JP2017177254A - Sinter body form processing method and processing device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、焼結体の形状加工方法および加工装置に関し、特に、希土類焼結磁石の形状加工に好適に用いられる形状加工方法および加工装置に関する。 The present invention relates to a shape processing method and a processing apparatus for a sintered body, and more particularly to a shape processing method and a processing apparatus suitably used for shape processing of a rare earth sintered magnet.
永久磁石(以下、単に「磁石」という。)は、種々の形状の磁石として用いられる。希土類磁石は、優れた磁気特性を有しており、広く利用されている。その中でも、ネオジム磁石として知られているR−T−B系焼結磁石(Rは希土類元素、TはFeを必ず含む遷移金属元素)は、優れた磁気特性と比較的材料費が安価なことから広く利用されている。 Permanent magnets (hereinafter simply referred to as “magnets”) are used as magnets of various shapes. Rare earth magnets have excellent magnetic properties and are widely used. Among them, an RTB-based sintered magnet known as a neodymium magnet (R is a rare earth element and T is a transition metal element that always contains Fe) has excellent magnetic properties and relatively low material costs. Widely used.
R−T−B系焼結磁石の磁石は、以下の方法で製造される。なお、本明細書において、着磁していない状態のものも磁石という。 The magnet of the RTB-based sintered magnet is manufactured by the following method. In the present specification, a magnet that is not magnetized is also called a magnet.
所望の組成を有するR−T−B系合金の粉末を用意する。合金粉末をプレス成形によって、所望の形状の成形体を得る。成形体を焼結することによって焼結体を得る。必要に応じて、焼結体は、いわゆる時効処理などの熱処理を受ける。熱処理の前または後に、機械加工を受けて、所望の大きさおよび形状の磁石となる。その後、磁石は機械加工で発生し磁石表面に付着した研削加工粉や研削液(冷却液)を除去するために洗浄される。その後、耐食性向上等の目的で種々の表面処理が施される場合もある。 An RTB-based alloy powder having a desired composition is prepared. A compact with a desired shape is obtained by press molding the alloy powder. A sintered body is obtained by sintering the compact. If necessary, the sintered body is subjected to a heat treatment such as so-called aging treatment. Before or after heat treatment, it is machined into a magnet of the desired size and shape. Thereafter, the magnet is washed to remove grinding powder and grinding fluid (cooling fluid) generated by machining and adhering to the magnet surface. Thereafter, various surface treatments may be performed for the purpose of improving corrosion resistance.
R−T−B系焼結磁石の製造効率や材料の歩留りを向上させるために、最終的な磁石の形状(「ネットシェイプ」ということがある。)に近い形状を有する成形体を作製する試みがなされている。例えば、特許文献1には、かまぼこ状および瓦状(弓形またはC形ともいう。)の希土類焼結磁石の製造方法が開示されている。また、特許文献2には、磁石を所望の形状(例えば瓦状)に効率よく加工する方法が開示されている。 In order to improve the manufacturing efficiency of the RTB-based sintered magnet and the yield of the material, an attempt to produce a molded body having a shape close to the final magnet shape (sometimes referred to as “net shape”). Has been made. For example, Patent Document 1 discloses a method for manufacturing a rare earth sintered magnet having a kamaboko shape and a tile shape (also referred to as an arc shape or a C shape). Patent Document 2 discloses a method for efficiently processing a magnet into a desired shape (for example, a tile shape).
近年、モータ等の高性能化に伴い、磁石の形状および寸法の精度に対する要求は厳しくなっている。また、少量多品種の磁石の加工に容易に対応できる加工方法の開発が望まれている。ここでは、焼結磁石の形状加工について説明したが、これに限られず、フェライトなどのセラミック焼結体の形状加工についても同様の問題がある。 In recent years, with the improvement in performance of motors and the like, requirements for the accuracy of the shape and dimensions of magnets have become strict. In addition, it is desired to develop a processing method that can easily cope with processing of a small variety of magnets. Here, the shape processing of the sintered magnet has been described. However, the present invention is not limited to this, and the same problem occurs in the shape processing of a ceramic sintered body such as ferrite.
本発明の目的は、従来よりも高い加工精度が得られ、かつ、少量多品種の焼結体の形状加工に好適に用いられる形状加工方法およびその方法に好適に用いられる加工装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a shape processing method that can achieve higher processing accuracy than the prior art, and that is preferably used for shape processing of a small number of various types of sintered bodies, and a processing apparatus that is preferably used for the method. It is in.
本発明の実施形態による、焼結体の形状加工方法は 凸状の第1主面と前記第1主面の反対側の第2主面とを有する焼結体を用意する工程aと、前記焼結体の前記第1主面を部分的に研削することによって形成される第1基準面、および前記第2主面を少なくとも部分的に研削することによって形成される少なくとも1つの第2基準面、の内の少なくともいずれか一方を形成する工程b1と、前記第1基準面または前記少なくとも1つの第2基準面が第1治具に接触するように前記焼結体を固定する工程cと、前記工程cで前記焼結体を固定した状態で、回転する第1研削ホイールによって前記焼結体を研削することによって、前記第1主面を凸状曲面に加工する、または、前記第2主面を凹状曲面または平坦な面に加工する工程dとを包含する。 According to an embodiment of the present invention, a method for processing a shape of a sintered body includes a step a for preparing a sintered body having a convex first main surface and a second main surface opposite to the first main surface; A first reference surface formed by partially grinding the first main surface of the sintered body, and at least one second reference surface formed by at least partially grinding the second main surface. A step b1 for forming at least one of the above, a step c for fixing the sintered body so that the first reference surface or the at least one second reference surface is in contact with the first jig, In a state where the sintered body is fixed in the step c, the first main surface is processed into a convex curved surface by grinding the sintered body with a rotating first grinding wheel, or the second main surface And d for processing the surface into a concave curved surface or a flat surface. That.
ある実施形態において、前記工程b1は、前記第1基準面および前記少なくとも1つの第2基準面の両方を形成する工程を包含する。 In one embodiment, the step b1 includes forming both the first reference surface and the at least one second reference surface.
ある実施形態において、前記工程dは、前記焼結体を前記第1研削ホイールに対して第1の方向に第1の速度で移動させる工程と、前記第1研削ホイールに対して前記第1の方向とは逆の第2方向に、前記第1の速度よりも大きい第2の速度で移動させる工程とを包含する。前記第1の速度は例えば200mm/min以上500mm/min以下であり、前記第2の速度は例えば1000mm/min以上3000mm/min以下である。 In one embodiment, the step d includes a step of moving the sintered body in a first direction with respect to the first grinding wheel at a first speed, and the first grinding wheel with respect to the first grinding wheel. Moving in a second direction opposite to the direction at a second speed greater than the first speed. The first speed is, for example, 200 mm / min or more and 500 mm / min or less, and the second speed is, for example, 1000 mm / min or more and 3000 mm / min or less.
ある実施形態において、前記工程cは、複数個の前記焼結体を前記第1治具に一列に固定する工程を包含する。 In one embodiment, the step c includes a step of fixing a plurality of the sintered bodies to the first jig in a row.
ある実施形態において、前記工程dの後に、前記工程dで加工された前記第1主面または前記第2主面のいずれか一方の少なくとも一部が第2治具に接触するように前記焼結体を固定する工程eと、前記工程eで前記焼結体を固定した状態で、回転する第2研削ホイールによって前記焼結体を研削することによって、前記第1主面または前記第2主面の他方を所定の形状に加工する工程fとをさらに包含する。 In one embodiment, after the step d, the sintering is performed such that at least a part of either the first main surface or the second main surface processed in the step d is in contact with the second jig. The first main surface or the second main surface by grinding the sintered body with a rotating second grinding wheel in a state where the body is fixed e and the sintered body is fixed in the step e. And a step f of processing the other of the above into a predetermined shape.
ある実施形態において、前記工程fは、前記焼結体を前記第2研削ホイールに対して第3の方向に第3の速度で移動させながら、研削する工程と、前記第2研削ホイールに対して前記第3の方向とは逆の第4方向に、前記第3の速度よりも大きい第4の速度で移動させる工程とを包含する。前記第3の速度は例えば200mm/min以上500mm/min以下であり、前記第4の速度は例えば1000mm/min以上3000mm/min以下である。 In one embodiment, the step f includes a step of grinding the sintered body while moving the sintered body in a third direction at a third speed with respect to the second grinding wheel, and the second grinding wheel. Moving in a fourth direction opposite to the third direction at a fourth speed greater than the third speed. The third speed is, for example, 200 mm / min or more and 500 mm / min or less, and the fourth speed is, for example, 1000 mm / min or more and 3000 mm / min or less.
ある実施形態において、前記工程eは、複数個の前記焼結体を前記第2治具に一列に固定する工程を包含する。 In one embodiment, the step e includes a step of fixing a plurality of the sintered bodies to the second jig in a row.
ある実施形態において、上記いずれかに記載の焼結体の形状加工方法は、前記工程dで前記第1主面を凸状曲面に加工する。前記工程dの後、前記工程fで前記第2主面を凹状曲面または平坦な面に加工してもよい。前記第2主面が平坦な面であるとき、前記第2主面の全体を研削することによって前記第2基準面を形成しておけば、前記工程fを省略することができる。 In one embodiment, the sintered body shape processing method according to any one of the above processes the first main surface into a convex curved surface in the step d. After the step d, the second main surface may be processed into a concave curved surface or a flat surface in the step f. When the second main surface is a flat surface, the step f can be omitted if the second reference surface is formed by grinding the entire second main surface.
ある実施形態において、前記工程dで前記第2主面を凹状曲面または平坦な面に加工し、前記工程fで前記第1主面を凸状曲面に加工する。 In one embodiment, the second main surface is processed into a concave curved surface or a flat surface in the step d, and the first main surface is processed into a convex curved surface in the step f.
ある実施形態において、前記工程aと前記工程dとの間に、前記焼結体の幅を規定する互いに平行な2つの第1側面を形成する工程b2をさらに包含する。 In one embodiment, the method further includes a step b2 of forming two parallel first side surfaces defining the width of the sintered body between the step a and the step d.
ある実施形態において、前記工程aと前記工程dとの間に、前記焼結体の長さを規定する互いに平行な2つの第2側面を形成する工程b3をさらに包含する。 In one embodiment, the method further includes a step b3 of forming two parallel second side surfaces defining the length of the sintered body between the step a and the step d.
本発明の実施形態による加工装置は、上記のいずれかの焼結体の形状加工方法に用いられる加工装置であって、ディスクの外周面が半径方向に対して凹状曲面または凸状曲面である研削ホイールと、回転軸を有するモータと、前記モータの前記回転軸に前記研削ホイールを固定する油圧ブッシュとを備える片持ち研削部と、前記回転軸を上下方向に移動させる機構部とを有する。 A processing apparatus according to an embodiment of the present invention is a processing apparatus used in any one of the above-described methods for processing a sintered body, wherein the outer peripheral surface of the disk is a concave curved surface or a convex curved surface with respect to the radial direction. A cantilever grinding unit including a wheel, a motor having a rotation shaft, and a hydraulic bush for fixing the grinding wheel to the rotation shaft of the motor; and a mechanism unit for moving the rotation shaft in the vertical direction.
ある実施形態において、回転軸は、240N/μm以上の剛性を有している。 In one embodiment, the rotating shaft has a rigidity of 240 N / μm or more.
本発明の実施形態によると、従来よりも高い加工精度が得られ、かつ、少量多品種の焼結体の形状加工に好適に用いられる形状加工方法およびその方法に好適に用いられる加工装置が提供される。 According to the embodiments of the present invention, there is provided a shape processing method that can achieve higher processing accuracy than the prior art and is preferably used for shape processing of a small number of various types of sintered bodies, and a processing apparatus that is preferably used for the method. Is done.
以下、図面を参照して本発明の実施形態による焼結体の形状加工方法およびその方法に好適に用いられる加工装置を説明する。以下では、焼結体としてR−T−B系焼結磁石を用いる例を説明する。R−T−B系焼結磁石は、希土類焼結磁石の中でも加工抵抗が高いので、R−T−B系焼結磁石を加工できれば、他の希土類磁石、フェライト磁石、その他のセラミック焼結体を加工することができる。 Hereinafter, a method for processing a shape of a sintered body according to an embodiment of the present invention and a processing apparatus suitably used for the method will be described with reference to the drawings. Below, the example which uses a RTB system sintered magnet as a sintered compact is demonstrated. Since the RTB-based sintered magnet has a high processing resistance among the rare earth sintered magnets, if the RTB-based sintered magnet can be processed, other rare earth magnets, ferrite magnets, and other ceramic sintered bodies can be obtained. Can be processed.
本発明の実施形態による焼結体の形状加工方法は、図11(a)〜(c)に示すR−T−B系焼結磁石10a〜10cの形状加工に好適に用いられる。これらの焼結磁石10a〜10cは、モータなどに用いられる磁石で、凸状曲面(第1主面)を有している。
The shape processing method of the sintered body according to the embodiment of the present invention is suitably used for shape processing of the RTB-based
焼結磁石10aは、凸状曲面(第1主面)SO(外側R面)と、凹状曲面(第2主面)SI(内側R面)と、幅方向に平行な2つの側面SW1と、長さ方向L1に平行な2つの側面SL1とを有している。第1主面SOと第2主面SIは互いに対向し、幅方向に湾曲している。2つの側面SW1は、長さL1を規定し、2つの側面SL1は幅(最大幅)W1を規定している。
The
焼結磁石10aは、幅を規定する側面が段差を有しているが、図11(b)に示す焼結磁石10bのように段差を有しないものもある。また、図11(c)に示す焼結磁石10cのように、幅を規定する側面が傾斜しているものもある。また、第2主面SIは、必ずしも曲面ではなく、平坦な面の場合もある。
The
焼結磁石10a〜10cの厚さT1〜T3は、例えば7mm〜12mm、幅W1〜W3は40mm〜70mm、長さL1〜L3は50mm〜70mmであり、1つの焼結磁石の質量(「単重」ということがある。)は100gを超え、大きいものは200gを超える。
The thicknesses T1 to T3 of the
このように大型の焼結磁石(単重が100gを超えるものをいうことにする。)の形状加工は、加工負荷が大きいので、従来、例えば、図9(a)および(b)を参照して説明する方法で行われていた。 In this way, the processing of the shape of a large-sized sintered magnet (single weight exceeding 100 g) has a large processing load. Conventionally, for example, refer to FIGS. 9 (a) and 9 (b). It was done by the method explained.
まず、図9(a)に示す様に、カーボン製の台板82上に接着材を用いて複数の焼結磁石10を配列、固定する。焼結磁石10は、ネットシェイプに近い形状を有する成形体を焼結したもので、焼結後に研削等の機械加工を受けていないものであり、表面に小さな凹凸を有する。また、成形体の密度分布などの影響で、焼結磁石の外形がひずんでいることがある。したがって、このような焼結磁石10を直接真空吸着することができないので、接着剤を用いてカーボン製の台板82上に固定する。なお、接着材で貼り合せる前に、台板82と焼結磁石10とを予め加熱しておく。台板82を可動ステージ80a上に例えば真空吸着法で固定する。この状態で、可動ステージ80aを移動させながら、研削ホイール52aで凸状曲面を研削する。その後、台板82から焼結磁石10を剥がし、接着材を除去する。この後、図9(b)に示す様に、研削された凸状曲面を可動ステージ80bに例えば真空吸着によって固定し、研削ホイール52bで凹状曲面を研削する。
First, as shown in FIG. 9A, a plurality of
上記の工程は、人手によるところが多く、作業者による精度のばらつきが避けがたい。また、接着材を用いて貼り付ける工程や剥がす工程があるので、作業が煩雑で、スループットが低い。 The above processes are often manual, and it is difficult to avoid variations in accuracy among workers. In addition, since there are a step of attaching using an adhesive and a step of removing, an operation is complicated and throughput is low.
研削加工には、例えば、図10に示す加工機90が用いられる。加工機90は、平行に配列された3つの研削ホイール52aを回転軸94で回転させる。加工機90は、回転軸94が支持部92を介して両側から支持されている両持ちタイプである。研削時には、研削部に研削液が供給される。研削液が飛散する範囲を制限するために、遮蔽板72が配置されるが、両持ちタイプの加工機90では、図示した様に、加工機90の機構部全体が研削液に晒されることになり、ベアリング等が壊れやすく故障が発生しやすい。また、両持ちタイプでは、研削ホイールの交換作業も煩雑である。
For the grinding process, for example, a
本発明の実施形態による焼結磁石の形状加工方法は、上記の問題の少なくとも一部を解決し、上記の比較例の方法よりも高い加工精度が得られ、かつ、少量多品種の焼結体の形状加工に好適に用いられる形状加工方法およびその方法に好適に用いられる加工装置が提供される。 The shape processing method of the sintered magnet according to the embodiment of the present invention solves at least a part of the above-mentioned problems, provides higher processing accuracy than the method of the above-mentioned comparative example, and is a small quantity and a variety of sintered bodies. There are provided a shape processing method suitably used for the shape processing and a processing apparatus suitably used for the method.
図1に本発明の実施形態による焼結体の形状加工方法のフローチャートを示す。本発明の実施形態による焼結体の形状加工方法は、以下の工程Sa〜Sdを包含する。 FIG. 1 shows a flowchart of a method for processing a shape of a sintered body according to an embodiment of the present invention. A method for processing a shape of a sintered body according to an embodiment of the present invention includes the following steps Sa to Sd.
工程Sa:上記工程aに相当する。凸状の第1主面と第1主面の反対側の第2主面とを有する焼結体を用意する。 Step Sa: corresponds to step a. A sintered body having a convex first main surface and a second main surface opposite to the first main surface is prepared.
工程Sb1:上記工程b1に相当する。焼結体の第1主面を部分的に研削することによって形成される第1基準面、および第2主面を少なくとも部分的に研削することによって形成される少なくとも1つの第2基準面、の内の少なくともいずれか一方を形成する。 Step Sb1: corresponds to the step b1. A first reference surface formed by partially grinding the first main surface of the sintered body, and at least one second reference surface formed by at least partially grinding the second main surface. At least one of them.
第2主面が凹状曲面の場合には、第2主面を部分的に研削することによって2つの第2基準面(例えば図2(a)に示す2つの第2基準面RSa2参照)を形成する。第2主面が平坦な面であるとき、第2主面の全体を研削することによって第2基準面を形成してもよい。例えば、かまぼこ形の焼結体の場合、第2基準面は最終的な焼結体の第2主面となり、その後に研削(加工)を受ける必要がない。以下で、第2主面が凹状曲面の場合を主に説明する。 When the second main surface is a concave curved surface, two second reference surfaces (see, for example, two second reference surfaces RSa2 shown in FIG. 2A) are formed by partially grinding the second main surface. To do. When the second main surface is a flat surface, the second reference surface may be formed by grinding the entire second main surface. For example, in the case of a kamaboko-shaped sintered body, the second reference surface becomes the second main surface of the final sintered body and does not need to be ground (processed) thereafter. Hereinafter, the case where the second main surface is a concave curved surface will be mainly described.
工程Sc:上記工程cに相当する。第1基準面または少なくとも1つの第2基準面が第1治具に接触するように前記焼結体を固定する。すなわち、第1主面を上に向けて、第2主面の少なくとも1つの第2基準面が第1治具に接触するように焼結体を固定する(図3(c)参照)。または、第2主面を上に向けて、第1主面の第1基準面が第1治具に接触するように焼結体を固定する(図5(a)参照)。 Step Sc: corresponds to step c above. The sintered body is fixed so that the first reference surface or at least one second reference surface contacts the first jig. In other words, the sintered body is fixed with the first main surface facing upward so that at least one second reference surface of the second main surface is in contact with the first jig (see FIG. 3C). Alternatively, the sintered body is fixed with the second main surface facing upward so that the first reference surface of the first main surface is in contact with the first jig (see FIG. 5A).
工程Sd:上記工程dに相当する。工程Scで焼結体を固定した状態で、回転する第1研削ホイールによって前記焼結体を研削することによって、第1主面を凸状曲面に加工する(図3(c)参照)、または、第2主面を凹状曲面に加工する(図5(a)参照)。なお、第2主面が平坦な面の場合、工程Sdにおいて、第2主面を平坦な面に加工してもよい。工程Sdは、片持ちタイプの研削部を有する加工機を用いて行うことが好ましい。 Step Sd: corresponds to the above step d. With the sintered body fixed in step Sc, the first main surface is processed into a convex curved surface by grinding the sintered body with the rotating first grinding wheel (see FIG. 3C), or Then, the second main surface is processed into a concave curved surface (see FIG. 5A). When the second main surface is a flat surface, the second main surface may be processed into a flat surface in step Sd. It is preferable to perform process Sd using the processing machine which has a cantilever type grinding part.
工程Saで準備する焼結体は、上述したように、ひずんでいることがある。そこで、工程Sb1で、第1主面および第2主面の少なくとも一方に加工の基準となる基準面を形成する。第1主面を部分的に研削することによって第1基準面が形成される。および/または、第2主面を少なくとも部分的に研削することによって少なくとも1つの第2基準面を形成する。例えば、第2主面が凹状曲面の場合、2つの第2基準面が形成され、第2主面が平坦な面の場合、1つの第2基準面が形成される。第2主面がひずんでいる場合には、3以上の第2基準面が形成される場合がある。 The sintered body prepared in step Sa may be distorted as described above. Therefore, in step Sb1, a reference surface serving as a processing reference is formed on at least one of the first main surface and the second main surface. A first reference surface is formed by partially grinding the first main surface. And / or forming at least one second reference surface by at least partially grinding the second major surface. For example, when the second main surface is a concave curved surface, two second reference surfaces are formed, and when the second main surface is a flat surface, one second reference surface is formed. When the second main surface is distorted, three or more second reference surfaces may be formed.
この第1基準面または少なくとも1つの第2基準面を利用して、治具に精度よく焼結体を固定する。第1基準面または第2基準面を利用して第1治具で固定するので、焼結体のひずみの有無や程度によらず、高い精度で固定することができる。また、接着剤を用いる必要もない。第1治具は焼結体の形状や大きさに応じて適宜準備すればよい。第1治具の例は後に図3を参照して説明する。 Using this first reference surface or at least one second reference surface, the sintered body is fixed to the jig with high accuracy. Since it fixes with a 1st jig | tool using a 1st reference surface or a 2nd reference surface, it can fix with high precision irrespective of the presence or absence and the grade of the distortion | strain of a sintered compact. Moreover, it is not necessary to use an adhesive. What is necessary is just to prepare a 1st jig | tool suitably according to the shape and magnitude | size of a sintered compact. An example of the first jig will be described later with reference to FIG.
図2(a)を参照して説明するように、工程Sb1において、第1基準面および少なくとも1つの第2基準面の両方を形成してよい。このとき、第1基準面と少なくとも1つの第2基準面は互いに平行であることが好ましい。 As described with reference to FIG. 2A, in step Sb1, both the first reference surface and at least one second reference surface may be formed. At this time, it is preferable that the first reference surface and the at least one second reference surface are parallel to each other.
本発明の実施形態による焼結体の形状加工方法は、工程Saと工程Sdとの間に、焼結体の幅Wを規定する互いに平行な2つの第1側面を形成する工程Sb2をさらに包含してもよい。また、工程Saと工程Sdとの間に、焼結体の長さを規定する互いに平行な2つの第2側面を形成する工程Sb3をさらに包含してもよい。求められる精度に応じて工程Sb2および/またはSb3を行えばよい。工程Sb2によって形成された第1側面は、後述の工程Seにおいて、第2治具に焼結体を固定する際に幅方向の基準となり、焼結体の傾きを規制し、加工精度を向上させる役割を持つ。また、リターダやモータでは、円周方向における磁石の位置が性能に影響を与えるので、幅Wの精度は高いことが好ましく、工程Sb2を行うことが好ましい。なお、図11(c)に示した焼結磁石10cのように幅を規定する側面が傾斜している場合には、工程Sb2において所定の傾斜した側面を形成すればよい。工程Sb1、Sb2および/またはSb3は、例えば、図2を参照して後述するように、横軸対向2軸平面研削盤を用いて行われる。
The method for processing a shape of a sintered body according to an embodiment of the present invention further includes a step Sb2 of forming two parallel first side surfaces defining the width W of the sintered body between the step Sa and the step Sd. May be. Moreover, you may further include process Sb3 which forms two mutually parallel 2nd side surfaces which prescribe | regulate the length of a sintered compact between process Sa and process Sd. Steps Sb2 and / or Sb3 may be performed according to the required accuracy. The first side surface formed by the step Sb2 serves as a reference in the width direction when the sintered body is fixed to the second jig in the step Se to be described later, restricts the inclination of the sintered body, and improves the processing accuracy. Have a role. Further, in the retarder and the motor, since the position of the magnet in the circumferential direction affects the performance, it is preferable that the accuracy of the width W is high, and it is preferable to perform the step Sb2. In addition, what is necessary is just to form the predetermined | prescribed inclination side surface in process Sb2, when the side surface which prescribes | regulates a width | variety like the
本発明の実施形態による焼結体の形状加工方法は、工程Sdの後に、以下の工程SeおよびSfを包含してもよい。 The shape processing method of the sintered body according to the embodiment of the present invention may include the following steps Se and Sf after the step Sd.
工程Se:上記工程eに相当する。工程Sdで加工された第1主面または第2主面のいずれか一方の少なくとも一部が第2治具に接触するように焼結体を固定する。 Step Se: corresponds to the step e. The sintered body is fixed so that at least a part of either the first main surface or the second main surface processed in step Sd is in contact with the second jig.
工程Sf:上記工程fに相当する。工程Seで焼結体を固定した状態で、回転する第2研削ホイールによって焼結体を研削することによって、第1主面または第2主面の他方を所定の形状に加工する。 Step Sf: corresponds to step f above. In a state where the sintered body is fixed in step Se, the other of the first main surface and the second main surface is processed into a predetermined shape by grinding the sintered body with the rotating second grinding wheel.
例えば、工程Sdで第1主面を加工した場合、工程Sfは第2主面を加工する工程である。焼結磁石10aのように第2主面が凹状曲面の場合、工程Sfは、第2主面を凹状曲面に加工する工程である。また、工程Sdで第2主面を加工した場合、工程Sfは第1主面を凸状曲面に加工する工程である。工程Sfを行うことによって、焼結体の厚さを規定する第1主面および第2主面が所望の形状に加工される。
For example, when the first main surface is processed in step Sd, step Sf is a step of processing the second main surface. When the second main surface is a concave curved surface like the
工程Sfにおける加工の際には、工程Sdで加工した面および両側の第1側面を基準面として、第2治具に固定することによって、焼結体を高い精度で固定することができる。このときにも接着剤を用いる必要がない。第2治具の例は図4を参照して説明するが、図4の例に限定されず、焼結体の形状や大きさに応じて適宜準備すればよい。第2治具は第1治具と同じものであってもよい。 When processing in step Sf, the sintered body can be fixed with high accuracy by fixing the surface processed in step Sd and the first side surfaces on both sides to the second jig as reference surfaces. At this time, it is not necessary to use an adhesive. An example of the second jig will be described with reference to FIG. 4, but is not limited to the example of FIG. 4, and may be appropriately prepared according to the shape and size of the sintered body. The second jig may be the same as the first jig.
以下、図2から図8を参照して、本発明の実施形態による焼結体の形状加工方法およびそれに用いられる装置の具体例を説明する。ここでは、焼結体として、図11(a)に示した焼結磁石10aを用いる。
Hereinafter, with reference to FIG. 2 to FIG. 8, a specific example of a sintered body shape processing method and an apparatus used therefor according to an embodiment of the present invention will be described. Here, the
図2(a)は、焼結磁石10aに第1基準面および第2基準面を形成する工程(工程Sb1)を説明するための模式図であり、図2(b)は、焼結磁石10aの幅を規定する側面を形成する工程(工程Sb2)を説明するための模式図であり、図2(c)は、焼結磁石10aの長さを規定する側面を形成する工程(工程Sb3)を説明するための模式図である。
FIG. 2A is a schematic diagram for explaining a step (step Sb1) of forming the first reference surface and the second reference surface on the
工程Sb1は、例えば、図2(a)に示す様に、第1基準面RSa1と第2基準面RSa2とを形成する工程である。焼結磁石10aは弓形を有しているので、1つの第1基準面RSa1と2つの第2基準面RSa2が形成される。図11(b)に示した焼結磁石10bの様なかまぼこ形の焼結磁石の場合、平坦な第2主面の全体を1つの第2基準面としてもよい。
Step Sb1 is a step of forming the first reference surface RSa1 and the second reference surface RSa2, for example, as shown in FIG. Since the
工程Sb1は、図2(a)に示す様に、例えば、横軸対向2軸平面研削盤20aを用いて行われる。焼結磁石10aの第1主面SOを部分的に研削することによって第1基準面RSa1を形成するとともに、第2主面SIを部分的に研削することによって2つの第2基準面RSa2を形成する。第1基準面RSa1と2つの第2基準面RSa2とは互いに平行に形成される。なお、第1基準面RSa1および第2基準面RSa2は必ずしも両方形成する必要はなく、工程Sdで第1主面SOを加工する場合は第2基準面RSa2のみ、工程Sdで第2主面SIを加工する場合は第1基準面RSa1のみでもよい。第1基準面RSa1または第2基準面RSa2の一方だけを形成する場合には、例えば、平面研削盤を用いることができる。
As shown in FIG. 2A, the process Sb1 is performed using, for example, a biaxial
第1基準面RSa1および2つの第2基準面RSa2の幅は、それぞれ独立に約1mm以上5mm以下に設定される。これよりも小さいと、基準面としての機能を十分に果たさなくなり、これよりも大きいと材料および研削時間が無駄になる。なお、第2主面SIが平坦で、第2主面SI全体を1つの第2基準面RSa2とする場合は、この限りではない。このような第1基準面RSa1および第2基準面RSa2を形成するために、焼結磁石10aは予めネットシェイプよりも大きく設計されている。
The widths of the first reference surface RSa1 and the two second reference surfaces RSa2 are independently set to about 1 mm or more and 5 mm or less. If it is smaller than this, the function as the reference surface will not be sufficiently performed, and if it is larger than this, the material and the grinding time will be wasted. Note that this is not the case when the second main surface SI is flat and the entire second main surface SI is one second reference surface RSa2. In order to form such first reference surface RSa1 and second reference surface RSa2, the
工程Sb2は、図2(b)に示す様に、例えば、横軸対向2軸平面研削盤20bを用いて行われる。焼結磁石10aの一部を研削することによって、焼結磁石10aの幅W1を規定する互いに平行な2つの第1側面RSb1、RSb2を形成する。第1側面RSb1およびRSb2は、工程Seにおいて、第2治具に焼結磁石10aを固定する際に幅方向の基準となり、焼結磁石10aの傾きを規制し、加工精度を向上させる。
Step Sb2 is performed, for example, using a
工程Sb3は、図2(c)に示す様に、例えば、横軸対向2軸平面研削盤20cを用いて行われる。焼結磁石10aの一部を研削することによって、焼結磁石10aの長さL1を規定する互いに平行な2つの第2側面RSc1、RSc2を形成する。
Step Sb3 is performed, for example, using a biaxial
横軸対向2軸平面研削盤20a〜20cは同じ装置を用いて、砥石の間隔だけを変えて使用してもよい。砥石は、例えば、レジンボンドでダイヤモンド砥粒を保持したレジンボンド砥石である。回転速度は例えば、500rpm以上1500rpm以下である。焼結磁石10aの送り速度は、例えば、0.5m/min以上3m/min以下である。このときに得られる幅W1および長さL1の寸法精度は、±0.02mm程度である。
The horizontal axis opposed biaxial
以下、工程Sdで第1主面SOを加工し、工程Sfで第2主面SIを加工する場合について説明する。 Hereinafter, a case where the first main surface SO is processed in the step Sd and the second main surface SI is processed in the step Sf will be described.
図3(a)〜(c)は、焼結磁石10aに凸状曲面を形成するための治具30Aおよび治具30Aに焼結磁石10aを固定する様子を模式的に示す図である。
FIGS. 3A to 3C are diagrams schematically illustrating a
本発明の実施形態による形状加工方法は、複数個の焼結磁石10aを第1治具に一列に固定する工程を包含してもよい。第1治具として、例えば、図3(a)に示す治具30Aを好適に用いることができる。治具30Aは、焼結磁石10aの幅W1を規定する2つの第1側面RSb1、RSb2に当接または近接する2つ側壁32a、32bと、焼結磁石10aの長さL1方向の一端に配置された側壁32cと、焼結磁石10aの長さL方向の他端に配置された可動側壁32dとを有する。複数個の焼結磁石10aは、図3(b)に示す様に、長さL1方向に沿って互いに接触して配列される。可動側壁32dを側壁32cに向けて移動させることによって、複数個の焼結磁石10aを挟持する。締め付け部34のねじ34bを回すことによって、当て板部34aが可動側壁32dを押し、可動側壁32dを側壁32cに向けて移動させる。可動側壁32dは例えば10cN・mの微小なトルクで複数個の焼結磁石10aを側壁32cに向けて押す。作業者によるばらつきを抑制するために、微小トルクレンチを用いて、ねじ34bを回すことが好ましい。焼結磁石10aの幅W1を規定する2つの第1側面RSb1、RSb2に当接または近接する2つ側壁32a、32b間の距離Wは、焼結磁石10aの幅W1に対して、例えば、クリアランスが1.0μm以上50μmとなるようにする。距離Wは、焼結磁石10aに求められる寸法精度に応じて適宜設定される。側壁32a、32bはねじによって台板30aに固定されており、一方の側壁32aまたは32bを緩めて、他方の側壁32bまたは32aを固定し、これを基準に(すなわち、これに当接するように)、複数個の焼結磁石10aを配列した後、一方の側壁32aまたは32bを複数個の焼結磁石10aの側面に当接するように固定してもよい。
The shape processing method according to the embodiment of the present invention may include a step of fixing the plurality of
このとき、焼結磁石10aは、図3(c)に示す様に、第1主面SOを上に向けて、第2主面SIの第2基準面RSa2が治具30Aに接触するように焼結磁石10aを固定する。このようにして、焼結磁石10aは、接着剤を用いることなく治具30Aに固定される。もちろん、治具30Aと同様の構造の治具を用いて1つの焼結磁石10aを固定することができる。
At this time, as shown in FIG. 3C, the
この後、回転する第1研削ホイールによって焼結磁石10aの第1主面SO側を研削することによって、第1主面SOを凸状曲面に加工する。加工工程は図6を参照して後述する。
Thereafter, the first main surface SO is processed into a convex curved surface by grinding the first main surface SO side of the
第2主面SIの加工には、例えば、図4に示す治具30Bを用いることができる。図4(a)〜(c)は、焼結磁石10aに凹状曲面を形成するための治具30Bおよび治具30Bに焼結磁石10aを固定する様子を模式的に示す図である。図3に示した治具30Aと実質的に同じ機能を有する部材には共通の参照符号を付し説明を省略する。
For example, a
図4(a)〜(c)に示す治具30Bは、図3(a)〜(c)に示した治具30Aと基本的に同じ構造を有しており、それに加えて、凸状曲面とされた第1主面SOに接触する2本のレール33a、33bを有している。第2主面SIを研削する工程では、焼結磁石10aは、第2主面SIを上に向けて、第1主面SOの少なくとも一部が治具30Bに接触するように焼結磁石10aを固定すればよい。2本のレール33aおよび33bは、凸状曲面の中心線に対して対称に配置されることが好ましい。治具30Bに複数個の焼結磁石10aを配列、固定する方法は、治具30Aを用いる場合と同様である。
A
以上、図3および図4を参照して、工程Sdで第1主面SOを加工し、工程Sfで第2主面SIを加工する例を説明した。本発明の実施形態による焼結体の形状加工方法は、工程Sdで第2主面SIを加工し、工程Sfで第1主面SOを加工してもよい。 The example in which the first main surface SO is processed in the step Sd and the second main surface SI is processed in the step Sf has been described above with reference to FIGS. 3 and 4. In the sintered body shape processing method according to the embodiment of the present invention, the second main surface SI may be processed in step Sd, and the first main surface SO may be processed in step Sf.
工程Sdで焼結磁石10aの第2主面SIを加工する場合、図5(a)に示す治具30Cを用いて、焼結磁石10aの第2主面SIを上に向けて、第1主面SOの第1基準面RSa1が治具30Cに接触するように焼結磁石10aを固定した状態で行う。
When processing the second main surface SI of the
工程Sfでは、工程Sdで加工された第2主面SIの一部が、図5(b)に示す治具30Dに接触するように焼結磁石10aを固定した状態で、第1主面SOを凸状曲面に加工する。この順番で、焼結磁石10aを加工すると、図4に示した治具30Bのようにレール33a、33bを有する治具を用いる必要がない。
In step Sf, the first main surface SO is fixed in a state where the
図6および図7を参照して、研削工程を説明する。図6は、焼結磁石10aに凸状曲面を形成するための片持ち研削部を備える加工機40Aを示す模式図である。図7は、焼結体に凹状曲面を形成するための片持ち研削部を備える加工機40Bを示す模式図である。加工機40Aが有する研削ホイール52aが凸状曲面を形成するためのものであるのに対し、加工機40Bが有する研削ホイール52bが凹状曲面を形成するためのものである点だけが異なる。
The grinding process will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a schematic diagram showing a
加工機40Aは、ディスクの外周面が半径方向に凹んだ曲面を有する研削ホイール52aと、回転軸44を有するモータ42と、モータ42の回転軸44に研削ホイール52aを固定する油圧ブッシュ46とを備える片持ち研削部と、回転軸44を上下方向に移動させる機構部60とを有している。
The
治具30Aに固定された焼結磁石10aは、不図示の可動ステージ上に配置されており、回転軸に直交する方向に水平に前後に移動させられる。研削工程は、例えば、焼結磁石10aを研削ホイール52aに対して第1の方向に第1の速度で移動させながら研削する工程と、研削ホイール52aに対して1の方向とは逆の第2方向に第1の速度よりも大きい第2の速度で移動させる工程とを包含してもよい。第1の速度は例えば200mm/min以上500mm/min以下であり、第2の速度は例えば1000mm/min以上3000mm/min以下である。第1の方向に第1の速度で移動させながら研削する工程において、研削工程の全部または大半が完了しているが、第2方向に第1の速度よりも大きい第2の速度で移動する工程において、第1の方向における研削工程よりも少ない研削を行ってもよい。
The
回転軸44は、例えば、240N/μm(1μmのたわみを発生させるために必要な断面2次モーメントの大きさ)以上の剛性を有していることが好ましい。図10に示した両持ちタイプの加工機90の回転軸94の剛性は10N/μm程度であり、加工機40Aの回転軸44は、20倍以上の剛性を有していることになる。このように高い剛性を有する回転軸44を用いることによって、片持ちタイプであっても高い加工精度得ることができる。
The rotating
研削ホイール52aは、ダイヤモンド砥粒(粒径100μm〜200μm)を一層だけ電着したものである。高い加工精度を得るためには、適宜交換する必要がある。また、ここで加工する焼結磁石は少量多品種なので、大きさや形状に応じて、研削ホイール52aを交換する頻度が高い。電着砥石は少量多品種で交換頻度の高い加工に適している。
The
ここでは、油圧ブッシュ46を用いて、研削ホイール52aを回転軸44に固定している。油圧ブッシュ46としては、特表2009−509099号公報(国際公開第2007/032730号)に記載の摩擦継手を用いることができる。例えば、ETPブッシュとしてETP社が製造販売しているETP−T−50を用いることができる。
Here, the grinding
図8を参照する。図8(a)〜(c)は、油圧ブッシュ46を示す模式図であり、図8(a)は断面図、図8(b)は側面図、図8(c)は回転軸44に装着したときの様子を模式的に示す断面図である。
Please refer to FIG. 8A to 8C are schematic views showing the
油圧ブッシュ46は、フランジ46fとスリーブ46sとを有している。プレッシャスクリュー48を締め込むことによりスリーブ46sのチャンバーに充填された圧力媒体46mが加圧される。スリーブ46sは圧力媒体46mからの圧力を内部から受け、図8(c)に示す様に、回転軸44と研削ホイールのハブ52hとを締結する。油圧ブッシュ46は、止めねじ47で回転軸44に固定される。
The
油圧ブッシュ46は、同心円性が高く、かつ、簡単に取り外しが可能であり、加工機40Aおよび40Bは、図10に示した加工機90に比べ、作業性が極めて高い。油圧ブッシュ46と回転軸44はストレート嵌合であるので、回転軸44がすり減りにくく、ゴミ噛み、偏芯などが起こりにくい。このため、砥石が長持ちし、テーパー嵌合の場合必要であった回転軸の修正研磨も不要となる。また、油圧式であるので、十分な力で回転軸44を保持でき、回転軸44の剛性を大きくできる。このため、片持ちタイプでも、高い加工精度を維持できる。また、研削液が飛散する範囲を制限するための遮蔽板72によって、回転軸44が支持されて端部が保護されるので、メインテナンスも容易である。
The
加工機40Aおよび40Bを用いて、T1=約10mm、W1=約50mm、L1=約60mmの焼結磁石10aを加工し、加工精度を評価したところ、第1主面(凸状曲面)SOの9点(サンプル数100個)で、ばらつき(最大値と最小値との差)が0.038mm、σが0.009と非常に高い加工精度が得られた。
Using the
本発明の実施形態は、焼結体の形状加工方法および加工装置、特に、希土類焼結磁石の形状加工に好適に用いられる。 The embodiment of the present invention is suitably used for a shape processing method and a processing apparatus of a sintered body, particularly for shape processing of a rare earth sintered magnet.
10 焼結体
10a、10b、10c 焼結磁石
20a、20b 横軸対向2軸平面研削盤
30A、30B 治具
40A、40B 加工機
42 モータ
44 回転軸
46 油圧ブッシュ
46f フランジ
46m 圧力媒体
46s スリーブ
47 止めねじ
48 プレッシャスクリュー
52a、52b 研削ホイール
52h ハブ
60 機構部
72 遮蔽板
80a、80b 可動ステージ
82 台板
DESCRIPTION OF
Claims (13)
前記焼結体の前記第1主面を部分的に研削することによって形成される第1基準面、および前記第2主面を少なくとも部分的に研削することによって形成される少なくとも1つの第2基準面、の内の少なくともいずれか一方を形成する工程b1と、
前記第1基準面または前記少なくとも1つの第2基準面が第1治具に接触するように前記焼結体を固定する工程cと、
前記工程cで前記焼結体を固定した状態で、回転する第1研削ホイールによって前記焼結体を研削することによって、前記第1主面を凸状曲面に加工する、または、前記第2主面を凹状曲面または平坦な面に加工する工程dと
を包含する、焼結体の形状加工方法。 Preparing a sintered body having a convex first main surface and a second main surface opposite to the first main surface;
A first reference surface formed by partially grinding the first main surface of the sintered body and at least one second reference formed by at least partially grinding the second main surface. A step b1 of forming at least one of the surfaces;
Fixing the sintered body such that the first reference surface or the at least one second reference surface is in contact with a first jig; and
In a state where the sintered body is fixed in the step c, the first main surface is processed into a convex curved surface by grinding the sintered body with a rotating first grinding wheel, or the second main surface A method of processing a shape of a sintered body, comprising a step d of processing a surface into a concave curved surface or a flat surface.
前記工程eで前記焼結体を固定した状態で、回転する第2研削ホイールによって前記焼結体を研削することによって、前記第1主面または前記第2主面の他方を所定の形状に加工する工程fと
をさらに包含する、請求項1から4のいずれかに記載の焼結体の形状加工方法。 After the step d, a step of fixing the sintered body so that at least a part of either the first main surface or the second main surface processed in the step d is in contact with the second jig. e,
With the sintered body fixed in the step e, the sintered body is ground by a rotating second grinding wheel to process the other of the first main surface or the second main surface into a predetermined shape. The method of processing a shape of a sintered body according to any one of claims 1 to 4, further comprising a step (f).
ディスクの外周面が半径方向に対して凹状曲面または凸状曲面である研削ホイールと、回転軸を有するモータと、前記モータの前記回転軸に前記研削ホイールを固定する油圧ブッシュとを備える片持ち研削部と、
前記回転軸を上下方向に移動させる機構部材と
を有する、加工装置。 It is a processing apparatus used for the shape processing method of the sintered compact according to any one of claims 1 to 11,
Cantilever grinding comprising: a grinding wheel whose outer peripheral surface of the disk is a concave curved surface or a convex curved surface with respect to the radial direction; a motor having a rotating shaft; And
A processing apparatus comprising: a mechanism member that moves the rotating shaft in a vertical direction.
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