JP2017167263A - 高分解能光学顕微鏡計測法 - Google Patents
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Abstract
Description
すなわち、本発明は、膜厚100nm以下の光透過性の薄膜上に長径1μm未満の被測定物体を分散させ、光学顕微鏡の対物レンズを通して光学顕微鏡画像を得ることにより長径1μm未満の被測定物体を画像化する高分解能光学顕微鏡計測法である。
また、本発明は、上記高分解能光学顕微鏡計測法において、前記薄膜の材料は、炭素系素材、薄膜シリコン、酸化物、窒化物、単原子薄膜、または、層状化合物であることを特徴とする。
また、本発明は、上記高分解能光学顕微鏡計測法において、前記対物レンズと前記薄膜の間は、大気、真空、または、前記薄膜と屈折率の異なる溶媒であることを特徴とする。
また本発明は、上記高分解能光学顕微鏡計測法を用いて、予め、既知の複数の粒径の標準試料について各粒径毎の光学顕微鏡画像を得て、各粒径毎の光学顕微鏡画像のコントラストの違いから粒径とコントラストの関係を表す検量線を求めておき、次に上記高分解能光学顕微鏡計測法を用いて、粒径1μm未満の被測定試料について光学顕微鏡画像を得、当該光学顕微鏡画像からコントラストを求め、求めたコントラストを予め求めていた前記検量線に当てはめることにより粒径を求める粒径推定法である。
また、予め複数の既知粒径の標準試料を用いて計測し粒径とコントラストの関係を求めておけば、被測定試料のコントラストにより粒径を求めることができる。
なお、落射式と透過式について説明したが、その他の微分干渉モード、偏光顕微鏡などの各種モードの光学顕微鏡で実現可能であることはいうまでもない。
さらに、予め複数の粒径について標準粒子を用いて得た顕微鏡画像から、粒径とコントラストの校正曲線を求めておき、被測定試料の顕微鏡画像から前記校正曲線を用いて粒径を推定することもできる。
図2は、対物レンズと薄膜間について、大気、真空、または、薄膜と異なる屈折率の溶媒を入れる場合のいずれでも可能であることを示した図である。なお、図2の左側図が落射式、右側図が透過式によるものである。
使用する薄膜の材料は、炭素系素材、薄膜シリコン、酸化物、窒化物をはじめする、薄膜状態で光を透過する材料であれば使用できる。
単原子薄膜や層状化合物の層(100層以下ただし総厚100nm以下)上に、長径1μm未満の寸法の構造体を含む材料を分散させ、光学レンズを通して撮像素子に結像することにより、微細な材料を画像化することもできる。
溶液中に100nm以下薄膜の支持基板を固定することにより、環境中での観察が可能である。
暗視野照明や偏光を利用することにより、コントラスト・分解能を向上できる。
図3は、粒径150nmのポリスチレンラテックス粒子(PSL粒子)を膜厚30nmのフォルムバール膜上にのせ、落射光源を利用する汎用の光学顕微鏡(図3左図参照)で、対物レンズを通して撮像素子(CCD等)上に孤立粒子の画像を得ることができた光学顕微鏡画像(図3中央図参照)である。図3右図は、同じ試料のほぼ同一視野に対して原子間力顕微鏡で得られた画像である。光学顕微鏡画像と原子間力顕微鏡の画像とを対比すれば、両者で対応する位置に粒子画像が得られており、本発明の光学顕微鏡計測法により、従来解像限界を越え実現不可能と考えられていた長径1μm未満の被測定試料の光学顕微鏡画像が得られることが確認された。
また、電子顕微鏡・原子間力顕微鏡で精密な測定をする前に、簡単に、微細な粒子等の存在を位置合わせ用光学顕微鏡を用いて確認できる。
Claims (4)
- 膜厚100nm以下の光透過性の薄膜上に長径1μm未満の被測定物体を分散させ、光学顕微鏡の対物レンズを通して光学顕微鏡画像を得ることにより長径1μm未満の被測定物体を画像化する高分解能光学顕微鏡計測法。
- 前記薄膜の材料は、炭素系素材、薄膜シリコン、酸化物、窒化物、単原子薄膜、または、層状化合物であることを特徴とする請求項1記載の高分解能光学顕微鏡計測法。
- 前記対物レンズと前記薄膜の間は、大気、真空、または、前記薄膜と屈折率の異なる溶媒であることを特徴とする請求項1または2記載の高分解能光学顕微鏡計測法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の高分解能光学顕微鏡計測法を用いて、予め、既知の複数の粒径の標準試料について各粒径毎の光学顕微鏡画像を得て、各粒径毎の光学顕微鏡画像のコントラストの違いから粒径とコントラストの関係を表す検量線を求めておき、
次に、請求項1〜3のいずれかに記載の高分解能光学顕微鏡計測法を用いて、粒径1μm未満の被測定試料について光学顕微鏡画像を得、当該光学顕微鏡画像のコントラストを求め、求めたコントラストを予め求めていた前記検量線に当てはめることにより粒径を求める粒径推定法。
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