JP2017161456A - Light detector - Google Patents

Light detector Download PDF

Info

Publication number
JP2017161456A
JP2017161456A JP2016048432A JP2016048432A JP2017161456A JP 2017161456 A JP2017161456 A JP 2017161456A JP 2016048432 A JP2016048432 A JP 2016048432A JP 2016048432 A JP2016048432 A JP 2016048432A JP 2017161456 A JP2017161456 A JP 2017161456A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
region
scintillator
conversion efficiency
thickness
scintillators
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2016048432A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
景子 藤井
Keiko Fujii
景子 藤井
野村　裕子
Hiroko Nomura
裕子 野村
細野　靖晴
Yasuharu Hosono
靖晴 細野
光吉 小林
Mitsuyoshi Kobayashi
光吉 小林
励 長谷川
Tsutomu Hasegawa
励 長谷川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2016048432A priority Critical patent/JP2017161456A/en
Publication of JP2017161456A publication Critical patent/JP2017161456A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve improvement of detection accuracy.SOLUTION: A light detector 22 includes a scintillator layer 36 and a detection element 32. The scintillator layer 36 converts radiation into scintillator light. The detection element 32 is arranged along a first surface 33A opposed to the scintillator layer 36 and detects a signal according to light. The scintillator layer 36 has a first region 36A and a second region 36B. The first region 36A corresponds to one or more continuous detection elements 32 and is a region where conversion efficiency of converting the radiation into the light is first conversion efficiency. The second region 36B corresponds to one or more continuous detection elements 32 other than the detection elements 32 corresponding to the first region 36A out of a plurality of detection elements 32 nd is a region where conversion efficiency of converting the radiation into the light is second conversion efficiency lower than the first conversion efficiency.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明の実施形態は、光検出器に関する。   Embodiments described herein relate generally to a photodetector.

複数の検出素子と、放射線をシンチレーション光に変換するシンチレータ層と、を組み合わせた光検出器が開示されている。また、このような光検出器における検出精度の向上を図る技術が開示されている。   A photodetector that combines a plurality of detection elements and a scintillator layer that converts radiation into scintillation light is disclosed. In addition, a technique for improving detection accuracy in such a photodetector is disclosed.

例えば、光検出素子に接触する側の面積が放射線を入射する側の面積より大きい形状のシンチレータを用いた構成が開示されている。また、シンチレータ層を複数のピクセルブロックに分割し、各ピクセルブロックに、層特性の異なる複数種類のシンチレータ層を備えた構成が開示されている。   For example, a configuration using a scintillator having a shape in which the area on the side in contact with the light detection element is larger than the area on the side on which radiation is incident is disclosed. In addition, a configuration is disclosed in which the scintillator layer is divided into a plurality of pixel blocks, and each pixel block includes a plurality of types of scintillator layers having different layer characteristics.

特開２０１０−１３３９５７号公報JP 2010-133957 A 特開２０１１−２３２１９７号公報JP 2011-232197 A

Ｋ．Ｔａｇｕｃｈｉ ａｎｄ Ｊ．Ｓ．Ｉｗａｎｃｚｙｋ， Ｍｅｄ．Ｐｈｙｓ．４０ １００９０１（２０１３）, “Ｓｉｎｇｌｅ ｐｈｏｔｏｎ ｃｏｕｎｔｉｎｇ Ｘ−ｒａｙ ｄｅｔｅｃｔｏｒｓ ｉｎ ｍｅｄｉｃａｌ ｉｍａｇｉｎｇ”K. Taguchi and J.M. S. Iwanczyk, Med. Phys. 40 100901 (2013), “Single photo counting X-ray detectors in medical imaging”

しかし、従来では、極端に強い光が入射すると、信号のパイルアップが発生する場合があった。このパイルアップにより、信号の検出精度が低下する場合があった。   However, conventionally, when extremely intense light is incident, signal pileup may occur. In some cases, the pile-up reduces signal detection accuracy.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、信号の検出精度の向上を図ることができる、光検出器を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a photodetector that can improve the detection accuracy of a signal.

実施形態の光検出器は、シンチレータ層と、検出素子と、を備える。シンチレータ層は、放射線を光に変換する。検出素子は、シンチレータ層に対向する第１面に沿って配列され、光に応じた信号を検出する。シンチレータ層は、第１領域と、第２領域と、を有する。第１領域は、１以上の連続する検出素子に対応し、放射線を光に変換する変換効率が第１変換効率の領域である。第２領域は、複数の検出素子の内、第１領域に対応する検出素子以外の、１以上の連続する検出素子に対応し、変換効率が第１変換効率より低い第２変換効率の領域である。   The photodetector of the embodiment includes a scintillator layer and a detection element. The scintillator layer converts radiation into light. The detection elements are arranged along a first surface facing the scintillator layer and detect a signal corresponding to light. The scintillator layer has a first region and a second region. The first region corresponds to one or more continuous detection elements, and the conversion efficiency for converting radiation into light is a region where the first conversion efficiency is present. The second region corresponds to one or more continuous detection elements other than the detection elements corresponding to the first region among the plurality of detection elements, and is a second conversion efficiency region in which the conversion efficiency is lower than the first conversion efficiency. is there.

検査装置の一例を示す模式図。The schematic diagram which shows an example of an inspection apparatus. 光検出器の説明図。Explanatory drawing of a photodetector. 光検出器の断面図。Sectional drawing of a photodetector. 光検出器の変換効率を示す線図。The diagram which shows the conversion efficiency of a photodetector. 光検出器の変換効率を示す線図。The diagram which shows the conversion efficiency of a photodetector. 光検出器の模式図。The schematic diagram of a photodetector. 信号の強度分布を示す線図。The diagram which shows intensity distribution of a signal.

以下に添付図面を参照して、本実施の形態の詳細を説明する。   Details of the present embodiment will be described below with reference to the accompanying drawings.

図１は、本実施の形態の検査装置１の一例を示す模式図である。本実施の形態では、光検出器を、検査装置１に搭載した形態を、一例として説明する。   FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an example of an inspection apparatus 1 according to the present embodiment. In the present embodiment, a mode in which the photodetector is mounted on the inspection apparatus 1 will be described as an example.

検査装置１は、光源１１と、放射線検出装置１０と、駆動部１３と、を備える。光源１１および駆動部１３は、放射線検出装置１０に電気的に接続されている。   The inspection device 1 includes a light source 11, a radiation detection device 10, and a drive unit 13. The light source 11 and the drive unit 13 are electrically connected to the radiation detection apparatus 10.

光源１１と放射線検出装置１０とは、間隔を隔てて対向配置されている。被検体１２は放射線検出装置１０と光源１１との間に位置する。光源１１と放射線検出装置１０とは、この対向配置された状態を維持したまま、被検体１２を中心に回転可能に設けられている（図１中、第１の方向Ｘ参照）。   The light source 11 and the radiation detection apparatus 10 are disposed to face each other with a space therebetween. The subject 12 is located between the radiation detection apparatus 10 and the light source 11. The light source 11 and the radiation detection apparatus 10 are provided so as to be rotatable around the subject 12 while maintaining the state in which the light source 11 and the radiation detection apparatus 10 are arranged to face each other (see the first direction X in FIG. 1).

光源１１は、対向する放射線検出装置１０に向かってＸ線等の放射線１４を照射する。   The light source 11 irradiates radiation 14 such as X-rays toward the radiation detection apparatus 10 facing the light source 11.

光源１１の光出射面側には、フィルタ１６が設けられている。フィルタ１６は、光源１１から照射された放射線１４の線量（光量）を調節する。フィルタ１６は、光源１１に固定されている。本実施の形態では、フィルタ１６は、第１の方向Ｘの両端部を透過する放射線１４の光量を、該両端部以外に比べて減衰させる。なお、検査装置１は、フィルタ１６を備えない構成であってもよい。   A filter 16 is provided on the light emission surface side of the light source 11. The filter 16 adjusts the dose (light quantity) of the radiation 14 emitted from the light source 11. The filter 16 is fixed to the light source 11. In the present embodiment, the filter 16 attenuates the amount of the radiation 14 that passes through both end portions in the first direction X as compared to the other end portions. The inspection apparatus 1 may be configured without the filter 16.

光源１１から照射された放射線１４は、フィルタ１６を介して被検体１２を透過し、放射線検出装置１０に入射する。   The radiation 14 emitted from the light source 11 passes through the subject 12 through the filter 16 and enters the radiation detection apparatus 10.

放射線検出装置１０は、光を検出する装置である。放射線検出装置１０は、光検出器２２と、制御部２５と、を備える。光検出器２２と、制御部２５とは、信号線２３によって電気的に接続されている。   The radiation detection apparatus 10 is an apparatus that detects light. The radiation detection apparatus 10 includes a photodetector 22 and a control unit 25. The photodetector 22 and the control unit 25 are electrically connected by a signal line 23.

光検出器２２は、複数の検出ユニット２０を備える。複数の検出ユニット２０は、本実施の形態では、放射線検出装置１０の回転方向（図１中、第１の方向Ｘ方向）に沿って配列されている。本実施の形態では、第１の方向Ｘは、検査対象の被検体１２を、該被検体１２の体軸を回転軸として回転した回転方向に一致する。   The photodetector 22 includes a plurality of detection units 20. In the present embodiment, the plurality of detection units 20 are arranged along the rotation direction of the radiation detection apparatus 10 (the first direction X direction in FIG. 1). In the present embodiment, the first direction X coincides with the rotation direction in which the subject 12 to be examined is rotated about the body axis of the subject 12 as a rotation axis.

検出ユニット２０は、光源１１から照射され、被検体１２を透過した放射線１４を、コリメータ２１を介して光入射面２０ａで受光する。光入射面２０ａは、検出ユニット２０における、放射線１４を受光する側の面である。コリメータ２１は、検出ユニット２０の光入射面２０ａ側に設置され、検出ユニット２０への散乱線の入射を防止する。   The detection unit 20 receives the radiation 14 irradiated from the light source 11 and transmitted through the subject 12 on the light incident surface 20 a via the collimator 21. The light incident surface 20a is a surface on the side that receives the radiation 14 in the detection unit 20. The collimator 21 is installed on the light incident surface 20 a side of the detection unit 20, and prevents scattered rays from entering the detection unit 20.

検出ユニット２０は、受光した光を検出する。検出ユニット２０は、検出した光に応じた信号を、信号線２３を介して制御部２５へ出力する。制御部２５は、検査装置１全体を制御する。制御部２５は、検出ユニット２０から信号を取得する。   The detection unit 20 detects the received light. The detection unit 20 outputs a signal corresponding to the detected light to the control unit 25 via the signal line 23. The control unit 25 controls the entire inspection apparatus 1. The control unit 25 acquires a signal from the detection unit 20.

本実施の形態では、制御部２５は、取得した信号（光電流）の電流値（信号の波高値に対応するエネルギー）から、光検出器２２に入射した放射線１４のエネルギーごとの光子数で表されるエネルギースペクトルを算出する。そして、制御部２５は、各検出ユニット２０に入射する放射線１４のエネルギースペクトルから、被検体１２の投影断面の画像を生成する。   In the present embodiment, the control unit 25 represents the number of photons for each energy of the radiation 14 incident on the photodetector 22 from the current value of the acquired signal (photocurrent) (energy corresponding to the peak value of the signal). The energy spectrum to be calculated is calculated. Then, the control unit 25 generates an image of the projected cross section of the subject 12 from the energy spectrum of the radiation 14 incident on each detection unit 20.

駆動部１３は、光源１１および放射線検出装置１０を、これらの対向状態および間隔を維持したまま、光源１１と放射線検出装置１０の間に位置する被検体１２を中心として回転させる。これによって、検査装置１は、被検体１２の投影断面の画像を生成することができる。   The drive unit 13 rotates the light source 11 and the radiation detection apparatus 10 around the subject 12 positioned between the light source 11 and the radiation detection apparatus 10 while maintaining the facing state and the interval therebetween. As a result, the inspection apparatus 1 can generate an image of the projected cross section of the subject 12.

なお、被検体１２は、人体に限定されない。被検体１２は、動植物や、物品などの非生物であってもよい。すなわち、検査装置１は、人体および動植物の断層像だけでなく、物品の内部の透視等のセキュリティ装置等の各種検査装置としても適用できる。   The subject 12 is not limited to a human body. The subject 12 may be a non-living object such as an animal or plant or an article. That is, the inspection device 1 can be applied not only to a tomographic image of a human body and animals and plants but also as various inspection devices such as a security device for seeing inside the article.

図２は、光検出器２２の説明図である。図２（Ａ）は、光検出器２２の斜視図である。光検出器２２に設けられた複数の検出ユニット２０は、第１の方向Ｘに沿って略円弧状に配列されている。なお、以下では、第１の方向Ｘは、放射線検出装置１０の回転方向および反回転方向の双方向であるものとして説明する。   FIG. 2 is an explanatory diagram of the photodetector 22. FIG. 2A is a perspective view of the photodetector 22. The plurality of detection units 20 provided in the photodetector 22 are arranged in a substantially arc shape along the first direction X. In the following description, the first direction X is described as being bi-directional in the rotation direction and the counter-rotation direction of the radiation detection apparatus 10.

図２（Ｂ）は、検出ユニット２０の模式図である。検出ユニット２０は、支持基板２４上に、複数の検出素子３２と、シンチレータ層３６と、をこの順に積層してなる。   FIG. 2B is a schematic diagram of the detection unit 20. The detection unit 20 is formed by laminating a plurality of detection elements 32 and a scintillator layer 36 in this order on a support substrate 24.

シンチレータ層３６は、入射したＸ線等の放射線をシンチレーション光に変換する。シンチレータ層３６の詳細は、後述する。   The scintillator layer 36 converts incident radiation such as X-rays into scintillation light. Details of the scintillator layer 36 will be described later.

検出素子３２は、シンチレータ層３６で変換されたシンチレーション光に応じた信号を検出する。検出素子３２は、例えば、ＳｉＰＭ（Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｐｈｏｔｏ Ｍｕｌｔｉｐｌｉｅｒ）である。   The detection element 32 detects a signal corresponding to the scintillation light converted by the scintillator layer 36. The detection element 32 is, for example, a SiPM (Silicon Photo Multiplier).

検出素子３２は、シンチレータ層３６に対向する対向面である第１面３３Ａに沿って配列されている。第１面３３Ａは、上記光入射面２０ａに対して平行な面である。   The detection elements 32 are arranged along a first surface 33 </ b> A that is a facing surface facing the scintillator layer 36. The first surface 33A is a surface parallel to the light incident surface 20a.

本実施の形態では、検出素子３２は、第１面３３Ａに沿って、互いに直交する第１の方向Ｘおよび第２の方向Ｙに向かって、マトリクス状に配列されている。   In the present embodiment, the detection elements 32 are arranged in a matrix along the first surface 33A toward the first direction X and the second direction Y that are orthogonal to each other.

図２（Ｃ）は、光検出器２２における、検出素子３２の配列状態を示す図である。上述したように、光検出器２２は、第１の方向Ｘに沿って配列された複数の検出ユニット２０を備える（図２（Ａ）参照）。そして、上述したように、各検出ユニット２０の各々は、第１面３３Ａに沿って配列された複数の検出素子３２を備える（図２（Ｂ）参照）。   FIG. 2C is a diagram illustrating an arrangement state of the detection elements 32 in the photodetector 22. As described above, the photodetector 22 includes a plurality of detection units 20 arranged along the first direction X (see FIG. 2A). As described above, each detection unit 20 includes a plurality of detection elements 32 arranged along the first surface 33A (see FIG. 2B).

このため、図２（Ｃ）に示すように、光検出器２２は、光検出器２２における第１の方向Ｘの一端から他端に渡って、複数の検出素子３２を配列した構成である。また、光検出器２２は、第２の方向Ｙへも、複数の検出素子３２を配列した構成である。そして、これらの複数の検出素子３２上に、シンチレータ層３６が設けられている。   For this reason, as shown in FIG. 2C, the photodetector 22 has a configuration in which a plurality of detection elements 32 are arranged from one end to the other end in the first direction X of the photodetector 22. The photodetector 22 has a configuration in which a plurality of detection elements 32 are arranged also in the second direction Y. A scintillator layer 36 is provided on the plurality of detection elements 32.

なお、本実施の形態の光検出器２２では、少なくとも第１の方向Ｘに複数の検出素子３２を配列した構成であればよい。   Note that the photodetector 22 of the present embodiment may have a configuration in which a plurality of detection elements 32 are arranged at least in the first direction X.

図３は、光検出器２２の断面図の一例である。具体的には、図３は、図２（Ｃ）に示す光検出器２２におけるＡ−Ａ’断面図である。   FIG. 3 is an example of a cross-sectional view of the photodetector 22. Specifically, FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line A-A ′ in the photodetector 22 shown in FIG.

図３に示すように、検出素子３２は、シンチレータ層３６に対向する対向面である第１面３３Ａに沿って配列されている。また、検出素子３２は、第１面３３Ａにおける、第１の方向Ｘに沿って複数配列されている。図３には、一例として、３７個の検出素子３２を、第１の方向Ｘの一端から他端に渡って配置した構成を示した。しかし、光検出器２２の数および配列数は、図３に示す形態に限定されない。   As shown in FIG. 3, the detection elements 32 are arranged along a first surface 33 </ b> A that is a facing surface facing the scintillator layer 36. A plurality of detection elements 32 are arranged along the first direction X on the first surface 33A. FIG. 3 shows a configuration in which 37 detection elements 32 are arranged from one end to the other end in the first direction X as an example. However, the number and arrangement number of the photodetectors 22 are not limited to the form shown in FIG.

図３に示すように、光検出器２２は、複数の検出素子３２上にシンチレータ層３６を積層した積層構造である。検出素子３２とシンチレータ層３６との間には、接着層３４が設けられている。接着層３４は、シンチレータ層３６と検出素子３２とを接着させる。接着層３４は、シンチレーション光を透過する透過性を有する。   As shown in FIG. 3, the photodetector 22 has a stacked structure in which a scintillator layer 36 is stacked on a plurality of detection elements 32. An adhesive layer 34 is provided between the detection element 32 and the scintillator layer 36. The adhesive layer 34 adheres the scintillator layer 36 and the detection element 32. The adhesive layer 34 is transmissive to transmit scintillation light.

なお、シンチレータ層３６における、検出素子３２と検出素子３２との境界に対応する領域に、反射部材を設けた構成であってもよい。反射部材は、シンチレータ層３６で変換されたシンチレーション光を反射する。   In addition, the structure which provided the reflection member in the area | region corresponding to the boundary of the detection element 32 in the scintillator layer 36 may be sufficient. The reflecting member reflects the scintillation light converted by the scintillator layer 36.

本実施の形態では、シンチレータ層３６は、複数のシンチレータ３７から構成されている。複数のシンチレータ３７の各々は、第１面３３Ａに沿って配列されている。複数のシンチレータ３７の各々は、複数の検出素子３２の各々に対応する。   In the present embodiment, the scintillator layer 36 is composed of a plurality of scintillators 37. Each of the plurality of scintillators 37 is arranged along the first surface 33A. Each of the plurality of scintillators 37 corresponds to each of the plurality of detection elements 32.

検出素子３２に対応するシンチレータ３７、とは、検出素子３２をシンチレータ層３６に射影した領域に位置するシンチレータ３７を示す。本実施の形態では、検出素子３２とシンチレータ３７とが、１対１の関係で対応するように配置されている場合を一例として説明する。   The scintillator 37 corresponding to the detection element 32 indicates the scintillator 37 located in a region where the detection element 32 is projected onto the scintillator layer 36. In the present embodiment, a case where the detection element 32 and the scintillator 37 are arranged so as to correspond in a one-to-one relationship will be described as an example.

すなわち、本実施の形態では、シンチレータ層３６は、複数のシンチレータ３７を第１の方向Ｘおよび第２の方向Ｙに沿って配列することで、複数のシンチレータ３７による層（シンチレータ層３６）を構成している。   That is, in the present embodiment, the scintillator layer 36 forms a layer (scintillator layer 36) by the plurality of scintillators 37 by arranging the plurality of scintillators 37 along the first direction X and the second direction Y. doing.

なお、検出素子３２とシンチレータ３７とは、１対多の関係、多対１の関係、または、多対多の関係で対応するように配置されてもよい。   The detection element 32 and the scintillator 37 may be arranged so as to correspond in a one-to-many relationship, a many-to-one relationship, or a many-to-many relationship.

１対多の関係とは、１つの検出素子３２に対して、複数のシンチレータ３７が対応することを示す。この場合、検出素子３２の第１の方向Ｘの長さは、該検出素子３２に対応する、第１の方向Ｘに連続する複数のシンチレータ３７の、第１の方向Ｘの長さ（の合計値）と一致する。   The one-to-many relationship indicates that a plurality of scintillators 37 correspond to one detection element 32. In this case, the length of the detection element 32 in the first direction X is the total length of the plurality of scintillators 37 continuous in the first direction X corresponding to the detection element 32 in the first direction X. Value).

多対１の関係とは、複数の検出素子３２に対して、１つのシンチレータ３７が対応することを示す。この場合、１つのシンチレータ３７に対応する、複数の検出素子３２の第１の方向Ｘの長さ（の合計値）が、該１つのシンチレータ３７の第１の方向Ｘの長さと一致する。   The many-to-one relationship indicates that one scintillator 37 corresponds to a plurality of detection elements 32. In this case, the lengths (total values) of the plurality of detection elements 32 corresponding to one scintillator 37 in the first direction X coincide with the lengths of the one scintillator 37 in the first direction X.

また、多対多の関係とは、複数の検出素子３２に対して、該検出素子３２と同じ数または異なる数の複数のシンチレータ３７が対応することを示す。この場合、この複数の検出素子３２の第１の方向Ｘの長さ（の合計値）と、対応する複数のシンチレータ３７の第１の方向Ｘの長さ（の合計値）と、が一致する。   The many-to-many relationship indicates that a plurality of scintillators 37 having the same or different numbers as the detection elements 32 correspond to the plurality of detection elements 32. In this case, the length (total value) of the plurality of detection elements 32 in the first direction X matches the length (total value) of the corresponding plurality of scintillators 37 in the first direction X. .

ここで、従来では、検出素子３２に極端に強い光が入射すると、信号のパイルアップが発生する場合があった。このパイルアップにより、信号の検出精度が低下する場合があった。   Here, conventionally, when extremely strong light is incident on the detection element 32, signal pile-up may occur. In some cases, the pile-up reduces signal detection accuracy.

そこで、本実施の形態では、シンチレータ層３６は、第１領域３６Ａと、第２領域３６Ｂと、を備える。なお、本実施の形態では、シンチレータ層３６は、更に、第３領域３６Ｃを備える場合を説明する。   Therefore, in the present embodiment, the scintillator layer 36 includes a first region 36A and a second region 36B. In the present embodiment, the case where the scintillator layer 36 further includes the third region 36C will be described.

なお、シンチレータ層３６は、第１領域３６Ａと第２領域３６Ｂを備えた構成であればよく、第３領域３６Ｃを備えない構成であってもよい。   The scintillator layer 36 may be configured to include the first region 36A and the second region 36B, and may not include the third region 36C.

第１領域３６Ａは、シンチレータ層３６における、１以上の連続する検出素子３２に対応し、放射線１４をシンチレーション光に変換する変換効率が第１変換効率の領域である。   The first region 36A corresponds to one or more continuous detection elements 32 in the scintillator layer 36, and the conversion efficiency for converting the radiation 14 into scintillation light is a region where the first conversion efficiency is present.

第２領域３６Ｂは、シンチレータ層３６における、第１領域３６Ａ以外の少なくとも一部の領域である。言い換えると、第２領域３６Ｂは、シンチレータ層３６における、第１領域３６Ａに対応する検出素子３２以外の、１以上の連続する検出素子３２に対応する領域である。   The second region 36B is at least a part of the scintillator layer 36 other than the first region 36A. In other words, the second region 36B is a region corresponding to one or more continuous detection elements 32 other than the detection element 32 corresponding to the first region 36A in the scintillator layer 36.

第２領域３６Ｂの、放射線１４をシンチレーション光に変換する変換効率は、第２変換効率である。第２変換効率は、第１変換効率より低い。   The conversion efficiency for converting the radiation 14 into scintillation light in the second region 36B is the second conversion efficiency. The second conversion efficiency is lower than the first conversion efficiency.

第３領域３６Ｃは、シンチレータ層３６における、第１領域３６Ａおよび第２領域３６Ｂ以外の領域である。本実施の形態では、第３領域３６Ｃは、光源１１から出射した放射線１４の内、フィルタ１６の第１の方向Ｘの両端部を透過することによって減衰した光を受光する領域である。本実施の形態では、第３領域３６Ｃは、シンチレータ層３６における第１の方向Ｘの両端部に配置されている。   The third region 36C is a region other than the first region 36A and the second region 36B in the scintillator layer 36. In the present embodiment, the third region 36 </ b> C is a region that receives light attenuated by passing through both ends of the filter 16 in the first direction X of the radiation 14 emitted from the light source 11. In the present embodiment, the third regions 36C are disposed at both ends of the scintillator layer 36 in the first direction X.

第３領域３６Ｃの、放射線１４をシンチレーション光に変換する変換効率は、第３変換効率である。第３変換効率は、第１変換効率より低い。なお、第３変換効率は、第２変換効率より高い変換効率であってもよいし、第２変換効率より低い変換効率であってもよい。本実施の形態では、第３変換効率は、第２変換効率より低い変換効率である場合を、一例として説明する。   The conversion efficiency for converting the radiation 14 into scintillation light in the third region 36C is the third conversion efficiency. The third conversion efficiency is lower than the first conversion efficiency. The third conversion efficiency may be higher than the second conversion efficiency or lower than the second conversion efficiency. In the present embodiment, the case where the third conversion efficiency is lower than the second conversion efficiency will be described as an example.

なお、検査装置１がフィルタ１６を備えない構成である場合、シンチレータ層３６を、第３領域３６Ｃを備えない構成としてもよい。この場合、シンチレータ層３６における、第１領域３６Ａ以外の領域を、第２領域３６Ｂとすればよい。   In addition, when the inspection apparatus 1 has a configuration without the filter 16, the scintillator layer 36 may have a configuration without the third region 36C. In this case, the region other than the first region 36A in the scintillator layer 36 may be the second region 36B.

ここで、第１領域３６Ａは、第１面３３Ａに平行な第１の方向Ｘに沿って配列された、複数のシンチレータ３７（以下、第１シンチレータ３７０Ａと称する）からなる。   Here, the first region 36A includes a plurality of scintillators 37 (hereinafter referred to as first scintillators 370A) arranged along a first direction X parallel to the first surface 33A.

また、第２領域３６Ｂは、第１の方向Ｘに沿って配列された複数のシンチレータ３７（以下、第２シンチレータ３７０Ｂと称する）からなる。さらに、第３領域３６Ｃは、第１の方向Ｘに沿って配列された複数のシンチレータ３７（以下、第３シンチレータ３７０Ｃ）からなる。   The second region 36B is composed of a plurality of scintillators 37 (hereinafter referred to as second scintillators 370B) arranged along the first direction X. Further, the third region 36C includes a plurality of scintillators 37 (hereinafter referred to as third scintillators 370C) arranged along the first direction X.

本実施の形態では、第１領域３６Ａの第１変換効率は、詳細には、第１領域３６Ａを構成する複数の第１シンチレータ３７０Ａの各々の変換効率の平均値を示す。また、第２領域３６Ｂの第２変換効率は、第２領域３６Ｂを構成する複数の第２シンチレータ３７０Ｂの各々の変換効率の平均値を示す。また、第３領域３６Ｃの第１変換効率は、詳細には、第３領域３６Ｃを構成する複数の第３シンチレータ３７０Ｃの各々の変換効率の平均値を示す。   In the present embodiment, the first conversion efficiency of the first region 36A specifically indicates the average value of the conversion efficiencies of the plurality of first scintillators 370A constituting the first region 36A. The second conversion efficiency of the second region 36B indicates the average value of the conversion efficiencies of each of the plurality of second scintillators 370B constituting the second region 36B. The first conversion efficiency of the third region 36C specifically indicates an average value of the conversion efficiencies of each of the plurality of third scintillators 370C constituting the third region 36C.

第１領域３６Ａ、第２領域３６Ｂ、および第３領域３６Ｃの位置は、第１の方向Ｘに互いに重ならない領域であればよく、シンチレータ層３６における位置は限定されない。例えば、シンチレータ層３６における第１領域３６Ａ、第２領域３６Ｂ、および第３領域３６Ｃの各々の位置は、光検出器２２を適用する対象の装置構成（例えば、検査装置１の装置構成）などに応じて、適宜調整すればよい。   The positions of the first region 36A, the second region 36B, and the third region 36C may be any region that does not overlap with each other in the first direction X, and the position in the scintillator layer 36 is not limited. For example, the position of each of the first region 36A, the second region 36B, and the third region 36C in the scintillator layer 36 depends on the device configuration to which the photodetector 22 is applied (for example, the device configuration of the inspection device 1). Accordingly, it may be adjusted as appropriate.

例えば、第１領域３６Ａは、シンチレータ層３６における、検出対象のシンチレーション光の入射する確率が第１閾値以上の領域である。第１閾値は、例えば、９０％、９５%、１００％などである。   For example, the first area 36 </ b> A is an area in the scintillator layer 36 where the detection target scintillation light is incident on a first threshold value or more. The first threshold is 90%, 95%, 100%, or the like, for example.

検査装置１は、体型の異なる様々な被検体１２に対して、放射線１４を照射し、検査を行う。このため、第１領域３６Ａは、シンチレータ層３６における、何れの体型の被検体１２を検査対象とした場合であっても、被検体１２を透過した放射線１４が必ず入射する領域である。   The inspection apparatus 1 performs an inspection by irradiating various subjects 12 having different body shapes with radiation 14. For this reason, the first region 36A is a region in the scintillator layer 36 where the radiation 14 transmitted through the subject 12 is necessarily incident, regardless of the type of the subject 12 to be examined.

よって、本実施の形態では、第１領域３６Ａは、シンチレータ層３６における第１の方向Ｘの中央部Ｓ１に配置されていることが好ましい（図１および図２も参照）。   Therefore, in the present embodiment, the first region 36A is preferably disposed in the central portion S1 of the scintillator layer 36 in the first direction X (see also FIGS. 1 and 2).

また、第２領域３６Ｂは、シンチレータ層３６における、検出対象のシンチレーション光の入射する確率が、第１閾値未満の領域であることが好ましい。第１閾値未満の領域とは、例えば、検出対象のシンチレーション光の入射する確率が、５０％以上９０％未満の領域などである。なお、第１閾値は、光検出器２２を適用する対象の装置の構成などに応じて、適宜調整すればよい。   Moreover, it is preferable that the 2nd area | region 36B is an area | region in which the probability that the scintillation light of detection object in the scintillator layer 36 injects is less than a 1st threshold value. The region below the first threshold is, for example, a region where the probability that the detection target scintillation light is incident is 50% or more and less than 90%. The first threshold value may be adjusted as appropriate according to the configuration of the target device to which the photodetector 22 is applied.

具体的には、第２領域３６Ｂは、シンチレータ層３６における、被検体１２の体型によって、被検体１２を透過した放射線１４が入射する場合と、被検体１２を透過しない強い光が直接入射する場合と、のある領域である。   Specifically, in the second region 36B, depending on the body shape of the subject 12 in the scintillator layer 36, when the radiation 14 that has passed through the subject 12 is incident, or when strong light that does not pass through the subject 12 is directly incident. This is a certain area.

よって、本実施の形態では、第２領域３６Ｂは、シンチレータ層３６における第１の方向Ｘの中間部Ｓ２に配置されていることが好ましい（図１および図２も参照）。中間部Ｓ２は、シンチレータ層３６における、第１の方向Ｘの中央部Ｓ１と両端部Ｓ３以外の領域である。   Therefore, in the present embodiment, it is preferable that the second region 36B is disposed in the intermediate portion S2 of the scintillator layer 36 in the first direction X (see also FIGS. 1 and 2). The intermediate portion S2 is a region other than the central portion S1 and both end portions S3 in the first direction X in the scintillator layer 36.

また、第３領域３６Ｃは、シンチレータ層３６における、検出対象のシンチレーション光の入射する確率が、上記第１閾値より小さい第２閾値未満の領域である。すなわち、第３領域３６Ｃは、検査対象として用いない放射線１４（すなわち、信号として検出する必要のない放射線１４）が、何れの体型の被検体１２を用いた場合にも必ず入射する領域である。   The third region 36C is a region in the scintillator layer 36 where the detection target scintillation light is incident and is less than the second threshold and less than the second threshold. That is, the third region 36C is a region where the radiation 14 that is not used as the examination target (that is, the radiation 14 that does not need to be detected as a signal) is incident on the subject 12 of any body type.

本実施の形態では、検査装置１には、上述したように、フィルタ１６が設けられている。このため、光検出器２２における、第１の方向Ｘの両端部Ｓ３には、フィルタ１６によって減衰された、測定対象外の放射線１４が入射する。そこで、本実施の形態では、第３領域３６Ｃが、光検出器２２における第１の方向Ｘの両端部Ｓ３に設けられていることが好ましい。   In the present embodiment, the inspection apparatus 1 is provided with the filter 16 as described above. For this reason, the radiation 14 outside the measurement target that has been attenuated by the filter 16 is incident on both ends S3 of the photodetector 22 in the first direction X. Therefore, in the present embodiment, it is preferable that the third region 36 </ b> C is provided at both ends S <b> 3 in the first direction X in the photodetector 22.

図４は、シンチレータ層３６の変換効率の一例を示す線図４０である。図４中、横軸は光検出器２２における第１の方向Ｘの一端部から他端部までの各々の位置を示す。また、図４中、縦軸は、変換効率を示す。   FIG. 4 is a diagram 40 showing an example of the conversion efficiency of the scintillator layer 36. In FIG. 4, the horizontal axis indicates each position from one end portion to the other end portion in the first direction X in the photodetector 22. In FIG. 4, the vertical axis represents the conversion efficiency.

本実施の形態の光検出器２２では、シンチレータ層３６における第１領域３６Ａ（中央部Ｓ１）の変換効率が、第１変換効率（図４中、線図４０Ａ参照）である。また、シンチレータ層３６における、第２領域３６Ｂ（中間部Ｓ２）の変換効率が、第２変換効率（図４中、線図４０Ｂ参照）である。また、シンチレータ層３６における第３領域３６Ｃ（両端部Ｓ３）の変換効率が、第３変換効率（図４中、線図４０Ｃ参照）である。   In the photodetector 22 of the present embodiment, the conversion efficiency of the first region 36A (central portion S1) in the scintillator layer 36 is the first conversion efficiency (see the diagram 40A in FIG. 4). Further, the conversion efficiency of the second region 36B (intermediate portion S2) in the scintillator layer 36 is the second conversion efficiency (see the diagram 40B in FIG. 4). Further, the conversion efficiency of the third region 36C (both ends S3) in the scintillator layer 36 is the third conversion efficiency (see the diagram 40C in FIG. 4).

なお、図４に示すように、シンチレータ層３６における、第１領域３６Ａの第１変換効率は、第１の方向Ｘに沿って、一定の値であることが好ましい。すなわち、第１領域３６Ａの第１変換効率は、第１の方向Ｘにおける位置が異なっても、同じ値（第１変換効率）であることが好ましい。   As shown in FIG. 4, the first conversion efficiency of the first region 36 </ b> A in the scintillator layer 36 is preferably a constant value along the first direction X. That is, the first conversion efficiency of the first region 36A is preferably the same value (first conversion efficiency) even if the position in the first direction X is different.

第１変換効率は、放射線１４を、検出素子３２においてパイルアップが生じず、且つ、検出素子３２で検出可能な強度のシンチレータ光に変換可能な変換効率であればよい。このため、第１変換効率は、光検出器２２の設けられた検出素子３２の特性に応じて、適宜定めればよい。   The first conversion efficiency may be any conversion efficiency that does not cause pile-up in the detection element 32 and can convert the radiation 14 into scintillator light having an intensity that can be detected by the detection element 32. For this reason, the first conversion efficiency may be appropriately determined according to the characteristics of the detection element 32 provided with the photodetector 22.

一方、シンチレータ層３６における、第２領域３６Ｂの第２変換効率および第３領域３６Ｃの第３変換効率の各々は、第１の方向Ｘに沿って、一定の値であってもよいし、異なる値であってもよい。   On the other hand, each of the second conversion efficiency of the second region 36B and the third conversion efficiency of the third region 36C in the scintillator layer 36 may be a constant value or different along the first direction X. It may be a value.

図５は、シンチレータ層３６の変換効率の他の例を示す線図４２である。図５中、横軸は光検出器２２における第１の方向Ｘの一端部から他端部までの各々の位置を示す。また、図５中、縦軸は、変換効率を示す。   FIG. 5 is a diagram 42 showing another example of the conversion efficiency of the scintillator layer 36. In FIG. 5, the horizontal axis indicates each position from one end portion to the other end portion in the first direction X in the photodetector 22. In FIG. 5, the vertical axis represents the conversion efficiency.

図５に示すように、第２領域３６Ｂの第２変換効率は、第１の方向Ｘに沿って、第１領域３６Ａに近づくほど高い変換効率であってもよい（線図４２Ｂ参照）。なお、第１領域３６Ａの第１変換効率（線図４２Ａ参照）は、上述したように、第１の方向Ｘに沿って一定であることが好ましい。一方、第２領域３６Ｂの第３変換効率（線図４２Ｃ参照）は、第１の方向Ｘの沿って一定（線図４２Ｃ参照）であってもよいし、異なる値であってもよい。   As shown in FIG. 5, the second conversion efficiency of the second region 36B may be higher as it approaches the first region 36A along the first direction X (see the diagram 42B). The first conversion efficiency (see the diagram 42A) of the first region 36A is preferably constant along the first direction X as described above. On the other hand, the third conversion efficiency (see the diagram 42C) of the second region 36B may be constant (see the diagram 42C) along the first direction X, or may be a different value.

次に、上記変換効率（第１変換効率、第２変換効率、第３変換効率）を実現するための、シンチレータ層３６の具体的な構成について説明する。   Next, a specific configuration of the scintillator layer 36 for realizing the conversion efficiency (first conversion efficiency, second conversion efficiency, third conversion efficiency) will be described.

図３を用いて説明を行う。本実施の形態では、第１領域３６Ａと第２領域３６Ｂとは、厚みの平均値、および、構成材料の少なくとも一方が異なる。   This will be described with reference to FIG. In the present embodiment, the first region 36A and the second region 36B differ in at least one of the average thickness value and the constituent material.

すなわち、本実施の形態では、第１領域３６Ａと第２領域３６Ｂとを、厚みの平均値および構成材料の少なくとも一方を異なるものとすることで、上記変換効率の関係を実現する。   That is, in the present embodiment, the relationship between the conversion efficiencies is realized by making the first region 36A and the second region 36B different in at least one of the average thickness value and the constituent material.

まず、構成材料について説明する。なお、構成材料を調整する場合、シンチレータ層３６の厚みは一定であるものとして説明する。   First, constituent materials will be described. In addition, when adjusting a constituent material, the thickness of the scintillator layer 36 is demonstrated as what is constant.

シンチレータ層３６の構成材料は、光検出器２２の適用対象に応じて適宜選択する。シンチレータ層３６は、例えば、無機材料、有機材料、で構成する。無機材料は、例えば、Ｌｕ２ＳｉＯ５：（Ｃｅ）、ＬａＢｒ３：（Ｃｅ）、ＹＡＰ（イットリウム・アルミニウム・ペロブスカイト）：Ｃｅ、Ｌｕ（Ｙ）ＡＰ：Ｃｅ、ＧＰＳ（ガドリニウム・パイロシリケート）：Ｃｅおよび一部を元素置換した材料などである。有機材料は、有機材料は、ＢＣ−４０４などのプラスチック、アントラセン、スチルベンなどである。 The constituent material of the scintillator layer 36 is appropriately selected according to the application target of the photodetector 22. The scintillator layer 36 is made of, for example, an inorganic material or an organic material. Examples of the inorganic material include Lu 2 SiO 5 : (Ce), LaBr 3 : (Ce), YAP (yttrium aluminum perovskite): Ce, Lu (Y) AP: Ce, GPS (gadolinium pyrosilicate): Ce And materials partially substituted with elements. The organic material is a plastic such as BC-404, anthracene, stilbene, or the like.

第１領域３６Ａおよび第２領域３６Ｂの構成材料は、上記変換効率（第１変換効率、第２変換効率）の関係を満たすように、上記構成材料から選択して用いればよい。   The constituent materials of the first region 36A and the second region 36B may be selected from the constituent materials so as to satisfy the relationship of the conversion efficiency (first conversion efficiency, second conversion efficiency).

なお、シンチレータ層３６の相状態は、液体であってもよいし、固体であってもよく、限定されない。   The phase state of the scintillator layer 36 may be liquid or solid, and is not limited.

例えば、第１領域３６Ａを構成する複数の第１シンチレータ３７０Ａの各々を、ある特定の材料で構成する。   For example, each of the plurality of first scintillators 370A constituting the first region 36A is made of a specific material.

また、第２領域３６Ｂを構成する第２シンチレータ３７０Ｂの一部を、第１シンチレータ３７０Ａより変換効率の低い材料で構成する。   Further, a part of the second scintillator 370B constituting the second region 36B is made of a material having a conversion efficiency lower than that of the first scintillator 370A.

なお、このとき、第２領域３６Ｂを構成する第２シンチレータ３７０Ｂの一部を、第１シンチレータ３７０Ａと同じ材料で構成することが好ましい。これは、第２領域３６Ｂに、検出対象の放射線１４（すなわち、被検体１２を透過した放射線１４）が入射する場合があるためである。   At this time, it is preferable that a part of the second scintillator 370B constituting the second region 36B is made of the same material as that of the first scintillator 370A. This is because the radiation 14 to be detected (that is, the radiation 14 transmitted through the subject 12) may enter the second region 36B.

例えば、第２領域３６Ｂを構成する複数の第２シンチレータ３７０Ｂを、第２シンチレータ３７１Ｂと、第２シンチレータ３７２Ｂと、に分類する。そして、第２シンチレータ３７２Ｂの構成材料を、第１シンチレータ３７０Ａと同じ材料で構成する。また、第２シンチレータ３７１Ｂの構成材料を、第１シンチレータ３７０Ａとは異なる材料で構成する。   For example, the plurality of second scintillators 370B configuring the second region 36B are classified into a second scintillator 371B and a second scintillator 372B. The constituent material of the second scintillator 372B is made of the same material as that of the first scintillator 370A. Further, the constituent material of the second scintillator 371B is made of a material different from that of the first scintillator 370A.

具体的には、第１領域３６Ａを構成する第１シンチレータ３７０Ａの各々を、無機材料で構成する。そして、第２領域３６Ｂを構成する第２シンチレータ３７０Ｂの一部（第２シンチレータ３７２Ｂ）もまた、同じ無機材料で構成する。さらに、第２領域３６Ｂを構成する残りの第２シンチレータ３７０Ｂ（第２シンチレータ３７１Ｂ）を、有機材料で構成すればよい。   Specifically, each of the first scintillators 370A constituting the first region 36A is made of an inorganic material. And a part (2nd scintillator 372B) of the 2nd scintillator 370B which comprises the 2nd area | region 36B is also comprised with the same inorganic material. Furthermore, the remaining second scintillator 370B (second scintillator 371B) constituting the second region 36B may be made of an organic material.

なお、第２領域３６Ｂ内において、第１領域３６Ａより変換効率の低い第２シンチレータ３７０Ｂが第１の方向Ｘに連続して配置されないように、第２シンチレータ３７１Ｂと第２シンチレータ３７２Ｂの配置を調整することが好ましい。   In the second region 36B, the arrangement of the second scintillator 371B and the second scintillator 372B is adjusted so that the second scintillator 370B having a lower conversion efficiency than the first region 36A is not continuously arranged in the first direction X. It is preferable to do.

具体的には、第２領域３６Ｂは、第１の方向Ｘに隣接する、第１領域３６Ａとは異なる構成材料の第２シンチレータ３７１Ｂ間に、第１領域３６Ａと同じ構成材料の第２シンチレータ３７２Ｂを１以上配置した構成であることが好ましい。   Specifically, the second region 36B is adjacent to the first direction X between the second scintillators 371B made of a different material from the first region 36A, and the second scintillator 372B made of the same material as the first region 36A. It is preferable that one or more of these are arranged.

なお、第２領域３６Ｂにおける、第１領域３６Ａと同じ構成材料の第２シンチレータ３７２Ｂと、第１領域３６Ａと異なる構成材料の第２シンチレータ３７１Ｂと、の数の比率は、第２変換効率の値に応じて調整すればよい。例えば、第１領域３６Ａと同じ構成材料の第２シンチレータ３７２Ｂと、第１領域３６Ａとは異なる構成材料の第２シンチレータ３７１Ｂと、の数の比率は、１対１である。   In the second region 36B, the ratio of the number of the second scintillator 372B having the same constituent material as that of the first region 36A and the second scintillator 371B having a constituent material different from that of the first region 36A is a value of the second conversion efficiency. You may adjust according to. For example, the ratio of the number of second scintillators 372B made of the same constituent material as the first region 36A and second scintillators 371B made of a different constituent material from the first region 36A is 1: 1.

なお、第１領域３６Ａと第２領域３６Ｂの双方を、無機材料、または、有機材料で構成し、構成材料の種類を異なるものとすることで、上記変換効率の関係を実現してもよい。   Note that both the first region 36A and the second region 36B may be made of an inorganic material or an organic material, and the type of the constituent material may be different to realize the above conversion efficiency relationship.

第３領域３６Ｃは、第２領域３６Ｂと同様にして、構成材料を調整すればよい。   In the third region 36C, the constituent material may be adjusted in the same manner as the second region 36B.

例えば、第３領域３６Ｃを構成する複数の第３シンチレータ３７０Ｃを、第３シンチレータ３７１Ｃと、第３シンチレータ３７２Ｃと、に分類する。そして、第３シンチレータ３７２Ｃの構成材料を、第１シンチレータ３７０Ａと同じ材料で構成する。また、第３シンチレータ３７１Ｃの構成材料を、第１シンチレータ３７０Ａとは異なる材料で構成する。   For example, the plurality of third scintillators 370C constituting the third region 36C are classified into a third scintillator 371C and a third scintillator 372C. The constituent material of the third scintillator 372C is made of the same material as that of the first scintillator 370A. Further, the constituent material of the third scintillator 371C is made of a material different from that of the first scintillator 370A.

具体的には、第１領域３６Ａを構成する第１シンチレータ３７０Ａの各々を、無機材料で構成する。そして、第３領域３６Ｃを構成する第３シンチレータ３７０Ｃの一部（第３シンチレータ３７２Ｃ）もまた、同じ無機材料で構成する。さらに、第３領域３６Ｃを構成する残りの第３シンチレータ３７０Ｃ（第３シンチレータ３７１Ｃ）を、有機材料で構成すればよい。   Specifically, each of the first scintillators 370A constituting the first region 36A is made of an inorganic material. And a part (3rd scintillator 372C) of the 3rd scintillator 370C which comprises the 3rd area | region 36C is also comprised with the same inorganic material. Furthermore, the remaining third scintillator 370C (third scintillator 371C) constituting the third region 36C may be made of an organic material.

なお、第３領域３６Ｃ内においても、第１領域３６Ａより変換効率の低い第３シンチレータ３７０Ｃが第１の方向Ｘに連続して配置されないように、第３シンチレータ３７１Ｃと第３シンチレータ３７２Ｃの配置を調整することが好ましい。   Also in the third region 36C, the third scintillator 371C and the third scintillator 372C are arranged so that the third scintillator 370C having a lower conversion efficiency than the first region 36A is not continuously arranged in the first direction X. It is preferable to adjust.

なお、第３領域３６Ｃにおける、第３領域３６Ａと同じ構成材料の第３シンチレータ３７２Ｃと、第１領域３６Ａと異なる構成材料の第３シンチレータ３７１Ｃと、の数の比率は、第３変換効率の値に応じて調整すればよい。例えば、第１領域３６Ａと同じ構成材料の第３シンチレータ３７２Ｃと、第１領域３６Ａとは異なる構成材料の第３シンチレータ３７１Ｃと、の数の比率は、２対１である。   In the third region 36C, the ratio of the number of the third scintillator 372C having the same constituent material as the third region 36A and the third scintillator 371C having a different constituent material from the first region 36A is the value of the third conversion efficiency. You may adjust according to. For example, the ratio of the number of the third scintillator 372C having the same constituent material as that of the first region 36A and the third scintillator 371C having a constituent material different from that of the first region 36A is 2: 1.

次に、第１領域３６Ａと第２領域３６Ｂとを、厚みの平均値を異なるものとすることで、上記変換効率の関係を実現する場合を説明する。   Next, a case will be described in which the relationship between the conversion efficiencies is realized by making the first region 36A and the second region 36B have different thickness average values.

なお、厚みを調整する場合、シンチレータ層３６の構成材料は同じ（第１領域３６Ａ、第２領域３６Ｂ、および、第３領域３６Ｃ間で同じ）であるものとして説明する。   In the case of adjusting the thickness, the description will be made assuming that the constituent material of the scintillator layer 36 is the same (the same among the first region 36A, the second region 36B, and the third region 36C).

図６は、シンチレータ層３６の厚みを調整した光検出器２２の一例を示す模式図である。   FIG. 6 is a schematic diagram illustrating an example of the photodetector 22 in which the thickness of the scintillator layer 36 is adjusted.

第１領域３６Ａと第２領域３６Ｂとは、各々の厚みの平均値を調整することで、上記変換効率（第１変換効率、第２変換効率）の関係を実現してもよい。なお、本実施の形態において、シンチレータ層３６（第１領域３６Ａ、第２領域３６Ｂ）の厚みは、光検出器２２における、検出素子３２およびシンチレータ層３６の積層方向（図６中、厚み方向Ｚに一致）の厚みを示す。厚み方向Ｚは、上記第１の方向Ｘおよび第２の方向Ｙの双方に対して、直交する方向である。   The first region 36A and the second region 36B may realize the relationship between the conversion efficiencies (first conversion efficiency, second conversion efficiency) by adjusting the average value of the respective thicknesses. In the present embodiment, the thickness of the scintillator layer 36 (first region 36A, second region 36B) is the stacking direction of the detection element 32 and scintillator layer 36 in the photodetector 22 (in the thickness direction Z in FIG. 6). Is the same thickness). The thickness direction Z is a direction orthogonal to both the first direction X and the second direction Y.

例えば、シンチレータ層３６における、第１領域３６Ａの厚みの第１平均値は、第２領域３６Ｂの厚みの第２平均値より大きい。すなわち、第１領域３６Ａの厚みの第１平均値が、第２領域３６Ｂの厚みの第２平均値より大きくなるように、シンチレータ層３６の第１の方向Ｘにおける各位置の厚みを調整する。   For example, in the scintillator layer 36, the first average value of the thickness of the first region 36A is larger than the second average value of the thickness of the second region 36B. That is, the thickness of each position in the first direction X of the scintillator layer 36 is adjusted so that the first average value of the thickness of the first region 36A is larger than the second average value of the thickness of the second region 36B.

なお、第１領域３６Ａを構成する第１シンチレータ３７０Ａの各々の厚みは、第１平均値の厚みであることが好ましい。すなわち、第１領域３６Ａを構成する第１シンチレータ３７０Ａの各々の厚みは、互いに同じ厚みであり、且つ、第１平均値であることが好ましい。この第１平均値は、シンチレータ３７が第１変換効率を実現する厚みであればよい。   In addition, it is preferable that each thickness of 1st scintillator 370A which comprises 36 A of 1st area | regions is thickness of a 1st average value. That is, it is preferable that the thicknesses of the first scintillators 370A constituting the first region 36A are the same as each other and have the first average value. The first average value may be a thickness that allows the scintillator 37 to achieve the first conversion efficiency.

第２領域３６Ｂの厚みの平均値は、第２平均値である。第２平均値は、第１平均値未満である。第２領域３６Ｂを構成する第２シンチレータ３７０Ｂの各々の厚みを調整することで、第２領域３６Ｂの厚みの平均値が第２平均値（すなわち第１平均値未満）となるように調整すればよい。   The average value of the thickness of the second region 36B is the second average value. The second average value is less than the first average value. By adjusting the thickness of each of the second scintillators 370B constituting the second region 36B, the average value of the thickness of the second region 36B is adjusted to be the second average value (that is, less than the first average value). Good.

具体的には、第２領域３６Ｂを構成する第２シンチレータ３７０Ｂの一部の厚みを、第１平均値未満の厚みとする。更に具体的には、第２領域３６Ｂを構成する第２シンチレータ３７０Ｂの一部の厚みを、第１平均値の１／３０〜１／２の厚みや、１／１０〜１／２の厚みとする。   Specifically, the thickness of a part of the second scintillator 370B constituting the second region 36B is set to a thickness less than the first average value. More specifically, the thickness of a part of the second scintillator 370B constituting the second region 36B is set to 1/30 to 1/2 of the first average value or 1/10 to 1/2 of the thickness. To do.

なお、このとき、第２領域３６Ｂを構成する第２シンチレータ３７０Ｂの一部は、第１シンチレータ３７０Ａと同じ厚み（第１平均値）であることが好ましい。これは、第２領域３６Ｂに、検出対象の放射線１４（すなわち、被検体１２を透過した放射線１４）が入射する場合があるためである。   At this time, it is preferable that a part of the second scintillator 370B constituting the second region 36B has the same thickness (first average value) as the first scintillator 370A. This is because the radiation 14 to be detected (that is, the radiation 14 transmitted through the subject 12) may enter the second region 36B.

例えば、第２領域３６Ｂを構成する複数の第２シンチレータ３７０Ｂを、第２シンチレータ３７１Ｂと、第２シンチレータ３７２Ｂと、に分類する。第２シンチレータ３７２Ｂの厚みは、第１シンチレータ３７０Ａと同じ厚み（第１平均値）である。また、第２シンチレータ３７１Ｂの厚みは、第１シンチレータ３７０Ａの厚みより薄い。第２領域３６Ｂを構成する、これらの第２シンチレータ３７１Ｂと第２シンチレータ３７２Ｂの厚みの平均値は、第２平均値である。   For example, the plurality of second scintillators 370B configuring the second region 36B are classified into a second scintillator 371B and a second scintillator 372B. The thickness of the second scintillator 372B is the same thickness (first average value) as that of the first scintillator 370A. The thickness of the second scintillator 371B is thinner than the thickness of the first scintillator 370A. The average value of the thicknesses of the second scintillator 371B and the second scintillator 372B constituting the second region 36B is the second average value.

なお、第２領域３６Ｂ内において、第１領域３６Ａより変換効率の低い第２シンチレータ３７０Ｂが第１の方向Ｘに連続して配置されないように、第２シンチレータ３７１Ｂと第２シンチレータ３７２Ｂの配置を調整することが好ましい。   In the second region 36B, the arrangement of the second scintillator 371B and the second scintillator 372B is adjusted so that the second scintillator 370B having a lower conversion efficiency than the first region 36A is not continuously arranged in the first direction X. It is preferable to do.

具体的には、第２領域３６Ｂは、第１の方向Ｘに隣接する、第１領域３６Ａより小さい厚みの第２シンチレータ３７１Ｂ間に、第１領域３６Ａと同じ厚み（第１平均値の厚み）の第２シンチレータ３７２Ｂを１以上配置した構成であることが好ましい。   Specifically, the second region 36B has the same thickness as the first region 36A (the thickness of the first average value) between the second scintillators 371B having a thickness smaller than that of the first region 36A adjacent in the first direction X. It is preferable that one or more second scintillators 372B are arranged.

なお、第２領域３６Ｂにおける、第１領域３６Ａと同じ第１平均値の厚みの第２シンチレータ３７２Ｂと、第１領域３６Ａより小さい厚みの第２シンチレータ３７１Ｂと、の数の比率は、第２変換効率の値に応じて調整すればよい。例えば、第１領域３６Ａと同じ第１平均値の厚みの第２シンチレータ３７２Ｂと、第１領域３６Ａより小さい厚みの第２シンチレータ３７１Ｂと、の数の比率は、１対１である。   In the second region 36B, the ratio of the number of the second scintillator 372B having the same first average thickness as the first region 36A and the second scintillator 371B having a thickness smaller than the first region 36A is the second conversion. What is necessary is just to adjust according to the value of efficiency. For example, the ratio of the number of the second scintillator 372B having the same first average thickness as that of the first region 36A and the second scintillator 371B having a thickness smaller than that of the first region 36A is 1: 1.

第３領域３６Ｃは、第２領域３６Ｂと同様にして、厚みを調整すればよい。   The thickness of the third region 36C may be adjusted in the same manner as the second region 36B.

第３領域３６Ｃの厚みの平均値は、第１平均値未満である。第３領域３６Ｃを構成する第３シンチレータ３７０Ｃの各々の厚みを調整することで、第３領域３６Ｃの厚みの平均値が第１平均値未満となるように調整すればよい。   The average value of the thickness of the third region 36C is less than the first average value. What is necessary is just to adjust so that the average value of the thickness of the 3rd area | region 36C may become less than a 1st average value by adjusting the thickness of each 3rd scintillator 370C which comprises the 3rd area | region 36C.

具体的には、第３領域３６Ｃを構成する第３シンチレータ３７０Ｃの一部の厚みを、第１平均値未満の厚みとする。   Specifically, the thickness of a part of the third scintillator 370C constituting the third region 36C is set to a thickness less than the first average value.

なお、このとき、第３領域３６Ｃを構成する第３シンチレータ３７０Ｃの一部は、第１シンチレータ３７０Ａと同じ厚み（第１平均値）であることが好ましい。   At this time, a part of the third scintillator 370C configuring the third region 36C preferably has the same thickness (first average value) as the first scintillator 370A.

例えば、第３領域３６Ｃを構成する複数の第３シンチレータ３７０Ｃを、第３シンチレータ３７１Ｃと、第３シンチレータ３７２Ｃと、に分類する。第３シンチレータ３７２Ｃの厚みは、第１シンチレータ３７０Ａと同じ厚み（第１平均値）である。また、第３シンチレータ３７１Ｃの厚みは、第１シンチレータ３７０Ａの厚みより薄い。第３領域３６Ｃを構成する、これらの第３シンチレータ３７１Ｃと第３シンチレータ３７２Ｃの厚みの平均値は、第１平均値未満である。   For example, the plurality of third scintillators 370C constituting the third region 36C are classified into a third scintillator 371C and a third scintillator 372C. The thickness of the third scintillator 372C is the same thickness (first average value) as that of the first scintillator 370A. The thickness of the third scintillator 371C is thinner than the thickness of the first scintillator 370A. The average value of the thicknesses of the third scintillator 371C and the third scintillator 372C constituting the third region 36C is less than the first average value.

なお、第３領域３６Ｃ内において、第１領域３６Ａより変換効率の低い第３シンチレータ３７０Ｃが第１の方向Ｘに連続して配置されないように、第３シンチレータ３７１Ｃと第３シンチレータ３７２Ｃの配置を調整することが好ましい。   In the third region 36C, the arrangement of the third scintillator 371C and the third scintillator 372C is adjusted so that the third scintillator 370C having a lower conversion efficiency than the first region 36A is not continuously arranged in the first direction X. It is preferable to do.

具体的には、第３領域３６Ｃは、第１の方向Ｘに隣接する、第１領域３６Ａより小さい厚みの第３シンチレータ３７１Ｃ間に、第１領域３６Ａと同じ厚み（第１平均値の厚み）の第３シンチレータ３７２Ｃを１以上配置した構成であることが好ましい。   Specifically, the third region 36C has the same thickness as the first region 36A (the first average thickness) between the third scintillators 371C having a thickness smaller than that of the first region 36A adjacent in the first direction X. It is preferable that one or more third scintillators 372C are arranged.

なお、第３領域３６Ｃにおける、第１領域３６Ａと同じ第１平均値の厚みの第３シンチレータ３７２Ｃと、第１領域３６Ａより小さい厚みの第３シンチレータ３７１Ｃと、の数の比率は、第３変換効率の値に応じて調整すればよい。例えば、第１領域３６Ａと同じ第１平均値の厚みの第３シンチレータ３７２Ｃと、第１領域３６Ａより小さい厚みの第３シンチレータ３７１Ｃと、の数の比率は、２対１である。   In the third region 36C, the ratio of the number of the third scintillator 372C having the same first average thickness as the first region 36A and the third scintillator 371C having a thickness smaller than the first region 36A is the third conversion. What is necessary is just to adjust according to the value of efficiency. For example, the ratio of the number of the third scintillator 372C having the same first average thickness as that of the first region 36A and the third scintillator 371C having a thickness smaller than that of the first region 36A is 2: 1.

なお、第１領域３６Ａと第２領域３６Ｂとは、厚みの平均値、および、構成材料、の双方が異なるものであってもよい。   The first region 36A and the second region 36B may be different from each other in both the average thickness value and the constituent material.

次に、図１、図３、および図６を用いて、本実施の形態の光検出器２２の作用を説明する。   Next, the operation of the photodetector 22 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1, 3, and 6.

上述のように構成した光検出器２２を備えた検査装置１では、光源１１から被検体１２を介して光検出器２２へ向かって光が照射される。すると、光源１１から照射された放射線１４は、フィルタ１６を介して被検体１２を透過し、光検出器２２に到る。光検出器２２に到った放射線１４は、シンチレータ層３６を介して検出素子３２へ到る。検出素子３２は、検出した光（シンチレータ光）に応じた信号を、制御部２５へ出力する。   In the inspection apparatus 1 including the photodetector 22 configured as described above, light is emitted from the light source 11 toward the photodetector 22 through the subject 12. Then, the radiation 14 emitted from the light source 11 passes through the subject 12 through the filter 16 and reaches the photodetector 22. The radiation 14 that reaches the photodetector 22 reaches the detection element 32 via the scintillator layer 36. The detection element 32 outputs a signal corresponding to the detected light (scintillator light) to the control unit 25.

光検出器２２のシンチレータ層３６に到った放射線１４の内、中央部Ｓ１に位置する第１領域３６Ａに到った放射線１４は、第１領域３６Ａを構成する第１シンチレータ３７０Ａによって第１光電変換率でシンチレーション光に変換され、対応する検出素子３２へ到る。このため、複数の検出素子３２の内、中央部Ｓ１に対応する領域に配置された検出素子３６は、第１光電変換率で変換されたシンチレーション光に応じた信号を検出する。   Of the radiation 14 that has reached the scintillator layer 36 of the photodetector 22, the radiation 14 that has reached the first region 36A located in the central portion S1 is subjected to the first photoelectric by the first scintillator 370A that constitutes the first region 36A. It is converted into scintillation light at the conversion rate and reaches the corresponding detection element 32. For this reason, the detection element 36 arrange | positioned in the area | region corresponding to center part S1 among the several detection elements 32 detects the signal according to the scintillation light converted by the 1st photoelectric conversion rate.

光検出器２２のシンチレータ層３６に到った放射線１４の内、中間部Ｓ２に位置する第２領域３６Ｂに到った放射線１４は、第２領域３６Ｂを構成する第２シンチレータ３７０Ｂによって第１光電変換率より低い第２光電変換率でシンチレーション光に変換される。そして、対応する検出素子３２へ到る。このため、複数の検出素子３２の内、中間部Ｓ２に対応する領域に配置された検出素子３６は、第２光電変換率で変換されたシンチレーション光に応じた信号を検出する。   Of the radiation 14 that has reached the scintillator layer 36 of the photodetector 22, the radiation 14 that has reached the second region 36B located in the intermediate portion S2 is subjected to the first photoelectric by the second scintillator 370B that constitutes the second region 36B. It is converted into scintillation light at a second photoelectric conversion rate lower than the conversion rate. Then, it reaches the corresponding detection element 32. For this reason, the detection element 36 arranged in the region corresponding to the intermediate portion S2 among the plurality of detection elements 32 detects a signal corresponding to the scintillation light converted at the second photoelectric conversion rate.

光検出器２２のシンチレータ層３６に到った放射線１４の内、両端部Ｓ３に位置する第３領域３６Ｃに到った放射線１４は、第３領域３６Ｃを構成する第３シンチレータ３７０Ｃによって、第１光電変換率より低い第３光電変換率でシンチレーション光に変換される。そして、対応する検出素子３２へ到る。このため、複数の検出素子３２の内、両端部Ｓ３に対応する領域に配置された検出素子３６は、第３光電変換率で変換されたシンチレーション光に応じた信号を検出する。   Of the radiation 14 that has reached the scintillator layer 36 of the photodetector 22, the radiation 14 that has reached the third region 36C located at both end portions S3 is first generated by the third scintillator 370C constituting the third region 36C. It is converted into scintillation light at a third photoelectric conversion rate lower than the photoelectric conversion rate. Then, it reaches the corresponding detection element 32. For this reason, the detection element 36 arrange | positioned in the area | region corresponding to both ends S3 among the some detection elements 32 detects the signal according to the scintillation light converted by the 3rd photoelectric conversion rate.

なお、制御部２５は、中央部Ｓ１に相当する検出素子３２で検出された信号は、被検体１２の投影断面の画像生成に用いる。また、制御部２５は、中間部Ｓ２に相当する検出素子３２で検出された信号については、第１変換効率と同じ変換効率で変換された信号となるように、演算を行う。そして、制御部２５は、演算後の信号を、被検体１２の投影断面の画像生成に用いればよい。また、制御部２５は、両端部Ｓ３に相当する検出素子３２で検出された信号についても、第１変換効率と同じ変換効率で変換された信号となるように、演算を行なう。そして、制御部２５は、演算後の信号を、被検体１２の投影断面の画像生成に用いればよい。   Note that the control unit 25 uses a signal detected by the detection element 32 corresponding to the central portion S1 for generating an image of the projected cross section of the subject 12. In addition, the control unit 25 performs an operation so that the signal detected by the detection element 32 corresponding to the intermediate unit S2 becomes a signal converted with the same conversion efficiency as the first conversion efficiency. And the control part 25 should just use the signal after a calculation for the image production | generation of the projection cross section of the subject 12. FIG. In addition, the control unit 25 performs an operation so that the signal detected by the detection element 32 corresponding to both end portions S3 is a signal converted with the same conversion efficiency as the first conversion efficiency. And the control part 25 should just use the signal after a calculation for the image production | generation of the projection cross section of the subject 12. FIG.

以上説明したように、本実施の形態の光検出器２２は、シンチレータ層３６と、検出素子３２と、を備える。シンチレータ層３６は、放射線１４をシンチレータ光に変換する。検出素子３２は、シンチレータ層３６に対向する第１面３３Ａに沿って配列され、シンチレーション光に応じた信号を検出する。シンチレータ層３６は、第１領域３６Ａと、第２領域３６Ｂと、を有する。第１領域３６Ａは、１以上の連続する検出素子３２に対応し、放射線１４をシンチレーション光に変換する変換効率が第１変換効率の領域である。第２領域３６Ｂは、複数の検出素子３２の内、第１領域３６Ａに対応する検出素子３２以外の、１以上の連続する検出素子３２に対応し、変換効率が第１変換効率より低い第２変換効率の領域である。   As described above, the photodetector 22 of the present embodiment includes the scintillator layer 36 and the detection element 32. The scintillator layer 36 converts the radiation 14 into scintillator light. The detection elements 32 are arranged along the first surface 33A facing the scintillator layer 36, and detect a signal corresponding to the scintillation light. The scintillator layer 36 has a first region 36A and a second region 36B. The first region 36A corresponds to one or more continuous detection elements 32, and the conversion efficiency for converting the radiation 14 into scintillation light is a region where the first conversion efficiency is present. The second region 36B corresponds to one or more continuous detection elements 32 other than the detection element 32 corresponding to the first region 36A among the plurality of detection elements 32, and the second efficiency is lower than the first conversion efficiency. This is an area of conversion efficiency.

このため、第２領域３６Ｂで変換されたシンチレーション光を検出する検出素子３２で、信号のパイルアップが発生する事が抑制される。   For this reason, it is suppressed that the pile-up of a signal generate | occur | produces in the detection element 32 which detects the scintillation light converted in the 2nd area | region 36B.

ここで、従来では、光検出器のシンチレータ層では、シンチレータ層を第１の方向Ｘに分割した各領域間の変換効率は、略同じであった。このため極端に強い光の入射した領域では、信号のパイルアップが発生し、信号の検出精度が低下していた。   Here, conventionally, in the scintillator layer of the photodetector, the conversion efficiency between the regions obtained by dividing the scintillator layer in the first direction X is substantially the same. For this reason, in an area where extremely strong light is incident, signal pile-up occurs, and the signal detection accuracy is lowered.

図７は、第１の方向Ｘに配列された複数の検出素子３２で検出された信号の強度分布を示す線図である。図７中、線図７０は、従来の光検出器で検出された、信号の強度分布の一例を示す線図である。また、図７中、線図７２は、本実施の形態の光検出器２２で検出された、信号の強度分布を示す線図である。   FIG. 7 is a diagram showing the intensity distribution of signals detected by the plurality of detection elements 32 arranged in the first direction X. In FIG. 7, a diagram 70 is a diagram showing an example of a signal intensity distribution detected by a conventional photodetector. In FIG. 7, a diagram 72 is a diagram showing a signal intensity distribution detected by the photodetector 22 of the present embodiment.

図７の線図７０に示すように、従来では、シンチレータ層の中間部Ｓ２に相当する領域で変換されたシンチレーション光を検出した検出素子３２では、パイルアップの発生する閾値Ａを超えるカウントレートの信号が検出され、信号のパイルアップが発生していた。   As shown in the diagram 70 of FIG. 7, conventionally, the detection element 32 that has detected the scintillation light converted in the region corresponding to the intermediate portion S2 of the scintillator layer has a count rate exceeding the threshold A at which pileup occurs. A signal was detected and a signal pileup occurred.

一方、本実施の形態の光検出器２２では、シンチレータ層３６の中間部Ｓ２に相当する領域である第２領域３６Ｂの第２変換効率は、中央部Ｓ１に相当する第１領域３６Ａの第１変換効率より低い。このため、図７の線図７２に示すように、第２領域３６Ｂで変換されたシンチレーション光を検出した検出素子３２では、閾値Ａ未満の信号を検出することができる。このため、本実施の形態の光検出器２２では、信号のパイルアップを抑制することができる。   On the other hand, in the photodetector 22 of the present embodiment, the second conversion efficiency of the second region 36B that is a region corresponding to the intermediate portion S2 of the scintillator layer 36 is the first conversion efficiency of the first region 36A corresponding to the central portion S1. Lower than conversion efficiency. Therefore, as shown in the diagram 72 of FIG. 7, the detection element 32 that has detected the scintillation light converted in the second region 36B can detect a signal less than the threshold A. For this reason, in the photodetector 22 of the present embodiment, signal pile-up can be suppressed.

従って、本実施の形態の光検出器２２は、信号検出精度の向上を図ることができる。   Therefore, the photodetector 22 of the present embodiment can improve signal detection accuracy.

なお、本実施の形態では、光検出器２２を、検査装置１に適用した形態を一例として説明した。しかし、光検出器２２の適用対象は、検査装置１に限定されない。   In the present embodiment, the configuration in which the photodetector 22 is applied to the inspection apparatus 1 has been described as an example. However, the application target of the photodetector 22 is not limited to the inspection apparatus 1.

なお、上記には、本発明の実施の形態を説明したが、上記実施の形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上記新規の実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。上記実施の形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。   In addition, although embodiment of this invention was described above, the said embodiment is shown as an example and is not intending limiting the range of invention. The above-described novel embodiment can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. The above-described embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.

１０ 放射線検出装置
２２ 光検出器
３２ 検出素子
３６ シンチレータ層
３６Ａ 第１領域
３６Ｂ 第２領域
３７ シンチレータ
３７０Ａ 第１シンチレータ
３７０Ｂ 第２シンチレータ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Radiation detection apparatus 22 Photodetector 32 Detection element 36 Scintillator layer 36A 1st area | region 36B 2nd area | region 37 Scintillator 370A 1st scintillator 370B 2nd scintillator

Claims (10)

放射線を光に変換するシンチレータ層と、
前記シンチレータ層に対向する第１面に沿って配列され、光に応じた信号を検出する複数の検出素子と、
を備え、
前記シンチレータ層は、
１以上の連続する前記検出素子に対応し、放射線を光に変換する変換効率が第１変換効率の第１領域と、
複数の前記検出素子の内、前記第１領域に対応する前記検出素子以外の、１以上の連続する前記検出素子に対応し、前記変換効率が前記第１変換効率より低い第２変換効率の第２領域と、
を有する、
光検出器。 A scintillator layer that converts radiation into light;
A plurality of detection elements arranged along a first surface facing the scintillator layer and detecting a signal according to light;
With
The scintillator layer is
Corresponding to one or more successive detection elements, the conversion efficiency for converting radiation into light is a first region of the first conversion efficiency,
The second conversion efficiency of the second conversion efficiency is lower than the first conversion efficiency, corresponding to one or more consecutive detection elements other than the detection elements corresponding to the first region among the plurality of detection elements. Two areas,
Having
Photo detector. 複数の前記検出素子は、前記第１面に平行な第１の方向に沿って配列され、
前記第１領域は、前記シンチレータ層における前記第１の方向の中央部に配置され、
前記第２領域は、前記第１領域に対して前記第１の方向に隣接して配置されている、
請求項１に記載の光検出器。 The plurality of detection elements are arranged along a first direction parallel to the first surface,
The first region is disposed in a central portion of the scintillator layer in the first direction,
The second region is disposed adjacent to the first region in the first direction.
The photodetector according to claim 1. 前記第２領域の前記第２変換効率は、前記第１領域に近いほど高い、請求項２に記載の光検出器。   The photodetector according to claim 2, wherein the second conversion efficiency of the second region is higher as it is closer to the first region. 前記第１領域と前記第２領域とは、厚みの平均値、および、構成材料の少なくとも一方が異なる、請求項１に記載の光検出器。   The photodetector according to claim 1, wherein the first region and the second region differ in at least one of an average thickness value and a constituent material. 前記第１領域の厚みの第１平均値は、前記第２領域の厚みの第２平均値より大きい、請求項１に記載の光検出器。   The photodetector according to claim 1, wherein a first average value of the thickness of the first region is larger than a second average value of the thickness of the second region. 前記第１領域は、前記第１面に平行な第１の方向に沿って配列された複数の第１シンチレータからなり、
前記第２領域は、前記第１の方向に配列された複数の第２シンチレータからなり、
複数の前記第１シンチレータの各々は、前記第１平均値の厚みであり、
複数の前記第２シンチレータの内の一部は、前記第１平均値の厚みである、
請求項５に記載の光検出器。 The first region comprises a plurality of first scintillators arranged along a first direction parallel to the first surface,
The second region comprises a plurality of second scintillators arranged in the first direction,
Each of the plurality of first scintillators is the thickness of the first average value,
A part of the plurality of second scintillators is the thickness of the first average value.
The photodetector according to claim 5. 前記第２領域は、前記第１の方向に隣接する、前記第１平均値より小さい厚みの前記第２シンチレータの間に、前記第１平均値の厚みの前記第２シンチレータを配置してなる、請求項６に記載の光検出器。   The second region is formed by disposing the second scintillator having the thickness of the first average value between the second scintillators having a thickness smaller than the first average value and adjacent to the first direction. The photodetector according to claim 6. 前記第１領域は無機材料からなり、前記第２領域は有機材料を含む、請求項１に記載の光検出器。   The photodetector according to claim 1, wherein the first region is made of an inorganic material, and the second region contains an organic material. 前記第２領域は、前記第１面に平行な第１の方向に沿って配列された複数の第２シンチレータからなり、
複数の前記第２シンチレータの内の一部は、前記第１領域と同じ構成材料である、
請求項２に記載の光検出器。 The second region comprises a plurality of second scintillators arranged along a first direction parallel to the first surface,
A part of the plurality of second scintillators is the same constituent material as the first region,
The photodetector according to claim 2. 前記第２領域は、前記第１の方向に隣接する、前記第１領域とは異なる構成材料の前記第２シンチレータの間に、前記第１領域と同じ構成材料の前記第２シンチレータを配置してなる、請求項９に記載の光検出器。   In the second region, the second scintillator made of the same constituent material as that of the first region is arranged between the second scintillators adjacent to the first direction and made of a different constituent material from the first region. The photodetector according to claim 9.
JP2016048432A 2016-03-11 2016-03-11 Light detector Pending JP2017161456A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016048432A JP2017161456A (en) 2016-03-11 2016-03-11 Light detector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016048432A JP2017161456A (en) 2016-03-11 2016-03-11 Light detector

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2017161456A true JP2017161456A (en) 2017-09-14

Family

ID=59853923

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016048432A Pending JP2017161456A (en) 2016-03-11 2016-03-11 Light detector

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2017161456A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018138126A (en) * 2017-02-24 2018-09-06 キヤノンメディカルシステムズ株式会社 X-ray computer tomography apparatus and x-ray detector
JP2019529874A (en) * 2016-08-11 2019-10-17 プリズマティック、センサーズ、アクチボラグＰｒｉｓｍａｔｉｃ Ｓｅｎｓｏｒｓ Ａｂ X-ray detector with low dose efficiency in the surrounding area
JP2021536580A (en) * 2018-09-10 2021-12-27 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. Multi-piece single layer radiation detector

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019529874A (en) * 2016-08-11 2019-10-17 プリズマティック、センサーズ、アクチボラグＰｒｉｓｍａｔｉｃ Ｓｅｎｓｏｒｓ Ａｂ X-ray detector with low dose efficiency in the surrounding area
JP7035012B2 (en) 2016-08-11 2022-03-14 プリズマティック、センサーズ、アクチボラグ X-ray detector with low dose efficiency in the surrounding area
JP2018138126A (en) * 2017-02-24 2018-09-06 キヤノンメディカルシステムズ株式会社 X-ray computer tomography apparatus and x-ray detector
US10959684B2 (en) 2017-02-24 2021-03-30 Canon Medical Systems Corporation X-ray computed tomography apparatus and x-ray detector
JP2021536580A (en) * 2018-09-10 2021-12-27 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. Multi-piece single layer radiation detector
JP7453215B2 (en) 2018-09-10 2024-03-19 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ Multi-piece single layer radiation detector

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107850676B (en) Imaging detector based on quantum dots
US10222486B2 (en) Radiation detector and radiographic apparatus including the same
US7405406B1 (en) Two-sided scintillation detectors and related methods
WO2017067846A1 (en) Radiation detector for combined detection of low-energy radiation quanta and high-energy radiation quanta
CN109874343A (en) Anti-scatter grid for radiation detector
US9304212B2 (en) Scintillator panel and manufacturing method therefor and radiation detector and manufacturing method therefor
JP2009222578A (en) Solid-state x-ray detector, method of solid-state x-ray detection, and x-ray ct device
WO2008008663A3 (en) Energy spectrum reconstruction
JP7162377B2 (en) Gamma radiation imaging device and imaging method
US9646731B2 (en) X-ray radiation detector, CT system and related method
JP2016533477A5 (en)
US11768163B2 (en) CT system and detection device for CT system
JP2017161456A (en) Light detector
JP2016131886A (en) X-ray CT apparatus
US20160073983A1 (en) Scintillator, radiation detection device, and radiation inspection device
JP2012225680A (en) Neutron detector
WO2012034824A3 (en) Silicon photomultiplier and radiation detector
JP2016118533A (en) Photon counting detector and x-ray computer tomographic apparatus
JP2020531183A (en) Multilayer detector with monolithic scintillator
US20170052127A1 (en) Photodetector, detecting apparatus, and detecting system
US20110255658A1 (en) X-ray ct apparatus and x-ray detector
US20230375727A1 (en) Combined imaging detector and imaging system
US8976924B2 (en) X-ray CT apparatus and X-ray detector
KR20150046624A (en) X-ray detector
WO2009111783A2 (en) Method and apparatus for radiation detection and imaging