JP2017211678A - Liquid crystal display device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は表示装置に係り、特に高精細画面においても透過率の減少が小さく、かつ、画素欠陥の少ない液晶表示装置に関する。 The present invention relates to a display device, and more particularly, to a liquid crystal display device in which a decrease in transmittance is small even on a high-definition screen and pixel defects are small.
液晶表示装置では画素電極および薄膜トランジスタ(TFT)等を有する画素がマトリクス状に形成されたTFT基板と、TFT基板に対向して、TFT基板の画素電極と対応する場所にカラーフィルタが形成された対向基板が配置され、TFT基板と対向基板の間に液晶が挟持されている。そして液晶分子による光の透過率を画素毎に制御することによって画像を形成している。なお、画素は、第1の方向に延在して第2の方向に配列する走査線と、前記第2の方向に延在して前記第1の方向に配列する映像信号線とによって囲まれた領域をいう。 In a liquid crystal display device, a pixel substrate and pixels having thin film transistors (TFTs) etc. are formed in a matrix, and a TFT substrate is opposed to the TFT substrate, and a color filter is formed at a location corresponding to the pixel electrode of the TFT substrate A substrate is disposed, and liquid crystal is sandwiched between the TFT substrate and the counter substrate. An image is formed by controlling the light transmittance of the liquid crystal molecules for each pixel. The pixels are surrounded by scanning lines extending in the first direction and arranged in the second direction, and video signal lines extending in the second direction and arranged in the first direction. Area.
液晶表示装置はフラットで軽量であることから、色々な分野で用途が広がっている。携帯電話やDSC(Digital Still Camera)等には、小型の液晶表示装置が広く使用されている。液晶表示装置では視野角特性が問題である。視野角特性は、画面を正面から見た場合と、斜め方向から見た場合に、輝度が変化したり、色度が変化したりする現象である。視野角特性は、液晶分子を水平方向の電界によって動作させるIPS(In Plane Switching)方式が優れた特性を有している。 Since liquid crystal display devices are flat and lightweight, they are used in various fields. Small liquid crystal display devices are widely used for mobile phones, DSCs (Digital Still Cameras), and the like. A viewing angle characteristic is a problem in a liquid crystal display device. The viewing angle characteristic is a phenomenon in which luminance changes or chromaticity changes when the screen is viewed from the front and when viewed from an oblique direction. The viewing angle characteristic is excellent in an IPS (In Plane Switching) system in which liquid crystal molecules are operated by a horizontal electric field.
IPS方式も種々存在するが、例えば、コモン電極を平面ベタで形成し、その上に、絶縁膜を挟んでスリットを有する画素電極を配置し、画素電極とコモン電極の間に発生する電界によって液晶分子を回転させる方式が透過率を大きくすることが出来るので、現在主流となっている。コモン電極と層間絶縁膜は平坦化膜を兼ねた、有機パッシベーション膜の上に形成される。 There are various types of IPS systems. For example, a common electrode is formed in a flat plane, and a pixel electrode having a slit is disposed on the common electrode, and a liquid crystal is generated by an electric field generated between the pixel electrode and the common electrode. Since the method of rotating molecules can increase the transmittance, it is currently mainstream. The common electrode and the interlayer insulating film are formed on an organic passivation film that also serves as a planarization film.
一方、液晶表示装置において、高精細画面として画素のサイズを小さくすると、画素電極とTFTのソース電極を接続するスルーホールの径の占める割合が大きくなる。 On the other hand, in a liquid crystal display device, when the pixel size is reduced as a high-definition screen, the proportion of the diameter of the through hole connecting the pixel electrode and the TFT source electrode increases.
高精細画面となり、画素が小さくなるにしたがって、スルーホールの径も小さくしようとすると、スルーホールの壁部のテーパ角(以後スルーホールのテーパ角ということもある)を大きくしなければならない。一方、液晶を初期配向させるために配向膜が使用されるが、この配向膜材料は当初(塗布前)は液体の状態のものをフレキソ印刷あるいはインクジェット等によって塗布する。 In order to reduce the diameter of the through hole as the pixel becomes smaller and the pixel becomes smaller, the taper angle of the wall portion of the through hole (hereinafter sometimes referred to as the taper angle of the through hole) must be increased. On the other hand, an alignment film is used for initial alignment of the liquid crystal, and this alignment film material is initially applied (before application) in a liquid state by flexographic printing or inkjet.
スルーホールのテーパ角を大きくすると、配向膜材料を塗布した場合、表面張力のために、配向膜材料がスルーホール内に入り込まないという現象を生ずる。そうすると、配向膜が厚く形成された部分において、液晶の状態が異なるために、この部分から光が漏れる等して、表示むらを生ずる。 When the taper angle of the through hole is increased, when the alignment film material is applied, a phenomenon occurs in which the alignment film material does not enter the through hole due to surface tension. Then, since the liquid crystal state is different in the portion where the alignment film is formed thick, light leaks from this portion, resulting in display unevenness.
「特許文献1」は、スルーホールの上辺の大穴の周囲において、高さを変化させることによって、配向膜がスルーホール内に流れ込みやすくした構成が記載されている。「特許文献1」におけるスルーホールの上辺の大穴の周囲において、高さを変化させる方法は、下層膜に設けた段差をスルーホールの上辺の大穴の周囲に反映させる構成である。
“
「特許文献2」には、スルーホールの凹部に画素電極パターン形成のためのフォトレジストが入り込まず、スルーホール内において画素電極がエッチングされてしまい、画素電極の導通がとれないという問題点を解決するために、スルーホールの上辺の大穴の周囲において、段差を設け、フォトレジストがスルーホール内に入り込みやすくした構成が記載されている。また、同様な問題が配向膜の塗布についても生ずることが記載されている。「特許文献2」におけるスルーホールの上辺の大穴の周囲において、高さを変化させる方法も、下層膜に段差を設けた段差をスルーホールの上辺の大穴の周囲に反映させる構成である。 “Patent Document 2” solves the problem that the photoresist for forming the pixel electrode pattern does not enter the concave portion of the through hole, and the pixel electrode is etched in the through hole, so that the pixel electrode cannot be conductive. Therefore, a configuration is described in which a step is provided around the large hole on the upper side of the through hole so that the photoresist can easily enter the through hole. Moreover, it is described that the same problem arises also about application | coating of alignment film. The method of changing the height around the large hole on the upper side of the through hole in “Patent Document 2” is also configured to reflect the step provided on the lower layer film on the periphery of the large hole on the upper side of the through hole.
「特許文献3」には、IPS方式の液晶表示装置において、配向膜に対して光配向処理を用いることによってスルーホールの内壁も画像形成のための領域として使用する構成が記載されている。このために、「特許文献3」には、スルーホールの内壁においても画素電極のスリットを形成する構成が記載されている。
“
最近は、小型の液晶表示装置においても、VGA(Video Graphics Array、640×480ドット)のような高精細画面が要求されている。ここで、ドットとは、赤画素、緑画素、青画素の3ピクセルがセットになったものであるから、ピクセル数でいうと1920×480になる。3インチの画面でVGAを可能にするには、ピクセルの短径は32μmというように、非常に小さなものになる。 Recently, high-definition screens such as VGA (Video Graphics Array, 640 × 480 dots) are also required for small liquid crystal display devices. Here, the dot is a set of three pixels of a red pixel, a green pixel, and a blue pixel, and thus the number of pixels is 1920 × 480. In order to enable VGA on a 3-inch screen, the minor axis of the pixel is very small, such as 32 μm.
画素が小さくなっても、所定の透過率を維持するためには、小さな面積にTFT、スルーホール等を配置し、画素電極面積が占める割合を出来るだけ大きくする必要がある。スルーホールの占める面積を小さくしようとすると、スルーホールのテーパ角が大きくなり、配向膜材料がスルーホール内にながれこみにくくなり、セサミ状の画素欠陥が発生する。 In order to maintain a predetermined transmittance even when the pixel becomes small, it is necessary to arrange TFTs, through holes, etc. in a small area and to make the ratio of the pixel electrode area as large as possible. When trying to reduce the area occupied by the through-hole, the taper angle of the through-hole is increased, the alignment film material is less likely to flow into the through-hole, and sesame pixel defects are generated.
特許文献1あるいは2の構成は、下層膜に段差を設け、この段差をスルーホールの上辺の大穴の周囲に反映させることによるものであるから、スルーホールの上部周囲において、高低差を設けようとすると、いわゆる有機パッシベーション膜を使用することが出来なくなる。有機パッシベーション膜は2乃至4μmと厚く形成されるので、表面が平坦になり、スルーホールの周囲において、高低差を形成することが困難になるからである。
Since the configuration of
一方、液晶表示装置の種類によっては、液晶層の層厚を一定にしたい等の要請から、有機パッシベーション膜を使用する必要がある。また、有機パッシベーション膜は膜厚が2乃至4μmと厚く形成されるので、有機パッシベーション膜にスルーホールを形成すると、スルーホールの占める面積が大きくなるという問題がさらに深刻になる。 On the other hand, depending on the type of the liquid crystal display device, it is necessary to use an organic passivation film in order to make the layer thickness of the liquid crystal layer constant. In addition, since the organic passivation film is formed with a thickness of 2 to 4 μm, if a through hole is formed in the organic passivation film, the problem that the area occupied by the through hole becomes more serious.
図14は、IPS方式の液晶表示装置において、上記の問題点を示した断面図である。図14において、TFT基板100の上にゲート電極101が形成され、これを覆ってゲート絶縁膜102が形成されている。ゲート絶縁膜102の上で、ゲート電極101に対応する場所に半導体層103が形成されている。半導体層103の上には、ドレイン電極104とソース電極105が積層されている。半導体層103、ドレイン電極104、ソース電極105等を覆って無機パッシベーション膜106が形成され、TFT(薄膜トランジスタ)を保護している。無機パッシベーション膜106の上には、平坦化膜を兼ねた有機パッシベーション膜107が形成されている。有機パッシベーション膜107は2乃至4μmというように厚く形成される。
FIG. 14 is a cross-sectional view showing the above problem in an IPS liquid crystal display device. In FIG. 14, a
有機パッシベーション膜107の上にはコモン電圧が印加される対向電極108が形成されている。対向電極(コモン電極ともいう)108を覆ってSiNによって形成される層間絶縁膜109が形成されている。層間絶縁膜109の上には、図示しないスリットを有する画素電極110が形成されている。画素電極110は、層間絶縁膜109、有機パッシベーション膜107および無機パッシベーション膜106に形成されたスルーホール111を介してTFTから延在するソース電極105と接続する。
A
画素電極110の上には、フレキソ印刷、あるいは、インクジェット法等によって配向膜120が塗布される。しかし、スルーホール111の径が小さくなるとスルーホール111のテーパ角が大きくなり、当初は液体である配向膜材料がスルーホール内に入り込まないという現象を生ずる。そうすると、図14に示すように、配向膜120がスルーホール111の周辺に厚く形成されるという現象を生ずる。
An
このように、配向膜120に膜厚むらが生ずると、液晶の状態が他の領域と異なってくるために、表示むらを生ずる。このような、配向膜材料がスルーホール111内に入り込まないために、スルーホール111周辺において配向膜120の膜厚が大きくなる現象は、1個の画素10においてのみおこるのではなく、図15のハッチング部分に示すように、複数個の画素10に生ずる場合が多い。その分、表示むらは目立ちやすくなる。
As described above, when the film thickness unevenness occurs in the
図15において、画素電極110を有する画素10がマトリクス状に形成されている。画素電極110はスリット1101を有し、スルーホール111を介して図示しないTFTのソース電極と接続する。スルーホール111は、層間絶縁膜、有機パッシベーション膜および無機パッシベーション膜を貫通している。画素電極110はスルーホール111の全体を覆っている。
In FIG. 15,
図16は、画素の一部を示す斜視図である。図16において、SiNで形成された層間絶縁膜109の上にITO(Indium Tin Oxide)によって形成され、スリット1101を有する画素電極110が形成されている。画素電極110はスルーホール111全体を覆っている。配向膜材料は画素電極110の上に塗布するが、スルーホール111の径が小さくなると、配向膜材料がスルーホール111内に入り込まず、図14に示すように配向膜120がスルーホールの周りに厚く形成されるという現象を生ずる。
FIG. 16 is a perspective view showing a part of a pixel. In FIG. 16, a
本発明の課題は、高精細画面となって画素のサイズが小さくなり、スルーホールの径も小さくなった場合であっても、配向膜材料がスルーホール内に流れ込みやすくし、配向膜の膜厚むらを防止して、高画質の画面を有する液晶表示装置を実現することである。 An object of the present invention is to make the alignment film material easily flow into the through-hole even when the pixel size is reduced and the through-hole diameter is reduced with a high-definition screen. It is to realize a liquid crystal display device having a high-quality screen by preventing unevenness.
本発明は上記問題を克服するものであり、具体的な手段は次のとおりである。 The present invention overcomes the above problems, and specific means are as follows.
(1)有機パッシベーション膜の上にコモン電極が形成され、前記コモン電極を覆って、層間絶縁膜が形成され、前記層間絶縁膜の上に端部が閉止されたスリットを有する画素電極が形成され、前記有機パッシベーション膜および前記層間絶縁膜に形成されたスルーホールを介してTFTのソース電極と画素電極が導通する構成の画素を有するTFT基板と、前記画素に対応する部分にカラーフィルタを有する対向基板を有し、前記TFT基板と前記対向基板との間に液晶が挟持された液晶表示装置であって、前記スルーホールは、上側である大穴と前記ソース電極接続する下側である小穴と、前記大穴と前記小穴を結ぶ内壁を有し、前記画素電極は、前記スルーホールの前記画素の内側方向で前記スルーホールを覆っており、前記画素の外側方向では、前記スルーホールの大穴周辺を覆っていないことを特徴とする液晶表示装置。 (1) A common electrode is formed on the organic passivation film, an interlayer insulating film is formed to cover the common electrode, and a pixel electrode having a slit whose end is closed is formed on the interlayer insulating film. A TFT substrate having a pixel in which the TFT source electrode and the pixel electrode are electrically connected through a through hole formed in the organic passivation film and the interlayer insulating film, and a color filter in a portion corresponding to the pixel A liquid crystal display device having a substrate, wherein liquid crystal is sandwiched between the TFT substrate and the counter substrate, wherein the through hole has a large hole on the upper side and a small hole on the lower side to which the source electrode is connected; An inner wall connecting the large hole and the small hole, and the pixel electrode covers the through hole in an inner direction of the pixel of the through hole, The direction, the liquid crystal display device, characterized in that does not cover the large hole around the through hole.
(2)有機パッシベーション膜の上にコモン電極が形成され、前記コモン電極を覆って、層間絶縁膜が形成され、前記層間絶縁膜の上に端部が閉止されたスリットを有する画素電極が形成され、前記有機パッシベーション膜および前記層間絶縁膜に形成されたスルーホールを介してTFTのソース電極と画素電極が導通する構成の画素を有するTFT基板と、前記画素に対応する部分にカラーフィルタを有する対向基板を有し、前記TFT基板と前記対向基板との間に液晶が挟持された液晶表示装置であって、前記スルーホールは、上側である大穴と前記ソース電極接続する下側である小穴と、前記大穴と前記小穴を結ぶ内壁を有し、前記大穴の平面形状は長径と短径を有し、前記画素は長方形であり、前記スルーホールの大穴の前記長径は前記画素の長径方向であり、前記スリットは、前記スルーホールの前記内壁にも延在していることを特徴とする液晶表示装置。 (2) A common electrode is formed on the organic passivation film, an interlayer insulating film is formed to cover the common electrode, and a pixel electrode having a slit with a closed end is formed on the interlayer insulating film. A TFT substrate having a pixel in which the TFT source electrode and the pixel electrode are electrically connected through a through hole formed in the organic passivation film and the interlayer insulating film, and a color filter in a portion corresponding to the pixel A liquid crystal display device having a substrate, wherein liquid crystal is sandwiched between the TFT substrate and the counter substrate, wherein the through hole has a large hole on the upper side and a small hole on the lower side to which the source electrode is connected; The large hole has an inner wall connecting the small hole, the planar shape of the large hole has a long diameter and a short diameter, the pixel is rectangular, and the long diameter of the large hole of the through hole is A major axis direction of the serial pixel, the slit is a liquid crystal display device, characterized in that also extends to the inner wall of the through hole.
(3)有機パッシベーション膜の上にコモン電極が形成され、前記コモン電極を覆って、層間絶縁膜が形成され、前記層間絶縁膜の上に端部が閉止されたスリットを有する画素電極が形成され、前記有機パッシベーション膜および前記層間絶縁膜に形成されたスルーホールを介してTFTのソース電極と画素電極が導通する構成の画素を有するTFT基板と、前記画素に対応する部分にカラーフィルタを有する対向基板を有し、前記TFT基板と前記対向基板との間に液晶が挟持された液晶表示装置であって、前記スルーホールは、上側である大穴と前記ソース電極接続する下側である小穴と、前記大穴と前記小穴を結ぶ内壁を有し、前記大穴の平面形状は長径と短径を有し、前記画素電極は、前記スリットを有するメイン画素電極と前記メイン画素電極とはギャップを有して配置したサブ画素電極とを有し、前記画素は長方形であり、前記スルーホールの大穴の前記長径は前記画素の短径方向であり、前記ギャップ部において、前記スルーホールの前記大穴の周辺は画素電極によって覆われていないことを特徴とする液晶表示装置。 (3) A common electrode is formed on the organic passivation film, an interlayer insulating film is formed to cover the common electrode, and a pixel electrode having a slit with a closed end is formed on the interlayer insulating film. A TFT substrate having a pixel in which the TFT source electrode and the pixel electrode are electrically connected through a through hole formed in the organic passivation film and the interlayer insulating film, and a color filter in a portion corresponding to the pixel A liquid crystal display device having a substrate, wherein liquid crystal is sandwiched between the TFT substrate and the counter substrate, wherein the through hole has a large hole on the upper side and a small hole on the lower side to which the source electrode is connected; The large hole has an inner wall connecting the small hole, the planar shape of the large hole has a long diameter and a short diameter, and the pixel electrode includes the main pixel electrode having the slit and the mesa. A pixel electrode and a sub-pixel electrode arranged with a gap, the pixel is rectangular, the major axis of the large hole of the through hole is the minor axis direction of the pixel, and in the gap part, A liquid crystal display device, wherein a periphery of the large hole of the through hole is not covered with a pixel electrode.
(4)有機パッシベーション膜の上にコモン電極が形成され、前記コモン電極を覆って、層間絶縁膜が形成され、前記層間絶縁膜の上に端部が閉止されたスリットを有する画素電極が形成され、前記有機パッシベーション膜および前記層間絶縁膜に形成されたスルーホールを介してTFTのソース電極と画素電極が導通する構成の画素を有するTFT基板と、
前記画素に対応する部分にカラーフィルタを有する対向基板を有し、前記TFT基板と前記対向基板との間に液晶が挟持された液晶表示装置であって、前記スルーホールは、上側である大穴と前記ソース電極接続する下側である小穴と、前記大穴と前記小穴を結ぶ内壁を有し、前記スルーホールの前記小穴は前記大穴に対して偏心していることを特徴とする液晶表示装置。
(4) A common electrode is formed on the organic passivation film, an interlayer insulating film is formed to cover the common electrode, and a pixel electrode having a slit with a closed end is formed on the interlayer insulating film. A TFT substrate having a pixel having a structure in which a source electrode of the TFT and a pixel electrode are electrically connected through a through hole formed in the organic passivation film and the interlayer insulating film;
A liquid crystal display device having a counter substrate having a color filter in a portion corresponding to the pixel, and a liquid crystal sandwiched between the TFT substrate and the counter substrate, wherein the through-hole is an upper hole; A liquid crystal display device comprising: a small hole which is a lower side for connecting the source electrode; and an inner wall connecting the large hole and the small hole, wherein the small hole of the through hole is eccentric with respect to the large hole.
(5)有機パッシベーション膜の上にコモン電極が形成され、前記コモン電極を覆って、層間絶縁膜が形成され、前記層間絶縁膜の上に端部が閉止されたスリットを有する画素電極が形成され、前記有機パッシベーション膜および前記層間絶縁膜に形成されたスルーホールを介してTFTのソース電極と画素電極が導通する構成の画素を有するTFT基板と、前記画素に対応する部分にカラーフィルタを有する対向基板を有し、前記TFT基板と前記対向基板との間に液晶が挟持された液晶表示装置であって、
前記TFT基板と前記対向基板の間隔は前記対向基板に形成された柱状スペーサによって規定され、前記スルーホールは、上側である大穴と前記ソース電極接続する下側である小穴と、前記大穴と前記小穴を結ぶ内壁を有し、前記スルーホールの前記小穴は前記大穴に対して、前記スルーホールに最も近い前記柱状スペーサの側に偏心していることを特徴とする液晶表示装置。
(5) A common electrode is formed on the organic passivation film, an interlayer insulating film is formed to cover the common electrode, and a pixel electrode having a slit with a closed end is formed on the interlayer insulating film. A TFT substrate having a pixel in which the TFT source electrode and the pixel electrode are electrically connected through a through hole formed in the organic passivation film and the interlayer insulating film, and a color filter in a portion corresponding to the pixel A liquid crystal display device having a substrate, wherein liquid crystal is sandwiched between the TFT substrate and the counter substrate,
An interval between the TFT substrate and the counter substrate is defined by a columnar spacer formed on the counter substrate, and the through hole includes a large hole on the upper side, a small hole on the lower side connecting the source electrode, the large hole, and the small hole. The small hole of the through hole is eccentric to the side of the columnar spacer closest to the through hole with respect to the large hole.
本発明によれば、高精細画面とし、画素の面積を小さくし、TFT基板に有機パッシベーション膜を使用した液晶表示装置であって、スルーホール径を小さくしても液晶配向膜材料を安定して、スルーホール内に形成することが出来る。したがって、スルーホール内に配向膜が存在しないことに起因する、あるいは、スルーホール周辺における配向膜の膜厚むらに起因する表示むらを防止することが出来る。 According to the present invention, a liquid crystal display device having a high-definition screen, a small pixel area, and an organic passivation film on a TFT substrate, the liquid crystal alignment film material can be stabilized even when the through-hole diameter is small. Can be formed in the through hole. Accordingly, it is possible to prevent display unevenness due to the absence of the alignment film in the through hole or due to uneven film thickness of the alignment film around the through hole.
以下に実施例を用いて本発明の内容を詳細に説明する。 The contents of the present invention will be described in detail below using examples.
図1は、本発明による画素10を示す平面図である。図1において、スリット1101を有する画素電極110がSiNで形成された層間絶縁膜109の上に形成されている。層間絶縁膜109の下には、図示しない対向電極が形成されており、画素電極110に信号電圧が印加されると、画素電極110のスリット1101を介して電気力線が下方の対向電極に向かうことにより横電界が液晶層に形成され、この横電界によって液晶分子が回転する。これによって画素10毎に液晶の透過率を制御して画像を形成する。
FIG. 1 is a plan view showing a
画素電極110はスルーホール111を介してTFTのソース電極と接続するが、本発明の特徴は、画素電極110がスルーホール111全体を覆わず、画素の外側方向では、スルーホール111付近に画素電極110が存在していないことである。図2は、この様子を斜視図を用いて表したものである。図2において、層間絶縁膜109の上にスリット1101を有する画素電極110が形成されているが、画素電極110は、スルーホール111の上辺において、画素10の内側方向にのみ形成されており、外側方向には形成されていない。
The
これによって、スルーホール111の上辺の周囲においては、ITOの厚さの分だけ段差が生ずることになる。スルーホール111の上辺において、段差が生じていると、液体である配向膜材料は、この段差を起点としてスルーホール111内に流れ込みやすくなる。また、配向膜材料は、画素電極を構成するITOの上よりも、層間絶縁膜109を構成するSiN上のほうが塗れ広がりやすい。したがって、配向膜材料は、ITO膜が無い側、すなわち、画素10の外側方向からスルーホール111内に流れ込みやすくなる。このような2つの現象によって、本発明においては、配向膜材料がスルーホール111内に流れ込みやすくなっている。
As a result, a step is formed around the upper side of the through
図3は、本実施例におけるTFTおよびスルーホール111を含む、画素の断面図である。図3において、層間絶縁膜109が形成されるまでの構成は、図14と同様であるので、説明を省略する。本発明の特徴は、層間絶縁膜109の上に形成される画素電極110が、スルーホール111の片側にのみ形成されており、スルーホール111の反対側には、画素電極110が形成されていない点である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of the pixel including the TFT and the through
図3において、TFTが形成されている、図の左側が画素の外側方向に対応し、図の右側が画素の内側方向に対応している。図3において、画素電極110は、画素の内側方向において、スルーホール111内に形成され、ソース電極105と接続している。図3の画素の外側方向のスルーホール111の内壁および上辺付近には、画素電極110は形成されておらず、層間絶縁膜109が露出している。配向膜材料は、画素電極110を構成するITOの上よりも、層間絶縁膜109を構成するSiNの上のほうが塗れ広がりやすいので、画素の外側方向から配向膜材料は、スルーホール111内に流れ込むことになり、配向膜の膜厚むらを抑えることが出来る。
In FIG. 3, the left side of the figure in which the TFT is formed corresponds to the outside direction of the pixel, and the right side of the figure corresponds to the inside direction of the pixel. In FIG. 3, the
図4は本発明の第2の実施例を示す画素の平面図である。スルーホール111は大穴1112と小穴1111を有している。図4の特徴は、スルーホール111の大穴1112は画素の長手方向に長径を有する楕円となっていることである。したがって、スルーホール111の断面形状は、画素の長径方向の断面のテーパ角が画素の短径方向の断面におけるテーパ角よりも小さくなっている。
FIG. 4 is a plan view of a pixel showing a second embodiment of the present invention. The through
さらに、図4の特徴は、画素電極110のスリット1101がスルーホール111の内壁にまで延在していることである。したがって、スルーホール111の上辺周辺においては、画素電極110のスリット1101が存在することによる段差が形成されている。この段差を起点として、配向膜材料がスルーホール内に流れ込みやすくなる。
Further, the feature of FIG. 4 is that the
さらに、画素電極110のスリット1101が形成されている側のスルーホール111のテーパ角は、小さくなっている。テーパ角が小さいほど配向膜材料はスルーホール111内に流れ込みやすくなる。つまり、本実施例においては、スルーホール111の上辺すなわち、大穴1112を楕円とし、かつ、スリット1101をスルーホール111の内壁にまで延在することによって、上記のような、2つの理由によって、配向膜材料がスルーホール111内に流れ込みやすくしている。これによって、配向膜の膜厚むらによる表示むらを防止することが出来る。
Furthermore, the taper angle of the through
なお、本実施例の構成においては、スルーホール111の大穴1112の形状は楕円に限らず、長径が画素の長径方向である長方形とすることによっても同様な効果を得ることが出来る。つまり、スルーホール111の大穴1112が長径と短径を有し、長径が画素の長径方向であるスルーホールであれば、同様な効果を得ることが出来る。
In the configuration of the present embodiment, the shape of the
本実施例では、画素電極110のスリット1101をスルーホール111の内壁にまで形成する。この場合、いわゆる光配向を用いることによって、スルーホール111内に形成された配向膜に対しても配向処理を行うことができる。光配向は、例えば、偏光紫外線を配向膜に照射することによって配向膜に一軸異方性を与える配向処理である。したがって、スルーホール111内も画像形成のための領域として使用することが出来るので、画素の透過率を向上させることが出来る。
In this embodiment, the
図5は本発明の第3の実施例を示す平面図である。本実施例の特徴は、スルーホール111が画素の短径方向に長径を有する楕円であり、かつ、画素電極110がスリット1101を有するメイン画素電極と画素の外側方向に形成されたサブ画素電極とに分離されている点である。メイン画素電極とサブ画素電極との間には、ギャップ112が存在している。
FIG. 5 is a plan view showing a third embodiment of the present invention. The feature of this embodiment is that the through-
スルーホール111の大穴1112の長径側では、スルーホール111の内壁のテーパ角小さくなっている。また、スルーホール111の大穴1112の長径側には、画素電極110を構成するITOが存在せず、層間絶縁膜109を構成するSiNが露出している。さらに、ITOが存在しないギャップ部112においては、ITOによる段差が形成されている。
On the long diameter side of the
つまり、本実施例では、スルーホール111の大穴1112の長径付近において、スルーホール111のテーパ角が小さいこと、層間絶縁膜109を構成するSiNが露出していること、ITOによる段差が形成されていることの3つの理由により、配向膜材料がスルーホール111内に流れ込みやすい構造となっている。したがって、スルーホール周辺における配向膜材料の膜厚むらに起因する画面のむらを防止することが出来る。
That is, in this embodiment, the taper angle of the through
なお、本実施例の構成においては、スルーホール111の大穴1112の形状は楕円に限らず、長径が画素の短径方向である長方形とすることによっても同様な効果を得ることが出来る。より一般的な言い方をすると、本実施例におけるスルーホール111の大穴1112は平面図において長径と短径を有し、スルーホール111の大穴1112の長径1112は画素の短径方向と一致する。
In the configuration of the present embodiment, the shape of the
また、本実施例では、図5におけるギャップ112を画像形成のためのスリットとして使用することも出来る。これによって、画素の透過率を向上させることが出来る。
In this embodiment, the
図6は、本発明の第4の実施例を示す図である。本実施例は、スルーホール111における上底である大穴1112の中心と下底である小孔1111の中心をずらすことによって、スルーホール111の一方の断面において、スルーホール内壁のテーパ角を小さくするものである。
FIG. 6 is a diagram showing a fourth embodiment of the present invention. In the present embodiment, the taper angle of the inner wall of the through hole is reduced in one cross section of the through
図6(a)は、本実施例の特徴を示すスルーホール111の斜視図である。図6(a)において、スルーホール111の大穴1112と小孔1111の中心はdだけ偏心している。その結果、図6(a)のスルーホールの左側のテーパ角は、スルーホールの右側のテーパ角よりも小さくなっている。配向膜材料は、スルーホール111のテーパ角が小さいほうがスルーホール内に流れ込みやすいので、配向膜材料は、図6(a)の左側からスルーホール111に流れ込むことになる。
FIG. 6A is a perspective view of the through
図6(b)は、本実施例によるスルーホール部分の断面図である。図6(b)において、スルーホール111の小孔1111の中心は大穴1112の中心に対して右方向に偏心しているので、スルーホール111の左側のテーパ角αのほうが右側のテーパ角βよりも小さくなっている。したがって、配向膜材料は図6(b)における左側からスルーホール111内に流れ込みやすくなる。
FIG. 6B is a cross-sectional view of the through hole portion according to the present embodiment. In FIG. 6B, since the center of the
このように、スルーホール111の周辺において、配向膜材料が流れ込みやすい部分を形成しておくことによって、スルーホール111内に配向膜材料が流れ込まないという現象を防止することが出来る。
Thus, by forming a portion where the alignment film material easily flows around the through
有機パッシベーション膜107は2乃至4μmと厚いので、スルーホール111の形状は、有機パッシベーション膜107に形成するスルーホールの形状が支配的となる。図6(a)または(b)のような、大穴1112と小孔1111が偏心したスルーホール111を形成するには、有機パッシベーション膜107にスルーホールを形成するときに、大穴と小孔を偏心させればよい。
Since the
有機パッシベーション膜107に形成されるスルーホールの大穴と小孔の中心を偏心させるには、有機パッシベーション膜107を露光するときに、スルーホールのテーパ角を小さくしたい側を、ハーフ露光を用いて露光することによって形成することが出来る。すなわち、有機パッシベーション膜107がポジ型の感光性樹脂であるとすると、光が照射された部分は、現像液に溶解する。したがって、スルーホールにおいてテーパ角を小さくする側の露光量をハーフ露光によって制御することにより、感光性樹脂の現像液に溶解する量を深さ方向に制御することが出来る。
In order to decenter the center of the large hole and small hole of the through hole formed in the
図7は、スルーホール111における大穴1112と小孔1111の偏心方向を規定した例を示すものである。図7(a)は、平面図である。図7(a)において、スルーホール111の片側、すなわち、画素の内側方向に画素電極110が形成され、他の側、すなわち、画素の外側方向には、画素電極110は形成されていない。図7(a)においては、スルーホール111の小孔1111の中心は、大穴1112の中心に対して画素電極110の側、言い換えると、画素の内側方向に偏心している。これによって、スルーホール111のテーパ角は画素の外側方向において、画素の内側方向よりも小さくなっている。したがって、配向膜材料は、画素の外側方向からスルーホール111内に流れ込みやすくなっている。
FIG. 7 shows an example in which the eccentric directions of the
図7(b)は、図7(a)のA−A断面図である。図7(b)において、層間絶縁膜109までの積層構造は、図14で説明したのと同様である。図7(b)のスルーホール111において、図面左側すなわち画素の外側方向のテーパ角αが、図面右側すなわち画素の内側方向のテーパ角βよりも小さくなっている。そして、スルーホール111における画素の内側において、画素電極110がスルーホール111の内壁および底部に延在している。しかし、スルーホール111における画素の外側方向においては、画素電極110は存在していない。すなわち、図6(a)において説明したように、画素の外側方向において、スルーホール111のテーパ角αが小さいこと、および、SiNで形成された層間絶縁膜109が露出していることによって、画素の外側方向から配向膜材料が流れ込みやすくなっている。
FIG.7 (b) is AA sectional drawing of Fig.7 (a). In FIG. 7B, the laminated structure up to the
液晶表示装置は、TFT基板100と対向基板との間に液晶層が挟持されているが、TFT基板100と対向基板との間の間隔を所定の値に保持するために、例えば、対向基板側に柱状スペーサ150を形成する。この柱状スペーサ150が、スルーホール111が形成された部分に存在するとTFT基板100と対向基板の間隔を制御することが出来なくなる。
In the liquid crystal display device, the liquid crystal layer is sandwiched between the
したがって、設計上は、対向基板に形成される柱状スペーサ150はTFT基板100に形成されるスルーホール111の位置を避けて配置するようにしている。しかし、対向基板に押し圧力が加わったような場合、柱状スペーサ150の先端が移動し、柱状スペーサ150がスルーホール111内に落ち込む場合がありうる。このような可能性を出来るだけ無くすために、柱状スペーサ150の位置とスルーホール111の位置とは、所定の間隔を保つことが望ましい。
Therefore, in design, the
大穴1112と小孔1111の中心を偏心させたスルーホール111において、スルーホール111の小孔1111は画素電極110と必ず接触しなければならない。図8は、小孔1111の位置を基準にした場合に柱状スペーサ150とスルーホール111の大穴1112とのスペースsをできるだけ大きく取るようにした構成である。すなわち、スルーホール111の大穴1112の中心は、小孔1111の中心に比較して画素の内側方向に偏心している。
In the through
言い方を変えると、スルーホール111の小穴1111の中心は、大穴1112の中心に対して、柱状スペーサ150の側に偏心しているということが出来る。このような構成であれば、スルーホール111の大穴1112と柱状スペーサ150とのスペースsを大きくとることが出来るので、柱状スペーサ150がスルーホール111内に落ち込む確率を小さくすることが出来る。また、スルーホール111において、テーパ角が小さい領域を形成することが出来るので、配向膜材料の流れ込みを容易にして、表示むらの発生を抑えることが出来る。
In other words, it can be said that the center of the
図9は、柱状スペーサ150が別な位置に形成された場合を示す平面図である。図9においても、スルーホール111の小穴1111の中心は、大穴1112の中心に対して柱状スペーサ150が存在している方向に偏心している。図9においても、スルーホール111の大穴1112と柱状スペーサ150とのスペースsを大きくとることが出来るので、柱状スペーサ150がスルーホール111内に落ち込む確率を小さくすることが出来る。また、スルーホール111において、テーパ角が小さい領域を形成することが出来るので、配向膜材料の流れ込みを容易にして、表示むらの発生を抑えることが出来る。
FIG. 9 is a plan view showing a case where the
柱状スペーサは表示領域において多数形成されている。図8および図9における柱状スペーサ150とは、対象とするスルーホール111に最も近い柱状スペーサ150をいう。図8および図9で示した内容をまとめると、スルーホール111の小穴1111は大穴1112に対して、柱状スペーサ150の側に偏心しているということが出来る。
A large number of columnar spacers are formed in the display region. The
なお、図6乃至図9の例では、スルーホール111の大穴1112も小穴1111も円であるとして説明したが、スルーホール111の大穴1112あるいは小穴1112の形状は円に限らず、矩形状でも、6角形状でもよい。
6 to 9, the
図10は、スルーホール111において、大穴1112を楕円とし、小穴1111を円とした場合の例を示す画素部の平面図である。図10において、スルーホール111の小穴1111の中心は、楕円である大穴1112の中心よりも画素の内側方向に偏心している。この構成であれば、スルーホール111の画素の外側方向において、スルーホール111のテーパ角をより小さくすることが出来る。したがって、図10に示すスルーホール形状であれば、図7に示すスルーホールの場合よりも、さらに、配向膜材料のスルーホール内への流れ込みを容易にすることが出来る。
FIG. 10 is a plan view of the pixel portion showing an example in which the
図11はスルーホール111の大穴1112の平面形状が楕円ではなく、長方形とした場合の例である。このとき、スルーホール111の小穴1111は正方形となっている。図11の例もスルーホール111の小穴1112の中心は、大穴1111の中心よりも画素の内側方向に偏心している。この例も図10で説明したのと同様に、配向膜材料のスルーホール111内への流れ込みを容易にすることが出来る。
FIG. 11 shows an example in which the planar shape of the
なお、スルーホール111の形状は、図10あるいは、図11の形状に限らず、他の形状についても同様に適用することが出来る。すなわち、長方形の画素に形成されたスルーホール111の平面形状において、スルーホール111の大穴1112は、画素の長径方向と一致する長径と短径を有し、スルーホール111の小穴1111の中心は、スルーホール111の大穴1112の中心よりも画素の内側方向に偏心している構成であれば、図10あるいは図11と同様な効果を得ることが出来る。
Note that the shape of the through
図12は柱状スペーサ150の位置を考慮した場合のスルーホール111の大穴1112の平面形状が楕円の場合の例である。図12のスルーホール111において、小穴1111の中心は、楕円である大穴1112の中心よりも柱状スペーサ150の側に偏心している。この構成によって、スルーホール111における柱状スペーサ150と反対側の内壁のテーパ角を小さく出来るので、配向膜材料の流れ込みを容易にすることが出来る。また、図12の構成によって、柱状スペーサ150とスルーホール111の大穴1112との間隔sを大きくすることが出来るので、柱状スペーサ150がスルーホール111内に落ち込む確率を小さくすることが出来る。
FIG. 12 shows an example in which the planar shape of the
図12に示す構成は、スルーホール111の大穴1112を楕円にしたことによって、配向膜がスルーホール111内への流れ込みやすさ、柱状スペーサ150がスルーホール111内に落ち込む確率を低下させることのいずれの効果も図9に示す構成よりも、改善することが出来る。
In the configuration shown in FIG. 12, the
なお、図12ではスルーホール111の大穴1112の形状は楕円であるが、これに限らず、大穴1112の形状は長方形でも、他の形状でもよい。すなわち、スルーホール111の平面形状において、スルーホール111の大穴1112は長径と短径を有し、スルーホール111の小穴1111の中心は、スルーホール111の大穴1112の中心よりも柱状スペーサ150の側に偏心している構成である。また、大穴1112の長径は大穴の中心と柱状スペーサとを結ぶ線の方向である。このような構成によって、図12と同様な効果を得ることが出来る。この場合の柱状スペーサ150も対象とするスルーホール111に最も近い柱状スペーサ150を言う。
In FIG. 12, the shape of the
図13は、スルーホール111において、有機パッシベーション膜107に形成されたスルーホールの断面形状である。有機パッシベーション膜107は、2乃至4μmと厚いために、スルーホール111の断面形状は、有機パッシベーション膜107のスルーホールの断面形状によって支配されると考えてよい。したがって、スルーホール111の深さ、スルーホール111のテーパ角等は、有機パッシベーション膜107に形成されたスルーホールの深さ、テーパ角等によって定義しておけばよい。
FIG. 13 shows a cross-sectional shape of the through hole formed in the
図13において、有機パッシベーション膜107のスルーホールの深さはDである。この場合、スルーホールの大穴の径は、有機パッシベーション膜の上面を結ぶ線と有機パッシベーション膜のスルーホールの断面とが接する位置xを基準に測定する。また、スルーホールの小穴の径は、有機パッシベーション膜が切れる部分yを基準に測定する。
In FIG. 13, the depth of the through hole of the
また、スルーホールのテーパ角αは、有機パッシベーション膜107の上面からD/3の位置におけるスルーホールの内壁の接線がスルーホールの上面を結ぶ線となす角度αをいう。つまり、この角度αが小さいほど、配向膜材料がスルーホール内に流れ込みやすくなるといえる。
Further, the taper angle α of the through hole is an angle α formed by a line tangent to the inner wall of the through hole at a position D / 3 from the upper surface of the
尚、本明細書では、対向電極上に層間絶縁膜を設け画素電極を層間絶縁膜上に設ける構成としているが、画素電極と対向電極との位置関係を反転させた構造であってもよい。この場合、対向電極をスルーホールを介して別の電極或いは配線に接続させる場合がある。このような構造であったとしても配向膜をスルーホール内に流れ込みやすくするために本願発明を対向電極に対して適用することが可能である。また、本明細書では、ゲート電極上にゲート絶縁膜を設け、ゲート絶縁膜上に半導体層を設けるボトムゲート構成のTFTを開示しているが、ゲート電極と半導体層との配置が逆となるトップゲート構造のTFTであってもよい。また、有機パッシベーション膜に形成されるスルーホールの問題としているが、無機絶縁膜であってもテーパ角度が急峻になった場合等、同様な問題が生じる可能性があり、その場合は本願発明を無機絶縁膜のスルーホールに対して適用することが可能である。また、図3の構成において、ITOを除去した箇所には層間絶縁膜109が残った構成をなっているが、スルーホールのテーパ部分、及び/或いは、スルーホールの周辺部分の層間絶縁膜を除去するような構造であってもよい。
In this specification, an interlayer insulating film is provided over the counter electrode and a pixel electrode is provided over the interlayer insulating film. However, a structure in which the positional relationship between the pixel electrode and the counter electrode is reversed may be employed. In this case, the counter electrode may be connected to another electrode or wiring through a through hole. Even in such a structure, the present invention can be applied to the counter electrode in order to facilitate the flow of the alignment film into the through hole. In this specification, a bottom-gate TFT in which a gate insulating film is provided over a gate electrode and a semiconductor layer is provided over the gate insulating film is disclosed, but the arrangement of the gate electrode and the semiconductor layer is reversed. A TFT having a top gate structure may be used. In addition, although it is a problem of the through hole formed in the organic passivation film, there is a possibility that the same problem may occur when the taper angle becomes steep even in the case of an inorganic insulating film. It can be applied to through holes in inorganic insulating films. Further, in the configuration of FIG. 3, the
10…画素、 100…TFT基板、 101…ゲート電極、 102…ゲート絶縁膜、 103…半導体層、 104…ドレイン電極、 105…ソース電極、 106…無機パッシベーション膜、 107…有機パッシベーション膜、 108…対向電極(コモン電極)、 109…層間絶縁膜、 110…画素電極、 111…スルーホール、 112…ギャップ、 120…配向膜、 150…柱状スペーサ、 1101…スリット、 1111…スルーホール小穴、 1112…スルーホール大穴
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記TFT基板と対向する対向基板と、
前記TFT基板と前記対向基板との間に挟持された液晶と、を備える液晶表示装置であって、
前記スルーホールは、前記液晶側に位置する上辺と、前記上辺から前記TFT基板側に向かって形成された内壁と、を有し、
前記上辺は、平面視において、長径と短径を有し、
前記スリットは、前記内壁に延在していることを特徴とする液晶表示装置。 An organic film; a common electrode formed on the organic film; an interlayer insulating film formed to cover the common electrode; a pixel electrode having a slit formed on the interlayer insulating film; and the organic film And a TFT substrate having a through hole formed in the interlayer insulating film, and a TFT electrically connected to the pixel electrode through the through hole,
A counter substrate facing the TFT substrate;
A liquid crystal display device comprising: a liquid crystal sandwiched between the TFT substrate and the counter substrate;
The through hole has an upper side located on the liquid crystal side, and an inner wall formed from the upper side toward the TFT substrate side,
The upper side has a major axis and a minor axis in plan view,
The liquid crystal display device, wherein the slit extends to the inner wall.
前記長径は、前記画素の長手方向であることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。 A pixel having the pixel electrode and the TFT;
The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the major axis is a longitudinal direction of the pixel.
前記スリットは、前記TFTと前記画素電極とが接続している部分には延在していないことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液晶表示装置。 The TFT and the pixel electrode are connected and connected through the through hole,
5. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the slit does not extend to a portion where the TFT and the pixel electrode are connected. 6.
前記TFT基板と対向する対向基板と、
前記TFT基板と前記対向基板との間に挟持された液晶と、を備える液晶表示装置であって、
前記スルーホールは、前記液晶側に位置する上辺と、前記上辺から前記TFT基板側に向かって形成された内壁と、を有し、
前記上辺は、平面視において、長径と短径を有しており、
前記第1電極は、スリットを有し、前記スルーホール内にまで形成されており、
前記スリットは、前記内壁にまで延在しており、
前記配向膜は、光配向膜であることを特徴とする液晶表示装置。 A TFT substrate having an organic film, a through hole formed in the organic film, a first electrode formed on the organic film, and an alignment film formed to cover the first electrode;
A counter substrate facing the TFT substrate;
A liquid crystal display device comprising: a liquid crystal sandwiched between the TFT substrate and the counter substrate;
The through hole has an upper side located on the liquid crystal side, and an inner wall formed from the upper side toward the TFT substrate side,
The upper side has a major axis and a minor axis in plan view,
The first electrode has a slit and is formed in the through hole,
The slit extends to the inner wall;
The liquid crystal display device, wherein the alignment film is a photo-alignment film.
前記スルーホールはさらに下辺を有し、前記下辺は前記上辺よりも前記TFT基板側に存在し、前記下辺は、前記上辺に対して前記スペーサの側に偏心している部分を有していることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の液晶表示装置。 An interval between the TFT substrate and the counter substrate is defined by a spacer,
The through-hole further has a lower side, the lower side exists on the TFT substrate side with respect to the upper side, and the lower side has a portion that is eccentric to the spacer side with respect to the upper side. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the liquid crystal display device is a liquid crystal display device.
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