JP2017157298A - Plasma generation device - Google Patents

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慶太郎 山田
与明 高土
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与明 高土
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幸司 堀川
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    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/2406—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma generation device capable of effectively supplying plasma in the air.SOLUTION: A plasma generation device 101 includes: a housing 1 having an inlet 3 and an outlet 4; and a planar discharge electrode 2 disposed inside the housing 1 and generating plasma by discharge. The housing 1 has a non-linear flow path from the inlet 3 to the outlet 4 at the inside thereof. The flow path is arranged so that, on the way where air entering from the inlet 3 travels through the flow path toward the outlet 4, the air passes the discharge electrode 2 a plurality of times.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、プラズマ生成装置に関するものである。   The present invention relates to a plasma generation apparatus.

プラズマ生成装置の一例が、特開２００８−１３０３４３号公報（特許文献１）に記載されている。   An example of a plasma generation apparatus is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-130343 (Patent Document 1).

金属製の棒状導電体を誘電体で被覆した電極を円環状に配列した構造が、特開平８−１８５９５５号公報（特許文献２）に記載されている。   Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-185955 (Patent Document 2) describes a structure in which electrodes in which metal rod-shaped conductors are coated with a dielectric are arranged in an annular shape.

プラズマを生成し、空気中にプラズマを供給するためには、装置の空気取入れ口や装置内の流路の途中において平面状の放電電極を気流に対して垂直な方向に配置することが行なわれる。放電電極ではプラズマが発生し、気流が放電電極を通過する際に気流に対してプラズマが供給される。   In order to generate plasma and supply the plasma into the air, a flat discharge electrode is arranged in a direction perpendicular to the airflow in the middle of the air intake port of the device and the flow path in the device. . Plasma is generated at the discharge electrode, and plasma is supplied to the airflow when the airflow passes through the discharge electrode.

特開２００８−１３０３４３号公報JP 2008-130343 A 特開平８−１８５９５５号公報JP-A-8-185955

装置の空気取入れ口や装置内の流路の途中において平面状の放電電極を気流に対して垂直な方向に配置しただけでは、気流は放電電極に１回しか接触する機会がなく、気流中にプラズマを供給する上で、効率が悪い。   If the flat discharge electrode is arranged in the direction perpendicular to the airflow in the middle of the air intake of the device or the flow path in the device, the airflow has no chance to contact the discharge electrode only once. The efficiency of supplying plasma is poor.

そこで、本発明は、効率良く空気中にプラズマを供給することができるプラズマ生成装置を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a plasma generation apparatus that can efficiently supply plasma into the air.

上記目的を達成するため、本発明に基づくプラズマ生成装置は、入口および出口を有する筐体と、上記筐体の内部に配置され、放電が生じることでプラズマを生成する面状の放電電極とを備え、上記筐体は、上記入口から上記出口に至る非直線状の流路を内部に有しており、上記流路は、上記入口から入った空気が上記出口に向かって上記流路を進行する途中で上記空気が上記放電電極を複数回通過するように配置されている。   In order to achieve the above object, a plasma generating apparatus according to the present invention includes a casing having an inlet and an outlet, and a planar discharge electrode that is disposed inside the casing and generates plasma when discharge occurs. The housing has a non-linear flow path from the inlet to the outlet, and the flow path is such that air entering from the inlet travels through the flow path toward the outlet. The air is arranged so as to pass through the discharge electrode a plurality of times.

本発明によれば、空気が流路を進行する途中で、放電電極を複数回通過するので、効率良く空気中にプラズマを供給することができる。   According to the present invention, since the air passes through the discharge electrode a plurality of times while the air travels through the flow path, the plasma can be efficiently supplied to the air.

本発明に基づく実施の形態１におけるプラズマ生成装置の斜視図である。It is a perspective view of the plasma production apparatus in Embodiment 1 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態１におけるプラズマ生成装置の側面図である。It is a side view of the plasma production apparatus in Embodiment 1 based on this invention. 図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に関する矢視断面図である。It is arrow sectional drawing regarding the III-III line in FIG. 本発明に基づく実施の形態１におけるプラズマ生成装置に備わる放電電極の部分平面図である。It is a fragmentary top view of the discharge electrode with which the plasma production apparatus in Embodiment 1 based on this invention is equipped. 放電電極の第１の変形例の部分平面図である。It is a fragmentary top view of the 1st modification of a discharge electrode. 放電電極の第２の変形例の部分平面図である。It is a fragmentary top view of the 2nd modification of a discharge electrode. 放電電極の第３の変形例の部分平面図である。It is a fragmentary top view of the 3rd modification of a discharge electrode. 筐体内における放電電極の配置の仕方の第１の変形例の説明図である。It is explanatory drawing of the 1st modification of the method of arrangement | positioning of the discharge electrode in a housing | casing. 筐体内における放電電極の配置の仕方の第２の変形例の説明図である。It is explanatory drawing of the 2nd modification of the method of arrangement | positioning of the discharge electrode in a housing | casing. 筐体内における放電電極の配置の仕方の第３の変形例の説明図である。It is explanatory drawing of the 3rd modification of the method of arrangement | positioning of the discharge electrode in a housing | casing. 本発明に基づく実施の形態２におけるプラズマ生成装置の斜視図である。It is a perspective view of the plasma production apparatus in Embodiment 2 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態２におけるプラズマ生成装置の断面図である。It is sectional drawing of the plasma production apparatus in Embodiment 2 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態３におけるプラズマ生成装置の斜視図である。It is a perspective view of the plasma production apparatus in Embodiment 3 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態３におけるプラズマ生成装置の断面図である。It is sectional drawing of the plasma production apparatus in Embodiment 3 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態４におけるプラズマ生成装置の斜視図である。It is a perspective view of the plasma production apparatus in Embodiment 4 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態４におけるプラズマ生成装置の一部を切除した状態の斜視図である。It is a perspective view in the state where a part of plasma generating device in Embodiment 4 based on the present invention was excised. 本発明に基づく実施の形態５におけるプラズマ生成装置の一部を切除した状態の斜視図である。It is a perspective view in the state where a part of plasma generating device in Embodiment 5 based on the present invention was excised. 本発明に基づく実施の形態５におけるプラズマ生成装置の断面図である。It is sectional drawing of the plasma production apparatus in Embodiment 5 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態６におけるプラズマ生成装置の一部を切除した状態の斜視図である。It is a perspective view in the state where a part of plasma generating device in Embodiment 6 based on the present invention was excised. 本発明に基づく実施の形態７におけるプラズマ生成装置の斜視図である。It is a perspective view of the plasma production apparatus in Embodiment 7 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態７におけるプラズマ生成装置の断面図である。It is sectional drawing of the plasma production apparatus in Embodiment 7 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態７におけるプラズマ生成装置の回路図である。It is a circuit diagram of the plasma generation apparatus in Embodiment 7 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態７におけるプラズマ生成装置に放電が生じる様子の説明図である。It is explanatory drawing of a mode that discharge arises in the plasma production apparatus in Embodiment 7 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態８におけるプラズマ生成装置の斜視図である。It is a perspective view of the plasma production apparatus in Embodiment 8 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態８におけるプラズマ生成装置の一部を展開した状態の断面図である。It is sectional drawing of the state which expand | deployed some plasma production apparatuses in Embodiment 8 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態８におけるプラズマ生成装置の第１の変形例の一部を展開した状態の断面図である。It is sectional drawing of the state which expand | deployed a part of 1st modification of the plasma production apparatus in Embodiment 8 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態８におけるプラズマ生成装置の第２の変形例の一部を展開した状態の断面図である。It is sectional drawing of the state which expand | deployed a part of 2nd modification of the plasma generator in Embodiment 8 based on this invention. 本発明に基づく実施の形態９におけるプラズマ生成装置の斜視図である。It is a perspective view of the plasma production apparatus in Embodiment 9 based on this invention.

（実施の形態１）
（構成）
図１〜図４を参照して、本発明に基づく実施の形態１におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図１に示す。 (Embodiment 1)
(Constitution)
With reference to FIGS. 1-4, the plasma production apparatus in Embodiment 1 based on this invention is demonstrated. FIG. 1 shows a perspective view of the plasma generation apparatus in this embodiment.

プラズマ生成装置１０１は、入口３および出口４を有する筐体１と、筐体１の内部に配置され、放電が生じることでプラズマを生成する面状の放電電極２とを備える。筐体１は、矢印９２で示されるように入口３から出口４に至る非直線状の流路を内部に有している。この流路は、入口３から入った空気が出口４に向かって前記流路を進行する途中で、前記空気が放電電極２を複数回通過するように配置されている。   The plasma generation apparatus 101 includes a housing 1 having an inlet 3 and an outlet 4 and a planar discharge electrode 2 that is disposed inside the housing 1 and generates plasma when discharge occurs. The housing 1 has a non-linear flow path from the inlet 3 to the outlet 4 as indicated by an arrow 92 inside. This flow path is arranged so that the air passes through the discharge electrode 2 a plurality of times while air entering from the inlet 3 travels through the flow path toward the outlet 4.

ここで示す例では、筐体１は、ほぼ円柱形状を有している。外周面の１ヶ所に入口３が設けられており、一方の端面の中央に出口４が設けられている。筐体１の中心線に沿って、オゾン除去部５が設けられている。オゾン除去部５は円筒状の外面を有し、筐体１に対して同心状に配置されている。空気は、矢印９１に示すように入口３から筐体１内に入る。筐体１内に入った空気は矢印９２に示すようにオゾン除去部５の周りを螺旋状に進行する。   In the example shown here, the housing 1 has a substantially cylindrical shape. An inlet 3 is provided at one location on the outer peripheral surface, and an outlet 4 is provided at the center of one end surface. An ozone removing unit 5 is provided along the center line of the housing 1. The ozone removing unit 5 has a cylindrical outer surface and is disposed concentrically with the housing 1. Air enters the housing 1 from the inlet 3 as indicated by an arrow 91. The air that has entered the housing 1 travels spirally around the ozone removal unit 5 as indicated by an arrow 92.

非直線状の流路が螺旋状である場合、螺旋状の壁などによって逐一隔てられているとは限らず、つながった空間内に想定される仮想的なものであってもよい。たとえば図１に示した例では、筐体１の内部は中心部に円筒形のオゾン除去部５が配置されている他は円筒形の大きな空間となっているが、このようなものであっても、空気が入口３から入ってきたときには空気は筐体１内で螺旋状に流れることとなるので、その場合に出現する空気の通り道は、非直線状の流路の一種である。   When the non-linear flow path is spiral, it is not necessarily separated by a spiral wall or the like, and may be a virtual one assumed in a connected space. For example, in the example shown in FIG. 1, the inside of the housing 1 is a large cylindrical space except that the cylindrical ozone removing unit 5 is arranged at the center. However, when air enters from the inlet 3, the air flows spirally within the housing 1, and the air passage that appears in that case is a kind of non-linear flow path.

プラズマ生成装置１０１の側面図を図２に示す。図２の右端においては、放電電極２の端は筐体１の端面より後退している。図１において矢印９２で示したように進行した空気は、図２に示すように、筐体１の端で矢印９３に示すように進行し、中心部に配置されたオゾン除去部５に入る。オゾン除去部５は公知技術によって構成されていてよい。オゾン除去部５の円筒の内部は任意の構造であってよい。オゾン除去部５を通過した空気は、矢印９４に示すように出口４から排出される。   A side view of the plasma generating apparatus 101 is shown in FIG. At the right end of FIG. 2, the end of the discharge electrode 2 recedes from the end surface of the housing 1. The air that has traveled as shown by the arrow 92 in FIG. 1 travels as shown by the arrow 93 at the end of the housing 1 as shown in FIG. 2, and enters the ozone removing unit 5 disposed at the center. The ozone removing unit 5 may be configured by a known technique. The inside of the cylinder of the ozone removing unit 5 may have an arbitrary structure. The air that has passed through the ozone removing unit 5 is discharged from the outlet 4 as indicated by an arrow 94.

図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に関する矢視断面図を図３に示す。放電電極２は、筐体１の端面から見たときに十字状となるように配置されている。図３に示すように、入口３は、筐体１の外周面の接線方向に設けられている。   FIG. 3 shows a cross-sectional view taken along the line III-III in FIG. The discharge electrode 2 is arranged so as to have a cross shape when viewed from the end face of the housing 1. As shown in FIG. 3, the inlet 3 is provided in the tangential direction of the outer peripheral surface of the housing 1.

放電電極２を単独で取り出した部分平面図を図４に示す。放電電極２は、導電性材料を用いて形成された網の構造を含んでいてよい。網を構成する１本１本の糸に相当するものは、導電性材料を誘電体で被覆したものである。網においては、たとえば縦線と横線とが編まれている。電圧を印加した際には、縦線と横線とが交差する点の近傍で放電が起こる。   A partial plan view of the discharge electrode 2 taken out alone is shown in FIG. The discharge electrode 2 may include a net structure formed using a conductive material. What corresponds to each thread constituting the net is a conductive material covered with a dielectric. In the net, for example, vertical lines and horizontal lines are knitted. When a voltage is applied, discharge occurs near the point where the vertical and horizontal lines intersect.

（作用・効果）
本実施の形態では、入口３から入った空気が出口４に向かって流路を進行する途中で、放電電極２を複数回通過するので、流れる空気と放電電極２の表面に発生したプラズマとの接触回数を多くすることができる。したがって、本実施の形態では、効率良く空気中にプラズマを供給することができる。 (Action / Effect)
In the present embodiment, since the air that has entered from the inlet 3 passes through the discharge electrode 2 a plurality of times while traveling through the flow path toward the outlet 4, the flow of air and the plasma generated on the surface of the discharge electrode 2 The number of contacts can be increased. Therefore, in this embodiment, plasma can be efficiently supplied into the air.

本実施の形態で示したように、前記流路は、筐体１内に螺旋状に設定されており、入口３および出口４の少なくとも一方は、この螺旋形状の延長上に配置されていてもよい。このようになっていれば、空気は筐体１内を螺旋状に進行するので、放電電極を繰返し通過させやすい。   As shown in the present embodiment, the flow path is spirally set in the housing 1, and at least one of the inlet 3 and the outlet 4 may be disposed on an extension of the spiral shape. Good. If it becomes like this, since air will advance the inside of the housing | casing 1 spirally, it will be easy to pass a discharge electrode repeatedly.

本実施の形態では面状の放電電極を用いたが、放電電極は単純な構造であってよいので、メンテナンスが容易となる。図３に示した放電電極２は網状であったが、放電電極２の構造は網状に限らない。面状の放電電極は、網状のものに代えて、図５に示すように、複数の平行な線が配置されたものであってもよい。図５では、導電材料の線材がほぼ等間隔で配置されている。このように平行に張られた線材同士の間には何もなく、風が吹き抜けることができる。   Although a planar discharge electrode is used in the present embodiment, the discharge electrode may have a simple structure, so that maintenance becomes easy. Although the discharge electrode 2 shown in FIG. 3 has a mesh shape, the structure of the discharge electrode 2 is not limited to the mesh shape. The planar discharge electrode may be one in which a plurality of parallel lines are arranged as shown in FIG. In FIG. 5, the wires of the conductive material are arranged at almost equal intervals. There is nothing between the wires stretched in parallel in this way, and the wind can blow through.

本実施の形態において、面状の放電電極は、図６に示すようなものであってもよい。図６に示した例では、直線状に張られた導電材料の線材の各々から一方の側に向かって針状部分が突出している。この放電電極に電圧を印加したときには、針状部分の先端にプラズマが発生する。   In the present embodiment, the planar discharge electrode may be as shown in FIG. In the example shown in FIG. 6, needle-like portions protrude from one of the conductive material wires stretched in a straight line toward one side. When a voltage is applied to the discharge electrode, plasma is generated at the tip of the needle-like portion.

本実施の形態において、面状の放電電極は、図７に示すようなものであってもよい。図７に示した例では、直線状に張られた導電材料の線材の各々から一方の側に向かってブラシ状部分が突出している。この放電電極に電圧を印加したときには、ブラシ状部分の先端にプラズマが発生する。   In the present embodiment, the planar discharge electrode may be as shown in FIG. In the example shown in FIG. 7, a brush-like portion protrudes from each of the conductive material wires stretched linearly toward one side. When a voltage is applied to the discharge electrode, plasma is generated at the tip of the brush-like portion.

本実施の形態では、筐体１内で放電電極２は９０°間隔で放射状に４ヶ所に配置されている例を示したが、たとえば図８に示すように放電電極２は１８０°間隔で２ヶ所に配置されていてもよい。   In the present embodiment, an example is shown in which the discharge electrodes 2 are radially arranged in four locations at intervals of 90 ° in the housing 1. For example, as shown in FIG. It may be arranged in several places.

筐体１内で放電電極２は、たとえば図９に示すように６０°間隔で放射状に６ヶ所に配置されていてもよい。筐体１内で放電電極２は、たとえば図１０に示すように４５°間隔で放射状に８ヶ所に配置されていてもよい。   For example, as shown in FIG. 9, the discharge electrodes 2 in the housing 1 may be arranged at six locations radially at intervals of 60 °. In the housing 1, the discharge electrodes 2 may be arranged radially at eight locations at 45 ° intervals as shown in FIG. 10, for example.

ここでは、放電電極２を放射状に配置する場合の例をいくつか示したが、筐体１内の３６０°の空間を放電電極２によっていくつに区切るかについては、ここで示した数に限らず他の数であってもよい。放電電極２の配置は等角度間隔であることが好ましいが、等角度間隔でなくてもよい。ここでは、中心に配置されたオゾン除去部５の周りに放電電極２が放射状に配置されているものとしたが、オゾン除去部５の存在は必須ではない。プラズマ生成装置にオゾン除去部は備わっていなくてもよい。筐体１内において１周３６０°の中に配置される放電電極２の数が多いほど、通過する空気へのプラズマ付与の効率は上がる。プラズマ生成装置１０１は、入口３または出口４に送風ファンを備えていてもよい。   Here, some examples in the case where the discharge electrodes 2 are arranged radially are shown. However, the number of the 360 ° spaces in the housing 1 divided by the discharge electrodes 2 is not limited to the number shown here. Other numbers may be used. The arrangement of the discharge electrodes 2 is preferably equiangular intervals, but may not be equiangular intervals. Here, it is assumed that the discharge electrodes 2 are arranged radially around the ozone removing unit 5 arranged in the center, but the presence of the ozone removing unit 5 is not essential. The plasma generation apparatus may not include the ozone removing unit. The greater the number of discharge electrodes 2 arranged within one rotation 360 ° in the housing 1, the higher the efficiency of plasma application to the passing air. The plasma generation apparatus 101 may include a blower fan at the inlet 3 or the outlet 4.

（実施の形態２）
（構成）
図１１〜図１２を参照して、本発明に基づく実施の形態２におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図１１に示す。プラズマ生成装置１０２は、筐体１を備える。筐体１は、入口３と出口４とを有する。入口３および出口４は、筐体１の同じ面に設けられている。空気は矢印９１で示すように入口３から筐体１内に入り、矢印９４で示すように出口４から出てくる。 (Embodiment 2)
(Constitution)
With reference to FIGS. 11-12, the plasma production apparatus in Embodiment 2 based on this invention is demonstrated. FIG. 11 shows a perspective view of the plasma generation apparatus in this embodiment. The plasma generation apparatus 102 includes a housing 1. The housing 1 has an inlet 3 and an outlet 4. The inlet 3 and the outlet 4 are provided on the same surface of the housing 1. Air enters the housing 1 from the inlet 3 as indicated by arrow 91 and exits from the outlet 4 as indicated by arrow 94.

プラズマ生成装置１０２の断面図を図１２に示す。筐体１の内部には、入口３から出口４に至る非直線状の流路が設けられている。筐体１内の出口４に近い部分にはオゾン除去部５が配置されている。オゾン除去部５は、公知技術によって構成されたものであってよい。オゾン除去部５の内部は、空気が通過することができる構造であれば任意の構造であってよい。流路は、筐体１内をジグザグ状に進行した後に、オゾン除去部５を通過して出口４に至る。   A cross-sectional view of the plasma generator 102 is shown in FIG. A non-linear flow path from the inlet 3 to the outlet 4 is provided in the housing 1. An ozone removing unit 5 is disposed in a portion near the outlet 4 in the housing 1. The ozone removing unit 5 may be configured by a known technique. The inside of the ozone removing unit 5 may have an arbitrary structure as long as air can pass therethrough. The flow path proceeds in a zigzag manner in the housing 1, and then passes through the ozone removing unit 5 and reaches the outlet 4.

放電電極２は平坦な面状である。放電電極２は、筐体１の外部から抜き差し可能となっていてもよい。放電電極２が一枚物でなおかつ筐体１の外部から抜き差し可能であれば、メンテナンスが容易になる。プラズマ生成装置１０２は、入口３または出口４に送風ファンを備えていてもよい。   The discharge electrode 2 has a flat surface shape. The discharge electrode 2 may be removable from the outside of the housing 1. If the discharge electrode 2 is a single piece and can be inserted and removed from the outside of the housing 1, maintenance becomes easy. The plasma generation apparatus 102 may include a blower fan at the inlet 3 or the outlet 4.

（作用・効果）
本実施の形態においても、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。流路に沿って進行する空気は、図１２に示すように、流路の途中で何度も放電電極２を通過することとなる。したがって、筐体１内を通る空気に対して効率良くプラズマを供給することができる。 (Action / Effect)
Also in the present embodiment, the same effect as in the first embodiment can be obtained. The air traveling along the flow path passes through the discharge electrode 2 many times in the middle of the flow path, as shown in FIG. Therefore, plasma can be efficiently supplied to the air passing through the housing 1.

（実施の形態３）
（構成）
図１３〜図１４を参照して、本発明に基づく実施の形態３におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図１３に示す。プラズマ生成装置１０３は、筐体１を備える。筐体１は、入口３と出口４とを有する。入口３は、筐体１の一方の側面に設けられている。出口４は、筐体１の入口３とは反対側の側面に設けられている。空気は矢印９１で示すように入口３から筐体１内に入り、矢印９４で示すように出口４から出てくる。 (Embodiment 3)
(Constitution)
With reference to FIGS. 13 to 14, a plasma generating apparatus according to Embodiment 3 based on the present invention will be described. FIG. 13 shows a perspective view of the plasma generation apparatus in this embodiment. The plasma generating apparatus 103 includes a housing 1. The housing 1 has an inlet 3 and an outlet 4. The inlet 3 is provided on one side surface of the housing 1. The outlet 4 is provided on the side surface opposite to the inlet 3 of the housing 1. Air enters the housing 1 from the inlet 3 as indicated by arrow 91 and exits from the outlet 4 as indicated by arrow 94.

プラズマ生成装置１０３の断面図を図１４に示す。筐体１の内部には、入口３から出口４に至る非直線状の流路が設けられている。筐体１内の出口４に近い部分にはオゾン除去部５が配置されている。流路は、筐体１内で分岐して進行した後に、オゾン除去部５を通過しつつ合流して出口４に至る。   A cross-sectional view of the plasma generating apparatus 103 is shown in FIG. A non-linear flow path from the inlet 3 to the outlet 4 is provided in the housing 1. An ozone removing unit 5 is disposed in a portion near the outlet 4 in the housing 1. The flow paths branch and proceed in the housing 1, and then merge while passing through the ozone removing unit 5 and reach the outlet 4.

放電電極２に関して実施の形態２で述べたことは、本実施の形態でもあてはまる。プラズマ生成装置１０３は、入口３または出口４に送風ファンを備えていてもよい。   What has been described in the second embodiment with respect to the discharge electrode 2 also applies to this embodiment. The plasma generator 103 may include a blower fan at the inlet 3 or the outlet 4.

（作用・効果）
本実施の形態においても、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。流路に沿って進行する空気は、図１４に示すように、流路の途中で何度も放電電極２を通過することとなる。したがって、筐体１内を通る空気に対して効率良くプラズマを供給することができる。 (Action / Effect)
Also in the present embodiment, the same effect as in the first embodiment can be obtained. As shown in FIG. 14, the air traveling along the flow path passes through the discharge electrode 2 many times in the middle of the flow path. Therefore, plasma can be efficiently supplied to the air passing through the housing 1.

（実施の形態４）
（構成）
図１５〜図１６を参照して、本発明に基づく実施の形態４におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図１５に示す。プラズマ生成装置１０４は、筐体１を備える。筐体１の長手方向の両端は開放されていてもよい。筐体１の内部には、平坦な網状の放電電極２が筐体１の長手方向に平行に配置されている。プラズマ生成装置１０４の内部構造がわかるように一部を切除した状態の斜視図を図１６に示す。プラズマ生成装置１０４は、筐体１内に軸流ファン６を備える。軸流ファン６は筐体１の入口に近い位置に配置されている。軸流ファン６によって外部の空気が矢印９１に示すように筐体１内に引き込まれる。 (Embodiment 4)
(Constitution)
With reference to FIGS. 15 to 16, a plasma generation apparatus according to Embodiment 4 of the present invention will be described. FIG. 15 shows a perspective view of the plasma generation apparatus in this embodiment. The plasma generation apparatus 104 includes a housing 1. Both ends in the longitudinal direction of the housing 1 may be opened. Inside the housing 1, a flat net-like discharge electrode 2 is arranged in parallel to the longitudinal direction of the housing 1. FIG. 16 is a perspective view showing a state where a part of the plasma generating apparatus 104 is cut out so that the internal structure of the plasma generating apparatus 104 can be understood. The plasma generating apparatus 104 includes an axial fan 6 in the housing 1. The axial fan 6 is disposed at a position near the entrance of the housing 1. External air is drawn into the housing 1 by the axial fan 6 as indicated by an arrow 91.

なお、図１６では、軸流ファンの羽根車は図示省略されているが、実際には中心部に羽根車が配置されていてもよい。以下の図においても軸流ファンを図示する際には同様に、羽根車は図示省略されている。   In FIG. 16, the impeller of the axial fan is not shown, but the impeller may actually be disposed at the center. Also in the following drawings, the impeller is omitted from the drawing when the axial fan is illustrated.

（作用・効果）
本実施の形態では、軸流ファン６が配置されているので、筐体１内に整流板がなくても、空気は筐体１内で螺旋状に進行していく。筐体１内で放電電極２は、筐体１の長手方向に平行に配置されているので、筐体１内を螺旋状に進行していく空気は、図１６に示すように、放電電極２を何度も通過することとなる。これにより、放電電極２の１枚当たりのプラズマ供給効率が向上する。 (Action / Effect)
In the present embodiment, since the axial flow fan 6 is disposed, the air travels spirally in the housing 1 even if there is no current plate in the housing 1. Since the discharge electrode 2 is disposed in parallel with the longitudinal direction of the casing 1 in the casing 1, the air that travels spirally in the casing 1 is discharged as shown in FIG. Will be passed many times. Thereby, the plasma supply efficiency per discharge electrode 2 is improved.

（実施の形態５）
（構成）
図１７〜図１８を参照して、本発明に基づく実施の形態５におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図１７に示す。図１７では、プラズマ生成装置１０５の内部構造がわかるように一部を切除した状態で示している。プラズマ生成装置１０５は、筐体１を備える。筐体１の内部には、平坦な網状の放電電極２が筐体１の長手方向に平行に配置されている。筐体１内の放電電極２より下流側の位置に送風ファンとしての軸流ファン６が配置されている。ここで配置される送風ファンは、軸流ファン以外であってもよい。送風ファンは、筐体１の長手方向の一方の端は底板によって塞がれている。底板によって塞がれている端の近傍には入口３が設けられている。入口３は、筐体１の４つの側面にそれぞれ設けられている。入口３を通るように切ったプラズマ生成装置１０５の断面図を図１８に示す。複数の入口３は、筐体１の長手方向から見たときに点対称な位置に配置されている。 (Embodiment 5)
(Constitution)
With reference to FIGS. 17 to 18, a plasma generation apparatus according to Embodiment 5 based on the present invention will be described. FIG. 17 shows a perspective view of the plasma generation apparatus in this embodiment. In FIG. 17, a part of the plasma generating apparatus 105 is shown so as to be cut out so that the internal structure of the plasma generating apparatus 105 can be understood. The plasma generating apparatus 105 includes a housing 1. Inside the housing 1, a flat net-like discharge electrode 2 is arranged in parallel to the longitudinal direction of the housing 1. An axial fan 6 as a blower fan is disposed at a position downstream of the discharge electrode 2 in the housing 1. The blower fan disposed here may be other than the axial fan. In the blower fan, one end in the longitudinal direction of the housing 1 is closed by a bottom plate. An inlet 3 is provided in the vicinity of the end blocked by the bottom plate. The inlet 3 is provided on each of the four side surfaces of the housing 1. FIG. 18 shows a cross-sectional view of the plasma generation device 105 cut through the inlet 3. The plurality of inlets 3 are arranged at point symmetrical positions when viewed from the longitudinal direction of the housing 1.

入口３は、筐体１の板材に対して斜めに貫通する孔として設けられている。ここでは、入口３は斜めに貫通する孔として設けられているものとしたが、筐体１の板材に対して垂直に貫通する孔であってもよい。ここでは、入口３は、筐体１の４つの側面にそれぞれ設けられているものとしたが、入口３は、たとえば互いに対向する２つの側面のみに設けられいるものであってもよい。ここでは、入口３は１つの側面当たり２個の開口部として設けられているものとしたが、１つの入口３に含まれる開口部の数は２個とは限らず他の数であってもよい。   The inlet 3 is provided as a hole that penetrates obliquely with respect to the plate material of the housing 1. Here, the inlet 3 is provided as a hole penetrating obliquely, but may be a hole penetrating perpendicularly to the plate material of the housing 1. Here, the inlet 3 is provided on each of the four side surfaces of the housing 1. However, the inlet 3 may be provided on only two side surfaces facing each other, for example. Here, the inlet 3 is provided as two openings per side surface, but the number of openings included in one inlet 3 is not limited to two and may be other numbers. Good.

（作用・効果）
本実施の形態では、送風ファンによって筐体１内から空気を排出する向きの風が引き起こされると、筐体１内の気圧が下がるので、入口３から空気が筐体１内に引き込まれる。入口３は、筐体１の側面の点対称な位置に設けられているので、筐体１内では螺旋状の気流が生じる。放電電極２が筐体１の長手方向に平行に配置されているので、螺旋状の流れに沿って進行する空気は、図１７に示すように放電電極２を何度も通過する。これにより、放電電極２の１枚当たりのプラズマ供給効率が向上する。 (Action / Effect)
In the present embodiment, when the wind in the direction of exhausting air from the inside of the housing 1 is caused by the blower fan, the air pressure in the housing 1 is lowered, so that air is drawn into the housing 1 from the inlet 3. Since the inlet 3 is provided at a point-symmetrical position on the side surface of the housing 1, a spiral airflow is generated in the housing 1. Since the discharge electrode 2 is arranged in parallel with the longitudinal direction of the housing 1, the air traveling along the spiral flow passes through the discharge electrode 2 many times as shown in FIG. Thereby, the plasma supply efficiency per discharge electrode 2 is improved.

（実施の形態６）
（構成）
図１９を参照して、本発明に基づく実施の形態６におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図１９に示す。図１９では、プラズマ生成装置１０６の内部構造がわかるように一部を切除した状態で示している。プラズマ生成装置１０６は、筐体１を備える。筐体１の長手方向の両端は開放されている。筐体１の内部には、平坦な網状の放電電極２が筐体１の長手方向に平行に配置されている。筐体１内には、螺旋状のリブ７が配置されている。リブ７によって、筐体１内の空間は螺旋状の通路として区切られている。 (Embodiment 6)
(Constitution)
With reference to FIG. 19, the plasma generating apparatus in Embodiment 6 based on this invention is demonstrated. A perspective view of the plasma generation apparatus in this embodiment is shown in FIG. In FIG. 19, a part of the plasma generating device 106 is cut out so as to understand the internal structure. The plasma generating apparatus 106 includes a housing 1. Both ends in the longitudinal direction of the housing 1 are open. Inside the housing 1, a flat net-like discharge electrode 2 is arranged in parallel to the longitudinal direction of the housing 1. A spiral rib 7 is disposed in the housing 1. The space in the housing 1 is partitioned by the rib 7 as a spiral passage.

（作用・効果）
本実施の形態では、筐体１内に螺旋状のリブ７が設けられているので、空気の圧力損失はあるものの、空気が筐体１内で放電電極２を何回通過するかをより正確に決定することができる。 (Action / Effect)
In this embodiment, since the spiral rib 7 is provided in the housing 1, it is more accurate how many times the air passes through the discharge electrode 2 in the housing 1, although there is air pressure loss. Can be determined.

（実施の形態７）
（構成）
図２０〜図２２を参照して、本発明に基づく実施の形態７におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図２０に示す。プラズマ生成装置２０１は筒形状部を含む。プラズマ生成装置２０１の断面図を図２１に示す。プラズマ生成装置２０１では、筒状となった誘電体部１３に囲まれるようにして内部空間１４が規定されている。 (Embodiment 7)
(Constitution)
With reference to FIGS. 20-22, the plasma generator in Embodiment 7 based on this invention is demonstrated. FIG. 20 shows a perspective view of the plasma generation apparatus in this embodiment. The plasma generator 201 includes a cylindrical portion. A cross-sectional view of the plasma generator 201 is shown in FIG. In the plasma generation apparatus 201, the internal space 14 is defined so as to be surrounded by the cylindrical dielectric portion 13.

プラズマ生成装置２０１は、全体が筒形状部をなすように並んで配置された複数の線状の放電電極１２と、複数の線状の放電電極１２の外周面をそれぞれ筒状に覆いつつ複数の放電電極１２を一括して包み、全体として前記筒形状部に沿う形状である誘電体部１３とを備える。誘電体部１３の互いに隣接する放電電極１２同士の間に対応する部分は、前記筒形状部の外周面１７に比べて内周面においてより大きく凹んでいる。ここでは、外周面１７には全く凹みがないものとして示しているが、外周面１７の放電電極１２同士の間に対応する部分に何らかの凹みがあってもよい。外周面１７の放電電極１２同士の間に対応する部分と内周面の放電電極１２同士の間に対応する部分とを比較したときに後者の凹みの方が大きければよい。本実施の形態で示すように、外周面の放電電極１２同士の間に対応する部分には全く凹みがない構成であってもよい。   The plasma generation apparatus 201 includes a plurality of linear discharge electrodes 12 arranged side by side so as to form a cylindrical portion, and a plurality of linear discharge electrodes 12 while covering the outer peripheral surface of each of the plurality of linear discharge electrodes 12 in a cylindrical shape. The discharge electrode 12 is collectively wrapped, and a dielectric portion 13 having a shape along the tubular shape portion as a whole is provided. A portion of the dielectric portion 13 corresponding to between the discharge electrodes 12 adjacent to each other is recessed more greatly on the inner peripheral surface than the outer peripheral surface 17 of the cylindrical portion. Here, the outer peripheral surface 17 is shown as having no dents at all, but there may be some dents in the corresponding portions between the discharge electrodes 12 of the outer peripheral surface 17. When the portion corresponding to between the discharge electrodes 12 on the outer peripheral surface 17 is compared with the portion corresponding to between the discharge electrodes 12 on the inner peripheral surface, the latter dent should be larger. As shown in the present embodiment, the portion corresponding to the space between the discharge electrodes 12 on the outer peripheral surface may have no dent at all.

図２１に示すように、プラズマ生成装置２０１では、外周に沿って複数の線状の放電電極１２が配置されているが、これらの放電電極１２には、それぞれ図２２に示すように交流電源１６から電気的に接続がなされている。交流電源１６の２つの極が提供する電位を第１の電位および第２の電位とすると、並んでいる複数の放電電極１２においては、第１の電位が印加されるものと第２の電位が印加されるものとが交互に並んでいる。図２２では、本来は丸まって筒形状部をなしている誘電体部１３を、平坦となるように展開して示している。したがって、外周面１７は本来湾曲した面であるが、図２２では平坦に表示されている。   As shown in FIG. 21, in the plasma generating apparatus 201, a plurality of linear discharge electrodes 12 are arranged along the outer periphery, and each of these discharge electrodes 12 has an AC power supply 16 as shown in FIG. Is electrically connected. Assuming that the potentials provided by the two poles of the AC power source 16 are the first potential and the second potential, in the plurality of discharge electrodes 12 arranged side by side, the first potential and the second potential are applied. Applied ones are arranged alternately. In FIG. 22, the dielectric portion 13 that is originally rounded to form a cylindrical portion is shown in a flattened manner. Therefore, the outer peripheral surface 17 is originally a curved surface, but is displayed flat in FIG.

図２０に示すように、プラズマ生成装置２０１においては、何らかの手段で、空気が矢印９５の向きに送り込まれる。プラズマ生成装置２０１の一部としていずれかの箇所に送風ファン（図示せず）を備えることとしてもよい。送風ファンによって空気を送り込むまたは引き込むことによって、結果的に矢印９５の向きの気流を生じさせることとしてもよい。   As shown in FIG. 20, in the plasma generating apparatus 201, air is sent in the direction of the arrow 95 by some means. It is good also as providing a ventilation fan (not shown) in any location as a part of plasma production apparatus 201. FIG. As a result, air flow in the direction of the arrow 95 may be generated by sending or drawing air by the blower fan.

（作用・効果）
本実施の形態では、筒形状部の外周に沿って隣り合う放電電極１２同士の間では異なる電位が印加されることとなり、ここで生じる電位差によって、互いに隣り合う放電電極１２同士の間で図２３に示すように内周面側の凹みに放電１５が生じる。放電１５は、誘電体バリア放電として生じるものである。実際には誘電体部１３はある程度湾曲しているが、図２３では、説明の便宜のために平らな状態にして表示している。図２３における放電１５は模式的に示したものであり、放電の形状は、ここに示したものに限らない。 (Action / Effect)
In the present embodiment, different potentials are applied between the discharge electrodes 12 adjacent to each other along the outer periphery of the cylindrical portion, and the potential difference generated here causes a difference between the discharge electrodes 12 adjacent to each other in FIG. As shown in FIG. 2, a discharge 15 is generated in the recess on the inner peripheral surface side. The discharge 15 is generated as a dielectric barrier discharge. Actually, the dielectric portion 13 is curved to some extent, but in FIG. 23, it is shown in a flat state for convenience of explanation. The discharge 15 in FIG. 23 is schematically shown, and the shape of the discharge is not limited to that shown here.

矢印９５の向きに内部空間１４に入った空気は、筒形状部の内周面に触れることとなり、放電１５によってプラズマを付与される。こうして、プラズマを含んだ空気として反対側の開口部から出ていく。   The air that has entered the internal space 14 in the direction of the arrow 95 comes into contact with the inner peripheral surface of the cylindrical portion, and plasma is applied by the discharge 15. Thus, the air containing plasma exits from the opening on the opposite side.

本実施の形態では、誘電体部１３の互いに隣接する放電電極１２同士の間に対応する部分は、前記筒形状部の外周面１７に比べて内周面においてより大きく凹んでいるので、誘電体バリア放電は、凹みがより大きい側である内周面において生じやすく、外周面１７においては生じにくくなる。このようにして、内周面に集中して放電を発生させることができるので、無駄な放電を避け、消費電力を抑えて効率良く放電を発生させることができる。こうして、空気に対するプラズマの供給を効率良く行なうことができる。   In the present embodiment, the portion corresponding to the space between the discharge electrodes 12 adjacent to each other of the dielectric portion 13 is recessed more greatly on the inner peripheral surface than the outer peripheral surface 17 of the cylindrical portion. Barrier discharge is likely to occur on the inner peripheral surface on the side where the dent is larger, and is less likely to occur on the outer peripheral surface 17. In this way, discharge can be generated concentrated on the inner peripheral surface, so that unnecessary discharge can be avoided, and power can be efficiently generated while suppressing power consumption. Thus, plasma can be efficiently supplied to the air.

（実施の形態８）
（構成）
図２４〜図２５を参照して、本発明に基づく実施の形態８におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図２４に示す。プラズマ生成装置２０２は、筒形状部を有する。プラズマ生成装置２０２は筒形状部の内側に空気を送り込むためまたは引き込むための送風ファンを備えていてもよい。プラズマ生成装置２０２は、実施の形態７で述べたプラズマ生成装置２０１に比べて、基本的な構成は共通するが、以下の点で異なる。 (Embodiment 8)
(Constitution)
With reference to FIGS. 24 to 25, a plasma generating apparatus according to an eighth embodiment of the present invention will be described. FIG. 24 shows a perspective view of the plasma generation apparatus in this embodiment. The plasma generator 202 has a cylindrical part. The plasma generation apparatus 202 may include a blower fan for sending air into or drawing in the inside of the cylindrical portion. The plasma generation apparatus 202 has the same basic configuration as the plasma generation apparatus 201 described in Embodiment 7, but differs in the following points.

本実施の形態では、誘電体部１３は、筒形状部の内側に向かって尖った形状の部分１３ａを含む。尖った形状の部分１３ａは放電電極１２に対応するように配置されている。尖った形状の部分１３ａは、放電電極１２と同様に線状に設けられている。   In the present embodiment, the dielectric portion 13 includes a portion 13a having a sharp shape toward the inside of the cylindrical portion. The pointed portion 13 a is arranged so as to correspond to the discharge electrode 12. The pointed portion 13 a is provided in a linear shape like the discharge electrode 12.

プラズマ生成装置２０２に含まれる２本の放電電極１２およびその近傍の部材を取り出して展開したところの断面図を図２５に示す。誘電体部１３は、筒形状部の外周面１７となる側は平坦であり、内周面となる側には尖った形状の部分１３ａが並んでいる。尖った形状の部分が並んでいることによって、筒形状部の内周面には、溝が形成されている。溝はたとえば筒形状部の長手方向に平行に延在する。   FIG. 25 shows a cross-sectional view of the two discharge electrodes 12 included in the plasma generation apparatus 202 and members in the vicinity thereof taken out and developed. The dielectric portion 13 is flat on the side that becomes the outer peripheral surface 17 of the cylindrical portion, and the sharp portions 13a are arranged on the side that becomes the inner peripheral surface. A groove is formed on the inner peripheral surface of the cylindrical portion by arranging the sharp portions. The groove extends, for example, in parallel with the longitudinal direction of the cylindrical portion.

（作用・効果）
本実施の形態では、空気の流路となる筒形状部の内周面に尖った形状の部分１３ａが設けられているので、部分１３ａによって気流が制御されうる。尖った形状の部分１３ａ同士の間に溝が形成されていれば、気流の少なくとも一部はこの溝に沿うようになり、溝の内部で生じている放電と接しやすくなる。 (Action / Effect)
In the present embodiment, the sharp portion 13a is provided on the inner peripheral surface of the cylindrical portion serving as the air flow path, so that the air flow can be controlled by the portion 13a. If a groove is formed between the sharp-shaped portions 13a, at least a part of the airflow is along the groove, and it is easy to come into contact with the discharge generated inside the groove.

図２５では、部分１３ａが二等辺三角形のような断面形状で突出していたが、誘電体部１３の形状は図２５に示したようなものに代えて、図２６に示すようなものであってもよい。図２６に示した例では、誘電体部１３は、長方形のような断面形状で突出する部分１３ｂを含む。   In FIG. 25, the portion 13a protrudes in a cross-sectional shape like an isosceles triangle, but the shape of the dielectric portion 13 is as shown in FIG. 26 instead of that shown in FIG. Also good. In the example shown in FIG. 26, the dielectric portion 13 includes a portion 13b protruding in a cross-sectional shape such as a rectangle.

さらに、図２７に示すようなものであってもよい。図２７に示した例では、誘電体部１３は、部分１３ｃを含む。部分１３ｃは、断面で見たとき、尖っている部分の勾配が途中で変化し、先端が鋭くなっている。   Furthermore, it may be as shown in FIG. In the example shown in FIG. 27, the dielectric portion 13 includes a portion 13c. When the section 13c is viewed in cross section, the slope of the pointed portion changes in the middle, and the tip is sharp.

（実施の形態９）
（構成）
図２８を参照して、本発明に基づく実施の形態９におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図２８に示す。プラズマ生成装置２０５は、実施の形態７または８で述べたプラズマ生成装置に比べて、基本的な構成は共通するが、以下の点で異なる。 (Embodiment 9)
(Constitution)
With reference to FIG. 28, a plasma generation apparatus according to Embodiment 9 of the present invention will be described. FIG. 28 shows a perspective view of the plasma generating apparatus in this embodiment. The plasma generator 205 has the same basic configuration as the plasma generator described in Embodiment 7 or 8, but is different in the following points.

本実施の形態では、複数の線状の放電電極１２は、全体がねじれた形状となるように配置されている。これに伴って、誘電体部１３の突出した部分１３ａもねじれている。互いに隣接する突出した部分１３ａ同士に挟まれて形成された溝をたどると、螺旋形状となっている。部分１３ａ同士の間の溝となる部分は、銃砲の銃砲身の内面にしばしば施される螺旋状の溝、すなわち、ライフリング（施条）と似たものであってよい。   In the present embodiment, the plurality of linear discharge electrodes 12 are arranged so as to be twisted as a whole. Along with this, the protruding portion 13a of the dielectric portion 13 is also twisted. When a groove formed between the protruding portions 13a adjacent to each other is traced, a spiral shape is formed. The part which becomes a groove | channel between the parts 13a may be similar to the spiral groove | channel often given to the inner surface of the gun barrel of a gun gun, ie, a life ring (rib).

（作用・効果）
本実施の形態では、筒形状部の内周面における突出した部分がねじれた形状となっているので、筒形状部の内部を通過する気流の少なくとも一部がねじれた形状に沿って進行することとなり、放電箇所と気流とが接する長さがより長くなる。これにより、気流に対してより効率的にプラズマを供給することができる。 (Action / Effect)
In the present embodiment, since the protruding portion on the inner peripheral surface of the cylindrical portion has a twisted shape, at least a part of the airflow passing through the inside of the cylindrical portion proceeds along the twisted shape. Thus, the length of contact between the discharge location and the airflow becomes longer. Thereby, plasma can be supplied more efficiently with respect to the airflow.

なお、上記各実施の形態では、プラズマ生成装置の例を示したが、プラズマを空気中に供給することによって空気を浄化することとしてもよく、その場合には、この装置は、プラズマ生成装置ではなく空気浄化装置と呼んでもよい。   In each of the above embodiments, an example of a plasma generation device has been described. However, air may be purified by supplying plasma into the air, and in this case, this device is a plasma generation device. You may call it an air purifier.

なお、上記実施の形態のうち複数を適宜組み合わせて採用してもよい。
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。 In addition, you may employ | adopt combining suitably two or more among the said embodiment.
In addition, the said embodiment disclosed this time is an illustration in all the points, Comprising: It is not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and includes all modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

１ 筐体、２ （面状の）放電電極、３ 入口、４ 出口、５ オゾン除去部、６ 軸流ファン、７ リブ、１２ （線状の）放電電極、１３ 誘電体部、１３ａ，１３ｂ，１３ｃ （尖った形状の）部分、１４ 内部空間、１５ 放電、１６ 交流電源、１７ 外周面、９１，９２，９３，９４，９５，９６ 矢印、１０１，１０２，１０３，１０４，１０５，１０６，２０１，２０２，２０５ プラズマ生成装置。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Case, 2 (Surface-shaped) discharge electrode, 3 Inlet, 4 outlet, 5 Ozone removal part, 6 Axial fan, 7 Rib, 12 (Linear) discharge electrode, 13 Dielectric part, 13a, 13b, 13c (pointed shape) part, 14 internal space, 15 discharge, 16 AC power supply, 17 outer peripheral surface, 91, 92, 93, 94, 95, 96 arrows, 101, 102, 103, 104, 105, 106, 201 202, 205 Plasma generator.

Claims (5)

入口および出口を有する筐体と、
前記筐体の内部に配置され、放電が生じることでプラズマを生成する面状の放電電極とを備え、
前記筐体は、前記入口から前記出口に至る非直線状の流路を内部に有しており、
前記流路は、前記入口から入った空気が前記出口に向かって前記流路を進行する途中で前記空気が前記放電電極を複数回通過するように配置されている、プラズマ生成装置。 A housing having an inlet and an outlet;
A planar discharge electrode that is disposed inside the housing and generates plasma by generating a discharge;
The housing has a non-linear flow path from the inlet to the outlet inside.
The said flow path is a plasma production apparatus arrange | positioned so that the said air may pass the said discharge electrode in multiple ways in the middle of the air which entered from the said entrance progresses the said flow path toward the said exit. 前記流路は、前記筐体内に螺旋状に設定されており、前記入口および前記出口の少なくとも一方は、この螺旋形状の延長上に配置されている、請求項１に記載のプラズマ生成装置。   The plasma generating apparatus according to claim 1, wherein the flow path is spirally set in the housing, and at least one of the inlet and the outlet is disposed on an extension of the spiral shape. 全体が筒形状部をなすように並んで配置された複数の線状の放電電極と、
前記複数の線状の放電電極の外周面をそれぞれ筒状に覆いつつ前記複数の放電電極を一括して包み、全体として前記筒形状部に沿う形状である誘電体部とを備え、
前記誘電体部の互いに隣接する前記放電電極同士の間に対応する部分は、前記筒形状部の外周面に比べて内周面においてより大きく凹んでいる、プラズマ生成装置。 A plurality of linear discharge electrodes arranged side by side so as to form a cylindrical portion as a whole;
A plurality of discharge electrodes are collectively wrapped while covering the outer peripheral surface of each of the plurality of linear discharge electrodes in a cylindrical shape, and provided with a dielectric portion having a shape along the cylindrical portion as a whole,
The plasma generating apparatus, wherein a portion corresponding to between the discharge electrodes adjacent to each other of the dielectric portion is recessed more greatly on the inner peripheral surface than the outer peripheral surface of the cylindrical portion. 前記誘電体部は、前記筒形状部の内側に向かって尖った形状の部分を含む、請求項３に記載のプラズマ生成装置。   The plasma generation apparatus according to claim 3, wherein the dielectric portion includes a portion having a sharp shape toward the inside of the cylindrical portion. 前記複数の線状の放電電極は、全体がねじれた形状となるように配置されている、請求項３または４に記載のプラズマ生成装置。   The plasma generating apparatus according to claim 3 or 4, wherein the plurality of linear discharge electrodes are arranged so as to have a twisted shape as a whole.
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