JP2018016507A - Processing method and processing device of glass - Google Patents

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和田 正紀
Masanori Wada
正紀 和田
靖彦 下間
Yasuhiko Shimoma
靖彦 下間
清貴 三浦
Seiki Miura
清貴 三浦
政明 坂倉
Masaaki Sakakura
政明 坂倉
政二 清水
Seiji Shimizu
政二 清水
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Kyoto University
Nippon Electric Glass Co Ltd
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Nippon Electric Glass Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To heat emphatically a surface layer part of glass facing to a molding surface provided on a molding tool, while maintaining the molding tool at a low temperature.SOLUTION: In a processing method of a glass sheet for molding the glass sheet G1 into a shape obtained by copying a molding surface 1a provided on a molding tool 1 by heating the glass sheet G1 arranged on the molding tool 1, a laser beam LB transmitted by the molding tool 1 and absorbed by the glass sheet G1 is applied to the glass sheet G1 through the molding tool 1, to thereby heat the glass sheet G1.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、成形型を用いたガラスの加工技術の改良に関する。   The present invention relates to improvement of glass processing technology using a mold.

ガラスを加工する方法としては、成形型にガラスを配置した状態でガラスを加熱して、ガラスを成形型に設けた成形面に倣った形状に成形する方法が挙げられる(特許文献1を参照)。この場合、ガラスが配置された成形型を、ヒータなどが設けられた加熱炉内で加熱するのが通例である。   As a method for processing glass, there is a method in which the glass is heated in a state where the glass is placed in a mold, and the glass is molded into a shape following the molding surface provided on the mold (see Patent Document 1). . In this case, it is customary to heat the mold in which the glass is disposed in a heating furnace provided with a heater or the like.

WO2016/067829WO2016 / 067829

しかしながら、加熱炉を用いると、加熱炉内で成形型も高温に晒されるため、成形型の劣化も生じやすく、成形型の寿命が短くなる。その結果、成形型の交換頻度が高くなり、製造コストの高騰を招く原因となる。   However, when a heating furnace is used, the mold is also exposed to a high temperature in the heating furnace, so that the mold tends to deteriorate and the life of the mold is shortened. As a result, the replacement frequency of the mold is increased, which causes an increase in manufacturing cost.

しかも、成形型を用いてガラスを加工する場合、成形面に面するガラスの表層部のみが軟化していれば十分な場合が多い。すなわち、加熱炉のように成形型やガラスを全体的に加熱するのではなく、成形面に面するガラスの表層部を重点的に加熱することが、熱エネルギー効率上も望ましい場合が多い。   And when processing glass using a shaping | molding die, it is sufficient in many cases if only the surface layer part of the glass which faces a shaping | molding surface is softening. That is, it is often desirable from the viewpoint of thermal energy efficiency to heat the surface layer portion of the glass facing the molding surface rather than heating the entire mold or glass as in a heating furnace.

本発明は、成形型を低温に維持しつつ、成形型に設けられた成形面に面するガラスの表層部を重点的に加熱することを技術的課題とする。   This invention makes it a technical subject to heat mainly the surface layer part of the glass which faces the shaping | molding surface provided in the shaping | molding die, maintaining a shaping | molding die at low temperature.

上記課題を解決するために創案された本発明は、成形型に配置したガラスを加熱して、ガラスを成形型に設けた成形面に倣った形状に成形するガラスの加工方法であって、成形型を透過し且つガラスで吸収されるレーザを、成形型を通してガラスに照射することを特徴とする。   The present invention devised to solve the above problems is a glass processing method in which glass placed in a mold is heated to mold the glass into a shape following the molding surface provided on the mold. The laser is transmitted through the mold and absorbed by the glass, and the glass is irradiated through the mold.

このような構成によれば、レーザは成形型を透過するため、成形型を通してガラスにレーザを照射することができる。そして、このように照射されたレーザはガラスで吸収されるが、レーザの吸収はレーザの入射側表面から深さ方向に進むに連れて徐々に弱くなる。換言すれば、レーザの吸収は、レーザの入射側表面である、成形型の成形面に面するガラスの表層部で主に生じる。したがって、レーザの吸収によって、成形型の成形面に面するガラスの表層部を重点的に加熱することができる。しかも、レーザは成形型を透過するため、レーザの吸収によって成形型が加熱されるという事態も生じにくい。   According to such a configuration, since the laser passes through the mold, the glass can be irradiated through the mold. The laser irradiated in this way is absorbed by the glass, but the absorption of the laser gradually becomes weaker as it advances from the laser incident side surface in the depth direction. In other words, laser absorption mainly occurs at the surface layer portion of the glass facing the molding surface of the mold, which is the laser incident side surface. Therefore, the surface layer portion of the glass facing the molding surface of the molding die can be intensively heated by laser absorption. In addition, since the laser passes through the mold, it is difficult for the mold to be heated by absorption of the laser.

上記の構成において、成形面が微細パターンを構成する溝部を有し、レーザの照射によって、ガラスに微細パターンを転写してもよい。すなわち、本発明はガラスの表層部を重点的に加熱することができるので、ガラス全体を軟化させる必要のない微細パターンの転写に好適である。   In the above configuration, the molding surface may have a groove that forms a fine pattern, and the fine pattern may be transferred to the glass by laser irradiation. That is, the present invention can heat the surface layer portion of the glass intensively, and is therefore suitable for transferring a fine pattern that does not require softening the entire glass.

上記の構成において、成形面が凹状又は凸状をなし、レーザの照射によって、ガラスに成形面に倣った湾曲面を形成してもよい。   In the above configuration, the molding surface may be concave or convex, and a curved surface following the molding surface may be formed on the glass by laser irradiation.

上記の構成において、成形面に対してガラスを押圧しながらレーザを照射してもよい。このようにすれば、ガラスが押圧されて成形面と密着するため、ガラスを成形面に倣った形状に成形しやすくなる。   In the above configuration, the laser may be irradiated while pressing the glass against the molding surface. If it does in this way, since glass will be pressed and it will stick to a forming surface, it will become easy to shape glass in the shape which followed a forming surface.

上記の構成において、ガラスがガラス板であってもよい。   In the above configuration, the glass may be a glass plate.

上記の構成において、ガラスがガラス粉末の集合体であってもよい。   In the above configuration, the glass may be an aggregate of glass powder.

上記の構成において、レーザがCOレーザであることが好ましい。すなわち、COレーザの場合、ガラスにおける吸収率が大きくなるため、成形型の成形面に面するガラスの表層部においてレーザのほとんどが吸収される。その結果、ガラスの表層部のみを局所的に加熱することができる。 In the above configuration, the laser is preferably a CO 2 laser. That is, in the case of a CO 2 laser, since the absorption rate in the glass is increased, most of the laser is absorbed in the surface layer portion of the glass facing the molding surface of the mold. As a result, only the surface layer portion of the glass can be locally heated.

この場合、成形型がセレン化亜鉛、硫化亜鉛、ガリウム砒素及びCVDダイヤモンドからなる群から選ばれた1つ以上の材料で形成されていることが好ましい。このようにすれば、COレーザが成形型で実質的に吸収されることがない。 In this case, the mold is preferably formed of one or more materials selected from the group consisting of zinc selenide, zinc sulfide, gallium arsenide, and CVD diamond. In this way, the CO 2 laser is not substantially absorbed by the mold.

上記の構成において、レーザが中赤外線レーザまたは近赤外線レーザであることが好ましい。このようにすれば、ガラスにおける吸収率が大きいがCOレーザの場合よりも小さくなるため、ガラスの表層部のみではなく、表層部から深さ方向に僅かに進行した部分でも吸収が生じる。したがって、ガラスの表層部及びその近傍を局所的に加熱することができる。 In the above configuration, the laser is preferably a mid-infrared laser or a near-infrared laser. By doing so, the absorption rate in the glass is large but smaller than that in the case of the CO 2 laser, so that absorption occurs not only in the surface layer portion of the glass but also in the portion slightly proceeding in the depth direction from the surface layer portion. Therefore, the surface layer part of glass and its vicinity can be heated locally.

この場合、成形型がシリコン、ゲルマニウム、サファイア、セレン化亜鉛、硫化亜鉛、ガリウム砒素、CVDダイヤモンド及びIRグレード石英ガラスからなる群から選ばれた1つ以上の材料、若しくは、中赤外線及び/又は近赤外線を透過する透明セラミックスで形成されていることが好ましい。このようにすれば、中赤外線レーザや近赤外線レーザが成形型で実質的に吸収されることがない。   In this case, the mold is one or more materials selected from the group consisting of silicon, germanium, sapphire, zinc selenide, zinc sulfide, gallium arsenide, CVD diamond and IR grade quartz glass, or mid-infrared and / or near It is preferably made of transparent ceramics that transmit infrared rays. In this way, the mid-infrared laser and near-infrared laser are not substantially absorbed by the mold.

上記課題を解決するために創案された本発明は、ガラスが配置される成形型と、ガラスを加熱する加熱装置とを備え、ガラスを成形型に設けた成形面に倣った形状に成形するガラスの加工装置であって、加熱装置が、成形型を透過し且つガラスで吸収されるレーザを、成形型を通してガラスに照射するレーザ照射装置であることを特徴とする。このような構成によれば、既に述べた対応する構成と同様の作用効果を享受することができる。   The present invention, which was created to solve the above-mentioned problems, comprises a molding die on which glass is disposed and a heating device for heating the glass, and the glass is molded into a shape following the molding surface provided on the molding die. The heating apparatus is a laser irradiation apparatus that irradiates the glass, which is transmitted through the mold and absorbed by the glass, to the glass through the mold. According to such a structure, the same effect as the corresponding structure already described can be enjoyed.

以上のように本発明によれば、成形型を低温に維持しつつ、成形型に設けられた成形面に面するガラスの表層部を重点的に加熱することができる。   As described above, according to the present invention, the surface layer portion of the glass facing the molding surface provided in the molding die can be intensively heated while maintaining the molding die at a low temperature.

本発明の第1実施形態に係るガラスの加工装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the processing apparatus of the glass which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図1のガラスの加工装置を用いたガラスの加工方法を説明するための図であって、(a)は成形型とガラスの界面の加工工程序盤の状態を示す部分断面図であって、(b)は成形型とガラスの界面の加工工程終盤の状態を示す部分断面図である。It is a figure for demonstrating the processing method of the glass using the processing apparatus of the glass of FIG. 1, Comprising: (a) is a fragmentary sectional view which shows the state of the processing process early stage of the interface of a shaping | molding die and glass, b) is a partial cross-sectional view showing a state at the end of the processing step at the interface between the mold and the glass. 本発明の第2実施形態に係るガラスの加工装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the processing apparatus of the glass which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 図3のガラスの加工装置を用いたガラスの加工方法を説明するための図であって、(a)は成形型とガラスの界面の加工工程序盤の状態を示す部分断面図であって、(b)は成形型とガラスの界面の加工工程終盤の状態を示す部分断面図である。It is a figure for demonstrating the processing method of the glass using the processing apparatus of the glass of FIG. 3, Comprising: (a) is a fragmentary sectional view which shows the state of the processing process early stage of the interface of a shaping | molding die and glass, b) is a partial cross-sectional view showing a state at the end of the processing step at the interface between the mold and the glass. 本発明の第3実施形態に係るガラスの加工装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the processing apparatus of the glass which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 図5のガラスの加工装置を用いたガラスの加工方法を説明するための図であって、(a)は成形型とガラスの界面の加工工程序盤の状態を示す部分断面図であって、(b)は成形型とガラスの界面の加工工程終盤の状態を示す部分断面図である。It is a figure for demonstrating the processing method of the glass using the processing apparatus of glass of FIG. 5, Comprising: (a) is a fragmentary sectional view which shows the state of the processing process early stage of the interface of a shaping | molding die and glass, b) is a partial cross-sectional view showing a state at the end of the processing step at the interface between the mold and the glass. 本発明の第4実施形態に係るガラスの加工装置を示す側面図である。It is a side view which shows the processing apparatus of the glass which concerns on 4th Embodiment of this invention.

以下、本発明に係る実施形態を添付図面に基づいて説明する。   Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

(第1実施形態)
図1に示すように、本発明の第1実施形態に係るガラスの加工装置は、成形型1と、加熱装置としてのレーザ照射装置2とを備えている。この実施形態では、加工対象のガラスとしてガラス板G1を例示する。
(First embodiment)
As shown in FIG. 1, the glass processing apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a mold 1 and a laser irradiation apparatus 2 as a heating apparatus. In this embodiment, the glass plate G1 is illustrated as glass to be processed.

成形型1は、ガラス板G1が配置される成形面1aを有する。この実施形態では、成形型1は下型で構成されており、成形型1の上面が成形面1aとなっている。成形面1aには、微細パターンを構成する複数の溝部が形成されている(図2の符号1bを参照)。成形面1aには、ガラス板G1に離型性を考慮し、離型層が形成されていることが好ましい。離型層は、例えば、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)や含フッ素化合物などを成形型1の成形面1aに成膜することで形成することができる。   The molding die 1 has a molding surface 1a on which the glass plate G1 is disposed. In this embodiment, the shaping | molding die 1 is comprised by the lower mold | type, and the upper surface of the shaping | molding die 1 is the molding surface 1a. A plurality of grooves constituting a fine pattern are formed on the molding surface 1a (see reference numeral 1b in FIG. 2). A mold release layer is preferably formed on the molding surface 1a in consideration of mold release properties of the glass plate G1. The release layer can be formed, for example, by depositing diamond-like carbon (DLC) or a fluorine-containing compound on the molding surface 1a of the molding die 1.

レーザ照射装置2は、成形型1側からレーザLBを照射する。レーザLBは、成形型1を透過するとともに、ガラス板G1で吸収される波長域のものが選択される。そのため、レーザLBは、成形型1を通してガラス板G1に照射される。この実施形態では、レーザ照射装置2は、ガラス板G1の下面全体にレーザLBが照射されるように、矢印x方向に移動しながらレーザLBを走査する。なお、レーザ照射装置2を静止させた状態で、ガラス板G1と成形型1を移動させることで、レーザLBがガラス板G1の下面全体に走査されるようにしてもよい。すなわち、レーザ照射装置2とガラス板G1との間に相対的な移動があればよい。また、レーザLBの照射領域をレンズなどで拡大し、レーザLBがガラス板G1の下面全体に一度に照射されるようにしてもよい。   The laser irradiation device 2 irradiates the laser LB from the mold 1 side. As the laser LB, one having a wavelength region that is transmitted through the mold 1 and absorbed by the glass plate G1 is selected. Therefore, the laser LB is irradiated to the glass plate G <b> 1 through the mold 1. In this embodiment, the laser irradiation apparatus 2 scans the laser LB while moving in the arrow x direction so that the entire lower surface of the glass plate G1 is irradiated with the laser LB. The laser LB may be scanned over the entire lower surface of the glass plate G1 by moving the glass plate G1 and the mold 1 while the laser irradiation device 2 is stationary. That is, it is sufficient that there is a relative movement between the laser irradiation device 2 and the glass plate G1. Alternatively, the irradiation area of the laser LB may be enlarged with a lens or the like so that the laser LB is irradiated onto the entire lower surface of the glass plate G1 at a time.

レーザLBの波長は、1μm〜10μmであることが好ましく、2μm〜5μmであることがより好ましく、2μm〜3μmであることがさらに好ましい。詳細には、レーザLBとしては、例えば、連続発振のCOレーザ(波長域:9.2μmまたは10.8μm)や中赤外線レーザ(波長域:3μm〜5μm)や近赤外線レーザ(波長域:1μm〜3μm)が使用される。ここで、成形型1における単位長さ当たりのレーザLBの透過率は、30%〜90%であることが好ましく、40%〜70%であることがより好ましい。また、ガラス板G1における単位長さ当たりのレーザLBの吸収率は、10%〜60%であることが好ましく、20%〜50%であることがより好ましい。ここで、単位長さは1mmとする(以下、同様)。 The wavelength of the laser LB is preferably 1 μm to 10 μm, more preferably 2 μm to 5 μm, and even more preferably 2 μm to 3 μm. Specifically, as the laser LB, for example, a continuous oscillation CO 2 laser (wavelength range: 9.2 μm or 10.8 μm), a mid-infrared laser (wavelength range: 3 μm to 5 μm), a near-infrared laser (wavelength range: 1 μm). ~ 3 μm) is used. Here, the transmittance of the laser LB per unit length in the mold 1 is preferably 30% to 90%, and more preferably 40% to 70%. Further, the absorption rate of the laser LB per unit length in the glass plate G1 is preferably 10% to 60%, and more preferably 20% to 50%. Here, the unit length is 1 mm (hereinafter the same).

レーザLBとしてCOレーザを使用する場合、成形型1は、例えばセレン化亜鉛、硫化亜鉛、ガリウム砒素及びCVDダイヤモンドからなる群から選ばれた1つ以上の材料により形成されることが好ましい。この場合、成形型1におけるレーザLBの単位長さ当たりの透過率は、例えば30%〜60%となる。一方、レーザLBとして、中赤外線レーザまたは近赤外線レーザを使用する場合、成形型1は、例えばシリコン、ゲルマニウム、サファイア、セレン化亜鉛、硫化亜鉛、ガリウム砒素、CVDダイヤモンド及びIRグレード石英ガラスからなる群から選ばれた1つ以上の材料、若しくは、中赤外及び/または近赤外を透過する透明セラミックスにより形成されることが好ましい。この場合、成形型1におけるレーザLBの単位長さ当たりの透過率は、例えば中赤外線レーザの場合は30%〜60%となり、近赤外線レーザの場合は40〜60%となる。 When a CO 2 laser is used as the laser LB, the mold 1 is preferably formed of one or more materials selected from the group consisting of, for example, zinc selenide, zinc sulfide, gallium arsenide, and CVD diamond. In this case, the transmittance per unit length of the laser LB in the mold 1 is, for example, 30% to 60%. On the other hand, when a mid-infrared laser or near-infrared laser is used as the laser LB, the mold 1 is made of, for example, a group consisting of silicon, germanium, sapphire, zinc selenide, zinc sulfide, gallium arsenide, CVD diamond, and IR grade quartz glass. It is preferable to be formed of one or more materials selected from the above or transparent ceramics that transmit the mid-infrared and / or near-infrared. In this case, the transmittance per unit length of the laser LB in the mold 1 is, for example, 30% to 60% in the case of a mid-infrared laser and 40 to 60% in the case of a near-infrared laser.

ここで、ガラス板G1は、その用途に応じて適当な組成を採用することが可能であり、その組成は特に限定されるものではない。例えば、ガラス板G1としては、質量%で、SiO 50〜80%、Al 5〜25%、B 0〜15%、NaO 1〜20%、KO 0〜10%の組成を有するものが採用可能である。ガラス板G1は、レーザLBの吸収を高めるために、レーザ吸収材を含有していてもよい。レーザ吸収材としては、無機顔料が好ましく、カーボン、Co、CuO、Cr、Fe、MnO、SnO、Ti2n−1(nは整数)から選ばれる一種又は二種以上がより好ましく、特にカーボンが好ましい。これらの顔料は、発色性に優れており、レーザの吸収性が良好である。カーボンとして、非晶質カーボン又はグラファイトが好ましい。なお、ガラス板G1をレンズなどの光学部品として用いる場合には、ガラス板G1は顔料等のレーザ吸収材を実質的に含有しないことが好ましい。ここで、「実質的にレーザ吸収材を含有しない」とは、ガラス成分として積極的に明示の成分を添加しないものの、不純物レベルで混入する場合を許容する趣旨であり、具体的には、レーザ吸収材の含有量が0.1モル%未満であることを指す。 Here, the glass plate G1 can adopt an appropriate composition according to its application, and the composition is not particularly limited. For example, as the glass plates G1, in mass%, SiO 2 50~80%, Al 2 O 3 5~25%, B 2 O 3 0~15%, Na 2 O 1~20%, K 2 O 0~ Those having a composition of 10% can be employed. The glass plate G1 may contain a laser absorber in order to enhance the absorption of the laser LB. As the laser absorbing material, an inorganic pigment is preferable, and one kind selected from carbon, Co 3 O 4 , CuO, Cr 2 O 3 , Fe 2 O 3 , MnO 2 , SnO, and Ti n O 2n-1 (n is an integer). Or 2 or more types are more preferable, and carbon is especially preferable. These pigments have excellent color developability and good laser absorptivity. As carbon, amorphous carbon or graphite is preferable. In addition, when using glass plate G1 as optical components, such as a lens, it is preferable that glass plate G1 does not contain laser absorbers, such as a pigment, substantially. Here, “substantially does not contain a laser absorber” means that a glass component is not positively added with an explicit component, but is allowed to be mixed at an impurity level. It indicates that the content of the absorbent is less than 0.1 mol%.

また、ガラス板G1はフィルム状の薄板であることが好ましく、その厚みは1μm〜1000μmであることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the glass plate G1 is a film-like thin plate, and it is preferable that the thickness is 1 micrometer-1000 micrometers.

次に、第1実施形態に係るガラスの加工装置を用いたガラスの加工方法を説明する。   Next, a glass processing method using the glass processing apparatus according to the first embodiment will be described.

まず、図1に示すように、成形型1の成形面1aの上にガラス板G1を平置き姿勢で配置する。次に、この状態で、成形型1側からレーザ照射装置2によってレーザLBを照射する。レーザLBは成形型1を透過し且つガラス板G1で吸収される波長域のものであるので、レーザLBは成形型1を透過してガラス板G1に到達する。これにより、レーザLBは成形型1を通してガラス板G1に照射される。   First, as shown in FIG. 1, the glass plate G <b> 1 is placed on the molding surface 1 a of the mold 1 in a flat position. Next, in this state, the laser LB is irradiated from the mold 1 side by the laser irradiation device 2. Since the laser LB has a wavelength range that passes through the mold 1 and is absorbed by the glass plate G1, the laser LB passes through the mold 1 and reaches the glass plate G1. Thereby, the laser LB is irradiated to the glass plate G1 through the mold 1.

成形型1を通してガラス板G1にレーザLBが照射されると、図2(a)に示すように、レーザLBの吸収によってガラス板G1に加熱領域H1(図中のクロスハッチングを付した部分)が生じる。加熱領域H1では、ガラス板G1が軟化(又は溶融)する。レーザLBの波長によってガラス板G1の吸収率が変化するので、加熱領域H1の深さΔDはレーザLBの波長に依存する。すなわち、吸収率が大きくなると、レーザLBが成形型1の成形面1aに面するガラス板G1の表層部で全て吸収され、加熱領域H1の深さΔDは小さくなる。したがって、微細パターンを構成する溝部1bの深さに応じて、所望の加熱領域H1の深さΔDを実現するために、レーザLBの波長を適宜選択することが好ましい。   When the laser beam LB is irradiated to the glass plate G1 through the mold 1, as shown in FIG. 2A, the heating region H1 (the portion with cross-hatching in the drawing) is formed on the glass plate G1 due to the absorption of the laser LB. Arise. In the heating region H1, the glass plate G1 is softened (or melted). Since the absorptance of the glass plate G1 varies depending on the wavelength of the laser LB, the depth ΔD of the heating region H1 depends on the wavelength of the laser LB. That is, when the absorption rate is increased, the laser LB is entirely absorbed by the surface layer portion of the glass plate G1 facing the molding surface 1a of the mold 1, and the depth ΔD of the heating region H1 is decreased. Therefore, it is preferable to appropriately select the wavelength of the laser LB in order to realize a desired depth ΔD of the heating region H1 according to the depth of the groove 1b constituting the fine pattern.

詳細には、レーザLBとしてCOレーザを用いた場合、レーザLBは成形面1a側のガラス板G1の表層部で全て吸収される。その結果、加熱領域H1は、成形面1a側のガラス板G1の表層部のみに形成される。この場合、加熱領域H1の深さΔDは、例えば、1μm〜10μmとなる。 Specifically, when a CO 2 laser is used as the laser LB, the laser LB is entirely absorbed by the surface layer portion of the glass plate G1 on the molding surface 1a side. As a result, the heating region H1 is formed only on the surface layer portion of the glass plate G1 on the molding surface 1a side. In this case, the depth ΔD of the heating region H1 is, for example, 1 μm to 10 μm.

また、レーザLBとして中赤外線レーザもしくは近赤外線レーザを用いた場合、レーザLBは成形面1a側のガラス板G1の表層部で全て吸収されず、表層部の近傍でも吸収が生じる。その結果、加熱領域H1は、成形面1a側のガラス板G1の表層部及びその近傍に形成される。この場合、加熱領域H1の深さΔDは、例えば、10μm〜1000μmとなる。すなわち、加熱領域H1の深さΔDは、COレーザを用いた場合よりも大きくなる。ここで、中赤外線レーザ(例えば3ミクロンレーザ)を用いた場合、ガラス板G1の表面に存在するOH基におけるレーザLBの吸収が支配的になる。ただし、レーザLBはOH基で全て吸収される訳ではなく、OH基で吸収されなかったレーザLBによって、ガラス板G1の表層部の近傍で吸収が生じる。 Further, when a mid-infrared laser or a near-infrared laser is used as the laser LB, the laser LB is not completely absorbed by the surface layer portion of the glass plate G1 on the molding surface 1a side, but is also absorbed near the surface layer portion. As a result, the heating region H1 is formed on the surface layer portion of the glass plate G1 on the molding surface 1a side and in the vicinity thereof. In this case, the depth ΔD of the heating region H1 is, for example, 10 μm to 1000 μm. That is, the depth ΔD of the heating region H1 is larger than that when the CO 2 laser is used. Here, when a mid-infrared laser (for example, a 3 micron laser) is used, the absorption of the laser LB in the OH group existing on the surface of the glass plate G1 becomes dominant. However, the laser LB is not completely absorbed by the OH group, but is absorbed in the vicinity of the surface layer portion of the glass plate G1 by the laser LB that is not absorbed by the OH group.

以上のように、ガラス板G1の成形面1a側の表層部のみ又は表層部とその近傍に、加熱領域H1が形成されると、図2(b)に示すように、軟化した加熱領域H1が成形型1の成形面1aに倣って変形する。この実施形態では、成形型1は下型であるので、ガラス板G1を成形面1aに押し付ける方向(矢印y方向)に重力が作用する。これにより、成形面1aに設けられた微細パターンを構成する溝部1bがガラス板G1に転写される。このように加工されたガラス板G1は、例えば、マイクロレンズアレイやフレネルレンズなどとして利用できる。このようにすれば、ガラス板G1のうち、加熱領域H1を除く部分(レーザLBの反入射側に位置する部分)は非加熱領域とすることができるので、ガラス板G1全体が過度に加熱されることがない。そのため、ガラス板G1の失透を防ぐこともできる。また、このような非加熱領域を形成することで、ガラス板G1の上面に半導体や有機ELなどの熱に弱い素子が形成されている場合でも、当該素子の破損を防止しつつ微細パターンを転写することができる。一方、成形型1に着目した場合には、レーザLBは成形型1を透過するため、成形型1は低温に維持される。そのため、成形型1の熱劣化を防止できるという利点もある。   As described above, when the heating region H1 is formed only in the surface layer portion on the molding surface 1a side of the glass plate G1 or in the surface layer portion and the vicinity thereof, as shown in FIG. Deformation follows the molding surface 1 a of the mold 1. In this embodiment, since the shaping | molding die 1 is a lower mold | type, gravity acts in the direction (arrow y direction) which presses the glass plate G1 against the shaping | molding surface 1a. Thereby, the groove part 1b which comprises the fine pattern provided in the molding surface 1a is transcribe | transferred to the glass plate G1. The glass plate G1 processed in this way can be used as, for example, a microlens array or a Fresnel lens. In this way, the portion of the glass plate G1 excluding the heating region H1 (the portion located on the side opposite to the incident side of the laser LB) can be a non-heating region, so that the entire glass plate G1 is excessively heated. There is nothing to do. Therefore, devitrification of the glass plate G1 can also be prevented. Further, by forming such a non-heated region, even when a heat-sensitive element such as a semiconductor or an organic EL is formed on the upper surface of the glass plate G1, a fine pattern is transferred while preventing the element from being damaged. can do. On the other hand, when attention is paid to the mold 1, the laser LB passes through the mold 1, so that the mold 1 is maintained at a low temperature. Therefore, there is also an advantage that thermal deterioration of the mold 1 can be prevented.

ここで、以上のように構成されたガラスの加工装置又は加工方法は、例えば、ナノインプリント装置又は方法として利用できる。   Here, the glass processing apparatus or processing method configured as described above can be used as, for example, a nanoimprint apparatus or method.

(第2実施形態)
本発明の第2実施形態に係るガラスの加工装置及びその加工方法が、第1実施形態と相違するところは、成形型の成形面の構成にある。
(Second Embodiment)
The glass processing apparatus and the processing method thereof according to the second embodiment of the present invention are different from the first embodiment in the configuration of the molding surface of the mold.

すなわち、この実施形態では、図3に示すように、成形型3の成形面3aが、凹状の湾曲面で構成されている。また、この実施形態では、ガラス板G2は、粗加工により形成された凸状の湾曲面G2aを有している。ガラス板G2は、湾曲面G2aが成形面3a側を向くように成形面3aの上に配置され、この状態で成形型3を通してガラス板G2にレーザLBが照射される。なお、成形面3aは凸状の湾曲面で構成されるとともに、ガラス板G2が凹状の湾曲面を有していてもよい。また、成形面3aの凸状又は凹状の湾曲面に、第1実施形態のような微細パターンを構成する溝部が形成されていてもよい。   That is, in this embodiment, as shown in FIG. 3, the molding surface 3a of the molding die 3 is formed of a concave curved surface. In this embodiment, the glass plate G2 has a convex curved surface G2a formed by roughing. The glass plate G2 is arranged on the molding surface 3a so that the curved surface G2a faces the molding surface 3a side. In this state, the glass plate G2 is irradiated with the laser LB through the molding die 3. In addition, while the shaping | molding surface 3a is comprised by a convex curved surface, the glass plate G2 may have a concave curved surface. Moreover, the groove part which comprises the fine pattern like 1st Embodiment may be formed in the convex-shaped or concave curved surface of the shaping | molding surface 3a.

図4(a)に示すように、成形型3を通してガラス板G2にレーザLBが照射されると、レーザLBの吸収によってガラス板G2に加熱領域H2が生じ、加熱領域H2でガラス板G2が軟化(又は溶融)する。そうすると、図4(b)に示すように、軟化した加熱領域H2が成形型3の成形面3aに倣って変形し、ガラス板G2の湾曲面G2aが成形面3aに倣った湾曲形状に仕上げ加工される。このように加工されたガラス板G2は、例えば、凸レンズや凹レンズなどとして利用できる。特に、携帯電話のカメラのレンズに好適である。   As shown in FIG. 4A, when the glass plate G2 is irradiated with the laser LB through the mold 3, the heating region H2 is generated in the glass plate G2 by the absorption of the laser LB, and the glass plate G2 is softened in the heating region H2. (Or melt). Then, as shown in FIG. 4B, the softened heating region H2 is deformed following the molding surface 3a of the mold 3, and the curved surface G2a of the glass plate G2 is finished into a curved shape following the molding surface 3a. Is done. The glass plate G2 processed in this way can be used as, for example, a convex lens or a concave lens. Particularly, it is suitable for a lens of a mobile phone camera.

(第3実施形態)
本発明の第3実施形態に係るガラスの加工装置及びその加工方法が、第1実施形態と相違するところは、主に2つある。
(Third embodiment)
The glass processing apparatus and its processing method according to the third embodiment of the present invention are mainly different from the first embodiment in two ways.

第一の相違点は、図5に示すように、加工対象のガラスがガラス粉末の集合体G3であるところである。この集合体G3は、板状に予めプレス成形された圧粉体である。   The first difference is that the glass to be processed is a glass powder aggregate G3 as shown in FIG. The aggregate G3 is a green compact that is pre-pressed into a plate shape.

第二の相違点は、図5に示すように、成形型4の成形面4aに対して集合体G3を押圧しながらレーザLBを照射するところである。詳細には、成形型4と押圧型5とで集合体G3を上下両側から挟んで、押圧型5によって集合体G3を成形型4の成形面4aに押圧する。このとき、第1実施形態と同様に、成形型4を通して集合体G3にレーザLBを照射する。ここで、この実施形態では、図6に示すように、成形面4aには、第1実施形態と同様に微細パターンを構成する複数の溝部4bが形成されているが、第2実施形態と同様に凸状又は凹状の湾曲面が形成されていてもよい。   As shown in FIG. 5, the second difference is that the laser beam LB is irradiated while pressing the assembly G <b> 3 against the molding surface 4 a of the mold 4. Specifically, the assembly G3 is sandwiched between the upper and lower sides by the molding die 4 and the pressing die 5, and the assembly G3 is pressed against the molding surface 4a of the molding die 4 by the pressing die 5. At this time, similarly to the first embodiment, the assembly G3 is irradiated with the laser LB through the molding die 4. Here, in this embodiment, as shown in FIG. 6, the molding surface 4a is formed with a plurality of grooves 4b constituting a fine pattern as in the first embodiment, but as in the second embodiment. A convex or concave curved surface may be formed.

図6(a)に示すように、成形型4を通して集合体G3にレーザLBが照射されると、レーザLBの吸収によって集合体G3に加熱領域H3が生じ、加熱領域H3で集合体G3が軟化(又は溶融)する。そうすると、図6(b)に示すように、軟化した加熱領域H3が成形型4の成形面4aに倣って変形する。その結果、集合体G3に成形面4aの微細パターンが転写される。なお、加熱領域H3では、集合体G3を構成するガラス粉同士が融着され、例えば可視光の波長域において透明となる。   As shown in FIG. 6A, when the assembly G3 is irradiated with the laser LB through the molding die 4, a heating region H3 is generated in the assembly G3 by absorption of the laser LB, and the assembly G3 is softened in the heating region H3. (Or melt). Then, as shown in FIG. 6B, the softened heating region H3 deforms following the molding surface 4a of the molding die 4. As a result, the fine pattern of the molding surface 4a is transferred to the aggregate G3. In addition, in the heating area | region H3, the glass powder which comprises the aggregate G3 is fuse | melted, for example, it becomes transparent in the wavelength range of visible light.

なお、図6(b)に示すように、微細パターンを集合体G3に転写した後に、集合体G3にガラス粉末同士が融着していない未融着領域X3が残る場合には、未融着領域X3のガラス粉同士を融着させる処理を別途施してもよい。このような処理として、例えば、成形型4を透過可能な波長の異なるレーザを、成形型4を通して未融着領域X3に照射したり、押圧型5を透過可能なレーザを、押圧型5を通して未融着領域X3に照射したり、加熱炉などで未融着領域X3を有する集合体G3を焼結したりしてもよい。押圧型5側からもレーザを照射する場合、押圧型5の押圧面に微細パターンを構成する溝部を形成してもよい。この場合、成形面4aと押圧面によって、集合体G3の表裏両面に微細パターンが転写される。   As shown in FIG. 6B, after the fine pattern is transferred to the aggregate G3, when the unfused region X3 in which the glass powders are not fused to each other remains in the aggregate G3, unfused You may perform separately the process which fuse | melts the glass powder of the area | region X3. As such a process, for example, a laser having a different wavelength that can be transmitted through the mold 4 is irradiated to the unfused region X3 through the mold 4, or a laser that can transmit through the pressing mold 5 is not transmitted through the pressing mold 5. The fused region X3 may be irradiated, or the aggregate G3 having the unfused region X3 may be sintered in a heating furnace or the like. When irradiating laser from the pressing die 5 side, a groove part constituting a fine pattern may be formed on the pressing surface of the pressing die 5. In this case, the fine pattern is transferred to both the front and back surfaces of the aggregate G3 by the molding surface 4a and the pressing surface.

また、集合体G3の厚みが薄い場合は、レーザLBの照射のみで、集合体G3全体を融着し、未融着領域X3が残らないようにすることもできる。集合体G3の厚みは、1μm〜1000μmであることが好ましい。   Further, when the aggregate G3 is thin, the entire aggregate G3 can be fused only by the irradiation of the laser LB so that the unfused region X3 does not remain. The thickness of the aggregate G3 is preferably 1 μm to 1000 μm.

また、図5では、成形型4を下型、押圧型5を上型としているが、成形型4を上型、押圧型5を下型としてもよい。この場合、レーザLBは、上方側から成形型4を通して集合体G3に照射される。   In FIG. 5, the molding die 4 is a lower die and the pressing die 5 is an upper die. However, the molding die 4 may be an upper die and the pressing die 5 may be a lower die. In this case, the laser beam LB is irradiated to the assembly G3 through the mold 4 from above.

また、第1実施形態及び第2実施形態において、この実施形態のような押圧型を設け、成形型1,3の成形面1a,3aに対してガラス板G1,G2を押圧しながらレーザLBを照射するようにしてもよい。   Moreover, in 1st Embodiment and 2nd Embodiment, the press type | mold like this embodiment is provided and laser LB is pressed, pressing the glass plates G1 and G2 with respect to the molding surfaces 1a and 3a of the shaping | molding die 1 and 3. FIG. You may make it irradiate.

(第4実施形態)
本発明の第4実施形態に係るガラスの加工装置及びその加工方法が、第1実施形態と相違するところは、加工対象のガラスを連続供給しながら、ガラスに微細パターンを転写する点にある。
(Fourth embodiment)
The glass processing apparatus and the processing method according to the fourth embodiment of the present invention are different from the first embodiment in that a fine pattern is transferred to the glass while continuously supplying the glass to be processed.

図7に示すように、この実施形態に係るガラスの加工装置は、加工対象のガラスである板状のガラスリボンG4を連続的に供給する供給源6と、ガラスリボンG4の姿勢を縦姿勢から横姿勢に変換する変換ローラ7と、ガラスリボンG4を搬送する第一コンベア8及び第二コンベア9と、ガラスリボンG4を巻き取る巻取装置10とを備えている。なお、第二コンベア9は省略してもよい。   As shown in FIG. 7, the glass processing apparatus according to this embodiment includes a supply source 6 for continuously supplying a plate-shaped glass ribbon G4, which is a glass to be processed, and a posture of the glass ribbon G4 from a vertical posture. The conversion roller 7 which converts into a horizontal posture, the 1st conveyor 8 and the 2nd conveyor 9 which convey the glass ribbon G4, and the winding apparatus 10 which winds up the glass ribbon G4 are provided. The second conveyor 9 may be omitted.

供給源6は、ガラスリボンG4を連続的に供給するものであれば特に限定されるものではない。図示例では、供給源6として、成形装置11とガラスロール12とが例示されており、これらのいずれか一方からガラスリボンG4が供給される。ガラスリボンG4の厚みは、1μm〜1000μmであることが好ましい。   The supply source 6 is not particularly limited as long as it continuously supplies the glass ribbon G4. In the example of illustration, as the supply source 6, the shaping | molding apparatus 11 and the glass roll 12 are illustrated, and the glass ribbon G4 is supplied from either of these. The thickness of the glass ribbon G4 is preferably 1 μm to 1000 μm.

成形装置11は、オーバーフローダウンドロー法により溶融ガラスG4mからガラスリボンG4を成形する成形体13を備えている。成形体13に供給された溶融ガラスG4mは成形体13の頂部13aから溢れ出るようになっており、その溢れ出た溶融ガラスG4mが成形体13の断面楔状を呈する両側面13bを伝って下端で合流することで、ガラスリボンG4が連続的に成形されるようになっている。なお、図示は省略するが、ガラスリボンG4は成形体13の下方空間で徐冷(アニール処理)される。   The forming apparatus 11 includes a formed body 13 for forming the glass ribbon G4 from the molten glass G4m by the overflow downdraw method. The molten glass G4m supplied to the molded body 13 overflows from the top portion 13a of the molded body 13, and the overflowed molten glass G4m passes along both side surfaces 13b exhibiting a cross-sectional wedge shape of the molded body 13 at the lower end. By joining, the glass ribbon G4 is continuously formed. Although not shown, the glass ribbon G4 is gradually cooled (annealed) in the space below the molded body 13.

一方、ガラスロール12は、巻芯12aの周りにガラスリボンG4を巻き取ったものである。この実施形態では、ガラスロール12において、半径方向に対向するガラスリボンG4の相互間には樹脂などで形成された保護シート(図示省略)が配置されている。すなわち、ガラスロール12では、ガラスリボンG4と保護シートとを重ねた状態で、これらが一緒に巻芯12aの周りに巻き取られている。保護シートは、ガラスロール12からガラスリボンG4を巻き出す際に、ガラスリボンG4から分離される。   On the other hand, the glass roll 12 is obtained by winding a glass ribbon G4 around a core 12a. In this embodiment, in the glass roll 12, a protective sheet (not shown) formed of a resin or the like is disposed between the glass ribbons G4 opposed in the radial direction. That is, in the glass roll 12, these are wound around the core 12a together with the glass ribbon G4 and the protective sheet being stacked. The protective sheet is separated from the glass ribbon G4 when the glass ribbon G4 is unwound from the glass roll 12.

変換ローラ7は、成形装置11やガラスロール12などの供給源6から供給される縦姿勢のガラスリボンG4を滑らかに湾曲させて横姿勢に変換する。なお、変換ローラ7は省略してもよい。   The conversion roller 7 smoothly curves the vertical glass ribbon G4 supplied from the supply source 6 such as the molding device 11 or the glass roll 12 to convert it into a horizontal posture. The conversion roller 7 may be omitted.

ガラスリボンG4の下方側に設けられた第一コンベア8は、成形型として機能する第一搬送ベルト8aと、レーザ照射装置8bとを備えている。第一搬送ベルト8aは、レーザ照射装置8bから出射されたレーザLBが透過可能であり、かつ、その外表面には第1実施形態で説明したような微細パターンを構成する溝部(図示省略)が形成されている。レーザ照射装置8bから出射されたレーザLBは、第一搬送ベルト8aを通じて、第一搬送ベルト8a上に支持されたガラスリボンG4に照射される。   The first conveyor 8 provided on the lower side of the glass ribbon G4 includes a first conveyor belt 8a that functions as a mold and a laser irradiation device 8b. The first conveyor belt 8a can transmit the laser beam LB emitted from the laser irradiation device 8b, and the outer surface has a groove portion (not shown) that forms a fine pattern as described in the first embodiment. Is formed. The laser LB emitted from the laser irradiation device 8b is irradiated to the glass ribbon G4 supported on the first conveyance belt 8a through the first conveyance belt 8a.

一方、ガラスリボンG4の上方側に設けられた第二コンベア9は、押圧型として機能する第二搬送ベルト9aを備えている。第二搬送ベルト9aは、第一搬送ベルト8a上で支持されたガラスリボンG4を、上方から第一搬送ベルト8a側に押圧する。この状態で、搬送ベルト8a,9aは、ガラスリボンG4を下流側に送るために、それぞれがa方向及びb方向に同速度で送り駆動される。   On the other hand, the second conveyor 9 provided on the upper side of the glass ribbon G4 includes a second conveyor belt 9a that functions as a pressing die. The second conveyor belt 9a presses the glass ribbon G4 supported on the first conveyor belt 8a from above to the first conveyor belt 8a side. In this state, the conveyor belts 8a and 9a are each driven to feed at the same speed in the a direction and the b direction in order to send the glass ribbon G4 to the downstream side.

第一搬送ベルト8aと第二搬送ベルト9aでガラスリボンG4を下流側に搬送すると、ガラスリボンG4がレーザ照射装置8bの上を通過する。そのため、ガラスリボンG4に対して第一搬送ベルト8aを通してレーザLBが順次照射される。その結果、ガラスリボンG4の下面側の表層部(又は表層部及びその近傍部)に、レーザLBの照射による加熱領域が形成され、第一搬送ベルト8aの外表面に形成された微細パターンがガラスリボンG4の下面に転写される。   When the glass ribbon G4 is transported downstream by the first transport belt 8a and the second transport belt 9a, the glass ribbon G4 passes over the laser irradiation device 8b. Therefore, the laser LB is sequentially irradiated to the glass ribbon G4 through the first conveyance belt 8a. As a result, a heating region by laser LB irradiation is formed on the surface layer portion (or the surface layer portion and its vicinity) on the lower surface side of the glass ribbon G4, and the fine pattern formed on the outer surface of the first transport belt 8a is glass. Transferred to the lower surface of the ribbon G4.

巻取装置10は、微細パターンが転写されたガラスリボンG4を巻芯14aの周りに巻き取り、ガラスロール14を製造する。この実施形態では、ガラスリボンG4は、微細パターンが転写された転写面が内周面側を向くように巻芯14aの周りに巻き取られる。これにより、転写面に作用する引張応力を抑制している。また、この実施形態では、ガラスロール14において、半径方向に対向するガラスリボンG4の相互間には樹脂などで形成された保護シート(図示省略)が配置されている。保護シートは、コンベア8,9の下流側でガラスリボンG4に重ねられ、ガラスリボンG4と一緒に巻芯14aの周りに巻き取られる。   The winding device 10 winds the glass ribbon G4 to which the fine pattern has been transferred around the winding core 14a, and manufactures the glass roll 14. In this embodiment, the glass ribbon G4 is wound around the core 14a so that the transfer surface on which the fine pattern is transferred faces the inner peripheral surface. Thereby, the tensile stress which acts on the transfer surface is suppressed. In this embodiment, in the glass roll 14, a protective sheet (not shown) formed of a resin or the like is disposed between the glass ribbons G4 facing in the radial direction. The protective sheet is stacked on the glass ribbon G4 on the downstream side of the conveyors 8 and 9, and is wound around the core 14a together with the glass ribbon G4.

なお、供給源6としてガラスロール12を用いる場合に、ガラスロール12とガラスロール14を実質的に同一高さに配置した状態で、ガラスロール12から引き出されたガラスリボンG4を横方向に搬送し、そのままの姿勢でガラスロール14に至るようにしてもよい。   In addition, when using the glass roll 12 as the supply source 6, the glass ribbon G4 pulled out from the glass roll 12 is conveyed in the horizontal direction with the glass roll 12 and the glass roll 14 disposed at substantially the same height. Alternatively, the glass roll 14 may be reached in a posture as it is.

また、微細パターンが転写されたガラスリボンG4は、ロール状に巻き取る代わりに、所定長さ毎に切断してもよい。この場合、ガラスリボンG4からガラス板が順次製造される。   Further, the glass ribbon G4 to which the fine pattern has been transferred may be cut at predetermined lengths instead of being wound in a roll shape. In this case, glass plates are sequentially manufactured from the glass ribbon G4.

また、第一コンベア8の第一搬送ベルト8aを成形型、第二コンベア9の第二搬送ベルト9aを押圧型とする場合を説明したが、第一搬送ベルト8aを押圧型、第二搬送ベルト9aを成形型としてもよい。この場合、レーザLBは、上方側から第二搬送ベルト9aを通してガラスリボンG4に照射される。   Moreover, although the case where the 1st conveyance belt 8a of the 1st conveyor 8 was made into a shaping | molding die and the 2nd conveyance belt 9a of the 2nd conveyor 9 was made into a press type was demonstrated, the 1st conveyance belt 8a is a pressing type, and a 2nd conveyance belt. 9a may be a mold. In this case, the laser LB is applied to the glass ribbon G4 from the upper side through the second conveyance belt 9a.

また、第一搬送ベルト8aと第二搬送ベルト9aの両側からレーザLBを照射するようにしてもよい。この場合、第一搬送ベルト8aと第二搬送ベルト9aのそれぞれの外表面に微細パターンを構成する溝部を形成してもよい。   Further, the laser LB may be irradiated from both sides of the first conveyor belt 8a and the second conveyor belt 9a. In this case, you may form the groove part which comprises a fine pattern in each outer surface of the 1st conveying belt 8a and the 2nd conveying belt 9a.

また、ガラスリボンG4を横方向に搬送する領域に第一コンベア8及び第二コンベア9を設ける場合を説明したが、ガラスリボンG4を縦方向に搬送する領域に第一コンベア8及び第二コンベア9を設けてもよい。この場合、ガラスリボンG4を縦方向に搬送しながら、ガラスリボンG4に微細パターンが転写される。   Moreover, although the case where the 1st conveyor 8 and the 2nd conveyor 9 were provided in the area | region which conveys the glass ribbon G4 to a horizontal direction was demonstrated, the 1st conveyor 8 and the 2nd conveyor 9 were provided to the area | region which conveys the glass ribbon G4 to a vertical direction. May be provided. In this case, the fine pattern is transferred to the glass ribbon G4 while conveying the glass ribbon G4 in the vertical direction.

以上、本発明の実施形態に係るガラスの加工装置及びその製造方法について説明したが、本発明の実施の形態はこれに限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更を施すことが可能である。   As mentioned above, although the glass processing apparatus and its manufacturing method which concern on embodiment of this invention were demonstrated, embodiment of this invention is not limited to this, A various change can be given in the range which does not deviate from the summary of this invention. Is possible.

例えば、上記の実施形態では、成形型を用いてガラスに微細パターンの転写加工や湾曲面の成形加工(仕上げ加工)を行う場合を説明したが、本発明は、成形型を用いてガラスの曲げ加工を行う場合にも適用できる。   For example, in the above-described embodiment, the case where a fine pattern transfer process or a curved surface molding process (finishing process) is performed on glass using a molding die has been described. It can also be applied to processing.

1,3,4 成形型
1a,3a,4a 成形面
1b,4b 溝部
2,8b レーザ照射装置
5 押圧型
6 供給源
7 変換ローラ
8 第一コンベア
8a 第一搬送ベルト
9 第二コンベア
9a 第二搬送ベルト
10 巻取装置
11 成形装置
12 ガラスロール
12a 巻芯
13 成形体
14 ガラスロール
14a 巻芯
G1,G2 ガラス板
G3 集合体
G4 ガラスリボン
H1,H2,H3 加熱領域
LB レーザ
1, 3, 4 Mold 1a, 3a, 4a Molding surface 1b, 4b Groove 2, 8b Laser irradiation device 5 Pressing die 6 Supply source 7 Conversion roller 8 First conveyor 8a First conveyor belt 9 Second conveyor 9a Second conveyor Belt 10 Winding device 11 Molding device 12 Glass roll 12a Core 13 Molded body 14 Glass roll 14a Core G1, G2 Glass plate G3 Aggregate G4 Glass ribbon H1, H2, H3 Heating region LB Laser

Claims (11)

成形型に配置したガラスを加熱して、前記ガラスを前記成形型に設けた成形面に倣った形状に成形するガラスの加工方法であって、
前記成形型を透過し且つ前記ガラスで吸収されるレーザを、前記成形型を通して前記ガラスに照射することを特徴とするガラスの加工方法。
A glass processing method for heating glass placed in a mold and molding the glass into a shape following a molding surface provided in the mold,
A method for processing glass, comprising: irradiating the glass with a laser that passes through the mold and is absorbed by the glass.
前記成形面が微細パターンを構成する溝部を有し、前記レーザの照射によって、前記ガラスに前記微細パターンを転写することを特徴とする請求項1に記載のガラスの加工方法。   2. The glass processing method according to claim 1, wherein the molding surface has a groove portion constituting a fine pattern, and the fine pattern is transferred to the glass by the laser irradiation. 前記成形面が凹状又は凸状をなし、前記レーザの照射によって、前記ガラスに前記成形面に倣った湾曲面を形成することを特徴とする請求項1に記載のガラスの加工方法。   2. The glass processing method according to claim 1, wherein the molding surface is concave or convex, and a curved surface that follows the molding surface is formed on the glass by the laser irradiation. 3. 前記成形面に対して前記ガラスを押圧しながら、前記レーザを照射することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のガラスの加工方法。   The glass processing method according to claim 1, wherein the laser is irradiated while pressing the glass against the molding surface. 前記ガラスがガラス板であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のガラスの加工方法。   The said glass is a glass plate, The processing method of the glass of any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned. 前記ガラスがガラス粉末の集合体であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のガラスの加工方法。   The glass processing method according to claim 1, wherein the glass is an aggregate of glass powder. 前記レーザがCOレーザであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のガラスの加工方法。 The glass processing method according to claim 1, wherein the laser is a CO 2 laser. 前記成形型がセレン化亜鉛、硫化亜鉛、ガリウム砒素及びCVDダイヤモンドからなる群から選ばれた1つの材料で形成されていることを特徴とする請求項7に記載のガラスの加工方法。   8. The glass processing method according to claim 7, wherein the mold is made of one material selected from the group consisting of zinc selenide, zinc sulfide, gallium arsenide, and CVD diamond. 前記レーザが中赤外線レーザまたは近赤外線レーザであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のガラスの加工方法。   The glass processing method according to claim 1, wherein the laser is a mid-infrared laser or a near-infrared laser. 前記成形型がシリコン、ゲルマニウム、サファイア、セレン化亜鉛、硫化亜鉛、ガリウム砒素、CVDダイヤモンド及びIRグレード石英ガラスからなる群から選ばれた1つの材料、若しくは、中赤外及び/または近赤外を透過する透明セラミックスで形成されていることを特徴とする請求項9に記載のガラスの加工方法。   The mold is made of one material selected from the group consisting of silicon, germanium, sapphire, zinc selenide, zinc sulfide, gallium arsenide, CVD diamond and IR grade quartz glass, or mid-infrared and / or near-infrared. The glass processing method according to claim 9, wherein the glass processing method is made of transparent ceramics that transmit the glass. ガラスが配置される成形型と、前記ガラスを加熱する加熱装置とを備え、前記ガラスを前記成形型に設けた成形面に倣った形状に成形するガラスの加工装置であって、
前記加熱装置が、前記成形型を透過し且つ前記ガラスで吸収されるレーザを、前記成形型を通して前記ガラスに照射するレーザ照射装置であることを特徴とするガラスの加工装置。
A glass processing apparatus comprising a forming die in which glass is disposed and a heating device for heating the glass, and forming the glass into a shape following a forming surface provided in the forming die,
The glass processing apparatus, wherein the heating apparatus is a laser irradiation apparatus that irradiates the glass with a laser that passes through the mold and is absorbed by the glass.
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003001646A (en) * 2001-06-25 2003-01-08 Matsushita Electric Works Ltd Method for transferring minutely processed surface and optical part
JP2003307602A (en) * 2002-04-18 2003-10-31 Nippon Sheet Glass Co Ltd Planar lens and method for manufacturing planar lens array
JP2006347125A (en) * 2005-06-20 2006-12-28 Fujifilm Holdings Corp Method for molding optical member, and apparatus for molding optical member
JP2007210025A (en) * 2006-02-13 2007-08-23 Sumitomo Heavy Ind Ltd Laser processing machine
JP2008193035A (en) * 2007-02-08 2008-08-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Fine shape transferring method and fine shape transfer device
WO2008143189A1 (en) * 2007-05-18 2008-11-27 Asahi Glass Company, Limited Glass microparticle assembly, and method for production thereof

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003001646A (en) * 2001-06-25 2003-01-08 Matsushita Electric Works Ltd Method for transferring minutely processed surface and optical part
JP2003307602A (en) * 2002-04-18 2003-10-31 Nippon Sheet Glass Co Ltd Planar lens and method for manufacturing planar lens array
JP2006347125A (en) * 2005-06-20 2006-12-28 Fujifilm Holdings Corp Method for molding optical member, and apparatus for molding optical member
JP2007210025A (en) * 2006-02-13 2007-08-23 Sumitomo Heavy Ind Ltd Laser processing machine
JP2008193035A (en) * 2007-02-08 2008-08-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Fine shape transferring method and fine shape transfer device
WO2008143189A1 (en) * 2007-05-18 2008-11-27 Asahi Glass Company, Limited Glass microparticle assembly, and method for production thereof

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