JP2017173140A - Holding tool and stage device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、保持具およびステージ装置に関する。 The present invention relates to a holder and a stage device.
ガイドに沿って可動部が移動するステージ装置が知られている。従来では、可動部にチューブが連結され、そのチューブから供給される気体により可動部がガイドに沿って非接触で直進案内されるステージ装置が提案されている(例えば特許文献1参照)。 A stage apparatus in which a movable part moves along a guide is known. Conventionally, there has been proposed a stage device in which a tube is connected to a movable part, and the movable part is linearly guided in a non-contact manner along a guide by a gas supplied from the tube (see, for example, Patent Document 1).
特許文献1に記載されるようなステージ装置では、通常、可動部や所定の静止部に固定された保持具によりチューブが保持される。可動部が繰り返し移動すると、これに伴ってチューブが繰り返し変形し、チューブと保持部の角部とが繰り返し接触する。この繰り返しの接触により、チューブは損傷しうる。損傷した場合は、メンテナンスが必要となり、生産性が低下する。 In a stage apparatus as described in Patent Document 1, a tube is usually held by a holder fixed to a movable part or a predetermined stationary part. When the movable portion repeatedly moves, the tube is repeatedly deformed accordingly, and the tube and the corner portion of the holding portion are repeatedly contacted. This repeated contact can damage the tube. If it is damaged, maintenance is required and productivity is reduced.
このような課題は、可動部に気体を供給するためのチューブを保持具により保持する場合に限らず、可動部に連結される他のチューブ、ケーブル、その他の紐状部材を保持具により保持する場合にも起こりうる。 Such a problem is not limited to the case where the tube for supplying gas to the movable part is held by the holder, but other tubes, cables, and other string members connected to the movable part are held by the holder. It can also happen.
本発明は、こうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、静止部とステージ装置の可動部とに連結される紐状部材を保持する保持具において、保持具との接触により紐状部材が損傷するのを抑止する技術を提供することにある。 The present invention has been made in view of such a situation, and an object of the present invention is to hold a string-like member connected to a stationary part and a movable part of a stage device, and to form a string by contacting the holder. An object of the present invention is to provide a technique for preventing the member from being damaged.
上記課題を解決するために、本発明のある態様の保持具は、静止部とステージ装置の可動部とに連結される紐状部材の保持具であって、保持具は、静止部または可動部の一方に設けられ、紐状部材は、保持具に拘束される拘束部と、拘束部から静止部または可動部の他方に延び、可動部の移動に伴い変形可能である非拘束部と、拘束部と非拘束部との境界部と、を有する。境界部の少なくとも一部に面する樹脂部を備える。 In order to solve the above-described problems, a holder according to an aspect of the present invention is a string-like member holder connected to a stationary part and a movable part of a stage device, and the holder is a stationary part or a movable part. The string-like member is provided on one of the two, a restraint portion restrained by the holder, a non-restraint portion that extends from the restraint portion to the other of the stationary portion or the movable portion and can be deformed as the movable portion moves, And a boundary portion between the portion and the non-restraining portion. A resin portion facing at least a part of the boundary portion is provided.
なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや、本発明の構成要素や表現を方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。 Note that any combination of the above-described constituent elements, and those obtained by replacing the constituent elements and expressions of the present invention with each other among methods, apparatuses, systems, etc. are also effective as an aspect of the present invention.
本発明によれば、静止部とステージ装置の可動部とに連結される紐状部材を保持する保持具において、保持具との接触により紐状部材が損傷するのを抑止する技術を提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, in the holder holding the string-like member connected with a stationary part and the movable part of a stage apparatus, the technique which suppresses that a string-like member is damaged by contact with a holder can be provided.
以下、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、工程には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図面における部材の寸法は、理解を容易にするために適宜拡大、縮小して示される。また、各図面において実施の形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。 Hereinafter, the same or equivalent components, members, and processes shown in the drawings are denoted by the same reference numerals, and repeated descriptions are appropriately omitted. In addition, the dimensions of the members in each drawing are appropriately enlarged or reduced for easy understanding. Also, in the drawings, some of the members that are not important for describing the embodiment are omitted.
図1(a)、(b)は、実施形態に係るステージ装置100を示す図である。図1(a)は、ステージ装置100の上面図である。図1(b)は、ステージ装置100の側面図である。図1(b)では、チューブ30の表示を省略している。ステージ装置100は、一軸ステージと称され、対象物を位置決めする。説明の便宜上、図示のように、ガイド20の長手方向をx軸方向、鉛直方向をz軸方向、両者に直交する方向をy軸方向とするxyz直交座標系を定める。
1A and 1B are diagrams showing a
ステージ装置100は、定盤10と、2つの支持部材12と、ガイド20と、スライダ22と、チューブ30と、第1保持具40aおよび第2保持具40b(以下、これらをまとめて「保持具40」とも呼ぶ)と、圧縮気体供給源70と、を備える。
The
定盤10は、平面視で矩形状の板状の部材である。定盤10の上面である盤面10aは平坦に形成される。盤面10aには、2つの支持部材12がx軸方向に離間して設けられる。
The
ガイド20は、四角柱状の部材である。ガイド20は、定盤10上に設けられた支持部材12により両端が支持される。
The
スライダ22は、断面が四角形の筒状体であり、ガイド20が挿通される。スライダ22は、ガイド20に沿ってx軸方向に移動可能に構成される。本実施の形態では、スライダ22は、ガイド20およびチューブ30とともにエアスライドを構成し、チューブ30から圧縮気体が供給されることによってガイド20と非接触状態でガイド20に沿って移動する。
The
第1保持具40aは、スライダ22の側面22aに固定される。第2保持具40bは、定盤10の盤面10aに固定される。保持具40の構成は図2で後述する。
The
チューブ30は、樹脂等で形成され、軟質で可撓性を有する。チューブ30は、x軸方向に湾曲する円弧状湾曲部30aを有するよう配置され、一端側は第1保持具40aに保持されてスライダ22に連結され、他端側は第2保持具40bに保持されて圧縮気体供給源70に連結される。チューブ30は、圧縮気体供給源70からの圧縮気体をスライダ22に供給する。
The
図2(a)、(b)は、第1保持具40aを示す。図2(a)は第1保持具40aをx軸方向から見た図を示し、図2(b)は、図2(a)のA−A線断面図である。なお、代表して第1保持具40aの構成を説明するが、第2保持具40bについても同様の説明が当てはまる。
2A and 2B show the
第1保持具40aは、第1部材42と、第2部材44と、を含む。第1部材42は、スライダ22の側面22aに固定される。第1部材42は、樹脂(例えばフッ素樹脂)により形成される板状の第1樹脂部46と、金属により形成される板状の第1金属部48と、を含む。第1樹脂部46と第1金属部48は、x軸方向に隣接し、ボルトや接着により互いに固定されている。
The
第2部材44は、第1部材42との間でチューブ30を挟みつつ、第1部材42にボルト等で固定される。第2部材44は、樹脂(例えばフッ素樹脂)により形成される板状の第2樹脂部50と、金属により形成される板状の第2金属部52と、を含む。第2樹脂部50と第2金属部52は、互いの主面がy軸方向で向き合った状態で、ボルトや接着により互いに固定されている。第2樹脂部50は、第1部材42(すなわち第1樹脂部46および第1金属部48)と対向する。
The
第2部材44と対向する第1部材42の面には、y軸方向に凹んだ4つの溝42aが形成されている。4つの溝42aは、断面が円弧状であり、x軸方向に延びる。同様に、第1部材42と対向する第2部材44の面には、y軸方向に凹んだ4つの溝44aが形成されている。溝44aは、断面が円弧状であり、x軸方向に延びている。溝42aと溝44aとはy軸方向で対向し、それらの間にチューブ30が収まる。
Four
第1保持具40aは、第1部材42と第2部材44とで挟み込むことにより、チューブ30の一端側を保持する。以降では、保持具40の第1部材42と第2部材44に挟み込まれて拘束されるチューブ30の部分を拘束部32、他方の保持具40に向かって延び、保持具40に拘束されずにスライダ22の移動に伴って変形可能なチューブ30の部分を非拘束部34、拘束部32と非拘束部34との間のチューブ30の部分を境界部36と呼ぶ。第1保持具40aがチューブ30を保持するとき、第1部材42の第1樹脂部46と第2部材44の第2樹脂部50が、境界部36と面する。
The
以上説明した実施の形態に係る保持具40によると、チューブ30の境界部36は、第1部材42の第1樹脂部46と、第2部材44の第2樹脂部50とで挟み込まれる。ここで、スライダ22が繰り返し移動すると、これに伴って非拘束部34は繰り返し変形し、非拘束部34の繰り返しの変形に伴って境界部36は第1部材42の角部42bや第2部材44の角部44bと繰り返し接触する。これに対し、本実施の形態では、第1部材42の角部42bや第2部材44の角部44bは樹脂(すなわち金属に比べて軟らかい素材)により形成されているため、境界部36が角部42b、44bと繰り返し接触することにより境界部36が損傷するのを抑止できる。
According to the
また、実施の形態に係る保持具40によると、第1部材42の第1金属部48もチューブ30の拘束部32と面する。すなわち、保持具40は、樹脂部だけでなく金属部も拘束部32と面する。これにより、チューブ30と保持具40との間に十分な摩擦力を得ることができ、チューブ30を強固に保持できる。
Further, according to the
以上、実施の形態に係る保持具を備えるステージ装置について説明した。この実施の形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組合せにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。以下変形例を示す。 The stage device including the holder according to the embodiment has been described above. This embodiment is an exemplification, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications can be made to combinations of the respective constituent elements and processing processes, and such modifications are also within the scope of the present invention. is there. A modification is shown below.
(変形例1)
図3は、変形例に係るステージ装置を示す図である。ステージ装置のスペースの都合上、第1保持具40aと第2保持具40bのY軸方向の距離が比較的近くなる場合がある。この場合、チューブ30(すなわち非拘束部34)の円弧状湾曲部30aの曲率半径が比較的小さくなる。円弧状湾曲部30aの曲率半径が小さくなると、チューブ30の反発力(弾性力)により、非拘束部34は、保持具40に対して円弧状湾曲部30aが配置される側とは反対側に変形しようとする。具体的には、図3において左側にスライダ22が移動すると、非拘束部34の第2保持具40b側は、二点差線で示すように第2保持具40bに対して円弧状湾曲部30aとは反対側に変形しようとする。また、図3において右側にスライダ22が移動すると、非拘束部34の第1保持具40a側は、二点差線で示すように第1保持具40aに対して円弧状湾曲部30aとは反対側に変形しようとする。
(Modification 1)
FIG. 3 is a diagram illustrating a stage apparatus according to a modification. Due to the space of the stage device, the distance in the Y-axis direction between the
これに対し、本変形例では、ステージ装置は、2つのプレート56を備える。2つのプレート56は、壁となって、チューブ30が保持具40に対して円弧状湾曲部30aとは反対側に変形しないよう規制する。プレート56は例えば、拘束部32と、境界部36と、非拘束部34の境界部36側の部分とが実質的に真っ直ぐになっているときに、非拘束部34の境界部36側の部分に当接するよう設けられてもよい。プレート56は、例えばフッ素樹脂などの樹脂により形成されてもよい。
On the other hand, in the present modification, the stage device includes two
本変形例によれば、チューブ30が保持具40の角部と接触するのをより抑止でき、チューブ30が損傷するのを抑止できる。
According to this modification, it can suppress that the
(変形例2)
図4は、別の変形例に係るステージ装置を示す図である。本変形例では、ステージ装置は、保持具40をz軸周りに回動可能に支持する2つの回動支持部を含む。第1回動支持部60は、スライダ22の側面22aに固定され、第1保持具40aをz軸周りに回動可能に支持する。第2回動支持部62は、盤面10aに固定され、第2保持具40bをz軸周りに回動可能に支持する。2つの回動支持部は、例えばベアリングや弾性ヒンジを含んで構成される。
(Modification 2)
FIG. 4 is a diagram showing a stage apparatus according to another modification. In this modification, the stage device includes two rotation support portions that support the
本変形例によれば、スライダ22の移動に伴ってチューブ30(すなわち非拘束部34)が変形すると、チューブ30の反発力にしたがって、第1保持具40a、第2保持具40bはそれぞれ、z軸周りに回動する。第1保持具40aは特に、拘束部32、境界部36、および非拘束部34の境界部36側の端部が実質的に一直線になるようz軸周りに回動する。同様に、第2保持具40bは特に、拘束部32、境界部36、および非拘束部34の境界部36側の端部が実質的に一直線になるようz軸周りに回動する。これにより、非拘束部34の境界部36側の端部が湾曲するのを抑止でき、端部が疲労するのを抑止できる。また、境界部36が第1部材42の角部42bや第2部材44の角部44bと接触するのを抑止でき、境界部36が損傷するのが抑止できる。つまり、本変形例によれば、チューブ30が損傷するのを抑止できる。
According to this modification, when the tube 30 (that is, the unconstrained portion 34) is deformed with the movement of the
(変形例3)
実施の形態では、保持具40がスライダ22にエアを供給するためのチューブ30を保持する場合について説明したが、これに限られず、保持具40は、チューブ30に加えてまたはチューブ30に代えて、静止部とスライダ22とに連結されるケーブル、その他の紐状部材を保持してもよい。
(Modification 3)
In the embodiment, the case where the
(変形例4)
実施の形態では、保持具40の第1部材42は、第1樹脂部46と第1金属部がチューブ30に面する場合について説明したが、これに限られず、第2部材44と同様に、樹脂部だけがチューブ30に面するように構成されてもよい。また、第2部材44は、第2樹脂部50だけがチューブ30と面する場合について説明したが、これに限られず、第1部材42と同様に樹脂部と金属部とがチューブ30に面するよう構成されてもよい。また、第1部材42と第2部材44の両方の樹脂部がチューブ30の境界部36に面する場合について説明したが、これに限られず、第1部材42と第2部材44のどちらか一方の樹脂部と他方の金属部が境界部36に面するよう構成されてもよい。
(Modification 4)
In the embodiment, the
上述した実施の形態および変形例の任意の組み合わせもまた本発明の実施の形態として有用である。組み合わせによって生じる新たな実施の形態は、組み合わされる実施の形態および変形例それぞれの効果をあわせもつ。また、請求項に記載の各構成要件が果たすべき機能は、実施の形態および変形例において示された各構成要素の単体もしくはそれらの連係によって実現されることも当業者には理解されるところである。例えば、請求項に記載の静止部、可動部はそれぞれ、実施の形態に記載の圧縮気体供給源70、スライダ22により実現されてもよい。また例えば、請求項に記載の逆反り抑制機構は、変形例に記載のプレート56や第1回動支持部60、第2回動支持部62により実現されてもよい。
Any combination of the above-described embodiments and modifications is also useful as an embodiment of the present invention. The new embodiment generated by the combination has the effects of the combined embodiment and the modified examples. In addition, it should be understood by those skilled in the art that the functions to be fulfilled by the constituent elements described in the claims are realized by the individual constituent elements shown in the embodiments and the modified examples or by their linkage. . For example, the stationary part and the movable part described in the claims may be realized by the compressed
20 ガイド、 22 スライダ、 30 チューブ、 32 拘束部、 34 非拘束部、 36 境界部、 40 保持具、 40a 第1保持具、 40b 第2保持具、 42 第1部材、 42b 角部、 44 第2部材、 44b 角部、 46 第1樹脂部、 48 第1金属部、 50 第2樹脂部、 52 第2金属部、 56 プレート、 60 第1回動支持部、 62 第2回動支持部、 70 圧縮気体供給源、 100 ステージ装置。 20 Guide, 22 Slider, 30 Tube, 32 Restraint, 34 Non-restraint, 36 Boundary, 40 Holder, 40a First Holder, 40b Second Holder, 42 First Member, 42b Corner, 44 Second Member, 44b corner portion, 46 first resin portion, 48 first metal portion, 50 second resin portion, 52 second metal portion, 56 plate, 60 first rotation support portion, 62 second rotation support portion, 70 Compressed gas supply source, 100 stage device.
Claims (4)
前記保持具は、前記静止部または前記可動部の一方に設けられ、
前記紐状部材は、前記保持具に拘束される拘束部と、前記静止部または前記可動部の他方に向かって延び、前記可動部の移動に伴い変形可能である非拘束部と、前記拘束部と前記非拘束部との境界部と、を有し、
前記境界部の少なくとも一部に面する樹脂部を備えることを特徴とする保持具。 A string-like member holder connected to the stationary part and the movable part of the stage device,
The holder is provided on one of the stationary part or the movable part,
The string-like member includes a restraint portion restrained by the holder, a non-restraint portion that extends toward the other of the stationary portion or the movable portion, and is deformable as the movable portion moves, and the restraint portion And a boundary portion with the non-restraining portion,
A holder comprising a resin portion facing at least a part of the boundary portion.
前記境界部に面する第2樹脂部を有する第2部材と、を含み、
前記第1部材と前記第2部材とで挟み込むことにより、前記紐状部材を保持することを特徴とする請求項1に記載の保持具。 A first member having a first resin portion facing the boundary portion;
A second member having a second resin portion facing the boundary portion,
The holder according to claim 1, wherein the string-like member is held by being sandwiched between the first member and the second member.
請求項1または2に記載の保持具と、を備えることを特徴とするステージ装置。 The movable part;
A stage apparatus comprising: the holder according to claim 1.
前記保持具に対し前記円弧状湾曲が配置される側とは反対側への前記紐状部材の変形を抑止する逆反り抑制機構を備えることを特徴とする請求項3に記載のステージ装置。 The string-like member is disposed so as to have an arcuate curve in the non-restraining portion,
The stage apparatus according to claim 3, further comprising a reverse warpage suppressing mechanism that suppresses deformation of the string-like member toward a side opposite to a side on which the arcuate curve is disposed with respect to the holder.
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