JP2017227240A - Foil bearing - Google Patents

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真人 吉野
藤原 宏樹
Hiroki Fujiwara
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a foil bearing capable of arbitrarily changing rigidity of a bearing surface of a foil at each bearing surface.SOLUTION: A foil bearing 10 includes a top foil part Tf including a bearing surface X opposite to a shaft 6 to be supported, and a back foil part Bf elastically supporting the top foil part Tf at the back of the top foil part Tf; and is configured to support the shaft 6 that relatively rotates in a non-contact manner, with a fluid film generated in a bearing gap C between the shaft 6 and the bearing surface X. The back foil part Bf comprises a net-like body 20 in which a plurality of warp materials 21 and weft materials 22 intersect with each other and are regularly arranged and formed.SELECTED DRAWING: Figure 9

Description

本発明は、フォイル軸受に関する。   The present invention relates to a foil bearing.

ホワールが生じ難く、かつ温度変化の大きい環境下でも軸受隙間の隙間幅管理を容易にできる軸受としてフォイル軸受が知られている。フォイル軸受は、曲げに対して剛性の低い可撓性を有する金属薄板(フォイル)で軸受面を構成し、この軸受面のたわみを許容することで荷重を支持するものであり、軸受隙間が運転条件等に応じた適切な幅に自動調整されるという特徴を有する。例えば下記の特許文献1に、ラジアル荷重を支持するラジアルフォイル軸受の一例として、バンプ型と呼ばれるフォイル軸受が開示されている。   A foil bearing is known as a bearing that can easily manage the gap width of a bearing gap even in an environment in which a whirl is not easily generated and a temperature change is large. A foil bearing consists of a thin metal plate (foil) that has low rigidity against bending and supports the load by allowing the bearing surface to bend. It is characterized by being automatically adjusted to an appropriate width according to conditions and the like. For example, Patent Document 1 below discloses a foil bearing called a bump type as an example of a radial foil bearing that supports a radial load.

特開2013−87789号公報JP2013-87789A

特許文献1に記載のフォイル軸受は、円筒状のトップフォイルと、トップフォイルを弾性的に支持するバックフォイル(バンプフォイル)と、トップフォイルおよびバックフォイルが取り付けられた軸受ホルダとを有する。このバンプ型フォイル軸受では、トップフォイルが荷重を受けた際にバックフォイルが弾性変形するため、トップフォイルの撓みが許容されるようになっている。   The foil bearing described in Patent Document 1 includes a cylindrical top foil, a back foil (bump foil) that elastically supports the top foil, and a bearing holder to which the top foil and the back foil are attached. In this bump type foil bearing, since the back foil is elastically deformed when the top foil receives a load, the top foil is allowed to bend.

ところで、バンプ型フォイル軸受のバックフォイルは、図23に示すように軸方向(矢印方向)に延びる凸部200を周方向に配置した波板状の形態を有する。この様な一枚の板材により形成されたバックフォイルは、その弾性変形時には各凸部200を押し広げるように変形することになるが、その際の変形抵抗が大きく、バックフォイルが全体的に高剛性となる。このため、トップフォイルの柔軟性が不足する傾向にある。トップフォイルの柔軟性が不足すると、軸受隙間の自動調整機能が損なわれ、軸とトップフォイルが接触し易くなる等の不具合を招く。   Incidentally, the back foil of the bump type foil bearing has a corrugated form in which convex portions 200 extending in the axial direction (arrow direction) are arranged in the circumferential direction as shown in FIG. The back foil formed of such a single plate material is deformed so as to push and spread each convex portion 200 at the time of elastic deformation, but the deformation resistance at that time is large, and the back foil is generally high. It becomes rigid. For this reason, the flexibility of the top foil tends to be insufficient. When the flexibility of the top foil is insufficient, the function of automatically adjusting the bearing gap is impaired, and problems such as easy contact between the shaft and the top foil are caused.

そこで、本発明は、トップフォイル部の柔軟性を高めたフォイル軸受を提供することを目的とする。   Then, an object of this invention is to provide the foil bearing which improved the softness | flexibility of the top foil part.

上記の課題を解決するため、本発明は、支持すべき軸と対向する軸受面を備えたトップフォイル部と、前記トップフォイル部の背後でトップフォイル部を弾性的に支持するバックフォイル部とを備え、軸と軸受面との間の軸受隙間に生じる流体膜で、相対回転する軸を非接触に支持するフォイル軸受において、前記バックフォイル部が、複数の線材を交差させ、かつ規則的に配置されて形成された網状体からなることを特徴とするものである。   In order to solve the above problems, the present invention includes a top foil portion having a bearing surface facing a shaft to be supported, and a back foil portion that elastically supports the top foil portion behind the top foil portion. In a foil bearing that supports a relatively rotating shaft in a non-contact manner with a fluid film generated in a bearing gap between the shaft and the bearing surface, the back foil portion intersects a plurality of wires and is regularly arranged It consists of the net-like body formed by being formed.

かかる構成では、軸受運転中の軸受隙間で生じる流体圧力により、バックフォイル部にトップフォイル部を介して流体圧力の作用方向(ラジアル軸受では半径方向、スラスト軸受では軸方向)の圧縮力が作用する。そして、この流体圧力に対して、線材を交差させた網状体によってバックフォイル部を構成することにより、バックフォイル内の各部で剛性差を生じさせることができる。   In such a configuration, due to the fluid pressure generated in the bearing gap during the operation of the bearing, a compressive force acts in the action direction of the fluid pressure (radial direction in the radial bearing, axial direction in the thrust bearing) via the top foil portion. . And with respect to this fluid pressure, a rigidity difference can be produced in each part in a back foil by comprising a back foil part with the net-like body which made the wire cross | intersect.

具体的には、線材と線材が交差する部分ではバックフォイル部が高剛性となり、この高剛性部の周囲(各線材の交差部分に隣接する部分)でバックフォイル部が低剛性となる。バックフォイル部が流体圧力を受けると、この低剛性部が弾性変形することにより、流体圧力によって生じる圧縮力を吸収することができる。   Specifically, the back foil portion has a high rigidity at a portion where the wire and the wire intersect, and the back foil portion has a low rigidity around the high rigidity portion (a portion adjacent to the crossing portion of each wire). When the back foil portion receives fluid pressure, the low rigidity portion elastically deforms, so that the compressive force generated by the fluid pressure can be absorbed.

高剛性部は、低剛性部の弾性変形により、低剛性部が設けられた各方向へ相対移動することができる。高剛性部の周囲に低剛性部を設けることで、高剛性部の各方向への相対移動を許容することができるため、バックフォイル部の柔軟性を高めることができる。   The high-rigidity part can move relative to each direction in which the low-rigidity part is provided by elastic deformation of the low-rigidity part. By providing the low-rigidity portion around the high-rigidity portion, the relative movement of the high-rigidity portion in each direction can be allowed, so that the flexibility of the back foil portion can be increased.

さらに、かかる構成では、バックフォイル部の任意の位置で線材同士を交差させて剛性差を生じさせることができ、高剛性部とその周辺に形成される低剛性部との組み合わせを、バックフォイル部全体にわたって分散して配置することができる。このため、バックフォイル部が各部で受ける流体圧力に応じて弾性変形することができ、軸受面全体にバネ性を持たせることができる。   Further, in such a configuration, it is possible to cause a difference in rigidity by crossing wires at an arbitrary position of the back foil part, and a combination of the high rigidity part and the low rigidity part formed in the periphery thereof is combined with the back foil part. It can be distributed throughout. For this reason, the back foil portion can be elastically deformed in accordance with the fluid pressure received by each portion, and the entire bearing surface can be provided with a spring property.

網状体は、直交二方向にそれぞれ複数配置された経材と緯材を、互いに交差させて形成することができる。これにより、経材と緯材の低剛性部分の弾性変形により圧縮力を吸収することができると共に、経材と緯材が互いに摺接して、軸からの振動を吸収することができる。   The mesh body can be formed by crossing a plurality of warps and wefts arranged in two orthogonal directions. Thereby, the compressive force can be absorbed by elastic deformation of the low rigidity portion of the warp material and the weft material, and the warp material and the weft material can be in sliding contact with each other to absorb the vibration from the shaft.

網状体は、配置される線材の密度を部分的に変化させたり、異なる材質や異なる太さの線材により形成することができる。これにより、バックフォイル部の剛性等の軸受特性を部分的に変化させることができ、フォイル軸受全体としての軸の支持剛性を容易に調整することができる。   The net-like body can be formed by partially changing the density of the arranged wires or by using different materials or different thicknesses. Thereby, bearing characteristics, such as the rigidity of a back foil part, can be changed partially, and the support rigidity of the axis | shaft as the whole foil bearing can be adjusted easily.

バックフォイル部は、複数の網状体を積層して形成することができる。これにより、積層された網状体同士の間で摺動を許容することができ、軸の振動をより吸収しやすくなる。また、個々の網状体の構成を変更することにより、バックフォイル部全体としての剛性やバネ性の調整が容易になる。   The back foil portion can be formed by laminating a plurality of nets. Thereby, sliding between the laminated nets can be allowed, and the vibration of the shaft can be more easily absorbed. In addition, by changing the configuration of each mesh member, it is easy to adjust the rigidity and springiness of the entire back foil portion.

バックフォイル部は、軸受面の側に突出した凸部を有し、この凸部が、軸の回転方向に対して千鳥状に配列されることが好ましい。凸部の位置においては、バックフォイル部が高剛性となって変形しにくくなり、軸との間に形成される流体膜が高圧になって流体が軸の回転方向に逃げ難くなる。このため、この凸部を軸の回転方向に対して千鳥状に配置することで、軸受隙間を流れる流体が、この凸部を避ける様に多方向に分岐しながら流れていき、その流れが複雑化する。これにより、軸受隙間において流体が逃げにくくなり、一定の空気膜を維持することができる。   It is preferable that the back foil portion has a convex portion protruding toward the bearing surface, and the convex portions are arranged in a staggered manner with respect to the rotation direction of the shaft. At the position of the convex portion, the back foil portion is highly rigid and difficult to deform, and the fluid film formed between the shaft and the shaft becomes high pressure, and the fluid is difficult to escape in the rotational direction of the shaft. For this reason, by arranging the convex portions in a staggered manner with respect to the rotational direction of the shaft, the fluid flowing through the bearing gap flows while branching in multiple directions so as to avoid the convex portions, and the flow is complicated. Turn into. Thereby, it becomes difficult for the fluid to escape in the bearing gap, and a constant air film can be maintained.

本発明によれば、軸受面全体に柔軟性を持たせることができる。これにより、軸受隙間の自動調整機能が良好に発揮されるため、軸とトップフォイル部の接触を確実に防止することが可能になる。   According to the present invention, flexibility can be imparted to the entire bearing surface. Thereby, since the automatic adjustment function of the bearing gap is satisfactorily exhibited, it is possible to reliably prevent contact between the shaft and the top foil portion.

マイクロガスタービンの構成を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally the structure of a micro gas turbine. マイクロガスタービンのロータ支持構造の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the rotor support structure of a micro gas turbine. 本発明にかかるフォイル軸受の断面図である。It is sectional drawing of the foil bearing concerning this invention. フォイルの平面図である。It is a top view of foil. 連結した二枚のフォイルを裏面側から見た平面図である。It is the top view which looked at two foils connected from the back side. 三枚のフォイルを仮組みした状態を示す斜視図である。It is a perspective view showing the state where three foils were temporarily assembled. フォイルの仮組体をフォイルホルダに取り付ける様子を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a mode that the temporary assembly of foil is attached to a foil holder. フォイル軸受のフォイル重複部を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows the foil overlap part of a foil bearing. 網状体によって形成されるバックフォイル部の斜視図である。It is a perspective view of the back foil part formed of a net-like body. 網状体の平面図である。It is a top view of a net-like body. 本発明のフォイルの平面図である。It is a top view of the foil of the present invention. 網状体の断面図で、(a)図は図9中のA1−A1線断面図、(b)図は図9中のA2−A2線断面図である。It is sectional drawing of a mesh-like body, (a) A figure is the A1-A1 sectional view taken on the line in FIG. 9, (b) The figure is A2-A2 sectional view taken on the line in FIG. 網状体における高剛性部と低剛性部の配置を示す概略図である。It is the schematic which shows arrangement | positioning of the highly rigid part and low rigid part in a net-like body. バックフォイル部の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the modification of a back foil part. バックフォイル部の変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the modification of a back foil part. バックフォイル部の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the modification of a back foil part. バックフォイル部の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the modification of a back foil part. 軸受隙間における空気の流れを示す模式図で、(a)図は本発明のフォイル軸受、(b)図は従来の板状のバックフォイルを用いたフォイル軸受を示す図である。It is a schematic diagram which shows the flow of the air in a bearing clearance, (a) A figure is a foil bearing of this invention, (b) A figure is a figure which shows the foil bearing using the conventional plate-shaped back foil. リーフ型のラジアルフォイル軸受を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a leaf type radial foil bearing. バンプ型のラジアルフォイル軸受を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a bump type radial foil bearing. リーフ型のスラストフォイル軸受を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a leaf type thrust foil bearing. 図21中のA2−A2線断面図である。FIG. 22 is a cross-sectional view taken along line A2-A2 in FIG. バンプ型フォイル軸受のバックフォイルを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the back foil of a bump type foil bearing.

図1に、ターボ機械の一例として、マイクロガスタービンと称されるガスタービン装置の構成を概念的に示す。このガスタービン装置は、主要な構成として、翼列を形成したタービン1と、圧縮機2と、発電機3と、燃焼器4と、再生器5とを備える。タービン1および圧縮機2は、水平方向に延びる軸6に取り付けられて軸6と共に回転側のロータを構成する。軸6の軸方向一端は発電機3に連結されている。このマイクロガスタービンが運転されると、吸気口7から空気が吸入され、吸入された空気は、圧縮機2で圧縮されると共に再生器5で加熱された上で燃焼器4に送り込まれる。燃焼器4は、圧縮・加熱された空気に燃料を混合してこれを燃焼させることにより高温・高圧のガスを発生させ、このガスによりタービン1を回転させる。タービン1が回転すると、その回転力が軸6を介して発電機3に伝達され、発電機3が回転駆動される。発電機3が回転駆動することにより生じた電力は、インバータ8を介して出力される。タービン1を回転させた後のガスは比較的高温であるため、このガスを再生器5に送り込んで燃焼前の圧縮空気との間で熱交換を行うことで、燃焼後のガスの熱を再利用する。再生器5で熱交換を終えたガスは、排熱回収装置9を通ってから排ガスとして排出される。   FIG. 1 conceptually shows a configuration of a gas turbine device called a micro gas turbine as an example of a turbo machine. The gas turbine apparatus includes a turbine 1 having a blade row, a compressor 2, a generator 3, a combustor 4, and a regenerator 5 as main components. The turbine 1 and the compressor 2 are attached to a shaft 6 extending in the horizontal direction and constitute a rotor on the rotating side together with the shaft 6. One axial end of the shaft 6 is connected to the generator 3. When this micro gas turbine is operated, air is sucked from the air inlet 7, and the sucked air is compressed by the compressor 2 and heated by the regenerator 5 and then sent to the combustor 4. The combustor 4 mixes fuel with compressed and heated air and burns the fuel to generate high-temperature and high-pressure gas, and the turbine 1 is rotated by the gas. When the turbine 1 rotates, the rotational force is transmitted to the generator 3 via the shaft 6, and the generator 3 is rotationally driven. The electric power generated by rotating the generator 3 is output via the inverter 8. Since the gas after rotating the turbine 1 is at a relatively high temperature, the heat of the gas after combustion is regenerated by sending this gas to the regenerator 5 and exchanging heat with the compressed air before combustion. Use. The gas that has been subjected to heat exchange in the regenerator 5 is discharged as exhaust gas after passing through the exhaust heat recovery device 9.

図2に、図1に示したマイクロガスタービンにおけるロータの支持構造の一例を概念的に示す。この支持構造では、軸6の周囲にラジアル軸受10が配置され、軸6に設けたフランジ部6bの軸方向両側にそれぞれスラスト軸受30が配置される。これらラジアル軸受10およびスラスト軸受30により、軸6がラジアル方向およびスラスト両方向に回転自在に支持される。この支持構造において、タービン1と圧縮機2の間の領域は、高温・高圧のガスで回転されるタービン1に隣接している関係上高温雰囲気となる。加えて、軸6は、数万rpm以上の回転速度で回転する。そのため、この支持構造で使用する軸受10,30としては、空気動圧軸受、特にフォイル軸受が適合する。   FIG. 2 conceptually shows an example of a rotor support structure in the micro gas turbine shown in FIG. In this support structure, the radial bearing 10 is disposed around the shaft 6, and the thrust bearings 30 are disposed on both sides in the axial direction of the flange portion 6 b provided on the shaft 6. The shaft 6 is supported by the radial bearing 10 and the thrust bearing 30 so as to be rotatable in both the radial direction and the thrust direction. In this support structure, the region between the turbine 1 and the compressor 2 becomes a high temperature atmosphere because it is adjacent to the turbine 1 rotated by high temperature and high pressure gas. In addition, the shaft 6 rotates at a rotational speed of tens of thousands rpm or more. Therefore, as the bearings 10 and 30 used in this support structure, an air dynamic pressure bearing, particularly a foil bearing is suitable.

上記のマイクロガスタービン用のラジアル軸受10に適合するフォイル軸受の一例として、多円弧型と呼ばれるものが使用される。以下、この多円弧型フォイル軸受の基本的構成を図3〜図8に基づいて説明する。   As an example of the foil bearing suitable for the radial bearing 10 for the micro gas turbine, a so-called multi-arc type is used. Hereinafter, a basic configuration of the multi-arc foil bearing will be described with reference to FIGS.

[多円弧型フォイル軸受の基本的構成]
図3に示すように、多円弧型のラジアルフォイル軸受10は、円筒面状の内周面11aを有するフォイルホルダ11と、フォイルホルダ11の内周面11a上で、軸6の回転方向の複数箇所に配置されたフォイル12とを有する。図示例のフォイル軸受10は、内周面11aの三カ所にフォイル12を配置した場合を例示している。各フォイル12の内径側に軸6が挿入されている。
[Basic configuration of multi-arc foil bearing]
As shown in FIG. 3, the multi-arc radial foil bearing 10 includes a foil holder 11 having a cylindrical inner peripheral surface 11 a, and a plurality of rotational directions of the shaft 6 on the inner peripheral surface 11 a of the foil holder 11. And a foil 12 disposed at a location. The foil bearing 10 of the example of illustration has illustrated the case where the foil 12 is arrange | positioned in three places of the internal peripheral surface 11a. A shaft 6 is inserted on the inner diameter side of each foil 12.

フォイルホルダ11は、例えば焼結金属や溶製材等の金属(例えば鋼材)で形成することができる。フォイルホルダ11の内周面11aのうち、回転方向Rに離隔した複数箇所(フォイル数と同数)には、各フォイル12の取り付け部となる軸方向溝11bが形成されている。   The foil holder 11 can be formed of metal (for example, steel material) such as sintered metal or melted material. On the inner peripheral surface 11 a of the foil holder 11, axial grooves 11 b serving as attachment portions of the foils 12 are formed at a plurality of locations (the same number as the number of foils) separated in the rotation direction R.

各フォイル12を構成するフォイル材は、バネ性に富み、かつ加工性のよい金属、例えば鋼材料や銅合金からなる厚さ20μm〜200μm程度の帯状フォイルを、プレス加工等により所定形状に加工することで形成される。鋼材料や銅合金の代表例として、炭素鋼や黄銅を挙げることができるが、一般的な炭素鋼では、雰囲気に潤滑油が存在せず油による防錆効果が期待できないため、錆による腐食が発生し易くなる。また、黄銅では加工ひずみによる置き割れを生じることがある(黄銅中のZnの含有量が多いほどこの傾向が強まる)。そのため、帯状フォイルとしては、ステンレス鋼もしくは青銅製のものを使用するのが好ましい。   The foil material constituting each foil 12 is processed into a predetermined shape by press working or the like, which is made of a metal having a high spring property and good workability, for example, a steel foil or a copper alloy having a thickness of about 20 μm to 200 μm. Is formed. Typical examples of steel materials and copper alloys include carbon steel and brass. However, in general carbon steel, there is no lubricating oil in the atmosphere and the antirust effect by oil cannot be expected. It tends to occur. Further, brass may cause cracks due to processing strain (this tendency becomes stronger as the Zn content in brass increases). Therefore, it is preferable to use a stainless steel or bronze foil as the belt-like foil.

図4に示すように、フォイル12は、軸6の回転方向R側の第一領域12aと、反回転方向側の第二領域12bとを有する。   As shown in FIG. 4, the foil 12 has a first region 12 a on the rotation direction R side of the shaft 6 and a second region 12 b on the counter rotation direction side.

第一領域12aは、軸受面Xを形成するトップフォイル部Tfと、トップフォイル部Tfの表面に沿い、かつ回転方向Rと直交する方向N(以下、単に「直交方向N」と呼ぶ)の複数箇所に設けられ、かつ、それぞれ回転方向R側に突出する方向に延びた凸部12a2とを有する。本実施形態では、前記直交方向の三カ所に凸部12a2を形成した場合を例示している。各凸部12a2の基端部には、フォイル縁部から反回転方向に延びる微小な切り込み12a3が設けられている。   The first region 12a includes a top foil portion Tf that forms the bearing surface X, and a plurality of directions N (hereinafter simply referred to as “orthogonal directions N”) that are along the surface of the top foil portion Tf and orthogonal to the rotation direction R. And a convex portion 12a2 extending in a direction protruding to the rotation direction R side. In this embodiment, the case where the convex part 12a2 is formed in the three places of the said orthogonal direction is illustrated. A minute notch 12a3 extending in the counter-rotating direction from the foil edge is provided at the base end of each convex portion 12a2.

第二領域12bの後端12d(反回転方向側の端部)には、前記直交方向Nに離隔して、回転方向Rに向けて凹んだ二つの切り欠き部12b2が形成される。各切り欠き部12b2の前記直交方向Nにおける幅寸法は、回転方向Rに向けて徐々に縮小している。本実施形態では、切り欠き部12b2全体を円弧状に形成した場合を例示しているが、各切り欠き部12b2は、頂部を尖端状とした略V字状に形成することもできる。各切り欠き部12b2の前記直交方向Nの両側には、それぞれ反回転方向に突出する突出部12b1が形成されている。   At the rear end 12d (end on the counter-rotation direction side) of the second region 12b, two notches 12b2 that are spaced apart in the orthogonal direction N and are recessed toward the rotation direction R are formed. The width dimension in the orthogonal direction N of each notch 12b2 is gradually reduced toward the rotation direction R. In the present embodiment, the case where the entire cutout portion 12b2 is formed in an arc shape is illustrated, but each cutout portion 12b2 can also be formed in a substantially V shape with the top portion being pointed. Protruding portions 12b1 that protrude in the counter-rotating direction are formed on both sides of each cutout portion 12b2 in the orthogonal direction N.

第一領域12aと第二領域12bの境界部で、かつ前記直交方向Nの複数箇所(凸部12a2と同数)には、隣接するフォイル12の凸部12a2が差し込まれる、スリット状の差込口12c1が設けられる。このうち、両端の差込口12c1は、前記直交方向Nに直線状に延びて、フォイル12の両端部にそれぞれ開口している。中央の差込口12c1は、前記直交方向Nに沿って延びる直線状の切り欠き部分と、該切り欠き部分から反回転方向側に延び、その先端を円弧状とした幅広の切り欠き部分とからなる。   A slit-like insertion port into which the convex portions 12a2 of the adjacent foils 12 are inserted at a boundary portion between the first region 12a and the second region 12b and at a plurality of locations in the orthogonal direction N (the same number as the convex portions 12a2). 12c1 is provided. Among these, the insertion ports 12 c 1 at both ends extend linearly in the orthogonal direction N and open at both ends of the foil 12. The central insertion port 12c1 includes a linear cutout portion extending along the orthogonal direction N, and a wide cutout portion extending from the cutout portion in the counter-rotating direction and having a circular arc at the tip. Become.

図5に示すように、一方のフォイル12の各凸部12a2を、隣接するフォイル12の差込口12c1にそれぞれ差し込むことにより、2枚のフォイル12を連結する事ができる。同図中では、組み合わせ後の二つのフォイル12のうち、一方のフォイル12にグレーの色を付している。   As shown in FIG. 5, the two foils 12 can be connected by inserting each convex portion 12 a 2 of one foil 12 into the insertion port 12 c 1 of the adjacent foil 12. In the figure, one of the two foils 12 after the combination is given a gray color.

そして、図6に示すように、3枚のフォイル12を図5と同様の結合手法により周状に連結する事で、各フォイル12を仮組みの状態にする事ができる。この仮組体を、図7に示すように、筒状にしてフォイルホルダ11の内周に矢印B2の方向へ挿入する事で、フォイル軸受10が組み立てられる。具体的には、3枚のフォイル12の仮組体をフォイルホルダ11の内周に挿入しながら、各フォイル12の凸部12a2を、フォイルホルダ11の一方の端面に開口した軸方向溝11b(図7参照)に軸方向一方側から差し込む。以上により、3枚のフォイル12が、フォイルホルダ11の内周面11aに回転方向Rに並べた状態で取り付けられる。   And as shown in FIG. 6, each foil 12 can be made into the state of a temporary assembly by connecting the three foils 12 in the circumferential shape with the joint method similar to FIG. The foil bearing 10 is assembled by making this temporary assembly into a cylindrical shape and inserting it into the inner periphery of the foil holder 11 in the direction of arrow B2, as shown in FIG. Specifically, while inserting the temporary assembly of the three foils 12 into the inner periphery of the foil holder 11, the convex portion 12 a 2 of each foil 12 is opened in the axial groove 11 b (opened on one end face of the foil holder 11. (See FIG. 7) from one side in the axial direction. As described above, the three foils 12 are attached to the inner peripheral surface 11a of the foil holder 11 in a state of being arranged in the rotation direction R.

図8に示すように、各フォイル12をフォイルホルダ11に取り付けた状態では、隣接する二つのフォイル12同士が交差した状態となる。この交差部分よりも回転方向R側では、一方のフォイル12の凸部12a2が、他方のフォイル12の差込口12c1を介して他方のフォイル12の背後に回り込み、フォイルホルダ11の軸方向溝11bに挿入されている。また、他方のフォイル12のトップフォイル部Tfが軸受面Xを構成している。交差部分よりも反回転方向側では、一方のフォイル12のトップフォイル部Tfが軸受面Xを構成し、他方のフォイルの第二領域12bが一方のフォイル12の背後に回り込んでバックフォイル部Bfを構成する。このバックフォイル部Bfの反回転方向側の端部は自由端であり、当該端部の位置は、バックフォイル部Bfの弾性変形に応じて周方向(回転方向および反回転方向)に変動する。バックフォイル部Bfの回転方向R側の端部は、前記交差部分で他のフォイル12(前記一方のフォイル)と周方向で係合した状態にある。   As shown in FIG. 8, when the foils 12 are attached to the foil holder 11, the two adjacent foils 12 cross each other. On the rotation direction R side with respect to the intersecting portion, the convex portion 12a2 of one foil 12 wraps behind the other foil 12 through the insertion port 12c1 of the other foil 12, and the axial groove 11b of the foil holder 11 Has been inserted. The top foil portion Tf of the other foil 12 constitutes the bearing surface X. On the counter-rotation direction side of the intersecting portion, the top foil portion Tf of one foil 12 constitutes the bearing surface X, and the second region 12b of the other foil wraps behind the one foil 12 and backfoil portion Bf. Configure. The end of the back foil portion Bf on the side opposite to the rotation direction is a free end, and the position of the end varies in the circumferential direction (rotation direction and counter rotation direction) according to the elastic deformation of the back foil portion Bf. The end of the back foil portion Bf on the rotation direction R side is in a state of being engaged with another foil 12 (the one foil) in the circumferential direction at the intersection.

トップフォイル部Tfとバックフォイル部Bfが重なり合った部分で、フォイル同士が重複したフォイル重複部Wが構成される。このフォイル重複部Wは、回転方向Rの複数箇所(フォイル12と同数であり、本実施形態では三カ所)に形成される。   A foil overlap portion W in which the foils overlap each other is formed at the portion where the top foil portion Tf and the back foil portion Bf overlap. The foil overlapped portion W is formed at a plurality of locations in the rotation direction R (the same number as the foil 12 and three locations in the present embodiment).

このフォイル軸受10では、各フォイル12の回転方向R側の一端(凸部12a2)がフォイルホルダ11に取り付けられると共に、反回転方向側の領域が他のフォイル12と周方向で係合した状態にある。これにより、隣接するフォイル12同士が周方向で互いに突っ張り合った状態となるため、各フォイル12のトップフォイル部Tfがフォイルホルダ11側に張り出し、フォイルホルダ11の内周面11aに沿った形状に湾曲する。各フォイル12の回転方向R側への移動は、各フォイル12の凸部12a2が軸方向溝11bに突き当たるために規制されるが、各フォイル12の反回転方向側への移動は規制されず、各フォイル12は、バックフォイル部Bfの自由端も含めて反回転方向に移動可能である。   In this foil bearing 10, one end (convex portion 12 a 2) on the rotation direction R side of each foil 12 is attached to the foil holder 11, and the region on the counter-rotation direction side is engaged with another foil 12 in the circumferential direction. is there. As a result, the adjacent foils 12 are in a state of sticking to each other in the circumferential direction, so that the top foil portion Tf of each foil 12 projects to the foil holder 11 side, and has a shape along the inner peripheral surface 11a of the foil holder 11. Bend. The movement of each foil 12 in the rotation direction R side is restricted because the convex portion 12a2 of each foil 12 hits the axial groove 11b, but the movement of each foil 12 in the counter rotation direction side is not restricted, Each foil 12 is movable in the counter-rotating direction including the free end of the back foil portion Bf.

図8に示すように、軸方向溝11bがフォイルホルダ11の内周面の接線方向に対して角度θ1だけ僅かに傾斜して設けられるため、軸方向溝11に挿入された凸部12a2の近傍では、トップフォイル部Tfがフォイル12全体の湾曲方向(フォイルホルダ11の内周面11aの湾曲方向)と逆方向に湾曲しようとする。また、トップフォイル部Tfは、バックフォイル部Bfに乗り上げることで、フォイルホルダ11の内周面11aから離反する方向に傾斜した状態で立ち上がる。従って、トップフォイル部Tfの軸受面Xと軸6の外周面の間に楔空間が形成される。また、トップフォイル部Tfは弾性変形可能なバックフォイル部Bfに弾性的に支持された状態となる。   As shown in FIG. 8, since the axial groove 11b is provided with a slight inclination by an angle θ1 with respect to the tangential direction of the inner peripheral surface of the foil holder 11, the vicinity of the convex portion 12a2 inserted into the axial groove 11 Then, the top foil portion Tf tends to bend in the direction opposite to the bending direction of the entire foil 12 (the bending direction of the inner peripheral surface 11a of the foil holder 11). Moreover, the top foil part Tf rises in the state inclined in the direction away from the inner peripheral surface 11a of the foil holder 11 by riding on the back foil part Bf. Therefore, a wedge space is formed between the bearing surface X of the top foil portion Tf and the outer peripheral surface of the shaft 6. Further, the top foil portion Tf is elastically supported by the elastically deformable back foil portion Bf.

軸6の一方向回転中は、楔空間に生じた空気膜(流体膜)が高圧となるため、軸6が浮上力を受ける。そのため、各フォイル12の軸受面Xと軸6の間に環状のラジアル軸受隙間Cが形成され、軸6がフォイル12に対して非接触の状態で回転自在に支持される。トップフォイル部Tfの弾性変形により、ラジアル軸受隙間Cの隙間幅は運転条件等に応じた適正幅に自動調整されるため、軸6の回転が安定的に支持される。なお、図3においては理解の容易化のためラジアル軸受隙間Cの隙間幅を誇張して描いている(図22も同じ)。   While the shaft 6 rotates in one direction, the air film (fluid film) generated in the wedge space has a high pressure, so that the shaft 6 receives a lifting force. Therefore, an annular radial bearing gap C is formed between the bearing surface X of each foil 12 and the shaft 6, and the shaft 6 is rotatably supported in a non-contact state with respect to the foil 12. Due to the elastic deformation of the top foil portion Tf, the clearance width of the radial bearing clearance C is automatically adjusted to an appropriate width according to operating conditions and the like, so that the rotation of the shaft 6 is stably supported. In FIG. 3, the radial width of the radial bearing gap C is exaggerated for easy understanding (FIG. 22 is the same).

軸6の回転中は、流体圧力により、トップフォイル部Tfがバックフォイル部Bfに押さえ付けられて弾性変形するため、バックフォイル部Bfに乗り上げたトップフォイル部Tfには、軸受隙間Cの幅方向の段差が形成される。図5に示すように、各フォイル12の第二領域12bの後端12dに切り欠き部12b2を設けた場合には、この段差は、切り欠き部12b2の形状に対応したヘリングボーン形状となる。トップフォイル部Tfに沿って流れる流体は、上記の段差に沿って流れるため(矢印を参照)、軸受隙間Cのうち、前記直交方向Nの二カ所に流体の圧力発生部が形成される。これにより、軸6の浮上効果を高めつつモーメント荷重を支持することが可能となる。本実施形態では、図4に示すように、トップフォイル部Tfに微小な切り込み12a3を形成してトップフォイル部Tfの剛性を低下させているため、トップフォイル部Tfが切り欠き部12b2に沿って変形する際にも、その変形がスムーズに行われる。   While the shaft 6 is rotating, the top foil portion Tf is pressed against the back foil portion Bf by the fluid pressure and elastically deforms. Therefore, the top foil portion Tf riding on the back foil portion Bf has a width direction of the bearing gap C. Are formed. As shown in FIG. 5, when the notch 12b2 is provided at the rear end 12d of the second region 12b of each foil 12, this step has a herringbone shape corresponding to the shape of the notch 12b2. Since the fluid flowing along the top foil portion Tf flows along the steps (see arrows), fluid pressure generating portions are formed at two locations in the orthogonal direction N of the bearing gap C. This makes it possible to support the moment load while enhancing the floating effect of the shaft 6. In the present embodiment, as shown in FIG. 4, since the notch 12a3 is formed in the top foil portion Tf to reduce the rigidity of the top foil portion Tf, the top foil portion Tf extends along the notch portion 12b2. Even when deforming, the deformation is performed smoothly.

[本発明の特徴的構成]
本実施形態のフォイル軸受10は、各フォイル12のバックフォイル部Bfが、図9に示す網状体20で構成される。網状体20は、金属製の線材である複数の経材21と複数の緯材22を規則的に配列し、かつ互いに交差させて形成される。図10に示すように、経材21と緯材22で区画された領域は、表裏に貫通した角穴状の窓部23を構成している。経材21および緯材22として、金属製の線材の他、樹脂製の線材を使用することもできる。
[Characteristic configuration of the present invention]
As for the foil bearing 10 of this embodiment, the back foil part Bf of each foil 12 is comprised by the net-like body 20 shown in FIG. The net-like body 20 is formed by regularly arranging a plurality of warps 21 and a plurality of wefts 22 which are metal wires, and intersecting each other. As shown in FIG. 10, the region partitioned by the warp material 21 and the weft material 22 constitutes a square hole-shaped window portion 23 penetrating the front and back. As the warp material 21 and the weft member 22, a resin wire can be used in addition to a metal wire.

網状体20は、直線状の経材21に対して、緯材22を浮き沈みさせながら織り込むことで形成される。直線状の各経材21は同一レベルにあり(図12a参照)、この経材21の上下を緯材22が交互に通過している。   The net-like body 20 is formed by weaving the weft 22 against the linear warp 21 while raising and lowering it. Each linear warp 21 is at the same level (see FIG. 12 a), and wefts 22 pass alternately above and below the warp 21.

この網状体20では、緯材22の浮き沈みした部分で網状体20の表裏側に突出する凸部22a,22bが形成される。緯材22の浮き部分でトップフォイル部Tf側(表側)に突出した凸部22aが形成され、沈み部分でフォイルホルダ11の側(裏側)へ突出する凸部22bが形成される。   In the net-like body 20, convex portions 22 a and 22 b that protrude to the front and back sides of the net-like body 20 are formed at portions where the weft material 22 is raised and sinked. A protruding portion 22a protruding to the top foil portion Tf side (front side) is formed at the floating portion of the weft material 22, and a protruding portion 22b protruding to the foil holder 11 side (back side) is formed at the sinking portion.

図4に示すように、トップフォイル部Tfおよびバックフォイル部Bfを一枚のフォイル12で形成する場合、図11に示すように、網状体20と薄板状のトップフォイル部Tfとの周方向端部を、例えば溶接等の方法により連結することでフォイル12を形成することができる。   As shown in FIG. 4, when the top foil portion Tf and the back foil portion Bf are formed by a single foil 12, as shown in FIG. 11, the circumferential end of the mesh body 20 and the thin plate-like top foil portion Tf. The foil 12 can be formed by connecting the parts by a method such as welding.

このように形成されたフォイル12のバックフォイル部Bfを図5〜図7と同様の手順でフォイルホルダ11に取り付けることにより、図3に示すように、各バックフォイル部Bf(散点模様で示す)を網状体20で形成したラジアルフォイル軸受10が完成する。   By attaching the back foil portion Bf of the foil 12 formed in this way to the foil holder 11 in the same procedure as in FIGS. 5 to 7, as shown in FIG. 3, each back foil portion Bf (shown in a dotted pattern) The radial foil bearing 10 formed of the mesh body 20 is completed.

図12(a)は図9のA1−A1線断面図、図12(b)は図9のA2−A2線断面図であり、それぞれフォイル軸受10の断面を示したものである。バックフォイル部Bfの表側の凸部22aがトップフォイル部Tfに接触し、バックフォイル部Bfの裏側の凸部22bがフォイルホルダ11の内周面11aに接触する。   12A is a cross-sectional view taken along the line A1-A1 in FIG. 9, and FIG. 12B is a cross-sectional view taken along the line A2-A2 in FIG. 9, each showing a cross section of the foil bearing 10. The convex portion 22a on the front side of the back foil portion Bf contacts the top foil portion Tf, and the convex portion 22b on the back side of the back foil portion Bf contacts the inner peripheral surface 11a of the foil holder 11.

軸6の回転中には、軸受隙間Cで生じる空気圧によりトップフォイル部Tfが圧力Pを受けるため、バックフォイル部Bfには、トップフォイル部Tfを介して圧力P方向の圧縮力が作用する。この際、バックフォイル部Bfを構成する緯材22のうち、凸部22a、22b間の領域22c(図12(a)参照)や、経材21のうち、緯材22の凸部22a,22bに挟まれた領域21c(図12(b)参照)は、圧縮力Pに対する剛性が低い部分となる。そのため、バックフォイル部Bfに圧縮力Pが負荷された際には、これら低剛性の部分21c、22cが、それぞれ図12(a)および図12(b)に示す2点鎖線のように弾性変形して圧縮力Pが吸収される。   While the shaft 6 is rotating, the top foil portion Tf receives the pressure P due to the air pressure generated in the bearing gap C. Therefore, the compression force in the pressure P direction acts on the back foil portion Bf via the top foil portion Tf. At this time, in the weft member 22 constituting the back foil portion Bf, the region 22c (see FIG. 12A) between the protrusions 22a and 22b, and the warp member 21 of the weft member 22 of the warp member 22 A region 21c (see FIG. 12B) sandwiched between the regions is a portion having low rigidity with respect to the compressive force P. Therefore, when the compression force P is applied to the back foil portion Bf, these low-rigidity portions 21c and 22c are elastically deformed as indicated by two-dot chain lines shown in FIGS. 12 (a) and 12 (b), respectively. Thus, the compressive force P is absorbed.

一方、凸部22aの位置では、緯材22が圧縮力Pの方向とは逆方向から経材21によって支持されており、この部分が緯材22のその他の部分より剛性の高い部分となる。このため、凸部22aに対応するトップフォイル部Tfの位置では、軸受隙間Cに形成される空気膜が高圧力となり、空気が逃げ難くなる。   On the other hand, at the position of the convex portion 22 a, the weft member 22 is supported by the warp member 21 from the direction opposite to the direction of the compression force P, and this portion is a portion having higher rigidity than the other portions of the weft member 22. For this reason, in the position of the top foil part Tf corresponding to the convex part 22a, the air film formed in the bearing gap C becomes a high pressure, and it becomes difficult for air to escape.

図13に示すように、網状体20において、剛性の高い部分である凸部22a(図13の黒丸で示す部分)は、軸受面Xに沿う直交二方向(回転方向Rおよび直交方向N)の両側から剛性の低い部分21c、22c(図13の白丸で示す部分)によって挟まれており、凸部22aの四方を囲う様にして低剛性部21c、22cが設けられる。この低剛性部21c、22cが圧縮力Pを受けて弾性変形することで、高剛性部22aは、矢印N方向およびR方向へ相対移動することができ、バックフォイル部の剛性を低くすることができる。   As shown in FIG. 13, in the mesh body 20, the convex portion 22 a (portion indicated by a black circle in FIG. 13) that is a highly rigid portion is in two orthogonal directions (rotational direction R and orthogonal direction N) along the bearing surface X. Low rigidity parts 21c and 22c are provided so as to surround the four sides of the convex part 22a, sandwiched between the low rigidity parts 21c and 22c (parts indicated by white circles in FIG. 13) from both sides. The low-rigidity portions 21c and 22c are elastically deformed by receiving the compressive force P, so that the high-rigidity portion 22a can be relatively moved in the arrow N direction and the R-direction, thereby reducing the rigidity of the back foil portion. it can.

また、網状体20を構成する経材21と緯材22は、お互いが溶接等の方法によって固定されておらず、網状体20内部において、経材21は図9の矢印N方向へ、緯材22は図9の矢印R方向へ、それぞれ相対移動可能に設けられている。従って、バックフォイル部Bfが受ける圧縮力Pに合わせて、それぞれの線材が相対移動することで、経材21と緯材22の間での微小な摺動を許容することができる。この摺動により、バックフォイル部Bfが軸6の回転により受ける振動を吸収し、フォイル軸受10が軸6の回転を安定して支持することができる。   Further, the warp member 21 and the weft member 22 constituting the mesh body 20 are not fixed to each other by a method such as welding, and the warp member 21 extends in the direction of arrow N in FIG. Reference numerals 22 are provided so as to be relatively movable in the direction of arrow R in FIG. Accordingly, the relative movement of the respective wires in accordance with the compressive force P received by the back foil portion Bf allows a slight sliding between the warp material 21 and the weft material 22. By this sliding, the vibration that the back foil portion Bf receives due to the rotation of the shaft 6 can be absorbed, and the foil bearing 10 can stably support the rotation of the shaft 6.

ところで、軸受面Xに必要とされる剛性の最適値は、軸受面Xの各部で異なると考えられる。このため、軸6に合わせた最適な軸受剛性を得るためには、部分的にフォイル軸受10の剛性を高くしたり、低くしたりすることで、軸受面Xの各部でその剛性を適切に調整することが必要である。   By the way, it is considered that the optimum value of rigidity required for the bearing surface X is different in each part of the bearing surface X. For this reason, in order to obtain the optimum bearing rigidity that matches the shaft 6, the rigidity of the foil bearing 10 is partially increased or decreased, so that the rigidity of each part of the bearing surface X is appropriately adjusted. It is necessary to.

この点、本実施形態の様に、線材を規則的に配列した網状体20をバックフォイル部Bfとする構成の場合、網状体20の構成を変更することにより、部分的な剛性の変更が容易であり、求められる軸受剛性に合わせたフォイル軸受の設計が可能である。   In this regard, as in the present embodiment, in the case of the configuration in which the mesh body 20 in which the wires are regularly arranged is the back foil portion Bf, it is easy to change the partial rigidity by changing the configuration of the mesh body 20. Therefore, it is possible to design a foil bearing that matches the required bearing rigidity.

例えば、上記の網状体20では、経材21および緯材22を、それぞれR方向とN方向に等間隔に配置したが、図14に示すように、経材21や緯材22を配置する間隔を部分的に大きくする等、その間隔を変化させてもよい。隣接する線材の間隔を部分的に変化させることで、網状体20のその部分における線材の密度を調整し、バックフォイル部Bfの剛性を部分的に変化させることができる。つまり、線材の密度を大きくすることで、その部分におけるバックフォイル部Bfの剛性を大きくしたり、逆に線材の密度を小さくすることで剛性を小さくしたりすることができる。   For example, in the mesh body 20, the warp material 21 and the weft material 22 are arranged at equal intervals in the R direction and the N direction, respectively, but as shown in FIG. 14, the interval at which the warp material 21 and the weft material 22 are arranged. The interval may be changed, for example, by partially increasing. By partially changing the interval between the adjacent wire rods, the density of the wire rod in that portion of the mesh 20 can be adjusted, and the rigidity of the back foil portion Bf can be partially changed. That is, by increasing the density of the wire, it is possible to increase the rigidity of the back foil portion Bf at that portion, or conversely, to decrease the rigidity by decreasing the density of the wire.

また、図14のように経材21の間隔を一部大きくすることで、緯材22の凸部22aと凸部22bの支持スパンS(図12a参照)を大きくすることができる。スパンSを大きくし、緯材22の周方向の曲率を小さくすることで、領域21c、22cの部分が弾性変形しやすくなり、この部分の剛性をさらに低くすることができる。また、これとは逆に、支持スパンSを小さくして緯材22の周方向の曲率を大きくすることで、バックフォイル部Bfの剛性を高くすることができる。この様に、経材21の間隔を調整することで、バックフォイル部Bfの剛性を部分的に調整することができる。   Further, as shown in FIG. 14, by partially increasing the interval between the warp members 21, the support span S (see FIG. 12a) of the convex portions 22a and the convex portions 22b of the weft material 22 can be increased. By increasing the span S and decreasing the circumferential curvature of the weft member 22, the portions of the regions 21c and 22c are easily elastically deformed, and the rigidity of these portions can be further reduced. On the contrary, the rigidity of the back foil portion Bf can be increased by reducing the support span S and increasing the circumferential curvature of the weft member 22. Thus, the rigidity of the back foil portion Bf can be partially adjusted by adjusting the interval between the warps 21.

また、図15に示すように、部分的に経材21を隣接して2本以上(図では2本)配置する構成とすることもできる。緯材22を支持する経材21の本数を増やすことで、緯材22の支持力を高め、凸部22aにおけるバックフォイル部Bfの剛性を高めることができると共に、トップフォイル部Tfに接触する凸部22aの面積を大きくし、高剛性部の範囲を広げることができる。   Moreover, as shown in FIG. 15, it can also be set as the structure which arrange | positions two or more warps 21 adjacently, and arranges two or more (2 pieces in a figure). By increasing the number of the warp members 21 that support the weft member 22, the support force of the weft member 22 can be increased, the rigidity of the back foil portion Bf in the protrusion portion 22a can be increased, and the protrusions contacting the top foil portion Tf can be increased. The area of the portion 22a can be increased, and the range of the highly rigid portion can be expanded.

経材21と緯材22の太さは均一である必要はなく、一部の経材21や緯材22を太くしてその部分の剛性を高めたり、逆に細くすることで剛性を低くして弾性変形しやすくすることもできる。   The thicknesses of the warp material 21 and the weft material 22 do not have to be uniform, and some of the warp material 21 and the weft material 22 are thickened to increase the rigidity of the portion, or conversely, the rigidity is reduced by reducing the thickness. And can be easily elastically deformed.

さらに、複数の異なる材質の金属材により、経材21や緯材22を形成することもできる。部分的に剛性の高い線材を使用する等して、バックフォイル部Bfの剛性を部分的に変化させることができる。   Further, the warp material 21 and the weft material 22 can be formed of a plurality of different metal materials. The rigidity of the back foil portion Bf can be partially changed, for example, by using a partially rigid wire.

また、網状体20を構成する線材の配列方法についても、図9で示した形態のものに限らず、求められる軸受剛性等に応じて適宜変更が可能である。例えば、図9の実施形態とは逆に、経材21を波状、緯材22を直線状としたり、経材21および緯材22を共に波状にすることもできる。また、各線材は矢印R方向あるいは矢印N方向に対して傾斜して設けられていてもよいし、三方向以上に線材が交差して配列される構成であってもよい。   Further, the arrangement method of the wires constituting the mesh body 20 is not limited to the one shown in FIG. 9 and can be appropriately changed according to the required bearing rigidity and the like. For example, contrary to the embodiment of FIG. 9, the warp material 21 may be wavy, the weft material 22 may be linear, or both the warp material 21 and the weft material 22 may be wavy. Moreover, each wire may be provided to be inclined with respect to the arrow R direction or the arrow N direction, or the wire rods may be arranged so as to intersect in three or more directions.

図16に示すように、経材21と緯材22を格子状に配置し、交差部分を溶接等の方法により連結することで網状体20を形成することもできる。経材21と緯材22で区画された領域は、表裏に貫通した角穴状の窓部23を構成している。線材同士の交差部251が圧力Pに対して剛性の高い部分となり、その周囲四方の交差部分に隣接する連結部252が、交差部251よりも剛性の低い部分となる。バックフォイル部Bfが圧力Pを受けると、この連結部252が弾性変形することにより、圧力Pによって生じる圧縮力Pを吸収することができる。   As shown in FIG. 16, the mesh body 20 can be formed by arranging the warp material 21 and the weft material 22 in a lattice shape and connecting the intersecting portions by a method such as welding. A region partitioned by the warp material 21 and the weft material 22 constitutes a square hole-shaped window portion 23 penetrating the front and back. The intersecting portion 251 between the wires becomes a portion having high rigidity with respect to the pressure P, and the connecting portion 252 adjacent to the intersecting portions on the four surrounding sides becomes a portion having lower rigidity than the intersecting portion 251. When the back foil portion Bf receives the pressure P, the connecting portion 252 is elastically deformed to absorb the compressive force P generated by the pressure P.

さらに、図17に示すように、メリヤス編みによって網状体20を形成することもできる。つまり、線材24に形成した複数のループ部24aに、隣接する線材24のループ部24aを通し、これを連続して設けることで網状体20が形成される。網状体20を構成する線材24は、ループ部24a同士を連結する連結部24bが矢印R方向(図の左右の矢印方向)へ伸縮することにより、ループ部24aを矢印N方向(図の上下の矢印方向)へ伸縮させることができる。この線材24の伸縮により、隣接する線材24同士を摺接させて軸6の振動を吸収することができる。   Furthermore, as shown in FIG. 17, the mesh body 20 can be formed by knitting. That is, the mesh-like body 20 is formed by passing the loop portions 24a of the adjacent wire rods 24 through the plurality of loop portions 24a formed on the wire rod 24 and continuously providing them. The wire 24 constituting the mesh body 20 has the connecting portion 24b that connects the loop portions 24a expand and contract in the arrow R direction (the left and right arrow directions in the figure), so that the loop portion 24a extends in the arrow N direction (up and down in the figure). It can be expanded and contracted in the direction of the arrow). By the expansion and contraction of the wire rod 24, the adjacent wire rods 24 can be brought into sliding contact with each other to absorb the vibration of the shaft 6.

以上で説明した網状体20を圧力Pの作用方向に複数枚積層したものをバックフォイル部Bfとすることもできる。これにより、積層された網状体20同士の間で摺動を許容することができ、軸6の振動をより吸収しやすくなる。このため、フォイル軸受10が軸6の回転を安定して支持することができる。また、個々の網状体20の構成を変更することにより、バックフォイル部Bf全体としての剛性やバネ性の調整が容易になる。さらに、複数のバックフォイル部Bfによってトップフォイル部Tfの裏側から軸6を支持することができ、バックフォイル部Bf全体としての支持剛性を高めることもできる。   A backfoil portion Bf may be formed by laminating a plurality of the mesh bodies 20 described above in the direction of application of the pressure P. Thereby, sliding between the laminated mesh bodies 20 can be permitted, and the vibration of the shaft 6 can be more easily absorbed. For this reason, the foil bearing 10 can stably support the rotation of the shaft 6. In addition, by changing the configuration of the individual mesh body 20, it is easy to adjust the rigidity and springiness of the entire backfoil portion Bf. Further, the shaft 6 can be supported from the back side of the top foil portion Tf by the plurality of back foil portions Bf, and the support rigidity of the back foil portion Bf as a whole can be increased.

このように、線材を規則的に配置した網状体20によってバックフォイル部Bfを形成することにより、網状体20における線材の配列の方法や線材同士の交差のさせ方(織り方や編み方)を変更することで、バックフォイル部Bfの形状を多様に変化させることができる。また、線材の太さや材料等を部分的に変更することもでき、図4や図23のような板材でバックフォイル部Bfを形成するフォイル軸受と比較して、バックフォイル部Bfの軸受剛性等の特性に対する設計の自由度が格段に向上する。このため、軸受面の各部で求められる剛性に合わせた、最適な軸受剛性を有するフォイル軸受を実現することができる。   In this way, by forming the back foil portion Bf by the mesh body 20 in which the wire materials are regularly arranged, a method of arranging the wire materials in the mesh body 20 and a method of crossing the wire materials (weaving method or knitting method) By changing, the shape of the back foil part Bf can be variously changed. Further, the thickness, material, etc. of the wire can be changed partially. Compared with a foil bearing in which the back foil portion Bf is formed of a plate material as shown in FIGS. 4 and 23, the bearing rigidity of the back foil portion Bf, etc. The degree of freedom in design with respect to the characteristics of the For this reason, the foil bearing which has the optimal bearing rigidity matched with the rigidity calculated | required by each part of a bearing surface is realizable.

本発明の線材を規則的に配置して形成する網状体としては、図9で示したバックフォイル部Bfのように、バックフォイル部Bf全体にわたって線材を等間隔で配置する場合の他、図14の様にその間隔を一部変更した場合や線材の太さを変えた場合、線材同士の交差のさせ方を変えた場合等、線材の配列の規則性を一部変更したものも含まれる。バックフォイル部Bf全体、あるいはその一部において、線材を規則的に配列することにより、バックフォイル部Bfの剛性やバネ性等を周期的に変化させることができるので、バックフォイル部Bfにおける剛性やバネ性等の管理が容易になる利点がある。   As a net-like body formed by regularly arranging the wire rods of the present invention, as in the case of the back foil portion Bf shown in FIG. 9, the wire rods are arranged at equal intervals over the entire back foil portion Bf. In this case, a part of the regularity of the arrangement of the wires is included, such as when the interval is partially changed, when the thickness of the wire is changed, or when the way of crossing the wires is changed. By regularly arranging the wires in the entire backfoil part Bf or a part thereof, the rigidity and springiness of the backfoil part Bf can be periodically changed. There is an advantage that management of springiness and the like becomes easy.

また、図4で示したバックフォイル部Bfの様に、網状体20を、フォイル12の後端側に切り欠き部12b2を設けた形状に形成することもできる。また、線材の密度を変更する等して、切り欠き部12b2に相当する部分を高剛性部、バックフォイル部Bfのその他の部分を低剛性部として、図4のバックフォイル部Bfに形成される流体の圧力発生部と同等の圧力発生部を形成し、軸6の浮上効果を高めつつモーメント荷重を支持することも可能である。   Further, like the back foil portion Bf shown in FIG. 4, the mesh body 20 can be formed in a shape in which a notch portion 12 b 2 is provided on the rear end side of the foil 12. Further, by changing the density of the wire, the portion corresponding to the notch portion 12b2 is formed as the high rigidity portion, and the other portion of the back foil portion Bf is formed as the low rigidity portion in the back foil portion Bf of FIG. It is also possible to form a pressure generating portion equivalent to the fluid pressure generating portion and support the moment load while enhancing the floating effect of the shaft 6.

図18(a)は、軸受面Xを軸6の側から見た模式図で、図のハッチング部分Dがバックフォイル部Bfの凸部22aが設けられた部分に相当する。凸部22aは、緯材22が軸6の側へ突出した部分で、経材21と緯材22が交差した部分である。この部分では、バックフォイル部Bfが受ける圧力Pに対して凸部22aが高剛性となって変形しにくいため、軸受隙間Cに形成される空気膜が高圧力になり、空気が軸受面に沿う方向へ逃げ難くなる。本発明では、軸6の回転方向である矢印R方向に対して、この高圧部D(凸部22a)がいわゆる千鳥状に配置されている。   FIG. 18A is a schematic view of the bearing surface X viewed from the shaft 6 side, and the hatched portion D in the figure corresponds to the portion provided with the convex portion 22a of the back foil portion Bf. The convex portion 22a is a portion where the weft member 22 protrudes toward the shaft 6 and is a portion where the warp member 21 and the weft member 22 intersect. In this portion, since the convex portion 22a is highly rigid and difficult to deform with respect to the pressure P received by the back foil portion Bf, the air film formed in the bearing gap C becomes high pressure, and the air runs along the bearing surface. It becomes difficult to escape in the direction. In the present invention, the high-pressure portion D (convex portion 22a) is arranged in a so-called zigzag pattern with respect to the arrow R direction that is the rotation direction of the shaft 6.

軸6が回転すると、軸6と軸受面Xの間に形成される軸受隙間Cにおいて、矢印R方向に空気が流れる。この際、高圧部Dの位置では、高圧力下で空気膜が形成されて空気が逃げ難くなっており、軸受隙間Cを流れる空気は、軸受面X上に千鳥状に配置された高圧部Dを避けるように、低圧部分を多方向に分岐しながら流れる(例えば、図の矢印方向へ分岐しながら流れる)。   When the shaft 6 rotates, air flows in the direction of the arrow R in the bearing gap C formed between the shaft 6 and the bearing surface X. At this time, at the position of the high pressure portion D, an air film is formed under high pressure so that the air is difficult to escape, and the air flowing through the bearing gap C is arranged in a staggered manner on the bearing surface X. The low-pressure portion flows while branching in multiple directions (for example, it flows while branching in the direction of the arrow in the figure).

一方、例えば図18(b)に示すように、高圧部(凸部)が矢印R方向と平行に配置された構成では、軸6の回転によって軸受隙間Cへ流入した空気は、高圧部Dに衝突することなく、矢印R方向と平行な方向へ進路を変えずに流れていく。このため、軸受隙間Cから空気が抜けやすくなり、軸受隙間Cにおいて一定の空気膜を維持することが難しくなってしまう。   On the other hand, for example, as shown in FIG. 18B, in the configuration in which the high pressure portion (convex portion) is arranged in parallel with the arrow R direction, the air that has flowed into the bearing gap C due to the rotation of the shaft 6 enters the high pressure portion D. It flows without changing the course in the direction parallel to the arrow R direction without colliding. For this reason, air easily escapes from the bearing gap C, and it becomes difficult to maintain a constant air film in the bearing gap C.

これに対して本実施形態では、軸受隙間Cを流れる空気が、上記の様に多方向へ分岐してその進路を繰り返し変更しながら矢印R方向に流れるため、軸受隙間Cから空気が抜けにくくなる。また、軸受面X全体に高圧部Dが分散して設けられているため、この高圧部Dの間に設けられた低圧部を通って軸受面X全体に均等に空気が供給されやすくなる。これらにより、軸受隙間Cに一定の空気膜を形成することができ、フォイル軸受10が、軸6を安定して非接触支持することができる。   On the other hand, in the present embodiment, the air flowing through the bearing gap C branches in multiple directions as described above and flows in the direction of the arrow R while repeatedly changing its course, so that it is difficult for air to escape from the bearing gap C. . In addition, since the high pressure portions D are provided in a distributed manner on the entire bearing surface X, air is easily supplied to the entire bearing surface X through the low pressure portions provided between the high pressure portions D. Thus, a constant air film can be formed in the bearing gap C, and the foil bearing 10 can stably support the shaft 6 in a non-contact manner.

矢印R方向に高圧部(凸部)Dを千鳥状に配置する例として、図18(a)で示した図9の網状体20の配置の他、例えば図18(c)に示すように高圧部Dを配置する網状体20であってもよい。この様に、矢印R方向に隣接する高圧部Dを、矢印N方向の両側に交互にずらして配置することにより、軸受隙間Cにおける空気の流れを複雑化させ、軸受隙間Cに一定の空気膜を形成することができる。   As an example of arranging the high pressure portions (convex portions) D in a staggered manner in the direction of the arrow R, in addition to the arrangement of the mesh body 20 of FIG. 9 shown in FIG. 18A, for example, as shown in FIG. The net-like body 20 which arrange | positions the part D may be sufficient. In this way, by disposing the high pressure portions D adjacent in the direction of the arrow R alternately on both sides in the direction of the arrow N, the air flow in the bearing gap C is complicated, and a constant air film is formed in the bearing gap C. Can be formed.

以上の説明では、フォイル軸受10として、いわゆる多円弧型のラジアルフォイル軸受を例示したが、本発明を適用可能なフォイル軸受の形態はこれに限られない。例えば、図19に示すいわゆるリーフ型のラジアルフォイル軸受10にも本発明を適用することができる。リーフ型フォイル軸受は、回転方向R側の一端を自由端とし、反回転方向側の他端を固定端とした複数のフォイル12(リーフ)を軸6の回転方向Rに配置したもので、各フォイル12の回転方向R側の領域がトップフォイル部Tfとして機能し、反回転方向側の領域がバックフォイル部Bfとして機能する。このリーフ型のラジアルフォイル軸受において、各リーフ12のバックフォイル部Bf(散点模様で示す)を網状体20で形成することにより、上記と同様の効果を得ることができる。   In the above description, a so-called multi-arc radial foil bearing has been exemplified as the foil bearing 10, but the form of the foil bearing to which the present invention is applicable is not limited thereto. For example, the present invention can be applied to a so-called leaf-type radial foil bearing 10 shown in FIG. The leaf type foil bearing is configured by arranging a plurality of foils 12 (leafs) in the rotation direction R of the shaft 6 with one end on the rotation direction R side as a free end and the other end on the counter rotation direction side as a fixed end. The region on the rotation direction R side of the foil 12 functions as the top foil portion Tf, and the region on the counter-rotation direction side functions as the back foil portion Bf. In this leaf-type radial foil bearing, the same effect as described above can be obtained by forming the back foil portion Bf (shown as a dotted pattern) of each leaf 12 with the mesh body 20.

また、図20に示すいわゆるバンプ型のラジアルフォイル軸受10にも本発明を適用することもできる。バンプ型のフォイル軸受10では、バックフォイル部Bfの全体を網状体20で形成することにより、上記と同様の効果を得ることができる。図20では、バックフォイル部Bfをフォイルホルダ11の内周面11aの全周にわたって連続させているが、バックフォイル部Bfを周方向の一個所もしくは複数箇所で分割することもできる。この場合、分割した個々の要素が網状体20で形成される。   The present invention can also be applied to a so-called bump-type radial foil bearing 10 shown in FIG. In the bump type foil bearing 10, the same effect as described above can be obtained by forming the entire back foil portion Bf with the mesh body 20. In FIG. 20, the back foil portion Bf is continuous over the entire circumference of the inner peripheral surface 11 a of the foil holder 11, but the back foil portion Bf can be divided at one place or a plurality of places in the circumferential direction. In this case, the divided individual elements are formed by the mesh body 20.

さらに図21に示すスラストフォイル軸受30にも本発明を適用することもできる。図21はスラストフォイル軸受30の一例として、リーフ型のスラストフォイル軸受を示している。このスラストフォイル軸受においても、図22に示すように、各リーフ12のバックフォイル部Bf(散点模様で示す)を網状体20で形成することにより、上記と同様の効果を得ることができる。   Furthermore, the present invention can also be applied to the thrust foil bearing 30 shown in FIG. FIG. 21 shows a leaf type thrust foil bearing as an example of the thrust foil bearing 30. Also in this thrust foil bearing, as shown in FIG. 22, the same effect as described above can be obtained by forming the back foil portion Bf (indicated by the dotted pattern) of each leaf 12 with the mesh body 20.

なお、以上の説明では、軸6を回転側部材とし、フォイルホルダ11を固定側部材とした場合を例示したが、これとは逆に軸6を固定側部材とし、フォイルホルダ11を回転側部材とする場合にも本発明を適用することができる。但し、この場合はフォイル12が回転側部材となるので、遠心力によるフォイル12全体の変形を考慮してフォイル12の設計を行う必要がある。   In the above description, the case where the shaft 6 is the rotation side member and the foil holder 11 is the fixed side member is illustrated. On the contrary, the shaft 6 is the fixed side member and the foil holder 11 is the rotation side member. In this case, the present invention can be applied. However, in this case, since the foil 12 serves as a rotation side member, it is necessary to design the foil 12 in consideration of deformation of the entire foil 12 due to centrifugal force.

また、本発明にかかるフォイル軸受は、上述したガスタービンに限られず、例えば過給機をはじめとするターボ機械のロータを支持するフォイル軸受としても使用することができる。以上の例示に限らず、本発明にかかるフォイル軸受は、自動車等の車両用軸受、さらには産業機器用の軸受として広く使用することが可能である。また、本実施形態の各フォイル軸受は、圧力発生流体として空気を使用した空気動圧軸受であるが、これに限らず、圧力発生流体としてその他のガスを使用することもでき、あるいは水や油などの液体を使用することも可能である。   The foil bearing according to the present invention is not limited to the gas turbine described above, and can be used as a foil bearing that supports a rotor of a turbomachine including a supercharger, for example. The foil bearing according to the present invention is not limited to the above examples, and can be widely used as a bearing for a vehicle such as an automobile and further as a bearing for industrial equipment. Further, each foil bearing of the present embodiment is an air dynamic pressure bearing using air as a pressure generating fluid, but is not limited thereto, and other gases can be used as the pressure generating fluid, or water or oil It is also possible to use a liquid such as

6 軸
10 ラジアルフォイル軸受
11 フォイルホルダ
12 フォイル
20 網状体
21 経材(線材)
22 緯材(線材)
22a 凸部
22b 凸部
30 スラストフォイル軸受
Tf トップフォイル部
Bf バックフォイル部
C 軸受隙間
D 高圧部
R 回転方向
N 直交方向
X 軸受面
6 shafts 10 radial foil bearings 11 foil holders 12 foils 20 nets 21 warps (wires)
22 Weft (wire)
22a Convex part 22b Convex part 30 Thrust foil bearing Tf Top foil part Bf Back foil part C Bearing gap D High pressure part R Rotation direction N Orthogonal direction X Bearing surface

Claims (7)

支持すべき軸と対向する軸受面を備えたトップフォイル部と、前記トップフォイル部の背後でトップフォイル部を弾性的に支持するバックフォイル部とを備え、軸と軸受面との間の軸受隙間に生じる流体膜で、相対回転する軸を非接触に支持するフォイル軸受において、
前記バックフォイル部が、複数の線材を交差させ、かつ規則的に配置されて形成された網状体からなることを特徴とするフォイル軸受。
A bearing gap between the shaft and the bearing surface, comprising a top foil portion having a bearing surface facing the shaft to be supported, and a back foil portion for elastically supporting the top foil portion behind the top foil portion. In the foil bearing that supports the relative rotating shaft in a non-contact manner with the fluid film generated in
The foil bearing is characterized in that the back foil portion is formed of a net-like body formed by crossing a plurality of wires and regularly arranging the wires.
前記網状体は、直交二方向にそれぞれ複数配置された線材である経材と緯材を、互いに交差させて形成された請求項1記載のフォイル軸受。   2. The foil bearing according to claim 1, wherein the mesh member is formed by intersecting a warp material and a weft material, which are wire rods arranged in two orthogonal directions. 前記網状体は、配置される線材の密度を部分的に変化させた請求項1または2いずれか記載のフォイル軸受。   3. The foil bearing according to claim 1, wherein the mesh body has partially changed the density of the arranged wire. 4. 前記網状体は、複数の異なる材質の線材により形成された請求項1から3いずれか1項に記載のフォイル軸受。   The foil bearing according to any one of claims 1 to 3, wherein the mesh body is formed of a plurality of wires made of different materials. 前記網状体は、複数の異なる太さの線材により形成された請求項1から4いずれか1項に記載のフォイル軸受。 The foil bearing according to any one of claims 1 to 4, wherein the mesh body is formed of a plurality of wires having different thicknesses. 前記バックフォイル部は、複数の前記網状体を積層して形成された請求項1から5いずれか1項に記載のフォイル軸受。   The foil bearing according to any one of claims 1 to 5, wherein the back foil portion is formed by laminating a plurality of the mesh bodies. 前記バックフォイル部は、前記軸受面の側に突出した凸部を有し、
前記凸部が、前記軸の回転方向に対して千鳥状に配列された請求項1から6いずれか1項に記載のフォイル軸受。
The back foil portion has a convex portion protruding to the bearing surface side,
The foil bearing according to any one of claims 1 to 6, wherein the convex portions are arranged in a staggered manner with respect to a rotation direction of the shaft.
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