JP2017157263A - Magnetic recording head and magnetic recorder - Google Patents

Magnetic recording head and magnetic recorder Download PDF

Info

Publication number
JP2017157263A
JP2017157263A JP2016042084A JP2016042084A JP2017157263A JP 2017157263 A JP2017157263 A JP 2017157263A JP 2016042084 A JP2016042084 A JP 2016042084A JP 2016042084 A JP2016042084 A JP 2016042084A JP 2017157263 A JP2017157263 A JP 2017157263A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
shield
magnetic recording
magnetic
recording head
intermediate layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016042084A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6527480B2 (en
Inventor
高岸 雅幸
Masayuki Takagishi
雅幸 高岸
直幸 成田
Naoyuki Narita
直幸 成田
山田 健一郎
Kenichiro Yamada
健一郎 山田
知子 田口
Tomoko Taguchi
知子 田口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2016042084A priority Critical patent/JP6527480B2/en
Publication of JP2017157263A publication Critical patent/JP2017157263A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6527480B2 publication Critical patent/JP6527480B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic recording head capable of improving recording density, and a magnetic recorder.SOLUTION: According to one embodiment, a magnetic recording head includes a first shield, a second shield, a magnetic pole, a first insulation part, and a first intermediate layer. The second shield is separated from the first shield in a first direction. The magnetic pole is provided between the first shield and the second shield. The magnetic pole includes a first end portion and a second end portion separated from the first end portion in a second direction intersecting with the first direction. A first end portion length along the first direction of the first end portion is longer than a second end portion length along the first direction of the second end portion. The first insulation part is provided between the first shield and the magnetic pole. The first intermediate layer is provided between the first shield and the first insulation part, and contains at least any one of Pt and Pd.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明の実施形態は、磁気記録ヘッド及び磁気記録装置に関する。   Embodiments described herein relate generally to a magnetic recording head and a magnetic recording apparatus.

磁気記録ヘッドを用いて、HDD(Hard Disk Drive)などの磁気記憶媒体に情報が記録される。例えば、垂直磁気記録は、高密度記録に有利である。磁気記録ヘッド及び磁気記録装置において、記録密度の向上が望まれる。   Information is recorded on a magnetic storage medium such as an HDD (Hard Disk Drive) using a magnetic recording head. For example, perpendicular magnetic recording is advantageous for high density recording. In a magnetic recording head and a magnetic recording apparatus, improvement in recording density is desired.

特開2011−227987号公報JP 2011-227987 A

本発明の実施形態は、記録密度が向上できる磁気記録ヘッド及び磁気記録装置を提供する。   Embodiments of the present invention provide a magnetic recording head and a magnetic recording apparatus that can improve recording density.

本発明の実施形態によれば、磁気記録ヘッドは、第1シールドと、第2シールドと、磁極と、第1絶縁部と、第1中間層と、を含む。前記第2シールドは、第1方向において前記第1シールドから離れる。前記磁極は、前記第1シールドと前記第2シールドとの間に設けられる。前記磁極は、第1端部と、前記第1方向と交差する第2方向において前記第1端部から離れた第2端部と、を含む。前記第1端部の前記第1方向に沿った第1端部長は、前記第2端部の前記第1方向に沿った第2端部長よりも長い。前記第1絶縁部は、前記第1シールドと前記磁極との間に設けられる。前記第1中間層は、前記第1シールドと前記第1絶縁部との間に設けられ、Pt及びPdの少なくともいずれかを含む。   According to an embodiment of the present invention, the magnetic recording head includes a first shield, a second shield, a magnetic pole, a first insulating portion, and a first intermediate layer. The second shield is separated from the first shield in the first direction. The magnetic pole is provided between the first shield and the second shield. The magnetic pole includes a first end and a second end spaced from the first end in a second direction intersecting the first direction. The first end length of the first end portion along the first direction is longer than the second end portion length of the second end portion along the first direction. The first insulating portion is provided between the first shield and the magnetic pole. The first intermediate layer is provided between the first shield and the first insulating portion, and includes at least one of Pt and Pd.

第1の実施形態に係る磁気記録ヘッドを例示する模式的平面図である。1 is a schematic plan view illustrating a magnetic recording head according to a first embodiment. 第1の実施形態に係る磁気記録ヘッドを例示する模式的断面図である。1 is a schematic cross-sectional view illustrating a magnetic recording head according to a first embodiment. 磁気記録ヘッドの特性を例示するグラフ図である。It is a graph which illustrates the characteristic of a magnetic recording head. 図4(a)〜図4(c)は、磁気記録ヘッドの特性を例示する模式図である。FIG. 4A to FIG. 4C are schematic views illustrating characteristics of the magnetic recording head. 磁気記録ヘッドの特性を例示するグラフ図である。It is a graph which illustrates the characteristic of a magnetic recording head. 第1の実施形態に係る別の磁気記録ヘッドを例示する模式的平面図である。6 is a schematic plan view illustrating another magnetic recording head according to the first embodiment. FIG. 第1の実施形態に係る磁気記録ヘッドの動作を例示する模式的平面図である。FIG. 6 is a schematic plan view illustrating the operation of the magnetic recording head according to the first embodiment. 第2の実施形態に係る別の磁気記録ヘッドを例示する模式的平面図である。FIG. 6 is a schematic plan view illustrating another magnetic recording head according to the second embodiment. 磁気記録ヘッドの特性を例示するグラフ図である。It is a graph which illustrates the characteristic of a magnetic recording head. 第3の実施形態に係る磁気記録ヘッドを例示する模式的平面図である。FIG. 10 is a schematic plan view illustrating a magnetic recording head according to a third embodiment. 第3の実施形態に係る別の磁気記録ヘッドを例示する模式的平面図である。FIG. 10 is a schematic plan view illustrating another magnetic recording head according to the third embodiment. 第4の実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view illustrating a magnetic recording device according to a fourth embodiment. 第4の実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view illustrating a part of a magnetic recording apparatus according to a fourth embodiment. 実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。1 is a schematic perspective view illustrating a magnetic recording apparatus according to an embodiment. 図15(a)及び図15(b)は、磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。FIG. 15A and FIG. 15B are schematic perspective views illustrating a part of the magnetic recording apparatus.

以下に、各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
Each embodiment will be described below with reference to the drawings.
The drawings are schematic or conceptual, and the relationship between the thickness and width of each part, the size ratio between the parts, and the like are not necessarily the same as actual ones. Even in the case of representing the same part, the dimensions and ratios may be represented differently depending on the drawings.
In the present specification and drawings, the same elements as those described above with reference to the previous drawings are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted as appropriate.

(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係る磁気記録ヘッドを例示する模式的平面図である。
図1は、後述する媒体対向面からみた、磁気記録ヘッド110の平面図である。
図1に示すように、本実施形態に係る磁気記録ヘッド110は、第1シールド41と、第2シールド42と、磁極20と、第1絶縁部31と、第2絶縁部32と、第1中間層61と、第2中間層62と、を含む。この例では、第3シールド43、第4シールド44、第3絶縁部33及び第4絶縁部34が、さらに設けられている。
(First embodiment)
FIG. 1 is a schematic plan view illustrating the magnetic recording head according to the first embodiment.
FIG. 1 is a plan view of the magnetic recording head 110 as seen from the medium facing surface described later.
As shown in FIG. 1, the magnetic recording head 110 according to the present embodiment includes a first shield 41, a second shield 42, a magnetic pole 20, a first insulating part 31, a second insulating part 32, and a first shield. An intermediate layer 61 and a second intermediate layer 62 are included. In this example, a third shield 43, a fourth shield 44, a third insulating part 33, and a fourth insulating part 34 are further provided.

第1シールド41及び第2シールド42は、例えば、サイドシールドである。第2シールド42は、第1方向において、第1シールド41から離れている。   The first shield 41 and the second shield 42 are, for example, side shields. The second shield 42 is separated from the first shield 41 in the first direction.

第1方向をY軸方向とする。Y軸方向に対して垂直な1つの方向をX軸方向とする。Y軸方向及びX軸方向に対して垂直な方向をZ軸方向とする。   The first direction is the Y-axis direction. One direction perpendicular to the Y-axis direction is taken as the X-axis direction. A direction perpendicular to the Y-axis direction and the X-axis direction is taken as a Z-axis direction.

磁極20は、第1シールド41と第2シールド42との間に設けられる。磁極20は、第1端部21及び第2端部22を含む。第2端部22は、第2方向において、第1端部21から離れている。第2方向は、第1方向と交差する。この例では、第2方向は、X軸方向である。   The magnetic pole 20 is provided between the first shield 41 and the second shield 42. The magnetic pole 20 includes a first end 21 and a second end 22. The second end 22 is separated from the first end 21 in the second direction. The second direction intersects the first direction. In this example, the second direction is the X-axis direction.

第1端部21は、第1方向(Y軸方向)に沿った長さ(第1端部長L1)を有する。第2端部22は、第1方向(Y軸方向)に沿った長さ(第2端部長L2)を有する。第1端部長L1は、第2端部長L2よりも長い。   The first end 21 has a length (first end length L1) along the first direction (Y-axis direction). The second end 22 has a length (second end length L2) along the first direction (Y-axis direction). The first end length L1 is longer than the second end length L2.

第1端部21は、例えば、トレーリング側の端である。第2端部22は、例えば、リーディング側の端である。磁極20は、側面(第1側面21s及び第2側面22s)を有する。側面は、第1方向及び第2方向に対して傾斜している。この傾斜により、上記の長さの違いが生じる。   The first end 21 is, for example, an end on the trailing side. The second end 22 is, for example, an end on the leading side. The magnetic pole 20 has side surfaces (first side surface 21s and second side surface 22s). The side surface is inclined with respect to the first direction and the second direction. Due to this inclination, the above difference in length occurs.

第1絶縁部31は、第1シールド41と磁極20との間に設けられる。例えば、第1絶縁部31は、磁極20の第1側面21sに対向する。   The first insulating portion 31 is provided between the first shield 41 and the magnetic pole 20. For example, the first insulating portion 31 faces the first side surface 21 s of the magnetic pole 20.

第2絶縁部32は、第2シールド42と磁極20との間に設けられる。例えば、第2絶縁部32は、磁極20の第2側面22sに対向する。   The second insulating portion 32 is provided between the second shield 42 and the magnetic pole 20. For example, the second insulating portion 32 faces the second side surface 22 s of the magnetic pole 20.

第1中間層61は、第1シールド41と第1絶縁部31との間に設けられる。第1中間層61は、Pt及びPdの少なくともいずれかを含む。第1中間層61の第1方向(Y軸方向)に沿った厚さ(第1厚t1)は、例えば、2(nm)以上20nm以下である。第1中間層61は、第1シールド41と物理的に接しても良い。   The first intermediate layer 61 is provided between the first shield 41 and the first insulating portion 31. The first intermediate layer 61 includes at least one of Pt and Pd. The thickness (first thickness t1) along the first direction (Y-axis direction) of the first intermediate layer 61 is, for example, not less than 2 (nm) and not more than 20 nm. The first intermediate layer 61 may be in physical contact with the first shield 41.

第2中間層62は、第2シールド42と第2絶縁部32との間に設けられる。第2中間層62は、Pt及びPdの少なくともいずれかを含む。第2中間層62の第1方向(Y軸方向)に沿った厚さ(第2厚t2)は、例えば、2nm以上20nm以下である。第2中間層62は、第2シールド42と物理的に接しても良い。   The second intermediate layer 62 is provided between the second shield 42 and the second insulating part 32. The second intermediate layer 62 includes at least one of Pt and Pd. The thickness (second thickness t2) along the first direction (Y-axis direction) of the second intermediate layer 62 is, for example, not less than 2 nm and not more than 20 nm. The second intermediate layer 62 may be in physical contact with the second shield 42.

第4シールド44は、第2方向(この例では、X軸方向)において、第3シールド43から離れている。第3シールド43と第4シールド44との間に、磁極20が配置される。この例では、第3シールド43と第4シールド44との間に、第1シールド41及び第2シールド42が配置される。   The fourth shield 44 is separated from the third shield 43 in the second direction (in this example, the X-axis direction). The magnetic pole 20 is disposed between the third shield 43 and the fourth shield 44. In this example, the first shield 41 and the second shield 42 are disposed between the third shield 43 and the fourth shield 44.

磁極20の第1端部21は、第3シールド43と第4シールド44との間に設けられる。磁極20の第2端部22は、第1端部21と第4シールド44との間に設けられる。磁極20は、磁気記録媒体に記録磁界を印加する。磁極20は、例えば、主磁極である。第3シールド43は、例えば、トレーリングシールドである。   The first end 21 of the magnetic pole 20 is provided between the third shield 43 and the fourth shield 44. The second end 22 of the magnetic pole 20 is provided between the first end 21 and the fourth shield 44. The magnetic pole 20 applies a recording magnetic field to the magnetic recording medium. The magnetic pole 20 is, for example, a main magnetic pole. The third shield 43 is, for example, a trailing shield.

第3絶縁部33は、第3シールド43と第1端部21との間に設けられる。第4絶縁部34は、第4シールド44と第2端部22との間に設けられる。   The third insulating portion 33 is provided between the third shield 43 and the first end portion 21. The fourth insulating portion 34 is provided between the fourth shield 44 and the second end portion 22.

第1〜第4絶縁部31〜34は、例えば、シリコン(Si)及びアルミニウム(Al)の少なくともいずれかの酸化物を含む。これらの絶縁部は、Si及びAlの少なくともいずれかの窒化物を含んでも良い。これらの絶縁部は、Si及びAlの少なくともいずれかの酸窒化物を含んでも良い。   The first to fourth insulating portions 31 to 34 include, for example, an oxide of at least one of silicon (Si) and aluminum (Al). These insulating portions may include a nitride of at least one of Si and Al. These insulating portions may include oxynitride of at least one of Si and Al.

第1〜第4シールド41〜44は、例えば、鉄及びコバルトを含む。第1シールド41及び第2シールド42におけるコバルトの組成比は、第3シールド43及び第4シールド44におけるコバルトの組成比とは異なっても良い。   The first to fourth shields 41 to 44 include, for example, iron and cobalt. The composition ratio of cobalt in the first shield 41 and the second shield 42 may be different from the composition ratio of cobalt in the third shield 43 and the fourth shield 44.

第1シールド41と第2シールド42とを結ぶ方向(第1方向、Y軸方向)は、例えばトラック幅方向に対応する。第3シールド43と第4シールド44とを結ぶ方向(第2方向、X軸方向)は、例えば、スキュー角がゼロの場合のダウントラック方向に対応する。Z軸方向は、ハイト方向に対応する。   A direction (first direction, Y-axis direction) connecting the first shield 41 and the second shield 42 corresponds to, for example, the track width direction. The direction (second direction, X-axis direction) connecting the third shield 43 and the fourth shield 44 corresponds to, for example, the downtrack direction when the skew angle is zero. The Z-axis direction corresponds to the height direction.

実施形態において、第1端部21は、第1部分21eと、第2部分21fと、を含む。第1部分21eの第1方向における位置は、第1シールド41の第1方向における位置と、第2シールド42の第1方向における位置と、の間に設けられる。第2部分21fの第1方向における位置は、第1部分21eの第1方向における位置と、第2シールド42の第1方向における位置と、の間に設けられる。例えば、第1部分21eは、第1シールド41の側の端である。例えば、第2部分21fは、第2シールド42の側の端である。例えば、第1部分21eと第2部分21fとの間の第1方向に沿った距離が、第1端部長L1に対応する。   In the embodiment, the first end 21 includes a first portion 21e and a second portion 21f. The position of the first portion 21e in the first direction is provided between the position of the first shield 41 in the first direction and the position of the second shield 42 in the first direction. The position of the second portion 21f in the first direction is provided between the position of the first portion 21e in the first direction and the position of the second shield 42 in the first direction. For example, the first portion 21 e is an end on the first shield 41 side. For example, the second portion 21 f is an end on the second shield 42 side. For example, the distance along the first direction between the first portion 21e and the second portion 21f corresponds to the first end length L1.

図2は、第1の実施形態に係る磁気記録ヘッドを例示する模式的断面図である。
磁気記録ヘッド110は、磁気記録媒体80(例えば磁気ディスクなど)に対向して配置される。磁気記録ヘッド110は、媒体対向面51(ABS:Air Bearing Surface)を有する。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating the magnetic recording head according to the first embodiment.
The magnetic recording head 110 is disposed to face a magnetic recording medium 80 (for example, a magnetic disk). The magnetic recording head 110 has a medium facing surface 51 (ABS: Air Bearing Surface).

トラック幅方向(Y軸方向)は、媒体対向面51に対して実質的に平行である。磁気記録媒体80は、例えば、媒体基板82と、磁気記録層81と、を含む。磁気記録層81は、媒体基板82の上に設けられる。磁気記録層81に複数の記録ビット84が設けられる。磁気記録媒体80は、媒体移動方向85に沿って、磁気記録ヘッド110に対して相対的に移動する。媒体移動方向85は、例えば、第2方向(X軸方向)に沿う。   The track width direction (Y-axis direction) is substantially parallel to the medium facing surface 51. The magnetic recording medium 80 includes, for example, a medium substrate 82 and a magnetic recording layer 81. The magnetic recording layer 81 is provided on the medium substrate 82. A plurality of recording bits 84 are provided in the magnetic recording layer 81. The magnetic recording medium 80 moves relative to the magnetic recording head 110 along the medium moving direction 85. The medium moving direction 85 is, for example, along the second direction (X-axis direction).

磁気記録媒体80の特定の部分80pは、磁極20と対向した後に、第3シールド43と対向する。磁気記録ヘッド110から印加される磁界により、複数の記録ビット84のそれぞれにおいて、磁化83が制御される。これにより記録動作が実施される。磁気記録ヘッド110において、磁化83の方向を検出する再生部(図示しない)がさらに設けられても良い。   The specific portion 80 p of the magnetic recording medium 80 faces the third shield 43 after facing the magnetic pole 20. The magnetization 83 is controlled in each of the plurality of recording bits 84 by the magnetic field applied from the magnetic recording head 110. Thereby, the recording operation is performed. In the magnetic recording head 110, a reproducing unit (not shown) for detecting the direction of the magnetization 83 may be further provided.

以下、実施形態に係る磁気記録ヘッド110の特性の例について説明する。
図3は、磁気記録ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図3では、磁気記録ヘッド110を用いて瓦書きしたときの特性が示されている。図3には、実施形態に係る磁気記録ヘッド110の特性の他に、第1参考例の磁気記録ヘッド119a及び第2参考例の磁気記録ヘッド119bの特性が示されている。
Hereinafter, examples of characteristics of the magnetic recording head 110 according to the embodiment will be described.
FIG. 3 is a graph illustrating characteristics of the magnetic recording head.
FIG. 3 shows the characteristics when writing with the magnetic recording head 110. FIG. 3 shows the characteristics of the magnetic recording head 119a of the first reference example and the magnetic recording head 119b of the second reference example, in addition to the characteristics of the magnetic recording head 110 according to the embodiment.

磁気記録ヘッド110において、第1端部長L1は、約70nmである。第1端部長L1は、例えば、主磁極幅に対応する。磁極20の第2方向(X軸方向)に沿った長さ(主磁極長)は、約90nmである。サイドシールドギャップは、約35nmである。サイドシールドギャップ(SSギャップSSg、図1参照)は、磁極20と第1シールド41との間のY軸方向に沿った距離である。磁極20と第2シールド42との間のY軸方向に沿った距離は、磁極20と第1シールド41との間のY軸方向に沿った距離と同じである。中間層の厚さ(第1厚t1及び第2厚t2のそれぞれ)は、20nmである。サイドシールド(第1シールド41及び第2シールド42)には、FeCoが用いられている。このとき、ギルバートダンピング定数(ダンピング定数α)は、0.08である。   In the magnetic recording head 110, the first end length L1 is about 70 nm. The first end length L1 corresponds to, for example, the main magnetic pole width. The length (main magnetic pole length) along the second direction (X-axis direction) of the magnetic pole 20 is about 90 nm. The side shield gap is about 35 nm. The side shield gap (SS gap SSg, see FIG. 1) is a distance along the Y-axis direction between the magnetic pole 20 and the first shield 41. The distance along the Y-axis direction between the magnetic pole 20 and the second shield 42 is the same as the distance along the Y-axis direction between the magnetic pole 20 and the first shield 41. The thickness of the intermediate layer (each of the first thickness t1 and the second thickness t2) is 20 nm. FeCo is used for the side shields (the first shield 41 and the second shield 42). At this time, the Gilbert damping constant (dumping constant α) is 0.08.

一方、第1参考例の磁気記録ヘッド119aにおいては、中間層が設けられていない。この他は、磁気記録ヘッド110と同様である。この時のサイドシールドのダンピング定数αは、0.03である。   On the other hand, in the magnetic recording head 119a of the first reference example, no intermediate layer is provided. The rest is the same as the magnetic recording head 110. At this time, the damping constant α of the side shield is 0.03.

第2参考例の磁気記録ヘッド119bにおいては、中間層が設けられておらず、さらに、サイドシールドの材料が、磁気記録ヘッド110のそれとは異なる。すなわち、第2参考例においては、サイドシールド(第1シールド41及び第2シールド42)には、FeCoが用いられている。すなわち、第2参考例においては、サイドシールドの材料においては、磁気記録ヘッド110における材料にTaが添加されている。第2参考例において、サイドシールドのダンピング定数αは、0.1である。   In the magnetic recording head 119b of the second reference example, no intermediate layer is provided, and the material of the side shield is different from that of the magnetic recording head 110. That is, in the second reference example, FeCo is used for the side shields (the first shield 41 and the second shield 42). That is, in the second reference example, Ta is added to the material of the magnetic recording head 110 in the side shield material. In the second reference example, the damping constant α of the side shield is 0.1.

図3において横軸は、ラッピング深さRD(nm)である。磁気記録ヘッドの作製において、磁気記録ヘッドとなる積層膜が形成される。そして、媒体対向面51の側の部分において、積層膜のラッピングが行われる。これにより、媒体対向面51が形成される。ラッピング深さRDにより、主磁極幅、主磁極長、及び、SSギャップSSgが変化する。図3において、縦軸はSN比SNR1(dB)である。この場合、SN比SNR1は、オントラックのSN比である。   In FIG. 3, the horizontal axis represents the wrapping depth RD (nm). In the production of the magnetic recording head, a laminated film to be a magnetic recording head is formed. Then, in the portion on the medium facing surface 51 side, the laminated film is lapped. Thereby, the medium facing surface 51 is formed. Depending on the wrapping depth RD, the main pole width, the main pole length, and the SS gap SSg change. In FIG. 3, the vertical axis represents the SN ratio SNR1 (dB). In this case, the SN ratio SNR1 is an on-track SN ratio.

図3に示すように、第1参考例の磁気記録ヘッド119aにおいては、SN比SNR1は低い。第2参考例の磁気記録ヘッド119bにおいては、ラッピング深さRDが大きい領域で、SN比SNR1は、第1参考例よりも向上する。しかしながら、向上の程度は、僅かである。   As shown in FIG. 3, in the magnetic recording head 119a of the first reference example, the SN ratio SNR1 is low. In the magnetic recording head 119b of the second reference example, the SN ratio SNR1 is improved as compared with the first reference example in the region where the lapping depth RD is large. However, the degree of improvement is slight.

これに対して、実施形態に係る磁気記録ヘッド110においては、高いSN比SNR1が得られる。磁気記録ヘッド110と第2参考例との間で、SN比SNR1の差は約4%である。すなわち、実施形態によれば、SN比を約4%向上できる。これにより、記録密度が向上できる。   On the other hand, in the magnetic recording head 110 according to the embodiment, a high SN ratio SNR1 is obtained. The difference in SN ratio SNR1 between the magnetic recording head 110 and the second reference example is about 4%. That is, according to the embodiment, the SN ratio can be improved by about 4%. Thereby, the recording density can be improved.

実施形態において、SN比SNR1が高くなるのは、中間層(第1中間層61及び第2中間層62)を設けることにより、サイドシールド部分において、ギルバートダンピング定数α(ダンピング定数)が大きくなることによると考えられる。   In the embodiment, the SN ratio SNR1 is increased because the Gilbert damping constant α (damping constant) is increased in the side shield portion by providing the intermediate layers (the first intermediate layer 61 and the second intermediate layer 62). It is thought that.

例えば、Co層におけるダンピング定数αは、約0.01である。これに対して、Co層及びPt層の積層膜においては、ダンピング定数αは、例えば、約0.06となる。   For example, the damping constant α in the Co layer is about 0.01. On the other hand, in the laminated film of the Co layer and the Pt layer, the damping constant α is, for example, about 0.06.

例えば、サイドシールドとして、Co及びFeを含む磁性材料が用いられる。例えば、Coの組成比などに応じてダンピング定数αは、変化する。しかしながら、組成比を変更した場合においても、ダンピング定数αは、約0.01〜0.04程度である。   For example, a magnetic material containing Co and Fe is used as the side shield. For example, the damping constant α varies depending on the composition ratio of Co and the like. However, even when the composition ratio is changed, the damping constant α is about 0.01 to 0.04.

ここで、これらのダンピング定数α(約0.06、及び、約0.01〜0.04程度)の値は、図3に関して説明したダンピング定数αの値(0.08、及び、0.03)と、少し異なっている。実験に用いられる単純な構造の膜と、磁気記録ヘッドの状態の膜と、において、測定されるダンピング定数αの値に差が生じることが多い。例えば、磁気記録ヘッドの状態の膜のダンピング定数αは、単純な構造の膜のダンピング定数よりも大きくことが多い。これは、膜の結晶定数または不純物の状態が、互いに異なることが原因であると考えられる。   Here, the values of these damping constants α (about 0.06 and about 0.01 to 0.04) are the values of the damping constant α described with reference to FIG. 3 (0.08 and 0.03). ) And a little different. In many cases, there is a difference in the measured damping constant α between the film having a simple structure used in the experiment and the film in the state of the magnetic recording head. For example, the damping constant α of the film in the state of the magnetic recording head is often larger than the damping constant of the film having a simple structure. This is considered to be because the crystal constants or impurity states of the films are different from each other.

いずれにしても、Co層及びPt層の積層膜のダンピング定数α(約0.06)は、Co及びFeを含む磁性材料のダンピング定数α(約0.01〜0.04程度)よりも大きい。   In any case, the damping constant α (about 0.06) of the laminated film of the Co layer and the Pt layer is larger than the damping constant α (about 0.01 to 0.04) of the magnetic material containing Co and Fe. .

このとき、Co及びFeを含む磁性材料の膜と、中間層と、を組み合わせることで、大きなダンピング定数αが得られる。   At this time, a large damping constant α can be obtained by combining the magnetic material film containing Co and Fe and the intermediate layer.

一方、第2参考例においては、サイドシールドには、ダンピング定数αが大きい材料が用いられている。このため、第2参考例においても、SN比SNR1が大きくなることが期待される。しかしながら、図3に示すように、第2参考例においては、SN比SNR1が低い。第2参考例においては、サイドシールドの材料において、ダンピング定数αが大きくなるように重金属が添加されており、このため飽和磁束密度Bsが小さくなったと考えられる。このため、SN比SNR1が低くなったと考えられる。   On the other hand, in the second reference example, a material having a large damping constant α is used for the side shield. For this reason, it is expected that the SN ratio SNR1 also increases in the second reference example. However, as shown in FIG. 3, the SN ratio SNR1 is low in the second reference example. In the second reference example, heavy metal is added to the side shield material so as to increase the damping constant α, and therefore, it is considered that the saturation magnetic flux density Bs has decreased. For this reason, it is considered that the SN ratio SNR1 is lowered.

ダンピング定数αを大きくするために、Co及びFeを含む磁性材料に重金属を添加する方法が考えられる。しかしながら、重金属を添加することにより、飽和磁束密度Bsが小さくなる。このため、第2参考例においては、SN比SNR1が十分に高くならないと考えられる。   In order to increase the damping constant α, a method of adding a heavy metal to a magnetic material containing Co and Fe can be considered. However, the saturation magnetic flux density Bs is reduced by adding heavy metal. For this reason, in the second reference example, it is considered that the SN ratio SNR1 does not become sufficiently high.

これに対して、実施形態においては、サイドシールドの磁性体に非磁性重金属を混ぜるのではなく、非磁性重金属を含む中間層を、サイドシールドと、主磁極と、の間に設けることで、実質的なダンピング定数αを大きくしている。これにより、飽和磁束密度Bsの低下のような悪影響がなく、大きな実質的なダンピング定数αが得られる。これにより、高いSN比SNR1が得られると考えられる。   On the other hand, in the embodiment, the non-magnetic heavy metal is not mixed with the magnetic material of the side shield, but the intermediate layer containing the non-magnetic heavy metal is provided between the side shield and the main magnetic pole. The damping constant α is increased. As a result, there is no adverse effect such as a decrease in the saturation magnetic flux density Bs, and a large substantial damping constant α is obtained. Thereby, it is considered that a high SN ratio SNR1 can be obtained.

実施形態において、第1シールド41と第1中間層61とを含む部分(第1シールド41と第1中間層61とが接する部分)のダンピング定数αは、例えば、0.08以上0.2以下である。第1シールド41の飽和磁束密度は、1.6テスラ以上2.4テスラ以下である。同様に、第2シールド42と第2中間層62とを含む部分のダンピング定数αは、例えば、0.08以上0.2以下である。第2シールド42の飽和磁束密度は、1.6テスラ以上2.4テスラ以下である。   In the embodiment, the damping constant α of the portion including the first shield 41 and the first intermediate layer 61 (the portion where the first shield 41 and the first intermediate layer 61 are in contact) is, for example, 0.08 or more and 0.2 or less. It is. The saturation magnetic flux density of the first shield 41 is 1.6 Tesla or more and 2.4 Tesla or less. Similarly, the damping constant α of the portion including the second shield 42 and the second intermediate layer 62 is not less than 0.08 and not more than 0.2, for example. The saturation magnetic flux density of the second shield 42 is 1.6 Tesla or more and 2.4 Tesla or less.

このように、実施形態においては、中間層を設けることで、高いSN比SNR1が得られる。以下、中間層を設ける構成に着想した検討について説明する。   Thus, in the embodiment, a high SN ratio SNR1 can be obtained by providing the intermediate layer. Hereinafter, a study that is conceived of a configuration in which an intermediate layer is provided will be described.

図4(a)〜図4(c)は、磁気記録ヘッドの特性を例示する模式図である。
図4(a)は、磁気記録媒体80における記録磁界の時間変化を例示している。図4(a)の横軸は、時間t(nsec)である。縦軸は、磁気記録媒体80における記録磁界H1(kOe)である。磁気記録ヘッド110で生じた記録磁界が、磁気記録媒体80に加わる。磁気記録媒体80の位置における記録磁界が、記録磁界H1に対応する。この例では、「1」と「0」とが交互に記録される。
FIG. 4A to FIG. 4C are schematic views illustrating characteristics of the magnetic recording head.
FIG. 4A illustrates the time change of the recording magnetic field in the magnetic recording medium 80. The horizontal axis of Fig.4 (a) is time t (nsec). The vertical axis represents the recording magnetic field H1 (kOe) in the magnetic recording medium 80. A recording magnetic field generated by the magnetic recording head 110 is applied to the magnetic recording medium 80. The recording magnetic field at the position of the magnetic recording medium 80 corresponds to the recording magnetic field H1. In this example, “1” and “0” are recorded alternately.

図4(a)において、第1状態ST1と、第2状態ST2と、に着目する。第1状態ST1においては、記録磁界H1がほぼ最大である。第2状態ST2においては、記録磁界H1がほぼ0であり、記録磁界H1の極性が反転する。すなわち、記録磁界H1の正・負が入れ替わる。   In FIG. 4A, attention is focused on the first state ST1 and the second state ST2. In the first state ST1, the recording magnetic field H1 is substantially maximum. In the second state ST2, the recording magnetic field H1 is almost 0, and the polarity of the recording magnetic field H1 is reversed. That is, the recording magnetic field H1 is switched between positive and negative.

図4(b)及び図4(c)は、記録磁界H1の面内分布のシミュレーション結果を示している。図4(b)は、第1状態ST1に対応する。図4(c)は、第2状態ST2に対応する。これらの図において、図中の濃度は、磁界(記録磁界H1)の強度を示している。   FIGS. 4B and 4C show the simulation results of the in-plane distribution of the recording magnetic field H1. FIG. 4B corresponds to the first state ST1. FIG. 4C corresponds to the second state ST2. In these figures, the concentration in the figure indicates the strength of the magnetic field (recording magnetic field H1).

図4(a)〜図4(c)に示すように、「1」から「0」、または、「0」から「1」に遷移するときに、サイドシールドとサイドギャップとの境界に対応する領域で、磁界(記録磁界H1)が高いことが分かった。   As shown in FIGS. 4A to 4C, when transitioning from “1” to “0” or “0” to “1”, it corresponds to the boundary between the side shield and the side gap. It was found that the magnetic field (recording magnetic field H1) was high in the region.

図4(b)に示すように、第1状態ST1においては、磁極20の第1端部21に対応する領域において、記録磁界H1は高い。記録磁界H1の最大値は、約16kOeである。第1状態ST1においては、所望の記録磁界H1が磁気記録媒体80に印加されていると考えられる。   As shown in FIG. 4B, in the first state ST1, the recording magnetic field H1 is high in the region corresponding to the first end 21 of the magnetic pole 20. The maximum value of the recording magnetic field H1 is about 16 kOe. In the first state ST1, it is considered that a desired recording magnetic field H1 is applied to the magnetic recording medium 80.

図4(c)に示すように、第2状態ST2においては、サイドシールドに対応する領域において、記録磁界H1が高いことが分かった。サイドシールドに対応する領域で記録磁界H1が高くなる現象が、極性の反転時に生じる。この現象は、正から負への反転と、負から正への反転と、で異なる場合もある。サイドシールドとサイドギャップの境界領域に対応する領域で記録磁界H1が高くなることで、隣接トラックを重ね書きした時にオントラックの記録特性が悪化すると考えられる。この例は、瓦書き記録の場合である。CMR記録(Conventional Magnetic Recording)の場合でも、隣接トラックを書いた後の記録特性の変動において、同様の現象が見られる。   As shown in FIG. 4C, it was found that in the second state ST2, the recording magnetic field H1 was high in the region corresponding to the side shield. A phenomenon in which the recording magnetic field H1 increases in a region corresponding to the side shield occurs at the time of polarity reversal. This phenomenon may be different between positive to negative inversion and negative to positive inversion. It is considered that the on-track recording characteristics are deteriorated when the adjacent track is overwritten by the increase in the recording magnetic field H1 in the region corresponding to the boundary region between the side shield and the side gap. This example is the case of roof tile recording. Even in the case of CMR recording (Conventional Magnetic Recording), the same phenomenon is observed in the change in recording characteristics after writing an adjacent track.

このように、記録磁界H1の極性が反転するときに、サイドシールドのエッジに大きな磁界(フリンジ磁界)が発生する。トラックピッチを小さくするために、SSギャップSSgを小さくして、主磁極から発生する磁界の幅を小さくすることが行われる。このとき、SSギャップSSgを小さくすると、このフリンジ磁界の影響が大きくなる。このため、SSギャップSSgを十分に小さくできない。このため、トラックピッチを十分に小さくすることが困難である。さらに、主磁極幅(第1端部長L1)が大きくなると、このフリンジ磁界も強くなる。このため、瓦書き記録においても、主磁極幅(第1端部長L1)は十分に大きくできない。   Thus, when the polarity of the recording magnetic field H1 is reversed, a large magnetic field (fringe field) is generated at the edge of the side shield. In order to reduce the track pitch, the SS gap SSg is reduced to reduce the width of the magnetic field generated from the main pole. At this time, if the SS gap SSg is reduced, the influence of the fringe magnetic field is increased. For this reason, the SS gap SSg cannot be made sufficiently small. For this reason, it is difficult to sufficiently reduce the track pitch. Further, when the main magnetic pole width (first end length L1) is increased, the fringe magnetic field is also increased. For this reason, the main magnetic pole width (first end portion length L1) cannot be sufficiently increased even in shingled recording.

このフリンジ磁界(記録磁界H1の極性が反転するときにサイドシールドのエッジに対応する位置に発生する磁界)が、着目された。このフリンジ磁界を小さくするためには、サイドシールドのダンピング定数αを大きくすることが有効であると考えられる。サイドシールドの材料を変更することで、ダンピング定数αが変化する。   This fringe magnetic field (a magnetic field generated at a position corresponding to the edge of the side shield when the polarity of the recording magnetic field H1 is reversed) has attracted attention. In order to reduce this fringe magnetic field, it is considered effective to increase the damping constant α of the side shield. The damping constant α is changed by changing the material of the side shield.

以下、ダンピング定数αとSN比SNR1との関係について説明する。   Hereinafter, the relationship between the damping constant α and the SN ratio SNR1 will be described.

図5は、磁気記録ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図5の横軸は、SSギャップSSg(nm)である。縦軸は、SN比SNR1(dB)である。図5は、サイドシールドの物性値を変更したときのSN比SNR1のシミュレーション結果を示している。シミュレーションのモデルにおいて、中間層は設けられていない。
FIG. 5 is a graph illustrating characteristics of the magnetic recording head.
The horizontal axis in FIG. 5 is the SS gap SSg (nm). The vertical axis represents the SN ratio SNR1 (dB). FIG. 5 shows a simulation result of the SN ratio SNR1 when the physical property value of the side shield is changed. In the simulation model, no intermediate layer is provided.

図5において、第3〜第6参考例の磁気記録ヘッド119c〜119fの特性が示されている。磁気記録ヘッド119cにおいては、ダンピング定数αは、0.03であり、飽和磁束密度Bsは1T(テスラ)である。磁気記録ヘッド119dにおいては、ダンピング定数αは、0.1であり、飽和磁束密度Bsは1T(テスラ)である。磁気記録ヘッド119eにおいては、ダンピング定数αは、0.03であり、飽和磁束密度Bsは1.6T(テスラ)である。磁気記録ヘッド119fにおいては、ダンピング定数αは、0.1であり、飽和磁束密度Bsは1.6T(テスラ)である。   FIG. 5 shows the characteristics of the magnetic recording heads 119c to 119f of the third to sixth reference examples. In the magnetic recording head 119c, the damping constant α is 0.03, and the saturation magnetic flux density Bs is 1T (Tesla). In the magnetic recording head 119d, the damping constant α is 0.1 and the saturation magnetic flux density Bs is 1T (Tesla). In the magnetic recording head 119e, the damping constant α is 0.03, and the saturation magnetic flux density Bs is 1.6T (Tesla). In the magnetic recording head 119f, the damping constant α is 0.1, and the saturation magnetic flux density Bs is 1.6T (Tesla).

図5に示すように、飽和磁束密度Bsが同じときに、ダンピング定数αが大きくなると、SN比SNR1は高くなる。そして、ダンピング定数αが同じときに、飽和磁束密度Bsが大きくなると、SN比SNR1は大きくなる。   As shown in FIG. 5, when the saturation magnetic flux density Bs is the same, the SN ratio SNR1 increases as the damping constant α increases. When the damping constant α is the same, the SN ratio SNR1 increases as the saturation magnetic flux density Bs increases.

大きな飽和磁束密度Bsを維持しつつダンピング定数αを大きくすることができれば、SN比SNR1を高くできる。しかしながら、サイドシールドの材料の工夫によりダンピング定数αを大きくしようとすると、飽和磁束密度Bsが小さくなってしまう。   If the damping constant α can be increased while maintaining a large saturation magnetic flux density Bs, the SN ratio SNR1 can be increased. However, when the damping constant α is increased by devising the material of the side shield, the saturation magnetic flux density Bs is decreased.

このとき、実施形態においては、サイドシールドに加えて、中間層を設ける。この中間層は、Pt及びPdの少なくともいずれかを含む。これにより、サイドシールドの部分において、ダンピング定数が実質的に大きくなる。このような特性により、SN比SNR1が向上できる。これにより、記録密度が向上できる。   At this time, in the embodiment, an intermediate layer is provided in addition to the side shield. This intermediate layer contains at least one of Pt and Pd. This substantially increases the damping constant at the side shield portion. With such characteristics, the SN ratio SNR1 can be improved. Thereby, the recording density can be improved.

このように、記録磁界H1の極性が変化するときの記録磁界H1の特性が着目された。特に、フリンジ磁界(記録磁界H1の極性が反転するときにサイドシールドのエッジに対応する位置に発生する磁界)が着目された。このフリンジ磁界を小さくすることが検討された。   Thus, attention has been focused on the characteristics of the recording magnetic field H1 when the polarity of the recording magnetic field H1 changes. In particular, a fringe magnetic field (a magnetic field generated at a position corresponding to the edge of the side shield when the polarity of the recording magnetic field H1 is reversed) has attracted attention. It has been studied to reduce the fringe magnetic field.

サイドシールドの材料のダンピング定数αを大きくすることで、磁界反応速度を高める。これにより、フリンジ磁界が小さくすることができ、SN比SNR1が向上できる。このとき、サイドシールドの材料のダンピング定数αを大きくすると、飽和磁束密度Bsが低下してしまう。このため、実際の特性の向上は困難である。実施形態においては、サイドシールドに加えて、中間層を設けることで、SN比SNR1が向上できる。   Increasing the damping constant α of the side shield material increases the magnetic field reaction speed. Thereby, a fringe magnetic field can be made small and SN ratio SNR1 can be improved. At this time, when the damping constant α of the material of the side shield is increased, the saturation magnetic flux density Bs is lowered. For this reason, it is difficult to improve the actual characteristics. In the embodiment, the SN ratio SNR1 can be improved by providing an intermediate layer in addition to the side shield.

一方、サイドシールドと主磁極との間における応答速度の差により、WATE(Wide Adjacent track erasure)が発生する。このWATEは、オントラックではなく、離れたトラックにおいて生じる。WATEは、サイドシールドの幅の全体に生じる現象である。このため、WATEは、サイドシールドの全体のダンピング定数αと関係がある。   On the other hand, WATE (Wide Adjacent track erasure) occurs due to a difference in response speed between the side shield and the main magnetic pole. This WAIT occurs in a separate track, not on-track. WAIT is a phenomenon that occurs over the entire width of the side shield. For this reason, WAIT is related to the overall damping constant α of the side shield.

これに対して、図4(c)に関して説明したように、フリンジ磁界は、オントラックに生じる特性の劣化である。フリンジ磁界は、サイドシールドのエッジにおいて局所的に生じる。実施形態におけるフリンジ磁界の対策の発想は、WATEの対策の発想(サイドシールドの全体のダンピング定数の制御)とは異なる。   On the other hand, as described with reference to FIG. 4C, the fringe magnetic field is a deterioration of the characteristic generated on track. The fringing field occurs locally at the edge of the side shield. The idea of the countermeasure against the fringe magnetic field in the embodiment is different from the idea of the countermeasure against the WATE (control of the overall damping constant of the side shield).

図6は、第1の実施形態に係る別の磁気記録ヘッドを例示する模式的平面図である。
図6に示すように、本実施形態に係る別の磁気記録ヘッド111は、第1〜第4シールド41〜44、磁極20、第1〜第4絶縁部31〜34、第1中間層61、及び、第2中間層62に加えて、第4中間層64をさらに含む。これに以外は、磁気記録ヘッド110と同様なので説明を省略する。
FIG. 6 is a schematic plan view illustrating another magnetic recording head according to the first embodiment.
As shown in FIG. 6, another magnetic recording head 111 according to this embodiment includes first to fourth shields 41 to 44, a magnetic pole 20, first to fourth insulating portions 31 to 34, a first intermediate layer 61, In addition to the second intermediate layer 62, a fourth intermediate layer 64 is further included. Other than this, it is the same as the magnetic recording head 110, and the description thereof is omitted.

この場合も、第4シールド44は、第2方向(X軸方向)において、第3シールド43から離れる。第1端部21は、第3シールド43と第4シールド44との間に設けられる。第2端部22は、第1端部21と第4シールド44との間に設けられる。第4絶縁部34は、第4シールド44と第2端部22との間に設けられる。第4中間層64は、第4シールド44と第4絶縁部34との間に設けられる。第4中間層64は、Zr、Hf、Nb、Ta、Mo、W、Tc、Re、Ru、Os、Rh、Tr、Pd及びPtの少なくともいずれかを含む。   Also in this case, the fourth shield 44 is separated from the third shield 43 in the second direction (X-axis direction). The first end portion 21 is provided between the third shield 43 and the fourth shield 44. The second end 22 is provided between the first end 21 and the fourth shield 44. The fourth insulating portion 34 is provided between the fourth shield 44 and the second end portion 22. The fourth intermediate layer 64 is provided between the fourth shield 44 and the fourth insulating portion 34. The fourth intermediate layer 64 includes at least one of Zr, Hf, Nb, Ta, Mo, W, Tc, Re, Ru, Os, Rh, Tr, Pd, and Pt.

例えば、第4中間層64は、第1中間層61と連続していても良い。第4中間層64は、第2中間層62と連続していても良い。第2中間層62は、第4中間層64を介して、第1中間層61と連続していても良い。   For example, the fourth intermediate layer 64 may be continuous with the first intermediate layer 61. The fourth intermediate layer 64 may be continuous with the second intermediate layer 62. The second intermediate layer 62 may be continuous with the first intermediate layer 61 via the fourth intermediate layer 64.

第4中間層64は、第2方向(X軸方向)の厚さ(第4厚t4)を有する。第4厚t4は、例えば、2nm以上20nm以下である。第4厚t4は、例えば、第1厚t1と実質的に同じでも良い。   The fourth intermediate layer 64 has a thickness (fourth thickness t4) in the second direction (X-axis direction). The fourth thickness t4 is, for example, not less than 2 nm and not more than 20 nm. For example, the fourth thickness t4 may be substantially the same as the first thickness t1.

磁気記録ヘッド111においても、高いSN比SNR1が得られる。   Also in the magnetic recording head 111, a high SN ratio SNR1 is obtained.

磁気記録ヘッド111の製造方法の例について説明する。
例えば、基体(図示しない)の上に第4シールド44が形成される。この上に、第1シールド41及び第2シールド42となる膜が形成される。この膜の一部が除去され、開口部が形成される。開口部の側面に、中間層となる膜が形成される。このとき、開口部の底面にも、中間層となる膜が形成される場合に、磁気記録ヘッド111が作製される。一方、開口部の底面を除いて、開口部の側面に、中間層となる膜が形成される場合は、磁気記録ヘッド110が作製される。この後、第1絶縁部31、第2絶縁部32及び第4絶縁部34となる絶縁層が形成される。この後、磁極20となる膜が形成される。加工体の上面を平坦化する。これにより、第1シールド41、第2シールド42及び磁極20が形成される。この後、第3絶縁部33となる膜が形成される。さらに、第3シールド43となる膜が形成される。加工体を所定の形状に加工して、磁気記録ヘッドが得られる。
An example of a method for manufacturing the magnetic recording head 111 will be described.
For example, the fourth shield 44 is formed on a base (not shown). A film to be the first shield 41 and the second shield 42 is formed thereon. A part of this film is removed to form an opening. A film to be an intermediate layer is formed on the side surface of the opening. At this time, the magnetic recording head 111 is manufactured when a film serving as an intermediate layer is also formed on the bottom surface of the opening. On the other hand, when a film serving as an intermediate layer is formed on the side surface of the opening except for the bottom surface of the opening, the magnetic recording head 110 is manufactured. Thereafter, an insulating layer to be the first insulating portion 31, the second insulating portion 32, and the fourth insulating portion 34 is formed. Thereafter, a film to be the magnetic pole 20 is formed. Flatten the upper surface of the workpiece. Thereby, the 1st shield 41, the 2nd shield 42, and the magnetic pole 20 are formed. Thereafter, a film to be the third insulating portion 33 is formed. Further, a film that becomes the third shield 43 is formed. A magnetic recording head is obtained by processing the processed body into a predetermined shape.

磁気記録ヘッド111においては、磁気記録ヘッド110に比べて、例えば、製造が容易である。   For example, the magnetic recording head 111 is easier to manufacture than the magnetic recording head 110.

本実施形態においては、第1中間層61及び第2中間層62の少なくともいずれかが設けられる。これにより、サイドシールドの部分において、実効的なダンピング定数αが高くできる。このため、記録トラックのトラック幅方向の端において、記録特性が向上する。トラック幅方向の端における記録特性の向上は、例えば、瓦書き記録(SMR:Shingled Magnetic Recording)における記録特性を向上させる。   In the present embodiment, at least one of the first intermediate layer 61 and the second intermediate layer 62 is provided. Thus, the effective damping constant α can be increased in the side shield portion. For this reason, the recording characteristics are improved at the end of the recording track in the track width direction. The improvement of the recording characteristics at the end in the track width direction improves, for example, the recording characteristics in shingled recording (SMR).

本実施形態においては、第1中間層61及び第2中間層62の少なくともいずれかは、Zr、Hf、Nb、Ta、Mo、W、Tc、Re、Ru、Os、Rh、及び、Trの少なくともいずれかを含んでも良い。このとき、第1中間層61は、第1シールド41に物理的に接する。第2中間層62は、第2シールド42に物理的に接する。これにより、例えば、記録特性が向上する。例えば、トラック幅方向の端における記録特性の向上は、例えば、瓦書き記録(SMR:Shingled Magnetic Recording)における記録特性を向上させる。実施形態において、第1中間層61が、Pt及びPdの少なくともいずれかを含む場合は、実質的なダンピング定数αを大きくする効果が特に高い。これにより、既に説明したように、例えば、高いSN比SNR1が得られる。例えば、記録特性が特に向上する。   In the present embodiment, at least one of the first intermediate layer 61 and the second intermediate layer 62 is at least one of Zr, Hf, Nb, Ta, Mo, W, Tc, Re, Ru, Os, Rh, and Tr. Either may be included. At this time, the first intermediate layer 61 physically contacts the first shield 41. The second intermediate layer 62 physically contacts the second shield 42. Thereby, for example, the recording characteristics are improved. For example, the improvement of the recording characteristic at the end in the track width direction improves the recording characteristic in, for example, shingled recording (SMR). In the embodiment, when the first intermediate layer 61 includes at least one of Pt and Pd, the effect of increasing the substantial damping constant α is particularly high. Thereby, as already demonstrated, high SN ratio SNR1 is obtained, for example. For example, the recording characteristics are particularly improved.

以下、瓦書き記録の例について説明する。
図7は、第1の実施形態に係る磁気記録ヘッドの動作を例示する模式的平面図である。 図7は、瓦書きの状態を例示している。磁気記録媒体80において、第1位置86aにおいて情報が記録される。その後、第2位置86bにおいて情報が記録される。その後、第3位置86cにおいて情報が記録される。
Hereinafter, an example of roof tile recording will be described.
FIG. 7 is a schematic plan view illustrating the operation of the magnetic recording head according to the first embodiment. FIG. 7 illustrates the state of tile writing. In the magnetic recording medium 80, information is recorded at the first position 86a. Thereafter, information is recorded at the second position 86b. Thereafter, information is recorded at the third position 86c.

例えば、磁気記録媒体80は、トラック幅方向に並ぶ第1〜第3領域87a〜87cを含む。第1領域87aと第3領域87cの間に第2領域87bが配置されている。   For example, the magnetic recording medium 80 includes first to third regions 87a to 87c arranged in the track width direction. A second region 87b is disposed between the first region 87a and the third region 87c.

第1時刻において、第1部分21eが第1領域87aに対向する。磁極20は、第1領域87aの磁化83の方向を制御する。その第1時刻において、第2部分21fが第2領域87bに対向している。磁極20は、第2領域87bの磁化83の方向を制御する。   At the first time, the first portion 21e faces the first region 87a. The magnetic pole 20 controls the direction of the magnetization 83 of the first region 87a. At the first time, the second portion 21f faces the second region 87b. The magnetic pole 20 controls the direction of the magnetization 83 in the second region 87b.

第1時刻の後の第2時刻において、第1部分21eが第2領域87bに対向する。磁極20は、第2領域87bの磁化83の方向を制御する。この第2時刻において、第2部分21fが第3領域87cに対向している。磁極20は、第3領域87cの磁化83の方向を制御する。   At a second time after the first time, the first portion 21e faces the second region 87b. The magnetic pole 20 controls the direction of the magnetization 83 in the second region 87b. At the second time, the second portion 21f faces the third region 87c. The magnetic pole 20 controls the direction of the magnetization 83 in the third region 87c.

このようにして、磁気記録媒体80の1つの領域において、複数回、情報の記録が行われる。   In this way, information is recorded a plurality of times in one area of the magnetic recording medium 80.

そして、第1部分21eは、瓦書きにおいて、第2部分21fよりも後に、磁気記録媒体80に情報を記録する。すなわち、第2部分21fにより情報が記録された領域において、第1部分21eにより、重ねて情報が記録される。   The first portion 21e records information on the magnetic recording medium 80 after the second portion 21f in the tile writing. That is, in the area where the information is recorded by the second part 21f, the information is recorded by the first part 21e.

実施形態に係る磁気記録ヘッド110及び111においては、第1中間層61が設けられる。これにより、第1部分21eを含む部分における記録特性が向上する。磁気記録媒体80への記録の際に、トラック幅方向において2つの方向がある。例えば、外周から内周に向かう方向と、内周から外周に向かう方向と、がある。第1中間層61を設けることで、これらの2つの方向の1つに沿った瓦書きにおいて特性が向上する。第2中間層62を設けることで、これらの2つの方向の別の1つに沿った瓦書きにおいて特性が向上する。   In the magnetic recording heads 110 and 111 according to the embodiment, the first intermediate layer 61 is provided. Thereby, the recording characteristics in the portion including the first portion 21e are improved. When recording on the magnetic recording medium 80, there are two directions in the track width direction. For example, there are a direction from the outer periphery to the inner periphery and a direction from the inner periphery to the outer periphery. By providing the first intermediate layer 61, the characteristics are improved in the tile writing along one of these two directions. Providing the second intermediate layer 62 improves the characteristics in tiled writing along another one of these two directions.

本実施形態に係る構成を瓦書き動作に適用することは、特に有利である。実施形態によれば、記録密度が向上できる磁気記録ヘッド及び磁気記録装置を提供できる。さらに、本実施形態に係る構成は、CMR記録(Conventional Magnetic Recording)に適用しても良い。
(第2の実施形態)
図8は、第2の実施形態に係る別の磁気記録ヘッドを例示する模式的平面図である。
図8に示すように、本実施形態に係る別の磁気記録ヘッド120は、第1〜第4シールド41〜44、磁極20、及び、第1〜第4絶縁部31〜34に加えて、第3中間層63をさらに含む。これに以外は、磁気記録ヘッド110と同様なので説明を省略する。
It is particularly advantageous to apply the configuration according to the present embodiment to the tile writing operation. According to the embodiment, a magnetic recording head and a magnetic recording apparatus that can improve recording density can be provided. Furthermore, the configuration according to the present embodiment may be applied to CMR recording (Conventional Magnetic Recording).
(Second Embodiment)
FIG. 8 is a schematic plan view illustrating another magnetic recording head according to the second embodiment.
As shown in FIG. 8, in addition to the first to fourth shields 41 to 44, the magnetic pole 20, and the first to fourth insulating parts 31 to 34, another magnetic recording head 120 according to this embodiment includes 3 intermediate layers 63 are further included. Other than this, it is the same as the magnetic recording head 110, and the description thereof is omitted.

この場合も、第4シールド44は、第1方向(X軸方向)において、第3シールド43から離れる。第1端部21は、第3シールド43と第4シールド44との間に設けられる。第2端部22は、第1端部21と第4シールド44との間に設けられる。第3絶縁部33は、第3シールド43と第1端部21との間に設けられる。第3中間層63は、第3シールド43と第3絶縁部33との間に設けられる。第3中間層63は、Pt及びPdの少なくともいずれかを含む。   Also in this case, the fourth shield 44 is separated from the third shield 43 in the first direction (X-axis direction). The first end portion 21 is provided between the third shield 43 and the fourth shield 44. The second end 22 is provided between the first end 21 and the fourth shield 44. The third insulating portion 33 is provided between the third shield 43 and the first end portion 21. The third intermediate layer 63 is provided between the third shield 43 and the third insulating portion 33. The third intermediate layer 63 includes at least one of Pt and Pd.

第3中間層63は、第1方向(X軸方向)の厚さ(第3厚t3)を有する。第3厚t3は、例えば、2nm以上20nm以下である。第3厚t3は、例えば、第1厚t1と実質的に同じでも良い。   The third intermediate layer 63 has a thickness (third thickness t3) in the first direction (X-axis direction). The third thickness t3 is, for example, not less than 2 nm and not more than 20 nm. The third thickness t3 may be substantially the same as the first thickness t1, for example.

磁気記録ヘッド120においては、第3シールド43(トレーリングシールド)の部分において、ダンピング定数αが実質的に大きくなる。例えば、第3中間層63を設けることで、第3中間層63を設けない場合に比べて、例えば、トレーシングシールドと中間層接触部分の緩和時間が30%短くなる。これにより、記録密度が向上できる。   In the magnetic recording head 120, the damping constant α is substantially increased at the third shield 43 (trailing shield). For example, by providing the third intermediate layer 63, for example, the relaxation time of the contact portion between the tracing shield and the intermediate layer is shortened by 30% compared to the case where the third intermediate layer 63 is not provided. Thereby, the recording density can be improved.

図9は、磁気記録ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図9の横軸は、ラッピング深さRD(nm)である。縦軸は、SN比SNR1(dB)である。図9は、トレーリングシールド(例えば第3シールド43)の物性値を変更したときのSN比SNR1のシミュレーション結果を示している。シミュレーションのモデルにおいて、中間層は設けられていない。
FIG. 9 is a graph illustrating characteristics of the magnetic recording head.
The horizontal axis of FIG. 9 is the wrapping depth RD (nm). The vertical axis represents the SN ratio SNR1 (dB). FIG. 9 shows a simulation result of the SN ratio SNR1 when the physical property value of the trailing shield (for example, the third shield 43) is changed. In the simulation model, no intermediate layer is provided.

図9において、第7〜第10参考例の磁気記録ヘッド119g〜119jの特性が示されている。磁気記録ヘッド119gにおいては、ダンピング定数αは、0.03であり、飽和磁束密度Bsは1.9T(テスラ)である。磁気記録ヘッド119hにおいては、ダンピング定数αは、0.08であり、飽和磁束密度Bsは1.9T(テスラ)である。磁気記録ヘッド119iにおいては、ダンピング定数αは、0.03であり、飽和磁束密度Bsは2.4T(テスラ)である。磁気記録ヘッド119jにおいては、ダンピング定数αは、0.08であり、飽和磁束密度Bsは2.4T(テスラ)である。   In FIG. 9, the characteristics of the magnetic recording heads 119g to 119j of the seventh to tenth reference examples are shown. In the magnetic recording head 119g, the damping constant α is 0.03, and the saturation magnetic flux density Bs is 1.9T (Tesla). In the magnetic recording head 119h, the damping constant α is 0.08, and the saturation magnetic flux density Bs is 1.9T (Tesla). In the magnetic recording head 119i, the damping constant α is 0.03, and the saturation magnetic flux density Bs is 2.4T (Tesla). In the magnetic recording head 119j, the damping constant α is 0.08, and the saturation magnetic flux density Bs is 2.4T (Tesla).

図9に示すように、飽和磁束密度Bsが同じときに、ダンピング定数αが大きくなると、SN比SNR1は高くなる。そして、ダンピング定数αが同じときに、飽和磁束密度Bsが大きくなると、SN比SNR1は大きくなる。   As shown in FIG. 9, when the saturation magnetic flux density Bs is the same, the SN ratio SNR1 increases as the damping constant α increases. When the damping constant α is the same, the SN ratio SNR1 increases as the saturation magnetic flux density Bs increases.

既に説明したように、大きな飽和磁束密度Bsを維持しつつダンピング定数αを大きくすることができれば、SN比SNR1を高くできる。しかしながら、サイドシールドの材料の工夫によりダンピング定数αを大きくしようとすると、飽和磁束密度Bsが小さくなってしまう。   As already described, if the damping constant α can be increased while maintaining a large saturation magnetic flux density Bs, the SN ratio SNR1 can be increased. However, when the damping constant α is increased by devising the material of the side shield, the saturation magnetic flux density Bs is decreased.

本実施形態においては、第3中間層63を設けることで、トレーリングシールドの部分において、記録特性を向上できる。これにより、記録密度が向上できる。   In the present embodiment, the recording characteristics can be improved in the trailing shield portion by providing the third intermediate layer 63. Thereby, the recording density can be improved.

例えば、磁気記録ヘッド120においては、例えば、CMR動作において、SN比が向上する。   For example, in the magnetic recording head 120, the SN ratio is improved, for example, in the CMR operation.

(第3の実施形態)
図10は、第3の実施形態に係る磁気記録ヘッドを例示する模式的平面図である。
図10に示すように、本実施形態に係る別の磁気記録ヘッド130は、第1〜第4シールド41〜44、磁極20、第1〜第4絶縁部31〜34、第1中間層61及び第2中間層62に加えて、第3中間層63をさらに含む。これに以外は、磁気記録ヘッド110と同様なので説明を省略する。
(Third embodiment)
FIG. 10 is a schematic plan view illustrating a magnetic recording head according to the third embodiment.
As shown in FIG. 10, another magnetic recording head 130 according to this embodiment includes first to fourth shields 41 to 44, a magnetic pole 20, first to fourth insulating portions 31 to 34, a first intermediate layer 61, and In addition to the second intermediate layer 62, a third intermediate layer 63 is further included. Other than this, it is the same as the magnetic recording head 110, and the description thereof is omitted.

磁気記録ヘッド130においては、第1中間層61が設けられていることから、例えば、トラック幅方向において、記録特性が向上する。さらに、第3中間層63が設けられることで、トレーリング方向において、記録特性が向上する。これにより、記録密度が向上できる磁気記録ヘッド及び磁気記録装置が提供できる。   In the magnetic recording head 130, since the first intermediate layer 61 is provided, the recording characteristics are improved, for example, in the track width direction. Furthermore, by providing the third intermediate layer 63, the recording characteristics are improved in the trailing direction. Thereby, a magnetic recording head and a magnetic recording apparatus capable of improving the recording density can be provided.

図11は、第3の実施形態に係る別の磁気記録ヘッドを例示する模式的平面図である。 図11に示すように、本実施形態に係る別の磁気記録ヘッド131は、第1〜第4シールド41〜44、磁極20、第1〜第4絶縁部31〜34、第1中間層61、第2中間層62及び第3中間層63に加えて、第4中間層64をさらに含む。これに以外は、磁気記録ヘッド110と同様なので説明を省略する。   FIG. 11 is a schematic plan view illustrating another magnetic recording head according to the third embodiment. As shown in FIG. 11, another magnetic recording head 131 according to this embodiment includes first to fourth shields 41 to 44, a magnetic pole 20, first to fourth insulating portions 31 to 34, a first intermediate layer 61, In addition to the second intermediate layer 62 and the third intermediate layer 63, a fourth intermediate layer 64 is further included. Other than this, it is the same as the magnetic recording head 110, and the description thereof is omitted.

磁気記録ヘッド131においても、例えば、トラック幅方向及びトレーリング方向において、記録特性が向上する。これにより、記録密度が向上できる磁気記録ヘッド及び磁気記録装置が提供できる。   Also in the magnetic recording head 131, for example, the recording characteristics are improved in the track width direction and the trailing direction. Thereby, a magnetic recording head and a magnetic recording apparatus capable of improving the recording density can be provided.

(第4の実施形態)
第4の実施形態は、磁気記憶装置に係る。本実施形態に係る磁気記憶装置は、第1〜第3の実施形態のいずれか、及び、その変形の磁気記録ヘッドと、磁気記録媒体と、を含む。以下では、磁気記録ヘッド110が用いられる場合について、説明する。
(Fourth embodiment)
The fourth embodiment relates to a magnetic storage device. The magnetic storage device according to the present embodiment includes any one of the first to third embodiments, a modified magnetic recording head, and a magnetic recording medium. Hereinafter, a case where the magnetic recording head 110 is used will be described.

図12は、第4の実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。
図12においては、第3シールド43、第4シールド44、第1シールド41及び第2シールド42などが省略されている。
FIG. 12 is a schematic perspective view illustrating a magnetic recording apparatus according to the fourth embodiment.
In FIG. 12, the third shield 43, the fourth shield 44, the first shield 41, the second shield 42, and the like are omitted.

磁気記録ヘッド110の磁極20に記録コイル28が設けられる。記録コイル28に供給される電流により、磁極20において、記録磁界が発生する。発生した記録磁界が、磁気記録媒体80に加わる。磁気記録媒体80には、複数のトラック(例えば第1〜第4トラックTr1〜Tr4など)が形成される。複数のトラックのピッチが、トラックピッチTrpに対応する。   A recording coil 28 is provided on the magnetic pole 20 of the magnetic recording head 110. A recording magnetic field is generated in the magnetic pole 20 by the current supplied to the recording coil 28. The generated recording magnetic field is applied to the magnetic recording medium 80. A plurality of tracks (for example, first to fourth tracks Tr1 to Tr4) are formed on the magnetic recording medium 80. The pitch of a plurality of tracks corresponds to the track pitch Trp.

図12に示すように、磁気記録ヘッド110は、再生部70をさらに含んでも良い。再生部70は、第1再生シールド72aと、第2再生シールド72bと、再生素子71と、を含む。再生素子71は、第1再生シールド72aと第2再生シールド72bとの間に設けられる。再生素子71により、情報が記録された記録ビット84の磁化83の状態が検出される。   As shown in FIG. 12, the magnetic recording head 110 may further include a reproducing unit 70. The reproduction unit 70 includes a first reproduction shield 72a, a second reproduction shield 72b, and a reproduction element 71. The reproduction element 71 is provided between the first reproduction shield 72a and the second reproduction shield 72b. The reproducing element 71 detects the state of the magnetization 83 of the recording bit 84 in which information is recorded.

磁気記録装置150において、制御部55が設けられても良い。制御部55からの記録コイル28に電気信号が供給される。制御部55は、再生素子71の電気抵抗の状態を検出しても良い。   In the magnetic recording device 150, a control unit 55 may be provided. An electrical signal is supplied from the control unit 55 to the recording coil 28. The control unit 55 may detect the state of the electrical resistance of the reproducing element 71.

図13は、第4の実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。 図13は、磁気記録ヘッドが搭載されるヘッドスライダを例示している。
磁気記録ヘッド110は、ヘッドスライダ3に搭載される。ヘッドスライダ3には、例えばAl/TiCなどが用いられる。ヘッドスライダ3は、磁気記録媒体80の上を、浮上または接触しながら、磁気記録媒体80に対して相対的に運動する。
FIG. 13 is a schematic perspective view illustrating a part of the magnetic recording apparatus according to the fourth embodiment. FIG. 13 illustrates a head slider on which a magnetic recording head is mounted.
The magnetic recording head 110 is mounted on the head slider 3. For example, Al 2 O 3 / TiC is used for the head slider 3. The head slider 3 moves relative to the magnetic recording medium 80 while flying or contacting the magnetic recording medium 80.

ヘッドスライダ3は、例えば、空気流入側3Aと空気流出側3Bとを有する。磁気記録ヘッド110は、ヘッドスライダ3の空気流出側3Bの側面などに配置される。これにより、ヘッドスライダ3に搭載された磁気記録ヘッド110は、磁気記録媒体80の上を浮上または接触しながら磁気記録媒体80に対して相対的に運動する。   The head slider 3 has, for example, an air inflow side 3A and an air outflow side 3B. The magnetic recording head 110 is disposed on the side surface of the air outflow side 3B of the head slider 3 or the like. As a result, the magnetic recording head 110 mounted on the head slider 3 moves relative to the magnetic recording medium 80 while flying above or in contact with the magnetic recording medium 80.

図14は、実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。
図15(a)及び図15(b)は、磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。
図14に示したように、実施形態に係る磁気記録装置150は、ロータリーアクチュエータを用いた形式の装置である。記録用媒体ディスク180は、スピンドルモータ4に装着され、駆動装置制御部からの制御信号に応答するモータにより矢印Aの方向に回転する。本実施形態に係る磁気記録装置150は、複数の記録用媒体ディスク180を備えても良い。磁気記録装置150は、記録媒体181を含んでもよい。例えば、磁気記録装置150は、ハイブリッドHDD(Hard Disk Drive)である。記録媒体181は、例えば、SSD(Solid State Drive)である。記録媒体181には、例えば、フラッシュメモリなどの不揮発性メモリが用いられる。
FIG. 14 is a schematic perspective view illustrating the magnetic recording apparatus according to the embodiment.
FIG. 15A and FIG. 15B are schematic perspective views illustrating a part of the magnetic recording apparatus.
As shown in FIG. 14, the magnetic recording apparatus 150 according to the embodiment is an apparatus using a rotary actuator. The recording medium disk 180 is mounted on the spindle motor 4 and is rotated in the direction of arrow A by a motor that responds to a control signal from the drive control unit. The magnetic recording apparatus 150 according to this embodiment may include a plurality of recording medium disks 180. The magnetic recording device 150 may include a recording medium 181. For example, the magnetic recording device 150 is a hybrid HDD (Hard Disk Drive). The recording medium 181 is, for example, an SSD (Solid State Drive). For the recording medium 181, for example, a nonvolatile memory such as a flash memory is used.

記録用媒体ディスク180に格納する情報の記録再生を行うヘッドスライダ3は、既に説明したような構成を有し、薄膜状のサスペンション154の先端に取り付けられている。ここで、ヘッドスライダ3の先端付近に、例えば、既に説明した実施形態に係る磁気記録ヘッドのいずれかが搭載される。   The head slider 3 that records and reproduces information stored in the recording medium disk 180 has the configuration as described above, and is attached to the tip of a thin-film suspension 154. Here, for example, one of the magnetic recording heads according to the embodiments already described is mounted near the tip of the head slider 3.

記録用媒体ディスク180が回転すると、サスペンション154による押し付け圧力とヘッドスライダ3の媒体対向面(ABS)で発生する圧力とがつりあい、ヘッドスライダ3の媒体対向面は、記録用媒体ディスク180の表面から所定の浮上量をもって保持される。なお、ヘッドスライダ3が記録用媒体ディスク180と接触するいわゆる「接触走行型」としても良い。   When the recording medium disk 180 rotates, the pressure applied by the suspension 154 balances with the pressure generated at the medium facing surface (ABS) of the head slider 3, and the medium facing surface of the head slider 3 is separated from the surface of the recording medium disk 180. It is held with a predetermined flying height. A so-called “contact traveling type” in which the head slider 3 is in contact with the recording medium disk 180 may be used.

サスペンション154は、アーム155(例えばアクチュエータアーム)の一端に接続されている。アーム155は、例えば、駆動コイルを保持するボビン部などを有する。アーム155の他端には、リニアモータの一種であるボイスコイルモータ156が設けられている。ボイスコイルモータ156は、アーム155のボビン部に巻き上げられた駆動コイルと、このコイルを挟み込むように対向して配置された永久磁石及び対向ヨークからなる磁気回路とを含むことができる。サスペンション154は、一端と他端とを有し、磁気記録ヘッドは、サスペンション154の一端に搭載され、アーム155は、サスペンション154の他端に接続されている。   The suspension 154 is connected to one end of an arm 155 (for example, an actuator arm). The arm 155 has, for example, a bobbin portion that holds a drive coil. At the other end of the arm 155, a voice coil motor 156, which is a kind of linear motor, is provided. The voice coil motor 156 can include a drive coil wound around the bobbin portion of the arm 155, and a magnetic circuit composed of a permanent magnet and a counter yoke arranged to face each other so as to sandwich the coil. The suspension 154 has one end and the other end, the magnetic recording head is mounted on one end of the suspension 154, and the arm 155 is connected to the other end of the suspension 154.

アーム155は、軸受部157の上下2箇所に設けられたボールベアリングによって保持され、ボイスコイルモータ156により回転摺動が自在にできるようになっている。その結果、磁気記録ヘッドを記録用媒体ディスク180の任意の位置に移動可能となる。   The arm 155 is held by ball bearings provided at two upper and lower portions of the bearing portion 157, and can be freely slid and rotated by a voice coil motor 156. As a result, the magnetic recording head can be moved to an arbitrary position on the recording medium disk 180.

図15(a)は、磁気記録装置の一部の構成を例示しており、ヘッドスタックアセンブリ160の拡大斜視図である。
また、図15(b)は、ヘッドスタックアセンブリ160の一部となる磁気記録ヘッドアセンブリ(ヘッドジンバルアセンブリ:HGA)158を例示する斜視図である。
FIG. 15A illustrates a partial configuration of the magnetic recording apparatus and is an enlarged perspective view of the head stack assembly 160.
FIG. 15B is a perspective view illustrating a magnetic recording head assembly (head gimbal assembly: HGA) 158 that is a part of the head stack assembly 160.

図15(a)に示したように、ヘッドスタックアセンブリ160は、軸受部157と、ヘッドジンバルアセンブリ158と、支持フレーム161と、を含む。ヘッドジンバルアセンブリ158は、軸受部157から延びる。支持フレーム161は、軸受部157からHGAと反対方向に延びる。支持フレーム161は、ボイスコイルモータのコイル162を支持する。   As shown in FIG. 15A, the head stack assembly 160 includes a bearing portion 157, a head gimbal assembly 158, and a support frame 161. The head gimbal assembly 158 extends from the bearing portion 157. The support frame 161 extends from the bearing portion 157 in the direction opposite to the HGA. The support frame 161 supports the coil 162 of the voice coil motor.

また、図15(b)に示したように、ヘッドジンバルアセンブリ158は、軸受部157から延びたアーム155と、アーム155から延びたサスペンション154と、を有している。   As shown in FIG. 15B, the head gimbal assembly 158 includes an arm 155 extending from the bearing portion 157 and a suspension 154 extending from the arm 155.

サスペンション154の先端には、ヘッドスライダ3が取り付けられている。そして、ヘッドスライダ3には、実施形態に係る磁気記録ヘッドのいずれかが搭載される。   A head slider 3 is attached to the tip of the suspension 154. One of the magnetic recording heads according to the embodiment is mounted on the head slider 3.

すなわち、実施形態に係る磁気記録ヘッドアセンブリ(ヘッドジンバルアセンブリ)158は、実施形態に係る磁気記録ヘッドと、磁気記録ヘッドが搭載されたヘッドスライダ3と、ヘッドスライダ3を一端に搭載するサスペンション154と、サスペンション154の他端に接続されたアーム155と、を備える。   That is, the magnetic recording head assembly (head gimbal assembly) 158 according to the embodiment includes the magnetic recording head according to the embodiment, the head slider 3 on which the magnetic recording head is mounted, and the suspension 154 on which the head slider 3 is mounted at one end. An arm 155 connected to the other end of the suspension 154.

サスペンション154は、信号の記録及び再生用、浮上量調整のためのヒーター用、及び、例えばスピントルク発振子用などのためのリード線(図示しない)を有する。これらのリード線と、ヘッドスライダ3に組み込まれた磁気記録ヘッドの各電極と、が電気的に接続される。   The suspension 154 has leads (not shown) for recording and reproducing signals, for heaters for adjusting the flying height, and for example for spin torque oscillators. These lead wires and the respective electrodes of the magnetic recording head incorporated in the head slider 3 are electrically connected.

また、磁気記録ヘッドを用いて磁気記録媒体への信号の記録及び再生を行う信号処理部190が設けられる。信号処理部190は、例えば、磁気記録装置150の一部(図14参照)に設けられる。信号処理部190の入出力線は、ヘッドジンバルアセンブリ158の電極パッドに接続され、磁気記録ヘッドと電気的に結合される。   In addition, a signal processing unit 190 is provided for recording and reproducing signals on the magnetic recording medium using the magnetic recording head. For example, the signal processing unit 190 is provided in a part of the magnetic recording device 150 (see FIG. 14). The input / output lines of the signal processing unit 190 are connected to the electrode pads of the head gimbal assembly 158 and are electrically coupled to the magnetic recording head.

このように、本実施形態に係る磁気記録装置150は、磁気記録媒体と、上記の実施形態に係る磁気記録ヘッドと、磁気記録媒体と磁気記録ヘッドとを離間させ、または、接触させた状態で相対的に移動可能とした可動部と、磁気記録ヘッドを磁気記録媒体の所定記録位置に位置合わせする位置制御部と、磁気記録ヘッドを用いて磁気記録媒体への信号の記録及び再生を行う信号処理部と、を備える。   As described above, the magnetic recording apparatus 150 according to the present embodiment is in a state where the magnetic recording medium, the magnetic recording head according to the above-described embodiment, and the magnetic recording medium and the magnetic recording head are separated from or in contact with each other. A movable unit that is relatively movable, a position control unit that aligns the magnetic recording head with a predetermined recording position of the magnetic recording medium, and a signal that records and reproduces signals on the magnetic recording medium using the magnetic recording head A processing unit.

すなわち、上記の磁気記録媒体として、記録用媒体ディスク180が用いられる。
上記の可動部は、ヘッドスライダ3を含むことができる。
また、上記の位置制御部は、ヘッドジンバルアセンブリ158を含むことができる。
That is, a recording medium disk 180 is used as the magnetic recording medium.
The movable part can include the head slider 3.
The position controller may include a head gimbal assembly 158.

このように、本実施形態に係る磁気記録装置150は、磁気記録媒体と、実施形態に係る磁気記録ヘッドアセンブリと、磁気記録ヘッドアセンブリに搭載された磁気記録ヘッドを用いて磁気記録媒体への信号の記録及び再生を行う信号処理部と、を備える。   As described above, the magnetic recording apparatus 150 according to the present embodiment uses the magnetic recording medium, the magnetic recording head assembly according to the embodiment, and the signal to the magnetic recording medium using the magnetic recording head mounted on the magnetic recording head assembly. A signal processing unit that performs recording and reproduction.

実施形態は、以下の構成を備える、
(構成1)
第1シールドと、
第1方向において前記第1シールドから離れた第2シールドと、
前記第1シールドと前記第2シールドとの間に設けられた磁極であって、前記磁極は、第1端部と、前記第1方向と交差する第2方向において前記第1端部から離れた第2端部と、を含み、前記第1端部の前記第1方向に沿った第1端部長は、前記第2端部の前記第1方向に沿った第2端部長よりも長い、前記磁極と、
前記第1シールドと前記磁極との間に設けられた第1絶縁部と、
前記第1シールドと前記第1絶縁部との間に設けられ、Pt及びPdの少なくともいずれかを含む第1中間層と、
を備えた磁気記録ヘッド。
The embodiment comprises the following configuration,
(Configuration 1)
A first shield;
A second shield away from the first shield in a first direction;
A magnetic pole provided between the first shield and the second shield, wherein the magnetic pole is separated from the first end in a first end and a second direction intersecting the first direction. A first end length along the first direction of the first end portion is longer than a second end length along the first direction of the second end portion, Magnetic poles,
A first insulating portion provided between the first shield and the magnetic pole;
A first intermediate layer provided between the first shield and the first insulating portion and including at least one of Pt and Pd;
A magnetic recording head comprising:

(構成2)
前記第2シールドと前記磁極との間に設けられた第2絶縁部と、
前記第2シールドと前記第2絶縁部との間に設けられ、Pt及びPdの少なくともいずれかを含む第2中間層と、
をさらに備えた、構成1記載の磁気記録ヘッド。
(Configuration 2)
A second insulating portion provided between the second shield and the magnetic pole;
A second intermediate layer provided between the second shield and the second insulating part and including at least one of Pt and Pd;
The magnetic recording head according to Configuration 1, further comprising:

(構成3)
前記第2中間層の前記第1方向に沿った厚さは、2ナノメートル以上20ナノメートル以下である、構成2記載の磁気記録ヘッド。
(Configuration 3)
The magnetic recording head according to Configuration 2, wherein a thickness of the second intermediate layer along the first direction is not less than 2 nanometers and not more than 20 nanometers.

(構成4)
前記第1中間層の前記第1方向に沿った厚さは、2ナノメートル以上20ナノメートル以下である、構成1〜3のいずれか1つに記載の磁気記録ヘッド。
(Configuration 4)
The magnetic recording head according to any one of configurations 1 to 3, wherein a thickness of the first intermediate layer along the first direction is not less than 2 nanometers and not more than 20 nanometers.

(構成5)
第3シールドと、
前記第1方向において前記第3シールドから離れた第4シールドと、
第3絶縁部と、
Pt及びPdの少なくともいずれかを含む第3中間層と、
をさらに備え、
前記第1端部は、前記第3シールドと前記第4シールドとの間に設けられ、
前記第2端部は、前記第1端部と前記第4シールドとの間に設けられ、
前記第3絶縁部は、前記第3シールドと前記第1端部との間に設けられ、
前記第3中間層は、前記第3シールドと前記第3絶縁部との間に設けられた、構成1〜4のいずれか1つに記載の磁気記録ヘッド。
(Configuration 5)
A third shield,
A fourth shield spaced from the third shield in the first direction;
A third insulating part;
A third intermediate layer containing at least one of Pt and Pd;
Further comprising
The first end is provided between the third shield and the fourth shield,
The second end is provided between the first end and the fourth shield,
The third insulating portion is provided between the third shield and the first end portion,
The magnetic recording head according to any one of Configurations 1 to 4, wherein the third intermediate layer is provided between the third shield and the third insulating portion.

(構成6)
第3シールドと、
前記第1方向において前記第3シールドから離れた第4シールドと、
第4絶縁部と、
Pt及びPdの少なくともいずれかを含む第4中間層と、
をさらに備え、
前記第1端部は、前記第3シールドと前記第4シールドとの間に設けられ、
前記第2端部は、前記第1端部と前記第4シールドとの間に設けられ、
前記第4絶縁部は、前記第4シールドと前記第2端部との間に設けられ、
前記第4中間層は、前記第4シールドと前記第4絶縁部との間に設けられた、構成1〜4のいずれか1つに記載の磁気記録ヘッド。
(Configuration 6)
A third shield,
A fourth shield spaced from the third shield in the first direction;
A fourth insulating portion;
A fourth intermediate layer containing at least one of Pt and Pd;
Further comprising
The first end is provided between the third shield and the fourth shield,
The second end is provided between the first end and the fourth shield,
The fourth insulating portion is provided between the fourth shield and the second end portion,
The magnetic recording head according to any one of Configurations 1 to 4, wherein the fourth intermediate layer is provided between the fourth shield and the fourth insulating portion.

(構成7)
前記第4中間層は、Zr、Hf、Nb、Ta、Mo、W、Tc、Re、Ru、Os、Rh、Tr、Pd及びPtの少なくともいずれかを含む、構成6記載の磁気記録ヘッド。
(Configuration 7)
The magnetic recording head according to Configuration 6, wherein the fourth intermediate layer includes at least one of Zr, Hf, Nb, Ta, Mo, W, Tc, Re, Ru, Os, Rh, Tr, Pd, and Pt.

(構成8)
前記第1シールドは、Fe、Co及びNiの少なくとも1つを含む構成1〜7のいずれか1つに記載の磁気記録ヘッド。
(Configuration 8)
The magnetic recording head according to any one of Configurations 1 to 7, wherein the first shield includes at least one of Fe, Co, and Ni.

(構成9)
前記第1シールドと前記第1中間層とを含む部分のダンピング定数は、0.08以上0.2以下である構成1〜8のいずれか1つに記載の磁気記録ヘッド。
(Configuration 9)
The magnetic recording head according to any one of Configurations 1 to 8, wherein a damping constant of a portion including the first shield and the first intermediate layer is 0.08 or more and 0.2 or less.

(構成10)
前記第1シールドの飽和磁束密度は、1.6テスラ以上2.4テスラ以下である構成1〜9のいずれか1つに記載の磁気記録ヘッド。
(Configuration 10)
The magnetic recording head according to any one of configurations 1 to 9, wherein a saturation magnetic flux density of the first shield is not less than 1.6 Tesla and not more than 2.4 Tesla.

(構成11)
前記第3シールドは、トレーリングシールドである構成1〜10のいずれか1つに記載の磁気記録ヘッド。
(Configuration 11)
The magnetic recording head according to any one of Configurations 1 to 10, wherein the third shield is a trailing shield.

(構成12)
第1シールドと、
第1方向において前記第1シールドから離れた第2シールドと、
前記第1シールドと前記第2シールドとの間に設けられた磁極であって、前記磁極は、第1端部と、前記第1方向と交差する第2方向において前記第1端部から離れた第2端部と、を含み、前記第1端部の前記第1方向に沿った第1端部長は、前記第2端部の前記第1方向に沿った第2端部長よりも長い、前記磁極と、
前記第1シールドと前記磁極との間に設けられた第1絶縁部と、
前記第1シールドと前記第1絶縁部との間に設けられ前記第1シールドと接し、Zr、Hf、Nb、Ta、Mo、W、Tc、Re、Ru、Os、Rh、及び、Trの少なくともいずれかを含む第1中間層と、
を備えた磁気記録ヘッド。
(Configuration 12)
A first shield;
A second shield away from the first shield in a first direction;
A magnetic pole provided between the first shield and the second shield, wherein the magnetic pole is separated from the first end in a first end and a second direction intersecting the first direction. A first end length along the first direction of the first end portion is longer than a second end length along the first direction of the second end portion, Magnetic poles,
A first insulating portion provided between the first shield and the magnetic pole;
At least one of Zr, Hf, Nb, Ta, Mo, W, Tc, Re, Ru, Os, Rh, and Tr provided between the first shield and the first insulating portion and in contact with the first shield A first intermediate layer including any one of the following:
A magnetic recording head comprising:

(構成13)
前記第2シールドと前記磁極との間に設けられた第2絶縁部と、
前記第2シールドと前記第2絶縁部との間に設けられ前記第2シールドと接し、Zr、Hf、Nb、Ta、Mo、W、Tc、Re、Ru、Os、Rh、及び、Trの少なくともいずれかを含む、第2中間層と、
をさらに備えた、構成12記載の磁気記録ヘッド。
(Configuration 13)
A second insulating portion provided between the second shield and the magnetic pole;
At least one of Zr, Hf, Nb, Ta, Mo, W, Tc, Re, Ru, Os, Rh, and Tr provided between the second shield and the second insulating portion; A second intermediate layer comprising any of the following:
The magnetic recording head according to Configuration 12, further comprising:

(構成14)
構成1〜13のいずれか1つに記載の磁気記録ヘッドと、
前記磁極により情報が記録される磁気記録媒体と、
を備えた磁気記録装置。
(Configuration 14)
The magnetic recording head according to any one of configurations 1 to 13, and
A magnetic recording medium on which information is recorded by the magnetic pole;
A magnetic recording apparatus.

(構成15)
前記第1端部は、第1部分と、第2部分と、を含み、
前記第1部分の前記第1方向における位置は、前記第1シールドの前記第1方向における位置と、前記第2シールドの前記第1方向における位置と、の間に設けられ、
前記第2部分の前記第1方向における位置は、前記第1部分の前記第1方向における前記位置と前記第2シールドの前記第1方向における前記位置との間に設けられ、
磁気記録媒体に情報を記録する際に、前記第1部分は、磁気記録媒体に情報を記録する際に、前記第2部分よりも後に前記磁気記録媒体に前記情報を記録する、構成14記載の磁気記録装置。
(Configuration 15)
The first end includes a first portion and a second portion,
The position of the first portion in the first direction is provided between the position of the first shield in the first direction and the position of the second shield in the first direction;
A position of the second part in the first direction is provided between the position of the first part in the first direction and the position of the second shield in the first direction;
The structure according to claim 14, wherein when recording information on the magnetic recording medium, the first portion records the information on the magnetic recording medium after the second portion when recording information on the magnetic recording medium. Magnetic recording device.

(構成16)
前記第1端部は、第1部分と、第2部分と、を含み、
前記第1部分の前記第1方向における位置は、前記第1シールドの前記第1方向における位置と、前記第2シールドの前記第1方向における位置と、の間に設けられ、
前記第2部分の前記第1方向における位置は、前記第1部分の前記第1方向における前記位置と前記第2シールドの前記第1方向における前記位置との間に設けられ、
前記磁気記録媒体は、前記第1方向に並ぶ第1〜第3領域を含み、前記第1領域と前記第3領域の間に前記第2領域が配置され、
前記磁極は、
第1時刻において、前記第1部分が前記第1領域に対向して前記第1領域の磁化の方向を制御し、
前記第1時刻において、前記第2部分が前記第2領域に対向して前記第2領域の磁化の方向を制御し、
前記磁極は、
前記第1時刻の後の第2時刻において、前記第1部分が前記第2領域に対向して前記第2領域の前記磁化の方向を制御し、
前記第2時刻において、前記第2部分が前記第3領域に対向して前記第3領域の前記磁化の方向を制御する、構成14記載の磁気記録装置。
(Configuration 16)
The first end includes a first portion and a second portion,
The position of the first portion in the first direction is provided between the position of the first shield in the first direction and the position of the second shield in the first direction;
A position of the second part in the first direction is provided between the position of the first part in the first direction and the position of the second shield in the first direction;
The magnetic recording medium includes first to third regions arranged in the first direction, and the second region is disposed between the first region and the third region,
The magnetic pole is
At a first time, the first portion controls the magnetization direction of the first region facing the first region,
At the first time, the second portion controls the magnetization direction of the second region facing the second region,
The magnetic pole is
At a second time after the first time, the first portion faces the second region and controls the direction of the magnetization of the second region;
The magnetic recording device according to the configuration 14, wherein the second portion controls the magnetization direction of the third region facing the third region at the second time.

(構成17)
前記磁気記録媒体は、垂直磁気記録媒体である、構成14〜16のいずれか1つに記載の磁気記録装置。
(Configuration 17)
The magnetic recording device according to any one of Configurations 14 to 16, wherein the magnetic recording medium is a perpendicular magnetic recording medium.

実施形態によれば、記録密度が向上できる磁気記録ヘッド及び磁気記録装置が提供される。   According to the embodiment, a magnetic recording head and a magnetic recording apparatus that can improve recording density are provided.

なお、本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。   In the present specification, “vertical” and “parallel” include not only strictly vertical and strictly parallel, but also include, for example, variations in the manufacturing process, and may be substantially vertical and substantially parallel. It ’s fine.

以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明の実施形態は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、磁気記録ヘッドに含まれるシールド、磁極、中間層及び絶縁部、並びに、磁気記録装置に含まれる磁気記録媒体などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。   The embodiments of the present invention have been described above with reference to specific examples. However, embodiments of the present invention are not limited to these specific examples. For example, the specific configuration of each element such as a shield, a magnetic pole, an intermediate layer and an insulating part included in the magnetic recording head, and a magnetic recording medium included in the magnetic recording apparatus is appropriately selected by those skilled in the art from a known range. By doing so, the present invention is included in the scope of the present invention as long as the same effects can be obtained and similar effects can be obtained.

また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。   Moreover, what combined any two or more elements of each specific example in the technically possible range is also included in the scope of the present invention as long as the gist of the present invention is included.

その他、本発明の実施の形態として上述した磁気記録装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての磁気記録装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。   In addition, any magnetic recording apparatus that can be implemented by a person skilled in the art based on the magnetic recording apparatus described above as an embodiment of the present invention can be implemented as long as it includes the gist of the present invention. Belonging to.

その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。   In addition, in the category of the idea of the present invention, those skilled in the art can conceive of various changes and modifications, and it is understood that these changes and modifications also belong to the scope of the present invention. .

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。   Although several embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.

3…ヘッドスライダ、 3A…空気流入側、 3B…空気流出側、 4…スピンドルモータ、 20…磁極、 21e、21f…第1、第2部分、 21、22…第1、第2端部、 21e、21f…第1、第2部分、 21s、22s…第1、第2側面、 28…記録コイル、 31〜34…第1〜第4絶縁部、 41〜44…第1〜第4シールド、 51…媒体対向面、 55…制御部、 61〜64…第1〜第4中間層、 70…再生部、 71…再生素子、 71a、71b…第1、第2再生シールド、 80…磁気記録媒体、 80p…部分、 81…磁気記録層、 82…媒体基板、 83…磁化、 84…記録ビット、 85…媒体移動方向、 86a〜86c…第1〜第3位置、 87a〜87c…第1〜第3領域、 110、111、119a〜119j、120、130、131…磁気記録ヘッド、 150…磁気記録装置、 154…サスペンション、 155…アクチュエータアーム、 156…ボイスコイルモータ、 157…軸受部、 158…ヘッドジンバルアセンブリ、 160…ヘッドスタックアセンブリ、 161…支持フレーム、 162…コイル、 180…記録用媒体ディスク、 181…記録媒体、 190…信号処理部、 A…矢印、 H1…記録磁界、 L1、L2…第1、第2端部長、 RD…ラッピング深さ、 SNR1…SN比、 SSg…SSギャップ、 ST1、ST2…第1、第2状態、 Tr1、Tr4…第1〜第4トラック、 Trp…トラックピッチ、 t…時間、 t1〜t4…第1〜第4厚   DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 ... Head slider, 3A ... Air inflow side, 3B ... Air outflow side, 4 ... Spindle motor, 20 ... Magnetic pole, 21e, 21f ... 1st, 2nd part, 21, 22 ... 1st, 2nd edge part, 21e , 21f... 1st, 2nd portion, 21s, 22s... 1st and 2nd side surfaces, 28... Recording coil, 31 to 34... 1st to 4th insulating part, 41 to 44. , Medium facing surface, 55, control unit, 61-64, first to fourth intermediate layers, 70, reproducing unit, 71, reproducing element, 71a, 71b, first and second reproducing shields, 80, magnetic recording medium, 80p ... part, 81 ... magnetic recording layer, 82 ... medium substrate, 83 ... magnetization, 84 ... recording bit, 85 ... medium moving direction, 86a to 86c ... first to third positions, 87a to 87c ... first to third Region, 110, 111, 119 119j, 120, 130, 131 ... magnetic recording head, 150 ... magnetic recording device, 154 ... suspension, 155 ... actuator arm, 156 ... voice coil motor, 157 ... bearing, 158 ... head gimbal assembly, 160 ... head stack assembly 161 ... support frame, 162 ... coil, 180 ... recording medium disk, 181 ... recording medium, 190 ... signal processing unit, A ... arrow, H1 ... recording magnetic field, L1, L2 ... first and second end lengths, RD ... lapping depth, SNR1 ... SN ratio, SSg ... SS gap, ST1, ST2 ... first and second states, Tr1, Tr4 ... first to fourth tracks, Trp ... track pitch, t ... time, t1-t4 ... 1st to 4th thickness

Claims (10)

第1シールドと、
第1方向において前記第1シールドから離れた第2シールドと、
前記第1シールドと前記第2シールドとの間に設けられた磁極であって、前記磁極は、第1端部と、前記第1方向と交差する第2方向において前記第1端部から離れた第2端部と、を含み、前記第1端部の前記第1方向に沿った第1端部長は、前記第2端部の前記第1方向に沿った第2端部長よりも長い、前記磁極と、
前記第1シールドと前記磁極との間に設けられた第1絶縁部と、
前記第1シールドと前記第1絶縁部との間に設けられ、Pt及びPdの少なくともいずれかを含む第1中間層と、
を備えた磁気記録ヘッド。
A first shield;
A second shield away from the first shield in a first direction;
A magnetic pole provided between the first shield and the second shield, wherein the magnetic pole is separated from the first end in a first end and a second direction intersecting the first direction. A first end length along the first direction of the first end portion is longer than a second end length along the first direction of the second end portion, Magnetic poles,
A first insulating portion provided between the first shield and the magnetic pole;
A first intermediate layer provided between the first shield and the first insulating portion and including at least one of Pt and Pd;
A magnetic recording head comprising:
第3シールドと、
前記第1方向において前記第3シールドから離れた第4シールドと、
第3絶縁部と、
Pt及びPdの少なくともいずれかを含む第3中間層と、
をさらに備え、
前記第1端部は、前記第3シールドと前記第4シールドとの間に設けられ、
前記第2端部は、前記第1端部と前記第4シールドとの間に設けられ、
前記第3絶縁部は、前記第3シールドと前記第1端部との間に設けられ、
前記第3中間層は、前記第3シールドと前記第3絶縁部との間に設けられた、請求項1記載の磁気記録ヘッド。
A third shield,
A fourth shield spaced from the third shield in the first direction;
A third insulating part;
A third intermediate layer containing at least one of Pt and Pd;
Further comprising
The first end is provided between the third shield and the fourth shield,
The second end is provided between the first end and the fourth shield,
The third insulating portion is provided between the third shield and the first end portion,
The magnetic recording head according to claim 1, wherein the third intermediate layer is provided between the third shield and the third insulating portion.
第3シールドと、
前記第1方向において前記第3シールドから離れた第4シールドと、
第4絶縁部と、
Pt及びPdの少なくともいずれかを含む第4中間層と、
をさらに備え、
前記第1端部は、前記第3シールドと前記第4シールドとの間に設けられ、
前記第2端部は、前記第1端部と前記第4シールドとの間に設けられ、
前記第4絶縁部は、前記第4シールドと前記第2端部との間に設けられ、
前記第4中間層は、前記第4シールドと前記第4絶縁部との間に設けられた、請求項1または2に記載の磁気記録ヘッド。
A third shield,
A fourth shield spaced from the third shield in the first direction;
A fourth insulating portion;
A fourth intermediate layer containing at least one of Pt and Pd;
Further comprising
The first end is provided between the third shield and the fourth shield,
The second end is provided between the first end and the fourth shield,
The fourth insulating portion is provided between the fourth shield and the second end portion,
The magnetic recording head according to claim 1, wherein the fourth intermediate layer is provided between the fourth shield and the fourth insulating portion.
前記第4中間層は、Zr、Hf、Nb、Ta、Mo、W、Tc、Re、Ru、Os、Rh、Tr、Pd及びPtの少なくともいずれかを含む、請求項3記載の磁気記録ヘッド。   The magnetic recording head according to claim 3, wherein the fourth intermediate layer includes at least one of Zr, Hf, Nb, Ta, Mo, W, Tc, Re, Ru, Os, Rh, Tr, Pd, and Pt. 前記第1シールドと前記第1中間層とを含む部分のダンピング定数は、0.08以上0.2以下である請求項1〜4のいずれか1つに記載の磁気記録ヘッド。   5. The magnetic recording head according to claim 1, wherein a damping constant of a portion including the first shield and the first intermediate layer is 0.08 or more and 0.2 or less. 前記第1シールドの飽和磁束密度は、1.6テスラ以上2.4テスラ以下である請求項1〜5のいずれか1つに記載の磁気記録ヘッド。   6. The magnetic recording head according to claim 1, wherein a saturation magnetic flux density of the first shield is 1.6 Tesla or more and 2.4 Tesla or less. 第1シールドと、
第1方向において前記第1シールドから離れた第2シールドと、
前記第1シールドと前記第2シールドとの間に設けられた磁極であって、前記磁極は、第1端部と、前記第1方向と交差する第2方向において前記第1端部から離れた第2端部と、を含み、前記第1端部の前記第1方向に沿った第1端部長は、前記第2端部の前記第1方向に沿った第2端部長よりも長い、前記磁極と、
前記第1シールドと前記磁極との間に設けられた第1絶縁部と、
前記第1シールドと前記第1絶縁部との間に設けられ前記第1シールドと接し、Zr、Hf、Nb、Ta、Mo、W、Tc、Re、Ru、Os、Rh、及び、Trの少なくともいずれかを含む第1中間層と、
を備えた磁気記録ヘッド。
A first shield;
A second shield away from the first shield in a first direction;
A magnetic pole provided between the first shield and the second shield, wherein the magnetic pole is separated from the first end in a first end and a second direction intersecting the first direction. A first end length along the first direction of the first end portion is longer than a second end length along the first direction of the second end portion, Magnetic poles,
A first insulating portion provided between the first shield and the magnetic pole;
At least one of Zr, Hf, Nb, Ta, Mo, W, Tc, Re, Ru, Os, Rh, and Tr provided between the first shield and the first insulating portion and in contact with the first shield A first intermediate layer including any one of the following:
A magnetic recording head comprising:
請求項1〜7のいずれか1つに記載の磁気記録ヘッドと、
前記磁極により情報が記録される磁気記録媒体と、
を備えた磁気記録装置。
A magnetic recording head according to any one of claims 1 to 7,
A magnetic recording medium on which information is recorded by the magnetic pole;
A magnetic recording apparatus.
前記第1端部は、第1部分と、第2部分と、を含み、
前記第1部分の前記第1方向における位置は、前記第1シールドの前記第1方向における位置と、前記第2シールドの前記第1方向における位置と、の間に設けられ、
前記第2部分の前記第1方向における位置は、前記第1部分の前記第1方向における前記位置と前記第2シールドの前記第1方向における前記位置との間に設けられ、
磁気記録媒体に情報を記録する際に、前記第1部分は、磁気記録媒体に情報を記録する際に、前記第2部分よりも後に前記磁気記録媒体に前記情報を記録する、請求項8記載の磁気記録装置。
The first end includes a first portion and a second portion,
The position of the first portion in the first direction is provided between the position of the first shield in the first direction and the position of the second shield in the first direction;
A position of the second part in the first direction is provided between the position of the first part in the first direction and the position of the second shield in the first direction;
9. When recording information on a magnetic recording medium, the first portion records the information on the magnetic recording medium after the second portion when recording information on the magnetic recording medium. Magnetic recording device.
前記第1端部は、第1部分と、第2部分と、を含み、
前記第1部分の前記第1方向における位置は、前記第1シールドの前記第1方向における位置と、前記第2シールドの前記第1方向における位置と、の間に設けられ、
前記第2部分の前記第1方向における位置は、前記第1部分の前記第1方向における前記位置と前記第2シールドの前記第1方向における前記位置との間に設けられ、
前記磁気記録媒体は、前記第1方向に並ぶ第1〜第3領域を含み、前記第1領域と前記第3領域の間に前記第2領域が配置され、
前記磁極は、
第1時刻において、前記第1部分が前記第1領域に対向して前記第1領域の磁化の方向を制御し、
前記第1時刻において、前記第2部分が前記第2領域に対向して前記第2領域の磁化の方向を制御し、
前記磁極は、
前記第1時刻の後の第2時刻において、前記第1部分が前記第2領域に対向して前記第2領域の前記磁化の方向を制御し、
前記第2時刻において、前記第2部分が前記第3領域に対向して前記第3領域の前記磁化の方向を制御する、請求項8記載の磁気記録装置。
The first end includes a first portion and a second portion,
The position of the first portion in the first direction is provided between the position of the first shield in the first direction and the position of the second shield in the first direction;
A position of the second part in the first direction is provided between the position of the first part in the first direction and the position of the second shield in the first direction;
The magnetic recording medium includes first to third regions arranged in the first direction, and the second region is disposed between the first region and the third region,
The magnetic pole is
At a first time, the first portion controls the magnetization direction of the first region facing the first region,
At the first time, the second portion controls the magnetization direction of the second region facing the second region,
The magnetic pole is
At a second time after the first time, the first portion faces the second region and controls the direction of the magnetization of the second region;
The magnetic recording apparatus according to claim 8, wherein the second portion controls the magnetization direction of the third region facing the third region at the second time.
JP2016042084A 2016-03-04 2016-03-04 Magnetic recording head and magnetic recording apparatus Active JP6527480B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016042084A JP6527480B2 (en) 2016-03-04 2016-03-04 Magnetic recording head and magnetic recording apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016042084A JP6527480B2 (en) 2016-03-04 2016-03-04 Magnetic recording head and magnetic recording apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017157263A true JP2017157263A (en) 2017-09-07
JP6527480B2 JP6527480B2 (en) 2019-06-05

Family

ID=59810673

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016042084A Active JP6527480B2 (en) 2016-03-04 2016-03-04 Magnetic recording head and magnetic recording apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6527480B2 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008262668A (en) * 2007-04-10 2008-10-30 Tdk Corp Magnetic head, head assembly, and magnetic recording and reproducing apparatus
JP2009004068A (en) * 2007-06-21 2009-01-08 Headway Technologies Inc Magnetic head for perpendicular magnetic recording, and method of manufacturing the same
JP2009070541A (en) * 2007-08-22 2009-04-02 Toshiba Corp Magnetic recording head and magnetic recording apparatus
JP2011096357A (en) * 2009-10-29 2011-05-12 Headway Technologies Inc Reproducing/recording head structure, method for manufacturing the same, perpendicular magnetic recording (pmr) head, and method for manufacturing the same
JP2012113803A (en) * 2010-11-24 2012-06-14 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv Write head fabricating method
JP2014149905A (en) * 2013-01-18 2014-08-21 Seagate Technology Llc Apparatus with write pole, magnetic element, and data writer

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008262668A (en) * 2007-04-10 2008-10-30 Tdk Corp Magnetic head, head assembly, and magnetic recording and reproducing apparatus
JP2009004068A (en) * 2007-06-21 2009-01-08 Headway Technologies Inc Magnetic head for perpendicular magnetic recording, and method of manufacturing the same
JP2009070541A (en) * 2007-08-22 2009-04-02 Toshiba Corp Magnetic recording head and magnetic recording apparatus
JP2011096357A (en) * 2009-10-29 2011-05-12 Headway Technologies Inc Reproducing/recording head structure, method for manufacturing the same, perpendicular magnetic recording (pmr) head, and method for manufacturing the same
JP2012113803A (en) * 2010-11-24 2012-06-14 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv Write head fabricating method
JP2014149905A (en) * 2013-01-18 2014-08-21 Seagate Technology Llc Apparatus with write pole, magnetic element, and data writer

Also Published As

Publication number Publication date
JP6527480B2 (en) 2019-06-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10438618B2 (en) Magnetic head having a stacked body provided between a magnetic pole and a first shield and a magnetic recording and reproducing device incorporating the magnetic head
US10276193B2 (en) Magnetic head having magnetic pole and shield, and magnetic recording and reproducing device
US10438616B2 (en) Magnetic recording head with specified thickness and saturation magnetic flux density products for STO magnetic layers
US9805745B1 (en) Magnetic recording and reproducing device comprising a magnetic head including a trailing shield and first and second shields having alternating magnetic and nonmagnetic layers
JP6162660B2 (en) Magnetic recording head and magnetic recording / reproducing apparatus
US11398244B2 (en) Magnetic head with stacked body having non-magnetic layers and differing length magnetic layers
US11615808B2 (en) Magnetic head and magnetic recording device
JP2014220028A (en) Magnetoresistance effect element, magnetic head, magnetic record regeneration apparatus and manufacturing method of magnetoresistance effect element
JP2021190148A (en) Magnetic head and magnetic recording device
US9697853B2 (en) Magnetic recording head and magnetic recording and reproducing device
US20230046928A1 (en) Magnetic head and magnetic recording device
US11495250B2 (en) Magnetic recording device including a magnetic head including a stacked body between magnetic poles
JP6576965B2 (en) Magnetic head and magnetic recording / reproducing apparatus
US9583134B2 (en) Magnetic recording and reproducing device
US11881234B2 (en) Magnetic head and magnetic recording device
JP6527480B2 (en) Magnetic recording head and magnetic recording apparatus
JP2021077435A (en) Magnetic head and magnetic recording device
JP2019200835A (en) Magnetic recording head and magnetic recording/reproducing device
US11810601B2 (en) Magnetic head including multiple magnetic layers and magnetic recording device
JP7072036B2 (en) Magnetic recording head and magnetic recording / playback device
JP6586251B2 (en) Magnetic recording head and magnetic recording / reproducing apparatus
JP2022079860A (en) Magnetic recording device and magnetic recording method
JP2016033846A (en) Magnetic recording head and reproducing apparatus of magnetic record

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180301

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20181206

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190110

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190305

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190411

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190510

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6527480

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151