JP2017203885A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016095683A JP6631397B2 (ja) | 2016-05-11 | 2016-05-11 | 感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、酸拡散制御剤の製造方法及び感放射線性樹脂組成物の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016095683A JP6631397B2 (ja) | 2016-05-11 | 2016-05-11 | 感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、酸拡散制御剤の製造方法及び感放射線性樹脂組成物の製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019214649A Division JP6882703B2 (ja) | 2019-11-27 | 2019-11-27 | 酸拡散制御剤及び化合物 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017203885A JP2017203885A (ja) | 2017-11-16 |
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| JP6631397B2 JP6631397B2 (ja) | 2020-01-15 |
Family
ID=60322275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016095683A Active JP6631397B2 (ja) | 2016-05-11 | 2016-05-11 | 感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、酸拡散制御剤の製造方法及び感放射線性樹脂組成物の製造方法 |
Country Status (1)
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|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP6326825B2 (ja) * | 2013-02-18 | 2018-05-23 | 住友化学株式会社 | 塩、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 |
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| JP6062878B2 (ja) * | 2014-03-07 | 2017-01-18 | 信越化学工業株式会社 | 化学増幅型ポジ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 |
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2016
- 2016-05-11 JP JP2016095683A patent/JP6631397B2/ja active Active