SOLUTION: In a one-tank type vacuum cleaning drier 1 for performing vacuum cleaning using volatile non-aqueous solvent as cleaning solvent, vacuum steam cleaning using solvent vapor, and vacuum dehydration, to a workpiece input into a vacuum cleaning dehydration tank 4, a carrying-in/carrying-out port 28 for putting-in/taking-out the workpiece therethrough into/from the vacuum cleaning dehydration tank 4 from a lateral direction is formed on the vacuum cleaning dehydration tank 4, and an outer door 29 for opening/closing the carrying-in/carrying-out port 28 is attached to the carrying-in/carrying-out port 28.SELECTED DRAWING: Figure 1A

Description

本発明は、炭化水素系溶剤などの非水系の揮発性溶剤を用いて、電子部品、金属部品などの各種のワークの洗浄に用いる1槽式真空洗浄乾燥機に関する。   The present invention relates to a single tank vacuum cleaning dryer used for cleaning various workpieces such as electronic parts and metal parts using a non-aqueous volatile solvent such as a hydrocarbon solvent.

この種の1槽式真空洗浄乾燥機としては、特許文献1に記載されている洗浄装置が知られている。特許文献1に開示の洗浄装置は、真空洗浄乾燥槽、洗浄液の貯留槽、洗浄蒸気を発生する蒸気発生槽、洗浄蒸気を液中に導入して回収する回収槽および真空ポンプを備えており、単一の真空洗浄乾燥槽内において、ワークに対して、洗浄および乾燥処理が施される。   As this type of one tank type vacuum cleaning dryer, a cleaning device described in Patent Document 1 is known. The cleaning apparatus disclosed in Patent Document 1 includes a vacuum cleaning / drying tank, a cleaning liquid storage tank, a steam generation tank that generates cleaning steam, a recovery tank that introduces and recovers cleaning steam into the liquid, and a vacuum pump. In a single vacuum cleaning / drying tank, the workpiece is subjected to cleaning and drying.

1槽式真空洗浄乾燥機では、その天面(上端)の開口を封鎖している蓋を開け、真空洗浄乾燥槽の上方から、ワークが搭載されているバスケットを真空洗浄乾燥槽内に投入する。ワーク投入後に蓋を閉じて、真空ポンプによって真空洗浄乾燥槽を減圧して、貯留槽の洗浄液を真空洗浄乾燥槽に導入する。ワークを洗浄液に浸漬させた状態で、真空洗浄乾燥槽内において、超音波洗浄(粗洗浄)を行う。次に、真空洗浄乾燥槽を大気圧状態に戻して内部の洗浄液を自重により貯留槽に戻した後に、真空洗浄乾燥槽を再び減圧状態にして、蒸気発生槽から洗浄蒸気を真空洗浄乾燥槽に導入し、ワークを蒸気洗浄(仕上げ洗浄)する。次に、真空洗浄乾燥槽から洗浄蒸気を排出した後に、真空ポンプにより、真空洗浄乾燥槽を減圧してワークに付着している洗浄液を気化させることで、ワークの真空乾燥を行う。真空洗浄乾燥槽から真空ポンプによって吸引される洗浄蒸気は回収槽に回収される。ワーク乾燥後に、真空洗浄乾燥槽の蓋を開け、真空洗浄乾燥槽内のバスケットを上方に引き上げることで、洗浄乾燥後のワークが搭載されているバスケットを真空洗浄乾燥槽から取り出す。   In the 1 tank type vacuum cleaning dryer, the lid that seals the top (top) opening is opened, and the basket on which the workpiece is mounted is put into the vacuum cleaning drying tank from above the vacuum cleaning drying tank. . After the work is put in, the lid is closed, the vacuum cleaning / drying tank is decompressed by the vacuum pump, and the cleaning liquid in the storage tank is introduced into the vacuum cleaning / drying tank. Ultrasonic cleaning (coarse cleaning) is performed in a vacuum cleaning / drying tank with the workpiece immersed in a cleaning solution. Next, after returning the vacuum cleaning / drying tank to the atmospheric pressure state and returning the internal cleaning liquid to the storage tank by its own weight, the vacuum cleaning / drying tank is again depressurized and the cleaning steam is transferred from the steam generation tank to the vacuum cleaning / drying tank. Introduce and clean the workpiece with steam (finish cleaning). Next, after the cleaning steam is discharged from the vacuum cleaning / drying tank, the vacuum cleaning / drying tank is decompressed by a vacuum pump to vaporize the cleaning liquid adhering to the work, thereby vacuum drying the work. The cleaning vapor sucked by the vacuum pump from the vacuum cleaning / drying tank is recovered in the recovery tank. After the work is dried, the lid of the vacuum cleaning / drying tank is opened, and the basket in the vacuum cleaning / drying tank is pulled upward to take out the basket on which the work after the cleaning / drying is mounted from the vacuum cleaning / drying tank.

特許第3598287号公報Japanese Patent No. 3598287

従来の1槽式真空洗浄乾燥機において、ワーク投入においては、真空洗浄乾燥槽の天面を開け、真空洗浄乾燥槽の上方からバケットを真空洗浄乾燥槽内に投入している。ワーク取出しにおいても、真空洗浄乾燥槽の天面を開け、真空洗浄乾燥槽の内部から天面開口を介して上方にバスケットを取り出している。手作業により、バスケットを真空洗浄乾燥槽の上方まで持ち上げて真空洗浄乾燥槽内に投入する作業を行うことは困難である。同様に、手作業により、バスケットを真空洗浄乾燥槽の底から天面開口の上方まで持ち合上げて真空洗浄乾燥槽から取り出す作業は困難である。   In the conventional one-tank vacuum cleaning / drying machine, when the work is charged, the top surface of the vacuum cleaning / drying tank is opened, and the bucket is charged into the vacuum cleaning / drying tank from above the vacuum cleaning / drying tank. Also in taking out the workpiece, the top surface of the vacuum cleaning / drying tank is opened, and the basket is taken out from the inside of the vacuum cleaning / drying tank through the top surface opening. It is difficult to manually lift the basket above the vacuum cleaning / drying tank and put it in the vacuum cleaning / drying tank. Similarly, it is difficult to manually lift the basket from the bottom of the vacuum cleaning / drying tank to above the top surface opening and take out the basket from the vacuum cleaning / drying tank.

このために、1槽式真空洗浄乾燥機には、バスケットを真空洗浄乾燥槽に投入し、そこから取り出すために、一般的に、ピック・アンド・プレースユニットを付設しておく必要がある。1槽式真空洗浄乾燥機自体がコンパクトな構成であっても、バスケットの投入・取出用の機構を含めた場合には、必要とされる設置スペースが大きなってしまう。また、ピック・アンド・プレースユニットは、例えばフリーローラーコンベア等と比べて高価である。さらに、真空洗浄乾燥槽内などの保守点検作業なども、真空洗浄乾燥槽の天面開口を開けて行う必要があり、真空洗浄乾燥槽の天面が高い位置にある場合などにおいては作業性が悪いという問題もある。   For this reason, in order to put a basket into a vacuum cleaning / drying tank and to remove it from the single tank vacuum cleaning / drying machine, it is generally necessary to attach a pick-and-place unit. Even if the single-vacuum vacuum washer / dryer itself has a compact configuration, the installation space required becomes large when including a basket loading / unloading mechanism. Further, the pick and place unit is more expensive than, for example, a free roller conveyor. In addition, maintenance and inspection work in the vacuum cleaning / drying tank must be performed with the top surface of the vacuum cleaning / drying tank opened, and workability is improved when the top of the vacuum cleaning / drying tank is at a high position. There is also the problem of being bad.

1槽式真空洗浄乾燥機においては、洗浄形態として、浸漬洗浄の代わりに、洗浄剤使用量が少なくて済むシャワー洗浄またはジェット洗浄を採用することが考えられる。このための配管、ノズルは、真空洗浄乾燥槽内における真空洗浄乾燥槽天面側の部分において、ワークに対して適切に洗浄液が吹き付けられるように配置することが望ましい。しかしながら、真空洗浄乾燥槽の天面を開閉してバスケットの投入、取出しを行う必要があるので、真空洗浄乾燥槽内の天面側の部分はノズル配管に制約される。場合によっては、シャワー洗浄またはジェット洗浄を採用できない場合がある。従来の1槽式真空洗浄乾燥機は、洗浄方法の選択肢が制限され、汎用性に欠ける場合がる。   In the single tank type vacuum cleaning / drying machine, it is conceivable to employ shower cleaning or jet cleaning that requires a small amount of cleaning agent instead of immersion cleaning as a cleaning mode. It is desirable that the piping and nozzles for this purpose be arranged so that the cleaning liquid can be appropriately sprayed onto the workpiece at the top surface of the vacuum cleaning / drying tank in the vacuum cleaning / drying tank. However, since it is necessary to open and close the top surface of the vacuum cleaning / drying tank to insert and remove the basket, the top surface side portion in the vacuum cleaning / drying tank is restricted by the nozzle piping. In some cases, shower cleaning or jet cleaning may not be employed. The conventional one-tank vacuum cleaning / drying machine has limited options for cleaning methods and may lack general versatility.

本発明の課題は、ワークの投入・取出しなどを、簡単な機構を用いて設置スペースを多く必要とすることなく簡単に行うことのできる1槽式真空洗浄乾燥機を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a one-tank vacuum cleaning and drying machine that can easily perform loading and unloading of a workpiece using a simple mechanism without requiring a large installation space.

また、本発明の課題は、浸漬洗浄に代えてシャワー洗浄またはジェット洗浄を簡単に採用することのできる1槽式真空洗浄乾燥機を提供することにある。   Moreover, the subject of this invention is providing the 1 tank type vacuum cleaning dryer which can employ | adopt shower cleaning or jet cleaning simply instead of immersion cleaning.

本発明は、真空洗浄乾燥槽内に投入したワークに対して、揮発性の非水系の溶剤を洗浄液として用いた真空洗浄、前記溶剤の蒸気を用いた減圧蒸気洗浄、および、真空乾燥を行う1槽式真空洗浄乾燥機において、前記真空洗浄乾燥槽に、横方向、通常は水平方向から当該真空洗浄乾燥槽に対してワークの出し入れを行う搬入搬出口が形成されており、前記搬入搬出口には、当該搬入搬出口を開閉する外扉が取り付けられていることを特徴としている。   The present invention performs vacuum cleaning using a volatile non-aqueous solvent as a cleaning liquid, reduced-pressure steam cleaning using the solvent vapor, and vacuum drying on a workpiece put in a vacuum cleaning drying tank 1 In the tank-type vacuum cleaning / drying machine, a loading / unloading port is formed in the vacuum cleaning / drying tank, and a loading / unloading port for loading / unloading the workpiece into / from the vacuum cleaning / drying tank from the horizontal direction, usually in the horizontal direction. Is characterized in that an outer door for opening and closing the loading / unloading outlet is attached.

本発明の1槽式真空洗浄乾燥機では、その真空洗浄乾燥槽に対して、横方向、例えば水平方向からワークの搬入搬出を行うことのできる搬入搬出口が設けられている。例えば、真空洗浄乾燥槽の内部および外部に、搬入搬出口を介して、ほぼ同一の平面上、例えば水平面上を、ワークが搭載されたバケットをガイド可能、または、搬送可能な槽内ガイド機構および槽外ガイド機構が配置される。   In the one-tank type vacuum cleaning / drying machine of the present invention, a loading / unloading exit through which a workpiece can be loaded / unloaded from the lateral direction, for example, the horizontal direction, is provided in the vacuum cleaning / drying tank. For example, an in-tank guide mechanism capable of guiding or transporting a bucket on which a workpiece is mounted on a substantially the same plane, for example, on a horizontal plane, via a carry-in / out port, inside and outside the vacuum cleaning / drying tank An outside tank guide mechanism is arranged.

真空洗浄乾燥槽の搬入搬出口を介して、同一平面に沿って、ワークの搬入搬出を行うことができる。ワークを昇降搬送および水平搬送を行うピック・アンド・プレースユニットのような三次元搬送機構を用いることなく、ローラーコンベアなどのガイド機構あるいはチェーンコンベアなどの搬送機構を用いて、ワークの搬入搬出を行うことが可能である。   The work can be carried in and out along the same plane through the carry-in / out port of the vacuum washing and drying tank. Uses a guide mechanism such as a roller conveyor or a transport mechanism such as a chain conveyor to load and unload a workpiece without using a three-dimensional transfer mechanism such as a pick-and-place unit that moves the workpiece up and down and horizontally. It is possible.

例えば、フリーローラーコンベア上で、ワークの押し引きを行うことで、搬入搬出口を介してワークの搬入搬出作業を行うことができる。よって、真空洗浄乾燥槽の上方までワークを持ち上げて、真空洗浄乾燥槽の天面開口からワークを真空洗浄乾燥槽内に搬入し、真空洗浄乾燥槽内のワークを、天面開口を介して、上方に持ち上げて搬出する作業に比べて、ワークの搬入搬出作業の作業性を大幅に改善できる。   For example, the work loading / unloading work can be performed through the loading / unloading exit by pushing and pulling the work on the free roller conveyor. Therefore, lift the work to the upper part of the vacuum cleaning drying tank, carry the work into the vacuum cleaning drying tank from the top opening of the vacuum cleaning drying tank, and the work in the vacuum cleaning drying tank through the top opening, The workability of the work loading / unloading work can be greatly improved compared to the work of lifting and unloading upward.

また、ピック・アンド・プレースユニットなどの三次元搬送機構に比べて、チェーンコンベアなどの水平搬送機構はコンパクトで廉価であるので、ワーク搬入搬出機構の設置スペースの増加、製造コストの増加を抑制できる。さらに、フリーローラーコンベアなどを用いた手作業によるワークの搬入搬出を、チェーンコンベアなどの水平搬送機構に変更する作業も簡単に行うことができるので便利である。   In addition, compared to 3D transport mechanisms such as pick-and-place units, horizontal transport mechanisms such as chain conveyors are compact and inexpensive, so it is possible to suppress an increase in installation space for the work loading / unloading mechanism and an increase in manufacturing costs. . Furthermore, it is convenient because the work of manually loading and unloading a work using a free roller conveyor can be easily changed to a horizontal transport mechanism such as a chain conveyor.

本発明において、通常は、真空洗浄乾燥槽の前面に搬入搬出口が設けられる。この場合には、真空洗浄乾燥槽は、その背面から前記前面に向かって、高さ、あるいは、幅が、漸
増していることが望ましい。例えば、真空洗浄乾燥槽の天面を、背面から前面に向かって上方に傾斜した傾斜面とすれば、真空洗浄乾燥槽が、搬入搬出口に向かって上下に広がる形状になる。開口面積の大きな搬入搬出口を設けることができ、バスケットの搬入搬出作業の作業性が向上する。
In the present invention, usually, a carry-in / out port is provided in front of the vacuum cleaning / drying tank. In this case, it is desirable that the height or width of the vacuum cleaning / drying tank gradually increase from the rear surface toward the front surface. For example, if the top surface of the vacuum cleaning / drying tank is an inclined surface that is inclined upward from the back surface to the front surface, the vacuum cleaning / drying tank has a shape that expands up and down toward the carry-in / out port. A loading / unloading exit having a large opening area can be provided, and the workability of the basket loading / unloading work is improved.

本発明の1槽式真空洗浄乾燥機の真空洗浄乾燥槽においては、その内部において天面の側に自由に配管を行うことができる。すなわち、真空洗浄乾燥槽の内部に、当該真空洗浄乾燥槽の天面に沿って、洗浄液配管を自由に引き回し、当該洗浄液配管に、その配管長さ方向に沿って所定の間隔で下方に洗浄液を吹き出す洗浄液ノズルを配置することができる。   In the vacuum cleaning / drying tank of the one-tank vacuum cleaning / drying machine of the present invention, piping can be freely provided on the top side in the interior. That is, inside the vacuum cleaning / drying tank, the cleaning liquid pipe is freely routed along the top surface of the vacuum cleaning / drying tank, and the cleaning liquid is downwardly supplied to the cleaning liquid pipe at predetermined intervals along the pipe length direction. A cleaning liquid nozzle to be blown out can be arranged.

真空洗浄乾燥槽の天面に、ワークあるいはバスケットの搬入搬出口が配置されている場合とは異なり、シャワー洗浄あるいはジェット洗浄のために最も適した状態で、配管・ノズルを配置することができる。よって、洗浄方法としてシャワー洗浄またはジェット洗浄を採用することができる。シャワー洗浄、ジェット洗浄は、浸漬洗浄、例えば超音波洗浄等に比べて廉価に実施でき、かつ、洗浄時における真空洗浄乾燥槽での洗浄剤(溶剤)保有量を低減できるという利点がある。   Unlike the case where the work / basket loading / unloading port is arranged on the top surface of the vacuum washing / drying tank, the piping / nozzle can be arranged in a state most suitable for shower washing or jet washing. Therefore, shower cleaning or jet cleaning can be employed as the cleaning method. Shower cleaning and jet cleaning are advantageous in that they can be performed at a lower cost than immersion cleaning, such as ultrasonic cleaning, and the amount of cleaning agent (solvent) held in the vacuum cleaning / drying tank during cleaning can be reduced.

また、このようにシャワー洗浄・ジェット洗浄を確実に採用することができるので、洗浄方法の選択肢が広がり、各種洗浄方法の組み合わせからなる多様な洗浄乾燥システムを構築することが容易になる。よって、バスケットサイズ、ワークの汚れ状態、タクトタイム、要求される洗浄品質、予算等に合致する最適な洗浄システムを簡単に構築することができる。例えば、シャワー洗浄・減圧ベーパー洗浄・真空乾燥からなる廉価な洗浄システムを採用することも可能である。   In addition, since shower cleaning and jet cleaning can be reliably employed in this way, options for cleaning methods are expanded, and it becomes easy to construct various cleaning and drying systems composed of combinations of various cleaning methods. Therefore, it is possible to easily construct an optimum cleaning system that matches the basket size, workpiece dirt state, tact time, required cleaning quality, budget, and the like. For example, an inexpensive cleaning system including shower cleaning, reduced-pressure vapor cleaning, and vacuum drying can be employed.

本発明の1槽式真空洗浄乾燥機においては、真空洗浄乾燥槽の外周側面に、外扉によって開閉可能な搬入搬出口が配置される。浸漬洗浄動作中に外扉が開いてしまうと、真空洗浄乾燥槽の天面に搬入搬出口が配置されている場合よりも、洗浄液の漏出などの危険性が高い。例えば、停電、故障等によって、外扉のロック機構が動作不能になり、ロックが解除されてしまうと、搬入搬出口を介して圧力漏れが生じ、真空洗浄乾燥槽内の洗浄液が外部に漏出するおそれがある。また、減圧ベーパー洗浄中にロック機構が動作不能になると、真空洗浄乾燥槽の減圧状態が徐々に解除されてしまい、外部に洗浄蒸気が漏れ出るおそれがある。   In the one-tank vacuum cleaning / drying machine of the present invention, a loading / unloading port that can be opened and closed by an outer door is disposed on the outer peripheral side surface of the vacuum cleaning / drying tank. If the outer door opens during the immersion cleaning operation, there is a higher risk of leakage of the cleaning liquid than when the carry-in / out port is arranged on the top surface of the vacuum cleaning / drying tank. For example, when the lock mechanism of the outer door becomes inoperable due to a power failure, failure, etc., and the lock is released, a pressure leak occurs through the carry-in / out port, and the cleaning liquid in the vacuum cleaning / drying tank leaks to the outside. There is a fear. Further, if the lock mechanism becomes inoperable during the reduced-pressure vapor cleaning, the reduced-pressure state of the vacuum cleaning / drying tank is gradually released, and the cleaning steam may leak to the outside.

このような弊害を回避するために、外扉を閉じ位置にロックするロック機構に、外扉をロックするための付勢力を常に発生する状態に保持されているばね部材を配置しておくことが望ましい。停電、故障等により、ロックするための付勢力を発生するエアシリンダ、プランジャなどが動作不能になり付勢力を発生できなくなった場合でも、圧縮状態で配置されている圧縮コイルばね等のばね部材のばね力によってロック状態を維持できる。これにより、真空洗浄乾燥槽からの気体、液体の洩れを防止できる。   In order to avoid such an adverse effect, it is possible to arrange a spring member that is always in a state in which a biasing force for locking the outer door is generated in the lock mechanism that locks the outer door in the closed position. desirable. Even when the air cylinder, plunger, etc. that generate the urging force for locking become inoperable due to a power failure, failure, etc., and the urging force cannot be generated, the spring member such as the compression coil spring arranged in the compressed state The locked state can be maintained by the spring force. Thereby, leakage of gas and liquid from the vacuum cleaning / drying tank can be prevented.

実施の形態1の1槽式真空洗浄乾燥機を示す正面図、上面図、左側面図および右側面図である。1 is a front view, a top view, a left side view, and a right side view showing a one-tank vacuum cleaning dryer of Embodiment 1. FIG. 図1Aの1槽式真空洗浄乾燥機の正面側内部構造図、上面側内部構造図、左側内部構造図および右側内部構造図である。1B is a front side internal structure diagram, a top side internal structure diagram, a left side internal structure diagram, and a right side internal structure diagram of the one-tank vacuum cleaning dryer of FIG. 1A. 図1Aの1槽式真空洗浄乾燥機の概略構成図および動作例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the schematic block diagram and the operation example of the 1 tank type vacuum washing dryer of FIG. 1A. 実施の形態2の1槽式真空洗浄乾燥機の正面側内部構造図、上面側内部構造図、左側内部構造図および右側内部構造図である。It is the front side internal structure figure of the 1 tank type vacuum washing dryer of Embodiment 2, the upper surface side internal structure figure, the left side internal structure figure, and the right side internal structure figure. 図2Aの1槽式真空洗浄乾燥機の概略構成図および動作例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the schematic block diagram and the example of operation | movement of the 1 tank type vacuum washing dryer of FIG. 2A. 実施の形態2の別の例である1槽式真空洗浄乾燥機の正面側内部構造図、上面側内部構造図、左側内部構造図および右側内部構造図である。It is the front side internal structure figure of the 1 tank type vacuum washing dryer which is another example of Embodiment 2, the upper surface side internal structure figure, the left side internal structure figure, and the right side internal structure figure. 実施の形態3の1槽式真空洗浄乾燥機を示す正面側内部構造図、上面側内部構造図、左側内部構造図および右側内部構造図である。It is the front side internal structure figure which shows the 1 tank type vacuum washing dryer of Embodiment 3, the upper surface side internal structure figure, the left side internal structure figure, and the right side internal structure figure. 外扉開閉機構を示す平面図、正面図および側面図である。It is the top view which shows an outer door opening / closing mechanism, a front view, and a side view. 外扉のロック機構を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the locking mechanism of an outer door.

以下に、図面を参照して、本発明を適用した1槽式真空洗浄乾燥機の実施の形態を説明する。   Below, with reference to drawings, embodiment of the 1 tank type vacuum washing dryer to which the present invention is applied is described.

[実施の形態1]
(全体構成)
図1A(a)は1槽式真空洗浄乾燥機の正面図であり、図1A(b)はその上面図であり、図1A(c)はその左側面図であり、図1A(d)はその右側面図である。図2A(a)は1槽式真空洗浄乾燥機の正面側から見た場合の概略内部構造図であり、図2A(b)はその上側から見た場合の概略内部構造図であり、図2A(c)はその左側から見た場合の概略内部構造図であり、図2A(d)はその右側から見た場合の概略内部構造図である。
[Embodiment 1]
(overall structure)
FIG. 1A (a) is a front view of a one-tank vacuum cleaning dryer, FIG. 1A (b) is a top view thereof, FIG. 1A (c) is a left side view thereof, and FIG. It is the right view. FIG. 2A (a) is a schematic internal structural view when viewed from the front side of the single tank type vacuum cleaning dryer, and FIG. 2A (b) is a schematic internal structural view when viewed from the upper side. FIG. 2C is a schematic internal structural diagram when viewed from the left side, and FIG. 2A (d) is a schematic internal structural diagram when viewed from the right side.

1槽式真空洗浄乾燥機1は全体として直方体形状の装置ハウジング2を備えている。装置ハウジング2の前面2aにおいて、その左側の端には、操作表示盤3が取り付けられている。操作表示盤3は、予め設定されている処理プログラムに従って、各部の駆動を制御して、ワークの洗浄乾燥動作を行わせる。   The single tank type vacuum cleaning / drying machine 1 includes a device housing 2 having a rectangular parallelepiped shape as a whole. An operation display panel 3 is attached to the left end of the front surface 2 a of the device housing 2. The operation display panel 3 controls the driving of each part according to a processing program set in advance, and causes the workpiece to be washed and dried.

装置ハウジング2の内部には、図1Bに示すように、真空洗浄乾燥槽4、再生された洗浄剤が貯留される真空バッファタンク5、粗洗浄剤が貯留される粗洗浄剤タンク6および仕上げ洗浄剤が貯留される仕上げ洗浄剤タンク7を備えた真空バッファタンク8、真空蒸留機兼ベーパー発生器9、熱媒油タンク10、気液分離槽11、洗浄剤を貯留するリザーブタンク12、液封式真空ポンプ13およびメカニカルブースターポンプ14が、それぞれ、配置されている。装置ハウジング2の天面上には超音波発振器15が配置されている。本例では、洗浄用の溶剤として揮発性の非水系洗浄液が使用される。例えば、炭化水素系溶剤が用いられる。   Inside the apparatus housing 2, as shown in FIG. 1B, a vacuum cleaning / drying tank 4, a vacuum buffer tank 5 in which the regenerated cleaning agent is stored, a rough cleaning agent tank 6 in which the rough cleaning agent is stored, and finish cleaning A vacuum buffer tank 8 having a finish cleaning agent tank 7 for storing the agent, a vacuum distillation / vapor generator 9, a heat transfer oil tank 10, a gas-liquid separation tank 11, a reserve tank 12 for storing the cleaning agent, a liquid seal A vacuum pump 13 and a mechanical booster pump 14 are respectively disposed. An ultrasonic oscillator 15 is disposed on the top surface of the device housing 2. In this example, a volatile non-aqueous cleaning liquid is used as a cleaning solvent. For example, a hydrocarbon solvent is used.

真空洗浄乾燥槽4は、装置ハウジング2の内部の前面側における上下方向の中程の位置よりも僅か下側の位置に配置されている。真空洗浄乾燥槽4は、底面21、前面22、背面23および左右の側面24、25および天面26を備えており、前面22には、ワーク(図示せず)が搭載されたバスケット27の搬入搬出口28が開口している。搬入搬出口28は、装置ハウジング2に対して左右方向にスライド可能に取付けた外扉29によって開閉可能となっている。外扉29は、装置ハウジング2の前面2aに形成されている矩形の開口部2bから前方に露出している。   The vacuum cleaning / drying tank 4 is arranged at a position slightly below the middle position in the vertical direction on the front side inside the apparatus housing 2. The vacuum cleaning / drying tank 4 includes a bottom surface 21, a front surface 22, a back surface 23, left and right side surfaces 24 and 25, and a top surface 26, and a basket 27 on which a work (not shown) is mounted is loaded on the front surface 22. The carry-out port 28 is open. The carry-in / out port 28 can be opened and closed by an outer door 29 slidably attached to the apparatus housing 2 in the left-right direction. The outer door 29 is exposed forward from a rectangular opening 2b formed in the front surface 2a of the apparatus housing 2.

外扉29は、図1A(a)に示す閉じ位置29Aから図1B(a)に示す開き位置29Bまでの間を横方向にスライド可能である。真空洗浄乾燥槽4と外扉29との間には、外扉29をロックするためのロック機構が配置されている。閉じ位置29Aにおいて、ロック機構によってロックされた外扉29は、真空洗浄乾燥槽4の前面22の側にOリングなどのシール部材を挟み押圧されて、搬入搬出口28を気密状態で封鎖した状態になる。ロック機構の構造については後述する(図4A、4B参照)。   The outer door 29 is slidable in the lateral direction between a closed position 29A shown in FIG. 1A (a) and an open position 29B shown in FIG. 1B (a). A lock mechanism for locking the outer door 29 is arranged between the vacuum cleaning / drying tank 4 and the outer door 29. In the closed position 29A, the outer door 29 locked by the locking mechanism is pressed with a sealing member such as an O-ring sandwiched between the front surface 22 side of the vacuum cleaning / drying tank 4 and the carry-in / out port 28 is sealed in an airtight state. become. The structure of the lock mechanism will be described later (see FIGS. 4A and 4B).

真空洗浄乾燥槽4の内部において、その底面21の上には超音波振動子35が配置されている。この上には、槽内ガイド機構であるフリーローラーコンベア36が配置されている。フリーローラーコンベア36の上面によってほぼ水平なバスケットガイド面が規定されている。装置ハウジング2の前面2aの前側には、バスケット27を前方から後方に向けて水平にガイド可能な槽外ガイド機構であるフリーローラーコンベア37が配置されている。フリーローラーコンベア37の架台38は、装置ハウジング2の前面2aにおける開口部2bの下側の取付ブラケット2cに対して、取り外し可能な状態で、取り付けられる。   An ultrasonic vibrator 35 is disposed on the bottom surface 21 in the vacuum cleaning / drying tank 4. On this, the free roller conveyor 36 which is a guide mechanism in a tank is arrange | positioned. A substantially horizontal basket guide surface is defined by the upper surface of the free roller conveyor 36. On the front side of the front surface 2 a of the apparatus housing 2, a free roller conveyor 37, which is an outside tank guide mechanism that can horizontally guide the basket 27 from the front to the rear, is disposed. The gantry 38 of the free roller conveyor 37 is attached to the mounting bracket 2c below the opening 2b on the front surface 2a of the apparatus housing 2 in a removable state.

外側のフリーローラーコンベア37の上面である水平ガイド面と、内側のフリーローラーコンベア36の上面である水平ガイド面とはほぼ同一の高さにある。また、内側のフリーローラーコンベア36の前端によって、搬入搬出口28の下端縁が規定されている。   The horizontal guide surface which is the upper surface of the outer free roller conveyor 37 and the horizontal guide surface which is the upper surface of the inner free roller conveyor 36 are at substantially the same height. Further, the lower end edge of the carry-in / out port 28 is defined by the front end of the inner free roller conveyor 36.

本例の真空洗浄乾燥槽4は、その幅が一定であり、左右の側面24、25が相互に平行な垂直面となっている。真空洗浄乾燥槽4の高さは、前方に向けて上方に広がっている。すなわち、天面26は、背面23から前面22に向けて、水平面に対して上方に鋭角で傾斜した傾斜面となっている。これにより、上方に開口した矩形の箱形状をしているバスケット27の出し入れが容易となっている。   The vacuum cleaning / drying tank 4 of this example has a constant width, and the left and right side surfaces 24, 25 are vertical surfaces parallel to each other. The height of the vacuum cleaning / drying tank 4 extends upward toward the front. That is, the top surface 26 is an inclined surface that is inclined upward at an acute angle with respect to the horizontal plane from the back surface 23 toward the front surface 22. Thereby, taking in and out of the basket 27 which has the rectangular box shape opened upwards becomes easy.

(洗浄乾燥動作の例)
図1C(a)は1槽式真空洗浄乾燥機1の概略構成図であり、図1C(b)は洗浄乾燥動作の一例を示す説明図である。これらの図を参照して、洗浄乾燥動作の一例を説明する。
(Example of washing and drying operation)
FIG. 1C (a) is a schematic configuration diagram of the one-tank vacuum cleaning / drying machine 1, and FIG. 1C (b) is an explanatory diagram illustrating an example of a cleaning / drying operation. An example of the cleaning / drying operation will be described with reference to these drawings.

<ワーク投入>
まず、外扉29を開き、洗浄対象のワークを搭載したバスケット27を、前方から、搬入搬出口28を介して、真空洗浄乾燥槽4内に搬入する(図1C(b):バスケット給材)。本例では、ワークを搭載したバスケット27を、槽外ガイド機構であるフリーローラーコンベア37に載せて前方から押して、搬入搬出口28を介して、真空洗浄乾燥槽4内の槽内ガイド機構であるフリーローラーコンベア36に載せる。前方からバスケット27を水平に押すだけ良いのでバスケット給材作業を簡単に行うことができる。
<Work input>
First, the outer door 29 is opened, and the basket 27 loaded with the workpiece to be cleaned is carried into the vacuum washing / drying tank 4 from the front through the carry-in / out port 28 (FIG. 1C (b): basket supply material). . In this example, the basket 27 loaded with a work is placed on a free roller conveyor 37 which is a guide mechanism outside the tank and pushed from the front, and is a guide mechanism inside the vacuum cleaning / drying tank 4 via the carry-in / out port 28. Place on free roller conveyor 36. Since it is only necessary to push the basket 27 horizontally from the front, the basket feeding operation can be easily performed.

バスケット27を真空洗浄乾燥槽4に搬入した後は、外扉29を閉じてロックする(図1C(b):扉閉・ロック)。次に、液封式真空ポンプ13およびメカニカルブースターポンプ14を駆動して、真空洗浄乾燥槽4の真空引きを行う(図1C(b):真空引き)。   After carrying the basket 27 into the vacuum cleaning / drying tank 4, the outer door 29 is closed and locked (FIG. 1C (b): door closed / locked). Next, the liquid ring vacuum pump 13 and the mechanical booster pump 14 are driven to evacuate the vacuum cleaning / drying tank 4 (FIG. 1C (b): evacuation).

<粗真空超音波洗浄>
次に、真空バッファタンク8の粗洗浄剤タンク6に貯留されている粗洗浄剤である炭化水素系溶剤を、粗洗浄剤供給ライン41を介して真空洗浄乾燥槽4に供給し(図1C(b):粗溶剤給液)、真空洗浄乾燥槽4のバスケット27が粗洗浄剤に浸漬した状態を形成する。次に、超音波振動子16を駆動して、ワークに所定時間に亘って粗真空超音波洗浄を施す(図1C(b):粗真空超音波洗浄)。粗真空超音波洗浄後に、真空洗浄乾燥槽4から、粗洗浄剤排出ライン42、粗洗浄剤フィルタ43を介して、粗洗浄剤を粗洗浄剤タンク6に戻す(図1C(b):粗溶剤排液)。
<Coarse vacuum ultrasonic cleaning>
Next, a hydrocarbon-based solvent, which is a rough cleaning agent stored in the rough cleaning agent tank 6 of the vacuum buffer tank 8, is supplied to the vacuum cleaning / drying tank 4 through the rough cleaning agent supply line 41 (FIG. 1C ( b): Crude solvent supply liquid), and the basket 27 of the vacuum washing / drying tank 4 is immersed in the coarse cleaning agent. Next, the ultrasonic vibrator 16 is driven, and the workpiece is subjected to rough vacuum ultrasonic cleaning for a predetermined time (FIG. 1C (b): rough vacuum ultrasonic cleaning). After the rough vacuum ultrasonic cleaning, the rough cleaning agent is returned to the rough cleaning agent tank 6 from the vacuum cleaning / drying tank 4 through the rough cleaning agent discharge line 42 and the rough cleaning agent filter 43 (FIG. 1C (b): rough solvent Drainage).

<仕上げ超音波洗浄>
この後は、真空バッファタンク8の仕上げ洗浄剤タンク7に貯留されている仕上げ洗浄剤である炭化水素系溶剤を、仕上げ洗浄剤供給ライン44を介して真空洗浄乾燥槽4に供
給し(図1C(b):仕上げ溶剤給液)、真空洗浄乾燥槽4のバスケット27が仕上げ洗浄剤に浸漬した状態を形成して、ワークに所定時間に亘って仕上げ真空超音波洗浄を施す(図1C(b):仕上げ真空超音波洗浄)。仕上真空超音波洗浄後に、真空洗浄乾燥槽4の仕上洗浄剤を、仕上げ洗浄液排出ライン45、仕上げ洗浄剤フィルタ46を介して、仕上げ洗浄剤タンク7に戻す(図1C(b):仕上げ溶剤排液)。
<Finished ultrasonic cleaning>
Thereafter, a hydrocarbon solvent, which is a finish cleaning agent stored in the finish cleaning agent tank 7 of the vacuum buffer tank 8, is supplied to the vacuum cleaning / drying tank 4 through the finish cleaning agent supply line 44 (FIG. 1C). (B): Finishing solvent supply), the basket 27 of the vacuum cleaning / drying tank 4 is immersed in the finishing cleaning agent, and the workpiece is subjected to finishing vacuum ultrasonic cleaning for a predetermined time (FIG. 1C (b ): Finishing vacuum ultrasonic cleaning). After the final vacuum ultrasonic cleaning, the final cleaning agent in the vacuum cleaning / drying tank 4 is returned to the finishing cleaning agent tank 7 through the finishing cleaning solution discharge line 45 and the finishing cleaning agent filter 46 (FIG. 1C (b): finishing solvent discharge). liquid).

<ベーパー洗浄>
次に、真空洗浄乾燥槽4などを真空ポンプによって真空引きして所定の真空度の状態を形成して、真空蒸留機兼ベーパー発生器9からベーパー供給ライン47を介して真空洗浄乾燥槽4に溶剤蒸気を供給して、ワークに対して所定時間に亘って減圧ベーパー洗浄を施す(図1C(b):減圧ベーパー洗浄)。この後は、真空洗浄乾燥槽4からの液抜きを行い、真空洗浄乾燥槽4内で凝結した仕上げ溶剤を真空バッファタンク5に回収する(図1C(b):液抜き)。
<Vapor cleaning>
Next, the vacuum cleaning / drying tank 4 and the like are evacuated by a vacuum pump to form a predetermined degree of vacuum, and the vacuum cleaning / drying tank 4 is transferred from the vacuum distiller / vapor generator 9 via the vapor supply line 47. The solvent vapor is supplied, and the workpiece is subjected to reduced-pressure vapor cleaning for a predetermined time (FIG. 1C (b): reduced-pressure vapor cleaning). Thereafter, the liquid from the vacuum cleaning / drying tank 4 is drained, and the finishing solvent condensed in the vacuum cleaning / drying tank 4 is collected in the vacuum buffer tank 5 (FIG. 1C (b): liquid draining).

<真空乾燥>
この後は、真空ポンプ13、14を駆動して、真空洗浄乾燥槽4を真空引きして、ワークの真空乾燥を所定時間に亘って行う(図1C(b):真空乾燥)。
<Vacuum drying>
Thereafter, the vacuum pumps 13 and 14 are driven to evacuate the vacuum cleaning / drying tank 4, and the workpiece is vacuum-dried for a predetermined time (FIG. 1C (b): vacuum drying).

<ワーク取出し>
しかる後に、真空洗浄乾燥槽4などの真空を解除し(図1C(b):真空解除)、外扉29のロックを解除して外扉29を開ける(図1C(b):扉ロック解除・扉開)。そして、真空洗浄乾燥槽4内から、洗浄乾燥後のワークが搭載されているバスケット27を、搬入搬出口28を介して、引き出して、外側のフリーローラーコンベア37に搬出する(図1C(b):バスケット除材)。
<Work removal>
After that, the vacuum of the vacuum cleaning / drying tank 4 and the like is released (FIG. 1C (b): release of vacuum), the outer door 29 is unlocked and the outer door 29 is opened (FIG. 1C (b): door unlocking / Door open). Then, the basket 27 loaded with the workpiece after washing and drying is pulled out from the vacuum washing / drying tank 4 through the carry-in / out port 28 and carried out to the outer free roller conveyor 37 (FIG. 1C (b)). : Basket material removal).

[実施の形態2:シャワー洗浄・ジェット洗浄を行う場合の例]
本発明では、真空洗浄乾燥槽は、その前面に搬入搬出口が設けられており、その天面にはシャワー洗浄・ジェット洗浄用の配管・ノズルを自由に配置することが可能である。図2A、2Bには、シャワー洗浄・ジェット洗浄を行う1槽式真空乾燥洗浄機の一例を示してある。図2A(a)〜(d)は、実施の形態2の1槽式真空洗浄乾燥機の正面側内部構造図、上面側内部構造図、左側内部構造図および右側内部構造図である。図2B(a)、(b)は、1槽式真空洗浄乾燥機の概略構成図および動作例を示す説明図である。
[Embodiment 2: Example of performing shower cleaning / jet cleaning]
In the present invention, the vacuum cleaning / drying tank is provided with a carry-in / out port on the front surface, and piping / nozzles for shower cleaning / jet cleaning can be freely arranged on the top surface. 2A and 2B show an example of a single tank type vacuum drying and cleaning machine that performs shower cleaning and jet cleaning. 2A (a) to 2 (d) are a front side internal structure diagram, a top surface side internal structure diagram, a left side internal structure diagram, and a right side internal structure diagram of the one-tank vacuum cleaning dryer of Embodiment 2. FIG. FIG. 2B (a), (b) is an explanatory diagram showing a schematic configuration diagram and an operation example of a one-tank vacuum cleaning dryer.

実施の形態2の1槽式真空洗浄乾燥機1Aの基本構成は実施の形態の場合と同一であるので、図2A、2Bにおいては対応する部位には同一の符号を付し、それらの説明は省略する。本例では、図2A(a)、(b)に示すように、真空洗浄乾燥槽4の内部には、その天面26の下側近傍の位置に、例えば水平に溶剤供給用のシャワー配管51が配置されている。シャワー配管51には、その長さ方向に沿って所定の間隔で、下方に溶剤を噴射するノズル52が取り付けられている。   Since the basic configuration of the one-tank vacuum cleaning / drying machine 1A of the second embodiment is the same as that of the embodiment, the same reference numerals are given to corresponding parts in FIGS. Omitted. In this example, as shown in FIGS. 2A and 2B, the vacuum cleaning / drying tank 4 has a shower pipe 51 for supplying a solvent horizontally, for example, at a position near the lower side of the top surface 26. Is arranged. A nozzle 52 for injecting a solvent downward is attached to the shower pipe 51 at a predetermined interval along its length direction.

1槽式真空洗浄乾燥機1Aの真空洗浄乾燥槽4に、このようなシャワー洗浄・ジェット洗浄用の配管・ノズルを配置した場合には、例えば、図2B(b)に示すように、ワークの洗浄乾燥動作を行うことができる。この場合には、真空バッファタンク8は単一のタンクを備え、シャワー洗浄用の溶剤が貯留される。   When such pipes and nozzles for shower cleaning / jet cleaning are arranged in the vacuum cleaning / drying tank 4 of the one-tank vacuum cleaning / drying machine 1A, for example, as shown in FIG. A washing and drying operation can be performed. In this case, the vacuum buffer tank 8 includes a single tank and stores a solvent for shower cleaning.

この場合には、シャワー洗浄(ジェット洗浄)、減圧ベーパー洗浄、真空乾燥の順にワークに対して処理が施される。シャワー洗浄前の手順およびシャワー洗浄後の手順は、上記の浸漬洗浄の場合(図1C)と同様である。なお、ジェット洗浄の場合には、シャワー洗浄に比べて高い圧力で洗浄剤をノズル52から噴射してワークが洗浄される。   In this case, the workpiece is processed in the order of shower cleaning (jet cleaning), reduced-pressure vapor cleaning, and vacuum drying. The procedure before shower cleaning and the procedure after shower cleaning are the same as in the case of the above immersion cleaning (FIG. 1C). In the case of jet cleaning, the workpiece is cleaned by spraying a cleaning agent from the nozzle 52 at a pressure higher than that in shower cleaning.

シャワー洗浄においては、シャワー洗浄剤を真空バッファタンク8から所定量だけ真空洗浄乾燥槽4に供給し(図2B(b):シャワー洗浄・給液)、真空洗浄乾燥槽4に溜まったシャワー洗浄剤を、循環ポンプ53を駆動して、循環ライン54を介して循環させることにより、ワークに対してシャワー洗浄が施される(図2B(b):シャワー洗浄(循環))。   In the shower cleaning, a predetermined amount of shower cleaning agent is supplied from the vacuum buffer tank 8 to the vacuum cleaning / drying tank 4 (FIG. 2B (b): shower cleaning / liquid supply), and the shower cleaning agent accumulated in the vacuum cleaning / drying tank 4 is collected. Is circulated through the circulation line 54 by driving the circulation pump 53, whereby the workpiece is subjected to shower cleaning (FIG. 2B (b): shower cleaning (circulation)).

この後は、真空ポンプ13、14を駆動して真空引きを行い(図2B(b):真空引き)、シャワー配管51にエアー源55からのエアーを流してシャワー溶剤を除去する(図2B(b):シャワー配管エアーブロー)。また、真空洗浄乾燥槽4からシャワー溶剤を排出して真空バッファタンク5に回収する(図2B(b):シャワー溶剤排液)。   Thereafter, the vacuum pumps 13 and 14 are driven to perform evacuation (FIG. 2B (b): evacuation), and the shower solvent is removed by flowing air from the air source 55 through the shower pipe 51 (FIG. 2B ( b): Shower piping air blow). Further, the shower solvent is discharged from the vacuum cleaning / drying tank 4 and collected in the vacuum buffer tank 5 (FIG. 2B (b): shower solvent drainage).

シャワー洗浄・ジェット洗浄は、超音波洗浄等の浸漬洗浄に比べて、真空洗浄乾燥槽4に貯める溶剤容量が少なくて済む。このため、真空洗浄乾燥槽4に対して洗浄剤を供給するために必要な時間、真空洗浄乾燥槽4から洗浄剤を排出するために必要な時間を、それぞれ短縮できる。本発明によれば、タクトタイムの短い廉価なシャワー洗浄・ジェット洗浄を採用することが容易である。   Shower cleaning and jet cleaning require less solvent capacity in the vacuum cleaning / drying tank 4 than immersion cleaning such as ultrasonic cleaning. For this reason, the time required to supply the cleaning agent to the vacuum cleaning / drying tank 4 and the time required to discharge the cleaning agent from the vacuum cleaning / drying tank 4 can be shortened. According to the present invention, it is easy to employ inexpensive shower cleaning / jet cleaning with a short tact time.

(実施の形態2の別の例)
ここで、槽内ガイド機構および槽外ガイド機構として用いているフリーローラーコンベアの代わりに、バスケット搬送用の搬送機構を配置することも可能である。
(Another example of Embodiment 2)
Here, it is also possible to arrange a transport mechanism for transporting the basket instead of the free roller conveyor used as the guide mechanism inside the tank and the guide mechanism outside the tank.

図2C(a)〜(d)は、搬送機構を備えた1槽式真空洗浄乾燥機を示す正面側内部構造図、上面側内部構造図、左側内部構造図および右側内部構造図である。図示の1槽式真空洗浄乾燥機1Bでは、槽内ガイド機構であるフリーローラーコンベア36の代わりに、槽内搬送機構であるチェーンコンベア36Aが配置されている。また、槽外ガイド機構であるフリーローラーコンベア37の代わりに、槽外搬送機構であるチェーンコンベア37Aが配置されている。搬送機構を配置することにより、ワークの搬入搬出作業が一層容易になる。   2C (a) to (d) are a front side internal structure diagram, a top surface side internal structure diagram, a left side internal structure diagram, and a right side internal structure diagram showing a one-tank vacuum cleaning / drying machine equipped with a transport mechanism. In the illustrated one-tank vacuum cleaning / drying machine 1B, a chain conveyor 36A that is an in-tank transport mechanism is disposed instead of the free roller conveyor 36 that is an in-tank guide mechanism. Moreover, instead of the free roller conveyor 37 which is an outside tank guide mechanism, a chain conveyor 37A which is an outside tank transport mechanism is arranged. By arranging the transfer mechanism, the work loading / unloading work is further facilitated.

[実施の形態3]
図3(a)〜(d)は、実施の形態3の1槽式真空洗浄乾燥機を示す正面図、上面図、左側面図および右側面図である。図示の1槽式真空洗浄乾燥機1Cでは、2台のバスケット27を同時に搬入可能な大きさの真空洗浄乾燥槽を備えている。基本構成は、図1A〜1Cに示す1槽式真空洗浄乾燥機1の場合と同様であるので、対応する部位には同一の符号を付し、それらの説明は省略する。
[Embodiment 3]
3 (a) to 3 (d) are a front view, a top view, a left side view, and a right side view showing the one-tank vacuum cleaning / drying machine according to the third embodiment. The one-tank vacuum cleaning / drying machine 1C shown in the figure includes a vacuum cleaning / drying tank having a size capable of carrying two baskets 27 simultaneously. Since the basic configuration is the same as that in the case of the one-tank vacuum cleaning / drying machine 1 shown in FIGS. 1A to 1C, the corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

1槽式真空洗浄乾燥機1Cでは、真空洗浄乾燥槽の広幅の搬入搬出口に対応する広幅の外扉29Cが配置されている。外扉29Cの前側には、一対の給材用フリーローラーコンベア101、102が並列配置されている。これらは、それぞれバスケットを前後方向にガイドする。また、これらの左右には、ストック用フリーローラーコンベア103、104がそれぞれ複数台配列されており、これらは、バスケット27を左右方向にガイドする。真空洗浄乾燥槽の内部にも、一対の給材用フリーローラーコンベア101、102との間でバスケット27の引き渡しを行うために、一対の搬送ガイド機構、例えば、一対のフリーローラーコンベア(図示せず)が配置されている。   In the 1 tank type vacuum cleaning / drying machine 1C, a wide outer door 29C corresponding to the wide loading / unloading outlet of the vacuum cleaning / drying tank is disposed. On the front side of the outer door 29 </ b> C, a pair of free roller conveyors 101 and 102 for material supply are arranged in parallel. These respectively guide the basket in the front-rear direction. In addition, a plurality of stock free roller conveyors 103 and 104 are arranged on the left and right, respectively, and these guide the basket 27 in the left-right direction. In order to deliver the basket 27 to and from the pair of free roller conveyors 101 and 102 for feeding material inside the vacuum washing and drying tank, a pair of transport guide mechanisms, for example, a pair of free roller conveyors (not shown) ) Is arranged.

搬送ガイド機構である給材用フリーローラーコンベア101、102、ストック用フリーローラーコンベア103、104の代わりに、駆動式のチェーンコンベアなどの搬送機構を配置することも可能である。   Instead of the feed free roller conveyors 101 and 102 and the stock free roller conveyors 103 and 104, which are transport guide mechanisms, a transport mechanism such as a drive chain conveyor may be arranged.

[外扉開閉機構・ロック機構の例]
図4A(a)、(b)および(c)は、搬入搬出口28を開閉する外扉29の開閉機構の一例を示す平面図、正面図および側面図である。開閉機構60は、パワーシリンダ61によって矩形輪郭の外扉29を、装置ハウジング2に固定したガイドレール62に沿って装置幅方向にスライドさせる。
[External door opening / closing mechanism / lock mechanism example]
4A (a), (b), and (c) are a plan view, a front view, and a side view showing an example of an opening / closing mechanism of the outer door 29 that opens and closes the loading / unloading port 28. FIG. The opening / closing mechanism 60 causes the power cylinder 61 to slide the outer door 29 having a rectangular outline along the guide rail 62 fixed to the apparatus housing 2 in the apparatus width direction.

本例では、図に示す搬入搬出口28を開いた開き位置29Bから搬入搬出口28を閉じた閉じ位置29Aまでの間をスライドさせる。外扉29の両側には、それぞれ上下一対の幅方向に延びる係合板63、64が取り付けられている。真空洗浄乾燥槽4の両側の外側面には、上下一対のロック用プランジャ65、66(ロック用シリンダ)が取り付けられており、それらの伸縮ロッドが前方に水平に突出している。係合板63、64およびロック用プランジャ65、66によって、外扉29のロック機構が構成されている。   In this example, sliding is performed from an open position 29B where the carry-in / out port 28 shown in the figure is opened to a closed position 29A where the carry-in / out port 28 is closed. On both sides of the outer door 29, a pair of upper and lower engaging plates 63, 64 extending in the width direction are attached. A pair of upper and lower locking plungers 65 and 66 (locking cylinders) are attached to the outer side surfaces on both sides of the vacuum cleaning / drying tank 4, and their telescopic rods protrude horizontally forward. The engagement plates 63 and 64 and the lock plungers 65 and 66 constitute a lock mechanism for the outer door 29.

外扉29の側の左右の係合板63、64の先端には係合溝63a、64aが形成されており、外扉29が開き位置29Bから閉じ位置29Aに移動すると、各係合溝63a、64aにロック用プランジャ65、66の伸縮ロッドの先端部65a、66aが側方からはまり込む。外扉29を閉じ位置29Aまでスライドさせた後に、ロック用プランジャ65、66の伸縮ロッドを引くことにより、外扉29の四周部分が、搬入搬出口28の四周に取り付けたシール用の弾性部材67に押し付けられる。これにより、搬入搬出口28が気密状態で封鎖される。外扉29を開く操作は、逆にロック用プランジャ65、66を押し出してロックを解除し、しかる後に、パワーシリンダ61によって外扉29をガイドレール62に沿って開き位置29Bまで戻せばよい。   Engaging grooves 63a and 64a are formed at the tips of the left and right engaging plates 63 and 64 on the outer door 29 side. When the outer door 29 moves from the open position 29B to the closed position 29A, each engaging groove 63a, The distal end portions 65a and 66a of the telescopic rods of the locking plungers 65 and 66 are fitted into 64a from the side. After sliding the outer door 29 to the closing position 29A, the elastic members 67 for sealing are attached to the four circumferences of the carry-in / out port 28 by pulling the telescopic rods of the locking plungers 65 and 66. Pressed against. Thereby, the loading / unloading exit 28 is sealed in an airtight state. To open the outer door 29, the locking plungers 65, 66 are pushed out to release the lock, and then the outer door 29 is returned along the guide rail 62 to the opening position 29B by the power cylinder 61.

(外扉のロック機構の別の例)
図4Bには、上記の外扉29をロックするために左右に一対ずつ配置されているロック用プランジャ65、66の代わりに使用することのできる複動式のエアシリンダの一例を示す説明図である。
(Another example of the outer door locking mechanism)
FIG. 4B is an explanatory diagram showing an example of a double-acting air cylinder that can be used in place of the locking plungers 65 and 66 arranged in pairs on the left and right sides to lock the outer door 29. is there.

この図には、一例として、一対のロック用プランジャ66の代わりに用いる一対の複動式のエアシリンダ130を示してある。複動式のエアシリンダ130は、シリンダ本体131と、シリンダ本体131を貫通して延びるロッド132を備えている。シリンダ本体131には、ロッド132を前進させる方向133の圧縮エアを供給するためのエア配管135およびロッド132を後退させる方向134の圧縮エアを供給するためのエア配管136が接続されている。   In this figure, as an example, a pair of double-acting air cylinders 130 used instead of the pair of locking plungers 66 are shown. The double-acting air cylinder 130 includes a cylinder body 131 and a rod 132 that extends through the cylinder body 131. An air pipe 135 for supplying compressed air in the direction 133 for moving the rod 132 forward and an air pipe 136 for supplying compressed air in the direction 134 for moving the rod 132 backward are connected to the cylinder body 131.

シリンダ本体131から前方に突出しているロッド132の先端部には、外扉29の一方の係合板64の先端の係合溝64aに対して横方から係合可能な係合部137が設けられている。シリンダ本体131から後方に突出しているロッド132の後端部には、ロッドナット138によってばね受け139が取り付けられている。シリンダ本体131の後の側の端面にもばね受け1140が取り付けられている。これらのばね受け139、140の間には、ロッド132を同軸に取り囲む状態で、圧縮コイルばね142が圧縮状態で装着されている。したがって、エアシリンダ130のロッド132は、常に、圧縮コイルばね142によって、後退方向に付勢されている。   An engagement portion 137 that can be engaged from the side with respect to the engagement groove 64 a at the distal end of one engagement plate 64 of the outer door 29 is provided at the distal end portion of the rod 132 protruding forward from the cylinder body 131. ing. A spring receiver 139 is attached to the rear end portion of the rod 132 protruding rearward from the cylinder body 131 by a rod nut 138. A spring receiver 1140 is also attached to the end surface on the rear side of the cylinder body 131. Between these spring receivers 139 and 140, a compression coil spring 142 is mounted in a compressed state so as to surround the rod 132 coaxially. Therefore, the rod 132 of the air cylinder 130 is always urged in the backward direction by the compression coil spring 142.

エアシリンダ130は、例えば、次のように動作する。外扉29が開き位置29Aにある状態では、圧縮コイルばね142によってロッド132は最も後退した状態にある。外扉29を閉じる場合には、エアシリンダ130のロッド132を前進位置まで圧縮コイルばね142にばね力に逆らって押し出す。外扉29がスライドして閉まると、その係合板64の係合溝64aに、突出した位置にあるロッド132の先端の係合部137が横方向から係合してはまり込む。   For example, the air cylinder 130 operates as follows. When the outer door 29 is in the open position 29A, the rod 132 is in the most retracted state by the compression coil spring 142. When closing the outer door 29, the rod 132 of the air cylinder 130 is pushed out to the compression coil spring 142 against the spring force to the advanced position. When the outer door 29 slides and closes, the engaging portion 137 at the tip end of the rod 132 at the protruding position engages with the engaging groove 64a of the engaging plate 64 from the lateral direction.

外扉29が閉じ位置29Bまでスライドした後は、エアシリンダ130を駆動して、ロッド132を後方に引き込める。この結果、外扉29の四周部分が、搬入搬出口28の四周に取り付けたシール用の弾性部材67に押し付けられ、搬入搬出口28が気密状態で封鎖される。外扉29を開く操作は、逆に、ロッド132を前方に押し出し、しかる後に、パワーシリンダ61によって外扉29をガイドレール62に沿って開き位置29Aまで戻せばよい。   After the outer door 29 slides to the closed position 29B, the air cylinder 130 is driven to retract the rod 132 backward. As a result, the four peripheral portions of the outer door 29 are pressed against the sealing elastic member 67 attached to the four periphery of the carry-in / out port 28, and the carry-in / out port 28 is sealed in an airtight state. Conversely, the operation of opening the outer door 29 may be performed by pushing the rod 132 forward and then returning the outer door 29 along the guide rail 62 to the opening position 29A by the power cylinder 61.

エアシリンダ130を用いたロック機構は、停電、故障などの非常事態が発生してエアシリンダ130が動作不能になった場合に、圧縮コイルばね142のばね力によって、外扉29をロック状態に保持できる。すなわち、外扉29を閉じてロックした状態において、停電、故障などが発生してエアシリンダ130が動作不能になり、ロッド132を引き込み方向に付勢するための圧縮エアの供給が停止することがある。ロック状態では、圧縮エアによる付勢力に加えて圧縮コイルばね142のばね力が外扉29のロック用の付勢力としてロッド132に作用している。したがって、非常時には、ばね力による付勢力によって外扉29のロック状態(密閉状態)を維持でき、外部への溶剤漏れなどを防止できる。   The lock mechanism using the air cylinder 130 holds the outer door 29 in a locked state by the spring force of the compression coil spring 142 when an emergency such as a power failure or failure occurs and the air cylinder 130 becomes inoperable. it can. That is, in a state where the outer door 29 is closed and locked, a power failure, failure or the like occurs, the air cylinder 130 becomes inoperable, and the supply of compressed air for urging the rod 132 in the retracting direction stops. is there. In the locked state, the spring force of the compression coil spring 142 acts on the rod 132 as the urging force for locking the outer door 29 in addition to the urging force by the compressed air. Therefore, in an emergency, the locked state (sealed state) of the outer door 29 can be maintained by the urging force of the spring force, and solvent leakage to the outside can be prevented.

1、1A、1B、1C 1槽式真空洗浄乾燥機
2 装置ハウジング
2a 前面
3 操作表示盤
4 真空洗浄乾燥槽
5 真空バッファタンク
6 粗洗浄剤タンク
7 仕上げ洗浄剤タンク
8 真空バッファタンク
9 真空蒸留機兼ベーパー発生器
10 熱媒油タンク
11 気液分離槽
12 リザーブタンク
13 液封式真空ポンプ
14 メカニカルブースターポンプ
15 超音波発振器
22 前面
26 天面
27 バスケット
28 搬入搬出口
29、29C 外扉
29A 閉じ位置
29B 開き位置
35 超音波振動子
36 フリーローラーコンベア
36A チェーンコンベア
37 フリーローラーコンベア
37A チェーンコンベア
51 シャワー配管
52 ノズル
60 開閉機構
61 パワーシリンダ
62 ガイドレール
63、64 係合板
65、66 ロック用プランジャ
101、102 給材用フリーローラーコンベア
103、104 ストック用フリーローラーコンベア
130 エアシリンダ
131 シリンダ本体
132 ロッド
142 圧縮コイルばね
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1A, 1B, 1C 1 tank type vacuum cleaning dryer 2 Apparatus housing 2a Front surface 3 Operation display panel 4 Vacuum cleaning drying tank 5 Vacuum buffer tank 6 Coarse cleaning agent tank 7 Finishing cleaning agent tank 8 Vacuum buffer tank 9 Vacuum distillation machine Cumulative vapor generator 10 Heat transfer oil tank 11 Gas-liquid separation tank 12 Reserve tank 13 Liquid-sealed vacuum pump 14 Mechanical booster pump 15 Ultrasonic oscillator 22 Front face 26 Top face 27 Basket 28 Loading / unloading outlet 29, 29C Outer door 29A Closed position 29B Opening position 35 Ultrasonic vibrator 36 Free roller conveyor 36A Chain conveyor 37 Free roller conveyor 37A Chain conveyor 51 Shower piping 52 Nozzle 60 Opening / closing mechanism 61 Power cylinder 62 Guide rail 63, 64 Engaging plate 65, 66 Locking plunger 101, 102 Salary Free roller conveyor 103 stock for free roller conveyor 130 air cylinder 131 cylinder body 132 rod 142 compression coil spring use

Claims (8)

真空洗浄乾燥槽内に投入したワークに対して、揮発性の非水系溶剤を洗浄液として用いた真空洗浄、前記非水系溶剤の蒸気を用いた減圧蒸気洗浄、および、真空乾燥を行う1槽式真空洗浄乾燥機において、
前記真空洗浄乾燥槽は、横方向から当該真空洗浄乾燥槽に対してワークの出し入れを行う搬入搬出口が形成されており、
前記搬入搬出口には、当該搬入搬出口を開閉する外扉が取り付けられている1槽式真空洗浄乾燥機。
1 tank type vacuum that performs vacuum cleaning using a volatile non-aqueous solvent as a cleaning liquid, reduced-pressure steam cleaning using the vapor of the non-aqueous solvent, and vacuum drying of the workpiece put in the vacuum cleaning / drying tank In the washing dryer
The vacuum cleaning / drying tank is formed with a loading / unloading exit for loading and unloading the workpiece with respect to the vacuum cleaning / drying tank from the lateral direction,
1 tank type vacuum washing drier with which the outer door which opens and closes the said carrying in / out opening is attached to the above carrying in / out opening.
請求項1において、
前記真空洗浄乾燥槽の内部および外部には、前記搬入搬出口を介して、横方向にワークが搭載されたバケットをガイド可能、または、搬送可能なガイド機構が配置されている1槽式真空洗浄乾燥機。
In claim 1,
One tank type vacuum cleaning in which a guide mechanism capable of guiding or transporting a bucket loaded with a workpiece in the lateral direction is arranged inside and outside the vacuum cleaning / drying tank via the loading / unloading outlet Dryer.
請求項2において、
前記ガイド機構として、前記真空洗浄乾燥槽の内部に配した槽内ガイド機構および前記真空洗浄乾燥槽の外部に配置した槽外ガイド機構を備えており、
前記槽内ガイド機構は、フリーローラベアリングまたはチェーンコンベアであり、
前記槽外ガイド機構は、フリーローラベアリングまたはチェーンコンベアである1槽式真空洗浄乾燥機。
In claim 2,
As the guide mechanism, an in-tank guide mechanism disposed inside the vacuum cleaning / drying tank and an outside-tank guide mechanism disposed outside the vacuum cleaning / drying tank,
The tank guide mechanism is a free roller bearing or a chain conveyor,
The outside tank guide mechanism is a one tank type vacuum cleaning dryer which is a free roller bearing or a chain conveyor.
請求項1において、
前記真空洗浄乾燥槽の前面に、前記搬入搬出口が形成されており、
前記真空洗浄乾燥槽は、その背面から前記前面に向かって、高さ、あるいは、幅が、漸増している1槽式真空洗浄乾燥機。
In claim 1,
The carry-in / out port is formed on the front surface of the vacuum cleaning / drying tank,
The vacuum cleaning / drying tank is a one-tank vacuum cleaning / drying machine whose height or width gradually increases from the back to the front.
請求項1において、
前記真空洗浄乾燥槽の内部には、当該真空洗浄乾燥槽の天面に沿って、洗浄液配管が引き回されており、
前記洗浄液配管には、その配管長さ方向に沿って所定の間隔で下方に洗浄液を吹き出す洗浄液ノズルが配置されている1槽式真空洗浄乾燥機。
In claim 1,
Inside the vacuum cleaning / drying tank, a cleaning liquid pipe is routed along the top surface of the vacuum cleaning / drying tank,
The one tank type vacuum cleaning dryer in which the cleaning liquid nozzle which blows down the cleaning liquid at a predetermined interval along the pipe length direction is arranged in the cleaning liquid pipe.
請求項1において、
前記真空洗浄乾燥槽と前記外扉の間には、当該外扉を閉じ位置にロックするロック機構が配置されており、
前記ロック機構は、前記外扉をロックするための付勢力を常に発生する状態に保持されているばね部材を備えている1槽式真空洗浄乾燥機。
In claim 1,
Between the vacuum cleaning / drying tank and the outer door, a lock mechanism that locks the outer door in a closed position is disposed,
The said lock mechanism is a 1 tank type vacuum washing dryer provided with the spring member currently hold | maintained in the state which always generate | occur | produces the urging | biasing force for locking the said outer door.
請求項3において、
前記真空洗浄乾燥槽の前面に、前記搬入搬出口が形成されており、
前記真空洗浄乾燥槽は、その背面から前記前面に向かって、高さ、あるいは、幅が、漸増しており、
前記真空洗浄乾燥槽と前記外扉の間には、前記外扉を閉じ位置にロックするロック機構が配置されており、
前記ロック機構は、前記外扉をロックするための付勢力を常に発生する状態に保持されているばね部材を備えている1槽式真空洗浄乾燥機。
In claim 3,
The carry-in / out port is formed on the front surface of the vacuum cleaning / drying tank,
The vacuum cleaning / drying tank has a height or width that gradually increases from the back to the front.
Between the vacuum cleaning / drying tank and the outer door, a lock mechanism that locks the outer door in a closed position is disposed,
The said lock mechanism is a 1 tank type vacuum washing dryer provided with the spring member currently hold | maintained in the state which always generate | occur | produces the urging | biasing force for locking the said outer door.
請求項7において、
前記真空洗浄乾燥槽の内部には、当該真空洗浄乾燥槽の天面に沿って、洗浄液配管が引
き回されており、
前記洗浄液配管には、その配管長さ方向に沿って所定の間隔で下方に洗浄液を吹き出す洗浄液ノズルが配置されている1槽式真空洗浄乾燥機。
In claim 7,
Inside the vacuum cleaning / drying tank, a cleaning liquid pipe is routed along the top surface of the vacuum cleaning / drying tank,
The one tank type vacuum cleaning dryer in which the cleaning liquid nozzle which blows down the cleaning liquid at a predetermined interval along the pipe length direction is arranged in the cleaning liquid pipe.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2002320927A (en) * 2001-04-27 2002-11-05 Nichiyo Engineering Kk Washing method and washing unit
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